JPH11267401A - Treatment and treating device - Google Patents
Treatment and treating deviceInfo
- Publication number
- JPH11267401A JPH11267401A JP37511198A JP37511198A JPH11267401A JP H11267401 A JPH11267401 A JP H11267401A JP 37511198 A JP37511198 A JP 37511198A JP 37511198 A JP37511198 A JP 37511198A JP H11267401 A JPH11267401 A JP H11267401A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- component
- pressure
- treated
- chamber
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、物品の表面に付着
した水、油、亜鉛メッキ等の液体並びに固体を除去する
のに適した清浄方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cleaning method suitable for removing liquids such as water, oil, galvanized and solids adhered to the surface of an article.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、例えば自動車の表面の亜鉛メッキ
などを取り除くための方法としては、酸洗やショット加
工、又は、空気中にての酸化除去などが知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a method for removing galvanization or the like on the surface of an automobile, for example, pickling, shot processing, or oxidative removal in air has been known.
【0003】これらのうちでは、酸洗が最も一般的であ
るが、その洗滌液が公害を惹き起こす虞れがあるだけで
なく、ランニングコスト、作業員の養成確保の点で問題
がある。また、ショット加工法も、ランニングコストが
高く、亜鉛が付着したショット粒子の処理が困難などの
問題を抱えている。[0003] Of these, pickling is the most common, but it has problems not only in that the washing solution may cause pollution, but also in terms of running costs and ensuring the training of workers. The shot processing method also has problems such as high running cost and difficulty in processing shot particles to which zinc is attached.
【0004】一方、酸化加熱除去法は、処理対象物体自
身に酸化物などができ、また、脱亜鉛性能が悪い。従っ
て、鉄板などを再利用するために溶解した場合、酸化
鉄、酸化亜鉛などのノロ(不溶解物質)や亜鉛が溶解炉
炉壁に侵入し、その結果炉自身の寿命が短かくなるとい
った欠点がある。On the other hand, in the oxidative heat removal method, an oxide or the like is formed on the object to be treated, and the dezincing performance is poor. Therefore, when the iron plate is melted for reuse, noro (insoluble material) such as iron oxide and zinc oxide and zinc enter the furnace wall of the melting furnace, and as a result, the life of the furnace itself is shortened. There is.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の清浄方法には多くの問題があった。そこで本発明は、
そのような問題のない固体表面の清浄方法を提供するこ
とを課題とする。As described above, the conventional cleaning method has many problems. Therefore, the present invention
It is an object to provide a method for cleaning a solid surface without such a problem.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、密閉空間内に
被処理品を装入し、前記密閉空間内を減圧した後、非酸
化性ガスを供給すると共に一次加熱し、次いで減圧した
後更に二次加熱して前記被処理品に付着した液体並びに
固体の付着物を蒸発させ、その蒸発物を凝縮器に収容し
て凝縮させた後再び非酸化性ガスを供給して前記被処理
品を冷却し、この冷却処理により温められた前記非酸化
性ガスを予熱炉に導入して未処理のて未処理の被処理品
を予熱することを特徴とする。According to the present invention, an article to be processed is charged into an enclosed space, and after the interior of the enclosed space is depressurized, a non-oxidizing gas is supplied and primary heating is performed. Further, secondary heating is performed to evaporate liquid and solid deposits adhering to the article to be treated, and the evaporant is stored in a condenser to be condensed. Is cooled, and the non-oxidizing gas warmed by the cooling treatment is introduced into a preheating furnace to preheat an untreated and untreated workpiece.
【0007】ところで、現代社会が抱える膨大な量の廃
棄物は日々増え続けており、その効果的な処理技術の確
立が急務である。By the way, the enormous amount of waste in modern society is increasing daily, and it is urgently necessary to establish an effective treatment technology.
【0008】廃棄物中には様々な有用な物質も含まれて
いるが、分離の困難さなどから廃棄物から分離されず、
ほとんどの廃棄物はそのまま埋め立や焼却により処分さ
れている。廃棄物中の有用物質は、できるかぎり分離・
回収して再利用することが求められている。Although various useful substances are contained in waste, they are not separated from waste due to difficulty in separation.
Most waste is disposed of by landfill or incineration. Useful substances in waste should be separated and
It is required to collect and reuse.
【0009】一方、廃棄物中には有害な物質も含まれて
おり、このような有害物質は環境破壊の原因になるだけ
でなく、廃棄物の再利用を困難にしている大きな原因の
一つである。廃棄物中の有害物質を効果的に取り除くこ
とができれば、廃棄物を資源の宝庫として積極的に再利
用することが可能になるとともに、環境や生物への影響
も最小限にとどめることができる。[0009] On the other hand, harmful substances are contained in wastes, and such harmful substances not only cause environmental destruction but also one of the major causes that make it difficult to recycle waste. It is. If harmful substances in waste can be effectively removed, the waste can be actively reused as a treasure trove of resources, and the impact on the environment and living things can be minimized.
【0010】このように、有害物質による環境汚染、資
源の枯渇、エネルギー源の不足といった現代社会を取り
巻く深刻な問題を解決するために、廃棄物を効果的に処
理する技術は是非とも確立されなければならない。As described above, a technology for effectively treating waste must be established in order to solve serious problems surrounding modern society such as environmental pollution by harmful substances, depletion of resources, and lack of energy sources. Must.
【0011】しかしながら、近年廃棄物の形態は複雑多
岐にわったっており、複数の異なった素材が一体化した
複合的な廃棄物も多く、さらに有害物質が含まれている
廃棄物もある。このような複合廃棄物を資源として再利
用するためには、複数の異なった素材が一体化した廃棄
物から、有用な物質、有害な物質を選択的に分離・回収
しなければならないが、このような処理技術は未だ確立
されていない。However, in recent years, the form of waste has become complicated and diverse, and there are many complex wastes in which a plurality of different materials are integrated, and there are also wastes containing harmful substances. In order to reuse such complex waste as a resource, it is necessary to selectively separate and recover useful and harmful substances from the waste in which multiple different materials are integrated. Such processing technology has not been established yet.
【0012】本発明はこのような問題を解決するために
なされたものである。すなわち本発明は金属、有機物、
水等を含む物体を効果的、経済的に処理できる処理装
置、及び処理方法を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve such a problem. That is, the present invention relates to metals, organic substances,
It is an object of the present invention to provide a processing apparatus and a processing method capable of effectively and economically processing an object including water and the like.
【0013】このような課題を解決するため本発明は以
下に説明するような構成を採用している。In order to solve such a problem, the present invention employs a configuration as described below.
【0014】本発明の処理方法は、常温で液体である第
1の成分と、常温で固体である第2の成分と、常温で固
体であり前記第2の成分よりも沸点の高い第3の成分と
を含む処理対象物体を処理する処理方法において、気密
容器内に処理対象物体を導入し、前記処理対象物体を非
酸化雰囲気で加熱し、前記気密容器内を減圧するととも
に、前記第1の成分、または前記第2の成分の沸点以上
に加熱して、前記第1の成分または前記第2の成分を蒸
発させる、ことを特徴とする。The treatment method of the present invention comprises a first component which is liquid at ordinary temperature, a second component which is solid at ordinary temperature, and a third component which is solid at ordinary temperature and has a higher boiling point than the second component. In the processing method for processing the object to be treated including the components, the object to be treated is introduced into an airtight container, the object to be treated is heated in a non-oxidizing atmosphere, and the inside of the airtight container is depressurized, and the first The first component or the second component is heated by heating to a temperature equal to or higher than the boiling point of the component or the second component.
【0015】第1の成分としては例えば水、油などの有
機物、水銀などをあげることができる。第2の成分、第
3の成分は有機物、無機物を問わないが、例えばダイオ
キシン、PCB、コプラナPCBなどの有機物、鉛、カ
ドミウム、亜鉛などの金属をあげることができる。なお
ここではポリ塩化ダイベンゾパラダイオキシン(Pol
ychlorinated dibenzo−p−di
oxins:PCCDs)、ポリ塩化ダイベンゾフラン
(Polychlorinated dibenzof
urans:PCDFs)およびこれらの塩素数および
置換位置の異なる同族体を総称してダイオキシンとい
う。Examples of the first component include organic substances such as water and oil, and mercury. The second component and the third component are not limited to organic substances and inorganic substances, and examples thereof include organic substances such as dioxin, PCB and coplanar PCB, and metals such as lead, cadmium and zinc. Here, polychlorinated dibenzoparadioxin (Pol
ychlorinated dibenzo-p-di
oxins: PCCDs), polychlorinated dibenzofuran (Polychlorinated dibenzof)
urans: PCDFs) and their homologs having different chlorine numbers and substitution positions are collectively referred to as dioxins.
【0016】処理対象物体の酸化を防止する観点から、
加熱は非酸化雰囲気で行うことが好ましい。これはにチ
ャンバ内を減圧した状態で加熱するか、チャンバ内を非
酸化性ガスでパージして加熱すればよい。加熱効率の観
点からは後者の方が好適である。From the viewpoint of preventing oxidation of the object to be treated,
Heating is preferably performed in a non-oxidizing atmosphere. This can be accomplished by heating the chamber with the pressure reduced or by purging the chamber with a non-oxidizing gas and heating. The latter is preferred from the viewpoint of heating efficiency.
【0017】そしてチャンバ内の温度と圧力を処理対象
物体の所望の構成成分(複数成分でもよい)が蒸発する
ように調節する。蒸発はその成分の融点以上であれば生
じるが、本発明ではその成分のその圧力における沸点以
上に加熱している。これにより、蒸発させたい成分の蒸
気圧を十分高く確保することができる。したがって、効
率のよい成分分離ができ、スループットも向上する。The temperature and pressure in the chamber are adjusted so that desired constituents (or a plurality of constituents) of the object to be processed can be evaporated. Evaporation occurs above the melting point of the component, but the invention heats the component above its boiling point at that pressure. This makes it possible to ensure a sufficiently high vapor pressure of the component to be evaporated. Therefore, efficient component separation can be performed, and the throughput can be improved.
【0018】本発明の処理方法は、第1の沸点を有する
第1の成分と、第2の沸点を有する第2の成分とを有す
る処理対象物体を処理する処理方法において、気密容器
内に処理対象物体を導入し、前記処理対象物体中の前記
第1の成分が選択的に蒸発するように、前記気密容器内
の温度と圧力とを調節し、前記第1の成分の少なくとも
一部が蒸発した後、前記処理対象物体を非酸化雰囲気で
冷却する、ことを特徴とする。The processing method of the present invention is a processing method for processing an object to be processed having a first component having a first boiling point and a second component having a second boiling point. A target object is introduced, and the temperature and pressure in the hermetic container are adjusted so that the first component in the processing target object is selectively evaporated, and at least a part of the first component is evaporated. Then, the object to be processed is cooled in a non-oxidizing atmosphere.
【0019】本発明では、非酸化雰囲気での冷却は、単
に処理対象物体の温度を低くするだけでなく、処理対象
物体の表面自由エネルギーが低減するように前記処理対
象物体の表面に非酸化性ガス成分を吸着させるために行
っている。In the present invention, cooling in a non-oxidizing atmosphere not only lowers the temperature of the object to be treated, but also reduces the surface free energy of the object to be treated by applying a non-oxidizing material to the surface of the object to be treated. It is performed to adsorb gas components.
【0020】これにより、所定成分の蒸発により、比表
面積が増大した状態にある処理対象物体を、安全に取り
出すことができる。また、強制的に冷却することにより
スループットを向上することができる。Thus, the object to be treated whose specific surface area has increased due to evaporation of the predetermined component can be safely taken out. Further, the throughput can be improved by forcibly cooling.
【0021】本発明の処理装置は、処理対象物体を保持
する気密容器と、前記気密容器内の温度を調節する温度
調節手段と、前記気密容器内の圧力を調節する圧力調節
手段と、前記気密容器内の酸素濃度を調節する酸素濃度
調節手段と、前記処理対象物体の構成成分の少なくとも
一部が蒸発するように、前記温度調節手段と前記圧力調
節手段と前記酸素濃度調節手段とを制御する制御手段
と、前記気密容器に接続され前記処理対象物体から蒸発
した成分を凝縮する凝縮器と、を具備したことを特徴と
する。[0021] The processing apparatus of the present invention comprises: an airtight container for holding an object to be processed; temperature adjusting means for adjusting the temperature in the airtight container; pressure adjusting means for adjusting the pressure in the airtight container; Oxygen concentration adjusting means for adjusting the oxygen concentration in the container, and controlling the temperature adjusting means, the pressure adjusting means, and the oxygen concentration adjusting means such that at least a part of the components of the object to be treated evaporates. And a condenser connected to the airtight container and condensing components evaporated from the object to be treated.
【0022】本発明の処理装置においては、制御手段
は、気密容器内の温度、圧力、酸素濃度を蒸発成分の蒸
気圧に応じて制御している。圧力の調節は排気系による
排気と、非酸化性ガスの導入の程度を調節することによ
って行うようにしてもよい。特に、減圧条件下では、処
理対象物体の温度調節には時間がかかり、また通常排気
系はその程度を調節することが難しいので、非酸化ガス
の流量によって圧力を調節するとともに、酸素濃度を調
節することで、蒸発を能動的に制御することができる。
これにより処理対象物体が不均質であるような場合で
も、単位時間あたりの蒸発量を均一にすることができ
る。In the processing apparatus of the present invention, the control means controls the temperature, the pressure and the oxygen concentration in the airtight container according to the vapor pressure of the evaporation component. The pressure may be adjusted by adjusting the degree of exhaust by the exhaust system and the degree of introduction of the non-oxidizing gas. In particular, under depressurized conditions, it takes time to adjust the temperature of the object to be treated, and it is usually difficult to adjust the degree of the exhaust system, so the pressure is adjusted by the flow rate of the non-oxidizing gas and the oxygen concentration is adjusted. By doing so, evaporation can be actively controlled.
Thus, even when the object to be processed is heterogeneous, the evaporation amount per unit time can be made uniform.
【0023】本発明の処理装置は、処理対象物体を保持
することができる気密容器と、前記気密容器と接続され
た排気系と、前記気密容器と前記排気系との間に介挿さ
れ、前記処理対象物体から蒸発した成分を凝縮させる凝
縮器と、前記凝縮器に配設され、前記凝縮器内の液体を
排出することが可能な液体ドレーンと、を具備したこと
を特徴とする。The processing apparatus of the present invention includes an airtight container capable of holding an object to be processed, an exhaust system connected to the airtight container, and an airtight container interposed between the airtight container and the exhaust system. A condenser for condensing a component evaporated from the object to be treated, and a liquid drain provided in the condenser and capable of discharging liquid in the condenser are provided.
【0024】このような構成を採用することにより、本
発明の処理装置および処理方法では、固体および液体を
同一ロットで分別、回収することができる。By employing such a configuration, in the processing apparatus and the processing method of the present invention, solids and liquids can be separated and collected in the same lot.
【0025】処理対象物体のうち常温(摂氏25度)で
固体である成分は、蒸発の後、固体として回収される
(例えばCd、Zn、Pbなど)。また処理対象物体の
うち常温で液体として存在する成分は、蒸発の後、液体
として回収される(例えば水、油、水銀など)。したが
って、同一ロットの処理対象物体から、同一のチャンバ
で、固体、液体の処理を同時に行うことができる。A component which is solid at room temperature (25 degrees Celsius) in the object to be treated is recovered as a solid after evaporation (for example, Cd, Zn, Pb, etc.). In addition, components that exist as a liquid at normal temperature in the object to be processed are recovered as a liquid after evaporation (for example, water, oil, mercury, and the like). Therefore, solid and liquid processing can be performed simultaneously in the same chamber from the processing object of the same lot.
【0026】一般に、常温で固体成分の析出温度は高
く、液体では低い。これら析出温度の異なる成分は、凝
縮器に適当な温度勾配を形成することにより、凝縮器内
の異なった領域に析出する。In general, the precipitation temperature of solid components is high at room temperature, and low for liquids. These components having different deposition temperatures are deposited in different regions in the condenser by forming an appropriate temperature gradient in the condenser.
【0027】本発明は処理対象物体が常温で液体である
ような成分、常温で固体であるような成分を含有するよ
うな場合でも、同一のチャンバ内でそれぞれ分別して回
収することができる。According to the present invention, even when the object to be treated contains a component that is liquid at room temperature and a component that is solid at room temperature, it can be separated and recovered in the same chamber.
【0028】[0028]
【発明の実施の形態】本発明の実施態様を、より具体的
に説明する。被処理品に付着している金属又は非金属を
除去する場合には、この被処理品を密閉容器内に装入
し、減圧手段によって密閉空間内を減圧した後、前記密
閉空間内を加熱手段で加熱すると共に非酸化性ガスを供
給し、この非酸化性ガスによる熱伝達の作用で一次加熱
した後減圧し、次いで被処理品に付着した金属、又は非
金属等の沸点以上の温度まで二次加熱し、その金属等を
蒸発させるようにする。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described more specifically. When removing the metal or non-metal adhered to the article to be treated, the article to be treated is charged into a closed vessel, and the inside of the closed space is depressurized by the pressure reducing means. At the same time as supplying a non-oxidizing gas, performing primary heating by the action of heat transfer by the non-oxidizing gas, reducing the pressure, and then reducing the temperature to a temperature equal to or higher than the boiling point of the metal or nonmetal attached to the article to be treated. Next heating is performed to evaporate the metal and the like.
【0029】その後、加熱状態のままで減圧することに
よって蒸気を回収し、回収経路の途中に設けた凝縮手段
で、蒸発物を収容し、且つ、凝縮させる。そして、密閉
容器内に再び非酸化性ガスを供給して被処理物を冷却
し、その結果温められたガスは予熱炉に導入し、未処理
の被処理物の予熱に利用する。Thereafter, the vapor is recovered by reducing the pressure in the heated state, and the evaporant is contained and condensed by the condensing means provided in the middle of the recovery path. Then, the non-oxidizing gas is again supplied into the closed vessel to cool the object to be processed, and the gas heated as a result is introduced into a preheating furnace to be used for preheating the unprocessed object.
【0030】なお、非酸化性ガスとしてはチッ素、アル
ゴン等の不活性ガスを利用し、密閉容器内を加圧、昇温
又は冷却する際、製品が酸化されないようにする。な
お、被処理品の表面に付着している金属、非金属等は単
一成分ではなく、数種の物からなる合成物の場合がある
と考えるのが妥当であるので、これらの処理物の所定温
度における蒸気圧はある程度の幅をもって考えるべきで
あり、その上で密閉空間内の減圧(真空)の程度、加熱
温度、不活性ガスの加圧の程度の選択を行なうことが好
ましい。An inert gas such as nitrogen or argon is used as the non-oxidizing gas to prevent the product from being oxidized when the inside of the closed vessel is pressurized, heated or cooled. It is reasonable to think that the metal, non-metal, etc. attached to the surface of the article to be treated are not a single component but may be a composite composed of several kinds of substances. The vapor pressure at a predetermined temperature should be considered with a certain range, and it is preferable to select the degree of reduced pressure (vacuum) in the closed space, the heating temperature, and the degree of pressurization of the inert gas.
【0031】次に、本発明を実施するために使用される
装置の例を図面に依拠して説明する。図1に示す清浄装
置は、大まかに区分して、被処理品1を装入する密閉空
間2を有する密閉容器3と、前記密閉容器3内の被処理
品1の付着物の温度を上昇させる加熱手段としての発熱
体4と、前記密閉容器3内と連通し、且つ、前記被処理
品1より除去された蒸発物類を凝縮させる凝縮手段とし
ての凝縮器5と、前記凝縮器5を介して前記密閉容器3
内を減圧する減圧手段としての減圧ポンプ6と、前記密
閉容器内3を非酸化牲ガスで加圧する加圧手段としての
ガスボンベ7と、更に、加熱された被処理品1を冷却す
るチッ素ガスを導入し、当該チッ素ガスを処理品の予熱
に利用する予熱炉31とから成る。Next, an example of an apparatus used to carry out the present invention will be described with reference to the drawings. The cleaning apparatus shown in FIG. 1 is roughly divided into a closed container 3 having a closed space 2 into which the article to be treated 1 is to be charged, and a temperature of a substance attached to the article to be treated 1 in the closed vessel 3 is increased. A heating element 4 as a heating means communicates with the inside of the closed vessel 3, and a condenser 5 as a condensing means for condensing evaporants removed from the article to be processed 1, and via the condenser 5 The closed container 3
A decompression pump 6 as a decompression means for decompressing the inside, a gas cylinder 7 as a pressurization means for pressurizing the inside of the closed vessel 3 with a non-oxidizing gas, and a nitrogen gas for cooling the heated article 1 to be processed And a preheating furnace 31 for utilizing the nitrogen gas for preheating the processed product.
【0032】更に詳しく説明すれば、密閉容器3は、中
空形状のレトルト11の外側に断熱材12を設けた容器
本体部分の一端側に、断熱材13を裏当てした後方断熱
扉14を取付けると共に、容器本体部分の他端側に断熱
材15を裏当てした前方断熱扉16を取付け、この前方
断熱扉16の開口部16aに開閉可能な前扉17を配置
して、内部に密閉空間2を形成して成る。この密閉容器
3の上部には、撹拌器21が設置されると共に、密閉空
間2内を加熱昇温するための発熱体4が備えられてい
る。また、凝縮器5は、配管25を介して密閉空間2と
連通させると共に、配管26を介して減圧ポンプ6と連
通させる。減圧ポンプ6には排気管27が設けられる。
前記チッ素ガスボンベ7は、途中に調圧バルブ28及び
圧力計29を備えた配管30を介し、密閉容器3に接続
される。More specifically, the closed container 3 has a rear heat-insulating door 14 with a heat-insulating material 13 attached to one end side of a container body portion provided with a heat-insulating material 12 outside a hollow retort 11. A front heat-insulating door 16 with a heat-insulating material 15 is attached to the other end side of the container body, and a front door 17 that can be opened and closed is arranged at an opening 16a of the front heat-insulating door 16, so that the closed space 2 is formed inside. Formed. A stirrer 21 is installed on the upper part of the closed vessel 3, and a heating element 4 for heating and raising the temperature of the closed space 2 is provided. The condenser 5 communicates with the closed space 2 via a pipe 25 and communicates with the decompression pump 6 via a pipe 26. The pressure reducing pump 6 is provided with an exhaust pipe 27.
The nitrogen gas cylinder 7 is connected to the closed container 3 via a pipe 30 provided with a pressure regulating valve 28 and a pressure gauge 29 on the way.
【0033】次に、上記清浄装置を使用して清浄する方
法につき説明すると、前扉17を開放して密閉容器3内
に被処理品1を装入した後、前扉17を降下させて開口
部16aを閉じ、減圧(真空)ポンプ6を作動させて密
閉容器3の密閉空間2内を10-2〜10-4Torr 程度に
まで減圧し、次いで配管30よりチッ素ガスを供給加圧
してから撹拌器21を作動させ、雰囲気を撹拌しながら
発熱体4によって一次加熱し、チッ素ガスによる熱伝達
の作用により被処理品1の温度を、ある程度の温度(余
り蒸発しない温度)まで加熱する。Next, a method of cleaning using the above-described cleaning device will be described. After the front door 17 is opened and the article 1 to be processed is loaded into the closed container 3, the front door 17 is lowered and opened. The section 16a is closed, and the vacuum (vacuum) pump 6 is operated to reduce the pressure in the closed space 2 of the closed vessel 3 to about 10 @ -2 to 10 @ -4 Torr. The stirrer 21 is operated, the atmosphere is agitated, the primary heating is performed by the heating element 4, and the temperature of the article to be processed 1 is heated to a certain temperature (a temperature that does not evaporate too much) by the action of heat transfer by nitrogen gas.
【0034】そして、その後再び減圧すると共に、発熱
体4の作用で二次加熱し、被処理品1の付着物を蒸発さ
せる。その蒸発物は、凝縮器5に収容して凝縮させる。
その後チッ素ガスで加圧して冷却し、その幾分温められ
たチッ素ガスを予熱炉32に導入し、被処理品1の予熱
に使用する。図2は、密閉空間2内の圧力と被処理品1
の温度の変化を、経時的に表わしたものである。冷却さ
れた被処理品1は、前扉17を開けて取り出す。Then, the pressure is reduced again, and secondary heating is performed by the action of the heating element 4 to evaporate the deposits on the article 1 to be processed. The evaporant is stored in the condenser 5 and condensed.
Thereafter, it is pressurized and cooled with nitrogen gas, and the somewhat heated nitrogen gas is introduced into the preheating furnace 32 and used for preheating the article 1 to be processed. FIG. 2 shows the pressure in the closed space 2 and the article 1 to be treated.
Is a change in temperature over time. The cooled article to be processed 1 is taken out by opening the front door 17.
【0035】図3は本発明の処理装置の構成の例を概略
的に示す図である。この処理装置は、処理対象物体10
1を導入し、気密に保持することが可能なチャンバ10
3と、チャンバ内を減圧するための減圧ポンプ106を
有する排気系と、チャンバ内を加圧するとともに、チャ
ンバ103内の酸素濃度を調節するための非酸化性ガス
供給系と、チャンバ103から非酸化性ガスを回収し、
温度を調節した上でチャンバ103へと循環させること
が可能な非酸化性ガスのリザバー131とを備えてい
る。リザバー131には排気系が配設されており、この
リザバー131内を減圧することによりチャンバ103
に対する圧力バッファとして機能する。FIG. 3 is a diagram schematically showing an example of the configuration of the processing apparatus of the present invention. This processing apparatus includes a processing object 10
Chamber 10 which can be introduced and kept airtight
3, an exhaust system having a pressure reducing pump 106 for reducing the pressure in the chamber, a non-oxidizing gas supply system for increasing the pressure in the chamber and adjusting the oxygen concentration in the chamber 103, and a non-oxidizing gas from the chamber 103. Recovery of the reactive gas,
A non-oxidizing gas reservoir 131 that can be circulated to the chamber 103 after adjusting the temperature is provided. An exhaust system is provided in the reservoir 131, and the pressure in the reservoir 131 is reduced to reduce the pressure in the chamber 103.
Acts as a pressure buffer for
【0036】チャンバ103は、フレーム109の内面
に断熱材112が配設され、さらにその内面にはレトル
ト(マッフル)111が配設されている。またチャンバ
103にはチャンバ本体部分の一端側に、断熱材113
を裏当てした後方断熱扉114を取付けると共に、チャ
ンバ本体部分の他端側に断熱材115を裏当てした前方
断熱扉116を取付け、これら断熱扉116、114の
開口部116a、114aにそれぞれ開閉可能な前扉1
17、114を配置して、内部に気密領域102を形成
して成る。またチャンバ103内には、チャンバ内を加
熱する発熱体4が配設されており、さらにこのチャンバ
103の上部には、撹拌器121が設置されている。こ
のような構成により、チャンバ内の圧力を制御するとと
もにチャンバ内の温度分布を均一にすることができる。
したがって蒸発物のチャンバ内での凝縮を防ぐことがで
きる。In the chamber 103, a heat insulating material 112 is provided on an inner surface of a frame 109, and a retort (muffle) 111 is further provided on the inner surface. In addition, a heat insulating material 113 is provided on one end side of the chamber body portion in the chamber 103.
At the same time, a rear heat insulating door 114 backed by a heat insulating material 115 is mounted on the other end of the chamber main body. Front door 1
17 and 114 are arranged to form the hermetic region 102 inside. A heating element 4 for heating the inside of the chamber is provided in the chamber 103, and a stirrer 121 is provided above the chamber 103. With such a configuration, the pressure in the chamber can be controlled and the temperature distribution in the chamber can be made uniform.
Therefore, the condensation of the evaporant in the chamber can be prevented.
【0037】チャンバ103の気密領域と連通して、チ
ャンバ内を減圧するための減圧ポンプ106が配設され
ている。127は排気管である。A decompression pump 106 is provided in communication with the airtight area of the chamber 103 for reducing the pressure in the chamber. 127 is an exhaust pipe.
【0038】そしてチャンバ103と減圧ポンプとの間
には、配管125、バルブ151を介して気密領域10
2と連通し、且つ、処理対象物体101から蒸発した成
分を凝縮、回収する凝縮器105が配設されている。ま
たこの凝縮器105には、内部で凝縮した液体状の成分
(例えば水、油、水銀等)を排出するための液体ドレー
ン152が配設されている。これにより本発明では処理
対象物体から蒸発した水、油などの液体成分と、金属等
の固体成分とを同一ロットで分別して回収することがで
きる。言い換えれば、液体成分と固体成分とを含む処理
対象物体を同一のチャンバで、同一バッチで処理するこ
とができる。The airtight area 10 is provided between the chamber 103 and the vacuum pump through a pipe 125 and a valve 151.
A condenser 105 is provided, which communicates with the fuel cell 2 and condenses and collects components evaporated from the processing object 101. Further, the condenser 105 is provided with a liquid drain 152 for discharging a liquid component (for example, water, oil, mercury, etc.) condensed inside. As a result, in the present invention, liquid components such as water and oil evaporated from the object to be treated and solid components such as metals can be separated and collected in the same lot. In other words, objects to be processed including a liquid component and a solid component can be processed in the same chamber and in the same batch.
【0039】凝縮器105を有する排気系とは別に、チ
ャンバ103には、チャンバ内103に非酸化牲ガスを
導入して加圧するとともに、気密領域内の酸素濃度を調
節するためのチッ素、希ガスなどのガスボンベ107が
バルブ153を介して接続されている。128は調圧バ
ルブ、129は圧力計である。Separately from the exhaust system having the condenser 105, the chamber 103 is pressurized by introducing a non-oxidizing gas into the chamber 103 and nitrogen and rare gas for adjusting the oxygen concentration in the hermetic zone. A gas cylinder 107 such as gas is connected via a valve 153. 128 is a pressure regulating valve, and 129 is a pressure gauge.
【0040】さらに、チャンバ103には、チャンバ1
03から非酸化性ガスを回収し、温度調節してチャンバ
へと供給することができるリザバー131を有してい
る。チャンバ103とリザバー131とはバルブ13
3、ヒータ132を介して接続されている。これによ
り、処理対象物体101の構成成分の酸化防止や、圧
力、酸素濃度の調節に用いられる非酸化性ガスの無駄を
少なくし、処理の生産性を向上することができる。Further, the chamber 103 includes a chamber 1
There is a reservoir 131 that can collect a non-oxidizing gas from the gas chamber 03, adjust the temperature, and supply the gas to the chamber. The chamber 103 and the reservoir 131 are connected to the valve 13
3. Connected via a heater 132. Accordingly, it is possible to prevent the constituent components of the processing target object 101 from being oxidized, reduce waste of non-oxidizing gas used for adjusting the pressure and the oxygen concentration, and improve the processing productivity.
【0041】このように本発明では、処理対象物体の冷
却ガス、加熱時の酸化防止のパージガス、チャンバ内の
圧力調節(加圧)等に用いる、希ガス、窒素ガス等のキ
ャリアガスを、チャンバ内とリザバーとを循環させて用
いることができる。これによりキャリアガスの使用料を
低減することができ、より省資源に資することができ
る。As described above, according to the present invention, a carrier gas such as a rare gas or a nitrogen gas used for cooling gas of an object to be treated, a purge gas for preventing oxidation at the time of heating, and adjusting (pressurizing) the pressure in the chamber is supplied to the chamber. The inside and the reservoir can be circulated and used. As a result, the usage fee of the carrier gas can be reduced, which can further contribute to resource saving.
【0042】このリザバー131には前述同様にバルブ
155を介して減圧ポンプ154が配設されている。す
なわち、このリザバー131は、非酸化性ガスの貯蔵庫
だけではなく、チャンバ内の圧力調節機能をも有してい
る。例えば、チャンバ103内で非酸化性ガスを媒体と
して処理対象物体を加熱する。このときリザバー131
はバルブ155を開いて減圧しておく。そしてバルブ1
55を閉じてチャンバ103とリザバー131との間の
バルブを開けば、チャンバ103内の非酸化性ガスの一
部を回収することができると同時に、チャンバ103内
の圧力を低くすることができる。したがって、より蒸気
圧の低い、沸点の高い金属などの成分の蒸発をより効果
的に行うことができる。The reservoir 131 is provided with a pressure reducing pump 154 via a valve 155 as described above. That is, the reservoir 131 has not only a non-oxidizing gas storage but also a pressure adjusting function in the chamber. For example, the object to be processed is heated in the chamber 103 using a non-oxidizing gas as a medium. At this time, the reservoir 131
Opens the valve 155 to reduce the pressure. And valve 1
By closing the valve 55 and opening the valve between the chamber 103 and the reservoir 131, a part of the non-oxidizing gas in the chamber 103 can be recovered, and the pressure in the chamber 103 can be reduced. Therefore, components such as metals having a lower vapor pressure and a higher boiling point can be more effectively evaporated.
【0043】図4は本発明の処理方法の例を説明するた
めの図である。まず、チャンバ103内に処理対象物体
101を導入して、チャンバ103を密閉する。FIG. 4 is a diagram for explaining an example of the processing method of the present invention. First, the processing target object 101 is introduced into the chamber 103, and the chamber 103 is sealed.
【0044】そしてチャンバ103内を約10−1To
rr程度に減圧して、チャンバ103内の空気をぬく。
これにより処理対象物体の酸化を抑制することができ
る。Then, the inside of the chamber 103 is about 10-1 To
The pressure inside the chamber 103 is reduced by reducing the pressure to about rr.
Thereby, oxidation of the object to be treated can be suppressed.
【0045】ついでチャンバ103内に窒素、希ガス等
の非酸化性のガスを導入して、チャンバ内を780To
rr程度まで加圧する。また、チャンバ内を加熱する。
約100度以上程度に加熱することで処理対象物体中の
水分は蒸発し、凝縮器内に凝縮する。このときチャンバ
内の圧力を大気圧よりもわずかに高い圧力に調節するこ
とで、ドレーン152から凝縮した水分などの液体成分
を抜き取ることができる。Then, a non-oxidizing gas such as nitrogen or a rare gas is introduced into the chamber 103, and 780
Pressurize to about rr. Further, the inside of the chamber is heated.
By heating to about 100 degrees or more, water in the object to be treated evaporates and condenses in the condenser. At this time, by adjusting the pressure in the chamber to a pressure slightly higher than the atmospheric pressure, a liquid component such as condensed moisture can be extracted from the drain 152.
【0046】なお、チャンバ103と凝縮器105との
間、および凝縮器105と減圧ポンプ106との間にバ
ルブを配設すれば、チャンバ103内の圧力と凝縮器1
05内の圧力を独立に制御することができる。このよう
にすれば、チャンバ内が負圧のときでも、凝縮器から液
体を排出させることができる。If valves are provided between the chamber 103 and the condenser 105 and between the condenser 105 and the pressure reducing pump 106, the pressure in the chamber 103 and the pressure in the condenser 1 are reduced.
05 can be controlled independently. With this configuration, the liquid can be discharged from the condenser even when the pressure in the chamber is negative.
【0047】ついで例えばチャンバ103内の圧力を約
500Torrまで減圧する。この段階で、水よりも蒸
気圧の低い、例えば油(グリースを含む)、Hgなど、
の成分を蒸発、回収する。なおこの例では、チャンバ内
を減圧しているが、この工程は大気圧または加圧下で行
うようにしてもよい。この場合、蒸発温度はより高いも
のとなる。Next, for example, the pressure in the chamber 103 is reduced to about 500 Torr. At this stage, the vapor pressure is lower than that of water, such as oil (including grease), Hg, etc.
The components are evaporated and recovered. In this example, the pressure in the chamber is reduced, but this step may be performed at atmospheric pressure or under pressure. In this case, the evaporation temperature will be higher.
【0048】ついで、チャンバ103内を大気圧よりわ
ずかに高い圧力になるまで加圧して(例えば780To
rr)凝縮器に凝縮した油、水銀等を回収する。これに
より系内から比較的蒸気圧の低い成分(例えば水、油、
水銀などの液体成分)を取り除くことができ、後工程で
より効果的にチャンバ内を減圧することができる。また
排気系の負担も軽減することができる。Next, the inside of the chamber 103 is pressurized until the pressure becomes slightly higher than the atmospheric pressure (for example, 780 To
rr) Collect oil, mercury, etc. condensed in the condenser. This allows components with relatively low vapor pressure (eg, water, oil,
Liquid component such as mercury) can be removed, and the pressure in the chamber can be reduced more effectively in a later step. Also, the load on the exhaust system can be reduced.
【0049】そして、チャンバ内を10−2Torr程
度まで減圧して、処理対象物体のうち所望の構成成分の
その圧力での沸点以上の温度まで加熱し、例えばCd、
Zn、Pb等を蒸発、回収する。チャンバ内の温度、圧
力を調節することにより、選択的に所望の構成成分を蒸
発、回収することができる。なおこの減圧は前述のよう
にリザバー131を補助に用いるようにしてもよい。Then, the pressure in the chamber is reduced to about 10 −2 Torr, and the object to be treated is heated to a temperature equal to or higher than the boiling point of the desired constituent component at the pressure.
Zn and Pb are evaporated and collected. By adjusting the temperature and pressure in the chamber, desired constituents can be selectively evaporated and recovered. This pressure reduction may use the reservoir 131 as an aid as described above.
【0050】さて、このように処理対象物体中の固体成
分を、減圧下で蒸発、回収すると、処理対象物体は、非
常に表面の大きい、表面自由エネルギーの大きな(過剰
な)状態となる。したがって処理対象物体をそのままチ
ャンバから大気内へ取り出すことは非常に危険である。
例えば亜鉛鋼板から亜鉛を蒸発、回収した後、そのまま
処理対象物体をチャンバから空気中に取り出した場合、
主として鉄からなる処理対象物体は激しく発火した。ま
た凝縮器内に凝縮した成分も同様の状態にあり、例えば
Mg、Al、Zn等の粉体(微粒子、超微粒子)は常温
でも発火する。When the solid components in the object to be treated are evaporated and recovered under reduced pressure, the object to be treated is in a state of having a very large surface and a large (excessive) surface free energy. Therefore, it is very dangerous to remove the object to be processed from the chamber into the atmosphere.
For example, after evaporating and recovering zinc from a zinc steel sheet, when the object to be treated is taken out of the chamber as it is,
The object to be treated, consisting mainly of iron, ignited violently. The components condensed in the condenser are in the same state, and powders (fine particles, ultra fine particles) such as Mg, Al, Zn, etc., ignite even at room temperature.
【0051】したがって、危険を回避するためには、チ
ャンバ、凝縮器内に窒素、希ガス等の非酸化性のガスを
導入して、処理対象物体を強制冷却するとともに、非酸
化性のガス成分等を吸着させて処理対象物体の表面自由
エネルギーを低減することが重要である。Therefore, in order to avoid danger, a non-oxidizing gas such as nitrogen or a rare gas is introduced into the chamber or the condenser to forcibly cool the object to be treated and to obtain a non-oxidizing gas component. It is important to reduce the surface free energy of the object to be treated by adsorbing the like.
【0052】このように蒸発処理後の処理対象物体を強
制的に冷却することにより、危険を防止するだけでな
く、処理のスループットも向上することができる。As described above, by forcibly cooling the object to be processed after the evaporation processing, not only danger can be prevented but also the throughput of the processing can be improved.
【0053】なお、チャンバ103内で蒸発させた処理
対象物体の構成成分を凝縮器に導入するためには、チャ
ンバ内の温度分布を適切に管理することが必要である。
チャンバ内に温度ムラが生じ、温度が低い領域がある
と、蒸発した成分は、その領域に凝縮してしまうからで
ある。In order to introduce the constituents of the object to be processed evaporated in the chamber 103 into the condenser, it is necessary to appropriately manage the temperature distribution in the chamber.
This is because, if there is temperature unevenness in the chamber and there is a region where the temperature is low, the evaporated components are condensed in that region.
【0054】このためN2等のキャリアガスにより処理
対象物体から蒸発した蒸発物を凝縮器内に導こうとする
と、チャンバ内の圧力は十分に低くはならない。したが
ってその分処理対象物体を高温に加熱しなければならな
い。For this reason, if it is attempted to introduce the vaporized substance evaporated from the object to be treated by the carrier gas such as N2 into the condenser, the pressure in the chamber does not become sufficiently low. Therefore, the object to be treated must be heated to a high temperature.
【0055】本発明では、チャンバ内壁にマッフル(レ
トルト)を配設している。このような構成を採用するこ
とにより、チャンバ内の温度分布がより均一にすること
ができる。またキャリアガスを導入しなくとも蒸発成分
を凝縮器へ導くことができる。したがって、より効率的
に処理対象物体からその構成成分を蒸発させることがで
き、エネルギー効率を向上することができる。In the present invention, a muffle (retort) is provided on the inner wall of the chamber. By employing such a configuration, the temperature distribution in the chamber can be made more uniform. Further, the vaporized component can be led to the condenser without introducing the carrier gas. Therefore, the constituent components can be more efficiently evaporated from the object to be processed, and the energy efficiency can be improved.
【0056】本発明では処理対象物体の構成成分を、そ
の沸点以上の温度に加熱して蒸発、回収するものであ
る。In the present invention, the constituents of the object to be treated are heated to a temperature higher than the boiling point thereof to evaporate and recover.
【0057】構成成分の融点以上では、その構成成分は
蒸発するものの、蒸気圧が低いために回収時間が長くな
ったり、チャンバ内の圧力をより低くしなければならな
い。Above the melting point of the constituent, the constituent evaporates, but the vapor pressure is low, so that the recovery time becomes longer or the pressure in the chamber must be lowered.
【0058】また、ある温度で未だ固体である構成成分
と、蒸発成分が合金のように一体化している場合、融点
以上での分離では、蒸発成分の処理対象物体表面までの
経路の確保が不十分で、効率が悪い。Further, when the constituent component which is still solid at a certain temperature and the evaporating component are integrated like an alloy, it is not possible to secure the path of the evaporating component to the surface of the object to be treated by the separation above the melting point. Insufficient and inefficient.
【0059】本発明では、処理対象物体の構成成分の沸
点以上に加熱して、その構成成分を蒸発させることによ
り、十分な蒸気圧を得ることができる。したがって、回
収すべき構成成分の蒸発にようする時間を短縮し、スル
ープットを向上することができる。In the present invention, a sufficient vapor pressure can be obtained by heating above the boiling point of the constituents of the object to be treated and evaporating the constituents. Therefore, the time required for evaporating the components to be recovered can be reduced, and the throughput can be improved.
【0060】[0060]
【発明の効果】本発明は上述した通りであって、被処理
品の表面に付着した金属や非金属類を従来のような特別
な清浄剤や燃焼炎等を使用することなく、極めて良好に
除去することができ、また、密閉処理空間内で清浄処理
するために、公害や作業環境の汚染等の心配が全くな
く、上記金属、非金属等に限らず、物品に付着した液体
並びに固体の除去を著しく良好に行なうことが可能であ
るという非常に優れた効果を有する。更に、ランニング
コストが安く、自動化も容易で、しかも、付着物は真空
蒸発により回収するために純粋に近いものが得られ、回
収物自身の再利用も可能となる特徴がある。As described above, the present invention is capable of removing metals and non-metals adhering to the surface of an article to be treated without using a special cleaning agent or combustion flame as in the prior art. It can be removed, and because it is cleaned in a closed processing space, there is no concern about pollution and contamination of the working environment.It is not limited to the above metals, non-metals, etc. It has a very excellent effect that the removal can be performed extremely well. Furthermore, the running cost is low, the automation is easy, and the adhered matter is recovered by vacuum evaporation, so that a nearly pure substance is obtained, and the collected material itself can be reused.
【図1】本発明に係る清浄方法を実施するための装置の
系統的説明図である。FIG. 1 is a systematic explanatory diagram of an apparatus for performing a cleaning method according to the present invention.
【図2】密閉空間内圧力及び被処理品の温度の時間経過
に伴う変化を示すグラフである。FIG. 2 is a graph showing changes over time in the pressure in a sealed space and the temperature of a processing object.
【図3】本発明の処理装置の構成の例を概略的に示す
図。FIG. 3 is a diagram schematically showing an example of the configuration of a processing apparatus according to the present invention.
【図4】本発明の処理方法による処理対象物体の処理の
例を説明するための図。FIG. 4 is a diagram for explaining an example of processing of a processing target object by the processing method of the present invention.
1 被処理品 2 密閉空間 3 密閉容器 4 発熱体(加熱手段) 5 凝縮器(凝縮手段) 6 減圧ポンプ(減圧手段) 7 チッ素ガスボンベ(加圧手段) 31予熱炉(予熱手段) DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Processed article 2 Closed space 3 Closed container 4 Heating element (heating means) 5 Condenser (condensing means) 6 Pressure reducing pump (pressure reducing means) 7 Nitrogen gas cylinder (pressurizing means) 31 Preheating furnace (preheating means)
Claims (4)
固体である第2の成分と、常温で固体であり前記第2の
成分よりも沸点の高い第3の成分とを含む処理対象物体
を処理する処理方法において、 気密容器内に処理対象物体を導入し、 前記処理対象物体を非酸化雰囲気で加熱し、 前記気密容器内を減圧するとともに、前記第1の成分、
または前記第2の成分の沸点以上に加熱して、前記第1
の成分または前記第2の成分を蒸発させる、 ことを特徴とする処理方法。1. A treatment comprising a first component that is liquid at room temperature, a second component that is solid at room temperature, and a third component that is solid at room temperature and has a higher boiling point than the second component. In the processing method for processing a target object, the target object is introduced into an airtight container, the target object is heated in a non-oxidizing atmosphere, the pressure in the airtight container is reduced, and the first component is
Alternatively, heating to a temperature equal to or higher than the boiling point of the second component,
Or the second component is evaporated.
の沸点を有する第2の成分とを有する処理対象物体を処
理する処理方法において、 気密容器内に処理対象物体を導入し、 前記処理対象物体中の前記第1の成分が選択的に蒸発す
るように、前記気密容器内の温度と圧力とを調節し、 前記第1の成分の少なくとも一部が蒸発した後、前記処
理対象物体を非酸化雰囲気で冷却することを特徴とする
処理方法。2. A first component having a first boiling point and a second component having a first boiling point.
A processing method for processing a processing target object having a second component having a boiling point of: A processing target object is introduced into an airtight container, and the first component in the processing target object is selectively evaporated. A temperature and a pressure in the airtight container are adjusted, and after at least a part of the first component is evaporated, the object to be processed is cooled in a non-oxidizing atmosphere.
と、 前記処理対象物体の構成成分の少なくとも一部が蒸発す
るように、前記温度調節手段と前記圧力調節手段と前記
酸素濃度調節手段とを制御する手段と、 前記気密容器に接続され前記処理対象物体から蒸発した
成分を凝縮する凝縮器と、 を具備したことを特徴とする処理装置。3. An airtight container for holding an object to be processed, temperature adjusting means for adjusting the temperature in the airtight container, pressure adjusting means for adjusting the pressure in the airtight container, and oxygen concentration in the airtight container. Oxygen concentration control means for controlling the temperature control means, the pressure control means, and the oxygen concentration control means so that at least a part of the components of the object to be processed evaporates; A condenser connected to a container for condensing components evaporated from the object to be treated.
密容器と、 前記気密容器と接続された排気系と、 前記気密容器と前記排気系との間に介挿され、前記処理
対象物体から蒸発した成分を凝縮させる凝縮器と、 前記凝縮器に配設され、前記凝縮器内の液体を排出する
ことが可能な液体ドレーンと、 を具備したことを特徴とする処理装置。4. An airtight container capable of holding an object to be processed, an exhaust system connected to the airtight container, interposed between the airtight container and the exhaust system, and evaporating from the object to be processed. A condenser configured to condense the components, and a liquid drain disposed in the condenser and capable of discharging a liquid in the condenser.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10375111A JP3076020B2 (en) | 1998-12-11 | 1998-12-11 | Processing method and processing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10375111A JP3076020B2 (en) | 1998-12-11 | 1998-12-11 | Processing method and processing apparatus |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2414963A Division JPH0747152B2 (en) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | Method and device for cleaning solid surface |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11267401A true JPH11267401A (en) | 1999-10-05 |
JP3076020B2 JP3076020B2 (en) | 2000-08-14 |
Family
ID=18504987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10375111A Expired - Fee Related JP3076020B2 (en) | 1998-12-11 | 1998-12-11 | Processing method and processing apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3076020B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017175096A1 (en) * | 2016-04-08 | 2017-10-12 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Purification method, and purification device |
-
1998
- 1998-12-11 JP JP10375111A patent/JP3076020B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017175096A1 (en) * | 2016-04-08 | 2017-10-12 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Purification method, and purification device |
JP2017189766A (en) * | 2016-04-08 | 2017-10-19 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Purification method, and purification device |
CN109414629A (en) * | 2016-04-08 | 2019-03-01 | 株式会社半导体能源研究所 | Purification process and purification devices |
CN109414629B (en) * | 2016-04-08 | 2021-06-29 | 株式会社半导体能源研究所 | Purification method and purification apparatus |
US11090577B2 (en) | 2016-04-08 | 2021-08-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Purification method and purification apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3076020B2 (en) | 2000-08-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR960003815A (en) | How to Dispose of Metal Waste | |
US20060293551A1 (en) | Method for producing soil, soil-processing unit, method for processing and unit for processing | |
EA000512B1 (en) | Apparatus in use in the separation substances performing chemical reactions to separate volatile from a substance comprising at least one volatile substance and method thereof | |
KR20010043559A (en) | Treating apparatus, treating method and method of treating soil | |
JP2717326B2 (en) | Method and apparatus for removing adhered metal from metal-attached steel sheet | |
US5205857A (en) | Method and apparatus for recovering substance adhered to object to be processed | |
JPH11267401A (en) | Treatment and treating device | |
JPH06136466A (en) | Treatment of molten aluminum or molten aluminum alloy | |
CA2058508C (en) | Method and apparatus for recovering substance adhered to object to be processed | |
EP1015143B1 (en) | Treatment of contaminated soil | |
JP2960691B2 (en) | Method and apparatus for treating a mixture of substances having at least two phases with different boiling temperatures | |
JPH0841554A (en) | Treatment of used battery | |
JPH06108173A (en) | Method for removing zinc of metallic member stuck with zinc | |
JP3310245B2 (en) | Processing device and processing method | |
JP2528388B2 (en) | Method and apparatus for continuously cleaning solid surface | |
US5320666A (en) | Low pressure contaminant extraction | |
JPH0816248B2 (en) | Vacuum evaporation recovery method | |
JP3763557B2 (en) | Vacuum evaporation separation recovery method and apparatus | |
JPH05125458A (en) | Method for dezincificating scrap galvanized steel sheet | |
JPH06145831A (en) | Treatment of molten aluminum or molten aluminum alloy | |
NO164253B (en) | TREATMENT OF DUST. | |
JP2002331273A (en) | Treatment method and treatment apparatus | |
JP2003175372A (en) | Soil manufacturing method, soil treatment apparatus, treatment method and treatment apparatus | |
JPH05125459A (en) | Method for dezincificating scrap galvanized steel sheet | |
JPH08134652A (en) | Method of depositing material on base layer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080609 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090609 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100609 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100609 Year of fee payment: 10 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |