JPH11263859A - エラストマー部品を被覆する方法 - Google Patents

エラストマー部品を被覆する方法

Info

Publication number
JPH11263859A
JPH11263859A JP10341404A JP34140498A JPH11263859A JP H11263859 A JPH11263859 A JP H11263859A JP 10341404 A JP10341404 A JP 10341404A JP 34140498 A JP34140498 A JP 34140498A JP H11263859 A JPH11263859 A JP H11263859A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
mat
elastomeric
coating
reactive gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10341404A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3458268B2 (ja
Inventor
Michael Dr Spallek
シュパレック ミヒャエル
Marten Dr Walther
ヴァルター マルテン
Burkhard Dr Danielzik
ダニエルジーク ブルクハルド
Markus Dr Kuhr
クール マルクス
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Publication of JPH11263859A publication Critical patent/JPH11263859A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3458268B2 publication Critical patent/JP3458268B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/62—Plasma-deposition of organic layers
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M5/00—Devices for bringing media into the body in a subcutaneous, intra-vascular or intramuscular way; Accessories therefor, e.g. filling or cleaning devices, arm-rests
    • A61M5/178—Syringes
    • A61M5/31—Details
    • A61M5/315—Pistons; Piston-rods; Guiding, blocking or restricting the movement of the rod or piston; Appliances on the rod for facilitating dosing ; Dosing mechanisms
    • A61M5/31511—Piston or piston-rod constructions, e.g. connection of piston with piston-rod
    • A61M5/31513—Piston constructions to improve sealing or sliding
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40—Oxides
    • C23C16/401—Oxides containing silicon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/56—After-treatment
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M2207/00—Methods of manufacture, assembly or production

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Vascular Medicine (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Anesthesiology (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Infusion, Injection, And Reservoir Apparatuses (AREA)
  • Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 医薬・薬物用エラストマー製品の個々の不活
性度と摺動及び静的摩擦特性を改善する。 【構成】 互いに連結されたエラストマー部品を有する
エラストマー材料から成る細長い平坦なマットを準備
し、このマットの少なくとも一つの側面を冷間被覆法、
好ましくはＰＥＣＶＤ法又はＰＩＣＶＤ法により被覆し
てマットのこの少なくとも一つの側面に被覆層を設けた
後、連結エラストマー部品をマットから打ち抜き、各々
が被覆層の一部で、少なくとも部分的に被覆された非連
結（分離された）、個々のエラストマー部品を形成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、医薬用エラストマー部
品を被覆する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】薬理学的適合性が問題となる用途に用い
られるエラストマー部品は、多くの異なる形式で、特に
食品容器や、注射ストッパー、輸液ストッパー、噴霧装
置用ボトルストッパー等の薬物用容器のクロージャー手
段として知られている。ＤＩＮ−ＩＳＯ１１０４０は第
２部で、歯科用カプセルに、注入された調剤の治療作用
に有害に働く物質を生じることのないエラストマー材料
から成るストッパーを要求している。
【０００３】ゴム製品、即ちエラストマー材料から成る
製品で、作製、貯蔵及び使用中に水溶液又は懸濁液に接
触する医療分野の製品の仕様は、ＤＩＮ５８３６７の第
１部に記載された基準により一般に設定される。
【０００４】類似する用途に用いられるエラストマー部
品の必要条件は、類似している。
【０００５】適切なエラストマー材料を選ぶことによ
り、上記の仕様をできるだけ満たすことができる。しか
し、多くの場合、不利な機械的特性の必要条件を満たす
ために妥協が必要となる。
【０００６】必要な不活性が与えられる外部被覆をエラ
ストマー部品に施し、被覆エラストマー部品の他の求め
られる特性をより自由に選べるようにすることも知られ
ている。
【０００７】各エラストマー部品は、既知の方法で個々
に被覆される。
【０００８】ゴムから成る衛生用品、特に環状オレフィ
ン共重合体（ＣＯＣ）から成るプラスチックフィルムの
薄層を表面に設けたストッパーが、欧州特許公報ＥＰ０
４９７５６７Ｂ１に記載されている。
【０００９】欧州特許公報ＥＰ０２９６８７８Ｂ１に
は、照射により架橋される改質ポリシロキサンの層が表
面に設けられた衛生ゴム部品が記載されている。この層
は液相状態で、部品に付与される。
【００１０】しかしながら、個々のエラストマー部品を
被覆するのは比較的高価となる。国際特許公報ＷＯ９６
／３４９２６には、被覆ドラム内に設置し、その内部で
移動されるようにしたエラストマー部品を累積被覆する
プラズマ被覆方法が記載されている。しかしながら、こ
の方法では、個々のエラストマー部品に確実に均一又は
完全な被覆を得ることは保証されない。シャドー効果や
研磨効果が生ずるからである。このため、部品の全ての
部分に亘って、所定の最小厚さを得るには、層のかなり
の部分において、過剰寸法が生じてしまう。
【００１１】エラストマー部品を累積的に被覆する他の
方法は、ＵＳＰ５０６４０８３に記載されている。この
方法では、或部分にポリパラキシレンが被覆された板に
グリッド状に形成された凹部又は受け部に、エラストマ
ー部品が個々に置かれる。しかしながら、この方法の詳
細な結果は記載されていない。
【００１２】この方法は、所望の部分のみが被覆される
ように受け部内に個々のエラストマー部品が正確に置か
れなければならず、また個々のエラストマー部品に個々
の処理が必要とされるため、極めて高価となる。
【００１３】
【発明により解決されるべき課題】本発明の目的は、上
記の不都合の無い、改良されたエラストマー部品被覆方
法を提供することにある。
【００１４】本発明の他の目的は、上記エラストマー部
品又は製品を、気体相から被覆する連続被覆プロセスで
被覆し、エラストマー部品が部分的にのみ、少なくとも
医薬溶液と接触することになる部分で被覆され、シャド
ー効果も摩耗効果も生じないようにした方法を提供する
ことにある。
【００１５】本発明の他の目的は、上記の種のエラスト
マー部品を、結果としての被覆がエラストマー部品に改
善された不活性度と、改良された摺動及び静的摩擦特性
を与えるように被覆する方法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決する手段、その作用・効果】本発明による
エラストマー部品被覆方法は、 ａ）互いに連結された複数のエラストマー部品を有する
エラストマー材料製の延長平板状マットを形成する工程
と ｂ）該連結エラストマー部品から成るマットの少なくと
も一つの側面を冷間被覆プロセス、好ましくはＰＥＣＶ
Ｄプロセス又はＰＩＣＶＤプロセスにより被覆して該側
面に層を設ける工程と ｃ）マットから連結エラストマー製品を打ち抜き、各々
が上記層の一部で少なくとも部分的に被覆された複数の
非連結、個別エラストマー部品を形成する工程とを含
み、 上記非連結、個別エラストマー部品の各々にある上記層
の上記一部により、該非連結、個別エラストマー部品
に、増大された非活性と改良された摺動及び静的摩擦特
性を付与するようにしたものである。
【００１７】これにより、エラストマー部品に、経済的
で、しかも有効に、所望の被覆を施すことができる。こ
の層は、エラストマー部品の、医薬又は薬物活性溶液と
接触することになる部分にのみ施工される。そのため、
投入される反応又は被覆ガスの量と、製造時間をかなり
に少なくすることができ、製造コストをかなりに改善す
ることができる。
【００１８】本発明の好ましい実施例によれば、炭素、
水素及び窒素から成る固体層内への形成によりポリマー
状の特性が誘導されることのできる二酸化珪素でこの層
を構成する。この種の層は、エラストマーの必要な不活
性度と部品の所望の摺動及び静的摩擦特性を保証する。
このベース層に、不活性度を増加できる他の層構成材料
を埋め込むこともできる。
【００１９】この目的のために、本発明の他の好ましい
実施例によれば、ＰＥＣＶＤ方法の被覆ガスとして、テ
トラメチルジシロキサン（ＴＭＤＳＯ）、ヘキサメチル
ジシロキサン（ＨＭＤＳＯ）又は類似するシロキサンを
用いる。
【００２０】或いは、ＰＥＣＶＤ方法の反応ガスとし
て、シラザン（ｓｉｌａｚａｎｅ）を用いることもでき
る。
【００２１】ＰＥＣＶＤプロセス（プラズマ強化化学蒸
着法）は、多くの文献に記載されている。これにより、
広範な物や製品を、低周波（例えば４０ｋＨｚ）から、
中間周波（例えば例えば１３．５４６ＭＨｚ）、マイク
ロ波周波（２．４５ＧＨｚ以上）までの広い範囲のエネ
ルギー源でエッチングを行うことができる。プラズマパ
ルス化ＣＶＤ法（ＰＩＣＶＤ）は、表面積の大きい基体
に均一な被覆ができることから、特に有利である。Ｇ．
Ｊａｎｚｅｎのプラズマ工学（Ｐｌａｓｍａｔｅｃｈｎ
ｉｋ，Ｈｕｅｔｉｇ Ｖｅｒｌａｇ，Ｈｅｉｄｅｌｂｅ
ｒｇ，１９９２）に、例が見いだされる。
【００２２】
【実 施 例】以下、添付の図面を参照して好ましい実
施例を記載し、本発明の目的、特徴及び利点を詳細に例
示する。
【００２３】図１に、連結又は型込め合体されたエラス
トマー部品２から成る所望のエラストマー材料で形成し
た延長平板状マット１の長手方向断面が示されている。
図１の実施例における、これ等のエラストマー部品は、
ＥＰ０２９６８７８のものと同様なストッパーである。
【００２４】複数のエラストマー部品を備えるマット１
は、一般に３０ｃｍの寸法を有し、既知の方法、例えば
プレス法又は射出成形法で通常のように製作される。
【００２５】以下の方法において、上方に突き出たエラ
ストマー部品２を有するマット１の側部がＰＩＣＶＤプ
ロセスによる連続工程で被覆され、これにエラストマー
部品の不活性度と静的摩擦特性をを改善する上部層３が
設けられる。この層３は、炭素、水素及び窒素から成る
固体層内への形成によって、その特性がポリマー状にな
るまで誘導されることのできる二酸化珪素層が好まし
い。
【００２６】この層の施工は図２を参照して以下により
詳細に説明するが、その施工を終えた後、エラストマー
部品２はマット１からパンチングして打ち抜かれる。打
ち抜き線は、図１において破線により示されている。
【００２７】図１に示された実施例では、マット１の上
側と下側のみが、即ち後日（後期）の実施において薬物
・医薬溶液に接触する、エラストマー部品の突出面のみ
が被覆される。ストッパーの上側がマット１の底部又は
下側に対応し、即ち被覆体としてストッパーが後で用い
られるとき、その外側は（描かれている以上に）被覆さ
れていない。こうして、マット１の、下側でない一方の
側のみしか被覆する必要がないので、被覆材料が節約さ
れ、層の施工時間を短縮できる。
【００２８】ＰＩＣＶＤプロセスによる被覆はまた、エ
ラストマー部品の被覆中にシャドー効果又は摩耗効果の
発生の阻止と、比較的均一な被膜３の生成を保証する。
また、アンダーカット部の被覆も保証される。
【００２９】ＰＩＣＶＤプロセスが行われる連続、或い
は通し式の被覆ステーションの原理を図２に示す。被覆
されるマット１は、真空室４を通して連続的に案内され
る。真空室４は反応室として供され、これを一般に真空
ポンプと必要な弁類及び／又は管継手から成る真空装置
５により、例えば０．３ミリバールの圧力に排気する。
線形プラズマ源を構成する一連のマイクロ波ホーンアン
テナ７ａ〜７ｄが、マイクロ波ウィンドー６を介して、
真空室４の上方に配置される。これ等のマイクロ波アン
テナにより、マイクロ波放射線８ａ〜８ｄがパルス化さ
れて真空室内に送られる。このマイクロ波放射線８ａ〜
８ｄが、真空室の内部でマイクロ波プラズマを形成す
る。パルスの持続時間は、付加的パラメタとなって、沈
積層の生成に影響する。
【００３０】パルス持続時間を０．１から１０ｍｓの近
傍とするマイクロ波パルスは、マグネトロン１０ａ〜１
０ｄと入力ガイド１１ａ〜１１ｄを介してマイクロ波ア
ンテナ７ａ〜７ｄに接続されたマイクロ波発生器９ａ〜
９ｄにより発生される。このマイクロ波装置は、２．４
５ＧＨｚ技術に適した標準化部品を備える。
【００３１】プラズマが点火されるガスは、一般に酸素
と、被覆物形成に必要とする反応ガスの混合ガスで、ガ
ス送り装置１２により急速に供給される。反応ガスは一
般に、本実施例ではシロキサン、好ましくはテトラメチ
ルジシロキサン又はヘキサメチルジシロキサン又はシラ
ザン（ｓｉｌａｚａｎｅ）を含むことでき、これからＳ
ｉＣｘＨｙＯｚから成る層３がパルス持続時間を適宜選
択して形成される。
【００３２】層の特性は、パラメタとしてパルスの持続
時間と反応ガスの濃度に実質的に依存する。一般に、濃
度を低くし、パルス持続時間を長くすると、より硬質の
層が付着し、不活性度の増大をもたらす。摺動特性が改
善される、より軟質の層は、高濃度と短パルス持続時間
で付着される。
【００３３】プロセス制御器１３は、周知のように装置
の動作を制御する。先ず、酸素と反応ガスの混合気体が
ガス送り装置１２により真空室４内に導入される。その
後、反応ガスの分子を分解するプラズマがマイクロ波パ
ルスにより真空室４内で点火される。分解生成物が近接
面、ここではエラストマー部品２を保有するマット１に
拡散し、所望層３の一部を徐々に形成する。上記マイク
ロ波パルス群と次のパルス群との間の、約１０〜１００
ｍｓの時間間隔中に、消費反応ガスが２ストローク式モ
ーターを有する真空段による排気により真空室から除去
され、新しい反応ガスおよび酸素と交換される。
【００３４】多層被覆も行える。また、第一の層が充分
な厚さに達したら直ぐ、関係した反応ガスを第二の層に
必要な反応ガスと交換すれば良い。両反応ガスの混合体
を所定時間間隔、供給し、これ等二種の層の間に転位が
徐々に生ずるようにしても良い。円滑な転位のために
は、第一の反応ガスの割合を徐々に低下し、同時に第二
の反応ガスの割合を徐々に公称値まで増大する。
【００３５】図２に図示のＰＩＣＶＤ技術（プラズマパ
ルス化学蒸着法）は、独国特許公報ＤＥ４００８４０５
Ｃ１から公知であり、プラスチック容器内のバリア層の
形成に長く用いられている（ＤＥ４４３８３５９Ａ１参
照）。
【００３６】図２による基本的線形プラズマ源は、独国
特許公報ＤＥ３８３０２４９Ｃ２に記載されている。個
々のマイクロ波アンテナ７ａ〜７ｄの制御は、例えばＤ
Ｅ４０３４２１１に記載のように、二つの隣合うマイク
ロ波アンテナを同時に平行動作し、又は時間をずらして
動作して行うことができる。
【００３７】被覆後、マット１は真空室から搬出され、
別の装置に搬入し、そこでエラストマー部品はマットか
ら打ち抜かれる。これは周知の技術方法を用いて行われ
る。
【００３８】バリア又は遮断特性の増大が望まれる場
合、輸送特性を改善すべきときは、図１によるマット１
の後ろ側にもバリア層１４を設ければ良い。この場合、
層の種類を選ぶことにより、マットの前側と後ろ側に別
種の特性を得ることができる。マットの両側に二つの層
を同時に付着するのに適した装置は、周知である。
【００３９】以上、エラストマー部品を製造する方法に
具現される本発明を例示、記載したが、本発明の精神を
逸脱せずに種々の修正及び変更をなし得るので、示され
た詳細は発明をそれに限定しようと意図するものではな
い。要するに、以上の記載は本発明の要旨を、従来技術
の見地から本発明の一般的な又は特定の諸相の本質的特
性を相当に構成する特徴を省くことなく、現在の知識を
適用して種々の応用にそれを容易に適応し得る程度ま
で、完全に明示する。請求する対象は新規であり、それ
を本書の始めに設けた請求の範囲に記載する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明により被覆されたエラストマー部品から
成る被覆マットの縦断面図である。
【図２】図１に図示のマットが被覆されるＰＩＣＶＤプ
ロセスを行う好ましい装置の概略図である。
【符号の説明】
１…マット、２…エラストマー部品、３…被覆層、４…
真空室、５…真空装置、６…マイクロ波ウィンドー、７
ａ〜７ｄ…マイクロ波アンテナ、８ａ〜８ｄ…マイクロ
波放射（線）、９ａ〜９ｄ…マイクロ波発生器、１０ａ
〜１０ｄ…マグネトロン、１１ａ〜１１ｄ…入力ガイ
ド、１２ａ…ガス送り装置、１３…プロセス制御器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マルテン ヴァルター ドイツ連邦共和国、デェー 55270 エン ゲル シュタット、ハウゼナー シュトラ ーセ 16 (72)発明者 ブルクハルド ダニエルジーク ドイツ連邦共和国、デェー 55218 イン ゲルハイム、アウトンシュトラーセ 23 (72)発明者 マルクス クール ドイツ連邦共和国、デェー 55291 ザウ ルハイム、ヴェルシュタッター シュトラ ーセ 33

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 エラストマー部品を被覆する方法であっ
    て、 ａ）マット内で互いに連結された複数のエラストマー部
    品から成るエラストマー材料から形成した延長平板状マ
    ットを用意する工程と ｂ）該連結エラストマー部品から成るマットの少なくと
    も一つの側面を冷間被覆プロセスにより被覆して該側面
    に層を設ける工程と ｃ）マットから連結エラストマー部品を打ち抜き、各々
    が上記層の一部で少なくとも部分的に被覆された複数の
    非連結、個別エラストマー部品を形成する工程とを含
    み、 上記非連結、個別エラストマー部品の各々にある上記層
    の上記一部により、該非連結、個別エラストマー部品
    に、増大された非活性度と改良された摺動及び静的摩擦
    特性を付与することを特徴とする方法。
  2. 【請求項２】 前記冷間被覆プロセスは、連続プラズマ
    補助ＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ）プロセスである請求項１に記
    載の方法。
  3. 【請求項３】 前記層は、炭素、水素及び／又は窒素を
    含有する二酸化珪素層である請求項２に記載の方法。
  4. 【請求項４】 更に、前記連続プラズマ補助ＣＶＤプロ
    セスに反応ガスを供給する工程を含み、該反応ガスがシ
    ロキサンである請求項３に記載の方法。
  5. 【請求項５】 前記シロキサンがテトラメチルジシロキ
    サン（ＴＭＤＳＯ）又は、ヘキサメチルジシロキサン
    （ＨＭＤＳＯ）である請求項４に記載の方法。
  6. 【請求項６】 更に、前記連続プラズマ補助ＣＶＤプロ
    セスに反応ガスを供給する工程を含み、該反応ガスがシ
    ラザン（ｓｉｌａｚａｎｅ）である請求項３に記載の方
    法。
  7. 【請求項７】 前記冷間被覆プロセスは、プラズマパル
    スＣＶＤ（ＰＩＣＶＤ）プロセスである請求項１に記載
    の方法。
  8. 【請求項８】 前記層は、炭素、水素及び／又は窒素を
    含有する二酸化珪素層である請求項７に記載の方法。
  9. 【請求項９】 更に、前記連続プラズマ補助ＣＶＤプロ
    セスに反応ガスを供給する工程を含み、該反応ガスがシ
    ロキサンである請求項８に記載の方法。
  10. 【請求項１０】 前記シロキサンがテトラメチルジシロ
    キサン（ＴＭＤＳＯ）又は、ヘキサメチルジシロキサン
    （ＨＭＤＳＯ）である請求項９に記載の方法。
  11. 【請求項１１】 更に、プラズマパルスＣＶＤ（ＰＩＣ
    ＶＤ）プロセスに反応ガスを供給し、該反応ガスがシラ
    ザン（ｓｉｌａｚａｎｅ）である請求項８に記載の方
    法。
  12. 【請求項１２】 非連結、個別エラストマー部品が、注
    射ストッパー、輸液ストッパー又は噴霧ボトルストッパ
    ーである請求項１に記載の方法。
  13. 【請求項１３】 前記マットの前記少なくとも一方の側
    を第一の側として、該第一の側に前記層が設けられ、更
    に前記マットの該第一の側とは反対の第二の側に層をも
    う一つ設ける工程を含む請求項１に記載の方法。
  14. 【請求項１４】 前記第一の側に設けられる前記層と、
    前記第二の側に設けられる前記もう一つの層とは、異種
    のもので、組成を異にする請求項１３に記載の方法。
JP34140498A 1997-12-05 1998-12-01 エラストマー部品を被覆する方法 Expired - Fee Related JP3458268B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19754056.2 1997-12-05
DE19754056A DE19754056C1 (de) 1997-12-05 1997-12-05 Verfahren zum Beschichten von Elastomerkomponenten

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11263859A true JPH11263859A (ja) 1999-09-28
JP3458268B2 JP3458268B2 (ja) 2003-10-20

Family

ID=7850896

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP34140498A Expired - Fee Related JP3458268B2 (ja) 1997-12-05 1998-12-01 エラストマー部品を被覆する方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6123991A (ja)
EP (1) EP0922647B1 (ja)
JP (1) JP3458268B2 (ja)
DE (2) DE19754056C1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005527356A (ja) * 2002-04-19 2005-09-15 デュール システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 被覆を硬化させる方法及び装置
JP2014030765A (ja) * 2008-09-22 2014-02-20 Becton Dickinson & Co 光分解化学的気相堆積法および／または熱化学的気相堆積法を使用して被覆したストッパー

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6940146B2 (en) * 1999-09-03 2005-09-06 United Microelectronics Corp. Interconnect structure with an enlarged air gaps disposed between conductive structures or surrounding a conductive structure within the same
WO2002094458A2 (de) * 2001-03-29 2002-11-28 Schott Glas Verfahren zur herstellung eines beschichteten kunststoffkörpers
US20030148030A1 (en) * 2001-06-12 2003-08-07 Vernon Paul M. Barrier coatings for elastomeric materials
DE10202311B4 (de) * 2002-01-23 2007-01-04 Schott Ag Vorrichtung und Verfahren zur Plasmabehandlung von dielektrischen Körpern
JP4437647B2 (ja) * 2003-07-17 2010-03-24 三菱商事プラスチック株式会社 ガスバリア膜コーティングプラスチック容器の製造方法
DE10343668A1 (de) * 2003-09-18 2005-04-14 Boehringer Ingelheim Pharma Gmbh & Co. Kg Arzneimittelblister
US7758936B2 (en) * 2003-09-18 2010-07-20 Boehringer Ingelheim Gmbh Pharmaceutical blister
EP2183289A2 (en) * 2007-08-31 2010-05-12 Corning Incorporated Reactive surface on a polymeric substrate
US9404334B2 (en) * 2012-08-31 2016-08-02 Baker Hughes Incorporated Downhole elastomeric components including barrier coatings
MX2017011603A (es) 2015-03-10 2018-04-24 Regeneron Pharma Sistema y método de perforación aséptica.
FR3043679B1 (fr) * 2015-11-12 2021-07-23 Aptar Stelmi Sas Procede de traitement d'un element de conditionnement en elastomere, et element de conditionnement ainsi traite.
US11547801B2 (en) 2017-05-05 2023-01-10 Regeneron Pharmaceuticals, Inc. Auto-injector
USD1007676S1 (en) 2021-11-16 2023-12-12 Regeneron Pharmaceuticals, Inc. Wearable autoinjector

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3346351A1 (de) * 1983-12-22 1985-07-11 Pharma-Gummi Wimmer West Gmbh, 5180 Eschweiler Pharmazeutischer stopfen, kolben od. dgl. und verfahren zum herstellen von pharmazeutischen stopfen, kolben od. dgl.
US5114794A (en) * 1987-06-23 1992-05-19 Daikyo Gomu Seiko Ltd. Modified polysiloxane-coated sanitary rubber article and a process for the production of the same
DE3830249A1 (de) * 1988-09-06 1990-03-15 Schott Glaswerke Plasmaverfahren zum beschichten ebener substrate
US5064083A (en) * 1990-03-08 1991-11-12 The West Company, Incorporated Closure device
DE4008405C1 (ja) * 1990-03-16 1991-07-11 Schott Glaswerke, 6500 Mainz, De
DE4034211C1 (en) * 1990-10-27 1991-11-14 Schott Glaswerke, 6500 Mainz, De Coating interior of pipe-glass tube - comprises coupling HF energy to tube using resonator to deliver pulsed microwave discharges
US5288560A (en) * 1991-01-30 1994-02-22 Daikyo Gomu Seiko, Ltd. Laminated sanitary rubber article
DE4438359C2 (de) * 1994-10-27 2001-10-04 Schott Glas Behälter aus Kunststoff mit einer Sperrbeschichtung
FR2733758B1 (fr) * 1995-05-04 1997-07-18 Stelumi Sa Procede et traitement d'un element de conditionnement, notamment a usage medical ou pharmaceutique ; element de conditionnement ainsi traite

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005527356A (ja) * 2002-04-19 2005-09-15 デュール システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 被覆を硬化させる方法及び装置
US7488518B2 (en) 2002-04-19 2009-02-10 Duerr Systems Gmbh Method and device for curing a coating
JP2014030765A (ja) * 2008-09-22 2014-02-20 Becton Dickinson & Co 光分解化学的気相堆積法および／または熱化学的気相堆積法を使用して被覆したストッパー

Also Published As

Publication number Publication date
JP3458268B2 (ja) 2003-10-20
EP0922647B1 (de) 2001-07-18
US6123991A (en) 2000-09-26
DE19754056C1 (de) 1999-04-08
EP0922647A1 (de) 1999-06-16
DE59801033D1 (de) 2001-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3458268B2 (ja) エラストマー部品を被覆する方法
EP0787828B1 (en) Process for plasma processing
EP1112391B1 (en) Modulated plasma glow discharge treatments for making superhydrophobic substrates
US6827972B2 (en) Container with a coating of barrier effect material, and method and apparatus for manufacturing the same
US6001429A (en) Apparatus and method for plasma processing
US6649222B1 (en) Modulated plasma glow discharge treatments for making superhydrophobic substrates
EP0787823B1 (en) Method of depositing a barrier coating on a plastic substrate
JP2010532708A (ja) 少なくとも３つの層を含むプラズマ堆積遮蔽コーティング、そのような１つのコーティングを得るための方法、およびそのようなコーティングでコーティングされた容器
EP1893788B1 (en) Polymer article having a thin coating formed on at least one of its side by plasma
US20130022658A1 (en) Depositing material with antimicrobial properties on permeable substrate using atomic layer deposition
WO1995022413A1 (en) Hollow containers with inert or impermeable inner surface through plasma-assisted surface reaction or on-surface polymerization
KR950000922A (ko) 플라즈마 화학 기상 증착법
US20020182319A1 (en) Method for depositing a coating on the wall of metallic containers
JP2000510910A (ja) 容器の内面を処理する方法及び装置
JP2014526116A (ja) 中空体類のプラズマ処理
JP3993971B2 (ja) ガスバリア被覆層を有するプラスチック製容器及びその製法
US20130202814A1 (en) Method and device for plasma-treating workpieces
JP4403093B2 (ja) 複合材料およびそれを製造する方法
CN105220130B (zh) 基于低压等离子化学气相沉积制备纳米多层膜的方法
CA2398598A1 (en) Method and device for coating substrates
KR20150035247A (ko) 샤워헤드
Yang et al. Large area, rapid, and protein-harmless protein–plasma-polymerized-ethylene coating with aerosol-assisted remote atmospheric-pressure plasma deposition
US20040170783A1 (en) Method of manufacturing a tank
WO2004075258A3 (en) Method for depositing a low-k material having a controlled thickness range
JPH04289173A (ja) プラズマｃｖｄ装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees