JPH11268926A - Production of optical fiber preform - Google Patents

Production of optical fiber preform

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JPH11268926A
JPH11268926A JP9399398A JP9399398A JPH11268926A JP H11268926 A JPH11268926 A JP H11268926A JP 9399398 A JP9399398 A JP 9399398A JP 9399398 A JP9399398 A JP 9399398A JP H11268926 A JPH11268926 A JP H11268926A
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JP
Japan
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optical fiber
chamber
soot
fiber preform
manufacturing
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JP9399398A
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Japanese (ja)
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Takakazu Goto
孝和 後藤
Manabu Kudo
学 工藤
Koichi Harada
光一 原田
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Fujikura Ltd
Original Assignee
Fujikura Ltd
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01406Deposition reactors therefor

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  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing an optical fiber preform so as to stably deposit soot from burner flame. SOLUTION: In this optical fiber preform-producing method for producing a soot preform 40 by depositing soot from burners 31 to 33 in a chamber 10, an inlet port 100A is provided in a part of a chamber 10 and outside air is introduced from the inlet port 100 to produce directed stream in the chamber 10. Thereby, occurrence of flickering, etc., of flames 31a, 32a and 33a of burners 31 to 33 is suppressed and the stabilization can be achieved.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、バーナ火炎からの多孔
質ガラス微粒子であるスートが安定して堆積させるよう
にした光ファイバ母材の製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an optical fiber preform in which soot, which is porous glass fine particles from a burner flame, is stably deposited.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ファイバ用プリフォーム(焼結後の所
謂透明の光ファイバ母材)を製造するには、先ず、VA
D法などで、一旦に多孔質ガラス微粒子積層体からなる
スートプリフォーム(焼結前の所謂多孔質の光ファイバ
母材)を作り、これを透明化する必要がある。
2. Description of the Related Art To manufacture a preform for an optical fiber (a so-called transparent optical fiber preform after sintering), first, a VA is used.
It is necessary to produce a soot preform (a so-called porous optical fiber preform before sintering) made of a porous glass fine particle laminate by the method D or the like, and to make it transparent.

【0003】従来、上記スートプリフォームの製造にあ
たっては、一般に図9に示すように、チャンバ10内に
回転するダミーロッド(種棒)20を垂下させ、この下
端に複数のバーナ31,32,33からの火炎31a,
32a,33aを吹き付け、スートを付着、堆積させ
て、スートプリフォーム40を成長させている。なお、
バーナ31はコアスート形成用バーナで、バーナ32,
33はクラッドスート形成用バーナである。
Conventionally, in manufacturing the soot preform, as shown in FIG. 9, a rotating dummy rod (seed rod) 20 is generally hung in a chamber 10 and a plurality of burners 31, 32, 33 are provided at the lower end thereof. Flame 31a from
The soot preform 40 is grown by spraying 32a and 33a to attach and deposit soot. In addition,
The burner 31 is a core soot forming burner.
33 is a burner for forming a clad soot.

【0004】このスートの堆積においては、各バーナ3
1,32,33からの火炎31a,32a,33aが安
定した状態で、燃焼し、吹き付けられる必要がある。
In this soot deposition, each burner 3
The flames 31a, 32a, 33a from 1, 32, 33 need to be burned and sprayed in a stable state.

【0005】例えば、火炎31a,32a,33aが、
チャンバ10内の気流の変動などによって、揺れたして
不安定になると、スートプリフォーム40の全長に渡っ
て均一なスートの堆積が得られず、後に光ファイバ化し
た際、光ファイバの長手方向の特性に変動が起こるとい
う問題があった。また、火炎31a,32a,33aの
揺れによって、スートの堆積効率が低下するという問題
もあった。さらに、チャンバ10内の壁面に付着するス
ート量が増える一方、この付着スートが剥離して、再度
スートプリフォーム40側に堆積されると、光ファイバ
化した際、泡(気泡)の発生原因となるなどの問題もあ
った。
For example, the flames 31a, 32a, 33a
If the soot becomes unstable due to fluctuations in the airflow in the chamber 10 or the like, uniform soot deposition cannot be obtained over the entire length of the soot preform 40. However, there is a problem that the characteristics vary. There is also a problem that the soot deposition efficiency is reduced due to the swing of the flames 31a, 32a, 33a. Further, while the amount of soot adhering to the wall surface in the chamber 10 increases, the adhering soot peels off and is deposited again on the soot preform 40 side. There were also problems such as becoming.

【0006】このため、チャンバ10内においては、火
炎31a,32a,33aが揺れたりすることなく、な
るべく安定化するように細心の注意を払う必要があっ
た。
For this reason, in the chamber 10, it is necessary to pay close attention so that the flames 31a, 32a and 33a are stabilized without being shaken.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記図9に
示した従来方法では、チャンバ10に外部から積極的に
外気などを導入する開口部(吸入口)などはなく、バー
ナ31,32,33の火炎31a,32a,33aは、
チャンバ10の排気口11側からの吸引力によって、流
れ、スートプリフォーム40側にスートを堆積させつ
つ、通過して、燃焼ガスや未堆積のスートなどを排気口
11側に導き、排気するものであった。
However, in the conventional method shown in FIG. 9, the chamber 10 does not have an opening (suction port) for actively introducing outside air or the like from the outside, and the burners 31, 32, 33 are not provided. Flames 31a, 32a, 33a
What flows by the suction force from the exhaust port 11 side of the chamber 10 and passes while depositing soot on the soot preform 40 side, and guides the combustion gas and undeposited soot to the exhaust port 11 side and exhausts it. Met.

【0008】この排気口11側の吸引力は、一般に、こ
の先に接続された排気ポンプや排気ガス処理装置によっ
て生じるようになっており、また、このチャンバ10の
吸引力によって、チャンバ10上端の円筒部12の蓋体
12a部分とダミーロッド20との間の隙間δから、若
干の外気が吸引されるようになっている。
The suction force on the exhaust port 11 side is generally generated by an exhaust pump or an exhaust gas processing device connected thereto, and the suction force of the chamber 10 causes A small amount of outside air is sucked from the gap δ between the lid 12 a of the portion 12 and the dummy rod 20.

【0009】したがって、一応理論的には、排気口11
側の吸引力とバーナ31,32,33の火炎ガス供給に
よって、チャンバ10内には、このバーナ31,32,
33の火炎31a,32a,33a側から排気路11側
に至って、気流の流れが生じるわけであるが、この気流
の流れは、通常弱く設定されている。というのは、排気
口11側の吸引力が強すぎると、火炎31a,32a,
33aが必要以上に引き込まれ形となって、変形したり
して、かえって、スート堆積上好ましくないからであ
る。
Therefore, once theoretically, the exhaust port 11
Due to the suction force on the side and the supply of the flame gas to the burners 31, 32, 33, the burners 31, 32,
An airflow is generated from the flames 31a, 32a, and 33a of the fuel cell 33 to the exhaust path 11, and the airflow is usually set to be weak. That is, if the suction force on the exhaust port 11 side is too strong, the flames 31a, 32a,
This is because 33a is drawn in more than necessary and becomes deformed or deformed, which is not preferable in soot deposition.

【0010】しかしながら、チャンバ10内の気流の流
れが弱いと、僅かな外乱などによって、チャンバ10内
に気流変動が起こり易く、この気流変動があると、上述
したように、火炎31a,32a,33aが揺れたして
不安定となり、種々の弊害が生じるようになる。
However, if the flow of the airflow in the chamber 10 is weak, the airflow tends to fluctuate in the chamber 10 due to slight disturbance or the like. Swings and becomes unstable, causing various adverse effects.

【0011】そこで、本発明者は、チャンバの一部に外
部から積極的に外気などを導入する吸気口(開口部)を
設けて、チャンバ内に方向付けられた気流(例えばバー
ナ火炎側から排気口側に至る方向性を持った気流)が積
極的に生じるようにしたところ、火炎の安定化が確保で
き、良好な結果が得られることを見い出した。
Therefore, the present inventor has provided an intake port (opening) for positively introducing outside air or the like from outside to a part of the chamber, so that an air flow directed into the chamber (for example, exhaust air from the burner flame side). It was found that when the airflow having a directional direction toward the mouth was positively generated, the flame could be stabilized and good results could be obtained.

【0012】本発明は、このような観点に立ってなされ
たもので、チャンバの一部に吸気口を設けて、チャンバ
内に方向付けられた気流が生じるようにした光ファイバ
母材の製造方法を提供せんとするものである。
The present invention has been made in view of the above point of view, and a method of manufacturing an optical fiber preform in which an intake port is provided in a part of a chamber so as to generate a directed air flow in the chamber. Is to be provided.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の本発明
は、チャンバ内でバーナからのスートを堆積させてスー
トプリフォームを製造する光ファイバ母材の製造方法に
おいて、前記チャンバの一部に吸気口を設けて、当該チ
ャンバ内に方向付けられた気流が生じるようにしたこと
を特徴とする光ファイバ母材の製造方法にある。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an optical fiber preform for manufacturing a soot preform by depositing soot from a burner in a chamber. A method for manufacturing an optical fiber preform, characterized in that an air inlet is provided so as to generate a directed air flow in the chamber.

【0014】請求項2記載の本発明は、チャンバ内でバ
ーナからのスートを堆積させてスートプリフォームを製
造する光ファイバ母材の製造方法において、前記チャン
バの排気口側と対向する側に吸気口を設けて、当該チャ
ンバ内に方向付けられた気流が生じるようにしたことを
特徴とする光ファイバ母材の製造方法にある。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an optical fiber preform for manufacturing a soot preform by depositing soot from a burner in a chamber. A method for manufacturing an optical fiber preform, characterized in that an opening is provided to generate a directed airflow in the chamber.

【0015】請求項3記載の本発明は、前記チャンバの
吸気口部分の内側又は外側、さらには内外の両側に吸気
流に方向付けするための板状片からなる気流制御ガイド
を設けたことを特徴とする請求項1又は2記載の光ファ
イバ母材の製造方法にある。
According to a third aspect of the present invention, an air flow control guide comprising a plate-like piece for directing an intake air flow is provided on the inside or outside of the suction port portion of the chamber, or on both the inside and outside. The method for producing an optical fiber preform according to claim 1 or 2, wherein:

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】図1〜図2は、本発明に係る光フ
ァイバ母材の製造方法を実施するための装置系の一例を
示したものである。この装置系も、基本的には、上記図
9のものとほぼ同様であるが、チャンバ10の一部、す
なわち排気口11側と対向する側で、バーナ33の上方
側に横長の吸気口100Aを設けた点が異なる。
1 and 2 show an example of an apparatus system for carrying out a method for manufacturing an optical fiber preform according to the present invention. This device system is also basically similar to that shown in FIG. 9 except that a part of the chamber 10, that is, a side opposed to the exhaust port 11 side, and a horizontally long intake port 100 </ b> A is provided above the burner 33. Is different.

【0017】この吸気口100Aの外側には、図3に示
すように、上向きに傾斜して開いた板状片からなる気流
制御ガイド110が設けてあると共に、その内側には、
図4に示すように、下向きにL字型に曲げ形成された板
状片からなる気流制御ガイド120が設けてある。
As shown in FIG. 3, an air flow control guide 110 composed of a plate-like piece that is opened upwardly inclined is provided outside the intake port 100A.
As shown in FIG. 4, an airflow control guide 120 formed of a plate-like piece bent downward and formed in an L-shape is provided.

【0018】この構成によって、本装置系の運転中、チ
ャンバ10外の空気などの外気(空気以外の不活性ガス
なども含む)は、図1の矢印Aに示すように、斜設の気
流制御ガイド110とL字型の気流制御ガイド120の
誘導作用によって、下向きとなって、各バーナ33,3
2,31側に導入され、それぞれのバーナ33,32,
31の先端寄りからスートプリフォーム40部分を通過
する形で、排気口11側に至り、各バーナ33,32,
31の火炎31a,32a,33aに対して、方向付け
られた気流(方向性を持った気流)として、作用する。
With this configuration, during operation of the present system, outside air such as air outside the chamber 10 (including an inert gas other than air) is obliquely controlled as shown by an arrow A in FIG. The guides 110 and the L-shaped airflow control guides 120 are directed downward by the guiding action of each of the burners 33 and 3.
2, 31 side, each burner 33, 32,
In the form of passing through the soot preform 40 from near the tip of 31, it reaches the exhaust port 11 side, and each burner 33, 32,
It acts on the 31 flames 31a, 32a, 33a as directed airflow (directional airflow).

【0019】もちろん、この外気による方向付けられた
気流の強さとしては、外気の導入量を適宜調整して、火
炎31a,32a,33aが揺れたりして不安定になら
ない範囲で、かつ、火炎本来の流れを増強する強さに設
定する。このようにして火炎本来の流れがスムーズに増
強されると、何らかの原因による外乱要因によって、チ
ャンバ10内に気流変動が起ころうとしても、良好な変
動抑制効果が得られ、結果として、安定した火炎31
a,32a,33aが得られる。
Of course, the strength of the air flow directed by the outside air is adjusted so that the amount of the outside air introduced is appropriately adjusted so that the flames 31a, 32a, and 33a do not become unstable due to the swinging of the flames. Set the strength to enhance the original flow. When the original flow of the flame is smoothly enhanced in this way, even if airflow fluctuations are likely to occur in the chamber 10 due to a disturbance factor due to any cause, a good fluctuation suppressing effect is obtained, and as a result, a stable flame is obtained. 31
a, 32a and 33a are obtained.

【0020】また、吸気口100Aからの外気の導入を
よりスムーズに行うには、チャンバ10内の内圧を、外
気の圧力より少々小めに抑えるとよい。例えばチャンバ
10の機種によって多少異なるが、チャンバ内圧を外力
より25Paほど低くするとく、この圧力は、差圧計5
0などを用いて、常時モニタするようにする。
Further, in order to smoothly introduce the outside air from the intake port 100A, the internal pressure in the chamber 10 may be suppressed to be slightly lower than the pressure of the outside air. For example, the pressure inside the chamber is set to be lower than the external force by about 25 Pa, although the pressure varies slightly depending on the model of the chamber 10.
Monitoring is always performed using 0 or the like.

【0021】因みに、本発明者が、この図1の装置系に
よって、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法を実施
して、スートプリフォーム40を得、これを透明化した
後、光ファイバ化して得た光ファイバの長手方向のモー
ドフィールド径(MFD 注)の様子を示すと図5の如
くであった。つまり、MFDの変動幅は小さく(最大値
と最小値の差=0.18μm)、火炎の揺れなどが効果
的に抑えられていることが判る。
Incidentally, the present inventor carried out the method of manufacturing an optical fiber preform according to the present invention by using the apparatus system shown in FIG. FIG. 5 shows the mode field diameter (MFD note) in the longitudinal direction of the optical fiber obtained as a result. In other words, it can be seen that the fluctuation range of the MFD is small (difference between the maximum value and the minimum value = 0.18 μm), and the fluctuation of the flame is effectively suppressed.

【0022】これに対して、参考までに、上記図9の装
置系によって、従来の光ファイバ母材の製造方法を実施
して、スートプリフォーム40を得、これを透明化した
後、光ファイバ化して得た光ファイバの長手方向のMF
Dの様子を示すと図6の如くであった。つまり、MFD
の変動幅は大きく(最大値と最小値の差=0.46μ
m)、火炎の揺れなどが十分抑えられていないことが判
る。
On the other hand, for reference, a conventional method for manufacturing an optical fiber preform is carried out by the apparatus system shown in FIG. In the longitudinal direction of the optical fiber obtained
FIG. 6 shows the state of D. That is, MFD
Is large (difference between the maximum value and the minimum value = 0.46 μm).
m), it can be seen that the flame sway and the like are not sufficiently suppressed.

【0023】また、上記図1の装置系によって、本発明
に係る光ファイバ母材の製造方法を実施した場合、スー
トの堆積効率は約78%であった。また、そのスートプ
リフォーム40から得られた光ファイバにあっては、1
00Km中2個の気泡しか発見できず、チャンバ10内
壁面へのスートの付着が効果的に抑えられていることも
判った。
When the method of manufacturing an optical fiber preform according to the present invention was carried out by the apparatus shown in FIG. 1, the soot deposition efficiency was about 78%. Further, in the optical fiber obtained from the soot preform 40, 1
Only two bubbles in 00 km were found, and it was also found that the adhesion of soot to the inner wall surface of the chamber 10 was effectively suppressed.

【0024】これに対して、上記図9の装置系によっ
て、従来の光ファイバ母材の製造方法を実施した場合、
スートの堆積効率は約69%であった。また、そのスー
トプリフォーム40から得られた光ファイバにあって
は、100Km中112個もの泡が発見され、チャンバ
10内壁面へのスートの付着が殆ど抑制されていないこ
とも判った。
On the other hand, when the conventional method for manufacturing an optical fiber preform is performed by the apparatus shown in FIG.
The soot deposition efficiency was about 69%. Further, in the optical fiber obtained from the soot preform 40, as many as 112 bubbles were found out of 100 km and it was found that the adhesion of the soot to the inner wall surface of the chamber 10 was hardly suppressed.

【0025】図7は、本発明に係る光ファイバ母材の製
造方法を実施するための装置系の他の例を示したもので
ある。この装置系も、基本的には、上記図9のものとほ
ぼ同様であるが、チャンバ10の一部、すなわち排気口
11側と対向する側で、バーナ33の上方側に横長の吸
気口100Bを設けた点が異なる。
FIG. 7 shows another example of an apparatus system for carrying out the method of manufacturing an optical fiber preform according to the present invention. This device system is also basically similar to that of FIG. 9 described above, except that a part of the chamber 10, that is, a side opposed to the exhaust port 11 side, and a horizontally long intake port 100 </ b> B Is different.

【0026】この吸気口100Bの内側には、上向きに
傾斜して開いた板状片からなる気流制御ガイド130が
設けてある。
Inside the intake port 100B, there is provided an air flow control guide 130 composed of a plate-like piece that is opened upward and inclined.

【0027】この構成によって、本装置系の運転中、チ
ャンバ10外の空気などの外気(空気以外の不活性ガス
なども含む)は、図7の矢印Bに示すように、斜設の気
流制御ガイド130の誘導作用によって、上向きとなっ
て、チャンバ10の上方側に導入され、スートプリフォ
ーム40部分を通過する形で、排気口11側に至り、各
バーナ33,32,31の火炎31a,32a,33a
に対して、上側から方向付けられた気流として、作用す
る。このため、上記図1〜図2の装置系の場合とほぼ同
様の効果が得られる。
With this configuration, during operation of the present system, outside air such as air outside the chamber 10 (including inert gas other than air) is obliquely controlled as shown by an arrow B in FIG. The guide 130 guides upward and is introduced into the upper side of the chamber 10, passes through the soot preform 40, and reaches the exhaust port 11 side, where the flames 31 a and 31 a of the burners 33, 32 and 31 are turned. 32a, 33a
Acts as an airflow directed from above. Therefore, substantially the same effects as in the case of the apparatus system shown in FIGS. 1 and 2 can be obtained.

【0028】因みに、本発明者が、この図7の装置系に
よって、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法を実施
して、スートプリフォーム40を得、これを透明化した
後、光ファイバ化して得た光ファイバの長手方向のMF
Dの変動幅は小さかった(最大値と最小値の差=0.2
3μm)。このことから、やはり火炎の揺れなどが効果
的に抑えられていることが判る。
Incidentally, the present inventor carried out the method of manufacturing an optical fiber preform according to the present invention using the apparatus system of FIG. In the longitudinal direction of the optical fiber obtained
The fluctuation range of D was small (difference between maximum value and minimum value = 0.2
3 μm). From this, it can be seen that the sway of the flame is effectively suppressed.

【0029】また、上記図7の装置系によって、本発明
に係る光ファイバ母材の製造方法を実施した場合、スー
トの堆積効率は約74%であった。また、そのスートプ
リフォーム40から得られた光ファイバにあっては、1
00Km中1個の気泡しか発見できず、チャンバ10内
壁面へのスートの付着が効果的に抑えられていることも
判った。
When the method of manufacturing an optical fiber preform according to the present invention was carried out using the apparatus shown in FIG. 7, the soot deposition efficiency was about 74%. Further, in the optical fiber obtained from the soot preform 40, 1
Only one bubble per 00 km was found, and it was also found that the adhesion of soot to the inner wall surface of the chamber 10 was effectively suppressed.

【0030】図8は、本発明に係る光ファイバ母材の製
造方法を実施するための装置系のさらに他の例を示した
ものである。この装置系も、基本的には、上記図9のも
のとほぼ同様であるが、チャンバ10の一部、すなわち
排気口11側と対向する側で、バーナ31の下方側に横
長の吸気口100Cを設けた点が異なる。
FIG. 8 shows still another example of an apparatus system for performing the method of manufacturing an optical fiber preform according to the present invention. This device system is also basically similar to that of FIG. 9 described above, except that a part of the chamber 10, that is, a side opposed to the exhaust port 11 side, and a horizontally long intake port 100 Is different.

【0031】この吸気口100Cの内側には、下向きに
傾斜して開いた板状片からなる気流制御ガイド140が
設けてある。
Inside the intake port 100C, there is provided an air flow control guide 140 made of a plate-like piece which is opened downwardly inclined.

【0032】この構成によって、装置系の運転中、チャ
ンバ10外の空気などの外気(空気以外の不活性ガスな
ども含む)は、図8の矢印Cに示すように、斜設の気流
制御ガイド140の誘導作用によって、下向きとなっ
て、チャンバ10の底面側に導入され、スートプリフォ
ーム40部分を通過する形で、排気口11側に至り、各
バーナ33,32,31の火炎31a,32a,33a
に対して、下側から方向付けられた気流として、作用す
る。このため、上記図1〜図2の装置系の場合とほぼ同
様の効果が得られる。
With this configuration, during operation of the apparatus system, outside air such as air outside the chamber 10 (including an inert gas other than air) is obliquely provided as shown by an arrow C in FIG. Due to the guiding action of 140, it is directed downward to the bottom side of the chamber 10, passes through the soot preform 40 and reaches the exhaust port 11 side, and the flames 31 a, 32 a of the burners 33, 32, 31. , 33a
Acts as an airflow directed from below. Therefore, substantially the same effects as in the case of the apparatus system shown in FIGS. 1 and 2 can be obtained.

【0033】因みに、本発明者が、この図8の装置系に
よって、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法を実施
してスートプリフォーム40を得、これを透明化した
後、光ファイバ化して得た光ファイバの長手方向のMF
Dの変動幅は小さかった(最大値と最小値の差=0.2
5μm)。このことから、やはり火炎の揺れなどが効果
的に抑えられていることが判る。
By the way, the present inventor carried out the method of manufacturing an optical fiber preform according to the present invention by using the apparatus system of FIG. 8 to obtain a soot preform 40, which was made transparent, and then converted into an optical fiber. MF of the optical fiber obtained in the longitudinal direction
The fluctuation range of D was small (difference between maximum value and minimum value = 0.2
5 μm). From this, it can be seen that the sway of the flame is effectively suppressed.

【0034】また、上記図8の装置系によって、本発明
に係る光ファイバ母材の製造方法を実施した場合、スー
トの堆積効率は約77%であった。また、そのスートプ
リフォーム40から得られた光ファイバにあっては、1
00Km中5個の気泡しか発見できず、チャンバ10内
壁面へのスートの付着が効果的に抑えられていることも
判った。
When the method for manufacturing an optical fiber preform according to the present invention was carried out by the apparatus shown in FIG. 8, the soot deposition efficiency was about 77%. Further, in the optical fiber obtained from the soot preform 40, 1
Only five bubbles were found out of 00 km, and it was also found that the adhesion of soot to the inner wall surface of the chamber 10 was effectively suppressed.

【0035】なお、上記各実施の態様では、吸気口10
0A〜Cがチャンバ10の排気口11側と対向する側に
1個設ける構成であったが、本発明はこれに限定され
ず、チャンバ10内に所望の方向付けられた気流を生じ
させる構成であれば、必要により複数個設けてもよい。
また、排気口11側と対向する側にも限定されず、隣接
する側面(一方又は両方も可)に設けてもよく、さらに
はこの隣接する側面と排気口11側と対向する側に併設
することも可能である。
In each of the above embodiments, the intake port 10
Although one of OACs is provided on the side of the chamber 10 opposite to the exhaust port 11 side, the present invention is not limited to this, and is configured to generate a desired directed airflow in the chamber 10. If necessary, a plurality may be provided if necessary.
In addition, the present invention is not limited to the side facing the exhaust port 11 side, and may be provided on an adjacent side surface (one or both sides may be provided). It is also possible.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る光ファイバ母材の製造方法によれば、次のような
優れた効果が得られる。
As is clear from the above description, the following excellent effects can be obtained by the method of manufacturing an optical fiber preform according to the present invention.

【0037】(1)チャンバの一部に吸気口を設けてあ
るため、チャンバ内に適宜外気を導入することができ、
また、これによって、チャンバ内の気流を適宜調整し
て、所望の方向性を持たせることができる。したがっ
て、火炎本来の流れを増強するなどの作用が得られ、何
らかの原因による外乱要因があっても、チャンバ内の気
流変動を効果的に抑えることができ、安定したバーナ火
炎が得られる。
(1) Since an air inlet is provided in a part of the chamber, outside air can be appropriately introduced into the chamber.
In addition, it is possible to appropriately adjust the airflow in the chamber so as to have a desired direction. Therefore, an effect such as enhancing the original flow of the flame can be obtained, and even if there is a disturbance factor due to some cause, the air flow fluctuation in the chamber can be effectively suppressed, and a stable burner flame can be obtained.

【0038】この結果、スートプリフォームの全長に渡
って均一なスートの堆積が得られ、後に光ファイバ化し
た際、光ファイバの長手方向の特性変動を効果的に抑え
ることができる。
As a result, uniform soot deposition is obtained over the entire length of the soot preform, and when the optical fiber is later formed into an optical fiber, the characteristic fluctuation in the longitudinal direction of the optical fiber can be effectively suppressed.

【0039】(2)また、上記のようにバーナ火炎が安
定するため、スートの堆積効率が向上し、製造コストの
低減を図ることができる。
(2) Further, since the burner flame is stabilized as described above, the soot deposition efficiency is improved and the production cost can be reduced.

【0040】(3)また、上記のようにバーナ火炎が安
定するため、チャンバ内壁面へのスート付着も効果的に
抑えることができ、光ファイバ化した際、気泡の発生を
大幅に低減することができる。
(3) Further, since the burner flame is stabilized as described above, the adhesion of soot to the inner wall surface of the chamber can be effectively suppressed, and the generation of air bubbles when an optical fiber is formed is greatly reduced. Can be.

【0041】(4)また、上記のようにバーナ火炎が安
定するため、ターゲットであるスートプリフォーム表面
の温度変動も少なくなって、安定するので、製造中にお
けるスートプリフォームの割れなども効果的に防止でき
るようになる。
(4) Since the burner flame is stabilized as described above, the temperature fluctuation of the surface of the soot preform which is the target is reduced and stabilized, so that cracking of the soot preform during manufacturing is also effective. Can be prevented.

【0042】(5)また、上記バーナ火炎の安定化によ
り、チャンバ内壁面へのスート付着が効果的に抑えられ
る結果として、例えばチャンバ内におけるスートプリフ
ォームの成長状態などをTVカメラなどを用いて撮像
し、これを画像処理して制御する光ファイバ母材の製造
方法において、透視性が向上するため、制御性能の向上
も期待できる。
(5) In addition, as a result of stabilizing the burner flame, soot adhesion to the inner wall surface of the chamber is effectively suppressed. In a method for manufacturing an optical fiber preform in which imaging is performed and image processing is performed to control the optical fiber preform, the transparency is improved, so that improvement in control performance can be expected.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る光ファイバ母材の製造方法を実施
するための装置系の一例を示した部分縦断面図である。
FIG. 1 is a partial longitudinal sectional view showing an example of an apparatus system for carrying out a method for manufacturing an optical fiber preform according to the present invention.

【図2】図1の装置系の横断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the device system of FIG.

【図3】図1の装置系における吸気口の外側からの部分
斜視図である。
FIG. 3 is a partial perspective view from the outside of an intake port in the apparatus system of FIG. 1;

【図4】図1の装置系における吸気口の内側からの部分
斜視図である。
FIG. 4 is a partial perspective view from the inside of an air inlet in the apparatus system of FIG. 1;

【図5】本発明に係る光ファイバ母材の製造方法により
得られた光ファイバのMFDの変動幅を示したグラフで
ある。
FIG. 5 is a graph showing a variation range of an MFD of an optical fiber obtained by a method of manufacturing an optical fiber preform according to the present invention.

【図6】従来の光ファイバ母材の製造方法により得られ
た光ファイバのMFDの変動幅を示したグラフである。
FIG. 6 is a graph showing a variation range of an MFD of an optical fiber obtained by a conventional method of manufacturing an optical fiber preform.

【図7】本発明に係る光ファイバ母材の製造方法を実施
するための装置系の他の例を示した部分縦断面図であ
る。
FIG. 7 is a partial longitudinal sectional view showing another example of an apparatus system for performing the optical fiber preform manufacturing method according to the present invention.

【図8】本発明に係る光ファイバ母材の製造方法を実施
するための装置系の他の例を示した部分縦断面図であ
る。
FIG. 8 is a partial longitudinal sectional view showing another example of an apparatus system for performing the method of manufacturing an optical fiber preform according to the present invention.

【図9】従来の光ファイバ母材の製造方法を実施するた
めの装置系を示した部分縦断面図である。
FIG. 9 is a partial longitudinal sectional view showing an apparatus system for implementing a conventional optical fiber preform manufacturing method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 チャンバ 11 排気口 20 ダミーロッド(種棒) 31,32,33 バーナ 31a,32a,33a 火炎 40 スートプリフォーム 50 差圧計 100A〜C 吸気口 110〜140 気流制御ガイド Reference Signs List 10 Chamber 11 Exhaust port 20 Dummy rod (seed rod) 31, 32, 33 Burner 31a, 32a, 33a Flame 40 Soot preform 50 Differential pressure gauge 100A-C Inlet port 110-140 Air flow control guide

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 チャンバ内でバーナからのスートを堆積
させてスートプリフォームを製造する光ファイバ母材の
製造方法において、前記チャンバの一部に吸気口を設け
て、当該チャンバ内に方向付けられた気流が生じるよう
にしたことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。
1. A method of manufacturing an optical fiber preform for manufacturing a soot preform by depositing soot from a burner in a chamber, wherein a part of the chamber is provided with an air inlet and is directed into the chamber. A method for producing an optical fiber preform, characterized in that an airflow is generated.
【請求項2】 チャンバ内でバーナからのスートを堆積
させてスートプリフォームを製造する光ファイバ母材の
製造方法において、前記チャンバの排気口側と対向する
側に吸気口を設けて、当該チャンバ内に方向付けられた
気流が生じるようにしたことを特徴とする光ファイバ母
材の製造方法。
2. A method of manufacturing an optical fiber preform for manufacturing a soot preform by depositing soot from a burner in a chamber, wherein an intake port is provided on a side of the chamber opposite to an exhaust port side, and the chamber is provided with an intake port. A method for manufacturing an optical fiber preform, characterized in that a directed air flow is generated therein.
【請求項3】 前記チャンバの吸気口部分の内側又は外
側、さらには内外の両側に吸気流に方向付けするための
板状片からなる気流制御ガイドを設けたことを特徴とす
る請求項1又は2記載の光ファイバ母材の製造方法。
3. An air flow control guide comprising a plate-like piece for directing an intake air flow inside or outside the air inlet portion of the chamber, or on both the inside and the outside thereof. 3. The method for producing an optical fiber preform according to 2.
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