JPH11264771A - ハルトマンタイプの光学式波面センサ - Google Patents
ハルトマンタイプの光学式波面センサInfo
- Publication number
- JPH11264771A JPH11264771A JP10345212A JP34521298A JPH11264771A JP H11264771 A JPH11264771 A JP H11264771A JP 10345212 A JP10345212 A JP 10345212A JP 34521298 A JP34521298 A JP 34521298A JP H11264771 A JPH11264771 A JP H11264771A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- array
- cells
- cell
- interest
- lenslet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 238000003491 array Methods 0.000 claims description 11
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 abstract 1
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000001994 activation Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/06—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the phase of light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 唯一の小レンズ・アレイ及び唯一のカメラの
センサ・アレイを用いて局部的な位相傾斜を光線の断面
にわたって二次元的に測定する波面センサ及びその測定
方法を提供する。 【解決手段】 矩形状の小レンズ・アレイは、光線の断
面に問題とする複数の点２２’を画定する直交する第１
及び第２の組の軸線に対して４５°の角度をなして方向
決めされる。これにより、各々の小レンズのサブアパー
チュアは、上記第１及び第２の軸線の上の隣接する問題
とする点の間の点４０に中心決めされる。カメラのセン
サ・アレイは、単位面積当たりのサブアパーチュアの数
よりも大きな数のセルを単位面積当たりに有している。
選択されたセルだけが活動化され、上記直交する第１及
び第２の軸線の上の隣接する問題とする点２２’の間の
線のほぼ中間点において測定を行う。
センサ・アレイを用いて局部的な位相傾斜を光線の断面
にわたって二次元的に測定する波面センサ及びその測定
方法を提供する。 【解決手段】 矩形状の小レンズ・アレイは、光線の断
面に問題とする複数の点２２’を画定する直交する第１
及び第２の組の軸線に対して４５°の角度をなして方向
決めされる。これにより、各々の小レンズのサブアパー
チュアは、上記第１及び第２の軸線の上の隣接する問題
とする点の間の点４０に中心決めされる。カメラのセン
サ・アレイは、単位面積当たりのサブアパーチュアの数
よりも大きな数のセルを単位面積当たりに有している。
選択されたセルだけが活動化され、上記直交する第１及
び第２の軸線の上の隣接する問題とする点２２’の間の
線のほぼ中間点において測定を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、概略的に言えば、
適応光学系に関し、より詳細に言えば、光線の相対的な
位相傾斜を平面的なアレイを横断する二次元で測定する
技術に関する。
適応光学系に関し、より詳細に言えば、光線の相対的な
位相傾斜を平面的なアレイを横断する二次元で測定する
技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】適応光学系は、変形可能な鏡の如き調節
可能な光学要素を用いて、光線の収差を補償する。収差
は、例えば、光線が大気を通って伝播することによって
生ずる。代表的な適応光学系においては、収差を生じた
光線は、多数の小さな要素を有する変形可能な鏡から反
射される。上記多数の小さな要素の位置は、各々の可動
な鏡要素に関連して設けられる別個のアクチュエータを
用いることによって調節可能である。上記反射光線の一
部は分割されて、センサ・アレイに衝突するように指向
され、上記センサ・アレイは、反射光線の波面歪曲を表
す測定値を発生する。上記波面歪曲の測定値は、その
後、変形可能な鏡へフィードバックされ、該変形可能な
鏡は、鏡要素を適正に動かすことによって、連続的な補
正を行う。
可能な光学要素を用いて、光線の収差を補償する。収差
は、例えば、光線が大気を通って伝播することによって
生ずる。代表的な適応光学系においては、収差を生じた
光線は、多数の小さな要素を有する変形可能な鏡から反
射される。上記多数の小さな要素の位置は、各々の可動
な鏡要素に関連して設けられる別個のアクチュエータを
用いることによって調節可能である。上記反射光線の一
部は分割されて、センサ・アレイに衝突するように指向
され、上記センサ・アレイは、反射光線の波面歪曲を表
す測定値を発生する。上記波面歪曲の測定値は、その
後、変形可能な鏡へフィードバックされ、該変形可能な
鏡は、鏡要素を適正に動かすことによって、連続的な補
正を行う。
【０００３】波面センサ・アレイの主要な構成要素は、
小レンズ・アレイと呼ばれる小さなレンズから成るアレ
イ、並びに、センサ要素から成るアレイを有するカメラ
である。この構成は、シャック／ハルトマン（Ｓｈａｃ
ｋ−Ｈａｒｔｍａｎｎ）の波面センサと呼ばれている。
上記小レンズ・アレイは、光線の経路に置かれると、サ
ブアパーチュア部分（ｓｕｂａｐｅｒｔｕｒｅｄ ｐｏ
ｒｔｉｏｎ）と呼ばれる、光線の多数の要素部分を発生
する。小レンズ・アレイの各々の小レンズは、全光線の
サブアパーチュアを処理する。小レンズ・アレイにおい
ては、一般的に、各々の小レンズは、方形の格子状に位
置決めされているが、アレイ全体は方形でなくてもよ
く、通常は、円形光線の輪郭に概ね一致する多角形の形
状である。上記カメラのセンサ要素は、通常、方形又は
矩形の形状を有しており、また、通常は、小レンズの格
子状のパターンに平行になるように角度方向に整合され
た方形又は矩形の格子パターンとして配列されている。
小レンズ・アレイと呼ばれる小さなレンズから成るアレ
イ、並びに、センサ要素から成るアレイを有するカメラ
である。この構成は、シャック／ハルトマン（Ｓｈａｃ
ｋ−Ｈａｒｔｍａｎｎ）の波面センサと呼ばれている。
上記小レンズ・アレイは、光線の経路に置かれると、サ
ブアパーチュア部分（ｓｕｂａｐｅｒｔｕｒｅｄ ｐｏ
ｒｔｉｏｎ）と呼ばれる、光線の多数の要素部分を発生
する。小レンズ・アレイの各々の小レンズは、全光線の
サブアパーチュアを処理する。小レンズ・アレイにおい
ては、一般的に、各々の小レンズは、方形の格子状に位
置決めされているが、アレイ全体は方形でなくてもよ
く、通常は、円形光線の輪郭に概ね一致する多角形の形
状である。上記カメラのセンサ要素は、通常、方形又は
矩形の形状を有しており、また、通常は、小レンズの格
子状のパターンに平行になるように角度方向に整合され
た方形又は矩形の格子パターンとして配列されている。
【０００４】従来技術のシャック／ハルトマン・センサ
には、２つの構造がある。一方の構造においては、各々
のサブアパーチュア又は小レンズは、隣接する４つの鏡
アクチュエータの位置に関して等距離になるように中心
決めされている。また、小レンズは、カッド・セル（ｑ
ｕａｄ−ｃｅｌｌ）と呼ばれるカメラの４つのセンサ要
素から成るグループの上方で中心決めされている。一方
の方向における位相傾斜の測定値は、カッド・セルの中
の二対のセルの各々からの出力信号の間の差から導出さ
れる。例えば、カッド・セルのセル及びこれらセルのそ
れぞれの出力信号をＡ、Ｂ、Ｃ及びＤとし、セルＡ及び
ＢがＸ軸方向において整合され、また、セルＡ及びＣが
Ｙ軸方向において整合されているとすると、Ｘ軸の傾斜
は、［（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）］／［Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ］
から決定される。同様に、Ｙ軸の傾斜は、［（Ａ＋Ｂ）
−（Ｃ＋Ｄ）］／［Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ］から決定される。
には、２つの構造がある。一方の構造においては、各々
のサブアパーチュア又は小レンズは、隣接する４つの鏡
アクチュエータの位置に関して等距離になるように中心
決めされている。また、小レンズは、カッド・セル（ｑ
ｕａｄ−ｃｅｌｌ）と呼ばれるカメラの４つのセンサ要
素から成るグループの上方で中心決めされている。一方
の方向における位相傾斜の測定値は、カッド・セルの中
の二対のセルの各々からの出力信号の間の差から導出さ
れる。例えば、カッド・セルのセル及びこれらセルのそ
れぞれの出力信号をＡ、Ｂ、Ｃ及びＤとし、セルＡ及び
ＢがＸ軸方向において整合され、また、セルＡ及びＣが
Ｙ軸方向において整合されているとすると、Ｘ軸の傾斜
は、［（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）］／［Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ］
から決定される。同様に、Ｙ軸の傾斜は、［（Ａ＋Ｂ）
−（Ｃ＋Ｄ）］／［Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ］から決定される。
【０００５】上記方法の主要な欠点は、共通のＸ軸の上
の隣接する２つのアクチュエータの間の局部的なＸ軸の
傾斜を測定し、また、共通のＹ軸の上の隣接する２つの
アクチュエータの間のＹ軸の傾斜を測定することが好ま
しいということである。従来技術の他方の構造は、上記
欠点を解消するが、不都合にして、別の困難性を生ず
る。上記他方の構造においては、２つの小レンズ・アレ
イと、２つの検知器アレイとを設け、一方のアレイでＸ
軸の傾斜を測定し、他方のアレイでＹ軸の傾斜を測定す
ることが必要とされる。Ｘ軸の傾斜を測定する上記小レ
ンズ・アレイは、各々のサブアパーチュア又は小レンズ
が共通のＸ軸の上の隣接する２つのアクチュエータに対
応する格子の位置の間の中間に位置するように、位置決
めされる。同様に、他方の小レンズ・アレイは、各々の
サブアパーチュア又は小レンズが共通のＹ軸の上の隣接
する２つのアクチュエータに対応する格子の位置の間の
中間に位置するように、位置決めされる。Ｘ軸の傾斜の
測定を行うために、カメラのセンサ・アレイが、バイ・
セル（すなわち、共通のＸ軸の隣接するアクチュエータ
の間に位置する隣接する２つのセンサセル）を形成す
る。従って、小レンズからの光線は、通常、上記バイ・
セル（ｂｉ−ｃｅｌｌ）の２つのセルの間の境界部の上
方に位置し、Ｘ軸方向の総ての傾斜は、上記バイ・セル
の２つのセルからの出力信号の差から決定される。同様
に、Ｙ軸の傾斜の測定を行うために、別のカメラのセン
サ・アレイが、共通のＹ軸の隣接するアクチュエータに
対応する２つの格子の位置の間にバイ・セル（ｂｉ−ｃ
ｅｌｌ）を形成する。これにより、Ｙ軸の傾斜は、上記
バイ・セルの２つのセルからの出力信号の間の差から導
出される。本構造によって生ずる困難性は、２つの小レ
ンズ・アレイと、２つのカメラとを必要とすることであ
る。上記２つの小レンズ・アレイは、解析されている単
一の光線の中に置かれた場合には、必然的に、互いに物
理的に干渉することになる。２つの小レンズ・アレイ及
び２つのカメラによって２つの別個の光線の解析を行う
ようにビーム・スプリッタを用いると、整合すなわちア
ラインメントという意味において更に複雑になる。
の隣接する２つのアクチュエータの間の局部的なＸ軸の
傾斜を測定し、また、共通のＹ軸の上の隣接する２つの
アクチュエータの間のＹ軸の傾斜を測定することが好ま
しいということである。従来技術の他方の構造は、上記
欠点を解消するが、不都合にして、別の困難性を生ず
る。上記他方の構造においては、２つの小レンズ・アレ
イと、２つの検知器アレイとを設け、一方のアレイでＸ
軸の傾斜を測定し、他方のアレイでＹ軸の傾斜を測定す
ることが必要とされる。Ｘ軸の傾斜を測定する上記小レ
ンズ・アレイは、各々のサブアパーチュア又は小レンズ
が共通のＸ軸の上の隣接する２つのアクチュエータに対
応する格子の位置の間の中間に位置するように、位置決
めされる。同様に、他方の小レンズ・アレイは、各々の
サブアパーチュア又は小レンズが共通のＹ軸の上の隣接
する２つのアクチュエータに対応する格子の位置の間の
中間に位置するように、位置決めされる。Ｘ軸の傾斜の
測定を行うために、カメラのセンサ・アレイが、バイ・
セル（すなわち、共通のＸ軸の隣接するアクチュエータ
の間に位置する隣接する２つのセンサセル）を形成す
る。従って、小レンズからの光線は、通常、上記バイ・
セル（ｂｉ−ｃｅｌｌ）の２つのセルの間の境界部の上
方に位置し、Ｘ軸方向の総ての傾斜は、上記バイ・セル
の２つのセルからの出力信号の差から決定される。同様
に、Ｙ軸の傾斜の測定を行うために、別のカメラのセン
サ・アレイが、共通のＹ軸の隣接するアクチュエータに
対応する２つの格子の位置の間にバイ・セル（ｂｉ−ｃ
ｅｌｌ）を形成する。これにより、Ｙ軸の傾斜は、上記
バイ・セルの２つのセルからの出力信号の間の差から導
出される。本構造によって生ずる困難性は、２つの小レ
ンズ・アレイと、２つのカメラとを必要とすることであ
る。上記２つの小レンズ・アレイは、解析されている単
一の光線の中に置かれた場合には、必然的に、互いに物
理的に干渉することになる。２つの小レンズ・アレイ及
び２つのカメラによって２つの別個の光線の解析を行う
ようにビーム・スプリッタを用いると、整合すなわちア
ラインメントという意味において更に複雑になる。
【０００６】理想的に必要とされるものは、Ｘ軸におい
て隣接するアクチュエータとＹ軸において隣接するアク
チュエータとの間に位置するセンサ要素によって、従来
技術の上記他方の構造によってもたらされる物理的な干
渉又はアラインメントの困難性を生ずることなく、位相
傾斜を測定する技術である。本発明は、そのような必要
性を満足する。
て隣接するアクチュエータとＹ軸において隣接するアク
チュエータとの間に位置するセンサ要素によって、従来
技術の上記他方の構造によってもたらされる物理的な干
渉又はアラインメントの困難性を生ずることなく、位相
傾斜を測定する技術である。本発明は、そのような必要
性を満足する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、唯一の小レ
ンズ・アレイ及び唯一のカメラのセンサ・アレイを用い
て局部的な位相傾斜を光線の断面にわたって二次元的に
測定するのに使用される、波面センサを提供しようとす
るものである。
ンズ・アレイ及び唯一のカメラのセンサ・アレイを用い
て局部的な位相傾斜を光線の断面にわたって二次元的に
測定するのに使用される、波面センサを提供しようとす
るものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】光学装置のアクチュエー
タの位置に相当する問題とする点で交差する直交する第
１及び第２の組の格子線に関して、測定が行われる。簡
単に言えば、本発明の波面センサは、一般的に、小レン
ズ・アレイと、カメラのセンサ・アレイとを備えてい
る。上記小レンズ・アレイは、矩形状の格子の交点に位
置する光学軸を有する複数の小レンズを備えている。上
記矩形状の格子は、直交する上記第１及び第２の組の格
子線に対して角度をなして方向決めされており、上記小
レンズは、これら小レンズの光学軸が、上記直交する第
１及び第２の組の格子線の交点にある隣接する問題とす
る点の間で上記格子線の上に設けられるように、隔置さ
れる。カメラのセンサ・アレイは、上記直交する第１及
び第２の組の格子線と平行に方向決めされた行及び列と
して設けられた、複数のセンサセルを備えており、これ
らセンサセルは、小レンズを通過する光線を受け取るよ
うに、上記小レンズ・アレイに隣接して位置決めされて
いる。小レンズの光学軸の位置に概ね対応する、センサ
・アレイの中の選択されたセルだけが活動化されて、上
記直交する組の格子線の方向における位相傾斜の測定を
行い、これにより、上記直交する両方の方向における傾
斜を測定するために、唯一の小レンズ・アレイ及び唯一
のカメラのセンサ・アレイだけが必要とされる。
タの位置に相当する問題とする点で交差する直交する第
１及び第２の組の格子線に関して、測定が行われる。簡
単に言えば、本発明の波面センサは、一般的に、小レン
ズ・アレイと、カメラのセンサ・アレイとを備えてい
る。上記小レンズ・アレイは、矩形状の格子の交点に位
置する光学軸を有する複数の小レンズを備えている。上
記矩形状の格子は、直交する上記第１及び第２の組の格
子線に対して角度をなして方向決めされており、上記小
レンズは、これら小レンズの光学軸が、上記直交する第
１及び第２の組の格子線の交点にある隣接する問題とす
る点の間で上記格子線の上に設けられるように、隔置さ
れる。カメラのセンサ・アレイは、上記直交する第１及
び第２の組の格子線と平行に方向決めされた行及び列と
して設けられた、複数のセンサセルを備えており、これ
らセンサセルは、小レンズを通過する光線を受け取るよ
うに、上記小レンズ・アレイに隣接して位置決めされて
いる。小レンズの光学軸の位置に概ね対応する、センサ
・アレイの中の選択されたセルだけが活動化されて、上
記直交する組の格子線の方向における位相傾斜の測定を
行い、これにより、上記直交する両方の方向における傾
斜を測定するために、唯一の小レンズ・アレイ及び唯一
のカメラのセンサ・アレイだけが必要とされる。
【０００９】より詳細に言えば、本発明の一つの実施の
形態においては、カメラのセンサ・アレイは、複数のバ
イ・セルから成る矩形状のアレイであって、各々のバイ
・セルは、隣接する４つの問題とする点によって画定さ
れる方形の面積の概ね４分の１の面積を有している。セ
ンサ・アレイの各々の行及び列の中の交互のバイ・セル
だけが活動化され、これら各々のバイ・セルは、隣接す
る２つの問題とする点の間の線の中間点に位置決めされ
ていて、上記線の方向に関して傾斜を測定するようにな
されている。この代表的な実施の形態においては、各々
のバイ・セルのピクセルは、概ね方形である。
形態においては、カメラのセンサ・アレイは、複数のバ
イ・セルから成る矩形状のアレイであって、各々のバイ
・セルは、隣接する４つの問題とする点によって画定さ
れる方形の面積の概ね４分の１の面積を有している。セ
ンサ・アレイの各々の行及び列の中の交互のバイ・セル
だけが活動化され、これら各々のバイ・セルは、隣接す
る２つの問題とする点の間の線の中間点に位置決めされ
ていて、上記線の方向に関して傾斜を測定するようにな
されている。この代表的な実施の形態においては、各々
のバイ・セルのピクセルは、概ね方形である。
【００１０】本発明の別の実施の形態においては、カメ
ラのセンサ・アレイは、複数のセルから成る矩形状のア
レイであり、各々のセルは、隣接する４つの問題とする
点によって画定される方形の面積の概ね９分の１の面積
を有している。この実施の形態においては、センサ・ア
レイの各々の行及び列の中の選択された隣接する対のセ
ルだけが活動化されて、上記直交する組の格子線に沿っ
て隔置された活動化されるバイ・セルを形成する。全部
で９つのセルの中の４つのセルだけが活動化され、これ
らセルは各々、隣接する２つの問題とする点の間の線の
ほぼ中間点に位置していて、上記線の方向に関する傾斜
を測定するようになされている。ここで説明した実施の
形態においては、各々のセルは概ね方形である。
ラのセンサ・アレイは、複数のセルから成る矩形状のア
レイであり、各々のセルは、隣接する４つの問題とする
点によって画定される方形の面積の概ね９分の１の面積
を有している。この実施の形態においては、センサ・ア
レイの各々の行及び列の中の選択された隣接する対のセ
ルだけが活動化されて、上記直交する組の格子線に沿っ
て隔置された活動化されるバイ・セルを形成する。全部
で９つのセルの中の４つのセルだけが活動化され、これ
らセルは各々、隣接する２つの問題とする点の間の線の
ほぼ中間点に位置していて、上記線の方向に関する傾斜
を測定するようになされている。ここで説明した実施の
形態においては、各々のセルは概ね方形である。
【００１１】本発明の上述の両方の実施の形態におい
て、小レンズ・アレイを形成する矩形状のアレイは、上
記カメラのセンサ・アレイ、及び、上記直交する第１及
び第２の組の格子線に対して、約４５°の角度をなして
方向決めされる。
て、小レンズ・アレイを形成する矩形状のアレイは、上
記カメラのセンサ・アレイ、及び、上記直交する第１及
び第２の組の格子線に対して、約４５°の角度をなして
方向決めされる。
【００１２】本発明は、また、光学装置のアクチュエー
タの位置に対応する問題とする点で交差する直交する第
１及び第２の組の格子線に沿って、局部的な位相傾斜を
光線の断面にわたって二次元的に測定する方法として定
義される。本方法は、矩形状の格子の上に形成された複
数の小レンズから成る小レンズ・アレイに光線を通過さ
せる工程と；小レンズの矩形状の格子が、上記直交する
第１及び第２の組の格子線に対して角度をなす状態で、
上記小レンズ・アレイを方向決めする工程と；各々の小
レンズが、隣接する２つの問題とする点の間の線の中間
点の近くに中心決めされたサブアパーチュアを有するよ
うに、上記小レンズ・アレイを位置決めする工程と；単
一のカメラのセンサ・アレイを上記小レンズ・アレイの
次に設けて該小レンズ・アレイからの光線を受け取るよ
うにし、上記センサ・アレイが、上記小レンズの単位面
積当たりの数よりも大きな単位面積当たりの数を有する
複数のセンサセルを有するようにする工程と；上記直交
する第１及び第２の組の格子線に一致するように上記セ
ンサ・アレイを方向決めする工程と；上記小レンズ・ア
レイの各々のサブアパーチュアの中心のほぼ上方に位置
するバイ・セルである、上記センサ・アレイの中の選択
されたセルを活動化させる工程と；隣接する問題とする
点の各対に関してバイ・セルの測定値を得る工程とを備
え、前記バイ・セルの測定値は、隣接する問題とする点
の間の方向における位相傾斜を表している。
タの位置に対応する問題とする点で交差する直交する第
１及び第２の組の格子線に沿って、局部的な位相傾斜を
光線の断面にわたって二次元的に測定する方法として定
義される。本方法は、矩形状の格子の上に形成された複
数の小レンズから成る小レンズ・アレイに光線を通過さ
せる工程と；小レンズの矩形状の格子が、上記直交する
第１及び第２の組の格子線に対して角度をなす状態で、
上記小レンズ・アレイを方向決めする工程と；各々の小
レンズが、隣接する２つの問題とする点の間の線の中間
点の近くに中心決めされたサブアパーチュアを有するよ
うに、上記小レンズ・アレイを位置決めする工程と；単
一のカメラのセンサ・アレイを上記小レンズ・アレイの
次に設けて該小レンズ・アレイからの光線を受け取るよ
うにし、上記センサ・アレイが、上記小レンズの単位面
積当たりの数よりも大きな単位面積当たりの数を有する
複数のセンサセルを有するようにする工程と；上記直交
する第１及び第２の組の格子線に一致するように上記セ
ンサ・アレイを方向決めする工程と；上記小レンズ・ア
レイの各々のサブアパーチュアの中心のほぼ上方に位置
するバイ・セルである、上記センサ・アレイの中の選択
されたセルを活動化させる工程と；隣接する問題とする
点の各対に関してバイ・セルの測定値を得る工程とを備
え、前記バイ・セルの測定値は、隣接する問題とする点
の間の方向における位相傾斜を表している。
【００１３】より詳細に言えば、上記カメラのセンサ・
アレイは、バイ・セルから成る矩形状のアレイであり、
各々のバイ・セルは、隣接する４つの問題とする点によ
って画定される方形の面積の概ね４分の１の面積を有し
いる。上記活動化させる工程は、上記センサ・アレイの
各々の行及び列の交互のバイ・セルだけを活動化させる
工程を含み、各々活動化されるバイ・セルは、隣接する
２つの問題とする点の間の線の中間点に位置決めされ
て、上記線の方向に関する傾斜の測定を行うように構成
されている。
アレイは、バイ・セルから成る矩形状のアレイであり、
各々のバイ・セルは、隣接する４つの問題とする点によ
って画定される方形の面積の概ね４分の１の面積を有し
いる。上記活動化させる工程は、上記センサ・アレイの
各々の行及び列の交互のバイ・セルだけを活動化させる
工程を含み、各々活動化されるバイ・セルは、隣接する
２つの問題とする点の間の線の中間点に位置決めされ
て、上記線の方向に関する傾斜の測定を行うように構成
されている。
【００１４】本発明の別の実施の形態においては、上記
カメラのセンサ・アレイは、複数のセルから成る矩形状
のアレイであり、各々のセルは、隣接する４つの問題と
する点によって画定される方形の面積の概ね９分の１の
面積を有しており、上記活動化する工程は、上記センサ
・アレイの各々の行及び列の選択された隣接する対のセ
ルだけを活動化させて、上記直交する組の格子線に沿っ
て隔置された活動化されるバイ・セルを形成する工程を
含んでいる。全部で９つのセルの中の４つのセルだけを
活動化させ、これら各々の活動化されるバイ・セルは、
隣接する２つの問題とする点の間の線の中間点に位置決
めされて、上記線の方向に関する傾斜を測定するように
なされている。
カメラのセンサ・アレイは、複数のセルから成る矩形状
のアレイであり、各々のセルは、隣接する４つの問題と
する点によって画定される方形の面積の概ね９分の１の
面積を有しており、上記活動化する工程は、上記センサ
・アレイの各々の行及び列の選択された隣接する対のセ
ルだけを活動化させて、上記直交する組の格子線に沿っ
て隔置された活動化されるバイ・セルを形成する工程を
含んでいる。全部で９つのセルの中の４つのセルだけを
活動化させ、これら各々の活動化されるバイ・セルは、
隣接する２つの問題とする点の間の線の中間点に位置決
めされて、上記線の方向に関する傾斜を測定するように
なされている。
【００１５】上に開示した本方法の２つの実施の形態に
おいて、上記小レンズ・アレイを方向決めする工程は、
上記直交する第１及び第２の組の格子線に対して約４５
°の角度をなして上記小レンズ・アレイを方向決めする
工程を含む。
おいて、上記小レンズ・アレイを方向決めする工程は、
上記直交する第１及び第２の組の格子線に対して約４５
°の角度をなして上記小レンズ・アレイを方向決めする
工程を含む。
【００１６】上の概要から、本発明は、適応光学系に使
用される波面センサの分野に大きな進歩を与えることが
理解されよう。本発明は、特に、光線の断面にわたって
位相傾斜を二次元的に測定するが、単一の小レンズ・ア
レイ及び単一のカメラのセンサ・アレイしか使用しな
い。本発明の他の特徴及び利点は、図面を参照して以下
の詳細な説明を読むことにより、明らかとなろう。
用される波面センサの分野に大きな進歩を与えることが
理解されよう。本発明は、特に、光線の断面にわたって
位相傾斜を二次元的に測定するが、単一の小レンズ・ア
レイ及び単一のカメラのセンサ・アレイしか使用しな
い。本発明の他の特徴及び利点は、図面を参照して以下
の詳細な説明を読むことにより、明らかとなろう。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明を例示するための図面に示
すように、本発明は、例えば、大気を通って伝播するこ
とにより波面歪曲を受けた光線の要素的な位相傾斜を測
定する技術に関係する。適応光学系は、変形可能な鏡の
如き調節可能な光学要素によって波面歪曲を補償するた
めに採用される。一般的に、変形可能な鏡は、連続的で
可撓性を有する反射面を有しており、この反射面は、電
気信号によって動かされるピストンの如き多くの要素ア
クチュエータによって、鏡の非反射側から変形される。
図１に示すように、適応光学系は、参照符号１０でその
全体が示されている上記一般的なタイプの変形可能な鏡
と、波面センサ・アレイ１２とを備えることができる。
変形可能な鏡１０に入射する光線１４が、ビーム・スプ
リッタ１６へ反射され、該ビーム・スプリッタは、２つ
の出射光線１４ａ、１４ｂを発生する。光線１４ａは、
該光線が有する情報を利用する装置（図示せず）に導か
れる。適応光学系が、例えば、天体望遠鏡の部品である
場合には、光線１４ａは、望遠鏡の通常の構成要素（図
示せず）に導かれる。他方の出射光線１４ｂは、波面セ
ンサ・アレイ１２に衝突する。アレイ１２からの出力信
号は、適応光学系制御装置１８で処理される。この適応
光学系制御装置は、ライン２０上に制御信号を発生し
て、変形可能な鏡１０の個々のアクチュエータ２２を制
御する。制御装置１８は、波面歪曲をほぼゼロまで低減
させるように、鏡１０を変形させる。
すように、本発明は、例えば、大気を通って伝播するこ
とにより波面歪曲を受けた光線の要素的な位相傾斜を測
定する技術に関係する。適応光学系は、変形可能な鏡の
如き調節可能な光学要素によって波面歪曲を補償するた
めに採用される。一般的に、変形可能な鏡は、連続的で
可撓性を有する反射面を有しており、この反射面は、電
気信号によって動かされるピストンの如き多くの要素ア
クチュエータによって、鏡の非反射側から変形される。
図１に示すように、適応光学系は、参照符号１０でその
全体が示されている上記一般的なタイプの変形可能な鏡
と、波面センサ・アレイ１２とを備えることができる。
変形可能な鏡１０に入射する光線１４が、ビーム・スプ
リッタ１６へ反射され、該ビーム・スプリッタは、２つ
の出射光線１４ａ、１４ｂを発生する。光線１４ａは、
該光線が有する情報を利用する装置（図示せず）に導か
れる。適応光学系が、例えば、天体望遠鏡の部品である
場合には、光線１４ａは、望遠鏡の通常の構成要素（図
示せず）に導かれる。他方の出射光線１４ｂは、波面セ
ンサ・アレイ１２に衝突する。アレイ１２からの出力信
号は、適応光学系制御装置１８で処理される。この適応
光学系制御装置は、ライン２０上に制御信号を発生し
て、変形可能な鏡１０の個々のアクチュエータ２２を制
御する。制御装置１８は、波面歪曲をほぼゼロまで低減
させるように、鏡１０を変形させる。
【００１８】図２に示すように、波面センサ・アレイ１
２の主要な構成要素は、小レンズ・アレイ２６、及び、
カメラのセンサ・アレイ２８であり、図面にはこれらア
レイの一部だけが示されている。小レンズ・アレイ２６
は、小レンズと呼ばれる多数の小さなレンズを備えてお
り、これら小レンズは、矩形状の格子パターンに設けら
れている。図２には、小レンズの一つが、その軸線を中
心線３０上に位置させた状態で設けられている。
２の主要な構成要素は、小レンズ・アレイ２６、及び、
カメラのセンサ・アレイ２８であり、図面にはこれらア
レイの一部だけが示されている。小レンズ・アレイ２６
は、小レンズと呼ばれる多数の小さなレンズを備えてお
り、これら小レンズは、矩形状の格子パターンに設けら
れている。図２には、小レンズの一つが、その軸線を中
心線３０上に位置させた状態で設けられている。
【００１９】図３は、カメラのセンサ・アレイ２８の一
部を平面図で示しており、上記カメラのセンサ・アレイ
は、セル２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄから成るカッ
ド・セル（ｑｕａｄ−ｃｅｌｌ）を備えている。従来技
術のある構造においては、小レンズ・アレイ２６は、小
レンズの各々の中心線が、図面に示すように、カッド・
セルの中心線を通過するように、カメラのセンサ・アレ
イ２８に関して位置決めされている。また、カッド・セ
ル２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄの寸法は、該セルの
４つの隅部が隣接する４つの鏡アクチュエータ２２の位
置に対応するような寸法になされている。上記位置は、
参照符号２２’によって図面に示されている。カッド・
セル２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄの上方に設けられ
た特定の小レンズを通過する光線が、カッド・セルの中
心に精確に落ちると、４つのセル２８ａ、２８ｂ、２８
ｃ、２８ｄの各々は、同一の電気的な出力信号を発生す
ることになる。各々の小レンズのアパーチュアは、光線
サブアパーチュアと呼ばれ、各々のサブアパーチュア
は、説明の便宜上、方形の面積を包含するものと見なさ
れ、この場合には、上記領域は、図３のカッド・セル２
８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄの面積に相当する。サブ
アパーチュアの中心は、中心線３０である。
部を平面図で示しており、上記カメラのセンサ・アレイ
は、セル２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄから成るカッ
ド・セル（ｑｕａｄ−ｃｅｌｌ）を備えている。従来技
術のある構造においては、小レンズ・アレイ２６は、小
レンズの各々の中心線が、図面に示すように、カッド・
セルの中心線を通過するように、カメラのセンサ・アレ
イ２８に関して位置決めされている。また、カッド・セ
ル２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄの寸法は、該セルの
４つの隅部が隣接する４つの鏡アクチュエータ２２の位
置に対応するような寸法になされている。上記位置は、
参照符号２２’によって図面に示されている。カッド・
セル２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄの上方に設けられ
た特定の小レンズを通過する光線が、カッド・セルの中
心に精確に落ちると、４つのセル２８ａ、２８ｂ、２８
ｃ、２８ｄの各々は、同一の電気的な出力信号を発生す
ることになる。各々の小レンズのアパーチュアは、光線
サブアパーチュアと呼ばれ、各々のサブアパーチュア
は、説明の便宜上、方形の面積を包含するものと見なさ
れ、この場合には、上記領域は、図３のカッド・セル２
８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄの面積に相当する。サブ
アパーチュアの中心は、中心線３０である。
【００２０】小レンズからの光線が、カッド・セル２８
ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄの中心に精確に位置しない
場合には、Ｘ軸方向及びＹ軸方向における光線の「傾
斜」の度合いは、カッド・セルの４つの要素２８ａ、２
８ｂ、２８ｃ、２８ｄからの出力信号から決定すること
ができる。カッド・セルの中心３０から出ている矢印
は、Ｘ軸の傾斜及びＹ軸の傾斜の方向を示している。よ
り詳細に言えば、カッド・セル２８ａ、２８ｂ、２８
ｃ、２８ｄからの出力信号をそれぞれＡ、Ｂ、Ｃ及びＤ
とすると、Ｙ軸の傾斜は、下式に比例する。
ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄの中心に精確に位置しない
場合には、Ｘ軸方向及びＹ軸方向における光線の「傾
斜」の度合いは、カッド・セルの４つの要素２８ａ、２
８ｂ、２８ｃ、２８ｄからの出力信号から決定すること
ができる。カッド・セルの中心３０から出ている矢印
は、Ｘ軸の傾斜及びＹ軸の傾斜の方向を示している。よ
り詳細に言えば、カッド・セル２８ａ、２８ｂ、２８
ｃ、２８ｄからの出力信号をそれぞれＡ、Ｂ、Ｃ及びＤ
とすると、Ｙ軸の傾斜は、下式に比例する。
【００２１】 ［（Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ）］／［（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）］ 同様に、Ｘ軸の傾斜は、下式に比例する。 ［（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）］／［（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）］ 上記式を用いて、適応光学系制御装置１８は、アクチュ
エータ２２に対して適正な調節を行って、各々の方向に
おける傾斜を除去することができる。この構造に伴う大
きな困難性は、傾斜の測定は各々のカッド・セルの中心
で行われるが、そのような測定値は、アクチュエータが
位置しているカッド・セルの隅部の位置に与えられる補
正値に変換されなければならないということである。カ
ッド・セルの対応する隅部２２’にあるアクチュエータ
２２の中のいずれかのアクチュエータが動くと、カッド
・セルの中心で測定されるＸ軸方向及びＹ軸方向の傾斜
の変化が生ずることは明らかである。そこで、理想的に
は、傾斜の測定が、同じＸ軸又はＹ軸の線にある隣接す
る２つのアクチュエータの位置の間で行われる構造を用
いるのが望ましい。
エータ２２に対して適正な調節を行って、各々の方向に
おける傾斜を除去することができる。この構造に伴う大
きな困難性は、傾斜の測定は各々のカッド・セルの中心
で行われるが、そのような測定値は、アクチュエータが
位置しているカッド・セルの隅部の位置に与えられる補
正値に変換されなければならないということである。カ
ッド・セルの対応する隅部２２’にあるアクチュエータ
２２の中のいずれかのアクチュエータが動くと、カッド
・セルの中心で測定されるＸ軸方向及びＹ軸方向の傾斜
の変化が生ずることは明らかである。そこで、理想的に
は、傾斜の測定が、同じＸ軸又はＹ軸の線にある隣接す
る２つのアクチュエータの位置の間で行われる構造を用
いるのが望ましい。
【００２２】図４及び図５に示す構造は、分割された２
つの小レンズ・アレイと、これらに対応する２つのカメ
ラのセンサ・アレイとを設けて二組の傾斜測定を行うこ
とによって、上述の構造の欠点を解消する。図４に示す
ように、中心線を３０ｘに有する第１の小レンズ・アレ
イが、そのサブアパーチュアを、第１のカメラのセンサ
・アレイ３２の部品であるバイ・セル３２ｅ、３２ｆの
中心の僅か上方に位置させた状態で、位置決めされてい
る。バイ・セル３２ｅ、３２ｆも、図４に示すように、
隣接する２つのアクチュエータの位置２２’を結ぶ水平
方向（軸方向）の線の上方に中心決めされている。セル
３２ｅ、３２ｆによって発生される電気的な出力信号を
それぞれＥ、Ｆとすると、サブアパーチュア光線のＸ軸
の傾斜は、下式に比例する。
つの小レンズ・アレイと、これらに対応する２つのカメ
ラのセンサ・アレイとを設けて二組の傾斜測定を行うこ
とによって、上述の構造の欠点を解消する。図４に示す
ように、中心線を３０ｘに有する第１の小レンズ・アレ
イが、そのサブアパーチュアを、第１のカメラのセンサ
・アレイ３２の部品であるバイ・セル３２ｅ、３２ｆの
中心の僅か上方に位置させた状態で、位置決めされてい
る。バイ・セル３２ｅ、３２ｆも、図４に示すように、
隣接する２つのアクチュエータの位置２２’を結ぶ水平
方向（軸方向）の線の上方に中心決めされている。セル
３２ｅ、３２ｆによって発生される電気的な出力信号を
それぞれＥ、Ｆとすると、サブアパーチュア光線のＸ軸
の傾斜は、下式に比例する。
【００２３】（Ｅ−Ｆ）／（Ｅ＋Ｆ） 図５に示すように、第２の小レンズ・アレイは、Ｙ軸の
線の上の隣接する２つのアクチュエータの位置２２’の
間の中間点に位置する符号３０ｙに中心を有している。
第２のカメラのセンサ・アレイは、バイ・セル３４ｇ、
３４ｈを備えており、これらバイ・セルも、中心線３０
ｙの上方に設けられていて、サブアパーチュア光線のＹ
軸の傾斜の測定値を発生する。バイ・セル３４ｇ、３４
ｈの出力信号をそれぞれＧ、Ｈとすると、Ｙ軸の傾斜は
下式に比例する。
線の上の隣接する２つのアクチュエータの位置２２’の
間の中間点に位置する符号３０ｙに中心を有している。
第２のカメラのセンサ・アレイは、バイ・セル３４ｇ、
３４ｈを備えており、これらバイ・セルも、中心線３０
ｙの上方に設けられていて、サブアパーチュア光線のＹ
軸の傾斜の測定値を発生する。バイ・セル３４ｇ、３４
ｈの出力信号をそれぞれＧ、Ｈとすると、Ｙ軸の傾斜は
下式に比例する。
【００２４】（Ｇ−Ｈ）／（Ｇ＋Ｈ） 都合の悪いことに、この構造の２つの小レンズ・アレイ
は、同じ光線の中に置かれた場合には物理的に干渉す
る。従って、通常の方法においては、追加のビーム・ス
プリッタ（図示せず）を用いて、別個の光線でＸ軸の傾
斜及びＹ軸の傾斜の測定を行う。この方法は、ほぼ必然
的に性能に悪影響を与えることになる、整合すなわちア
ラインメントの困難性をもたらす。また、第２の小レン
ズ・アレイ、及び、第２のカメラのセンサ・アレイを用
いると、装置の全コストが増大する。
は、同じ光線の中に置かれた場合には物理的に干渉す
る。従って、通常の方法においては、追加のビーム・ス
プリッタ（図示せず）を用いて、別個の光線でＸ軸の傾
斜及びＹ軸の傾斜の測定を行う。この方法は、ほぼ必然
的に性能に悪影響を与えることになる、整合すなわちア
ラインメントの困難性をもたらす。また、第２の小レン
ズ・アレイ、及び、第２のカメラのセンサ・アレイを用
いると、装置の全コストが増大する。
【００２５】図６、図７ａ及び図７ｂは、従来技術の上
記２つの構造に関して、アクチュエータの位置２２’と
小レンズ・アレイの中心線の位置との間の位置的な関係
を示している。第１の構造に関しては、図６に示すよう
に、各々の小レンズの中心線３０は、隣接する４つのア
クチュエータの位置２２’から等距離だけ離れて位置決
めされている。同様に、第２の従来技術の構造に関して
は、図７ａ及び図７ｂに示すように、第１の小レンズの
中心線の位置３０ｘは各々、同じ水平方向（Ｘ軸）の上
の隣接するアクチュエータの位置２２’の間の中間点に
設けられており、また、第２の小レンズの中心線の位置
３０ｙは、同じ垂直方向（Ｙ軸）の上の隣接するアクチ
ュエータの位置の間に設けられている。また、この従来
技術の構造においては、小レンズ・アレイの小レンズは
総て、矩形状又は方形状の格子パターンの上に設けられ
ており、上記小レンズは、カメラのセンサ・アレイ、並
びに、アクチュエータの位置２２’が配置されている上
記格子パターンに角度方向において整合されていること
も、図６、図７ａ及び図７ｂから理解されよう。
記２つの構造に関して、アクチュエータの位置２２’と
小レンズ・アレイの中心線の位置との間の位置的な関係
を示している。第１の構造に関しては、図６に示すよう
に、各々の小レンズの中心線３０は、隣接する４つのア
クチュエータの位置２２’から等距離だけ離れて位置決
めされている。同様に、第２の従来技術の構造に関して
は、図７ａ及び図７ｂに示すように、第１の小レンズの
中心線の位置３０ｘは各々、同じ水平方向（Ｘ軸）の上
の隣接するアクチュエータの位置２２’の間の中間点に
設けられており、また、第２の小レンズの中心線の位置
３０ｙは、同じ垂直方向（Ｙ軸）の上の隣接するアクチ
ュエータの位置の間に設けられている。また、この従来
技術の構造においては、小レンズ・アレイの小レンズは
総て、矩形状又は方形状の格子パターンの上に設けられ
ており、上記小レンズは、カメラのセンサ・アレイ、並
びに、アクチュエータの位置２２’が配置されている上
記格子パターンに角度方向において整合されていること
も、図６、図７ａ及び図７ｂから理解されよう。
【００２６】本発明によれば、小レンズの中心線４０を
有する小レンズ・アレイは、図８に示すように、アクチ
ュエータの位置２２’が配置されている格子パターンに
対して４５°の角度をなす格子パターンを有しており、
また、単一のカメラのセンサ・アレイ４２は、図９に示
すように、Ｘ軸及びＹ軸においてそれぞれ隣接するアク
チュエータの位置２２’の間の中間点に位置する、選択
されたＸバイ・セル４２ａ、４２ｂ、並びに、選択され
たＹバイ・セル４２ｃ、４２ｄを有している。カメラの
センサ・アレイ４２のバイ・セルは、図４及び図５の構
造に使用されるバイ・セルよりも、少なくとも一方の方
向において二倍だけ小さいので、Ｘ軸の傾斜及びＹ軸の
傾斜の測定は共に、二組の必要とされるバイ・セルの間
の物理的な干渉を生ずることなく、実行することができ
る。図９の構造においては、アレイ４２の全数のバイ・
セルの中の半分だけが活動化される。Ｘ軸の傾斜及びＹ
軸の傾斜の測定値は、活動化されたセルからの出力信号
から導出される。より詳細に言えば、Ｘ軸の傾斜は、バ
イ・セル４２ａ、４２bから与えられる出力（Ａ−Ｂ）
に比例し、また、Ｙ軸の傾斜は、バイ・セル４２ｃ、４
２ｄから与えられる出力の差（Ｃ−Ｄ）に比例する。
有する小レンズ・アレイは、図８に示すように、アクチ
ュエータの位置２２’が配置されている格子パターンに
対して４５°の角度をなす格子パターンを有しており、
また、単一のカメラのセンサ・アレイ４２は、図９に示
すように、Ｘ軸及びＹ軸においてそれぞれ隣接するアク
チュエータの位置２２’の間の中間点に位置する、選択
されたＸバイ・セル４２ａ、４２ｂ、並びに、選択され
たＹバイ・セル４２ｃ、４２ｄを有している。カメラの
センサ・アレイ４２のバイ・セルは、図４及び図５の構
造に使用されるバイ・セルよりも、少なくとも一方の方
向において二倍だけ小さいので、Ｘ軸の傾斜及びＹ軸の
傾斜の測定は共に、二組の必要とされるバイ・セルの間
の物理的な干渉を生ずることなく、実行することができ
る。図９の構造においては、アレイ４２の全数のバイ・
セルの中の半分だけが活動化される。Ｘ軸の傾斜及びＹ
軸の傾斜の測定値は、活動化されたセルからの出力信号
から導出される。より詳細に言えば、Ｘ軸の傾斜は、バ
イ・セル４２ａ、４２bから与えられる出力（Ａ−Ｂ）
に比例し、また、Ｙ軸の傾斜は、バイ・セル４２ｃ、４
２ｄから与えられる出力の差（Ｃ−Ｄ）に比例する。
【００２７】図１０の構造においては、参照符号４４で
示されているカメラのセンサ・アレイは、更に小さいバ
イ・セルを有している。図１０のバイ・セルの２つのセ
ル４４ａ、４４ｂ又は４４ｃ、４４ｄは各々、アクチュ
エータの位置２２’の間の間隔の３分の１の寸法を有し
ている。また、この構造においては、９つのセルの中の
４つのセルだけが活動化されることも、図１０から理解
されよう。
示されているカメラのセンサ・アレイは、更に小さいバ
イ・セルを有している。図１０のバイ・セルの２つのセ
ル４４ａ、４４ｂ又は４４ｃ、４４ｄは各々、アクチュ
エータの位置２２’の間の間隔の３分の１の寸法を有し
ている。また、この構造においては、９つのセルの中の
４つのセルだけが活動化されることも、図１０から理解
されよう。
【００２８】従って、本発明は、各々の軸線において隣
接するアクチュエータの位置の間の中間点で上記各々の
軸線における傾斜の測定を行うという、図４及び図５の
従来技術の構造の利点をもたらしながら、単一の小レン
ズ・アレイ及び単一のカメラのセンサ・アレイしか必要
としない。従って、本発明は、適応光学系に使用される
波面センサの分野に大幅な進歩を与えることは理解され
よう。また、説明の都合上、本発明を詳細に説明した
が、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、種々
の変更を行うことができることも理解されよう。従っ
て、本発明は、請求の範囲によって限定される事項を除
き、限定的に理解されるべきものではない。
接するアクチュエータの位置の間の中間点で上記各々の
軸線における傾斜の測定を行うという、図４及び図５の
従来技術の構造の利点をもたらしながら、単一の小レン
ズ・アレイ及び単一のカメラのセンサ・アレイしか必要
としない。従って、本発明は、適応光学系に使用される
波面センサの分野に大幅な進歩を与えることは理解され
よう。また、説明の都合上、本発明を詳細に説明した
が、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、種々
の変更を行うことができることも理解されよう。従っ
て、本発明は、請求の範囲によって限定される事項を除
き、限定的に理解されるべきものではない。
【図１】従来技術の適応光学系のブロック図である。
【図２】小レンズ・アレイ及びカメラのセンサ・アレイ
を含む図１の波面センサ・アレイの一部を示す図であ
る。
を含む図１の波面センサ・アレイの一部を示す図であ
る。
【図３】従来技術の波面センサの小レンズ・アレイに対
する上記カメラのセンサ・アレイの位置的な関係を示す
図である。
する上記カメラのセンサ・アレイの位置的な関係を示す
図である。
【図４】従来技術の別の波面センサのそれぞれの小レン
ズ・アレイに対する２つのカメラのセンサ・アレイの位
置的な関係を示す図である。
ズ・アレイに対する２つのカメラのセンサ・アレイの位
置的な関係を示す図である。
【図５】従来技術の別の波面センサのそれぞれの小レン
ズ・アレイに対する２つのカメラのセンサ・アレイの位
置的な関係を示す図である。
ズ・アレイに対する２つのカメラのセンサ・アレイの位
置的な関係を示す図である。
【図６】変形可能な鏡のアクチュエータに対する図３の
小レンズ・アレイの位置的な関係を示す図である。
小レンズ・アレイの位置的な関係を示す図である。
【図７】図７ａ及び図７ｂは、図６と同様な図である
が、変形可能な鏡のアクチュエータに対する図４及び図
５の小レンズ・アレイのそれぞれの位置的な関係を示し
ている。
が、変形可能な鏡のアクチュエータに対する図４及び図
５の小レンズ・アレイのそれぞれの位置的な関係を示し
ている。
【図８】本発明における変形可能な鏡のアクチュエータ
に対する小レンズ・アレイの位置的な関係及び角度方向
の関係を示す図である。
に対する小レンズ・アレイの位置的な関係及び角度方向
の関係を示す図である。
【図９】本発明の一つの実施の形態における変形可能な
鏡のアクチュエータ及び小レンズ・アレイのサブアパー
チュアの位置に関するカメラのセンサ・アレイの活動ピ
クセルの選択を示す図である。
鏡のアクチュエータ及び小レンズ・アレイのサブアパー
チュアの位置に関するカメラのセンサ・アレイの活動ピ
クセルの選択を示す図である。
【図１０】図９と同様な図であるが、本発明の別の実施
の形態におけるカメラのセンサ・アレイの活動ピクセル
の選択を示している。
の形態におけるカメラのセンサ・アレイの活動ピクセル
の選択を示している。
１０ 変形可能な鏡 １２ 波面センサ・アレイ １４ 光線 １６ ビーム・スプリッタ １４ａ、１４ｂ 出射光線 １８ 適応光学系制御装置 ２２ アクチュエータ ２２’ アクチュエータの位置 ２６ 小レンズ・アレイ ２８ カメラのセンサ・アレイ ３０ 中心線 ４０ 小レンズの中心線 ４２ カメラのセンサ・アレイ ４２ａ、４２ｂ バイ・セル ４２ｃ、４２ｄ バイ・セル ４４ａ、４４ｂ バイ・セル ４４ｃ、４４ｄ バイ・セル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 リチャード・エイ・ハッチン アメリカ合衆国カリフォルニア州91302, カラバサス，カンバーランド・レーン 25436
Claims (10)
- 【請求項１】 光学装置のアクチュエータの位置に対応
する問題とする点で交差する格子線から成る第１及び第
２の直交する組に沿って、局部的な位相傾斜を、光線の
断面にわたって二次元的に測定する際に使用される波面
センサであって、 矩形状の格子の交差点に位置決めされた光学軸を備える
複数の小レンズを有する小レンズ・アレイと、 前記直交する第１及び第２の組の格子線に平行に方向決
めされた行及び列として配置された複数のセンサセルを
有するカメラのセンサ・アレイとを備えており、 前記小レンズ・アレイは、前記直交する第１及び第２の
組の格子線に対して角度をなして方向決めされており、
前記小レンズは、これら小レンズの光学軸が、前記格子
線の交点に位置する問題とする隣接する点の間で前記直
交する第１及び第２の組の格子線の上に位置するよう
に、隔置されており、 前記複数のセンサセルは、前記小レンズ・アレイを通過
する光線を受け取るように前記小レンズ・アレイに隣接
して位置決めされており、前記小レンズの光学軸の位置
に概ね対応する前記センサ・アレイの中の選択されたセ
ルだけが活動化されて、前記直交する組の格子線の方向
における位相傾斜の測定を行うようになされており、 これにより、直交する両方の方向における傾斜の測定を
行うために、唯一の小レンズ・アレイ、及び、唯一のカ
メラのセンサ・アレイしか必要としないように構成され
たことを特徴とする波面センサ。 - 【請求項２】 請求項１に記載の波面センサにおいて、 前記カメラのセンサ・アレイは、バイ・セルから成る矩
形状のアレイであり、前記バイ・セルは各々、問題とす
る４つの隣接する点によって画定される方形の面積の概
ね４分の１の面積を有しており、 前記センサ・アレイの各々の行及び列の中の交互のバイ
・セルだけが活動化されるようになされており、 活動化されるバイ・セルは各々、問題とする２つの隣接
する点の間の線の中間点に位置していて、前記線の方向
に関する傾斜を測定するように構成されたことを特徴と
する波面センサ。 - 【請求項３】 請求項２に記載の波面センサにおいて、 各々のバイ・セルのピクセルが概ね方形状であるように
構成されたことを特徴とする波面センサ。 - 【請求項４】 請求項１に記載の波面センサにおいて、 前記カメラのセンサ・アレイは、複数のセルから成る矩
形状のアレイであり、前記セルは各々、問題とする隣接
する４つの点によって画定される方形の面積の概ね９分
の１の面積を有しており、 前記センサ・アレイの各々の行及び列の中の選択された
隣接する対のセルだけが活動化されて、前記直交する組
の格子線に沿って隔置された活動化されるバイ・セルを
形成しており、 全部で９つのセルの中の４つのセルだけが活動化され、 各々の活動化されるセルは、隣接する２つの問題とする
点の間の線の概ね中間点に位置していて、前記線の方向
に関する傾斜を測定するように構成されたことを特徴と
する波面センサ。 - 【請求項５】 請求項４に記載の波面センサにおいて、 各々のセルが概ね方形であることを特徴とする波面セン
サ。 - 【請求項６】 請求項１に記載の波面センサにおいて、 前記小レンズ・アレイを形成する前記矩形状のアレイ
は、前記直交する第１及び第２の組の格子線に対して約
４５°の角度をなして方向決めされていることを特徴と
する波面センサ。 - 【請求項７】 光学装置のアクチュエータの位置に対応
する問題とする点で交差する直交する第１及び第２の組
の格子線に沿って、局部的な位相傾斜を、光線の断面に
わたって二次元的に測定する方法であって、 矩形状の格子の上に形成された複数の小レンズを有する
小レンズ・アレイに光線を通過させる工程と、 小レンズの矩形状の格子が、前記直交する第１及び第２
の組の格子線に対して角度をなす状態で、前記小レンズ
・アレイを方向決めする工程と、 各々の小レンズが、隣接する２つの問題とする点の間の
線の中間点の近くに中心決めされたサブアパーチュアを
有するように、前記小レンズ・アレイを位置決めする工
程と、 単一のカメラのセンサ・アレイを前記小レンズ・アレイ
の次に設けて該小レンズ・アレイからの光線を受け取る
ようにし、前記センサ・アレイが、前記小レンズの単位
面積当たりの数よりも大きな単位面積当たりの数を有す
る複数のセンサセルを有するようにする工程と、 前記直交する第１及び第２の組の格子線に一致するよう
に前記センサ・アレイを方向決めする工程と、 前記小レンズ・アレイの各々のサブアパーチュアの中心
のほぼ上方に位置するバイ・セルである、前記センサ・
アレイの中の選択されたセルを活動化させる工程と、 隣接する問題とする点の各対に関してバイ・セルの測定
値を得る工程とを備えており、前記バイ・セルの測定値
は、隣接する問題とする点の間の方向における位相傾斜
を表していることを特徴とする、局部的な位相傾斜を光
線の断面にわたって二次元的に測定する方法。 - 【請求項８】 請求項７に記載の、局部的な位相傾斜を
光線の断面にわたって二次元的に測定する方法におい
て、 前記カメラのセンサ・アレイは、バイ・セルから成る矩
形状のアレイであり、 各々のバイ・セルは、隣接する４つの問題とする点によ
って画定される方形の面積の概ね４分の１の面積を有し
ており、 前記活動化させる工程は、前記センサ・アレイの各々の
行及び列の交互のバイ・セルだけを活動化させる工程を
含み、 各々のバイ・セルは、隣接する２つの問題とする点の間
の線の中間点に位置決めされて、前記線の方向に関する
傾斜の測定を行うように構成されたことを特徴とする、
局部的な位相傾斜を光線の断面にわたって二次元的に測
定する方法。 - 【請求項９】 請求項７に記載の、局部的な位相傾斜を
光線の断面にわたって二次元的に測定する方法におい
て、 前記カメラのセンサ・アレイは、複数のセルから成る矩
形状のアレイであり、各々のセルは、隣接する４つの問
題とする点によって画定される方形の面積の概ね９分の
１の面積を有しており、 前記活動化する工程は、前記センサ・アレイの各々の行
及び列の選択された隣接する対のセルだけを活動化させ
て、前記直交する組の格子線に沿って隔置された活動化
されるバイ・セルを形成する工程を含んでおり、 全部で９つのセルの中の４つのセルだけを活動化させ、 各々の活動化されるバイ・セルは、隣接する２つの問題
とする点の間の線の中間点に位置決めされて、前記線の
方向に関する傾斜を測定するようになされていることを
特徴とする、局部的な位相傾斜を光線の断面にわたって
二次元的に測定する方法。 - 【請求項１０】 請求項７に記載の、局部的な位相傾斜
を光線の断面にわたって二次元的に測定する方法におい
て、 前記小レンズ・アレイを方向決めする工程は、前記直交
する第１及び第２の組の格子線に対して約４５°の角度
をなして前記小レンズ・アレイを方向決めする工程を含
むことを特徴とする、局部的な位相傾斜を光線の断面に
わたって二次元的に測定する方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/984,751 US5912731A (en) | 1997-12-04 | 1997-12-04 | Hartmann-type optical wavefront sensor |
| US984751 | 1997-12-04 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11264771A true JPH11264771A (ja) | 1999-09-28 |
| JP3315086B2 JP3315086B2 (ja) | 2002-08-19 |
Family
ID=25530824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34521298A Expired - Fee Related JP3315086B2 (ja) | 1997-12-04 | 1998-12-04 | 波面センサ及び局部的な位相傾斜を光線の断面にわたって二次元的に測定する方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5912731A (ja) |
| EP (1) | EP0921382B1 (ja) |
| JP (1) | JP3315086B2 (ja) |
| KR (1) | KR100300683B1 (ja) |
| CA (1) | CA2255197C (ja) |
| DE (1) | DE69825548T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100383330B1 (ko) * | 1999-12-28 | 2003-05-12 | 가부시키가이샤 탑콘 | 파면센서, 이것을 이용한 렌즈미터 및 능동광학식 반사망원경 |
Families Citing this family (37)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6819414B1 (en) | 1998-05-19 | 2004-11-16 | Nikon Corporation | Aberration measuring apparatus, aberration measuring method, projection exposure apparatus having the same measuring apparatus, device manufacturing method using the same measuring method, and exposure method |
| US6376819B1 (en) * | 1999-07-09 | 2002-04-23 | Wavefront Sciences, Inc. | Sub-lens spatial resolution Shack-Hartmann wavefront sensing |
| US6304330B1 (en) * | 1999-10-06 | 2001-10-16 | Metrolaser, Inc. | Methods and apparatus for splitting, imaging, and measuring wavefronts in interferometry |
| US6707020B1 (en) | 1999-12-28 | 2004-03-16 | Mza Associates Corporation | Adaptive dynamic range wavefront sensor |
| US6394999B1 (en) | 2000-03-13 | 2002-05-28 | Memphis Eye & Cataract Associates Ambulatory Surgery Center | Laser eye surgery system using wavefront sensor analysis to control digital micromirror device (DMD) mirror patterns |
| US6649895B1 (en) | 2000-07-14 | 2003-11-18 | Adaptive Optics Associates, Inc. | Dispersed Hartmann sensor and method for mirror segment alignment and phasing |
| US7161128B2 (en) * | 2000-07-14 | 2007-01-09 | Adaptive Optics Associates, Inc. | Optical instrument employing a wavefront sensor capable of coarse and fine phase measurement capabilities during first and second modes of operation |
| US6486943B1 (en) | 2000-09-19 | 2002-11-26 | The Schepens Eye Research Institute, Inc. | Methods and apparatus for measurement and correction of optical aberration |
| US6382797B1 (en) * | 2000-10-17 | 2002-05-07 | 20/10 Perfect Vision Optische Geraete Gmbh | Aberration-free delivery system |
| US6577447B1 (en) | 2000-10-20 | 2003-06-10 | Nikon Corporation | Multi-lens array of a wavefront sensor for reducing optical interference and method thereof |
| US6548797B1 (en) | 2000-10-20 | 2003-04-15 | Nikon Corporation | Apparatus and method for measuring a wavefront using a screen with apertures adjacent to a multi-lens array |
| WO2002046713A2 (en) * | 2000-12-08 | 2002-06-13 | Cyberoptics Corporation | Automated system with improved height sensing |
| EP1347501A4 (en) * | 2000-12-22 | 2006-06-21 | Nikon Corp | WAVE FRONT ABERRATION MEASURING INSTRUMENT, WAVE FRONT ABERRATION MEASUREMENT METHOD, EXPOSURE APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING MICRODISPOSITIVE DEVICE |
| JP2002198279A (ja) | 2000-12-25 | 2002-07-12 | Nikon Corp | 位置検出方法、光学特性測定方法、光学特性測定装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
| JP2002202220A (ja) | 2000-12-27 | 2002-07-19 | Nikon Corp | 位置検出方法、位置検出装置、光学特性測定方法、光学特性測定装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
| WO2002063664A1 (fr) * | 2001-02-06 | 2002-08-15 | Nikon Corporation | Systeme et procede d'exposition et procede de production de dispositif |
| US6784408B1 (en) | 2001-04-25 | 2004-08-31 | Oceanit Laboratories, Inc. | Array of lateral effect detectors for high-speed wavefront sensing and other applications |
| US7775665B2 (en) * | 2001-11-13 | 2010-08-17 | Dellavecchia Michael A | Method for optically scanning objects |
| US7226166B2 (en) * | 2001-11-13 | 2007-06-05 | Philadelphia Retina Endowment Fund | Optimizing the properties of electromagnetic energy in a medium using stochastic parallel perturbation gradient descent optimization adaptive optics |
| US7377647B2 (en) * | 2001-11-13 | 2008-05-27 | Philadelphia Retina Endowment Fund | Clarifying an image of an object to perform a procedure on the object |
| US20040165147A1 (en) * | 2001-11-13 | 2004-08-26 | Della Vecchia Michael A. | Determining iris biometric and spatial orientation of an iris in accordance with same |
| US6648473B2 (en) | 2001-11-13 | 2003-11-18 | Philadelphia Retina Endowment Fund | High-resolution retina imaging and eye aberration diagnostics using stochastic parallel perturbation gradient descent optimization adaptive optics |
| KR100419192B1 (ko) * | 2002-04-10 | 2004-02-21 | 한국수력원자력 주식회사 | 다중 입사광의 파면왜곡 정밀측정 장치 및 그 방법 |
| US20030234993A1 (en) * | 2002-06-21 | 2003-12-25 | Hazelton Andrew J. | Adaptive optic off-axis metrology |
| US6989922B2 (en) * | 2002-06-21 | 2006-01-24 | Nikon Corporation | Deformable mirror actuation system |
| US6840638B2 (en) * | 2002-07-03 | 2005-01-11 | Nikon Corporation | Deformable mirror with passive and active actuators |
| US6910770B2 (en) * | 2003-02-10 | 2005-06-28 | Visx, Incorporated | Eye refractor with active mirror wavefront sensor |
| US7343099B2 (en) * | 2004-02-12 | 2008-03-11 | Metrologic Instruments, Inc. | Free space optical (FSO) laser communication system employing fade mitigation measures based on laser beam speckle tracking and locking principles |
| US7187815B1 (en) * | 2004-10-01 | 2007-03-06 | Sandia Corporation | Relaying an optical wavefront |
| US7268937B1 (en) | 2005-05-27 | 2007-09-11 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Holographic wavefront sensor |
| US8158917B2 (en) * | 2005-12-13 | 2012-04-17 | Agency For Science Technology And Research | Optical wavefront sensor and optical wavefront sensing method |
| US7381934B2 (en) * | 2006-01-11 | 2008-06-03 | Xinetics, Inc. | Closed loop compensation system and method for a deformable mirror |
| CA2645670C (en) | 2006-03-14 | 2016-12-06 | Amo Manufacturing Usa, Llc | Spatial frequency wavefront sensor system and method |
| US7626152B2 (en) * | 2006-08-16 | 2009-12-01 | Raytheon Company | Beam director and control system for a high energy laser within a conformal window |
| US9091862B2 (en) | 2012-07-24 | 2015-07-28 | Trustees Of Boston University | Partitioned aperture wavefront imaging method and system |
| DE102014010667B4 (de) | 2014-07-18 | 2017-07-13 | Berliner Glas Kgaa Herbert Kubatz Gmbh & Co | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Form einer Wellenfront eines optischen Strahlungsfeldes |
| CN110455420B (zh) * | 2019-07-11 | 2021-12-07 | 长春理工大学 | 波前测量设备 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4141652A (en) * | 1977-11-25 | 1979-02-27 | Adaptive Optics Associates, Inc. | Sensor system for detecting wavefront distortion in a return beam of light |
| FR2665955B1 (fr) * | 1985-11-20 | 1993-04-23 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Analyseur opto electronique de surfaces d'onde a mosauique de micro-lentilles. |
| US4967063A (en) * | 1988-06-16 | 1990-10-30 | The Aerospace Corporation | Charge controlled adaptive-optics system |
| US5229889A (en) * | 1991-12-10 | 1993-07-20 | Hughes Aircraft Company | Simple adaptive optical system |
| US5233174A (en) * | 1992-03-11 | 1993-08-03 | Hughes Danbury Optical Systems, Inc. | Wavefront sensor having a lenslet array as a null corrector |
| US5448395A (en) * | 1993-08-03 | 1995-09-05 | Northrop Grumman Corporation | Non-mechanical step scanner for electro-optical sensors |
-
1997
- 1997-12-04 US US08/984,751 patent/US5912731A/en not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-12-02 EP EP98122562A patent/EP0921382B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-12-02 CA CA002255197A patent/CA2255197C/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-12-02 DE DE69825548T patent/DE69825548T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1998-12-03 KR KR1019980052911A patent/KR100300683B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-12-04 JP JP34521298A patent/JP3315086B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100383330B1 (ko) * | 1999-12-28 | 2003-05-12 | 가부시키가이샤 탑콘 | 파면센서, 이것을 이용한 렌즈미터 및 능동광학식 반사망원경 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CA2255197C (en) | 2001-05-01 |
| KR19990062780A (ko) | 1999-07-26 |
| EP0921382A3 (en) | 2000-04-05 |
| DE69825548D1 (de) | 2004-09-16 |
| CA2255197A1 (en) | 1999-06-04 |
| US5912731A (en) | 1999-06-15 |
| EP0921382B1 (en) | 2004-08-11 |
| JP3315086B2 (ja) | 2002-08-19 |
| KR100300683B1 (ko) | 2001-09-06 |
| DE69825548T2 (de) | 2005-02-03 |
| EP0921382A2 (en) | 1999-06-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3315086B2 (ja) | 波面センサ及び局部的な位相傾斜を光線の断面にわたって二次元的に測定する方法 | |
| US7414712B2 (en) | Large dynamic range Shack-Hartmann wavefront sensor | |
| US10070055B2 (en) | Devices and methods for optically multiplexed imaging | |
| US6649895B1 (en) | Dispersed Hartmann sensor and method for mirror segment alignment and phasing | |
| US5880834A (en) | Convex diffraction grating imaging spectrometer | |
| US20070194207A1 (en) | Method and apparatus for wavefront measurement that resolves the 2-pi ambiguity in such measurement and adaptive optics systems utilizing same | |
| JP2637046B2 (ja) | 高出力レーザビーム用操縦装置 | |
| US20200319340A1 (en) | 3d range imaging method using optical phased array and photo sensor array | |
| CN110751601A (zh) | 一种基于rc光学系统的畸变校正方法 | |
| US5083015A (en) | Optical centroid processor wavefront sensor | |
| JPH10142067A (ja) | 電磁波位相誤差測定装置 | |
| Beckers et al. | Optical interferometry with the MMT | |
| US6122108A (en) | Micro-optical beam deflection system | |
| EP2407814B1 (en) | Method and apparatus for multiple field-angle optical alignment testing | |
| Fender | Phased array optical systems | |
| Gleckler et al. | PAMELA: control of a segmented mirror via wavefront tilt and segment piston sensing | |
| JP2006208495A (ja) | 焦点検出装置 | |
| KR101590814B1 (ko) | 미소렌즈 배열의 구성방법 및 이를 이용하여 성능이 향상된 파면측정기 | |
| US6856387B2 (en) | Device for determining the intensity and phase of a coherent beam of light in a cross-section of the beam | |
| JP3084711B2 (ja) | 焦点検出装置 | |
| Doub | Optical systems design for focal plane testing using direct write scene generation | |
| Shough et al. | Measurements of microlens performance | |
| Wang et al. | Analysis on the cophasing errors of optical sparse-aperture imaging system | |
| Gal et al. | Micro-optics technology and sensor systems applications | |
| Shaklan et al. | Astrometric calibration of array detectors |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080607 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080607 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090607 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090607 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100607 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110607 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |