JPH11326660A - Optical branching filter and its production - Google Patents

Optical branching filter and its production

Info

Publication number
JPH11326660A
JPH11326660A JP10152157A JP15215798A JPH11326660A JP H11326660 A JPH11326660 A JP H11326660A JP 10152157 A JP10152157 A JP 10152157A JP 15215798 A JP15215798 A JP 15215798A JP H11326660 A JPH11326660 A JP H11326660A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
optical
specific wavelength
wavelength
optical waveguide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10152157A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3500962B2 (en
Inventor
Manabu Kagami
学 各務
Hiroshi Ito
伊藤  博
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Central R&D Labs Inc
Original Assignee
Toyota Central R&D Labs Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Central R&D Labs Inc filed Critical Toyota Central R&D Labs Inc
Priority to JP15215798A priority Critical patent/JP3500962B2/en
Publication of JPH11326660A publication Critical patent/JPH11326660A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3500962B2 publication Critical patent/JP3500962B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a low-loss optical branching filter by coupling optical elements with each other through optical waveguides and a process for producing the same. SOLUTION: Translucent mirrors 21, 22, 23 respectively varying in reflectivity are erected within a case-like substrate 40. This substrate is immersed into a photosetting resin solution and short wavelength light is introduced from a light inlet port 41 to cure the resin along an optical route and to form the optical waveguides. The inside of the case-like substrate 40 is thereafter packed with a resin of a low refractive index, and the resin is cured. As a result, the optical branching filter of which from the light inlet port 41 to respective exit ports 50 are coupled by the optical waveguides is formed. The light introduced into the light inlet port 41 propagates in the optical waveguides and does not, therefore, diffuse. The light loss by diffusion is thereby obviated. Since the optical branching filter is molded integrally, there is no loss due to the misalignment thereof. Then, the light loss is lessened, and in addition, an assembly cost and parts cost are drastically reduced and the inexpensive optical branching filter can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光導波路を用いた
光分波器に関する。特に複数の半透鏡間に光硬化性樹脂
を充填し、その複数の半透鏡を貫いて短波長光を入射さ
せることにより、光軸方向に光硬化性樹脂を硬化させ、
光導波路と半透鏡を一体に密着形成する光分波器および
その製造方法に関する。本発明は、波長多重光通信分野
における安価で低損失な光分波器・合波器に適用でき
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical demultiplexer using an optical waveguide. In particular, by filling the photocurable resin between a plurality of semi-transparent mirrors, and by injecting short-wavelength light through the plurality of semi-transparent mirrors, the photo-curable resin is cured in the optical axis direction,
The present invention relates to an optical demultiplexer for integrally forming an optical waveguide and a semi-transparent mirror in close contact with each other, and a method for manufacturing the same. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be applied to an inexpensive and low-loss optical demultiplexer / multiplexer in the wavelength division multiplexing optical communication field.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、一本の光ファイバに入射された波
長多重光から各波長成分毎の光を出力する光分波器が開
発されている。それらは、主に選択波長の異なる干渉フ
ィルタを複数連ねた光学素子であり、例えば、特開昭6
1−270709号公報に開示されたものがある。簡単
に説明すると、図8に示すように、斜めに切り出された
ガラスブロック102が、その切り出された傾斜面がそ
れぞれ平行に相対するように一列に配列され、かつそれ
らの傾斜面間に、異なる波長の光が選択される干渉膜フ
ィルタが介在され密着されている。
2. Description of the Related Art In recent years, there has been developed an optical demultiplexer for outputting light of each wavelength component from wavelength multiplexed light incident on one optical fiber. These are mainly optical elements in which a plurality of interference filters having different selected wavelengths are connected.
There is one disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-270709. Briefly, as shown in FIG. 8, the glass blocks 102 cut obliquely are arranged in a line so that the cut inclined surfaces are opposed to each other in parallel, and different between the inclined surfaces. An interference film filter for selecting light having a wavelength is interposed and closely attached.

【0003】例えば、波長λ1 ,・・,λ5 が重畳され
た光114が入射側の光導波路であるロッドレンズ10
8から入射すると、第1の干渉膜フィルタ103では、
λ2,・・,λ5 の光は反射され、波長λ1 の光のみ透
過する。そして、波長λ1 の光のみ出射側の光導波路で
あるロッドレンズ109を経て外部に出力される。一
方、第1の干渉膜フィルタによって反射されたλ2 ,・
・,λ5 の光は、第2の干渉膜フィルタ104において
波長λ2 の光が反射され、第3の干渉膜フィルタ105
において波長λ3 の光が反射され、それぞれ、ロッドレ
ンズ110、111を通して外部に出力される。他の波
長成分も、同様な原理によってそれぞれ選別されて外部
に出力される。
For example, light 114 on which wavelengths λ 1 ,..., Λ 5 are superimposed is a rod lens 10 which is an optical waveguide on the incident side.
8, the first interference film filter 103
The light of λ 2 ,..., λ 5 is reflected, and only the light of wavelength λ 1 is transmitted. Then, only the light having the wavelength λ 1 is output to the outside via the rod lens 109 which is the optical waveguide on the emission side. On the other hand, λ 2 reflected by the first interference film filter,.
, Λ 5 is reflected by the second interference film filter 104 at the wavelength λ 2 , and the third interference film filter 105
Light of the wavelength lambda 3 is reflected, respectively, are outputted to the outside through the rod lens 110, 111 at. Other wavelength components are selected according to the same principle and output to the outside.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来の光分波器は干渉
膜フィルタを用いて構成されている。干渉膜フィルタ
は、図9に示すように、原理的には、光の多重干渉、即
ち、一種の等傾角干渉により波長の選別を行うものであ
る。等傾角干渉の干渉条件は、反射される光の波長をλ
i 、多重反射板の屈折率をn、その厚さをdi 、入射角
をθcとすると、干渉条件は、mを整数として、mλi
=2ndi cosθcとして表される。すなわち、反射
される波長は、厳密に多重反射板の厚さdi とその入射
角度θcによって決定される。例えば、厚さd2 を有す
る多層膜104とそれに共通入射角θcで入射する波長
多重化光を例にとると、図9に示すように、上記干渉条
件は波長λ2 の光だけその条件を満たすので、波長λ2
の光のみ反射され、他の波長成分は透過する。ところ
が、光ファイバー出端から出射される光は、広がり角△
θを持っているので、出射光をそのまま、直接この光分
波器に入射させることは出来ない。なぜなら、広がり角
△θを持つ全ての出射光について、上記干渉条件を満足
させることができず、図中点線で示すように一部は透過
するからである。従って、効率の悪い光分波器となる。
また、出射口を通過するレーザー光の面積は、この広が
り角△θとその出射口までの拡散距離に比例し、拡散距
離が大きくなるほど、その出射口の制限による損失が大
きい。そのため、通常、入射導波路あるいは出射導波路
として高価なロッドレンズを必要としていた。
A conventional optical demultiplexer is configured using an interference film filter. As shown in FIG. 9, in principle, the interference film filter selects wavelengths based on multiple interference of light, that is, a kind of equi-tilt interference. The interference condition of equitilt interference is that the wavelength of reflected light is λ
i , the refractive index of the multiple reflection plate is n, the thickness is d i , and the incident angle is θc, and the interference condition is mλ i where m is an integer.
= 2nd i cos θc. That is, the wavelength to be reflected is determined strictly the thickness d i of the multiple reflection plate by the incident angle .theta.c. For example, taking the wavelength multiplexing light incident at a common angle of incidence θc thereto a multilayer film 104 having a thickness d 2 as an example, as shown in FIG. 9, the interference condition only that conditions the light of the wavelength lambda 2 The wavelength λ 2
Is reflected, and the other wavelength components are transmitted. However, the light emitted from the optical fiber exit end has a divergence angle △
Since it has θ, the emitted light cannot be directly incident on this optical demultiplexer. This is because the above interference condition cannot be satisfied for all the outgoing lights having the divergence angle 一部 θ, and a part of the light is transmitted as shown by the dotted line in the figure. Therefore, it becomes an inefficient optical demultiplexer.
The area of the laser beam passing through the exit is proportional to the spread angle △ θ and the diffusion distance to the exit. As the diffusion distance increases, the loss due to the restriction of the exit increases. Therefore, usually, an expensive rod lens is required as an incident waveguide or an exit waveguide.

【0005】また、上記干渉膜フィルタは、精密に光軸
に対して45度に切り出された光学プリズム状のガラス
ブロック上に作成され、組み合わされたものである。従
って、非常に高価な光学素子となる。また、上記ロッド
レンズの光軸と各反射光との光軸のずれも組み付け誤差
として発生する。これは、光の伝搬損失に大きな影響を
与える。従って、低損失な光分波器とはならなかった。
また、この損失を回避するためには、さらに精密な組付
けが要求され、多大なコスト増となっていた。
[0005] The interference film filter is formed on an optical prism-shaped glass block precisely cut out at an angle of 45 degrees with respect to the optical axis and assembled. Therefore, it becomes a very expensive optical element. Further, a deviation between the optical axis of the rod lens and the optical axis of each reflected light also occurs as an assembly error. This has a great effect on the propagation loss of light. Therefore, it did not become a low-loss optical demultiplexer.
Further, in order to avoid this loss, more precise assembly is required, resulting in a great increase in cost.

【0006】本発明は、上記の課題を解決するためにな
されたものであり、その目的は、光導入口、特定波長分
離手段、出射口間を光導波路で結び、光損失の少ない光
分波器を提供することである。また、他の目的は、実使
用状況に則して光導波路と特定波長分離手段を一体化し
て作成することにより、光損失が少ないにも係わらず、
組立コスト、部品コストが大幅に低減された安価な製造
方法を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to connect an optical inlet, a specific wavelength separating means, and an output port with an optical waveguide, and to perform optical demultiplexing with less optical loss. Is to provide equipment. Another purpose is to make the optical waveguide and the specific wavelength separating means integrally in accordance with the actual use situation, so that the optical loss is small,
An object of the present invention is to provide an inexpensive manufacturing method in which assembly costs and parts costs are significantly reduced.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段・作用・効果】この目的を
達成するために本発明の請求項1に記載の光分波器は、
波長多重化光を複数のフィルタによって各波長成分に分
離し、その分離された各波長成分の光を外部に出力する
光分波器であって、光導入口および複数の出射口を有す
るケース状基板と、そのケース状基板内に各入射光に対
して所定の角度を成し、前記複数の出射口と連結するよ
うに立設された複数の特定波長分離手段と、光導入口か
ら最初の特定波長分離手段まで密着形成された第1の光
導波路と、複数の特定波長分離手段間に密着形成され、
特定波長分離手段によって透過された光を隣接した特定
波長分離手段に導き入射させる第2の光導波路と、ケー
ス状基板内に充填され、第1、第2の光導波路および特
定波長分離手段を埋設する低屈折率光透過性樹脂を備え
ている。
In order to achieve this object, an optical demultiplexer according to claim 1 of the present invention comprises:
An optical demultiplexer that separates wavelength-multiplexed light into each wavelength component by a plurality of filters and outputs the separated light of each wavelength component to the outside, and has a case shape having a light inlet and a plurality of outlets. The substrate, at a predetermined angle with respect to each incident light in the case-shaped substrate, a plurality of specific wavelength separation means erected so as to be connected to the plurality of exits, the first from the light inlet A first optical waveguide that is formed in close contact with the specific wavelength separating unit, and is formed in close contact between the plurality of specific wavelength separating units;
A second optical waveguide for guiding and transmitting the light transmitted by the specific wavelength separating means to the adjacent specific wavelength separating means, and filling the case-shaped substrate with the first and second optical waveguides and the specific wavelength separating means embedded therein Low refractive index light transmitting resin.

【0008】このように、上記構成の光分波器は、導入
口から出射口まで光導波路が密着形成された構造となっ
ており、その周囲を低屈折率光透過性樹脂によって充填
されている。よって、上記光導波路は、ステップインデ
ックス型の光導波路となっている。従って、この導波路
に導入された波長多重化光は、導波路中を全反射し、拡
散することなく伝搬せられる。光導入口から導入された
波長多重化光は、第1の光導波路中を伝搬しケース状基
板内に立設された最初の特定波長分離手段に入射せられ
る。特定波長分離手段では、その特定波長光が分離抽出
されると共に、波長多重化光の一部が透過せられる。透
過せられた波長多重化光は、第2の光導波路中を伝搬し
次の特定波長分離手段に入射せられる。このように透過
せられた波長多重化光は、順次、各特定波長分離手段に
入射せられ、特定波長光が分離される。そして、各特定
波長分離手段により分離された各光は特定波長分離手段
の一部を構成する光導波路中を伝搬し外部に出力され
る。
As described above, the optical demultiplexer having the above structure has a structure in which the optical waveguide is formed in close contact from the inlet to the outlet, and the periphery thereof is filled with a low refractive index light transmitting resin. . Therefore, the optical waveguide is a step index type optical waveguide. Therefore, the wavelength-multiplexed light introduced into the waveguide is totally reflected in the waveguide and propagates without being diffused. The wavelength-division multiplexed light introduced from the light introduction port propagates through the first optical waveguide and is incident on the first specific wavelength separation means provided upright in the case-shaped substrate. In the specific wavelength separating means, the specific wavelength light is separated and extracted, and a part of the wavelength multiplexed light is transmitted. The transmitted wavelength-division multiplexed light propagates through the second optical waveguide and enters the next specific wavelength separating means. The wavelength multiplexed light transmitted in this way is sequentially incident on each specific wavelength separating means, and the specific wavelength light is separated. Each light separated by each specific wavelength separating means propagates through an optical waveguide constituting a part of the specific wavelength separating means and is output to the outside.

【0009】特定波長分離手段は、例えば、半透鏡とカ
ラーフィルタ及びそれらを結ぶ光導波路とからなる。入
射した波長多重化光の一部は、この半透鏡によって一部
分岐され、連結された光導波路を伝搬し出射口に設けら
れたフィルタに入射せられる。それにより特定波長のみ
抽出され、出射口から出力される。あるいは、特定波長
分離手段は、例えば、特定波長反射フィルタと出射口に
連結された光導波路によっても形成される。その場合、
反射された特定波長光はその光導波路を伝搬し、出射口
から外部に出力される。
The specific wavelength separating means comprises, for example, a semi-transmissive mirror, a color filter and an optical waveguide connecting them. Part of the wavelength-multiplexed light that has entered is partially branched by the semi-transparent mirror, propagates through the coupled optical waveguide, and enters a filter provided at the exit. Thereby, only the specific wavelength is extracted and output from the exit. Alternatively, the specific wavelength separating means is also formed by, for example, an optical waveguide connected to the specific wavelength reflection filter and the emission port. In that case,
The reflected light of the specific wavelength propagates through the optical waveguide and is output to the outside through the light exit.

