JPH11291053A - Seam welding equipment - Google Patents

Seam welding equipment

Info

Publication number
JPH11291053A
JPH11291053A JP9896498A JP9896498A JPH11291053A JP H11291053 A JPH11291053 A JP H11291053A JP 9896498 A JP9896498 A JP 9896498A JP 9896498 A JP9896498 A JP 9896498A JP H11291053 A JPH11291053 A JP H11291053A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
lid
roller
guide
seam welding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9896498A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tadahiro Iwatsuki
忠宏 岩月
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Avionics Co Ltd
Original Assignee
Nippon Avionics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Avionics Co Ltd filed Critical Nippon Avionics Co Ltd
Priority to JP9896498A priority Critical patent/JPH11291053A/en
Publication of JPH11291053A publication Critical patent/JPH11291053A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Resistance Welding (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To perform a superior seam welding by a small electric current, even for an increased welding speed, by reducing impact and a pressurizing force when the roller electrode comes into contact with the lid. SOLUTION: An electrode holder 16 is attached, freely vertically movably through a guide 25, to the guide bar 13 of a guide mechanism 11. In addition, a roller electrode 8 is attached to the electrode holder 16 and brought into press-contact with a stopper 27 by a spring 26. When the roller electrode 8 is brought into contact with the lid 5 at the time of seam welding, a load imparted to the lid 5 is only the force from the roller electrode 8, the electrode holder 16 and from the spring 26, and no load is added from the guide bar 13 and the attaching part 22 of the guide mechanism 11, etc., thereby enabling the reduction of the impact against the lid 5 and the pressurizing force from the roller electrode 8.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子、水晶
振動子等のチップを収納したパッケージの開口部に金属
製の蓋(リッド)を自動的にシーム接合するシーム溶接
装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a seam welding apparatus for automatically seam-joining a metal lid to an opening of a package containing a chip such as a semiconductor element and a quartz oscillator.

【0002】[0002]

【従来の技術】シーム溶接装置は、半導体集積回路、ト
ランジスタ、発光ダイオードなどの半導体回路素子や水
晶発振器等のチップをマイクロパラレルシーム接合法
(以下、単にシーム接合法という)によって容器本体に
気密に封止するものである(例:特公平1−38373
号公報、特開昭58−197859号公報、特開平9−
300078号公報等)。
2. Description of the Related Art A seam welding apparatus hermetically seals semiconductor circuit elements such as semiconductor integrated circuits, transistors and light emitting diodes and chips such as crystal oscillators to a container body by a micro parallel seam joining method (hereinafter simply referred to as seam joining method). (For example, Japanese Patent Publication No. 1-38737).
JP-A-58-197859, JP-A-9-197845
No. 3000078).

【0003】このシーム接合装置は、図2および図3
(a)、(b)に示すようにセラミック基板1上に金属
製のシーリングフレーム2をろう付けしたセラミック製
(もしくは全体が金属製)のパッケージ3の内部に水晶
振動子、半導体素子等のチップ4を収納し、このチップ
4と図示しないリードをワイヤで電気的に接続した後、
コバール、42アロイ等からなる金属製のリッド(蓋)
5でパッケージ3の開口部を覆い、スポット溶接により
仮止めする。次に、リッド5が仮止めされたパッケージ
3をシームエリアに搬送してリッド5の対向する、例え
ば長辺側の二辺の一端縁部イに一対のテーパ付きローラ
電極8を一定の加圧力で接触させ、パッケージ3をキャ
リアボード9と共に矢印A方向に一定速度で移動させつ
つ各ローラ電極8に通電(例:8V,140〜180
A)し、この時発生するジュール熱により前記長辺側の
二辺を溶融してシーリングフレーム2にシーム接合す
る。長辺側の二辺のシーム接合が終了すると、ローラ電
極8を一旦上昇させて電極間隔を調整すると共にキャリ
アボード9を図3(b)に示すように水平面内において
90°回転させた後、再びローラ電極8を下降させてリ
ッド5の他の対向する二辺、すなわち短辺側の二辺を同
様にシーム接合することでパッケージ3を気密に封止す
る。
[0003] This seam joining apparatus is shown in Figs.
As shown in FIGS. 1A and 1B, a ceramic (or entirely made of metal) package 3 in which a metal sealing frame 2 is brazed on a ceramic substrate 1 is provided with a chip such as a quartz oscillator or a semiconductor element. After storing the chip 4 and electrically connecting the chip 4 and a lead (not shown) with a wire,
Metal lid (lid) made of Kovar, 42 alloy, etc.
5 covers the opening of the package 3 and is temporarily fixed by spot welding. Next, the package 3 to which the lid 5 is temporarily fixed is conveyed to the seam area, and a pair of tapered roller electrodes 8 are applied to the lid 5 at a constant pressing force, for example, at one end edge A on two long sides of the lid 5. And the roller 3 is energized while moving the package 3 together with the carrier board 9 in the direction of arrow A at a constant speed (for example, 8 V, 140 to 180).
A) Then, the two sides on the long side are melted by Joule heat generated at this time, and are seam-joined to the sealing frame 2. When the seam joining of the two long sides is completed, the roller electrode 8 is once raised to adjust the electrode interval, and the carrier board 9 is rotated 90 ° in a horizontal plane as shown in FIG. The roller 3 is lowered again, and the other two opposite sides of the lid 5, that is, the two short sides are similarly seam-bonded, whereby the package 3 is hermetically sealed.

【0004】前記ローラ電極8を昇降させる電極昇降装
置7は、ガイド機構11と、このガイド機構11を昇降
させる駆動装置としてのエアシリンダ12とを備えてい
る。ガイド機構11は、昇降自在な2個のガイドバー1
3と、これらのガイドバー13をそれぞれ昇降自在に保
持するガイド14と、各ガイドバー13の上下端にそれ
ぞれ取付けられたローラ15および電極保持部16とを
備えている。前記電極保持部16は、前記ガイドバー1
3に固定されたブロック18と、このブロック18に取
付けられ前記ローラ電極8を回転自在に軸支する軸受部
材19とを備え、ローラ電極8に加わるガイド機構11
および電極保持部16の荷重を軽減するためにばね20
によって上方に付勢されている。
The electrode lifting and lowering device 7 for raising and lowering the roller electrode 8 includes a guide mechanism 11 and an air cylinder 12 as a driving device for raising and lowering the guide mechanism 11. The guide mechanism 11 includes two guide bars 1 that can be moved up and down.
3, a guide 14 for holding these guide bars 13 so as to be able to move up and down, and a roller 15 and an electrode holding portion 16 respectively attached to the upper and lower ends of each guide bar 13. The electrode holder 16 is provided with the guide bar 1.
3 and a bearing member 19 attached to the block 18 for rotatably supporting the roller electrode 8, and a guide mechanism 11 applied to the roller electrode 8.
And a spring 20 for reducing the load on the electrode holder 16.
Urged upwards.

【0005】前記エアシリンダ12は、可動ロッド12
Aの先端に取付けられた昇降部材17を備え、この昇降
部材17の上面によって各ガイドバー13のローラ15
を支持している。
The air cylinder 12 includes a movable rod 12
A is provided with a lifting member 17 attached to the tip end of the guide bar 13.
I support.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上記した従来のシーム
溶接装置においては、ガイドバー13の荷重がローラ電
極8に直接加わるため、ローラ電極8をリッド5に接触
させたときの衝撃が大きく、リッド5が位置ずれを起こ
し易いという問題があった。この場合、ばね20のばね
力を大きくすると衝撃を軽減することができるが、あま
り大きくすると、ローラ電極8がリッド5に接触したと
き跳ね上がり、安定な接触状態を得るまでの時間が長く
なるばかりか、ガイドバー13を昇降させるための駆動
力を大きくする必要があるため好ましくない。また、ガ
イド機構11と電極保持部16の荷重によりローラ電極
8のリッド5に対する加圧力が大きくなると、リッド5
とローラ電極8との接触抵抗が小さくなるため、十分な
発熱量が得られず良好なシーム接合が得られなくなる。
そのため、大きな電流を流す必要があるが、ローラ電極
8に大きな電流を流すとリッド5の焼けや接合の制御が
難しく、シーム接合の速度を上げることができなくなる
という問題もあった。
In the conventional seam welding apparatus described above, since the load of the guide bar 13 is directly applied to the roller electrode 8, the impact when the roller electrode 8 is brought into contact with the lid 5 is large, and No. 5 has a problem that it is easy to cause a displacement. In this case, when the spring force of the spring 20 is increased, the impact can be reduced. However, when the spring electrode 20 is too large, the roller electrode 8 jumps up when it comes into contact with the lid 5, and not only does the time required to obtain a stable contact state increase. However, it is not preferable because it is necessary to increase the driving force for raising and lowering the guide bar 13. When the pressing force of the roller electrode 8 on the lid 5 increases due to the load of the guide mechanism 11 and the electrode holding portion 16, the lid 5
The contact resistance between the roller and the roller electrode 8 is reduced, so that a sufficient amount of heat cannot be obtained, and good seam bonding cannot be obtained.
Therefore, it is necessary to supply a large current. However, if a large current is supplied to the roller electrode 8, it is difficult to control burning and joining of the lid 5, and there is a problem that the speed of seam joining cannot be increased.

【0007】そこで、このような問題を解決する方法と
して、例えば上記した特開平9−300078号公報に
開示されたシーム溶接装置が提案されている。このシー
ム溶接装置は、電極部を保持する電極保持部にローラ電
極のリッドへの加圧力を電極部の荷重よりも小さくする
保持機構を設けている。保持機構としては、弾性部材や
バランサーが用いられ、弾性部材の場合は電極保持部と
電極部との間に弾装し、バランサーの場合は電極部を保
持するアームの揺動支点を中心としてローラ電極と対向
する位置に設けている。
Therefore, as a method for solving such a problem, for example, a seam welding apparatus disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-300788 has been proposed. In this seam welding apparatus, a holding mechanism for reducing a pressing force of a roller electrode to a lid to be smaller than a load of an electrode portion is provided in an electrode holding portion for holding an electrode portion. As the holding mechanism, an elastic member or a balancer is used.In the case of the elastic member, the elastic member is mounted between the electrode holding portion and the electrode portion, and in the case of the balancer, the roller is centered on the swing fulcrum of the arm holding the electrode portion. It is provided at a position facing the electrode.

【0008】しかしながら、このような従来のシーム溶
接装置においても、図2に示した従来装置と同様に電極
部自体の重量を軽減するものではないので、電極部を昇
降させたときの慣性が大きく、そのためローラ電極8を
リッド5に接触させた時の衝撃が大きいという問題まで
は解決することができないという問題があった。
However, even in such a conventional seam welding apparatus, since the weight of the electrode section itself is not reduced as in the conventional apparatus shown in FIG. 2, the inertia when the electrode section is raised and lowered is large. Therefore, there is a problem that the problem that the impact when the roller electrode 8 is brought into contact with the lid 5 is large cannot be solved.

【0009】本発明は上記した従来の問題を解決するた
めになされたもので、その目的とするところは、ローラ
電極がリッドに接触したときの衝撃および加圧力を小さ
くすることができ、接合速度を上げても小さな電流で良
好なシーム接合が行えるようにしたシーム溶接装置を提
供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems. It is an object of the present invention to reduce the impact and pressure when a roller electrode comes into contact with a lid, and to reduce the joining speed. It is an object of the present invention to provide a seam welding apparatus capable of performing a good seam joining with a small current even if the height is increased.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、第1の発明は、チップを収納したパッケージの開口
部に金属製のリッドを載置し、このリッドの対向する二
辺を一対のローラ電極によって前記パッケージに同時に
シーム接合するシーム溶接装置において、昇降自在な2
個のガイドバーを有するガイド機構と、前記各ガイドバ
ーを同時に昇降させる駆動装置と、前記各ガイドバーに
それぞれ昇降自在に取付けられた電極保持部とを備え、
この電極保持部に前記ローラ電極を取付けたことを特徴
とする。
According to a first aspect of the present invention, a metal lid is placed in an opening of a package containing a chip, and two opposing sides of the lid are paired with each other. In a seam welding apparatus for simultaneously seam-joining the package by a roller electrode,
A guide mechanism having a plurality of guide bars, a driving device for simultaneously raising and lowering each of the guide bars, and an electrode holding portion attached to each of the guide bars so as to be vertically movable,
The invention is characterized in that the roller electrode is attached to the electrode holder.

【0011】第2の発明は、上記第1の発明において、
電極保持部を下方に付勢する弾性部材を備えたことを特
徴とする。
According to a second aspect, in the first aspect,
An elastic member for urging the electrode holding portion downward is provided.

