JP4710710B2 - Time-of-flight mass spectrometer - Google Patents

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Description

本発明は、例えばマトリクス支援レーザ脱離イオン化(MALDI=Matrix-assisted Laser Desorption Ionization )飛行時間型質量分析装置(TOFMS=Time of Flight Mass Spectrometer)などの飛行時間型質量分析装置に関する。   The present invention relates to a time-of-flight mass spectrometer such as a matrix-assisted laser desorption ionization (MALDI) time-of-flight mass spectrometer (TOFMS).

飛行時間型質量分析装置として、イオン源にマトリクス支援レーザ脱離イオン化法を用いた質量分析装置(以下、MALDI−TOFMSという)がよく知られている。MALDIでは、レーザ光を吸収しにくい試料やタンパク質などレーザ光で損傷を受けやすい試料を分析するために、レーザ光を吸収し易くイオン化され易いシナピン酸などの物質をマトリクスとして試料に予め混合することでサンプルを調製しておき、これに短時間レーザ光を照射することで試料をイオン化する。   As a time-of-flight mass spectrometer, a mass spectrometer (hereinafter referred to as MALDI-TOFMS) using a matrix-assisted laser desorption ionization method as an ion source is well known. In MALDI, in order to analyze samples that are difficult to absorb laser light and samples that are easily damaged by laser light such as proteins, substances such as sinapinic acid that are easy to absorb laser light and are easily ionized are mixed into the sample in advance as a matrix. A sample is prepared in advance, and the sample is ionized by irradiating it with a laser beam for a short time.

一般にMALDI−TOFMSでは、図3に示すように、薄い平板状のサンプルプレート2の上に複数(多い場合には数百)の検体(サンプル)3をスポット状に設ける(例えば特許文献1など参照)。そして、このサンプルプレート2を水平な試料台の上にセットし、試料台をX軸方向及びY軸方向の二次元的に移動させることで分析対象のサンプルをレーザ光照射位置に移動させる(図3中のPの位置)。そしてレーザ光の照射により、サンプル中の分析目的である試料成分をイオン化させ、発生したイオンを飛行時間型質量分離器で質量分離した後に検出する。1つのサンプルの質量分析が終了したならば、次の分析対象のサンプルをレーザ光照射位置Pに移動させて同様に質量分析を実行する、という操作を繰り返すことで、多数のサンプルについての質量分析を実行することができる。   In general, in MALDI-TOFMS, as shown in FIG. 3, a plurality of (several hundreds if many) specimens (samples) 3 are provided in a spot shape on a thin flat sample plate 2 (see, for example, Patent Document 1). ). Then, the sample plate 2 is set on a horizontal sample stage, and the sample to be analyzed is moved to the laser beam irradiation position by moving the sample stage two-dimensionally in the X-axis direction and the Y-axis direction (see FIG. Position of P in 3). Then, by irradiating the laser beam, the sample component, which is the purpose of analysis in the sample, is ionized, and the generated ions are detected by mass separation with a time-of-flight mass separator. When mass analysis of one sample is completed, mass analysis is performed on a large number of samples by repeating the operation of moving the next sample to be analyzed to the laser light irradiation position P and executing mass analysis in the same manner. Can be executed.

MALDI−TOFMSでは、基本的に、レーザ光照射位置にあるサンプル上面と検出器との間の距離が飛行距離であるから、サンプルプレート2上に搭載された各サンプル3の高さにばらつきがあると飛行距離がばらついて質量(厳密には質量電荷比m/z)の算出誤差の原因となる。こうした観点から、従来、サンプル調製の際にサンプルプレート2上での各サンプルの高さのばらつきを抑える手法が提案されている(特許文献2参照)。
In MALDI-TOFMS, since the distance between the upper surface of the sample at the laser beam irradiation position and the detector is basically the flight distance, the height of each sample 3 mounted on the sample plate 2 varies. causing a calculation error of the flight distance is varied mass (strictly mass-to-charge ratio m / z) and. From such a viewpoint, conventionally, a method of suppressing variation in the height of each sample on the sample plate 2 during sample preparation has been proposed (see Patent Document 2).

しかしながら、サンプルプレートで各サンプルの高さを揃えたとしても、実際には分析するサンプルプレート内でのサンプルの位置によって同一イオン種に対する質量にずれが生じ、質量精度の低下を招くことがある。即ち、サンプルプレートをセットする試料台の上面は完全に水平であることが望ましいが、平面度を高くするほど加工コストが高くなるため、実際上数十μm以下の平面度を達成することは難しい。また、試料台を取り付ける際に上面が水平になるように調整を行うが、調整の限界により完全な水平を保つことは実質的に不可能である。また、仮に試料台の上面が完全に水平であったとしても、サンプルプレートの反りなどの変形によってもサンプル上面の高さはばらつく。こうした様々な要因のために、通常、試料台移動時のレーザ照射位置におけるサンプル上面の上下変動は数十μmから大きい場合には数百μmになる場合がある。
However, in the sample plate even aligned the height of each sample actually lag behind mass for the same ionic species by the position of the sample in the sample plate to be analyzed, causing a reduction in quality Ryosei degree There is. In other words, it is desirable that the upper surface of the sample table on which the sample plate is set is completely horizontal, but since the processing cost increases as the flatness increases, it is actually difficult to achieve a flatness of several tens of μm or less. . Further, when the sample stage is attached, adjustment is performed so that the upper surface is horizontal, but it is practically impossible to maintain perfect level due to the limit of adjustment. Further, even if the upper surface of the sample stage is completely horizontal, the height of the upper surface of the sample varies due to deformation such as warpage of the sample plate. Because of these various factors, the vertical fluctuation of the upper surface of the sample at the laser irradiation position when the sample stage is moved may be several tens μm to several hundreds μm.

特開2002−156382号公報JP 2002-156382 A 特開2004−347524号公報JP 2004-347524 A

上述したようにサンプルプレートの上面の上下変動があると、1枚のサンプルプレート上に用意された複数のサンプルを測定する際に、飛行距離が変わることによって質量にずれが生じることになる。また、サンプルから発生したイオンはサンプルプレートと平行に設置されたイオン引き出し用電極で形成される電場により引き出されるが、サンプル上面の高さがばらつくとイオン引き出し用電極との間の距離が変化し、イオンに与えられる初期運動エネルギーがばらつくことで質量精度を低下させることにもなる。
If there is vertical fluctuations of the upper surface of the sample plate as described above, when measuring a plurality of samples prepared in the one sample plate, so that the deviation occurs in the mass by the flight distance is changed. The ions generated from the sample are extracted by the electric field formed by the ion extraction electrode placed in parallel with the sample plate. However, if the height of the upper surface of the sample varies, the distance from the ion extraction electrode changes. , also it will reduce the quality Ryosei degree by initial kinetic energy imparted to ions varies.

本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、その目的とするところは、上述したような試料台やサンプルプレートの寸法精度や機械的精度の限界の影響を軽減し、質量精度を高めることができる飛行時間型質量分析装置を提供することにある。
The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to reduce the effect of the limitations of dimensional accuracy and mechanical accuracy of the sample stage or sample plate as described above, mass and to provide a time-of-flight mass spectrometer capable of increasing the accuracy.

上記課題を解決するために成された本発明は、試料保持部の試料装着面上に二次元的に配置された複数のサンプルについて、前記試料保持部を試料装着面の延展方向に移動することで分析対象のサンプルを所定の測定位置に移動させ、レーザ照射部からサンプルにレーザ光を照射して該サンプル中の試料成分をイオン化し、該サンプルから発生した各種イオンを引き出して飛行時間型質量分離器に導入し、イオンの質量に応じて分離して検出器により検出する飛行時間型質量分析装置において、
a)前記試料保持部の試料装着面に対向するように配設されたイオン引き出し用電極と、
b)前記試料保持部が移動されたときに、前記レーザ照射部からイオン化時よりも微弱なレーザ光を前記測定位置に来たサンプルに照射し、該サンプル表面からの反射光を受光部で受けてその受光スポットの位置の変位に基づいて、該サンプル表面又はその周囲の試料装着面の、イオン引き出し用電極によるイオン引き出し方向における変位量を検出する変位量検出手段と、
c)前記試料保持部を前記イオン引き出し方向に変位させる変位手段と、
d)前記変位量検出手段による検出結果に応じて、前記測定位置に来たサンプル表面から前記飛行時間型質量分離器を経た前記検出器までの飛行距離を一定にするために、該サンプル表面がイオン引き出し方向における基準位置にくるように前記試料保持部の位置を調整するべく前記変位手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴としている。
The present invention, which has been made to solve the above problems, moves the sample holder in the extending direction of the sample mounting surface for a plurality of samples arranged two-dimensionally on the sample mounting surface of the sample holding unit. The sample to be analyzed is moved to a predetermined measurement position, and the laser component is irradiated with laser light from the laser irradiation unit to ionize sample components in the sample, and various ions generated from the sample are extracted to time-of-flight mass In a time-of-flight mass spectrometer that is introduced into a separator, separated according to the mass of ions and detected by a detector,
a) an ion extracting electrode disposed to face the sample mounting surface of the sample holder;
b) When the sample holder is moved, a laser beam weaker than that during ionization is irradiated from the laser irradiation unit to the sample that has arrived at the measurement position , and reflected light from the sample surface is received by the light receiving unit. Displacement amount detecting means for detecting a displacement amount in the ion extraction direction by the ion extraction electrode on the sample surface or the surrounding sample mounting surface based on the displacement of the position of the light receiving spot ;
c) displacement means for displacing the sample holder in the ion extraction direction;
d) According to the detection result by the displacement detection means, in order to make the flight distance from the sample surface coming to the measurement position to the detector through the time-of-flight mass separator constant, Control means for controlling the displacement means to adjust the position of the sample holder so as to be at a reference position in the ion extraction direction;
It is characterized by having.

変位手段としては大きな変位量は不要であるものの高精度や応答の迅速性が要求さるため、例えばピエゾ素子などを用いたアクチュエータが有用である。
Large displacement amount as the displacement means actuator is a useful using because rapidity of high accuracy and response of what is required is required, for example, a piezoelectric element or the like.

また、試料保持部とは、例えば上述のように複数のサンプルがスポット状にサンプルプレート上に形成される場合にはサンプルプレートであり、また例えば試料台上に載置された平面状に広い検体の中に二次元的に複数の測定点(この場合には測定点をサンプルと言い換える)を設定する場合には試料台である。   The sample holder is a sample plate when, for example, a plurality of samples are formed in a spot shape on the sample plate as described above, and for example, a flat and wide specimen placed on the sample stage. When a plurality of measurement points (in this case, the measurement points are referred to as samples) are set in a two-dimensional manner, it is a sample stage.

また、本発明に係る質量分析装置では、サンプルに含まれる試料成分をイオン化する方法として、MALDIのほか、同様にレーザを用いた、シリコン上脱離イオン化法などの表面支援レーザ脱離イオン化法や、その他の各種レーザイオン化法を用いることができる。
Further, in the mass spectrometer according to the present invention, as a method for ionizing a sample component contained in a sample, in addition to MALDI, a surface-assisted laser desorption ionization method such as a desorption ionization method on silicon, which similarly uses a laser, Various other laser ionization methods can be used.

本発明の飛行時間型質量分析装置では、例えば多数用意されたサンプルの中の分析対象である任意のサンプルが測定位置に移動されると、変位量検出手段がその測定位置に来ているサンプル表面又はその近傍の試料装着面の変位量を検出する。この変位量は例えば予め設定された基準位置に対する差分として表すことができるし、イオン引き出し用電極との間の距離として表すこともできる。試料装着面上のいずれのサンプルが測定位置に来たときにも上記変位量は一定であることが望ましいが、試料装着面の平面度の低さなどの要因により上記変位量は一定とならない場合がある。そこで、制御手段は変位量検出結果を受けて変位手段を駆動することにより試料保持部のイオン引き出し方向における位置が基準位置に来るように変化させ、測定位置にあるサンプル表面と検出器との間の飛行距離が略一定になるように調整する。このような調整の後に、例えばレーザ光が測定位置にあるサンプルに照射されて、該サンプルから発生したイオンの質量分析が実行される。
In the time-of-flight mass spectrometer of the present invention, for example, when an arbitrary sample to be analyzed among a large number of prepared samples is moved to a measurement position, the sample surface on which the displacement amount detection means comes to the measurement position Alternatively, the displacement amount of the sample mounting surface in the vicinity thereof is detected. This amount of displacement can be expressed, for example, as a difference with respect to a preset reference position, or as a distance from the ion extraction electrode. It is desirable that the amount of displacement is constant when any sample on the sample mounting surface comes to the measurement position, but the amount of displacement is not constant due to factors such as low flatness of the sample mounting surface. There is. Therefore, the control means receives the displacement amount detection result and drives the displacement means to change the position of the sample holder in the ion extraction direction so that it comes to the reference position, and between the sample surface at the measurement position and the detector. Adjust the flight distance so that it is almost constant. After such adjustment, for example, a laser beam is irradiated onto the sample at the measurement position, and mass analysis of ions generated from the sample is executed.

この発明に係る飛行時間型質量分析装置によれば、二次元的に広い範囲に散在しているサンプルの質量分析を行う際にそのサンプルの位置に関係なく飛行距離をほぼ一定に保つことができる。また、イオン引き出し用電極との距離が一定になるために該電極による電場によるイオン引き出し作用が常に同じ状態になる。それによって、同一質量のイオンについての飛行時間のばらつきが軽減され、該飛行時間に基づいて算出される質量の誤差を少なくして質量精度を向上させることができる。
According to the time-of-flight mass spectrometer according to the present invention, when performing mass analysis of a sample scattered two-dimensionally in a wide range, the flight distance can be kept substantially constant regardless of the position of the sample. . Further, since the distance from the ion extracting electrode is constant, the ion extracting action by the electric field by the electrode is always in the same state. Thereby, it is reduced variation in flight time for the same quality of the ion, thereby improving the quality Ryosei degree with less error of mass that is calculated based on the flight time.

以下、本発明の一実施例であるMALDI−TOFMSについて図面を参照して説明する。図1は本実施例のMALDI−TOFMSの要部の全体構成図である。   Hereinafter, MALDI-TOFMS which is one Example of this invention is demonstrated with reference to drawings. FIG. 1 is an overall configuration diagram of the main part of the MALDI-TOFMS of this embodiment.

上述したように、薄い平板状のサンプルプレート2の上面には、マトリクスが混合されて調製された多数のサンプル3が二次元的にそれぞれ離してスポット状に付着されている。サンプル3の調製方法は特に限定されない。このサンプルプレート2は上面が略水平である試料台1上にセットされる。試料台1はモータ等を含む試料台駆動部4によりX軸方向、Y軸方向の二次元的に移動可能となっている。   As described above, on the upper surface of the thin flat plate-like sample plate 2, a large number of samples 3 prepared by mixing a matrix are two-dimensionally separated and attached in spots. The method for preparing Sample 3 is not particularly limited. The sample plate 2 is set on a sample table 1 whose upper surface is substantially horizontal. The sample stage 1 can be moved two-dimensionally in the X-axis direction and the Y-axis direction by a sample stage drive unit 4 including a motor and the like.

サンプル3中の試料をイオン化するためのレーザ光7はレーザ照射部6から出射し、反射鏡8を介してサンプルプレート2上の所定位置に照射されるようになっている。試料台1の上方には、レーザ照射位置にあるサンプル3から発生したイオンをその発生位置の近傍から上方に引き出すための電場を形成するイオン引き出し用電極9が試料台1及びサンプルプレート2の上面に対向するように配設されている。このイオン引き出し用電極9の上方には、イオンの広がりを抑えるための静電レンズなどのイオン光学系10と、イオンを飛行させる飛行空間を持つ飛行時間型質量分離器(TOF)13と、TOF13により質量分離されたイオンを検出する検出器14とが、ほぼ一直線上に配置されている。   A laser beam 7 for ionizing the sample in the sample 3 is emitted from the laser irradiation unit 6 and irradiated to a predetermined position on the sample plate 2 via the reflecting mirror 8. Above the sample stage 1, an ion extraction electrode 9 that forms an electric field for extracting ions generated from the sample 3 at the laser irradiation position upward from the vicinity of the generation position is an upper surface of the sample stage 1 and the sample plate 2. It is arrange | positioned so that it may oppose. Above the ion extraction electrode 9, an ion optical system 10 such as an electrostatic lens for suppressing the spread of ions, a time-of-flight mass separator (TOF) 13 having a flight space for flying ions, and a TOF 13 The detector 14 for detecting the ions separated by mass is arranged on a substantially straight line.

即ち、このMALDI−TOFMSの構成では、TOF13はリニア型であり、サンプル3から出射したイオンの飛行経路は図1中の符号Cで示すように鉛直方向に設定されている。但し、TOF13はリニア型に限るものではなく、リフレクトロン型など周知の別の形態にすることができる。   That is, in this MALDI-TOFMS configuration, the TOF 13 is a linear type, and the flight path of the ions emitted from the sample 3 is set in the vertical direction as indicated by the symbol C in FIG. However, the TOF 13 is not limited to the linear type, and may be another known form such as a reflectron type.

検出器14は入射したイオン量に応じた検出信号を出力し、データ処理部15はこの検出信号を受けて各イオンの飛行時間を求め、飛行時間から質量への換算を行う。そして、横軸を質量、縦軸を相対強度とする質量スペクトルを作成する。
Detector 14 outputs a detection signal corresponding to the amount of ions incident, the data processing unit 15 obtains the flight time of each ion by receiving this detection signal, performs conversion to mass from the flight time. Then, to create a mass spectrum of mass on the horizontal axis, the vertical axis and relative intensity.

さらにまた、本実施例のMALDI−TOFMSに特徴的な構成として、測定位置にあるサンプル3の上面の高さの変位量を計測するための変位センサ(本発明における変位検出手段)12と、試料台1(又はサンプルプレート2のみ)をZ軸方向(図1では上下方向)に微小範囲(例えば最大数百μm〜数mm程度)内で移動させる変位駆動部(本発明における変位手段)16と、変位センサ12より計測値を受けて変位駆動部16に制御信号を送る変位補正制御部(本発明における制御手段)17と、が設けられている。   Furthermore, as a characteristic configuration of the MALDI-TOFMS of the present embodiment, a displacement sensor (displacement detecting means in the present invention) 12 for measuring the amount of displacement of the height of the upper surface of the sample 3 at the measurement position, and a sample A displacement drive unit (displacement means in the present invention) 16 for moving the table 1 (or only the sample plate 2) in the minute range (for example, about several hundred μm to several mm at the maximum) in the Z-axis direction (vertical direction in FIG. 1); A displacement correction control unit (control means in the present invention) 17 is provided that receives a measurement value from the displacement sensor 12 and sends a control signal to the displacement drive unit 16.

変位センサ12は非接触型のものであり、微弱なレーザ光を測定位置にあるサンプル3に照射し、サンプル3上面から反射するレーザ光を反射鏡11を介してCCDイメージセンサで受け、そのレーザ光の受光スポットの位置の変位により、Z軸方向のサンプル3上面の変位量を算出する。この変位量は或る基準位置を決めておいて該基準位置に対する相対的な変位量としてもよいし、或いは、位置が固定しているイオン引き出し用電極9との間の距離dに換算してもよい。いずれにしても、例えば試料台1を二次元的に移動させた際に測定位置にきたサンプル3上面の高さが変動すれば、その変動が変位量に反映されて変位補正制御部17に送られる。
Displacement sensor 12 is of non-contact, by irradiating the sample 3 with fine weak laser beam to measure the position to receive the laser light reflected from the sample 3 the upper surface by the CCD image sensor via the reflecting mirror 11, the The amount of displacement of the upper surface of the sample 3 in the Z-axis direction is calculated based on the displacement of the position of the laser light receiving spot. This amount of displacement may be determined as a relative amount of displacement relative to the reference position by determining a certain reference position, or may be converted into a distance d between the ion extraction electrode 9 whose position is fixed. Also good. In any case, for example, if the height of the upper surface of the sample 3 that has come to the measurement position changes when the sample stage 1 is moved two-dimensionally, the change is reflected in the displacement amount and sent to the displacement correction control unit 17. It is done.

また変位駆動部16としては微小な変位が可能であり且つ応答の迅速性が必要であるから、例えばピエゾアクチュエータ等を用いることができる。この場合、変位駆動部16による試料台1のZ軸方向への変位量は変位補正制御部17により与えられる駆動電圧の大きさにより決まる。また、CPUを中心に構成される制御部18は分析動作全体を制御する機能を有し、試料台駆動部4、レーザ照射部6、変位補正制御部17などをそれぞれ制御する。   Further, as the displacement driving unit 16, a minute displacement is possible and a quick response is required, so that, for example, a piezoelectric actuator or the like can be used. In this case, the amount of displacement of the sample stage 1 in the Z-axis direction by the displacement drive unit 16 is determined by the magnitude of the drive voltage applied by the displacement correction control unit 17. A control unit 18 mainly composed of a CPU has a function of controlling the entire analysis operation, and controls the sample stage driving unit 4, the laser irradiation unit 6, the displacement correction control unit 17, and the like.

次に本実施例のMALDI−TOFMSの特徴的な動作を、図2に示す動作フローチャートに従って説明する。制御部18は予め指定された順序でサンプルプレート2上の各サンプル3の分析を遂行するものとする。   Next, a characteristic operation of the MALDI-TOFMS of this embodiment will be described according to an operation flowchart shown in FIG. It is assumed that the control unit 18 performs analysis of each sample 3 on the sample plate 2 in a predetermined order.

まず制御部18は最初の分析対象であるサンプル3が測定位置、つまりレーザ照射位置に来るように試料台駆動部4に制御信号を送る。これにより、試料台駆動部4は試料台1をX軸方向及びY軸方向にそれぞれ適宜移動させて、分析対象のサンプル3を測定位置にセットする(ステップS1)。   First, the control unit 18 sends a control signal to the sample stage driving unit 4 so that the sample 3 to be analyzed first comes to the measurement position, that is, the laser irradiation position. As a result, the sample stage drive unit 4 appropriately moves the sample stage 1 in the X-axis direction and the Y-axis direction, and sets the sample 3 to be analyzed at the measurement position (step S1).

次に、変位センサ12がその時点での測定位置に存在するサンプル3上面のZ軸方向の変位量を計測し、その計測値を変位補正制御部17に送る。ここでは変位量計測値は予め決められた基準値をゼロとしたときの相対量で表すものとする(ステップS2)。変位補正制御部17は変位量計測値を受けると、その変位量をゼロにするための駆動電圧を計算し、変位駆動部16に駆動電圧を印加する。例えば、サンプル3上面の位置が基準位置よりも上にある場合をプラスの変位量、下にある場合をマイナスの変位量と規定し、いま変位量計測値が+Aである場合には、試料台1をAだけ下げるように変位駆動部16を駆動する。上記駆動により試料台1及びサンプルプレート2はZ軸方向に微小移動する(ステップS3)。   Next, the displacement sensor 12 measures the amount of displacement in the Z-axis direction of the upper surface of the sample 3 existing at the measurement position at that time, and sends the measured value to the displacement correction control unit 17. Here, it is assumed that the displacement measurement value is expressed as a relative amount when a predetermined reference value is zero (step S2). When the displacement correction control unit 17 receives the displacement amount measurement value, the displacement correction control unit 17 calculates a drive voltage for making the displacement amount zero, and applies the drive voltage to the displacement drive unit 16. For example, when the position of the upper surface of the sample 3 is above the reference position, it is defined as a positive displacement amount, and when it is below the negative displacement amount, and when the displacement amount measurement value is now + A, The displacement drive unit 16 is driven so that 1 is lowered by A. By the above driving, the sample stage 1 and the sample plate 2 are slightly moved in the Z-axis direction (step S3).

上述のようにして変位補正を行った後に、制御部18はレーザ照射部6に制御信号を送り、サンプル3に対し短時間レーザ光7を照射してサンプル3からイオンを発生させる。発生したイオンはイオン引き出し用電極9により形成されている電場により上方に引き出されて飛行を開始し、イオン光学系10で絞られた後にTOF13に導入されて飛行を続け、質量に応じて遅滞が生じることで分離される。そして質量の小さなイオンほど早く、質量が大きなイオンは遅れて検出器14に到達してそれぞれ検出される。このようにして測定位置にあるサンプル3に対する質量分析が実行される(ステップS4)。
After performing the displacement correction as described above, the control unit 18 sends a control signal to the laser irradiation unit 6 and irradiates the sample 3 with the laser beam 7 for a short time to generate ions from the sample 3. The generated ions started flight is drawn upward by an electric field formed by the ion extraction electrode 9, it continues to fly being introduced into TOF13 after being throttled by the ion optical system 10, delay depending on the mass Will be separated. The fast as smaller ion mass, mass larger ions are detected to reach the detector 14 with a delay. In this way, mass analysis is performed on the sample 3 at the measurement position (step S4).

その後、制御部18は全てのサンプル3の分析が終了したか否かを判定し(ステップS5)、未だ分析すべきサンプル3が残っている場合にはステップS1に戻り、次に分析すべきサンプル3を測定位置に移動させてステップS2〜S4の処理を実行する。このような処理を全てのサンプル3の分析が終了するまで繰り返し、全サンプルの分析が終了したならば処理を終了する。   Thereafter, the control unit 18 determines whether or not the analysis of all the samples 3 has been completed (step S5). If the sample 3 to be analyzed still remains, the process returns to step S1, and the sample to be analyzed next. 3 is moved to the measurement position, and the processes of steps S2 to S4 are executed. Such a process is repeated until the analysis of all the samples 3 is completed. When the analysis of all the samples is completed, the process is terminated.

以上のようにサンプルプレート2上で二次元的に散在した各サンプル3を分析する際に、そのサンプル3が測定位置に来たときに該サンプル3上面の変位量に応じた高さの補正を行うので、どのサンプル3に対してもイオン引き出し用電極9との間の距離dはほぼ一定に維持されることになる。試料台1自体の上面の平面度が良好でない場合、サンプルプレート2に反りなどの変形がある場合、或いはサンプル3の盛り上がりにばらつきがある場合、などのいずれの要因についても上記処理により変位が補正される。   As described above, when each sample 3 scattered two-dimensionally on the sample plate 2 is analyzed, when the sample 3 comes to the measurement position, the height is corrected according to the amount of displacement of the upper surface of the sample 3. As a result, the distance d between the ion extraction electrode 9 and any sample 3 is maintained substantially constant. The displacement is corrected by the above processing for any factors such as the case where the flatness of the upper surface of the sample table 1 itself is not good, the sample plate 2 is deformed such as warpage, or the swell of the sample 3 is uneven. Is done.

これにより、イオンが出発してから検出器14に到達するまでの飛行距離のサンプル毎のばらつきが軽減されるため、質量精度を向上させることができる。また、イオン引き出し用電極9と測定位置にあるサンプル3上面との距離dが一定に保たれることで、サンプル3から発したイオンに対する引き出し電場の作用が一定になり、イオンに与えられる初期運動エネルギーが揃う。したがって、この点でも質量精度の向上に寄与する。 Accordingly, since the variations among samples of flight distance of an ion to reach the detector 14 from the starting is reduced, thereby improving the quality Ryosei degree. Further, since the distance d between the ion extraction electrode 9 and the upper surface of the sample 3 at the measurement position is kept constant, the action of the extraction electric field on the ions emitted from the sample 3 becomes constant, and the initial motion given to the ions I have the energy. Therefore, also contributes to improving the quality Ryosei degree in this regard.

なお、上記実施例では測定位置にきたサンプル3上面の変位量を検出していたが、例えば変位量検出のためのレーザ光を直接サンプル3に照射するのが好ましくない場合には、測定位置付近のサンプルプレート2上面の変位量を検出してもよい。この場合には、各サンプルの盛り上がりのばらつきは補正できないが、一般に、このばらつきは試料台1やサンプルプレート2に起因する変位よりも小さいため、サンプルを避けて変位量を求めてもほぼ同等の効果を達成することができる。   In the above embodiment, the displacement amount of the upper surface of the sample 3 coming to the measurement position is detected. However, for example, when it is not preferable to directly irradiate the sample 3 with laser light for detecting the displacement amount, the vicinity of the measurement position is detected. The amount of displacement of the upper surface of the sample plate 2 may be detected. In this case, the variation in the swell of each sample cannot be corrected. However, in general, this variation is smaller than the displacement caused by the sample stage 1 or the sample plate 2, and therefore, even if the amount of displacement is obtained by avoiding the sample, it is almost the same. The effect can be achieved.

また上記実施例では、水平に載置した試料台1の上にサンプルプレート2を載せて鉛直上方にイオンを引き出す構成としたが、例えば、垂直に起立させた試料台1によりサンプルプレート2を垂直に起立させて保持し、イオンを水平方向に引き出す構成としてもよい。   In the above embodiment, the sample plate 2 is placed on the horizontally placed sample table 1 and ions are extracted vertically upward. For example, the sample plate 2 is vertically moved by the sample table 1 standing upright. It is good also as a structure which stands up and hold | maintains and pulls out an ion in a horizontal direction.

また、上記実施例は本発明をMALDI−TOFMSに適用したものであるが、イオン源はMALDIに限るものではなく、例えばシリコン上脱離イオン化法(Desorption/Ionization on (porous)Silicon:DIOS)などの公知の表面支援レーザ脱離イオン化法(Surface Assisted Laser Desorption/Ionization:SALDI)や、その他の公知のレーザイオン化法によりイオン化を行うものにも適用可能である。 Moreover, although the said Example applies this invention to MALDI-TOFMS, an ion source is not restricted to MALDI, For example, the desorption ionization method (Desorption / Ionization on (porous) Silicon: DIOS) etc. on silicon | silicone etc. The present invention can also be applied to a known surface assisted laser desorption / ionization (SALDI) method and other known ionization methods using a laser ionization method.

さらにまたそれ以外の点においても、本発明の趣旨の範囲で適宜変更や修正、追加を行っても本願特許請求の範囲に包含されることは明らかである。   Further, in other respects, it is obvious that even if changes, corrections and additions are made as appropriate within the scope of the present invention, they are included in the scope of the claims of the present application.

本発明の一実施例によるMALDI−TOFMSの要部の全体構成図。The whole MALDI-TOFMS main part block diagram by one Example of this invention. 本実施例のMALDI−TOFMSにおける特徴的な動作を説明するためのフローチャート。The flowchart for demonstrating the characteristic operation | movement in MALDI-TOFMS of a present Example. MALDI−TOFMSに使用されるサンプルプレートの斜視図。The perspective view of the sample plate used for MALDI-TOFMS.

符号の説明Explanation of symbols

1…試料台
2…サンプルプレート
3…サンプル
4…試料台駆動部
6…レーザ照射部
7…レーザ光
8…反射鏡
9…イオン引き出し用電極
10…イオン光学系
11…反射鏡
12…変位センサ
13…飛行時間型質量分離器(TOF)
14…検出器
15…データ処理部
16…変位駆動部
17…変位補正制御部
18…制御部

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Sample stand 2 ... Sample plate 3 ... Sample 4 ... Sample stand drive part 6 ... Laser irradiation part 7 ... Laser beam 8 ... Reflector 9 ... Ion extraction electrode 10 ... Ion optical system 11 ... Reflector 12 ... Displacement sensor 13 ... Time-of-flight mass separator (TOF)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 14 ... Detector 15 ... Data processing part 16 ... Displacement drive part 17 ... Displacement correction control part 18 ... Control part

Claims (1)

試料保持部の試料装着面上に二次元的に配置された複数のサンプルについて、前記試料保持部を試料装着面の延展方向に移動することで分析対象のサンプルを所定の測定位置に移動させ、レーザ照射部からサンプルにレーザ光を照射して該サンプル中の試料成分をイオン化し、該サンプルから発生した各種イオンを引き出して飛行時間型質量分離器に導入し、イオンの質量に応じて分離して検出器により検出する飛行時間型質量分析装置において、
a)前記試料保持部の試料装着面に対向するように配設されたイオン引き出し用電極と、
b)前記試料保持部が移動されたときに、前記レーザ照射部からイオン化時よりも微弱なレーザ光を前記測定位置に来たサンプルに照射し、該サンプル表面からの反射光を受光部で受けてその受光スポットの位置の変位に基づいて、該サンプル表面又はその周囲の試料装着面の、イオン引き出し用電極によるイオン引き出し方向における変位量を検出する変位量検出手段と、
c)前記試料保持部を前記イオン引き出し方向に変位させる変位手段と、
d)前記変位量検出手段による検出結果に応じて、前記測定位置に来たサンプル表面から前記飛行時間型質量分離器を経た前記検出器までの飛行距離を一定にするために、該サンプル表面がイオン引き出し方向における基準位置にくるように前記試料保持部の位置を調整するべく前記変位手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
For a plurality of samples arranged two-dimensionally on the sample mounting surface of the sample holding unit, the sample to be analyzed is moved to a predetermined measurement position by moving the sample holding unit in the extending direction of the sample mounting surface, The sample is irradiated with laser light from the laser irradiation unit to ionize the sample components in the sample, and various ions generated from the sample are extracted and introduced into the time-of-flight mass separator, and separated according to the mass of the ions. In a time-of-flight mass spectrometer that detects with a detector,
a) an ion extracting electrode disposed to face the sample mounting surface of the sample holder;
b) When the sample holder is moved, a laser beam weaker than that during ionization is irradiated from the laser irradiation unit to the sample that has arrived at the measurement position , and reflected light from the sample surface is received by the light receiving unit. Displacement amount detecting means for detecting a displacement amount in the ion extraction direction by the ion extraction electrode on the sample surface or the surrounding sample mounting surface based on the displacement of the position of the light receiving spot ;
c) displacement means for displacing the sample holder in the ion extraction direction;
d) According to the detection result by the displacement detection means, in order to make the flight distance from the sample surface coming to the measurement position to the detector through the time-of-flight mass separator constant, Control means for controlling the displacement means to adjust the position of the sample holder so as to be at a reference position in the ion extraction direction;
A time-of-flight mass spectrometer.
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