【0010】上記構成による請求項1の光分波器は、導
入口から出射口までステップインデックス型の光導波路
が密着形成された構造となっている。導波路中を伝搬す
る波長多重化光は、導波路中に閉じこめられ、拡散する
ことがない。従って、入射光の拡散距離に依存する損失
がなく、効率のよい光分波器となる。また、導入口から
出射口まで光導波路が密着形成された構造となっている
ので、導入口および出射口に拡散光を平行光に変換する
コリメータレンズが不要となる。よって、安価な光分波
器となる。
The optical demultiplexer according to the first aspect of the present invention has a structure in which a step index type optical waveguide is formed in close contact from the inlet to the outlet. Wavelength multiplexed light propagating in the waveguide is confined in the waveguide and does not diffuse. Therefore, there is no loss depending on the diffusion distance of the incident light, and the optical demultiplexer is efficient. In addition, since the optical waveguide is formed in close contact with the inlet and the outlet, a collimator lens that converts diffused light into parallel light at the inlet and the outlet is not required. Therefore, it becomes an inexpensive optical demultiplexer.

【0011】また、請求項2に記載の光分波器の製造方
法によれば、ケース状基板内に立設された複数の特定波
長分離手段は、製造時にはその周囲に液状あるいはゲル
状のモノマーを有する。光導入口から所定の短波長光を
導入することによって、光軸に沿って液体あるいはゲル
状のモノマーに光重合反応が生じ、硬化せられる。これ
により、第1、第2の光導波路及び特定波長分離手段の
一部である光を外部に導く光導波路が形成される。所定
の短波長光を導入口から導入させるだけで、第1、第2
の光導波路を一括して作成し、かつ光導入口、特定波長
分離手段および出射口も一体として密着成形される。従
って、光導入口、各特定波長分離手段、出射口の間には
光軸ずれがない。よって、光軸ずれによる光損失のない
優れた光分波器の製造方法となる。また、所定の短波長
光を導入口から導入させるだけで、一括して成形される
ので、組立コストの安価な製造方法となる。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing an optical demultiplexer, wherein a plurality of specific wavelength separating means provided upright in a case-like substrate are surrounded by a liquid or gel monomer during manufacturing. Having. By introducing predetermined short-wavelength light from the light introduction port, a photopolymerization reaction occurs in the liquid or gel-like monomer along the optical axis and is cured. As a result, the first and second optical waveguides and the optical waveguide that guides light, which is a part of the specific wavelength separating means, to the outside are formed. The first and second lights are introduced simply by introducing predetermined short-wavelength light from the inlet.
Are collectively formed, and the light introduction port, the specific wavelength separation means, and the emission port are integrally formed in close contact with each other. Accordingly, there is no optical axis shift between the light entrance, each specific wavelength separating means, and the exit. Therefore, an excellent method for manufacturing an optical demultiplexer having no optical loss due to optical axis shift can be provided. In addition, since a single short-wavelength light is introduced only through the inlet, the light-emitting device can be molded in a lump.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体的な実施例に
基づいて説明する。尚、本発明は下記実施例に限定され
るものではない。 (第1実施例)図1に本発明の光分波器の構成断面図
を、図2にその正面図を示す。本実施例では、説明を簡
単にするためにλ1 ,λ2 ,λ3 の3波長が多重化され
た光がそれぞれの構成要素に分解される光分波器を例に
挙げる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described based on specific embodiments. The present invention is not limited to the following examples. (First Embodiment) FIG. 1 is a sectional view showing the structure of an optical demultiplexer according to the present invention, and FIG. 2 is a front view thereof. In this embodiment, for the sake of simplicity, an optical demultiplexer in which light in which three wavelengths λ 1 , λ 2 , and λ 3 are multiplexed is decomposed into respective components will be described as an example.

【0013】本発明による光分波器は、側面に光導入口
41と複数の出射口50を有するケース状基板40と、
そのケース状基板40の底板上に立設された特定波長分
離手段である特定波長分離装置71、72、73と、光
導入口41と最初の特定波長分離装置70とを結ぶよう
に形成された第1の光導波路10、さらにその特定波長
分離装置70、71、72間を結ぶ第2の光導波路11
およびケース状基板内に充填された低屈折率光透過性樹
脂42から構成されている。
An optical demultiplexer according to the present invention comprises: a case-shaped substrate 40 having a light inlet 41 and a plurality of outlets 50 on a side surface;
The specific wavelength separating devices 71, 72, 73, which are the specific wavelength separating means provided on the bottom plate of the case-like substrate 40, are formed so as to connect the light inlet 41 to the first specific wavelength separating device 70. A first optical waveguide 10 and a second optical waveguide 11 connecting the specific wavelength separation devices 70, 71, 72 thereto.
And a low-refractive-index light-transmitting resin 42 filled in the case-shaped substrate.

【0014】ケース状基板40は、後に低屈折率光透過
性樹脂42を充填するため、樹脂を箱状に成型したもの
であり、側壁に中空の光導入口41と複数の出射口50
が設けられている。特定波長分離装置71、72、73
は、それぞれ所定の反射率に設定された半透鏡21,2
2,23と、特定波長光を抽出するカラーフィルタ5
1、52、53およびの両者を結ぶ第3の光導波路12
から構成されている。半透鏡21,22,23は、それ
ぞれの入射光に対して45度に設置され、カラーフィル
タ51、52、53は出射口50に設置されている。す
なわち、特定波長分離装置71、72、73は、それぞ
れの出射口50に連結された構造となっており、特定波
長光はこの出射口50から出力される。尚、半透鏡2
1,22,23の反射率は、その反射強度を同じにする
ため、半透鏡の数をN個、i番目の半透鏡の反射率をR
i とするとRi =1/(N−i+1)の式により決定さ
れている。
The case-shaped substrate 40 is formed by molding a resin into a box shape so as to be filled with a low-refractive-index light-transmitting resin 42 later.
Is provided. Specific wavelength demultiplexers 71, 72, 73
Are semi-transparent mirrors 21 and 2 each set to a predetermined reflectance.
2, 23 and a color filter 5 for extracting light of a specific wavelength
A third optical waveguide 12 connecting both 1, 52, 53 and
It is composed of The semi-transparent mirrors 21, 22, 23 are installed at 45 degrees to the respective incident light, and the color filters 51, 52, 53 are installed at the exit 50. That is, the specific wavelength demultiplexers 71, 72, and 73 have a structure connected to the respective output ports 50, and the specific wavelength light is output from the output ports 50. In addition, semi-transparent mirror 2
In order to make the reflection intensities the same, the number of semi-reflective mirrors is N and the reflectivity of the i-th semi-transparent mirror is R.
Assuming that i , it is determined by the equation of Ri = 1 / (N-i + 1).

【0015】また、光導波路10,11,12は、光導
入口41から各出射口50まで密着して形成された構造
となっており、屈折率1.49のポリメチルメタクリレ
ート(PMMA)で構成されている。更に、その周囲は
例えば、屈折率1.34のテフロン系の低屈折率光透過
性樹脂40によって充填、あるいはコーティングされて
いる。従って、上記光導波路10,11,12は、ステ
ップインデックス型の光導波路となっている。この導波
路に導入された波長多重化光は、導波路中を全反射しな
がら伝搬する。よって、拡散することなく伝搬せられ
る。
The optical waveguides 10, 11, and 12 have a structure in which the optical waveguides are closely adhered from the light introduction port 41 to each of the emission ports 50, and are made of polymethyl methacrylate (PMMA) having a refractive index of 1.49. Have been. Further, the periphery thereof is filled or coated with, for example, a Teflon-based low refractive index light transmitting resin 40 having a refractive index of 1.34. Therefore, the optical waveguides 10, 11, and 12 are step index type optical waveguides. The wavelength-multiplexed light introduced into the waveguide propagates while being totally reflected in the waveguide. Therefore, it is propagated without spreading.

【0016】次に、波長多重化光が本光分波器によっ
て、それぞれの波長成分に分解される過程を説明する。
波長多重化光の成分は、それぞれλ1 =850±20n
m、λ2 =780±20nm、λ3 =660±20nm
である。多重化された光が光導入口41よりファイバ6
0によって導入されると、第1の光導波路10中をそれ
ぞれの波長成分は全反射しながら、最初の特定波長分離
装置71に入射される。特定波長分離装置71の半透鏡
21は、その反射率が上式によって33%に設定されて
いる。従って、特定波長分離装置71に入射した全ての
波長成分は、その反射率に従い反射され、第3の光導波
路12を伝搬しカラーフィルタ51に入射する。カラー
フィルタ51は吸収型のフィルタであり、波長λ2 、λ
3 の成分は吸収される。従って、波長λ1 の成分のみ透
過せられる。このようにして、特定波長分離装置71で
は、特定波長λ1 のみが分離される
Next, a process in which the wavelength division multiplexed light is decomposed into respective wavelength components by the present optical demultiplexer will be described.
The components of the wavelength multiplexed light are respectively λ 1 = 850 ± 20n
m, λ 2 = 780 ± 20 nm, λ 3 = 660 ± 20 nm
It is. The multiplexed light is transmitted from the optical inlet 41 to the fiber 6
When the wavelength component is introduced by 0, each wavelength component is incident on the first specific wavelength separation device 71 while being totally reflected in the first optical waveguide 10. The reflectance of the semi-transparent mirror 21 of the specific wavelength separation device 71 is set to 33% according to the above equation. Therefore, all the wavelength components incident on the specific wavelength separation device 71 are reflected according to the reflectance, propagate through the third optical waveguide 12, and enter the color filter 51. The color filter 51 is an absorption type filter, and has wavelengths λ 2 , λ
The three components are absorbed. Therefore, it is not transmit only the component of the wavelength lambda 1. Thus, in the specific wavelength demultiplexer 71, only the specific wavelength λ 1 is separated.

【0017】また、特定波長分離装置71を透過した光
は、第2の光導波路11を伝搬し、隣接した特定波長分
離装置72に入射される。特定波長分離装置72の半透
鏡22は、その反射率が上式によって50%に設定され
ている。従って、特定波長分離装置72に入射した光強
度(入射光の66%)の全ての波長成分は、その反射率
に従い入射光の33%の光強度となり、第3の光導波路
12を伝搬しカラーフィルタ52に入射し、同様にλ2
の成分のみ分離される。特定波長分離装置73に付いて
も同様である。但し、最後の半透鏡23の反射率は、反
射率100%の全反射ミラーである。このようにして、
本発明による光分波器では、光導波路によって結ばれた
特定波長分離装置71、72、73によって、波長成分
λ1 、λ2 、λ3 は同一強度の光に分離される。光導波
路中では、光は拡散することはない。従って、従来のよ
うに拡散距離による損失はない。また、従来例では、特
定波長成分を分離するのに干渉膜フィルタを用いたが、
本実施例では、通常の安価な半透鏡を用いている。この
半透鏡の反射率は、従来の様に広がり角△θに依存しな
い。従って、効率よく分岐させることができる。よっ
て、安価で損失の少ない光分波器とすることができる。
The light transmitted through the specific wavelength demultiplexer 71 propagates through the second optical waveguide 11 and is incident on the adjacent specific wavelength demultiplexer 72. The reflectance of the semi-transparent mirror 22 of the specific wavelength separation device 72 is set to 50% according to the above equation. Accordingly, all the wavelength components of the light intensity (66% of the incident light) incident on the specific wavelength separation device 72 have a light intensity of 33% of the incident light according to the reflectance, and propagate through the third optical waveguide 12 to be colored. It enters the filter 52, similarly lambda 2
Are separated. The same applies to the specific wavelength separation device 73. However, the reflectance of the last semi-transmissive mirror 23 is a total reflection mirror having a reflectance of 100%. In this way,
In the optical demultiplexer according to the present invention, the wavelength components λ 1 , λ 2 , λ 3 are separated into light of the same intensity by the specific wavelength separation devices 71, 72, 73 connected by the optical waveguide. Light does not diffuse in the optical waveguide. Therefore, there is no loss due to the diffusion distance as in the related art. In the conventional example, an interference film filter is used to separate a specific wavelength component.
In this embodiment, an ordinary inexpensive semi-transparent mirror is used. The reflectivity of this semi-transparent mirror does not depend on the spread angle △ θ as in the prior art. Therefore, branching can be performed efficiently. Therefore, an inexpensive and low-loss optical demultiplexer can be obtained.

【0018】(第2実施例)第2実施例の構成断面図を
図3に示す。第2実施例の特徴は、上記半透鏡とカラー
フィルタによる分離機能を1つの光学素子で代用したこ
とである。その光学素子は、所定の波長以下を反射/透
過させる所謂2色フィルタであり、誘電体多層膜からな
り、通常ダイクロイックミラーと呼ばれている。ここで
は、特定波長分離装置71にダイクロイックミラー31
を特定波長分離装置72にダイクロイックミラー32を
特定波長分離装置73にダイクロイックミラー33を採
用している。
(Second Embodiment) FIG. 3 is a sectional view showing the structure of a second embodiment. The feature of the second embodiment is that one optical element replaces the separating function by the semi-transparent mirror and the color filter. The optical element is a so-called two-color filter that reflects / transmits light of a predetermined wavelength or less, is made of a dielectric multilayer film, and is usually called a dichroic mirror. Here, the dichroic mirror 31 is attached to the specific wavelength separation device 71.
The dichroic mirror 32 is used for the specific wavelength separating device 72 and the dichroic mirror 33 is used for the specific wavelength separating device 73.

