JPH11271563A - Optical fiber array - Google Patents
Optical fiber arrayInfo
- Publication number
- JPH11271563A JPH11271563A JP7709398A JP7709398A JPH11271563A JP H11271563 A JPH11271563 A JP H11271563A JP 7709398 A JP7709398 A JP 7709398A JP 7709398 A JP7709398 A JP 7709398A JP H11271563 A JPH11271563 A JP H11271563A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- array
- optical
- groove
- optical waveguide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光導波路チップと
光ファイバとを接続するための光ファイバアレイに関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical fiber array for connecting an optical waveguide chip and an optical fiber.
【0002】[0002]
【従来の技術】光導波路チップと光ファイバとを接続す
るために光ファイバアレイが一般的に用いられている。
この光導波路チップには、GaAs系、InP系の半導
体導波路チップ、Si上に酸化膜を形成したり、ガラス
基板を用いる誘電体(ガラス)導波路チップ、LiNb
O3 やLiTaO3 結晶で構成した強誘電体結晶導波路
チップ等、多数の種類がある。その応用として、例え
ば、光ファイバジャイロ等のセンサ・計測関係、高速変
調器等の光ファイバ通信関係、A/D変換器等の光情報
処理関係、レーザダイオードアレイ等の光源・光変換関
係での多岐にわたる用途が検討されている。2. Description of the Related Art An optical fiber array is generally used to connect an optical waveguide chip and an optical fiber.
This optical waveguide chip includes a GaAs-based or InP-based semiconductor waveguide chip, an oxide film formed on Si, a dielectric (glass) waveguide chip using a glass substrate, LiNb.
There are many types, such as a ferroelectric crystal waveguide chip made of O 3 or LiTaO 3 crystal. Applications include, for example, sensors and measurement related to optical fiber gyros, optical fiber communication related to high-speed modulators, optical information processing related to A / D converters, and light source / optical conversion related to laser diode arrays. A wide variety of applications are being considered.
【0003】前記のような光ファイバジャイロを製造す
る場合、長尺の光ファイバを円筒の物体に巻き付けて作
成したファイバコイルから導出された光ファイバの2本
の端部と位相変調器が組み込まれた光導波路チップと
を、偏波面を一定の方向に保持して接続するために、偏
波面保存光ファイバアレイが用いられている。[0003] In the case of manufacturing an optical fiber gyro as described above, two ends of an optical fiber derived from a fiber coil formed by winding a long optical fiber around a cylindrical object and a phase modulator are incorporated. A polarization-maintaining optical fiber array is used to connect the optical waveguide chip with the polarization plane held in a fixed direction.
【0004】前記偏波面保存光ファイバアレイは、例え
ば、2枚の基板からなり、そのうちの1枚には溝部が形
成され、該溝部に光ファイバを偏波面を一定の方向に保
持するように埋設した後2枚の基板を重ね合わせ、該溝
部と光ファイバとの隙間にエポキシ等の室温硬化型、若
しくは熱硬化型樹脂、または、アクリル系等の紫外線硬
化型樹脂を充填して硬化することにより樹脂層を形成
し、光ファイバをアレイの溝部に固定することによって
形成される。The polarization-maintaining optical fiber array includes, for example, two substrates, one of which has a groove formed therein, and an optical fiber embedded in the groove to hold the polarization plane in a predetermined direction. After that, the two substrates are overlapped, and the gap between the groove and the optical fiber is filled with a room-temperature-curable resin such as epoxy or a thermosetting resin, or an ultraviolet-curable resin such as an acrylic resin and cured. It is formed by forming a resin layer and fixing the optical fiber to the groove of the array.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】このような従来の光フ
ァイバアレイにおいて、樹脂の充填量のばらつきや樹脂
層各部での硬化の進行度のばらつき等によって、樹脂層
に空洞部が生じることがある。このような空洞部がある
と、光ファイバを取り扱う際の曲げやねじれによる応力
が発生し易く、これによって光ファイバが断線するおそ
れがある。In such a conventional optical fiber array, a cavity may be formed in the resin layer due to a variation in the filling amount of the resin or a variation in the degree of progress of the curing in each part of the resin layer. . With such a cavity, stress due to bending or twisting when handling the optical fiber is likely to occur, which may break the optical fiber.
【0006】本発明はこのような課題を考慮してなされ
たものであり、光ファイバの断線を生じることがなく、
また、光導波路の偏光クロストークの劣化の小さい光フ
ァイバアレイを提供することを目的とする。The present invention has been made in view of such a problem, and does not cause disconnection of an optical fiber.
It is another object of the present invention to provide an optical fiber array in which polarization crosstalk of an optical waveguide is less deteriorated.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明に係る光ファイバ
アレイは、光導波路チップと光ファイバとを接続するた
めの光ファイバアレイにおいて、前記光ファイバを挟持
して配設するための2枚の基板を有し、前記2枚の基板
のうちの少なくとも1枚には前記光ファイバを保持して
固定するための溝部が形成され、前記溝部に前記光ファ
イバが樹脂層により固着され、該樹脂層には、直径の総
和が10μm〜500μmの範囲内にある1または2以
上の空洞部を有することを特徴とする。An optical fiber array according to the present invention is an optical fiber array for connecting an optical waveguide chip and an optical fiber, wherein two optical fibers for sandwiching and disposing the optical fiber are provided. A groove for holding and fixing the optical fiber is formed in at least one of the two substrates, and the optical fiber is fixed to the groove by a resin layer; Has one or more cavities having a total diameter in a range of 10 μm to 500 μm.
【0008】これにより、光ファイバの断線を生じるこ
とがなく、また、光導波路の偏光クロストークの劣化の
小さい光ファイバアレイを得ることができる。ここで、
空洞部の直径の総和が10μm未満では、樹脂層の残留
応力によって光導波路の偏光クロストークの劣化が大き
くなり、一方、空洞部の直径の総和が500μmを超え
ると、光ファイバの断線を生じることが多くなる。な
お、空洞部の直径の総和は、100μm〜450μmの
範囲内にあると一層好適である。したがって、本発明に
係る光ファイバアレイは、光導波路チップと光ファイバ
とを偏波面を一定の方向に保持して接続するための偏波
面保存光ファイバアレイであって、前記2枚の基板のう
ちの少なくとも1枚には前記光ファイバの偏波面を一定
の方向に保持して固定するための溝部が形成されている
と一層好適である。[0008] This makes it possible to obtain an optical fiber array in which the optical fiber is not broken and the polarization crosstalk of the optical waveguide is less deteriorated. here,
If the sum of the diameters of the cavities is less than 10 μm, the deterioration of the polarization crosstalk of the optical waveguide is greatly increased due to the residual stress of the resin layer. Increase. It is more preferable that the sum of the diameters of the hollow portions is in the range of 100 μm to 450 μm. Therefore, the optical fiber array according to the present invention is a polarization-maintaining optical fiber array for connecting the optical waveguide chip and the optical fiber while maintaining the polarization plane in a fixed direction. It is more preferable that at least one of the above is formed with a groove for holding and fixing the polarization plane of the optical fiber in a certain direction.
【0009】また、本発明に係る光ファイバアレイにお
いて、前記溝部はV字状の所定長に形成されるととも
に、該溝部に延在して溝部より幅広の座繰り部が形成さ
れ、前記光ファイバが樹脂層により前記溝部に固着され
ることを特徴とする。ここで、座繰り部は、ファイバ被
覆コート部を逃がすための逃げ溝をいう。In the optical fiber array according to the present invention, the groove is formed to have a V-shaped predetermined length, and a counterbore extending wider than the groove is formed to extend in the groove. Is fixed to the groove by a resin layer. Here, the counterbore portion refers to an escape groove for allowing the fiber coating portion to escape.
【0010】ファイバ芯線部を固定することにより、フ
ァイバの偏波面を固定することができる。By fixing the fiber core, the polarization plane of the fiber can be fixed.
【0011】またさらに、本発明に係る光ファイバアレ
イにおいて、前記光ファイバは、楕円コアファイバ、パ
ンダファイバ、楕円ジャケットファイバ、棒帯ファイバ
のうちのいずれか1つであることを特徴とする。Still further, in the optical fiber array according to the present invention, the optical fiber is any one of an elliptical core fiber, a panda fiber, an elliptical jacket fiber, and a rod band fiber.
【0012】これにより、前記した本発明の効果を好適
に発揮することができる。Thus, the effects of the present invention can be suitably exhibited.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る光ファイバア
レイを、例えば、光導波路チップと光ファイバとを偏波
面を一定の方向に保持して接続するための偏波面保存光
ファイバアレイに適用した実施の形態例を図1〜図4を
参照しながら以下に説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an optical fiber array according to the present invention is applied to, for example, a polarization-maintaining optical fiber array for connecting an optical waveguide chip and an optical fiber while maintaining the polarization plane in a fixed direction. The embodiment will be described below with reference to FIGS.
【0014】本実施の形態に係る光ファイバアレイは、
図1に示すように、光ファイバ10、12と光導波路チ
ップ14とが接合方向を規制するように固着される第1
および第2のアレイ16、18から構成される。この光
導波路チップ14は、例えばLiNbO3 基板20に所
定形状の光導波路(例えば、Y字光導波路)22が形成
されて構成され、該光導波路22上には位相変調器24
と偏光子26とが配設されている。The optical fiber array according to the present embodiment
As shown in FIG. 1, a first optical fiber 10, 12 and an optical waveguide chip 14 are fixed so as to regulate the joining direction.
And a second array 16, 18. The optical waveguide chip 14 is formed by forming an optical waveguide (for example, a Y-shaped optical waveguide) 22 having a predetermined shape on, for example, a LiNbO 3 substrate 20, and a phase modulator 24 is provided on the optical waveguide 22.
And a polarizer 26 are provided.
【0015】図2に示すように、光ファイバ10の2つ
の端部(例えば、光ファイバジャイロのファイバコイル
に接続される始端部10aと終端部10b)は、光導波
路チップ14との接合方向を規制する第1のアレイ16
に固着され、また、図3に示すように、光ファイバ12
の1つの端部(例えば、光源に接続される光ファイバ1
2の端部12a)は、光導波路チップ14との接合方向
を規制する第2のアレイ18に固着され、これら第1及
び第2のアレイ16、18を通じて上記各光ファイバ1
0、12のそれぞれの端部10a、10b及び12aが
光導波路チップ14と光学的に結合されるようになって
いる。As shown in FIG. 2, the two ends of the optical fiber 10 (for example, the start end 10a and the end 10b connected to the fiber coil of the optical fiber gyro) are connected to the optical waveguide chip 14 in the joining direction. First array 16 to regulate
And the optical fiber 12 as shown in FIG.
At one end (eg, an optical fiber 1 connected to a light source).
The second end 12a) is fixed to a second array 18 that regulates the bonding direction with the optical waveguide chip 14, and the optical fibers 1 are passed through the first and second arrays 16 and 18.
The ends 10a, 10b and 12a of the optical waveguide chips 14 and 10 are optically coupled to the optical waveguide chip 14.
【0016】具体的には、上記第1のアレイ16は、図
2に示すように、一主面に一方の端面に向かって延びる
2本のV字状の溝30a、30bと他方の端面に向かっ
て延びる幅広の座繰り部(接着用の逃げ溝)32が連続
して形成された基板16Aと、該基板16Aの各溝30
a、30b、32を塞ぐための蓋基板16Bとで構成さ
れている。上記2本のV字状の溝30a、30bは、そ
の間隔が図1に示す光導波路22における2本の分岐路
の光軸に合致する間隔と同じとされている。More specifically, as shown in FIG. 2, the first array 16 has two V-shaped grooves 30a and 30b extending on one principal surface toward one end surface and another V-shaped groove on the other end surface. A substrate 16A in which a wide counterbore portion (escape groove for bonding) 32 extending continuously is formed, and each groove 30 of the substrate 16A is formed.
a, 30b, and 32B for closing the cover. The interval between the two V-shaped grooves 30a and 30b is the same as the interval that matches the optical axis of the two branch paths in the optical waveguide 22 shown in FIG.
【0017】そして、第1のアレイ16を組み立てる場
合は、まず、図2に示すように、上記基板16AのV字
状の溝30a、30bに光ファイバ10の2本の端部1
0a及び10bを這わせた後、光ファイバ10の偏波保
存面を光導波路22を伝搬する光の偏波面の方向に合わ
せる。その後、上方から蓋基板16Bを被せてエポキシ
樹脂をV字状の溝30a、30bと光ファイバ10との
隙間に充填し、60℃の温度で加熱して両者を接着・固
定し、上記第1のアレイ16の端面中、光ファイバ10
の自由端側端面16aを研磨することによって光ファイ
バ10への第1のアレイ16の固着作業が終了すること
となる。When assembling the first array 16, first, as shown in FIG. 2, the two ends 1 of the optical fiber 10 are inserted into the V-shaped grooves 30a and 30b of the substrate 16A.
After crawling 0a and 10b, the polarization preserving surface of the optical fiber 10 is adjusted to the direction of the polarization plane of the light propagating through the optical waveguide 22. After that, the lid substrate 16B is covered from above, and the epoxy resin is filled in the gap between the V-shaped grooves 30a and 30b and the optical fiber 10, and the epoxy resin is heated at a temperature of 60 ° C. to bond and fix the two. Of the optical fiber 10 in the end face of the array 16
By polishing the free end surface 16a of the first array 16, the operation of fixing the first array 16 to the optical fiber 10 is completed.
【0018】第2のアレイ18は、図3に示すように、
一主面の一方の端面に向かって延びる1本のV字状の溝
34と他方の端面に向かって延びる幅広の座繰り部(接
着用の逃げ溝)36が連続して形成された基板18A
と、該基板18Aの各溝34、36を塞ぐための蓋基板
18Bとで構成されている。The second array 18, as shown in FIG.
A substrate 18A in which one V-shaped groove 34 extending toward one end surface of one main surface and a wide counterbore portion (escape groove for bonding) 36 extending toward the other end surface are continuously formed.
And a lid substrate 18B for closing each groove 34, 36 of the substrate 18A.
【0019】そして、この第2のアレイ18を組み立て
る場合は、まず、上記基板18AのV字状の溝34に光
ファイバ12の1本の端部12aを這わせた後、光ファ
イバ12の偏波保存面を光導波路22を伝搬する光の偏
波面の方向に合わせる。その後、その上方から蓋基板1
8Bを被せて接着剤にて接着し第2のアレイ18の端面
中、光ファイバ12の自由端側端面18aを研磨するこ
とによって光ファイバ12への第2のアレイ18の固着
作業が終了する。When assembling the second array 18, first, one end 12a of the optical fiber 12 is laid in the V-shaped groove 34 of the substrate 18A, and then the polarization of the optical fiber 12 is adjusted. The wave preserving surface is aligned with the direction of the plane of polarization of light propagating through the optical waveguide 22. Then, from above, the lid substrate 1
8B, the free end face 18a of the optical fiber 12 is polished in the end face of the second array 18, and the fixing operation of the second array 18 to the optical fiber 12 is completed.
【0020】上記した光ファイバ10、12を第1およ
び第2のアレイ16、18に樹脂を用いて固着する際、
樹脂としてエポキシ樹脂(セメダイン社製 商品名EP
001)を使用し、固化して形成した樹脂層に下記の所
定条件の空洞部が形成されるように、ディスペンサの吐
出速度として0.0016g/sec以下の速度で樹脂
を吐出し、光ファイバ10、12の偏波面を調整してア
レイ16、18で固定し、室温で1時間放置した後60
℃の温度で樹脂を加熱、硬化させた。When the optical fibers 10 and 12 are fixed to the first and second arrays 16 and 18 using a resin,
Epoxy resin (made by Cemedine Co., Ltd. EP
001), the resin is discharged at a discharge speed of 0.0016 g / sec or less as the discharge speed of the dispenser so that a cavity portion under the following predetermined conditions is formed in the solidified resin layer. , 12 are adjusted in the plane of polarization, fixed in arrays 16 and 18, and left at room temperature for 1 hour.
The resin was heated and cured at a temperature of ° C.
【0021】前記した所定条件の空洞部とは、直径の総
和が10μm〜500μmの範囲内にある1または2以
上の空洞部であり、この空洞部の作用効果については以
下の実験により見出した。The above-mentioned cavities under predetermined conditions are one or more cavities having a total diameter in the range of 10 μm to 500 μm, and the effects of these cavities were found by the following experiments.
【0022】すなわち、光ファイバをアレイに樹脂を用
いて固着する際のディスペンサの吐出速度あるいは室温
での放置時間を変化させて、固化した樹脂層に種々のサ
イズの空洞部が形成されたアレイを作製した。アレイ
は、樹脂層の空洞部のサイズが同一のものについてそれ
ぞれ10個ずつ作製した。作製したアレイの座繰り部を
透過顕微鏡で観察することにより、個々の空洞(部)の
円相当直径を計測し、空洞部の直径の総和を求めた。That is, by changing the discharge speed of the dispenser when the optical fiber is fixed to the array using a resin or the standing time at room temperature, an array in which cavities of various sizes are formed in the solidified resin layer is formed. Produced. As for arrays, ten pieces were prepared for each of the resin layers having the same cavity. By observing the countersunk portion of the prepared array with a transmission microscope, the circle equivalent diameter of each cavity (portion) was measured, and the sum of the diameters of the cavity portions was obtained.
【0023】これら種々のサイズの空洞部が形成された
樹脂層によってアレイに接合された光ファイバについ
て、光ファイバの断線率と偏光クロストークとを求め
た。その結果を図4に示す。ここで、断線率(単位%)
は、温度が−40℃と80℃の熱衝撃試験機内へ交互に
60分間毎にアレイ16、18を投入し、このサイクル
を100回繰り返した後、樹脂の熱応力により断線した
試料数の同一条件の全試料数に対する比率である。な
お、図4中、断線率が0%のものではサイクルを130
0回繰り返しても断線を生じなかった。また、偏光クロ
ストーク(単位dB)は、後述する光軸調整と同様の方
法により、光軸に対して横方向の偏波(Px)と縦方向
の偏波(Py)とを測定し、−10×log(Py/P
x)で表したものである。With respect to the optical fibers bonded to the array by the resin layers having the hollow portions of various sizes, the disconnection rate and the polarization crosstalk of the optical fibers were determined. FIG. 4 shows the results. Here, disconnection rate (unit%)
The arrays 16 and 18 were alternately charged every 60 minutes into a thermal shock tester at temperatures of -40 ° C and 80 ° C, and after repeating this cycle 100 times, the same number of samples were disconnected due to thermal stress of the resin. This is the ratio of the condition to the total number of samples. In FIG. 4, when the disconnection rate is 0%, the cycle is set to 130.
No disconnection occurred even when repeated 0 times. The polarization crosstalk (unit: dB) is obtained by measuring the polarization (Px) in the horizontal direction and the polarization (Py) in the vertical direction with respect to the optical axis by the same method as the optical axis adjustment described later. 10 × log (Py / P
x).
【0024】図4に示すように、断線率は、空洞部の直
径の総和が450μmまでは0%であり、500μmを
超えると断線が発生するとともにその後急激に断線率が
増加し、空洞部の直径の総和が1000μmのものでは
断線率が40%に達した。一方、偏光のクロストーク
は、空洞部の直径の総和が100μm以上であれば約2
5dB程度が確保されるが、空洞部の直径の総和が10
0μmより小さくなると急激に劣化して10μmで約2
0dB程度となり、空洞部の直径の総和が10μmより
小さくなると空洞部のないものを含めて偏光のクロスト
ークは15dBまで劣化した。したがって、断線率と偏
光クロストークのバランスを考慮して、空洞部の直径の
総和が10μm〜500μmの範囲内に収まるように、
前記した条件で光ファイバ10、12を第1および第2
のアレイ16、18に樹脂を用いて固着した。As shown in FIG. 4, the disconnection rate is 0% when the total diameter of the cavity is up to 450 μm, and when it exceeds 500 μm, the disconnection occurs and the disconnection rate sharply increases thereafter. When the total diameter was 1000 μm, the disconnection rate reached 40%. On the other hand, the polarization crosstalk is about 2 if the sum of the diameters of the cavities is 100 μm or more.
Although about 5 dB is secured, the sum of the diameters of the hollow portions is 10
When it is smaller than 0 μm, it deteriorates rapidly,
When the sum of the diameters of the cavities became smaller than about 10 μm, the polarization crosstalk including those without the cavities deteriorated to 15 dB. Therefore, in consideration of the balance between the disconnection rate and the polarization crosstalk, the sum of the diameters of the cavity portions is set to fall within the range of 10 μm to 500 μm.
Under the conditions described above, the first and second optical fibers 10 and 12 are connected.
Are fixed to the arrays 16 and 18 using a resin.
【0025】一方、光導波路チップ14は、以下のよう
にして作製する。まず、例えば3inchウェーハ(例
えば、LiNbO3 基板)の一主面(機能面)に、例え
ば真空蒸着等によって所定形状の光導波路22を形成す
ると同時に、該光導波路22上に偏光子26及び位相変
調器24を形成して1枚のウェーハ上に多数の光ICパ
ターンを形成する(図示せず)。次いで、数個の光IC
パターンを一組として、ウェーハから組単位に光ICパ
ターンを例えばダイヤモンドカッターを有するダイシン
グ装置を用いて切り出した後、各組の端面、特に上記第
1及び第2のアレイ16、18が接合される面を研磨処
理する。その後各組から各々光ICパターンを同じくダ
イシング装置を用いて切断して多数の光導波路チップに
分離した後、個々に分離された1つの光導波路チップ1
4が得られる(図1参照)。On the other hand, the optical waveguide chip 14 is manufactured as follows. First, for example, an optical waveguide 22 having a predetermined shape is formed on one main surface (functional surface) of, for example, a 3- inch wafer (for example, a LiNbO 3 substrate) by, for example, vacuum evaporation or the like, and at the same time, a polarizer 26 and a phase modulator are formed on the optical waveguide 22. A plurality of optical IC patterns are formed on one wafer by forming the container 24 (not shown). Next, several optical ICs
After the optical IC pattern is cut out from the wafer into a set by using a dicing apparatus having a diamond cutter, for example, the end face of each set, in particular, the first and second arrays 16 and 18 are joined. The surface is polished. Thereafter, each of the optical IC patterns is cut from each group by using the same dicing device to separate the optical IC patterns into a large number of optical waveguide chips.
4 is obtained (see FIG. 1).
【0026】そして、1つの光導波路チップ14に対し
て、すでに光ファイバ10、12が固着された第1及び
第2のアレイ16、18がそれぞれ接合される。光導波
路チップ14の両端面のうち、偏光子26近傍の端面に
第2のアレイ18が、位相変調器24近傍の端面に第1
のアレイ16が光軸を合わせてそれぞれ接合される。Then, the first and second arrays 16 and 18 to which the optical fibers 10 and 12 are already fixed are bonded to one optical waveguide chip 14, respectively. Of the two end surfaces of the optical waveguide chip 14, the second array 18 is provided on the end surface near the polarizer 26, and the first array 18 is provided on the end surface near the phase modulator 24.
Arrays 16 are joined together with their optical axes aligned.
【0027】各アレイ16、18の接合においては、光
出力が最も強くなるように光軸調整がとられながら接着
剤による接着が行われる。At the time of joining the arrays 16 and 18, the optical axes are adjusted so that the light output becomes the strongest, and the bonding is performed with an adhesive.
【0028】具体的には、まず、光導波路チップ14に
おける一方の端面に第2のアレイ18が例えば接着剤に
て接着される。このとき、光ファイバ12の開放端側に
光源を設け、一方、光導波路22の他の端面側に光検出
器を配置し(図示せず)、該光導波路22の2本の分岐
路を通じて出力される光源からの光を上記光検出器にて
計測しながら光ファイバ12の偏波保存面が光導波路2
2の偏波方向と一致するように、図1中、XYZの直交
3軸方向についての光軸調整を行う。該光軸調整が済ん
だ段階で、これら第2のアレイ18と光導波路チップ1
4とが接着剤により接合される。More specifically, first, a second array 18 is bonded to one end face of the optical waveguide chip 14 with, for example, an adhesive. At this time, a light source is provided on the open end side of the optical fiber 12, while a photodetector is arranged on the other end surface side of the optical waveguide 22 (not shown), and the output is made through two branch paths of the optical waveguide 22. While the light from the light source to be measured is measured by the photodetector, the polarization maintaining surface of the optical fiber 12 is
In FIG. 1, the optical axis is adjusted in three directions orthogonal to XYZ in FIG. When the optical axis adjustment is completed, the second array 18 and the optical waveguide chip 1
4 are joined by an adhesive.
【0029】上記第2のアレイ18と光導波路チップ1
4との接合が終了すると、今度は、光導波路チップ14
の他方の端面に第1のアレイ16が例えば接着剤にて接
着される。このとき、光導波路22を通じて伝搬される
光源からの光を光検出器(図示せず)にて計測しながら
光ファイバ10の偏波保存面が光導波路22の偏波方向
と一致するように、図1中、XYZの直交3軸方向と光
ファイバ10の2芯(始端部10aと終端部10b)の
回転方向についての光軸調整を行う。該光軸調整が済ん
だ段階で、これら第1のアレイ16と光導波路チップ1
4とが接着剤により接合される。これにより、本実施の
形態に係る光ファイバアレイ16、18および該光ファ
イバアレイ16、18によって接合された光導波路チッ
プ14および光ファイバ10、12が完成する。The second array 18 and the optical waveguide chip 1
When the bonding with the optical waveguide chip 14 is completed,
The first array 16 is adhered to the other end surface of the first member by, for example, an adhesive. At this time, while measuring the light from the light source propagated through the optical waveguide 22 with a photodetector (not shown), the polarization preserving surface of the optical fiber 10 coincides with the polarization direction of the optical waveguide 22. In FIG. 1, the optical axis adjustment is performed in the three orthogonal XYZ directions and the rotation direction of the two cores (starting end 10a and end 10b) of the optical fiber 10. When the optical axis adjustment is completed, the first array 16 and the optical waveguide chip 1
4 are joined by an adhesive. Thus, the optical fiber arrays 16 and 18 according to the present embodiment, and the optical waveguide chip 14 and the optical fibers 10 and 12 joined by the optical fiber arrays 16 and 18 are completed.
【0030】[0030]
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る光フ
ァイバアレイは、光導波路チップと光ファイバとを接続
するための光ファイバアレイにおいて、前記光ファイバ
を挟持して配設するための2枚の基板を有し、前記2枚
の基板のうちの少なくとも1枚には前記光ファイバを保
持して固定するための溝部が形成され、前記溝部に前記
光ファイバが樹脂層により固着され、前記樹脂層は、直
径の総和が10μm〜500μmの範囲内にある1また
は2以上の空洞部を有する。As described above, the optical fiber array according to the present invention is an optical fiber array for connecting an optical waveguide chip and an optical fiber, the optical fiber array for holding the optical fiber therebetween. A plurality of substrates, at least one of the two substrates is formed with a groove for holding and fixing the optical fiber, the optical fiber is fixed to the groove by a resin layer, The resin layer has one or more cavities having a total diameter in the range of 10 μm to 500 μm.
【0031】このため、光ファイバの断線を生じること
がなく、また、光導波路の偏光クロストークの劣化の小
さい光ファイバアレイを得ることができる。Therefore, it is possible to obtain an optical fiber array in which the optical fiber is not broken and the polarization crosstalk of the optical waveguide is hardly deteriorated.
【図1】本実施の形態に係る光ファイバアレイにより接
続された光ファイバと光導波路チップの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an optical fiber and an optical waveguide chip connected by an optical fiber array according to the present embodiment.
【図2】端部が分岐した光ファイバが光ファイバアレイ
に固着された状態を示す分解斜視説明図である。FIG. 2 is an exploded perspective view showing a state in which an optical fiber whose end is branched is fixed to an optical fiber array.
【図3】端部が1本である光ファイバが光ファイバアレ
イに固着された状態を示す分解斜視説明図である。FIG. 3 is an exploded perspective view showing a state in which an optical fiber having one end is fixed to an optical fiber array.
【図4】光ファイバアレイの樹脂層の空洞部の直径の総
和と、光ファイバの断線率および偏光のクロストークと
の関係を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the sum of the diameters of the hollow portions of the resin layer of the optical fiber array and the disconnection rate and polarization crosstalk of the optical fiber.
10、12…光ファイバ 14…光導波路チップ 16、18…アレイ 20…LiNbO3 基
板 22…光導波路 24…位相変調器 26…偏光子 30a、30b、34
…V字状の溝 32、36…座繰り部10, 12 optical fiber 14 optical waveguide chip 16, 18 array 20 LiNbO 3 substrate 22 optical waveguide 24 phase modulator 26 polarizer 30a, 30b, 34
... V-shaped grooves 32, 36 ... counterbore
Claims (4)
ための光ファイバアレイにおいて、 前記光ファイバアレイは、前記光ファイバを挟持して配
設するための2枚の基板を有し、 前記2枚の基板のうちの少なくとも1枚には前記光ファ
イバを保持して固定するための溝部が形成され、 前記溝部に前記光ファイバが樹脂層により固着され、 前記樹脂層には、直径の総和が10μm〜500μmの
範囲内にある1または2以上の空洞部を有することを特
徴とする光ファイバアレイ。1. An optical fiber array for connecting an optical waveguide chip and an optical fiber, wherein the optical fiber array has two substrates for holding the optical fiber therebetween. A groove for holding and fixing the optical fiber is formed in at least one of the substrates, and the optical fiber is fixed to the groove by a resin layer. The resin layer has a total diameter. An optical fiber array having one or more cavities in a range of 10 μm to 500 μm.
て、 前記光ファイバアレイは、光導波路チップと光ファイバ
とを偏波面を一定の方向に保持して接続するための偏波
面保存光ファイバアレイであり、 前記2枚の基板のうちの少なくとも1枚には前記光ファ
イバの偏波面を一定の方向に保持して固定するための溝
部が形成されていることを特徴とする光ファイバアレ
イ。2. The optical fiber array according to claim 1, wherein said optical fiber array is a polarization-maintaining optical fiber array for connecting an optical waveguide chip and an optical fiber while maintaining a polarization plane in a fixed direction. An optical fiber array, characterized in that at least one of the two substrates is provided with a groove for holding and fixing the polarization plane of the optical fiber in a fixed direction.
ァイバアレイにおいて、 前記溝部はV字状の所定長に形成されるとともに、該溝
部に延在して溝部より幅広の座繰り部が形成され、 前記光ファイバが樹脂層により前記溝部に固着されるこ
とを特徴とする光ファイバアレイ。3. The optical fiber array according to claim 1, wherein the groove is formed to have a V-shaped predetermined length, and extends into the groove to be wider than the groove. The optical fiber array is characterized in that the optical fiber is fixed to the groove by a resin layer.
て、 前記光ファイバは、楕円コアファイバ、パンダファイ
バ、楕円ジャケットファイバ、棒帯ファイバのうちのい
ずれか1つであることを特徴とする光ファイバアレイ。4. An optical fiber array according to claim 3, wherein said optical fiber is one of an elliptical core fiber, a panda fiber, an elliptical jacket fiber, and a rod band fiber. array.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07709398A JP3679602B2 (en) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | Optical fiber array |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07709398A JP3679602B2 (en) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | Optical fiber array |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11271563A true JPH11271563A (en) | 1999-10-08 |
JP3679602B2 JP3679602B2 (en) | 2005-08-03 |
Family
ID=13624180
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP07709398A Expired - Fee Related JP3679602B2 (en) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | Optical fiber array |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3679602B2 (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002055253A (en) * | 2000-08-10 | 2002-02-20 | Fujikura Ltd | Optical multiplexer/demultiplexer |
WO2002039168A1 (en) * | 2000-11-07 | 2002-05-16 | Zenastra Photonics Inc. | Method of preparing optical fibers for connection to other fibers or to planar waveguides and a device for such a connection |
US6961504B2 (en) | 2000-03-30 | 2005-11-01 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical fiber array |
JP2009192847A (en) * | 2008-02-15 | 2009-08-27 | Ntt Electornics Corp | Optical component and optical fiber-holding method |
-
1998
- 1998-03-25 JP JP07709398A patent/JP3679602B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6961504B2 (en) | 2000-03-30 | 2005-11-01 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical fiber array |
JP2002055253A (en) * | 2000-08-10 | 2002-02-20 | Fujikura Ltd | Optical multiplexer/demultiplexer |
WO2002039168A1 (en) * | 2000-11-07 | 2002-05-16 | Zenastra Photonics Inc. | Method of preparing optical fibers for connection to other fibers or to planar waveguides and a device for such a connection |
JP2009192847A (en) * | 2008-02-15 | 2009-08-27 | Ntt Electornics Corp | Optical component and optical fiber-holding method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3679602B2 (en) | 2005-08-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4991922A (en) | Optical fiber coupler and method | |
CA2074860C (en) | Method of reinforcing optical fiber coupler | |
CA2113742A1 (en) | Protective structure for an optical fiber coupler and method for protecting the same | |
JPH11125730A (en) | Metal evaporated optical fiber array module | |
EP0544024B1 (en) | Method of manufacturing and testing integrated optical components | |
US5371818A (en) | Integrated optical circuit and methods for connecting such circuits to glass fibers | |
US4398795A (en) | Fiber optic tap and method of fabrication | |
EP0457761B1 (en) | Methods for rugged attachment of fibers to integrated optics chips and product thereof | |
CA2063524C (en) | Optical sensor and method for producing the same | |
EP4339669A1 (en) | Method for orienting and terminating polarization-maintaining (pm) optical fiber and forming a pm optical fiber assembly | |
JP3679602B2 (en) | Optical fiber array | |
JPH06509427A (en) | optical coupler housing | |
GB2376756A (en) | Optic fibre support for alignment of optic fibres | |
JP2002040290A (en) | Fiber array part and its manufacturing method | |
US5146522A (en) | Methods for rugged attachment of fibers to integrated optics chips and product thereof | |
JPH11271561A (en) | Method for joining optical fiber array and optical waveguide chip | |
JP3758762B2 (en) | Optical connection parts | |
JP4018852B2 (en) | Optical waveguide substrate | |
JP2001272570A (en) | Optical fiber array | |
KR101068527B1 (en) | Structure of fiber array block and its manufacture method | |
JPS58196521A (en) | Optical coupling circuit | |
JP6696936B2 (en) | Optical fiber terminal structure, optical element connection structure, and method for manufacturing optical fiber terminal structure | |
JP4357777B2 (en) | Manufacturing method of optical components | |
JPH05264862A (en) | Optical waveguide module | |
JPH10221014A (en) | Optical wave guide path displacement sensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041101 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041109 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050510 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050513 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080520 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090520 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100520 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100520 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110520 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120520 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120520 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130520 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130520 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140520 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |