JPH11304886A - 半導体装置の試験装置と半導体装置の検査方法 - Google Patents
半導体装置の試験装置と半導体装置の検査方法Info
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- JPH11304886A JPH11304886A JP10116383A JP11638398A JPH11304886A JP H11304886 A JPH11304886 A JP H11304886A JP 10116383 A JP10116383 A JP 10116383A JP 11638398 A JP11638398 A JP 11638398A JP H11304886 A JPH11304886 A JP H11304886A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体装置等の電子デバイスに対し、電磁場
環境下での動作確認を行うことができるようにする。 【構成】 試験装置は、半導体装置へ供給する信号を発
生し、半導体装置が発生する出力信号を受け入れて予め
記憶されている期待値と比較するテスタ４と、半導体装
置に対しテスタ４からの信号の授受を行い、また、半導
体装置を任意の電磁場環境中に位置させるためのソケッ
ト２と、ソケット２が複数個実装されている基板である
テストボード３と、テストボード３を搭載し、テスタ４
とテストボード３間のインタフェースとなるテストヘッ
ド５と、テストヘッド５を介してソケット２に内蔵され
た電磁場放射源（図示なし）に対し任意の高周波電力を
供給することのできる電磁場発生用電源６と、試験手順
に従って、テスタ４および電磁場発生用電源６を制御
し、結果を記憶するコントローラ７から構成される。
環境下での動作確認を行うことができるようにする。 【構成】 試験装置は、半導体装置へ供給する信号を発
生し、半導体装置が発生する出力信号を受け入れて予め
記憶されている期待値と比較するテスタ４と、半導体装
置に対しテスタ４からの信号の授受を行い、また、半導
体装置を任意の電磁場環境中に位置させるためのソケッ
ト２と、ソケット２が複数個実装されている基板である
テストボード３と、テストボード３を搭載し、テスタ４
とテストボード３間のインタフェースとなるテストヘッ
ド５と、テストヘッド５を介してソケット２に内蔵され
た電磁場放射源（図示なし）に対し任意の高周波電力を
供給することのできる電磁場発生用電源６と、試験手順
に従って、テスタ４および電磁場発生用電源６を制御
し、結果を記憶するコントローラ７から構成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子デバイス、す
なわち半導体装置やプリント基板に電子部品が搭載され
てなる電子回路に対して機能試験を行うことの出来る試
験装置に関し、特に、任意の電磁場中に置かれた場合の
電子デバイスの動作を確認できるようにした試験装置に
関するものである。
なわち半導体装置やプリント基板に電子部品が搭載され
てなる電子回路に対して機能試験を行うことの出来る試
験装置に関し、特に、任意の電磁場中に置かれた場合の
電子デバイスの動作を確認できるようにした試験装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】携帯電話や携帯用情報処理機器が発生す
る電磁波によって医療機器や航空機内の電子機器が誤動
作を起こすことが問題となっているように、半導体装置
などの電子デバイスは外部から侵入する電磁波によって
その動作が影響を受ける。而して、携帯電話や携帯用情
報処理機器等は今後益々普及するものと予想されるとこ
ろ、半導体装置では動作電圧の低電圧化と微細化が進む
ことにより外部からの電磁波の影響をより受けやすくな
ってきている。そこで、今後ユーザよりメーカに対して
デバイスの電磁場での動作保証が要求される可能性があ
る。しかし、現状では半導体装置に対して電磁場環境下
での試験・検査を行う装置が開発されておらず、そのよ
うな試験・評価も行われてこなかった。
る電磁波によって医療機器や航空機内の電子機器が誤動
作を起こすことが問題となっているように、半導体装置
などの電子デバイスは外部から侵入する電磁波によって
その動作が影響を受ける。而して、携帯電話や携帯用情
報処理機器等は今後益々普及するものと予想されるとこ
ろ、半導体装置では動作電圧の低電圧化と微細化が進む
ことにより外部からの電磁波の影響をより受けやすくな
ってきている。そこで、今後ユーザよりメーカに対して
デバイスの電磁場での動作保証が要求される可能性があ
る。しかし、現状では半導体装置に対して電磁場環境下
での試験・検査を行う装置が開発されておらず、そのよ
うな試験・評価も行われてこなかった。
【０００３】一方、プリント基板上に複数の部品が実装
された電子回路の電磁妨害に対する動作余裕の試験につ
いては、例えば特開平４−９５７８６号公報において提
案されたものがある。上記公報にて提案された試験装置
は、プリント基板上に複数の部品が搭載されてなる電子
回路のノードに、アンテナとして機能するテストリード
を直接接触させて、電磁波発生器から電磁波を放射さ
せ、テストリードに誘起される任意の電圧に対する電子
回路の動作余裕を解析するものである。
された電子回路の電磁妨害に対する動作余裕の試験につ
いては、例えば特開平４−９５７８６号公報において提
案されたものがある。上記公報にて提案された試験装置
は、プリント基板上に複数の部品が搭載されてなる電子
回路のノードに、アンテナとして機能するテストリード
を直接接触させて、電磁波発生器から電磁波を放射さ
