JPH11334878A - Substrate feeding device - Google Patents

Substrate feeding device

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JPH11334878A
JPH11334878A JP14635098A JP14635098A JPH11334878A JP H11334878 A JPH11334878 A JP H11334878A JP 14635098 A JP14635098 A JP 14635098A JP 14635098 A JP14635098 A JP 14635098A JP H11334878 A JPH11334878 A JP H11334878A
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substrate
arm
rack
arms
conveyor
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JP14635098A
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Yasuaki Kita
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Komatsu Denshi KK
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Komatsu Denshi KK
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To surely take out and feed the substrates one by oine by roating an arm of which the movement is inhibited by a comb member about a rotary shaft at a specific angle to be separated from another arm, and comprising a substrate conveyor for conveying the substrate held by the other arm from a rack. SOLUTION: The comb teeth 46 are fixed. The clockwise rotary angle of the arms 12-2 through 12-20 depends on the dropping amount in the direction shown by an arrow 48, of a lifter conveyor 31, so that the dropping amount is determined to obtain the desired rotary angle. The wide space is taken between the lowermost arm 12-1 and the next upper arm 12-2, and a substrate 20 accommodated between the arms 12-1 and 12-2 and a substrate 20 accommodated between an arm 12-2 and 12-3 are separated from one another. A number of rollers are mounted in such manner that they are contacted with a lower face of the substrate 20, and the substrate 20 held by the arm 12-1 is conveyed left to be discharged from a rack 10 when each roller drives the substrate conveyor rotated in the anticlockwise direction.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線に用
いる基板を1枚づつ供給する基板供給装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate supply apparatus for supplying substrates used for printed wiring one by one.

【0002】[0002]

【従来の技術】プリント配線に用いる基板に導体パター
ンを形成したり、導体パターンを形成した基板に電子部
品を取りつけたりする加工工程においては、所定の寸法
に切断した基板を1枚づつ前記の加工を行う加工装置に
自動供給する必要がある。基板を加工装置に自動供給す
る装置としては、例えば図2に示した構成に類似したラ
ックが従来から用いられている。従来のラックは、複数
の枠状部材を所定のピッチで水平に配列し、隣り合う枠
状部材の間に被加工物の基板を収納している。ラックの
下方には多数のローラーを有するローラーコンベアが設
けられている。ローラーコンベアのローラーを回転させ
つつ、ラックの最も下の位置にある基板の下面に接触さ
せると、基板はローラーにより駆動されラックから搬出
されて前記加工装置に送られる。次にラックを前記の所
定のピッチだけ降下させ、下から2番目の基板の下面に
ローラーを接触させると、前記と同様にラックから基板
が搬出される。上記の動作を繰り返すことによって、基
板は1枚づつ加工装置に自動供給される。
2. Description of the Related Art In a processing step of forming a conductor pattern on a substrate used for printed wiring and attaching electronic components to the substrate on which the conductor pattern is formed, the substrates cut to a predetermined size are processed one by one. Must be automatically supplied to the processing device that performs the processing. As an apparatus for automatically supplying a substrate to a processing apparatus, for example, a rack similar to the configuration shown in FIG. 2 is conventionally used. In a conventional rack, a plurality of frame members are horizontally arranged at a predetermined pitch, and a substrate to be processed is stored between adjacent frame members. A roller conveyor having a number of rollers is provided below the rack. When the roller of the roller conveyor is rotated and brought into contact with the lower surface of the substrate at the lowest position of the rack, the substrate is driven by the roller, carried out of the rack, and sent to the processing device. Next, the rack is lowered by the predetermined pitch, and a roller is brought into contact with the lower surface of the second substrate from the bottom, whereby the substrate is unloaded from the rack in the same manner as described above. By repeating the above operation, the substrates are automatically supplied to the processing device one by one.

【0003】上記の従来の基板供給装置においては、基
板の厚さが1.5mm以上の比較的厚い基板を供給する
場合は、安定した動作をするが、厚さが0.1ないし
0.5mmの薄い基板を供給する場合には次に挙げる問
題が生じる。
In the above-described conventional substrate supply apparatus, when a relatively thick substrate having a thickness of 1.5 mm or more is supplied, the operation is stable, but the thickness is 0.1 to 0.5 mm. When a thin substrate is supplied, the following problems occur.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】前記ラックに収納され
る基板の寸法は一定ではなく通常縦横とも枠状部材の寸
法より大きい。ときには、枠状部材の外周から100な
いし150mmはみ出すような大型の基板が収納される
場合もある。このように大型でかつ厚さが0.1ないし
0.5mmの薄い基板をラックに収納すると、基板の端
部が垂れ下がり、上下方向に隣接する基板が互いに接触
する場合がある。隣接する基板が互いに接触した状態
で、下側の基板を前記のようにローラーで駆動して搬出
すると、これに接触する上側の基板も共に搬出されるお
それがある。このため薄い基板を従来のラックに収納し
て自動供給することはできなかった。
The dimensions of the boards accommodated in the rack are not constant and are usually larger than the dimensions of the frame member both vertically and horizontally. Occasionally, a large substrate that protrudes 100 to 150 mm from the outer periphery of the frame-shaped member may be stored. When such a large and thin substrate having a thickness of 0.1 to 0.5 mm is stored in a rack, the ends of the substrate may hang down, and vertically adjacent substrates may come into contact with each other. When the lower substrate is driven by the rollers as described above and is carried out in a state where the adjacent substrates are in contact with each other, the upper substrate in contact with the lower substrate may also be carried out. For this reason, a thin substrate cannot be stored in a conventional rack and automatically supplied.

【0005】本発明は、厚さが0.1ないし0.5mm
の薄い基板を1枚づつ確実に供給することができる基板
供給装置及び基板供給方法を提供することを目的とす
る。
According to the present invention, the thickness is 0.1 to 0.5 mm.
It is an object of the present invention to provide a substrate supply apparatus and a substrate supply method capable of reliably supplying thin substrates one by one.

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

【0006】本発明の基板供給装置は、一方の端部に回
転軸を有する枠状の複数個のアームを所定のピッチで配
列し、前記アームを前記回転軸の回りに所定の角度だけ
回転可能に構成したラック、前記複数のアームの間に挿
入された基板が実質的に水平になるように、前記ラック
を保持するリフタコンベア、前記複数のアームの間に挿
入され、アームの移動を阻止するためのくし歯部材、前
記各アームの間に前記くし歯部材が挿入された状態で、
前記リフタコンベアを所定距離降下させ、前記くし歯部
材により移動が阻止されたアームを前記回転軸の回りに
所定角度回転させ、他のアームから離間させる駆動手段
及び前記他のアームにより保持され基板をラックから搬
出する基板搬送コンベアを備えている。本発明の基板供
給方法は、一方の端部に回転軸を有する枠状の複数個の
アームを所定のピッチで配列するステップ、前記アーム
をラックにより前記回転軸の回りに所定の角度だけ回転
するステップ、前記複数のアームの間に保持された基板
が実質的に水平になるように、リフタコンベアにより前
記ラックを保持するステップ、前記複数のアームの間に
アームの移動を阻止するためのくし歯部材を挿入するス
テップ、くし歯部材を挿入したまま前記リフタコンベア
を所定距離降下させるステップ、前記くし歯部材により
移動が阻止されたアームを前記回転軸の回りに回転させ
て他のアームから離間させるステップ、及び前記他のア
ームにより保持された基板をラックから基板搬送コンベ
アにより搬出するステップ、を有する。
According to the substrate supply apparatus of the present invention, a plurality of frame-shaped arms having a rotation axis at one end are arranged at a predetermined pitch, and the arms can be rotated by a predetermined angle around the rotation axis. A lifter conveyor holding the rack so that the board inserted between the plurality of arms is substantially horizontal, and a lifter conveyor inserted between the plurality of arms to prevent movement of the arms In the state in which the comb member is inserted between the arms,
Lowering the lifter conveyor by a predetermined distance, rotating the arm blocked by the comb member by a predetermined angle around the rotation axis, and separating the substrate held by the driving means and the other arm from the other arm. It has a board transfer conveyor for unloading from the rack. In the substrate supply method according to the present invention, a plurality of frame-shaped arms having a rotation axis at one end are arranged at a predetermined pitch, and the arms are rotated around the rotation axis by a predetermined angle by a rack. A step of holding the rack by a lifter conveyor so that a substrate held between the plurality of arms is substantially horizontal; and a comb tooth for preventing movement of the arm between the plurality of arms. Inserting a member, lowering the lifter conveyor by a predetermined distance while the comb member is being inserted, and rotating an arm that has been prevented from moving by the comb member around the rotation axis to separate it from the other arm And carrying out the substrate held by the other arm from the rack by the substrate transport conveyor.

【0007】各アームの間にくし歯部材が挿入された状
態で、リフタコンベアを所定距離降下させると、くし歯
部材に接するアームは回転する。一方くし歯部材に接し
ていないアームは回転しないので、回転するアームは回
転しないアームから離れ、両者間に空間が生じる。その
ため、アームからはみ出すような大きな寸法を有し厚さ
が薄い基板を収納した場合でも、はみ出して垂れ下がっ
て端部が他の基板の端部と接触することはなく基板を1
枚づつ確実に搬出することができる。
When the lifter conveyor is lowered by a predetermined distance in a state where the comb member is inserted between the arms, the arm in contact with the comb member rotates. On the other hand, since the arm not in contact with the comb member does not rotate, the rotating arm is separated from the non-rotating arm, and a space is created between the two. Therefore, even when a substrate having a large size and protruding from the arm and having a small thickness is stored, the substrate does not protrude and hang down, and the end does not come into contact with the end of another substrate.
It is possible to carry out one sheet at a time.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】《実施例》本発明の基板供給装置
の好適な実施例を図1ないし図10を参照して説明す
る。図1は本発明の基板供給装置において基板を収納す
るラック10の斜視図である。ラック10に収納する基
板は、例えばプリント配線用の基板であり、外形寸法は
一辺が300mmないし500mmの正方形又は矩形で
ある。また厚さは0.1mmないし2.0mmである。
ラック10において、ラックベース11に枠状のアーム
12が軸13により回転可能に支持されている。アーム
12は例えば20個設けられており、隣り合うアーム1
2の間に基板20が収納される。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments Preferred embodiments of the substrate supply apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a perspective view of a rack 10 for storing substrates in the substrate supply device of the present invention. The board accommodated in the rack 10 is, for example, a board for printed wiring, and has an outer dimension of a square or a rectangle having a side of 300 mm to 500 mm. The thickness is 0.1 mm to 2.0 mm.
In the rack 10, a frame-shaped arm 12 is rotatably supported by a shaft 13 on a rack base 11. For example, 20 arms 12 are provided, and the adjacent arms 1
The substrate 20 is stored between the two.

【0009】図2にラック10の側面図を示す。図2に
おいて、左端のアームをアーム12−1と表示し、右端
のものを12−20と表示する。アーム12−1〜12
−20の支持部14は、それぞれの支持部14が直線状
の側部14Aで接するように構成されている。ラックベ
ース11の左端部にはストッパ16が設けられており、
左端のアーム12−1の支持部14の側部14Aがスト
ッパ16に接して位置決めされる。この状態で、アーム
12−1は、ラック10の法線に対して左に例えば12
度傾斜するようになされている。左から2番目のアーム
12−2は、その支持部14の側部14Aがアーム12
−1の側部14Aに接した状態で左に12度傾斜し、ア
ーム12−1に平行になる。同様にして、アーム12−
3ないし12−20もそれぞれ左に12度傾斜する。ア
ーム12−1ないし12−20を左に傾斜させることに
より、軸13により回転可能に支持された全てのアーム
12−1ないし12−20が平行になる。図3はラック
10の正面図である。
FIG. 2 is a side view of the rack 10. In FIG. 2, the left end arm is indicated as arm 12-1 and the right end arm is indicated as 12-20. Arms 12-1 to 12
The −20 support portions 14 are configured such that the respective support portions 14 are in contact with the linear side portions 14A. A stopper 16 is provided at the left end of the rack base 11.
The side portion 14A of the support portion 14 of the left end arm 12-1 is positioned in contact with the stopper 16. In this state, for example, the arm 12-1
It is made to incline. The second arm 12-2 from the left has an arm 12
-1 tilts 12 degrees to the left in contact with the side 14A, and becomes parallel to the arm 12-1. Similarly, the arm 12-
3 to 12-20 are also inclined 12 degrees to the left. By tilting the arms 12-1 to 12-20 to the left, all the arms 12-1 to 12-20 rotatably supported by the shaft 13 become parallel. FIG. 3 is a front view of the rack 10.

【0010】図4は、前記のラック10に収納された基
板20を供給する基板供給装置の全体の構成を示す側面
図である。図4ないし図9を参照して基板供給の動作を
以下に説明する。水平に設置された上段ストックコンベ
ア30に基板20を収納したラック10が載せられ矢印
Aの方向に運ばれ、水平になされたリフタコンベア31
に移される。
FIG. 4 is a side view showing the overall structure of a substrate supply apparatus for supplying the substrates 20 stored in the rack 10 described above. The substrate supply operation will be described below with reference to FIGS. The rack 10 containing the substrates 20 is placed on the horizontally installed upper-stage stock conveyor 30 and transported in the direction of arrow A, and the lifter conveyor 31 is made horizontal.
Moved to

【0011】図5はリフタコンベア31にラック10が
移された状態を示す斜視図である。リフタコンベア31
は、ラックガイド32を有し、リフタコンベア31に移
されたラック10のラックベース11の両端部が、ラッ
クガイド32によって保持される。図4において、リフ
タコンベア31は、図示を省略した回転手段により下部
の軸31Aを中心に反時計方向に約78度回され起立す
る。その結果、ラック10のアーム12−1〜12−2
0は水平になる。ラック10に収納された基板の寸法が
アーム12−1〜12−20の寸法より大きく、厚さが
0.1ないし0.5の薄い場合には、図6の(a)のラ
ック10の正面図及び(b)の側面図に示すように、基
板20のアーム12−1〜12−20からはみ出した部
分が下方に垂れ下がり、隣り合う基板20の端部が互い
に接触する場合がある。端部が互いに接触した状態で、
図4に示すように、基板20を供給するために、ラック
10の下部に基板搬送コンベア36を配置して、最も下
の位置にある基板20を図の左方に移送すると、隣接す
る上部の基板20も共に移送されるおそれがある。基板
供給装置においては基板20を1枚づつ供給する必要が
あるので、上記のように複数の基板が同時に移送された
のでは正常な基板供給が行われない。
FIG. 5 is a perspective view showing a state in which the rack 10 has been moved to the lifter conveyor 31. Lifter conveyor 31
Has a rack guide 32, and both ends of the rack base 11 of the rack 10 transferred to the lifter conveyor 31 are held by the rack guide 32. In FIG. 4, the lifter conveyor 31 is turned about 78 degrees counterclockwise about the lower shaft 31A by a rotating means (not shown) and stands upright. As a result, the arms 12-1 to 12-2 of the rack 10
0 is horizontal. When the dimensions of the boards stored in the rack 10 are larger than the dimensions of the arms 12-1 to 12-20 and the thickness is 0.1 to 0.5, the front of the rack 10 in FIG. As shown in the figure and the side view of (b), the portions of the substrate 20 protruding from the arms 12-1 to 12-20 hang down, and the ends of the adjacent substrates 20 may come into contact with each other. With the ends touching each other,
As shown in FIG. 4, in order to supply the substrates 20, a substrate transport conveyor 36 is arranged at the lower part of the rack 10, and the lowermost position of the substrate 20 is transferred to the left side of the figure. The substrate 20 may be transferred together. In the substrate supply device, it is necessary to supply the substrates 20 one by one. Therefore, if a plurality of substrates are simultaneously transferred as described above, the substrate is not supplied normally.

【0012】本実施例では、端部がたれ下がるような薄
い基板20を1枚づつ確実に搬送するために以下のよう
に構成し実行する。図7は、ラック10を保持して起立
したリフタコンベア31の側面図である。図において、
リフタコンベア31は、リフタコンベア31に平行して
配設されたねじ軸42によって昇降するボールネジ41
に連結されている。ねじ軸42の回転によってリフタコ
ンベア31は矢印Nで示すように斜めに昇降する。
In the present embodiment, the following configuration and execution are carried out in order to surely transport the thin substrates 20 whose edges are sagged one by one. FIG. 7 is a side view of the lifter conveyor 31 that stands up while holding the rack 10. In the figure,
The lifter conveyor 31 includes a ball screw 41 that is moved up and down by a screw shaft 42 disposed in parallel with the lifter conveyor 31.
It is connected to. By the rotation of the screw shaft 42, the lifter conveyor 31 moves up and down diagonally as indicated by an arrow N.

【0013】リフタコンベア31には、リフタコンベア
31に平行に基板押出し板33が設けられている。基板
押出し板33をエアシリンダなど図示を省略した駆動手
段により、図の左方に平行移動させると、基板押し出し
板33は図5に示すリフタコンベア31の窓31A及び
ラック10の2個の窓10Aを貫通してアーム12−1
ないし12−20の間に収納された基板20の端部を左
方に押す。これにより基板20の端部とラック10の底
部との間に約30mmのすきまを設ける。
The lifter conveyor 31 is provided with a substrate pushing plate 33 parallel to the lifter conveyor 31. When the substrate push-out plate 33 is moved to the left in the drawing by driving means such as an air cylinder, which is not shown, the substrate push-out plate 33 is moved to the window 31A of the lifter conveyor 31 and the two windows 10A of the rack 10 shown in FIG. Through the arm 12-1
And press the left end of the substrate 20 housed between 12-20. As a result, a gap of about 30 mm is provided between the end of the board 20 and the bottom of the rack 10.

【0014】図8は、図7のリフタコンベア31を左側
面から見た図である。図において、リフタコンベア31
に平行にくし歯46が配設されている。くし歯46はシ
リンダなどの図示を省略した駆動手段により、矢印47
に示す右方向に移動するようになされている。くし歯4
6が右方向に移動するとき、歯46Aは、前記の基板押
出し板33によって基板12−1〜12−20の端部を
押した結果生じた、基板12−1〜12−20とラック
10とのすきまに挿入される。挿入された状態のくし歯
46を一点鎖線で示す。
FIG. 8 is a view of the lifter conveyor 31 of FIG. 7 as viewed from the left side. In the figure, lifter conveyor 31
The comb teeth 46 are arranged in parallel with the first and second teeth. The comb teeth 46 are moved by arrows 47 by driving means (not shown) such as a cylinder.
It is adapted to move rightward as shown in FIG. Comb teeth 4
When 6 moves to the right, the teeth 46A are pressed against the ends of the substrates 12-1 to 12-20 and the rack 10 by pressing the ends of the substrates 12-1 to 12-20 by the substrate pushing plate 33. Inserted in the gap. The inserted comb teeth 46 are shown by dashed lines.

【0015】次に図7に示すねじ軸42を回転させてリ
フタコンベア31を矢印48に示すように10〜15m
m降下させる。このときくし歯46は固定されている。
その結果図9に示すように、アーム12−2ないし12
−20は歯46Aによって押し上げられ水平位置から約
10度時計方向に回転し、斜め上方に向く。この時計方
向の回転角は、リフタコンベア31の前記矢印48で示
す方向の降下量に依存するので、所望の回転角が得られ
るように降下量を選定すればよい。このときアーム12
−1のみはくし歯46に接していないので、元の水平状
態のままである。このようにして、最も下に位置するア
ーム12−1と、その上に位置するアーム12−2との
間に広い空間が設けられ、アーム12−1と12−2の
間に収納された基板20と、アーム12−2と12−3
の間に収納された基板20とは引き離される。これによ
って端部が垂れ下がるような大型の薄い基板20を収納
した場合でも隣り合う基板20が互いに接触することは
なくなる。この状態で、多数のローラーが基板20の下
面に接するように配設され、各ローラーが反時計方向に
回転する基板搬送コンベア36を駆動すると、アーム1
2−1によって保持されていた基板20は図の左方に搬
送され、ラック10から排出される。基板搬送コンベア
36の各ローラーは、アーム12−1〜12−20が昇
降するときに各アーム12と干渉しないように、アーム
12−1〜12−20の内部の先端領域と、外部の両側
部に配置されている。
Next, the lifter conveyor 31 is rotated by 10 to 15 m as shown by an arrow 48 by rotating the screw shaft 42 shown in FIG.
m. At this time, the comb teeth 46 are fixed.
As a result, as shown in FIG.
-20 is pushed up by the tooth 46A, rotates clockwise about 10 degrees from the horizontal position, and faces obliquely upward. Since the clockwise rotation angle depends on the amount of downward movement of the lifter conveyor 31 in the direction indicated by the arrow 48, the amount of downward movement may be selected so as to obtain a desired rotational angle. At this time, arm 12
Since only -1 does not touch the comb teeth 46, it remains in the original horizontal state. In this manner, a wide space is provided between the lowermost arm 12-1 and the upper arm 12-2, and the substrate accommodated between the arms 12-1 and 12-2 is provided. 20, arms 12-2 and 12-3
It is separated from the substrate 20 housed between them. As a result, even when a large thin substrate 20 whose end hangs down is stored, adjacent substrates 20 do not come into contact with each other. In this state, when a number of rollers are disposed so as to be in contact with the lower surface of the substrate 20, and each roller drives the substrate transport conveyor 36 which rotates counterclockwise, the arm 1
The substrate 20 held by 2-1 is conveyed to the left in the figure and discharged from the rack 10. Each roller of the substrate transport conveyor 36 has a tip region inside the arms 12-1 to 12-20 and an outer side portion so as not to interfere with each arm 12 when the arms 12-1 to 12-20 move up and down. Are located in

【0016】基板20が排出されると、リフタコンベア
31を10〜15mm上昇させて元へ戻し、アーム12
−2〜12−20を元の位置に戻す。そしてくし歯46
を図8の矢印47とは逆方向に移動させて、歯46Aを
ラック10から引き離す。次にねじ軸42を回転させ
て、リフタコンベア31を、アーム12−1〜12−2
0のピッチに等しい距離、例えば20mm、矢印49に
示すように降下させる。その結果、下から2番目のアー
ム12−2とその上方のアーム12−3の間に収納され
た基板20が基板搬送コンベア36に接する位置にく
る。この状態で再びくし歯46を矢印47の方向に移動
させ、歯46Aをアーム12−3〜12−20のそれぞ
れの間に挿入する。そして、リフタコンベア31を10
〜15mm降下させる。その結果アーム12−3〜12
−20は前記と同様に歯46Aに支持されて斜め上方を
向き、アーム12−2と12−3の間が大きく開く。次
に基板搬送コンベア36を動作させると、アーム12−
2で支持されている基板20は基板搬送コンベア36に
より左方に搬送され、ラック10から排出される。搬送
が完了すると、リフタコンベア31は10〜15mm上
昇し、アーム12−3〜12−20は元の位置に復帰し
水平になる。くし歯46が矢印47とは逆の方向に動き
ラック10から離れると、リフタコンベア31は20m
m降下する。上記の一連の動作を図10に示すようにア
ーム12−20に至るまで順次繰り返すことによって、
ラック10に収納された全ての基板10が搬出され、基
板20の加工装置に供給される。
When the substrate 20 is discharged, the lifter conveyor 31 is lifted up by 10 to 15 mm and returned to the original position.
Return -2-12-20 to the original position. And comb teeth 46
Is moved in the direction opposite to the arrow 47 in FIG. 8 to pull the teeth 46 </ b> A away from the rack 10. Next, the screw shaft 42 is rotated to lift the lifter conveyor 31 from the arms 12-1 to 12-2.
It is lowered by a distance equal to the pitch of 0, for example, 20 mm, as shown by arrow 49. As a result, the substrate 20 stored between the second arm 12-2 from the bottom and the arm 12-3 above the second arm 12-2 comes to a position in contact with the substrate transport conveyor 36. In this state, the comb teeth 46 are moved again in the direction of the arrow 47, and the teeth 46A are inserted between the arms 12-3 to 12-20. Then, lifter conveyor 31 is moved to 10
Lower by 1515 mm. As a result, arms 12-3 to 12
Similarly, -20 is supported by the teeth 46A and faces obliquely upward, and the space between the arms 12-2 and 12-3 is greatly opened. Next, when the substrate transport conveyor 36 is operated, the arm 12-
The substrate 20 supported by 2 is transported leftward by the substrate transport conveyor 36 and discharged from the rack 10. When the transfer is completed, the lifter conveyor 31 rises by 10 to 15 mm, and the arms 12-3 to 12-20 return to their original positions and become horizontal. When the comb teeth 46 move in the direction opposite to the arrow 47 and move away from the rack 10, the lifter conveyor 31
m. By repeating the above series of operations sequentially to the arm 12-20 as shown in FIG. 10,
All the substrates 10 stored in the rack 10 are unloaded and supplied to the substrate 20 processing apparatus.

【0017】すべての基板20を排出した後、リフタコ
ンベア31を矢印Dで示す図の下方へ移動させる。次に
リフタコンベア31を時計方向に78度回転させて水平
にし、基板を有しない空のラック10を下段のストック
コンベア50によって矢印Cの方向に搬送する。最後
に、リフタコンベア31を矢印Dとは逆方向の上方へ移
動させて1サイクルの工程を終了する。
After all the substrates 20 have been discharged, the lifter conveyor 31 is moved downward in the figure indicated by the arrow D. Next, the lifter conveyor 31 is rotated horizontally by 78 degrees in the clockwise direction, and the empty rack 10 having no substrate is conveyed in the direction of arrow C by the lower stock conveyor 50. Finally, the lifter conveyor 31 is moved upward in the direction opposite to the arrow D to complete the one cycle process.

【0018】前記の実施例では、あらかじめ基板20が
収納されたラック10から、1枚づつ基板を取り出す基
板の供給動作について説明したが、本実施例はこれに限
定されるものではなく、空のラック10に1枚づつ基板
20を収納するための基板収納動作をさせることも可能
である。
In the above embodiment, the substrate supply operation for taking out the substrates one by one from the rack 10 in which the substrates 20 are previously stored has been described. However, the present embodiment is not limited to this. It is also possible to perform a substrate storing operation for storing the substrates 20 one by one in the rack 10.

【0019】基板収納動作においては、図4に示す下段
のストックコンベア50から空のラック10をリフタコ
ンベア31に移送する。次にリフタコンベア31を起立
させ、前記の基板供給動作と同様に、くし歯46の移動
及びリフタコンベア31の移動によって最も上の位置の
アーム12−19と隣接するアーム12−20との間を
開いて大きな空間を設ける。次に基板搬送コンベア36
の各ローラーを基板供給動作時とは逆の時計方向に回転
させつつ基板搬送コンベア36の上に基板20を、図示
を省略した他の搬送装置によって移送する。基板20は
図の矢印Bと反対の方向へ進みラック10内に収納され
る。以後は、前記基板供給動作と同様にくし歯46及び
リフタコンベア31を動作させて、すべてのアーム12
−1ないし12−20の間に基板20を収納する。基板
20が収納されたラック10は、リフタコンベア31の
上昇と時計方向への回転、及び上段のストックコンベア
30の動作により矢印Aの逆方向へ搬送される。
In the board storing operation, the empty rack 10 is transferred to the lifter conveyor 31 from the lower stock conveyor 50 shown in FIG. Next, the lifter conveyor 31 is erected, and the movement between the comb teeth 46 and the movement of the lifter conveyor 31 moves the arm 12-19 at the uppermost position and the adjacent arm 12-20 in the same manner as the above-described substrate supply operation. Open and provide a large space. Next, the substrate transport conveyor 36
The substrate 20 is transferred onto the substrate transfer conveyor 36 by another transfer device (not shown) while rotating each of the rollers in the clockwise direction opposite to that during the substrate supply operation. The board 20 advances in the direction opposite to the arrow B in the figure and is stored in the rack 10. Thereafter, the comb teeth 46 and the lifter conveyor 31 are operated in the same manner as in the substrate supply operation to
The substrate 20 is stored between -1 and 12-20. The rack 10 in which the substrates 20 are stored is conveyed in the opposite direction of the arrow A by the lift and the clockwise rotation of the lifter conveyor 31 and the operation of the upper-stage stock conveyor 30.

【0020】[0020]

【発明の効果】本発明によれば、ラックの各アーム間に
収納された基板を取り出すとき、基板のアームからはみ
出した部分が垂れ下がって隣り合う基板が互いに接触す
る状態にあっても、くし歯を用いて上方のアームを回転
させて隣り合うアーム間を大きく開き、隣り合う基板が
接触しないようにする。これによって、基板を1枚づつ
確実に取り出し供給することができる。また隣り合うア
ーム間が大きく開くことによりソリの大きな基板に対し
ても、ラックに基板を収納することができる。以上のよ
うに本発明の基板供給装置はラックから他の装置へ基板
を供給できると共に、前記ラックへ基板を1枚づつ確実
に収納することもできる。
According to the present invention, when taking out a board housed between the arms of the rack, even if the portions of the board that protrude from the arm hang down and the adjacent boards are in contact with each other, the comb teeth are provided. Is used to rotate the upper arm to open the adjacent arms widely so that the adjacent substrates do not come into contact with each other. Thus, the substrates can be reliably taken out and supplied one by one. Further, since the space between the adjacent arms is largely opened, the board can be stored in the rack even for a board having a large warp. As described above, the substrate supply device of the present invention can supply substrates from a rack to another device, and can reliably store substrates one by one in the rack.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の基板供給装置の実施例において用い
る、基板を収納するためのラックの斜視図
FIG. 1 is a perspective view of a rack for storing substrates used in an embodiment of a substrate supply apparatus of the present invention.

【図2】前記ラックの拡大側面図FIG. 2 is an enlarged side view of the rack.

【図3】前記ラックの正面図FIG. 3 is a front view of the rack.

【図4】本実施例の基板供給装置の全体の構成を示す側
面図
FIG. 4 is a side view showing the overall configuration of the substrate supply device of the present embodiment.

【図5】本実施例の、ラックとリフタコンベアと結合部
を示す斜視図
FIG. 5 is a perspective view showing a rack, a lifter conveyor, and a connecting portion according to the present embodiment.

【図6】(a)はラックに薄い基板を収納した状態を示
す正面図 (b)は同側面図
FIG. 6A is a front view showing a state in which a thin substrate is stored in a rack, and FIG.

【図7】リフタコンベアの昇降機構を示す側面図FIG. 7 is a side view showing a lifting mechanism of the lifter conveyor.

【図8】ラックとくし歯の構成を示す正面図FIG. 8 is a front view showing the configuration of the rack and the comb teeth.

【図9】くし歯によって、最下位のアームとその上のア
ームとの間が開いた状態を示すラックの側面図
FIG. 9 is a side view of the rack, showing a state where the lowermost arm and the arm above it are opened by the comb teeth.

【図10】くし歯によって、隣り合うアームの間が開い
た状態を示す側面図
FIG. 10 is a side view showing a state in which a space between adjacent arms is opened by comb teeth.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ラック 10A ラック窓 11 ラックベース 12−1〜12−20 アーム 13 軸 14 支持部 16 ストッパ 20 基板 30 上段ストックコンベア 31 リフタコンベア 32 ラックガイド 33 基板押出し板 36 基板搬送コンベア 41 ボールねじ 42 ねじ軸 46 くし歯 46A 歯 50 下段ストックコンベア Reference Signs List 10 rack 10A rack window 11 rack base 12-1 to 12-20 arm 13 shaft 14 support 16 stopper 20 substrate 30 upper stock conveyor 31 lifter conveyor 32 rack guide 33 substrate extrusion plate 36 substrate transport conveyor 41 ball screw 42 screw shaft 46 Comb teeth 46A Teeth 50 Lower stock conveyor

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一方の端部に回転軸を有する枠状の複数
個のアームを所定のピッチで配列し、前記アームを前記
回転軸の回りに所定の角度だけ回転可能に構成したラッ
ク、 前記複数のアームの間に保持された基板が実質的に水平
になるように、前記ラックを保持するリフタコンベア、 前記複数のアームの間に挿入され、アームの移動を阻止
するためのくし歯部材、 前記各アームの間に前記くし歯部材を挿入した状態で、
前記リフタコンベアを所定距離降下させ、前記くし歯部
材により移動が阻止されたアームを前記回転軸の回りに
回転させ、他のアームから離間させる駆動手段、及び前
記他のアームにより保持された基板をラックから搬出す
る基板搬送コンベア、 を有する基板供給装置。
1. A rack comprising a plurality of frame-shaped arms having a rotation axis at one end arranged at a predetermined pitch, wherein the arms are configured to be rotatable by a predetermined angle around the rotation axis. A lifter conveyor holding the rack so that the substrate held between the plurality of arms is substantially horizontal; a comb-shaped member inserted between the plurality of arms to prevent movement of the arms; With the comb member inserted between the arms,
Driving means for lowering the lifter conveyor by a predetermined distance, rotating the arm prevented from moving by the comb tooth member around the rotation axis, separating the arm from the other arm, and the substrate held by the other arm A substrate transport conveyor that unloads the substrate from the rack.
【請求項2】 前記ラックを水平に保持したとき、各ア
ームはラックの法線に対して12度傾斜していることを
特徴とする請求項1記載の基板供給装置。
2. The substrate supply device according to claim 1, wherein when the rack is held horizontally, each arm is inclined by 12 degrees with respect to a normal line of the rack.
【請求項3】 一方の端部に回転軸を有する枠状の複数
個のアームを所定のピッチで配列するステップ、 前記アームをラックにより前記回転軸の回りに所定の角
度だけ回転するステップ、 前記複数のアームの間に保持された基板が実質的に水平
になるように、リフタコンベアにより前記ラックを保持
するステップ、 前記複数のアームの間にアームの移動を阻止するための
くし歯部材を挿入するステップ、 くし歯部材を挿入したまま前記リフタコンベアを所定距
離降下させるステップ、 前記くし歯部材により移動が阻止されたアームを前記回
転軸の回りに回転させて他のアームから離間させるステ
ップ、及び前記他のアームにより保持された基板をラッ
クから基板搬送コンベアにより搬出するステップ、 を有する基板供給方法。
A step of arranging a plurality of frame-shaped arms having a rotation axis at one end at a predetermined pitch; a step of rotating the arms by a rack around the rotation axis by a predetermined angle; Holding the rack by a lifter conveyor so that a substrate held between the plurality of arms is substantially horizontal; and inserting a comb member for preventing movement of the arm between the plurality of arms. Lowering the lifter conveyor by a predetermined distance while inserting the comb-shaped member; rotating the arm blocked by the comb-shaped member around the rotation axis to separate from the other arm; and Transporting the substrate held by the other arm from the rack by a substrate transport conveyer.
【請求項4】 前記ラックを水平に保持したとき、各ア
ームをラックの法線に対して12度傾斜するように保つ
ことを特徴とする請求項3記載の基板供給方法。
4. The substrate supply method according to claim 3, wherein when the rack is held horizontally, each arm is maintained so as to be inclined by 12 degrees with respect to a normal line of the rack.
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