【0019】3波長が重畳された波長多重化光が同じ
く、光ファイバ60、第1の光導波路10を介して入射
されると、ダイクロイックミラー31、32は図4の透
過率分布に設計されているので、まずダイクロイックミ
ラー31で波長λ1 (850nm)以上の光のみ反射さ
れ、残りのλ2 、λ3 の光は透過せられる。透過せられ
たλ2 、λ3 の光は、同様にダイクロイックミラー32
により波長λ2 (780nm)のみ反射され、最後のダ
イクロイックミラー33では、波長λ1 が反射される。
各反射光成分は、第3の光導波路12を伝搬し、各出射
口50から出力されるのは、第1実施例と同じである。
従って、本実施例による光分波器は、第1実施例に比べ
て部品点数が少なく、組立効率の良い光分波器となる。
また、第1実施例のカラーフィルタ50は、他波長を吸
収する損失の大きい光学素子であった。本実施例では、
それに替えて他波長を吸収することの少なく、特定波長
領域の光のみを分離するダイクロイックミラーを用いて
いる。従って、光学素子による光損失を回避している。
よって、さらに低損失な光分波器とすることができる。
When the wavelength multiplexed light on which three wavelengths are superimposed similarly enters the optical fiber 60 and the first optical waveguide 10, the dichroic mirrors 31 and 32 are designed to have the transmittance distribution shown in FIG. First, only light having a wavelength of λ 1 (850 nm) or more is reflected by the dichroic mirror 31, and the remaining lights of λ 2 and λ 3 are transmitted. The transmitted light of λ 2 and λ 3 is similarly transmitted to the dichroic mirror 32.
Reflects only the wavelength λ 2 (780 nm), and the last dichroic mirror 33 reflects the wavelength λ 1 .
Each reflected light component propagates through the third optical waveguide 12 and is output from each output port 50 as in the first embodiment.
Therefore, the optical demultiplexer according to the present embodiment has a smaller number of parts than the first embodiment, and is an optical demultiplexer having high assembling efficiency.
The color filter 50 of the first embodiment is an optical element having a large loss that absorbs other wavelengths. In this embodiment,
Instead, a dichroic mirror that rarely absorbs other wavelengths and separates only light in a specific wavelength region is used. Therefore, light loss due to the optical element is avoided.
Therefore, an optical demultiplexer with lower loss can be obtained.

【0020】(第3実施例)次に、本発明による光分波
器の製造方法を図5を用いて説明する。製造方法は、液
状モノマーである光硬化性樹脂と短波長レーザーを用い
た所謂光造形法である。この液状の光硬化性樹脂には、
例えばエポキシ系、アクリル系あるいはシリコン系の光
硬化性樹脂が選ばれ、硬化用短波長レーザには、アルゴ
ンイオンレーザ(λ=488nm)ヘリウムカドニウム
レーザ(λ=325nm)あるいは超高圧水銀ランプ
(λ=380nm)等が選ばれる。
(Third Embodiment) Next, a method of manufacturing an optical demultiplexer according to the present invention will be described with reference to FIG. The manufacturing method is a so-called stereolithography method using a photocurable resin as a liquid monomer and a short wavelength laser. This liquid photocurable resin includes:
For example, an epoxy-based, acrylic-based, or silicon-based photocurable resin is selected. As a short-wavelength laser for curing, an argon ion laser (λ = 488 nm), a helium cadmium laser (λ = 325 nm), or an ultra-high pressure mercury lamp (λ = 380 nm) is selected.

【0021】最初に、半透鏡21、22、23が底板に
立設されたケース状基板40が光硬化性樹脂の溶液に浸
漬される。次に外部より硬化用短波長レーザとして、例
えばアルゴンイオンレーザが光導入口41から導入され
る。導入された短波長レーザ光36は、反射率33%の
半透鏡21、50%の半透鏡22、100%の半透鏡2
3によって反射/透過が繰り返される。その結果、光導
入口41を起点として各出射口50までのレーザ光の経
路、すなわち第1の光導波路10、第2の光導波路1
1、第3の光導波路12が光重合反応によって硬化さ
れ、光導入口41、半透鏡21,22,23,各出射口
50が光学的に密着した状態で形成される。尚、半透鏡
に替えてダイクロイックミラ−を採用した場合は、上記
経路によってその硬化速度が異なる。なぜらなら、短波
長であるため各ダイクロイックミラ−の大部分は透過す
るからである。すなわち透過経路から硬化が始まる。し
かしながら、たとえダイクロイックミラ−といえども数
%は反射されるため、最後には同様の導波路が形成され
る。従って、この手法は両者に有効である。
First, the case-like substrate 40 on which the semi-transparent mirrors 21, 22, and 23 are erected on the bottom plate is immersed in a solution of a photocurable resin. Next, for example, an argon ion laser is introduced from the outside through the light inlet 41 as a short wavelength laser for curing. The introduced short-wavelength laser light 36 is transmitted through the semi-transparent mirror 21 having a reflectance of 33%, the semi-transparent mirror 22 having a reflectance of 50%, and the semi-transparent mirror 2 having a reflectance of 100%.
3, the reflection / transmission is repeated. As a result, the path of the laser light from the light introduction port 41 to each emission port 50, that is, the first optical waveguide 10 and the second optical waveguide 1
The first and third optical waveguides 12 are cured by a photopolymerization reaction, and are formed in a state where the light inlet 41, the semi-transparent mirrors 21, 22, 23, and the respective outlets 50 are in optical contact with each other. When a dichroic mirror is used in place of the semi-transparent mirror, the curing speed differs depending on the above-mentioned route. This is because most of the dichroic mirrors are transmitted because of the short wavelength. That is, curing starts from the transmission path. However, even a dichroic mirror reflects a few percent, so that a similar waveguide is formed at the end. Therefore, this method is effective for both.

【0022】この光導波路が形成されたのち、アセトン
あるいはトルエンなどの溶剤で未硬化部分の樹脂が取り
除かれる。その後、光導波路内で全反射をさせるための
クラッド層/部が形成される。クラッド層/部は、上記
光硬化性樹脂より屈折率の低い樹脂が各光導波路にコ−
ティングされるか、あるいはケース状基板40充填され
ることによって作成される。これは、熱硬化性樹脂であ
ってもよいし、同じく光り硬化性樹脂であってもよい。
この他の方法として、光重合した導波路部以外の末露光
部分を加熱により重合させてクラッド部とすることがで
きる。この場合、用いる光重合溶液は加熱硬化性が付与
されていなくてはならない。一般に光重合と熱重合が行
われた部位の屈折率が最も高くなる。
After the formation of the optical waveguide, the uncured resin is removed with a solvent such as acetone or toluene. Thereafter, a cladding layer / portion for total reflection in the optical waveguide is formed. The cladding layer / part is made of a resin having a lower refractive index than the above-mentioned photocurable resin.
Or the case-shaped substrate 40 is filled. This may be a thermosetting resin or, similarly, a light curable resin.
As another method, the exposed portion other than the photopolymerized waveguide portion can be polymerized by heating to form a clad portion. In this case, the photopolymerization solution used must be imparted with heat curability. Generally, the refractive index at the site where photopolymerization and thermal polymerization have been performed is highest.

【0023】このようにして、本発明名の光分波器は所
定の短波長光を光導入口41から導入させるだけで、第
1、第2、第3の光導波路を一括して作成し、半透鏡2
1、22、23および出射口50も一体として密着成形
できる。従って、光導入口41、各半透鏡21、22、
23および出射口50の間の位置ずれがない。よって、
位置ずれによる光損失のない優れた光分波器の製造方法
となる共に、組立コストが安価で効率の良い製造方法と
なる。
As described above, the optical demultiplexer according to the present invention simply collects the first, second, and third optical waveguides simply by introducing predetermined short-wavelength light from the light introducing port 41. , Semi-transparent mirror 2
1, 22, 23 and the emission port 50 can also be integrally molded. Therefore, the light inlet 41, each semi-transparent mirror 21, 22,
There is no displacement between 23 and the exit 50. Therefore,
An excellent method of manufacturing an optical demultiplexer having no optical loss due to misalignment, as well as an efficient manufacturing method with low assembly cost.

【0024】(第4実施例)第3実施例では、ケース状
基板40を光硬化性樹脂の溶液に浸漬させ、外部から光
導入口41を経て、短波長レーザを入射させることによ
って作成する簡単な製造方法を示したが、これに替え、
ゲル状の光硬化性樹脂37を用いて作成することも可能
である。このゲル状の光硬化性樹脂37は、例えばアク
リルをケトン系溶剤で溶解し、さらにスチレンモノマー
を分散させたものを半乾燥させることによって得られ
る。そして図6に示すように、それを半透鏡21、2
2、23の上に重ね、それらを積層することによって、
溶液の代わりとすることができる。光導波路は、同じく
短波長レーザ光36を入射させ、その光経路上に光重合
反応を起こさせ硬化させることにより形成される。その
後、真空乾燥などで残留しているスチレンモノマーを周
囲から取り除くことにより、相対的に光導波路を高屈折
率とする。従って、第1実施例と同等のステップインデ
クス型の光導波路となる。その後、入射面および出射面
が平らに成るよう、超精密切削され、ケース状基板40
に設置される。従って、より簡単な製造方法となる。ま
た、損失に係る効果あるいは組立コストに係る効果は、
第3実施例とほぼ同等である。
(Fourth Embodiment) In a third embodiment, a case-like substrate 40 is immersed in a solution of a photo-curable resin, and a short-wavelength laser is incident from the outside through a light inlet 41 to form a simple substrate. Production method was shown, but instead of this,
It is also possible to use the photo-curable resin 37 in a gel form. The gel photocurable resin 37 is obtained by, for example, dissolving acryl with a ketone-based solvent, and then semi-drying a dispersion of a styrene monomer. Then, as shown in FIG.
By stacking on top of 2,23 and stacking them,
It can replace the solution. The optical waveguide is formed by injecting the short-wavelength laser light 36, causing a photopolymerization reaction on the optical path, and curing the light. Thereafter, the remaining styrene monomer is removed from the surroundings by vacuum drying or the like, so that the optical waveguide has a relatively high refractive index. Therefore, a step index type optical waveguide equivalent to the first embodiment is obtained. Thereafter, the case-like substrate 40 is ultra-precisionly cut so that the entrance surface and the exit surface are flat.
Installed in Therefore, it becomes a simpler manufacturing method. The effect on loss or the effect on assembly cost is as follows:
This is almost the same as the third embodiment.

【0025】(変形例)その他、本実施例には様々な変
形例が考えられる。例えば、実施例3において、短波長
レーザ光36は外部に設置された光ファイバ60を介し
て導入したが、光ファイバ60を直接光導入口41に嵌
合させ、光ファイバ60の端面を光分波器の第1の光導
波路と一体化して製造してもよい。さらに効率のよい製
造方法となる。また実施例1、2では、半透鏡あるいは
ダイクロイックミラーを一定間隔に列設し、出射口も列
状に配置したが、図6のように透過光経路が矩形状に成
るように配置しても良い。これにより、よりコンパクト
な光分波器となる。
(Modifications) In addition, various modifications can be considered in this embodiment. For example, in the third embodiment, the short-wavelength laser light 36 is introduced through the optical fiber 60 provided outside, but the optical fiber 60 is directly fitted into the light introduction port 41 and the end face of the optical fiber 60 It may be manufactured integrally with the first optical waveguide of the wave device. It becomes a more efficient manufacturing method. In the first and second embodiments, the semi-transmissive mirrors or the dichroic mirrors are arranged at regular intervals and the emission ports are arranged in a row. However, as shown in FIG. 6, the transmitted light path may be arranged in a rectangular shape. good. This results in a more compact optical demultiplexer.

【0026】また、実施例1では出射口50にそれぞれ
カラーフィルタを設置し、特定の波長を分離していた
が、カラーフィルタに替え、干渉膜フィルタでも良い。
なぜなら、干渉膜フィルタの透過波長誤差は、入射角θ
に比例するからである。出射口にこれを用いた場合、入
射角は0度であるため、△θによる誤差反射は極めて少
ない。従って、極めて有効な特定波長分離手段となる。
また、上記光導波路の作成は、短波長レーザを用いて説
明したが、超高圧水銀ランプの光(ピーク波長380n
m)を、コリメートした後、直径1mmのピンホールを
通過させることにより上記短波長光レーザに替えてもよ
い。
In the first embodiment, a color filter is provided at each of the exit ports 50 to separate a specific wavelength. However, an interference film filter may be used instead of the color filter.
This is because the transmission wavelength error of the interference filter is the incident angle θ
Because it is proportional to When this is used for the exit port, the angle of incidence is 0 degrees, so that error reflection due to Δθ is extremely small. Therefore, it becomes a very effective specific wavelength separating means.
Although the above-described optical waveguide was created using a short-wavelength laser, the light from the ultrahigh-pressure mercury lamp (having a peak wavelength of 380 nm) was used.
m) may be collimated, and then passed through a pinhole having a diameter of 1 mm to be replaced with the short wavelength laser.

【0027】その他様々な変形例が考えられるが、光導
入口、特定波長分離手段、及び出射口間を光導波路で結
ぶことにより、拡散あるいは光軸のずれによる損失を低
減させる光分波器であればその種類を問わない。また、
上記光分波器を作成する光造形法において、実際の使用
状況に則し、短波長光を入射光軸に沿って導入し、その
経路に従って順次光硬化させ、光導波路を作成する製造
方法であればその種類を問わない。
Although various other modifications are conceivable, an optical demultiplexer that reduces the loss due to diffusion or optical axis shift by connecting the light entrance, the specific wavelength separation means, and the exit with an optical waveguide. If there is any kind. Also,
In the optical shaping method for producing the optical demultiplexer, in accordance with an actual use situation, a short wavelength light is introduced along an incident optical axis, and the light is cured sequentially according to the path, thereby producing an optical waveguide. If there is any kind.

【0028】[0028]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】第1実施例に示した光分波器の構成断面図。FIG. 1 is a configuration sectional view of an optical demultiplexer shown in a first embodiment.

【図2】第1実施例に示した光分波器の正面図。FIG. 2 is a front view of the optical demultiplexer shown in the first embodiment.

【図3】第2実施例に示した光分波器の構成断面図。FIG. 3 is a configuration sectional view of an optical demultiplexer shown in a second embodiment.

【図4】ダイクロイックミラ−の透過率分布図。FIG. 4 is a transmittance distribution diagram of a dichroic mirror.

【図5】本発明の光硬化性樹脂溶液を用いた製造方法説
明図。
FIG. 5 is an explanatory view of a production method using the photocurable resin solution of the present invention.

【図6】本発明のゲル状光硬化性樹脂を用いた製造方法
説明図。
FIG. 6 is an explanatory view of a production method using the gel-like photocurable resin of the present invention.

【図7】半透鏡を四方に配置した光分波器分波器の変形
例。
FIG. 7 is a modified example of an optical duplexer in which semi-transparent mirrors are arranged in four directions.

【図8】従来のガラスブロックを用いた用いた光分波器
の構成断面図。
FIG. 8 is a configuration sectional view of an optical demultiplexer using a conventional glass block.

【図9】波長多重化光と干渉フィルタの関係図。FIG. 9 is a diagram showing the relationship between wavelength-multiplexed light and interference filters.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10、11、12 光導波路 21、22、23 半透鏡 31、32、33 ダイクロイックミラー 35 光硬化性樹脂溶液 36 短波長レーザ光 37 ゲル状の光硬化性樹脂 40 ケース状基板 41 光導入口 42 低屈折率光透過性樹脂 50 出射口 51、52、53 カラーフィルタ 60 光ファイバ 70、72、73 特定波長分離装置 10, 11, 12 Optical waveguide 21, 22, 23 Semi-transparent mirror 31, 32, 33 Dichroic mirror 35 Photocurable resin solution 36 Short wavelength laser light 37 Gel photocurable resin 40 Case substrate 41 Light inlet 42 Low Refractive index light transmitting resin 50 Outgoing port 51, 52, 53 Color filter 60 Optical fiber 70, 72, 73 Specific wavelength separation device

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】波長多重化光を複数のフィルタによって各
波長成分に分離し、その分離された光を外部に出力する
光分波器において、 光導入口および複数の出射口を有するケース状基板と、 該ケース状基板内に各入射光に対して所定の角度を成
し、前記複数の出射口と連結するように立設された複数
の特定波長分離手段と、 前記光導入口から最初の前記特定波長分離手段まで密着
形成された第1の光導波路と、 前記複数の特定波長分離手段間に密着形成され、前記特
定波長分離手段によって透過された光を隣接した前記特
定波長分離手段に導き入射させる第2の光導波路と、 前記ケース状基板内に充填され、前記第1、第2の光導
波路および前記特定波長分離手段を埋設する低屈折率光
透過性樹脂を備え、 前記各波長成分は、前記特定波長分離手段と連結した前
記出射口から出力されることを特徴とする光分波器。
An optical demultiplexer that separates wavelength-multiplexed light into respective wavelength components by a plurality of filters and outputs the separated light to the outside, a case-like substrate having a light inlet and a plurality of outlets. A plurality of specific wavelength separating means provided at a predetermined angle with respect to each incident light in the case-shaped substrate and connected to the plurality of emission ports, A first optical waveguide which is formed in close contact with the specific wavelength separating means, and which is formed in close contact between the plurality of specific wavelength separating means and guides light transmitted by the specific wavelength separating means to the adjacent specific wavelength separating means. A second optical waveguide to be incident; and a low-refractive-index light-transmitting resin that fills the case-shaped substrate and embeds the first and second optical waveguides and the specific wavelength separating unit. Is the specific wavelength Optical demultiplexer, wherein the output from said exit coupled with the release means.
【請求項2】前記特定波長分離手段は、その周囲に液状
あるいはゲル状のモノマーを有し、前記光導入口から所
定波長の光を導入することにより、光軸に沿って該モノ
マーに光重合反応を起こさせ硬化させることにより、前
記第1、第2の光導波路及び前記特定波長分離手段の有
する反射光を外部に導く光導波路を形成することを特徴
とする請求項1に記載の光分波器の製造方法。
2. The specific wavelength separation means has a liquid or gel-like monomer around the specific wavelength separation means, and introduces light of a predetermined wavelength from the light introduction port to photopolymerize the monomer along the optical axis. The light component according to claim 1, wherein a reaction is caused to cure to form an optical waveguide for guiding the reflected light of the first and second optical waveguides and the specific wavelength separating means to the outside. Method of manufacturing a corrugator.
JP15215798A 1998-05-15 1998-05-15 Manufacturing method of optical demultiplexer Expired - Fee Related JP3500962B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15215798A JP3500962B2 (en) 1998-05-15 1998-05-15 Manufacturing method of optical demultiplexer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15215798A JP3500962B2 (en) 1998-05-15 1998-05-15 Manufacturing method of optical demultiplexer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11326660A true JPH11326660A (en) 1999-11-26
JP3500962B2 JP3500962B2 (en) 2004-02-23

Family

ID=15534278

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15215798A Expired - Fee Related JP3500962B2 (en) 1998-05-15 1998-05-15 Manufacturing method of optical demultiplexer

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3500962B2 (en)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000171649A (en) * 1998-12-03 2000-06-23 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Optical multiplex/demultiplex element
JP2000347043A (en) * 1999-03-29 2000-12-15 Toyota Central Res & Dev Lab Inc Production of optical transmission path
JP2001242354A (en) * 2000-02-29 2001-09-07 Toyota Central Res & Dev Lab Inc Optical transmission module and method for manufacturing the same
US6480345B2 (en) 2000-06-30 2002-11-12 Ricoh Company, Ltd. Image magnifying/reducing optical device and manufacturing method thereof
JP2002357733A (en) * 2001-05-31 2002-12-13 Toyota Central Res & Dev Lab Inc Method for forming optical waveguide, and optical transmission and reception module
EP1284426A2 (en) * 2001-08-13 2003-02-19 Toyoda Gosei Co., Ltd. Optical waveguide device manufacturing jig, method of manufactoring optical waveguide device by use of the same jig, and the same optical waveguide device
JP2003057477A (en) * 2001-08-21 2003-02-26 Seiko Instruments Inc Manufacturing method for three-dimensional structure and the three-dimensional structure manufactured by the same method
JP2004004396A (en) * 2002-06-03 2004-01-08 Nichia Chem Ind Ltd Material for optical waveguide, optical waveguide and its manufacturing method
US6890589B2 (en) 2001-12-11 2005-05-10 Toyoda Gosei Co., Ltd. Self-formable optical waveguide material composition
JP2006276462A (en) * 2005-03-29 2006-10-12 Toyoda Gosei Co Ltd Method for manufacturing optical module and device for manufacturing optical module
JP2006284988A (en) * 2005-04-01 2006-10-19 Toyoda Gosei Co Ltd Optical waveguide and method of manufacturing the same
US7166322B2 (en) 2003-08-08 2007-01-23 Toyoda Gosei Co., Ltd. Optical waveguide and method for producing the same
JP2007108267A (en) * 2005-10-12 2007-04-26 Toyoda Gosei Co Ltd Method of manufacturing optical module
JP2008122984A (en) * 2007-12-26 2008-05-29 Toyota Central R&D Labs Inc Self-forming optical waveguide and manufacturing method therefor

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4496319B2 (en) 2005-09-06 2010-07-07 国立大学法人静岡大学 Optical waveguide and method for manufacturing the same