せ、テストリードに誘起される任意の電圧に対する電子
回路の動作余裕を解析するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来、半導体装置に対
する電磁場内での動作については、適切な試験装置が開
発されていなかったので、これに関しての試験・検査は
行われてこなかった。また、例えユーザサイドから電磁
場内での動作保証を要求されることがあってもこれに応
えることができなかった。また、上述の公報に記載され
た試験装置は、テストリードを被試験電子回路のノード
に接触させて、電磁波発生器から発生させた電磁波によ
りテストリードに誘起される任意の電圧を、テストリー
ドから電子回路のノードに直接印加することにより、電
子回路の動作余裕を解析するものであり、電磁場が直接
電子回路に及ぼす影響を解析するものではない。
する電磁場内での動作については、適切な試験装置が開
発されていなかったので、これに関しての試験・検査は
行われてこなかった。また、例えユーザサイドから電磁
場内での動作保証を要求されることがあってもこれに応
えることができなかった。また、上述の公報に記載され
た試験装置は、テストリードを被試験電子回路のノード
に接触させて、電磁波発生器から発生させた電磁波によ
りテストリードに誘起される任意の電圧を、テストリー
ドから電子回路のノードに直接印加することにより、電
子回路の動作余裕を解析するものであり、電磁場が直接
電子回路に及ぼす影響を解析するものではない。
【０００５】また、上記公報に記載された装置は、電子
回路の特定のノードにテストリードを接触するものであ
って、特定のノードに入力される外部ノイズの影響を解
析するものであるため、電磁場によって電子回路が総合
的に受ける影響については試験を行うことは出来なかっ
た。従って、本発明の目的は、任意の電磁場中で、半導
体装置や電子回路などの電子デバイスの動作に対する影
響について試験・評価することのできる試験装置を提供
することである。
回路の特定のノードにテストリードを接触するものであ
って、特定のノードに入力される外部ノイズの影響を解
析するものであるため、電磁場によって電子回路が総合
的に受ける影響については試験を行うことは出来なかっ
た。従って、本発明の目的は、任意の電磁場中で、半導
体装置や電子回路などの電子デバイスの動作に対する影
響について試験・評価することのできる試験装置を提供
することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明によれば、半導体装置やこれを搭載した電子
回路などの電子デバイスの機能を試験する装置であっ
て、電磁場を発生させることが可能な電磁場発生機構を
備え、該電磁場発生機構から発生される電磁場中で前記
電子デバイスを動作させて電磁場中での動作確認を行う
ことが出来るようにしたことを特徴とする電子デバイス
の試験装置、が提供される。
め、本発明によれば、半導体装置やこれを搭載した電子
回路などの電子デバイスの機能を試験する装置であっ
て、電磁場を発生させることが可能な電磁場発生機構を
備え、該電磁場発生機構から発生される電磁場中で前記
電子デバイスを動作させて電磁場中での動作確認を行う
ことが出来るようにしたことを特徴とする電子デバイス
の試験装置、が提供される。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明に係る試験装置は、具体的
には、半導体装置や電子回路の試験装置に、任意の強度
の電磁場を発生させることが可能な電磁場発生装置を取
り付け、被試験対象の半導体装置または電子回路の試験
・検査実施時に、前記電磁場発生装置から被試験対象に
任意の強度の電磁波照射を行えるようにした電子デバイ
ス用の試験装置である。したがって、この試験装置によ
り半導体装置または電子回路に対して試験を行うに際し
て、電磁場発生装置により、任意の周波数で任意の強度
の電磁場を発生させることが可能になり、半導体装置ま
たは電子回路を任意の電磁場環境下に置くことが可能に
なる。これにより任意の電磁場環境下での電子デバイス
の試験・検査が可能になる。
には、半導体装置や電子回路の試験装置に、任意の強度
の電磁場を発生させることが可能な電磁場発生装置を取
り付け、被試験対象の半導体装置または電子回路の試験
・検査実施時に、前記電磁場発生装置から被試験対象に
任意の強度の電磁波照射を行えるようにした電子デバイ
ス用の試験装置である。したがって、この試験装置によ
り半導体装置または電子回路に対して試験を行うに際し
て、電磁場発生装置により、任意の周波数で任意の強度
の電磁場を発生させることが可能になり、半導体装置ま
たは電子回路を任意の電磁場環境下に置くことが可能に
なる。これにより任意の電磁場環境下での電子デバイス
の試験・検査が可能になる。
【０００８】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。本発明の第１の実施例として、任意
の電磁場中で半導体装置の機能テストを行う場合につい
て説明する。図１は、本実施例の半導体装置の試験装置
の斜視図であり、図２は、本実施例の半導体装置試験用
のソケットの、一部を破断して示す側面図である。ま
た、図３は、本実施例の半導体装置の試験フロー図であ
る。
て詳細に説明する。本発明の第１の実施例として、任意
の電磁場中で半導体装置の機能テストを行う場合につい
て説明する。図１は、本実施例の半導体装置の試験装置
の斜視図であり、図２は、本実施例の半導体装置試験用
のソケットの、一部を破断して示す側面図である。ま
た、図３は、本実施例の半導体装置の試験フロー図であ
る。
【０００９】まず、図１により本実施例の試験装置の構
成について説明する。本実施例の試験装置は、テストプ
ログラムに基づいて被試験対象である半導体装置へ供給
する信号（テストパターン）を発生し、半導体装置が発
生する出力信号を受け入れて予め記憶されている期待値
と比較するテスタ４と、半導体装置に対しテスタ４から
の信号の授受を行い、また、半導体装置を任意の電磁場
環境中に位置させるためのソケット２と、ソケット２が
複数個実装されている基板であるテストボード３と、テ
ストボード３を搭載し、テスタ４とテストボード３間の
インタフェースとなるテストヘッド５と、テストヘッド
５を介してソケット２に内蔵された電磁場放射源（電極
板１０；図２参照）に対し任意の高周波電力を供給する
ことのできる電磁場発生用電源６と、試験手順に従っ
て、テスタ４および電磁場発生用電源６を制御し、か
つ、試験結果を表示し記憶管理するコントローラ７から
構成される。
成について説明する。本実施例の試験装置は、テストプ
ログラムに基づいて被試験対象である半導体装置へ供給
する信号（テストパターン）を発生し、半導体装置が発
生する出力信号を受け入れて予め記憶されている期待値
と比較するテスタ４と、半導体装置に対しテスタ４から
の信号の授受を行い、また、半導体装置を任意の電磁場
環境中に位置させるためのソケット２と、ソケット２が
複数個実装されている基板であるテストボード３と、テ
ストボード３を搭載し、テスタ４とテストボード３間の
インタフェースとなるテストヘッド５と、テストヘッド
５を介してソケット２に内蔵された電磁場放射源（電極
板１０；図２参照）に対し任意の高周波電力を供給する
ことのできる電磁場発生用電源６と、試験手順に従っ
て、テスタ４および電磁場発生用電源６を制御し、か
つ、試験結果を表示し記憶管理するコントローラ７から
構成される。
【００１０】次に、図２を参照して、テストボード３に
実装されるソケット２とこれを用いた試験方法について
説明する。半導体装置１を、そのリード８がコンタクト
ピン９に接触するようソケット２にセットする。コンタ
クトピン９は、半導体装置１に対しテスタ４からの信号
を入力するためおよび半導体装置１の出力信号をテスタ
４へ伝達するために、テストボード３からテストヘッド
５を介してテスタ４と電気的に接続されている。ソケッ
ト２には半導体装置１を挟むように、電磁波放射源とな
る電極板１０が２枚組み込まれている。電極板１０はテ
ストボード３およびテストヘッド５を介して電磁場発生
用電源６と電気的に接続されている。
実装されるソケット２とこれを用いた試験方法について
説明する。半導体装置１を、そのリード８がコンタクト
ピン９に接触するようソケット２にセットする。コンタ
クトピン９は、半導体装置１に対しテスタ４からの信号
を入力するためおよび半導体装置１の出力信号をテスタ
４へ伝達するために、テストボード３からテストヘッド
５を介してテスタ４と電気的に接続されている。ソケッ
ト２には半導体装置１を挟むように、電磁波放射源とな
る電極板１０が２枚組み込まれている。電極板１０はテ
ストボード３およびテストヘッド５を介して電磁場発生
用電源６と電気的に接続されている。
【００１１】コントローラ７により制御されて電磁場発
生用電源６から２枚の電極板１０に対し高周波電力が供
給されると、電極板１０からは電磁波が放射される。こ
の状態で、テスタ４よりテスト信号（テストパターン）
を供給することで試験を実施すれば、電磁場中において
半導体装置１に対して試験を行うことが可能になる。ソ
ケット２には、電極板１０から放射される電磁波が外部
へ漏洩することのないようにするために、全体を被覆す
る電磁シールド１１が備えられている。
生用電源６から２枚の電極板１０に対し高周波電力が供
給されると、電極板１０からは電磁波が放射される。こ
の状態で、テスタ４よりテスト信号（テストパターン）
を供給することで試験を実施すれば、電磁場中において
半導体装置１に対して試験を行うことが可能になる。ソ
ケット２には、電極板１０から放射される電磁波が外部
へ漏洩することのないようにするために、全体を被覆す
る電磁シールド１１が備えられている。
【００１２】次に、図３に示す試験フローを参照して、
本実施例による半導体装置１の試験手順ついて説明す
る。まず、半導体装置１をそのリード８がコンタクトピ
ン９に接触するようにしてソケット２に装着する。次
に、コントローラ７の指示により、半導体装置１の入力
部へテストプログラムに基づくテスタ４からの信号を与
え、回路を動作させてその出力信号をテスタ４に戻す。
テスタ４は、この出力信号と予め格納されている期待値
とを比較して合否の判定を行う。この合否判定結果はコ
ントローラに伝達され、表示されると共にコントローラ
７に記憶される。次に、コントローラ７の指示により電
磁場発生用電源６より高周波電力を電極板１０に供給し
て、半導体装置１を電磁場環境下に位置させる。これと
同時に、コントローラ７の指示により、半導体装置１の
入力部へ、半導体装置１の電磁場中での動作試験用テス
トプログラムに基づくテスタ４からの信号を与えて回路
を動作させ、出力信号が期待値に合っているかの合否判
定を行う。
本実施例による半導体装置１の試験手順ついて説明す
る。まず、半導体装置１をそのリード８がコンタクトピ
ン９に接触するようにしてソケット２に装着する。次
に、コントローラ７の指示により、半導体装置１の入力
部へテストプログラムに基づくテスタ４からの信号を与
え、回路を動作させてその出力信号をテスタ４に戻す。
テスタ４は、この出力信号と予め格納されている期待値
とを比較して合否の判定を行う。この合否判定結果はコ
ントローラに伝達され、表示されると共にコントローラ
７に記憶される。次に、コントローラ７の指示により電
磁場発生用電源６より高周波電力を電極板１０に供給し
て、半導体装置１を電磁場環境下に位置させる。これと
同時に、コントローラ７の指示により、半導体装置１の
入力部へ、半導体装置１の電磁場中での動作試験用テス
トプログラムに基づくテスタ４からの信号を与えて回路
を動作させ、出力信号が期待値に合っているかの合否判
定を行う。
【００１３】次に、本発明の第２の実施例について説明
する。この第２の実施例では、第１の実施例の説明に用
いた図１における電磁場発生用電源６を、コントローラ
７からの指示により、発生電力の時間的変化をプログラ
マブルに変更可能である電源としたものである。これに
より、必要に応じて、コントローラ７からの指示を電磁
場発生用電源６へ送り、動作試験の手順毎に、電磁場の
強度およびその時間的変化量を変化させることが可能に
なる。第２の実施例の試験手順は、第１の実施例と共通
である。
する。この第２の実施例では、第１の実施例の説明に用
いた図１における電磁場発生用電源６を、コントローラ
７からの指示により、発生電力の時間的変化をプログラ
マブルに変更可能である電源としたものである。これに
より、必要に応じて、コントローラ７からの指示を電磁
場発生用電源６へ送り、動作試験の手順毎に、電磁場の
強度およびその時間的変化量を変化させることが可能に
なる。第２の実施例の試験手順は、第１の実施例と共通
である。
【００１４】以上、本発明を実施例に基づき具体的に説
明した。しかしながら本発明は、前記実施例に限定され
るものではなく、本発明の趣旨を外れない範囲で種々の
変更を加えることが可能である。例えば、実施例では、
電磁場発生機構として、２枚の電極板１０と電磁場発生
用電源６を用いたが、必ずしもこの組み合わせを用いる
必要はなく、被試験対象を電磁場環境下に位置させるこ
とが出来る機構であれば、どのようなユニットでも使用
可能である。例えば電極板の代わりにコイルを用いる方
法でもよい。また、電極板を用いる場合でも、電極板の
枚数も２枚に限定する必要はない。更に必要で有れば、
電磁場を収束発散させるための電磁レンズを取り付けて
もよい。また、実施例では被試験対象を半導体装置単体
に限定したが必ずしも半導体装置に限定する必要はな
く、プリント基板に電子部品を搭載してなる電子回路の
試験に適用することも可能である。
明した。しかしながら本発明は、前記実施例に限定され
るものではなく、本発明の趣旨を外れない範囲で種々の
変更を加えることが可能である。例えば、実施例では、
電磁場発生機構として、２枚の電極板１０と電磁場発生
用電源６を用いたが、必ずしもこの組み合わせを用いる
必要はなく、被試験対象を電磁場環境下に位置させるこ
とが出来る機構であれば、どのようなユニットでも使用
可能である。例えば電極板の代わりにコイルを用いる方
法でもよい。また、電極板を用いる場合でも、電極板の
枚数も２枚に限定する必要はない。更に必要で有れば、
電磁場を収束発散させるための電磁レンズを取り付けて
もよい。また、実施例では被試験対象を半導体装置単体
に限定したが必ずしも半導体装置に限定する必要はな
く、プリント基板に電子部品を搭載してなる電子回路の
試験に適用することも可能である。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による試験
装置は、試験中の被試験電子デバイスを電磁場環境下に
置くことができるようにしたものであるので、電子デバ
イスに対する電磁場環境下での動作確認・試験を行うこ
とが可能になる。したがって、本発明によれば、電磁場
環境下での動作の合否判定を行うことが可能になり、ま
たユーザに対して動作保証を行うことが可能になる。
装置は、試験中の被試験電子デバイスを電磁場環境下に
置くことができるようにしたものであるので、電子デバ
イスに対する電磁場環境下での動作確認・試験を行うこ
とが可能になる。したがって、本発明によれば、電磁場
環境下での動作の合否判定を行うことが可能になり、ま
たユーザに対して動作保証を行うことが可能になる。
【図１】本発明の第１の実施例の半導体装置の試験装置
の斜視図。
の斜視図。
【図２】本発明の第１の実施例において用いられるソケ
ット２の一部を破断して示す側面図。
ット２の一部を破断して示す側面図。
【図３】本発明の第１の実施例の試験装置を用いた半導
体装置の装置の試験フローを示す図。
体装置の装置の試験フローを示す図。
１ 半導体装置 ２ ソケット ３ テストボード ４ テスタ ５ テストヘッド ６ 電磁場発生用電源 ７ コントローラ ８ リード ９ コンタクトピン １０ 電極板 １１ 電磁シールド
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年３月８日
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 半導体装置の試験装置と半導体装
置の検査方法
置の検査方法
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置に対し
て機能試験を行うことの出来る試験装置と検査方法に関
し、特に、任意の電磁場中に置かれた場合の半導体装置
の動作を確認できるようにした試験装置と検査方法に関
するものである。
て機能試験を行うことの出来る試験装置と検査方法に関
し、特に、任意の電磁場中に置かれた場合の半導体装置
の動作を確認できるようにした試験装置と検査方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】携帯電話や携帯用情報処理機器が発生す
る電磁波によって医療機器や航空機内の電子機器が誤動
作を起こすことが問題となっているように、半導体装置
などの電子デバイスは外部から侵入する電磁波によって
その動作が影響を受ける。而して、携帯電話や携帯用情
報処理機器等は今後益々普及するものと予想されるとこ
ろ、半導体装置では動作電圧の低電圧化と微細化が進む
ことにより外部からの電磁波の影響をより受けやすくな
ってきている。そこで、今後ユーザよりメーカに対して
デバイスの電磁場での動作保証が要求される可能性があ
る。しかし、現状では半導体装置に対して電磁場環境下
での試験・検査を行う装置が開発されておらず、そのよ
うな試験・評価も行われてこなかった。
る電磁波によって医療機器や航空機内の電子機器が誤動
作を起こすことが問題となっているように、半導体装置
などの電子デバイスは外部から侵入する電磁波によって
その動作が影響を受ける。而して、携帯電話や携帯用情
報処理機器等は今後益々普及するものと予想されるとこ
ろ、半導体装置では動作電圧の低電圧化と微細化が進む
ことにより外部からの電磁波の影響をより受けやすくな
ってきている。そこで、今後ユーザよりメーカに対して
デバイスの電磁場での動作保証が要求される可能性があ
る。しかし、現状では半導体装置に対して電磁場環境下
での試験・検査を行う装置が開発されておらず、そのよ
うな試験・評価も行われてこなかった。
【０００３】一方、プリント基板上に複数の部品が実装
された電子回路の電磁妨害に対する動作余裕の試験につ
いては、例えば特開平４−９５７８６号公報において提
案されたものがある。上記公報にて提案された試験装置
は、プリント基板上に複数の部品が搭載されてなる電子
回路のノードに、アンテナとして機能するテストリード
を直接接触させて、電磁波発生器から電磁波を放射さ
せ、テストリードに誘起される任意の電圧に対する電子
回路の動作余裕を解析するものである。
された電子回路の電磁妨害に対する動作余裕の試験につ
いては、例えば特開平４−９５７８６号公報において提
案されたものがある。上記公報にて提案された試験装置
は、プリント基板上に複数の部品が搭載されてなる電子
回路のノードに、アンテナとして機能するテストリード
を直接接触させて、電磁波発生器から電磁波を放射さ
せ、テストリードに誘起される任意の電圧に対する電子
回路の動作余裕を解析するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来、半導体装置に対
する電磁場内での動作については、適切な試験装置が開
発されていなかったので、これに関しての試験・検査は
行われてこなかった。また、例えユーザサイドから電磁
場内での動作保証を要求されることがあってもこれに応
えることができなかった。また、上述の公報に記載され
た試験装置は、テストリードを被試験電子回路のノード
に接触させて、電磁波発生器から発生させた電磁波によ
りテストリードに誘起される任意の電圧を、テストリー
ドから電子回路のノードに直接印加することにより、電
子回路の動作余裕を解析するものであり、電磁場が直接
電子回路に及ぼす影響を解析するものではない。
する電磁場内での動作については、適切な試験装置が開
発されていなかったので、これに関しての試験・検査は
行われてこなかった。また、例えユーザサイドから電磁
場内での動作保証を要求されることがあってもこれに応
えることができなかった。また、上述の公報に記載され
た試験装置は、テストリードを被試験電子回路のノード
に接触させて、電磁波発生器から発生させた電磁波によ
りテストリードに誘起される任意の電圧を、テストリー
ドから電子回路のノードに直接印加することにより、電
子回路の動作余裕を解析するものであり、電磁場が直接
電子回路に及ぼす影響を解析するものではない。
【０００５】また、上記公報に記載された装置は、電子
回路の特定のノードにテストリードを接触するものであ
って、特定のノードに入力される外部ノイズの影響を解
析するものであるため、電磁場によって電子回路が総合
的に受ける影響については試験を行うことは出来なかっ
た。従って、本発明の目的は、任意の電磁場中で、半導
体装置の動作に対する影響について試験・評価すること
のできる試験装置と検査方法を提供することである。
回路の特定のノードにテストリードを接触するものであ
って、特定のノードに入力される外部ノイズの影響を解
析するものであるため、電磁場によって電子回路が総合
的に受ける影響については試験を行うことは出来なかっ
た。従って、本発明の目的は、任意の電磁場中で、半導
体装置の動作に対する影響について試験・評価すること
のできる試験装置と検査方法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明によれば、電磁場発生用電源と、前記電磁場
発生用電源に電気的に接続される電磁波放射源と、半導
体装置に対して試験を行うテスタと、前記電磁波発生用
電源および前記テスタとを制御するコントローラとを備
えた半導体装置を試験する装置であって、前記電磁波放
射源に前記電磁場発生用電源から高周波電力が供給され
る条件下において、前記テスタより前記半導体装置にテ
スト信号が発せられ、前記半導体装置の動作確認を行う
ことが出来るようになされたことを特徴とする半導体装
置の試験装置、が提供される。また、本発明によれば、
上記の目的を達成するため、電磁場を印加せずに試験を
行い良否を判定した後、引き続き上記の半導体装置の試
験装置を用いて電磁場中での動作試験を行い良否判定を
行う半導体装置の検査方法、が提供される。
め、本発明によれば、電磁場発生用電源と、前記電磁場
発生用電源に電気的に接続される電磁波放射源と、半導
体装置に対して試験を行うテスタと、前記電磁波発生用
電源および前記テスタとを制御するコントローラとを備
えた半導体装置を試験する装置であって、前記電磁波放
射源に前記電磁場発生用電源から高周波電力が供給され
る条件下において、前記テスタより前記半導体装置にテ
スト信号が発せられ、前記半導体装置の動作確認を行う
ことが出来るようになされたことを特徴とする半導体装
置の試験装置、が提供される。また、本発明によれば、
上記の目的を達成するため、電磁場を印加せずに試験を
行い良否を判定した後、引き続き上記の半導体装置の試
験装置を用いて電磁場中での動作試験を行い良否判定を
行う半導体装置の検査方法、が提供される。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明に係る試験装置は、具体的
には、半導体装置の試験装置に、任意の強度の電磁場を
発生させることが可能な電磁場発生装置を取り付け、被
試験対象の半導体装置の試験・検査実施時に、前記電磁
場発生装置から被試験対象に任意の強度の電磁波照射を
行えるようにした試験装置である。したがって、この試
験装置により半導体装置に対して試験を行うに際して、
電磁場発生装置により、任意の周波数で任意の強度の電
磁場を発生させることが可能になり、半導体装置を任意
の電磁場環境下に置くことが可能になる。これにより任
意の電磁場環境下での電子デバイスの試験・検査が可能
になる。
には、半導体装置の試験装置に、任意の強度の電磁場を
発生させることが可能な電磁場発生装置を取り付け、被
試験対象の半導体装置の試験・検査実施時に、前記電磁
場発生装置から被試験対象に任意の強度の電磁波照射を
行えるようにした試験装置である。したがって、この試
験装置により半導体装置に対して試験を行うに際して、
電磁場発生装置により、任意の周波数で任意の強度の電
磁場を発生させることが可能になり、半導体装置を任意
の電磁場環境下に置くことが可能になる。これにより任
意の電磁場環境下での電子デバイスの試験・検査が可能
になる。
【０００８】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。本発明の第１の実施例として、任意
の電磁場中で半導体装置の機能テストを行う場合につい
て説明する。図１は、本実施例の半導体装置の試験装置
の斜視図であり、図２は、本実施例の半導体装置試験用
のソケットの、一部を破断して示す側面図である。ま
た、図３は、本実施例の半導体装置の試験フロー図であ
る。
て詳細に説明する。本発明の第１の実施例として、任意
の電磁場中で半導体装置の機能テストを行う場合につい
て説明する。図１は、本実施例の半導体装置の試験装置
の斜視図であり、図２は、本実施例の半導体装置試験用
のソケットの、一部を破断して示す側面図である。ま
た、図３は、本実施例の半導体装置の試験フロー図であ
る。
【０００９】まず、図１により本実施例の試験装置の構
成について説明する。本実施例の試験装置は、テストプ
ログラムに基づいて被試験対象である半導体装置へ供給
する信号（テストパターン）を発生し、半導体装置が発
生する出力信号を受け入れて予め記憶されている期待値
と比較するテスタ４と、半導体装置に対しテスタ４から
の信号の授受を行い、また、半導体装置を任意の電磁場
環境中に位置させるためのソケット２と、ソケット２が
複数個実装されている基板であるテストボード３と、テ
ストボード３を搭載し、テスタ４とテストボード３間の
インタフェースとなるテストヘッド５と、テストヘッド
５を介してソケット２に内蔵された電磁場放射源（電極
板１０；図２参照）に対し任意の高周波電力を供給する
ことのできる電磁場発生用電源６と、試験手順に従っ
て、テスタ４および電磁場発生用電源６を制御し、か
つ、試験結果を表示し記憶管理するコントローラ７から
構成される。
成について説明する。本実施例の試験装置は、テストプ
ログラムに基づいて被試験対象である半導体装置へ供給
する信号（テストパターン）を発生し、半導体装置が発
生する出力信号を受け入れて予め記憶されている期待値
と比較するテスタ４と、半導体装置に対しテスタ４から
の信号の授受を行い、また、半導体装置を任意の電磁場
環境中に位置させるためのソケット２と、ソケット２が
複数個実装されている基板であるテストボード３と、テ
ストボード３を搭載し、テスタ４とテストボード３間の
インタフェースとなるテストヘッド５と、テストヘッド
５を介してソケット２に内蔵された電磁場放射源（電極
板１０；図２参照）に対し任意の高周波電力を供給する
ことのできる電磁場発生用電源６と、試験手順に従っ
て、テスタ４および電磁場発生用電源６を制御し、か
つ、試験結果を表示し記憶管理するコントローラ７から
構成される。
【００１０】次に、図２を参照して、テストボード３に
実装されるソケット２とこれを用いた試験方法について
説明する。半導体装置１を、そのリード８がコンタクト
ピン９に接触するようソケット２にセットする。コンタ
クトピン９は、半導体装置１に対しテスタ４からの信号
を入力するためおよび半導体装置１の出力信号をテスタ
４へ伝達するために、テストボード３からテストヘッド
５を介してテスタ４と電気的に接続されている。ソケッ
ト２には半導体装置１を挟むように、電磁波放射源とな
る電極板１０が２枚組み込まれている。電極板１０はテ
ストボード３およびテストヘッド５を介して電磁場発生
用電源６と電気的に接続されている。
実装されるソケット２とこれを用いた試験方法について
説明する。半導体装置１を、そのリード８がコンタクト
ピン９に接触するようソケット２にセットする。コンタ
クトピン９は、半導体装置１に対しテスタ４からの信号
を入力するためおよび半導体装置１の出力信号をテスタ
４へ伝達するために、テストボード３からテストヘッド
５を介してテスタ４と電気的に接続されている。ソケッ
ト２には半導体装置１を挟むように、電磁波放射源とな
る電極板１０が２枚組み込まれている。電極板１０はテ
ストボード３およびテストヘッド５を介して電磁場発生
用電源６と電気的に接続されている。
【００１１】コントローラ７により制御されて電磁場発
生用電源６から２枚の電極板１０に対し高周波電力が供
給されると、電極板１０からは電磁波が放射される。こ
の状態で、テスタ４よりテスト信号（テストパターン）
を供給することで試験を実施すれば、電磁場中において
半導体装置１に対して試験を行うことが可能になる。ソ
ケット２には、電極板１０から放射される電磁波が外部
へ漏洩することのないようにするために、全体を被覆す
る電磁シールド１１が備えられている。
生用電源６から２枚の電極板１０に対し高周波電力が供
給されると、電極板１０からは電磁波が放射される。こ
の状態で、テスタ４よりテスト信号（テストパターン）
を供給することで試験を実施すれば、電磁場中において
半導体装置１に対して試験を行うことが可能になる。ソ
ケット２には、電極板１０から放射される電磁波が外部
へ漏洩することのないようにするために、全体を被覆す
る電磁シールド１１が備えられている。
【００１２】次に、図３に示す試験フローを参照して、
本実施例による半導体装置１の試験手順について説明す
る。まず、半導体装置１をそのリード８がコンタクトピ
ン９に接触するようにしてソケット２に装着する。次
に、コントローラ７の指示により、半導体装置１の入力
部へテストプログラムに基づくテスタ４からの信号を与
え、回路を動作させてその出力信号をテスタ４に戻す。
テスタ４は、この出力信号と予め格納されている期待値
とを比較して合否の判定を行う。この合否判定結果はコ
ントローラに伝達され、表示されると共にコントローラ
７に記憶される。次に、コントローラ７の指示により電
磁場発生用電源６より高周波電力を電極板１０に供給し
て、半導体装置１を電磁場環境下に位置させる。これと
同時に、コントローラ７の指示により、半導体装置１の
入力部へ、半導体装置１の電磁場中での動作試験用テス
トプログラムに基づくテスタ４からの信号を与えて回路
を動作させ、出力信号が期待値に合っているかの合否判
定を行う。
本実施例による半導体装置１の試験手順について説明す
る。まず、半導体装置１をそのリード８がコンタクトピ
ン９に接触するようにしてソケット２に装着する。次
に、コントローラ７の指示により、半導体装置１の入力
部へテストプログラムに基づくテスタ４からの信号を与
え、回路を動作させてその出力信号をテスタ４に戻す。
テスタ４は、この出力信号と予め格納されている期待値
とを比較して合否の判定を行う。この合否判定結果はコ
ントローラに伝達され、表示されると共にコントローラ
７に記憶される。次に、コントローラ７の指示により電
磁場発生用電源６より高周波電力を電極板１０に供給し
て、半導体装置１を電磁場環境下に位置させる。これと
同時に、コントローラ７の指示により、半導体装置１の
入力部へ、半導体装置１の電磁場中での動作試験用テス
トプログラムに基づくテスタ４からの信号を与えて回路
を動作させ、出力信号が期待値に合っているかの合否判
定を行う。
【００１３】次に、本発明の第２の実施例について説明
する。この第２の実施例では、第１の実施例の説明に用
いた図１における電磁場発生用電源６を、コントローラ
７からの指示により、発生電力の時間的変化をプログラ
マブルに変更可能である電源としたものである。これに
より、必要に応じて、コントローラ７からの指示を電磁
場発生用電源６へ送り、動作試験の手順毎に、電磁場の
強度およびその時間的変化量を変化させることが可能に
なる。第２の実施例の試験手順は、第１の実施例と共通
である。
する。この第２の実施例では、第１の実施例の説明に用
いた図１における電磁場発生用電源６を、コントローラ
７からの指示により、発生電力の時間的変化をプログラ
マブルに変更可能である電源としたものである。これに
より、必要に応じて、コントローラ７からの指示を電磁
場発生用電源６へ送り、動作試験の手順毎に、電磁場の
強度およびその時間的変化量を変化させることが可能に
なる。第２の実施例の試験手順は、第１の実施例と共通
である。
【００１４】以上、本発明を実施例に基づき具体的に説
明した。しかしながら本発明は、前記実施例に限定され
るものではなく、本発明の趣旨を外れない範囲で種々の
変更を加えることが可能である。例えば、実施例では、
電磁場発生機構として、２枚の電極板１０と電磁場発生
用電源６を用いたが、必ずしもこの組み合わせを用いる
必要はなく、被試験対象を電磁場環境下に位置させるこ
とが出来る機構であれば、どのようなユニットでも使用
可能である。例えば電極板の代わりにコイルを用いる方
法でもよい。また、電極板を用いる場合でも、電極板の
枚数も２枚に限定する必要はない。更に必要で有れば、
電磁場を収束発散させるための電磁レンズを取り付けて
もよい。
明した。しかしながら本発明は、前記実施例に限定され
るものではなく、本発明の趣旨を外れない範囲で種々の
変更を加えることが可能である。例えば、実施例では、
電磁場発生機構として、２枚の電極板１０と電磁場発生
用電源６を用いたが、必ずしもこの組み合わせを用いる
必要はなく、被試験対象を電磁場環境下に位置させるこ
とが出来る機構であれば、どのようなユニットでも使用
可能である。例えば電極板の代わりにコイルを用いる方
法でもよい。また、電極板を用いる場合でも、電極板の
枚数も２枚に限定する必要はない。更に必要で有れば、
電磁場を収束発散させるための電磁レンズを取り付けて
もよい。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による試験
装置は、試験中の被試験半導体装置を電磁場環境下に置
くことができるようにしたものであるので、半導体装置
に対する電磁場環境下での動作確認・試験を行うことが
可能になる。したがって、本発明によれば、電磁場環境
下での動作の合否判定を行うことが可能になり、またユ
ーザに対して動作保証を行うことが可能になる。
装置は、試験中の被試験半導体装置を電磁場環境下に置
くことができるようにしたものであるので、半導体装置
に対する電磁場環境下での動作確認・試験を行うことが
可能になる。したがって、本発明によれば、電磁場環境
下での動作の合否判定を行うことが可能になり、またユ
ーザに対して動作保証を行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例の半導体装置の試験装置
の斜視図。
の斜視図。
【図２】本発明の第１の実施例において用いられるソケ
ット２の一部を破断して示す側面図。
ット２の一部を破断して示す側面図。
【図３】本発明の第１の実施例の試験装置を用いた半導
体装置の試験フローを示す図。
体装置の試験フローを示す図。
【符号の説明】 １ 半導体装置 ２ ソケット ３ テストボード ４ テスタ ５ テストヘッド ６ 電磁場発生用電源 ７ コントローラ ８ リード ９ コンタクトピン １０ 電極板 １１ 電磁シールド
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
Claims (5)
- 【請求項１】 半導体装置やこれを搭載した電子回路な
どの電子デバイスの機能を試験する装置であって、電磁
場を発生させることが可能な電磁場発生機構を備え、該
電磁場発生機構から発生される電磁場中で前記電子デバ
イスを動作させて電磁場中での動作確認を行うことが出
来るようにしたことを特徴とする電子デバイスの試験装
置。 - 【請求項２】 前記電磁場発生機構は、電磁場発生用電
源と電磁波放射源とを備え、任意の周波数の、任意の時
間的変化量および任意の強さの電磁場を発生させること
が可能であることを特徴とする請求項１記載の電子デバ
イスの試験装置。 - 【請求項３】 前記電子デバイスに電源の供給と信号の
授受を行うことができ、前記電子デバイスを収容するこ
とができる電子デバイス収容具を備え、該電子デバイス
収容具内に前記電磁場発生機構の電磁波放射源が内蔵さ
れていることを特徴とする請求項１記載の電子デバイス
の試験装置。 - 【請求項４】 前記電子デバイス収容具は、外面が電磁
シールド手段により被覆されていることを特徴とする請
求項３記載の電子デバイスの試験装置。 - 【請求項５】 前記電子デバイスに供給する信号を発生
するテスタを備え、前記テスタの信号の発生と前記電磁
場発生機構の動作を指示し、前記電子デバイスの動作結
果を監視するコントローラが備えられていることを特徴
とする請求項１記載の電子デバイスの試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10116383A JPH11304886A (ja) | 1998-04-27 | 1998-04-27 | 半導体装置の試験装置と半導体装置の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10116383A JPH11304886A (ja) | 1998-04-27 | 1998-04-27 | 半導体装置の試験装置と半導体装置の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11304886A true JPH11304886A (ja) | 1999-11-05 |
Family
ID=14685663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10116383A Pending JPH11304886A (ja) | 1998-04-27 | 1998-04-27 | 半導体装置の試験装置と半導体装置の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11304886A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100496861B1 (ko) * | 2002-09-26 | 2005-06-22 | 삼성전자주식회사 | 하나의 핸들러에 2개 이상의 테스트 보드를 갖는 테스트장비 및 그 테스트 방법 |
| CN104316793A (zh) * | 2014-10-21 | 2015-01-28 | 江苏西欧电子有限公司 | 一种工频磁场多表位测量装置 |
-
1998
- 1998-04-27 JP JP10116383A patent/JPH11304886A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100496861B1 (ko) * | 2002-09-26 | 2005-06-22 | 삼성전자주식회사 | 하나의 핸들러에 2개 이상의 테스트 보드를 갖는 테스트장비 및 그 테스트 방법 |
| CN104316793A (zh) * | 2014-10-21 | 2015-01-28 | 江苏西欧电子有限公司 | 一种工频磁场多表位测量装置 |
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