JPH11312229A - 複数カメラの移動装置 - Google Patents
複数カメラの移動装置Info
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- JPH11312229A JPH11312229A JP10118280A JP11828098A JPH11312229A JP H11312229 A JPH11312229 A JP H11312229A JP 10118280 A JP10118280 A JP 10118280A JP 11828098 A JP11828098 A JP 11828098A JP H11312229 A JPH11312229 A JP H11312229A
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- camera
- cameras
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数台のカメラを等間隔に、かつ高精度に配
置する。 【解決手段】 ボールねじ２，４は中点から左側のねじ
山と右側のねじ山が互いに逆向きとなるように形成され
ている。カメラ用台座１２−２，１２−３にはボールね
じ２の左側、右側のねじ山と螺合するナット１４−２，
１４−３が取り付けられ、カメラ用台座１２−４，１２
−５にはボールねじ４の左側、右側のねじ山と螺合する
ナット１４−４，１４−５が取り付けられている。ボー
ルねじ４のピッチはボールねじ２のピッチに対して２倍
に設定される。これにより、台座１２−４，１２−５
は、台座１２−２，１２−３の移動量に対して２倍の移
動量で動く。
置する。 【解決手段】 ボールねじ２，４は中点から左側のねじ
山と右側のねじ山が互いに逆向きとなるように形成され
ている。カメラ用台座１２−２，１２−３にはボールね
じ２の左側、右側のねじ山と螺合するナット１４−２，
１４−３が取り付けられ、カメラ用台座１２−４，１２
−５にはボールねじ４の左側、右側のねじ山と螺合する
ナット１４−４，１４−５が取り付けられている。ボー
ルねじ４のピッチはボールねじ２のピッチに対して２倍
に設定される。これにより、台座１２−４，１２−５
は、台座１２−２，１２−３の移動量に対して２倍の移
動量で動く。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、パターン検査装置
等の画像処理装置に係り、特に複数台のカメラを等間隔
に配置する複数カメラの移動装置に関するものである。
等の画像処理装置に係り、特に複数台のカメラを等間隔
に配置する複数カメラの移動装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ＩＣ、ＬＳＩの多ピン化要求
に適した実装技術として、ＰＧＡ（Pin Grid Array）が
知られている。ＰＧＡは、チップを付けるパッケージの
ベースとしてセラミック基板を用い、リード線の取り出
し位置まで配線を行っている。このセラミック基板を作
るために、アルミナ粉末を液状のバインダで練り合わせ
てシート状にしたグリーンシートと呼ばれるものが使用
され、このグリーンシート上に高融点の金属を含むペー
ストがスクリーン印刷される。そして、このようなシー
トを焼成することにより、グリーンシートを焼結させる
と共にペーストを金属化させる、いわゆる同時焼成が行
われる。
に適した実装技術として、ＰＧＡ（Pin Grid Array）が
知られている。ＰＧＡは、チップを付けるパッケージの
ベースとしてセラミック基板を用い、リード線の取り出
し位置まで配線を行っている。このセラミック基板を作
るために、アルミナ粉末を液状のバインダで練り合わせ
てシート状にしたグリーンシートと呼ばれるものが使用
され、このグリーンシート上に高融点の金属を含むペー
ストがスクリーン印刷される。そして、このようなシー
トを焼成することにより、グリーンシートを焼結させる
と共にペーストを金属化させる、いわゆる同時焼成が行
われる。
【０００３】また、その他の実装技術として、ＴＡＢ
（Tape Automated Bonding）が知られている。ＴＡＢ法
は、ポリイミド製のフィルムキャリア（ＴＡＢテープ）
上に形成された銅箔パターンをＩＣチップの電極に接合
して外部リードとする。銅箔パターンは、フィルムに銅
箔を接着剤で貼り付け、これをエッチングすることによ
って形成される。
（Tape Automated Bonding）が知られている。ＴＡＢ法
は、ポリイミド製のフィルムキャリア（ＴＡＢテープ）
上に形成された銅箔パターンをＩＣチップの電極に接合
して外部リードとする。銅箔パターンは、フィルムに銅
箔を接着剤で貼り付け、これをエッチングすることによ
って形成される。
【０００４】このようなグリーンシートあるいはフィル
ムキャリアでは、パターン形成後に顕微鏡を用いて人間
により目視でパターンの検査が行われる。ところが、微
細なパターンを目視で検査するには、熟練を要すると共
に、目を酷使するという問題点があった。そこで、目視
検査に代わるものとして、フィルムキャリア等に形成さ
れたパターンをＴＶカメラで撮像して自動的に検査する
技術が提案されている（例えば、特開平６−３４１９６
０号公報）。
ムキャリアでは、パターン形成後に顕微鏡を用いて人間
により目視でパターンの検査が行われる。ところが、微
細なパターンを目視で検査するには、熟練を要すると共
に、目を酷使するという問題点があった。そこで、目視
検査に代わるものとして、フィルムキャリア等に形成さ
れたパターンをＴＶカメラで撮像して自動的に検査する
技術が提案されている（例えば、特開平６−３４１９６
０号公報）。
【０００５】特開平６−３４１９６０号公報に開示され
たパターン検査装置では、検査時間を短縮するために、
複数台のカメラを使用して取り込んだ画像を並列に処理
することが行われている。この場合、複数台のカメラを
検査ワークに応じて所定の間隔に配置することが必要と
なる。その理由は、通常、検査ワークには同一のパター
ンが一定間隔で複数形成されていることと、複数台のカ
メラで取り込んだ各入力画像を基準となるマスタパター
ンと比較照合するために、各入力画像を単一の座標系で
扱う必要があるからである。カメラを所定の間隔に配置
できない場合には、画像処理による入力画像ごとの位置
補正が必要となる。
たパターン検査装置では、検査時間を短縮するために、
複数台のカメラを使用して取り込んだ画像を並列に処理
することが行われている。この場合、複数台のカメラを
検査ワークに応じて所定の間隔に配置することが必要と
なる。その理由は、通常、検査ワークには同一のパター
ンが一定間隔で複数形成されていることと、複数台のカ
メラで取り込んだ各入力画像を基準となるマスタパター
ンと比較照合するために、各入力画像を単一の座標系で
扱う必要があるからである。カメラを所定の間隔に配置
できない場合には、画像処理による入力画像ごとの位置
補正が必要となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】以上のように従来のパ
ターン検査装置では、複数台のカメラを検査ワークに応
じて所定の間隔に配置することが必要となるが、各カメ
ラを等間隔に、かつ高精度に配置する機械的調整は難し
い作業であり、また検査ワークが変わった場合には、こ
のような難しい調整を再び行わなければならないという
問題点があった。本発明は、上記課題を解決するために
なされたもので、複数台のカメラを等間隔に、かつ高精
度に配置することができる複数カメラの移動装置を提供
することを目的とする。
ターン検査装置では、複数台のカメラを検査ワークに応
じて所定の間隔に配置することが必要となるが、各カメ
ラを等間隔に、かつ高精度に配置する機械的調整は難し
い作業であり、また検査ワークが変わった場合には、こ
のような難しい調整を再び行わなければならないという
問題点があった。本発明は、上記課題を解決するために
なされたもので、複数台のカメラを等間隔に、かつ高精
度に配置することができる複数カメラの移動装置を提供
することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の複数カメラの移
動装置は、請求項１に記載のように、中点から左側のね
じ山と右側のねじ山が互いに逆向きとなるように形成さ
れたボールねじと、ボールねじの中心軸がカメラの移動
方向と平行になるように該ボールねじを回転自在に軸支
する基台と、ボールねじを回転させる駆動手段と、その
中心位置がボールねじの中点と一致するように基台に固
定された第１のカメラ用台座と、ボールねじの左側のね
じ山あるいは右側のねじ山の何れか１つと螺合するナッ
トを備えた２台の第２のカメラ用台座とを有し、ボール
ねじの回転によって第１、第２のカメラ用台座に搭載さ
れた３台のカメラを等間隔に移動・配置するようにした
ものである。このように、ボールねじの左側と右側のね
じ山を互いに逆向きにしたことにより、駆動手段によっ
てボールねじを回転させると、２台の第２のカメラ用台
座は、互いに逆方向に同一距離だけ移動する。これによ
り、第１のカメラ用台座を中心として、２台の第２のカ
メラ用台座を等間隔に移動・配置することができる。ま
た、請求項２に記載のように、中点から左側のねじ山と
右側のねじ山が互いに逆向きとなるように形成された第
１のボールねじと、中点から左側のねじ山と右側のねじ
山が互いに逆向きで、かつピッチＱが第１のボールねじ
のピッチＰに対して２Ｐから（ｎ−１）Ｐまでの値を順
次とるように形成されたｎ−２本の第２のボールねじ
と、第１、第２のボールねじの中心軸がカメラの移動方
向と平行になるように該ボールねじを回転自在に軸支す
る基台と、第１、第２のボールねじを回転させる駆動手
段と、その中心位置がボールねじの中点と一致するよう
に基台に固定された第１のカメラ用台座と、第１、第２
のボールねじの左側のねじ山あるいは右側のねじ山の何
れか１つと螺合するナットを備えた２ｎ−２台の第２の
カメラ用台座とを有し、第１、第２のボールねじの回転
によって第１、第２のカメラ用台座に搭載された２ｎ−
１（ｎ≧３）台のカメラを等間隔に移動・配置するよう
にしたものである。このように、第２のボールねじのピ
ッチＱを第１のボールねじのピッチＰに対して２Ｐから
（ｎ−１）Ｐまでの値とすることにより、駆動手段によ
ってボールねじを回転させると、第１のボールねじと螺
合するナットを備えた２台の第２のカメラ用台座の移動
量ｄに対して、第２のボールねじと螺合するナットを備
えた残りの第２のカメラ用台座の移動量は、２ｄから
（ｎ−１）ｄまでの値をとる。これにより、第１のカメ
ラ用台座を中心として、２ｎ−１台の第２のカメラ用台
座を等間隔に移動・配置することができる。
動装置は、請求項１に記載のように、中点から左側のね
じ山と右側のねじ山が互いに逆向きとなるように形成さ
れたボールねじと、ボールねじの中心軸がカメラの移動
方向と平行になるように該ボールねじを回転自在に軸支
する基台と、ボールねじを回転させる駆動手段と、その
中心位置がボールねじの中点と一致するように基台に固
定された第１のカメラ用台座と、ボールねじの左側のね
じ山あるいは右側のねじ山の何れか１つと螺合するナッ
トを備えた２台の第２のカメラ用台座とを有し、ボール
ねじの回転によって第１、第２のカメラ用台座に搭載さ
れた３台のカメラを等間隔に移動・配置するようにした
ものである。このように、ボールねじの左側と右側のね
じ山を互いに逆向きにしたことにより、駆動手段によっ
てボールねじを回転させると、２台の第２のカメラ用台
座は、互いに逆方向に同一距離だけ移動する。これによ
り、第１のカメラ用台座を中心として、２台の第２のカ
メラ用台座を等間隔に移動・配置することができる。ま
た、請求項２に記載のように、中点から左側のねじ山と
右側のねじ山が互いに逆向きとなるように形成された第
１のボールねじと、中点から左側のねじ山と右側のねじ
山が互いに逆向きで、かつピッチＱが第１のボールねじ
のピッチＰに対して２Ｐから（ｎ−１）Ｐまでの値を順
次とるように形成されたｎ−２本の第２のボールねじ
と、第１、第２のボールねじの中心軸がカメラの移動方
向と平行になるように該ボールねじを回転自在に軸支す
る基台と、第１、第２のボールねじを回転させる駆動手
段と、その中心位置がボールねじの中点と一致するよう
に基台に固定された第１のカメラ用台座と、第１、第２
のボールねじの左側のねじ山あるいは右側のねじ山の何
れか１つと螺合するナットを備えた２ｎ−２台の第２の
カメラ用台座とを有し、第１、第２のボールねじの回転
によって第１、第２のカメラ用台座に搭載された２ｎ−
１（ｎ≧３）台のカメラを等間隔に移動・配置するよう
にしたものである。このように、第２のボールねじのピ
ッチＱを第１のボールねじのピッチＰに対して２Ｐから
（ｎ−１）Ｐまでの値とすることにより、駆動手段によ
ってボールねじを回転させると、第１のボールねじと螺
合するナットを備えた２台の第２のカメラ用台座の移動
量ｄに対して、第２のボールねじと螺合するナットを備
えた残りの第２のカメラ用台座の移動量は、２ｄから
（ｎ−１）ｄまでの値をとる。これにより、第１のカメ
ラ用台座を中心として、２ｎ−１台の第２のカメラ用台
座を等間隔に移動・配置することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。図１（ａ）は本発明
の実施の形態を示す複数カメラの移動装置の平面図、図
１（ｂ）は移動装置を左から見た側面図、図１（ｃ）は
移動装置の正面図、図１（ｄ）は移動装置を右から見た
側面図である。なお、図１（ａ）では後述するガイドレ
ール及びスライダを省略しており、図１（ｃ）ではカメ
ラを省略している。
て図面を参照して詳細に説明する。図１（ａ）は本発明
の実施の形態を示す複数カメラの移動装置の平面図、図
１（ｂ）は移動装置を左から見た側面図、図１（ｃ）は
移動装置の正面図、図１（ｄ）は移動装置を右から見た
側面図である。なお、図１（ａ）では後述するガイドレ
ール及びスライダを省略しており、図１（ｃ）ではカメ
ラを省略している。
【０００９】ボールねじ２は、テーブル（基台）１に固
定されたサポートユニット３ａ，３ｂによって回転自在
に軸支され、ボールねじ４は、テーブル１に固定された
サポートユニット５ａ，５ｂによって回転自在に軸支さ
れている。ボールねじ２の中点（図１（ｃ）のＡの位
置）から左側のねじ山と右側のねじ山は、ピッチが同一
で、かつ互いに逆向きになるように形成されている。同
様に、ボールねじ４の中点から左側のねじ山と右側のね
じ山は、ピッチが同一で、かつ互いに逆向きになるよう
に形成されている。ボールねじ２とボールねじ４のねじ
山の向きは同一である。
定されたサポートユニット３ａ，３ｂによって回転自在
に軸支され、ボールねじ４は、テーブル１に固定された
サポートユニット５ａ，５ｂによって回転自在に軸支さ
れている。ボールねじ２の中点（図１（ｃ）のＡの位
置）から左側のねじ山と右側のねじ山は、ピッチが同一
で、かつ互いに逆向きになるように形成されている。同
様に、ボールねじ４の中点から左側のねじ山と右側のね
じ山は、ピッチが同一で、かつ互いに逆向きになるよう
に形成されている。ボールねじ２とボールねじ４のねじ
山の向きは同一である。
【００１０】そして、ボールねじ４のピッチは、ボール
ねじ２のピッチに対して２倍となるように設定されてい
る。ボールねじ２の左端にはベルト車６ａが取り付けら
れ、サーボモータ７の回転軸にもベルト車８が取り付け
られている。サーボモータ７の回転は、ベルト車６ａ，
８にかけられたタイミングベルト９によってボールねじ
２に伝達される。一方、ボールねじ２の右端にはベルト
車６ｂが取り付けられ、ボールねじ４の右端にもベルト
車１０が取り付けられている。ボールねじ２の回転は、
ベルト車６ｂ，１０にかけられたタイミングベルト１１
によってボールねじ４に伝達される。
ねじ２のピッチに対して２倍となるように設定されてい
る。ボールねじ２の左端にはベルト車６ａが取り付けら
れ、サーボモータ７の回転軸にもベルト車８が取り付け
られている。サーボモータ７の回転は、ベルト車６ａ，
８にかけられたタイミングベルト９によってボールねじ
２に伝達される。一方、ボールねじ２の右端にはベルト
車６ｂが取り付けられ、ボールねじ４の右端にもベルト
車１０が取り付けられている。ボールねじ２の回転は、
ベルト車６ｂ，１０にかけられたタイミングベルト１１
によってボールねじ４に伝達される。
【００１１】次に、カメラ用台座１２−１は、その中心
位置Ａがボールねじ２，４の中点と一致するようにテー
ブル１に直接ねじ留めされ固定されている。このカメラ
用台座１２−１にはカメラ１３−１が搭載される。一
方、カメラ用台座１２−２には、ボールねじ２の左側の
ねじ山と螺合するナット１４−２が取り付けられてお
り、カメラ用台座１２−３には、ボールねじ２の右側の
ねじ山と螺合するナット１４−３が取り付けられてい
る。
位置Ａがボールねじ２，４の中点と一致するようにテー
ブル１に直接ねじ留めされ固定されている。このカメラ
用台座１２−１にはカメラ１３−１が搭載される。一
方、カメラ用台座１２−２には、ボールねじ２の左側の
ねじ山と螺合するナット１４−２が取り付けられてお
り、カメラ用台座１２−３には、ボールねじ２の右側の
ねじ山と螺合するナット１４−３が取り付けられてい
る。
【００１２】同様に、カメラ用台座１２−４には、ボー
ルねじ４の左側のねじ山と螺合するナット１４−４が取
り付けられており、カメラ用台座１２−５には、ボール
ねじ４の右側のねじ山と螺合するナット１４−５が取り
付けられている。このカメラ用台座１２−２，１２−
３，１２−４，１２−５には、カメラ１３−２，１３−
３，１３−４，１３−５がそれぞれ搭載される。
ルねじ４の左側のねじ山と螺合するナット１４−４が取
り付けられており、カメラ用台座１２−５には、ボール
ねじ４の右側のねじ山と螺合するナット１４−５が取り
付けられている。このカメラ用台座１２−２，１２−
３，１２−４，１２−５には、カメラ１３−２，１３−
３，１３−４，１３−５がそれぞれ搭載される。
【００１３】また、テーブル１には、カメラ用台座１２
−２，１２−３，１２−４，１２−５の案内用のガイド
レール１５が設けられている。そして、カメラ用台座１
２−２，１２−３，１２−４，１２−５には、ガイドレ
ール１５と摺動自在に嵌合する嵌合溝を有するスライダ
１６−２，１６−３，１６−４，１６−５がねじ留めさ
れ固定されている。以上のような構造により、カメラ用
台座１２−２，１２−３，１２−４，１２−５を、図１
（ａ）の矢印で示すように左右方向に移動させることが
できる。
−２，１２−３，１２−４，１２−５の案内用のガイド
レール１５が設けられている。そして、カメラ用台座１
２−２，１２−３，１２−４，１２−５には、ガイドレ
ール１５と摺動自在に嵌合する嵌合溝を有するスライダ
１６−２，１６−３，１６−４，１６−５がねじ留めさ
れ固定されている。以上のような構造により、カメラ用
台座１２−２，１２−３，１２−４，１２−５を、図１
（ａ）の矢印で示すように左右方向に移動させることが
できる。
【００１４】次に、以上のような移動装置によるカメラ
１３−１，１３−２，１３−３，１３−４，１３−５の
移動・配置について説明する。サーボモータ７を回転さ
せると、その回転はボールねじ２，４に伝達される。タ
イミングベルト１１を使用することにより、ボールねじ
２，４の回転量は同一である。
１３−１，１３−２，１３−３，１３−４，１３−５の
移動・配置について説明する。サーボモータ７を回転さ
せると、その回転はボールねじ２，４に伝達される。タ
イミングベルト１１を使用することにより、ボールねじ
２，４の回転量は同一である。
【００１５】ボールねじ２の左側と右側のねじ山のピッ
チは同一なので、ボールねじ２の回転によってカメラ用
台座１２−２が例えば左方向に距離ｄだけ移動すれば、
カメラ用台座１２−３は右方向に距離ｄだけ移動する。
反対に、カメラ用台座１２−２が右方向に距離ｄだけ移
動すれば、カメラ用台座１２−３は左方向に距離ｄだけ
移動する。
チは同一なので、ボールねじ２の回転によってカメラ用
台座１２−２が例えば左方向に距離ｄだけ移動すれば、
カメラ用台座１２−３は右方向に距離ｄだけ移動する。
反対に、カメラ用台座１２−２が右方向に距離ｄだけ移
動すれば、カメラ用台座１２−３は左方向に距離ｄだけ
移動する。
【００１６】一方、ボールねじ２，４のねじ山の向きは
同一なので、カメラ用台座１２−２が左方向にカメラ用
台座１２−３が右方向に移動するとき、カメラ用台座１
２−４は左方向に移動し、カメラ用台座１２−５は右方
向に移動する。ただし、ボールねじ４のピッチは、ボー
ルねじ２のピッチに対して２倍に設定されているので、
カメラ用台座１２−２，１２−３が距離ｄだけ移動する
とき、カメラ用台座１２−４，１２−５は２ｄ移動す
る。すなわち、カメラ用台座１２−４，１２−５は、カ
メラ用台座１２−２，１２−３の移動量に対して常に２
倍の移動量で動く。
同一なので、カメラ用台座１２−２が左方向にカメラ用
台座１２−３が右方向に移動するとき、カメラ用台座１
２−４は左方向に移動し、カメラ用台座１２−５は右方
向に移動する。ただし、ボールねじ４のピッチは、ボー
ルねじ２のピッチに対して２倍に設定されているので、
カメラ用台座１２−２，１２−３が距離ｄだけ移動する
とき、カメラ用台座１２−４，１２−５は２ｄ移動す
る。すなわち、カメラ用台座１２−４，１２−５は、カ
メラ用台座１２−２，１２−３の移動量に対して常に２
倍の移動量で動く。
【００１７】このようにして、カメラ用台座１２−１，
１２−２，１２−３，１２−４，１２−５（カメラ１３
−１，１３−２，１３−３，１３−４，１３−５）を一
定間隔Ｂで配置することができる。カメラ用台座１２−
２，１２−３，１２−４，１２−５（カメラ１３−２，
１３−３，１３−４，１３−５）を移動させて、間隔Ｂ
を変えたとしても、各カメラ間は等間隔のままである。
１２−２，１２−３，１２−４，１２−５（カメラ１３
−１，１３−２，１３−３，１３−４，１３−５）を一
定間隔Ｂで配置することができる。カメラ用台座１２−
２，１２−３，１２−４，１２−５（カメラ１３−２，
１３−３，１３−４，１３−５）を移動させて、間隔Ｂ
を変えたとしても、各カメラ間は等間隔のままである。
【００１８】なお、本実施の形態では、カメラ（カメラ
用台座）を５台としたが、これに限るものではなく、２
ｎ−１（ｎ≧２）台のカメラを使用するパターン検査装
置等の画像処理装置に適用することができる。この場
合、第１のボールねじ２に対して、第２のボールねじ
（本実施の形態ではボールねじ４）をｎ−２本設け、こ
れら第２のボールねじのピッチＱを第１のボールねじ２
のピッチＰに対して２Ｐから（ｎ−１）×Ｐまでの値を
順次とるように設定すればよい。
用台座）を５台としたが、これに限るものではなく、２
ｎ−１（ｎ≧２）台のカメラを使用するパターン検査装
置等の画像処理装置に適用することができる。この場
合、第１のボールねじ２に対して、第２のボールねじ
（本実施の形態ではボールねじ４）をｎ−２本設け、こ
れら第２のボールねじのピッチＱを第１のボールねじ２
のピッチＰに対して２Ｐから（ｎ−１）×Ｐまでの値を
順次とるように設定すればよい。
【００１９】例えば、ｎ＝４、すなわち７台のカメラを
使用する場合には、第２のボールねじを２本設け、一方
の第２のボールねじのピッチを２Ｐとし、もう一方の第
２のボールねじのピッチを３Ｐとする。そして、第２の
ボールねじの各々に対して第２のカメラ用台座（本実施
の形態ではカメラ用台座１２−２，１２−３，１２−
４，１２−５）を２台ずつ設ければよい。
使用する場合には、第２のボールねじを２本設け、一方
の第２のボールねじのピッチを２Ｐとし、もう一方の第
２のボールねじのピッチを３Ｐとする。そして、第２の
ボールねじの各々に対して第２のカメラ用台座（本実施
の形態ではカメラ用台座１２−２，１２−３，１２−
４，１２−５）を２台ずつ設ければよい。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、請求項１に記載のよう
に、ボールねじ、基台、駆動手段、第１のカメラ用台座
及び第２のカメラ用台座を設けることにより、第１、第
２のカメラ用台座に搭載された３台のカメラを等間隔
に、かつ高精度に配置することができ、この等間隔の関
係を維持しながら、各カメラ間の距離を容易に変更する
ことができる。
に、ボールねじ、基台、駆動手段、第１のカメラ用台座
及び第２のカメラ用台座を設けることにより、第１、第
２のカメラ用台座に搭載された３台のカメラを等間隔
に、かつ高精度に配置することができ、この等間隔の関
係を維持しながら、各カメラ間の距離を容易に変更する
ことができる。
【００２１】また、請求項２に記載のように、第１のボ
ールねじ、第２のボールねじ、基台、駆動手段、第１の
カメラ用台座及び第２のカメラ用台座を設けることによ
り、第１、第２のカメラ用台座に搭載された２ｎ−１
（ｎ≧３）台のカメラを等間隔に、かつ高精度に配置す
ることができ、この等間隔の関係を維持しながら、各カ
メラ間の距離を容易に変更することができる。
ールねじ、第２のボールねじ、基台、駆動手段、第１の
カメラ用台座及び第２のカメラ用台座を設けることによ
り、第１、第２のカメラ用台座に搭載された２ｎ−１
（ｎ≧３）台のカメラを等間隔に、かつ高精度に配置す
ることができ、この等間隔の関係を維持しながら、各カ
メラ間の距離を容易に変更することができる。
【図１】 本発明の実施の形態を示す複数カメラの移動
装置の平面図、左側面図、正面図及び右側面図である。
装置の平面図、左側面図、正面図及び右側面図である。
１…テーブル、２、４…ボールねじ、３ａ、３ｂ、５
ａ、５ｂ…サポートユニット、６ａ、６ｂ、８、１０…
ベルト車、９、１１…タイミングベルト、１２−１、１
２−２、１２−３、１２−４、１２−５…カメラ用台
座、１３−１、１３−２、１３−３、１３−４、１３−
５…カメラ、１４−２、１４−３、１４−４、１４−５
…ナット、１５…ガイドレール、１６−２、１６−３、
１６−４、１６−５…スライダ。
ａ、５ｂ…サポートユニット、６ａ、６ｂ、８、１０…
ベルト車、９、１１…タイミングベルト、１２−１、１
２−２、１２−３、１２−４、１２−５…カメラ用台
座、１３−１、１３−２、１３−３、１３−４、１３−
５…カメラ、１４−２、１４−３、１４−４、１４−５
…ナット、１５…ガイドレール、１６−２、１６−３、
１６−４、１６−５…スライダ。
Claims (2)
- 【請求項１】 ３台のカメラを等間隔に配置する複数カ
メラの移動装置であって、 中点から左側のねじ山と右側のねじ山が互いに逆向きと
なるように形成されたボールねじと、 ボールねじの中心軸がカメラの移動方向と平行になるよ
うに該ボールねじを回転自在に軸支する基台と、 ボールねじを回転させる駆動手段と、 その中心位置がボールねじの中点と一致するように基台
に固定された第１のカメラ用台座と、 ボールねじの左側のねじ山あるいは右側のねじ山の何れ
か１つと螺合するナットを備えた２台の第２のカメラ用
台座とを有し、 ボールねじの回転によって第１、第２のカメラ用台座に
搭載された３台のカメラを等間隔に移動・配置すること
を特徴とする複数カメラの移動装置。 - 【請求項２】 ２ｎ−１（ｎ≧３）台のカメラを等間隔
に配置する複数カメラの移動装置であって、 中点から左側のねじ山と右側のねじ山が互いに逆向きと
なるように形成された第１のボールねじと、 中点から左側のねじ山と右側のねじ山が互いに逆向き
で、かつピッチＱが第１のボールねじのピッチＰに対し
て２Ｐから（ｎ−１）Ｐまでの値を順次とるように形成
されたｎ−２本の第２のボールねじと、 第１、第２のボールねじの中心軸がカメラの移動方向と
平行になるように該ボールねじを回転自在に軸支する基
台と、 第１、第２のボールねじを回転させる駆動手段と、 その中心位置がボールねじの中点と一致するように基台
に固定された第１のカメラ用台座と、 第１、第２のボールねじの左側のねじ山あるいは右側の
ねじ山の何れか１つと螺合するナットを備えた２ｎ−２
台の第２のカメラ用台座とを有し、 第１、第２のボールねじの回転によって第１、第２のカ
メラ用台座に搭載された２ｎ−１台のカメラを等間隔に
移動・配置することを特徴とする複数カメラの移動装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10118280A JPH11312229A (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 複数カメラの移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10118280A JPH11312229A (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 複数カメラの移動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11312229A true JPH11312229A (ja) | 1999-11-09 |
Family
ID=14732764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10118280A Pending JPH11312229A (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 複数カメラの移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11312229A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100833932B1 (ko) * | 2001-12-26 | 2008-05-30 | 삼성테크윈 주식회사 | 반도체 제조장치용 노즐조립체 |
| JP2010253611A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Honda Motor Co Ltd | 部品組付装置 |
| CN107670065A (zh) * | 2017-10-27 | 2018-02-09 | 西安医学院第二附属医院 | 一种用于紫外线消毒与干燥的固定装置 |
-
1998
- 1998-04-28 JP JP10118280A patent/JPH11312229A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100833932B1 (ko) * | 2001-12-26 | 2008-05-30 | 삼성테크윈 주식회사 | 반도체 제조장치용 노즐조립체 |
| JP2010253611A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Honda Motor Co Ltd | 部品組付装置 |
| CN107670065A (zh) * | 2017-10-27 | 2018-02-09 | 西安医学院第二附属医院 | 一种用于紫外线消毒与干燥的固定装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040518 |