JPH11337477A - 光走査装置 - Google Patents

光走査装置

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JPH11337477A
JPH11337477A JP14804698A JP14804698A JPH11337477A JP H11337477 A JPH11337477 A JP H11337477A JP 14804698 A JP14804698 A JP 14804698A JP 14804698 A JP14804698 A JP 14804698A JP H11337477 A JPH11337477 A JP H11337477A
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JP
Japan
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light
optical scanning
optical
additional item
mode fiber
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Application number
JP14804698A
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English (en)
Inventor
Tsuyoshi Ozawa
剛志 小澤
Atsushi Okawa
敦 大川
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Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 漏水による不具合を解消する。 【解決手段】 光走査型プローブ1は、光源を備えた光
走査部としての体腔内に挿入可能な先端構成部2と、先
端構成部2による光走査を制御する制御部3によって構
成され、先端構成部2と制御部3とは電気ケーブル43
が複数本通った細いチューブ4により接続されている。
チューブ4の端部には電気コネクタ11が水密に固定し
て設けられており、制御部3にはこの電気コネクタ11
が着脱自在に電気的に接続可能に設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は光走査装置、更に詳
しくは光走査型プローブと制御装置との接続部分に特徴
のある光走査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、生体組織を診断する場合、その組
織の表面状態の光学的情報を得るイメージング装置の他
に、組織内部の光学的情報を得ることのできる光CT装
置が提案されている。
【0003】この光CT装置としてはピコ秒パルスを用
いて、生体内部の情報を検出し、断層像を得る。しかし
ながら、ピコ秒パルスオーダの極短パルス光を発生する
レーザ光源は高価で大型となり、取扱いも面倒である。
【0004】最近になって、低干渉性光を用いて被検体
に対する断層像を得る干渉型のOCT(オプティカル・
コヒーレンス・トモグラフィ)が例えば特表平6ー51
1312号公報に開示されている。
【0005】また、生体組織や細胞を光軸方向に分解能
の良く観察する手段として、光走査型の共焦点顕微鏡が
知られている。しかし、この場合、通常の共焦点顕微鏡
はサイズが大きく、サンプルは小さく切り出して顕微鏡
に載せて観察される。
【0006】また、この共焦点顕微鏡を小さくして、生
物の消化管などに誘導して観察する微小共焦点内視鏡
が、例えば特開平9−230248号公報等に開示され
ている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記干
渉型のOCTや微小共焦点内視鏡においては、光走査型
プローブと制御装置のコネクタが非水密構造であるた
め、使用後に洗浄・消毒液に浸漬するとコネクタ内部が
漏水し故障の原因となるといった問題がある。
【0008】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、漏水による不具合を解消することのできる光走
査装置を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の光走査装置は、
体腔内に挿入可能な挿入部に光走査手段を有する光走査
型プローブと、前記光走査型プローブが着脱自在に設け
られ前記光走査型プローブの検出信号および/または検
出光を受ける制御装置とを有する光走査装置において、
前記光走査型プローブは、前記挿入部を有し水密的に構
成されたプローブ本体と、前記プローブ本体と水密的に
固着され、それ自体も水密的に構成された前記制御装置
に接続可能なコネクタとから構成される。
【0010】本発明の光走査装置では、前記コネクタを
前記プローブ本体と水密的に固着され、それ自体も水密
的に構成することで、漏水による不具合を解消すること
を可能とする。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態について述べる。
【0012】第1の実施の形態:図1ないし図9は本発
明の第1の実施の形態に係わり、図1は光走査型プロー
ブの構成を示す構成図、図2は図1の電気コネクタの構
成を示す断面図、図3は図1の先端構成部の構成を示す
構成図、図4は図3の光学ユニットの構成を示す構成
図、図5は図4の光学ユニットのスキャンミラーの製造
方法を説明する第1の説明図、図6は図4の光学ユニッ
トのスキャンミラーの製造方法を説明する第2の説明
図、図7は図1の制御部の構成を示す構成図、図8は図
4の光学ユニットによる焦点走査を説明する説明図、図
9は図1の電気コネクタの変形例の構成を示す断面図で
ある。
【0013】(構成)図1に示すように、本実施の形態
の光走査装置としての光走査型プローブ1は、光源を備
えた光走査部としての体腔内に挿入可能な先端構成部2
と、先端構成部2による光走査を制御する制御部3によ
って構成され、先端構成部2と制御部3とは電気ケーブ
ル43が複数本通った細いチューブ4により接続されて
いる。
【0014】チューブ4の端部には電気コネクタ11が
水密に固定して設けられており、制御部3にはこの電気
コネクタ11が着脱自在に電気的に接続可能に設けられ
ている。
【0015】電気コネクタ11の断面図を図2に示す。
電気コネクタ11の本体12には接続部13とが、図2
のように水密的に接着固定されている。チューブ4内を
通る電気ケーブル15は、電気コネクタ11が制御部3
に接続されているとき、後述する図3の電気ケーブル4
3と電気的に接続されて、後述する図3の光学ユニット
22を制御するようになっている。
【0016】一方、導電性のピン14とチューブ4内を
通る電気ケーブル15が、図2のようにはんだ付け固定
されている。ピン14は、電気コネクタ11を制御部3
に接続すると、制御部3に設けられた導電性のピン19
と接触して電気的に接続される。制御部3には、フォト
ダイオード17とフォトトランジスタ18が、電気コネ
クタ11が制御部3に接続されたときに接続部13と接
する部分に、接続部13によっておおわれるような位置
に設けられている。フォトダイオード17とフォトトラ
ンジスタ18は、各々抵抗と+5Vの電源と0VのGN
Dに電気的に接続されて電気回路をなしており、フォト
トランジスタ18にはさらにその動作状態を出力する出
力部20が設けられている。また、フォトダイオード1
7の出射光が透光するように穴16aと、その出射光を
フォトトランジスタ18で受光できるように穴16b
が、各々設けられている。
【0017】図3に示すように、先端構成部2は、本体
21、光学ユニット22及び図中のZ軸方向に可動なZ
軸アクチュエータ23からなり、本体21は透明な窓部
24を有している。Z軸アクチュエータ23は、バイモ
ルフ型の圧電アクチュエータによって構成され、電圧を
印加することによって光学ユニット22を方向25へア
クチュエーションする。Z軸アクチュエータ23の一端
は本体21に接着され、このZ軸アクチュエータ23か
らの配線は電気ケーブル43を通って図1に示した制御
部3へと接続されている。
【0018】ここで、本体21は、内部に光学ユニット
22等を有する中空のパイプになっており、このパイプ
を前側からふさぐ前フタ21aと根本側からふさぐ後フ
タ21bとがパイプに接着固定されており、さらに透明
な窓部24も本体21の内部が水密構造となるように接
着固定されている。
【0019】図4に示すように、光学ユニット22は、
Z軸アクチュエータ23の端部に接着されたシリコン基
板31と、前記シリコン基板31に接着したプレート3
2と、前記プレート32に接着されたスペーサ33と、
スペーサ33に接着された上板34とによって構成され
ている。このスペーサ33には、波長780nmのレー
ザ光を発生する小型の半導体レーザ35が接着固定され
ている。また、シリコン基板31とプレート32によっ
て、スキャンミラー36が構成されており、スキャンミ
ラー36はいわゆるジンバルミラーである。また、スペ
ーサ33はミラー部37を有し、上板34には回折格子
レンズ38が設けられている。
【0020】ここで、半導体レーザ35から出射される
光が、最初にスペーサ33のミラー部37で反射し、次
にスキャンミラー36で反射した後に、上板34の回折
格子レンズ38を透過することによって焦点39を結ぶ
ように導かれるような位置関係に、それぞれが構成され
ている。
【0021】また、半導体レーザ35の出射端面にはレ
ーザが出射される範囲にのみハーフミラー膜40が設け
られており、焦点39からの戻り光の一部がプレート3
2面に導かれるように構成されている。また、レーザの
導かれるプレート32面上には光を検知するフォトダイ
オード41が設けられている。
【0022】また、スキャンミラー36、半導体レーザ
35及びフォトダイオード41は、プレート32上の図
示しないパターンを介してランド部42に電気的に接続
され、このランド部42に電気ケーブル43が接続され
る。そして、このケーブル43はチューブ4の内部を通
り、制御部3へ接続される(図1参照)。
【0023】次に、光学ユニット22の製法について説
明する。
【0024】シリコン基板31は低抵抗値(約10Ωc
m以下)のものを用い、くぼみ52を形成する部分以外
の表面をレジスト等によりマスクを形成して、KOHあ
るいはTMAH等の異方性湿式エッチング法、あるいは
ドライエッチング法によりくぼみ52を形成する。くぼ
み52の深さについては、スキャンミラー36の可動範
囲をカバーするような深さに設定する。
【0025】また、プレート32はシリコンからなり、
プレート32はシリコン基板31上に、シリコン基板3
1の表面に形成したSiO2 等の基板上の酸化物層(図
示せず)を介在するようにして接合させる。ここで、該
プレート32とシリコン基板31は図示しない絶縁膜層
により電気的に絶縁されている。
【0026】そして、プレート32はシリコン基板31
との接合後に、スキャンミラー36等を加工形成する。
すなわち、プレート32の表面に、まず窒化膜をCVD
(Chemical Vapor Deposition)法等により形成し、ス
キャンミラー36を形成するために、窒化膜をホトリソ
グラフィ法/エッチング法により加工する。
【0027】この時のスキャンミラー36を上方から見
た平面図を図5に示す。図5の黒塗り部53aは、プレ
ート32をエッチング法により加工する際に、マスクと
なる窒化膜を設けなかった部分、つまり窒化膜が除去さ
れている部分であり、白い部分は窒化膜により覆われて
いる。
【0028】この黒ぬり部53aに対応するプレート3
2を加工する前に、アルミニウムなどの金属薄膜をデポ
ジッションし、ホトリソグラフィ法によりパターニング
することにより、選択的に導電膜層を形成する。この導
電膜層としては、図6に示すように、スキャンミラー3
6の電極54a、54b、54c、54d、配線55
a、55b、55c、55d等が含まれる。これらの配
線55a、55b、55c、55dはランド部42まで
パターンがつながっており、このときに同時に半導体レ
ーザ35の配線(図示しない)、フォトダイオード41
の配線(図示しない)、ランド部42も形成する。ここ
で、電極54a、54b、54c、54dはミラーの役
割も兼ねる。
【0029】導電層を成膜・加工した後、シリコン窒化
膜をマスクにしてプレート32をエッチングしてスキャ
ンミラー36等を形成する。なお、エッチング液、ある
いはエッチングガスが電極54a等を侵す場合には、こ
れら導電パターン上をレジスト等を用いて保護すればよ
い。
【0030】このエッチング処理により、図5に示した
窒化膜に覆われていない黒ぬり部53aに対応したプレ
ート32の部分が除去され、ジンバル構造のスキャンミ
ラー36等が形成される。スキャンミラー36のヒンジ
部56、57は、両側からアンダーエッチされることに
より窒化膜部分のみが残って形成され、このヒンジ部5
6、57を軸にしてスキャンミラー36の中心部58が
X方向、Y方向2次元に回転できるようになる。
【0031】フォトダイオード41は、別途製作したも
のを接着し、プレート32上の配線と導通するようにす
る。なお、本実施の形態では、フォトダイオード41を
別途製作し、接着する例を示したが、上記の半導体プロ
セスで、プレート32またはシリコン基板31にフォト
ダイオード41を製作しても構わない。
【0032】図4に戻り、スペーサ33はシリコンから
成り、ホトリソグラフィ法とエッチング法によりシリコ
ンをエッチングして開口部を作ることにより開口部側部
内面にミラー部37が形成され、また、同時に半導体レ
ーザ35をガイドして固定する部分も形成し、ここに別
途製作した半導体レーザ35を接着する。なお、ミラー
部37のミラーはシリコン加工後、スパッタ法や蒸着法
等により形成される。ミラー部37がアルミニウムより
なる場合、その厚さは150〜200nmが最適であ
る。
【0033】このスペーサ33をプレート32と接着す
るが、このとき半導体レーザ35の底面に設けられた配
線と、プレート32に設けられた配線と導通するように
する。
【0034】また、本実施の形態では、半導体レーザ3
5を別途製作して、スペーサ33に組み込んだが、スペ
ーサ33を製作するときに、半導体レーザ35を直接つ
くりこんでも構わない。
【0035】上板34は石英ガラスで構成され、回折格
子レンズ38は電子ビームリソグラフィーによるパター
ンの転写と、異方性リアクティブイオンエッチングによ
って製作される。その後スペーサ33に接着される。
【0036】制御部3は、図7に示すように、半導体レ
ーザ35を駆動制御するするレーザ駆動回路64と、電
極54a、54b、54c、54dに接続されスキャン
ミラー36を駆動しXY走査を行うXY駆動回路65
と、Z軸アクチュエータ23を駆動しZ走査を行うZ駆
動回路66、フォトダイオード41からの検出信号を増
幅する増幅回路67と、フォトトランジスタ18からの
信号により電気コネクタ11の接続状態を検出し電気コ
ネクタ11が接続されるとレーザ光を出射できるように
レーザ駆動回路64を制御するコネクタ接続検出回路7
1と、XY駆動回路65及びZ駆動回路66から駆動信
号を入力し増幅回路67が増幅した検出信号に基づき走
査画像を生成する画像処理回路68と、画像処理回路6
8が生成した走査画像を表示するモニタ69と、画像処
理回路68が生成した走査画像を記録する記録装置70
によって構成されている。
【0037】(作用)レーザ駆動回路64により駆動さ
れた半導体レーザ35からレーザ光が発せられる。この
レーザ光は図4のようにミラー部37で反射し、次にス
キャンミラー36に反射し、上板の回折格子レンズ38
を透過することによって、焦点39を結ぶ。この焦点3
9の位置に物体があって光が反射される場合、反射光は
入射光と同じ光路を通り、再び半導体レーザ35の出射
口で焦点を結び、この端面に設けられたハーフミラー膜
40によって、その光の一部がフォトダイオード41へ
導かれる。
【0038】この時、焦点以外からの反射光は、入射光
と同じ光路を通ることができず、半導体レーザ35の出
射口端面で焦点を結ぶことができない。ハーフミラー膜
40はレーザ出射口の範囲にのみ設けられているので、
ここで焦点を結ばない光はほとんどハーフミラー膜40
で反射せず、したがってフォトダイオード41に入射し
ない。つまり、この半導体レーザ35のハーフミラー膜
40が小さいピンホールの働きをし、共焦点光学系をな
すようになる。
【0039】また、この状態で制御部3のXY駆動回路
65によってスキャンミラー48の電極54a、54b
を交互に正に帯電させ、シリコン基板31をグランドに
接続すると、スキャンミラー36の電極54a、54b
はそれぞれ正に帯電させた時には静電気力で基板と引き
合い、スキャンミラー36の中心部58はヒンジ57を
回転軸にして振動する。これにともなって、図4に示す
ように、レーザ光の焦点39の位置は走査面のX方向
(紙面に垂直方向)に走査される。また、電極54c、
54dを、交互に正の電荷を帯電させることによって、
スキャンミラー36の中心部58はヒンジ56を回転軸
にして振動する。これにともなってレーザ光の焦点39
の位置は走査面のY方向(X方向に垂直)に走査され
る。
【0040】ここでY方向の振動の周波数を、X方向の
走査の周波数よりも充分に遅くし、適切なタイミングで
制御することで、焦点39は図8のように対象物面を順
に走査する。これにともなって、この対象物面の各点の
反射光がフォトダイオード41で受光される。
【0041】このフォトダイオード41によって光は電
気信号に変換され、これらの電気信号は制御部3の増幅
回路67で増幅される。ここで増幅された信号は、画像
処理回路68に送られる。画像処理回路68では、XY
駆動回路65の駆動波形を参照して、どの焦点位置から
の信号出力であるかを計算し、さらにこの点における反
射光の強さを計算し、モニタに表示させる。これらを繰
り返すことによって走査面の反射光をモニタに画像化す
る。また、必要に応じて画像データを記録装置70に記
録する。
【0042】また、Z駆動回路66で、Z軸アクチュエ
ータ35を駆動することによって、焦点位置を図4に示
すZ方向に移動させることができる。この状態で上記の
ように画像の取り込みを行うことによって、試料のZ方
向に移動した別の断面を観察することができる。さら
に、画像処理回路68はZ方向に位置の異なる複数の走
査画像のデータと、各画像におけるZ軸駆動回路66の
出力を適宜記録装置70に記録し、これらを参照するこ
とによって3次元画像を構築し、モニタに表示すること
もできる。
【0043】また、図2のように、フォトダイオード1
7は抵抗R1を介して電源に接続されており、制御部3
の電源がONのときは常に発光している。電気コネクタ
11が制御部3に接続されたときに、フォトダイオード
17の出射光が接続部13が遮られ、抵抗R2を介して
電源に接続されているフォトトランジスタ18に光が入
射せず、抵抗R2の両端に電位差が生じず、出力部20
の電位は+5Vとなる。一方、電気コネクタ11が制御
部3からはずれたときに、フォトダイオード17の出射
光がフォトトランジスタ18に受光され、抵抗R2の両
端に電位差が生じ、出力部20の電位は0Vとなる。出
力部20が0Vのとき、図4の半導体レーザ35が駆動
し、+5Vのとき半導体レーザ35が停止するように、
図7のコネクタ接続検出回路71でレーザ駆動回路64
を制御する。
【0044】なお、図2では電気ケーブル15が3本し
か示されていないが、図7に示すように、制御部3がフ
ォトダイオード41、およびフォトトランジスタ18か
らの信号を受け取り、かつ半導体レーザ35、電極54
a,54b,55c,55d、およびZ軸アクチュエー
タ23を制御する制御信号を送るのに必要な本数分の電
気ケーブルを有している。
【0045】本実施の形態では、半導体レーザ35の先
端にハーフミラー膜40を設けたが、この膜はハーフミ
ラー膜に限らず、波長によって反射率の異なるダイクロ
ックミラー膜を設けてもよい。
【0046】なお、本実施例の変形例として、図2のピ
ン14の代わりに、図9に示すように、ピン81がショ
ートされており、制御部3側にピン82が設けられ、こ
れがコネクタ接続時にピン81とショートし、信号出力
回路83の出力部84の電位が0Vとなり、一方、非接
続時にはピン81がオープンで、出力部84の電位が+
5Vとなり、出力部84が0Vのときレーザ駆動、+5
Vのときレーザ停止するようにコネクタ接続検出回路7
1を制御するようにしてもよい。
【0047】(効果)以上のように本実施の形態の光走
査型プローブ1では、体腔内に挿入可能なチューブ4の
先端の先端構成部2に、被検部に光を照射するための半
導体レーザ35を設けたので、光ファイバを用いてレー
ザ光を伝達する必要がなくなり、伝達部分の外径を細く
することができる。また、光ファイバへのレーザ光の導
入時の位置あわせの調整の煩わしさがなくなる。さら
に、光を伝達するときのレーザ光の損失がないので、レ
ーザ光源の出力は必要最小限で済む。
【0048】また、スキャンミラー36としてジンバル
ミラー構造を用いたので、簡単な構造で2方向にレーザ
点を走査できる。
【0049】さらに、半導体レーザ35の出射口にの
み、ハーフミラー膜40を設けたので、このハーフミラ
ー膜40がピンホールの役割となり、簡単に共焦点光学
系を形成することができる。
【0050】また、先端構成部2内部にフォトダイオー
ド41を設けたので、全部の光学系を先端構成部2内部
で構成でき、コンパクトにすることができる。しかも検
出光をファイバで伝送することなく検出できるので、光
量の損失がないばかりかファイバ途中での外乱によるノ
イズのない像をとることができる。
【0051】また、電気コネクタ11、先端構成部2と
もに水密構造を保っているので、本プローブ使用後、電
気コネクタ11を制御部3から外し、洗滌・消毒すると
きに、洗滌・消毒液に浸漬可能である。
【0052】また、電気コネクタ11が制御部に接続さ
れているときはレーザ駆動し、接続が外れると、レーザ
への電源供給を停止するので、感電を防止することがで
きる。
【0053】第2の実施の形態:図10ないし図14は
本発明の第2の実施の形態に係わり、図10は光走査装
置の構成を示す構成図、図11は図10の先端部の構成
を示す構成図、図12は図10の先端部の断面を示す断
面図、図13は図10の電気・光コネクタの構成を示す
断面図、図14は図10の電気・光コネクタの変形例の
構成を示す断面図である。
【0054】第2の実施の形態は、第1の実施の形態と
ほとんど同じであるので、異なる点のみ説明し、同一の
構成には同じ符号をつけ説明は省略する。
【0055】(構成)本実施の形態の全体図は図1と同
じであるが、図 中の電気コネクタ11が電気・光コネ
クタ201に、制御部3が図10の制御部150になっ
ている。また、チューブ4の中にさらにシングルモード
ファイバ156が通っている。また、図3の先端構成部
2の中身が図11の先端部153となっており、ケーブ
ルとして、各々が電気的に接続されている図4の電気ケ
ーブル43、および図2の電気ケーブル15に加えて、
シングルモードファイバ156がさらに通っている。
【0056】詳細には、制御部150は、図10に示す
ように、光源部151、光伝達部152、先端部15
3、光検出部154によって構成されている。
【0057】光源部151は、波長635nmのレーザ
光を発生するヘリウムネオンレーザ光源155によって
構成され、また、光伝達部152は、前記レーザ光源1
55のレーザ光が入射され、そのレーザ光を双方向に分
岐するシングルモードファイバ156からなる4端子カ
プラ157によって構成されている。この4端子カプラ
157の他端の一つは電気・光コネクタ201を介して
先端部153に接続され、もう一つの端部は閉塞されて
いる。また、光検出部154は4端子カプラ157に設
けられた光検出器であるフォトディテクタ158と、フ
ォトディテクタ158に接続された画像処理部159で
構成される。
【0058】先端部153は、図11に示すように、基
板161、スペーサ162、上板163からなり、基板
161は、レーザ光の焦点を対象物に対して走査するた
めに向きが可変の2枚の可変ミラー164a、164b
を有する。この2枚の可変ミラー164a、164bは
2つのヒンジ部165a、165bによって支持され、
このヒンジ部165a、165bを回転軸にして静電気
力によって回転可動に構成されている。ここで、この2
枚の可変ミラー164a、164bの回転軸は直交する
図中のX軸及びY軸にそれぞれ平行になるように構成さ
れている。
【0059】また、図12に示すように、スペーサ16
2にはミラー166が、また上板163にはミラー16
7及びレーザ光に焦点168を結ばせるための回折格子
レンズ169が設けられている。
【0060】図13に示すように、電気・光コネクタ2
01の根本に切欠部202を設け、その切欠部202に
Oリング203を略密着させている。このOリング20
3により、電気・光コネクタ201に金属製の水密キャ
ップ204を接合したときに接続部内部が水密を保つ構
造となっている。また、光コネクタ201の先端にはネ
ジ部205が水密キャップ204の根本にもネジ部20
6が切ってあり、水密キャップ204を電気・光コネク
タ201に最後まどねじ込んで水密を保つような構造と
なっている。
【0061】また、電気・光コネクタ201と制御部1
50との接続検出のために、第1の実施の形態と同様
に、制御部150側に設けられたフォトダイオード17
(図示せず)の出射光をフォトトランジスタ18(図示
せず)へ、電気・光コネクタ201の接続/非接続によ
り、透光/遮光されて、コネクタ接続検出回路71で検
出する。そしてレーザ光源151の出射を、第1の実施
の形態と同様に制御する。
【0062】なお、図13には電気ケーブル105が図
示されていないが、第1の実施の形態と同様に、電気・
光コネクタ201が制御部150に接続されると、図4
の電気ケーブル43と電気的に接続されて、図11の先
端部153を制御する。
【0063】なお、本実施の形態の変形例として、図1
3における電気・光コネクタ201の代わりに、図14
の電気・光コネクタ211とし、図のようにシングルモ
ードファイバ156を電気・光コネクタ211に接着固
定して、水密を保つようにしてもよい。図示しない電気
接続ピンも第1の実施の形態と同様に構成されている。
【0064】(作用)制御部150では、レーザ光源1
55からのレーザ光は4端子カプラ157で二つの方向
に分割され、その内の一方が先端部153に入射され
る。
【0065】このレーザ光は、ミラー166、可変ミラ
ー164a、ミラー167、可変ミラー164bの順に
反射し、回折格子レンズ169によって焦点168を結
ぶように導かれ、さらに静電気力によって向きが可変の
2枚の可変ミラー164a、164bによってその焦点
168が略平面170上に走査される。
【0066】焦点168に物質がある場合は、反射光は
照射されたレーザ光とまったく同じ光路を通って、4端
子カプラ157のシングルモードファイバ156の端面
171で焦点を結び、シングルモードファイバ156へ
再び入射する。そして、シングルモードファイバ156
へ再び入射したこの光は、4端子カプラ157によって
分割され、フォトディテクタ158で検出されるように
なっている。
【0067】また、焦点168に対象物が無い場合は、
反射する光がなくシングルモードファイバ156にも光
が入射されず、従ってフォトディテクタ158からも出
力がない。また、レーザ光の焦点168からずれた位置
にある物体からの反射光は、入射光とは異なる光路とな
り、シングルモードファイバ156の端面171で焦点
を結ばず、従ってシングルモードファイバ156にはほ
とんど光が入射されず、フォトディテクタ158でもほ
とんど出力されない。
【0068】また、図13のように、電気・光コネクタ
201に水密キャップ204を最後までねじ込むと、電
気・光コネクタ201と水密キャップ204とがOリン
グ203により水密され、コネクタ内部が水密構造とな
る。
【0069】(効果)レーザ光をミラー164a、16
4bでX,Y方向へ走査することによって、レーザ光の
焦点168が走査する略平面170の反射と散乱の強度
の変化を2次元的に検出し、さらに画像処理部159は
フォトディテクタ158からの信号を用いてこれを画像
化することができる。さらに、これら先端部153に設
けられたバイモルフ型圧電素子(図示せず)によって、
先端部153と対象物との距離を変化させることによ
り、前記走査面を図12における法線方向172に移動
させ、対象物を3次元的に検出し、画像化することもで
きる。
【0070】また、水密キャップ204を着脱可能とし
たことにより、洗滌・消毒液に浸漬したときに、電気・
光コネクタ端面が汚れるのを防ぐことができる。
【0071】また、電気・光コネクタ201が制御部1
50に接続されているときはレーザ駆動し、接続が外れ
ると、レーザの駆動を停止するので、レーザ光の漏えい
や、感電を防止することができる。
【0072】第3の実施の形態:図15ないし図20は
本発明の第3の実施の形態に係わり、図15は光断層画
像装置(光イメージング装置)の構成を示す構成図、図
16は図15の光走査プローブが挿通される内視鏡を示
す図、図17は図15の光走査プローブの後端側部分を
示す断面図、図18は図15の光走査プローブの全体構
成を示す断面図、図19は図15の光走査プローブに取
り付けられる防水キャップを説明する説明図、図20は
図15の光走査プローブの前端側部分を示す断面図であ
る。
【0073】(構成)図15に示す光断層画像装置30
1は、超高輝度発光ダイオード(以下、SLDと略記)
等の低干渉性光源302を有する。この低干渉性光源2
はその波長が例えば1300nmで、その可干渉距離が
例えば17μm程度であるような短い距離範囲のみで干
渉性を示す低干渉性光の特徴を備えている。つまり、こ
の光を例えば2つに分岐した後、再び混合した場合には
分岐した点から混合した点までの2つの光路長の差が1
7μm程度の短い距離範囲内の場合には干渉した光とし
て検出され、それより光路長が大きい場合には干渉しな
い特性を示す。
【0074】この低干渉性光源302の光は第1のシン
グルモードファイバ303の一端に入射され、他方の端
面(先端面)側に伝送される。この第1のシングルモー
ドファイバ303は途中の光カップラ部304で第2の
シングルモードファイバ305と光学的に結合されてい
る。従って、この光カップラ304部分で2つに分岐さ
れて伝送される。
【0075】第1のシングルモードファイバ303の
(光カップラ部4より)先端側には、非回転部と回転部
とで光を伝送可能な結合を行う光ロータリジョイント3
06が介挿され、この光ロータリジョイント306内の
第3のシングルモードファイバ307を介して第1の実
施の形態の光走査プローブ装置(以下、光走査プローブ
と略記)308内に挿通され、回転駆動される第4のシ
ングルモードファイバ309に低干渉光源302の光が
伝送(導光)される。
【0076】そして、伝送された光は光走査プローブ3
08の先端側から生体組織311側に走査されながら照
射される。また、生体組織311側での表面或いは内部
での散乱などした反射光の一部が取り込まれ、逆の光路
を経て第1のシングルモードファイバ303側に戻り、
光カップラ部304によりその一部が第2のシングルモ
ードファイバ305側に移り、第2のシングルモードフ
ァイバ305の一端から光検出器としての例えばフォト
ダイオード312に入射される。なお、光ロータリジョ
イント306のロータ側は回転駆動装置313によって
回転駆動される。
【0077】また、第2のシングルモードファイバ30
5の光カップラ部304より先端側となる途中には光ル
ープ部314が設けてあり、さらにその先端には光路長
の可変機構315が設けてある。
【0078】つまり、第2のシングルモードファイバ3
05の先端面に対向してレンズ316と、ミラー317
とが配置され、このミラー317はアクチュエータ31
8により、矢印aで示すように光路長を変化できるよう
にしている。このミラー317で反射された光は光カッ
プラ部304で第1のシングルモードファイバ303側
から漏れた光と混合されて、共にフォトダイオード31
2で受光される。なお、アクチュエータ318及び回転
駆動装置313は制御装置319により制御される。
【0079】なお、ループ部314は光走査プローブ3
08側の第4のシングルモードファイバ309等による
光路長とほぼ等しい長さとなるように設定される。また
第2のシングルモードファイバ305の先端面からミラ
ー317で反射されて第2のシングルモードファイバ3
05の先端面に戻る光路長は第4のシングルモードファ
イバ309の先端面から後述するマイクロプリズムなど
を介して生体組織311側に照射され、生体組織311
の内部等で反射されて第4のシングルモードファイバ3
09の先端面に戻る光路長と等しくできるようにしてい
る。
【0080】そして、基準光側の光路長の可変機構31
5におけるミラー317の位置を変えてその光路長を変
化することにより、この光路長と等しい値となる生体組
織311の深さ位置での反射光とを干渉させ、他の深さ
部分での反射光は非干渉にすることができるようにして
いる。
【0081】上記フォトダイオード312で光電変換さ
れた信号はアンプ321により増幅された後、復調器3
22に入力される。この復調器322では干渉した光の
信号部分のみを抽出する復調処理を行い、その出力はA
/D変換器323を経てコンピュータ324に入力され
る。このコンピュータ324では断層像に対応した画像
データを生成し、モニタ325に出力し、その表示面に
OCT像326を表示する。
【0082】このコンピュータ324は制御装置319
と接続され、コンピュータ324は制御装置319を介
してアクチュエータ318を介して基準光の光路長の可
変制御と、回転駆動装置313による回転による光走査
方向の制御を行うようにしている。
【0083】また、光ロータリジョイント306と光走
査プローブ308とは着脱自在に構成されており、光ロ
ータリジョイント306と光走査プローブ308との接
続状態を検出する、たとえば図示しないフォトセンサか
らなるプローブ接続状態検出部310が設けられてい
る。このプローブ接続状態検出部310は、低干渉性光
源302及び回転駆動装置313と電気的に接続されて
いて、プローブ接続状態を示す検出信号を低干渉性光源
302及び回転駆動装置313に出力するようになって
いる。
【0084】第1の実施の形態の光走査プローブ308
は、図16に示すように、内視鏡327の鉗子挿通口3
28から鉗子挿通用チャンネルを経てその先端開口から
光走査プローブ308の先端側を突出させることができ
る。
【0085】この内視鏡327は体腔内に挿入し易いよ
うに細長の挿入部329を有し、この挿入部329の後
端には太幅の操作部330が設けてある。この挿入部3
30の前端付近には鉗子挿通口328が設けてあり、こ
の鉗子挿通口328はその内部で鉗子挿通用チャンネル
と連通している。
【0086】挿入部329内には図示しないライトガイ
ドが挿通され、このライトガイドの入射端を光源装置に
接続し、照明光を伝送して挿入部329の先端部に設け
た照明窓から出射し、患部等を照明する。また、照明窓
に隣接して観察窓が設けられ、この観察窓には対物光学
系が取り付けられ、照明された患部等を光学系に観察で
きるようにしている。
【0087】そして、内視鏡327の先端部の観察光学
系の観察の下で、患部等の注目する部分の生体組織31
1側に光走査プローブ308により、低干渉光を照射
し、その生体組織311の内部の断層画像データを得
て、モニタ325の表示面にOCT像326を表示でき
るようにしている。
【0088】この第1の実施の形態の光走査プローブ3
08の構成を図17ないし図20を参照して以下に説明
する。第1のシングルモードファイバ303の先端側
は、図17に示す光ロータリジョイント306内の第3
のシングルモードファイバ307を介して光走査プロー
ブ308内に挿通される第4のシングルモードファイバ
309と光学的に結合されている。
【0089】第1のシングルモードファイバ303の先
端には回転子受け331が設けてあり、この回転子受け
331の凹部に回転子332が嵌合し、両者の間に介挿
した2箇所の軸受け333により回転子332は(回転
されない回転子受け331側に対して)回転自在に支持
されている。
【0090】回転子受け331及び回転子332の中心
に沿ってそれぞれ第1のシングルモードファイバ3及び
第3のシングルモードファイバ307が挿通され、両フ
ァイバ303、307が対向する端面にはそれぞれ凸レ
ンズ334、335を配置して、回転されないファイバ
3と回転されるファイバ7との間で効率良く光の伝送で
きるようにしている。
【0091】また、回転子332は例えばベルト336
を介して回転駆動装置313を構成するモータ337の
プーリ338と連結されている。モータ337の回転に
より、矢印bで示すように回転子332も回転され、従
って第3のシングルモードファイバ307も共に回転さ
れる。モータ337は回転制御部339からのモータ駆
動信号により、一定速度で回転駆動する。
【0092】この回転子332の先端には光走査プロー
ブ308の後端に設けたコネクタ部341が接続され
る。
【0093】図18に示すように、光走査プローブ30
8は外套チューブとなる細長で円管形状のシース342
の中心軸に沿って第4のシングルモードファイバ309
を配置し、この第4のシングルモードファイバ309の
後端及び先端をコネクタ本体343及び先端本体344
にそれぞれ固定し、この第4のシングルモードファイバ
309を中空で柔軟な回転力伝達部材としてのフレキシ
ブルシャフト345で覆うようにしている。このフレキ
シブルシャフト345の内径は第4のシングルモードフ
ァイバ309の外径より僅かに大きい。
【0094】なお、第4のシングルモードファイバ30
9は例えばそのコア径が9μm程度である。
【0095】シース342は例えばポリメチルペンテン
製、フッ素樹脂製、ナイロン製等、(低干渉光に対し
て)透明で光透過性が良いチューブで形成されている。
また、フレキシブルシャフト345は密巻きのコイルを
2重或いは3重にして、柔軟性を有し、一端に加えられ
た回転を他端に効率良く伝達する機能を有する。このフ
レキシブルシャフト345の後端及び先端もコネクタ本
体343及び先端本体344に固定されている。
【0096】シース342の後端にはコネクタ部341
を形成する円筒状のコネクタカバー346に固着され、
このコネクタカバー346の内側に円柱状のコネクタ本
体343が2箇所に設けた軸受け347を介挿して回転
自在に支持されている。そして、このコネクタ本体34
3の中心軸に設けた孔に第4のシングルモードファイバ
309の後端が挿入されて接着剤等で固着されている。
【0097】このコネクタ本体343の後端面には凸部
348が設けられ、一方回転子332の先端面にはこの
凸部348に嵌合する凹部349が設けてあり、これら
は互いに嵌合する。そして、両者を突き当てた状態で回
転子332を回転した場合にはコネクタ本体343も回
転する。この回転力がフレキシブルシャフト345の後
端に付与され、このフレキシブルシャフト345により
その先端に伝達し、その先端に取り付けた先端本体34
4を回転させるようにしている。
【0098】また、上述したように、光ロータリジョイ
ント306と光走査プローブ308とは着脱自在に構成
されており、図19に示すように、光走査プローブ30
8を光ロータリジョイント306から取り外した際に
は、光走査プローブ308のコネクタ部341に防水キ
ャップ341aを取り付けることにより、光走査プロー
ブ308の内部を水密・気密な構造にすることができる
ようになっている。
【0099】図20にも示すように、第4のシングルモ
ードファイバ309の先端は先端本体344の中心軸に
設けた孔に挿入して接着剤等で固着され、第4のシング
ルモードファイバ309の先端面の前側の孔径を拡げて
第4のシングルモードファイバ309の先端から出射さ
れる光を所定の位置に集光するセルフォックレンズ(G
RINレンズ)351を固着している。このGRINレ
ンズ351の先端面には光路を反射により変更するマイ
クロプリズム352を接着剤等で固着している。
【0100】そして、第4のシングルモードファイバ3
09で導光され、先端面に所定距離離間して配置された
光をGRINレンズ351で集光し、マイクロプリズム
352で直角方向に反射して、透明のシース342を透
過させて外部に集光した(低干渉光による)出射光53
を出射できるようにしている。そして、所定の距離で集
光される集光点では例えば10μmないし30μmの光
束径となるようにしている。
【0101】なお、第4のシングルモードファイバ30
9の先端面は斜めにカットされ、GRINレンズ351
の後面で反射された光がこの先端面に入射するのを低減
している。また、GRINレンズ351の後面及びマイ
クロプリズム352の前面に反射防止部材をコーティン
グするなどして反射防止膜354を設け、反射光が生じ
るのを低減している。
【0102】なお、シース342の先端は半球状にして
先端を閉じている。本実施の形態の光走査プローブ30
8はその全長Lがほぼ2000mm程度、シース径Dが
2.4mmにしている。
【0103】(作用)図示しない内視鏡光源装置からの
照明光を内視鏡327のライトガイドで導光することに
より、挿入部329の先端部の照明窓から生体組織31
1側を照明する。照明された生体組織311は観察窓の
対物光学系により、固体撮像素子に結像され、ビデオプ
ロセッサで信号処理された後、表示用モニタに内視鏡像
を表示する。
【0104】低干渉光での断層像の表示を行う場合に
は、図16に示すように内視鏡327の鉗子挿入口32
8に光走査プローブ308を通し、鉗子チャンネル内を
経て先端開口から光走査プローブ308の先端部を突出
させる。
【0105】また、この光走査プローブ308の後端の
コネクタ部341を光ロータリジョイント306の前端
の回転子332に接続して図15の光断層画像装置30
1を構成する。
【0106】すると低干渉光源302の低干渉光は第1
のシングルモードファイバ303の後端に入射され、こ
の低干渉光は光ロータリジョイント306内の第3のシ
ングルモードファイバ307を介して光走査プローブ3
08内の第4のシングルモードファイバ309の後端に
入射される。
【0107】入射された低干渉光は、この第4のシング
ルモードファイバ309によって導光されてその先端面
から図18或いは図20に示すように対向するGRIN
レンズ351側に出射され、このGRINレンズ351
により集光され、このGRINレンズ351の先端面に
接着固定されたマイクロプリズム352に入射され、そ
の斜面で全反射されて進行方向が90°異なる方向に出
射光53が出射され、この出射光353が出射される方
向の生体組織311側に照射される。
【0108】図17に示すように、光ロータリジョイン
ト306を構成する回転子332はモータ337の回転
軸に取り付けたプーリ338とベルト336で接続され
ているので、モータ337を一定速度で回転させること
により、回転子332も矢印bで示す方向に一定速度で
回転し、この回転子332の先端に接続されたコネクタ
部341におけるコネクタ本体343も共に回転する。
【0109】このコネクタ本体343には第4のシング
ルモードファイバ309を覆うフレキシブルシャフト3
45の後端が固着されているので、このフレキシブルシ
ャフト345も回転し、この回転はフレキシブルシャフ
ト345によりその先端にも伝達される。この場合、コ
ネクタ本体343の中心の孔には第4のシングルモード
ファイバ309の後端が固着されているので、この第4
のシングルモードファイバ309もフレキシブルシャフ
ト345と共に回転する。
【0110】このフレキシブルシャフト345の先端に
取り付けられ、その中心の孔に第4のシングルモードフ
ァイバ309の先端が固着された先端本体344も回転
し、この先端本体344に固着したGRINレンズ35
1及びマイクロプリズム352も回転するので、図18
或いは図20に示す出射光353は光走査プローブ30
8の軸に垂直な方向に放射状に走査する。
【0111】そして、生体組織311の表面及びその表
面近くの内部組織の光学的な特性が異なる部分(屈折率
の変化部分)で反射及び組織中で散乱され、一部は照射
時とは逆の光路となるマイクロプリズム352及びGR
INレンズ351を経て第4のシングルモードファイバ
309の先端面に入射され、その後端側に伝送される。
【0112】そして光ロータリジョイント306内の第
3のシングルモードファイバ307を経て第1のシング
ルモードファイバ303の先端面に入射され、その途中
の光カップラ部304によって第2のシングルモードフ
ァイバ305側に一部が移り、その際基準光側の光(ミ
ラー317で反射された光)と混合されてフォトダイオ
ード212で受光され、光電変換されて電気信号とな
る。
【0113】この信号はアンプ321で増幅された後、
復調器322により、干渉光成分のみが抽出されて検波
される。そして、デジタル信号に変換されてコンピュー
タ324に入力される。
【0114】コンピュータ324は光路長の可変機構3
15により光路長を変化させるようにして生体組織31
1の深さ方向の断層像データを得ると共に、制御装置3
19を介して回転駆動装置313を制御してその内部の
モータ337を一定速度で回転させ、1フレーム分の断
層像データを得る。
【0115】コンピュータ324では順次得られた断層
像データをその内部の画像メモリに一旦格納し、所定の
周期で読み出してモニタ325に断層像或いはOCT像
326を図14のように表示することができる。
【0116】また、光ロータリジョイント306に光走
査プローブ308が接続されていない場合には、プロー
ブ接続状態検出部310より低干渉性光源302及び回
転駆動装置313に対して「プローブ脱」を表すモード
信号が出力され、低干渉性光源302及び回転駆動装置
313はインターロックされて動作不可の状態となる。
その後、光走査プローブ308が光ロータリジョイント
306に接続された場合、プローブ接続状態検出部31
0より低干渉性光源302及び回転駆動装置313に対
して「プローブ着」を表すモード信号が出力され、低干
渉性光源302及び回転駆動装置313のインターロッ
クは解除される。
【0117】逆に、光走査プローブ308が光ロータリ
ジョイント306に接続されていて低干渉性光源302
及び回転駆動装置313が動作状態にある場合におい
て、光走査プローブ308が光ロータリジョイント30
6より取り外された場合には、「プローブ脱」を表すモ
ード信号がプローブ接続状態検出部310より低干渉性
光源302及び回転駆動装置313に出力され、直ちに
低干渉性光源302及び回転駆動装置313の動作は停
止される。
【0118】また、光ロータリジョイント306と光走
査プローブ308とは着脱自在に構成されているので、
例えば光走査プローブ308が破損して検査不能になっ
た場合、操作者は予備の光走査プローブと交換すること
ができる。また、検査終了後、光ロータリジョイント3
06から光走査プローブ308を取り外し、光走査プロ
ーブ308のコネクタ部341に防水キャップ341a
を取り付けることにより、光走査プローブ308の内部
機能を損なうことなく、薬液等の液体に浸すことができ
る。
【0119】(効果)本実施の形態では、光走査プロー
ブ308の中心軸に沿って配置した第4のシングルモー
ドファイバ309を回転駆動し、その先端側に設けたG
RINレンズ351及びマイクロプリズム352も回転
駆動することにより、光走査プローブ308の中心軸に
垂直な方向に対して低干渉光を安定して走査でき、従っ
て周方向に2次元的に広がり、深さ方向の断層像を安定
して得ることができる。
【0120】具体的には、例えば狭い管腔内壁部分でこ
のように周方向の走査を行って周方向の断層像を得るこ
とにより、内視鏡327による表面状態の観察と、断層
像による表面を含むその内部の病変部位の性状を検出す
るなどの診断を有効に行うことができる。
【0121】また、他の使用例として例えば、内視鏡3
27により体腔内の生体組織311において、患部等の
注目する部位を観察し、その内部の状態を主に観察した
い場合には、注目する部位に光走査プローブ308の先
端の側面を接近させて(例えば光走査プローブ308の
先端の側面を注目する部位の表面とほぼ平行にする)、
同様に周方向の走査により断層像を得る。
【0122】そして、表示の際には全周方向の断層像を
表示しないで、注目する部位を含む狭い範囲をモニタ3
25に表示するようにしても良い。この場合には、広い
管腔内部でも適用できる。また、狭い管腔部位でもその
一部に対する詳細な断層像を得る場合にも適用できる。
【0123】また、このように全周に対する断層像をを
得る場合と全周の一部の領域に対する断層像を得る場合
とで、回転速度(換言すると走査速度)を変更できるよ
うにしても良い。
【0124】本実施の形態によれば、鉗子チャンネルを
備えた既存の内視鏡327に広く適用できると共に、こ
の適用により患部等のその表面の内視鏡像の他に、安定
した光走査機構によってその内部の断層像を安定して得
ることができるので、より的確な診断を行うのに適した
光走査プローブ308を提供できる。
【0125】また、低干渉性光源302及び回転駆動装
置313のインターロック機能により、光走査プローブ
308が装着されていない状態では、低干渉性光源30
2及び回転駆動装置313は動作しないために、操作者
や患者を不要な危険にさらすことから回避することがで
きる。
【0126】さらに、光走査プローブ308が破損した
場合、装置全体を交換することなく、光走査プローブの
みを予備と交換することで、検査を再開することができ
る。とくに、高価な光ロータリージョイントを交換する
ことなく、比較的安価な光走査プローブだけを交換すれ
ばよい。
【0127】また、食道、胃、大腸等、検査部位に応じ
て組み合わせて使用する内視鏡では、長さもまちまちで
あるが、それらに応じて適当な長さを有する光走査プロ
ーブプローブに交換して検査することができる。
【0128】さらに、検査終了後、薬液に所定時間、光
走査プローブを浸すことにより、光走査プローブの機能
にダメージを与えることなく、消毒、滅菌することがで
きるので、患者毎に光走査プローブを交換する必要がな
い。
【0129】[付記] (付記項1−1) 体腔内に挿入可能な挿入部に光走査
手段を有する光走査型プローブと、前記光走査型プロー
ブが着脱自在に設けられ前記光走査型プローブの検出信
号および/または検出光を受ける制御装置とを有する光
走査装置において、前記光走査型プローブは、前記挿入
部を有し水密的に構成されたプローブ本体と、前記プロ
ーブ本体と水密的に固着され、それ自体も水密的に構成
された前記制御装置に接続可能なコネクタとからなるこ
とを特徴とする光走査装置。
【0130】(付記項1−2) 前記光走査型プローブ
は、前記制御装置内の点光源から照射される光を導光
し、前記光を前記体腔内の被検部位に照射すると共に前
記被検部位からの反射光を受け取る一方の端部を有する
シングルモードファイバと、前記シングルモードファイ
バの前記一方の端部から照射される前記光を前記被検部
位の焦点面上で走査させる光走査手段と、前記光走査手
段により走査された前記シングルモードファイバの前記
一方の端部からの前記光を前記被検部位に合焦させると
共に、前記被検部位からの前記反射光を集光して前記シ
ングルモードファイバの前記一方の端部上に合焦させる
光学系とを有し、前記制御装置は、前記点光源と、前記
点光源から照射される前記光を前記シングルモードファ
イバへ導光すると共に、前記シングルモードファイバか
ら前記被検部位からの前記反射光を受け取り導光する導
光手段と、導光手段からの前記反射光を前記点光源から
の前記光より分離する光分離手段と、前記光分離手段に
より分離された前記反射光を検出する反射光検出手段
と、前記光走査手段を駆動する光走査駆動手段と、を有
し、前記光走査型プローブが、前記コネクタで前記制御
装置に接続されると、前記シングルモードファイバと前
記導光手段とが光学的に接続されると共に、前記光分離
手段により前記反射光が前記点光源からの前記光から分
離され、さらに、前記光走査手段と前記光走査駆動手段
とが電気的に接続されることを特徴とする付記項1−1
に記載の光走査装置。
【0131】(付記項1−3) 前記光走査型プローブ
は、前記制御装置内の点光源から照射される光を導光
し、前記光を前記体腔内の被検部位に照射する一方の端
部を有するシングルモードファイバと、前記シングルモ
ードファイバの前記一方の端部から照射される前記光を
前記被検部位の焦点面上で走査させる光走査手段と、前
記被検部位から反射された反射光を検出し電気信号に変
換する反射光検出手段と、前記シングルモードファイバ
の前記一方の端部からの前記光を前記被検部位に合焦さ
せると共に、前記被検部位からの前記反射光を集光して
前記反射光検出手段に合焦させる光学系とを有し、前記
制御装置は、前記点光源と、前記点光源から照射される
前記光を前記シングルモードファイバへ導光する導光手
段と、前記光走査手段を駆動する光走査駆動手段と、前
記反射光検出手段からの前記電気信号を受け取る信号検
出回路とを有し、前記光走査型プローブが、前記コネク
タで前記制御装置に接続されると、前記シングルモード
ファイバと前記導光手段とが光学的に接続され、さら
に、前記光走査手段前記光走査駆動手段とが電気的に接
続されると共に、前記反射光検出手段と前記信号検出回
路とが電気的に接続されることを特徴とする付記項1−
1に記載の光走査装置。
【0132】(付記項1−4) 前記光走査型プローブ
は、点光源と、前記点光源からの光を前記体腔内の被検
部位の焦点面上で走査させる光走査手段と、前記被検部
位からの反射光を受け取る一方の端部を有するシングル
モードファイバと、前記点光源からの前記光を前記被検
部位に合焦させると共に、前記被検部位からの反射光を
集光して前記シングルモードファイバの前記一方の端部
上に合焦させる光学系とを有し、前記制御装置は、前記
被検部位からの前記反射光を前記シングルモードファイ
バより受け取り導光する導光手段と、前記導光手段によ
り導光された前記反射光を検出し電気信号に変換する反
射光検出手段と、前記点光源を電気的に駆動する点光源
駆動手段と、前記光走査手段を電気的に駆動する光走査
駆動手段と、を有し、前記光走査型プローブが、前記コ
ネクタで前記制御装置に接続されると、前記シングルモ
ードファイバと前記導光手段とが光学的に接続され、さ
らに、前記光走査手段前記光走査駆動手段とが電気的に
接続されると共に、前記点光源と前記点光源駆動手段と
が電気的に接続されることを特徴とする付記項1−1に
記載の光走査装置。
【0133】(付記項1−5) 前記光走査手段は、シ
リコン部材からなるマイクロマシンスキャニングミラー
手段と、前記マイクロマシンスキャニングミラー手段を
支持して回転させるシリコン窒化物ヒンジと、前記シン
グルモードファイバから光を受け取るためにシリコン部
材によって導通される反射表面と、第1の方向から第2
の方向に光をスキャンするために静電的に前記マイクロ
マシンスキャニングミラー手段を動かすミラー駆動手段
とを備えたことを特徴とする付記項1−2または1−3
に記載の光走査装置。
【0134】(付記項1−6) 前記光走査手段は、前
記シングルモードファイバから光を受け取り、第1方向
に光を走査する第1マイクロマシンスキャニングミラー
と、前記第1ミラーから光を受け取り、第1方向と直交
する第2方向に光を走査する第2マイクロマシンスキャ
ニングミラーとから構成されることを特徴とする付記項
1−2または1−3に記載の光走査装置。
【0135】(付記項1−7) 前記光走査手段は、ヒ
ンジによって支持され、第1軸と、第2軸に関して回転
するフレームを有することを特徴とする付記項1−2、
1−3または1−4に記載の光走査装置。
【0136】(付記項1−8) 前記フレームは、シリ
コンプレートで形成され、前記ヒンジは、シリコン窒化
物で形成され、直交する第1軸及び第2軸に関して回転
される前記フレームを支持し、前記フレームによって導
通される導電性の表面に配置され、導電性の表面と基層
との間に電圧をかけることで前記フレームを回転させる
ことを特徴とする付記項1−7に記載の光走査装置。
【0137】(付記項1−9) 前記分離手段は、光カ
プラからなることを特徴とする付記項1−2に記載の光
走査装置。
【0138】(付記項1−10) 前記分離手段は、被
検部位からの光を反射するビームスプリッタからなるこ
とを特徴とする付記項1−2に記載の光走査装置。
【0139】(付記項1−11) 前記光学系は、オフ
アクシスバイナリレンズを含むことを特徴とする付記項
1−2、1−3または1−4に記載の光走査装置。
【0140】(付記項1−12) 前記光学系は、回折
レンズを含むことを特徴とする付記項1−2、1−3ま
たは1−4に記載の光走査装置。
【0141】(付記項1−13) 前記光学系は、シリ
コン部材によって導通されることを特徴とする付記項1
−2、1−3または1−4に記載の光走査装置。
【0142】(付記項1−14) 光を供給する点光源
と、前記点光源からの前記光を導光する光ファイバと、
前記光ファイバにより導光された前記光を反射し前記体
腔内の被検部位に照射するミラー手段と、前記被検部位
上に前記光を合焦させ、前記被検部位からの反射光を前
記ミラー手段及び前記光ファイバに戻すレンズとを備
え、ミラー手段は、低抵抗基層と、第1軸に関して回転
させるために基層上にヒンジで支持される低抵抗フレー
ムと、前記第1軸に直交する第2軸に関して回転させる
ために、前記低抵抗フレームによって前記低抵抗基層上
にヒンジで支持される高抵抗部材と、前記高抵抗部材の
表面に導通され、前記低抵抗基層との間に電圧をかける
ことで、前記高抵抗部材を前記第1軸に関して静電的に
回転させる、一対の間隔を置いて配置された導電性フィ
ルムとを有して構成され、前記被検部位上に前記光を走
査することを特徴とする付記項1−1に記載の光走査装
置。
【0143】(付記項1−15) 前記光ファイバの一
端に、前記被検部位の焦点からの反射光を前記点光源か
らの前記光より分離する光カプラを配置したことを特徴
とする付記項1−14に記載の光走査装置。
【0144】(付記項1−16) 前記光ファイバの一
端に、前記被検部位の焦点からの反射光を反射するビー
ムスプリッタを配置したことを特徴とする付記項1−1
4に記載の光走査装置。
【0145】(付記項1−17) 前記レンズは、オフ
アクシスバイナリレンズを含むことを特徴とする付記項
1−14に記載の光走査装置。
【0146】(付記項1−18) 前記レンズは、回折
レンズを含むことを特徴とする付記項1−14に記載の
光走査装置。
【0147】(付記項1−19) 前記低抵抗基層と前
記高抵抗部材は、シリコンであることを特徴とする付記
項1−14に記載の光走査装置。
【0148】(付記項1−20) 前記低抵抗フレーム
は、シリコン窒化物であることを特徴とする付記項1−
14に記載の光走査装置。
【0149】(付記項1−21) 一端が点光源として
作用するシングルモードファイバと、焦点面上の点に前
記シングルモードファイバの一端からの光を合焦し、前
記焦点面上から反射する反射光を回収し、前記シングル
モードファイバの一端に合焦するレンズと、シリコン基
板上に形成された、第1の高抵抗シリコンからなるマイ
クロマシンスキャニングミラー手段と、第1軸に関して
回転する第1ミラーを支持するシリコン窒化物ヒンジか
らなるシリコン窒化層と、前記第1ミラー上に配置され
る低抵抗基層と、前記シングルモードファイバから光を
受け取るために、シリコン部材によって導通され、前記
低抵抗基層との間に電圧をかけることで前記ミラーを回
転させる、間隔を置いて配置された反射可能な導電性表
面とを備えて構成されることを特徴とする付記項1−1
に記載の光走査装置。
【0150】(付記項1−22) 前記シリコン基板上
に形成される第2の高抵抗シリコン部材からなる第2ミ
ラーと、前記シングルモードファイバから光を受け取る
ために、導電性高抵抗部材によって導通される、間隔を
おいて配置される反射表面とを備え、前記低抵抗基層及
び前記反射表面は、静電的に前記第2ミラーを回転さ
せ、前記第1および第2ミラーの組み合わせで、光を第
1および第2の方向に向けることを特徴とする付記項1
−21に記載の光走査装置。
【0151】(付記項1−23) 前記導電性表面と前
記導電性高抵抗部材との間にp−nダイオードを形成し
たことを特徴とする付記項1−22に記載の光走査装
置。
【0152】(付記項1−24) 前記マイクロマシン
スキャニングミラー手段は、半導体基板と、前記半導体
基板を回転可能にする薄膜ヒンジと、導電性の電極基板
表面上のある面に導通された、間隔を置いて配置された
導電性の電極と、前記導電性の電極と前記半導体基板と
の間に形成されるp−n接合部と、前記導電性の電極と
の間に電圧をかけることで、電極の下の領域は自由キャ
リアで空乏となり、ねじれ力が発生し、前記半導体基板
を前記薄膜ヒンジに関して回転させる導電性部材とこと
を特徴とする付記項1−21に記載の光走査装置。
【0153】(付記項2−1) 体腔内に挿入可能な挿
入部に光走査手段を有する光走査型プローブと、前記光
走査型プローブが着脱自在に設けられ、光走査型プロー
ブの検出信号及び/または検出光を受ける制御装置と、
前記制御装置に内蔵され光を照射する点光源とを有する
光走査装置において、前記光走査型プローブが前記制御
装置からはずされたとき、少なくとも前記点光源の駆動
を停止させることを特徴とする光走査装置。
【0154】(付記項2−2) 前記光走査型プローブ
は、前記制御装置内の点光源から照射される光を導光
し、前記光を前記体腔内の被検部位に照射すると共に前
記被検部位からの反射光を受け取る一方の端部を有する
シングルモードファイバと、前記シングルモードファイ
バの前記一方の端部から照射される前記光を前記被検部
位の焦点面上で走査させる光走査手段と、前記光走査手
段により走査された前記シングルモードファイバの前記
一方の端部からの前記光を前記被検部位に合焦させると
共に、前記被検部位からの前記反射光を集光して前記シ
ングルモードファイバの前記一方の端部上に合焦させる
光学系と、前記制御装置に接続可能なコネクタとを有
し、前記制御装置は、前記点光源と、前記点光源から照
射される前記光を前記シングルモードファイバへ導光す
ると共に、前記シングルモードファイバから前記被検部
位からの前記反射光を受け取り導光する導光手段と、導
光手段からの前記反射光を前記点光源からの前記光より
分離する光分離手段と、前記光分離手段により分離され
た前記反射光を検出する反射光検出手段と、前記光走査
手段を駆動する光走査駆動手段と、を有し、前記光走査
型プローブが、前記コネクタで前記制御装置に接続され
ると、前記シングルモードファイバと前記導光手段とが
光学的に接続されると共に、前記光分離手段により前記
反射光が前記点光源からの前記光から分離され、さら
に、前記光走査手段と前記光走査駆動手段とが電気的に
接続され、また、前記光走査型プローブが前記制御装置
からはずされたとき、少なくとも前記制御装置内の前記
点光源の駆動を停止させることを特徴とする付記項2−
1に記載の光走査装置。
【0155】(付記項2−3) 前記光走査型プローブ
は、前記制御装置内の点光源から照射される光を導光
し、前記光を前記体腔内の被検部位に照射する一方の端
部を有するシングルモードファイバと、前記シングルモ
ードファイバの前記一方の端部から照射される前記光を
前記被検部位の焦点面上で走査させる光走査手段と、前
記被検部位から反射された反射光を検出し電気信号に変
換する反射光検出手段と、前記シングルモードファイバ
の前記一方の端部からの前記光を前記被検部位に合焦さ
せると共に、前記被検部位からの前記反射光を集光して
前記反射光検出手段に合焦させる光学系と、前記制御装
置に接続可能なコネクタとを有し、前記制御装置は、前
記点光源と、前記点光源から照射される前記光を前記シ
ングルモードファイバへ導光する導光手段と、前記光走
査手段を駆動する光走査駆動手段と、前記反射光検出手
段からの前記電気信号を受け取る信号検出回路とを有
し、前記光走査型プローブが、前記コネクタで前記制御
装置に接続されると、前記シングルモードファイバと前
記導光手段とが光学的に接続され、さらに、前記光走査
手段前記光走査駆動手段とが電気的に接続されると共
に、前記反射光検出手段と前記信号検出回路とが電気的
に接続され、また、前記光走査型プローブが前記制御装
置からはずされたとき、少なくとも前記制御装置内の前
記点光源の駆動を停止させることを特徴とする付記項2
−1に記載の光走査装置。
【0156】(付記項2−4) 前記光走査型プローブ
は、点光源と、前記点光源からの光を前記体腔内の被検
部位の焦点面上で走査させる光走査手段と、前記被検部
位からの反射光を受け取る一方の端部を有するシングル
モードファイバと、前記点光源からの前記光を前記被検
部位に合焦させると共に、前記被検部位からの反射光を
集光して前記シングルモードファイバの前記一方の端部
上に合焦させる光学系と、前記制御装置に接続可能なコ
ネクタとを有し、前記制御装置は、前記被検部位からの
前記反射光を前記シングルモードファイバより受け取り
導光する導光手段と、前記導光手段により導光された前
記反射光を検出し電気信号に変換する反射光検出手段
と、前記点光源を電気的に駆動する点光源駆動手段と、
前記光走査手段を電気的に駆動する光走査駆動手段と、
を有し、前記光走査型プローブが、前記コネクタで前記
制御装置に接続されると、前記シングルモードファイバ
と前記導光手段とが光学的に接続され、さらに、前記光
走査手段前記光走査駆動手段とが電気的に接続されると
共に、前記点光源と前記点光源駆動手段とが電気的に接
続され、また、前記光走査型プローブが前記制御装置か
らはずされたとき、少なくとも前記制御装置内の前記点
光源の駆動を停止させることを特徴とする付記項2−1
に記載の光走査装置。
【0157】(付記項2−5) 前記光走査型プローブ
が前記制御装置からはずされたとき、前記制御装置内の
前記点光源以外に、前記制御装置内の前記光走査駆動手
段の駆動も停止させることを特徴とする付記項2−2に
記載の光走査装置。
【0158】(付記項2−6) 前記光走査型プローブ
が前記制御装置からはずされたとき、前記制御装置内の
前記点光源以外に、前記光走査型プローブ内の前記反射
光検出手段の前記電気信号の出力と、前記制御装置内の
前記光走査駆動手段の駆動も停止させることを特徴とす
る付記項2−3に記載の光走査装置。
【0159】(付記項2−7) 前記光走査型プローブ
が前記制御装置からはずされたとき、前記制御装置内の
前記点光源以外に、前記制御装置内の前記光走査駆動手
段の駆動も停止させることを特徴とする付記項2−4に
記載の光走査装置。
【0160】(付記項2−8) 前記光走査手段は、前
記シングルモードファイバから光を受け取り、第1方向
に光を走査する第1マイクロマシンスキャニングミラー
と、前記第1ミラーから光を受け取り、第1方向と直交
する第2方向に光を走査する第2マイクロマシンスキャ
ニングミラーとから構成されることを特徴とする付記項
2−2、2−3または2−4に記載の光走査装置。
【0161】(付記項3−1) 体腔内に挿入可能な挿
入部に設けられた点光源から照射される光を光走査する
光走査型プローブと、前記光走査型プローブが着脱自在
に設けられ、前記光走査型プローブの検出信号を受信す
る制御装置とを有する光走査装置において、前記光走査
型プローブは、前記挿入部を有し水密的に構成されたプ
ローブ本体と、前記プローブ本体と水密的に固着され、
それ自体も水密的に構成された前記制御装置に接続可能
なコネクタとからなることを特徴とする光走査装置。
【0162】(付記項3−2) 前記挿入部は、レーザ
光源と、前記レーザ光を被検部位に合焦させる光学系
と、前記レーザ光を前記被検部位の焦点面上で走査させ
る光走査手段と、前記被検部位から反射された反射光を
検出する検出手段とを内蔵して構成されることを特徴と
する付記項3−1に記載の光走査装置。
【0163】(付記項3−3) 前記レーザ光源は、半
導体レーザであることを特徴とする付記項3−2に記載
の光走査装置。
【0164】(付記項3−4) 前記レーザ光源、前記
光学系及び前記光走査手段を前記挿入部の先端に内蔵し
たことを特徴とする付記項3−2に記載の光走査装置。
【0165】(付記項3−5) 前記検出手段を前記挿
入部の先端に内蔵したことを特徴とする付記項3−2に
記載の光走査装置。
【0166】(付記項3−6) 前記反射光を、前記レ
ーザ光源からのレーザの光路より分離する分離手段を設
けたことを特徴とする付記項3−2に記載の光走査装
置。
【0167】(付記項3−7) 前記分離された前記反
射光は、前記挿入部内を通る光ファイバによって体外に
導かれ、体外に設けられた光検出手段で検出されること
を特徴とする付記項3−6に記載の光走査装置。
【0168】(付記項3−8) 前記光走査手段は、前
記レーザ光を2次元走査可能な少なくとも一つのスキャ
ンミラーを有することを特徴とする付記項3−2に記載
の光走査装置。
【0169】(付記項3−9) 前記光走査手段は、前
記レーザ光を前記2次元走査手段の他に、2次元走査面
の垂直方向に走査する垂直走査手段を有することを特徴
とする付記項3−8に記載の光走査装置。
【0170】(付記項3−10) 前記光走査手段は静
電気力で駆動されることを特徴とする付記項3−8に記
載の光走査装置。
【0171】(付記項3−11) 前記光走査手段はジ
ンバル構造で持つことを特徴とする付記項3−8に記載
の光走査装置。
【0172】(付記項3−12) 前記光走査手段は磁
気力で駆動されることを特徴とする付記項3−8に記載
の光走査装置。
【0173】(付記項3−13) 前記光学系は、少な
くとも一つのレンズからなることを特徴とする付記項3
−2に記載の光走査装置。
【0174】(付記項3−14) 前記光学系は、少な
くとも一つの凹面ミラーからなることを特徴とする付記
項3−2に記載の光走査装置。
【0175】(付記項3−15) 前記光学系は、少な
くとも一つの回折素子からなることを特徴とする付記項
3−2に記載の光走査装置。
【0176】(付記項3−16) 前記分離手段は、ビ
ームスプリッタであることを特徴とする付記項3−6に
記載の光走査装置。
【0177】(付記項3−17) 前記ビームスプリッ
タは、ダイクロックミラーであることを特徴とする付記
項3−16に記載の光走査装置。
【0178】(付記項3−18) 前記ビームスプリッ
タは、レーザ光源の出射面に設けられていることを特徴
とする付記項3−16に記載の光走査装置。
【0179】(付記項3−19) 前記分離手段は、前
記レーザ光と前記反射光に光路差が生じるように分離す
ることを特徴とする付記項3−6に記載の光走査装置。
【0180】(付記項3−20) 前記反射光の光路に
前記検知手段を設けたことを特徴とする付記項3−19
に記載の光走査装置。
【0181】(付記項3−21) 前記検出手段は、フ
ォトダイオードであることを特徴とする付記項3−2に
記載の光走査装置。
【0182】(付記項3−22) 前記レーザ光源は半
導体レーザ光源で、前記フォトダイオードと前記半導体
レーザ光源が同一半導体上に設けられていることを特徴
とする付記項3−21に記載の光走査装置。
【0183】(付記項3−23) 前記検出手段は、フ
ォトトランジスタであることを特徴とする付記項3−2
に記載の光走査装置。
【0184】(付記項3−24) 前記レーザ光源は半
導体レーザ光源で、前記フォトトランジスタと前記半導
体レーザ光源が同一半導体上に設けられていることを特
徴とする付記項3−22に記載の光走査装置。
【0185】(付記項3−25) 前記検出手段の前面
に、ピンホールを設けたことを特徴とする付記項3−2
に記載の光走査装置。
【0186】(付記項3−26) 前記光走査装置は内
視鏡であることを特徴とする付記項3−2ないし3−2
5のいずれか1つに記載の光走査装置。
【0187】(付記項3−27) 前記点光源と、前記
光走査手段と、前記検出手段とが、中空のパイプと、前
記パイプを前側からふさぐ前フタと、前記パイプを後側
からふさぐ後フタと、前記レンズから前記光を照射する
透明な窓とで、水密に固定されることを特徴とする付記
項3−2に記載の光走査装置。
【0188】(付記項3−28) 水密キャップが、前
記コネクタに水密に着脱可能に設けられていることを特
徴とする付記項3−1に記載の光走査装置。
【0189】(付記項3−29) 前記制御装置は、少
なくとも異なる2種類以上の光走査型プローブを制御可
能であることを特徴とする付記項3−1に記載の光走査
装置。
【0190】(付記項3−30) 前記コネクタを前記
制御装置に接続したとき、前記コネクタが接続されてい
るプローブの種類を検知可能な、プローブ検知手段を設
けたことを特徴とする付記項3−1に記載の光走査装
置。
【0191】(付記項4−1) 体腔内に挿入可能な挿
入部に設けられた点光源から照射される光を光走査する
光走査型プローブと、前記光走査型プローブが着脱自在
に設けられ、前記光走査型プローブの検出信号を受信す
る制御装置とを有する光走査装置において、前記光走査
型プローブが前記制御装置からはずれたとき、少なくと
も前記点光源の駆動を停止させることを特徴とする光走
査装置。
【0192】(付記項4−2) 前記挿入部は、レーザ
光源と、前記レーザ光を被検部位に合焦させる光学系
と、前記レーザ光を前記被検部位の焦点面上で走査させ
る光走査手段と、前記被検部位から反射された戻り光を
検出する検出手段とを内蔵して構成されることを特徴と
する付記項4−1に記載の光走査装置。
【0193】(付記項4−3) 前記光走査型プローブ
が前記制御装置に接続されているとき、前記コネクタが
前記制御装置から外れたとき、前記点光源以外に、前記
光走査手段と、前記検出手段の駆動も停止させることを
特徴とする付記項4−1に記載の光走査装置。
【0194】(付記項4−4) 前記コネクタが前記制
御装置に接続されたときは、前記点光源を駆動すること
を特徴とする付記項4−4に記載の光走査装置。
【0195】(付記項5−1) (付記項5) 体腔内に挿入可能な挿入部に光走査手段
を有する光走査型プローブと、前記光走査型プローブが
着脱自在に設けられ、光走査型プローブの検出信号及び
/または検出光を受ける制御装置とを備えたことを特徴
とする光走査装置。
【0196】(付記項6−1) 被検体に低干渉性の
光を照射し、被検体において散乱した光の情報から被検
体の断層画像を構築する光イメージング装置用の光走査
プローブ装置であって、内視鏡の鉗子チャンネル内に挿
通可能であり先端が開口していない細長く柔軟な筒状の
シースであって、少なくともその先端側の側面は光透過
性のよい素材で成形されているシースと、前記シースの
内部に長手方向の軸まわりに回転自在に設けられている
柔軟なコイルシャフトと、前記コイルシャフトに回転力
を付与する回転駆動装置と、前記柔軟なコイルシャフト
の内部に設けられているシングルモードファイバで形成
され、その基端部および先端部はそれぞれ前記コイルシ
ャフトの基端および先端に固定されており、低干渉光源
から出射される光がその基端に入射されるように設けら
れているファイバと、前記ファイバの先端からある特定
の距離をおいて設けられており前記ファイバから出射さ
れる光を特定の位置に集光させるためのレンズと、出射
光の光路を変更するために前記レンズに固定されている
出射光路変更手段と、からなり、前記回転駆動装置と前
記シースとが着脱自在に構成されることを特徴とする光
走査プローブ装置。
【0197】(付記項6−2) 前記回転駆動装置は、
前記シースの着脱状態を検知する着脱状態検知手段を有
し、前記着脱状態検知手段は、前記シースの着脱状態を
表示する表示モード信号を、前記低干渉性の光を照射す
る光源装置及び/または前記回転駆動装置を制御する回
転制御装置に供給するように電気的に接続されており、
前記モード信号に応じて前記光源装置の出力及び/また
は前記回転駆動装置の動作を制御することを特徴とする
付記項6−1に記載の光走査プローブ装置。
【0198】(付記項6−3) 前記着脱状態検知手段
から前記シースが装着されていない旨を示す前記モード
信号が送信された場合には、前記回転駆動装置が動作不
能な状態となるように制御することを特徴とする付記項
6−2に記載の光走査プローブ装置。
【0199】(付記項6−4) 前記着脱状態検知手段
から前記シースが装着されていない旨を示す前記モード
信号が送信された場合には、前記光源装置の出力が停止
されるように制御することを特徴とする付記項6−2に
記載の光走査プローブ装置。
【0200】(付記項6−5) 前記回転駆動装置に
は、非回転部と回転部とで光を伝送可能な結合を行う光
ロータリージョイントが介挿されており、前記光ロータ
リージョイントと前記シースとが着脱自在に設けられて
いることを特徴とする付記項6−1に記載の光走査プロ
ーブ装置。
【0201】(付記項6−6) 前記シースは、前記回
転駆動装置とのコネクタ一部に防水キャップを嵌め合わ
せることで、水密・気密な状態となることを特徴とする
付記項6−1に記載の光走査プローブ装置。
【0202】
【発明の効果】以上説明したように本発明の光走査装置
によれば、コネクタをプローブ本体と水密的に固着し、
それ自体も水密的に構成しているのでで、漏水による不
具合を解消することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る光走査型プロ
ーブの構成を示す構成図
【図2】図1の電気コネクタの構成を示す断面図
【図3】図1の先端構成部の構成を示す構成図
【図4】図3の光学ユニットの構成を示す構成図
【図5】図4の光学ユニットのスキャンミラーの製造方
法を説明する第1の説明図
【図6】図4の光学ユニットのスキャンミラーの製造方
法を説明する第2の説明図
【図7】図1の制御部の構成を示す構成図
【図8】図4の光学ユニットによる焦点走査を説明する
説明図
【図9】図1の電気コネクタの変形例の構成を示す断面
【図10】本発明の第2の実施の形態に係る光走査装置
の構成を示す構成図
【図11】図10の先端部の構成を示す構成図
【図12】図10の先端部の断面を示す断面図
【図13】図10の電気・光コネクタの構成を示す断面
【図14】図10の電気・光コネクタの変形例の構成を
示す断面図
【図15】本発明の第3の実施の形態に係る光断層画像
装置(光イメージング装置)の構成を示す構成図
【図16】図15の光走査プローブが挿通される内視鏡
を示す図
【図17】図15の光走査プローブの後端側部分を示す
断面図
【図18】図15の光走査プローブの全体構成を示す断
面図
【図19】図15の光走査プローブに取り付けられる防
水キャップを説明する説明図
【図20】図15の光走査プローブの前端側部分を示す
断面図
【符号の説明】
1…光走査型プローブ 2…先端構成部 3…制御部 4…チューブ 11…電気コネクタ 12…本体 13…接続部 14、19…ピン 15…電気ケーブル 16a、16b…穴 17…フォトダイオード 18…フォトトランジスタ 20…出力部 21…本体 22…光学ユニット 23…Z軸アクチュエータ 24…窓部 31…シリコン基板 32…プレート 33…スペーサ 34…上板 35…半導体レーザ 36…スキャンミラー 37…ミラー部 38…回折格子レンズ 39…焦点 40…ハーフミラー膜 41…フォトダイオード 42…ランド部 43…ケーブル 52…くぼみ 53a…黒塗り部 54a、54b、54c、54d…電極 55a、55b、55c、55d…配線 56、57…ヒンジ部 64…レーザ駆動回路 65…XY駆動回路 66…Z駆動回路 67…増幅回路 68…画像処理回路 69…モニタ 70…記録装置 71…コネクタ接続検出回路

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 体腔内に挿入可能な挿入部に光走査手段
    を有する光走査型プローブと、前記光走査型プローブが
    着脱自在に設けられ前記光走査型プローブの検出信号お
    よび/または検出光を受ける制御装置とを有する光走査
    装置において、 前記光走査型プローブは、 前記挿入部を有し水密的に構成されたプローブ本体と、 前記プローブ本体と水密的に固着され、それ自体も水密
    的に構成された前記制御装置に接続可能なコネクタとか
    らなることを特徴とする光走査装置。
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