JPH11335177A - Production of ceramic powder - Google Patents

Production of ceramic powder

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JPH11335177A
JPH11335177A JP10143752A JP14375298A JPH11335177A JP H11335177 A JPH11335177 A JP H11335177A JP 10143752 A JP10143752 A JP 10143752A JP 14375298 A JP14375298 A JP 14375298A JP H11335177 A JPH11335177 A JP H11335177A
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ceramic
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ceramic powder
powder
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賢二 斉藤
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正治 冨沢
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To produce a ceramic raw material powder containing a uniformly dispersed ceramic additive by effectively suppressing a reduction in pH when drying a ceramic slurry and preventing the segregation of the dispersion of the additive in the ceramic principal component raw material powder in the ceramic raw material powder. SOLUTION: This ceramic powder contains ceramic particles having a perovskite type structure represented by ABO3 such as BaTiO3 used as a principal raw component of the ceramic powder, a difference in the ratio of density of an element A to an element B of the ABO3 between the particle surfaces and the particle central part and further a lower density of the element A on the surface than that in the interior. The ratio of the density of the element A to the element B on the surfaces of the ceramic particles having the perovskite type structure is preferably lower at a depth up to at least 5% of the particle diameter than that of the central part by >=5/1,000. The ceramic particles having the perovskite type structure contain the element A more sparsely on the surface than in the center of the particles and thereby have unevennesses on the surface.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ABO3 で表され
るペロブスカイト型構造セラミック粒子を含むセラミッ
ク粉末とその製造方法に関し、特にセラミック主原料成
分としてABO3で表されるペロブスカイト型構造セラ
ミック粒子、このセラミック粒子の製造方法及び同ペロ
ブスカイト型構造セラミック粒子の表面に添加物成分を
コーティングしたセラミック粉末の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic powder containing perovskite-type structural ceramic particles represented by ABO 3 and a method for producing the same. More particularly, the present invention relates to a perovskite-type structural ceramic particle represented by ABO 3 as a main ceramic component. The present invention relates to a method for producing the ceramic particles and a method for producing a ceramic powder in which an additive component is coated on the surface of the perovskite-type structured ceramic particles.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、積層セラミックコンデンサなど
に使用されるBaTiO3 等のベロブスカイト型構造セ
ラミックを主成分とする誘電体磁器は、BaTiO3
Mg、Mn、Ca、Sr等を添加し、その特性の改善を
図っている。より具体的には、セラミック原料粉末にセ
ラミック添加物を添加する目的は大きく分けて二つあ
る。一つは温度特性の改善で、このような目的で添加さ
れる添加剤としては、母材となる誘電体のキュリー点を
変化させるシフタやキュリー点付近の誘電率を抑制する
デフ°レッサ等として作用する金属化合物をあげること
ができる。このような添加物はセラミックの電気的特性
を著しく変化させるものとなる。もう一つは、複合粉末
の低温での焼結性を向上させることで、このような目的
で添加される添加剤としては、シリカ等の低融点化合物
をあげることができる。
2. Description of the Related Art For example, dielectric ceramics mainly composed of a perovskite-type structural ceramic such as BaTiO 3 used for a multilayer ceramic capacitor, etc. are prepared by adding Mg, Mn, Ca, Sr, etc. to BaTiO 3. The characteristics are improved. More specifically, the purpose of adding the ceramic additive to the ceramic raw material powder is roughly divided into two purposes. One is to improve the temperature characteristics, and as additives to be added for such a purpose, there are a shifter that changes the Curie point of a dielectric material serving as a base material and a defresor that suppresses the dielectric constant near the Curie point. Working metal compounds can be mentioned. Such additives can significantly alter the electrical properties of the ceramic. The other is to improve the low-temperature sinterability of the composite powder. As an additive to be added for such a purpose, a low melting point compound such as silica can be used.

【0003】近年、積層セラミックコンデンサ等のセラ
ミクス電子部品は小型化、高性能化が著しい。例えば、
積層セラミックコンデンサの場合、小形化と大容量化が
著しい。これに伴い、積層セラミックコンデンサの素地
を形成する誘電体層の厚みが著しく薄くなってきてい
る。このような状況下において、誘電体層の中の添加物
成分の分散が不均一であると、誘電体層の電気的特性が
局部的に異なって不均一化し、積層セラミックコンデン
サの温度特性、品質、信頼性を著しく低下させる。この
ため、積層セラミックコンデンサの特性、品質、信頼性
を保持するためには、誘電体層の中の添加物成分の均一
な分散が不可欠である。
In recent years, ceramic electronic components such as multilayer ceramic capacitors have been significantly reduced in size and performance. For example,
In the case of a multilayer ceramic capacitor, the size and the capacity are remarkably reduced. Along with this, the thickness of the dielectric layer forming the base of the multilayer ceramic capacitor has been significantly reduced. Under such circumstances, if the dispersion of the additive components in the dielectric layer is non-uniform, the electrical characteristics of the dielectric layer are locally different and non-uniform, and the temperature characteristics and quality of the multilayer ceramic capacitor are reduced. , Significantly lowering the reliability. Therefore, in order to maintain the characteristics, quality, and reliability of the multilayer ceramic capacitor, it is essential to uniformly disperse the additive components in the dielectric layer.

【0004】従来、このような誘電体磁器を製造するた
めには、主原料成分粉末と添加成分粉末とを湿式混合に
することによって、前記主原料成分粉末に対し、添加物
成分粉末を分散していた。この方法は主原料成分粉末と
添加物成分粉末とを、酸化物や炭酸化物の原料粉末とし
て分散媒に添加し、これを粉砕メディアと共に湿式混合
するものである。
Conventionally, in order to manufacture such a dielectric porcelain, the main ingredient component powder and the additive ingredient powder are wet-mixed to disperse the additive ingredient powder in the main ingredient component powder. I was According to this method, a main raw material component powder and an additive component powder are added as a raw material powder of an oxide or a carbonate to a dispersion medium, and wet-mixed with a pulverizing medium.

