JPH11327722A - Process editing device - Google Patents

Process editing device

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JPH11327722A
JPH11327722A JP13358498A JP13358498A JPH11327722A JP H11327722 A JPH11327722 A JP H11327722A JP 13358498 A JP13358498 A JP 13358498A JP 13358498 A JP13358498 A JP 13358498A JP H11327722 A JPH11327722 A JP H11327722A
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process
editing
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element
elements
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Withdrawn
Application number
JP13358498A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasuhiro Koizumi
Akio Maeda
Kazufumi Terada
昭雄 前田
和史 寺田
康浩 小泉
Original Assignee
Shin Meiwa Ind Co Ltd
新明和工業株式会社
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To easily change a process that equipment is made to perform through a programmable controller by providing a means for editing the procedures of the process stored in a storage means through operation by a pointing device for a display of respective elements and the relation between the respective elements.
SOLUTION: A pattern file 28 is stored in a pattern file area 26 of a memory 25 and in the pattern file 28, respective elements 31, 34, etc., made to correspond to the procedures of a process are stored by relating them based on the relation between the respective elements. When the pattern file 28, etc., is then read in the case of editting the process procedures, the respective elements stored in the pattern file 28 are displayed on a display screen 21 through a GUI together with the hierarchical relation between the respective elements. Then, an operator is able to move, delete, copy, etc., the respective elements through operating a mouse for the display on the display screen 21 and freely change the relation between the elements.
COPYRIGHT: (C)1999,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プログラマブルコントローラを介して機器に実行させるプロセスを編集するためのプロセス編集装置に関し、特に、該プロセスの変更等を容易になし得るプロセス編集装置に関する。 The present invention relates to relates to a process editing apparatus for editing a process to be executed by the device through the programmable controller, in particular, relates to a process editing apparatus can make easily change of the process.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来、機器の一連の動作によって構成されるプロセスを実行する場合、機器を一定の順序に従って動作させるべく、プログラマブルコントローラを介した制御が行われている。 Conventionally, when carrying out the process constituted by a series of operation of the device, in order to operate the equipment in accordance with a certain order, and control is performed via the programmable controller.

【0003】かかるプログラマブルコントローラを介してプロセスが制御される概略について、真空成膜を行うための装置の一つである蒸着装置によって実行されるプロセスの例により以下に説明する。 [0003] outline according via the programmable controller process is controlled will be described below by way of example of a process performed by is one deposition apparatus of an apparatus for performing vacuum deposition.

【0004】蒸着装置は真空槽中における蒸着によって基板上に成膜するための装置であり、成膜のプロセスの一部は概略以下のようになっている。 [0004] evaporation apparatus is an apparatus for forming a film on a substrate by vapor deposition in a vacuum vessel, a portion of the deposition process so that the roughly described below.

【0005】まず、真空槽が排気され所定の真空度とされる。 [0005] First, the vacuum chamber is a predetermined degree of vacuum is evacuated. そして、真空槽中において、その上部に配置される基板を回転させつつ、成膜したい原料が貯えられたるつぼの内部が電子銃により加熱される。 Then, in a vacuum vessel, while rotating the substrate disposed thereon, inside of the crucible in which the raw material has been stored to be deposited is heated by an electron gun. この電子銃の加熱により、るつぼを飛び出した原料が基板上に蒸着される。 The heating of the electron gun, materials jumped out the crucible is deposited on the substrate. そして、蒸着の進行の程度が光学的な手段等によりモニターされており、目標とする厚さの成膜をなしえたことがモニターされるようになっている。 Then, the degree of progression of the deposition are monitored by optical means or the like, it is adapted to be monitored with E forms a deposition thickness of a target.

【0006】この蒸着装置を構成する各機器はプログラマブルコントローラに接続されており、該プログラマブルコントローラにより、上記プロセスを実行するための各機器の動作の順序やその動作の条件等が制御される。 [0006] When each apparatus in this deposition apparatus is connected to a programmable controller, by the programmable controller, conditions of the order and operation of the operation of the equipment for performing the process is controlled.
即ち、上記成膜のプロセスであれば、真空槽を排気するための排気ポンプの作動が最初に行われる。 That is, if the process of the deposition, the operation of the exhaust pump for evacuating the vacuum chamber is first performed. また、電子銃による加熱であれば、電子銃に供給される電流等が制御される。 Further, if the heating by the electron gun, such as the current supplied to the electron gun is controlled.

【0007】そして、プログラマブルコントローラによる上記各機器の動作の順序や動作の条件等の手順の制御は、プログラマブルコントローラを動作させるための制御プログラムの内容に従って行われる。 [0007] Then, control procedures, such as order and operating conditions of the operation of each device by a programmable controller is carried out in accordance with the contents of a control program for operating the programmable controller.

【0008】 [0008]

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来、多くの機器の動作に基づくプロセスをプログラマブルコントローラにより制御する場合、該プロセスを実行するオペレータは、プロセスの変更等を容易に行えなかった。 [SUMMARY OF THE INVENTION Incidentally, conventionally, when controlling the process based on the operation of many devices by a programmable controller, an operator for performing the process, was not easy to process changes and the like. 即ち、プロセスをどのように制御するかはプログラマブルコントローラを動作させる制御プログラムの内容に従うことになるからである。 That is, how to control the process because will follow the contents of the control program for operating the programmable controller. 従って、オペレータは、装置からの問い合わせに対して、例えば電子銃に供給する電流値を選択等できるにすぎず、複数の機器についてその動作させる順序を変更したり、新たな機器を追加する等のごとき変更まではできなかった。 Thus, the operator, to the inquiry from the device, for example, only the value of the current supplied to the electron gun can be selected such, and change the order in which the operation for a plurality of devices, such as adding a new device It was not up to such change.

【0009】一方、プログラマブルコントローラを介して制御されるプロセスは、多くの機器の動作に基づいて構成されている。 On the other hand, a process that is controlled via the programmable controller is configured based on the operation of many devices. 従って、上記成膜のプロセスであれば、成膜する材料の種類等により、プロセスの一部の実行を中止したり、プロセスの順序を変更する等、オペレータの判断によりプロセスを弾力的に変更できることが望ましい。 Therefore, if the process of the film formation, such as type of material to be deposited, or to cancel the part of the execution of a process, etc. to change the order of the process, can be resiliently change the process by the operator of the judgment It is desirable ここで、上記プロセスを変更するため、プログラマブルコントローラを動作させる制御プログラム自体を変更することも考えられる。 Here, in order to modify the above process, it is conceivable to change the control program itself to operate the programmable controller.

【0010】しかし、かかる制御プログラムを変更しようとすると、変更の作業に多大な時間を費やすことになる。 [0010] However, if you try to change such a control program, it would be to spend a lot of time in the work of change. また、かかる制御プログラムの変更を行うためには、プログラマブルコントローラ自体の動作手順に精通している必要があり、前記プロセスのオペレータに必ずしもなじむものではない。 Further, in order to make changes of the control program, you should be familiar with the operation procedure of the programmable controller itself, not necessarily familiar to the operator of the process.

【0011】そこで、本発明は、プログラマブルコントローラを介して機器に実行させるプロセスの変更を容易になし得るプロセス編集装置を提供することを目的とする。 [0011] Therefore, an object of the present invention to provide a process editing apparatus can make easily change processes to be executed by the device via the programmable controller.

【0012】 [0012]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため、本発明は、プログラマブルコントローラにより一定の順序に従って機器を制御することによって実行されるプロセスの手順を編集するプロセス編集装置であって、 In order to solve the above problems SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a process editing apparatus for editing a procedure of processes performed by controlling the equipment according to a certain order by the programmable controller,
前記プロセスの手順を、該手順に対応付けられる各要素と各要素間の関係として記憶する記憶手段と、グラフィカルユーザインターフェース(GUI)を介して、前記各要素と各要素間の関係とを表示画面に表示し、該表示に対するポインティングデバイスによる操作を介して、 The procedure of the process, storage means for storing a relationship between each element and each element associated with the The procedure, via a graphical user interface (GUI), displaying the relationship between each element and each element screen displaying, via the operation by the pointing device to the display, the
前記記憶手段に記憶されるプロセスの手順を編集する編集手段とを備えることを特徴としている(請求項1)。 Is characterized by comprising an editing means for editing a step in the process to be stored in said storage means (claim 1).

【0013】かかるプロセス編集装置によると、前記記憶手段に記憶されるプロセスの手順に対応付けられる各要素は、該要素が対応付けられる前記手順を実行する順序に基づく前記要素間の関係とともに前記表示画面に表示される。 [0013] According to such a process editing device, each element associated with the step in the process to be stored in said storage means, said display together with relationships between the elements based on the order in which to execute the steps which the element is associated It is displayed on the screen. これにより、オペレータは、前記各要素を該要素間の関係とともに前記表示画面上に確認することができ、前記プロセスの手順の全体を表示画面上で容易に把握することができる。 Thus, the operator, said each element can be checked on the display screen together with the relationship between the elements, it is possible to easily grasp the whole procedure of the process on the display screen.

【0014】そして、オペレータは、前記表示画面の表示に対するポインティングデバイスの操作を介して、前記プロセスの手順の編集を自在に行うことができる。 [0014] The operator, via the operation of the pointing device relative to the display of the display screen can be performed freely editing steps of the process. 即ち、前記各要素と各要素間の関係がGUIを介して前記表示画面に表示されており、オペレータは、ポインティングデバイスの操作を介した前記要素の移動や複写等、 That is, the are relationships between the elements and each element is displayed on the display screen via the GUI, the operator moves and copying etc. of the element through the operation of the pointing device,
および前記要素間の関係の変更を自在に行うことができるので、かかる自在に変更等され得る各要素が対応付けられて構成されるプロセスの手順の編集が自在である。 And can be performed freely change the relationship between the elements, editing procedure of the freely process constructed each element is associated that can be changed or the like is freely.
ここで、前記プロセスの手順に対応付けられる各要素には、各機器の動作を制御する命令や、該命令に対して機器の動作が一定条件を満たしたことの確認を内容とする条件成立待ちが含まれる。 Here, each element associated with the procedure of the process, commands and for controlling the operation of each device, the conditions established Pending operation of the device is the contents confirmation that satisfy certain conditions with respect to the instruction It is included. そして、これら要素と、該要素の実行順序に基づく前記各要素間の関係とによってプロセスの手順が構成されることになる。 Then, with these elements, steps of the process wherein by the relationships between the elements based on the execution order of the element is to be configured.

【0015】このように、本発明のプロセス編集装置によると、プログラマブルコントローラによって制御される機器により実行される前記プロセスの手順を自在に編集できるので、プログラマブルコントローラを動作させるための制御プログラム自体を変更する作業に煩わされることなく、プロセスの変更を容易に行える。 [0015] Thus, according to the process editing apparatus of the present invention, it is possible to edit freely procedure of the process performed by the device controlled by a programmable controller, it changes the control program for operating the programmable controller without worrying about operations to easily perform the process changes.

【0016】また、前記記憶手段による記憶が、前記各要素間の関係に基づいた階層的な記憶であり、前記編集手段による表示画面の表示が、前記各要素間の関係に基づいた階層的な表示である場合には(請求項2)、前記プロセスの手順の編集が行い易い。 [0016] The storage by the storing means, wherein a hierarchical storage based on the relationship between the elements, the display on the display screen by the editing means, the hierarchical based on the relationships between the elements If a display (claim 2), the editing procedure of the process easy to perform. 即ち、前記各要素がプロセスの手順における実行順序に基づく前記要素間の関係に基づいて階層的な関係として表示されるので、前記要素間の関係を系統的に順序立てて把握することができる。 That is, the so each element is displayed as a hierarchical relationship based on the relationship between the elements based on the execution order of steps in the process, can be grasped by systematically orderly sequence relationships between said elements. これにより、表示画面の表示に対する前記操作を介してなされるプロセスの手順の編集を容易に行うことができる。 Thus, it is possible to easily edit step in the process to be made through the operation on the display of the display screen.

【0017】また、前記記憶手段に記憶される要素が、 Further, elements that are stored in the storage means,
一定の要素の集合を表すノードを含み、前記階層的な記憶が、前記ノードとその下位の階層に配置される前記一定の要素とによって形成され、前記編集手段による編集は、前記ノードの表示に対する操作の内容が、該ノードの下位に配置される前記一定の要素に及ぶように構成される場合には(請求項3)、前記表示される一つのノードに対する操作の内容が該ノードの下位に配置される全ての要素に及ぶので、編集する作業を行う上で操作し易い。 Includes nodes representing a collection of certain elements, the hierarchical storage is formed by the said fixed element being arranged in the node and its lower hierarchy, edited by the editing means, for the display of the node the contents of the operation, the if configured to span the certain elements (claim 3) disposed in the lower of the nodes, the lower content of the operation for a single node to be the displayed said node since cover all elements placed, easy to operate in performing the work of editing. 即ち、一つのノードの表示に対する移動や複写等の操作を行うと、該ノードの下位に配置される全ての要素が連動して移動や複写等されることになる。 In other words, performs an operation of moving or copying, etc. to the display of a node, all the elements disposed in the lower of the nodes are moved or copied, etc. in conjunction. 従って、似通ったプロセスの手順について、ノード単位で複写等の操作による編集が行えるので、プロセスの編集を行う上で操作し易い。 Thus, the procedure of similar processes, so enabling editing by an operation such as copying on a per-node basis, easily maneuvered over editing process.

【0018】また、前記ノードが、機器の動作を制御する正常時のプロセスの手順と、機器の異常動作を監視する条件である監視条件と、機器の異常の発生に対して機器を停止させる手順とを含み、前記編集手段は、前記正常時のプロセスの手順と、前記監視条件と、前記機器を停止させる手順とを各々に編集できるように構成され、 [0018] Procedure said node, the procedure of the normal time of the process for controlling the operation of the equipment, stopping the monitoring condition is a condition for monitoring the abnormal operation of the equipment, the equipment against abnormality of the equipment wherein the door, said editing means, and procedures of the normal state of the process, the monitoring condition, is configured to be edited respectively and procedures to stop the device,
正常時のプロセスの手順の編集においてした前記操作が、監視条件と機器を停止させる手順とに対して前記ノード単位で及ぶように構成される場合には(請求項4)、機器の動作を一定の順序に従って制御する正常時のプロセスの手順のみならず、前記監視条件や、前記機器を停止させる手順についても編集することができる。 The operation was in the editing procedure of the normal time process, wherein when configured to span the node units (claim 4) with respect to the procedure for stopping the monitoring condition and equipment, constant operation of the equipment not only the procedure of the normal time of the process to control the order of, the or monitoring condition can also edit procedure for stopping the device.
そして、正常時のプロセスの手順の編集においてした前記操作が、ノード単位で監視条件や機器を停止させる手順にも及ぶように構成されるので、前記監視条件等の編集を行い易い。 Then, the operation was in the editing procedure of the normal time process, since it is configured such also extends to the procedure for stopping the monitoring condition and equipment per node, easy to perform editing such as the monitoring condition. 即ち、正常時のプロセスの手順の編集において前記ノード単位で複写等の操作を行うと、監視条件や機器を停止させる手順についてもかかるノード単位で連動して複写等されることになる。 That is, when performing operations such as copying at the node unit in the editing procedure of the normal time of the process, it will be copied in conjunction a monitoring condition and equipment per node according even how to stop the like. 一方、監視条件や機器を停止させる手順の編集が、正常時のプロセスの編集においてしたノード単位の操作に連動してされるのみでは不都合な場合には、監視条件や機器を停止させる手順の編集を個別に行うことで対処できる。 On the other hand, the editing procedure editing steps for stopping the monitoring condition and equipment, if only by the disadvantage is in conjunction with the operation of node units and in the editing of the normal time process, to stop the monitoring condition and equipment It can be addressed by performing individually.

【0019】これにより、以下の意義を生ずる。 [0019] Thus, the results in the following significance. 即ち、 In other words,
機器の動作を制御するプロセスの手順を編集するにあたり、安全かつ生産物の品質を確保するために、機器の動作に予想外の状況が発生した場合の動作の手順についても編集できる必要がある。 Upon editing the procedure of a process for controlling the operation of the equipment, safety and to ensure the quality of the product, it is necessary to edit also a procedure of operation in the case where unexpected situation occurs in the operation of the equipment. しかし、オペレータの主目的は前記正常時のプロセスの手順であり、前記監視条件や機器を停止させる手順についてはなるべく考慮しなくて済むようにしておく必要がある。 However, the main objective of the operator is the step in the process at the time of the normal, the procedure for stopping the monitoring condition and equipment needs to be as much as possible need not be taken into account. プロセスの順序や回数に対する自由度の高さと引き換えに、編集作業が煩雑になっては、作業ミスの増加や、機器の動作の安全性を欠くことになりかねないからである。 In exchange for a high degree of freedom for the order and the number of times of the process, editing work becomes complicated, and an increase in the work mistakes, because could lead to a lack of safety of operation of the device. 従って、前記正常時のプロセスの手順の編集操作に追従して、暗黙のうちに前記監視条件や機器を停止させる手順が変更されることが望ましく、本発明のプロセス編集装置によれば、かかる要請を満たすことができる。 Accordingly, the following the editing operation procedure of the normal state of the process, the procedure for stopping the monitoring condition and equipment that is changed desirably implicitly, according to the process editing apparatus of the present invention, such requirement it can be satisfied.

【0020】また、機器に異常が発生した場合に、生産物の品質を確保するため、発生した異常に応じて停止させるべき装置が異なる。 Further, when an abnormality occurs in the device, to ensure the quality of the product, it should be stopped if the abnormalities device is different. 例えば、成膜のプロセスであれば、基板を一定温度とするためのヒーターと電子銃とについて、電子銃に異常が発生すると、電子銃は停止させるが、品質を保証するためヒーターは停止させない。 For example, if the process of the deposition for the heater and the electron gun for the substrate and a constant temperature, the abnormality in the electron gun is generated, the electron gun is stopped, the heater is not stopped to ensure the quality. しかし、ヒーターに異常が生ずると、いずれにせよ品質が保証できないので、電子銃もヒーターも停止させてしまい、安全を確保する。 However, when an abnormality in the heater occurs, because the quality in any case can not be guaranteed, the electron gun may cause a heater also stopped, to ensure safety. 本発明のプロセス編集装置によれば、かかる事情に基づき動作を停止させる手順についても、自在に編集することが可能である。 According to the process editing apparatus of the present invention, for the steps of stopping the operation based on the above circumstances, it is possible to edit freely.

【0021】また、前記編集手段による前記各要素の表示が、該要素の属性に対応させた識別表示である場合には(請求項5)、前記プロセスの手順の編集を行うにあたり、前記各要素間の関係をより容易に把握することができる。 Further, the display of each element by said editing means, in the case of the identification display corresponding to the attribute of the element (claim 5), in performing an editing procedure of the process, each element it can be more easily grasp the relationship between.

【0022】また、前記編集されたプロセスの手順を実行すると、前記機器により実行されるプロセスの手順に対応付けられる各要素を表示するように構成される場合には(請求項6)、前記編集されたプロセスの手順に基づいて表示される前記要素のうち、実行中にあるものを確認することができる。 Further, when executing the instructions of the edited process, when configured to display the elements associated with the procedure of a process executed by the device (Claim 6), the editing among the elements displayed on the basis of the instructions of the processes, it is possible to see what is in execution. これにより、各機器により実行されるプロセスの進行を表示画面で明確に把握でき、プロセスの進行の管理が容易である。 Thus, clear insight into the progression of processes executed by each device in the display screen, it is easy to manage the progress of the process.

【0023】また、前記機器が真空成膜に用いられる機器であり、前記プロセスが真空成膜のプロセスである場合には(請求項7)、以下の意義がある。 Further, the device is a device for use in vacuum deposition, if the process is a process of vacuum deposition (Claim 7), has the following significance.

【0024】真空成膜のプロセスは、多種類の機器を広範な動作条件のもとに動作させることによって実行される。 The vacuum deposition process is performed by operating the various kinds of equipment based on the wide range of operating conditions. 従って、真空成膜のプロセスを制御する条件は、多岐にわたる複雑なものであり、成膜の対象となる膜の種類等に応じて広範囲にわたって弾力的に変更できることが望まれる。 Therefore, conditions that control the process of vacuum deposition, is complex variety, it is desirable to be able to resiliently changed over a wide range according to the type of film to be deposited.

【0025】本発明のプロセス編集装置によると、上記のようにプロセスの編集を自在に行えるので、真空成膜のプロセスであっても、広範囲にわたるプロセスの変更を容易に行うことができる。 [0025] According to the process editing apparatus of the present invention, since performed freely editing process as described above, even in the process of vacuum deposition, it is possible to change the process extensive easily.

【0026】また、編集されたプロセスに基づいて、前記プロセス表示手段により実行中のプロセスを確認できるので、真空成膜のプロセスの進行の管理が容易である。 Further, based on the process that has been edited, it is possible to check the running process by the process display unit, it is easy to manage the progress of the process of vacuum deposition.

【0027】 [0027]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、図1乃至図13に基づいて説明する。 The embodiment of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 13.

【0028】この実施の形態では、本発明のプロセス編集装置により手順が編集されるプロセスとして、真空成膜のプロセスを例に挙げて説明する。 [0028] In this embodiment, as the process of steps by the process editing apparatus of the present invention is edited will be described as an example process of vacuum deposition.

【0029】図1は真空成膜の装置の一つである蒸着装置を構成する各機器を示しており、真空成膜のプロセスは図1に示される蒸着装置1の各機器によって実行される。 [0029] Figure 1 shows the respective devices constituting the is one deposition apparatus of the apparatus of a vacuum deposition process of vacuum deposition is performed by each device of the vapor deposition apparatus 1 shown in FIG. 図1の各機器による蒸着膜の形成は、図1に特に図示されない真空槽中において、その上部に配置される基板上においてなされる。 Formation of the deposited film by the apparatus of Figure 1, in a vacuum tank which is not specifically shown in FIG. 1, is made on a substrate placed thereon.

【0030】排気ポンプ2は、真空槽を所定の真空レベルとするため、真空槽の排気を行うものである。 The exhaust pump 2, to the vacuum chamber to a predetermined vacuum level, and performs exhaust of the vacuum chamber. 回転ドーム3は、真空槽の上部に配設されており、基板を支持して所定の回転速度で回転させるものである。 Rotation dome 3 is disposed on top of the vacuum chamber and supporting the substrate which is intended to rotate at a predetermined rotational speed. ヒーター4は、蒸着膜を形成し易いように、基板を所定の温度に加熱するものである。 Heater 4, in order to facilitate forming a deposited film, in which the substrate is heated to a predetermined temperature. るつぼ5は、その内部に蒸着膜の原料を貯える容器であり、真空槽の下部に配置されている。 The crucible 5 is a container to store the material of the deposited film therein, is disposed in the lower portion of the vacuum chamber. 電子銃6は、前記るつぼ5内の原料に電子ビームを照射して蒸発させるための加熱装置である。 The electron gun 6 is a heating device for evaporating by irradiating an electron beam to the raw material in the crucible 5. 膜厚補正板7は、前記るつぼ5内の原料の蒸発に不均一がある場合に、基板上に均一に成膜できるようにするためのものである。 Film thickness correcting plate 7, if there is uneven evaporation of the raw material in the crucible 5 is intended to allow uniform deposition on the substrate.

【0031】光モニタ8は、光学式膜厚計により蒸着膜の厚さを検出し、成膜の進行の程度をモニターするためのものである。 The optical monitor 8 detects the thickness of the deposited film by an optical film thickness meter is for monitoring the extent of progression of the deposition. 水晶モニタ9は、水晶振動子により蒸着膜の厚さを検出し、成膜の進行の程度をモニターするためのものである。 Crystal monitor 9 detects the thickness of the deposited film by quartz oscillator is used to monitor the extent of progression of the deposition. これらの二つのモニタ8、9について、例えば、成膜の最終的な完了を光モニタ8により検出し、水晶モニタ9により検出される膜厚により成膜速度をコントロールするように用いることができる。 These two monitors 8,9, for example, the final completion of the film formation is detected by an optical monitor 8 can be used to control the deposition rate by the film thickness which is detected by the crystal monitor 9.

【0032】イオン銃10は、基板の表面近傍にプラズマを供給して基板をクリーニングする等により、基板を蒸着膜を形成し易い状態とするためのものである。 The ion gun 10, the like and supplies the plasma to the vicinity of the surface of the substrate to clean the substrate is for a state easy to form a deposited film to the substrate.

【0033】そして、これら蒸着装置1の各機器の動作は、これらの機器が接続されるプログラマブルコントローラの一種であるシーケンサ11により、一定の順序および条件に従って制御される。 [0033] Then, each device in the operation of these deposition apparatus 1, the sequencer 11 is a type of programmable controller which these devices are connected, is controlled according to a certain order and conditions. また、シーケンサ11には各色に点滅させ得る特に図示していないパトライトも接続されている。 Further, Patlite are also connections not specifically shown may blink for each color in the sequencer 11.

【0034】シーケンサ11による蒸着装置1の各機器の制御は、シーケンサ11に搭載される制御プログラムに従ってなされる。 The control of each device in the deposition apparatus according to the sequencer 11 1 is made in accordance with the control program to be installed in the sequencer 11. そして、シーケンサ11の制御プログラムを実行させる各種の条件は、後に説明するパソコン20の目的プログラムの内容に従って設定されることになる。 Then, various conditions for executing the control program of the sequencer 11 will be set according to the contents of the object program of the personal computer 20 to be described later.

【0035】また、蒸着装置1の各機器には図示していない各種の計測機器が接続されるが、かかる計測機器の出力信号はシーケンサ11に入力されるようになっており、蒸着装置1の各機器の動作の状況がシーケンサ11 Further, various measuring instruments, not shown in the devices of the vapor deposition apparatus 1 is connected, the output signal of such a measuring device is adapted to be inputted to the sequencer 11, the deposition apparatus 1 situation of the operation of each device sequencer 11
の制御プログラムにモニターされるようになっている。 It is adapted to be monitored in the control program of.
そして、蒸着装置1の各機器の動作の状況は、シーケンサ11の制御プログラムを介して後に説明するパソコン20の実行モジュールにもモニターされるようになっている。 Then, the status of operation of each device of the vapor deposition apparatus 1 is adapted to be monitored in the execution module of the personal computer 20 to be described later via a control program of the sequencer 11. かかるパソコン20とシーケンサ11との間における送受信は、通信回線12を介して行われる。 Reception between the take PC 20 and the sequencer 11 is performed via the communication line 12.

【0036】パソコン20は、本発明のプロセス編集装置にあたる。 The personal computer 20, corresponds to the process editing apparatus of the present invention. パソコン20は、グラフィカルユーザーインターフェース(GUI)であるウィンドウシステムをサポートしている。 The personal computer 20, supports the window system, which is a graphical user interface (GUI). このパソコン20にあってはポインティングデバイスとしてマウス22が付設されている。 In the this computer 20 mouse 22 is attached as a pointing device.
そして、オペレータは、マウス22を操作することによる表示画面21に対する対話的な操作によって、後に説明するプロセスの編集を行える。 The operator, by interactive operation on the display screen 21 by operating the mouse 22, allows for the editing of a process to be described later. なお、ウィンドウシステムの好適な例として、Microsoft 社より提供されるパソコンのOSであるWindows によりサポートされるものを挙げることができる。 As a preferred example of the window system, there may be mentioned those that are supported by Windows is an OS of a personal computer that is provided by Microsoft.

【0037】また、パソコン20はフロッピィディスク(FD)ドライブ23を備えており、後に説明する雛形ファイル28をFDからメモリ25に読み込むことができる。 [0037] In addition, the personal computer 20 can be read equipped with a floppy disk (FD) drive 23, the template file 28 which will be described later from the FD to the memory 25. また、図示していないCD−ROMドライブを付設することもでき、CD−ROMより雛形ファイル28 In addition, it can also be attached to the CD-ROM drive (not shown), the template file 28 from CD-ROM
をメモリ25に読み込むようにもできる。 The can also be to read into the memory 25.

【0038】また、パソコン20は、記憶手段、編集手段を備えている。 [0038] In addition, the personal computer 20, the storage means, and an editing means. 図2は、パソコン20により実現される前記手段にかかるブロック図を示している。 Figure 2 shows a block diagram according to the means implemented by the personal computer 20.

【0039】メモリ25には、雛形ファイル領域26と目的ファイル領域27が形成されている。 [0039] memory 25, template file region 26 and object files region 27 is formed. 雛形ファイル領域26には、プロセスの手順の編集を行うにあたり、 The template file area 26, carrying out the editing process of the procedure,
その雛形となる雛形ファイル28等が格納されている。 Template file 28 and the like are stored to be the template.
そして、雛形ファイル28には、プロセスの手順と対応付けられる各要素である31や34等が、各要素間の関係に基づいて関連付けて記憶されている。 Then, in the template file 28, 31 and 34, etc. which are the components associated with the process steps, it is stored in association on the basis of the relationship between the elements. 具体的には、 In particular,
一定の要素の集合を表す要素であるノード31等と、各ノードに含まれる手順を構成する各機器の一連の動作の各々に関係する単位項目を表す要素34等が、ノード3 And the node 31 or the like is an element representing a set of certain elements, each element 34, etc. represents a unit item relating to a series of operations of the devices constituting the steps involved in each node, the node 3
1等を上位とする階層的な関係をなすように配置されている。 They are arranged one like so as to form a hierarchical relationship to the upper. また、例えば、一つのノード31と、該ノード3 Further, for example, a single node 31, the node 3
1を構成する要素であるノード32、33等についても、ノード31を上位とする階層的な関係をなすように配置されている。 For even elements in a node 32, 33 or the like constituting one is arranged nodes 31 so as to form a hierarchical relationship to the upper.

【0040】各機器の動作に関係する単位項目には、機器に対する一つの動作命令や、該命令に対する機器の動作が一定条件を満たしていることを確認する条件成立待ち、機器に対する動作停止命令、機器の異常動作に対して緊急停止させる条件である監視条件がある。 [0040] The unit item relating to the operation of each device, the condition is satisfied waiting to make sure that one operation command and, the operation of the device for the instruction meet certain conditions with respect to the equipment, operation stop instruction with respect to the equipment, there are monitoring condition is a condition in which an emergency stop against malfunction of the equipment. そして、 And,
前記各ノードは、機器の動作を制御する正常時のプロセスの手順と、異常動作に対する監視条件と、異常発生時における機器の動作を停止させる手順を含んでいる。 Wherein each node includes a procedure of normal operation of the process for controlling the operation of the equipment, the monitoring condition to an abnormal operation, a procedure for stopping the operation of the equipment at the time of abnormality occurrence. また、上記各要素を記憶するにあたり、ノードに対応するものであるか、機器の動作に関係する単位項目に対応するものであるか等の要素の属性に応じて、異なる識別記号を付することができる。 Further, when storing the respective elements, or which corresponds to the node, depending on the attribute of the element, such as whether those corresponding to the unit items related to the operation of the device, subjecting the different identification symbols can. これにより、後に説明するG G As a result, which will be described later
UIを介した各要素の表示において、識別記号を用いた識別表示を可能にできる。 In view of the elements via the UI, it can enable identification with identifications.

【0041】そして、プロセスの手順の編集を行う場合に、雛形ファイル28等を読み込むと、雛形ファイルに記憶される前記各要素が、前記各要素間の階層的な関係とともにGUIを介して表示画面21に表示される。 [0041] When the editing process procedures, load a template file 28 or the like, each of elements stored in the template file, the display screen via the GUI with hierarchical relationships between the elements It is displayed in the 21. そして、オペレータは、かかる表示画面21の表示に対するマウス22の操作を介して、各要素の移動や削除、複写等を行うことができ、前記要素間の関係の変更を自在に行うことができる。 The operator, via the operation of the mouse 22 to the display of the display screen 21, moving or deleting of elements, and the like can be performed copying can be performed freely change the relationship between the elements.

【0042】即ち、前記要素の各々を表す要素アイコンが表示画面21に表示される。 [0042] That is, component icons representing each of the elements appear on the display screen 21. そして、オペレータは、 The operator,
かかる要素アイコンをマウス22によって自在に操作できるのであり、例えば、マウス22のクリックによる特定の要素アイコンの選択や、そのドラッグアンドドロップ等を行うことができる。 Such component icons and as it can operate freely by the mouse 22, for example, selection of a particular element icons by clicking the mouse 22, it is possible to perform the drag and drop, or the like. また、マウス22の操作の組み合わせにより、選択された要素アイコンを削除することもできる。 Further, the combination of operation of the mouse 22, it is also possible to delete the selected element icon. また、マウス22に特定のクリックのパターンを設定しておき、要素アイコンに対する該特定のクリックによって、その要素に対応する上記機器の動作の条件、例えば、電子銃を動作させる電流値等の条件を設定するようにもできる。 Alternatively, it is acceptable to set the pattern of a particular click the mouse 22, by the particular clicks on element icon, conditions of the operation of the device corresponding to that element, for example, the condition of the current value or the like for operating the electron gun it is also to be set.

【0043】かかる要素アイコンに対する前記操作の内容は、該要素アイコンによって表される前記要素に反映され、表示画面21の表示に対するマウス22の操作を介して、前記要素の移動や削除等、および前記要素間の関係の変更を自在に行うことができる。 The contents of the operation for such component icon is reflected in the element represented by the element icon, through the operation of the mouse 22 to the display of the display screen 21, move or deletion of the element, and the it is possible to change the relationship between elements freely. また、ノードを表す要素アイコンに対する操作に対して、該ノードに対して下位に配置される全ての要素に及ぶ構成とされている。 Further, with respect to the operation for the element icons representing nodes, and is configured to cover all of the elements arranged in lower relative to the node. 即ち、一つのノードに対して削除又は複写等の操作を行うと、該操作されたノード単位で該ノードの下位に配置されるノードや前記単位項目の要素の全ての要素が削除又は複写等されるように構成されている。 That is, when operating the deletion or copying or the like to the one node, all elements of the nodes and elements of the unit items placed in the lower of the nodes in the node units are the operation is deleted or copied or the like It is configured so that.

【0044】このようにして、プロセスの手順を自在に編集することができる。 [0044] In this way, it is possible to edit the process of procedure freely.

【0045】そして、上記雛形ファイル28に基づいて編集された手順は、一つの目的ファイル29として記憶される。 [0045] Then, the procedure that has been edited based on the template file 28 is stored as a single object file 29. かかる目的ファイル29は目的ファイル領域2 Such an object file 29 is the purpose file area 2
7に生成される。 7 is generated. また、メモリ25には、目的ファイル29に基づいて生成される実行モジュール30が配置される。 The memory 25, the execution module 30 that is generated based on the object file 29 are located. 実行モジュール30は、シーケンサ11の制御プログラムと送受信を行う。 Execution module 30 performs a control program and reception of the sequencer 11.

【0046】以下に、プロセス編集装置の具体的な構成の例について、図3乃至図13に基づいて説明する。 [0046] Hereinafter, an example of a specific configuration of the process editing apparatus will be described with reference to FIGS. 3 to 13.

【0047】図3は初期画面である。 [0047] FIG. 3 is the initial screen. 図3に示される初期画面より、マウス22の操作によって前記雛形ファイルの一つである「蒸着処理」41を読み込む。 From the initial screen shown in FIG. 3, it reads the "vapor deposition" 41 which is one of the template file by operating the mouse 22. この「蒸着処理」41には、上記蒸着装置1の各機器によって実行される全プロセスの一部である成膜のプロセスの手順に対応付けられる各要素が各要素間の関係とともに記憶されている。 The "vapor deposition process" 41, the elements associated with the procedure of film formation processes as part of the overall process executed by each device of the deposition device 1 is stored with the relationship between the elements .

【0048】図4は、上記「蒸着処理」41を読み込んだ後に表示画面21に表示される第一画面の一例である。 [0048] Figure 4 is an example of a first screen displayed on the display screen 21 after reading the "deposition process" 41. この第一画面は、蒸着装置1の各機器の動作を制御する正常時のプロセスの手順を編集するための画面であり、かかるプロセスの手順と対応付けられる要素を表す要素アイコンが表示される要素アイコン表示領域61が設けられる。 The first screen is a screen for editing the procedure of the normal time of the process for controlling the operation of each device of the vapor deposition apparatus 1, the element component icons representing elements associated with procedure of the process is displayed icon display area 61 is provided. この要素アイコン表示領域61については後に詳しく説明する。 It will be described later in detail this element icon display area 61. また、この第一画面には、後に説明する第二画面や第三画面にも表示される画面操作用アイコン領域51や制御用アイコン領域58も設けられる。 Further, this first screen, the second screen and the third screen is displayed on the screen as the operation icon area 51 and the control icon area 58 to be described later is also provided.

【0049】画面操作用アイコン領域51には、アイコン52乃至57が表示されている。 [0049] The screen operation icon area 51, the icon 52 to 57 are displayed. この例では、マウス22により画面操作用アイコン52がクリックされると、既にマウス22の操作によって選択されている要素が削除されるように構成されている。 In this example, the screen operation icon 52 with the mouse 22 is clicked, already configured element that is selected by operation of the mouse 22 is deleted. また、マウス22 In addition, the mouse 22
により画面操作用アイコン53、54を操作することによって、既に選択されている要素を複写できるように構成されている。 By operating the screen operation icon 53, 54 by being configured to copy an element that is already selected. 即ち、マウス22の操作による要素の選択と、複写を表すアイコン53のクリックと、複写したい領域への前記要素の貼り付けを表すアイコン54のクリックとにより複写することができる。 That is, it is possible to copy operations and elements of the selection by the mouse 22, and clicks the icon 53 representing copying, by a click of an icon 54 representing the attachment of the element to the area to be copied.

【0050】アイコン55は、後に説明する第二画面または第三画面が表示されている場合に、画面の表示を当第一画面に変更するためのアイコンである。 The icon 55, when the second screen or third screen will be described later is displayed, an icon for changing the display of the screen to those initial screen. 雛形ファイルを読み込んだ直後には第一画面が表示されるが、第二画面または第三画面の表示に変更した場合に、アイコン55をクリックすることによって第一画面を表示することができる。 Although immediately after reading the template file is displayed first screen, it is possible when changing the display of the second screen or third screen and displays the initial screen by clicking the icon 55. そして、アイコン56がクリックされると後に説明する監視条件を編集するための第二画面が表示され、また、アイコン57がクリックされると後に説明する異常発生時に機器の動作を停止させる手順を編集するための第三画面が表示される。 Then, to display the second screen for editing the monitoring conditions described later when the icon 56 is clicked, also edit the procedure for stopping the operation of the equipment when abnormality occurs to be described later when the icon 57 is clicked the third screen to appear.

【0051】制御用アイコン表示領域58には制御用アイコン59、60等が表示されている。 [0051] The control for the icon display area 58 such as a control for the icon 59 and 60 are displayed. この例にあっては、制御用アイコン59(「運転」)がマウス22によってクリックされると、編集された目的ファイルの内容に基づいて、上記蒸着装置1の各機器の自動運転を行えるように構成されている。 In the this example, the control icon 59 ( "operation") is clicked by the mouse 22, based on the content of the edited object file, to allow the automatic operation of the devices of the vapor deposition apparatus 1 It is configured. また、制御用アイコン60 In addition, the control icon 60
(「終了」)がクリックされると、編集された内容を目的ファイルとして保存した後に、編集する操作を終了できるように構成されている。 When the ( "Exit") is clicked, after you save the edited contents as the destination file, and is configured so as to be able to complete the operation you want to edit.

【0052】そして、要素アイコン表示領域61には、 [0052] and, elements icon display area 61,
プロセスの手順と対応付けられる各要素を表す要素アイコンが表示される。 Component icons representing each element associated with the process of steps. 各要素アイコン62、63等は、該アイコンによって表される要素の属性に応じて種類の異なる識別記号が付されている。 Each component icons 62 and 63, etc., different types of identification marks in accordance with the attribute of the element represented by the icon is attached. 即ち、一定の要素の集合を表すノードを表す要素アイコンについては第一記号8 That is, the elements icons representing nodes representing a collection of certain elements first symbol 8
1が付されており、機器の動作に対する命令を表す要素アイコンについては第二記号82が付されており、機器への命令に対して動作が一定条件を満たしたことの確認を内容とする条件成立待ちを表す要素アイコンについては第三記号83が付されている。 1 are denoted, for the component icons representing instructions for operation of the device the conditions for the contents confirmation that are denoted by the second symbol 82, the operation for the instruction to the device satisfies a predetermined condition third symbol 83 are assigned the elements icon representing the establishment wait. なお、後に説明する図5においてノードを表す要素アイコンの一部に特殊第一記号81aを付して表示するように、同じ属性の要素であるが特殊な性質を有するものについて、異なるが近似する識別記号を付することによって区別できるように表示することもできる。 As will be displayed are designated by the special first symbol 81a on a part of the element icons representing nodes in FIG. 5 to be described later, is a component of the same attributes for those with special properties, which differ approximated It may be displayed so as to be distinguished by subjecting the identification mark. また、後に説明する監視条件を表す要素アイコンについては、第四記号84が付される。 Also, the component icons representing the monitored condition to be described later, the fourth symbol 84 is assigned.
このように、各要素の属性に応じて識別記号によって識別表示すると、これらの要素間の関係を一見して把握でき、これら要素を表す要素アイコンの操作を行い易い。 Thus, the identification is displayed by the identification code according to the attribute of each element, it can be grasped at a glance the relationship between these elements, easy to perform the operation of the component icons representing these elements.

【0053】なお、以下の説明において、プロセスの手順と対応付けられる各要素と該要素を表す要素アイコンとを特に区別する必要がないときは、要素アイコンについても要素という。 [0053] In the following description, when it is not necessary to distinguish the elements icons representing each element and the elements associated with the process steps that also elements for the component icons.

【0054】領域61の左画面61aにはノードを表す要素が表示されている。 [0054] The left screen 61a of the region 61 are displayed element representing the node. 即ち、雛形ファイルである「蒸着処理」41に最上位のノードとして記憶されている「成膜プロセス」62と、該62に対して下位の階層に配置されるノードを表す「回転ドームの回転と加熱」6 That is, the "deposition process" 62 which is stored as the highest-level node to the "vapor deposition" 41 is a template file, and the rotation of the "rotating dome that represents the node to be placed in a lower hierarchy with respect to the 62 heating "6
3が、プロセスの手順における順序に従って表示されている。 3, are displayed in the order in the process steps. また、表示領域61の右画面61bには、左画面61aにおいて選択された要素である前記63に対して下位の階層に配置される一定の要素が、実行される順序に従って表示されている。 In addition, the right screen 61b of the display region 61, certain elements which are arranged in the lower hierarchy relative to the 63 is an element selected in the left screen 61a is being displayed in the order in which they are executed. 即ち、左画面61aに表示されるノードを表す要素をマウス22により選択すると、 That is, when an element that represents the node to be displayed on the left screen 61a is selected by the mouse 22,
該選択されたノードの下位に配置される、該ノードが含んでいる手順を構成する各要素を確認することができる。 Is disposed in the lower of the selected node can confirm the elements constituting the procedure of the node contains.

【0055】そして、図4の画面に表示される要素に対して、さらに下位に配置される要素の表示を以下のように構成している。 [0055] Then, the elements displayed on the screen of FIG. 4, is configured as follows display elements that are located further backward. 即ち、要素63に付される第一記号8 That is, the first symbol preceding an element 63 8
1の左側の極近傍をマウス22によって1回クリックすることにより、図5に示されるように、ノード63に対して下位に配置されるノードの要素を表す「基板への成膜」66が左画面61aにおける前記63の下側に展開される。 By one pole near the left one click with the mouse 22, as shown in FIG. 5, "deposited on the substrate" 66 left representing the elements of a node arranged lower with respect to node 63 It is deployed on the lower side of the the screen 61a 63. また、さらに下位に配置されるノードを表す要素の左画面61aへの表示についても、上記操作によって順次に下側に展開されるように構成されている。 As for the further display to the left screen 61a of the element that represents the node to be placed in the lower, and is configured to be sequentially deployed in the lower by the operation. そして、前記要素66をマウス22によって選択すると、要素66を構成する手順に含まれる各要素を、図5に示されるように右画面61bに確認することができる。 Then, the element 66 when selected by the mouse 22, the elements included in the procedure for constituting the element 66, it can be checked on the right screen 61b as shown in FIG. このように、領域61の左画面61aに表示される要素に対するマウス22の操作によって、雛形ファイル41に記憶される全要素を、それらが実行される順序に基づく関係とともに確認できる。 Thus, by operation of the mouse 22 for the element to be displayed on the left screen 61a of the region 61, all elements that are stored in the template file 41 it can be confirmed with relationship based on the order in which they are performed.

【0056】また、領域61に表示される各要素の削除や移動、複写の操作を、マウス22によって自在になし得るように構成されている。 [0056] Further, deletion and movement of each element displayed in the area 61, the operation of copying, and is configured to be made freely by the mouse 22. 具体的には、以下のように構成されている。 Specifically, it is constructed as follows.

【0057】表示される要素のうち不要な要素の削除について、マウス22を1回クリックすることによる該要素の選択と、その後のアイコン52のクリックとによって構成されている。 [0057] For deletion of unnecessary elements of the elements displayed, and selection of the element caused by a single mouse click 22 is constituted of a click subsequent icon 52. 例えば、図4に示される画面において、マウス22を1回クリックすることにより「通知する→パトライト−黄」65を選択し、アイコン52をクリックすると、「通知する→パトライト−黄」65が削除される。 For example, the screen shown in FIG. 4, "notifies → Patlite - yellow" by a single mouse click 22 select 65, by clicking the icon 52, "Notify → Patlite - yellow" 65 is deleted that. これにより、パトライトを黄色に点灯させることを行わないプロセスに編集することができる。 Thus, the Patlite can be edited in the process is not carried out it is turned yellow.

【0058】また、表示される要素の移動を、マウス2 [0058] In addition, the movement of elements to be displayed, the mouse 2
2による該要素のドラッグとドロップとにより行うように構成されている。 It is configured to perform the the drag-and-drop of the element by 2. 例えば、図4に示される画面において、「通知する→パトライト−黄」65をマウス22によって選択した後にドラッグし、「基板への成膜」66 For example, the screen shown in FIG. 4, "Notify → Patlite - yellow" 65 and drag after selecting with the mouse 22, "deposited on the substrate" 66
が表示される領域の下側90にドロップすることにより、「通知する→パトライト−黄」65を領域90に移動させる構成とできる。 By but dropping below the 90 of the area displayed, "Notify → Patlite - yellow" can configured to move 65 in the region 90. これにより、「基板への成膜」 As a result, the "film formation on the substrate"
66のノードに含まれる手順が終了した後に、パトライトを黄色に点灯させるプロセスに編集できる。 After steps involved in 66 nodes has been completed, it can be edited in a process of lighting the Patlite yellow.

【0059】また、表示されている要素を複写する場合には、例えば、図6に示されるように、マウス22の操作によって複写したい要素67を選択し、その後にアイコン53をクリックし、さらに複写したい領域91をクリックする。 [0059] Also, in the case of copying the elements that are displayed, for example, as shown in FIG. 6, select the element 67 to be copied by operating the mouse 22, and click then the icon 53, further copying click on the region 91 that you want to. そして、アイコン54をクリックすると、 Then, when you click the icon 54,
図7に示されるように前記領域91に要素67を貼り付けることができる。 You can paste the element 67 in the region 91 as shown in FIG.

【0060】この図6、図7に示された要素67の複写は、ノードを表す要素67の複写であり、該要素67に対してその下位に配置される全ての要素が自動的に複写される。 [0060] reproduction of FIG. 6, the elements 67 shown in FIG. 7 is a copy of the element 67 that represents the node, all the elements that are disposed in the lower relative to the element 67 is automatically copied that. 即ち、該要素67を構成する手順に含まれる機器の動作に対する命令を表す要素や、前記条件成立待ちを表す要素等についても複写される。 That is, elements and representing instructions for operation of the devices included in the procedure for constituting the element 67 are copied also the elements such as representative of the condition is satisfied waiting. また、前記要素の移動や削除についても、ノード単位で操作される場合には、前記複写の場合と同様に、該操作されるノードの下位に配置される全ての要素が自動的に移動または削除される。 As for the moving or deleting of the element, when operated in the node units, as in the case of the copying, moving, or deleting all elements automatically disposed lower node that is the operation It is.

【0061】また、機器を動作させる具体的な条件を設定できるようにも構成されている。 [0061] In addition, it is also configured to set the specific conditions of operating the equipment. 例えば、図4に示される「回転ドームの回転開始」64を選択し、マウス2 For example, select 64 "start of rotation of rotating dome" shown in FIG. 4, Mouse 2
2を三回クリックすることにより、回転ドーム3の動作条件を設定するための図示していないテーブルを呼び出し、該テーブルにより回転ドーム3の回転速度の設定等を行えるように構成されている。 By clicking 2 three times, call a table (not shown) for setting the operating conditions of the rotating dome 3, and is configured to allow the setting of the rotational speed of the rotating dome 3 or the like by the table.

【0062】また、プロセスの編集を行うにあたり、表示画面21に二つ以上のウインドウをオープンして行えるようにも構成されている。 [0062] Further, in performing editing process, and is configured to allow open more than one window on the display screen 21. かかる例について、図8乃至図10に基づいて説明する。 For such an example will be described with reference to FIGS. 8-10.

【0063】図8は、表示画面21の第一ウィンドウ2 [0063] FIG. 8, the first window 2 of the display screen 21
1aに表示される第一画面の一例を示している。 It shows an example of a first screen displayed on 1a. 即ち、 In other words,
一つの雛形ファイルが第一ウィンドウ21aに読み込まれ、該雛形ファイルに含まれる要素の一部が第一画面により表示されている。 One template file is read in the first window 21a, some of the elements included in 該雛 type file is displayed by the first screen. 次に、図9に示されるように、表示画面21にオープンされた第二ウィンドウ21bに異なる雛形ファイルを読み込む。 Next, as shown in FIG. 9, reads the different template files in the second window 21b which is opened on the display screen 21. そして、第二ウィンドウ21bに表示される要素の一つである「エミッション→ And, it is one of the elements that appear in the second window 21b "emission →
電子銃1」68をマウス22により選択してドラッグし、第一ウィンドウ21aの領域92にドロップする。 The electron gun 1 "68 to select and drag the mouse 22 and drops in the region 92 of the first window 21a.
そして、第二画面21bをクローズすると、第一ウインドウ21aには図10に示される画面が表示され、前記要素68を含むプロセスの手順が編集される。 When closing the second screen 21b, the first window 21a is displayed screen shown in FIG. 10, step in the process, including the element 68 is edited.

【0064】次に、第二画面について説明する。 Next, a description will be given of the second screen. 図11 Figure 11
は第二画面の一例である。 Is an example of a second screen. かかる第二画面は、前記第一画面又は後に説明する第三画面の表示において、アイコン56をクリックすることにより表示される。 Such second screen, the display of a third screen to be described the first screen or after, is displayed by clicking the icon 56. この第二画面には、先に読み込まれた雛形ファイルである「蒸着処理」41に含まれる要素のうち、機器の異常動作を監視するための監視条件に関する要素が表示される。 This second screen, among the elements included in a template file that was loaded before "deposition process" 41, the element is displayed about the monitoring conditions for monitoring the abnormal operation of the device. この第二画面においても、前記第一画面と同様に、監視条件の各々を表示するための要素アイコン表示領域100が設けられている。 In this second screen, similar to the first screen, element icon display area 100 for displaying each of the monitoring conditions are provided. また、前記第一画面と同様に、左画面100aには、ノードを表す要素アイコンが表示される。 Further, similarly to the first screen, on the left screen 100a, component icons representing the nodes are displayed. そして、右画面100bには、左画面100aより選択されたノードに対して下位に配置される各要素が表示される。 Then, the right screen 100b, each element arranged in the lower to the node which is selected from the left screen 100a is displayed. 即ち、図11に示される例であれば、「基板への成膜」66が表すノードに「水晶モニタのアラームの確認」69が表す監視条件が設定されていることを確認できる。 That is, in the example shown in FIG. 11, it can be confirmed that the monitoring condition represented by the "Acknowledge crystal monitor" the node representing the 66 "film formation on the substrate" 69 is set. なお、前記69には、監視条件を表す第四記号84が付されている。 Incidentally, the 69, fourth symbol 84 representing the monitoring condition is attached.

【0065】この第二画面に表示される各要素に対する削除や複写等の操作、およびノードの各階層に配置される要素の確認についても、前記第一画面について説明したのと同様に行うことができ、監視条件の編集を自在に行うことができる。 [0065] Operation of deleting, copying, etc. for each element displayed on the second screen, and also confirmation of the elements arranged in each hierarchy of nodes, be carried out in the same manner as described for the initial screen can, the editing of monitoring conditions can be carried out freely. また、このプロセス編集装置にあっては、あるノードに設定された監視条件は、該監視条件が設定されたノードに対する下位に配置される全てのノードに対して有効に作用するように構成されている。 Also, in this process editing apparatus, monitoring condition set in a node, is configured to act effectively to all nodes which are arranged in the lower for the node the monitoring conditions are set there. 一方、監視条件が設定されたノードに対して上位に配置されるノードに対しては、該監視条件は作用しないように構成されている。 On the other hand, with respect to nodes that are located in the upper to the node monitoring condition is set, the monitoring conditions are configured so as not to act.

【0066】次に、第三画面について説明する。 [0066] Next, a description will be given of the third screen. 図12 Figure 12
は第三画面の一例である。 Is an example of a third screen. かかる第三画面は、前記第一画面又は第二画面の表示において、アイコン57をクリックすることにより表示される。 Such third screen, the display of the first screen or the second screen is displayed by clicking the icon 57. この第三画面には、先に読み込まれた雛形ファイル「蒸着処理」41に含まれる要素のうち、異常発生時に機器の動作を停止させる手順に対応付けられる各要素が表示される。 This third screen, among the elements included in the template file "deposition process" 41 loaded earlier, each element associated with the procedure for stopping the operation of the equipment at the time of abnormality occurrence is displayed. この第三画面においても、前記第一画面や第二画面と同様に、要素アイコン表示領域101が設けられる。 Also in the third screen, similarly to the first screen and the second screen element icon display area 101 is provided. そして、左画面1 Then, the left side of the screen 1
01aにはノードを表す要素が表示され、右画面101 Element representing the node is displayed in the 01a, right screen 101
bには選択されたノードに対して下位に配置される要素が表示される。 The b are displayed element disposed lower with respect to the selected node.

【0067】この第三画面に表示される各要素に対する削除や複写等の操作、およびノードの各階層に配置される要素の確認についても、前記第一画面について説明したのと同様に行うことができ、機器の動作を停止させる手順の編集を自在に行うことができる。 [0067] Operation of deleting, copying, etc. for each element displayed on the third screen, and also confirmation of the elements arranged in each hierarchy of nodes, be carried out in the same manner as described for the initial screen can, it is possible to edit the procedure for stopping the operation of the device freely.

【0068】そして、このプロセス編集装置にあっては、上記第一画面によるプロセスの編集を行うと、上記第二画面に表示される監視条件や第三画面に表示される機器を停止させる手順は、前記ノード単位で自動的になされるように構成されている。 [0068] Then, in this process editing apparatus, the editing process according to the first screen, a procedure for stopping the equipment to be displayed on the monitoring condition and a third screen displayed on the second screen , it is configured to be automatically made at the node units. 即ち、前記第一画面により正常時のプロセスの手順を編集する操作を行うにあたり、ノード単位で複写や削除等の操作を行うと、該操作されたノードの下位に配置される、第二画面に表示される監視条件や第三画面に表示される機器を停止させる手順に対しても、第一画面における前記操作が連動するように構成されている。 That is, when performing operations to edit the procedure of normal operation of the process by the first screen, performs an operation such as copying or deleting the node units are arranged in the lower of said operating node, the second screen even for steps for stopping the equipment to be displayed on the monitoring condition and a third screen displayed, the operation in the first screen is configured to work. 例えば、図4に示された第一画面においてノード66を複写する操作を行うと、該66の下位に配置される正常時のプロセスの手順を構成する各要素の全てが第一画面において複写されるとともに、図11に示されたノード66の下位に配置される監視条件の要素69や、図12に示されたノード66の下位に配置される機器の動作を停止させる手順を構成する各要素についても自動的に複写されることになる。 For example, when an operation to copy the node 66 in the first screen shown in FIG. 4, all the elements constituting the procedure of the normal state of the process is disposed below the discriminated 66 is copied in the initial screen Rutotomoni, each element constituting elements 69 and the monitoring condition placed lower node 66 shown in FIG. 11, a procedure for stopping the operation of the equipment to be located in the lower node 66 shown in FIG. 12 automatically it will be copied also.

【0069】これにより、オペレータが正常時のプロセスの手順を編集することにより、機器の異常に対する監視条件や停止の手順を自動的に編集することができ、似通ったプロセスを複写、修正するだけで、的確な異常に対する監視条件や停止させる手順を自動的に組み込むことができる。 [0069] Thus, when the operator edits the step in the process of normal, it is possible to automatically edit the monitoring condition and shutdown procedures for abnormalities of equipment, copying a similar process, only modifies It may include procedures for monitoring conditions and stop for accurate abnormal automatically. 従って、オペレータは、主目的である正常時のプロセスの手順を中心とする編集作業を行うことができ、機器の異常動作に対する監視条件や停止の手順を特別に考慮しなくても済む。 Therefore, the operator can perform editing work around the procedures of normal operation of the process is the main object, it is not necessary to specially consider the monitoring condition and shutdown procedures for the abnormal operation of the equipment. これにより、プロセスの順序や回数が高くなるような場合であっても、プロセスの編集作業が煩雑化することを防ぐことができる。 Thus, even when the order or the number of processes that is high, it is possible to prevent the editing process is complicated.

【0070】一方、機器の異常に対する監視条件や停止の手順について、正常時のプロセスの手順の編集に連動させるだけでなく、個別に編集したい事情がある場合には、前記第二画面や第三画面の表示に基づいて編集することにより、かかる事情に対処することができる。 [0070] On the other hand, the procedure of monitoring conditions and stopped for abnormality of the equipment, as well as to synchronize with the editing procedure of the normal time of the process, when there are circumstances you want to edit individually, the second screen and the third by editing based on the display of the screen, it is possible to deal with such circumstances.

【0071】このように、本発明のプロセス編集装置によると、機器の動作を一定の順序に従って制御することにより実行されるプロセスの手順を上記のごとく自在に編集できるので、プロセスの変更を容易に行える。 [0071] Thus, according to the process editing apparatus of the present invention, since the procedure of process performed by controlling in accordance with the operation of the predetermined order of the device can be edited freely as described above, the process changes easily It can be carried out. 即ち、プロセスを変更したい場合に、シーケンサ11等のプログラマブルコントローラの制御プログラム自体を改変する作業に煩わされること等なく、本発明のプロセス編集装置によってプロセスを容易に変更できる。 In other words, if you want to change the process, without such being bothered to work to modify the control program itself of the programmable controller of the sequencer 11 and the like, it is possible to easily change the process by the process editing apparatus of the present invention. また、 Also,
上記蒸着装置1に新設の機器が組み込まれたような場合であっても、本発明のプロセス編集装置によると、該新設の機器を含んで実行されるプロセスの手順を編集することもできるので、機器が新設されることに伴うプロセスの変更についても容易に行える。 Even when the devices established in the vapor deposition apparatus 1 is incorporated, according to the process editing apparatus of the present invention, since it is also possible to edit the procedure of processes performed include equipment of the new, It can be easily performed for changing the processes involved in the device is established.

【0072】また、本発明のプロセス編集装置によると、前記編集された目的ファイルに基づいてプロセスを実行すると、上記蒸着装置1を構成する各機器により実行されるプロセスに対応付けられる各要素を表示することができる。 [0072] According to the process editing apparatus of the present invention, when executing a process based on the edited object file, displaying each element associated with the process performed by each apparatus in the vapor deposition apparatus 1 can do. 図13は、前記編集されたプロセスの手順のうち、実行中にある要素を表す要素アイコンが表示画面21に表示された一例である。 13, of the procedure of the editing processes, an example in which element icon is displayed on the display screen 21 that represents the element at the running. 図13に示される例にあっては、強調して表示される「成膜処理」70が実行中のノードであることを表示している。 In the example shown in FIG. 13 indicates that "the film forming process" 70 is displayed in an emphasized manner is running node. また、「エミッション→電子銃1」71が強調して表示されることから、「電子銃1」がるつぼ内を照射する動作中にあることを表示している。 Further, since the "emission → electron gun 1" 71 is highlighted, "the electron gun 1" is displayed that is in operation for irradiating the crucible.

【0073】このように、実行中にあるプロセスの要素を表示できると、プロセスの実行の状況や、動作中にある機器の動作の状況を確認することができる。 [0073] Thus, when it displays the elements of the process is in execution, status and the execution of the process, it is possible to check the status of operation of the equipment is in operation. これにより、蒸着装置1の各機器により実行される成膜プロセスの進行を明確に把握することができ、プロセスの進行の管理が容易である。 This makes it possible to clearly grasp the progress of the deposition process performed by each device of the vapor deposition apparatus 1, it is easy to manage the progress of the process.

【0074】 [0074]

【発明の効果】以上に説明したように、請求項1記載の発明によると、プログラマブルコントローラによって制御されるプロセスの手順を自在に編集できるので、プログラマブルコントローラの制御プログラム自体を変更する作業に煩わされること等なく、プロセスの変更を容易に行えるという効果を奏する。 As described above, according to the present invention, according to the first aspect of the invention, it is possible to edit freely step in the process which is controlled by a programmable controller, worry about the work to change the control program itself of the programmable controller Coto like without an effect that a change in the process easily.

【0075】請求項2記載の発明は、プロセスの手順の編集を行うにあたり、操作の対象となる要素間の関係を系統的に順序立てて把握することができ、プロセスの手順の編集を容易に行えるという効果を奏する。 [0075] According to a second aspect of the invention, in performing editing process procedures, systematically can grasp orderly the relationship between the target operating element, the editing process procedures readily there is an effect that can be performed.

【0076】請求項3記載の発明は、ノード単位のまとまった手順毎の操作によってプロセスの手順を編集することができ、該編集において操作が容易であるという効果を奏する。 [0076] According to a third aspect, it is possible to edit the step in the process by the operation of each procedure together with the node units, an effect that the operation in the edit is easy.

【0077】請求項4記載の発明は、オペレータの主目的である正常時のプロセスの手順を編集することによって、監視条件や機器を停止させる手順の編集をノード単位で連動させて行うことができ、プロセスの手順の編集において操作が容易であるという効果を奏する。 [0077] The invention of claim 4, wherein, by editing the step in the process of normal which is the main objective of the operator, in conjunction editing procedure for stopping the monitoring condition and equipment per node can be carried out an effect that the operation in the editing process steps is easy.

【0078】請求項5記載の発明は、プロセスの手順の編集において、操作の対象となる前記各要素間の関係の把握が容易であるという効果を奏する。 [0078] According to a fifth aspect of the invention, the editing process steps, an effect that grasp is easy relationship between the elements to be operated.

【0079】請求項6記載の発明は、各機器により実行されるプロセスの進行の把握が容易であり、プロセスの進行の管理が容易であるという効果を奏する。 [0079] According to a sixth aspect of the invention, it is easy to grasp the progress of a process executed by each device, an effect that management of the progress of the process is easy.

【0080】請求項7記載の発明は、他種類の機器により実行される真空成膜のプロセスの変更を容易に行えるという効果を奏する。 [0080] According to a seventh aspect, an effect that a change in the process of vacuum deposition to be performed by other types devices easily. また、真空成膜のプロセスの進行の管理も容易であるという効果を奏する。 Further, an effect that management of the progress of the process of vacuum deposition is also easy.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】蒸着装置の機器の構成を示す図である。 1 is a diagram showing the configuration of a device of the deposition device.

【図2】プロセス編集装置のブロック図である。 FIG. 2 is a block diagram of a process editing apparatus.

【図3】プロセス編集装置の構成例を示す図である。 3 is a diagram showing a configuration example of a process editing apparatus.

【図4】プロセス編集装置の第一画面の構成例を示す図である。 4 is a diagram showing a configuration example of the initial screen process editing apparatus.

【図5】プロセス編集装置の第一画面の構成例を示す図である。 5 is a diagram showing a configuration example of the initial screen process editing apparatus.

【図6】プロセス編集装置の第一画面の構成例を示す図である。 6 is a diagram showing a configuration example of the initial screen process editing apparatus.

【図7】プロセス編集装置の第一画面の構成例を示す図である。 7 is a diagram showing a configuration example of the initial screen process editing apparatus.

【図8】プロセス編集装置の第一画面の構成例を示す図である。 8 is a diagram showing a configuration example of the initial screen process editing apparatus.

【図9】プロセス編集装置の第一画面の構成例を示す図である。 9 is a diagram showing a configuration example of the initial screen process editing apparatus.

【図10】プロセス編集装置の第一画面の構成例を示す図である。 10 is a diagram showing a configuration example of the initial screen process editing apparatus.

【図11】プロセス編集装置の第二画面の構成例を示す図である。 11 is a diagram showing a configuration example of the second screen process editing apparatus.

【図12】プロセス編集装置の第三画面の構成例を示す図である。 12 is a diagram showing a configuration example of a third screen process editing apparatus.

【図13】実行中のプロセスが表示される例を示す図である。 13 is a diagram showing an example of the process is displayed in execution.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1・・・蒸着装置 2・・・排気ポンプ 3・・・回転ドーム 4・・・ヒーター 5・・・るつぼ 6・・・電子銃 7・・・膜厚補正板 8・・・光モニタ 9・・・水晶モニタ 10・・・イオン銃 11・・・シーケンサ 12・・・通信回線 20・・・パソコン 21・・・表示画面 21a・・・第一ウインドウ 21b・・・第二ウインドウ 22・・・マウス 23・・・FDドライブ 25・・・メモリ 26・・・雛形ファイル領域 27・・・目的ファイル領域 28・・・雛形ファイル 29・・・目的ファイル 30・・・実行モジュール 31・・・ノード 32、33・・・ノード 34、35・・・機器の動作に関係する要素 41・・・雛形ファイル 51・・・画面操作用アイコン表示領域 58・・・制御用アイコン表示領域 61・・・要 1 ... deposition apparatus 2 ... vacuum pump 3 ... rotating dome 4 ... heater 5 ... crucible 6 ... electron gun 7 ... film thickness correcting plate 8 ... light monitor 9, ... crystal monitor 10 ... ion gun 11 ... sequencer 12 ... communication line 20 --- PC 21 ... the display screen 21a ··· first window 21b ··· second window 22 ... mouse 23 ... FD drive 25 ... memory 26 ... template file area 27 ... object file area 28 ... template file 29 ... object file 30 ... execution module 31 ... node 32 , 33 ... node 35 ... relating to the operation of the device elements 41 ... template file 51 ... screen operation icon display area 58 ... control icon display area 61 ... main アイコン表示領域 61a・・・左画面 61b・・・右画面 81・・・第一記号 81a・・・特殊第一記号 82・・・第二記号 83・・・第三記号 84・・・第四記号 90・・・要素をドロップする領域 91・・・要素をドロップする領域 92・・・要素をドロップする領域 100・・・要素アイコン表示領域 101・・・要素アイコン表示領域 Icon display area 61a ... left screen 61b ... right screen 81 ... first symbol 81a ... special first symbol 82 ... second symbol 83 ... third symbol 84 ... Fourth symbol 90 to drop region 92 ... elements to drop the drop region 91 ... element ... element regions 100 ... element icon display area 101 ... element icon display area

Claims (7)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 プログラマブルコントローラにより一定の順序に従って機器の動作を制御することによって実行されるプロセスの手順を編集するプロセス編集装置であって、 前記プロセスの手順を、該プロセスの手順と対応付けられる各要素と各要素間の関係として記憶する記憶手段と、 グラフィカルユーザインターフェース(GUI)を介して、前記各要素と各要素間の関係とを表示画面に表示し、該表示に対するポインティングデバイスによる操作を介して、前記記憶手段に記憶されるプロセスの手順を編集する編集手段とを備えることを特徴とするプロセス編集装置。 1. A process editing apparatus for editing a procedure of processes performed by controlling the operation of the device in accordance with a predetermined order by a programmable controller, the procedure of the process associated with the procedure of the process storage means for storing a relationship between each element and each element, via a graphical user interface (GUI), the display on the display screen and a relationship between the elements and each element, the operation by the pointing device to the display through, the process editing apparatus characterized by comprising an editing means for editing a step in the process to be stored in the storage means.
  2. 【請求項2】 前記記憶手段による記憶が、前記各要素間の関係に基づいた階層的な記憶であり、 前記編集手段による表示画面の表示が、前記各要素間の関係に基づいた階層的な表示であることを特徴とする請求項1記載のプロセス編集装置。 Wherein stored by said storing means, wherein a hierarchical storage based on the relationship between the elements, the display on the display screen by the editing means, the hierarchical based on the relationships between the elements process editing apparatus according to claim 1, characterized in that a display.
  3. 【請求項3】 前記記憶手段に記憶される要素が、一定の要素の集合を表すノードを含み、 前記階層的な記憶が、前記ノードとその下位の階層に配置される前記一定の要素とによって形成され、 前記編集手段は、前記ノードの表示に対する前記操作の内容が、該ノードの下位に配置される前記一定の要素に及ぶように構成されることを特徴とする請求項2記載のプロセス編集装置。 Wherein elements stored in said storage means includes a node representing a set of certain elements, the hierarchical storage is, by said certain elements disposed in the node and its lower hierarchy is formed, said editing means, the contents of the operation on the display of the node, the process editing according to claim 2, characterized in that it is configured to span the fixed element disposed in the lower of the node apparatus.
  4. 【請求項4】 前記ノードが、機器の動作を制御する正常時のプロセスの手順と、機器の異常動作を監視する条件である監視条件と、機器の異常の発生に対して機器を停止させる手順とを含み、 前記編集手段は、前記正常時のプロセスの手順と、前記監視条件と、前記機器を停止させる手順とを各々に編集できるように構成され、 正常時のプロセスの手順の編集においてした前記操作が、監視条件と機器を停止させる手順とに対して前記ノード単位で及ぶように構成される請求項3記載のプロセス編集装置。 Procedure according to claim 4, wherein the node, the procedure of the normal time of the process for controlling the operation of the equipment, stopping the monitoring condition is a condition for monitoring the abnormal operation of the equipment, the equipment against abnormality of the equipment wherein the door, said editing means includes a step in the process at the time of the normal, the monitoring condition, is configured to be edited respectively and procedures to stop the device, and in the editing procedure of the normal time of the process the operation is configured to extend in said node units for the procedure for stopping the monitoring condition and equipment according to claim 3 process editing apparatus according.
  5. 【請求項5】 前記編集手段による前記各要素の表示が、該要素の属性に対応させた識別表示であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のプロセス編集装置。 5. The display of each element by said editing means, process editing apparatus according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the identification display corresponding to the attribute of the element.
  6. 【請求項6】 前記編集されたプロセスの手順を実行すると、前記機器により実行されるプロセスの手順に対応付けられる各要素を表示することを特徴とする請求項1 6. Following the steps of the edited process, according to claim 1, wherein the displaying each element associated with the procedure of a process executed by the device
    乃至請求項5のいずれかに記載のプロセス編集装置。 To process editing apparatus according to claim 5.
  7. 【請求項7】 前記機器が真空成膜に用いられる機器であり、前記プロセスが真空成膜のプロセスであることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載のプロセス編集装置。 Wherein said device is a device for use in vacuum deposition process editing apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein the process is a process of vacuum deposition.
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