JPH1127961A - Pulse power supply - Google Patents

Pulse power supply

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Publication number
JPH1127961A
JPH1127961A JP9181938A JP18193897A JPH1127961A JP H1127961 A JPH1127961 A JP H1127961A JP 9181938 A JP9181938 A JP 9181938A JP 18193897 A JP18193897 A JP 18193897A JP H1127961 A JPH1127961 A JP H1127961A
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JP
Japan
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pulse
inverter
chargers
capacitor
charger
Prior art date
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Pending
Application number
JP9181938A
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Japanese (ja)
Inventor
Hidetaka Nara
秀隆 奈良
Takehisa Koganezawa
竹久 小金澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Meidensha Corp
Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Meidensha Corp
Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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  • Lasers (AREA)
  • Generation Of Surge Voltage And Current (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pulse power supply, wherein when chargers are connected in parallel, variations in charging voltage is eliminated and the accuracy of pulse current supplied to a load is enhanced. SOLUTION: The control circuit of each charger is provided with a parallel synchronous control circuit which when an operation command is given, starts the operation of an inverter with delay of a separately set time. The delay time is obtained from clock counts counted by a counter CN relative to the operation command and a delay time setting on a preset circuit PS. After the delay time has passed, a frequency dividing circuit DIV starts the operation for generating an inverter operation frequency f, which is obtained as gate signals of the inverter in phases U and Y and in phases V and X from monostable multivibrators MM1 , MM2 .

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、高電圧・大電流の
短パルスを発生するパルス電源に係り、特にエネルギー
蓄積用コンデンサを並列構成の充電器で初期充電するた
めの制御装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pulse power supply for generating short pulses of high voltage and large current, and more particularly to a control device for initially charging an energy storage capacitor with a parallel-structured charger.

【0002】[0002]

【従来の技術】パルスレーザ励起やパルスプラズマ発
生、パルス脱硝装置等のパルス電源として、半導体スイ
ッチと磁気スイッチになる可飽和リアクトル又は可飽和
トランスを組合せたものがある。図5は、半導体スイッ
チと可飽和リアクトルを組み合わせたパルス電源の回路
例を示す。
2. Description of the Related Art As a pulse power supply for a pulse laser excitation, a pulse plasma generation, a pulse denitration apparatus, etc., there is a combination of a semiconductor switch and a saturable reactor or a saturable transformer serving as a magnetic switch. FIG. 5 shows a circuit example of a pulse power supply in which a semiconductor switch and a saturable reactor are combined.

【0003】同図において、初段エネルギー蓄積用コン
デンサC0は、高圧直流電源になる充電器DCHVによ
り初期充電される。GTOで示す半導体スイッチSW
は、初段スイッチにされる。可飽和リアクトルSI
0は、スイッチSWのオンによるコンデンサC0から矢印
で示す経路の放電パルス電流I0に対して、その飽和ま
での遅れでスイッチSWのスイッチング損失を減らす磁
気アシスト手段になる。
[0003] In the figure, the first stage energy storage capacitor C 0 is initially charged by the charger DCHV become high-voltage DC power source. Semiconductor switch SW indicated by GTO
Is the first stage switch. Saturable reactor SI
0, the discharge pulse current I 0 of the route indicated by an arrow from the capacitor C 0 by turning the switch SW, become magnetic assist unit to reduce the switching loss of the switch SW in delay until its saturation.

【0004】パルストランスPTは、放電パルス電流I
0により一次巻線に印加されるパルス電圧を昇圧してコ
ンデンサC1を充電する。可飽和リアクトルSI1は、コ
ンデンサC1の充電が所定レベルまで達したときに飽和
し、低インピーダンスになってコンデンサC1からコン
デンサC2への放電パルス電流I1を発生する磁気パルス
圧縮手段になる。
The pulse transformer PT has a discharge pulse current I
0 boosts the pulse voltage applied to the primary winding by charging the capacitor C 1. Saturable reactors SI 1 is saturated when the charging of the capacitor C1 has reached a predetermined level, the magnetic pulse compression means for generating a discharge pulse current I 1 from the capacitor C 1 to capacitor C 2 becomes low impedance .

【0005】同様に、可飽和リアクトルSI2は、コン
デンサC2の充電でピーキングコンデンサCPへの放電パ
ルス電流I2を発生する磁気パルス圧縮手段になる。
[0005] Similarly, the saturable reactor SI 2 will magnetic pulse compression means for generating a discharge pulse current I 2 to peaking capacitor C P at the charging capacitor C 2.

【0006】ピーキングコンデンサCPは、レーザヘッ
ドLHと共にレーザ発振器を構成したパルス電源の負荷
となり、磁気パルス圧縮されたパルス電流により高圧充
電され、一定電圧までの充電でレーザヘッドLHに放電
パルス電流を供給する。
[0006] peaking capacitor C P becomes a load of the pulse power source to constitute a laser oscillator with the laser head LH, is a high-pressure charged by the magnetic pulse compression pulse current, a discharge pulse current to the laser head LH in charge up to a certain voltage Supply.

【0007】なお、パルス電源の構成は、図5に示すも
のに限らず、パルストランスPTに代えて可飽和トラン
スを用いたもの、さらにトランスを複数段設けたものな
ど種々の変形例がある。
The configuration of the pulse power supply is not limited to the configuration shown in FIG. 5, but includes various modifications such as a configuration using a saturable transformer instead of the pulse transformer PT and a configuration having a plurality of transformers.

【0008】ここで、充電器DCHVは、負荷へのパル
ス電流供給の周期でコンデンサC0を繰り返し充電する
ものであり、その充電精度が負荷に供給するパルス電流
精度を決める。
[0008] Here, the charger DCHV are those with a period of the pulse current supply to the load is repeatedly charges the capacitor C 0, the charging accuracy determines the pulse current accuracy supplied to the load.

【0009】また、パルス電源の容量を大きくするの
に、一般的にはエネルギー蓄積用コンデンサC0の容量
を増大させ、充電器の台数を増してその並列運転を行
う。
Further, to increase the capacity of the pulse power supply, generally increases the capacity of the energy storage capacitor C 0, performs the parallel operation by increasing the number of chargers.

【0010】図6は、2台の充電器の並列運転の場合を
示す。充電器1、2は、充電器1に代表して回路構成を
示すように、インバータINVによりパルス幅固定又は
変調したパルスを発生し、これをトランスTにより昇圧
及び絶縁し、この出力をダイオードブリッジ構成の整流
器DBで整流し、コンデンサC0への充電パルス電流I1
(I2)を発生する。制御回路CNTは、コンデンサC0
の充電指令でインバータINVを運転し、コンデンサC
0の充電電圧が設定値に達したときにインバータINV
を待機状態にする。
FIG. 6 shows a case where two chargers are operated in parallel. The chargers 1 and 2 generate a pulse whose pulse width is fixed or modulated by the inverter INV, boost and insulate the pulse by the transformer T, and connect this output to a diode bridge, as shown in the circuit configuration on behalf of the charger 1. The current is rectified by the rectifier DB having the configuration, and the charging pulse current I 1 to the capacitor C 0 is supplied.
(I 2 ). The control circuit CNT includes a capacitor C 0
The inverter INV is operated by the charge command of
When the charging voltage of 0 reaches the set value, the inverter INV
To the standby state.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】複数台の充電器の並列
構成でコンデンサC0を充電するにおいて、各充電器は
互いに非同期で制御されており、個々の制御回路CNT
が電圧指令値と電圧検出値を比較してその一致で待機状
態に制御する。
In charging the capacitor C 0 in a parallel configuration of a plurality of the charger [0005], each charger is controlled asynchronously with each other, individual control circuit CNT
Compares the voltage command value with the voltage detection value and controls the standby state when the voltage command value matches the voltage command value.