【0005】しかしこの方法では機械的な分散のため分
散装置及びメディア径によって自ずと分散限界が決ま
り、ミクロンレベルでの均一な混合は不可能であった。
分散状態が不均一になると、個々の主原料成分粒子に対
する添加物成分のドーピング効果に差が生じ、焼結体と
したときの不均一性が高まり、電気特性、信頼性、機械
的強度の低下をもたらす。そこでさらなる高分散化のた
め、添加物を溶媒に可溶な形で添加し、主原料表面で析
出させるコーティング法が検討されてきた。例えば主原
料成分粉末に加水分解可能な金属有機化合物を添加し、
有機溶媒中でコーティングを行う方法が特開平8−87
039号公報に開示されている。
However, in this method, because of mechanical dispersion, the dispersion limit is naturally determined by the dispersion device and the diameter of the medium, and uniform mixing at the micron level is impossible.
When the dispersion state becomes non-uniform, a difference occurs in the doping effect of the additive component on the individual main raw material component particles, the non-uniformity of the sintered body increases, and the electrical characteristics, reliability, and mechanical strength decrease. Bring. Therefore, in order to further increase the dispersion, a coating method in which an additive is added in a form soluble in a solvent and deposited on the surface of the main raw material has been studied. For example, adding a hydrolyzable metal organic compound to the main raw material component powder,
A method of performing coating in an organic solvent is disclosed in JP-A-8-87.
No. 039.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとしている課題】しかし、混合、分
散中のセラミックスラリのpH調整にアンモニア等を用
いる場合、分散後の加熱乾燥時にアンモニアが蒸発し、
セラミックスラリのpHが低下し、化学吸着のみにより
コーティングされた添加物が再溶解して、添加物の分散
性が悪化することがあった。またコーティングを行った
後に分散を行うと、コーティング層の剥離強度が弱いた
めコーティング層が容易に欠落し分散を悪化させるとい
う課題があつた。
However, when ammonia or the like is used to adjust the pH of the ceramic slurry during mixing and dispersion, the ammonia evaporates during heating and drying after the dispersion,
In some cases, the pH of the ceramic slurry decreased, and the additive coated only by chemisorption redissolved, resulting in poor dispersibility of the additive. In addition, when the dispersion is performed after the coating, the peel strength of the coating layer is weak, so that the coating layer is easily missing and the dispersion is deteriorated.

【0007】そこで、本発明は前記従来のセラミック原
料粉末の製造方法の課題に鑑み、セラミックスラリ乾燥
時におけるpHの低下を有効に抑え、セラミック原料粉
末におけるセラミック主成分原料粉末に対する添加剤の
分散の偏析を防止し、添加剤が均一に分散したセラミッ
ク原料粉末を得ることができるセラミック粉末とその製
造方法を提供することを目的とする。
Accordingly, the present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the conventional method for producing a ceramic raw material powder, and effectively suppresses a decrease in pH during drying of ceramic slurry, and disperses the additive in the ceramic raw material powder with respect to the ceramic main raw material powder. An object of the present invention is to provide a ceramic powder capable of preventing segregation and obtaining a ceramic raw material powder in which additives are uniformly dispersed, and a method for producing the same.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明では、ABO3 で表されるペロブスカイト型
構造セラミック粒子の表面に均一に添加剤成分を被覆す
るため、ペロブスカイト型構造セラミック粒子の表面と
粒子内部とで前記A元素とB元素の密度の比(以下「A
/B比」という。)が異なり、粒子表面が粒子内部に比
べてA元素の密度が小さいこと、すなわちAサイトプア
になるようなペロブスカイト型構造セラミック粒子の構
造とし、これをセラミック主原料粉末として使用するも
のである。
In order to achieve the above object, the present invention relates to a method for uniformly coating an additive component on the surface of a perovskite-type structural ceramic particle represented by ABO 3. Of the density of the element A and the density of the element B (hereinafter referred to as “A
/ B ratio ”. ), The particle surface has a smaller density of the element A than the inside of the particle, that is, a structure of a perovskite-type structure ceramic particle that forms an A site pore, and this is used as a ceramic main raw material powder.

【0009】すなわち、本発明によるセラミック粉末
は、ABO3 で表されるペロブスカイト型構造セラミッ
ク粒子を含むセラミック粉末において、前記ペロブスカ
イト型構造セラミック粒子の表面と粒子中心部とで前記
ABO3 のA元素とB元素の密度の比が異なり、表面が
内部に比べてA元素の密度が小さいことを特徴とするも
のである。ペロブスカイト型構造のセラミック粒子の表
面のA元素とB元素の密度の比は、少なくとも粒径の5
%までの深さにおいて、中心部より5/1000以上小
さいことが好ましい。このようなペロブスカイト型構造
のセラミック粒子の表面は、粒子の中心に比べてA元素
が疎らであって、これにより表面に凹凸を有する。
[0009] That is, the ceramic powder according to the invention, in a ceramic powder comprising a perovskite-type structure ceramic particles represented by ABO 3, and A elements wherein at the surface and the particle center portion of the perovskite-type structure ceramic particles ABO 3 It is characterized in that the density ratio of the element B is different and the density of the element A is smaller on the surface than on the inside. The ratio between the density of the A element and the density of the B element on the surface of the ceramic particles having a perovskite structure is at least 5% of the particle size.
%, It is preferably at least 5/1000 smaller than the central part. The surface of the ceramic particles having such a perovskite structure has an element A which is less sparse than the center of the particles, thereby having irregularities on the surface.

