JPH11269633A - Composite ceramics type evaporation source for vacuum deposition - Google Patents
Composite ceramics type evaporation source for vacuum depositionInfo
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- JPH11269633A JPH11269633A JP10092438A JP9243898A JPH11269633A JP H11269633 A JPH11269633 A JP H11269633A JP 10092438 A JP10092438 A JP 10092438A JP 9243898 A JP9243898 A JP 9243898A JP H11269633 A JPH11269633 A JP H11269633A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、金属材料を加熱蒸
発させる真空蒸着用複合セラミックス型蒸発源に関す
る。The present invention relates to a composite ceramics type evaporation source for vacuum evaporation for heating and evaporating a metal material.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、アルミニウム、銅、銀、亜鉛
等の金属の真空蒸着を行う装置としては、図４に示すよ
うな巻取式蒸着装置が用いられている。この装置は蒸着
用金属材料を蒸発させる蒸発源１に対向して、フィルム
４を冷却しながら送るようにしているクーリングローラ
２が設けられており、巻出しローラ３から送られてきた
フィルム４を、クーリングローラ２の周面上をこのクー
リングローラ２と同一速度で進行させ、フィルム４をク
ーリングローラ２と密着状態で冷却しながら蒸発源１か
ら蒸発した金属をコーティングし、巻取りローラ５によ
って巻取るようにしている。また、巻出しローラ３とク
ーリングローラ２との間に、エキスパンドローラ６が、
また巻取りローラ５とクーリングローラ２との間に、同
じくエキスパンドローラ７がそれぞれ配設されており、
これらの両ローラ６、７は、それぞれ周速度を可変とす
ることができるように構成されている。更に、図示され
ていないが、蒸発源１が電子ビーム加熱又は抵抗加熱方
式の場合には、蒸発により減少する蒸着用金属材料が自
動的に供給される材料供給機構が設けられている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a device for performing vacuum deposition of metals such as aluminum, copper, silver and zinc, a roll-up type deposition device as shown in FIG. 4 has been used. This apparatus is provided with a cooling roller 2 for feeding the film 4 while cooling it, facing the evaporation source 1 for evaporating the metal material for vapor deposition. The film 4 is advanced on the peripheral surface of the cooling roller 2 at the same speed as the cooling roller 2, and coated with metal evaporated from the evaporation source 1 while cooling the film 4 in close contact with the cooling roller 2. I'm trying to take it. An expanding roller 6 is provided between the unwinding roller 3 and the cooling roller 2.
Also, between the winding roller 5 and the cooling roller 2, expand rollers 7 are similarly disposed, respectively.
These two rollers 6 and 7 are configured such that their peripheral speeds can be varied. Further, although not shown, when the evaporation source 1 is of an electron beam heating or resistance heating type, a material supply mechanism for automatically supplying a metal material for evaporation reduced by evaporation is provided.
【０００３】この装置の蒸発源１としては、窒化ホウ素
焼結体（ＢＮ−ＴｉＢ2 −ＡｌＮ）コンポジットのボー
ト状成形体が使用され、これに直接通電して加熱してい
た。図３にこの蒸発源の縦断面図を示すが、直方体状に
形成されたボート１１の上面部に、金属が溶融する凹部
１２が設けられている。しかし、このボート１１は素材
となるＢＮ、ＴｉＢ2 、ＡｌＮの純度や焼結方法、使用
条件によりボート１１の寿命が異なり、更に、長時間の
使用により、蒸着用金属材料の供給される位置付近が窪
んだり、溶融金属と反応して化合物を生成するという問
題があった。そして、この直熱型のボート１１において
は溶融金属にも電流が流れるため、蒸発時間の経過によ
る溶融金属の減少にしたがって電流が変化し、また長時
間使用した場合、ボート１１の素材の化学組成や結晶構
造の変化が起こり、ボート１１自身に流れる電流も変化
する。これにより、金属の蒸発温度を制御できなくな
り、安定した膜厚形成ができなくなるという問題があっ
た。[0003] As an evaporation source 1 of this apparatus, a boat-shaped formed body of a boron nitride sintered body (BN-TiB 2 -AlN) was used, which was directly energized and heated. FIG. 3 shows a vertical sectional view of the evaporation source. A concave portion 12 in which metal is melted is provided on the upper surface of a boat 11 formed in a rectangular parallelepiped shape. However, the life of the boat 11 varies depending on the purity, sintering method, and use conditions of BN, TiB 2 , and AlN as the raw materials. However, there is a problem in that the compound is dented or reacts with the molten metal to generate a compound. In the direct-heated boat 11, current also flows through the molten metal, so that the current changes as the molten metal decreases due to the elapse of the evaporation time, and when used for a long time, the chemical composition of the material of the boat 11 Also, the crystal structure changes, and the current flowing through the boat 11 itself also changes. As a result, there is a problem that the evaporation temperature of the metal cannot be controlled and a stable film thickness cannot be formed.
【０００４】そこで、本出願人は上記の問題点を解決す
るために、特開平８−３１１６３８号公報に記載され
る、長寿命で安定な蒸発量が確保される傍熱型の蒸発源
を開発した。図１に、この傍熱型の蒸発源１の全体を、
図２に傍熱型ヒータ２１のみの縦断面図を示す。蒸発源
１は、カーボン又はタングステン等の高融点金属からな
る傍熱型ヒータ２１に、溶融金属との反応性が小さい窒
化アルミニウム等の絶縁体セラミックスからなる金属溶
融用ルツボ３１を、ルツボ３１の底面が傍熱型ヒータ２
１の凹部２２の上面に接するようにして組み込んで構成
されている。そして、傍熱型ヒータ２１に電流を流し
て、ルツボ３１を底面及び側面から間接的に加熱するよ
うになっている。このことにより、ルツボ３１と溶融金
属との反応を少なくすることができ、溶融金属が長時間
にわたって安定して蒸発し、ルツボ３１の寿命が延び、
また電流は傍熱型ヒータ２１のみに流れるので安定した
膜厚制御ができるようになった。In order to solve the above problems, the present applicant has developed an indirectly heated evaporation source described in Japanese Patent Application Laid-Open No. H8-311638, which has a long life and a stable evaporation amount. did. FIG. 1 shows the entirety of this indirectly heated evaporation source 1.
FIG. 2 shows a longitudinal sectional view of only the indirectly heated heater 21. The evaporation source 1 includes an indirectly heated heater 21 made of a high melting point metal such as carbon or tungsten, and a metal melting crucible 31 made of an insulating ceramic such as aluminum nitride having low reactivity with the molten metal. Is indirectly heated heater 2
It is configured so as to be in contact with the upper surface of one recess 22. An electric current is supplied to the indirectly heated heater 21 to indirectly heat the crucible 31 from the bottom and side surfaces. Thereby, the reaction between the crucible 31 and the molten metal can be reduced, the molten metal evaporates stably for a long time, and the life of the crucible 31 is extended,
Further, since the current flows only to the indirectly heated heater 21, stable film thickness control can be performed.
【０００５】ところで、ルツボ３１に蒸着用金属材料が
供給されるときには、既に溶融した金属が蒸発している
ところに供給されるので、金属材料が供給されるルツボ
３１の部分の温度は下がり、温度変化による熱衝撃（サ
ーマルショック）が発生する。When the metal material for vapor deposition is supplied to the crucible 31, since the molten metal is supplied to a portion where the molten metal has been evaporated, the temperature of the portion of the crucible 31 to which the metal material is supplied decreases, and the temperature decreases. A thermal shock (thermal shock) occurs due to the change.
【０００６】そして、この特開平８−３１１６３８号公
報に示されているルツボ３１では、３００ｍ／ｍｉｎで
走行するフィルム４に、膜厚４００Åの金属膜を蒸着す
る程度の成膜速度の場合には、金属材料の供給によるル
ツボ３１への熱衝撃がそれ程大きくないので、比較的長
寿命であったが、最近のように生産効率を向上させると
いう観点から同じ膜厚でフィルム４の走行速度が６００
〜１０００ｍ／ｍｉｎという高速成膜が要求されるよう
になると、当然従来に比べて多量の蒸発量、つまりより
大きい蒸発速度が必要となり、これに対応して蒸着用金
属材料の供給速度を速くしなければならないため、ルツ
ボ３１が大きな熱衝撃を受け、短時間でクラックが発生
するという問題が生じるようになってきた。In the crucible 31 disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H8-311638, when the film forming speed is such that a metal film having a thickness of 400 ° is deposited on the film 4 running at 300 m / min. Although the thermal shock to the crucible 31 due to the supply of the metal material is not so large, the crucible 31 has a relatively long life. However, from the viewpoint of improving the production efficiency, the traveling speed of the film 4 is 600
When a high-speed film formation of up to 1000 m / min is required, a large amount of evaporation, that is, a large evaporation rate is naturally required as compared with the conventional technique, and accordingly, the supply rate of the metal material for evaporation is increased. Therefore, there has been a problem that the crucible 31 receives a large thermal shock and cracks are generated in a short time.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の問題に
鑑みてなされ、高速成膜における耐熱衝撃性に優れた長
寿命の真空蒸着用蒸発源を提供することを課題とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in consideration of the above-mentioned problems, and has as its object to provide a long-life evaporation source for vacuum deposition having excellent thermal shock resistance in high-speed film formation.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】以上の課題は、導電体か
らなる加熱用の傍熱型ヒータと、該傍熱型ヒータによっ
て加熱される複合セラミックスからなる金属溶融用ルツ
ボとを、該ルツボの外面の主部が前記傍熱型ヒータ面と
接するように組み込んだ真空蒸着用複合セラミックス型
蒸発源において、前記複合セラミックスは窒化アルミニ
ウムと耐熱衝撃性のセラミックスとを複合化した複合セ
ラミックス材料であることを特徴とする真空蒸着用複合
セラミックス型蒸発源、によって解決される。SUMMARY OF THE INVENTION The object of the present invention is to provide an indirectly heated heater made of a conductor and a metal melting crucible made of composite ceramics heated by the indirectly heated heater. In a composite ceramics type evaporation source for vacuum evaporation in which a main part of an outer surface is in contact with the indirectly heated heater surface, the composite ceramics is a composite ceramics material obtained by compounding aluminum nitride and a thermal shock resistant ceramic. This is solved by a composite ceramics type evaporation source for vacuum evaporation characterized by the following.
【０００９】本発明は、金属溶融用ルツボの素材とし
て、窒化アルミニウムと耐熱衝撃性のセラミックスとを
複合化した複合セラミックス材料、更に詳しくは、この
複合セラミックス材料の組成が、窒化アルミニウムに対
して、窒化ホウ素、炭化ホウ素、窒化ケイ素、炭化ケイ
素及びアルミナのいずれか１つ、又はこれらの２つ以上
の混合物の組成が２０％から８０％の範囲である複合セ
ラミックス材料を用いることにより、高速成膜という条
件下においても熱衝撃に耐えることができ、蒸発源の寿
命を大幅に延ばすことができる。The present invention provides a composite ceramic material obtained by compounding aluminum nitride and a thermal shock resistant ceramic as a material of a metal melting crucible. More specifically, the composition of the composite ceramic material is High-speed film formation by using a composite ceramic material in which the composition of one of boron nitride, boron carbide, silicon nitride, silicon carbide, and alumina, or a mixture of two or more thereof is in the range of 20% to 80% Under such conditions, it is possible to withstand thermal shock, and the life of the evaporation source can be greatly extended.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て説明する。Next, an embodiment of the present invention will be described.
【００１１】本実施の形態による金属溶融用ルツボ３
１’は、熱伝導性と溶融金属に対する耐食性に優れた窒
化アルミニウムの粉末と、耐熱衝撃性に優れた窒化ホウ
素の粉末を配合して焼結体にして、図１に示されている
従来のルツボ３１と同一の形状（ほぼ直方形状のキャビ
ティーを有するボート形状）に加工して、複合セラミッ
クスでなるルツボ３１’としている。すなわち、図１に
示されている従来のルツボ３１とは材質のみが異なる。
なお、本実施の形態によるルツボ３１’（従来のルツボ
３１）の寸法は、幅３２ｍｍ、長さ１５６ｍｍ、高さ１
０ｍｍで、キャビティーの大きさは、幅２６ｍｍ、長さ
９５ｍｍ、深さ５ｍｍとなっている。そして、従来と同
様にカーボン又はタングステン等の高融点金属からなる
傍熱型ヒータ２１に、上述した本実施の形態による複合
セラミックスでなるルツボ３１’を、このルツボ３１’
の底面と、外側周面の、底面からのほぼ半分の高さの部
分、すなわちルツボ３１’の外面の主部が傍熱型ヒータ
２１の凹部２２と接するようにして組み込んで構成して
いる。そして、傍熱型ヒータ２１に電流を流して、ルツ
ボ３１’を底面及び側面から間接的に加熱する。A crucible 3 for melting metal according to the present embodiment.
1 ′ is a sintered body obtained by blending aluminum nitride powder having excellent thermal conductivity and corrosion resistance to molten metal and boron nitride powder having excellent thermal shock resistance to obtain a conventional sintered body as shown in FIG. The crucible 31 is processed into the same shape as the crucible 31 (a boat shape having a substantially rectangular cavity) to be a crucible 31 'made of composite ceramics. That is, only the material is different from the conventional crucible 31 shown in FIG.
The dimensions of the crucible 31 ′ (conventional crucible 31) according to the present embodiment are as follows: width 32 mm, length 156 mm, height 1
At 0 mm, the size of the cavity is 26 mm wide, 95 mm long, and 5 mm deep. Then, the crucible 31 ′ made of the composite ceramics according to the present embodiment described above is added to the indirectly heated heater 21 made of a high melting point metal such as carbon or tungsten as in the conventional case.
And a portion of the outer peripheral surface approximately half the height from the bottom surface, that is, a main portion of the outer surface of the crucible 31 ′ is brought into contact with the concave portion 22 of the indirectly heated heater 21. Then, an electric current is applied to the indirectly heated heater 21 to indirectly heat the crucible 31 'from the bottom and side surfaces.
【００１２】次に、ルツボ材料の配合割合、つまり窒化
アルミニウムに対する窒化ホウ素の含有量を０％、１０
％、・・・・・９０％、１００％と変化させて、蒸着用
金属材料としてアルミニウムを用いて実験を行なった結
果について説明する。Next, the mixing ratio of the crucible material, that is, the content of boron nitride with respect to aluminum nitride is set to 0%, 10%.
%,..., 90%, and 100%, and the results of experiments performed using aluminum as the metal material for vapor deposition will be described.
【００１３】蒸発実験は、約１×１０-2Ｐａの真空中
で、直径２ｍｍのアルミニウム線をルツボ内に連続供給
して行なった。このときのアルミニウム線の供給速度
は、プラスチックフィルムの走行速度として現在要求さ
れている、従来の約２．３倍の走行速度７００ｍ／ｍｉ
ｎで、厚さ４００Åのアルミニウム膜を形成させるとい
う条件を満たすように、アルミニウム線の供給速度も従
来に比べて約２．３倍の速さで供給するようにしてい
る。この条件で連続して蒸発実験を繰り返し、１時間ご
とにルツボの破壊状況を観察した。この実験結果を表１
に示す。The evaporation experiment was carried out in a vacuum of about 1 × 10 -2 Pa by continuously supplying an aluminum wire having a diameter of 2 mm into the crucible. The supply speed of the aluminum wire at this time is 700 m / mi, which is about 2.3 times the conventional one, which is currently required as the traveling speed of the plastic film.
In order to satisfy the condition that an aluminum film having a thickness of 400 ° is formed at n, the supply speed of the aluminum wire is set to be about 2.3 times faster than the conventional one. Evaporation experiments were repeated continuously under these conditions, and the breaking state of the crucible was observed every hour. Table 1 shows the results of this experiment.
Shown in
【００１４】[0014]
【表１】 [Table 1]
【００１５】表１に示されているように、窒化アルミニ
ウムに対する窒化ホウ素の含有量が０％、つまり純窒化
アルミニウムのルツボでは、１時間でＡモードの破壊状
況（アルミニウム線が供給された部分に、熱衝撃による
クラックが発生）となったが（これは窒化アルミニウム
の耐熱衝撃性が小さいためであり）、窒化アルミニウム
に対して、耐熱衝撃性に優れている窒化ホウ素を１０％
含ませることにより、Ａモードのクラック発生時間は１
１時間に延びた。As shown in Table 1, when the content of boron nitride relative to aluminum nitride is 0%, that is, in a crucible made of pure aluminum nitride, an A-mode breaking state (a portion where an aluminum wire is supplied) And cracks due to thermal shock) (because of the low thermal shock resistance of aluminum nitride), but 10% of boron nitride having excellent thermal shock resistance to aluminum nitride.
By including it, the crack generation time in A mode is 1
Prolonged to one hour.
【００１６】一方、窒化アルミニウムに対する窒化ホウ
素の含有量が１００％、つまり純窒化ホウ素のルツボで
は、１時間でＢモードの破壊状況（アルミニウム線の供
給部分とは関係なくルツボの底面と内周側の壁面に多数
の極微小のクラックが発生）となり（これは窒化ホウ素
の耐食性が小さいため）、窒化ホウ素含有量９０％で
は、つまり窒化ホウ素に対して、耐食性に優れた窒化ア
ルミニウムを１０％含まれることにより、Ｂモードのク
ラック発生時間は７時間に延びた。On the other hand, in the case of a crucible made of pure boron nitride in which the content of boron nitride with respect to aluminum nitride is 100%, the B-mode breakage state occurs in one hour (regardless of the supply portion of the aluminum wire, the bottom surface of the crucible and the inner peripheral side). Many minute cracks occur on the wall surface of the steel) (because of the low corrosion resistance of boron nitride), and at a boron nitride content of 90%, that is, 10% of aluminum nitride having excellent corrosion resistance to boron nitride As a result, the crack generation time in the B mode was extended to 7 hours.
【００１７】このように窒化アルミニウムと窒化ホウ素
を混合することにより、単一のセラミックスをルツボの
素材としたときよりも、ルツボへのクラック発生時間は
延びるが、この程度ではルツボ性能としては不十分であ
る。By mixing aluminum nitride and boron nitride in this way, the time for crack generation in the crucible is longer than when a single ceramic is used as the material for the crucible, but this is insufficient for crucible performance. It is.
【００１８】次に、窒化アルミニウムに対する窒化ホウ
素の含有量を２０〜８０％とした場合では、２０時間に
よるアルミニウム線の連続供給による蒸発実験でも、Ａ
モード及びＢモードのどちらのクラックも観察されず、
ルツボは健全であった。したがって、表１において、窒
化ホウ素の含有量が２０〜８０％のときの破壊時間を２
０時間以上と表現している。Next, when the content of boron nitride with respect to aluminum nitride is set to 20 to 80%, even in an evaporation experiment by continuous supply of aluminum wire for 20 hours, A
No cracks in both mode and B mode were observed,
The crucible was healthy. Therefore, in Table 1, the breaking time when the boron nitride content is 20 to 80% is 2
Expressed as 0 hours or more.
【００１９】この実験結果より、アルミニウムの連続蒸
着において、耐食性と熱伝導性に優れた窒化アルミニウ
ムに、耐熱衝撃性に優れた窒化ホウ素を２０〜８０％の
割合で混ぜ、複合化して形成したルツボ３１’を傍熱型
蒸発源のルツボとして使用することにより、フィルムの
走行速度７００ｍ／ｍｉｎという高速成膜の条件下にお
いてもクラックを発生せず長時間の使用に耐えることが
でき、ルツボの寿命を大幅に延ばすことができた。この
ため、長時間、ルツボを交換することなしに作業が可能
となり、ルツボ費用の低減及び作業時間が短縮できる。According to the experimental results, in the continuous deposition of aluminum, a crucible formed by mixing and mixing aluminum nitride having excellent corrosion resistance and heat conductivity with boron nitride having excellent thermal shock resistance at a ratio of 20 to 80%. By using 31 'as a crucible for an indirectly heated evaporation source, it can withstand use for a long time without generating cracks even under conditions of high-speed film formation at a film running speed of 700 m / min. Could be greatly extended. Therefore, the work can be performed for a long time without replacing the crucible, and the crucible cost can be reduced and the work time can be shortened.
【００２０】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発
明の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is, of course, not limited thereto, and various modifications can be made based on the technical concept of the present invention.
【００２１】以上の実施の形態では、窒化アルミニウム
と複合化するセラミックスに窒化ホウ素を用いたが、こ
の代わりに、窒化ホウ素と同様に耐熱衝撃性に優れてい
る炭化ホウ素、窒化ケイ素、炭化ケイ素及びアルミナの
いずれか１つ、又はこれらの２つ以上の混合物を窒化ア
ルミニウムに対して２０〜８０％の組成で複合化するよ
うにしても上記実施の形態と同様な効果が得られる。In the above embodiment, boron nitride is used as ceramics to be combined with aluminum nitride. Instead, boron carbide, silicon nitride, silicon carbide, and silicon carbide, which are excellent in thermal shock resistance similarly to boron nitride, are used. Even if any one of alumina or a mixture of two or more thereof is combined with aluminum nitride at a composition of 20 to 80%, the same effect as in the above embodiment can be obtained.
【００２２】また、上記実施の形態では、蒸発材料とし
てアルミニウムを用いたが、他の金属、例えば、銅、
銀、亜鉛等を用いてもよい。Further, in the above embodiment, aluminum was used as the evaporation material, but other metals such as copper,
Silver, zinc, or the like may be used.
【００２３】また、上記実施の形態では、傍熱型ヒータ
２１と複合セラミックスでなるルツボ３１’は、それぞ
れ直方形状の凹部２２とやはり直方形状のキャビティー
を有するボート形状としているが、他の形状、例えば傍
熱型ヒータの内周面とルツボの外周面をそれぞれわん状
に形成して、傍熱型ヒータの中に、これらを相当接させ
て、このルツボを組み込むようにしてもよい。In the above-described embodiment, the indirectly heated heater 21 and the crucible 31 'made of composite ceramic are each in the form of a boat having a rectangular recess 22 and a rectangular cavity. For example, the inner peripheral surface of the indirectly heated heater and the outer peripheral surface of the crucible may be respectively formed in a bowl shape, and these may be brought into substantial contact with the indirectly heated heater to incorporate the crucible.
【００２４】また、上記実施の形態では、ルツボの底面
及び外側周面が傍熱型ヒータ２１の凹部２２に接してい
るとしたが、ルツボの底面のみが傍熱型ヒータ２１の凹
部２２の上面に接するように組み込んでもよい。In the above embodiment, the bottom surface and the outer peripheral surface of the crucible are in contact with the concave portion 22 of the indirectly heated heater 21, but only the bottom surface of the crucible is the upper surface of the concave portion 22 of the indirectly heated heater 21. You may incorporate so that it may contact.
【００２５】[0025]
【発明の効果】以上述べたように、本発明の真空蒸着用
複合セラミックス型蒸発源によれば、金属溶融用ルツボ
は耐熱衝撃性と耐食性という両方の優れた特性を兼ね備
えている。従って、高速成膜という条件下での絶え間な
く起こる熱衝撃によるクラックの発生を防止でき、かつ
溶融金属による侵食に対する耐食性もあるので、ルツボ
の使用寿命を大幅に延ばすことができる。As described above, according to the composite ceramics type evaporation source for vacuum evaporation of the present invention, the crucible for melting metal has both excellent properties such as thermal shock resistance and corrosion resistance. Therefore, the generation of cracks due to constant thermal shock under the condition of high-speed film formation can be prevented, and there is also corrosion resistance against erosion by the molten metal, so that the service life of the crucible can be greatly extended.
【図１】従来例の傍熱型蒸発源の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a conventional indirectly heated evaporation source.
【図２】同傍熱型蒸発源における傍熱型ヒータのみの縦
断面図である。FIG. 2 is a vertical cross-sectional view of only the indirectly heated heater in the samely heated indirect evaporation source.
【図３】従来例の直熱型蒸発源の縦断面図である。FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a direct heating type evaporation source of a conventional example.
【図４】同傍熱型蒸発源を使用した真空蒸着装置を示す
概略図である。FIG. 4 is a schematic view showing a vacuum evaporation apparatus using the same-sided evaporation source.
１ 蒸発源 ２１ 傍熱型ヒータ ３１ ルツボ ３１’ルツボ Reference Signs List 1 evaporation source 21 indirectly heated heater 31 crucible 31 'crucible
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 賀文 千葉県山武郡山武町横田523 日本真空技 術株式会社千葉超材料研究所内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Kafumi Ota 523 Yokota, Yamatake-cho, Yamatake-gun, Chiba Pref. Japan Vacuum Technology Co., Ltd.
Claims (4)
と、該傍熱型ヒータによって加熱される複合セラミック
スからなる金属溶融用ルツボとを、該ルツボの外面の主
部が前記傍熱型ヒータ面と接するように組み込んだ真空
蒸着用複合セラミックス型蒸発源において、前記複合セ
ラミックスは窒化アルミニウムと耐熱衝撃性のセラミッ
クスとを複合化した複合セラミックス材料であることを
特徴とする真空蒸着用複合セラミックス型蒸発源。1. An indirectly heated heater made of a conductor and a metal melting crucible made of composite ceramics heated by the indirectly heated heater, wherein the main part of the outer surface of the crucible is the indirectly heated type crucible. A composite ceramic for vacuum evaporation, wherein the composite ceramic is a composite ceramic material obtained by combining aluminum nitride and a ceramic having thermal shock resistance, wherein the composite ceramic is an evaporation source incorporated in contact with a heater surface. Type evaporation source.
ホウ素、炭化ホウ素、窒化ケイ素、炭化ケイ素及びアル
ミナのいずれか１つ、又はこれらの２つ以上の混合物で
なることを特徴とする請求項１に記載の真空蒸着用複合
セラミックス型蒸発源。2. The thermal shock resistant ceramic is made of any one of boron nitride, boron carbide, silicon nitride, silicon carbide, and alumina, or a mixture of two or more thereof. 2. The composite ceramics type evaporation source for vacuum evaporation according to item 1.
記窒化アルミニウムに対して、前記窒化ホウ素、前記炭
化ホウ素、前記窒化ケイ素、前記炭化ケイ素及びアルミ
ナのいずれか１つの組成が２０％から８０％の範囲であ
ることを特徴とする請求項２に記載の真空蒸着用複合セ
ラミックス型蒸発源。3. The material composition of the composite ceramic is such that the composition of any one of the boron nitride, the boron carbide, the silicon nitride, the silicon carbide, and the alumina is 20% to 80% with respect to the aluminum nitride. 3. The composite ceramics type evaporation source for vacuum evaporation according to claim 2, wherein the range is within a range.
記窒化アルミニウムに対して、前記窒化ホウ素、前記炭
化ホウ素、前記窒化ケイ素、前記炭化ケイ素及びアルミ
ナの２つ以上の混合物の組成が２０％から８０％の範囲
であることを特徴とする請求項２に記載の真空蒸着用複
合セラミックス型蒸発源。4. The material composition of the composite ceramic is such that the composition of a mixture of two or more of boron nitride, boron carbide, silicon nitride, silicon carbide, and alumina with respect to the aluminum nitride is 20% to 80%. %. The composite ceramic type evaporation source for vacuum evaporation according to claim 2, wherein
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10092438A JPH11269633A (en) | 1998-03-20 | 1998-03-20 | Composite ceramics type evaporation source for vacuum deposition |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10092438A JPH11269633A (en) | 1998-03-20 | 1998-03-20 | Composite ceramics type evaporation source for vacuum deposition |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11269633A true JPH11269633A (en) | 1999-10-05 |
Family
ID=14054442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10092438A Pending JPH11269633A (en) | 1998-03-20 | 1998-03-20 | Composite ceramics type evaporation source for vacuum deposition |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11269633A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103114268A (en) * | 2013-03-15 | 2013-05-22 | 福州赛瑞特新材料技术开发有限公司 | Bonded type boron nitride-graphite combined evaporation boat and preparation method thereof |
-
1998
- 1998-03-20 JP JP10092438A patent/JPH11269633A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103114268A (en) * | 2013-03-15 | 2013-05-22 | 福州赛瑞特新材料技术开发有限公司 | Bonded type boron nitride-graphite combined evaporation boat and preparation method thereof |
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