JPH11288684A - Time-of-flight mass spectrometer - Google Patents

Time-of-flight mass spectrometer

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JPH11288684A
JPH11288684A JP10103873A JP10387398A JPH11288684A JP H11288684 A JPH11288684 A JP H11288684A JP 10103873 A JP10103873 A JP 10103873A JP 10387398 A JP10387398 A JP 10387398A JP H11288684 A JPH11288684 A JP H11288684A
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ion
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ion detection system of a vertical acceleration type time-of-flight mass spectrometer in which the loss of data due to the saturation of an ion detector does not occur even if an ion pulse of high ion strength is incident on the ion detector. SOLUTION: A plurality of microchannel plates (or microsphere plates), to which different voltages V1 , V2 , V3 are applied by a power supply 9 so that they have different secondary electron amplification rates, are arranged as ion detectors 8, and the lacking part of data about dead time derived from the saturation of the microchannel plate (or microsphere plate) of the higher amplification rate when an ion pulse of high ion strength is incident thereon is complemented by data obtained from the microchannel plate (or microsphere plate) of the lower amplification rate.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、飛行時間型質量分
析計に関し、より詳しくは、外部イオン源からイオン溜
に導入されたイオンに対し、高圧パルス電圧を加えるこ
とによってイオンの飛行方向と交差する方向にイオンを
加速させた後、一定の飛行距離を飛行させてイオンの質
量電荷比を分析する垂直加速型飛行時間型質量分析計に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a time-of-flight mass spectrometer, and more particularly, to a technique in which a high-voltage pulse voltage is applied to ions introduced from an external ion source into an ion reservoir to intersect the flight direction of the ions. The present invention relates to a vertical acceleration time-of-flight mass spectrometer that analyzes ions by mass-to-charge ratio after accelerating ions in the direction of flight.

【0002】[0002]

【従来の技術】飛行時間型質量分析計(TOFMS)
は、イオンに同一運動エネルギーUを与えた時、イオン
の質量電荷比M(=m/z)が小さいものほどイオン検
出器に早く到達することを利用して、イオンの分離を行
なっている。イオンの飛行距離Lを飛行するトータルの
時間をtTOF、イオンパルスの幅をΔtとすると、得ら
れるマススペクトルの分解能Rは(1)式で与えられ
る。 R = M/ΔM = tTOF/2Δt (1) tTOF = L√(m/2U) イオンの飛行距離Lが一定ならば、(1)式に従って、
イオンパルス幅Δtが狭いほど分解能Rは高くなる。こ
のため、パルスイオン幅Δtを短くする最も簡便な方法
として、紫外レーザパルスを用いたいわゆるパルスイオ
ン化法が開発されており、これにより、数nsのイオン
パルスを生成させている。このパルスイオン化法に分光
計としてTOFMSを組み合わせた装置として、SIM
S/TOF、SNMS/TOF、及びMALDI/TO
Fがある。
2. Description of the Related Art Time-of-flight mass spectrometers (TOFMS)
Uses the fact that when the same kinetic energy U is applied to ions, the smaller the mass-to-charge ratio M (= m / z) of the ions, the faster the ions arrive at the ion detector. Assuming that the total time of flight over the flight distance L of the ion is t TOF and the width of the ion pulse is Δt, the resolution R of the obtained mass spectrum is given by equation (1). R = M / ΔM = t TOF / 2Δt (1) t TOF = L√ (m / 2U) If the flight distance L of the ion is constant, according to the equation (1),
The smaller the ion pulse width Δt, the higher the resolution R. For this reason, a so-called pulse ionization method using an ultraviolet laser pulse has been developed as the simplest method for shortening the pulse ion width Δt, whereby an ion pulse of several ns is generated. As a device combining TOFMS as a spectrometer with this pulse ionization method, SIM
S / TOF, SNMS / TOF, and MALDI / TO
There is F.

【0003】一方、EI、CI、ESI、及びICPの
ようなイオン化法は、上記のパルスイオン化法に対して
連続イオン化法と呼ばれる。このような連続イオン化法
と組み合わせたTOFMSのひとつとして、垂直加速型
飛行時間型質量分析計(Orthogonal Acceleration TO
FMS:OA/TOF)が提案されている(J.H.J.Dawson
and Guihause, Rapid commu. Mass Spectrom.,
3, (1989), 155)。
On the other hand, ionization methods such as EI, CI, ESI, and ICP are called continuous ionization methods in contrast to the above-mentioned pulse ionization method. One of the TOFMSs combined with the continuous ionization method is a vertical acceleration time-of-flight mass spectrometer (Orthogonal Acceleration TO
FMS: OA / TOF) has been proposed (JHJDawson
and Guihause, Rapid commu. Mass Spectrom.,
3, (1989), 155).

【0004】OA/TOFの模式図を図1に示す。運動
エネルギーeV1で外部イオン源1からイオン溜2に導
入されたイオンビーム3が、長さy0のイオン溜2に充
満すると、イオン押し出しプレート4に高圧パルス電圧
(V2)が加えられ、イオンは飛行方向と垂直の方向
(TOFMSの光軸方向)に運動エネルギーeV2で加
速され、イオン溜より排出されると共に、TOFMS分
光部5を飛行後、イオン検出部6に到達する。イオン検
出器に到達するイオンビームの断面の形状は、イオン溜
の形状を反映した短冊形であり、縦が数cm〜10cm、横
が数mmの幅を持っている。
FIG. 1 shows a schematic diagram of OA / TOF. When the ion beam 3 introduced from the external ion source 1 into the ion reservoir 2 with the kinetic energy eV 1 fills the ion reservoir 2 having the length y 0 , a high-voltage pulse voltage (V 2 ) is applied to the ion pushing plate 4, The ions are accelerated in the direction perpendicular to the flight direction (the direction of the optical axis of the TOFMS) with kinetic energy eV 2 , are discharged from the ion reservoir, and fly through the TOFMS spectroscopy unit 5 and reach the ion detection unit 6. The cross-sectional shape of the ion beam reaching the ion detector is a rectangular shape reflecting the shape of the ion reservoir, and has a width of several cm to 10 cm and a width of several mm.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】イオン検出器は、通
常、面検出器であり、2次電子の走行時間が短く、2次
電子増幅作用を持つマイクロチャンネルプレート(MC
P)またはマイクロスフェアプレート(MSP)が1個
使用される。しかしながら、MCP(又はMSP)は、
イオン強度が大きい(イオン個数が多い)イオンパルス
が入射した場合、2次電子増倍管としての飽和を生じ
る。この飽和を解消できる時間の長短は、そのMCP
(又はMSP)の持つ固有のストリップ電流に支配され
るが、通常、マイクロ秒オーダーを要する。このため、
MCP(又はMSP)の飽和が解消するまでの間、イオ
ン検出器としての不感時間を生じ、この間のスペクトル
測定ができなくなり、データが欠落する。
An ion detector is usually a surface detector and has a short secondary electron transit time and a microchannel plate (MC) having a secondary electron amplifying action.
P) or one microsphere plate (MSP) is used. However, MCP (or MSP)
When an ion pulse having a high ion intensity (a large number of ions) is incident, saturation occurs as a secondary electron multiplier. The length of time over which this saturation can be resolved depends on the MCP
(Or MSP), but is typically dominated by the microsecond order. For this reason,
Until the saturation of the MCP (or MSP) is eliminated, a dead time as an ion detector occurs, during which spectrum measurement cannot be performed and data is lost.

【0006】予め、イオン強度の強いイオンパルスの質
量電荷比(m/z)が判っていれば、そのイオンがイオ
ン検出器に到達する直前直後の短時間にMCP(又はM
SP)への印加電圧を低下及び復元させ、イオン強度の
強いイオンパルスが到達する瞬間だけイオン検出器の2
次電子増幅率を低下させる方法(MCPゲート法)があ
る。この方法は、不感時間を短縮する効果はあるもの
の、未知試料のスペクトルを測定する場合には、予めこ
のような時間予測を行なうことは困難である。
[0006] If the mass-to-charge ratio (m / z) of an ion pulse having a high ion intensity is known in advance, the MCP (or MCP) can be obtained in a short time immediately before the ion reaches the ion detector.
SP), the voltage applied to the ion detector is reduced and restored, and only when the ion pulse having a high ion intensity arrives, 2
There is a method of lowering the secondary electron gain (MCP gate method). Although this method has the effect of shortening the dead time, it is difficult to predict such time in advance when measuring the spectrum of an unknown sample.

【0007】本発明の目的は、上述した点に鑑み、イオ
ン強度の強いイオンパルスがイオン検出器に入射して
も、イオン検出器の飽和によるデータの欠落をもたらさ
ない垂直加速型飛行時間型質量分析計のイオン検出シス
テムを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the foregoing, it is an object of the present invention to provide a vertical acceleration time-of-flight mass that does not cause data loss due to saturation of an ion detector even when an ion pulse having a high ion intensity is incident on the ion detector. An ion detection system for an analyzer is provided.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明にかかる飛行時間型質量分析計は、外部イオ
ン源からイオン溜に導入されたイオンに対し、高圧パル
ス電圧を加えることによってイオンの飛行方向と交差す
る方向にイオンを加速させた後、一定の飛行距離を飛行
させてイオンの質量電荷比を分析する飛行時間型質量分
析計において、異なる2次電子増幅率を持つ複数のマイ
クロチャンネルプレート(又は、マイクロスフェアプレ
ート)をイオン検出器として並べて配置して、イオン強
度の強いイオンパルスが入射した場合の高増幅率のマイ
クロチャンネルプレート(又は、マイクロスフェアプレ
ート)の飽和に由来する不感時間のデータ欠落部分を低
増幅率のマイクロチャンネルプレート(又は、マイクロ
スフェアプレート)から得たデータで補完させることを
特徴としている。
In order to achieve this object, a time-of-flight mass spectrometer according to the present invention provides a high-intensity pulse voltage to ions introduced from an external ion source into an ion reservoir. In a time-of-flight mass spectrometer that accelerates ions in a direction that intersects the flight direction of the ions and then flies a certain flight distance to analyze the mass-to-charge ratio of the ions, a plurality of microelectrodes with different secondary electron amplification factors Channel plates (or microsphere plates) are arranged side by side as ion detectors, and the insensitivity resulting from the saturation of the high-amplification microchannel plates (or microsphere plates) when an ion pulse having a high ion intensity is incident. Microchannel plate (or microsphere plate) with low amplification rate for data missing part of time It is characterized in that is complemented by al obtained data.

【0009】また、外部イオン源からイオン溜に導入さ
れたイオンに対し、高圧パルス電圧を加えることによっ
てイオンの飛行方向と交差する方向にイオンを加速させ
た後、一定の飛行距離を飛行させてイオンの質量電荷比
を分析する飛行時間型質量分析計において、得られたス
ペクトルのS/N比を改善するために、シグナルアベレ
ージャーを用いてスペクトルを積算させることを特徴と
している。
In addition, after applying a high-voltage pulse voltage to the ions introduced from the external ion source into the ion reservoir, the ions are accelerated in a direction intersecting the flight direction of the ions, and then are made to fly a certain flight distance. In a time-of-flight mass spectrometer for analyzing the mass-to-charge ratio of ions, the spectrum is integrated using a signal averager in order to improve the S / N ratio of the obtained spectrum.

【0010】また、外部イオン源からイオン溜に導入さ
れたイオンに対し、高圧パルス電圧を加えることによっ
てイオンの飛行方向と交差する方向にイオンを加速させ
た後、一定の飛行距離を飛行させてイオンの質量電荷比
を分析する飛行時間型質量分析計において、イオンの入
射方向に対して並列に配置された、異なる2次電子増幅
率を持つ複数のマイクロチャンネルプレート(又は、マ
イクロスフェアプレート)と、該プレートからの出力を
プレート毎に増幅させるための複数のプリアンプと、該
プリアンプからの出力をプリアンプ毎にAD変換させる
ための複数のADコンバータと、該ADコンバータから
の出力を一括して処理するためのデータ処理システムと
を備えたことを特徴としている。
[0010] In addition, after a high-voltage pulse voltage is applied to ions introduced into the ion reservoir from an external ion source to accelerate the ions in a direction crossing the flight direction of the ions, the ions are caused to fly for a predetermined flight distance. In a time-of-flight mass spectrometer for analyzing a mass-to-charge ratio of ions, a plurality of microchannel plates (or microsphere plates) having different secondary electron amplification factors arranged in parallel with the direction of incidence of ions are provided. A plurality of preamplifiers for amplifying the output from the plate for each plate, a plurality of A / D converters for performing an A / D conversion of the output from the preamplifier for each preamplifier, and collectively processing the output from the A / D converter And a data processing system for performing the processing.

【0011】また、外部イオン源からイオン溜に導入さ
れたイオンに対し、高圧パルス電圧を加えることによっ
てイオンの飛行方向と交差する方向にイオンを加速させ
た後、一定の飛行距離を飛行させてイオンの質量電荷比
を分析する飛行時間型質量分析計において、前記ADコ
ンバータの後段かつ前記データ処理システムの前段に、
前記複数のADコンバータからの出力をADコンバータ
毎に積算させるための複数のシグナルアベレージャーを
設けたことを特徴としている。
[0011] In addition, by applying a high-voltage pulse voltage to the ions introduced from the external ion source into the ion reservoir, the ions are accelerated in a direction intersecting the flight direction of the ions, and then are caused to fly a certain flight distance. In a time-of-flight mass spectrometer that analyzes the mass-to-charge ratio of ions, after the AD converter and before the data processing system,
A plurality of signal averagers for integrating outputs from the plurality of AD converters for each AD converter are provided.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態を説明する。図2は、本発明にかかる垂直加
速型飛行時間型質量分析計のイオン検出システムを示し
たものである。イオンパルス7は、短冊型のビーム断面
形状を保ったまま、イオン検出器8に入射する。イオン
検出器8は、3個のMCP(又は、MSP)をイオンパ
ルスの形状に合わせて並列に配置したもので、それぞれ
異なるMCP電源(又は、MSP電源)9によって異な
る電圧V1、V2、V3が印加されている。その結果、3
個のMCP(又は、MSP)はそれぞれ異なった2次電
子増幅率を持っている。例えば、2次電子増幅率は、各
々相対的に×1、×10、×100、(又は×1、×1
/10、×1/100)といったように設定される。こ
れは、もちろん×1/3、×1/9、×1/27や×1
/5、×1/10、×1/25のような端数の出る設定
であってもかまわない。要は、複数の異なる2次電子増
幅率を持つように、MCP(又は、MSP)の印加電圧
を設定した並列検出システムを提供することにある。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 2 shows an ion detection system of the vertical acceleration time-of-flight mass spectrometer according to the present invention. The ion pulse 7 is incident on the ion detector 8 while keeping the strip-shaped beam cross-sectional shape. The ion detector 8 has three MCPs (or MSPs) arranged in parallel according to the shape of an ion pulse, and different voltages V 1 , V 2 , V 3 is applied. As a result, 3
Each MCP (or MSP) has a different secondary electron amplification factor. For example, the secondary electron amplification factors are relatively x1, x10, x100, (or x1, x1 respectively).
/ 10, × 1/100). This is, of course, x1 / 3, x1 / 9, x1 / 27 or x1
A setting such as / 5, × 1/10, or × 1/25 may be used. The point is to provide a parallel detection system in which the applied voltage of the MCP (or MSP) is set so as to have a plurality of different secondary electron amplification factors.

【0013】3個のMCP(又は、MSP)には、それ
ぞれプリアンプ10、ADコンバータ11、シグナルア
ベレージャー12が直列に接続されている。そして、3
個のシグナルアベレージャー12は、一括して1台のデ
ータ処理システム13に接続される構成になっている。
A preamplifier 10, an AD converter 11, and a signal averager 12 are connected in series to the three MCPs (or MSPs). And 3
The signal averagers 12 are collectively connected to one data processing system 13.

【0014】このイオン検出システムは次のように動作
する。まず、イオン検出器8からのイオンパルス7の入
射信号は、3個のMCP(又は、MSP)の各々に接続
された3個のプリアンプ10に個別に出力され、プリア
ンプ10の作用によって増幅される。増幅されたアナロ
グの入射信号は、ADコンバータ11においてデジタル
信号に変換される。デジタル化された入射信号は、シグ
ナルアベレージャー12において繰り返し積算され、S
/N比の改善が図られる。飛行時間型質量分析計では、
毎秒50k〜100k回の高速測定が可能なので、この
ような積算によるS/N比の改善は極めて有効である。
S/N比を改善された入射信号は、データ処理システム
13に取り込まれ、種々のデータ処理に供される。
This ion detection system operates as follows. First, the incident signal of the ion pulse 7 from the ion detector 8 is individually output to three preamplifiers 10 connected to each of the three MCPs (or MSPs), and is amplified by the operation of the preamplifier 10. . The amplified analog incident signal is converted into a digital signal in the AD converter 11. The digitized incident signal is repeatedly integrated in the signal averager 12, and S
/ N ratio is improved. In a time-of-flight mass spectrometer,
Since high-speed measurement of 50 to 100 k times per second is possible, such improvement of the S / N ratio by integration is very effective.
The incident signal with the improved S / N ratio is taken into the data processing system 13 and subjected to various data processing.

【0015】イオン検出器自身の飽和に伴う不感時間対
策は次の通りである。図2において、例えば最大の2次
電子増幅率を持つMCP(又は、MSP)が強いイオン
パルスによって飽和した場合、不感時間で欠落した部分
のスペクトルは、より低い2次電子増幅率を持つMCP
(又は、MSP)で得たスペクトルから補完させること
ができる。即ち、より低い2次電子増幅率のMCP(又
は、MSP)で観測したスペクトルは、飽和によるデー
タの欠落がないため、2つのMCP(又は、MSP)間
の2次電子増幅率の比を掛けてやることで、飽和によっ
て欠落したデータ部分を再現でき、データ処理システム
13の処理で、ほぼ完全なスペクトルを再構成させるこ
とができるからである。
The countermeasures against dead time due to saturation of the ion detector itself are as follows. In FIG. 2, for example, when the MCP (or MSP) having the maximum secondary electron amplification factor is saturated by a strong ion pulse, the spectrum of the portion missing in the dead time becomes the MCP having the lower secondary electron amplification ratio.
(Or from MSP). That is, since the spectrum observed with the MCP (or MSP) having a lower secondary electron amplification factor has no data loss due to saturation, multiply the ratio of the secondary electron amplification factor between the two MCP (or MSP). This is because the data portion lost due to the saturation can be reproduced, and almost complete spectrum can be reconstructed by the processing of the data processing system 13.

【0016】この方式は、MSPの場合には、更に有利
な点がある。MSPにおける2次電子増幅率の直線性は
103〜104なので、複数の2次電子増幅率を持つイオ
ン検出系を持つことは、イオン検出部のトータルダイナ
ミックレンジを拡大できる利点があるからである。
This method has further advantages in the case of MSP. Since the linearity of the secondary electron gain in the MSP is 10 3 to 10 4 , having an ion detection system having a plurality of secondary electron gains has the advantage that the total dynamic range of the ion detector can be expanded. is there.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上述べたごとく、本発明の垂直加速型
飛行時間型質量分析計を用いれば、イオン検出器の飽和
に由来するデータの欠落を簡単に補完させることができ
るので、未知試料のマススペクトルを測定する場合で
も、イオン検出器の飽和を気にすることなく測定を行な
うことができる。
As described above, the use of the vertical acceleration time-of-flight mass spectrometer of the present invention makes it possible to easily compensate for the lack of data due to the saturation of the ion detector. Even when measuring a mass spectrum, the measurement can be performed without worrying about saturation of the ion detector.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 従来の垂直加速型飛行時間型質量分析計を示
す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a conventional vertical acceleration time-of-flight mass spectrometer.

【図2】 本発明の垂直加速型飛行時間型質量分析計の
イオン検出システムを示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing an ion detection system of the vertical acceleration time-of-flight mass spectrometer of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・外部イオン源、2・・・イオン溜、3・・・イオンビー
ム、4・・・イオン押し出しプレート、5・・・TOFMS分
光部、6・・・イオン検出部、7・・・イオンパルス、8・・・
イオン検出器、9・・・MCP電源(又は、MSP電
源)、10・・・プリアンプ、11・・・ADコンバータ、1
2・・・シグナルアベレージャー、13・・・データ処理シス
テム。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... External ion source, 2 ... Ion pool, 3 ... Ion beam, 4 ... Ion extrusion plate, 5 ... TOFMS spectroscopy part, 6 ... Ion detection part, 7 ... Ion pulse, 8 ...
Ion detector, 9: MCP power supply (or MSP power supply), 10: Preamplifier, 11: AD converter, 1
2 ... Signal averager, 13 ... Data processing system.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】外部イオン源からイオン溜に導入されたイ
オンに対し、高圧パルス電圧を加えることによってイオ
ンの飛行方向と交差する方向にイオンを加速させた後、
一定の飛行距離を飛行させてイオンの質量電荷比を分析
する飛行時間型質量分析計において、異なる2次電子増
幅率を持つ複数のマイクロチャンネルプレート(又は、
マイクロスフェアプレート)をイオン検出器として並べ
て配置して、イオン強度の強いイオンパルスが入射した
場合の高増幅率のマイクロチャンネルプレート(又は、
マイクロスフェアプレート)の飽和に由来する不感時間
のデータ欠落部分を低増幅率のマイクロチャンネルプレ
ート(又は、マイクロスフェアプレート)から得たデー
タで補完させることを特徴とする飛行時間型質量分析
計。
1. A high-voltage pulse voltage is applied to ions introduced from an external ion source into an ion reservoir to accelerate the ions in a direction crossing the flight direction of the ions.
In a time-of-flight mass spectrometer that analyzes a mass-to-charge ratio of ions by flying over a certain flight distance, a plurality of microchannel plates (or,
A microsphere plate) is arranged side by side as an ion detector, and a microchannel plate with a high amplification factor when an ion pulse with a strong ion intensity is incident (or
A time-of-flight mass spectrometer characterized in that data missing from the dead time due to saturation of the microsphere plate is complemented by data obtained from a microchannel plate (or microsphere plate) having a low amplification factor.
【請求項2】外部イオン源からイオン溜に導入されたイ
オンに対し、高圧パルス電圧を加えることによってイオ
ンの飛行方向と交差する方向にイオンを加速させた後、
一定の飛行距離を飛行させてイオンの質量電荷比を分析
する飛行時間型質量分析計において、得られたスペクト
ルのS/N比を改善するために、シグナルアベレージャ
ーを用いてスペクトルを積算させることを特徴とする請
求項1記載の飛行時間型質量分析計。
2. The method according to claim 2, wherein a high-voltage pulse voltage is applied to the ions introduced into the ion reservoir from an external ion source to accelerate the ions in a direction intersecting the flight direction of the ions.
In a time-of-flight mass spectrometer that analyzes a mass-to-charge ratio of ions by flying over a certain flight distance, the spectrum is integrated using a signal averager in order to improve the S / N ratio of the obtained spectrum. The time-of-flight mass spectrometer according to claim 1, wherein:
【請求項3】外部イオン源からイオン溜に導入されたイ
オンに対し、高圧パルス電圧を加えることによってイオ
ンの飛行方向と交差する方向にイオンを加速させた後、
一定の飛行距離を飛行させてイオンの質量電荷比を分析
する飛行時間型質量分析計において、イオンの入射方向
に対して並列に配置された、異なる2次電子増幅率を持
つ複数のマイクロチャンネルプレート(又は、マイクロ
スフェアプレート)と、該プレートからの出力をプレー
ト毎に増幅させるための複数のプリアンプと、該プリア
ンプからの出力をプリアンプ毎にAD変換させるための
複数のADコンバータと、該ADコンバータからの出力
を一括して処理するためのデータ処理システムとを備え
て成る飛行時間型質量分析計。
3. A high-voltage pulse voltage is applied to ions introduced from an external ion source into an ion reservoir to accelerate the ions in a direction crossing the flight direction of the ions.
In a time-of-flight mass spectrometer that analyzes the mass-to-charge ratio of ions by flying over a certain flight distance, a plurality of microchannel plates with different secondary electron amplification factors arranged in parallel with the direction of ion incidence (Or microsphere plate), a plurality of preamplifiers for amplifying the output from the plate for each plate, a plurality of A / D converters for performing A / D conversion of the output from the preamplifier for each preamplifier, and the A / D converter Time-of-flight mass spectrometer, comprising: a data processing system for batch-processing the output from a computer.
【請求項4】外部イオン源からイオン溜に導入されたイ
オンに対し、高圧パルス電圧を加えることによってイオ
ンの飛行方向と交差する方向にイオンを加速させた後、
一定の飛行距離を飛行させてイオンの質量電荷比を分析
する飛行時間型質量分析計において、前記ADコンバー
タの後段かつ前記データ処理システムの前段に、前記複
数のADコンバータからの出力をADコンバータ毎に積
算させるための複数のシグナルアベレージャーを設けた
ことを特徴とする請求項3記載の飛行時間型質量分析
計。
4. A high-voltage pulse voltage is applied to ions introduced from an external ion source into an ion reservoir to accelerate the ions in a direction crossing the flight direction of the ions.
In a time-of-flight mass spectrometer that analyzes a mass-to-charge ratio of ions by flying over a certain flight distance, outputs from the plurality of AD converters are output to each AD converter at a stage subsequent to the AD converter and at a stage preceding the data processing system. 4. The time-of-flight mass spectrometer according to claim 3, wherein a plurality of signal averagers are provided for integrating the signals.
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