【0010】このようなセラミック粉末では、その主原
料成分であるペロブスカイト粒子の表面が活性化され、
凸凹による表面積が増大し、添加物成分の物理的吸着が
促進される。このため、コーティング後の機械的剥離強
度を増大させることが出来る。またこのようなペロブス
カイト型構造セラミック粒子では、その表面におけるA
元素の密度が小さく、希薄であるため、添加物成分の化
学的な吸着が促進され、また表面状態が凸凹になること
によつて物理的な吸着がより良好となる。これによっ
て、より強固な添加物成分のコーティングが可能とな
り、コーティング層の剥離強度が向上し、乾燥工程等で
の添加物成分の分散悪化を防ぐことが出来、分散性が改
善される。
In such a ceramic powder, the surface of perovskite particles, which is a main raw material component, is activated,
The surface area due to the unevenness is increased, and the physical adsorption of the additive component is promoted. For this reason, the mechanical peel strength after coating can be increased. Further, in such perovskite-type structured ceramic particles, A
Since the density of the element is small and the element is diluted, chemical adsorption of the additive component is promoted, and the physical adsorption becomes better due to the uneven surface state. As a result, a stronger additive component can be coated, the peel strength of the coating layer can be improved, and the dispersibility of the additive component in a drying step or the like can be prevented from being deteriorated, and the dispersibility can be improved.

【0011】このようなペロブスカイト型構造セラミッ
ク粒子を含むセラミック粉末を製造する本発明による製
造方法は、ペロブスカイト型構造セラミック粒子の表面
を化学的にエッチングして同粒子表面の前記ABO3
A元素を除去することを特徴とするものである。また、
他の製造方法は、ペロブスカイト型構造セラミック粒子
の表面を機械的に摩擦し、その表面の前記ABO3 のA
元素を除去することを特徴とするものである。
According to the method of the present invention for producing a ceramic powder containing such perovskite-type structured ceramic particles, the surface of the perovskite-type structured ceramic particles is chemically etched to remove the A element of ABO 3 on the surface of the particles. It is characterized by being removed. Also,
Another manufacturing method involves mechanically rubbing the surface of the perovskite-type structured ceramic particles and causing the ABO 3
It is characterized by removing elements.

【0012】このようなセラミック粉末の製造方法にお
いて、化学的エッチングまた機械的な摩擦の前後におけ
るペロブスカイト型構造セラミック粒子の比表面積の変
化率が1.5〜3.0倍であることが好ましい。さら
に、ペロブスカイト型構造セラミック粒子を含むセラミ
ック粉末に添加剤を分散させたセラミック粉末は、表面
のA元素が希薄な前記ペロブスカイト型構造セラミック
粒子を分散媒に分散してセラミックスラリとすると共
に、セラミックスラリ中に添加物を添加し、この添加物
成分を前記ペロブスカイト型構造セラミック粒子の表面
にコーティングし、その後セラミックスラリを乾燥し、
セラミック粒子を析出させることにより得られる。
In such a method for producing a ceramic powder, it is preferable that the change rate of the specific surface area of the perovskite-type ceramic particles before and after chemical etching or mechanical friction is 1.5 to 3.0 times. Furthermore, ceramic powder obtained by dispersing an additive in ceramic powder containing perovskite-type structural ceramic particles is dispersed in a dispersion medium into the ceramic powder by dispersing the perovskite-type structural ceramic particles in which the element A on the surface is diluted. An additive is added therein, and the additive component is coated on the surface of the perovskite-type structure ceramic particles, and then the ceramic slurry is dried,
It is obtained by precipitating ceramic particles.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について、具体的且つ詳細に説明する。
既に述べた通り、本発明によるセラミック粉末に含まれ
る主原料成分粉末は、例えば、BaTiO3 、PbTi
3 、PbZrO3 、YFeO3 のように、ABO3
表されるペロブスカイト型構造セラミック粒子の表面に
均一に添加剤を成分を被覆し、分散させるため、主原料
成分粉末であるペロブスカイト型構造セラミック粒子の
表面と同粒子内部との前記A元素とB元素の濃度を比較
した場合、粒子表面が粒子内部よりA元素の濃度が希薄
であること、すなわちAサイトプアになるようなペロブ
スカイト型構造セラミック粒子を使用する。
Embodiments of the present invention will now be described specifically and in detail with reference to the drawings.
As described above, the main raw material component powder contained in the ceramic powder according to the present invention is, for example, BaTiO 3 , PbTi
In order to uniformly coat and disperse an additive on the surface of perovskite-type structural ceramic particles represented by ABO 3 such as O 3 , PbZrO 3 , and YFeO 3 , a perovskite-type structural ceramic which is a main raw material component powder is used. When the concentration of the element A and the concentration of the element B are compared between the surface of the particle and the inside of the particle, the particle surface has a lower concentration of the element A than the inside of the particle, that is, a perovskite-type structural ceramic particle having an A site pore. Use

【0014】このようなペロブスカイト粒子を作製する
ために、一つには主原料表面を硝酸等でエッチングする
ことによつて化学的な表面改質を行う。これにより主原
料表面に微細な凹凸をつけることが出来、主原料表面を
活性化させるため、添加物成分を前記ペロブスカイト型
構造セラミック粒子の表面にコ−テイングする際、化学
的な吸着だけではなく、物理的な吸着を促進し、コーテ
ィング後の機械的剥離強度を向上させることが出来る。
In order to produce such perovskite particles, the surface of the main raw material is chemically modified by etching the surface with nitric acid or the like. Thereby, fine irregularities can be formed on the surface of the main raw material, and when the additive component is coated on the surface of the perovskite-type structural ceramic particles in order to activate the surface of the main raw material, not only chemical adsorption but also chemical adsorption. It promotes physical adsorption and improves mechanical peel strength after coating.

【0015】また通常A元素は、水に溶けやすい性質が
あるため、エッチングによつて粒子表面からA元素が溶
出し、ペロブスカイト粒子の表面におけるA元素の濃度
が希薄な状態となり、化学的な吸着が促進されるため、
コーティングの強度が向上する。また前記のように、粒
子の表面におけるA元素の濃度が希薄なペロブスカイト
粒子を作製する他の手段としては、コーティング前の主
原料であるペロブスカイト粒子を、予め機械的に粉砕す
ることにより、物理的な表面改質を行うことである。つ
まりセラミック主原料成分である前記ペロブスカイト粒
子の新生面を増大させ、表面を凸凹にする。
In general, since element A has a property of being easily soluble in water, the element A is eluted from the particle surface by etching, and the concentration of element A on the surface of the perovskite particles becomes low, resulting in chemical adsorption. Is promoted,
The strength of the coating is improved. Further, as described above, as another means for producing a perovskite particle having a low concentration of the element A on the surface of the particle, a perovskite particle which is a main raw material before coating is mechanically pulverized in advance so that physical Is to perform a good surface modification. In other words, a new surface of the perovskite particles, which is a main component of the ceramic, is increased, and the surface is made uneven.

【0016】これにより主原料成分であるペロブスカイ
ト粒子の表面が活性化され、物理的吸着が促進される。
このため、コーティング後の機械的剥離強度を増大させ
ることが出来る。また機械的粉砕により、ペロブスカイ
ト粒子の表面からA元素が溶出し、ペロブスカイト粒子
の表面において、A元素が希薄な状態となり、化学吸着
が促進される。このため、コーティングの強度が向上す
る。
This activates the surface of the perovskite particles, which are the main raw material components, and promotes physical adsorption.
For this reason, the mechanical peel strength after coating can be increased. Further, by mechanical pulverization, the element A is eluted from the surface of the perovskite particles, and the element A is diluted on the surface of the perovskite particles, thereby promoting chemical adsorption. For this reason, the strength of the coating is improved.

【0017】化学的エッチングまた機械的な摩擦の前後
におけるペロブスカイト型構造セラミック粒子の比表面
積の変化率は、1.5〜3.0倍となることが望まし
い。そして、このような化学的エッチングまた機械的な
摩擦の後におけるペロブスカイト型構造セラミック粒子
の表面のA/B比は、少なくとも粒径の5%までの深さ
において、中心のA/B比より5/1000以上小さい
ことが好ましい。
It is desirable that the rate of change of the specific surface area of the perovskite-type structured ceramic particles before and after chemical etching or mechanical friction is 1.5 to 3.0 times. The A / B ratio of the surface of the perovskite-type structured ceramic particles after such chemical etching or mechanical friction is at least 5% of the particle size, more than 5% of the central A / B ratio. It is preferably smaller than / 1000.

【0018】このようなペロブスカイト型構造セラミッ
ク粒子では、その表面におけるA元素の溶出により、添
加物の化学的な吸着が促進され、また表面状態が凸凹に
なることによつて物理的な吸着がより良好となる。これ
によって、より強固に添加剤成分をコーティングするこ
とが可能となり、コーティング層の剥離強度が向上す
る。このため、乾燥過程等での添加物成分の分散悪化を
防ぐことが出来、分散性が改善される。
In such perovskite-type structured ceramic particles, the chemical adsorption of the additive is promoted by elution of the element A on the surface thereof, and the physical adsorption is enhanced by the unevenness of the surface state. It will be good. This makes it possible to more strongly coat the additive component, and the peel strength of the coating layer is improved. For this reason, it is possible to prevent the dispersion of the additive component from being deteriorated in the drying process or the like, and the dispersibility is improved.

【0019】[0019]

【実施例】次に、本発明の実施例について、具体的数値
をあげて詳細に説明する。 (実施例1)チタン酸バリウムを主原料としたB特性積
層セラミックコンデンサによる実施例1とその比較例1
について説明する。まず、主成分原料成分粉末として、
純度99%以上のBaTiO3 を用いた。この主原料成
分粉末と3φジルコニアビーズとをボールミルに投入
し、これに2.0wt%の硝酸塩水溶液を添加し、l0
分間撹拌し、その後乾燥した。また比較例として、硝酸
塩水溶液を添加せず、BaTiO3 を純水でl0分間撹
伴し、その後乾燥した。BaTiO3 の撹拌前後の比表
面積を表1に示す。これより硝酸エッチング処理した実
施例1におけるBaTiO3 比表面積は、処理する前の
2.4倍になったことが分かる。他方、硝酸塩水溶液を
添加せず、純水で分散した比較例1におけるBaTiO
3 の比表面積は、ほとんど変化していなかった。
Next, embodiments of the present invention will be described in detail with specific numerical values. (Example 1) Example 1 and Comparative Example 1 using a B characteristic multilayer ceramic capacitor using barium titanate as a main raw material
Will be described. First, as the main component raw material component powder,
BaTiO 3 having a purity of 99% or more was used. This main raw material component powder and 3φ zirconia beads were charged into a ball mill, and a 2.0 wt% aqueous nitrate solution was added thereto.
Stirred for minutes and then dried. As a comparative example, BaTiO 3 was stirred with pure water for 10 minutes without adding a nitrate aqueous solution, and then dried. Table 1 shows the specific surface area of BaTiO 3 before and after stirring. This indicates that the specific surface area of BaTiO 3 in Example 1 subjected to the nitric acid etching treatment was 2.4 times that before the treatment. On the other hand, BaTiO in Comparative Example 1 dispersed in pure water without adding an aqueous nitrate solution was used.
The specific surface area of 3 was almost unchanged.

【0020】また、これらのBaTiO3 粒子の表面と
中心部のA/B比を透過電子顕微鏡とEDSによって調
べた。ここで粒子の中心部とは輪切りにしたBaTiO
3 粒子のほぼ中心付近のことであり、表面とは輪切りに
したBaTiO3 の粒子表面から約l0nm(粒径の約
5%)までの深さの部分を言う。このようにして測定し
たBaTiO3 粒子表面と中心部のA/B比の差を表1
に示す。
The A / B ratio between the surface and the center of the BaTiO 3 particles was examined by a transmission electron microscope and EDS. Here, the central part of the particles is BaTiO
The surface is substantially near the center of the three particles, and the surface refers to a portion having a depth of about 10 nm (about 5% of the particle diameter) from the surface of the BaTiO 3 sliced. Table 1 shows the difference between the A / B ratio between the surface of the BaTiO 3 particles and the central part measured in this manner.
Shown in

【0021】硝酸でエッチング処理した実施例1におけ
るBaTiO3 粒子では、その表面のA/B比が中心部
のA/B比よりmol比で6/1000だけ小さい、す
なわちそれだけ粒子表面におけるA元素の密度が粒子内
部に比べて小さく、A元素が希薄となっていることが分
かった。他方、硝酸でエッチング処理しなかった比較例
1におけるBaTiO3 粒子では、表面と中心部でA/
B比の差は殆ど認められなかつた。撹拌前後の比表面積
を表1に示す。
In the BaTiO 3 particles in Example 1 etched with nitric acid, the A / B ratio at the surface is smaller by 6/1000 in molar ratio than the A / B ratio at the center, that is, the A element on the particle surface It was found that the density was smaller than that inside the particles, and the element A was diluted. On the other hand, in the BaTiO 3 particles in Comparative Example 1 not subjected to the etching treatment with nitric acid, A / A
Little difference in B ratio was observed. Table 1 shows the specific surface area before and after stirring.

【0022】[0022]

【表1】 [Table 1]

【0023】次にこれらのセラミックスラリをそれぞれ
ボールミルで撹拌した後、酢酸Mg、酢酸Mn、酢酸C
aを溶かした溶液をボールミル中のセラミックスラリに
投入し、さらにこのセラミックスラリを3時間撹拌し
た。撹拌終了後、セラミックスラリ中にアンモニアを添
加し、pHの調整を行つた。このようにして作成したセ
ラミックスラリの溶出成分をICP(Inductiv
ely CoupledPlasma)にて分析した結
果を表2に示す。
Next, after stirring these ceramic slurry in a ball mill, Mg acetate, Mn acetate and C acetate were added.
The solution in which a was dissolved was put into a ceramic slurry in a ball mill, and the ceramic slurry was further stirred for 3 hours. After the stirring, ammonia was added to the ceramic slurry to adjust the pH. The eluted components of the ceramic slurry prepared in this manner are converted to ICP (Inductive).
Table 2 shows the results of the analysis using the above method (e.g., coupled Coupled Plasma).

【0024】[0024]

【表2】 [Table 2]

【0025】この結果、実施例1及び比較例1の何れに
おいても、セラミックスラリ中の添加成分の溶出はほと
んど検出されず、添加成分が主原料成分であるBaTi
3粒子の表面にほぼ完全にコーティングされているこ
とが分かる。次にこのようにして作成したセラミックス
ラリをスプレ乾燥機で乾燥した。乾燥して得られたセラ
ミック粉末における添加物成分の分散をEPMA(El
ectric Probe Micro Analys
is)カラーマッピングを用いて調ペた結果を表2に示
す。この表2に示されたように、硝酸溶液中で分散した
実施例1におけるセラミック粉末では、良好な分散状態
が得られた。これに対し、比較例1におけるセラミック
粉末では、添加物成分の偏析が確認され、分散状態は不
良であった。
As a result, in both Example 1 and Comparative Example 1, the elution of the additive component in the ceramic slurry was hardly detected, and the additive component was BaTi which was the main raw material component.
It can be seen that the surface of the O 3 particles is almost completely coated. Next, the ceramic slurry thus prepared was dried with a spray dryer. Dispersion of the additive component in the ceramic powder obtained by drying was determined by EPMA (El
electric Probe Micro Analysis
is) Table 2 shows the results obtained using color mapping. As shown in Table 2, in the ceramic powder in Example 1 dispersed in the nitric acid solution, a good dispersion state was obtained. On the other hand, in the ceramic powder of Comparative Example 1, segregation of the additive component was confirmed, and the dispersion state was poor.

【0026】これには、次のような原因が考えられる。
実施例1の場合も比較例1の場合も、添加成分がセラミ
ックスラリ中では添加成分がBaTiO3 の表面に完全
に吸着していた。しかし、純水中で分散した比較例1に
おけるセラミック粉末は、熱を加えられて乾燥する過程
において、アンモニアの蒸発によりpHが変化し、コー
ティング成分が溶出し、添加物成分の分散が悪化したも
のと思われる。一方硝酸中で分散した実施例1における
セラミック粉末は、BaTiO3 粒子の表面は酸で侵さ
れているため、その表面が凸凹となつて表面活性が上が
り、物理的吸着が促進されていることによるものと推測
される。加えて、BaTiO3 粒子の表面のA元素が希
薄になっていることから、化学的吸着が促進され、結果
的に強固なコーティングが可能となったと考えられる。
これにより、乾燥過程でのpHの変化によらず、コーテ
ィング層が剥離しないため、分散が良好だったと推測さ
れる。
This can be attributed to the following causes.
In both the case of Example 1 and the case of Comparative Example 1, the additive component was completely adsorbed on the surface of BaTiO 3 in the ceramic slurry. However, the ceramic powder in Comparative Example 1, which was dispersed in pure water, changed the pH due to the evaporation of ammonia in the process of applying heat and drying, the coating components eluted, and the dispersion of the additive components deteriorated. I think that the. On the other hand, in the ceramic powder in Example 1 dispersed in nitric acid, the surface of the BaTiO 3 particles is eroded by the acid, so that the surface becomes uneven, the surface activity increases, and the physical adsorption is promoted. It is supposed to be. In addition, since the element A on the surface of the BaTiO 3 particles is diluted, it is considered that chemical adsorption was promoted, and as a result, a strong coating was enabled.
It is presumed that the dispersion was good because the coating layer did not peel off irrespective of the change in pH during the drying process.

【0027】(実施例2)次に機械的なセラミック粉末
の粉砕の効果を確認するための実施例2とその比較例2
について説明する。前記と同様にして、主成分原料成分
粉末として、純度99%以上のBaTiO 3 を用い、こ
の主原料成分粉末と3φジルコニアビーズとをボールミ
ルに投入し純水中でl0時間撹拌し、その後乾燥した。
他方、これと比較するため、比較例2として、ジルコニ
アビーズを使用せずに、純水中にBaTiO3 を投入
し、同じ時間撹拌し、その後乾燥した。
Example 2 Next, a mechanical ceramic powder was used.
Example 2 and Comparative Example 2 for confirming the effect of crushing
Will be described. In the same manner as above,
BaTiO with a purity of 99% or more as powder ThreeUsing
Of the main raw material component powder and 3φ zirconia beads
And stirred in pure water for 10 hours, and then dried.
On the other hand, for comparison, zirconi
BaTiO in pure water without using beadsThreeInput
And stirred for the same time and then dried.

【0028】BaTiO3 の撹拌前後の比表面積を表3
に示す。これよりジルコニアビーズと共にボールミルで
撹拌した実施例2におけるBaTiO3 比表面積は、処
理する前の2.6倍になつたことが分かる。他方、ジル
コニアビーズを使用せずに、水だけで分散した比較例2
におけるBaTiO3 の比表面積は、ほとんど変化して
いなかった。
Table 3 shows the specific surface area of BaTiO 3 before and after stirring.
Shown in From this, it can be seen that the BaTiO 3 specific surface area in Example 2 in which the zirconia beads and the zirconia beads were stirred by a ball mill was 2.6 times that before the treatment. On the other hand, Comparative Example 2 in which water was dispersed without using zirconia beads.
The specific surface area of BaTiO 3 was almost unchanged.

【0029】また、前述の実施例1と同様にして、これ
らのBaTiO3 粒子の表面と内部のA/B比を透過電
子顕微鏡とEDSによって調べた。ジルコニアビーズと
共にボールミルで撹拌した実施例2におけるBaTiO
3 粒子は、その表面が中心部よりmol比で7/100
0だけA/B比が小さくなっており、粒子表面における
A元素の密度が粒子内部に比べて小さく、A元素が希薄
となっていることが分かった。他方、ジルコニアビーズ
を使用せずに、水だけで分散した比較例2におけるBa
TiO3 粒子では、表面と中心部でA/B比の差は殆ど
認められなかつた。撹拌前後の比表面積を表3に示す。
In the same manner as in Example 1, the A / B ratio between the surface and the inside of these BaTiO 3 particles was examined by a transmission electron microscope and EDS. BaTiO in Example 2 stirred in a ball mill with zirconia beads
The three particles have a surface whose molar ratio is 7/100 from the center.
It was found that the A / B ratio was reduced by 0, the density of the element A on the particle surface was smaller than that inside the particle, and the element A was diluted. On the other hand, Ba in Comparative Example 2 dispersed only with water without using zirconia beads was used.
In the TiO 3 particles, almost no difference in A / B ratio was observed between the surface and the center. Table 3 shows the specific surface area before and after stirring.

【0030】[0030]

【表3】 [Table 3]

【0031】次にこれらのセラミックスラリに酢酸M
g、酢酸Mn、酢酸Caを溶かした溶液を投入し、さら
にこのセラミックスラリをボールミル中で3時間撹拌し
た。撹拌終了後、セラミックスラリ中にアンモニアを添
加し、pHの調整を行つた。このようにして作製したセ
ラミックスラリの溶出成分をICPにて分析した結果を
表4に示す。
Next, acetic acid M was added to these ceramic slurry.
g, Mn acetate, and Ca acetate were dissolved therein, and the ceramic slurry was further stirred in a ball mill for 3 hours. After the stirring, ammonia was added to the ceramic slurry to adjust the pH. Table 4 shows the results of ICP analysis of the components eluted from the ceramic slurry thus prepared.

【0032】この結果、実施例2及び比較例2の何れに
おいても、セラミックスラリ中の添加成分の溶出はほと
んど検出されず、添加成分が主原料成分であるBaTi
3粒子の表面にほぼ完全にコーティングされているこ
とが分かる。次にこのようにして作成したセラミックス
ラリをスプレ乾燥機で乾燥した。乾燥して得られたセラ
ミック粉末における添加物成分の分散をEPMAカラー
マッピングを用いて調べた結果、表4に示すように、ジ
ルコニアビーズを用いて分散した実施例2におけるセラ
ミック粉末では、良好な分散状態が得られた。これに対
し、比較例2におけるセラミック粉末では、添加物成分
の偏析が確認され、分散状態は不良であった。
As a result, in both of Example 2 and Comparative Example 2, the elution of the additive component in the ceramic slurry was hardly detected, and the additive component was BaTi which was the main raw material component.
It can be seen that the surface of the O 3 particles is almost completely coated. Next, the ceramic slurry thus prepared was dried with a spray dryer. As a result of examining the dispersion of the additive component in the ceramic powder obtained by drying using EPMA color mapping, as shown in Table 4, the ceramic powder in Example 2 dispersed using zirconia beads showed good dispersion. The condition was obtained. On the other hand, in the ceramic powder of Comparative Example 2, segregation of the additive component was confirmed, and the dispersion state was poor.

【0033】[0033]

【表4】 [Table 4]

【0034】この原因は、予めジルコニアビーズでBa
TiO3 を撹拌しなかった比較例2におけるセラミック
粉末は、熱を加えられて乾燥する過程において、アンモ
ニアの蒸発によりpHが変化し、コーティング成分が溶
出し、分散が悪化したものと思われる。一方、予めジル
コニアビーズでBaTiO3 を撹拌した実施例2におけ
るセラミック粉末は、機械的粉砕によりBaTiO3
子の表面からA元素が溶出し、その表面が凸凹となつて
表面活性が上がり、物理的吸着が促進されていることに
よるものと推測される。加えて、BaTiO3 粒子の表
面のA元素が希薄になっていることから、化学的吸着が
促進され、結果的に強固なコーティングが可能となった
と考えられる。これにより、乾燥過程でのpHの変化に
よらず、コーティング層が剥離しないため、分散が良好
だったと推測される。
The reason for this is that the zirconia beads
It is considered that the pH of the ceramic powder in Comparative Example 2 in which TiO 3 was not stirred was changed in the course of heating and drying due to evaporation of ammonia, the coating components were eluted, and the dispersion was deteriorated. On the other hand, in the ceramic powder in Example 2 in which BaTiO 3 was previously stirred with zirconia beads, the element A was eluted from the surface of the BaTiO 3 particles by mechanical pulverization, the surface became uneven, and the surface activity was increased, and physical adsorption was observed. Is presumed to be promoted. In addition, since the element A on the surface of the BaTiO 3 particles is diluted, it is considered that chemical adsorption was promoted, and as a result, a strong coating was enabled. It is presumed that the dispersion was good because the coating layer did not peel off irrespective of the change in pH during the drying process.

【0035】(実施例3)次にセラミック粒子の表面改
質の効果を確認するための実施例3〜5とその比較例
3、4について説明する。まず硝酸の濃度を変えること
で、表5に示すように、主原料であるBaTiO 3 粒子
の比表面積と、その表面のA元素の濃度を変化させたも
のを作製し、これからセラミックスラリを得た。これら
BaTiO3 のセラミックスラリ粉末を、3φジルコニ
アビーズと共にボールミルに投入し、このセラミックス
ラリに酢酸Mg、酢酸Mn、酢酸Caを溶かした溶液を
添加した後、ボールミルで3時間撹拌した。撹拌終了
後、アンモニアを添加し、セラミックスラリのpHを調
整した。
Example 3 Next, the surface modification of ceramic particles
Examples 3 to 5 for confirming the effect of quality and comparative examples
3 and 4 will be described. First, change the concentration of nitric acid
As shown in Table 5, the main raw material BaTiO Threeparticle
Of the specific surface area and the concentration of element A on the surface
And a ceramic slurry was obtained from this. these
BaTiOThreeCeramic slurry powder with 3φ zirconi
It is put into a ball mill together with the beads and the ceramics
A solution of Mg acetate, Mn acetate, and Ca acetate
After the addition, the mixture was stirred with a ball mill for 3 hours. End of stirring
After that, ammonia was added to adjust the pH of the ceramic slurry.
It was adjusted.

【0036】[0036]

【表5】 [Table 5]

【0037】このようにして作製したセラミックスラリ
の溶出成分をICPにて分析した結果を表6に示す。こ
の表6から、どの場合も添加成分の溶出はほとんど検出
されず、添加成分がほぼ完全にコーティングされている
ことが分かる。次にこのようにして作成したセラミック
スラリをスプレ乾燥機で乾燥した。乾燥後のセラミック
粉末における添加物成分の分散をEPMAカラーマッピ
ングを用いて調べた結果を表6に示す。また、撹拌前後
のBaTiO3 の比表面積、その比及び得られたBaT
iO3 粒子末の表面と中心部とのA/B比を前記の表5
に示した。
The results of ICP analysis of the components eluted from the ceramic slurry thus prepared are shown in Table 6. From Table 6, it can be seen that the elution of the additive component was hardly detected in any case, and the additive component was almost completely coated. Next, the ceramic slurry thus prepared was dried with a spray dryer. The results of examining the dispersion of the additive component in the dried ceramic powder by using EPMA color mapping are shown in Table 6. Further, the specific surface area of BaTiO 3 before and after stirring, the ratio thereof, and the obtained BaT
Table 5 shows the A / B ratio between the surface and the center of the iO 3 particles.
It was shown to.

【0038】[0038]

【表6】 [Table 6]

【0039】比表面積の増加が1.2倍で、BaTiO
3 粒子の表面のA/B比が中心部に比べて3/l000
だけ小さな比較例3は、添加物成分の分散性が悪かっ
た。しかし比表面積の増加が1.5倍以上で、BaTi
3 粒子の表面のA/B比が中心部に比べて5/l00
0以上小さい実施例3では、添加物成分の分散性が良好
だった。
The specific surface area is increased by a factor of 1.2,
The A / B ratio of the surface of the three particles is 3/1000 compared to the center.
Comparative Example 3, which was only small, had poor dispersibility of the additive component. However, when the increase in specific surface area is 1.5 times or more, BaTi
The A / B ratio of the surface of O 3 particles is 5/100
In Example 3, which was smaller than 0, the dispersibility of the additive component was good.

【0040】またこのセラミック粉末から作られた積層
セラミックコンデンサの電気特性を表6に示す。主原料
の比表面積が3.3倍の比較例4では、電気特性が悪化
した。この電気特性には、BaTiO3 粒子のA/B比
は大きく影響を及ぼさないと思われることから、表面の
A/B比が中心部に比べて10/1000以上小さくて
も、比表面積の増加を伴わなければ電気特性は満足でき
ると考えられる。
Table 6 shows the electrical characteristics of the multilayer ceramic capacitor made from this ceramic powder. In Comparative Example 4, in which the specific surface area of the main raw material was 3.3 times, the electrical characteristics were deteriorated. Since the A / B ratio of BaTiO 3 particles does not seem to have a significant effect on the electrical characteristics, even if the A / B ratio of the surface is smaller than the center by 10/1000 or more, the specific surface area increases. It is considered that the electrical characteristics can be satisfied unless accompanied by.

【0041】以上の結果より主原料の表面改質を行う上
で、主原料の比表面積の割合が1.5〜3.0倍である
ことが望ましいことが分かる。またこの時のBaTiO
3 粒の表面のA/B比は中心部に比べて5/1000m
以上で小さいことが望ましいことが分かる。以上のよう
に主原料表面を酸または機械的粉砕により凸凹にするこ
とで、コーティング層の剥離強度が高まり分散を向上さ
せることが出来た。
From the above results, it can be seen that in performing the surface modification of the main raw material, it is desirable that the ratio of the specific surface area of the main raw material is 1.5 to 3.0 times. At this time, BaTiO
The A / B ratio of the surface of the three grains is 5/1000 m compared to the center.
From the above, it can be seen that it is desirable to be small. As described above, by making the surface of the main raw material uneven by acid or mechanical pulverization, the peel strength of the coating layer was increased and the dispersion was improved.

【0042】以上の実施例は、何れもBaTiO3 を用
いた積層セラミックコンデンサ用セラミック粉末につい
て説明したが、本発明はBaTiO3 を用いた積層セラ
ミックコンデンサ用セラミック粉末に限定されるのでは
なく、他にも例えばPbTiO3 、PbZrO3 、YF
eO3 のように、ABO3 で表されるペロブスカイト型
構造を持った粒子を主原料とし、高分散が求められるあ
らゆる電子部品、機能部品等に用いられるセラミック粉
末とその製造においても同様の効果がある。
In each of the above embodiments, the ceramic powder for a multilayer ceramic capacitor using BaTiO 3 has been described. However, the present invention is not limited to the ceramic powder for a multilayer ceramic capacitor using BaTiO 3. For example, PbTiO 3 , PbZrO 3 , YF
As with eO 3 , particles having a perovskite structure represented by ABO 3 are used as a main raw material, and the same effects can be obtained in the production of ceramic powders used for all electronic components and functional components requiring high dispersion and the like. is there.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によるセラミ
ック粉末では、ABO3 で表されるペロブスカイト型構
造セラミック粒子の表面の内部に比べてA元素の密度が
小さく、A元素が希薄になっていることにより、添加物
の化学的な吸着が促進され、また表面状態が凸凹になる
ことによつて物理的な吸着がより良好となる。これによ
って、より強固なコーティングが可能となり、コーティ
ング層の剥離強度が上昇するため、乾燥過程等での添加
物成分の分散悪化を防ぐことが出来、分散性が改善され
る。これにより、ABO3 で表されるペロブスカイト型
構造セラミック粒子に対する添加物成分の均一な分散性
が得られる。
As described above, in the ceramic powder according to the present invention, the density of the element A is smaller and the element A is diluted as compared with the inside of the surface of the perovskite structure ceramic particles represented by ABO 3 . Thereby, the chemical adsorption of the additive is promoted, and the physical state becomes better due to the unevenness of the surface state. As a result, a stronger coating is possible, and the peel strength of the coating layer is increased. Therefore, it is possible to prevent deterioration of the dispersion of the additive components in a drying process or the like, and to improve the dispersibility. As a result, uniform dispersibility of the additive component in the perovskite-type ceramic particles represented by ABO 3 can be obtained.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ABO3 で表されるペロブスカイト型構
造セラミック粒子を含むセラミック粉末において、前記
ペロブスカイト型構造セラミック粒子の表面と粒子中心
部とで前記ABO3 のA元素とB元素の密度の比が異な
り、表面が内部に比べてA元素の密度が小さいことを特
徴とするセラミック粉末。
1. A ceramic powder containing a perovskite-type structural ceramic particle represented by ABO 3 , wherein the ratio of the density of the A-element to the B-element of ABO 3 is between the surface of the perovskite-type structural ceramic particle and the particle center. A ceramic powder characterized in that the density of the element A is different from that of the inside of the ceramic powder.
【請求項2】 ペロブスカイト型構造セラミック粒子の
表面のA元素とB元素の密度の比は、少なくとも粒径の
5%までの深さにおいて、中心部より5/1000以上
小さいことを特徴とする請求項1に記載のセラミック粉
末。
2. The method according to claim 1, wherein the ratio of the density of the element A to the density of the element B on the surface of the perovskite-type structured ceramic particles is at least 5/1000 smaller than the central portion at a depth of at least 5% of the particle size. Item 7. The ceramic powder according to Item 1.
【請求項3】 ペロブスカイト型構造セラミック粒子の
表面は、粒子の中心に比べてA元素が疎らであって、こ
れにより表面に凹凸を有することを特徴とする請求項1
または2に記載のセラミック粉末。
3. The surface of the perovskite-structured ceramic particles is characterized in that the element A is less sparse than the center of the particles, thereby having irregularities on the surface.
Or the ceramic powder according to 2.
【請求項4】 前記請求項1〜3の何れかのペロブスカ
イト型構造セラミック粒子を含むセラミック粉末を製造
する方法であって、前記ペロブスカイト型構造セラミッ
ク粒子の表面を化学的にエッチングして同粒子表面の前
記ABO3 のA元素を除去することを特徴とするセラミ
ック粉末の製造方法。
4. The method for producing a ceramic powder containing the perovskite-type structured ceramic particles according to claim 1, wherein the surface of the perovskite-type structured ceramic particles is chemically etched. Removing the element A of ABO 3 .
【請求項5】 前記請求項1〜3の何れかのペロブスカ
イト型構造セラミック粒子を含むセラミック粉末を製造
する方法であって、ペロブスカイト型構造セラミック粒
子の表面を機械的に摩擦し、その表面の前記ABO3
A元素を除去することを特徴とするセラミック粉末の製
造方法。
5. The method for producing a ceramic powder containing perovskite-type structural ceramic particles according to claim 1, wherein the surface of the perovskite-type structural ceramic particles is mechanically rubbed, and A method for producing a ceramic powder, wherein the element A of ABO 3 is removed.
【請求項6】 化学的エッチングまた機械的な摩擦の前
後におけるペロブスカイト型構造セラミック粒子の比表
面積の変化率が1.5〜3.0倍であることを特徴とす
る請求項4または5に記載のセラミック粉末の製造方
法。
6. The method according to claim 4, wherein the change rate of the specific surface area of the perovskite type ceramic particles before and after chemical etching or mechanical friction is 1.5 to 3.0 times. Production method of ceramic powder.
【請求項7】 前記請求項1〜3の何れかのペロブスカ
イト型構造セラミック粒子を含むセラミック粉末に添加
剤を分散させたセラミック粉末を製造する方法であっ
て、表面のA元素が希薄な前記ペロブスカイト型構造セ
ラミック粒子を分散媒に分散してセラミックスラリとす
ると共に、セラミックスラリ中に添加物を添加し、この
添加物成分を前記ペロブスカイト型構造セラミック粒子
の表面にコーティングし、その後セラミックスラリを乾
燥し、セラミック粒子を析出させることを特徴とするセ
ラミック粉末の製造方法。
7. A method for producing a ceramic powder in which an additive is dispersed in a ceramic powder containing perovskite-type structural ceramic particles according to any one of claims 1 to 3, wherein the perovskite has a surface in which the element A is diluted. The ceramic particles are dispersed in a dispersion medium to form a ceramic slurry, and an additive is added to the ceramic slurry, and the additive component is coated on the surface of the perovskite-type ceramic particles, and then the ceramic slurry is dried. And a method for producing ceramic powder, wherein ceramic particles are precipitated.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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