JPH11271109A

JPH11271109A - 流体振動形流量計

Info

Publication number: JPH11271109A
Application number: JP7602598A
Authority: JP
Inventors: Minoru Kumagai; 稔熊谷
Original assignee: Yazaki Corp
Current assignee: Yazaki Corp
Priority date: 1998-03-24
Filing date: 1998-03-24
Publication date: 1999-10-05

Abstract

(57)【要約】【課題】流速検出手段の検知部が２次元流路内に入り
過ぎているのか、入り方が足りないのかについて容易に
確認することができる流体振動形流量計を提供すること
を課題としている。【解決手段】高さ方向の寸法が一定の２次元流路とし
てのノズル流路２１０を備え、このノズル流路２１０か
ら噴出する流体の流体振動に基づいて流量を検出する流
体振動形流量計であって、前記ノズル流路２１０の入口
側から出口側に至る方向に沿う所定の位置に、流速検出
手段８の検知部８１を配置してなり、前記流速検出手段
８は、前記２次元流路の一方の側を覆うカバー５に取り
付けられるようになっており、このカバー５には、流速
検出手段８を取り付ける台部５１が設けられていると共
に、検知部８１を２次元流路に臨むように挿入する貫通
孔５２が設けられていることを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ノズル流路から
噴出する流体の流体振動に基づいて流量を検出する流体
振動形流量計であって、より低流量の測定を可能とする
流速検出手段を備えた流体振動形流量計に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】この種の流体振動形流量計としては、例
えば特開平６−３４１８６９号公報に示されたものが知
られている。この公報に示されている流体振動形流量計
は、低流量を検出するフローセンサの流量検知部を、嵌
合凹部に嵌め込むように構成されている。嵌合凹部は、
噴出ノズル部に対応する位置に設けられている。このた
め、噴出ノズル部を流れる流体の流速を流量検知部で検
知することにより、低流量を検出することができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
流体振動形流量計においては、嵌合凹部に流量検知部を
嵌め込んだ後は、この流量検知部が噴出ノズル内に入り
過ぎているか、あるいは入りかたが足りないのかについ
て、全く確認することができないという問題がある。

【０００４】この発明は上述した問題を解決するために
なされたものであり、流速検出手段の検知部が２次元流
路内に入り過ぎているのか、入り方が足りないのかにつ
いて容易に確認することができる流体振動形流量計を提
供することを課題としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明は、高さ方向の寸法が一定の２次元流路と
してのノズル流路（２１０）を備え、このノズル流路
（２１０）から噴出する流体の流体振動に基づいて流量
を検出する流体振動形流量計であって、前記ノズル流路
（２１０）の入口側から出口側に至る方向に沿う所定の
位置に、流速検出手段（８）の検知部（８１）を配置し
てなり、前記流速検出手段（８）は、前記２次元流路の
一方の側を覆うカバー（５）に取り付けられるようにな
っており、このカバー（５）には、流速検出手段（８）
を取り付ける台部（５１）が設けられていると共に、検
知部（８１）を２次元流路に臨むように挿入する貫通孔
（５２）が設けられていることを特徴としている。

【０００６】そして、上記のように構成された発明にお
いては、カバー（５）で２次元流路の一方の側を覆う前
に、このカバー（５）に流速検出手段（８）を取り付け
る。すなわち、流速検出手段（８）をカバー（５）の台
部（５１）に取り付けると、もしカバー（５）が２次元
流路を閉塞した状態になっていれば、検知部（８１）が
貫通孔（５２）から２次元流路に臨む状態になる。ただ
し、カバー（５）は２次元流路を閉塞した状態になって
いないので、検知部（８１）がカバー（５）の内面（５
ｃ）から貫通孔（５２）を介してどの程度出ているの
か、内面（５ｃ）から貫通孔（５２）内にどの程度入っ
ているのか容易に確認することができる。換言すれば、
流速検出手段（８）の検知部（８１）が２次元流路内に
入り過ぎているのか、入り方が足りないのかについて容
易に確認することができる。

【０００７】このため、流速検出手段（８）の取付不良
が生じるのを防止することができる。しかも、２次元流
路内に検知部（８１）が入り過ぎていれば、台部（５
１）に例えばスペーサを設けることによって、また２次
元流路内への検知部（８１）の入り方が足りなければ、
台部（５１）あるいは流速検出手段（８）を削るなどに
よって、検知部（８１）を正規の位置に微調整すること
ができる。したがって、検知部（８１）の位置精度の向
上を図ることができる。

【０００８】また、台部（５１）及び貫通孔（５２）の
位置の異なるカバー（５）に交換することにより、２次
元流路としてのノズル流路（２１０）の任意の位置に、
流速検出手段（８）の検知部（８１）を設置することが
できるという利点がある。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を実
施例に基づき図１〜図６を参照して説明する。この実施
例で示す流体振動形流量計ＦＭは、図１〜図４に示すよ
うに、高さ方向の寸法が一定の２次元流路としてのノズ
ル流路２１０を備え、このノズル流路２１０から噴出す
る流体の流体振動に基づいて流量を検出するものであっ
て、ノズル流路２１０の入口側から出口側に至る方向に
沿う所定の位置に、流速検出手段８の検知部８１を配置
してなり、流速検出手段８は、２次元流路の一方の側を
覆うカバー５に取り付けられるようになっており、この
カバー５には、流速検出手段８を取り付ける台部５１が
設けられていると共に、検知部８１を２次元流路に臨む
ように挿入する貫通孔５２が設けられていることを特徴
としている。

【００１０】以下、上記構成について、さらに詳細に説
明する。すなわち、流体振動形流量計ＦＭは、図４に示
すように、カバー５で閉じられるハウジング１内に一対
のノズル部材２、２を設けることにより、同ハウジング
１内にノズル流路２１０を構成すると共に、このノズル
流路２１０の上流側及び下流側にそれぞれ上流側流路２
００及び下流側流路２２０を構成する構造になってい
る。

【００１１】下流側流路２２０には、ノズル流路２１０
の延長線上（中心線Ｃ上）にターゲット３が設けられて
いる。ターゲット３は、円弧状の断面形状を有する柱状
のもので構成されており、その下端部には、四角形状の
設定台部３ａが一体的に形成されている。そして、ノズ
ル流路２１０を通って噴出するＬＰガス（流体）がター
ゲット３に衝突することによって流体振動が発生し、こ
の流体振動に基づいて流量を検出する原理になってい
る。

【００１２】上記ハウジング１は、凹状に形成された箱
型矩形状の溝１ａを有しており、この溝１ａの表面をカ
バー５で覆うことによって、上流側流路２００、ノズル
流路２１０及び下流側流路２２０を２次元流路に構成し
ている。すなわち、上流側流路２００、ノズル流路２１
０及び下流側流路２２０は、溝１ａの底面を構成する底
壁部１１０からの高さ（図４の紙面に直交する方向の寸
法（厚さ方向の寸法））が一定で、中心線Ｃを介して左
右対称の２次元流路となっている。

【００１３】また、ハウジング１には、流入口１ｂ及び
流出口１ｃが設けられている。さらに、ハウジング１に
は、カバー５を固定するためのねじ穴１ｅが形成されて
いると共に、ノズル部材２を固定するためのねじ穴（図
示せず）が形成されている。ねじ穴１ｅには、カバー５
を固定するためのボルト６がねじ込まれるようになって
いる。そして、ノズル部材２には、上記ボルト６の通る
貫通孔２ａが形成されていると共に、ノズル部材２をハ
ウジング１に固定するためのボルト７の貫通孔２ｂが形
成されている。

【００１４】下流側流路２２０における底壁部１１０に
は、中心線Ｃに対して左右対称の位置に圧力取出孔４が
２つ形成されている。さらに、下流側流路２２０におけ
る底壁部１１０には、ターゲット３に一体に形成された
設定台部３ａを保持する凹部１ｆが形成されている。設
定台部３ａは、凹部１ｆに嵌合した状態において、その
上面が底壁部１１０の表面と面一状になるようになって
いる。

【００１５】そして、上記のように構成された流体振動
形流量計ＦＭにおいては、圧力取出孔４から圧力センサ
ーを用いて検出した流体振動の周波数と、ＬＰガス（流
体）の流量あるいは流速が比例関係にあることから、流
量を測定することができる。

【００１６】一方、流速検出手段８は、上記流体振動に
よって測定する流量よりもさらに低い低流量を測定する
ようになっている。この流速検出手段８は、検知部８１
に例えば熱式センサーが設けられたものであり、ＬＰガ
スの流速を測定することにより、そのガスの通る位置の
断面積から流量を検出するようになっている。もちろ
ん、流速をそのまま検出することも可能になっている。

【００１７】また、図１〜図３に示すカバー５は、図４
に示すノズル流路２１０の入口部Ｎ１に検知部８１を配
置すべく構成したものである。したがって、カバー５に
は、図１〜図３に示すように、検知部８１を挿通する円
形の貫通孔５２が中心線Ｃ上の入口部Ｎ１に対応する位
置に形成されている。貫通孔５２の周りには、カバー５
の外面５ｂ側にＯリング溝５３が形成されている。この
Ｏリング溝５３には図示しないＯリングが入るようにな
っていて、このＯリングによって、カバー５と流速検出
手段８との間からＬＰガスが漏れるのを防止するように
なっている。そして、貫通孔５２の左右位置には流速検
出手段８を保持する台部５１が設けられている。台部５
１には、流速検出手段８をボルトＢで固定するためのネ
ジ穴５１ａが形成されている。また、図１及び図２にお
いて５ａは、上述したボルト６の頭部を保持するための
ボルト保持孔である。

【００１８】一方、図５に示すカバー５は、図４に示す
ノズル流路２１０の入口部Ｎ１と出口部Ｎ３との間であ
る中間部Ｎ２に、検知部８１を配置すべく構成したもの
である。したがって、カバー５には、図５に示すよう
に、検知部８１を挿通する貫通孔５２が中心線Ｃ上の中
間部Ｎ２に対応する位置に形成されている。台部５１、
Ｏリング溝５３についても、上述したように設けられて
いる。

【００１９】さらに、図６に示すカバー５は、図４に示
すノズル流路２１０の出口部Ｎ３に検知部８１を配置す
べく構成したものである。したがって、カバー５には、
図６に示すように、検知部８１を挿通する貫通孔５２が
中心線Ｃ上の出口部Ｎ３に対応する位置に形成されてい
る。台部５１、Ｏリング溝５３についても、上述したよ
うに設けられている。

【００２０】上記のように構成された流体振動形流量計
ＦＭにおいては、カバー５で２次元流路の一方の側を覆
う前に、このカバー５に流速検出手段８を取り付ける。
すなわち、流速検出手段８をカバー５の台部５１に取り
付けると、もしカバー５が２次元流路を閉塞した状態に
なっていれば、検知部８１が貫通孔５２から２次元流路
としてのノズル流路２１０の入口部Ｎ１、中間部Ｎ２又
は出口部Ｎ３に臨む状態になる。ただし、カバー５は２
次元流路を閉塞した状態になっていないので、検知部８
１がカバー５の内面５ｃから貫通孔５２を介してどの程
度出ているのか、内面５ｃから貫通孔５２内にどの程度
入っているのか容易に確認することができる。換言すれ
ば、流速検出手段８の検知部８１が２次元流路としての
ノズル流路２１０の例えば入口部Ｎ１内に入り過ぎてい
るのか、入り方が足りないのかについて容易に確認する
ことができる。

【００２１】このため、流速検出手段８の取付不良が生
じるのを防止することができる。しかも、２次元流路と
してのノズル流路２１０の入口部Ｎ１内に検知部８１が
入り過ぎていれば、台部５１に例えばスペーサを設ける
ことによって、また入口部Ｎ１内への検知部８１の入り
方が足りなければ、台部５１あるいは流速検出手段８を
削るなどによって、検知部８１を正規の位置に微調整す
ることができる。したがって、検知部８１の位置精度の
向上を図ることができる。

【００２２】また、図５や図６に示すように、台部５１
及び貫通孔５２の位置の異なるカバー５に交換すること
により、２次元流路としてのノズル流路２１０の任意の
位置に、流速検出手段８の検知部８１を設置することが
できるという利点がある。

【００２３】なお、上記実施例においては、流速検出手
段８の検知部８１として熱式センサーを用いた例を示し
たが、この熱式センサーに代えて、例えば発熱部の温度
を一定温度に保持するために供給する電力の値から流速
を求めるよう構成したものや、その他のもので構成した
ものであってもよい。

【００２４】また、上記実施例においては、ＬＰガスメ
ータとしての流体振動形流量計を示したが、この流体振
動形流量計は、ＬＰガス以外の他の気体や、液体等の流
体についても流量を測定することが可能である。

【００２５】

【発明の効果】この発明によれば、カバーで２次元流路
の一方の側を覆う前に、このカバーに流速検出手段を取
り付ける。すなわち、流速検出手段をカバーの台部に取
り付けると、もしカバーが２次元流路を閉塞した状態に
なっていれば、検知部が貫通孔から２次元流路に臨む状
態になる。ただし、カバーは２次元流路を閉塞した状態
になっていないので、検知部がカバーの内面から貫通孔
を介してどの程度出ているのか、内面から貫通孔内にど
の程度入っているのか容易に確認することができる。換
言すれば、流速検出手段の検知部が２次元流路内に入り
過ぎているのか、入り方が足りないのかについて容易に
確認することができる。

【００２６】このため、流速検出手段の取付不良が生じ
るのを防止することができる。しかも、２次元流路内に
検知部が入り過ぎていれば、台部に例えばスペーサを設
けることによって、また２次元流路内への検知部の入り
方が足りなければ、台部あるいは流速検出手段を削るな
どによって、検知部を正規の位置に微調整することがで
きる。したがって、検知部の位置精度の向上を図ること
ができる。

【００２７】また、台部及び貫通孔の位置の異なるカバ
ーに交換することにより、２次元流路としてのノズル流
路の任意の位置に、流速検出手段の検知部を設置するこ
とができるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例として示した流体振動形流
量計のカバーを示す正面図である。

【図２】同流体振動形流量計のカバーを示す図であっ
て、貫通孔をノズル流路の入口部に配置したものを示す
正面図である。

【図３】同流体振動形流量計のカバーを示す図であっ
て、図１のIII−III線に沿う断面図である。

【図４】同流体振動形流量計を示す正面図である。

【図５】同流体振動形流量計のカバーを示す図であっ
て、貫通孔をノズル流路の中間部に配置したものを示す
正面図である。

【図６】同流体振動形流量計のカバーを示す図であっ
て、貫通孔をノズル流路の出口部に配置したものを示す
正面図である。

【符号の説明】

２１０ノズル流路５カバー５１台部５２貫通孔８流速検出手段８１検知部Ｎ１入口部Ｎ２中間部Ｎ３出口部ＦＭ流体振動形流量計

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】高さ方向の寸法が一定の２次元流路とし
てのノズル流路を備え、このノズル流路から噴出する流
体の流体振動に基づいて流量を検出する流体振動形流量
計であって、前記ノズル流路の入口側から出口側に至る方向に沿う所
定の位置に、流速検出手段の検知部を配置してなり、前記流速検出手段は、前記２次元流路の一方の側を覆う
カバーに取り付けられるようになっており、このカバーには、流速検出手段を取り付ける台部が設け
られていると共に、検知部を２次元流路に臨むように挿
入する貫通孔が設けられていることを特徴とする流体振
動形流量計。