JPH11304732A - Method for identifying analysis element by surface-analyzing equipment - Google Patents
Method for identifying analysis element by surface-analyzing equipmentInfo
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- JPH11304732A JPH11304732A JP10121672A JP12167298A JPH11304732A JP H11304732 A JPH11304732 A JP H11304732A JP 10121672 A JP10121672 A JP 10121672A JP 12167298 A JP12167298 A JP 12167298A JP H11304732 A JPH11304732 A JP H11304732A
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、電子プローブマ
イクロアナライザなどの表面分析機器を用いて試料表面
の分析を行う場合における元素の同定方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for identifying an element when a sample surface is analyzed using a surface analysis device such as an electron probe microanalyzer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、電子プローブマイクロアナライ
ザ（ＥＰＭＡ）、オージエ電子分光装置（ＡＥＳ）、光
電子分光装置（ＥＳＣＡ）などの表面分析機器を用いて
試料表面の元素分布の分析を行う場合において、元素の
同定処理は、元素名、スペクトルピークの遷移線名、エ
ネルギー値などを一覧表で示した遷移線エネルギーテー
ブルを用い、実測されたスペクトルデータと上記エネル
ギーテーブルとを比較することにより行われている。2. Description of the Related Art Generally, when an element distribution on a sample surface is analyzed by using a surface analysis device such as an electron probe microanalyzer (EPMA), an Auger electron spectrometer (AES), or a photoelectron spectrometer (ESCA). Is performed by using a transition line energy table showing a list of element names, spectrum peak transition lines, energy values, and the like, and comparing the measured spectrum data with the above energy table. .
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、多くの
元素は単一のスペクトルピークではなく複数のスペクト
ルピークをもっており、更に複数の元素が同一のスペク
トルピークをもっている場合がある。例えば、図６はＣ
u とＰのエネルギースペクトルの一部を示す図である
が、エネルギー値Ｅ1 で示されているスペクトルピーク
はＣu とＰが共に備えている。このように同一のスペク
トルピークをもつ元素が複数存在する場合、実測スペク
トルデータにそのスペクトルピークが検出された場合、
実際に複数の元素が存在する場合もあるが、実際にはス
ペクトルピークの重なりによって存在しない元素が同定
元素として判断されてしまうことが、頻繁に発生する。
これにより元素同定処理の精度が低下してしまう。なお
図６において、Ｅ2 はＣu のメイン線のエネルギー値で
ある。However, many elements have not a single spectral peak but a plurality of spectral peaks, and a plurality of elements may have the same spectral peak. For example, FIG.
FIG. 3 is a diagram showing a part of the energy spectrum of u and P, and both Cu and P have a spectrum peak indicated by an energy value E 1 . When there are a plurality of elements having the same spectrum peak in this way, when the spectrum peak is detected in the measured spectrum data,
Although there are cases where a plurality of elements actually exist, it often occurs that an element that does not actually exist is determined as an identification element due to the overlap of spectral peaks.
As a result, the accuracy of the element identification processing decreases. In FIG. 6, E 2 is the energy value of the Cu main line.
【０００４】また、測定時に何らかの理由でスペクトル
のエネルギー軸がずれてしまうことがしばしばあり、ス
ペクトルのエネルギー軸がずれると、正確な元素同定は
殆ど不可能となる。In addition, the energy axis of the spectrum often shifts for some reason during the measurement, and if the energy axis of the spectrum shifts, accurate element identification becomes almost impossible.
【０００５】本発明は、従来の電子プローブマイクロア
ナライザなどの表面分析機器を用いた試料表面の元素分
析における元素同定方法での上記問題点を解消するため
になされたもので、請求項１に係る発明は、スペクトル
ピークの重なりが存在する場合においても、高精度で元
素の同定処理を行うことが可能な表面分析機器による分
析元素の同定方法を提供することを目的とする。また、
請求項２に係る発明は、スペクトルのエネルギー軸のず
れを補正して高精度で元素の同定処理を行うことができ
るようにした表面分析機器による分析元素の同定方法を
提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problem in the element identification method in the element analysis of a sample surface using a conventional surface analysis device such as an electron probe microanalyzer. An object of the present invention is to provide a method for identifying an element to be analyzed by a surface analysis instrument capable of performing element identification processing with high accuracy even when spectral peaks overlap. Also,
An object of the invention according to claim 2 is to provide a method for identifying an element to be analyzed by a surface analysis device capable of correcting a shift of an energy axis of a spectrum and performing element identification processing with high accuracy. .
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め、請求項１に係る発明は、表面分析機器を用いて試料
表面を分析し元素を同定する方法において、試料分析点
から得られたスペクトルデータに基づいてスペクトルピ
ークを検出し、該スペクトルピーク位置と元素遷移線エ
ネルギーテーブルとを比較して同定元素を粗検出するス
テップと、検出されたスペクトルピーク位置に複数の元
素が同定されている場合に、それらの元素のうち測定ス
ペクトルデータ中にメイン線が存在する元素のみを選出
するステップと、前記測定スペクトルデータと前記選出
された元素に対応する指紋領域データベースとを比較
し、スペクトル間の距離で表した一致度パラメータを求
めるステップと、前記選出された元素のうち前記一致度
パラメータの最も小さい元素を同定元素とするステップ
を備えていることを特徴とするものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for analyzing a surface of a sample using a surface analysis device to identify an element. Detecting a spectrum peak based on the spectrum data, and roughly detecting the identified element by comparing the spectrum peak position with the element transition line energy table, and a plurality of elements are identified at the detected spectrum peak position. In the case, the step of selecting only those elements in which the main line is present in the measured spectrum data among those elements, comparing the measured spectrum data with the fingerprint region database corresponding to the selected element, Obtaining a coincidence parameter represented by a distance; and determining a minimum value of the coincidence parameter among the selected elements. And it is characterized in that it comprises a step to have identifying elements the elements.
【０００７】このように、正規化された測定スペクトル
データと指紋領域データベースとを比較して一致度パラ
メータを算出し、該一致度パラメータの最も小さいもの
を同定元素とするようにしているので、スペクトルピー
クの重なりが存在しても高精度で元素の同定処理を行う
ことができる。As described above, the coincidence parameter is calculated by comparing the normalized measured spectrum data with the fingerprint area database, and the smallest coincidence parameter is determined as the identification element. Element identification processing can be performed with high accuracy even when peaks overlap.
【０００８】請求項２に係る発明は、表面分析機器を用
いて試料表面を分析し元素を同定する方法において、試
料分析点から得られたスペクトルデータに基づいてスペ
クトルピークを検出し、検出されたスペクトルピークの
うち最大強度のスペクトルピークの位置を検出するステ
ップと、前記最大強度のスペクトルピークの半値幅の所
定倍数の範囲に入るエネルギーメイン線をもつ元素を、
元素遷移線エネルギーテーブルとの比較によって選出す
るステップと、前記測定スペクトルデータと前記選出さ
れた元素に対応する指紋領域データベースとを比較し、
スペクトル間の距離で表した一致度パラメータを求める
ステップと、前記一致度パラメータの最も小さい選出さ
れた元素を同定元素とするステップと、前記同定元素に
対応するエネルギーテーブルにおける最大ピーク位置に
前記測定スペクトルデータにおける最大ピーク位置を合
わせてエネルギー軸のずれを補正するステップを備えて
いることを特徴とするものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for analyzing a sample surface using a surface analysis device to identify an element, wherein a spectrum peak is detected based on spectral data obtained from a sample analysis point. Detecting the position of the spectral peak of the maximum intensity among the spectral peaks, and an element having an energy main line falling within a predetermined multiple of the half width of the spectral peak of the maximum intensity,
Selecting by comparing with an element transition ray energy table, comparing the measured spectrum data with a fingerprint region database corresponding to the selected element,
Determining a coincidence parameter represented by a distance between spectra; and selecting the selected element having the smallest coincidence parameter as an identification element; and determining the measured spectrum at a maximum peak position in an energy table corresponding to the identification element. The method further comprises a step of correcting a shift of the energy axis by adjusting the maximum peak position in the data.
【０００９】このように前記請求項１に係る発明と同様
に、測定スペクトルデータと指紋領域データベースとの
比較により同定された元素に対応するエネルギーテーブ
ルにおける最大ピーク位置に、測定スペクトルデータに
おける最大ピーク位置を合わせてスペクトルエネルギー
軸のずれを補正するようにしているので、何らかの理由
で測定スペクトルデータのエネルギー軸のずれが生じた
場合においても、スペクトルエネルギー軸のずれが正確
に補正され、高精度で元素の同定処理を行うことが可能
となる。As described above, in the same manner as in the first aspect of the present invention, the maximum peak position in the energy table corresponding to the element identified by comparing the measured spectrum data with the fingerprint region database is set to the maximum peak position in the measured spectrum data. Is adjusted to correct the deviation of the spectrum energy axis, so even if the energy axis of the measured spectrum data is shifted for any reason, the deviation of the spectrum energy axis is corrected accurately and the element Can be performed.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】次に、実施の形態について説明す
る。図１は、本発明に係る表面分析機器による分析元素
の同定方法を適用する電子プローブマイクロアナライザ
の概略構成を示す図である。図１において、フィラメン
ト１から発生した電子線２は、図示しない集束レンズ及
び対物レンズを介して試料ステージ３上に載置された試
料４の表面に照射され、試料４の電子線２の照射点で発
生した特性Ｘ線５は、分光素子６で分光され、検出器７
で検出される。そして、信号処理系８において、検出器
７から出力された検出信号に対して種々の信号処理を行
い、元素同定処理が行われる。Next, an embodiment will be described. FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of an electron probe microanalyzer to which a method for identifying an element to be analyzed by a surface analysis device according to the present invention is applied. In FIG. 1, an electron beam 2 generated from a filament 1 is applied to the surface of a sample 4 placed on a sample stage 3 via a focusing lens and an objective lens (not shown). The characteristic X-rays 5 generated by the detector 7 are split by the spectroscopic element 6 and
Is detected by Then, in the signal processing system 8, various signal processing is performed on the detection signal output from the detector 7 to perform element identification processing.
【００１１】次に、前記電子プローブマイクロアナライ
ザの信号処理系８において行われる、本発明に係る分析
元素の同定方法の第１の実施の形態について、図２のフ
ローチャートを参照しながら説明する。まず、検出器で
検出されたスペクトルデータと測定条件がスペクトルフ
ァイルに書き込まれる（ステップ11）。次いで、スペク
トルファイルからスペクトルデータを読み出し、平滑
化、２次微分処理などの信号処理を行ってスペクトルピ
ークの検出を行う（ステップ12）。次に、検出されたス
ペクトルピークについて、そのスペクトルピーク位置に
対応するエネルギー値における所定の一定エネルギー幅
で、遷移線エネルギーテーブル（元素名、遷移線名、エ
ネルギー値などを示した一覧表）と比較を行い、検出ス
ペクトルピークに対応する同定元素の粗検出を行う。次
いで、上記粗検出において、検出スペクトルピークに関
して複数の元素が同定された場合、それらの複数の元素
のメイン線（メインピーク線）が検出スペクトルデータ
に存在するか否かの確認を行い、メイン線が存在する元
素を同定元素候補として選出し、メイン線が存在しない
元素については同定元素候補から除外する（ステップ1
3）。Next, a first embodiment of a method for identifying an element to be analyzed according to the present invention, which is performed in the signal processing system 8 of the electron probe microanalyzer, will be described with reference to the flowchart of FIG. First, the spectrum data and measurement conditions detected by the detector are written to a spectrum file (step 11). Next, spectrum data is read from the spectrum file, and signal processing such as smoothing and second derivative processing is performed to detect a spectrum peak (step 12). Next, the detected spectrum peak is compared with a transition line energy table (a table showing element names, transition line names, energy values, etc.) at a predetermined constant energy width at an energy value corresponding to the spectrum peak position. Is performed to roughly detect the identified element corresponding to the detected spectrum peak. Next, in the above-mentioned rough detection, when a plurality of elements are identified with respect to the detected spectrum peak, it is confirmed whether or not a main line (main peak line) of the plurality of elements exists in the detected spectrum data. Are selected as candidate elements for identification, and elements without a main line are excluded from candidates for identification (step 1).
3).
【００１２】次に、測定スペクトルデータの正規化処理
を行い、前記ステップ13の処理において選出された同定
元素候補の元素に対応する指紋領域データベースを入力
し、それとの比較（指紋領域によるパターンマッチング
処理）を行う（ステップ14）。指紋領域データとは、各
元素にはその元素固有の特徴を示す波形のエネルギース
ペクトルをもっており、それらの特徴となっている波形
とメインピークを加えた領域のスペクトルデータをい
う。図３はスペクトル指紋領域の例を示す図であり、測
定可能な基準元素について、正規化された指紋領域デー
タベースが作成されている。Next, normalization processing of the measured spectrum data is performed, and a fingerprint area database corresponding to the element of the candidate for the identified element selected in the processing of the step 13 is inputted and compared therewith (pattern matching processing by the fingerprint area). ) (Step 14). The fingerprint area data refers to spectrum data of an area in which each element has an energy spectrum of a waveform showing a characteristic peculiar to the element, and the characteristic waveform and a main peak are added. FIG. 3 is a diagram showing an example of a spectral fingerprint area, and a normalized fingerprint area database is created for measurable reference elements.
【００１３】この指紋領域データベースとの比較は、次
のようにして行われる。すなわち、次式（１）で示され
るように、比較すべき両スペクトルデータの各ピーク位
置間の差を加算し、その平方根を求め、その平方根ｄを
スペクトル間の一致度パラメータと定義する。 ｄ＝ＳＱＲ〔ＳＵＭ(i＝ 0〜n)｛Ｐ１(i) −Ｐ２(i) ｝〕・・・・・（１） ここで、Ｐ１(i) は測定スペクトルデータの各ピーク位
置、Ｐ２(i) は指紋領域データベースの各ピーク位置で
ある。The comparison with the fingerprint area database is performed as follows. That is, as shown by the following equation (1), the difference between the peak positions of both spectral data to be compared is added, the square root thereof is obtained, and the square root d is defined as a coincidence parameter between the spectra. d = SQR [SUM (i = 0 to n) ｛P1 (i) -P2 (i)｝] (1) where P1 (i) is each peak position of the measured spectrum data, and P2 ( i) is each peak position in the fingerprint area database.
【００１４】そして、この一致度パラメータｄの値が最
も小さいものを同定されるべき元素とする。それ以外の
元素については、スペクトルピークの重なりによって判
断された元素とみなし、同定元素から除外し（ステップ
15）、元素同定処理結果を表示する（ステップ16）。こ
のように、指紋領域のデータベースとの比較（指紋領域
によるパターンマッチング処理）を行うことにより、元
素同定処理を高精度で迅速に行うことができる。The element having the smallest value of the coincidence parameter d is defined as an element to be identified. Other elements are regarded as elements determined by overlapping spectral peaks and are excluded from the identified elements (step
15) Display the results of element identification processing (step 16). As described above, by comparing the fingerprint area with the database (pattern matching processing based on the fingerprint area), the element identification processing can be quickly performed with high accuracy.
【００１５】次に、本発明の第２の実施の形態について
説明する。電子プローブマイクロアナライザなどの表面
分析機器を用いて試料表面の元素分析を行う場合、測定
時に何らかの理由でスペクトルのエネルギー軸のずれが
発生することがしばしば生じる。このようなスペクトル
のエネルギー軸のずれが発生すると、正確な元素同定は
殆ど不可能となる。本実施の形態は、第１の実施の形態
において用いている指紋領域によるパターンマッチング
処理ステップを用いて、測定時に発生したスペクトルの
エネルギー軸の軸ずれを補正して、高精度で元素同定処
理を行えるようにするものである。Next, a second embodiment of the present invention will be described. When performing elemental analysis on a sample surface using a surface analysis device such as an electron probe microanalyzer, a shift of the energy axis of the spectrum often occurs for some reason during measurement. When such a shift in the energy axis of the spectrum occurs, accurate element identification becomes almost impossible. This embodiment corrects the element identification process with high accuracy by using the pattern matching process step based on the fingerprint region used in the first embodiment to correct the misalignment of the energy axis of the spectrum generated at the time of measurement. It is intended to be able to do.
【００１６】次に、第２の実施の形態を図４のフローチ
ャートを参照しながら説明する。まず、第１の実施の形
態と同様に、検出器で検出されたスペクトルデータと測
定条件をスペクトルファイルに書き込む（ステップ2
1）。次いで、スペクトルファイルよりスペクトルデー
タを読み出し、平滑化、２次微分処理等の信号処理を行
って、スペクトルピークの検出を行う。続いて、検出さ
れたスペクトルピークの中から最大強度のスペクトルピ
ークＰを選び出し、そのスペクトルピークＰの強度に対
応するエネルギー位置を求める。次いで、測定スペクト
ルデータの正規化処理を行い、正規化されたスペクトル
データＤを生成する。次に、図５に示すように、最大ス
ペクトルピークＰの半値幅のｋ倍の範囲に入るエネルギ
ーメイン線をもつ元素を選出し、同定元素の粗検出を行
う。この粗検出は遷移線エネルギーテーブルとの比較に
よって行われる（ステップ22）。但し、上記ｋの値は、
測定スペクトルデータのエネルギー軸の予測される最大
ずれ幅に対応する値である。Next, a second embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG. First, similarly to the first embodiment, the spectrum data and the measurement conditions detected by the detector are written in the spectrum file (step 2).
1). Next, the spectrum data is read from the spectrum file, and signal processing such as smoothing and second derivative processing is performed to detect a spectrum peak. Subsequently, a spectrum peak P having the maximum intensity is selected from the detected spectrum peaks, and an energy position corresponding to the intensity of the spectrum peak P is obtained. Next, normalization processing of the measured spectrum data is performed to generate normalized spectrum data D. Next, as shown in FIG. 5, an element having an energy main line which falls within the range of k times the half width of the maximum spectral peak P is selected, and coarse detection of the identified element is performed. This rough detection is performed by comparison with a transition line energy table (step 22). Where the value of k is
This is a value corresponding to the predicted maximum deviation width of the energy axis of the measured spectrum data.
【００１７】次に、上記ステップ22の処理により選出さ
れた元素に対応する指紋領域データベースを入力し、正
規化されている測定スペクトルデータとの比較を行い、
第１の実施の形態と同様の一致度パラメータｄを求め
る。そして、この一致度パラメータｄの値の最も小さい
ものを同定されるべき元素とする（ステップ23）。Next, a fingerprint area database corresponding to the element selected in the process of step 22 is inputted, and compared with the normalized measured spectrum data.
A similarity parameter d similar to that of the first embodiment is obtained. Then, the one having the smallest value of the coincidence parameter d is set as the element to be identified (step 23).
【００１８】次いで、同定された元素のスペクトルピー
ク位置と、測定スペクトルデータにおける最大スペクト
ルピークＰの位置とのずれを、エネルギー軸の軸ずれ値
と解して、エネルギー軸の補正を行う（ステップ24）。
このようなエネルギー軸の補正を行った後、次の分析点
における元素同定を、遷移線エネルギーテーブルとの対
比による従来と同様の元素同定処理法を用いて行う（ス
テップ25）。これにより、スペクトルのエネルギー軸の
軸ずれが正確に補正されているため、従来と同様の元素
同定処理を行った場合でも、従来より高精度の元素同定
を行うことができる。Next, the deviation between the spectral peak position of the identified element and the position of the maximum spectral peak P in the measured spectrum data is interpreted as the energy axis deviation value, and the energy axis is corrected (step 24). ).
After such energy axis correction, element identification at the next analysis point is performed using a conventional element identification processing method based on comparison with a transition line energy table (step 25). Thereby, the misalignment of the energy axis of the spectrum is accurately corrected, and therefore, even if the same element identification processing as that of the related art is performed, element identification with higher accuracy than before can be performed.
【００１９】[0019]
【発明の効果】以上、実施の形態に基づいて説明したよ
うに、請求項１に係る発明によれば、測定スペクトルデ
ータと指紋領域データベースとを比較して一致度パラメ
ータを算出し、その一致度パラメータに基づいて元素の
同定処理を行うようにしているので、スペクトルピーク
の重なりが存在しても高精度で元素の同定処理を行うこ
とができる。また請求項２に係る発明によれば、測定ス
ペクトルデータのエネルギー軸のずれが生じた場合にお
いても、軸ずれを正確に補正し、高精度の元素同定処理
を行うことが可能となる。As described above based on the embodiment, according to the first aspect of the present invention, the coincidence parameter is calculated by comparing the measured spectrum data with the fingerprint area database. Since element identification processing is performed based on parameters, element identification processing can be performed with high accuracy even when spectral peaks overlap. According to the second aspect of the present invention, even when the energy axis of the measured spectrum data is shifted, the axis shift can be accurately corrected and the element identification process can be performed with high accuracy.
【図１】本発明に係る表面分析機器による分析元素の同
定方法を適用する電子プローブマイクロアナライザの概
略構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of an electron probe microanalyzer to which a method for identifying an element to be analyzed by a surface analysis device according to the present invention is applied.
【図２】本発明の第１の実施の形態を説明するためのフ
ローチャートである。FIG. 2 is a flowchart for explaining a first embodiment of the present invention.
【図３】スペクトルの指紋領域の一例を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a fingerprint region of a spectrum.
【図４】本発明の第２の実施の形態を説明するためのフ
ローチャートである。FIG. 4 is a flowchart for explaining a second embodiment of the present invention.
【図５】正規化された測定スペクトルデータの一例を示
す図である。FIG. 5 is a diagram illustrating an example of normalized measurement spectrum data.
【図６】スペクトルのピークの重なりの一例を示す図で
ある。FIG. 6 is a diagram illustrating an example of overlapping spectrum peaks.
１ フィラメント ２ 電子線 ３ 試料ステージ ４ 試料 ５ 特性Ｘ線 ６ 分光素子 ７ 検出器 ８ 信号処理系 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Filament 2 Electron beam 3 Sample stage 4 Sample 5 Characteristic X-ray 6 Spectral element 7 Detector 8 Signal processing system
Claims (2)
元素を同定する方法において、試料分析点から得られた
スペクトルデータに基づいてスペクトルピークを検出
し、該スペクトルピーク位置と元素遷移線エネルギーテ
ーブルとを比較して同定元素を粗検出するステップと、
検出されたスペクトルピーク位置に複数の元素が同定さ
れている場合に、それらの元素のうち測定スペクトルデ
ータ中にメイン線が存在する元素のみを選出するステッ
プと、前記測定スペクトルデータと前記選出された元素
に対応する指紋領域データベースとを比較し、スペクト
ル間の距離で表した一致度パラメータを求めるステップ
と、前記選出された元素のうち前記一致度パラメータの
最も小さい元素を同定元素とするステップを備えている
ことを特徴とする表面分析機器による分析元素の同定方
法。In a method for analyzing a sample surface using a surface analysis device to identify an element, a spectrum peak is detected based on spectrum data obtained from a sample analysis point, and the spectrum peak position and element transition line energy are detected. Coarsely detecting the identified element by comparing with a table;
When a plurality of elements are identified at the detected spectral peak position, selecting only those elements having a main line in the measured spectrum data among those elements, and the measured spectrum data and the selected Comparing the fingerprint region database corresponding to the element to obtain a coincidence parameter represented by a distance between spectra, and including, as an identification element, an element having the smallest coincidence parameter among the selected elements. A method for identifying an element to be analyzed by a surface analysis device.
元素を同定する方法において、試料分析点から得られた
スペクトルデータに基づいてスペクトルピークを検出
し、検出されたスペクトルピークのうち最大強度のスペ
クトルピークの位置を検出するステップと、前記最大強
度のスペクトルピークの半値幅の所定倍数の範囲に入る
エネルギーメイン線をもつ元素を、元素遷移線エネルギ
ーテーブルとの比較によって選出するステップと、前記
測定スペクトルデータと前記選出された元素に対応する
指紋領域データベースとを比較し、スペクトル間の距離
で表した一致度パラメータを求めるステップと、前記一
致度パラメータの最も小さい選出された元素を同定元素
とするステップと、前記同定元素に対応するエネルギー
テーブルにおける最大ピーク位置に前記測定スペクトル
データにおける最大ピーク位置を合わせてエネルギー軸
のずれを補正するステップを備えていることを特徴とす
る表面分析機器による試料分析元素の同定方法。2. A method for analyzing a sample surface using a surface analysis device to identify an element, wherein a spectrum peak is detected based on spectrum data obtained from a sample analysis point, and a maximum intensity of the detected spectrum peak is detected. Detecting the position of the spectral peak of, and selecting an element having an energy main line falling within a range of a predetermined multiple of the half width of the maximum intensity spectral peak by comparing with an element transition line energy table, Comparing the measured spectrum data with the fingerprint area database corresponding to the selected element, and determining a coincidence parameter represented by a distance between the spectra; and identifying the selected element having the smallest coincidence parameter as an identification element. And the maximum in the energy table corresponding to the identified element A method of identifying a sample analysis element by a surface analysis device, comprising a step of correcting a shift of an energy axis by matching a maximum peak position in the measured spectrum data with a peak position.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12167298A JP3876070B2 (en) | 1998-04-16 | 1998-04-16 | Method for identifying analytical elements using surface analysis equipment |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP12167298A JP3876070B2 (en) | 1998-04-16 | 1998-04-16 | Method for identifying analytical elements using surface analysis equipment |
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| JPH11304732A true JPH11304732A (en) | 1999-11-05 |
| JP3876070B2 JP3876070B2 (en) | 2007-01-31 |
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ID=14817043
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP12167298A Expired - Fee Related JP3876070B2 (en) | 1998-04-16 | 1998-04-16 | Method for identifying analytical elements using surface analysis equipment |
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