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56122001A (en) * 1980-03-01 1981-09-25 Ritsuo Hasumi Production of thick-film optical integrated circuit
JPS5929210A (en) * 1982-08-10 1984-02-16 Omron Tateisi Electronics Co Production of optical transmission coupler
JPS5975204A (en) * 1982-10-24 1984-04-27 Ritsuo Hasumi Manufacture of plastic optical circuit
JPH0197302U (en) * 1987-12-18 1989-06-28
JPH05249332A (en) * 1992-03-10 1993-09-28 Nec Corp Production of star coupler
JPH0777637A (en) * 1993-09-08 1995-03-20 Fujitsu Ltd Optical element coupling method and refractive index image forming material
JPH08320422A (en) * 1994-06-22 1996-12-03 Fujitsu Ltd Production of optical waveguide system and optical device using the system
JPH09218321A (en) * 1996-02-14 1997-08-19 Fujitsu Ltd Method for integrating optical device and optical waveguide
JPH1090544A (en) * 1996-09-13 1998-04-10 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Manufacture of waveguide type optical element
JPH10148729A (en) * 1996-11-21 1998-06-02 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Formation of ridge pattern of core part of polymer optical waveguide

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56122001A (en) * 1980-03-01 1981-09-25 Ritsuo Hasumi Production of thick-film optical integrated circuit
JPS5929210A (en) * 1982-08-10 1984-02-16 Omron Tateisi Electronics Co Production of optical transmission coupler
JPS5975204A (en) * 1982-10-24 1984-04-27 Ritsuo Hasumi Manufacture of plastic optical circuit
JPH0197302U (en) * 1987-12-18 1989-06-28
JPH05249332A (en) * 1992-03-10 1993-09-28 Nec Corp Production of star coupler
JPH0777637A (en) * 1993-09-08 1995-03-20 Fujitsu Ltd Optical element coupling method and refractive index image forming material
JPH08320422A (en) * 1994-06-22 1996-12-03 Fujitsu Ltd Production of optical waveguide system and optical device using the system
JPH09218321A (en) * 1996-02-14 1997-08-19 Fujitsu Ltd Method for integrating optical device and optical waveguide
JPH1090544A (en) * 1996-09-13 1998-04-10 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Manufacture of waveguide type optical element
JPH10148729A (en) * 1996-11-21 1998-06-02 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Formation of ridge pattern of core part of polymer optical waveguide

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000171649A (en) * 1998-12-03 2000-06-23 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Optical multiplex/demultiplex element
JP2000347043A (en) * 1999-03-29 2000-12-15 Toyota Central Res & Dev Lab Inc Production of optical transmission path
JP2001242354A (en) * 2000-02-29 2001-09-07 Toyota Central Res & Dev Lab Inc Optical transmission module and method for manufacturing the same
US6480345B2 (en) 2000-06-30 2002-11-12 Ricoh Company, Ltd. Image magnifying/reducing optical device and manufacturing method thereof
JP2002357733A (en) * 2001-05-31 2002-12-13 Toyota Central Res & Dev Lab Inc Method for forming optical waveguide, and optical transmission and reception module
JP4549575B2 (en) * 2001-05-31 2010-09-22 株式会社豊田中央研究所 Optical waveguide forming method and optical transceiver module
EP1284426B1 (en) * 2001-08-13 2008-12-17 Toyoda Gosei Co., Ltd. Method of manufacturing optical waveguide device by use of a jig
EP1284426A2 (en) * 2001-08-13 2003-02-19 Toyoda Gosei Co., Ltd. Optical waveguide device manufacturing jig, method of manufactoring optical waveguide device by use of the same jig, and the same optical waveguide device
JP2003057476A (en) * 2001-08-13 2003-02-26 Toyota Central Res & Dev Lab Inc Tool for manufacturing optical waveguide device, method for manufacturing optical waveguide device by using the tool, and optical waveguide device
JP2003057477A (en) * 2001-08-21 2003-02-26 Seiko Instruments Inc Manufacturing method for three-dimensional structure and the three-dimensional structure manufactured by the same method
US6890589B2 (en) 2001-12-11 2005-05-10 Toyoda Gosei Co., Ltd. Self-formable optical waveguide material composition
JP2004004396A (en) * 2002-06-03 2004-01-08 Nichia Chem Ind Ltd Material for optical waveguide, optical waveguide and its manufacturing method
US7166322B2 (en) 2003-08-08 2007-01-23 Toyoda Gosei Co., Ltd. Optical waveguide and method for producing the same
JP2006276462A (en) * 2005-03-29 2006-10-12 Toyoda Gosei Co Ltd Method for manufacturing optical module and device for manufacturing optical module
JP2006284988A (en) * 2005-04-01 2006-10-19 Toyoda Gosei Co Ltd Optical waveguide and method of manufacturing the same
JP4682672B2 (en) * 2005-04-01 2011-05-11 豊田合成株式会社 Manufacturing method of optical waveguide
JP2007108267A (en) * 2005-10-12 2007-04-26 Toyoda Gosei Co Ltd Method of manufacturing optical module
JP2008122984A (en) * 2007-12-26 2008-05-29 Toyota Central R&D Labs Inc Self-forming optical waveguide and manufacturing method therefor
JP4563445B2 (en) * 2007-12-26 2010-10-13 株式会社豊田中央研究所 Manufacturing method of self-forming optical waveguide

Also Published As

Publication number Publication date
JP3500962B2 (en) 2004-02-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3500962B2 (en) Manufacturing method of optical demultiplexer
US20160246009A1 (en) Photonic Chip Surface Grating Coupler (SGC)-Based Optical Splitter and Optical Combiner
US6922509B2 (en) Optical device and method for manufacturing the same
US7889991B2 (en) Planar lightwave circuit based tunable 3 port filter
CA2564658A1 (en) Integrated etched multilayer grating based wavelength demultiplexer
JPS6349708A (en) Optical multiplexer and demultiplexer
WO2006051981A1 (en) Light reflector, optical coupler/branching filter, and optical system
JP4123049B2 (en) Optical multiplexer / demultiplexer
JP3651876B2 (en) Wavelength multiplexed optical signal multiplexing / demultiplexing method
WO2007020778A1 (en) Optical reflector and optical system
JP2000292631A (en) Optical waveguide part and optical multiplexer/ demultiplexer
JP2000221350A (en) Optical waveguide device
JPH03171115A (en) Optical multiplexer/demultiplexer
JPH05203830A (en) Optical multiplexer demultiplexer
CN101852891B (en) Single-fiber three-way multiplexer chip for fiber to the home
KR20170069900A (en) Wavelength division device, wavelength division multiplexing system and wavelength multiplexing system
JPS61249004A (en) Optical multiplexer and demultiplexer
Tang et al. A novel wavelength-division-demultiplexer with optical in-plane to surface-normal conversion
KR101481148B1 (en) Arrayed Waveguide Collimators
JPH0798419A (en) Integrated optical waveguide circuit
KR20180046340A (en) Wavelength division multiplexer
RU2199823C2 (en) Optical multiplexer/demultiplexer
CN115720114A (en) WDM device, WDM-MDM hybrid device and optical communication method thereof
JPS6247005A (en) Wavelength multiplexing and demultiplexing diffraction grating
JP4736880B2 (en) Manufacturing method of optical module

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071212

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081212

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081212

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091212

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101212

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101212

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121212

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121212

Year of fee payment: 9

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121212

Year of fee payment: 9

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121212

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131212

Year of fee payment: 10

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees