JPH11297881A - Cutting method of package - Google Patents

Cutting method of package

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JPH11297881A
JPH11297881A JP10099747A JP9974798A JPH11297881A JP H11297881 A JPH11297881 A JP H11297881A JP 10099747 A JP10099747 A JP 10099747A JP 9974798 A JP9974798 A JP 9974798A JP H11297881 A JPH11297881 A JP H11297881A
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JP
Japan
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package
cutting
pins
holding member
packages
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Application number
JP10099747A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Suzuki
浩幸 鈴木
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SAYAKA KK
Original Assignee
SAYAKA KK
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable a frame plate where packages are provided to be easily cut into unit packages causing no damage to them. SOLUTION: Insulating protectors 2b which protect parts such as semiconductor devices are provided onto the front surface of a resin plate 2a, and solder ball pins 2c serving as outer connection leads are provided on the rear surface of the resin plate 2a protruding downward, whereby a synthetic resin frame plate 1 mounted with packages 2 is obtained. The synthetic resin frame plate 1 is placed on a holding member 5 composed of a main member 5a and a sub- member 5b placed thereon. The frame plate 1 is held on the holding member 5 inserting the solder ball pins 2c into engaging holes 6 bored in the sub-member 5b, and the packages 2 are separately cut off from the frame plate 1 with rotary blades 11 as the packages 2 are controlled in movement by the holding member 5.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体素子等を
組み込んだパッケージを多面取りしてなるフレーム板か
らパッケージを個々に切断分離するに際し、パッケージ
を損傷せずに歩留りよくフレーム板から切断分離するこ
とのできるパッケージの切断方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to cutting and separating packages individually from a frame plate obtained by taking multiple packages of semiconductor elements and the like and mounting the package without damaging the packages without damaging the packages. The present invention relates to a method of cutting a package which can be performed.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子機器類の小型化、軽量化および多機
能化などに伴ってこれに使用される半導体パッケージの
高密度化と高効率化の進歩は目ざましく、これに対応す
るパッケージとして、たとえば、表面に前記半導体素子
等を実装し、裏面に外部接続用のリードとなる微小径の
多数のピン(Pin)を形成したBGA(Ball G
rid Array)の実用的利用が推進されている。
2. Description of the Related Art With the miniaturization, weight reduction, and multi-functionality of electronic devices, the progress of high density and high efficiency of semiconductor packages used for such devices has been remarkable. For example, a BGA (Ball G) in which the semiconductor element or the like is mounted on the front surface and a large number of small-diameter pins (Pins) serving as leads for external connection are formed on the back surface.
(Rid Array) is being promoted for practical use.

【0003】このBGAは、外部接続用のリードしてパ
ッケージの裏面に微小径の金属ボールによる真球状のハ
ンダボールからなるピンの多数を一定間隔で密に形成し
たもので、この多数のピンによって端子と接合部とを共
用するバンプ(Bump)を形成し、このバンプを利用
してパッケージをプリント基板などに実装するよう構成
されたものである。
In this BGA, a large number of pins composed of true spherical solder balls made of minute diameter metal balls are densely formed at regular intervals on the back surface of a package as leads for external connection. A bump (Bump) that shares a terminal and a joint is formed, and the package is mounted on a printed circuit board or the like using the bump.

【0004】かゝるBGAは、実際にはガラス繊維入り
エポキシ樹脂などのプラスチック製のフレーム板に所定
数のBGAからなるパッケージを多面取りし、この多面
取りしたフレーム板から個々にパッケージを切断して製
品たるパッケージ(以下、製品という。)を得ているも
ので、その切断方法としてはプレス金型装置による加圧
打ち抜きや、フレーム板の各パッケージの前記実装面を
下にして保持枠部材に設けた凹陥部内に密嵌状態で保持
させて下方から真空吸引しつゝパッケージの周囲を棒状
のカッターで切断することが行われている。
[0004] Such a BGA is actually obtained by cutting multiple packages of a predetermined number of BGAs on a plastic frame plate made of epoxy resin containing glass fiber or the like, and cutting the packages individually from the frame plate thus cut. The product is obtained as a package (hereinafter, referred to as a product). The cutting method includes press punching with a press die device, and mounting the frame on the holding frame member with the mounting surface of each package down. It has been practiced that the package is held in a tightly fitted state in the provided recessed portion and vacuum suction is performed from below, and the periphery of the package is cut by a rod-shaped cutter.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】フレーム板からのパッ
ケージの切断分離に際し、前記プレス金型装置による打
ち抜きは、短時間に多数の処理が可能である反面、打ち
抜きによる衝撃でパッケージ自体が剪断抵抗を受けてク
ラックが発生するおそれがあると共に、パッケージの打
ち抜きに際し、打ち抜き部分に近い端縁にバリを生じ、
切断縁近傍の前記ピンの部分がいずれも潰されて正確な
導電性を保持できなくななったりすることが多く、不良
品の発生率が大きいという問題がある。
When the package is cut and separated from the frame plate, a large number of processes can be performed in a short time by punching with the press die apparatus, but the package itself has a shear resistance due to the impact of the punching. In addition to the risk of cracking due to receiving, when punching the package, burrs occur on the edge near the punched part,
In many cases, all of the pins near the cutting edge are crushed and cannot maintain accurate conductivity, resulting in a problem of a high incidence of defective products.

【0006】これに対し、保持枠部材に保持したフレー
ム板を棒状のカッターで切断する方法は、クラックの発
生やバリの生成などの問題は少ないものゝ、切断時のパ
ッケージの動きを止めるために保持枠部材に形成した凹
陥部に各パッケージを密嵌状態で保持しているので、切
断後のパッケージの取り出しが容易ではないという問題
がある。
On the other hand, the method of cutting the frame plate held by the holding frame member with a rod-shaped cutter has few problems such as generation of cracks and burrs. However, in order to stop the movement of the package at the time of cutting. Since each package is closely held in the recess formed in the holding frame member, there is a problem that it is not easy to take out the package after cutting.

【0007】この問題を解消するために、紫外線の照射
によって剥離が容易となる粘着シートをフレーム板の下
面(実装面側)に貼着し、切断された製品が当該粘着シ
ートで分離せずに繋がった状態で保持枠部材から取り外
すようにし、繋がった状態で取り出された製品の粘着シ
ートに紫外線を照射して剥離することも行われている
が、かゝるシートの貼着や剥離に要する手間がすこぶる
厄介で、処理の時間や費用なども無視できない。
In order to solve this problem, an adhesive sheet which can be easily peeled off by ultraviolet irradiation is attached to the lower surface (mounting surface side) of the frame plate, and the cut product is not separated by the adhesive sheet. It is also necessary to remove the adhesive sheet of the product taken out in the connected state by removing it from the holding frame member in the connected state, and peeling it by irradiating ultraviolet rays, but it is necessary for sticking and peeling of such a sheet The time and effort involved are extremely troublesome, and the processing time and costs cannot be ignored.

【0008】また、棒状のカッターによる切断は、前記
BGAで構成されたパッケージの一層の縮小化に伴って
充分に対処することが難しくなってきている点にも問題
が残されている。
Further, there is still a problem that it is difficult to sufficiently cope with cutting with a bar-shaped cutter as the size of the package constituted by the BGA is further reduced.

【0009】この発明の目的は、パッケージの切断の前
記従来方法における問題に鑑みて、縮小化されたパッケ
ージに対しても当該パッケージを損傷することなくフレ
ーム板から容易に切断分離することができるパッケージ
の切断方法を提供せんとするものである。
An object of the present invention is to provide a package which can be easily cut and separated from a frame plate without damaging the package even in the case of a reduced package in view of the problem in the conventional method of cutting a package. To provide a cutting method.

【0010】この発明の他の目的は、パッケージの切断
に極薄の円盤型回転ブレードを使用し、パッケージをフ
レーム板から有利に切断分離することができるパッケー
ジの切断方法を提供せんとするものである。
Another object of the present invention is to provide a method of cutting a package which can use a very thin disk-shaped rotating blade for cutting the package and can advantageously cut and separate the package from a frame plate. is there.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】前記の目的の達成のた
め、この発明のパッケージの切断方法は、表面を半導体
素子等の実装面とし、裏面に外部接続用のリードとなり
得る微小径のハンダボールからなるピンの多数を突出形
成したパッケージを多面取りして形成された合成樹脂製
のフレーム板からパッケージを個々に切断するに際し、
保持部材上に前記フレームをパッケージ裏面に形成され
たピンが下方となるように載置し、保持部材に保持した
各パッケージの切断時の動きを前記ピンによって規制し
つゝ切断することを特徴とするものである。
In order to achieve the above object, a method of cutting a package according to the present invention is directed to a method for cutting a solder ball having a small diameter which can be used as a surface for mounting a semiconductor element or the like and a lead for external connection is provided on the back surface. When cutting the packages individually from a synthetic resin frame plate formed by taking multiple packages formed by projecting many pins consisting of
The frame is placed on a holding member such that pins formed on the back surface of the package face downward, and the cutting movement of each package held by the holding member is regulated by the pins and cut. Is what you do.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】この発明のパッケージの切断方法
は、合成樹脂製のフレーム板に多面取りされたパッケー
ジをフレーム板から個々に切断分離するに際し、フレー
ム板を所定の保持部材上に載置し、切断時に生ずるパッ
ケージの動きを各パッケージの裏面に設けたピンに依存
して規制しつゝ切断することを最大の特長とするもの
で、このピンによるパッケージの動きの規制手段として
は、たとえば、各パッケージに形成されたピンのすべて
を個々に挿入しうる挿入孔を保持部材に形成し、これら
の挿入孔にフレーム板に形成された各パッケージのすべ
てのピン挿入することによって達成することができる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A package cutting method according to the present invention mounts a frame plate on a predetermined holding member when cutting and separating multiple packages from a frame plate made of a synthetic resin. The greatest feature is that the movement of the package caused at the time of cutting is restricted depending on the pins provided on the back surface of each package and the cutting is performed. As a means for controlling the movement of the package by these pins, for example, This can be achieved by forming insertion holes in the holding member into which all the pins formed in each package can be individually inserted, and inserting all the pins of each package formed in the frame plate into these insertion holes. it can.

【0013】また、他の規制手段としては、フレーム板
に多面取りした各パッケージのピンを一括して嵌入しう
る凹陥部を設けた保持部材を用い、該保持部材の凹陥部
に一括して嵌入されたパッケージのピンの外郭を保持部
材の凹陥部の周壁に近接させることによって達成するこ
とができる。
As another regulating means, a holding member provided with a recessed portion into which the pins of each package, which has been multi-faced, can be collectively fitted into the frame plate is used, and the holding member is collectively fitted into the recessed portion of the holding member. This can be achieved by making the outer contour of the pin of the package provided close to the peripheral wall of the concave portion of the holding member.

【0014】さらに他の規制手段としては、各パッケー
ジに形成したピンを一括して嵌入しうる凹陥部を設ける
と共に、該凹陥部内にパッケージに形成されたピンのコ
ーナー部近傍の3個もしくは4個のピンの間に挿入しう
る突起を少なくとも2ヶ所に形成した保持部材を使用
し、この保持部材の前記突起をコーナー部近傍のピンの
間に挿入することによって達成することができる。
Further, as another restricting means, there is provided a concave portion into which pins formed in each package can be collectively fitted, and three or four pins near the corners of the pins formed in the package are provided in the concave portions. This can be attained by using a holding member having at least two projections which can be inserted between the pins, and inserting the projection of the holding member between the pins near the corners.

【0015】これらのピンに依存したパッケージの動き
の規制は、いずれも保持部材を貫通して設けた真空吸引
孔から各パッケージを真空吸引しながら切断することに
よって、切断時のパッケージの動きの規制を強化してよ
り確実な切断を達成することができる。
The movement of the package depending on these pins is regulated by cutting each package while vacuum-suctioning the package from a vacuum suction hole provided through the holding member. And a more reliable cutting can be achieved.

【0016】フレーム板からの各パッケージの切断に際
しては、円盤型の回転ブレードを使用することができ、
切断の際に生ずる切粉などのダストは、保持部材に別途
に設けた集塵孔から外部に排出しながら切断することが
できる。
When cutting each package from the frame plate, a disk-shaped rotating blade can be used.
Dust such as cuttings generated at the time of cutting can be cut while being discharged to the outside through dust collecting holes separately provided in the holding member.

【0017】[0017]

【作用】この発明のパッケージの切断方法は、BGAか
らなるパッケージを多面取りした合成樹脂製のフレーム
板を保持部材に載置するに際し、各パッケージ裏面に突
出形成した多数のハンダボールからなるピンが前記保持
部材内に突出するようフレームを保持部材に載置するこ
とによって各パッケージの裏面に突出するピンと保持部
材との直接的な、又は間接的な係合によって切断時の動
きを規制しつゝパッケージを切断するもので、これによ
り加圧打ち抜きによるカッティングや表面の実装面を保
持枠部材に設けた凹陥部に密嵌保持してカッティングす
る従来の切断方法に対して切断時のパッケージの動きを
着実に封じてより確実な切断が可能となるものである。
According to the method of cutting a package of the present invention, when mounting a frame made of a synthetic resin, in which a package made of BGA is multi-faced, on a holding member, a plurality of pins formed of a plurality of solder balls protruding from the back of each package are formed. By mounting the frame on the holding member so as to protrude into the holding member, the cutting movement is regulated by direct or indirect engagement between the pin protruding from the back surface of each package and the holding member. This package cuts the package, which reduces the movement of the package during cutting compared to the conventional cutting method, in which cutting by pressure punching or cutting is performed by tightly holding and mounting the mounting surface of the surface in the recess provided in the holding frame member. Steady sealing enables more reliable cutting.

【0018】[0018]

【実施例】以下、この発明のパッケージの切断方法の実
施例を、添付の図面に基づいてより具体的に説明する。
図4〜図6はこの発明のパッケージの切断方法に適用す
る合成樹脂製のフレーム板の一例を示し、フレーム板1
はガラス繊維入りエポキシ樹脂板で形成され、この樹脂
板にBGAからなる9個のパッケージ2,2・・・が多
面取りされている。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view showing a package cutting method according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 4 to 6 show an example of a synthetic resin frame plate applied to the package cutting method of the present invention.
Are made of a glass fiber-containing epoxy resin plate, and nine packages 2, 2,.

【0019】フレーム板1に形成された各パッケージ2
は、樹脂板部2aと、該樹脂板部2aの上面に半導体デ
バイスなどの部品を実装して絶縁保護した絶縁保護部2
b(図4および図6参照)と、樹脂板部2aの下面に設
けたデバイス類の外部への接続のためのリードの役割を
なす多数のハンダボールで形成されたピン2c(図5お
よび図6参照)とからなっている。
Each package 2 formed on the frame plate 1
Are a resin plate portion 2a and an insulating protection portion 2 in which a component such as a semiconductor device is mounted on the upper surface of the resin plate portion 2a for insulation protection.
b (see FIGS. 4 and 6) and a pin 2c (see FIGS. 5 and 5) formed of a large number of solder balls serving as leads for connecting devices provided on the lower surface of the resin plate portion 2a to the outside. 6).

【0020】図4に示すように、フレーム板1の表面の
外周部分には各パッケージ2の切断のための線状のカッ
ティングマーク3,3・・・が形成され、また、各パッ
ケージ2の間の切断すべき部分にも点状のカッティング
マーク4,4・・・が適宜の間隔で形成されており、後
記する円盤形の回転ブレードによるカッティングの際に
これらカッティングマーク3,4をカメラで捉えて自動
切断できるよう構成されている。
As shown in FIG. 4, linear cutting marks 3, 3... For cutting each package 2 are formed on the outer peripheral portion of the surface of the frame plate 1. Are also formed at appropriate intervals in the part to be cut, and these cutting marks 3, 4 are captured by a camera when cutting with a disk-shaped rotating blade described later. It is configured to automatically disconnect.

【0021】図1は前記のフレーム板1と、該フレーム
板1を保持して各パッケージ2,2・・・を個々に切断
するための保持部材5とを示すもので、該保持部材5は
基台となるメイン部材5aと、このメイン部材5aの上
面に載置されるサブ部材5bで構成されている。
FIG. 1 shows the frame plate 1 and a holding member 5 for holding the frame plate 1 and individually cutting each of the packages 2, 2... It is composed of a main member 5a serving as a base and a sub member 5b placed on the upper surface of the main member 5a.

【0022】一方のサブ部材5bには、各パッケージ2
に形成した多数のピン2cのすべてを個々に挿入するこ
とができるよう、前記ピン2cと同数の係合孔6,6・
・・を表面より裏面に向けて貫通させ、パッケージ2の
切断部に該当する部分(前記カッティングマーク4と対
応する部分)にもそれぞれ集塵孔7,7・・が適宜に形
成されている。
Each of the sub-members 5b has a package 2
, So that all of the pins 2c formed therein can be individually inserted.
. Are penetrated from the front surface to the back surface, and dust collecting holes 7, 7,... Are appropriately formed in portions corresponding to the cut portions of the package 2 (portions corresponding to the cutting marks 4).

【0023】他方のメイン部材5aは、上面に載置した
前記サブ部材5bの正規の位置において、当該サブ部材
5bに形成した前記ピン2cの係合孔6の全てを包含し
て真空吸引によってパッケージ2を保持するための広い
開口面積の単一の凹部8と、これに連通する吸引孔9と
をそれぞれ有すると共に、前記サブ部材3bに形成した
集塵孔7に連通してダストを下方に向けて吸引するため
の集塵孔10を別途に設けたものである。
The other main member 5a includes all the engaging holes 6 of the pins 2c formed in the sub member 5b at the regular positions of the sub member 5b mounted on the upper surface, and the package is formed by vacuum suction. 2 has a single concave portion 8 having a wide opening area for holding the nozzle 2 and a suction hole 9 communicating with the concave portion, and communicates with a dust collecting hole 7 formed in the sub-member 3b to direct dust downward. A dust collecting hole 10 for sucking the air is separately provided.

【0024】フレーム板1より各パッケージ2,2・・
・を切断するに際しては、メイン部材5a上に載置した
前記サブ部材5bの各係合孔6,6・・・に、各パッケ
ージ2の裏面に形成されたピン2c,2c・・・のすべ
てを個々に挿入して前記フレーム板1をサブ部材5b上
に保持することによって、フレーム板1はこのピン2c
に依存して切断時に主として水平方向への動きを規制し
て保持部材5に保持される。
Each package 2, 2,...
When cutting the package 2, all the pins 2 c, 2 c,... Formed on the back surface of each package 2 are inserted into the respective engagement holes 6, 6,... Of the sub-member 5 b placed on the main member 5 a. Are inserted individually to hold the frame plate 1 on the sub-member 5b.
When the cutting is performed, the movement in the horizontal direction is mainly regulated at the time of cutting, and is held by the holding member 5.

【0025】同時にフレーム板1は図示しない真空吸引
装置によって、メイン部材5aに形成した前記凹部8よ
り吸引孔9を通じて真空吸引し、主として切断時にパッ
ケージ2が上下に浮き沈みすることがないように保持さ
れる。
At the same time, the frame plate 1 is suctioned by a vacuum suction device (not shown) from the recess 8 formed in the main member 5a through the suction hole 9, and is held mainly so that the package 2 does not rise and fall during cutting. You.

【0026】しかるのち、円盤状の回転ブレード11に
よってフレーム板1から各パッケージ2,2・・・を切
断するのであるが、この切断は、前記のとおりフレーム
板1に形成したカッティングマーク3,4をカメラで捉
えて自動切断するもので、これによって損傷のない状態
で各パッケージ2に確実に切断することができる。な
お、このパッケージの切断は、前記カッティングマーク
3,4のカメラによる自動切断に代えて、他の適宜な手
段によっても達成することができる。
After that, the packages 2, 2,... Are cut from the frame plate 1 by the disk-shaped rotary blade 11, and the cutting is performed by the cutting marks 3, 4 formed on the frame plate 1 as described above. Is cut by a camera and cut automatically, so that each package 2 can be cut reliably without damage. The cutting of the package can be achieved by other appropriate means instead of the automatic cutting of the cutting marks 3 and 4 by a camera.

【0027】図2はこの発明の切断方法に使用する他の
保持部材を示すもので、この保持部材21は、単一の保
持部材で構成されて前記パッケージ2の裏面に形成した
多数のピン2cを一括して嵌め込むことができる凹陥部
22を設け、該凹陥部22の4つのコーナー部のうちの
少なくとも対角をなす一対のコーナー部近傍の底部に鉛
直に一対の係合ピン23,23を設けたものである。
FIG. 2 shows another holding member used in the cutting method of the present invention. The holding member 21 is composed of a single holding member and has a large number of pins 2c formed on the back surface of the package 2. And a pair of engaging pins 23, 23 at the bottom near at least a pair of diagonal corners of the four corners of the concave 22. Is provided.

【0028】この保持部材21の凹陥部22の中央に
は、図示しない真空吸引装置に連通した真空吸引孔24
を設けると共に、この凹陥部22の外周を囲繞して集塵
用の溝25を形成し、この溝25の底部には集塵装置に
連なる集塵孔(いずれも図示せず)に連通しているもの
である。
In the center of the concave portion 22 of the holding member 21, a vacuum suction hole 24 communicating with a vacuum suction device (not shown) is provided.
And a dust collecting groove 25 is formed surrounding the outer periphery of the concave portion 22, and the bottom of the groove 25 communicates with a dust collecting hole (both not shown) connected to the dust collecting device. Is what it is.

【0029】図3に示すように凹陥部22に設ける前記
係合ピン23,23は、パッケージ2の裏面に形成した
多数のピン2cのうちの対向するコーナー部近傍の4個
のピン2c,2c・・・の間に挿入するように構成され
ている。
As shown in FIG. 3, the engaging pins 23 provided in the recess 22 are formed of four pins 2c near the opposing corners among a large number of pins 2c formed on the back surface of the package 2. .. Are inserted between them.

【0030】かゝる保持部材21によるパッケージの切
断は、フレーム板1を各パッケージ2の裏面に形成した
ピン2cを下にして凹陥部22内にピン2cを一括して
嵌め込むよう保持部材21にフレーム板1をセットし、
凹陥部22に形成した一対の係合ピン23,23を対向
するコーナー部近傍の4個のピン2c,2c・・・の間
に挿入することによって切断時のパッケージ2の主とし
て水平方向への動きを規制し、また、真空吸引孔24に
よる真空吸引で主として上下方向への浮き沈みを防止し
て前記と同様の回転ブレードによって確実に切断するこ
とができる。
The package is cut by the holding member 21 such that the pins 2c formed on the back surface of each package 2 of the frame plate 1 face down so that the pins 2c are collectively fitted into the recesses 22. Set the frame board 1 to
By inserting a pair of engaging pins 23 formed in the recessed portion 22 between the four pins 2c, 2c,... In the vicinity of the opposed corners, the package 2 mainly moves in the horizontal direction during cutting. In addition, the vacuum suction through the vacuum suction hole 24 prevents ups and downs mainly in the vertical direction, and the cutting can be surely performed by the same rotary blade as described above.

【0031】なお、前記ピン2cと係合ピン23とによ
るパッケージ2の動きの規制は、前記のように係合ピン
23を4個のピン2c,2c・・の間に挿入することに
よって達成されるが、3個のピン2c・・の間に挿入さ
れるものであってもよく、また、この係合ピン23は、
一括形成された多数のピン2c・・・・の2カ所以上に
設けてもよい。
The movement of the package 2 is regulated by the pins 2c and the engaging pins 23 by inserting the engaging pins 23 between the four pins 2c, 2c as described above. However, the engagement pin 23 may be inserted between the three pins 2c.
May be provided at two or more locations of a large number of pins 2c formed collectively.

【0032】図示は省略するが、図2および図3による
切断方法に準ずる他の方法として、図2の保持部材21
の凹陥部22に前記の係合ピン23,23を形成するこ
となく、図3に示すパッケージ2の裏面に形成された多
数のピン2c,2c・・・のすべてを一括して嵌入する
ことができるが、この凹陥部22の内周壁を最外周に形
成した各ピン2c,2c・・・に接近する程度に狭める
ことにより、この一括して形成されたピン2cの集団の
外郭に依存させることによって、切断時のパッケージの
動きを規制して前記と同様の切断が可能となるものであ
る。
Although not shown, as another method similar to the cutting method shown in FIGS. 2 and 3, the holding member 21 shown in FIG.
Can be collectively fitted without forming the engaging pins 23 in the recessed portion 22 of the package 2 shown in FIG. However, by narrowing the inner peripheral wall of the concave portion 22 so as to approach each of the pins 2c, 2c,... Formed on the outermost periphery, the inner peripheral wall depends on the outer periphery of the collectively formed pins 2c. Thereby, the movement of the package at the time of cutting is regulated, and the same cutting as described above can be performed.

【0033】なお、これらの各切断方法において、パッ
ケージを吸引保持する真空吸引装置はパッケージの切断
時にはオンとなってパッケージを真空吸引し、切断した
製品を保持部材からの取り出しの際にはオフとなるよう
操作することにより、作業性を高めることができる。
In each of these cutting methods, the vacuum suction device for sucking and holding the package is turned on when the package is cut, sucks the package in vacuum, and turned off when the cut product is taken out from the holding member. By performing such an operation, workability can be improved.

【0034】[0034]

【発明の効果】この発明のパッケージの切断方法は、B
GAからなるパッケージを多面取りした合成樹脂製のフ
レーム板から各パッケージを個々に切断分離するに際
し、特定の構造を有する保持部材に前記各パッケージ裏
面に突出形成した多数のハンダボールからなるピンが下
方となるようにして載置し、保持部材と各パッケージに
設けたピンとを直接的又は間接的に係合させることによ
って切断時に生ずるパッケージの動きを規制するので、
煩瑣な作業を要することなく確実な切断を可能としたも
のである。
The method for cutting a package according to the present invention comprises:
When individually cutting and separating each package from a synthetic resin frame plate obtained by taking multiple packages of GA, a plurality of solder balls protrudingly formed on the back surface of each of the packages on a holding member having a specific structure have downward pins. It is placed in such a manner that the movement of the package caused at the time of cutting is regulated by directly or indirectly engaging the holding member and the pin provided on each package,
This enables reliable cutting without complicated work.

【0035】特に、この発明のパッケージの切断方法に
よれば、極薄の円盤型回転ブレードの使用と相俟って縮
小化されたパッケージの切断も容易であり、軽薄短小化
の時代の電子機器類に相応して使用されるパッケージを
歩留りよく得ることができる点で優れたものである。
In particular, according to the method for cutting a package of the present invention, it is easy to cut a package which is reduced in size in combination with the use of an extremely thin disk-shaped rotating blade, and the electronic device in the age of lighter, thinner and smaller size. It is excellent in that a package used corresponding to the type can be obtained with high yield.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明のパッケージの切断方法の一例を示す
フレーム板と保持部材の縦断面図である。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a frame plate and a holding member showing an example of a method of cutting a package according to the present invention.

【図2】この発明のパッケージの他の切断方法に使用す
る保持部材の斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view of a holding member used in another cutting method of the package of the present invention.

【図3】図2の保持部材に適用するフレーム板の一部を
示す裏面図である。
FIG. 3 is a rear view showing a part of a frame plate applied to the holding member of FIG. 2;

【図4】この発明のパッケージの切断方法に適用される
フレーム板の一例を示す平面図である。
FIG. 4 is a plan view showing an example of a frame plate applied to the package cutting method of the present invention.

【図5】図4のフレーム板の裏面図である。FIG. 5 is a rear view of the frame plate of FIG. 4;

【図6】図4のフレーム板の縦断面図である。FIG. 6 is a longitudinal sectional view of the frame plate of FIG. 4;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 フレーム板 2 パッケージ 5,21 保持部材 5a メイン部材 5b サブ部材 11 回転ブレード DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Frame plate 2 Package 5, 21 Holding member 5a Main member 5b Sub member 11 Rotating blade

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 表面を半導体素子等の実装面とし、裏面
に外部接続用のリードとなり得る微小径のハンダボール
からなるピンの多数を突出形成したパッケージを多面取
りして形成された合成樹脂製のフレーム板からパッケー
ジを個々に切断するに際し、保持部材上に前記フレーム
をパッケージ裏面に形成されたピンが下方となるように
載置し、保持部材に保持した各パッケージの切断時の動
きを前記ピンによって規制しつゝ切断することを特徴と
するパッケージの切断方法。
1. A package made of a synthetic resin formed by forming a plurality of packages, each having a surface on which a mounting surface of a semiconductor element or the like is mounted and a large number of pins formed of solder balls having a small diameter which can be used as leads for external connection projected on the rear surface. When individually cutting the packages from the frame plate, the frame is placed on a holding member such that the pins formed on the back surface of the package face down, and the movement of each package held by the holding member when cutting is performed. A method for cutting a package, characterized in that cutting is performed while being restricted by pins.
【請求項2】 前記パッケージの切断が、保持部材に保
持した各パッケージの動きを前記ピンによって規制する
と共に、保持部材に設けた真空吸引孔から各パッケージ
を真空吸引しつゝ切断するものであることを特徴とする
請求項1に記載のパッケージの切断方法。
2. The cutting of the packages is such that the movement of each package held by the holding member is regulated by the pins, and each package is cut by vacuum suction through a vacuum suction hole provided in the holding member. The method for cutting a package according to claim 1, wherein:
【請求項3】 前記保持部材には、各パッケージに形成
された前記ピンのすべてを個々に挿入しうる挿入孔を形
成し、これらの挿入孔にピンを挿入して各パッケージを
保持部材に保持させることによって切断時のパッケージ
の動きを規制することを特徴とする請求項1または2記
載のパッケージの切断方法。
3. The holding member is formed with insertion holes into which all of the pins formed on each package can be individually inserted, and pins are inserted into these insertion holes to hold each package on the holding member. 3. The method of cutting a package according to claim 1, wherein the movement of the package at the time of cutting is regulated.
【請求項4】 前記保持部材には、各パッケージに形成
した前記ピンを一括して嵌入する凹陥部を設けると共
に、該凹陥部の周壁を嵌入した前記ピンの外郭に近接さ
せて切断時のパッケージの動きを規制することを特徴と
する請求項1または2記載のパッケージの切断方法。
4. The package for cutting when the holding member is provided with a recessed portion into which the pins formed in each package are fitted collectively, and the peripheral wall of the recessed portion is brought close to the outer contour of the fitted pin. 3. The method for cutting a package according to claim 1, wherein the movement of the package is regulated.
【請求項5】 前記保持部材には、各パッケージに形成
した前記ピンを一括して嵌入する凹陥部を設け、該凹陥
部内にパッケージに形成されたピンのコーナー部近傍の
3個もしくは4個のピンの間に挿入しうる突起を少なく
とも2ヶ所に形成し、これらの突起をコーナー部近傍の
前記ピンの間に挿入することによって切断時のパッケー
ジの動きを規制するものであることを特徴とする請求項
1または2記載のパッケージの切断方法。
5. The holding member is provided with a concave portion into which the pins formed in each package are fitted at once, and three or four of the pins near the corners of the pins formed in the package are provided in the concave portions. At least two protrusions that can be inserted between the pins are formed, and these protrusions are inserted between the pins near the corners to regulate the movement of the package at the time of cutting. The method for cutting a package according to claim 1.
【請求項6】 前記切断が、円盤形の回転ブレードによ
るものであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか
に記載のパッケージの切断方法。
6. The package cutting method according to claim 1, wherein the cutting is performed by a disk-shaped rotating blade.
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