JPH11271751A - Liquid crystal display device and its manufacture - Google Patents

Liquid crystal display device and its manufacture

Info

Publication number
JPH11271751A
JPH11271751A JP10077163A JP7716398A JPH11271751A JP H11271751 A JPH11271751 A JP H11271751A JP 10077163 A JP10077163 A JP 10077163A JP 7716398 A JP7716398 A JP 7716398A JP H11271751 A JPH11271751 A JP H11271751A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
substrate
display
black matrix
forming
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10077163A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akio Suzuki
昭男 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Citizen Watch Co Ltd
Original Assignee
Citizen Watch Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Citizen Watch Co Ltd filed Critical Citizen Watch Co Ltd
Priority to JP10077163A priority Critical patent/JPH11271751A/en
Publication of JPH11271751A publication Critical patent/JPH11271751A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the structure of a liquid crystal display device which has no jaggedness on a screen and a high contrast and can be made lightweight as a cell in two-layered structure, and to provide the manufacturing method for forming the structure. SOLUTION: A color liquid crystal display unit is constituted by stacking a liquid crystal cell for display having liquid crystal sandwiched between substrates having 1st transparent electrodes 21 and a 2nd transparent electrode 22 and a liquid crystal cell for phase correction by the external surface of the 2nd substrate and a 3rd substrate and spacers for holding the gap of the liquid crystal cell for display constant are provided at a black matrix part 61 provided at the peripheral part of a display pixel part on the internal surface of the 2nd substrate and spacers for holding the gap of the cell for phase correction constant are provided on the external surface of the 2nd substrate corresponding to the position of the black matrix part 61.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、カラー液晶表示装
置に係わり、表示用液晶セルと位相補正用液晶セルを一
体で備え、両セルの表示画素部にはスペーサが存在せ
ず、高コントラストで表示性能に優れたカラー液晶表示
装置の構造およびその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color liquid crystal display device, which comprises a liquid crystal cell for display and a liquid crystal cell for phase correction integrally. The present invention relates to a structure of a color liquid crystal display device having excellent display performance and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のカラーSTN(Super Tw
isted Nematic)モードの2層構造液晶表
示セルは電極を有する2枚の一対の基板に液晶を挟持し
てなる表示用液晶セルと、2枚の透明な基板に液晶を挟
持してなる位相補正用液晶セルの組み合わせよりなる4
枚の基板で構成されている。
2. Description of the Related Art A conventional color STN (Super Tw)
A liquid crystal display cell having a two-layer structure in an isotropic nematic mode is a display liquid crystal cell in which liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates having electrodes, and a phase correction liquid crystal in which liquid crystal is sandwiched between two transparent substrates. 4 consisting of a combination of liquid crystal cells
It is composed of two substrates.

【0003】3枚の基板を用いて一体の2層セル構造と
した従来技術として、たとえば特開平9ー160016
号公報にて開示されているように、2層構造のセル体の
製造方法が記載されているが、スペーサを特定する方法
は記載されていない。
As a prior art in which an integrated two-layer cell structure is formed by using three substrates, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-160016 is disclosed.
As disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. H10-264, a method for manufacturing a cell body having a two-layer structure is described, but a method for specifying a spacer is not described.

【0004】スペーサの役割は、液晶セルの間隔を制御
する手段として用いられるものであり、一般的に使用さ
れるスペーサは球状の物が多く、液晶セル間隔を均一に
保持するために適切な強度と精密な寸法精度を有するシ
リカビーズや黒ビーズが用いられ、配向処理が施された
配向膜上に適正量をランダムに散布する方法が採られて
いる。
The role of the spacer is used as a means for controlling the distance between the liquid crystal cells. Generally used spacers are often spherical, and have an appropriate strength to maintain the liquid crystal cell distance uniformly. In addition, silica beads or black beads having precise dimensional accuracy are used, and a method of randomly dispersing an appropriate amount on an alignment film that has been subjected to an alignment treatment is employed.

【0005】2層構造液晶表示セルの第1の表示用液晶
セルのセル内間隔を均一に形成するための従来技術とし
ては、電極を有する2枚の基板のいずれか一方の基板に
粒径の揃った球状のスペーサをランダムに散布した後、
シール剤を介して2枚の基板を貼り合わせて、2枚の基
板の間隔を均一に形成する手段がとられている。
[0005] As a conventional technique for uniformly forming the inter-cell spacing of the first display liquid crystal cell of the two-layer liquid crystal display cell, one of two substrates having electrodes has a particle size. After randomly scattering uniform spherical spacers,
Means is employed in which two substrates are bonded via a sealant to form a uniform gap between the two substrates.

【0006】また、第2の位相補正用液晶セルのセル内
間隔を均一に形成するための従来技術としても、2枚の
基板のいずれか一方の基板に粒径の揃った球状のスペー
サをランダムに散布した後、シール剤を介して2枚の基
板を貼り合わせて、2枚の基板の間隔を均一に形成する
手段がとられている。
Further, as a conventional technique for uniformly forming the inter-cell spacing of the second phase correction liquid crystal cell, a spherical spacer having a uniform particle size is randomly formed on one of the two substrates. Then, the two substrates are bonded together via a sealant to form a uniform spacing between the two substrates.

【0007】上述した従来の手段で表示用液晶セルと位
相補正用液晶セルの両セルを形成した場合、スペーサを
ランダムに散布するため、図4におけるA層、B層に示
すように、表示画素部にもスペーサが配置される。この
ようにスペーサが表示画素部に存在すると、スペーサの
周辺部が配向しないために画質の低下やコントラストの
低下を生じる。
When both the display liquid crystal cell and the phase correction liquid crystal cell are formed by the above-described conventional means, spacers are randomly dispersed. A spacer is also arranged at the portion. When the spacer is present in the display pixel portion, the peripheral portion of the spacer is not oriented, so that the image quality and the contrast are reduced.

【0008】ここで、従来の手段で形成される2層構造
セルの構造と製造方法について、図4を用いて以下に説
明する。
Here, the structure and manufacturing method of a two-layer cell formed by conventional means will be described below with reference to FIG.

【0009】まず、図4のA層に示す表示用液晶セルを
作成するために、第2の基板12上にブラックマトリッ
クス61、カラーフィルタ51R、G、B、オーバーコ
ート膜41、透明導電膜を積層形成した後、透明電極2
2をフォトリソグラフィ法でパターン形成する。
First, a black matrix 61, color filters 51R, G and B, an overcoat film 41, and a transparent conductive film are formed on a second substrate 12 in order to form a display liquid crystal cell shown in layer A of FIG. After lamination, the transparent electrode 2
2 is formed by photolithography.

【0010】一方、第1の基板11にも透明導電膜を形
成した後、透明電極21を同様にフォトリソグラフィ法
でパターン形成する。
On the other hand, after a transparent conductive film is also formed on the first substrate 11, the transparent electrode 21 is similarly patterned by photolithography.

【0011】その後、第1の基板11と第2の基板12
の透明電極上に液晶を配向させるための配向膜31、3
2を印刷法で形成し、ラビング法により両配向膜に配向
処理を施す。
Thereafter, the first substrate 11 and the second substrate 12
Alignment films 31 and 3 for aligning liquid crystal on transparent electrodes
2 is formed by a printing method, and both alignment films are subjected to an alignment treatment by a rubbing method.

【0012】つぎに、第1の基板の透明電極を有する基
板上に、液晶を封じるためのシール剤91を印刷形成し
た後、第2の基板の配向膜32上に球状のスペーサ81
aをランダムに散布して、両基板を重ね合わせた後、液
晶を注入することにより図4のA層に示す表示用液晶セ
ルが作成できる。
Next, after a sealant 91 for sealing liquid crystal is formed by printing on the first substrate having a transparent electrode, a spherical spacer 81 is formed on the alignment film 32 of the second substrate.
The liquid crystal cell for display shown in the layer A of FIG. 4 can be prepared by injecting a liquid crystal after the two substrates are overlapped by spraying a at random.

【0013】しかし、この表示用液晶セルのSTN液晶
表示装置は液晶の複屈折効果を利用するため、干渉色に
よる着色が避けられず、青色味や黄緑色味を帯びてしま
う。この青色味や黄緑色味を消去するための役割を果た
すのが位相補正用液晶セルである。
However, the STN liquid crystal display device of this display liquid crystal cell utilizes the birefringence effect of the liquid crystal, so that it is unavoidable that it is colored by interference colors, giving it a bluish or yellow-green tint. The liquid crystal cell for phase correction plays a role for eliminating the blue tint or yellowish green tint.

【0014】つぎに、図4のB層に示す位相補正用液晶
セルの作成方法について簡単に説明する。
Next, a brief description will be given of a method of forming the liquid crystal cell for phase correction shown in the layer B of FIG.

【0015】まず、第3と第4の透明な基板13、14
の内表面となる基板面に液晶を配向させるための配向膜
33、34を印刷法で形成し、ラビング法により両配向
膜に配向処理を施す。
First, the third and fourth transparent substrates 13 and 14
The alignment films 33 and 34 for aligning the liquid crystal are formed on the substrate surface serving as the inner surface of the substrate by a printing method, and the alignment processing is performed on both alignment films by a rubbing method.

【0016】つぎに、第3の基板13の内表面となる基
板上に、液晶を封じるためのシール剤92を印刷形成す
る。その後、第4の基板14の配向膜34上に球状のス
ペーサ82aをランダムに散布して、両基板を重ね合わ
せた後、液晶を注入することにより図4のB層に示す位
相補正用液晶セルが作成できる。
Next, a sealant 92 for sealing the liquid crystal is formed on the substrate serving as the inner surface of the third substrate 13 by printing. Thereafter, spherical spacers 82a are randomly scattered on the alignment film 34 of the fourth substrate 14, the two substrates are overlapped, and a liquid crystal is injected, whereby a liquid crystal cell for phase correction shown in the B layer of FIG. Can be created.

【0017】[0017]

【発明が解決しようとする課題】このように従来の手段
で作成した、表示用液晶セルのA層と、位相補正用液晶
セルのB層とを重ねた2層構造のSTN液晶表示装置
は、スペーサが表示画素部にランダムに存在し、スペー
サの周辺部が配向しないため画質の低下やコントラスト
の低下を生じる。
As described above, the STN liquid crystal display device having a two-layer structure in which the layer A of the display liquid crystal cell and the layer B of the liquid crystal cell for phase correction are formed by the conventional means, is as follows. Since the spacers are randomly present in the display pixel portion and the peripheral portions of the spacers are not oriented, the image quality and the contrast are reduced.

【0018】〔発明の目的〕本発明の目的は、上記課題
を解決して、画面のザラツキが無く、高コントラスト
で、2層構造のセルとしては軽量化が可能な液晶表示装
置の構造と、この構造を形成するための製造方法を提供
することにある。
[Object of the Invention] An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, to provide a liquid crystal display device having a high contrast without a screen roughness and a light weight as a two-layer structure cell. It is to provide a manufacturing method for forming this structure.

【0019】[0019]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の液晶表示装置の構造と、この構造を形成す
るための製造方法とは、下記記載の手段を採用する。
In order to achieve the above object, the structure of a liquid crystal display device of the present invention and a manufacturing method for forming the structure employ the following means.

【0020】本発明の液晶表示装置は、第1の透明電極
と第2の透明電極を有する基板で液晶を挟持した表示用
液晶セルと、第2の基板の外表面と第3の基板で位相補
正用液晶セルとを積層したカラー液晶表示器であって、
表示用液晶セルの間隔を一定に保持するためのスペーサ
ーを、第2の基板の内表面の表示画素部周辺部に設ける
ブラックマトリクス部に備え、その第2の基板のブラッ
クマトリクス部の位置に対応する外表面の箇所に位相補
正用セルの間隔を一定に保持するためのスペーサとを備
える。
The liquid crystal display device according to the present invention comprises a display liquid crystal cell in which liquid crystal is sandwiched between substrates having first and second transparent electrodes, and a phase shift between an outer surface of the second substrate and the third substrate. A color liquid crystal display laminated with a correction liquid crystal cell,
Spacers for keeping the distance between the display liquid crystal cells constant are provided in the black matrix portion provided around the display pixel portion on the inner surface of the second substrate, and correspond to the position of the black matrix portion on the second substrate. And a spacer for keeping the interval between the phase correction cells constant at a position on the outer surface to be formed.

【0021】本発明の液晶表示装置の製造方法は、第2
の基板にブラックマトリックスとカラーフィルタとオー
バーコート膜と透明電極とを形成する工程と、第1の基
板と第2の基板に配向膜を形成し、液晶を配向させるた
めの配向処理を施す工程と、第2の基板に感光性樹脂を
塗布する工程と、フォトマスクを用いて感光性樹脂に紫
外線を照射して未露光部を溶解する工程と、第1の基板
と第2の基板に挟持される液晶層の間隔を一定に保持す
るための複数のフォトリソスペーサを、第2の基板の内
表面の表示画素部周辺部に設けるブラックマトリックス
部に形成し、第1の基板と第2の基板を重ね合わせて第
1の液晶層を形成する工程と、上記第1の液晶層を有す
る第2の基板の外表面と第3の基板とに配向膜を形成
し、液晶を配向させるための配向処理を施し、該第2の
基板の外表面に感光性樹脂を塗布する工程と、フォトマ
スクを用いて感光性樹脂に紫外線を照射して未露光部を
溶解する工程と、第2の基板と第3の基板に挟持される
液晶層の間隔を一定に保持するための複数のフォトリソ
スペーサを、第2の基板のブラックマトリックス部の位
置に対応する外表面の箇所に形成し、第2の基板と第3
の基板を重ね合わせて第2の液晶層を形成する工程とを
有する。
The method for manufacturing a liquid crystal display device of the present invention
Forming a black matrix, a color filter, an overcoat film, and a transparent electrode on the substrate, forming an alignment film on the first substrate and the second substrate, and performing an alignment process for aligning the liquid crystal. Applying a photosensitive resin to the second substrate, irradiating the photosensitive resin with ultraviolet rays using a photomask to dissolve the unexposed portions, and sandwiching the first resin and the second substrate. A plurality of photolitho spacers for maintaining a constant distance between the liquid crystal layers are formed in a black matrix portion provided around the display pixel portion on the inner surface of the second substrate, and the first substrate and the second substrate are formed. A step of forming a first liquid crystal layer by superimposing, and forming an alignment film on an outer surface of a second substrate having the first liquid crystal layer and a third substrate to align liquid crystal. To expose the outer surface of the second substrate. A step of applying a resin, a step of irradiating a photosensitive resin with ultraviolet rays using a photomask to dissolve the unexposed portions, and a step of keeping a distance between the liquid crystal layers sandwiched between the second substrate and the third substrate constant. A plurality of photolithographic spacers for holding are formed at locations on the outer surface corresponding to the positions of the black matrix portions of the second substrate, and the second substrate and the third
Forming a second liquid crystal layer by laminating the substrates.

【0022】〔作用〕本発明の液晶表示装置は、第1の
基板、第2の基板、および第3の基板から構成されてお
り、第2の基板のカラーフィルタを有する基板の遮光部
であるブラックマトリックス部の位置に対応する箇所の
内表面と外表面に複数のフォトリソスペーサを形成し、
第1と第2の基板からなる表示用液晶セルの表示画素部
と、第2と第3の基板からなる位相補正用液晶セルの表
示画素部にスペーサが存在しない構造としている。その
結果、スペーサによる光漏れや、ざらつきのない表示品
質に優れた高コントラストな液晶表示装置が提供でき
る。
[Operation] The liquid crystal display device of the present invention comprises a first substrate, a second substrate, and a third substrate, and is a light-shielding portion of a substrate having a color filter of the second substrate. Form multiple photolitho spacers on the inner surface and outer surface of the location corresponding to the position of the black matrix part,
The display pixel portion of the display liquid crystal cell including the first and second substrates and the display pixel portion of the phase correction liquid crystal cell including the second and third substrates have no spacer. As a result, it is possible to provide a high-contrast liquid crystal display device having excellent display quality without light leakage due to the spacers and roughness.

【0023】また、通常の2層セル構造のSTN液晶表
示装置は電極を有する2枚の基板から構成された表示用
液晶セルと、2枚の基板から構成された位相補正用液晶
セルの計4枚の基板から構成されている。本発明の液晶
表示装置は上述のように、ブラックマトリックスを有す
るカラーフィルタ基板1枚で表示用液晶セル、位相補正
用液晶セル基板の一部を構成している。このように3枚
の基板から構成されているため2層セル構造のSTN液
晶表示装置の軽量化が達成できる。
An ordinary STN liquid crystal display device having a two-layer cell structure has a total of four liquid crystal cells for display composed of two substrates having electrodes and a liquid crystal cell for phase correction composed of two substrates. It is composed of two substrates. As described above, in the liquid crystal display device of the present invention, a single color filter substrate having a black matrix constitutes a part of a liquid crystal cell for display and a liquid crystal cell substrate for phase correction. As described above, the STN liquid crystal display device having the two-layer cell structure can be reduced in weight because it is constituted by three substrates.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を実施す
るための最良の形態におけるSTN液晶表示装置の構成
およびその製造方法を説明する。図1は本発明の実施形
態における液晶表示装置の構成およびその製造方法を示
す断面図であり、図2は本発明の液晶表示装置を示す斜
視図である。以下、図1と図2とを交互に参照して説明
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The structure of an STN liquid crystal display device in the best mode for carrying out the present invention and a method of manufacturing the same will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention and a manufacturing method thereof, and FIG. 2 is a perspective view illustrating the liquid crystal display device of the present invention. Hereinafter, description will be made with reference to FIGS. 1 and 2 alternately.

【0025】〔液晶表示装置の構造:図1、図2〕本発
明の液晶表示装置は図1に示すように、表示用液晶セル
A層は、第1の基板11の内側に透明電極21と配向処
理を施した配向膜31を有する第1の基板11と、第2
の基板12上にブラックマトリックス61と、カラーフ
ィルタ51と、オーバーコート41と、透明電極22
と、配向処理を施した配向膜32と、さらに、その配向
膜上に形成したフォトリソスペーサ81bとを有する第
2の基板12とから構成されており、シール剤91によ
って液晶層71が封じられている。その表示用液晶セル
の間隔は、第2の基板の遮光用ブラックマトリックス部
の位置に対応する配向膜32の上に形成したフォトリソ
スペーサ81bを介して均一なセル間隔が保持されてい
る。
[Structure of Liquid Crystal Display Device: FIGS. 1 and 2] In the liquid crystal display device of the present invention, as shown in FIG. 1, a liquid crystal cell A layer for display has a transparent electrode 21 inside a first substrate 11. A first substrate 11 having an alignment film 31 that has been subjected to an alignment process;
Black substrate 61, color filter 51, overcoat 41, and transparent electrode 22
And a second substrate 12 having an alignment film 32 that has been subjected to an alignment process and a photolithographic spacer 81 b formed on the alignment film. The liquid crystal layer 71 is sealed by a sealant 91. I have. The uniform spacing between the display liquid crystal cells is maintained via a photolithographic spacer 81b formed on the alignment film 32 corresponding to the position of the light-shielding black matrix portion of the second substrate.

【0026】一方、位相補正用液晶セルのB層は第3の
基板13の内側に設けた配向処理を施した配向膜34を
有する基板と、表示用液晶セルのA層と共有される第2
の基板の外表面に設けた、配向膜33上に形成したフォ
トリソスペーサ82bとを有する基板12とから構成さ
れており、シール剤92によって液晶層72が封じられ
ている。その位相補正用液晶セルのB層の間隔も、遮光
用ブラックマトリックス部の位置に対応する外表面の基
板上に設けた配向処理を施した配向膜33の上に形成し
た第2のフォトリソスペーサ82bを介して均一なセル
間隔が保持されている。
On the other hand, the B layer of the liquid crystal cell for phase correction is shared with the substrate having the alignment film 34 provided with the alignment treatment provided inside the third substrate 13 and the A layer of the liquid crystal cell for display.
And a substrate 12 having a photolitho spacer 82b formed on the alignment film 33 provided on the outer surface of the substrate. The liquid crystal layer 72 is sealed by a sealant 92. The distance between the B layers of the liquid crystal cell for phase correction is the same as that of the second photolithographic spacer 82b formed on the alignment film 33 on the outer surface corresponding to the position of the light-shielding black matrix portion. , A uniform cell spacing is maintained.

【0027】そのフォトリソスペーサ81b、82b
は、図ー2に示す様に表示用画素周辺部に設ける遮光用
ブラックマトリックス部61の位置に対応する箇所に特
定して形成するため、画像を視認者から観察した場合に
はフォトリソスペーサ81b、82bの存在が認識され
ず、表示品質がなめらかに見える効果をもたらす。
The photolithographic spacers 81b, 82b
As shown in FIG. 2, the photolithographic spacer 81b is formed specifically at a position corresponding to the position of the light-shielding black matrix portion 61 provided around the display pixel. There is an effect that the presence of 82b is not recognized and the display quality looks smooth.

【0028】このように、第1の表示用液晶層71と第
2の位相補正用液晶層72は第2の基板12によって一
体化されて、第1、第2、第3の3枚の基板から2層セ
ルが構成されているため、この種の4枚の基板から構成
されている通常のセルと比較して軽量化が計れる。
As described above, the first display liquid crystal layer 71 and the second phase correction liquid crystal layer 72 are integrated by the second substrate 12, and the first, second, and third three , A two-layer cell is constructed, so that the weight can be reduced as compared with a normal cell composed of four substrates of this kind.

【0029】〔液晶表示装置の製造方法:図1、図2、
図3〕つぎに本発明の液晶表示装置の製造方法を図1と
図2と図3とを参照にして詳細に説明する。
[Method of Manufacturing Liquid Crystal Display Device: FIGS.
FIG. 3] Next, a method for manufacturing the liquid crystal display device of the present invention will be described in detail with reference to FIGS.

【0030】まず、図1に示すように、第2の基板12
に遮光用ブラックマトリックスのパターンを形成するた
め、ガラス基板上にCrをスパッタリング法で120n
mの厚さで形成する。
First, as shown in FIG.
In order to form a pattern of a black matrix for light shielding, Cr is sputtered on a glass substrate by 120 nm.
m.

【0031】その後、図2に示すように、格子状のブラ
ックマトリックスパターン61を形成するために、その
クロム(Cr)膜上にポジ型レジスト日本ゼオン製ZP
P−1700(商品名)を塗布して、フォトリソグラフ
ィー法で所定の寸法のパターン形成する。その後、クロ
ムエッチング液でエッチングしてブラックマトリックス
幅が10μm〜30μmのパターンを形成する。このと
きに後工程で形成するカラーフィルタや、透明電極や、
フォトリソスペーサなどの位置決めをするためのアライ
メントマークを基板の外周部に形成する。
Thereafter, as shown in FIG. 2, in order to form a lattice-like black matrix pattern 61, a positive resist ZP (Zeon Japan) is formed on the chromium (Cr) film.
P-1700 (trade name) is applied, and a pattern having a predetermined size is formed by photolithography. Thereafter, a pattern having a black matrix width of 10 μm to 30 μm is formed by etching with a chromium etchant. At this time, a color filter formed in a later process, a transparent electrode,
An alignment mark for positioning a photolithographic spacer or the like is formed on the outer peripheral portion of the substrate.

【0032】その後、そのブラックマトリックスが形成
された基板上に、新日鐵化学製の感光性を有する顔料分
散型のカラーフィルタ赤色基材V−259R(商品名)
を回転塗布法で所定の膜厚に塗布した後、フォトリソ法
でカラーフィルタ赤色パターン51を形成する。
Then, on a substrate on which the black matrix is formed, a photosensitive pigment-dispersed color filter red base material V-259R (trade name) manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.
Is applied to a predetermined thickness by a spin coating method, and then a color filter red pattern 51 is formed by a photolithography method.

【0033】その後、同様に緑色、青色の順でカラーフ
ィルタパターンを形成し、R、G、B、3色のカラーフ
ィルタ51を形成する。このカラーフィルタは1.5μ
mの膜厚で形成する。
Thereafter, similarly, a color filter pattern is formed in the order of green and blue, and color filters 51 of R, G, B and three colors are formed. This color filter is 1.5μ
m.

【0034】その後、そのカラーフィルタ51上面に透
明なオーバーコート膜41として、JSR製オプトマー
SS6777(商品名)を回転塗布法により形成する。
このオーバーコート膜は膜厚3μmで形成する。そのオ
ーバーコート膜41は、カラーフィルタの耐薬品性や、
耐スパッタリング性や、さらに平坦性を向上させる役割
を果たす。
Thereafter, as a transparent overcoat film 41 on the upper surface of the color filter 51, Optmer SS6777 (trade name) manufactured by JSR is formed by a spin coating method.
This overcoat film is formed with a thickness of 3 μm. The overcoat film 41 has the chemical resistance of the color filter,
It plays a role in improving the sputtering resistance and the flatness.

【0035】さらに、このオーバーコート膜41の上面
には透明導電膜22をスパッタリング法で設ける。その
後、透明導電膜22上面に日本ゼオン製ポジ型レジスト
ZPP−1700(商品名)を回転塗布法で塗布した
後、フォトリソ法でパターン形成して透明電極をエッチ
ング形成する。
Further, a transparent conductive film 22 is provided on the upper surface of the overcoat film 41 by a sputtering method. Thereafter, a positive resist ZPP-1700 (trade name) manufactured by Zeon Corporation is applied on the upper surface of the transparent conductive film 22 by a spin coating method, and then a pattern is formed by a photolithography method to etch the transparent electrode.

【0036】その後、透明電極22上面にJSR製のポ
リイミドからなるJALS−612(商品名)配向膜3
2を60nm〜80nmの厚さで形成し、液晶を配向さ
せるためのラビング処理を施す。一方、電極を有する第
1の基板11の透明電極21上にも同様に配向膜31を
設け、ラビング処理を施す。
Thereafter, a JALS-612 (trade name) alignment film 3 made of polyimide made by JSR is formed on the upper surface of the transparent electrode 22.
2 is formed to a thickness of 60 nm to 80 nm, and a rubbing treatment for aligning the liquid crystal is performed. On the other hand, an alignment film 31 is similarly provided on the transparent electrode 21 of the first substrate 11 having an electrode, and a rubbing process is performed.

【0037】ここで、本発明は表示用液晶セルの液晶層
の間隔を均一に保持するため、第2の基板12のブラッ
クマトリックス部の位置に対応する箇所の配向膜上にフ
ォトリソスペーサを形成する手段として以下の方法を採
用する。
Here, in the present invention, in order to keep the distance between the liquid crystal layers of the display liquid crystal cell uniform, a photolitho spacer is formed on the alignment film at a position corresponding to the position of the black matrix portion of the second substrate 12. The following method is adopted as a means.

【0038】第2の基板12のブラックマトリックス6
1の位置に対応する箇所に、柱状の第1のフォトリソス
ペーサ81bを形成するために、ラビング処理を施した
配向膜32上にJSR製のネガ型の透明な感光性樹脂N
N−500(商品名)を回転塗布法で塗布する。
The black matrix 6 of the second substrate 12
In order to form a columnar first photolitho spacer 81b at a position corresponding to the position 1, the rubbed alignment film 32 is coated on the alignment film 32 to make a negative transparent photosensitive resin N made by JSR.
N-500 (trade name) is applied by a spin coating method.

【0039】感光性樹脂の膜厚は、表示用液晶セルの間
隔を、たとえば5μm厚さにするために後工程の膜硬度
を増加させる目的で行う焼成工程で、膜厚が収縮する収
縮量を見込んで5.4μm膜厚で塗布する。
The thickness of the photosensitive resin is determined by the amount of shrinkage at which the film thickness shrinks in a baking step performed for the purpose of increasing the film hardness in a later step in order to increase the distance between the display liquid crystal cells to, for example, 5 μm. It is applied with a 5.4 μm film thickness.

【0040】その後、フォトマスクを用いて、ブラック
マトリックスで形成したアライメントマークに合わせて
感光性樹脂に紫外線を照射した後、アルカリ現像液で現
像処理を行うことにより、未露光部分は溶解して、紫外
線が照射された部分に柱状の第1のフォトリソスペーサ
81bを、配向膜32上に5.4μmの厚さで形成でき
る。
After that, using a photomask, the photosensitive resin is irradiated with ultraviolet rays in accordance with the alignment mark formed by the black matrix, and then subjected to a developing treatment with an alkali developing solution, whereby the unexposed portions are dissolved. The columnar first photolitho spacer 81b can be formed on the alignment film 32 at a thickness of 5.4 μm on the portion irradiated with the ultraviolet rays.

【0041】その後、フォトリソスペーサ81bが形成
された第2の基板12を200℃の温度で焼成処理する
ことにより、柱状の第1のフォトリソスペーサ81bが
熱硬化して5μm厚さのスペーサとしての機能を有する
ようになる。
Thereafter, the second substrate 12 on which the photolithographic spacers 81b are formed is baked at a temperature of 200 ° C., whereby the first columnar photolithographic spacers 81b are thermally cured to function as a 5 μm thick spacer. Will have.

【0042】その後、図3に示すように、液晶を封じる
ためのシール91と、後工程の第2のスペーサを形成す
るためのフォトリソ工程で、薬液の進入を防止する役割
を果たす2重のシール91aを第1の基板11に印刷し
た後、第2の基板12とを重ね合わせることにより、第
1層目の電極を有した表示用液晶セルA層が形成でき
る。その表示用液晶セルは、ブラックマトリックス61
部の位置に対応する部分で柱状の第1のフォトリソスペ
ーサ81bを介して、第1の基板と第2の基板の間隔を
均一に保持することがなされる。
Thereafter, as shown in FIG. 3, a seal 91 for sealing the liquid crystal and a double seal for preventing entry of a chemical solution in a photolithography process for forming a second spacer in a later process. After printing 91a on the first substrate 11, by superimposing the second substrate 12 on the first substrate 11, a display liquid crystal cell A layer having a first layer electrode can be formed. The display liquid crystal cell includes a black matrix 61.
The space between the first substrate and the second substrate is uniformly maintained at the portion corresponding to the position of the portion via the columnar first photolithographic spacer 81b.

【0043】本発明は、その表示用液晶セルA層の第2
の基板12の外表面を共用して、位相補正用液晶セルB
層を一体で形成し、しかも、表示用液晶セルと同様にブ
ラックマトリックス部の位置に対応する箇所にフォトリ
ソスペーサ82bを形成するために、第2の基板12の
外表面にJSR製ポリイミド配向膜JALS−612を
印刷形成し、配向膜33を設けた後ラビング処理を施
す。そして、第3の基板13の基板上にも、同様に配向
膜34を設けた後、ラビング処理を施す。
The present invention relates to a second liquid crystal cell A layer for display.
The liquid crystal cell B for phase correction is shared with the outer surface of the substrate 12 of FIG.
In order to form the layers integrally and to form the photolithographic spacers 82b at the positions corresponding to the positions of the black matrix portions as in the case of the liquid crystal cell for display, a polyimide alignment film JALS made of JSR is formed on the outer surface of the second substrate 12. A rubbing treatment is performed after printing and forming an alignment film 33. Then, a rubbing process is performed after the alignment film 34 is provided on the third substrate 13 in the same manner.

【0044】その後、位相補正用液晶セルのB層の液晶
72を挟持するための、第2の基板12と第3の基板1
3の間隔を均一に保持するためのフォトリソスペーサ8
2bを、表示用液晶セルのA層のブラックマトリックス
部の位置に対応する外表面の箇所に形成するために以下
の工程でフォトリソ形成する。
Thereafter, the second substrate 12 and the third substrate 1 for holding the liquid crystal 72 of the B layer of the liquid crystal cell for phase correction are sandwiched.
Photolitho spacer 8 for maintaining uniform spacing 3
In order to form 2b on the outer surface corresponding to the position of the black matrix portion of layer A of the display liquid crystal cell, photolithography is performed in the following steps.

【0045】ラビング処理を施した第2の基板12のブ
ラックマトリックス部に相当する位置の外表面の配向膜
33上に、柱状の第2のフォトリソスペーサ82bを形
成するため、JSR製のネガ型の感光性樹脂NN−50
0(商品名)を回転塗布法で塗布する。
To form a columnar second photolithographic spacer 82b on the alignment film 33 on the outer surface at a position corresponding to the black matrix portion of the rubbed second substrate 12, a negative type JSR product is used. Photosensitive resin NN-50
0 (product name) is applied by a spin coating method.

【0046】その後、電極を有する第2の基板12の電
極側に形成した第1のフォトリソスペーサ81bに用い
た同一のフォトマスクを用いて、第2の基板12の外表
面側から、ブラックマトリックスで形成したマークにア
ライメントして感光性樹脂に紫外線を照射した後、アル
カリ現像液で現像処理を行うことにより柱状の第2のフ
ォトリソスペーサ82bが形成される。
Thereafter, using the same photomask used for the first photolithographic spacer 81b formed on the electrode side of the second substrate 12 having the electrodes, a black matrix is formed from the outer surface side of the second substrate 12 using the same photomask. After aligning with the formed mark and irradiating the photosensitive resin with ultraviolet rays, development processing is performed with an alkali developing solution to form a columnar second photolitho spacer 82b.

【0047】ここで、第1層目の表示用液晶セルの液晶
が封入されるべき空間隔の外周部には、図3に示すよう
に2重シール91aが施してあるため、感光性樹脂の塗
布工程や、現像工程などの薬液類が、第1層目の表示用
液晶セル内に進入することが阻止され、薬液類による汚
染は防止できる。
Here, as shown in FIG. 3, a double seal 91a is applied to the outer peripheral portion of the empty space where the liquid crystal of the display liquid crystal cell of the first layer is to be sealed. Chemicals in the coating step and the developing step are prevented from entering the first-layer display liquid crystal cell, and contamination by the chemicals can be prevented.

【0048】その後、第2のフォトリソスペーサ82b
が形成された第2の基板12を有する、第1層目の液晶
が未封入な表示用液晶セルA層を温度200℃で焼成処
理することにより、柱状の第2のフォトリソスペーサ8
2bが熱硬化してスペーサとしての機能を備えるように
なる。
Thereafter, the second photolithographic spacer 82b
Is formed at a temperature of 200 ° C. on the display liquid crystal cell A layer, which has the second substrate 12 on which the first layer of liquid crystal is not sealed, at a temperature of 200 ° C.
2b is thermally cured to have a function as a spacer.

【0049】その後、位相補正用液晶セルのB層の液晶
を封じるためのシール92を第3の基板13に印刷した
後、第2のフォトリソスペーサ82bを有する、第1層
目の表示用液晶セルA層と重ね合わせることにより、第
2層目の位相補正用液晶セルB層が形成できる。その位
相補正用液晶セルB層は、第1層目の表示用液晶セルA
層と同様に、第2の基板12のブラックマトリックス部
の位置に対応する箇所に、柱状の第2のフォトリソスペ
ーサ82bを介して、第2の基板12と第3の基板13
との間隔を均一に保持することがなされている。
Thereafter, after a seal 92 for sealing the liquid crystal in the B layer of the phase correction liquid crystal cell is printed on the third substrate 13, the first display liquid crystal cell having the second photolithographic spacer 82b is provided. By superimposing the layer A on the second layer, the second layer B of the liquid crystal cell for phase correction can be formed. The phase correction liquid crystal cell B layer is the first display liquid crystal cell A.
Similarly to the layer, the second substrate 12 and the third substrate 13 are provided at positions corresponding to the positions of the black matrix portions of the second substrate 12 via the second columnar photolitho spacers 82b.
Is maintained uniformly.

【0050】その後、第1層目の表示用液晶セルの外周
部に形成されている薬液の進入を防止するための、2重
シールの外周部のダミーシール部91aをスクライブ
し、さらにブレーク除去した後、第1層目の表示用液晶
セルA層と第2層目の位相補正用液晶セルB層の液晶注
入孔を有するシール部から液晶を注入し、注入孔を封孔
することにより2層セル構造のSTN液晶表示装置が作
成できる。
Thereafter, the dummy seal portion 91a on the outer peripheral portion of the double seal for preventing entry of the chemical solution formed on the outer peripheral portion of the display liquid crystal cell of the first layer was scribed, and the break was removed. Thereafter, liquid crystal is injected from a sealing portion having a liquid crystal injection hole of the first display liquid crystal cell A layer and the second layer of the phase correction liquid crystal cell B layer, and the injection hole is sealed to form two layers. An STN liquid crystal display device having a cell structure can be manufactured.

【0051】上記STN液晶表示装置によれば、第1層
目の表示用液晶セルA層、第2層目の位相補正用液晶セ
ルB層双方とも、ブラックマトリックスの位置に対応す
る箇所にだけフォトリソスペーサが存在する構造が形成
でき、視認者から観察される表示画素部にはスペーサが
まったく存在しないため、画質がなめらかで、高コント
ラストな画像表示が得られる。
According to the above STN liquid crystal display device, both the first display liquid crystal cell A layer and the second phase correction liquid crystal cell B layer have photolithography only at locations corresponding to the positions of the black matrix. Since a structure in which a spacer is present can be formed, and no spacer is present in the display pixel portion observed by a viewer, a high-contrast image display with smooth image quality can be obtained.

【0052】この実施形態のSTNカラー表示装置と、
図4に示す従来の表示装置のコントラスト特性を最大コ
ントラスト比で測定比較した結果、本実施形態例では6
0の値に対して従来例では40の値を示した。従来の表
示装置では表示画素部にスペーサが存在するため、スペ
ーサ周辺が配向せずに光漏れによるコントラスト低下を
招くが、本発明では、高コントラストな特性が得られ
る。
The STN color display device of this embodiment,
As a result of measuring and comparing the contrast characteristics of the conventional display device shown in FIG.
A value of 40 is shown in the conventional example with respect to a value of 0. In the conventional display device, since the spacer is present in the display pixel portion, the periphery of the spacer is not aligned and the contrast is reduced due to light leakage. However, in the present invention, high contrast characteristics are obtained.

【0053】[0053]

【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明によ
れば、2層構造を有するSTN表示装置の第1層目の表
示用液晶セルと第2層目の位相補正用液晶セルは、フォ
トリソ法によって形成されたスペーサを、視認者から観
察されないブラックマトリックス部分に有しているの
で、スペーサによるコントラスト比の低下や、液晶分子
の配向の乱れによるスペーサ部分のザラツキが生じな
い。また、ブラックマトリックスを有するカラーフィル
タ基板1枚で表示用液晶セル、位相補正用液晶セル基板
の一部を構成している。このように3枚の基板から構成
されているため液晶表示装置の軽量化が達成できる。し
たがってって、本発明によれば、表示品位の高いカラー
STN表示装置が得られる。
As is apparent from the above description, according to the present invention, the first-layer display liquid crystal cell and the second-layer phase correction liquid crystal cell of the STN display device having a two-layer structure are: Since the spacer formed by the photolithography method is provided in the black matrix portion that is not observed by the viewer, the spacer does not cause a decrease in the contrast ratio or the spacer portion is not rough due to disorder in the alignment of liquid crystal molecules. Further, one color filter substrate having a black matrix constitutes a part of the liquid crystal cell for display and the liquid crystal cell substrate for phase correction. Since the liquid crystal display device is constituted by three substrates as described above, the weight of the liquid crystal display device can be reduced. Therefore, according to the present invention, a color STN display device having high display quality can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態における液晶表示装置の構
造を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a structure of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施の形態における液晶表示装置の構
造を示す部分斜視図である。
FIG. 2 is a partial perspective view showing a structure of the liquid crystal display device according to the embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施の形態における液晶表示装置の製
造方法を示し、2重シールを示す平面図である。
FIG. 3 is a plan view showing the method for manufacturing the liquid crystal display device according to the embodiment of the present invention and showing a double seal.

【図4】従来例における2層構造の液晶表示装置を示す
断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a conventional liquid crystal display device having a two-layer structure.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11、12、13、14 基板 21、22 透明電極 31、32、33、34 配向膜 41 オーバーコート膜 51 カラーフィルタ 61 ブラックマトリックス 71、72 液晶層 81a、82a 球状スペーサ 81b、82b フォトリソスペーサ 91、92 シール 91a ダミーシール A層 表示用液晶セル B層 位相補正用液晶セル 11, 12, 13, 14 Substrate 21, 22 Transparent electrode 31, 32, 33, 34 Alignment film 41 Overcoat film 51 Color filter 61 Black matrix 71, 72 Liquid crystal layer 81a, 82a Spherical spacer 81b, 82b Photolitho spacer 91, 92 Seal 91a Dummy seal A layer Liquid crystal cell for display B layer Liquid crystal cell for phase correction

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1の透明電極と第2の透明電極を有す
る基板で液晶を挟持した表示用液晶セルと、第2の基板
の外表面と第3の基板で位相補正用液晶セルとを積層し
たカラー液晶表示器であって、 表示用液晶セルの間隔を一定に保持するためのスペーサ
ーを、第2の基板の内表面の表示画素部周辺部に設ける
ブラックマトリクス部に備え、 該第2の基板のブラックマトリクス部の位置に対応する
外表面の箇所に位相補正用セルの間隔を一定に保持する
ためのスペーサとを備えたことを特徴とする液晶表示装
置。
1. A display liquid crystal cell in which a liquid crystal is sandwiched between substrates having a first transparent electrode and a second transparent electrode, and a phase correction liquid crystal cell between an outer surface of a second substrate and a third substrate. A stacked color liquid crystal display, wherein a spacer for keeping a distance between display liquid crystal cells constant is provided in a black matrix portion provided around a display pixel portion on an inner surface of the second substrate; A liquid crystal display device comprising: a spacer for maintaining a constant interval between the phase correction cells at a position on the outer surface corresponding to the position of the black matrix portion of the substrate.
【請求項2】 第2の基板にブラックマトリックスと、
カラーフィルタと、オーバーコート膜と透明電極とを形
成する工程と、 第1の基板と第2の基板に配向膜を形成し、液晶を配向
させるための配向処理を施す工程と、 該第2の基板に感光性樹脂を塗布する工程と、 フォトマスクを用いて感光性樹脂に紫外線を照射して未
露光部を溶解する工程と、 第1の基板と第2の基板に挟持される液晶層の間隔を一
定に保持するための複数のフォトリソスペーサを、第2
の基板の内表面の表示画素部周辺部に設けるブラックマ
トリックス部に形成し、第1の基板と第2の基板を重ね
合わせて第1の液晶層を形成する工程と、 上記第1の液晶層を有する第2の基板の外表面と第3の
基板とに配向膜を形成し、液晶を配向させるための配向
処理を施し、該第2の基板の外表面に感光性樹脂を塗布
する工程と、 フォトマスクを用いて感光性樹脂に紫外線を照射して未
露光部を溶解する工程と、 第2の基板と第3の基板に挟持される液晶層の間隔を一
定に保持するための複数のフォトリソスペーサを、第2
の基板のブラックマトリックス部の位置に対応する外表
面の箇所に形成し、第2の基板と第3の基板を重ね合わ
せて第2の液晶層を形成する工程とを有することを特徴
とする液晶表示装置の製造方法。
2. A black matrix on a second substrate,
Forming a color filter, an overcoat film and a transparent electrode, forming an alignment film on the first substrate and the second substrate, and performing an alignment process for aligning liquid crystal; A step of applying a photosensitive resin to the substrate, a step of irradiating the photosensitive resin with ultraviolet rays using a photomask to dissolve unexposed portions, and a step of forming a liquid crystal layer sandwiched between the first substrate and the second substrate. A plurality of photolithographic spacers for keeping the interval constant
Forming a first liquid crystal layer by forming a first liquid crystal layer by overlapping a first substrate and a second substrate on a black matrix portion provided around a display pixel portion on the inner surface of the first substrate; Forming an alignment film on the outer surface of the second substrate and the third substrate, performing alignment processing for aligning liquid crystal, and applying a photosensitive resin to the outer surface of the second substrate. Irradiating the photosensitive resin with ultraviolet rays using a photomask to dissolve the unexposed portions; and a plurality of steps for maintaining a constant distance between the liquid crystal layers sandwiched between the second substrate and the third substrate. The photolitho spacer is
Forming a second liquid crystal layer by superposing the second substrate and the third substrate on the outer surface corresponding to the position of the black matrix part of the substrate. A method for manufacturing a display device.
JP10077163A 1998-03-25 1998-03-25 Liquid crystal display device and its manufacture Pending JPH11271751A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10077163A JPH11271751A (en) 1998-03-25 1998-03-25 Liquid crystal display device and its manufacture

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10077163A JPH11271751A (en) 1998-03-25 1998-03-25 Liquid crystal display device and its manufacture

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11271751A true JPH11271751A (en) 1999-10-08

Family

ID=13626128

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10077163A Pending JPH11271751A (en) 1998-03-25 1998-03-25 Liquid crystal display device and its manufacture

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11271751A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015125322A (en) * 2013-12-26 2015-07-06 大日本印刷株式会社 Multiple imposition color filter, organic electroluminescence display unit and manufacturing method of multiple imposition color filter

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015125322A (en) * 2013-12-26 2015-07-06 大日本印刷株式会社 Multiple imposition color filter, organic electroluminescence display unit and manufacturing method of multiple imposition color filter

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH09120062A (en) Color filter substrate and its production and liquid crystal display element formed by using the same and its production
JP2001133787A (en) Liquid crystal display panel
JP2000029014A (en) Color filter substrate for liquid crystal display element and liquid crystal display element
US10048531B2 (en) Manufacturing method for color filter substrate and manufacturing method for liquid crystal panel
US7470491B2 (en) Method of fabricating color filter panel using back exposure and structure of color filter panel
JP2006284757A (en) Color filter and color liquid crystal display device
JP2007233059A (en) Liquid crystal display device and method for manufacturing the same
US20060262252A1 (en) Liquid crystal display device and method of manufacture thereof
JPH07294725A (en) Manufacture of color filter and multi-color liquid crystal display device
JP2002350860A (en) Method for producing liquid crystal display device
JP4011668B2 (en) Manufacturing method of color filter with gap control function
JPH10239513A (en) Color filter for liquid crystal display device, manufacture thereof, and liquid crystal display device
US6621539B2 (en) Reflective type LCD and method of manufacturing the same
JPH1073813A (en) Liquid crystal display device and its production
JPH09160004A (en) Liquid crystal cell and its empty cell
JPH11271751A (en) Liquid crystal display device and its manufacture
JPH0456921A (en) Color liquid crystal display panel
JP2001159755A (en) Liquid crystal display device and method of producing the same
JPH10221712A (en) Manufacture of liquid crystal display device
KR20050080173A (en) Method for fabricating a liquid crystal display device
JP2000089233A (en) Liquid crystal display element and its manufacture
JP2002350864A (en) Method for manufacturing liquid crystal display device
KR101307964B1 (en) Liquid crystal display device and method of fabricating the same
JPH04304423A (en) Color filter and liquid crystal display device
JP2007279101A (en) Method for manufacturing liquid crystal device, liquid crystal device, and electronic apparatus