JPH11259544A - Wiring capacity calculation device and method - Google Patents

Wiring capacity calculation device and method

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JPH11259544A
JPH11259544A JP10058147A JP5814798A JPH11259544A JP H11259544 A JPH11259544 A JP H11259544A JP 10058147 A JP10058147 A JP 10058147A JP 5814798 A JP5814798 A JP 5814798A JP H11259544 A JPH11259544 A JP H11259544A
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wiring
capacitance
calculating
capacity
partial
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Susumu Kobayashi
進 小林
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To calculate the wiring capacity at high speed with high accuracy by dividing an attentional wiring into partial wirings according to its ambient situation and calculating the electrostatic capacity of each partial wiring. SOLUTION: An attentional wiring is divided into partial wirings according to its ambient situation, and the electrostatic capacity of each partial wiring is calculated. In this wiring capacity calculation device, an attentional wiring is divided into two 1st type partial wirings and then into seven 2nd type partial wirings by a wiring dividing device 103. Then a partial wiring capacity calculator 104 calculates the wiring capacity of each 2nd type partial wiring based on the layout information on the 2nd type partial wirings which are received from the device 103 and then outputs its calculated results to a wiring capacity totalizer 105. When the capacity of all 2nd type partial wirings are calculated, the totalizer 105 totalizes the capacities of the 2nd type partial wirings and then calculates the capacity of the attentional wiring.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は半導体集積回路の配
線の静電容量を算出する配線容量算出装置及び配線容量
算出方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wiring capacitance calculating device and a wiring capacitance calculating method for calculating a capacitance of a wiring of a semiconductor integrated circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体集積回路を設計する際には、各配
線の伝搬遅延時間を知るためにその対地静電容量(以
下、配線容量と称す)を算出することがある。
2. Description of the Related Art In designing a semiconductor integrated circuit, a capacitance to ground (hereinafter referred to as a wiring capacitance) may be calculated in order to know a propagation delay time of each wiring.

【0003】配線容量を算出する装置である配線容量算
出装置としては、例えば、特開平5−181926号公
報にその詳細な技術が記載されている。この特開平5−
181926号公報に開示された従来の配線容量算出装
置では、配線容量の被算出配線(以下、注目配線と称
す)を所定の長さ(以下、所定長と称す)毎に区切り、
各所定長の配線毎にその周囲状況(ここでは、隣接する
配線や交差する配線の有無)のコード化を行っている。
そして、コード化された周囲状況と配線容量との関係を
示す対応表に基づいて各所定長の配線毎に配線容量を求
め、それらを合計して注目配線の配線容量を算出してい
た。
[0003] As a wiring capacitance calculating device which is a device for calculating a wiring capacitance, a detailed technique is described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-181926. This Japanese Unexamined Patent Publication No.
In the conventional wiring capacitance calculation device disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 181926, a wiring whose calculated wiring capacitance is calculated (hereinafter referred to as a target wiring) is divided into predetermined lengths (hereinafter referred to as predetermined lengths).
For each wiring of a predetermined length, the surrounding state (here, the presence or absence of an adjacent wiring or an intersecting wiring) is coded.
Then, based on a coded correspondence table showing the relationship between the surrounding situation and the wiring capacity, the wiring capacity is obtained for each wiring of a predetermined length, and the sum is calculated to calculate the wiring capacity of the wiring of interest.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】配線容量は、隣接する
配線(以下、隣接配線と称す)との距離や、交差する配
線(以下、交差配線と称す)の交差間隔に影響される。
しかしながら上記したような従来の配線容量算出装置で
は、隣接配線や交差配線の有無のみで場合分けを行い配
線容量を算出している。したがって、隣接配線との距離
や交差配線の交差間隔が考慮されていないため、配線容
量の算出精度が低いという問題があった。
The wiring capacitance is affected by the distance between adjacent wirings (hereinafter, referred to as adjacent wirings) and the inter-interval of the intersecting wirings (hereinafter, referred to as crossing wirings).
However, in the above-described conventional wiring capacity calculating apparatus, the wiring capacity is calculated by performing the classification based only on the presence or absence of the adjacent wiring or the cross wiring. Therefore, there is a problem that the calculation accuracy of the wiring capacitance is low because the distance between the adjacent wirings and the interval between the crossing wirings are not taken into consideration.

【0005】また、従来の配線容量算出装置では、注目
配線を所定の長さ毎に区切り、各所定長の配線毎に配線
容量を求めている。したがって、同じ周囲状況が複数の
所定長の配線分だけ続く注目配線に対しても、所定長の
配線毎に同様の処理を繰り返して配線容量を算出するこ
とになるため、処理時間が遅くなるという問題もあっ
た。
In the conventional wiring capacitance calculating apparatus, a target wiring is divided into predetermined lengths, and a wiring capacitance is obtained for each wiring having a predetermined length. Accordingly, even for a target wiring in which the same surrounding state continues for a plurality of wirings of a predetermined length, the same processing is repeated for each wiring of a predetermined length to calculate the wiring capacitance, and the processing time is reduced. There were also problems.

【0006】本発明は上記したような従来の技術が有す
る問題点を解決するためになされたものであり、配線容
量を、高精度に、かつ高速に算出することができる配線
容量算出装置及び配線容量算出方法を提供することを目
的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and a wiring capacitance calculating apparatus and a wiring capacitance calculating apparatus capable of calculating wiring capacitance with high accuracy and at high speed. It is an object to provide a capacity calculation method.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の配線容量算出装置は、配線の静電容量を算出す
る配線容量算出装置であって、単位長当たりの静電容量
である容量係数を、隣接する配線との距離及び交差する
配線の交差間隔によって分類される複数の周囲状況に対
応してそれぞれ算出する容量係数算出装置と、前記容量
係数算出装置によって算出された各容量係数を前記周囲
状況に対応したテーブルとして記憶する容量係数テーブ
ル記憶部と、前記静電容量の被算出配線である注目配線
を前記周囲状況に応じて分割する配線分割装置と、前記
配線分割装置によって分割された配線である部分配線の
容量係数をそれぞれ前記テーブルを参照して求め、該容
量係数に配線長を乗ずることで該部分配線の静電容量を
それぞれ算出する部分配線容量算出装置と、前記部分容
量算出装置によって算出された各部分配線の静電容量を
合計し、前記注目配線の静電容量を算出する配線容量合
計装置と、を有するものである。
According to another aspect of the present invention, there is provided a wiring capacitance calculating apparatus for calculating a capacitance of a wiring, wherein the capacitance is a capacitance per unit length. A coefficient calculating device that calculates a coefficient in accordance with a plurality of surrounding situations classified according to a distance to an adjacent wiring and an intersection interval of an intersecting wiring; and a capacitance coefficient calculated by the capacitance coefficient calculating device. A capacitance coefficient table storage unit that stores a table corresponding to the surrounding situation, a wiring dividing apparatus that divides the target wiring, which is the calculated wiring of the capacitance, according to the surrounding situation, The capacitance coefficient of each of the partial wirings is determined by referring to the table, and the capacitance of each of the partial wirings is calculated by multiplying the capacitance coefficient by the wiring length. A feeder line capacity calculating device, and the total capacitance of each partial wiring calculated by the partial capacity calculating device, and has a wiring capacitance sum device for calculating the electrostatic capacitance of the target wiring.

【0008】このとき、前記配線分割装置は、前記注目
配線が基板の中間層にない場合は前記注目配線を幅方向
に2分割し、前記注目配線が基板の中間層にある場合は
前記注目配線を幅方向に2分割すると共に厚さ方向に2
分割し、該分割された配線のそれぞれの長さを、隣接す
る配線の端部と対向する部位、及び他の配線と交差する
部位でさらに分割してもよく、隣接する配線の端部との
間に存在する静電容量に相当する該配線の伸長距離を、
該配線との距離及び配線層によって分類される複数の状
況に対応してそれぞれ算出する伸長距離算出装置と、前
記伸長距離算出装置で算出された各伸長距離を、前記状
況に対応したテーブルとして記憶する伸長距離テーブル
記憶部と、前記注目配線と隣接する配線の伸長距離を前
記テーブルを参照して求め、該配線のレイアウトの情報
を該伸長距離分だけ伸長する隣接配線伸長装置と、をさ
らに有していてもよい。
At this time, the wiring dividing apparatus divides the wiring of interest into two when the wiring of interest is not in the middle layer of the substrate, and splits the wiring of wiring when the wiring of interest is in the middle layer of the substrate. In the width direction and 2 in the thickness direction.
The wiring may be divided, and the length of each of the divided wirings may be further divided at a portion facing an end of an adjacent wiring and a portion intersecting with another wiring, and may be further divided at an end of an adjacent wiring. The extension distance of the wiring corresponding to the capacitance existing between
An elongation distance calculation device that calculates each corresponding to a plurality of situations classified by the distance to the wiring and the wiring layer, and each elongation distance calculated by the elongation distance calculation device is stored as a table corresponding to the situation. An extension distance table storage unit for determining the extension distance of the wiring adjacent to the target wiring by referring to the table, and extending the layout information of the wiring by the extension distance. It may be.

【0009】また、本発明の配線容量算出方法は、配線
の静電容量を算出するための配線容量算出方法であっ
て、単位長当たりの静電容量である容量係数を、隣接す
る配線との距離及び交差する配線の交差間隔によって分
類される複数の周囲状況に対応してそれぞれ算出する容
量係数算出ステップと、前記容量係数算出ステップで算
出した各容量係数を前記周囲状況に対応したテーブルと
して記憶する容量係数テーブル記憶ステップと、前記静
電容量の被算出配線である注目配線を前記周囲状況に応
じて分割する配線分割ステップと、前記配線分割ステッ
プで分割した配線である部分配線の容量係数をそれぞれ
前記テーブルを参照して求め、該容量係数に配線長を乗
ずることで該部分配線の静電容量をそれぞれ算出する部
分配線容量算出ステップと、前記部分配線容量算出ステ
ップで算出した各部分配線の静電容量を合計し、前記注
目配線の静電容量を算出する配線容量合計ステップと、
を有する方法である。
Further, a wiring capacitance calculating method according to the present invention is a wiring capacitance calculating method for calculating a capacitance of a wiring, wherein a capacitance coefficient, which is a capacitance per unit length, is calculated with respect to an adjacent wiring. Capacitance coefficient calculation steps respectively calculated according to a plurality of surrounding situations classified according to distances and intersecting intervals of intersecting wirings, and each capacity coefficient calculated in the capacity coefficient calculating step is stored as a table corresponding to the surrounding situation. A capacitance coefficient table storing step, a wiring division step of dividing the wiring of interest, which is the calculated wiring of the capacitance, according to the surrounding situation, and a capacitance coefficient of a partial wiring that is the wiring divided in the wiring division step. A partial wiring capacitance calculation step for calculating the capacitance of each of the partial wirings by calculating the capacitance by multiplying the capacitance coefficient by the wiring length. And up to a total of the capacitances of each partial wiring calculated by the partial wiring capacitance calculation step, a wiring capacitance sum calculating a capacitance of the target wiring,
It is a method having.

【0010】このとき、前記配線分割ステップで、前記
注目配線が基板の中間層にない場合は前記注目配線を幅
方向に2分割し、前記注目配線が基板の中間層にある場
合は前記注目配線を幅方向に2分割すると共に厚さ方向
に2分割し、該分割された配線のそれぞれの長さを、隣
接する配線の端部と対向する部位、及び他の配線と交差
する部位でさらに分割してもよく、隣接する配線の端部
との間に存在する静電容量に相当する該配線の伸長距離
を、該配線との距離及び配線層によって分類される複数
の状況に対応してそれぞれ算出する伸長距離算出ステッ
プと、前記伸長距離算出ステップで算出された各伸長距
離を、前記状況に対応したテーブルとして記憶する伸長
距離テーブル記憶ステップと、前記注目配線と隣接する
配線の伸長距離を前記テーブルを参照して求め、該配線
のレイアウトの情報を該伸長距離分だけ伸長する隣接配
線伸長ステップと、をさらに有していてもよい。
At this time, in the wiring dividing step, if the wiring of interest is not in the intermediate layer of the substrate, the wiring of interest is divided into two in the width direction. If the wiring of interest is in the intermediate layer of the substrate, the wiring of interest is divided. Is divided into two parts in the width direction and two parts in the thickness direction, and the length of each divided wiring is further divided into a part facing an end of an adjacent wiring and a part intersecting with another wiring. The extension distance of the wiring corresponding to the capacitance existing between the end of the adjacent wiring and the distance between the wiring and the wiring layer may correspond to a plurality of situations classified according to the distance and the wiring layer. An extension distance calculation step to calculate, an extension distance table storing step of storing each extension distance calculated in the extension distance calculation step as a table corresponding to the situation, and an extension distance of a wiring adjacent to the wiring of interest. Determined with reference to the serial table, the adjacent wire extension step of extending the information of the layout of the wiring by 該伸 long distance component may further have a.

【0011】上記のように構成された配線容量算出装置
及び配線容量算出方法は、注目配線を周囲状況に応じて
分割し、その分割した部分配線毎に静電容量を算出して
いる。したがって、従来のように所定長の配線毎に静電
容量を算出する必要がなくなるため静電容量の計算を効
率よく行うことができる。
In the wiring capacitance calculating apparatus and the wiring capacitance calculating method configured as described above, the target wiring is divided according to the surrounding situation, and the capacitance is calculated for each of the divided partial wirings. Therefore, it is not necessary to calculate the capacitance for each wiring having a predetermined length, unlike the related art, so that the calculation of the capacitance can be performed efficiently.

【0012】また、単位長当たりの静電容量である容量
係数を、隣接する配線との距離及び交差する配線の交差
間隔によって分類される複数の周囲状況に対応してそれ
ぞれ算出し、算出した各容量係数を周囲状況に対応した
テーブルとして記憶し、部分配線の容量係数をそれぞれ
テーブルを参照して求め、求めた容量係数に配線長を乗
じて部分配線の静電容量をそれぞれ算出することで、隣
接する配線との距離や交差する配線の交差間隔を考慮し
て配線の静電容量を算出することができる。
Further, a capacitance coefficient, which is a capacitance per unit length, is calculated for each of a plurality of surrounding situations classified according to a distance between adjacent wirings and an intersecting interval of intersecting wirings. By storing the capacitance coefficient as a table corresponding to the surrounding situation, calculating the capacitance coefficient of the partial wiring by referring to the table, and multiplying the obtained capacitance coefficient by the wiring length to calculate the capacitance of the partial wiring, The capacitance of the wiring can be calculated in consideration of the distance between the adjacent wiring and the intersection distance of the crossing wiring.

【0013】さらに、隣接する配線の端部との間に存在
する静電容量に相当する配線の伸長距離を、隣接する配
線との距離及び配線層によって分類される複数の状況に
対応してそれぞれ算出し、算出した各伸長距離を状況に
対応したテーブルとして記憶し、注目配線と隣接する配
線の伸長距離をテーブルを参照して求め、隣接する配線
のレイアウトの情報を伸長距離分だけ伸長することで、
隣接する配線の端部が及ぼす影響を考慮して注目配線の
配線容量を求めることができる。
Further, the extension distance of the wiring corresponding to the capacitance existing between the end of the adjacent wiring and the distance between the adjacent wiring and a plurality of situations classified according to the wiring layer is respectively determined. Calculate, store each calculated extension distance as a table corresponding to the situation, obtain the extension distance of the wiring adjacent to the target wiring by referring to the table, and extend the layout information of the adjacent wiring by the extension distance. so,
The wiring capacitance of the target wiring can be obtained in consideration of the influence of the end of the adjacent wiring.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】次に本発明について図面を参照し
て説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, the present invention will be described with reference to the drawings.

【0015】(第1実施例)図1は本発明の配線容量算
出装置の第1実施例の構成を示すブロック図である。
(First Embodiment) FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a first embodiment of a wiring capacitance calculating apparatus according to the present invention.

【0016】図1において、本実施例の配線容量算出装
置は、配線容量の算出に必要な情報を受け取り、後述す
る各装置に対して必要な情報をそれぞれ出力する入力装
置101と、入力装置101から受け取った情報に基づ
いて隣接配線との距離及び交差配線の交差間隔によって
分類される複数の周囲状況に対応する容量係数をそれぞ
れ算出する容量係数算出装置102と、容量係数算出装
置102によって算出された各容量係数を周囲状況に対
応したテーブル(容量係数テーブル)として記憶する容
量係数テーブル記憶部108を備えた記憶装置107
と、注目配線を周囲状況に応じて分割する配線分割装置
103と、配線分割装置103によって分割された各配
線の配線容量を容量係数テーブル記憶部108に記憶さ
れた容量係数と配線長とからそれぞれ算出する部分配線
容量算出装置104と、部分容量算出装置104によっ
て算出された配線容量を合計し、注目配線の配線容量を
算出する配線容量合計装置105と、配線容量の算出結
果を出力する出力装置106とによって構成されてい
る。
Referring to FIG. 1, an apparatus for calculating a wiring capacity according to the present embodiment receives an information required for calculating a wiring capacity and outputs necessary information to each apparatus described later; And a capacitance coefficient calculating device 102 that calculates a capacitance coefficient corresponding to a plurality of surrounding situations classified by a distance from an adjacent wiring and an intersection interval of an intersection wiring based on the information received from Storage device 107 having a capacity coefficient table storage unit 108 for storing the respective capacity coefficients as a table (capacity coefficient table) corresponding to the surrounding situation.
And a wiring dividing device 103 that divides the wiring of interest according to the surrounding situation, and a wiring capacity of each wiring divided by the wiring dividing device 103 based on the capacitance coefficient and the wiring length stored in the capacitance coefficient table storage unit 108. A partial wiring capacity calculating device 104 for calculating, a wiring capacity totaling device 105 for summing the wiring capacities calculated by the partial capacity calculating device 104 to calculate the wiring capacity of the target wiring, and an output device for outputting a calculation result of the wiring capacity 106.

【0017】このような構成において、次に本実施例の
配線容量算出装置の動作について図1を参照しつつ図2
を用いて説明する。
In such a configuration, the operation of the wiring capacitance calculating apparatus of the present embodiment will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG.

【0018】図2は図1に示した配線容量算出装置の処
理手順を示すフローチャートである。なお、以下で説明
するステップ201の処理は入力装置101で、ステッ
プ202、203の処理は容量係数算出器102で、ス
テップ204の処理は配線分割装置103で、ステップ
205の処理は部分配線容量算出装置104で、ステッ
プ206、207の処理は配線容量合計装置105、ス
テップ208の処理は出力装置106で実行される。
FIG. 2 is a flowchart showing a processing procedure of the wiring capacitance calculating apparatus shown in FIG. Note that the processing of step 201 described below is performed by the input device 101, the processing of steps 202 and 203 is performed by the capacitance coefficient calculator 102, the processing of step 204 is performed by the wiring dividing apparatus 103, and the processing of step 205 is performed by the partial wiring capacitance calculation. In the device 104, the processing of steps 206 and 207 is executed by the wiring capacity totaling apparatus 105, and the processing of step 208 is executed by the output device 106.

【0019】図2において、まず、半導体集積回路の設
計者によりデバイス情報(半導体集積回路を構成する物
質や配線断面の形状等の情報)が入力されると、入力装
置101は入力されたデバイス情報を容量係数算出装置
に102に出力する。また、設計者によりレイアウト情
報(各配線の配線経路の情報)が入力されると、入力装
置101は入力されたレイアウト情報を配線分割装置1
03に出力する(ステップ201)。
In FIG. 2, when a designer of a semiconductor integrated circuit inputs device information (information such as a substance constituting a semiconductor integrated circuit and a shape of a wiring cross section), an input device 101 inputs the device information. Is output to the capacity coefficient calculating device 102. Further, when layout information (wiring route information of each wiring) is input by the designer, the input device 101 converts the input layout information into the wiring dividing device 1.
03 (Step 201).

【0020】容量係数算出装置102は、入力装置10
1から受け取ったデバイス情報に基づき、デバイスシミ
ュレータなどを用いて周囲状況に対応する容量係数(単
位長当たりの配線容量)をそれぞれ算出し(ステップ2
02)、算出した各容量係数を容量係数テーブル記憶部
108にそれぞれ記憶させる(ステップ203)。容量
係数は、例えば、図3に示すような容量係数テーブル3
01として記憶され、隣接配線との距離、及び交差配線
の交差間隔から容量係数が求められるように構成する
(図3中のC11〜C15、C21〜C25、C31〜
C35、C41〜C45、C51〜C55がそれぞれ容
量係数を示している。)。なお、周囲状況(隣接配線と
の距離、及び交差配線の交差間隔の組み合わせ)の種類
は設計者が任意に決定できるようにする。また、容量係
数テーブル301は配線層毎に作成可能にする。
The capacity coefficient calculating device 102 includes the input device 10
Based on the device information received from No. 1, a capacitance coefficient (wiring capacity per unit length) is calculated using a device simulator or the like (step 2).
02), the calculated capacity coefficients are stored in the capacity coefficient table storage unit 108 (step 203). The capacity coefficient is, for example, a capacity coefficient table 3 as shown in FIG.
01, and is configured so that the capacitance coefficient can be obtained from the distance to the adjacent wiring and the crossing interval of the crossing wiring (C11 to C15, C21 to C25, C31 to C31 in FIG. 3).
C35, C41 to C45, and C51 to C55 each indicate a capacity coefficient. ). The type of the surrounding situation (combination of the distance to the adjacent wiring and the crossing interval of the crossing wiring) can be arbitrarily determined by the designer. The capacity coefficient table 301 can be created for each wiring layer.

【0021】以上説明したステップ203までの処理は
配線容量を算出するための準備段階であり、以下に記載
したステップ204以降の処理を行うことで各配線の配
線容量を算出する。
The processing up to step 203 described above is a preparation stage for calculating the wiring capacity, and the wiring capacity of each wiring is calculated by performing the processing from step 204 described below.

【0022】まず、配線分割装置103は以下の手順に
したがって注目配線を分割する(ステップ204)。配
線分割装置103は、最初に図4に示すように注目配線
401を長手方向の中心線に沿って幅方向に左右2つに
分割する。なお、図5に示すように注目配線が基板の中
間層にある場合はそれらをさらに厚さ方向に上下2つに
分割する。したがって、基板の中間層にある注目配線5
01は最終的に4つに分割される。なお、基板の中間層
とは上下に配線層(上側配線層505、下側配線層50
6)が存在する配線層のことであり、例えば、3層基板
を用いた半導体集積回路の場合は第2層(下から2つ目
の配線層)が中間層に相当する。このように2つあるい
は4つに分割された各配線を以下では第1種部分配線と
呼ぶ。
First, the wiring dividing device 103 divides a target wiring according to the following procedure (step 204). The wiring dividing device 103 first divides the target wiring 401 into two parts in the width direction along the center line in the longitudinal direction, as shown in FIG. When the wiring of interest is in the middle layer of the substrate as shown in FIG. 5, they are further divided into two in the thickness direction. Therefore, the target wiring 5 in the intermediate layer of the substrate
01 is finally divided into four parts. Note that the intermediate layer of the substrate is defined by upper and lower wiring layers (upper wiring layer 505, lower wiring layer 50).
6) means a wiring layer. For example, in the case of a semiconductor integrated circuit using a three-layer substrate, the second layer (the second wiring layer from the bottom) corresponds to an intermediate layer. Each of the two or four divided wires is hereinafter referred to as a first type partial wire.

【0023】続いて、配線分割装置103は第1種部分
配線を周囲状況に応じてさらに分割する。このとき第1
種部分配線は隣接する配線の端部と対向する部位及び他
の配線と交差する部位で分割される。なお、第1種部分
配線を分割する際には第1種部分配線の周囲の全ての配
線を考慮する必要はなく、以下に記載する配線について
のみ考慮する。
Subsequently, the wiring dividing device 103 further divides the first type partial wiring according to the surrounding situation. At this time the first
The seed partial wiring is divided into a part facing an end of an adjacent wiring and a part crossing another wiring. When dividing the type 1 partial wiring, it is not necessary to consider all the wirings surrounding the type 1 partial wiring, but only the wiring described below.

【0024】まず、注目配線が基板の中間層以外にある
場合、注目配線の左半分の第1種部分配線では、注目配
線の左側に存在し、かつ注目配線から所定の距離内にあ
る隣接配線、及び注目配線と交差する全ての交差配線を
考慮する。また、注目配線の右半分の第1種部分配線で
は、注目配線の右側に存在し、かつ注目配線から所定の
距離内にある隣接配線、及び注目配線と交差する全ての
交差配線を考慮する。
First, when the target wiring is located on a layer other than the intermediate layer of the substrate, the first type partial wiring in the left half of the target wiring is located on the left side of the target wiring and within a predetermined distance from the target wiring. , And all the intersecting wires that intersect the wire of interest. In the first type partial wiring in the right half of the target wiring, adjacent wirings existing on the right side of the target wiring and within a predetermined distance from the target wiring and all cross wirings intersecting with the target wiring are considered.

【0025】一方、注目配線が基板の中間層にある場
合、注目配線の左上半分の第1種部分配線では、注目配
線の左側に存在し、かつ注目配線から所定の距離内にあ
る隣接配線、及び注目配線が存在する配線層の上の配線
層に存在し、かつ注目配線と交差する全ての交差配線を
考慮する。
On the other hand, when the target wiring is in the middle layer of the substrate, the first type partial wiring in the upper left half of the target wiring is located on the left side of the target wiring and within a predetermined distance from the target wiring. In addition, all the intersecting wirings existing in the wiring layer above the wiring layer in which the noticed wiring exists and intersecting with the noticed wiring are considered.

【0026】また、注目配線の右上半分の第1種部分配
線では、注目配線の右側に存在し、かつ注目配線から所
定の距離内にある隣接配線、及び注目配線が存在する配
線層の上の配線層に存在し、かつ注目配線と交差する全
ての交差配線を考慮する。
In the first type partial wiring in the upper right half of the wiring of interest, the adjacent wiring existing on the right side of the wiring of interest and within a predetermined distance from the wiring of interest and the wiring layer on which the wiring of interest exists All crossing wirings existing in the wiring layer and intersecting with the target wiring are considered.

【0027】さらに、注目配線の左下半分の第1種部分
配線では、注目配線の左側に存在し、かつ注目配線から
所定の距離内にある隣接配線、及び注目配線が存在する
配線層の下の配線層に存在し、かつ注目配線と交差する
全ての交差配線を考慮する。
Further, in the first type partial wiring in the lower left half of the wiring of interest, the adjacent wiring existing on the left side of the wiring of interest and within a predetermined distance from the wiring of interest and the wiring below the wiring layer in which the wiring of interest exists All crossing wirings existing in the wiring layer and intersecting with the target wiring are considered.

【0028】また、注目配線の右下半分の第1種部分配
線では、注目配線の右側に存在し、かつ注目配線から所
定の距離内にある隣接配線、及び注目配線が存在する配
線層の下の配線層に存在し、かつ注目配線と交差する全
ての交差配線を考慮する。
In the first type partial wiring in the lower right half of the wiring of interest, the adjacent wiring existing to the right of the wiring of interest and within a predetermined distance from the wiring of interest and the wiring layer below the wiring layer where the wiring of interest exists All the intersecting wirings existing in the wiring layer and intersecting with the target wiring are considered.

【0029】このようにして第1種部分配線をさらに分
割した各配線を、以下では第2種部分配線と呼ぶ。配線
分割装置103はこの第2種部分配線に分割した注目配
線のレイアウト情報を部分配線容量算出装置104に出
力する。
The respective wirings obtained by further dividing the first type partial wiring in this manner are hereinafter referred to as second type partial wirings. The wiring dividing device 103 outputs the layout information of the target wiring divided into the second type partial wirings to the partial wiring capacitance calculating device 104.

【0030】次に、部分配線容量算出装置104は、配
線分割装置103から受け取った第2種部分配線のレイ
アウト情報に基づいて第2種部分配線の配線容量をそれ
ぞれ算出し、その算出結果を配線容量合計装置104に
出力する(ステップ205)。このとき、第2種部分配
線の配線容量の算出手順は以下のようになる。
Next, the partial wiring capacitance calculating device 104 calculates the wiring capacitance of the second type partial wiring based on the layout information of the second type partial wiring received from the wiring dividing device 103, and calculates the wiring result. The data is output to the total capacity device 104 (step 205). At this time, the calculation procedure of the wiring capacitance of the second type partial wiring is as follows.

【0031】まず、注目した第2種部分配線(以下、注
目部分配線と称す)の周囲状況を配線分割装置103か
ら受け取ったレイアウト情報に基づいて求める。ここ
で、周囲状況とは、隣接配線との距離及び交差配線の交
差間隔である。例えば、図6に示した注目部分配線(図
中の斜線部)611の周囲状況は、隣接配線608との
距離が1μmであり、2つの交差配線609、610の
交差間隔が2μmである。
First, the surrounding state of the noted type II partial wiring (hereinafter, referred to as the noted partial wiring) is determined based on the layout information received from the wiring dividing device 103. Here, the surrounding situation is the distance between the adjacent wiring and the intersection interval of the cross wiring. For example, in the situation around the noticed partial wiring (hatched portion in the figure) 611 shown in FIG. 6, the distance from the adjacent wiring 608 is 1 μm, and the intersection between the two cross wirings 609 and 610 is 2 μm.

【0032】次に、注目部分配線611の周囲状況に対
応する容量係数を図3に示した容量係数テーブル301
を参照して求める。なお、容量係数テーブル301を参
照したときに隣接配線608との距離あるいは交差配線
609、610の交差間隔で該当するものがない場合は
(例えば、図3に示した容量係数テーブルを参照し、隣
接配線608との距離が1.5μmの場合の容量係数を
求める場合)、適切な補間処理を行う。以上のようにし
て求めた容量係数に注目部分配線の長さを乗ずることで
注目部分配線611の配線容量をそれぞれ算出する。
Next, the capacitance coefficient corresponding to the surrounding state of the noticed partial wiring 611 is shown in the capacitance coefficient table 301 shown in FIG.
Ask for. When the capacitance coefficient table 301 is referred to and there is no corresponding value in the distance to the adjacent wiring 608 or the intersection interval between the cross wirings 609 and 610 (for example, referring to the capacitance coefficient table shown in FIG. When a capacitance coefficient is obtained when the distance from the wiring 608 is 1.5 μm), appropriate interpolation processing is performed. By multiplying the capacitance coefficient obtained as described above by the length of the target partial wiring, the wiring capacitance of the target partial wiring 611 is calculated.

【0033】次に、配線容量合計装置105は、部分配
線容量算出装置104で算出された各第2種部分配線の
配線容量を合計する(ステップ206)。
Next, the wiring capacity totaling device 105 sums the wiring capacities of the respective second type partial wirings calculated by the partial wiring capacity calculating device 104 (step 206).

【0034】最後に、全ての配線の配線容量を算出した
か否かを判定し(ステップ207)、全ての配線の配線
容量を算出した場合は、ステップ208の処理へ進んで
出力装置208によって算出結果を出力する。また、全
ての配線の配線容量の算出が終了していない場合は、ス
テップ204の処理に戻ってステップ204〜ステップ
207の処理を繰り返す。
Finally, it is determined whether or not the wiring capacities of all the wirings have been calculated (step 207). If the wiring capacities of all the wirings have been calculated, the process proceeds to step 208 to calculate by the output device 208. Output the result. If the calculation of the wiring capacities of all the wirings has not been completed, the process returns to the step 204 and the processes of the steps 204 to 207 are repeated.

【0035】以上説明したように、本実施例の配線容量
算出装置によれば、周囲状況に応じて注目配線を分割し
ているため、従来のように所定長の配線毎に静電容量を
算出する必要がなくなり静電容量の計算を効率よく行う
ことができる。したがって、配線容量を高速に算出する
ことができる。また、隣接配線との距離や交差配線の交
差間隔を考慮して配線容量を算出することができるた
め、配線容量を高精度に算出することができる。
As described above, according to the wiring capacitance calculating apparatus of the present embodiment, the wiring of interest is divided according to the surrounding conditions, so that the capacitance is calculated for each wiring of a predetermined length as in the prior art. Therefore, the calculation of the capacitance can be performed efficiently. Therefore, the wiring capacitance can be calculated at high speed. Further, since the wiring capacitance can be calculated in consideration of the distance between the adjacent wiring and the intersection interval of the crossing wiring, the wiring capacitance can be calculated with high accuracy.

【0036】次に、本実施例の配線容量算出装置の動作
について、具体的な配線例を用いて説明する。なお、以
下では、図7に示した注目配線701の配線容量を求め
る場合で説明する。また、容量係数は、予め容量係数算
出装置102によって算出されており、容量係数テーブ
ル記憶部108に記憶されているものとする。
Next, the operation of the wiring capacitance calculating apparatus of this embodiment will be described using a specific wiring example. In the following, a case will be described in which the wiring capacitance of the wiring of interest 701 shown in FIG. 7 is obtained. The capacity coefficient is calculated in advance by the capacity coefficient calculation device 102 and is stored in the capacity coefficient table storage unit 108.

【0037】まず、配線分割装置103によって、図7
に示す注目配線701を図8に示すように2つの第1種
部分配線(第1の第1種部分配線801、第2の第1種
部分配線802)に分割し、続いて図9に示すように7
つの第2種部分配線(第1の第2種部分配線901〜第
7の第1種部分配線907)に分割する。
First, FIG.
8 is divided into two first-type partial wirings (a first first-type partial wiring 801 and a second first-type partial wiring 802) as shown in FIG. 8, and then shown in FIG. Like seven
It is divided into two second type partial wirings (first second type partial wiring 901 to seventh first type partial wiring 907).

【0038】次に、部分配線容量算出装置104によっ
て、各第2種部分配線の配線容量をそれぞれ算出する。
例えば、図9に示した第3の第2種部分配線903(図
中の斜線部)は、隣接配線との間隔が1μm、交差配線
の交差間隔が2μmであるため、図3に示した容量係数
テーブル301から容量係数C12が得られる。また、
第3の第2種部分配線713の配線長は2μmであるた
め、配線容量は、C12×2[μm]となる。同様にし
て、他の第2種部分配線についても配線容量をそれぞれ
求める。全ての第2種部分配線の配線容量を求めたら、
配線容量合計装置105によって各第2種部分配線の配
線容量を合計し、注目配線701の配線容量を算出す
る。
Next, the wiring capacitance of each of the second type partial wirings is calculated by the partial wiring capacitance calculating device 104.
For example, the third type partial wiring 903 (the hatched portion in the drawing) shown in FIG. 9 has the capacitance shown in FIG. 3 because the distance between the adjacent wiring is 1 μm and the crossing distance between the crossing wirings is 2 μm. A capacity coefficient C12 is obtained from the coefficient table 301. Also,
Since the wiring length of the third type II partial wiring 713 is 2 μm, the wiring capacitance is C12 × 2 [μm]. Similarly, the wiring capacitances of the other second type partial wirings are obtained. When the wiring capacities of all the second type partial wirings are obtained,
The wiring capacity of each of the second type partial wirings is summed by the wiring capacity totaling device 105 to calculate the wiring capacity of the wiring of interest 701.

【0039】(第2実施例)次に本発明の配線容量算出
装置の第2実施例について図面を参照して説明する。な
お、本実施例の配線容量算出装置は、図1に示した第1
実施例の配線容量算出装置に伸長距離算出装置と、隣接
配線伸長装置とを追加し、記憶装置に伸長距離テーブル
記憶部を加えた構成である。
(Second Embodiment) Next, a second embodiment of the wiring capacitance calculating apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings. It should be noted that the wiring capacitance calculating device of the present embodiment is the same as the first embodiment shown in FIG.
This is a configuration in which an extension distance calculation device and an adjacent wiring extension device are added to the wiring capacity calculation device of the embodiment, and an extension distance table storage unit is added to the storage device.

【0040】図10は本発明の配線容量算出装置の第2
実施例の構成を示すブロック図である。
FIG. 10 shows a second example of the wiring capacitance calculating apparatus according to the present invention.
FIG. 3 is a block diagram illustrating a configuration of an example.

【0041】図10において、本実施例の配線容量算出
装置は、配線容量の算出に必要な情報を受け取り、後述
する各装置に対して必要な情報をそれぞれ出力する入力
装置1001と、入力装置1001から受け取った情報
に基づいて隣接配線との距離及び交差配線の交差間隔に
よって分類される複数の周囲状況に対応する容量係数を
それぞれ算出する容量係数算出装置1002と、入力装
置1001から受け取った情報に基づいて、隣接配線の
端部との間に存在する静電容量に相当する隣接配線の伸
長距離を、隣接配線との距離及び配線層によって分類さ
れる複数の状況に対応してそれぞれ算出する伸長距離算
出装置1009と、容量係数算出装置1002で算出さ
れた容量係数を記憶する容量係数テーブル記憶部100
8、及び伸長距離算出装置1009で算出された隣接配
線の伸長距離を記憶する伸長距離テーブル記憶部101
1を備えた記憶装置1007と、注目配線と隣接配線の
伸長距離を伸長距離テーブル記憶部1011に記憶され
た伸長距離テーブルを参照して求め、隣接配線のレイア
ウト情報を伸長距離分だけ伸長する隣接配線伸長装置1
010と、隣接配線伸長装置1010から出力されたレ
イアウト情報を受け取り、注目配線を周囲状況に応じて
分割する配線分割装置1003と、配線分割装置100
3によって分割された各配線の配線容量を容量係数テー
ブル記憶部1008に記録された容量係数及び配線長か
らそれぞれ算出する部分配線容量算出装置1004と、
部分容量算出装置1004によって算出された配線容量
を合計し、注目配線の配線容量を算出する配線容量合計
装置1005と、配線容量の算出結果を出力する出力装
置1006とによって構成されている。
In FIG. 10, the wiring capacity calculating apparatus of the present embodiment receives an information necessary for calculating a wiring capacity and outputs necessary information to each of the devices described later, and an input device 1001. And a capacity coefficient calculator 1002 for calculating a capacity coefficient corresponding to a plurality of surrounding situations classified according to a distance to an adjacent wiring and an intersection interval of an intersection wiring based on information received from the input device 1001. Based on a plurality of situations classified according to the distance to the adjacent wiring and the wiring layer, the extension distance is calculated based on the distance between the adjacent wiring and the wiring layer, based on the extension distance of the adjacent wiring corresponding to the capacitance existing between the end of the adjacent wiring. A distance calculation device 1009 and a capacity coefficient table storage unit 100 for storing the capacity coefficient calculated by the capacity coefficient calculation device 1002
8, and an extension distance table storage unit 101 that stores the extension distance of the adjacent wiring calculated by the extension distance calculation device 1009.
1 and the extension distance between the target wiring and the adjacent wiring are obtained by referring to the extension distance table stored in the extension distance table storage unit 1011, and the layout information of the adjacent wiring is extended by the extension distance. Wiring extender 1
010, a layout dividing device 1003 that receives the layout information output from the adjacent wiring extending device 1010, and divides the wiring of interest according to the surrounding situation.
A partial wiring capacity calculation device 1004 that calculates the wiring capacity of each wiring divided by 3 from the capacity coefficient and the wiring length recorded in the capacity coefficient table storage unit 1008;
It is composed of a wiring capacitance totaling device 1005 that totals the wiring capacitances calculated by the partial capacitance calculating device 1004 to calculate the wiring capacitance of the wiring of interest, and an output device 1006 that outputs the calculation result of the wiring capacitance.

【0042】図11に示すように、注目配線1101と
隣接配線1102の端部との間には配線容量Cが存在
し、注目配線1101と隣接配線1102との距離が近
い程、この配線容量Cは大きくなる。伸長距離算出装置
1009は、このような隣接配線1102の端部と注目
配線1101との間の配線容量Cを、図12に示すよう
にそれと等価な隣接配線(等価隣接配線1201)に置
き換えるために、その伸長距離を算出して伸長距離テー
ブル記憶部1011に記憶させる。なお、伸長距離を算
出する際にはデバイスシミュレータなどを利用する。
As shown in FIG. 11, there is a wiring capacitance C between the target wiring 1101 and the end of the adjacent wiring 1102, and the closer the distance between the target wiring 1101 and the adjacent wiring 1102 is, the larger this wiring capacitance C becomes. Becomes larger. The extension distance calculating apparatus 1009 replaces the wiring capacitance C between the end of the adjacent wiring 1102 and the wiring of interest 1101 with an adjacent wiring equivalent thereto (equivalent adjacent wiring 1201) as shown in FIG. The extension distance is calculated and stored in the extension distance table storage unit 1011. When calculating the extension distance, a device simulator or the like is used.

【0043】隣接配線伸長装置1010は、伸長距離テ
ーブル記憶部1011を参照し、実際の配線より伸長さ
せた隣接配線のレイアウト情報を配線分割装置1003
に出力する。
The adjacent wire extension device 1010 refers to the extension distance table storage unit 1011 and stores layout information of the adjacent wires extended from the actual wires in the wire dividing device 1003.
Output to

【0044】このような構成において、次に本実施例の
配線容量算出装置の動作について図10を参照しつつ図
13を用いて説明する。
In such a configuration, the operation of the wiring capacitance calculating apparatus of the present embodiment will be described next with reference to FIG. 10 and FIG.