【0012】このため、各充電器が発生するパルス電流
は、充電動作毎に互いに位相が異なると共に変化し、コ
ンデンサC0の充電電圧にバラツキが発生する。このバ
ラツキは、負荷に供給するパルス電流の精度の低下にな
る。
[0012] Therefore, the pulse current the charger occurs varies with different phases for each charging operation, variation occurs in the charge voltage of the capacitor C 0. This variation reduces the accuracy of the pulse current supplied to the load.

【0013】図7は、2台の充電器の出力パルス電流に
位相の違いがある場合の波形を示す。図6の充電器1の
パルス電流I1に対して、充電器2のパルス電流I2に1
80度の位相差があると、その合成電流(I1+I2)は
各周期で最小のエネルギーになる。これに対して、充電
器2のパルス電流I2’がI1と同相になるとき、その合
成電流(I1+I2’)は各周期で最大のエネルギーにな
る。
FIG. 7 shows waveforms when the output pulse currents of the two chargers have a phase difference. The pulse current I 1 of the charger 1 of FIG. 6, the pulse current I 2 of the charger 2 1
If there is a phase difference of 80 degrees, the combined current (I 1 + I 2 ) has the minimum energy in each cycle. On the other hand, when the pulse current I 2 ′ of the charger 2 is in phase with I 1 , the combined current (I 1 + I 2 ′) has the maximum energy in each cycle.

【0014】これら位相の違いにより、コンデンサC0
が設定電圧まで充電されてインバータINVの待機状態
への移行タイミングが異なり、結果的にコンデンサC0
の充電電圧にバラツキが発生する。
Due to these phase differences, the capacitor C 0
Is charged to the set voltage, and the timing at which the inverter INV shifts to the standby state is different. As a result, the capacitor C 0
The charging voltage varies.

【0015】本発明の目的は、充電器を並列構成とする
場合の充電電圧のバラツキを無くし、負荷に供給するパ
ルス電流の精度を高めたパルス電源を提供することにあ
る。
An object of the present invention is to provide a pulse power supply which eliminates variations in charging voltage when the chargers are arranged in parallel and improves the accuracy of a pulse current supplied to a load.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題の解
決を図るため、並列運転する充電器を同期させることに
より、コンデンサの充電電圧のバラツキを無くしたもの
で、以下の構成を特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention eliminates the variation in the charging voltage of the capacitor by synchronizing the chargers operating in parallel, and has the following features. I do.

【0017】インバータと整流器で構成される複数台の
充電器を運転指令が与えられたときに運転開始し、各充
電器から個々に発生する充電電流を合成してコンデンサ
を初期充電し、スイッチの制御によって前記コンデンサ
を放電させてパルス電流を発生し、このパルス電流を磁
気パルス圧縮して負荷に供給するパルス電源において、
前記複数台の充電器は、前記運転指令が与えられたとき
に、個々に設定される時間だけ遅れてインバータの運転
を開始する並列同期制御回路を設けたことを特徴とす
る。
A plurality of chargers constituted by an inverter and a rectifier are started to operate when an operation command is given, a charging current generated individually from each of the chargers is synthesized to initially charge a capacitor, and a switch is operated. A pulse power supply that discharges the capacitor by control to generate a pulse current, and compresses the pulse current into a magnetic pulse and supplies the pulse current to a load.
The plurality of chargers are provided with a parallel synchronization control circuit that starts the operation of the inverter with a delay set individually when the operation command is given.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】図1は、本発明の実施形態を示す
並列同期制御回路図である。この回路は、図6の充電器
1及び2の制御回路CNTにそれぞれ設けられる。
FIG. 1 is a parallel synchronization control circuit diagram showing an embodiment of the present invention. This circuit is provided in each of the control circuits CNT of the chargers 1 and 2 in FIG.

【0019】抑止回路G1は、充電器1、2に共通の運
転指令を取り込み、充電完了信号で運転指令を抑止す
る。D型フリップフロップFF1は、抑止回路G1からの
運転指令を充電器1、2に共通のクロックでデータセッ
トする。
The suppression circuit G 1 receives a common operation command for the chargers 1 and 2 and suppresses the operation command with a charge completion signal. The D-type flip-flop FF 1 sets the operation command from the inhibition circuit G 1 with a clock common to the chargers 1 and 2.

【0020】カウンタCNは、フリップフロップFF1
のデータセットによりクロックの計数を開始し、この計
数開始にはプリセット回路PSによりプリセットされた
値から実行する。D型フリップフロップFF2は、カウ
ンタCNのキャリー信号をクロック入力とし、フリップ
フロップFF1の出力をデータセットする。
The counter CN has a flip-flop FF 1
The counting of the clock is started by the data set described above, and the counting is started from the value preset by the preset circuit PS. D-type flip-flop FF 2 is a carry signal from the counter CN to the clock input, a data set output of the flip-flop FF 1.

【0021】従って、フリップフロップFF2は、フリ
ップフロップFF1のデータセットに対してカウンタC
Nの計数値に応じたクロック時間だけ遅れてデータセッ
トされ、この遅れ時間がプリセット回路PSによるプリ
セット値で決定される。
[0021] Therefore, the flip-flop FF 2, the counter C for the data set of the flip-flop FF 1
Data is set with a delay of a clock time corresponding to the count value of N, and this delay time is determined by a preset value by the preset circuit PS.

【0022】次に、アンドゲートG2は、フリップフロ
ップFF1のデータセットを条件にフリップフロップF
2がデータセットされたことを検出する。分周回路D
IVは、アンドゲートG2の出力でクロックの計数を開
始し、インバータの運転周波数fに一致するデューティ
比50%の分周出力を得る。
Next, the AND gate G 2 sets the flip-flop F on the condition that the data set of the flip-flop FF 1 is set.
F 2 is detected to be the dataset. Dividing circuit D
IV starts counting of the clock at the output of the AND gate G 2, to obtain a divided output of the duty ratio of 50% to match the inverter operation frequency f.

【0023】アンドゲートG3は、フリップフロップF
1のデータセットを条件に、分周回路DIVの出力を
得る。アンドゲートG4は、フリップフロップFF1のデ
ータセットを条件に、論理インバータG5を通して分周
回路DIVの反転出力を得る。
The AND gate G 3 has a flip-flop F
Data sets F 1 on condition to obtain an output of the frequency divider circuit DIV. The AND gate G 4 obtains an inverted output of the frequency dividing circuit DIV through the logical inverter G 5 on condition that the data set of the flip-flop FF 1 is set.

【0024】単安定マルチバイブレータMM1、MM
2は、それぞれアンドゲートG3,G4の出力でトリガさ
れて一定幅のパルス出力を得る。このパルス出力は、図
6のインバータINVのU,Y相とV,X相のゲート信
号にされる。
The monostable multivibrators MM 1 , MM
2 is triggered by the outputs of the AND gates G 3 and G 4 , respectively, to obtain a pulse output having a constant width. This pulse output is used as gate signals of the U and Y phases and the V and X phases of the inverter INV in FIG.

【0025】以上の構成により、分周回路DIVが決定
するインバータの動作信号は、運転指令に対してカウン
タCN等により設定される遅れ時間を有して、かつクロ
ックで規定されるタイミングで発生する。
With the above configuration, the operation signal of the inverter determined by the frequency dividing circuit DIV has a delay time set by the counter CN or the like with respect to the operation command and is generated at the timing specified by the clock. .

【0026】これらの関係は、図2にタイムチャートで
示すようになる。運転指令が与えられたとき(時刻
1)の次のクロックでフリップフロップFF1がデータ
セットされ、これによりカウンタCNが計数を開始し、
プリセット回路PSで設定される値のクロックの計数で
フリップフロップFF2が遅れ時間TD後にデータセット
される。このタイミング(時刻t2)で分周回路DIV
が分周動作を開始し、信号INV(U,Y)の出力を発
生し、論理インバータG5にその反転信号INV(V,
X)を得、単安定マルチバイブレータMMとMM2に1
80度の位相差を持つインバータ運転のゲート信号を得
る。マルチバイブレータMM1、MM2のパルス幅は、イ
ンバータの制御率により決定される。
These relationships are as shown in the time chart of FIG. Flip-flop FF 1 is a data set at the next clock time (time t 1) the operation command is given, thereby the counter CN starts counting,
Flip-flop FF 2 is delayed data set after a time T D by the counting of the clock values that are set by preset circuit PS. At this timing (time t 2 ), the frequency divider DIV
There dividing starts to operate, the signal INV (U, Y) to generate an output, the inverted signal INV (V a logic inverter G 5,
Give X), 1 to monostable multivibrator MM and MM 2
A gate signal for inverter operation having a phase difference of 80 degrees is obtained. The pulse width of the multivibrators MM 1 and MM 2 is determined by the control rate of the inverter.

【0027】インバータの運転により、コンデンサC0
が所期の電圧まで充電されたとき(時刻t3)の充電完
了信号により、抑止回路G1により運転指令が抑止さ
れ、フリップフロップFF1がリセットされる。インバ
ータ運転が停止される。
By the operation of the inverter, the capacitor C 0
When the battery is charged to the desired voltage (time t 3 ), the operation command is suppressed by the suppression circuit G 1 and the flip-flop FF 1 is reset. Inverter operation is stopped.

【0028】以上の構成になる並列同期制御回路は、図
6の両充電器1,2の制御回路CNTに設けられ、カウ
ンタCNのプリセットで設定される遅れ時間TDが充電
器1と2で互いに異なる値にされ、同期したタイミング
でインバータ出力を得る。
The above parallel synchronous control circuit as constituted is provided in the control circuit CNT of both the charger 1 of FIG. 6, the delay time T D set in preset counter CN is in the charger 1 2 The values are made different from each other, and an inverter output is obtained at a synchronized timing.

【0029】この様子は、図3に示すようになり、運転
指令に対して、充電器1のインバータINVが遅れ時間
TD1で運転を開始し、充電器2のインバータINVが
遅れ充電器TD2で運転を開始する。これにより、両充
電器1、2からコンデンサC0への充電電流出力I1,I
2は、常に一定の位相差を持つ同期した出力になる。
[0029] This state is as shown in FIG. 3, with respect to the operation command, to start operation at the inverter INV is delayed time TD 1 charger 1, the inverter INV of the charger 2 is delayed charger TD 2 To start driving. As a result, the charging current outputs I 1 and I 1 from both chargers 1 and 2 to the capacitor C 0 .
2 is a synchronized output that always has a constant phase difference.

【0030】同様に、n台の充電器による同期運転に
は、図4に示すようになり、運転指令に対してn台の充
電器1〜nをそれぞれ遅れ時間TD1〜TDnを持たせて運
転開始し、同期運転を得る。なお、各電流I1〜Inが互
いにオーバラップ期間を持たせる同期運転でも良い。
Similarly, the synchronous operation by the n chargers is as shown in FIG. 4, in which the n chargers 1 to n have delay times T D1 to T Dn , respectively, in response to the operation command. To start operation and obtain synchronous operation. It is also a synchronous operation the current I 1 ~I n is to have the overlap period with each other.

【0031】従って、複数台の充電器によるコンデンサ
0の充電において、各充電器からの出力が常に同期し
ており、並列運転による合成パルス電流ΣIiのエネル
ギーを常に同じにでき、コンデンサC0の充電精度を高
めることができ、ひいては負荷へ供給するパルスエネル
ギーを一定にすることができる。
[0031] Therefore, in charging of the capacitor C 0 by a plurality of chargers, the output has always synchronized from each battery charger, can the energy of the synthesized pulse current .SIGMA.I i by parallel operation always the same, the capacitor C 0 Can be improved, and the pulse energy supplied to the load can be made constant.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上のとおり、本発明によれば、並列運
転する複数台の充電器には運転指令に対して個々に設定
される時間だけ遅れてインバータの運転を開始する並列
同期制御回路を設けたため、合成パルス電流のエネルギ
ーを常に均一にしてコンデンサの充電電圧のバラツキを
無くし、ひいては負荷に供給するパルス電流の精度を高
めることができる。
As described above, according to the present invention, a plurality of chargers operating in parallel are provided with a parallel synchronous control circuit for starting the operation of the inverter with a delay set individually for the operation command. With the provision, the energy of the combined pulse current can be made uniform at all times, and the variation in the charging voltage of the capacitor can be eliminated, and the accuracy of the pulse current supplied to the load can be improved.

【0033】また、並列同期制御回路は、同期制御のた
めの充電器間の接続が不要になるため、充電器の並列運
転台数変更にも回路変更を不要にし、充電器構成のユニ
ット化が容易になる。
Further, the parallel synchronous control circuit does not require connection between chargers for synchronous control, so that it is not necessary to change the circuit when changing the number of parallel operated chargers, and it is easy to unitize the charger configuration. become.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施形態を示すパルス電源の並列同期
制御回路。
FIG. 1 shows a parallel synchronization control circuit of a pulse power supply according to an embodiment of the present invention.

【図2】実施形態のタイムチャート。FIG. 2 is a time chart of the embodiment.

【図3】実施形態における2台の充電器の同期波形。FIG. 3 is a synchronous waveform of two chargers according to the embodiment.

【図4】実施形態におけるn台の充電器の同期波形。FIG. 4 is a synchronous waveform of n chargers in the embodiment.

【図5】パルス電源の回路例。FIG. 5 is a circuit example of a pulse power supply.

【図6】充電器の並列構成例。FIG. 6 is an example of a parallel configuration of a charger.

【図7】2台の充電器の位相の違いによる充電動作波
形。
FIG. 7 shows a charging operation waveform due to a difference in phase between two chargers.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、2…充電器 INV…インバータ DB…整流器 CNT…制御回路 C0…コンデンサ FF1,FF2…フリップフロップ CN…カウンタ PS…プリセット回路 DIV…分周回路 MM1,MM2…単安定マルチバイブレータ1,2 ... charger INV ... Inverter DB ... rectifier CNT ... control circuit C 0 ... capacitor FF 1, FF 2 ... flip-flop CN ... counter PS ... preset circuit DIV ... divider circuit MM 1, MM 2 ... monostable multivibrator

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 インバータと整流器で構成される複数台
の充電器を運転指令が与えられたときに運転開始し、各
充電器から個々に発生する充電電流を合成してコンデン
サを初期充電し、スイッチの制御によって前記コンデン
サを放電させてパルス電流を発生し、このパルス電流を
磁気パルス圧縮して負荷に供給するパルス電源におい
て、 前記複数台の充電器は、前記運転指令が与えられたとき
に、個々に設定される時間だけ遅れてインバータの運転
を開始する並列同期制御回路を設けたことを特徴とする
パルス電源。
An operation is started when a plurality of chargers constituted by an inverter and a rectifier are given an operation command, and a charging current generated individually from each charger is synthesized to initially charge a capacitor. In a pulse power supply that discharges the capacitor under control of a switch to generate a pulse current and compresses the pulse current into a magnetic pulse and supplies the pulse current to a load, the plurality of chargers are configured such that when the operation command is given, And a parallel synchronous control circuit for starting the operation of the inverter with a delay for each set time.
JP9181938A 1997-07-08 1997-07-08 Pulse power supply Pending JPH1127961A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005009090A1 (en) * 2003-07-23 2005-01-27 Sekisui Chemical Co., Ltd. Plasma treating apparatus and its electrode structure

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WO2005009090A1 (en) * 2003-07-23 2005-01-27 Sekisui Chemical Co., Ltd. Plasma treating apparatus and its electrode structure

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