【0012】第3の発明は、上記第2の発明において、
電極保持部が弾性部材によって圧接されるストッパをガ
イド機構に設けたことを特徴とする。
[0012] In a third aspect based on the second aspect,
The guide mechanism is provided with a stopper in which the electrode holding portion is pressed against the elastic member.

【0013】第1の発明において、ローラ電極はガイド
バーに対して昇降自在に取付けられているので、ガイド
バーがローラ電極に対して荷重とならず、電極部の慣性
を小さくすることができる。したがって、ローラ電極が
リッドに接触したときの衝撃および加圧力は小さい。第
2の発明において、弾性部材は電極保持部を下方に付勢
しているので、ローラ電極がリッドに接触したときの跳
ね上がりが小さく、迅速に安定した接触が得られる。第
3の発明において、ストッパは電極保持部を下限位置に
係止する。
In the first aspect, since the roller electrode is attached to the guide bar so as to be movable up and down, the guide bar does not become a load on the roller electrode, and the inertia of the electrode portion can be reduced. Therefore, the impact and pressure when the roller electrode contacts the lid are small. In the second aspect, since the elastic member urges the electrode holding portion downward, when the roller electrode comes into contact with the lid, the spring does not easily jump up, and stable contact can be obtained quickly. In the third invention, the stopper locks the electrode holding portion at the lower limit position.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係るシ
ーム溶接装置の一実施の形態を示す概略断面図である。
なお、図中、従来技術の欄で説明した構成部材等と同一
のものについては同一の符号をもって示し、その説明を
適宜省略する。図1において、本発明に係るシーム溶接
装置は、ガイド機構11と、このガイド機構11を昇降
させる駆動装置21と、前記ガイド機構11に昇降自在
に取付けられた電極保持部16と、この電極保持部16
によって保持されたローラ電極8とを備え、このローラ
電極8と前記電極保持部16とで電極部を構成してい
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail based on an embodiment shown in the drawings. FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment of the seam welding apparatus according to the present invention.
In the drawings, the same components as those described in the section of the related art are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted as appropriate. In FIG. 1, the seam welding apparatus according to the present invention includes a guide mechanism 11, a driving device 21 for moving the guide mechanism 11 up and down, an electrode holding section 16 attached to the guide mechanism 11 so as to be able to move up and down, Part 16
And the roller electrode 8 and the electrode holding unit 16 constitute an electrode unit.

【0015】前記ガイド機構11は、同一形状からなる
垂直な2個のガイドバー13と、各ガイドバー13をそ
れぞれ昇降自在に保持するガイド14と、各ガイドバー
13の上端にそれぞれ取付けられたローラ15および両
ガイドバー13の下端を連結する水平な取付部22とを
備え、各ガイドバー13によって前記電極部を昇降自在
に保持している。
The guide mechanism 11 includes two vertical guide bars 13 of the same shape, guides 14 for holding the respective guide bars 13 so as to be able to move up and down, and rollers mounted on the upper ends of the respective guide bars 13. 15 and a horizontal mounting portion 22 for connecting the lower ends of both guide bars 13, and each of the guide bars 13 holds the electrode portion so as to be movable up and down.

【0016】前記駆動装置21としては駆動モータが用
いられ、その出力軸23には円板状の偏心カム24が取
付けられ、この偏心カム24の回転によって昇降部材1
7を平行に昇降させると、前記各ガイドバー13が一定
速度で同時に昇降するよう構成されている。ここで、本
実施の形態においては、駆動装置21として駆動モータ
を用いた例を示したが、図2に示した従来装置と同様に
エアシリンダ12を用いてもよい。また、ローラ15は
ガイドバー13側に限らず、昇降部材17側に取付けら
れるものであってもよい。さらに、ローラ15の代わり
にピンを用いたり、あるいはガイドバー13を昇降部材
17に直接固定してもよい。
A drive motor is used as the drive device 21. A disk-shaped eccentric cam 24 is attached to an output shaft 23 of the drive device 21.
When the guide bars 13 are moved up and down in parallel, the guide bars 13 are simultaneously moved up and down at a constant speed. Here, in the present embodiment, an example is shown in which a drive motor is used as the drive device 21, but an air cylinder 12 may be used as in the conventional device shown in FIG. Further, the roller 15 is not limited to the guide bar 13 side, but may be a member attached to the elevating member 17 side. Further, a pin may be used instead of the roller 15, or the guide bar 13 may be directly fixed to the elevating member 17.

【0017】前記電極保持部16は、前記ガイドバー1
3にガイド部材25を介して昇降自在に取付けられたブ
ロック18と、このブロック18に取付けられた軸受部
材19と、電極保持部16を下方に付勢するばね26と
を備えている。ばね26は引張りコイルばねからなり、
一端が前記取付部22に係止され、他端が前記ブロック
18に係止されることにより、前記ブロック18を前記
取付部22の上面に設けたストッパ27に圧接してい
る。ばね26は比較的ばね力の弱いものが用いられ、適
宜な調整手段により電極部の荷重に応じて調整される。
ガイド14,25としては、複数個のボールを備えた市
販のLMガイドが使用される。前記ローラ電極8は、前
記軸受部材19に軸28を介して回転自在に取付けら
れ、図示しない給電ケーブルによって電源に接続されて
いる。
The electrode holder 16 is provided with the guide bar 1.
The block 3 is provided with a block 18 mounted on the block 18 so as to be able to move up and down via a guide member 25, a bearing member 19 mounted on the block 18, and a spring 26 for urging the electrode holding portion 16 downward. The spring 26 comprises a tension coil spring,
One end is locked to the mounting portion 22 and the other end is locked to the block 18 to press the block 18 against a stopper 27 provided on the upper surface of the mounting portion 22. The spring 26 has a relatively low spring force and is adjusted by an appropriate adjusting means in accordance with the load on the electrode portion.
As the guides 14 and 25, commercially available LM guides having a plurality of balls are used. The roller electrode 8 is rotatably mounted on the bearing member 19 via a shaft 28, and is connected to a power supply by a power supply cable (not shown).

【0018】このような構造からなるシーム溶接装置に
おいて、リッド5をシーリングフレーム2に接合する際
には、駆動装置21によってガイド機構11のガイドバ
ー13を下降させ、各ローラ電極8をリッド5の端縁部
に接触させる。この時のリッド5に加わる荷重は、電極
保持部16がガイドバー13に対して昇降自在に取付け
られているので、ガイドバー13、取付部22、ストッ
パ27等の荷重は加わらずローラ電極8と電極保持部1
6の荷重およびばね26のばね力のみである。したがっ
て、昇降時の電極部の慣性が小さく、リッド5に対する
衝撃およびローラ電極8の加圧力は、図2に示した従来
装置に較べて小さい。また、ばね22は電極保持部16
を重力方向に付勢しているので、ローラ電極8がリッド
5に接触したときの跳ね上がりも小さく、リッド5との
安定した接触を迅速に得ることができる。ガイドバー1
3はローラ電極8がリッド5に接触した後もさらに一定
量下降して停止し、ブロック18をばね26に抗してス
トッパ27から離間させる。この状態で、ローラ電極8
に通電しパッケージ3をキャリアボード9と共に紙面と
直交する方向に一定速度で移動させると、ジュール熱に
よりリッド5が溶融してシーリングフレーム2にシーム
接合される。
In the seam welding apparatus having such a structure, when the lid 5 is joined to the sealing frame 2, the guide bar 13 of the guide mechanism 11 is lowered by the driving device 21, and each roller electrode 8 is connected to the lid 5. Touch the edge. At this time, since the load applied to the lid 5 is such that the electrode holding portion 16 is mounted on the guide bar 13 so as to be able to move up and down, the load on the guide bar 13, the mounting portion 22, the stopper 27, etc. is not applied to the roller electrode 8. Electrode holder 1
6 and the spring force of the spring 26 only. Therefore, the inertia of the electrode portion at the time of lifting and lowering is small, and the impact on the lid 5 and the pressing force of the roller electrode 8 are smaller than those of the conventional device shown in FIG. The spring 22 is connected to the electrode holder 16.
Is biased in the direction of gravity, so that when the roller electrode 8 comes into contact with the lid 5, the jump-up is small, and stable contact with the lid 5 can be obtained quickly. Guide bar 1
Reference numeral 3 indicates that after the roller electrode 8 comes into contact with the lid 5, the roller electrode 8 further lowers by a certain amount and stops, and the block 18 is separated from the stopper 27 against the spring 26. In this state, the roller electrode 8
When the package 3 is moved together with the carrier board 9 at a constant speed in a direction perpendicular to the paper surface, the lid 5 is melted by Joule heat and is seam-joined to the sealing frame 2.

【0019】このように本発明においては、ローラ電極
8と電極保持部16とからなる電極部をガイドバー13
に対して昇降自在に取付けているので、ローラ電極8を
リッド5に接触させたとき、ガイドバー13、取付部2
2、ストッパ27等の荷重がリッド5に加わらず、ロー
ラ電極8がリッド5に接触したときの衝撃を軽減するこ
とができる。したがって、仮止めされたリッド5が位置
ずれしたりすることがなく、またリッド5に対する荷重
が小さければリッド5とローラ電極8との接触抵抗を小
さくすることができるので、小さな電流で高速かつ良好
にシーム接合することができる。
As described above, in the present invention, the electrode portion including the roller electrode 8 and the electrode holding portion 16 is connected to the guide bar 13.
When the roller electrode 8 is brought into contact with the lid 5, the guide bar 13 and the mounting portion 2
2. The impact when the roller electrode 8 comes into contact with the lid 5 can be reduced without the load of the stopper 27 or the like being applied to the lid 5. Therefore, the temporarily fixed lid 5 does not shift, and if the load on the lid 5 is small, the contact resistance between the lid 5 and the roller electrode 8 can be reduced. Can be seamed.

【0020】なお、上記した実施の形態においては、電
極保持部16を下方に付勢する弾性部材として、引張り
コイルばね26を用いた例を示したが、本発明はこれに
限らずばね性を有する合成樹脂等であってもよい。ま
た、上記した実施の形態はスポット溶接されたリッド5
をシーム接合する際に用いられるシーム溶接装置に適用
したが、これに限らずリッド5をスポット溶接によって
仮止めする際にも全く同様に使用することができる。
In the above-described embodiment, the example in which the tension coil spring 26 is used as the elastic member for urging the electrode holding portion 16 downward has been described. Synthetic resin or the like. In the above-described embodiment, the lid 5 is spot-welded.
Is applied to a seam welding apparatus used for seam joining. However, the present invention is not limited to this, and the lid 5 can be used in the same manner when the lid 5 is temporarily fixed by spot welding.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るシーム
溶接装置によれば、ローラ電極をリッドに接触させた際
のリッドに加わる荷重を軽減することができるので、リ
ッドに対する衝撃およびローラ電極の加圧力を小さくす
ることができる。したがって、リッドが位置ずれするこ
とがなく、また加圧力が小さければリッドとローラ電極
の接触抵抗が大きくなるので、小さな電流であっても被
接合部を十分に発熱させることができ、高速に接合する
ことができる。さらに、弾性部材によって電極保持部を
下方に付勢しているので、ローラ電極とリッドの安定し
た接触を迅速に得ることができる。
As described above, according to the seam welding apparatus of the present invention, the load applied to the lid when the roller electrode is brought into contact with the lid can be reduced. The pressing force can be reduced. Therefore, there is no displacement of the lid, and if the pressing force is small, the contact resistance between the lid and the roller electrode increases. can do. Further, since the electrode holding portion is urged downward by the elastic member, stable contact between the roller electrode and the lid can be quickly obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明に係るシーム溶接装置の一実施の形態
を示す概略断面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment of a seam welding apparatus according to the present invention.

【図2】 シーム溶接装置の従来例を示す概略断面図で
ある。
FIG. 2 is a schematic sectional view showing a conventional example of a seam welding apparatus.

【図3】 (a)、(b)はシーム接合法を説明するた
めの図である。
FIGS. 3A and 3B are views for explaining a seam joining method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…基板、2…シーリングフレーム、3…パッケージ、
4…チップ、5…リッド、8…ローラ電極、9…キャリ
アボード、11…ガイド機構、12…エアシリンダ、1
3…ガイドバー、14…ガイド、16…保持部、18…
ブロック、19…軸受部材、20…ばね、21…駆動モ
ータ、22…保持部、25…ガイド、26…ばね、27
…ストッパ。
1 ... substrate, 2 ... sealing frame, 3 ... package,
4 ... chip, 5 ... lid, 8 ... roller electrode, 9 ... carrier board, 11 ... guide mechanism, 12 ... air cylinder, 1
3 ... guide bar, 14 ... guide, 16 ... holding part, 18 ...
Block, 19: bearing member, 20: spring, 21: drive motor, 22: holding part, 25: guide, 26: spring, 27
... stopper.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 チップを収納したパッケージの開口部に
金属製のリッドを載置し、このリッドの対向する二辺を
一対のローラ電極によって前記パッケージに同時にシー
ム接合するシーム溶接装置において、 昇降自在な2個のガイドバーを有するガイド機構と、前
記各ガイドバーを同時に昇降させる駆動装置と、前記各
ガイドバーにそれぞれ昇降自在に取付けられた電極保持
部とを備え、この電極保持部に前記ローラ電極を取付け
たことを特徴とするシーム溶接装置。
1. A seam welding apparatus in which a metal lid is placed in an opening of a package containing a chip and two opposite sides of the lid are simultaneously seam-bonded to the package by a pair of roller electrodes. A guide mechanism having two guide bars, a drive device for simultaneously moving the guide bars up and down, and an electrode holding portion attached to each of the guide bars so as to be movable up and down. A seam welding device having electrodes mounted thereon.
【請求項2】 請求項1記載のシーム溶接装置におい
て、 電極保持部を下方に付勢する弾性部材を備えたことを特
徴とするシーム溶接装置。
2. The seam welding apparatus according to claim 1, further comprising an elastic member for urging the electrode holding portion downward.
【請求項3】 請求項2記載のシーム溶接装置におい
て、 電極保持部が弾性部材によって圧接されるストッパをガ
イド機構に設けたことを特徴とするシーム溶接装置。
3. The seam welding apparatus according to claim 2, wherein a stopper is provided on the guide mechanism so that the electrode holding portion is pressed against the elastic member.
JP9896498A 1998-04-10 1998-04-10 Seam welding equipment Pending JPH11291053A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9896498A JPH11291053A (en) 1998-04-10 1998-04-10 Seam welding equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9896498A JPH11291053A (en) 1998-04-10 1998-04-10 Seam welding equipment

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11291053A true JPH11291053A (en) 1999-10-26

Family

ID=14233761

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9896498A Pending JPH11291053A (en) 1998-04-10 1998-04-10 Seam welding equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11291053A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101437614B1 (en) * 2012-12-21 2014-09-05 주식회사 포스코 Scarfing apparatus
KR101481501B1 (en) * 2013-06-26 2015-01-13 주식회사 로보스타 Welding head apparatus for a welding machine

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101437614B1 (en) * 2012-12-21 2014-09-05 주식회사 포스코 Scarfing apparatus
KR101481501B1 (en) * 2013-06-26 2015-01-13 주식회사 로보스타 Welding head apparatus for a welding machine

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4117807B2 (en) Electronic component soldering method
JPH09153525A (en) Bonder and bonding method
JPH11291053A (en) Seam welding equipment
JPH05198621A (en) Mounting device for flip chip integrated circuit
JP4189396B2 (en) Micro parallel seam joining device
JPS62257738A (en) Welder for wire bonding
JP2000225470A (en) Welding head in resistance welding machine
JP2003001428A (en) Device for temporarily welding lid in package sealing
JPH0215272Y2 (en)
JP3415603B2 (en) Package tacking head
JPH1022406A (en) Micro parallel seam bonding equipment
JPH05291354A (en) Bonding device
JP2556918B2 (en) IC component mounting method and apparatus
JPH07297209A (en) Die bonding method
JP4287036B2 (en) Bonding equipment
JP2007175717A (en) Seam welding power source and seam welding method
JPH07335697A (en) Method and apparatus for laser soldering of film carrier
JP2001144429A (en) Ic-soldering method
JPH01194390A (en) Flat package ic packaging device
JP3187977B2 (en) Capillary mounting method and wire bonding apparatus
JP3201275B2 (en) Wire bonding equipment
JP2000077485A (en) Method of mounting electronic components having bump
JPH09148377A (en) Manufacturing method of electronic element and solder block
JPS62147738A (en) Wire bonding apparatus
JPS59195835A (en) Connection of bonding wire of semiconductor device