【0045】図13は図10に示した配線容量算出装置
の処理手順を示すフローチャートである。なお、本実施
例の配線容量算出装置が有する、容量係数算出装置10
02、配線分割装置1003、部分配線容量算出装置1
004、配線容量合計装置1005、及び出力装置10
06の動作については、第1実施例と同様であるため、
その詳細な説明は省略する。
FIG. 13 is a flowchart showing a processing procedure of the wiring capacitance calculating device shown in FIG. In addition, the capacitance coefficient calculating device 10 included in the wiring capacitance calculating device of the present embodiment.
02, wiring dividing device 1003, partial wiring capacitance calculating device 1
004, total wiring capacity device 1005, and output device 10
Operation 06 is the same as in the first embodiment.
Detailed description is omitted.

【0046】図13において、まず、半導体集積回路の
設計者によってデバイス情報が配線容量算出装置に入力
されると、入力装置1001は受け取ったデバイス情報
を容量係数算出装置に1002、及び伸長距離算出装置
1009にそれぞれ出力する。また、半導体集積回路の
設計者によってレイアウト設計情報が配線容量算出装置
に入力されると、入力装置1001は受け取ったレイア
ウト情報を隣接配線伸長装置1010に出力する(ステ
ップ1301)。
In FIG. 13, first, when device information is input to the wiring capacitance calculating device by the designer of the semiconductor integrated circuit, the input device 1001 transmits the received device information to the capacitance coefficient calculating device 1002 and the extension distance calculating device. 1009 respectively. When the designer of the semiconductor integrated circuit inputs the layout design information to the wiring capacitance calculating device, the input device 1001 outputs the received layout information to the adjacent wiring extending device 1010 (step 1301).

【0047】容量係数検出装置1002は、入力装置1
001から受け取ったデバイス情報に基づき周囲状況に
対応する容量係数をそれぞれ算出し(ステップ130
2)、ステップ1302で算出した各容量係数を容量係
数テーブル記憶部1008にそれぞれ記憶させる(ステ
ップ1303)。
The capacity coefficient detecting device 1002 is the input device 1
Based on the device information received from 001, a capacity coefficient corresponding to the surrounding situation is calculated (step 130).
2) The respective capacity coefficients calculated in step 1302 are stored in the capacity coefficient table storage unit 1008 (step 1303).

【0048】伸長距離算出装置1009は、デバイスシ
ミュレータなどを用いて隣接配線の端部との配線容量C
を計算し、それと等価な隣接配線の伸長距離を算出して
(ステップ1304)、伸長距離テーブル記憶部100
3に記憶させる(ステップ1305)。なお、伸長距離
は、例えば、図14に示すような伸長距離テーブル14
01として記憶され、注目配線が存在する配線層及び隣
接配線との距離から伸長距離が求められるようにする。
The extension distance calculation apparatus 1009 uses a device simulator or the like to calculate the wiring capacitance C with the end of the adjacent wiring.
Is calculated, and the elongation distance of the adjacent wiring equivalent thereto is calculated (step 1304).
3 (step 1305). The extension distance is, for example, as shown in FIG.
01, and the extension distance is obtained from the distance between the wiring layer where the target wiring exists and the adjacent wiring.

【0049】次に、レイアウト情報を受け取った隣接配
線伸長装置1010は、伸長距離テーブル記憶部101
1に記憶された伸長距離を参照し、得られた伸長距離分
だけ伸長させた隣接配線のレイアウト情報を配線分割装
置1003に出力する。また、その他のレイアウト情報
は、そのまま変更せずに配線分割装置1003に出力す
る(ステップ1306)。
Next, the adjoining wiring extension apparatus 1010 that has received the layout information sets the extension distance table storage unit 101
With reference to the extension distance stored in No. 1, the layout information of the adjacent wiring extended by the obtained extension distance is output to the wiring dividing device 1003. The other layout information is output to the wiring division device 1003 without any change (step 1306).

【0050】以降、第1実施例と同様に、配線分割装置
1003によって注目配線を分割し、(ステップ130
7)、部分配線容量算出装置1004によって第2種部
分配線の配線容量をそれぞれ算出する(ステップ130
8)。また、配線容量合計装置1005によって第2種
部分配線の配線容量を合計して注目配線の配線容量を算
出する(ステップ1309)。そして、全ての配線の配
線容量を算出したか否かを判定し(ステップ131
0)、全ての配線の配線容量を算出した場合は、ステッ
プ1311の処理へ進んで出力装置1006によって算
出結果を出力する。また、全ての配線の配線容量の算出
が終了していない場合は、ステップ1306の処理に戻
ってステップ1306〜ステップ1310の処理を繰り
返す。
Thereafter, as in the first embodiment, the wiring of interest is divided by the wiring dividing device 1003 (step 130).
7) The wiring capacitance of the second type partial wiring is calculated by the partial wiring capacitance calculation device 1004 (step 130).
8). Further, the wiring capacity of the target wiring is calculated by adding the wiring capacities of the second type partial wirings by the wiring capacity totaling device 1005 (step 1309). Then, it is determined whether or not the wiring capacities of all the wirings have been calculated (step 131).
0), when the wiring capacities of all the wirings have been calculated, the process proceeds to step 1311 and the output device 1006 outputs the calculation results. If the calculation of the wiring capacities of all the wirings has not been completed, the process returns to the step 1306 to repeat the processing of the steps 1306 to 1310.

【0051】以上説明したように、本実施例の配線容量
算出装置によれば、第1実施例の配線容量算出装置の効
果に加えて、注目配線に対して隣接配線の端部が及ぼす
影響を考慮して注目配線の配線容量を求めることができ
るため、より精度の高い配線容量の計算結果を得ること
ができる。
As described above, according to the wiring capacitance calculating apparatus of the present embodiment, in addition to the effect of the wiring capacitance calculating apparatus of the first embodiment, the influence of the end of the adjacent wiring on the target wiring is also considered. Since the wiring capacitance of the wiring of interest can be obtained in consideration of the above, a more accurate calculation result of the wiring capacitance can be obtained.

【0052】次に、本実施例の配線容量算出装置の動作
について、具体的な配線例を用いて説明する。なお、以
下では、図15に示した第3層に存在する注目部分配線
1501(図中の斜線部)の配線容量を求める場合で説
明する。また、容量係数は、予め容量係数算出装置10
02よって算出され、容量係数テーブル記憶部1008
に記憶されているものとする。また、伸長距離について
も、予め伸長距離算出装置1009によって算出され、
伸長距離テーブル記憶部1011に記憶されているもの
とする。
Next, the operation of the wiring capacitance calculating apparatus of this embodiment will be described using a specific wiring example. In the following, a case will be described in which the wiring capacitance of the noticed partial wiring 1501 (hatched portion in the drawing) existing in the third layer shown in FIG. 15 is obtained. The capacity coefficient is determined in advance by the capacity coefficient calculation device 10.
02, and is calculated by the capacity coefficient table storage unit 1008.
Is stored. The extension distance is also calculated in advance by the extension distance calculation device 1009,
It is assumed that it is stored in the extension distance table storage unit 1011.

【0053】まず、伸長距離算出装置1009は入力装
置1001から受け取ったレイアウト情報に基づいて隣
接配線の伸長距離を算出し、伸長させた隣接配線のレイ
アウト情報を配線分割装置1003に出力する。隣接配
線の伸長距離は図14に示した伸長距離テーブル140
1を参照して求める。
First, the extension distance calculation device 1009 calculates the extension distance of the adjacent wiring based on the layout information received from the input device 1001, and outputs the extended layout information of the adjacent wiring to the wiring division device 1003. The extension distance of the adjacent wiring is shown in the extension distance table 140 shown in FIG.
Determine with reference to 1.

【0054】ここで、図15に示すように注目部分配線
1501と隣接配線1502との距離は1μmであるた
め、伸長距離テーブル1401に示すように伸長距離は
D31となる。したがって、図16に示すように隣接配
線1502はD31だけ伸長された形状でレイアウト情
報として配線分割装置1003に出力される。
Here, as shown in FIG. 15, since the distance between the noticed partial wiring 1501 and the adjacent wiring 1502 is 1 μm, the extension distance is D31 as shown in the extension distance table 1401. Therefore, as shown in FIG. 16, the adjacent wiring 1502 is output to the wiring dividing device 1003 as layout information in a shape extended by D31.

【0055】以降、配線分割装置1003、部分配線容
量算出装置1004、配線容量合計装置1005、及び
出力装置1006で実行される処理は第1実施例と同様
であるため、その説明は省略する。
Thereafter, the processing executed by the wiring dividing device 1003, the partial wiring capacitance calculating device 1004, the wiring capacitance totaling device 1005, and the output device 1006 is the same as that of the first embodiment, and the description thereof will be omitted.

【0056】[0056]

【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載する効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above, the following effects can be obtained.

【0057】注目配線を周囲状況に応じて分割し、分割
した部分配線毎に静電容量を算出しているため、従来の
ように所定長の配線毎に静電容量を算出する必要がなく
なり静電容量の計算を効率よく行うことができる。した
がって、静電容量の計算を高速に行うことができる。
Since the wiring of interest is divided according to the surrounding conditions and the capacitance is calculated for each of the divided partial wirings, it is not necessary to calculate the capacitance for each wiring of a predetermined length as in the prior art. The calculation of the capacitance can be performed efficiently. Therefore, the calculation of the capacitance can be performed at high speed.

【0058】また、単位長当たりの静電容量である容量
係数を、隣接する配線との距離及び交差する配線の交差
間隔によって分類される複数の周囲状況に対応してそれ
ぞれ算出し、容量係数算出装置で算出した各容量係数を
周囲状況に対応したテーブルとして記憶し、部分配線の
容量係数をそれぞれテーブルを参照して求め、求めた容
量係数に配線長を乗じて部分配線の静電容量をそれぞれ
算出することで、隣接する配線との距離や交差する配線
の交差間隔を考慮して配線の静電容量を算出することが
できるため、静電容量の計算を高精度に行うことができ
る。
The capacitance coefficient, which is the capacitance per unit length, is calculated for each of a plurality of surrounding situations classified by the distance to the adjacent wiring and the intersection interval of the intersecting wiring. Each capacitance coefficient calculated by the device is stored as a table corresponding to the surrounding situation, the capacitance coefficient of the partial wiring is obtained by referring to the table, and the obtained capacitance coefficient is multiplied by the wiring length to obtain the capacitance of the partial wiring. By calculating, the capacitance of the wiring can be calculated in consideration of the distance between the adjacent wiring and the intersection interval of the crossing wiring, so that the calculation of the capacitance can be performed with high accuracy.

【0059】さらに、隣接する配線の端部との間に存在
する静電容量に相当する配線の伸長距離を、隣接する配
線との距離及び配線層によって分類される複数の状況に
対応してそれぞれ算出し、算出した各伸長距離を状況に
対応したテーブルとして記憶し、注目配線と隣接する配
線の伸長距離をテーブルを参照して求め、隣接する配線
のレイアウトの情報を伸長距離分だけ伸長することで、
隣接する配線の端部が及ぼす影響を考慮して注目配線の
配線容量を求めることができるため、静電容量の計算を
より高精度に行うことができる。
Further, the extension distance of the wiring corresponding to the capacitance existing between the end of the adjacent wiring and the distance between the adjacent wiring and the plurality of situations classified by the wiring layer is respectively determined. Calculate, store each calculated extension distance as a table corresponding to the situation, obtain the extension distance of the wiring adjacent to the target wiring by referring to the table, and extend the layout information of the adjacent wiring by the extension distance. so,
Since the wiring capacitance of the wiring of interest can be obtained in consideration of the influence of the end of the adjacent wiring, the calculation of the capacitance can be performed with higher accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の配線容量算出装置の第1実施例の構成
を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a first embodiment of a wiring capacitance calculating device according to the present invention.

【図2】図1に示した配線容量算出装置の処理手順を示
すフローチャートである。
FIG. 2 is a flowchart illustrating a processing procedure of the wiring capacitance calculation device illustrated in FIG. 1;

【図3】図1に示した容量係数テーブル記憶部に記憶さ
れた容量係数テーブルの一構成例を示すテーブル図であ
る。
FIG. 3 is a table diagram showing a configuration example of a capacity coefficient table stored in a capacity coefficient table storage unit shown in FIG. 1;

【図4】図1に示した配線分割装置の処理を示す図であ
り、注目配線が中間層にない場合の配線の分割方法を示
す模式図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a process of the wiring dividing device illustrated in FIG. 1, and is a schematic diagram illustrating a wiring dividing method when a target wiring is not in an intermediate layer.

【図5】図1に示した配線分割装置の処理を示す図であ
り、注目配線が中間層に存在する場合の配線の分割方法
を示す模式図である。
FIG. 5 is a diagram showing a process of the wiring dividing device shown in FIG. 1, and is a schematic diagram showing a wiring dividing method when a target wiring is present in an intermediate layer.

【図6】注目部分配線の周囲状況の一例を示す模式図で
ある。
FIG. 6 is a schematic diagram showing an example of a situation around a noticed partial wiring.

【図7】図1に示した配線分割装置で配線容量を算出す
る注目配線の具体例を示す模式図である。
FIG. 7 is a schematic diagram showing a specific example of a target wiring for calculating a wiring capacitance by the wiring dividing device shown in FIG. 1;

【図8】図7に示した注目配線に対する配線分割装置の
処理の一例を示す模式図である。
8 is a schematic diagram illustrating an example of a process performed by the wiring dividing device on the wiring of interest illustrated in FIG. 7;

【図9】図7に示した注目配線に対する配線分割装置及
び部分配線容量算出装置の処理の一例を示す模式図であ
る。
9 is a schematic diagram illustrating an example of a process performed by the wiring division device and the partial wiring capacitance calculation device for the wiring of interest illustrated in FIG. 7;

【図10】本発明の配線容量算出装置の第2実施例の構
成を示すブロック図である。
FIG. 10 is a block diagram showing a configuration of a second embodiment of the wiring capacitance calculation device of the present invention.

【図11】図10に示した配線容量算出装置で考慮する
注目配線と隣接配線の端部との間に存在する配線容量の
様子を示す模式図である。
11 is a schematic diagram illustrating a state of a wiring capacitance existing between a noticed wiring and an end of an adjacent wiring to be considered in the wiring capacitance calculating device illustrated in FIG. 10;

【図12】図10に示した配線容量算出装置の処理内容
を示す模式図である。
FIG. 12 is a schematic diagram showing processing contents of the wiring capacitance calculating device shown in FIG.

【図13】図10に示した配線容量算出装置の処理手順
を示すフローチャートである。
FIG. 13 is a flowchart illustrating a processing procedure of the wiring capacitance calculation device illustrated in FIG. 10;

【図14】図10に示した伸長距離テーブル記憶部に記
憶された伸長距離テーブルの一構成例を示すテーブル図
である。
FIG. 14 is a table diagram showing a configuration example of an extension distance table stored in an extension distance table storage unit shown in FIG.

【図15】図10に示した配線分割装置で配線容量を算
出する注目部分配線の具体例を示す模式図である。
FIG. 15 is a schematic diagram showing a specific example of a target partial wiring for calculating a wiring capacitance by the wiring dividing device shown in FIG. 10;

【図16】図15に示した注目部分配線に対する隣接配
線伸長装置の処理の一例を示す模式図である。
FIG. 16 is a schematic diagram illustrating an example of a process performed by the adjacent wiring extending device for the noticed partial wiring illustrated in FIG. 15;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101、1001 入力装置 102、1002 容量係数算出装置 103、1003 配線分割装置 104、1004 部分配線容量算出装置 105、1005 配線容量合計装置 106、1006 出力装置 107、1007 記憶装置 108、1008 容量係数テーブル記憶部 301 容量係数テーブル 401、501、701、1101 注目配線 505 上側配線層 506 下側配線層 608、1102、1502 隣接配線 609、610 交差配線 611 注目部分配線 801 第1の第1種部分配線 802 第2の第1種部分配線 901 第1の第2種部分配線 902 第2の第2種部分配線 903 第3の第2種部分配線 904 第4の第2種部分配線 905 第5の第2種部分配線 906 第6の第2種部分配線 907 第7の第2種部分配線 1009 伸長距離算出装置 1010 隣接配線伸長装置 1011 伸長距離テーブル記憶部 1201 等価隣接配線 1401 伸長距離テーブル 1501 注目部分配線 101, 1001 Input device 102, 1002 Capacity coefficient calculating device 103, 1003 Wiring dividing device 104, 1004 Partial wiring capacity calculating device 105, 1005 Wiring capacity total device 106, 1006 Output device 107, 1007 Storage device 108, 1008 Capacity coefficient table storage Part 301 Capacitance coefficient table 401, 501, 701, 1101 Target wiring 505 Upper wiring layer 506 Lower wiring layer 608, 1102, 1502 Adjacent wiring 609, 610 Cross wiring 611 Target partial wiring 801 First type 1 partial wiring 802 First 2nd type 1 partial wiring 901 1st 2nd type partial wiring 902 2nd 2nd type partial wiring 903 3rd 2nd type partial wiring 904 4th 2nd type partial wiring 905 5th 2nd type Partial wiring 906 Sixth second kind partial wiring 907 Seventh second kind part Wiring 1009 extended distance calculating apparatus 1010 adjacent wire extension device 1011 extended distance table storing unit 1201 equivalent adjacent wire 1401 extended distance table 1501 target portion wirings

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 配線の静電容量を算出する配線容量算出
装置であって、 単位長当たりの静電容量である容量係数を、隣接する配
線との距離及び交差する配線の交差間隔によって分類さ
れる複数の周囲状況に対応してそれぞれ算出する容量係
数算出装置と、 前記容量係数算出装置によって算出された各容量係数を
前記周囲状況に対応したテーブルとして記憶する容量係
数テーブル記憶部と、 前記静電容量の被算出配線である注目配線を前記周囲状
況に応じて分割する配線分割装置と、 前記配線分割装置によって分割された配線である部分配
線の容量係数をそれぞれ前記テーブルを参照して求め、
該容量係数に配線長を乗ずることで該部分配線の静電容
量をそれぞれ算出する部分配線容量算出装置と、 前記部分容量算出装置によって算出された各部分配線の
静電容量を合計し、前記注目配線の静電容量を算出する
配線容量合計装置と、を有する配線容量算出装置。
1. A wiring capacitance calculating device for calculating a capacitance of a wiring, wherein a capacitance coefficient, which is a capacitance per unit length, is classified according to a distance between adjacent wirings and an intersecting interval of intersecting wirings. A capacity coefficient calculating device that calculates each of the capacity factors corresponding to the plurality of surrounding conditions, a capacity coefficient table storage unit that stores each capacity coefficient calculated by the capacity coefficient calculating device as a table corresponding to the surrounding conditions, A wiring dividing device that divides the target wiring that is the calculated wiring of the capacitance according to the surrounding situation, and obtains the capacitance coefficient of the partial wiring that is the wiring divided by the wiring dividing device with reference to the table,
A partial wiring capacitance calculating device for calculating the capacitance of each of the partial wirings by multiplying the capacitance coefficient by a wiring length; and a capacitance of each partial wiring calculated by the partial capacitance calculating device, and A wiring capacitance calculating device comprising: a wiring capacitance total device for calculating a capacitance of a wiring.
【請求項2】 前記配線分割装置は、 前記注目配線が基板の中間層にない場合は前記注目配線
を幅方向に2分割し、前記注目配線が基板の中間層にあ
る場合は前記注目配線を幅方向に2分割すると共に厚さ
方向に2分割し、 該分割された配線のそれぞれの長さを、隣接する配線の
端部と対向する部位、及び他の配線と交差する部位でさ
らに分割する請求項1記載の配線容量算出装置。
2. The wiring dividing device according to claim 1, wherein the wiring of interest is divided into two in the width direction when the wiring of interest is not in an intermediate layer of the substrate, and the wiring of interest is divided when the wiring of interest is in an intermediate layer of the substrate. The wiring is divided into two parts in the width direction and two parts in the thickness direction, and the length of each divided wiring is further divided into a part facing an end of an adjacent wiring and a part intersecting with another wiring. The wiring capacity calculation device according to claim 1.
【請求項3】 隣接する配線の端部との間に存在する静
電容量に相当する該配線の伸長距離を、該配線との距離
及び配線層によって分類される複数の状況に対応してそ
れぞれ算出する伸長距離算出装置と、 前記伸長距離算出装置で算出された各伸長距離を、前記
状況に対応したテーブルとして記憶する伸長距離テーブ
ル記憶部と、 前記注目配線と隣接する配線の伸長距離を前記テーブル
を参照して求め、該配線のレイアウトの情報を該伸長距
離分だけ伸長する隣接配線伸長装置と、を有する請求項
1または2記載の配線容量算出装置。
3. An extension distance of the wiring corresponding to a capacitance existing between an end of an adjacent wiring and a distance between the wiring and a plurality of situations classified by a wiring layer. An elongation distance calculation device to calculate, an elongation distance table storage unit that stores each elongation distance calculated by the elongation distance calculation device as a table corresponding to the situation, and an elongation distance of a wiring adjacent to the wiring of interest. 3. The wiring capacity calculating device according to claim 1, further comprising: an adjacent wiring extending device that obtains the layout information of the wiring by the extension distance, obtained by referring to a table.
【請求項4】 配線の静電容量を算出するための配線容
量算出方法であって、 単位長当たりの静電容量である容量係数を、隣接する配
線との距離及び交差する配線の交差間隔によって分類さ
れる複数の周囲状況に対応してそれぞれ算出する容量係
数算出ステップと、 前記容量係数算出ステップで算出した各容量係数を前記
周囲状況に対応したテーブルとして記憶する容量係数テ
ーブル記憶ステップと、 前記静電容量の被算出配線である注目配線を前記周囲状
況に応じて分割する配線分割ステップと、 前記配線分割ステップで分割した配線である部分配線の
容量係数をそれぞれ前記テーブルを参照して求め、該容
量係数に配線長を乗ずることで該部分配線の静電容量を
それぞれ算出する部分配線容量算出ステップと、 前記部分配線容量算出ステップで算出した各部分配線の
静電容量を合計し、前記注目配線の静電容量を算出する
配線容量合計ステップと、を有する配線容量算出方法。
4. A wiring capacitance calculating method for calculating a capacitance of a wiring, wherein a capacitance coefficient, which is a capacitance per unit length, is determined by a distance between an adjacent wiring and an intersection interval of the intersecting wiring. A capacity coefficient calculating step of calculating each of the plurality of classified surrounding conditions, and a capacity coefficient table storing step of storing each of the capacity coefficients calculated in the capacity coefficient calculating step as a table corresponding to the surrounding conditions; A wiring dividing step of dividing the wiring of interest, which is a calculated wiring of the capacitance, according to the surrounding condition; and obtaining a capacitance coefficient of a partial wiring, which is the wiring divided in the wiring dividing step, by referring to the table, A step of calculating the capacitance of each of the partial wirings by multiplying the capacitance coefficient by a wiring length; and a step of calculating the partial wiring capacitance. Tsu summing the capacitance of each partial wiring calculated in flops, wiring capacity calculating method having a wiring capacitance sum calculating a capacitance of the target wiring.
【請求項5】 前記配線分割ステップで、 前記注目配線が基板の中間層にない場合は前記注目配線
を幅方向に2分割し、前記注目配線が基板の中間層にあ
る場合は前記注目配線を幅方向に2分割すると共に厚さ
方向に2分割し、 該分割された配線のそれぞれの長さを、隣接する配線の
端部と対向する部位、及び他の配線と交差する部位でさ
らに分割する請求項4記載の配線容量算出方法。
5. In the wiring dividing step, if the wiring of interest is not in the middle layer of the substrate, the wiring of interest is divided into two in the width direction. If the wiring of interest is in the middle layer of the substrate, the wiring of interest is divided. The wiring is divided into two parts in the width direction and two parts in the thickness direction, and the length of each divided wiring is further divided into a part facing an end of an adjacent wiring and a part intersecting with another wiring. The method according to claim 4.
【請求項6】 隣接する配線の端部との間に存在する静
電容量に相当する該配線の伸長距離を、該配線との距離
及び配線層によって分類される複数の状況に対応してそ
れぞれ算出する伸長距離算出ステップと、 前記伸長距離算出ステップで算出された各伸長距離を、
前記状況に対応したテーブルとして記憶する伸長距離テ
ーブル記憶ステップと、 前記注目配線と隣接する配線の伸長距離を前記テーブル
を参照して求め、該配線のレイアウトの情報を該伸長距
離分だけ伸長する隣接配線伸長ステップと、を有する請
求項4または5記載の配線容量算出方法。
6. An extension distance of an interconnect corresponding to a capacitance existing between an end portion of an adjacent interconnect and an extension distance of the interconnect corresponding to a plurality of situations classified by a distance from the interconnect and an interconnect layer. Elongation distance calculation step to calculate, and each elongation distance calculated in the elongation distance calculation step,
An extension distance table storing step of storing the table as a table corresponding to the situation; determining an extension distance of the wiring adjacent to the wiring of interest with reference to the table; 6. The wiring capacitance calculating method according to claim 4, further comprising a wiring extending step.
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WO2021261986A1 (en) * 2020-06-25 2021-12-30 Mimos Berhad A method of generating layout of integrated circuit (ic) design

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