JPH11326628A - Production of color filter - Google Patents
Production of color filterInfo
- Publication number
- JPH11326628A JPH11326628A JP15229898A JP15229898A JPH11326628A JP H11326628 A JPH11326628 A JP H11326628A JP 15229898 A JP15229898 A JP 15229898A JP 15229898 A JP15229898 A JP 15229898A JP H11326628 A JPH11326628 A JP H11326628A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- ultraviolet absorber
- substrate
- dye film
- dye
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、カラー液晶表示装
置に用いるカラーフィルターの製造方法、特に携帯性に
すぐれたプラスチックフィルム基板に好適なカラーフィ
ルターの製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a color filter used for a color liquid crystal display device, and more particularly to a method for manufacturing a color filter suitable for a plastic film substrate having excellent portability.
【0002】[0002]
【従来技術】液晶表示装置は様々な分野で使用されるよ
うになり、情報表示装置としてCRTにせまる勢いであ
る。特に、携帯性が要求される機器においては小型、軽
量、少消費電力であることから多くの機器に採用されて
いる。さらにカラー化技術も進み、液晶用カラーフィル
ターの製造方法として、染色法、顔料分散法、電着法、
印刷法、ミセル電解法等さまざまなものが提案され、中
には実用化されたものもある。染色法とは、ゼラチン上
に染色防止膜としてフォトリソグラフィー法により形成
し、染料でRGBの各色ごとに染色する方法で、顔料分
散法とは、顔料を分散させた紫外線硬化型レジストを基
板に塗布してフォトリソグラフィー法によるマスク露光
および熱硬化をRGB3回繰り返し色素層を形成する方
法で、電着法とは、電着ポリマーと顔料を分散させ、基
板上にパターン化された電極に電着塗装する方法で、印
刷法とは、印刷機を用いてRGB3原色のインキを印刷
する方法で、ミセル電解法とは、界面活性剤を用いて顔
料を分散させて、基板上にパターン化された電極に色素
層を形成する方法である。これらの中で、染色法、顔料
分散法、印刷法などでは、赤(R)、緑(G)、青
(B)及び、光漏れを防ぎ、コントラストを高めるため
に設ける遮光層、黒(BK)のパターン形成において、
それぞれ位置を他のパターンに対して正確に位置合わせ
を行う必要がある。たとえば、始めに黒パターンを形成
し、この黒パターンに対して赤、緑、青の各パターンを
精密に位置合わせしながら形成していく。また、カラー
フィルターパターンと液晶駆動用電極との位置あわせも
必要である。2. Description of the Related Art Liquid crystal display devices have been used in various fields, and are increasingly being used as information display devices on CRTs. In particular, devices that require portability are used in many devices because of their small size, light weight, and low power consumption. In addition, color technology has been advanced, and as a method of manufacturing a color filter for liquid crystal, a dyeing method, a pigment dispersion method, an electrodeposition method,
Various methods such as a printing method and a micellar electrolytic method have been proposed, and some of them have been put to practical use. The dyeing method is a method of forming an anti-staining film on gelatin by a photolithography method and dyeing each of RGB colors with a dye. The pigment dispersing method is to apply an ultraviolet-curable resist in which a pigment is dispersed to a substrate. Is a method of forming a dye layer by repeating mask exposure and heat curing by photolithography three times RGB to form a dye layer. The electrodeposition method is a method in which an electrodeposition polymer and a pigment are dispersed, and an electrode patterned on a substrate is electrodeposited. The printing method is a method of printing inks of three primary colors of RGB using a printing machine, and the micellar electrolytic method is a method in which a pigment is dispersed using a surfactant to form a patterned electrode on a substrate. This is a method of forming a dye layer on the substrate. Among these, in the dyeing method, the pigment dispersion method, the printing method, and the like, red (R), green (G), blue (B), a light-shielding layer provided to prevent light leakage and enhance contrast, and black (BK) In the pattern formation of
Each position must be accurately aligned with another pattern. For example, a black pattern is formed first, and the red, green, and blue patterns are formed while being precisely aligned with the black pattern. In addition, it is necessary to align the color filter pattern with the electrode for driving the liquid crystal.
【0003】この点、電着法、ミセル電解法などの電気
化学的手法では、透明電極をパターン化する際に、フォ
トリソグラフィー法を用いるが、このような精密な位置
合わせの必要はない。さらにミセル電解法は、導電性の
カラーフィルター層の形成が可能であり、カラーフィル
ター層上に再度液晶駆動電極を積層することなしにその
ままカラーフィルター層を液晶駆動電極として用いるこ
とができる。このため、ミセル電解法は基本的技術の確
立(J.Am.Chem.Soc.1991,113,
450−456、特公平3−59998、特公平7−6
2275、特開平2−146001、特開平2−149
697、特開平2−267268)以来、実用化に向け
て種々の検討がなされている。特に、精密な位置合わせ
が必要ないということで、通常のガラス基板以外にも、
プラスチックフィルム基板への適応性が高い。In this respect, in an electrochemical method such as an electrodeposition method or a micelle electrolytic method, a photolithography method is used to pattern a transparent electrode, but such precise alignment is not required. Further, the micelle electrolysis method can form a conductive color filter layer, and can use the color filter layer as a liquid crystal drive electrode without laminating a liquid crystal drive electrode again on the color filter layer. For this reason, the micelle electrolysis method has established a basic technique (J. Am. Chem. Soc. 1991, 113,
450-456, Japanese Patent Publication 3-59998, Japanese Patent Publication 7-6
2275, JP-A-2-146001, JP-A-2-149
697, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-267268), various studies have been made toward practical use. In particular, since precise alignment is not required, besides a normal glass substrate,
High adaptability to plastic film substrates.
【0004】最近では、携帯電話や電子手帳等の携帯用
機器にはプラスチックフィルムを使用した液晶表示装置
が用いられるようになった。プラスチックフィルムはそ
の厚さが0.1〜0.3mm程度であり、重量も軽いた
め携帯用機器に最適である。しかしながら、フィルム基
板では微細なパターニングが困難であること、基板の寸
法が温度や湿度等の環境によって微妙に変化することな
どから、カラーフィルターを形成することが難しく、カ
ラーフィルターを使用しないカラー表示方法も提案され
ているが、表示できる色数に制限があり、その表示色も
鮮やかなものではない。また、この方法では2枚の基板
間距離(セルギャップ)を厳密に制御する必要があるた
め、基板間距離の制御が難しいプラスチックフィルム液
晶表示装置ではいまだカラー化は実用化に至ってはいな
い。Recently, a liquid crystal display device using a plastic film has been used for portable equipment such as a mobile phone and an electronic organizer. The plastic film has a thickness of about 0.1 to 0.3 mm and is light in weight, so that it is most suitable for portable equipment. However, it is difficult to form a color filter due to the difficulty of fine patterning on the film substrate and the subtle changes in the dimensions of the substrate depending on the environment such as temperature and humidity. However, the number of colors that can be displayed is limited, and the display colors are not vivid. Further, in this method, since the distance between two substrates (cell gap) needs to be strictly controlled, colorization has not yet been put to practical use in a plastic film liquid crystal display device in which it is difficult to control the distance between substrates.
【0005】このため、ミセル電解法はフィルム基板上
へのカラーフィルターの作製方法として有望であるが、
前述の各カラーフィルター間の遮光層を形成する際に、
精密な位置合わせが困難であるため、これまで問題とな
ってきた。この問題は、フィルム基板だけでなく、ガラ
ス基板等の精密位置合わせ可能な基板においても、その
回数が増えることは、誤差の原因になるため好ましくな
い。このため、カラーフィルター上全面に黒色の感光性
樹脂組成物を塗布して、非塗布面より露光後、現像する
ことにより、カラーフィルター間に黒色の遮光層を形成
する方法、いわゆる背面露光法が提案された(特開平1
−13530、特開平1−293306)。しかし、こ
のようにカラーフィルターをフォトマスクとして用いる
方法だけでは、カラーフィルター層は完全に紫外線をカ
ットすることができないため、カラーフィルター上に残
膜が残ったり、所望の膜厚の遮光層ができず、平坦化で
きなかったり、十分な光学濃度を得られなかったため、
紫外線吸収物質を顔料分散カラーフィルター中に含有さ
せるなどの改良が試みられてきた(特開平2−7701
4、特開平9−127325)。しかし、顔料分散法の
場合、カラーフィルター自体の硬化の妨げになるため、
紫外線吸収物質の種類や含有量に限りがあり、前記問題
は解決されていないのが現状である。For this reason, the micellar electrolysis method is promising as a method for producing a color filter on a film substrate.
When forming the light-shielding layer between each of the color filters described above,
It has been a problem until now because precise alignment is difficult. This problem is not preferable not only for a film substrate but also for a substrate such as a glass substrate, which can be precisely positioned, because an increase in the number of times causes an error. For this reason, a method of forming a black light-shielding layer between the color filters by applying a black photosensitive resin composition over the entire surface of the color filter, exposing from the non-coated surface, and developing the so-called back exposure method is known. Proposed (Japanese Unexamined Patent Application Publication No.
-13530, JP-A-1-293306). However, only the method of using the color filter as a photomask in this manner cannot completely cut off the ultraviolet light from the color filter layer, so that a residual film remains on the color filter or a light-shielding layer having a desired thickness is formed. Because it could not be flattened or could not obtain sufficient optical density
Improvements have been attempted, for example, by including an ultraviolet absorbing substance in a pigment-dispersed color filter (JP-A-2-7701).
4, JP-A-9-127325). However, in the case of the pigment dispersion method, since it hinders the curing of the color filter itself,
At present, the above problems have not been solved because the type and content of the ultraviolet absorbing substance are limited.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、精密
な位置合わせを行なわずに、ブラックマトリックスによ
る遮光層を有する導電性カラーフィルターの製造方法を
提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a conductive color filter having a black matrix light-shielding layer without performing precise alignment.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、赤、緑、青三
原色の分光特性を有する色素をそれぞれ水性媒体中で電
気化学的に酸化および/または還元可能な部位を有した
界面活性、例えばフェロセン誘導体界面活性剤を用いて
ミセル化した前記三原色の色素の分散液に、パターンニ
ングされた透明導電膜を有する基板を浸漬し、通電処理
することにより前記三原色の色素膜を透明電極上に形成
後、前記色素膜の少なくとも1種類の色素膜中に紫外線
吸収剤を含有させた後に、黒色感光性樹脂組成物を塗布
し、次に基板背面から露光して各色素膜間に遮光層を形
成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法を
提供することにより、前記課題を解決することができ
た。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a surfactant having a site capable of electrochemically oxidizing and / or reducing each of dyes having red, green and blue primary spectral characteristics in an aqueous medium, for example, A substrate having a patterned transparent conductive film is immersed in a dispersion liquid of the three primary colors formed into micelles using a ferrocene derivative surfactant, and the three primary colors of the dye film are formed on the transparent electrode by applying an electric current. Then, after including an ultraviolet absorber in at least one kind of the dye film, a black photosensitive resin composition is applied, and then exposed from the back of the substrate to form a light-shielding layer between the dye films. By providing a method for producing a color filter, the above-mentioned problem can be solved.
【0008】本発明において、色素膜中に紫外線吸収剤
を含有させる方法としては、紫外線吸収剤を前記色素と
同様な方法にて水性媒体中で電気化学的に酸化および/
または還元可能な部位を有した界面活性、例えばフェロ
セン誘導体界面活性剤を用いてミセル化した分散液に前
記色素膜を浸漬し、含有させたい色素膜に通電処理する
方法、紫外線吸収剤を溶剤に溶解、または分散して、前
記色素膜が形成された基板上に塗布乾燥した後、不用な
部分に付着した前記紫外線吸収剤を該紫外線吸収剤の可
溶化溶媒、または分散溶媒等で洗浄して除去する方法な
どが好ましい。前者は、特に有機紫外線吸収剤であると
透明電極上には成膜し難いが、ミセル電解法により作製
したポーラスな色素層中には容易に保持される。また、
後者は色素層中に紫外線吸収剤を保持させた後、それ以
外の不用な部分に付着した紫外線吸収剤を取り除く方法
である。In the present invention, as a method of incorporating an ultraviolet absorber in the dye film, the ultraviolet absorber is electrochemically oxidized and / or electrochemically in an aqueous medium in the same manner as the dye.
Alternatively, the dye film is immersed in a micellarized dispersion liquid using a surfactant having a reducible site, for example, a ferrocene derivative surfactant, and a method of applying a current to the dye film to be contained is used. Dissolve or disperse, after coating and drying on the substrate on which the dye film is formed, wash the ultraviolet absorber adhering to unnecessary portions with a solubilizing solvent of the ultraviolet absorber, or a dispersion solvent or the like. The removal method is preferred. The former is particularly difficult to form a film on a transparent electrode if it is an organic ultraviolet absorber, but is easily retained in a porous dye layer formed by micellar electrolysis. Also,
The latter is a method in which an ultraviolet absorber is retained in a dye layer, and then the ultraviolet absorber attached to other unnecessary parts is removed.
【0009】本発明において用いる紫外線吸収剤として
は、ミセル電解CF中への保持性がすぐれた有機紫外線
吸収剤が特に効果的である。前記有機紫外線吸収剤とし
ては、ベンゾトリアゾール系化合物、ヒドロキシベンゾ
フェノン系化合物およびサリチレート系化合物よりなる
群から選ばれる少なくとも1種類のものが好ましい。さ
らに、本発明は、パターン形成された透明導電薄膜を有
する基板が、プラスチックフィルム基板である場合に最
もその効果が認められる。As the ultraviolet absorber used in the present invention, an organic ultraviolet absorber having excellent retention in micellar electrolytic CF is particularly effective. The organic ultraviolet absorber is preferably at least one selected from the group consisting of benzotriazole-based compounds, hydroxybenzophenone-based compounds, and salicylate-based compounds. Further, the present invention is most effective when the substrate having the patterned transparent conductive thin film is a plastic film substrate.
【0010】以下、本発明の実施態様を示す。 1.ミセル電解法 本発明のカラーフィルターを構成するRGB色素膜を形
成するミセル電解法について説明する。まず、RGBの
分光特性を有する色素としては、ペリレン顔料、レーキ
顔料、アゾ系顔料、キナクリドン系顔料、アントラキノ
ン系、金属置換フタロシアニン系顔料、ハロゲン多置換
フタロシアニン系顔料などの有機顔料、酸化チタン、酸
化鉄、コバルト紫、コバルトブルーなどの無機顔料が挙
げられ、これらは単独、または混合して用いられる。さ
らに、色度調整用のイソインドリノン顔料、ジスアゾ顔
料などの黄色顔料、ジオキサン顔料などの紫色顔料など
を必要に応じて用いる。これらの顔料の粒径は10μm
以下、特に1μm以下が好ましい。作製した色素層に導
電性を付与するために、これらの色素以外に、必要に応
じて、ITOなどの透明導電性粒子を添加する。これら
疎水性の物質をミセル化する際に用いるフェロセン誘導
体界面活性剤は、特開昭63−243298、特開平1
−226894、特開平1−45370、特開平2−8
8387、特開平2−96585、特開平2−2508
92に開示されているが、電解反応に必要なフェロセン
部位と非イオン性、カチオン性、アニオン性の界面活性
部位を合わせ持つものであれば特に限定されるものでは
ない。ミセル電解液の水性媒体としては、水をはじめ、
これにアルコール、アセトンなどを必要に応じて混合し
て用いる。また、ミセル電解液中には、水性媒体の電気
伝導度を調節するために、必要に応じて支持電解質を添
加する。この支持電解質としては、アルカリ金属、アル
カリ土類金属、などの硫酸塩、ハロゲン化物、酢酸塩、
水溶性酸化物など、一般に広く用いられているものが用
いられる。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described. 1. Micellar electrolysis method The micellar electrolysis method for forming the RGB dye film constituting the color filter of the present invention will be described. First, pigments having RGB spectral characteristics include organic pigments such as perylene pigments, lake pigments, azo pigments, quinacridone pigments, anthraquinone-based, metal-substituted phthalocyanine-based pigments, halogen polysubstituted phthalocyanine-based pigments, titanium oxide, and oxidized pigments. Inorganic pigments such as iron, cobalt violet, and cobalt blue may be mentioned, and these may be used alone or in combination. Further, yellow pigments such as isoindolinone pigments and disazo pigments for adjusting chromaticity, and purple pigments such as dioxane pigments are used as necessary. The particle size of these pigments is 10 μm
The thickness is particularly preferably 1 μm or less. In order to impart conductivity to the prepared dye layer, transparent conductive particles such as ITO are added as necessary in addition to these dyes. Ferrocene derivative surfactants used for converting these hydrophobic substances into micelles are described in JP-A-63-243298 and JP-A-Hei.
226894, JP-A-1-45370, JP-A-2-8
8387, JP-A-2-96585, JP-A-2-2508
92, it is not particularly limited as long as it has both a ferrocene site required for an electrolytic reaction and a nonionic, cationic, or anionic surface active site. The aqueous medium of the micelle electrolyte includes water,
Alcohol, acetone, and the like are mixed and used as necessary. In addition, a supporting electrolyte is added to the micelle electrolyte as needed in order to adjust the electric conductivity of the aqueous medium. Examples of the supporting electrolyte include alkali metal, alkaline earth metal, sulfates, halides, acetates, and the like.
What is generally used widely, such as a water-soluble oxide, is used.
【0011】上記材料を用いて、ミセル電解液を調製す
るには、上記水性媒体中に色素、電気化学的に酸化およ
び/または還元可能な部位を有した界面活性剤、例えば
フェロセン誘導体界面活性剤、必要に応じて、導電性粒
子、支持電解質などを入れて、ホモジナイザー、三本ロ
ールミル、サンドミル、パールミル、スターラーなどの
分散方法で、均一に分散、あるいは可溶化する。ここ
で、前記界面活性剤としてフェロセン誘導体界面活性剤
を用いる場合、その濃度は0.1mmol/1〜1.0
mol/lが好ましく、色素濃度は1〜500g/lが
好ましい。このようにして調製したミセル電解液を用い
て色素薄膜を作製するには、導電性基板を電解液中に浸
漬し通電処理するが、この時の電解条件としては、前記
界面活性剤の酸化還元電位以上で、水素発生電位以下の
電圧で行なう。具体的には、0.1〜1.5V、電流密
度は1mA/cm2以下が好ましく、定電位、定電流な
どの電解方法にて行なう。このような条件で電解すると
ミセル電解法の原理に従って、所望の色素薄膜が形成す
る。薄膜形成後は、必要に応じて洗浄、乾燥を行ない、
保護層を設けてもよい。保護層は、液晶駆動に影響せず
に、色素層の機械的強度を向上、色素層と液晶層とのブ
ロッキング層としての効果が求められ、透明で耐溶剤性
に優れたものが好ましく、アクリル系、エステル系、ポ
リイミド系、環化ゴム系、シロキサン系、エポキシ系な
どの透明光硬化性レジスト硬化物、透明熱硬化性樹脂硬
化物などが用いられる。また、導電性基板としては、フ
ェロセン誘導体界面活性剤の酸化還元電位よりも貴な金
属、導電体であることが必要で、金、白金、銀、グラシ
ーカーボン、導電性金属酸化物、有機ポリマー導電体な
どが挙げられるが、液晶セルに用いるには、ITOのよ
うな透明な導電性金属酸化物層をガラスやフィルム上に
形成した形態が好ましく、さらに本発明では、精密な位
置合わせを必要としないことから、プラスチックフィル
ム基板上にITO薄膜を形成したものが特に効果的であ
る。In order to prepare a micelle electrolyte using the above materials, a dye, a surfactant having an electrochemically oxidizable and / or reducible site in the aqueous medium, for example, a ferrocene derivative surfactant If necessary, conductive particles, a supporting electrolyte, and the like are added, and the mixture is uniformly dispersed or solubilized by a dispersion method such as a homogenizer, a three-roll mill, a sand mill, a pearl mill, or a stirrer. Here, when a ferrocene derivative surfactant is used as the surfactant, its concentration is 0.1 mmol / 1 to 1.0.
mol / l is preferable, and the dye concentration is preferably 1 to 500 g / l. In order to prepare a dye thin film using the micelle electrolyte solution prepared in this manner, a conductive substrate is immersed in the electrolyte solution and is subjected to an electric current treatment. The electrolysis conditions at this time include oxidation and reduction of the surfactant. It is performed at a voltage higher than the potential and lower than the hydrogen generation potential. Specifically, the current density is preferably 0.1 to 1.5 V, and the current density is preferably 1 mA / cm 2 or less. When electrolysis is performed under such conditions, a desired dye thin film is formed according to the principle of the micelle electrolysis method. After forming the thin film, wash and dry as necessary.
A protective layer may be provided. The protective layer is required to improve the mechanical strength of the dye layer without affecting the driving of the liquid crystal, and to be effective as a blocking layer between the dye layer and the liquid crystal layer. A transparent, light-curable resist cured product such as a resin, an ester, a polyimide, a cyclized rubber, a siloxane, or an epoxy resin, a cured transparent thermosetting resin, or the like is used. In addition, the conductive substrate must be a metal or a conductor that is nobler than the oxidation-reduction potential of the ferrocene derivative surfactant. Gold, platinum, silver, glassy carbon, conductive metal oxide, organic polymer Although a conductor or the like can be used, for use in a liquid crystal cell, a form in which a transparent conductive metal oxide layer such as ITO is formed on glass or a film is preferable, and in the present invention, precise alignment is required. Since an ITO thin film is formed on a plastic film substrate, it is particularly effective.
【0012】本発明では、前述のようにして形成した色
素膜中に、紫外線吸収剤を含有させた後に、黒色感光性
樹脂組成物を塗布して背面から露光することにより各色
素間の遮光層を形成することで、光学濃度の高い遮光層
を備えた高コントラストのカラーフィルターを作製する
際に、色素層中に紫外線吸収剤を含有させる方法が重要
であり、ミセル電解による色素層形成時に紫外線吸収剤
を含有させるよりも、ミセル電解薄膜の多孔性を利用し
て、色素膜形成後に紫外線吸収剤を色素膜に保持させる
方法が好ましい。これらの方法としてたとえば、前記色
素と同様な方法にて水性媒体中でフェロセン誘導体界面
活性剤を用いてミセル化した分散液に色素膜を浸漬し、
含有させたい色素膜に通電処理する方法、紫外線吸収剤
を溶剤に溶解、または分散して、前記色素膜が形成され
た基板上にスピンコート、浸漬、スプレーなどの一般的
な方法で塗布乾燥した後、不用な部分に付着した前記紫
外線吸収剤を該紫外線吸収剤の可溶化溶媒、または分散
溶媒で洗浄して除去する方法などが挙げられる。この場
合、前者は、特に有機紫外線吸収剤であると透明電極上
には成膜し難いが、ミセル電解法により作製したポーラ
スな色素層中には容易に保持される。また、後者は色素
層中に紫外線吸収剤を保持させると、それらを可溶化溶
媒、または分散溶媒で洗浄しても、容易には溶出せず、
洗浄の条件を選べば、その他の不必要な部分に付着して
いる紫外線吸収剤のみを洗い流せることが可能である。
この際、用いる溶媒としては、紫外線吸収剤を容易に溶
解、または分散可能で各種一般的な塗布に適応できるも
のであれば特に限定されるものではなく、たとえば、ア
セトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケト
ン、エチレングレコール、メチレングレコール、プロピ
レングレコール、ピロリドン、ジメチルホルムアミド、
ジオキサン、テトラヒドロフラン、トルエン、キシレン
などが挙げられる。In the present invention, a light-shielding layer between the respective dyes is prepared by adding a black photosensitive resin composition to the dye film formed as described above, then applying a black photosensitive resin composition, and exposing from the back surface. When a high-contrast color filter having a light-shielding layer with a high optical density is produced, it is important to include an ultraviolet absorber in the dye layer. It is preferable to use a porosity of the micelle electrolytic thin film and hold the ultraviolet absorbent on the dye film after forming the dye film, rather than including the absorbent. As these methods, for example, the dye film is immersed in a micellarized dispersion using a ferrocene derivative surfactant in an aqueous medium in the same manner as the above-described dye,
A method of applying a current to the dye film to be contained, dissolving or dispersing an ultraviolet absorber in a solvent, or spin coating, dipping, spraying or the like on a substrate on which the dye film has been formed, followed by drying by a general method such as spraying. Thereafter, a method of removing the ultraviolet absorber adhering to an unnecessary part by washing with a solvent for dissolving the ultraviolet absorber or a dispersing solvent may be used. In this case, the former is difficult to form a film on the transparent electrode particularly when it is an organic ultraviolet absorber, but is easily retained in the porous dye layer formed by the micellar electrolysis method. Also, when the latter holds the ultraviolet absorber in the dye layer, even if they are washed with a solubilizing solvent or a dispersion solvent, they are not easily eluted,
If the washing conditions are selected, it is possible to wash away only the ultraviolet absorber adhering to other unnecessary parts.
At this time, the solvent to be used is not particularly limited as long as it can easily dissolve or disperse the ultraviolet absorber and can be applied to various general coatings. For example, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, Ethylene glycol, methylene glycol, propylene glycol, pyrrolidone, dimethylformamide,
Examples include dioxane, tetrahydrofuran, toluene, xylene and the like.
【0013】本発明で用いる紫外線吸収剤としては、酸
化チタン、酸化スズ、酸化セリウムなどの透明なセラミ
ックス微粒子、または、本発明においては、特に有機紫
外線吸収剤の場合に効果的であり、ベンゾトリアゾール
系化合物、ヒドロキシベンゾフェノン系化合物、サリチ
レート系化合物のなかから選ばれる少なくとも1種類を
含有することが好ましい。これら有機紫外線吸収剤の一
般式を以下の(I)〜(III)に示す。As the ultraviolet absorber used in the present invention, transparent ceramic fine particles such as titanium oxide, tin oxide and cerium oxide, or, in the present invention, particularly effective in the case of an organic ultraviolet absorber, benzotriazole It is preferable to contain at least one selected from the group consisting of a hydroxy compound, a hydroxybenzophenone compound and a salicylate compound. The general formulas of these organic ultraviolet absorbers are shown in the following (I) to (III).
【0014】(I)ベンゾトリアゾール系化合物(I) Benzotriazole compounds
【化1】 (R1、R2はそれぞれ同一または相異なっていても良
く、例えば水素原子、または置換、無置換のアルキル
基、アルケニル基、アリル基、アリール基などを表
す。) (II)ヒドロキシベンゾフェノン系化合物Embedded image (R 1 and R 2 may be the same or different and each represents, for example, a hydrogen atom or a substituted or unsubstituted alkyl group, alkenyl group, allyl group, aryl group, etc.) (II) Hydroxybenzophenone-based compound
【化2】 (R1、R2は、同一または相異なっていても良く、例え
ばそれぞれ置換、無置換のアルキル基、アルケニル基、
アリル基、アリール基などを表す。) (III)サリチレート系化合物Embedded image (R 1 and R 2 may be the same or different, and for example, each may be a substituted or unsubstituted alkyl group, alkenyl group,
Represents an allyl group, an aryl group, or the like. (III) Salicylate compounds
【化3】 (R1、R2はそれぞれ置換、無置換のアルキル基、アル
ケニル基、アリル基、アリール基などを表す。) 以下、前式(A)〜(C)の具体例を示す。Embedded image (R 1 and R 2 each represent a substituted or unsubstituted alkyl group, alkenyl group, allyl group, aryl group, etc.) Hereinafter, specific examples of the above formulas (A) to (C) will be shown.
【0015】[0015]
【化4】 Embedded image
【0016】[0016]
【化5】 Embedded image
【0017】[0017]
【化6】 Embedded image
【0018】前記紫外線吸収剤の色素層中の含有量とし
ては、0.1〜10%が好ましい。以上のようにして作
製したカラーフィルター間に背面露光により前記遮光層
を形成する。遮光層は黒色感光性樹脂組成物を光硬化さ
せたものであり、該組成物は黒色顔料、バインダー樹
脂、感光性樹脂組成物等を含む。黒色顔料としては、カ
ーボン、アニリンブラック、シアニンブラック、また、
前記R、G、B顔料の混合物等が用いられる。感光性樹
脂組成物としては、(1)ポリマーと光架橋剤、(2)
モノマー、またはオリゴマーとバインダー樹脂、光重合
開始剤の組み合わせが挙げられる。(1)の光架橋剤と
しては、ジアゾ化合物、重クロム酸塩、クロム酸塩、ビ
スアジド化合物等があり、ポリマーとしては、2−ヒド
ロキシエチルメタクリレート、メトキシメチルアクリル
アミド、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド、メ
チルメタクリレート、アクリル酸等の重合体等がある。
また、(2)のモノマー、オリゴマーとしては、アクリ
ル酸、2−ヒドロキシエチルアクリレート、アクリルア
ミド、スチレン、酢酸ビニル等があり、光重合開始剤と
しては、4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル−
(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、アゾビスイ
ソブチロニトリル、アントラキノン等がある。このよう
な材料を用いて黒色樹脂組成物を調製し、基板上の色素
層上全面に塗布し、ベーク乾燥後、基板の裏側(色素層
のない側)から感光波長の光を照射して硬化させる。こ
こで、用いる光は一般の紫外線(300〜380n
m)、エキシマレーザー(157〜351nm)等であ
る。ここで、色素層は、色素、および前記紫外線吸収剤
により、紫外線吸収性が付与されているため、色素層上
の黒色塗膜は硬化せず、色素層以外の部分に形成された
黒色塗膜が硬化して、照射量等の条件を調整することに
より、光硬化した遮光層の厚さを色素層と同じ厚さにで
きる。The content of the ultraviolet absorber in the dye layer is preferably 0.1 to 10%. The light-shielding layer is formed by back exposure between the color filters produced as described above. The light-shielding layer is obtained by photo-curing a black photosensitive resin composition, and the composition contains a black pigment, a binder resin, a photosensitive resin composition, and the like. As black pigments, carbon, aniline black, cyanine black,
A mixture of the R, G, and B pigments and the like are used. As the photosensitive resin composition, (1) a polymer and a photo-crosslinking agent, (2)
Examples include a combination of a monomer or oligomer, a binder resin, and a photopolymerization initiator. Examples of the photocrosslinking agent (1) include diazo compounds, dichromates, chromates, and bisazide compounds. Examples of polymers include 2-hydroxyethyl methacrylate, methoxymethyl acrylamide, dimethylaminopropyl methacrylamide, and methyl methacrylate. And polymers such as acrylic acid.
Examples of the monomer and oligomer of (2) include acrylic acid, 2-hydroxyethyl acrylate, acrylamide, styrene, and vinyl acetate. As the photopolymerization initiator, 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl-
(2-hydroxy-2-propyl) ketone, azobisisobutyronitrile, anthraquinone and the like. A black resin composition is prepared using such a material, applied to the entire surface of the dye layer on the substrate, baked and then cured by irradiating light of a photosensitive wavelength from the back side of the substrate (the side without the dye layer). Let it. Here, the light used is general ultraviolet light (300 to 380 n).
m), an excimer laser (157 to 351 nm) and the like. Here, since the dye layer is provided with ultraviolet absorption by the dye and the ultraviolet absorber, the black coating film on the dye layer is not cured, and the black coating film formed on portions other than the dye layer Is cured and the thickness of the photocured light-shielding layer can be made the same as that of the dye layer by adjusting the conditions such as the irradiation amount.
【0019】[0019]
【実施例】以下、本発明の実施例を示す。Embodiments of the present invention will be described below.
【0020】実施例1 ガラス基板上の透明導電膜を110μmピッチ、巾90
μm、960本のストライプ状に通常のフォトリソ法で
加工した。次に、以下のようにしてミセル電解液を調製
した。すなわち、赤の場合は、ペリレンレッド10.0
g、ITO粉末10.0g、フェロセン誘導体としてフ
ェロセニルポリエチレングリコール(FPEG、同仁化
学製)2.5g、支持塩としてLiBr10.4gを水
1000mlに加えて超音波分散後、遠心分離(200
0rpm10分)により、緑の場合は、フタロシアニン
グリーン10.0g、ITO粉末10.0g、FPEG
3.0g、LiBr10.4gを水1000mlに加え
て超音波分散後、遠心分離(2000rpm10分)に
より、さらに、青の場合は、フタロシアニンブルー1
0.0g、ITO粉末10.0g、FPEG3.5g、
LiBr10.4gを水1000mlに加えて超音波分
散後、遠心分離(2000rpm10分)によりそれぞ
れ調製した。このようにして調製した赤の電解液中に前
記ガラス基板を浸漬したのち、3本おきの透明電極に
0.5Vの定電位電解を12分間行ない、選択した電極
上に赤の導電性のカラーフィルター層を形成した。続い
て、純水で洗浄したのち120℃で乾燥させた。同様に
して、緑の電解液で15分間、青の電解液で12分間、
電解を行ない、赤、緑、青の導電性カラーフィルター層
を形成した。次に、2−(2′−ヒドロキシ−5′−メ
チルフェニル)ベンゾトリアゾール7.0g、FPEG
1.0g、LiBr10.4gを水1000mlに加え
て超音波分散後、1日間撹拌して、不溶解成分を遠心分
離(2000rpm1時間)により除去して、ベンゾト
リアゾールのミセル電解液を調製した。これに、上記作
製したカラーフィルター層を浸漬して、0.5Vの定電
位電解を5分間行ない、純水にて洗浄乾燥してカラーフ
ィルター中に紫外線吸収剤を保持させた。この基板の全
面に黒色光硬化型樹脂(富士ハントエレクトロニクステ
クノロジー製カラーモザイクCK−2000)約2μm
をスピンコートにより塗布したのち、基板裏面側より超
高圧水銀灯で全面露光(300mJ/cm2)した。ア
ルカリ水溶液(富士ハントエレクトロニクステクノロジ
ー製カラーモザイクCDの10倍希釈)で現像処理を行
い、透明電極パターン間にブラックマトリックスを形成
した。次に180℃のポストベークにてブラックマトリ
ックスを硬化させたのち、透明電極上の顔料を超音波洗
浄にて除去した。続いて、熱硬化型のアクリル樹脂から
なるオーバーコート層0.3μmを形成した。以上のよ
うにして作製したカラーフィルターのピークトップ付近
(R:630nm、G:530nm、B:470nm)
での分光透過率と光学濃度を測定して、表1に示した。Example 1 A transparent conductive film on a glass substrate was formed with a pitch of 110 μm and a width of 90 μm.
960 μm stripes were processed by the usual photolithography method. Next, a micelle electrolyte was prepared as follows. That is, in the case of red, perylene red 10.0
g, ITO powder 10.0 g, ferrocenyl polyethylene glycol (FPEG, manufactured by Dojindo Chemical Co., Ltd.) 2.5 g as a ferrocene derivative, LiBr 10.4 g as a supporting salt were added to 1000 ml of water, ultrasonically dispersed, and then centrifuged (200
0 rpm 10 minutes), in the case of green, 10.0 g of phthalocyanine green, 10.0 g of ITO powder, FPEG
3.0 g and 10.4 g of LiBr were added to 1000 ml of water, ultrasonically dispersed, and then centrifuged (2000 rpm for 10 minutes). In the case of blue, phthalocyanine blue 1 was added.
0.0 g, ITO powder 10.0 g, FPEG 3.5 g,
After adding 10.4 g of LiBr to 1000 ml of water and ultrasonic dispersion, each was prepared by centrifugation (2000 rpm for 10 minutes). After immersing the glass substrate in the red electrolyte solution prepared in this way, a constant potential electrolysis of 0.5 V is applied to every third transparent electrode for 12 minutes, and a red conductive color is applied on the selected electrode. A filter layer was formed. Subsequently, the substrate was washed with pure water and dried at 120 ° C. Similarly, for 15 minutes with the green electrolyte, 12 minutes with the blue electrolyte,
Electrolysis was performed to form red, green, and blue conductive color filter layers. Next, 7.0 g of 2- (2'-hydroxy-5'-methylphenyl) benzotriazole, FPEG
1.0 g of LiBr and 10.4 g of LiBr were added to 1000 ml of water, ultrasonically dispersed, stirred for 1 day, and insoluble components were removed by centrifugation (2000 rpm for 1 hour) to prepare a benzotriazole micelle electrolyte. The above prepared color filter layer was immersed in the solution, subjected to a constant potential electrolysis of 0.5 V for 5 minutes, washed with pure water and dried to hold the ultraviolet absorbent in the color filter. A black light-curable resin (Fuji Hunt Electronics Technology color mosaic CK-2000) of about 2 μm
Was applied by spin coating, and the entire surface was exposed (300 mJ / cm 2 ) from the back side of the substrate with an ultra-high pressure mercury lamp. Development processing was performed with an aqueous alkaline solution (10-fold dilution of a color mosaic CD manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology) to form a black matrix between the transparent electrode patterns. Next, after the black matrix was cured by post-baking at 180 ° C., the pigment on the transparent electrode was removed by ultrasonic cleaning. Subsequently, an overcoat layer 0.3 μm made of a thermosetting acrylic resin was formed. Near the peak top of the color filter produced as described above (R: 630 nm, G: 530 nm, B: 470 nm)
Table 1 shows the measured values of the spectral transmittance and the optical density.
【0021】実施例2 透明導電性フィルムFST−5340(住友ベークライ
ト社製)の透明導電膜上に厚さ0.2μmの金属クロム
膜を真空蒸着法で製膜した。続いて、通常のフォトリソ
法で110μmピッチ、巾90μm、960本のストラ
イプ状のレジストパターンを形成したのち、このレジス
トパターンでクロム及び透明導電膜をウェットエッチン
グで加工した。フォトレジストを剥離したのち、実施例
1と同様にして透明電極上にRGB導電性カラーフィル
ターを形成した。次に、2−ヒドロキシメトキシベンゾ
フェノン5.0g、FPEG0.5g、LiBr10.
4gを水1000mlに加えて超音波分散後、1日間撹
拌して、不溶解成分を遠心分離(2000rpm1時
間)により除去して、ミセル電解液を調製した。これ
に、上記作製したカラーフィルター層を浸漬して、0.
5Vの定電位電解を5分間行ない、純水にて洗浄乾燥し
てカラーフィルター中に紫外線吸収剤を保持させた。以
下、実施例1と同様にして、黒色光硬化型樹脂を用いて
背面露光によりブラックマトリクスを形成して評価し
た。Example 2 A 0.2 μm-thick chromium metal film was formed on a transparent conductive film of a transparent conductive film FST-5340 (manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd.) by a vacuum evaporation method. Subsequently, 960 stripe-shaped resist patterns having a pitch of 110 μm and a width of 90 μm were formed by a normal photolithography method, and chromium and a transparent conductive film were processed by wet etching with the resist patterns. After removing the photoresist, an RGB conductive color filter was formed on the transparent electrode in the same manner as in Example 1. Next, 5.0 g of 2-hydroxymethoxybenzophenone, 0.5 g of FPEG, 10 g of LiBr.
4 g was added to 1000 ml of water, ultrasonically dispersed, stirred for 1 day, and insoluble components were removed by centrifugation (2000 rpm for 1 hour) to prepare a micelle electrolyte. The color filter layer prepared above was immersed in this,
A constant potential electrolysis of 5 V was performed for 5 minutes, washed with pure water and dried to hold an ultraviolet absorber in the color filter. Hereinafter, in the same manner as in Example 1, a black matrix was formed by back exposure using a black photocurable resin, and the evaluation was performed.
【0022】実施例3 実施例2と同様にして、透明導電性フィルム上にRGB
導電性カラーフィルターを形成した。次に、フェニルサ
リチレート1.0gをトルエン/メチルエチルケトン
(1/1vol)100mlに溶解し、上記作製したカ
ラーフィルター層上に浸漬塗布乾燥後、トルエンにてシ
ャワー洗浄し乾燥してカラーフィルター中に紫外線吸収
剤を保持させた。以下、実施例1と同様にして、黒色光
硬化型樹脂を用いて背面露光によりブラックマトリクス
を形成して評価した。Example 3 In the same manner as in Example 2, RGB was formed on a transparent conductive film.
A conductive color filter was formed. Next, 1.0 g of phenyl salicylate was dissolved in 100 ml of toluene / methyl ethyl ketone (1/1 vol), immersion-coated on the above-prepared color filter layer, dried, shower-washed with toluene, and dried to form a color filter. The UV absorber was retained. Hereinafter, in the same manner as in Example 1, a black matrix was formed by back exposure using a black photocurable resin, and the evaluation was performed.
【0023】比較例1 実施例1において、紫外線吸収剤の2−(2′−ヒドロ
キシ−5′−メチルフェニル)ベンゾトリアゾールをカ
ラーフィルター中に含有させなかった以外は、同様であ
る。Comparative Example 1 The procedure was the same as in Example 1, except that the color filter did not contain 2- (2'-hydroxy-5'-methylphenyl) benzotriazole as an ultraviolet absorber.
【0024】比較例2 実施例2において、紫外線吸収剤の2−ヒドロキシメト
キシベンゾフェノンをカラーフィルター中に含有させな
かった以外は、同様である。Comparative Example 2 The same procedure as in Example 2 was carried out except that the ultraviolet absorbent, 2-hydroxymethoxybenzophenone, was not contained in the color filter.
【0025】比較例3 実施例2において、紫外線吸収剤の2−ヒドロキシメト
キシベンゾフェノンをカラーフィルター中に含有させ
ず、黒色光硬化型樹脂を硬化させる際の露光量を100
mJ/cm2とした以外は、同様である。COMPARATIVE EXAMPLE 3 In Example 2, the ultraviolet light absorber 2-hydroxymethoxybenzophenone was not contained in the color filter, and the light exposure for curing the black photocurable resin was 100.
The same applies except that mJ / cm 2 was used.
【0026】[0026]
【表1】 [Table 1]
【0027】実施例4 実施例2で作製したプラスチックカラーフィルター基板
に日本合成ゴム社製液晶配向膜AL3046を0.1μ
m塗布したのち、ラビングにて配向処理を行い、240
本のストライプ状電極を有する対向基板と貼り合わせて
ツイスト角240度、セルギャップ7μmのSTNモー
ドの液晶セルを作製した。このセルに液晶駆動用の回路
を接続したのち、色補償用の位相差板、偏光板ではさ
み、カラー液晶表示装置を完成させたところ、良好なカ
ラー表示を行うことができた。Example 4 A liquid crystal alignment film AL3046 manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd. was coated on the plastic color filter substrate prepared in Example 2 by 0.1 μm.
After applying m, the alignment treatment is performed by rubbing, and 240
An STN mode liquid crystal cell having a twist angle of 240 degrees and a cell gap of 7 μm was manufactured by laminating the counter substrate having the stripe electrodes. After a circuit for driving liquid crystal was connected to this cell, the cell was sandwiched between a retardation plate and a polarizing plate for color compensation, and when a color liquid crystal display device was completed, good color display could be performed.
【0028】[0028]
【効果】請求項1〜3 精密な位置合わせを必要とせず、十分な光学濃度を持っ
たブラックマトリックスによる遮光層を有するカラーフ
ィルターの製造方法が提供できた。 請求項4 有機紫外線吸収剤は、ミセル電解カラーフィルター中へ
の保持性が優れ、これらを含有したミセル電解カラーフ
ィルターは、カラーフィルターとしての色特性を落とさ
ずに、背面露光の際にはフォトマスクとして有効に作用
した。According to the present invention, it is possible to provide a method of manufacturing a color filter having a light-shielding layer of a black matrix having a sufficient optical density without requiring precise alignment. The organic ultraviolet absorber has excellent retention in a micelle electrolytic color filter, and the micelle electrolytic color filter containing the same does not deteriorate the color characteristics as a color filter, and a photomask at the time of back exposure. Worked as effectively.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金本 明彦 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Akihiko Kanemoto 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo Inside Ricoh Company, Ltd.
Claims (4)
素をそれぞれ水性媒体中で電気化学的に酸化および/ま
たは還元可能な部位を有した界面活性剤を用いてミセル
化した前記三原色の色素の分散液に、パターンニングさ
れた透明導電薄膜を有する基板を浸漬し、通電処理する
ことにより前記三原色の色素膜を透明電極上に形成後、
前記色素膜の少なくとも1種類の色素膜中に紫外線吸収
剤を含有させた後に、黒色感光性樹脂組成物を塗布し、
次に基板背面から露光することにより各色素膜間に遮光
層を形成することを特徴とするカラーフィルターの製造
方法。1. The three primary colors obtained by micellizing dyes having spectral characteristics of three primary colors of red, green and blue using a surfactant having a site capable of being oxidized and / or reduced electrochemically in an aqueous medium. In the dispersion of the dye, after immersing the substrate having a patterned transparent conductive thin film, after forming the three primary color dye film on the transparent electrode by conducting the current,
After including an ultraviolet absorber in at least one type of dye film of the dye film, a black photosensitive resin composition is applied,
Next, a light-shielding layer is formed between each dye film by exposing from the back surface of the substrate.
法が、水性媒体中で電気化学的に酸化および/または還
元可能な部位を有した界面活性剤を用いてミセル化した
紫外線吸収剤を含有する分散液に、色素膜を浸漬し、含
有させたい色素膜に通電処理する請求項1記載のカラー
フィルターの製造方法。2. A method of incorporating an ultraviolet absorber in a dye film, comprising the steps of: using an ultraviolet absorber formed into micelles using a surfactant having a site capable of being electrochemically oxidized and / or reduced in an aqueous medium. The method for producing a color filter according to claim 1, wherein the dye film is immersed in the contained dispersion liquid, and the dye film to be contained is subjected to an electric current treatment.
法が、紫外線吸収剤の溶液または分散液を色素膜が形成
された基板上に塗布乾燥した後、不用な部分に付着した
前記紫外線吸収剤を、該紫外線吸収剤を可溶または分散
可能な溶剤にて洗浄して、除去する請求項1記載のカラ
ーフィルターの製造方法。3. A method of incorporating an ultraviolet absorber in a dye film, wherein a solution or a dispersion of the ultraviolet absorber is applied to a substrate on which the dye film is formed, dried, and then adhered to an unnecessary portion. The method for producing a color filter according to claim 1, wherein the agent is removed by washing with a solvent capable of dissolving or dispersing the ultraviolet absorber.
化合物、ヒドロキシベンゾフェノン系化合物およびサリ
チレート系化合物よりなる群から選ばれる少なくとも1
種類を含有する請求項1〜3のいずれかに記載のカラー
フィルターの製造方法。4. The ultraviolet absorber at least one selected from the group consisting of a benzotriazole compound, a hydroxybenzophenone compound and a salicylate compound.
The method for producing a color filter according to claim 1, wherein the color filter contains a kind.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15229898A JP3685927B2 (en) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | Manufacturing method of color filter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15229898A JP3685927B2 (en) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | Manufacturing method of color filter |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11326628A true JPH11326628A (en) | 1999-11-26 |
JP3685927B2 JP3685927B2 (en) | 2005-08-24 |
Family
ID=15537477
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15229898A Expired - Fee Related JP3685927B2 (en) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | Manufacturing method of color filter |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3685927B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006161149A (en) * | 2004-11-12 | 2006-06-22 | Pola Chem Ind Inc | Method for producing thin film |
CN112987383A (en) * | 2021-03-05 | 2021-06-18 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Black photoresist, display panel and preparation method thereof |
-
1998
- 1998-05-15 JP JP15229898A patent/JP3685927B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006161149A (en) * | 2004-11-12 | 2006-06-22 | Pola Chem Ind Inc | Method for producing thin film |
JP4673687B2 (en) * | 2004-11-12 | 2011-04-20 | ポーラ化成工業株式会社 | Thin film manufacturing method |
CN112987383A (en) * | 2021-03-05 | 2021-06-18 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Black photoresist, display panel and preparation method thereof |
CN112987383B (en) * | 2021-03-05 | 2022-07-12 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Black photoresist, display panel and preparation method thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3685927B2 (en) | 2005-08-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2762511B2 (en) | Color filter and manufacturing method thereof | |
JPH02144502A (en) | Color filter and production thereof | |
JPH0812292B2 (en) | Heat resistant color filter and manufacturing method thereof | |
JPH04190362A (en) | Resist for forming light shading film, method for producing said resist, and light shading film formed of said resist | |
JPH09302265A (en) | Colored resin composition for light-screening film formation, arraying substrate element, and liquid crystal display | |
JP4261657B2 (en) | Manufacturing method of color filter | |
JPH09133806A (en) | Hologram color filter and its production | |
JPH0954203A (en) | Light shielding layer, formation of light shielding layer and production of substrate | |
US5185074A (en) | Process for producing color filter | |
JP2001004823A (en) | Color filter | |
JP3685927B2 (en) | Manufacturing method of color filter | |
JP2937208B2 (en) | Color filter and manufacturing method thereof | |
JPH0762594A (en) | Thin film, its production and functional element using the thin film | |
JP2007246723A (en) | Colored composition, and transfer material, light-shielding image for display device, substrate having light-shielding image, and liquid crystal display device which each uses the same | |
JPH1115147A (en) | Production of color image forming material photosensitive element and color filter | |
JP3881070B2 (en) | Photosensitive coloring composition and color filter | |
US6309783B1 (en) | Color filter and method of manufacturing the same | |
JP2006349867A (en) | Black composition, photosensitive transfer material, substrate with light shielding image, color filter, liquid crystal display device, and method for manufacturing light shielding image | |
JPH10221522A (en) | Forming method for black matrix | |
JP4261656B2 (en) | Manufacturing method of color filter | |
JP2002243931A (en) | Black matrix substrate, color filter and method for manufacturing the color filter, and liquid crystal device | |
JPH09269409A (en) | Photosensitive color composition and color filter | |
JP2000266921A (en) | Color filter, manufacture of color filter and liquid crystal display device | |
JP3086361B2 (en) | Manufacturing method of thin film and color filter | |
JP2659638B2 (en) | Method for producing micelle dispersion or micelle solubilizing solution, thin film and color filter |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050111 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050311 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050531 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050601 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080610 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090610 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090610 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100610 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110610 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110610 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120610 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130610 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |