JPH11260559A - Organic thin film el element and manufacture thereof - Google Patents

Organic thin film el element and manufacture thereof

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JPH11260559A
JPH11260559A JP10059404A JP5940498A JPH11260559A JP H11260559 A JPH11260559 A JP H11260559A JP 10059404 A JP10059404 A JP 10059404A JP 5940498 A JP5940498 A JP 5940498A JP H11260559 A JPH11260559 A JP H11260559A
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JP
Japan
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organic thin
film
injection electrode
hole transport
electron injection
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Pending
Application number
JP10059404A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tetsuya Sato
徹哉 佐藤
Hitoshi Hisada
均 久田
Mikiko Matsuo
三紀子 松尾
Hisanori Sugiura
久則 杉浦
Toru Kawase
透 川瀬
Yoshinobu Murakami
嘉信 村上
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic thin film EL(electroluminescent) element not only capable of self-emitting light with excellent visibility at low driving voltage and at high light emitting efficiency but also having long life stably usable for a long period. SOLUTION: A positive hole transporting layer of this organic thin film EL element are made of at least two types of positive hole transporting materials and contains a positive hole transporting material having asymmetric molecular structure or contains at least a main positive hole transporting material and another positive hole transporting material with a molecular weight 2/3 times as low as that of the main positive hole transporting material or lower. On the other hand, the electron injection electrode has a layered structure constituted of layers of mainly aluminum and layers of mainly chromium or the electron injection electrode is coated with a film with 1 μm or thicker produced by plasma polymerization of octafluorocyclobutane.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、有機エレクトロル
ミネセンス(EL)素子およびその製造方法に関し、例
えば平面型自発光表示装置をはじめ通信、照明その他の
用途に供する各種光源として使用可能な自発光の素子に
関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescence (EL) device and a method of manufacturing the same, for example, a self-luminous device that can be used as a light source for various purposes such as a flat-type self-luminous display device, communication, lighting and other uses. Of the device.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年平面型の表示装置としてはLCDパ
ネルが幅広く用いられているが、依然として応答速度が
遅い、視野角が狭い等の欠点があり、またこれらを改善
した多くの新方式においても、特性が十分でなかった
り、パネルとしてのコストが高くなるなどの課題があ
る。そのような中で自発光で視認性に優れ、応答速度も
速く広範囲な応用が期待できる新たな発光素子としての
有機EL素子に期待が集まっている。
2. Description of the Related Art In recent years, LCD panels have been widely used as flat-type display devices, but they still have drawbacks such as slow response speed and narrow viewing angle, and many new systems in which these have been improved have been improved. However, there are problems such as insufficient characteristics and an increase in cost as a panel. Under such circumstances, self-emission, excellent visibility, high response speed, and expectations for organic EL devices as new light-emitting devices that can be expected for a wide range of applications have been gathered.

【0003】有機EL素子は有機物層に電極から電子、
正孔を注入しその再結合によって発光を得るものであ
り、古くから多くの研究がなされてきたが、一般にその
発光効率は低く実用的な発光素子への応用とは程遠いも
のであった。
In an organic EL device, electrons are transferred from an electrode to an organic material layer.
Light is emitted by injecting holes and recombining the holes. Many studies have been made since ancient times, but the luminous efficiency is generally low and is far from practically applicable to light emitting devices.

【0004】そのような中で、1987年にTangら
によって提案された素子(「アプライ フィジックス
レター 第51巻 1987年 第913頁」(C.W.Ta
ngand S.A.Vanslyke:Appl.Phys.Let
t.51(1987)913.))は、透明基板上に透
明正孔注入電極、有機薄膜層、電子注入電極を有する構
成の素子であって、有機薄膜層が正孔輸送層と発光層
(電子輸送層)を積層した構成であり、また電子注入電
極として仕事関数が低く電子注入障壁の低い金属と比較
的仕事関数が大きく安定な金属との合金としてMgAg
を用いたものであった。
In such a situation, a device proposed by Tang et al. In 1987 (“Apply Physics”)
Letter 51, 1987, p. 913 "(CWTa
ngand SAVanslyke: Appl. Phys. Let
t. 51 (1987) 913. )) Is an element having a transparent hole injection electrode, an organic thin film layer, and an electron injection electrode on a transparent substrate, wherein the organic thin film layer has a hole transport layer and a light emitting layer (electron transport layer) laminated. And MgAg as an alloy of a metal having a low work function and a low electron injection barrier as an electron injection electrode and a metal having a relatively large work function and being stable.
Was used.

【0005】このような電子注入電極を用いる事により
高効率で比較的安定して電子を注入する事が可能とな
り、また正孔輸送層と発光層(電子輸送層)の界面近傍
で高効率で発光を得る事が可能となった。Tangらは
このような構成で、10V以下の低い電圧で1000c
d/m2以上の高い輝度と、1.5lm/W以上の高い効
率を実現している。
[0005] By using such an electron injection electrode, it is possible to inject electrons with high efficiency and relatively stability, and to obtain high efficiency near the interface between the hole transport layer and the light emitting layer (electron transport layer). Light emission can be obtained. Tang et al. Have such a configuration, and at a low voltage of 10 V or less,
High luminance of d / m 2 or more and high efficiency of 1.5 lm / W or more are realized.

【0006】このTangらの報告がきっかけとなって
現在でも活発な検討が続けられている。以下に現在一般
に検討されている有機EL素子について概説する。有機
EL素子は一般に、透明基板上に正孔注入電極、有機薄
膜層、電子注入電極の順に積層して形成し、有機薄膜層
は正孔輸送層と発光層(電子輸送層)などのように複数
の積層膜とすることが多い。このように各層に役割を機
能分離させて担わせる事により各層に適切な材料選択が
可能となり素子の特性も向上する。
[0006] The report of Tang et al. Has triggered active studies even today. The following is a brief description of the organic EL devices that are currently generally studied. In general, an organic EL device is formed by laminating a hole injection electrode, an organic thin film layer, and an electron injection electrode on a transparent substrate in this order, and the organic thin film layer includes a hole transport layer and a light emitting layer (electron transport layer). In many cases, a plurality of laminated films are used. In this way, by making each layer play a role by separating the function, an appropriate material can be selected for each layer, and the characteristics of the element are also improved.

【0007】透明基板としては一般にコーニング173
7等のガラス基板が広く用いられている。板厚は0.7
〜1.1mm程度が強度と重量の観点から扱いやすい。
As a transparent substrate, generally, Corning 173 is used.
Glass substrates such as 7 are widely used. Sheet thickness is 0.7
About 1.1 mm is easy to handle from the viewpoint of strength and weight.

【0008】正孔注入電極としてはITOのスパッタ
膜、エレクトロンビーム蒸着膜、イオンプレーティング
膜等の透明電極が用いられる。膜厚は必要とされるシー
トレジスタンス値と可視光透過率から決定されるが、有
機EL素子では比較的駆動電流密度が高いため、シート
レジスタンスを小さくするため100nm以上の厚さで
用いられることが多い。
As the hole injection electrode, a transparent electrode such as an ITO sputtered film, an electron beam evaporated film, or an ion plating film is used. The film thickness is determined from the required sheet resistance value and the visible light transmittance. However, since the driving current density of the organic EL element is relatively high, the organic EL element may be used at a thickness of 100 nm or more to reduce the sheet resistance. Many.

【0009】有機薄膜層は種々の構成が検討されている
が、トリフェニルジアミン誘導体などの正孔輸送材料を
真空蒸着により数十nm膜厚に形成した正孔輸送層と、
トリス(8−ヒドロキシキノリン)アルミニウム等の発
光材料(電子輸送材料)を真空蒸着により数十nm膜厚
に形成した層を積層した構成とすることが多い。
Various configurations of the organic thin film layer have been studied. A hole transport layer formed by vacuum deposition of a hole transport material such as a triphenyldiamine derivative into a film having a thickness of several tens nm is provided.
In many cases, a layer in which a light emitting material (electron transporting material) such as tris (8-hydroxyquinoline) aluminum is formed to a thickness of several tens nm by vacuum deposition is laminated.

【0010】電子注入電極はTangらの提案したMg
Ag合金またはAlLi合金など、仕事関数が低く電子
注入障壁の低い金属と比較的仕事関数が大きく安定な金
属との合金が用いられることが多い。
The electron injection electrode is made of Mg proposed by Tang et al.
An alloy of a metal having a low work function and a low electron injection barrier, such as an Ag alloy or an AlLi alloy, and a metal having a relatively large work function and being stable are often used.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】このようにTangら
の提案による機能分離した積層型の素子構成を用い、ま
た電子注入電極としてMgAg等の仕事関数が低く電子
注入障壁の低い金属と比較的仕事関数が大きく安定な金
属との合金を用いることにより、実用的な特性の発光素
子が得られるようになったが、その安定性または寿命と
いう観点では十分な性能のものは得られておらず、一般
に発光素子を定電流駆動した場合であっても次第に発光
輝度が低下したり、黒点と呼ばれる非発光部分が次第に
大きく成長し、画像上の不具合となる課題があった。
As described above, a stacked element structure having a function separation according to the proposal of Tang et al. Is used, and a metal such as MgAg having a low work function and a low electron injection barrier is used as an electron injection electrode. By using an alloy with a metal having a large and stable function, a light-emitting element having practical characteristics has been obtained, but a light-emitting element having sufficient performance has not been obtained in terms of its stability or life, In general, even when the light-emitting element is driven at a constant current, there is a problem that the light emission luminance gradually decreases and a non-light-emitting portion called a black point gradually grows to cause a problem on an image.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】我々はこの課題を解決す
るため、鋭意検討を行った結果、これらの課題の本質が
大きくわけて2つの現象に起因する事を見出した。すな
わちその第1の原因は正孔輸送層の結晶化または凝集等
による変質であり、第2の原因は電子注入電極の酸化、
腐食等による変質である。ここで言う変質とは形態の変
化や層間剥離、イオン化ポテンシャルや正孔輸送性など
の電気特性の変化などである。
Means for Solving the Problems We have conducted intensive studies to solve this problem, and as a result, have found that the essence of these problems is largely divided into two phenomena. That is, the first cause is deterioration due to crystallization or aggregation of the hole transport layer, and the second cause is oxidation of the electron injection electrode,
Deterioration due to corrosion and the like. The term "alteration" as used herein refers to a change in form, delamination, a change in electrical characteristics such as ionization potential and hole transportability.

【0013】そこで我々は第1の原因を抑制する手段と
して種々の正孔輸送材料について、主として高温高湿環
境における安定性を検討した結果、特定の比較的大きく
剛直な分子からなる正孔輸送層中に、分子量の小さな特
定の他の正孔輸送分子、または非対称な分子構造を有す
る特定の他の正孔輸送分子を混合する事により、その経
時変化を大幅に抑制できる事を見出して本発明を完成さ
せるに至った。
Therefore, as a means for suppressing the first cause, we examined the stability of various hole transporting materials mainly in a high-temperature and high-humidity environment, and found that a hole transporting layer composed of specific relatively large and rigid molecules was used. In the present invention, it was found that by mixing a specific other hole transport molecule having a small molecular weight or a specific other hole transport molecule having an asymmetric molecular structure, the change with time can be significantly suppressed. Was completed.

【0014】また我々は第1および第2の原因を抑制す
る手段として種々の電極材料、電極構成、および保護層
に関して検討を行った結果、電極としてCr層を積層す
ること、および特定の保護層を用いることにより、大幅
に素子特性の経時変化を抑制し、素子の寿命を実質的に
大幅に向上させることが出来る事を見出して本発明を完
成させるに至った。
Further, as a means for suppressing the first and second causes, we examined various electrode materials, electrode configurations, and protective layers. As a result, it was found that a Cr layer was laminated as an electrode, and a specific protective layer was formed. It has been found that the use of the compound can greatly suppress the change over time of the element characteristics, and can substantially improve the life of the element, thereby completing the present invention.

【0015】具体的には、本願の請求項1の発明の有機
薄膜EL素子は、透明基板上に電子注入電極と正孔注入
電極と、少なくとも前記電子注入電極と正孔注入電極と
の間に設けられた正孔輸送層とを有する有機薄膜EL素
子の、前記正孔輸送層が少なくとも2種類以上の正孔輸
送材料からなり、且つ非対称な分子構造を有する正孔輸
送材料を含有する有機薄膜EL素子である。
Specifically, the organic thin-film EL device according to the first aspect of the present invention comprises an electron injection electrode and a hole injection electrode on a transparent substrate, and at least a space between the electron injection electrode and the hole injection electrode. An organic thin film EL device having a hole transport layer provided therein, wherein the hole transport layer is made of at least two types of hole transport materials and contains a hole transport material having an asymmetric molecular structure. EL element.

【0016】また本願の請求項2の発明は、請求項1の
正孔輸送層が、主として一般式(化1)(式中R1、R
2、R3、R4、R5は同一でも異なっていてもよく、
R1、R2、R3は水素原子、低級アルキル基、低級ア
ルコキシ基を表し、R4、R5は水素原子、低級アルキ
ル基、低級アルコキシ基、または塩素原子を表す)で表
される正孔輸送材料によって構成される有機薄膜EL素
子としたものである。
Further, in the invention of claim 2 of the present application, the hole transporting layer of claim 1 mainly comprises a compound represented by the general formula (1)
2, R3, R4 and R5 may be the same or different,
R1, R2, and R3 represent a hydrogen atom, a lower alkyl group, or a lower alkoxy group, and R4 and R5 represent a hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, or a chlorine atom. The organic thin film EL element to be used.

【0017】また本願の請求項3の発明は、請求項1の
正孔輸送層が主としてN,N’−ビス(4’−ジフェニ
ルアミノ−4−ビフェニリル)−N,N’−ジフェニル
ベンジジンによって構成される有機薄膜EL素子とした
ものである。
According to a third aspect of the present invention, in the first aspect, the hole transport layer is mainly composed of N, N'-bis (4'-diphenylamino-4-biphenylyl) -N, N'-diphenylbenzidine. The organic thin film EL element to be used.

【0018】また本願の請求項4の発明は、請求項1ま
たは2または3の正孔輸送層中における前記の非対称な
分子構造を有する正孔輸送材料の含有量が、重量比で3
0%以下である有機薄膜EL素子としたものである。
The invention according to claim 4 of the present application is directed to the hole transport layer according to claim 1 or 2 or 3, wherein the content of the hole transport material having an asymmetric molecular structure is 3% by weight.
This is an organic thin film EL element of 0% or less.

【0019】本願の請求項5の発明の有機薄膜EL素子
は、透明基板上に電子注入電極と正孔注入電極と、少な
くとも前記電子注入電極と正孔注入電極との間に設けら
れた正孔輸送層とを有する有機薄膜EL素子の、前記正
孔輸送層が少なくとも2種類以上の正孔輸送材料からな
り、少なくとも主たる正孔輸送材料とその分子量の2/
3以下の分子量の正孔輸送材料とを含有する有機薄膜E
L素子である。
An organic thin-film EL device according to a fifth aspect of the present invention provides an electron-injection electrode and a hole-injection electrode on a transparent substrate, and holes provided at least between the electron-injection electrode and the hole-injection electrode. An organic thin film EL device having a transport layer, wherein the hole transport layer is made of at least two types of hole transport materials, and at least the main hole transport material and 2 /
Organic thin film E containing a hole transport material having a molecular weight of 3 or less
L element.

【0020】また本願の請求項6の発明は、請求項5の
正孔輸送層の主たる正孔輸送材料が、一般式(化1)
(式中R1、R2、R3、R4、R5は同一でも異なっ
ていてもよく、R1、R2、R3は水素原子、低級アル
キル基、低級アルコキシ基を表し、R4、R5は水素原
子、低級アルキル基、低級アルコキシ基、または塩素原
子を表す)で表される正孔輸送材料である有機薄膜EL
素子としたものである。
According to the invention of claim 6 of the present application, the main hole transporting material of the hole transporting layer of claim 5 is represented by the following general formula (1).
(Wherein R1, R2, R3, R4, and R5 may be the same or different; R1, R2, and R3 represent a hydrogen atom, a lower alkyl group, or a lower alkoxy group; R4 and R5 represent a hydrogen atom or a lower alkyl group; , A lower alkoxy group, or a chlorine atom).
It is an element.

【0021】また本願の請求項7の発明は、請求項5の
正孔輸送層が主としてN,N’−ビス(4’−ジフェニ
ルアミノ−4−ビフェニリル)−N,N’−ジフェニル
ベンジジンによって構成される有機薄膜EL素子とした
ものである。
According to a seventh aspect of the present invention, in the fifth aspect, the hole transport layer is mainly composed of N, N'-bis (4'-diphenylamino-4-biphenylyl) -N, N'-diphenylbenzidine. The organic thin film EL element to be used.

【0022】また本願の請求項8の発明は、請求項5ま
たは6または7の正孔輸送層中における、前記の主たる
正孔輸送材料の分子量の2/3以下の分子量の正孔輸送
材料の含有量が、重量比で30%以下である有機薄膜E
L素子としたものである。
The invention according to claim 8 of the present application is directed to the hole transporting layer according to claim 5 or 6 or 7, wherein the hole transporting material having a molecular weight of 2/3 or less of the molecular weight of the main hole transporting material is used. Organic thin film E whose content is 30% or less by weight
This is an L element.

【0023】本願の請求項9の発明の有機薄膜EL素子
は、透明基板上に電子注入電極と正孔注入電極と、少な
くとも前記電子注入電極と正孔注入電極との間に設けら
れた正孔輸送層とを有する有機薄膜EL素子の、前記正
孔輸送層が少なくとも一般式(化1)(式中R1、R
2、R3、R4、R5は同一でも異なっていてもよく、
R1、R2、R3は水素原子、低級アルキル基、低級ア
ルコキシ基を表し、R4、R5は水素原子、低級アルキ
ル基、低級アルコキシ基、または塩素原子を表す)で表
されるホスト化合物と、一般式(化2)(式中R1、R
2、R3、R4は同一でも異なっていてもよく、水素原
子、低級アルキル基、または低級アルコキシ基を表す)
で表されるゲスト化合物とを含有する有機薄膜EL素子
である。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided an organic thin film EL device, comprising: an electron injection electrode and a hole injection electrode on a transparent substrate; and a hole provided at least between the electron injection electrode and the hole injection electrode. And the hole transport layer of the organic thin film EL device having a transport layer.
2, R3, R4 and R5 may be the same or different,
R1, R2, and R3 represent a hydrogen atom, a lower alkyl group, or a lower alkoxy group; R4, R5 represent a hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, or a chlorine atom); (Formula 2) (wherein R1, R
2, R3 and R4 may be the same or different and represent a hydrogen atom, a lower alkyl group, or a lower alkoxy group)
And an organic thin film EL device containing a guest compound represented by the formula:

【0024】また本願の請求項10の発明は、請求項9
のホスト化合物がN,N’−ビス(4’−ジフェニルア
ミノ−4−ビフェニリル)−N,N’−ジフェニルベン
ジジン、ゲスト化合物が4−N,N’−ビス(p−メチ
ルフェニル)アミノ−α−フェニルスチルベンである有
機薄膜EL素子としたものである。
The invention of claim 10 of the present application is the invention of claim 9
Is N, N'-bis (4'-diphenylamino-4-biphenylyl) -N, N'-diphenylbenzidine, and the guest compound is 4-N, N'-bis (p-methylphenyl) amino-α -An organic thin film EL device that is phenylstilbene.

【0025】また本願の請求項11の発明は、請求項9
の正孔輸送層中に占める前記ホスト化合物の割合が重量
比で70%以上であり、且つ前記ゲスト化合物の割合が
重量比で30%以下である有機薄膜EL素子としたもの
である。
The invention of claim 11 of the present application is directed to claim 9
Wherein the proportion of the host compound in the hole transport layer is 70% or more by weight and the proportion of the guest compound is 30% or less by weight.

【0026】本願の請求項12の発明の有機薄膜EL素
子は、透明基板上に電子注入電極と正孔注入電極と、少
なくとも前記電子注入電極と正孔注入電極との間に設け
られた正孔輸送層とを有する有機薄膜EL素子の、前記
正孔輸送層が少なくとも一般式(化1)(式中R1、R
2、R3、R4、R5は同一でも異なっていてもよく、
R1、R2、R3は水素原子、低級アルキル基、低級ア
ルコキシ基を表し、R4、R5は水素原子、低級アルキ
ル基、低級アルコキシ基、または塩素原子を表す)で表
されるホスト化合物と、一般式(化3)(式中R1、R
2、R3、R4は同一でも異なっていてもよく、水素原
子、塩素原子、メチル基、メトキシ基、ジメチルアミノ
基、ジエチルアミノ基、ジフェニルアミノ基、またはジ
ベンジルアミノ基を表す)で表されるゲスト化合物とを
含有する有機薄膜EL素子である。
An organic thin-film EL device according to a twelfth aspect of the present invention provides an electron-injection electrode and a hole-injection electrode on a transparent substrate, and holes provided at least between the electron-injection electrode and the hole-injection electrode. And the hole transport layer of the organic thin film EL device having a transport layer.
2, R3, R4 and R5 may be the same or different,
R1, R2, and R3 represent a hydrogen atom, a lower alkyl group, or a lower alkoxy group; R4, R5 represent a hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, or a chlorine atom); (Formula 3) (wherein R1, R
2, R3 and R4 may be the same or different and represent a hydrogen atom, a chlorine atom, a methyl group, a methoxy group, a dimethylamino group, a diethylamino group, a diphenylamino group, or a dibenzylamino group) An organic thin film EL device containing a compound.

【0027】また本願の請求項13の発明は、請求項1
2のホスト化合物がN,N’−ビス(4’−ジフェニル
アミノ−4−ビフェニリル)−N,N’−ジフェニルベ
ンジジン、ゲスト化合物が1,1−ビス(p−ジエチル
アミノフェニル)−4,4−ジフェニル−1,3−ブタ
ジエンである有機薄膜EL素子としたものである。
The invention of claim 13 of the present application is directed to claim 1
2, the host compound is N, N'-bis (4'-diphenylamino-4-biphenylyl) -N, N'-diphenylbenzidine, and the guest compound is 1,1-bis (p-diethylaminophenyl) -4,4- This is an organic thin film EL device of diphenyl-1,3-butadiene.

【0028】また本願の請求項14の発明は、請求項1
2の正孔輸送層中に占める前記ホスト化合物の割合が重
量比で70%以上であり、且つ前記ゲスト化合物の割合
が重量比で30%以下である有機薄膜EL素子としたも
のである。
The invention of claim 14 of the present application is the invention of claim 1
2 is an organic thin film EL device in which the proportion of the host compound in the hole transport layer is at least 70% by weight and the proportion of the guest compound is at most 30% by weight.

【0029】本願の請求項15の発明の有機薄膜EL素
子は、透明基板上に電子注入電極と正孔注入電極と、少
なくとも前記電子注入電極と正孔注入電極との間に設け
られた正孔輸送層とを有する有機薄膜EL素子の、前記
正孔輸送層が少なくとも一般式(化4)(式中R1、R
2は同一でも異なっていてもよく、水素原子、低級アル
キル基、低級アルコキシ基、置換または無置換のアリー
ル基を表し、R3は水素原子、低級アルキル基、低級ア
ルコキシ基、または塩素原子を表す)で表されるホスト
化合物と、一般式(化2)(式中R1、R2、R3、R
4は同一でも異なっていてもよく、水素原子、低級アル
キル基、または低級アルコキシ基を表す)で表されるゲ
スト化合物とを含有する有機薄膜EL素子である。
An organic thin-film EL device according to a fifteenth aspect of the present invention provides an electron-injection electrode and a hole-injection electrode on a transparent substrate, and holes provided at least between the electron-injection electrode and the hole-injection electrode. And the hole transport layer of the organic thin film EL device having a transport layer.
2 may be the same or different and represents a hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, a substituted or unsubstituted aryl group, and R3 represents a hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, or a chlorine atom) And a host compound represented by the general formula (Chemical Formula 2) (wherein R1, R2, R3, R
4 may be the same or different, and represents a hydrogen atom, a lower alkyl group, or a lower alkoxy group).

【0030】また本願の請求項16の発明は、請求項1
5のホスト化合物がN,N’−ジフェニル−N,N’−
ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェニル−
4,4’−ジアミン、ゲスト化合物が4−N,N’−ビ
ス(p−メチルフェニル)アミノ−α−フェニルスチル
ベンである有機薄膜EL素子としたものである。
[0030] The invention of claim 16 of the present application is the invention of claim 1.
5 is N, N'-diphenyl-N, N'-
Bis (3-methylphenyl) -1,1′-biphenyl-
This is an organic thin film EL device in which 4,4′-diamine and a guest compound are 4-N, N′-bis (p-methylphenyl) amino-α-phenylstilbene.

【0031】また本願の請求項17の発明は、請求項1
5の正孔輸送層中に占める前記ホスト化合物の割合が重
量比で70%以上であり、且つ前記ゲスト化合物の割合
が重量比で30%以下である有機薄膜EL素子としたも
のである。
Further, the invention of claim 17 of the present application is the invention of claim 1
5 is an organic thin-film EL device in which the proportion of the host compound in the hole transport layer is 70% or more by weight and the proportion of the guest compound is 30% or less by weight.

【0032】本願の請求項18の発明の有機薄膜EL素
子は、透明基板上に電子注入電極と正孔注入電極と、少
なくとも前記電子注入電極と正孔注入電極との間に設け
られた正孔輸送層とを有する有機薄膜EL素子の、前記
正孔輸送層が少なくとも一般式(化4)(式中R1、R
2は同一でも異なっていてもよく、水素原子、低級アル
キル基、低級アルコキシ基、置換または無置換のアリー
ル基を表し、R3は水素原子、低級アルキル基、低級ア
ルコキシ基、または塩素原子を表す)で表されるホスト
化合物と、一般式(化3)(式中R1、R2、R3、R
4は同一でも異なっていてもよく、水素原子、塩素原
子、メチル基、メトキシ基、ジメチルアミノ基、ジエチ
ルアミノ基、ジフェニルアミノ基、またはジベンジルア
ミノ基を表す)で表されるゲスト化合物とを含有する有
機薄膜EL素子である。
The organic thin-film EL device according to the eighteenth aspect of the present invention provides an electron injection electrode and a hole injection electrode on a transparent substrate, and at least a hole provided between the electron injection electrode and the hole injection electrode. And the hole transport layer of the organic thin film EL device having a transport layer.
2 may be the same or different and represents a hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, a substituted or unsubstituted aryl group, and R3 represents a hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, or a chlorine atom) And a host compound represented by the general formula (Chemical Formula 3) (wherein R1, R2, R3, R
4 may be the same or different and represents a hydrogen atom, a chlorine atom, a methyl group, a methoxy group, a dimethylamino group, a diethylamino group, a diphenylamino group, or a dibenzylamino group). Organic thin-film EL device.

【0033】また本願の請求項19の発明は、請求項1
8のホスト化合物がN,N’−ジフェニル−N,N’−
ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェニル−
4,4’−ジアミン、ゲスト化合物が1,1−ビス(p
−ジエチルアミノフェニル)−4,4−ジフェニル−
1,3−ブタジエンである有機薄膜EL素子としたもの
である。
Further, the invention of claim 19 of the present application is the invention of claim 1
8 is N, N'-diphenyl-N, N'-
Bis (3-methylphenyl) -1,1′-biphenyl-
4,4′-diamine, the guest compound is 1,1-bis (p
-Diethylaminophenyl) -4,4-diphenyl-
This is an organic thin film EL device of 1,3-butadiene.

【0034】また本願の請求項20の発明は、請求項1
8の正孔輸送層中に占める前記ホスト化合物の割合が重
量比で70%以上であり、且つ前記ゲスト化合物の割合
が重量比で30%以下である有機薄膜EL素子としたも
のである。
[0034] The invention of claim 20 of the present application is the invention of claim 1.
8 is an organic thin film EL device in which the proportion of the host compound in the hole transport layer is 70% or more by weight and the proportion of the guest compound is 30% or less by weight.

【0035】本願の請求項21の発明の有機薄膜EL素
子は、透明基板上に電子注入電極と正孔注入電極と、少
なくとも前記電子注入電極と正孔注入電極との間に設け
られた正孔輸送層とを有する有機薄膜EL素子の、前記
正孔輸送層が少なくとも一般式(化1)(式中R1、R
2、R3、R4、R5は同一でも異なっていてもよく、
R1、R2、R3は水素原子、低級アルキル基、低級ア
ルコキシ基を表し、R4、R5は水素原子、低級アルキ
ル基、低級アルコキシ基、または塩素原子を表す)で表
されるホスト化合物と、一般式(化4)(式中R1、R
2は同一でも異なっていてもよく、水素原子、低級アル
キル基、低級アルコキシ基、置換または無置換のアリー
ル基を表し、R3は水素原子、低級アルキル基、低級ア
ルコキシ基、または塩素原子を表す)で表されるゲスト
化合物とを含有する有機薄膜EL素子である。
An organic thin-film EL device according to a twenty-first aspect of the present invention provides an electron-injection electrode and a hole-injection electrode on a transparent substrate, and at least a hole provided between the electron-injection electrode and the hole-injection electrode. And the hole transport layer of the organic thin film EL device having a transport layer.
2, R3, R4 and R5 may be the same or different,
R1, R2, and R3 represent a hydrogen atom, a lower alkyl group, or a lower alkoxy group; R4, R5 represent a hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, or a chlorine atom); (Formula 4) (wherein R1, R
2 may be the same or different and represents a hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, a substituted or unsubstituted aryl group, and R3 represents a hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, or a chlorine atom) And an organic thin film EL device containing a guest compound represented by the formula:

【0036】また本願の請求項22の発明は、請求項2
1のホスト化合物がN,N’−ビス(4’−ジフェニル
アミノ−4−ビフェニリル)−N,N’−ジフェニルベ
ンジジン、ゲスト化合物がN,N’−ジフェニル−N,
N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェ
ニル−4,4’−ジアミンである有機薄膜EL素子とし
たものである。
The invention of claim 22 of the present application is the invention of claim 2
1 is N, N'-bis (4'-diphenylamino-4-biphenylyl) -N, N'-diphenylbenzidine, and the guest compound is N, N'-diphenyl-N,
This is an organic thin-film EL device which is N'-bis (3-methylphenyl) -1,1'-biphenyl-4,4'-diamine.

【0037】また本願の請求項23の発明は、請求項2
1の正孔輸送層中に占める前記ホスト化合物の割合が重
量比で70%以上であり、且つ前記ゲスト化合物の割合
が重量比で30%以下である有機薄膜EL素子としたも
のである。
The invention of claim 23 of the present application is the invention of claim 2
1 is an organic thin film EL device in which the proportion of the host compound in the hole transport layer is 70% or more by weight and the proportion of the guest compound is 30% or less by weight.

【0038】本願の請求項24の発明の有機薄膜EL素
子は、透明基板上に少なくとも正孔注入電極と、有機薄
膜層と、電子注入電極を積層してなる有機薄膜EL素子
の、前記電子注入電極が、主としてアルミニウムで構成
された層と主としてクロムで構成された層の積層構造を
有する有機薄膜EL素子である。
An organic thin-film EL device according to a twenty-fourth aspect of the present invention is the organic thin-film EL device according to claim 24, wherein at least a hole injection electrode, an organic thin-film layer, and an electron injection electrode are laminated on a transparent substrate. The electrode is an organic thin film EL device having a laminated structure of a layer mainly composed of aluminum and a layer mainly composed of chromium.

【0039】本願の請求項25の発明の有機薄膜EL素
子は、透明基板上に少なくとも正孔注入電極と、有機薄
膜層と、電子注入電極を積層してなる有機薄膜EL素子
の、前記電子注入電極上に2フッ化鉛層を有する有機薄
膜EL素子である。
An organic thin-film EL device according to a twenty-fifth aspect of the present invention is the organic thin-film EL device according to claim 25, wherein at least a hole injection electrode, an organic thin-film layer, and an electron injection electrode are laminated on a transparent substrate. This is an organic thin film EL device having a lead difluoride layer on an electrode.

【0040】本願の請求項26の発明の有機薄膜EL素
子は、透明基板上に少なくとも正孔注入電極と、有機薄
膜層と、電子注入電極を積層してなる有機薄膜EL素子
の、前記電子注入電極上にオクタフルオロシクロブタン
のプラズマ重合膜を1μm以上の膜厚で有する有機薄膜
EL素子である。
An organic thin-film EL device according to a twenty-sixth aspect of the present invention is the organic thin-film EL device, wherein at least a hole injection electrode, an organic thin-film layer, and an electron injection electrode are laminated on a transparent substrate. This is an organic thin film EL device having a plasma polymerized film of octafluorocyclobutane on an electrode with a thickness of 1 μm or more.

【0041】本願の請求項27の発明の有機薄膜EL素
子は、透明基板上に少なくとも正孔注入電極と、有機薄
膜層と、電子注入電極を積層してなる有機薄膜EL素子
の、前記電子注入電極上にオクタフルオロシクロブタン
のプラズマ重合膜と、該プラズマ重合膜上に形成した保
護層とを有する有機薄膜EL素子である。
An organic thin-film EL device according to a twenty-seventh aspect of the present invention is the organic thin-film EL device comprising a transparent substrate and at least a hole injection electrode, an organic thin-film layer, and an electron injection electrode laminated on each other. An organic thin film EL device having an octafluorocyclobutane plasma polymerized film on an electrode and a protective layer formed on the plasma polymerized film.

【0042】本願の請求項28の発明の有機薄膜EL素
子の製造方法は、透明基板上に少なくとも正孔注入電極
と、有機薄膜層と、電子注入電極を積層してなる有機薄
膜EL素子の製造方法で、前記電子注入電極上にオクタ
フルオロシクロブタンのプラズマ重合膜を形成する工程
と、該プラズマ重合膜上に保護層を形成する工程とを有
する有機薄膜EL素子の製造方法である。
The method of manufacturing an organic thin film EL device according to the invention of claim 28 of the present application is a method of manufacturing an organic thin film EL device having at least a hole injection electrode, an organic thin film layer, and an electron injection electrode laminated on a transparent substrate. A method for producing an organic thin-film EL device, comprising: forming a plasma polymerized film of octafluorocyclobutane on the electron injection electrode; and forming a protective layer on the plasma polymerized film.

【0043】本願の請求項29の発明の有機薄膜EL素
子は、透明基板上に少なくとも正孔注入電極と、有機薄
膜層と、電子注入電極を積層してなる有機薄膜EL素子
の、前記有機薄膜上にアルミニウムを島状に形成した後
に、前記電子注入電極を形成した構成の有機薄膜EL素
子である。
An organic thin-film EL device according to a twenty-ninth aspect of the present invention is the organic thin-film EL device according to claim 29, wherein at least a hole injection electrode, an organic thin-film layer, and an electron injection electrode are laminated on a transparent substrate. An organic thin-film EL device having a structure in which aluminum is formed in an island shape and the electron injection electrode is formed thereon.

【0044】本願の請求項30の発明の有機薄膜EL素
子の製造方法は、透明基板上に少なくとも正孔注入電極
と、有機薄膜層と、電子注入電極を積層してなる有機薄
膜EL素子の製造方法で、前記有機薄膜上に前記電子注
入電極を形成する工程において、前記有機薄膜上にアル
ミニウムを島状に形成する工程の後に、前記電子注入電
極を形成する有機薄膜EL素子の製造方法である。
The method of manufacturing an organic thin-film EL device according to the invention of claim 30 of the present application is a method of manufacturing an organic thin-film EL device in which at least a hole injection electrode, an organic thin-film layer, and an electron injection electrode are laminated on a transparent substrate. Forming an electron injection electrode on the organic thin film by a method, wherein the electron injection electrode is formed after the step of forming aluminum in an island shape on the organic thin film. .

【0045】[0045]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係る
有機薄膜EL素子、およびその製造方法について説明す
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an organic thin film EL device according to an embodiment of the present invention and a method for manufacturing the same will be described.

【0046】本発明の有機薄膜EL素子は、透明基板上
に電子注入電極と正孔注入電極と、少なくとも電子注入
電極と正孔注入電極との間に設けられた正孔輸送層によ
り構成されるが、一般に知られる通り発光層または電子
輸送層、正孔注入層など種々の積層構成を用いる事が出
来る。
The organic thin-film EL device of the present invention comprises an electron injection electrode and a hole injection electrode on a transparent substrate, and at least a hole transport layer provided between the electron injection electrode and the hole injection electrode. However, as is generally known, various laminated structures such as a light emitting layer, an electron transport layer, and a hole injection layer can be used.

【0047】本発明における透明基板は、本発明の有機
薄膜EL素子を坦持出来るものであればよく、コーニン
グ1737ガラスなどの通常のガラス基板が用いられる
事が多いが、ポリエステルその他の樹脂フィルムなども
用いる事が出来る。一般に電子注入電極および正孔注入
電極は、そのどちらか一方が透明である必要があり、透
明基板上に透明電極を設けて発光を外部に取り出すこと
になる。通常、正孔注入電極に透明なITO(インジウ
ム錫酸化物)膜を用いる事が多く、電子注入電極はTa
ngらの提案したMgAg合金またはAlLi合金な
ど、仕事関数が低く電子注入障壁の低い金属と比較的仕
事関数が大きく安定な金属との合金が用いられることが
多い。
The transparent substrate in the present invention may be any as long as it can support the organic thin film EL element of the present invention, and a common glass substrate such as Corning 1737 glass is often used. Can also be used. Generally, one of the electron injection electrode and the hole injection electrode needs to be transparent, and a transparent electrode is provided on a transparent substrate to emit light to the outside. Usually, a transparent ITO (indium tin oxide) film is often used for the hole injection electrode, and the electron injection electrode is made of Ta.
In many cases, an alloy of a metal having a low work function and a low electron injection barrier and a metal having a relatively large work function and being stable, such as an MgAg alloy or an AlLi alloy proposed by ng et al.

【0048】ITO膜はその透明性を向上させまたは抵
抗率を低下させる目的でスパッタ、エレクトロンビーム
蒸着、イオンプレーティング等の成膜方法が行われてお
り、また抵抗率や形状制御の目的で種々の後処理が行わ
れる事も多い。また膜厚は必要とされるシートレジスタ
ンス値と可視光透過率から決定されるが、有機EL素子
では比較的駆動電流密度が高いため、シートレジスタン
スを小さくするため100nm以上の厚さで用いられる
ことが多い。
The ITO film is formed by a film forming method such as sputtering, electron beam evaporation, or ion plating for the purpose of improving the transparency or reducing the resistivity, and various methods for controlling the resistivity and the shape. Post-processing is often performed. The film thickness is determined from the required sheet resistance value and the visible light transmittance. However, since the driving current density of the organic EL element is relatively high, the organic EL element must be used at a thickness of 100 nm or more to reduce the sheet resistance. There are many.

【0049】本発明の正孔注入電極にはこれらの通常の
ITO膜を用いる事が出来る他、導電性粉体を分散した
透明導電性塗料の塗布膜その他の電極を用いる事が出来
る。また、本発明の電子注入電極には上述したMgA
g、AlLiその他の仕事関数が低く電子注入障壁の低
い金属と比較的仕事関数が大きく安定な金属との合金の
他、はじめに薄層のLi膜を形成した後にAl膜を比較
的厚く形成するような積層電極や、LiF膜やAl23
膜を薄層に形成した後にAl膜を比較的厚く形成するよ
うな積層電極や、その他の種々の電極構成を用いる事が
出来る。
For the hole injection electrode of the present invention, in addition to these normal ITO films, a transparent conductive paint coating film in which conductive powder is dispersed and other electrodes can be used. The electron injection electrode of the present invention has the above-mentioned MgA
g, AlLi and other alloys of a metal having a low work function and a low electron injection barrier and a metal having a relatively high work function and a stable metal. In addition, after forming a thin Li film first, a relatively thick Al film is formed. Laminated electrode, LiF film and Al 2 O 3
It is possible to use a laminated electrode in which an Al film is formed relatively thick after forming a thin film, or various other electrode configurations.

【0050】本願請求項1から23までに記載の発明に
おいて、その要部は正孔輸送層にあり、上述の透明基
板、電子注入電極、正孔注入電極はいずれも汎用のもの
を広く用いる事が出来る。また発光層はトリス(8−ヒ
ドロキシキノリン)アルミニウム等の発光材料(電子輸
送材料)を真空蒸着により数十nm膜厚に形成した層を
用い、透明基板/正孔注入電極/正孔輸送層/発光層/
電子注入電極のように積層した構成や、適当な発光材料
を正孔輸送層中または電子輸送層中にドーピングした構
成などを用いる事が出来る。
In the invention as set forth in claims 1 to 23 of the present application, the main part is in the hole transport layer, and the transparent substrate, the electron injection electrode, and the hole injection electrode described above are all widely used. Can be done. The light emitting layer is a layer in which a light emitting material (electron transporting material) such as tris (8-hydroxyquinoline) aluminum is formed to a thickness of several tens of nanometers by vacuum evaporation, and the transparent substrate / hole injection electrode / hole transporting layer / Emitting layer /
A configuration in which the layers are stacked like an electron injection electrode, a configuration in which an appropriate luminescent material is doped in a hole transport layer or an electron transport layer, or the like can be used.

【0051】これらの発明において、非対称な分子構造
を有する正孔輸送材料とは、分子構造が左右または上下
に対称でない正孔輸送材料を表し、例えば4−N,N’
−ビス(p−メチルフェニル)アミノ−α−フェニルス
チルベンのようなスチリルアミン誘導体、または1,1
−ビス(p−ジエチルアミノフェニル)−4,4−ジフ
ェニル−1,3−ブタジエンのように骨格分子は対称で
あっても比較的大きな置換基の導入によって実質的に非
対称である正孔輸送材料などを挙げられる。また正孔輸
送層中の主たる正孔輸送材料とは、正孔輸送層中に含ま
れる正孔輸送材料の内、重量比で最も含有量の多い材料
を指す。またホスト化合物も同様に含まれる材料の内、
重量比で最も含有量の多い材料を指し、ゲスト化合物は
その他の材料を指す。
In these inventions, a hole transporting material having an asymmetric molecular structure refers to a hole transporting material whose molecular structure is not symmetrical left and right or up and down, for example, 4-N, N '.
Styrylamine derivatives such as -bis (p-methylphenyl) amino-α-phenylstilbene, or 1,1
A hole transport material such as -bis (p-diethylaminophenyl) -4,4-diphenyl-1,3-butadiene, which has a symmetric skeletal molecule but is substantially asymmetric due to the introduction of a relatively large substituent. Can be mentioned. The main hole transporting material in the hole transporting layer refers to the material having the highest content by weight of the hole transporting materials contained in the hole transporting layer. In addition, among the materials that also include the host compound,
The guest compound refers to the material with the highest content by weight, and the guest compound refers to the other material.

【0052】本願請求項24および29および30に記
載の発明において、その要部は電子注入電極にあり、透
明基板、正孔注入電極、正孔輸送層、発光層等はいずれ
も汎用のものを広く用いる事が出来る。透明基板は上述
のガラス基板や各種樹脂フィルムなど、正孔注入電極は
汎用のITO膜などを用いる事が出来る。正孔輸送層は
トリフェニルジアミン誘導体などの正孔輸送材料を真空
蒸着により数十nm膜厚に形成した層などを用いる事が
出来るが、本願請求項1から23までに記載の発明の正
孔輸送層を用いることも出来る。発光層はトリス(8−
ヒドロキシキノリン)アルミニウム等の発光材料(電子
輸送材料)を真空蒸着により数十nm膜厚に形成した層
を用い、透明基板/正孔注入電極/正孔輸送層/発光層
のように積層した構成や、適当な発光材料を正孔輸送層
中または電子輸送層中にドーピングした構成などを用い
る事が出来る。
In the invention according to claims 24, 29 and 30, the main part is in the electron injection electrode, and the transparent substrate, the hole injection electrode, the hole transport layer, the light emitting layer and the like are all general-purpose ones. Can be used widely. The transparent substrate may be a glass substrate or various resin films described above, and the hole injection electrode may be a general-purpose ITO film. The hole transporting layer may be a layer formed by depositing a hole transporting material such as a triphenyldiamine derivative to a thickness of several tens of nanometers by vacuum deposition. The hole transporting layer according to any one of claims 1 to 23 of the present invention can be used. A transport layer can also be used. The light emitting layer is Tris (8-
A structure in which a luminescent material (electron transporting material) such as (hydroxyquinoline) aluminum is formed to a thickness of several tens of nanometers by vacuum evaporation and laminated as a transparent substrate / hole injection electrode / hole transporting layer / light emitting layer. Alternatively, a configuration in which an appropriate luminescent material is doped in the hole transport layer or the electron transport layer, or the like can be used.

【0053】本願請求項24に記載の発明において、主
としてアルミニウムで構成された層と主としてクロムで
構成された層の積層構造とは、AlLi等の通常の合金
電子注入電極上に、主としてクロムから構成され実質的
にクロムの高い耐腐食性を有する層を有する構成を指
す。これらの各層の間、または下部または上部に必要に
応じて接着層その他の目的で他の層を有する事も出来
る。主としてアルミニウムで構成された層の膜厚は必要
に応じた配線抵抗が実現できる程度の膜厚であればよ
く、数十nmから数百nmの範囲で用いられることが多
い。主としてクロムで構成された層の膜厚は実質的にク
ロム層の高い耐腐食性によって、下層を十分に酸素、水
分その他の反応性物質から遮蔽し保護することが出来る
程度の膜厚であればよく、少なくとも数nm以上、好ま
しくは数十nm以上の膜厚が好ましい。成膜方法は真空
蒸着、スパッタその他の通常の方法を用いることが出来
る。
In the invention according to claim 24 of the present application, the laminated structure of a layer mainly composed of aluminum and a layer mainly composed of chromium means that a layer mainly composed of chromium is formed on a normal alloy electron injection electrode of AlLi or the like. Refers to a configuration having a substantially corrosion-resistant layer of chromium. Between each of these layers, or at the lower or upper part, if necessary, an adhesive layer or other layers may be provided for other purposes. The thickness of the layer mainly made of aluminum may be a thickness that can realize the necessary wiring resistance, and is often used in the range of several tens nm to several hundreds nm. The thickness of the layer mainly composed of chromium is such that the lower layer can be sufficiently shielded and protected from oxygen, moisture and other reactive substances due to the substantially high corrosion resistance of the chromium layer. The thickness is preferably at least several nm or more, preferably several tens nm or more. As a film forming method, vacuum evaporation, sputtering, or other ordinary methods can be used.

【0054】本願請求項29および30に記載の発明に
おいて、有機薄膜上にアルムニウムを島状に形成すると
は、前述の正孔輸送層、発光層、電子輸送層などの有機
薄膜上に、電子注入電極を形成する前に、アルミニウム
を島状に形成することを指し、具体的には蒸着、スパッ
タ等の通常の薄膜形成方法を用いることが出来るが、ア
ルミニウムが膜状に有機薄膜を覆う以前の、未だ島状に
形成されている段階までの形成を行なうことを指す。本
発明においてもその後に形成する電子注入電極自体に
は、前述の通りAlLi等の汎用の電子注入電極を幅広
く用いることが出来る。アルミニウムを島状に形成する
際の被覆率は、高すぎると実質的に電子注入電極として
の作用がアルミニウムによってなされるため、駆動電圧
が高く特性が損なわれる。一方、低すぎると寿命の観点
で十分な効果が得られず本発明の効果が得られない。本
発明において有効な被覆率は面積比で10%以上90%
以下、好ましくは20%以上80%以下である。
In the invention as set forth in claims 29 and 30 of the present application, forming aluminum in an island shape on the organic thin film means that electron injection is performed on the organic thin film such as the above-described hole transport layer, light emitting layer and electron transport layer. Before forming the electrode, it refers to forming aluminum in an island shape.Specifically, a normal thin film forming method such as evaporation and sputtering can be used, but before aluminum covers the organic thin film in a film shape. , Indicating that the formation is performed up to the stage where the island is still formed. Also in the present invention, a general-purpose electron injection electrode such as AlLi can be widely used as the electron injection electrode to be formed later as described above. If the coverage at the time of forming aluminum in an island shape is too high, the function as an electron injection electrode is substantially performed by aluminum, so that the driving voltage is high and the characteristics are impaired. On the other hand, if it is too low, sufficient effects cannot be obtained from the viewpoint of life, and the effects of the present invention cannot be obtained. Effective coverage in the present invention is 10% or more and 90% in area ratio.
Or less, preferably 20% or more and 80% or less.

【0055】本願請求項25から28に記載の発明にお
いて、その要部は電子注入電極上に形成される保護層に
あり、透明基板、正孔注入電極、正孔輸送層、発光層、
電子輸送層等の有機薄膜層、電子注入電極はいずれも汎
用のものを広く用いる事が出来る。透明基板は上述のガ
ラス基板や各種樹脂フィルムなど、正孔注入電極は汎用
のITO膜などを用いる事が出来る。正孔輸送層はトリ
フェニルジアミン誘導体などの正孔輸送材料を真空蒸着
により数十nm膜厚に形成した層などを用いる事が出来
るが、本願請求項1から23までに記載の発明の正孔輸
送層を用いることも出来る。
In the invention according to the twenty-fifth to twenty-eighth aspects of the present invention, the main part is a protective layer formed on the electron injection electrode, and the transparent substrate, the hole injection electrode, the hole transport layer, the light emitting layer,
As the organic thin film layer such as the electron transport layer and the electron injection electrode, general-purpose materials can be widely used. The transparent substrate may be a glass substrate or various resin films described above, and the hole injection electrode may be a general-purpose ITO film. The hole transporting layer may be a layer formed by depositing a hole transporting material such as a triphenyldiamine derivative to a thickness of several tens of nanometers by vacuum deposition. The hole transporting layer according to any one of claims 1 to 23 of the present invention can be used. A transport layer can also be used.

【0056】発光層はトリス(8−ヒドロキシキノリ
ン)アルミニウム等の発光材料(電子輸送材料)を真空
蒸着により数十nm膜厚に形成した層を用い、透明基板
/正孔注入電極/正孔輸送層/発光層のように積層した
構成や、適当な発光材料を正孔輸送層中または電子輸送
層中にドーピングした構成などを用いる事が出来る。
The light emitting layer is a layer formed by forming a light emitting material (electron transporting material) such as tris (8-hydroxyquinoline) aluminum to a thickness of several tens of nm by vacuum deposition. The transparent substrate / hole injection electrode / hole transporting layer is used. A layered structure such as a layer / light-emitting layer, a structure in which an appropriate light-emitting material is doped in a hole transport layer or an electron transport layer, or the like can be used.

【0057】電子注入電極はMgAg合金またはAlL
i合金など、仕事関数が低く電子注入障壁の低い金属と
比較的仕事関数が大きく安定な金属との合金など通常に
用いられているものを幅広く用いることが出来る。また
電子注入電極上に形成される保護層は、電子注入電極と
接して直上に形成される必要はなく、必要に応じて接着
層その他の目的で他の層を間に設けることが出来る。本
願発明における保護層の役割は、正孔注入電極と電子注
入電極間に坦持された有機薄膜層およびそれらの電極自
体を、素子外部から侵入する酸素、水分その他の反応性
物質から遮蔽し保護することであり、電子注入電極より
も外側にその層を有することで役割を果たすものであ
る。
The electron injection electrode is made of MgAg alloy or AlL
A wide range of commonly used materials such as an alloy of a metal having a low work function and a low electron injection barrier, such as an i-alloy, and a metal having a relatively large work function and being stable can be used. The protective layer formed on the electron injecting electrode does not need to be formed immediately above and in contact with the electron injecting electrode. If necessary, an adhesive layer or another layer can be provided for other purposes. The role of the protective layer in the present invention is to shield and protect the organic thin film layer carried between the hole injection electrode and the electron injection electrode and the electrodes themselves from oxygen, moisture and other reactive substances penetrating from outside the device. And plays a role by having the layer outside the electron injection electrode.

【0058】本願請求項25に記載の発明における、2
フッ化鉛層は真空蒸着その他の通常の薄膜形成方法を用
いて成膜したものを用いることができ、具体的には通常
の試薬として入手した2フッ化鉛粉末をボート上で抵抗
加熱し、真空蒸着した膜などを用いることが出来る。2
フッ化鉛層の膜厚は膜全面に渡ってピンホール無く形成
できる程度に厚ければよく、50から10000nm、
好ましくは100から1000nm程度である。
In the invention according to claim 25 of the present application, 2
The lead fluoride layer can be formed by vacuum evaporation or other normal thin film forming method. Specifically, lead difluoride powder obtained as a normal reagent is resistance-heated on a boat, A film deposited by vacuum deposition or the like can be used. 2
The thickness of the lead fluoride layer may be thick enough to be formed without pinholes over the entire surface of the film.
Preferably it is about 100 to 1000 nm.

【0059】本願請求項26から28に記載の発明にお
ける、オクタフルオロシクロブタンのプラズマ重合膜
は、市販のオクタフルオロシクロブタンを真空槽中に導
入し、減圧下で通常の高周波放電、マイクロ波放電、直
流放電等の手段により形成されたプラズマにより、電子
注入電極上に成膜された重合膜を指す。
The plasma polymerized film of octafluorocyclobutane in the invention as set forth in claims 26 to 28 of the present application is obtained by introducing a commercially available octafluorocyclobutane into a vacuum chamber, and performing a normal high-frequency discharge, microwave discharge, direct current discharge under reduced pressure. A polymer film formed on an electron injection electrode by plasma formed by means such as discharge.

【0060】透明基板上に少なくとも正孔注入電極/有
機薄膜層/電子注入電極まで形成された有機薄膜EL素
子を、通常の排気装置を有する真空槽中に坦持し、オク
タフルオロシクロブタンを適当な圧力となるように導入
し、適当な電極と放電手段によってプラズマを形成し、
オクタフルオロシクロブタンの重合膜を1μm以上の膜
厚で形成できればよいが、比較的大面積に均一に容易に
成膜が行える事から、容量結合型の平行平板電極に工業
的に汎用の13.56MHzの高周波電源または50か
ら300kHz程度の高周波電源を接続して用いられる
事が多い。
An organic thin-film EL element formed at least up to a hole injection electrode / organic thin-film layer / electron injection electrode on a transparent substrate is supported in a vacuum chamber having a usual exhaust device, and octafluorocyclobutane is appropriately charged. Introduced to a pressure, formed plasma by appropriate electrodes and discharge means,
It is sufficient that a polymer film of octafluorocyclobutane can be formed with a film thickness of 1 μm or more. However, since a uniform film can be easily formed over a relatively large area, 13.56 MHz which is industrially used for a capacitively coupled parallel plate electrode is generally used. High frequency power supply or a high frequency power supply of about 50 to 300 kHz is often used.

【0061】圧力は接続供給される電磁界によってプラ
ズマが安定して維持できる圧力であればよいが、通常
0.01から100Torr、好ましくは0.1から1
0Torrの範囲で用いられる事が多い。オクタフルオ
ロシクロブタンの重合膜の膜厚は1μm以上である必要
があり、それ以下の膜厚では十分な本発明の効果が得ら
れない。膜厚は厚い方がその効果はより大きいが、通常
は数μmの膜厚で十分な効果が得られる。
The pressure may be any pressure at which the plasma can be stably maintained by the connected and supplied electromagnetic field, but is usually 0.01 to 100 Torr, preferably 0.1 to 1 Torr.
It is often used in the range of 0 Torr. The film thickness of the polymer film of octafluorocyclobutane needs to be 1 μm or more, and if the film thickness is less than 1 μm, a sufficient effect of the present invention cannot be obtained. The effect is greater when the film thickness is larger, but a sufficient effect is usually obtained with a film thickness of several μm.

【0062】本願請求項27に記載の発明における要部
は、透明基板上に少なくとも正孔注入電極/有機薄膜層
/電子注入電極まで形成された有機薄膜EL素子と、保
護層との間に、オクタフルオロシクロブタンのプラズマ
重合膜を有する事にあり、その上に形成される保護層
は、正孔注入電極と電子注入電極間に坦持された有機薄
膜層およびそれらの電極自体を、素子外部から侵入する
酸素、水分その他の反応性物質から遮蔽し保護する性能
に優れたものであればよい。
The essential part of the invention according to claim 27 of the present application is that an organic thin film EL element formed at least up to a hole injection electrode / organic thin film layer / electron injection electrode on a transparent substrate and a protective layer. It has a plasma polymerized film of octafluorocyclobutane, and the protective layer formed on the organic thin film layer held between the hole injection electrode and the electron injection electrode and those electrodes themselves from the outside of the device. What is necessary is just to be excellent in the performance of shielding and protecting from invading oxygen, moisture and other reactive substances.

【0063】本願請求項28に記載の発明における要部
は、透明基板上に少なくとも正孔注入電極/有機薄膜層
/電子注入電極まで形成された有機薄膜EL素子上に、
オクタフルオロシクロブタンのプラズマ重合膜を形成す
る工程の後に、その上に保護層を形成する工程を有する
事に有り、保護層を形成する工程は、正孔注入電極と電
子注入電極間に坦持された有機薄膜層およびそれらの電
極自体を、素子外部から侵入する酸素、水分その他の反
応性物質から遮蔽し保護する性能に優れた保護層を形成
できる工程であればよい。
The essential part of the invention according to claim 28 of the present application is that an organic thin film EL element having at least a hole injection electrode / organic thin film layer / electron injection electrode formed on a transparent substrate is
After the step of forming a plasma polymerized film of octafluorocyclobutane, there is a step of forming a protective layer thereon, and the step of forming the protective layer is carried between the hole injection electrode and the electron injection electrode. Any process may be used as long as it is possible to form a protective layer having excellent performance of shielding and protecting the organic thin film layers and their electrodes themselves from oxygen, moisture and other reactive substances penetrating from outside the device.

【0064】本願請求項27および28に記載の発明に
おける、保護層は、上述のようにオクタフルオロシクロ
ブタンのプラズマ重合膜上に形成されるため、その成膜
工程において、下層の有機薄膜EL素子自体の特性を変
質させることが無く、通常のプラズマCVD、光CV
D、スパッタ、レーザアブレーションその他の方法で成
膜できるあらゆる膜を用いる事が可能である。すなわ
ち、通常の有機薄膜EL素子上への保護層形成と異な
り、真に有機薄膜EL素子に適する保護性能を備えた保
護層を形成して用いる事が出来る点に特徴を有する。
In the invention according to claims 27 and 28, since the protective layer is formed on the octafluorocyclobutane plasma polymerized film as described above, the lower organic thin film EL element itself is formed in the film forming step. Plasma CVD, light CV without deteriorating the characteristics of
Any film that can be formed by D, sputtering, laser ablation, or other methods can be used. That is, unlike the formation of a protective layer on a normal organic thin-film EL element, the present invention is characterized in that a protective layer having a protection performance truly suitable for an organic thin-film EL element can be formed and used.

【0065】例えば、特定のプラズマ状態から得られた
高エネルギーの活性種から成膜された特定の非晶質炭素
薄膜の中には、ダイヤモンド状薄膜(DLC)と呼ばれ
る極めて硬く且つ緻密で化学的にも安定な薄膜があり、
有機薄膜EL素子の保護層に適する。しかしながら、こ
のような保護層は高エネルギーの活性種から成膜される
ため、その成膜工程において、下層の有機薄膜EL素子
自体の特性を変質させてしまい用いる事が出来なかっ
た。本発明の採用によりこのような優れた保護層を有す
る有機薄膜EL素子を得られるようになったのである。
For example, among specific amorphous carbon thin films formed from high-energy active species obtained from a specific plasma state, there is an extremely hard, dense, and chemically-defined diamond-like thin film (DLC). Also has a stable thin film,
Suitable for a protective layer of an organic thin film EL device. However, since such a protective layer is formed from a high-energy active species, the characteristics of the underlying organic thin-film EL element itself are deteriorated in the film-forming process, and the protective layer cannot be used. By employing the present invention, an organic thin film EL device having such an excellent protective layer can be obtained.

【0066】次に具体的な実施例に基づいてさらに詳細
に説明する。 (実施例1)透明基板上に正孔注入電極を形成した基板
として、市販のITO付きガラス基板(三容真空株式会
社製、サイズ100×100mm×t=0.7mm、シ
ート抵抗約14Ω/□)を用い、電子注入電極との重な
りにより発光面積が10×10mmとなるようにフォト
リソグラフィーによりパターン化した。
Next, the present invention will be described in more detail based on specific embodiments. (Example 1) As a substrate having a hole injection electrode formed on a transparent substrate, a commercially available glass substrate with ITO (manufactured by Sanyo Vacuum Co., Ltd., size 100 × 100 mm × t = 0.7 mm, sheet resistance about 14Ω / □) ) And patterned by photolithography so that the emission area becomes 10 × 10 mm due to the overlap with the electron injection electrode.

【0067】フォトリソ後の基板処理は市販のレジスト
剥離液(ジメチルスルホキシドとnメチル2ピロリドン
との混合溶液)に浸漬して剥離を行った後、アセトンで
リンスし、さらに発煙硝酸中に1分間浸漬して完全にレ
ジストを除去した。
For the substrate treatment after photolithography, the substrate is immersed in a commercially available resist stripping solution (a mixed solution of dimethyl sulfoxide and n-methyl-2-pyrrolidone) for stripping, rinsed with acetone, and further immersed in fuming nitric acid for 1 minute. Then, the resist was completely removed.

【0068】ITO表面の洗浄は、基板の裏面表面の両
面を十分に行い、テトラメチルアンモニウムハイドロオ
キサイドの0.238%水溶液を十分に供給しながら、
ナイロンブラシによる機械的な擦り洗浄を行った。
Washing of the ITO surface is performed sufficiently on both sides of the back surface of the substrate, while sufficiently supplying a 0.238% aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide.
Mechanical rubbing with a nylon brush was performed.

【0069】その後、純水で十分にすすぎ、スピン乾燥
を行った。また有機薄膜EL素子の蒸着前には、市販の
プラズマリアクター(ヤマト科学株式会社製、PR41
型)中で、酸素流量20sccm、圧力0.2Tor
r、高周波出力300Wの条件で1分間の酸素プラズマ
処理を行ってから、蒸着槽内に配置した。
Thereafter, the substrate was sufficiently rinsed with pure water and spin-dried. Before vapor deposition of the organic thin film EL element, a commercially available plasma reactor (PR41 manufactured by Yamato Scientific Co., Ltd.) was used.
Mold), oxygen flow rate 20 sccm, pressure 0.2 Torr
After performing an oxygen plasma treatment for 1 minute under the conditions of r and a high frequency output of 300 W, the substrate was placed in a vapor deposition tank.

【0070】真空蒸着装置は市販の高真空蒸着装置(日
本真空技術株式会社製、EBV−6DA型)を改造した
装置を用いた。主たる排気装置は排気速度1500リッ
トル/minのターボ分子ポンプ(大阪真空株式会社
製、TC1500)であり、到達真空度は約1×10-6
Torr以下であり、全ての蒸着は2〜3×10-6To
rrの範囲で行った。また全ての蒸着はタングステン製
の抵抗加熱式蒸着ボートに直流電源(菊水電子株式会社
製、PAK10−70A)を接続して行った。
The vacuum evaporation apparatus used was a modified version of a commercially available high vacuum evaporation apparatus (model EBV-6DA, manufactured by Japan Vacuum Engineering Co., Ltd.). The main evacuation device is a turbo molecular pump (TC 1500, manufactured by Osaka Vacuum Co., Ltd.) with an evacuation speed of 1500 l / min, and the ultimate degree of vacuum is about 1 × 10 −6.
Torr or less, and all depositions are 2-3 × 10 −6 To
Performed in the range of rr. All evaporations were performed by connecting a direct current power supply (PAK10-70A, manufactured by Kikusui Electronics Co., Ltd.) to a tungsten resistance heating evaporation boat.

【0071】このようにして真空層中に配置したITO
付きガラス基板上に、正孔輸送層として、N,N’−ビ
ス(4’−ジフェニルアミノ−4−ビフェニリル)−
N,N’−ジフェニルベンジジン(保土ヶ谷化学株式会
社製)と、4−N,N’−ビス(p−メチルフェニル)
アミノ−α−フェニルスチルベンを、それぞれ0.3n
m/sおよび0.01nm/sの蒸着速度で共蒸着して
膜厚約80nmに形成した。4−N,N’−ビス(p−
メチルフェニル)アミノ−α−フェニルスチルベンは、
次のようにして合成した。
The ITO thus arranged in the vacuum layer
N, N'-bis (4'-diphenylamino-4-biphenylyl)-as a hole transport layer on a glass substrate
N, N'-diphenylbenzidine (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) and 4-N, N'-bis (p-methylphenyl)
Amino-α-phenylstilbene,
Co-deposition was performed at a deposition rate of m / s and 0.01 nm / s to form a film with a thickness of about 80 nm. 4-N, N'-bis (p-
Methylphenyl) amino-α-phenylstilbene is
It was synthesized as follows.

【0072】エチルホスフェート80mlを乾燥下で攪
拌下で140〜145℃に維持し、発生したブロモエタ
ンを留去しながら、3時間を要して乾燥トルエンに溶解
させたジフェニルブロモメタンを滴下する。
Diphenylbromomethane dissolved in dry toluene is added dropwise over a period of 3 hours while 80 ml of ethyl phosphate is kept at 140 to 145 ° C. while drying and stirring, and the generated bromoethane is distilled off.

【0073】滴下後さらに3時間を要して液温を180
℃まで昇温しトルエンを留去し、減圧蒸留(窒素雰囲気
1mmHg、140〜165℃)で、88.4gの1,
1−ジフェニルメチルホスホン酸ジエチルを得た。この
ようにして得た1,1−ジフェニルメチルホスホン酸ジ
エチル26.0g、4−N,N’−ジフェニルアミノベ
ンズアルデヒド23.4g、乾燥DMF160mlを乾
燥下攪拌下で液温21〜23℃にて、t−BuOK1
1.4gを1時間を要して加え、さらに21〜23℃で
4時間攪拌を続けた後、氷純水中に攪拌しながら注加
し、十分に水洗を行った後に吸引濾別し、50℃で十分
な真空乾燥を行って、36.7gの収量を得た。
It takes another 3 hours after dropping to raise the liquid temperature to 180.
C., the toluene was distilled off, and 88.4 g of 1,4 was distilled off under reduced pressure (nitrogen atmosphere: 1 mmHg, 140-165 ° C.).
Diethyl 1-diphenylmethylphosphonate was obtained. 26.0 g of diethyl 1,1-diphenylmethylphosphonate, 23.4 g of 4-N, N'-diphenylaminobenzaldehyde and 160 ml of dry DMF thus obtained were dried and stirred at a liquid temperature of 21 to 23 [deg.] C. at t. -BuOK1
After adding 1.4 g over 1 hour, stirring was further continued at 21 to 23 ° C. for 4 hours, then poured into pure ice water with stirring, washed thoroughly with water, and filtered by suction. A sufficient vacuum drying was performed at 50 ° C. to obtain a yield of 36.7 g.

【0074】さらにトルエン/n−ヘキサン=2/1
(vol.ratio)の混合溶媒を展開溶媒としてカ
ラム精製(内径35mm、活性アルミナ(MERCK製
AluminiumOxide90active,ne
utral,active1)17cm、シリカゲル
(MERCK製SilicaGel60,70−230
mesh)17cm)を2回行って、20.0gの4−
N,N’−ビス(p−メチルフェニル)アミノ−α−フ
ェニルスチルベン(mp=91.7℃)を得た。
Further, toluene / n-hexane = 2/1
Column purification (internal diameter 35 mm, activated alumina (Aluminium Oxide90 active, ne manufactured by MERCK) using a mixed solvent of (vol. Ratio) as a developing solvent.
utral, active1) 17 cm, silica gel (Merck Silica Gel 60, 70-230)
mesh) 17 cm) twice to obtain 20.0 g of 4-
N, N′-bis (p-methylphenyl) amino-α-phenylstilbene (mp = 91.7 ° C.) was obtained.

【0075】次に、発光層(電子輸送層)としてトリス
(8−ヒドロキシキノリン)アルミニウム(同仁化学株
式会社製)を0.3nm/sの蒸着速度で膜厚約40n
mに形成した。
Next, tris (8-hydroxyquinoline) aluminum (manufactured by Dojindo Co., Ltd.) was used as a light emitting layer (electron transport layer) at a deposition rate of 0.3 nm / s to a thickness of about 40 n.
m.

【0076】次に、電子注入電極として、AlLi合金
(高純度化学株式会社製、Al/Li重量比99/1)
から低温でLiのみを、約0.1nm/sの蒸着速度で
膜厚約1nmに形成し、続いて、そのAlLi合金をさ
らに昇温しLiが出尽くした状態から、Alのみを、約
1.5nm/sの蒸着速度で膜厚約100nmに形成
し、積層型の電子注入電極とした。
Next, as an electron injection electrode, an AlLi alloy (manufactured by Kojundo Chemical Co., Ltd., Al / Li weight ratio 99/1)
To form only Li at a low temperature at a deposition rate of about 0.1 nm / s to a film thickness of about 1 nm. Then, the AlLi alloy is further heated to remove only Al from the state where Li has been exhausted to about 1. A film was formed to a film thickness of about 100 nm at a deposition rate of 5 nm / s to obtain a laminated electron injection electrode.

【0077】このようにして作成した有機薄膜EL素子
は、蒸着槽内を乾燥窒素でリークした後、乾燥窒素雰囲
気下で、コーニング7059ガラス製の蓋を接着剤(ア
ネルバ株式会社製、商品名スーパーバックシール953
−7000)で貼り付けてサンプルとした。
The organic thin film EL device thus prepared was leaked with dry nitrogen in the vapor deposition tank, and then, under a dry nitrogen atmosphere, a lid made of Corning 7059 glass was used as an adhesive (manufactured by Anelva Co., trade name: Supermarket). Back seal 953
-7000) to make a sample.

【0078】このようにして得た有機薄膜EL素子サン
プルは、次のようにして評価を行った。駆動は直流定電
流電源(アドバンテスト株式会社製、商品名マルチチャ
ンネルカレントボルテージコントローラーTR616
3)によって行い、輝度は輝度計(東京光学機械株式会
社製、商品名トプコンルミネセンスメーターBM−8)
によって測定した。
The organic thin film EL device samples thus obtained were evaluated as follows. The drive is a DC constant current power supply (manufactured by Advantest Corporation, product name: Multi-channel current voltage controller TR616)
The brightness is measured by a luminance meter (manufactured by Tokyo Optical Machine Co., Ltd., trade name: Topcon Luminescence Meter BM-8).
Was measured by

【0079】輝度ムラ、黒点(非発光部)等の発光画像
品質は、50倍の光学顕微鏡により観察した。初期の評
価は素子の蒸着後ガラス蓋を接着してから12時間後に
常温常湿の通常の実験室環境で行い、発光効率(cd/
A)、500cd/m2発光時の駆動電圧、顕微鏡で観
察できる黒点密度(個/mm2 )、平均的な黒点の直径
(μm)を評価した。また初期輝度が500cd/m2
となる電流値で、常温常湿の通常の実験室環境で直流定
電流駆動で連続発光試験を行った。
Emission image quality such as uneven brightness and black spots (non-light-emitting portions) was observed with a 50-fold optical microscope. The initial evaluation was performed in a normal laboratory environment at room temperature and normal humidity 12 hours after the glass lid was adhered after the device was deposited, and the luminous efficiency (cd /
A), the driving voltage at the time of light emission at 500 cd / m 2 , the density of black spots observable with a microscope (pieces / mm 2 ), and the average diameter of the black spots (μm) were evaluated. The initial luminance is 500 cd / m 2
A continuous light emission test was performed in a normal laboratory environment of normal temperature and normal humidity with a constant current drive at a current value of.

【0080】この試験から輝度が半減(250cd/m
2 )に達した時間、および500時間駆動後の黒点密度
(個/mm2 )、平均的な黒点の直径(μm)を評価し
た。またサンプルを高温高湿(60℃90%RH)環境
中に500時間保管して、発光効率(cd/A)、50
0cd/m2発光時の駆動電圧、顕微鏡で観察できる黒
点密度(個/mm2)、平均的な黒点の直径(μm)を
評価した。これらの評価結果を(表1)に示す。
From this test, the luminance was reduced by half (250 cd / m
2 ), the black spot density after driving for 500 hours (particles / mm 2 ), and the average black spot diameter (μm) were evaluated. The sample was stored in a high-temperature and high-humidity (60 ° C. 90% RH) environment for 500 hours to obtain a luminous efficiency (cd / A) of 50%.
The driving voltage at the time of light emission of 0 cd / m 2, the density of black spots observable with a microscope (pieces / mm 2 ), and the average diameter of the black spots (μm) were evaluated. The results of these evaluations are shown in (Table 1).

【0081】[0081]

【表1】 [Table 1]

【0082】本実施例によれば、高い発光効率を有し低
い駆動電圧で自発光で視認性に優れた発光が得られるだ
けでなく、連続発光試験においても輝度低下が小さく、
十分に長い輝度半減寿命が得られ、また黒点(非発光
部)の数が少なく画像品質に優れた発光が得られ、且つ
連側発光時や高温高湿環境での保管時も黒点数の増加や
黒点サイズの拡大が小さく、実質的に極めて長期間にわ
たって安定して使用できる長寿命な有機薄膜EL素子を
実現できた。
According to the present embodiment, not only is it possible to obtain light emission with excellent visibility by self-emission at a low drive voltage with high light emission efficiency, but also a small decrease in luminance in a continuous light emission test,
Sufficiently long half-life of luminance, low number of black spots (non-light-emitting portions), excellent light emission with high image quality, and increased number of black spots during continuous light emission and storage in a high-temperature, high-humidity environment Thus, a long-life organic thin-film EL element that can be used stably for an extremely long period of time with a small increase in black spot size was realized.

【0083】(実施例2)実施例1の正孔輸送層の形成
において、4−N,N’−ビス(p−メチルフェニル)
アミノ−α−フェニルスチルベンの代わりに、1,1−
ビス(p−ジエチルアミノフェニル)−4,4−ジフェ
ニル−1,3−ブタジエン(株式会社アナン製)を用い
た以外は実施例1と同様にして有機薄膜EL素子サンプ
ルを作成し、実施例1と同様に評価を行った。その結果
を(表1)に示す。
Example 2 In the formation of the hole transport layer of Example 1, 4-N, N'-bis (p-methylphenyl)
Instead of amino-α-phenylstilbene, 1,1-
An organic thin film EL element sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that bis (p-diethylaminophenyl) -4,4-diphenyl-1,3-butadiene (manufactured by Annan Co., Ltd.) was used. Evaluation was performed similarly. The results are shown in (Table 1).

【0084】(実施例3)実施例1の正孔輸送層の形成
において、N,N’−ビス(4’−ジフェニルアミノ−
4−ビフェニリル)−N,N’−ジフェニルベンジジン
の代わりに、N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス
(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,
4’−ジアミン(同仁化学株式会社製)を用いた以外は
実施例1と同様にして有機薄膜EL素子サンプルを作成
し、実施例1と同様に評価を行った。その結果を(表
1)に示す。
Example 3 In the formation of the hole transporting layer of Example 1, N, N'-bis (4'-diphenylamino-
Instead of 4-biphenylyl) -N, N'-diphenylbenzidine, N, N'-diphenyl-N, N'-bis (3-methylphenyl) -1,1'-biphenyl-4,
An organic thin film EL element sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that 4′-diamine (manufactured by Dojindo Co., Ltd.) was used, and was evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in (Table 1).

【0085】(実施例4)実施例1の正孔輸送層の形成
において、N,N’−ビス(4’−ジフェニルアミノ−
4−ビフェニリル)−N,N’−ジフェニルベンジジン
の代わりに、N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス
(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,
4’−ジアミン(同仁化学株式会社製)を用い、且つ4
−N,N’−ビス(p−メチルフェニル)アミノ−α−
フェニルスチルベンの代わりに、1,1−ビス(p−ジ
エチルアミノフェニル)−4,4−ジフェニル−1,3
−ブタジエン(株式会社アナン製)を用いた以外は実施
例1と同様にして有機薄膜EL素子サンプルを作成し、
実施例1と同様に評価を行った。
Example 4 In the formation of the hole transport layer of Example 1, N, N'-bis (4'-diphenylamino-
Instead of 4-biphenylyl) -N, N'-diphenylbenzidine, N, N'-diphenyl-N, N'-bis (3-methylphenyl) -1,1'-biphenyl-4,
4'-diamine (manufactured by Dojindo Co., Ltd.)
—N, N′-bis (p-methylphenyl) amino-α-
Instead of phenylstilbene, 1,1-bis (p-diethylaminophenyl) -4,4-diphenyl-1,3
-An organic thin film EL element sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that butadiene (manufactured by Annan Co., Ltd.) was used.
Evaluation was performed in the same manner as in Example 1.

【0086】その結果を(表1)に示す。 (実施例5)実施例1の正孔輸送層の形成において、4
−N,N’−ビス(p−メチルフェニル)アミノ−α−
フェニルスチルベンの代わりに、N,N’−ジフェニル
−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−
ビフェニル−4,4’−ジアミン(同仁化学株式会社
製)を用いた以外は実施例1と同様にして有機薄膜EL
素子サンプルを作成し、実施例1と同様に評価を行っ
た。
The results are shown in (Table 1). (Example 5) In the formation of the hole transport layer of Example 1, 4
—N, N′-bis (p-methylphenyl) amino-α-
Instead of phenylstilbene, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1′-
Organic thin film EL was prepared in the same manner as in Example 1 except that biphenyl-4,4'-diamine (manufactured by Dojindo Co., Ltd.) was used.
An element sample was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1.

【0087】その結果を(表1)に示す。 (実施例6)実施例1の正孔輸送層の形成において、
N,N’−ビス(4’−ジフェニルアミノ−4−ビフェ
ニリル)−N,N’−ジフェニルベンジジンと4−N,
N’−ビス(p−メチルフェニル)アミノ−α−フェニ
ルスチルベンの共蒸着の代わりに、N,N’−ジフェニ
ル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’
−ビフェニル−4,4’−ジアミン(同仁化学株式会社
製)のみを用いて、0.3nm/sの蒸着速度で同様に
正孔輸送層を形成した。
The results are shown in (Table 1). (Example 6) In the formation of the hole transport layer of Example 1,
N, N'-bis (4'-diphenylamino-4-biphenylyl) -N, N'-diphenylbenzidine and 4-N,
Instead of co-evaporation of N′-bis (p-methylphenyl) amino-α-phenylstilbene, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1 ′
A hole transport layer was similarly formed using only -biphenyl-4,4'-diamine (manufactured by Dojindo Corporation) at a deposition rate of 0.3 nm / s.

【0088】また実施例1の電子注入電極の形成におい
て、AlLi合金からLi/Alからなる積層型の電子
注入電極を形成した後に、続いてCr粉末(高純度化学
株式会社製)から、約0.5nm/sの蒸着速度で膜厚
約100nmに形成し、Li/Al/Crの3層構成の
電子注入電極とした。
In the formation of the electron injecting electrode of Example 1, after forming a laminated electron injecting electrode composed of Li / Al from an AlLi alloy, a Cr powder (manufactured by Kojundo Chemical Co., Ltd.) was used. An electron injection electrode having a thickness of about 100 nm was formed at a deposition rate of 0.5 nm / s to form a three-layer structure of Li / Al / Cr.

【0089】このようにして正孔輸送層と電子注入電極
を形成した以外は、実施例1と同様にして有機薄膜EL
素子サンプルを作成し、実施例1と同様に評価を行っ
た。
Except for forming the hole transport layer and the electron injection electrode in the same manner as in Example 1, the organic thin film EL was used.
An element sample was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1.

【0090】その結果を(表1)に示す。 (実施例7)実施例1の正孔輸送層の形成において、
N,N’−ビス(4’−ジフェニルアミノ−4−ビフェ
ニリル)−N,N’−ジフェニルベンジジンと4−N,
N’−ビス(p−メチルフェニル)アミノ−α−フェニ
ルスチルベンの共蒸着の代わりに、N,N’−ジフェニ
ル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’
−ビフェニル−4,4’−ジアミン(同仁化学株式会社
製)のみを用いて、0.3nm/sの蒸着速度で同様に
正孔輸送層を形成した。
The results are shown in (Table 1). (Example 7) In the formation of the hole transport layer of Example 1,
N, N'-bis (4'-diphenylamino-4-biphenylyl) -N, N'-diphenylbenzidine and 4-N,
Instead of co-evaporation of N′-bis (p-methylphenyl) amino-α-phenylstilbene, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1 ′
A hole transport layer was similarly formed using only -biphenyl-4,4'-diamine (manufactured by Dojindo Corporation) at a deposition rate of 0.3 nm / s.

【0091】また実施例1の電子注入電極の形成に続い
て、2フッ化鉛粉末(高純度化学株式会社製)から、約
1nm/sの蒸着速度で膜厚約100nmの2フッ化鉛
層を形成し保護層とした。
Further, following the formation of the electron injection electrode of Example 1, a lead difluoride layer (about 100 nm thick) was formed at a deposition rate of about 1 nm / s from lead difluoride powder (manufactured by Kojundo Chemical Co., Ltd.). Was formed as a protective layer.

【0092】このようにして正孔輸送層を形成し、且つ
電子注入電極上に保護層を形成した以外は、実施例1と
同様にして有機薄膜EL素子サンプルを作成し、実施例
1と同様に評価を行った。
An organic thin film EL device sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that the hole transport layer was formed and the protective layer was formed on the electron injection electrode in the same manner as in Example 1. Was evaluated.

【0093】その結果を(表1)に示す。 (実施例8)実施例1の正孔輸送層の形成において、
N,N’−ビス(4’−ジフェニルアミノ−4−ビフェ
ニリル)−N,N’−ジフェニルベンジジンと4−N,
N’−ビス(p−メチルフェニル)アミノ−α−フェニ
ルスチルベンの共蒸着の代わりに、N,N’−ジフェニ
ル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’
−ビフェニル−4,4’−ジアミン(同仁化学株式会社
製)のみを用いて、0.3nm/sの蒸着速度で同様に
正孔輸送層を形成した。
The results are shown in (Table 1). (Example 8) In the formation of the hole transport layer of Example 1,
N, N'-bis (4'-diphenylamino-4-biphenylyl) -N, N'-diphenylbenzidine and 4-N,
Instead of co-evaporation of N′-bis (p-methylphenyl) amino-α-phenylstilbene, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1 ′
A hole transport layer was similarly formed using only -biphenyl-4,4'-diamine (manufactured by Dojindo Corporation) at a deposition rate of 0.3 nm / s.

【0094】また、実施例1の電子注入電極の形成に続
いて、次のようにして膜厚約3μmのオクタフルオロシ
クロブタンのプラズマ重合膜を形成し保護層とした。
Further, following the formation of the electron injection electrode of Example 1, a plasma polymerized film of octafluorocyclobutane having a film thickness of about 3 μm was formed as a protective layer as follows.

【0095】オクタフルオロシクロブタンのプラズマ重
合膜の形成は、有機薄膜EL素子作成に用いた高真空蒸
着装置とは異なる自作のプラズマCVD装置を用いた。
For the formation of the octafluorocyclobutane plasma polymerized film, a self-made plasma CVD device different from the high vacuum vapor deposition device used for producing the organic thin film EL device was used.

【0096】装置の構成は通常の容量結合型平行平板電
極を有するプラズマCVD装置であり、20mm間隔で
平行に配置した2枚の電極(SUS304製、120m
m×120mm×t=2mm)は一方を高周波電源(日
本真空技術株式会社製、RFS−200)に接続し、他
方は実施例1のようにして電子注入電極まで形成した有
機薄膜EL素子を配置できる構成とし、アースまたは直
流電源に接続出来る構成とした。排気装置はバルブを介
して排気速度650リットル/minのロータリーポン
プ(日本真空技術株式会社製、D−650DK)に接続
し、オクタフルオロシクロブタン(関東電化工業株式会
社製、4Nup)はマスフローコントローラー(エステ
ック株式会社製)を通して真空槽内に導入した。
The configuration of the apparatus is a plasma CVD apparatus having a normal capacitively-coupled parallel plate electrode, and two electrodes (made of SUS304, 120 m in length) arranged in parallel at an interval of 20 mm.
In the case of m × 120 mm × t = 2 mm), one is connected to a high frequency power supply (RFS-200, manufactured by Nippon Vacuum Engineering Co., Ltd.), and the other is an organic thin film EL element formed up to the electron injection electrode as in Example 1. And a configuration that can be connected to ground or a DC power supply. The exhaust device is connected to a rotary pump (D-650DK, manufactured by Nippon Vacuum Engineering Co., Ltd.) having an exhaust speed of 650 liter / min via a valve, and octafluorocyclobutane (4Nup, manufactured by Kanto Denka Kogyo Co., Ltd.) is connected to a mass flow controller (S-Tech). (Manufactured by Co., Ltd.).

【0097】実施例1のようにして電子注入電極まで形
成した有機薄膜EL素子を、上述の有機薄膜EL素子配
置用電極上に同電極をアースに接続した状態で配置し、
0.01Torrまで排気した後、流量100sccm
でオクタフルオロシクロブタンを真空槽内に導入し、圧
力0.4Torrとなるようにバルブで排気速度を調節
した。高周波電力100Wで20分間のプラズマ重合を
行い、実施例1のようにして電子注入電極まで形成した
有機薄膜EL素子上に膜厚約3μmの重合膜を形成し
た。
The organic thin-film EL element formed up to the electron injection electrode as in Example 1 is arranged on the above-mentioned electrode for arranging the organic thin-film EL element with the electrode connected to the ground,
After exhausting to 0.01 Torr, the flow rate was 100 sccm.
Then, octafluorocyclobutane was introduced into the vacuum chamber, and the exhaust speed was adjusted with a valve so that the pressure became 0.4 Torr. Plasma polymerization was performed at a high frequency power of 100 W for 20 minutes, and a polymer film having a thickness of about 3 μm was formed on the organic thin film EL element formed up to the electron injection electrode as in Example 1.

【0098】このようにして正孔輸送層を形成し、且つ
電子注入電極上にオクタフルオロシクロブタンのプラズ
マ重合膜を形成した以外は、実施例1と同様にして有機
薄膜EL素子サンプルを作成し、実施例1と同様に評価
を行った。
An organic thin film EL device sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that the hole transport layer was formed in this manner, and the plasma polymerized film of octafluorocyclobutane was formed on the electron injection electrode. Evaluation was performed in the same manner as in Example 1.

【0099】その結果を(表1)に示す。 (実施例9)実施例1の正孔輸送層の形成において、
N,N’−ビス(4’−ジフェニルアミノ−4−ビフェ
ニリル)−N,N’−ジフェニルベンジジンと4−N,
N’−ビス(p−メチルフェニル)アミノ−α−フェニ
ルスチルベンの共蒸着の代わりに、N,N’−ジフェニ
ル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’
−ビフェニル−4,4’−ジアミン(同仁化学株式会社
製)のみを用いて、0.3nm/sの蒸着速度で同様に
正孔輸送層を形成した。
The results are shown in (Table 1). (Example 9) In the formation of the hole transport layer of Example 1,
N, N'-bis (4'-diphenylamino-4-biphenylyl) -N, N'-diphenylbenzidine and 4-N,
Instead of co-evaporation of N′-bis (p-methylphenyl) amino-α-phenylstilbene, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1 ′
A hole transport layer was similarly formed using only -biphenyl-4,4'-diamine (manufactured by Dojindo Corporation) at a deposition rate of 0.3 nm / s.

【0100】また実施例1の電子注入電極の形成に続い
て、実施例8と同様にして膜厚約3μmのオクタフルオ
ロシクロブタンのプラズマ重合膜を形成した。
Following the formation of the electron injection electrode of Example 1, a plasma polymerized film of octafluorocyclobutane having a thickness of about 3 μm was formed in the same manner as in Example 8.

【0101】またこのオクタフルオロシクロブタンのプ
ラズマ重合膜形成に続いて、同じプラズマCVD装置を
用いて、膜厚200nmのダイヤモンド状薄膜を次のよ
うに形成した。
Following the formation of this octafluorocyclobutane plasma polymerized film, a 200 nm-thick diamond-like thin film was formed as follows using the same plasma CVD apparatus.

【0102】ダイヤモンド状薄膜の形成は、オクタフル
オロシクロブタンのプラズマ重合膜の形成に続いて次の
ように行った。オクタフルオロシクロブタンの供給を停
止し、真空槽内を0.01Torrまで排気した後、流
量100sccmでメタン(大阪酸素株式会社製、4N
up)を真空槽内に導入し、圧力0.4Torrとなる
ようにバルブで排気速度を調節した。基板配置電極には
−300Vの直流電源をLC回路を介して接続し、高周
波電力200Wで40分間の成膜を行い、膜厚約3μm
のオクタフルオロシクロブタンのプラズマ重合膜上に、
さらに膜厚約200nmのダイヤモンド状薄膜を形成し
た。
The formation of the diamond-like thin film was performed as follows following the formation of the plasma polymerized film of octafluorocyclobutane. After stopping the supply of octafluorocyclobutane and evacuating the inside of the vacuum chamber to 0.01 Torr, methane (manufactured by Osaka Oxygen Co., Ltd., 4N
up) was introduced into the vacuum chamber, and the pumping speed was adjusted with a valve so that the pressure became 0.4 Torr. A DC power supply of -300 V is connected to the substrate arrangement electrode via an LC circuit, and a film is formed at a high frequency power of 200 W for 40 minutes, and the film thickness is about 3 μm.
On the octafluorocyclobutane plasma polymerized film,
Further, a diamond-like thin film having a thickness of about 200 nm was formed.

【0103】このようにして正孔輸送層を形成し、且つ
電子注入電極上にオクタフルオロシクロブタンのプラズ
マ重合膜を形成し、且つその上にダイヤモンド状薄膜を
形成した以外は、実施例1と同様にして有機薄膜EL素
子サンプルを作成し、実施例1と同様に評価を行った。
The same procedure as in Example 1 was carried out except that the hole transport layer was formed in this manner, the octafluorocyclobutane plasma polymerized film was formed on the electron injection electrode, and the diamond-like thin film was formed thereon. Then, an organic thin film EL element sample was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1.

【0104】その結果を(表1)に示す。 (実施例10)実施例1の正孔輸送層の形成において、
N,N’−ビス(4’−ジフェニルアミノ−4−ビフェ
ニリル)−N,N’−ジフェニルベンジジンと4−N,
N’−ビス(p−メチルフェニル)アミノ−α−フェニ
ルスチルベンの共蒸着の代わりに、N,N’−ジフェニ
ル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’
−ビフェニル−4,4’−ジアミン(同仁化学株式会社
製)のみを用いて、0.3nm/sの蒸着速度で同様に
正孔輸送層を形成した。
The results are shown in (Table 1). Example 10 In the formation of the hole transport layer of Example 1,
N, N'-bis (4'-diphenylamino-4-biphenylyl) -N, N'-diphenylbenzidine and 4-N,
Instead of co-evaporation of N′-bis (p-methylphenyl) amino-α-phenylstilbene, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1 ′
A hole transport layer was similarly formed using only -biphenyl-4,4'-diamine (manufactured by Dojindo Corporation) at a deposition rate of 0.3 nm / s.

【0105】また実施例1の電子注入電極の形成におい
て、トリス(8−ヒドロキシキノリン)アルミニウム蒸
着膜上に、アルミニウムを約0.1nm/sの蒸着速度
で膜厚約5nmに形成した。ここで言う膜厚は水晶振動
式膜厚計(日本真空技術株式会社製、CRTM−100
0)の表示上の数値であり、実際には膜になる以前の島
状の状態である事が確認されている。この島状のアルミ
ニウム形成に続いて、実施例1と同様にAlLi合金か
らLi/Alからなる積層型の電子注入電極を形成し
た。
In forming the electron injection electrode of Example 1, aluminum was formed on the tris (8-hydroxyquinoline) aluminum deposited film at a deposition rate of about 0.1 nm / s to a thickness of about 5 nm. The film thickness referred to here is a crystal vibration type film thickness meter (CRTM-100 manufactured by Japan Vacuum Engineering Co., Ltd.)
This is a numerical value on the display of 0), and it has been confirmed that it is actually an island-like state before becoming a film. Subsequent to the formation of the island-shaped aluminum, a laminated electron injection electrode composed of Li / Al was formed from an AlLi alloy in the same manner as in Example 1.

【0106】このようにして正孔輸送層と電子注入電極
を形成した以外は、実施例1と同様にして有機薄膜EL
素子サンプルを作成し、実施例1と同様に評価を行っ
た。
An organic thin film EL was produced in the same manner as in Example 1 except that the hole transport layer and the electron injection electrode were formed in this manner.
An element sample was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1.

【0107】その結果を(表1)に示す。 (比較例1)実施例1の正孔輸送層の形成において、
N,N’−ビス(4’−ジフェニルアミノ−4−ビフェ
ニリル)−N,N’−ジフェニルベンジジンと4−N,
N’−ビス(p−メチルフェニル)アミノ−α−フェニ
ルスチルベンの共蒸着の代わりに、N,N’−ビス
(4’−ジフェニルアミノ−4−ビフェニリル)−N,
N’−ジフェニルベンジジンのみを用いて、0.3nm
/sの蒸着速度で同様に正孔輸送層を形成した以外は実
施例1と同様にして有機薄膜EL素子サンプルを作成
し、実施例1と同様に評価を行った。
The results are shown in (Table 1). (Comparative Example 1) In the formation of the hole transport layer of Example 1,
N, N'-bis (4'-diphenylamino-4-biphenylyl) -N, N'-diphenylbenzidine and 4-N,
Instead of co-evaporation of N′-bis (p-methylphenyl) amino-α-phenylstilbene, N, N′-bis (4′-diphenylamino-4-biphenylyl) -N,
Using only N′-diphenylbenzidine, 0.3 nm
An organic thin film EL device sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that the hole transport layer was similarly formed at a deposition rate of / s, and the evaluation was performed in the same manner as in Example 1.

【0108】その結果を(表1)に示す。 (比較例2)実施例1の正孔輸送層の形成において、
N,N’−ビス(4’−ジフェニルアミノ−4−ビフェ
ニリル)−N,N’−ジフェニルベンジジンと4−N,
N’−ビス(p−メチルフェニル)アミノ−α−フェニ
ルスチルベンの共蒸着の代わりに、N,N’−ジフェニ
ル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’
−ビフェニル−4,4’−ジアミン(同仁化学株式会社
製)のみを用いて、0.3nm/sの蒸着速度で同様に
正孔輸送層を形成した以外は実施例1と同様にして有機
薄膜EL素子サンプルを作成し、実施例1と同様に評価
を行った。
The results are shown in (Table 1). (Comparative Example 2) In the formation of the hole transport layer of Example 1,
N, N'-bis (4'-diphenylamino-4-biphenylyl) -N, N'-diphenylbenzidine and 4-N,
Instead of co-evaporation of N′-bis (p-methylphenyl) amino-α-phenylstilbene, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1 ′
Organic thin film in the same manner as in Example 1 except that a hole transport layer was similarly formed at a deposition rate of 0.3 nm / s using only -biphenyl-4,4'-diamine (manufactured by Dojindo Corporation). An EL element sample was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1.

【0109】その結果を(表1)に示す。 (比較例3)実施例1の正孔輸送層の形成において、
N,N’−ビス(4’−ジフェニルアミノ−4−ビフェ
ニリル)−N,N’−ジフェニルベンジジンと4−N,
N’−ビス(p−メチルフェニル)アミノ−α−フェニ
ルスチルベンの共蒸着の代わりに、N,N’−ジフェニ
ル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’
−ビフェニル−4,4’−ジアミン(同仁化学株式会社
製)とルブレン(東京化成工業株式会社製)を、それぞ
れ0.3nm/sおよび0.015nm/sの蒸着速度
で共蒸着して膜厚約80nmに形成した以外は実施例1
と同様にして有機薄膜EL素子サンプルを作成し、実施
例1と同様に評価を行った。
The results are shown in (Table 1). (Comparative Example 3) In the formation of the hole transport layer of Example 1,
N, N'-bis (4'-diphenylamino-4-biphenylyl) -N, N'-diphenylbenzidine and 4-N,
Instead of co-evaporation of N′-bis (p-methylphenyl) amino-α-phenylstilbene, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1 ′
-Biphenyl-4,4'-diamine (manufactured by Dojin Chemical Co., Ltd.) and rubrene (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) were co-evaporated at a deposition rate of 0.3 nm / s and 0.015 nm / s, respectively, to form a film. Example 1 except that the thickness was about 80 nm.
An organic thin film EL element sample was prepared in the same manner as in Example 1 and evaluated in the same manner as in Example 1.

【0110】その結果を(表1)に示す。The results are shown in (Table 1).

【0111】[0111]

【発明の効果】以上のように本発明は、正孔輸送層が少
なくとも2種類以上の正孔輸送材料からなり、且つ非対
称な分子構造を有する正孔輸送材料を含有することによ
って、または、正孔輸送層が少なくとも2種類以上の正
孔輸送材料からなり、少なくとも主たる正孔輸送材料と
その分子量の2/3以下の分子量の正孔輸送材料とを含
有することによって、または、電子注入電極が、主とし
てアルミニウムで構成された層と主としてクロムで構成
された層の積層構造を有することによって、または電子
注入電極上に保護層として2フッ化鉛層を有することに
よって、または電子注入電極上にオクタフルオロシクロ
ブタンのプラズマ重合膜を1μm以上の膜厚で有するこ
とによって、または電子注入電極上にオクタフルオロシ
クロブタンのプラズマ重合膜と、該プラズマ重合膜上に
形成した保護層とを有することによって、または有機薄
膜上にアルミニウムを島状に形成した後に、電子注入電
極を形成した構成とすることによって、高い発光効率を
有し低い駆動電圧で自発光で視認性に優れた発光が得ら
れるだけでなく、連続発光試験においても輝度低下が小
さく、十分に長い輝度半減寿命が得られ、また黒点(非
発光部)の数が少なく画像品質に優れた発光が得られ、
且つ連続発光時や高温高湿環境での保管時も黒点数の増
加や黒点サイズの拡大が小さく、実質的に極めて長期間
にわたって安定して使用できる長寿命な有機薄膜EL素
子を提供することを可能とするものである。
As described above, according to the present invention, the hole transport layer is composed of at least two types of hole transport materials and contains a hole transport material having an asymmetric molecular structure. The hole transporting layer is composed of at least two or more kinds of hole transporting materials, and contains at least a main hole transporting material and a hole transporting material having a molecular weight of 2/3 or less of its molecular weight, or Having a layered structure of a layer mainly composed of aluminum and a layer mainly composed of chromium, or having a lead difluoride layer as a protective layer on the electron injection electrode, or an octa layer on the electron injection electrode. By having a plasma polymerized film of fluorocyclobutane with a thickness of 1 μm or more, or High luminous efficiency by having a polymerized film and a protective layer formed on the plasma polymerized film, or by forming an electron injection electrode after forming aluminum in an island shape on an organic thin film. In addition to the self-emission at low driving voltage, excellent light emission with excellent visibility can be obtained, and even in a continuous light emission test, the luminance decrease is small, a sufficiently long luminance half life can be obtained, and the black point (non-light emitting part) Light emission with excellent image quality is obtained.
Further, it is an object of the present invention to provide a long-life organic thin-film EL element which has a small increase in the number of black spots and a small increase in the size of black spots even during continuous light emission or storage in a high-temperature and high-humidity environment, and can be used stably for an extremely long period of time. It is possible.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 杉浦 久則 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 川瀬 透 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 村上 嘉信 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hisanori Sugiura 1006 Kazuma Kadoma, Osaka Prefecture Inside Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 72) Inventor Yoshinobu Murakami 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

Claims (30)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】透明基板上に電子注入電極と正孔注入電極
と、少なくとも前記電子注入電極と正孔注入電極との間
に設けられた正孔輸送層とを有する有機薄膜EL素子で
あって、前記正孔輸送層が少なくとも2種類以上の正孔
輸送材料からなり、且つ非対称な分子構造を有する正孔
輸送材料を含有することを特徴とする有機薄膜EL素
子。
An organic thin-film EL device comprising an electron injection electrode, a hole injection electrode, and a hole transport layer provided at least between the electron injection electrode and the hole injection electrode on a transparent substrate. An organic thin-film EL device, wherein the hole transport layer is made of at least two types of hole transport materials and contains a hole transport material having an asymmetric molecular structure.
【請求項2】前記正孔輸送層が、主として下記一般式 【化1】 (式中R1、R2、R3、R4、R5は同一でも異なっ
ていてもよく、R1、R2、R3は水素原子、低級アル
キル基、低級アルコキシ基を表し、R4、R5は水素原
子、低級アルキル基、低級アルコキシ基、または塩素原
子を表す)で表される正孔輸送材料によって構成される
ことを特徴とする請求項1記載の有機薄膜EL素子。
2. The method according to claim 1, wherein the hole transporting layer has the following general formula: (Wherein R1, R2, R3, R4, and R5 may be the same or different; R1, R2, and R3 represent a hydrogen atom, a lower alkyl group, or a lower alkoxy group; R4 and R5 represent a hydrogen atom or a lower alkyl group; , A lower alkoxy group, or a chlorine atom).
【請求項3】前記正孔輸送層が、主としてN,N’−ビ
ス(4’−ジフェニルアミノ−4−ビフェニリル)−
N,N’−ジフェニルベンジジンによって構成されるこ
とを特徴とする請求項1記載の有機薄膜EL素子。
3. The method according to claim 1, wherein said hole transport layer is mainly composed of N, N'-bis (4'-diphenylamino-4-biphenylyl)-.
2. The organic thin film EL device according to claim 1, wherein the organic thin film EL device is made of N, N'-diphenylbenzidine.
【請求項4】前記正孔輸送層中における前記非対称な分
子構造を有する正孔輸送材料の含有量が重量比で30%
以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに
記載の有機薄膜EL素子。
4. The content of the hole transporting material having an asymmetric molecular structure in the hole transporting layer is 30% by weight.
The organic thin film EL device according to claim 1, wherein:
【請求項5】透明基板上に電子注入電極と正孔注入電極
と、少なくとも前記電子注入電極と正孔注入電極との間
に設けられた正孔輸送層とを有する有機薄膜EL素子で
あって、前記正孔輸送層が少なくとも2種類以上の正孔
輸送材料からなり、少なくとも主たる正孔輸送材料とそ
の分子量の2/3以下の分子量の正孔輸送材料とを含有
することを特徴とする有機薄膜EL素子。
5. An organic thin-film EL device having an electron injection electrode, a hole injection electrode, and at least a hole transport layer provided between the electron injection electrode and the hole injection electrode on a transparent substrate. Wherein the hole transport layer is made of at least two types of hole transport materials, and contains at least a main hole transport material and a hole transport material having a molecular weight of 2/3 or less of its molecular weight. Thin film EL element.
【請求項6】前記正孔輸送層の主たる正孔輸送材料が、
一般式(化1)(式中R1、R2、R3、R4、R5は
同一でも異なっていてもよく、R1、R2、R3は水素
原子、低級アルキル基、低級アルコキシ基を表し、R
4、R5は水素原子、低級アルキル基、低級アルコキシ
基、または塩素原子を表す)で表される正孔輸送材料で
あることを特徴とする請求項5記載の有機薄膜EL素
子。
6. A main hole transport material of the hole transport layer,
Wherein R1, R2, R3, R4, and R5 may be the same or different, and R1, R2, and R3 represent a hydrogen atom, a lower alkyl group, or a lower alkoxy group;
4. The organic thin film EL device according to claim 5, wherein R5 is a hole transporting material represented by a hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, or a chlorine atom.
【請求項7】前記正孔輸送層が主としてN,N’−ビス
(4’−ジフェニルアミノ−4−ビフェニリル)−N,
N’−ジフェニルベンジジンによって構成されることを
特徴とする請求項5記載の有機薄膜EL素子。
7. The method according to claim 7, wherein the hole transport layer is mainly composed of N, N'-bis (4'-diphenylamino-4-biphenylyl) -N,
The organic thin-film EL device according to claim 5, wherein the organic thin-film EL device is constituted by N'-diphenylbenzidine.
【請求項8】前記正孔輸送層中における、前記の主たる
正孔輸送材料の分子量の2/3以下の分子量の正孔輸送
材料の含有量が、重量比で30%以下であることを特徴
とする請求項5〜7のいずれかに記載の有機薄膜EL素
子。
8. The content of the hole transport material having a molecular weight of not more than 2/3 of the molecular weight of the main hole transport material in the hole transport layer is not more than 30% by weight. The organic thin-film EL device according to any one of claims 5 to 7, wherein
【請求項9】透明基板上に電子注入電極と正孔注入電極
と、少なくとも前記電子注入電極と正孔注入電極との間
に設けられた正孔輸送層とを有する有機薄膜EL素子で
あって、前記正孔輸送層が、少なくとも一般式(化1)
(式中R1、R2、R3、R4、R5は同一でも異なっ
ていてもよく、R1、R2、R3は水素原子、低級アル
キル基、低級アルコキシ基を表し、R4、R5は水素原
子、低級アルキル基、低級アルコキシ基、または塩素原
子を表す)で表されるホスト化合物と、下記一般式 【化2】 (式中R1、R2、R3、R4は同一でも異なっていて
もよく、水素原子、低級アルキル基、または低級アルコ
キシ基を表す)で表されるゲスト化合物とを含有する事
を特徴とする有機薄膜EL素子。
9. An organic thin-film EL device comprising an electron injection electrode, a hole injection electrode, and a hole transport layer provided at least between the electron injection electrode and the hole injection electrode on a transparent substrate. Wherein the hole transport layer has at least a general formula (Formula 1)
(Wherein R1, R2, R3, R4, and R5 may be the same or different; R1, R2, and R3 represent a hydrogen atom, a lower alkyl group, or a lower alkoxy group; R4 and R5 represent a hydrogen atom or a lower alkyl group; , A lower alkoxy group or a chlorine atom) and a host compound represented by the following general formula: (Wherein R1, R2, R3, and R4 may be the same or different and each represent a hydrogen atom, a lower alkyl group, or a lower alkoxy group). EL element.
【請求項10】前記ホスト化合物がN,N’−ビス
(4’−ジフェニルアミノ−4−ビフェニリル)−N,
N’−ジフェニルベンジジン、前記ゲスト化合物が4−
N,N’−ビス(p−メチルフェニル)アミノ−α−フ
ェニルスチルベンであることを特徴とする請求項9記載
の有機薄膜EL素子。
10. The method according to claim 10, wherein the host compound is N, N'-bis (4'-diphenylamino-4-biphenylyl) -N,
N′-diphenylbenzidine, wherein the guest compound is 4-
The organic thin film EL device according to claim 9, wherein the organic thin film EL device is N, N'-bis (p-methylphenyl) amino-α-phenylstilbene.
【請求項11】前記正孔輸送層中に占める前記ホスト化
合物の割合が重量比で70%以上であり、且つ前記ゲス
ト化合物の割合が重量比で30%以下であることを特徴
とする請求項9または10記載の有機薄膜EL素子。
11. The weight ratio of the host compound in the hole transporting layer is 70% or more, and the weight ratio of the guest compound is 30% or less in the hole transport layer. 11. The organic thin film EL device according to 9 or 10.
【請求項12】透明基板上に電子注入電極と正孔注入電
極と、少なくとも前記電子注入電極と正孔注入電極との
間に設けられた正孔輸送層とを有する有機薄膜EL素子
であって、前記正孔輸送層が、少なくとも一般式(化
1)(式中R1、R2、R3、R4、R5は同一でも異
なっていてもよく、R1、R2、R3は水素原子、低級
アルキル基、低級アルコキシ基を表し、R4、R5は水
素原子、低級アルキル基、低級アルコキシ基、または塩
素原子を表す)で表されるホスト化合物と、下記一般式 【化3】 (式中R1、R2、R3、R4は同一でも異なっていて
もよく、水素原子、塩素原子、メチル基、メトキシ基、
ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ジフェニルアミ
ノ基、またはジベンジルアミノ基を表す)で表されるゲ
スト化合物とを含有する事を特徴とする有機薄膜EL素
子。
12. An organic thin-film EL device having an electron injection electrode and a hole injection electrode on a transparent substrate and at least a hole transport layer provided between the electron injection electrode and the hole injection electrode. Wherein the hole transport layer has at least the general formula (Chemical Formula 1) (wherein R1, R2, R3, R4, and R5 may be the same or different, and R1, R2, and R3 are a hydrogen atom, a lower alkyl group, An alkoxy group, and R4 and R5 each represent a hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, or a chlorine atom), and a host compound represented by the following general formula: (Wherein R1, R2, R3, and R4 may be the same or different and include a hydrogen atom, a chlorine atom, a methyl group, a methoxy group,
A dimethylamino group, a diethylamino group, a diphenylamino group, or a dibenzylamino group).
【請求項13】前記ホスト化合物がN,N’−ビス
(4’−ジフェニルアミノ−4−ビフェニリル)−N,
N’−ジフェニルベンジジン、前記ゲスト化合物が1,
1−ビス(p−ジエチルアミノフェニル)−4,4−ジ
フェニル−1,3−ブタジエンであることを特徴とする
請求項12記載の有機薄膜EL素子。
13. The method according to claim 13, wherein the host compound is N, N'-bis (4'-diphenylamino-4-biphenylyl) -N,
N′-diphenylbenzidine, wherein the guest compound is 1,
13. The organic thin-film EL device according to claim 12, wherein the organic thin-film EL device is 1-bis (p-diethylaminophenyl) -4,4-diphenyl-1,3-butadiene.
【請求項14】前記正孔輸送層中に占める前記ホスト化
合物の割合が重量比で70%以上であり、且つ前記ゲス
ト化合物の割合が重量比で30%以下であることを特徴
とする請求項12または13記載の有機薄膜EL素子。
14. The weight ratio of the host compound in the hole transport layer is 70% or more, and the weight ratio of the guest compound is 30% or less in the hole transport layer. 14. The organic thin film EL device according to 12 or 13.
【請求項15】透明基板上に電子注入電極と正孔注入電
極と、少なくとも前記電子注入電極と正孔注入電極との
間に設けられた正孔輸送層とを有する有機薄膜EL素子
であって、前記正孔輸送層が少なくとも下記一般式 【化4】 (式中R1、R2は同一でも異なっていてもよく、水素
原子、低級アルキル基、低級アルコキシ基、置換または
無置換のアリール基を表し、R3は水素原子、低級アル
キル基、低級アルコキシ基、または塩素原子を表す)で
表されるホスト化合物と、一般式(化2)(式中R1、
R2、R3、R4は同一でも異なっていてもよく、水素
原子、低級アルキル基、または低級アルコキシ基を表
す)で表されるゲスト化合物とを含有する事を特徴とす
る有機薄膜EL素子。
15. An organic thin-film EL device having an electron injection electrode and a hole injection electrode on a transparent substrate and at least a hole transport layer provided between the electron injection electrode and the hole injection electrode. Wherein the hole transport layer has at least the following general formula: (Wherein R 1 and R 2 may be the same or different and represent a hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, a substituted or unsubstituted aryl group, and R 3 represents a hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, or A host compound represented by the general formula (Chemical Formula 2)
R2, R3, and R4 may be the same or different and each represent a hydrogen atom, a lower alkyl group, or a lower alkoxy group).
【請求項16】前記ホスト化合物がN,N’−ジフェニ
ル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’
−ビフェニル−4,4’−ジアミン、前記ゲスト化合物
が4−N,N’−ビス(p−メチルフェニル)アミノ−
α−フェニルスチルベンであることを特徴とする請求項
15記載の有機薄膜EL素子。
16. The method according to claim 16, wherein the host compound is N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1 ′.
-Biphenyl-4,4'-diamine, wherein the guest compound is 4-N, N'-bis (p-methylphenyl) amino-
The organic thin-film EL device according to claim 15, wherein the organic thin-film EL device is α-phenylstilbene.
【請求項17】前記正孔輸送層中に占める前記ホスト化
合物の割合が重量比で70%以上であり、且つ前記ゲス
ト化合物の割合が重量比で30%以下であることを特徴
とする、請求項15または16記載の有機薄膜EL素
子。
17. The method according to claim 17, wherein the proportion of the host compound in the hole transport layer is at least 70% by weight, and the proportion of the guest compound is at most 30% by weight. Item 17. The organic thin film EL device according to Item 15 or 16.
【請求項18】透明基板上に電子注入電極と正孔注入電
極と、少なくとも前記電子注入電極と正孔注入電極との
間に設けられた正孔輸送層とを有する有機薄膜EL素子
であって、前記正孔輸送層が、少なくとも一般式(化
4)(式中R1、R2は同一でも異なっていてもよく、
水素原子、低級アルキル基、低級アルコキシ基、置換ま
たは無置換のアリール基を表し、R3は水素原子、低級
アルキル基、低級アルコキシ基、または塩素原子を表
す)で表されるホスト化合物と、一般式(化3)(式中
R1、R2、R3、R4は同一でも異なっていてもよ
く、水素原子、塩素原子、メチル基、メトキシ基、ジメ
チルアミノ基、ジエチルアミノ基、ジフェニルアミノ
基、またはジベンジルアミノ基を表す)で表されるゲス
ト化合物とを含有することを特徴とする有機薄膜EL素
子。
18. An organic thin-film EL device comprising an electron injection electrode, a hole injection electrode, and a hole transport layer provided at least between the electron injection electrode and the hole injection electrode on a transparent substrate. Wherein the hole transport layer has at least a general formula (Chemical Formula 4) (wherein R 1 and R 2 may be the same or different;
A host compound represented by a hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, a substituted or unsubstituted aryl group, and R 3 represents a hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, or a chlorine atom); (Wherein R1, R2, R3, and R4 may be the same or different and include a hydrogen atom, a chlorine atom, a methyl group, a methoxy group, a dimethylamino group, a diethylamino group, a diphenylamino group, or a dibenzylamino And a guest compound represented by the following formula:
【請求項19】前記ホスト化合物がN,N’−ジフェニ
ル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’
−ビフェニル−4,4’−ジアミン、前記ゲスト化合物
が1,1−ビス(p−ジエチルアミノフェニル)−4,
4−ジフェニル−1,3−ブタジエンであることを特徴
とする請求項18に記載の有機薄膜EL素子。
19. The method according to claim 19, wherein the host compound is N, N'-diphenyl-N, N'-bis (3-methylphenyl) -1,1 '.
-Biphenyl-4,4'-diamine, wherein the guest compound is 1,1-bis (p-diethylaminophenyl) -4,
19. The organic thin-film EL device according to claim 18, wherein the organic thin-film EL device is 4-diphenyl-1,3-butadiene.
【請求項20】前記正孔輸送層中に占める前記ホスト化
合物の割合が重量比で70%以上であり、且つ前記ゲス
ト化合物の割合が重量比で30%以下であることを特徴
とする、請求項18または19記載の有機薄膜EL素
子。
20. The method according to claim 20, wherein the proportion of the host compound in the hole transport layer is at least 70% by weight, and the proportion of the guest compound is at most 30% by weight. Item 20. The organic thin-film EL device according to item 18 or 19.
【請求項21】透明基板上に電子注入電極と正孔注入電
極と、少なくとも前記電子注入電極と正孔注入電極との
間に設けられた正孔輸送層とを有する有機薄膜EL素子
であって、前記正孔輸送層が、少なくとも一般式(化
1)(式中R1、R2、R3、R4、R5は同一でも異
なっていてもよく、R1、R2、R3は水素原子、低級
アルキル基、低級アルコキシ基を表し、R4、R5は水
素原子、低級アルキル基、低級アルコキシ基、または塩
素原子を表す)で表されるホスト化合物と、一般式(化
4)(式中R1、R2は同一でも異なっていてもよく、
水素原子、低級アルキル基、低級アルコキシ基、置換ま
たは無置換のアリール基を表し、R3は水素原子、低級
アルキル基、低級アルコキシ基、または塩素原子を表
す)で表されるゲスト化合物とを含有する事を特徴とす
る有機薄膜EL素子。
21. An organic thin-film EL device having an electron injection electrode, a hole injection electrode, and a hole transport layer provided at least between the electron injection electrode and the hole injection electrode on a transparent substrate. Wherein the hole transport layer has at least the general formula (Chemical Formula 1) (wherein R1, R2, R3, R4, and R5 may be the same or different, and R1, R2, and R3 are a hydrogen atom, a lower alkyl group, Represents an alkoxy group, and R4 and R5 represent a hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, or a chlorine atom, and a host compound represented by the general formula (Formula 4) (wherein R1 and R2 are the same or different. May be
A hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, a substituted or unsubstituted aryl group, and R3 represents a hydrogen atom, a lower alkyl group, a lower alkoxy group, or a chlorine atom). An organic thin-film EL device characterized by the following.
【請求項22】前記ホスト化合物がN,N’−ビス
(4’−ジフェニルアミノ−4−ビフェニリル)−N,
N’−ジフェニルベンジジン、前記ゲスト化合物がN,
N’−ジフェニル−N,N’−ビス(3−メチルフェニ
ル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミンであ
ることを特徴とする請求項21記載の有機薄膜EL素
子。
22. The method according to claim 20, wherein the host compound is N, N′-bis (4′-diphenylamino-4-biphenylyl) -N,
N′-diphenylbenzidine, wherein the guest compound is N,
22. The organic thin-film EL device according to claim 21, wherein the organic thin-film EL device is N'-diphenyl-N, N'-bis (3-methylphenyl) -1,1'-biphenyl-4,4'-diamine.
【請求項23】前記正孔輸送層中に占める前記ホスト化
合物の割合が重量比で70%以上であり、且つ前記ゲス
ト化合物の割合が重量比で30%以下であることを特徴
とする請求項21または22記載の有機薄膜EL素子。
23. The weight ratio of the host compound in the hole transport layer is 70% or more, and the weight ratio of the guest compound is 30% or less in the hole transport layer. 23. The organic thin film EL device according to 21 or 22.
【請求項24】透明基板上に少なくとも正孔注入電極
と、有機薄膜層と、電子注入電極を積層してなる有機薄
膜EL素子であって、前記電子注入電極が、主としてア
ルミニウムで構成された層と主としてクロムで構成され
た層の積層構造を有することを特徴とする有機薄膜EL
素子。
24. An organic thin-film EL device comprising a transparent substrate on which at least a hole injection electrode, an organic thin-film layer, and an electron injection electrode are laminated, wherein the electron injection electrode is a layer mainly composed of aluminum. And an organic thin film EL having a laminated structure of layers mainly composed of chromium
element.
【請求項25】透明基板上に少なくとも正孔注入電極
と、有機薄膜層と、電子注入電極を積層してなる有機薄
膜EL素子であって、前記電子注入電極上に2フッ化鉛
層を有することを特徴とする有機薄膜EL素子。
25. An organic thin-film EL device comprising a transparent substrate on which at least a hole injection electrode, an organic thin-film layer, and an electron injection electrode are laminated, wherein a lead difluoride layer is provided on the electron injection electrode. An organic thin-film EL device characterized by the above-mentioned.
【請求項26】透明基板上に少なくとも正孔注入電極
と、有機薄膜層と、電子注入電極を積層してなる有機薄
膜EL素子であって、前記電子注入電極上にオクタフル
オロシクロブタンのプラズマ重合膜を1μm以上の膜厚
で有することを特徴とする有機薄膜EL素子。
26. An organic thin film EL device comprising a transparent substrate and at least a hole injection electrode, an organic thin film layer, and an electron injection electrode laminated thereon, wherein a plasma polymerized film of octafluorocyclobutane is formed on the electron injection electrode. Having a thickness of 1 μm or more.
【請求項27】透明基板上に少なくとも正孔注入電極
と、有機薄膜層と、電子注入電極を積層してなる有機薄
膜EL素子であって、前記電子注入電極上にオクタフル
オロシクロブタンのプラズマ重合膜と、該プラズマ重合
膜上に形成した保護層とを有することを特徴とする有機
薄膜EL素子。
27. An organic thin film EL device comprising a transparent substrate and at least a hole injection electrode, an organic thin film layer, and an electron injection electrode laminated thereon, wherein a plasma polymerized film of octafluorocyclobutane is formed on the electron injection electrode. And a protective layer formed on the plasma polymerized film.
【請求項28】透明基板上に少なくとも正孔注入電極
と、有機薄膜層と、電子注入電極を積層してなる有機薄
膜EL素子の製造方法であって、前記電子注入電極上に
オクタフルオロシクロブタンのプラズマ重合膜を形成す
る工程と、該プラズマ重合膜上に保護層を形成する工程
とを有することを特徴とする有機薄膜EL素子の製造方
法。
28. A method of manufacturing an organic thin-film EL device comprising a transparent substrate and at least a hole injection electrode, an organic thin-film layer, and an electron injection electrode laminated on each other, wherein octafluorocyclobutane is formed on the electron injection electrode. A method for manufacturing an organic thin film EL device, comprising: forming a plasma polymerized film; and forming a protective layer on the plasma polymerized film.
【請求項29】透明基板上に少なくとも正孔注入電極
と、有機薄膜層と、電子注入電極を積層してなる有機薄
膜EL素子であって、前記有機薄膜上にアルミニウムを
島状に形成した後に、前記電子注入電極を形成した構成
を特徴とする有機薄膜EL素子。
29. An organic thin film EL device comprising a transparent substrate and at least a hole injecting electrode, an organic thin film layer, and an electron injecting electrode laminated thereon, after forming aluminum in an island shape on the organic thin film. And an organic thin-film EL device comprising the electron injection electrode.
【請求項30】透明基板上に少なくとも正孔注入電極
と、有機薄膜層と、電子注入電極を積層してなる有機薄
膜EL素子の製造方法であって、前記有機薄膜上に前記
電子注入電極を形成する工程において、前記有機薄膜上
にアルミニウムを島状に形成する工程の後に、前記電子
注入電極を形成することを特徴とする有機薄膜EL素子
の製造方法。
30. A method of manufacturing an organic thin-film EL device comprising a transparent substrate and at least a hole injection electrode, an organic thin-film layer, and an electron injection electrode laminated on each other. The method of manufacturing an organic thin-film EL device, wherein, in the forming step, the electron injection electrode is formed after the step of forming aluminum in an island shape on the organic thin film.
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