JPH1125891A - Ｘ線蛍光増倍管装置 - Google Patents
Ｘ線蛍光増倍管装置Info
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- JPH1125891A JPH1125891A JP17330597A JP17330597A JPH1125891A JP H1125891 A JPH1125891 A JP H1125891A JP 17330597 A JP17330597 A JP 17330597A JP 17330597 A JP17330597 A JP 17330597A JP H1125891 A JPH1125891 A JP H1125891A
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- fluorescence intensifier
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- tube
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｓ字歪みの発生を少なくしたＸ線蛍光増倍管
装置を提供すること。 【解決手段】 真空外囲器１１内の一端に入力部１３
が、他端に出力部１６が設けられたＸ線蛍光増倍管と、
このＸ線蛍光増倍管を磁気シールドする管容器１８と、
真空外囲器１１外の入力部１３側に設けられた補正用コ
イル１９とを具備したＸ線蛍光増倍管装置において、Ｘ
線蛍光増倍管の軸方向における補正コイルの幅が、Ｘ線
蛍光増倍管の入射面視野寸法の１／４以上になってい
る。
装置を提供すること。 【解決手段】 真空外囲器１１内の一端に入力部１３
が、他端に出力部１６が設けられたＸ線蛍光増倍管と、
このＸ線蛍光増倍管を磁気シールドする管容器１８と、
真空外囲器１１外の入力部１３側に設けられた補正用コ
イル１９とを具備したＸ線蛍光増倍管装置において、Ｘ
線蛍光増倍管の軸方向における補正コイルの幅が、Ｘ線
蛍光増倍管の入射面視野寸法の１／４以上になってい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えばＸ線を可
視光に変換するＸ線蛍光増倍管を用いたＸ線蛍光増倍管
装置に関する。
視光に変換するＸ線蛍光増倍管を用いたＸ線蛍光増倍管
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＸ線蛍光増倍管装置について図６
を参照して説明する。符号６１は、Ｘ線蛍光増倍管を構
成する真空外囲器で、真空外囲器６１の前面には入力窓
６２が設けられている。入力窓６２は、Ｘ線を透過する
アルミニウムなどの材料を用い、凸面に形成されてい
る。入力窓６２の内側には入力部６３が設けられ、ま
た、真空外囲器６１の内部には、集束電極６４ａ〜６４
ｃや陽極６５が設けられている。真空外囲器６１の端部
に出力部６６が設けられている。出力部６６の後方は出
力窓６７になっている。なお、符号Ｏは、Ｘ線蛍光増倍
管の入力部６３と出力部６６の各中心を結ぶ管軸であ
る。
を参照して説明する。符号６１は、Ｘ線蛍光増倍管を構
成する真空外囲器で、真空外囲器６１の前面には入力窓
６２が設けられている。入力窓６２は、Ｘ線を透過する
アルミニウムなどの材料を用い、凸面に形成されてい
る。入力窓６２の内側には入力部６３が設けられ、ま
た、真空外囲器６１の内部には、集束電極６４ａ〜６４
ｃや陽極６５が設けられている。真空外囲器６１の端部
に出力部６６が設けられている。出力部６６の後方は出
力窓６７になっている。なお、符号Ｏは、Ｘ線蛍光増倍
管の入力部６３と出力部６６の各中心を結ぶ管軸であ
る。
【０００３】上記した構成のＸ線蛍光増倍管は、磁気シ
ールド効果のある管容器６８内に収納されている。ま
た、真空外囲器６１の外側で管容器６８の内側に、外部
磁界によるＳ字歪みを補正するための補正コイル６９が
入力部６３を囲むように装着されている。なお、真空外
囲器６１内の出力部６６の後方に位置する管容器６８に
は開口７０が設けられている。
ールド効果のある管容器６８内に収納されている。ま
た、真空外囲器６１の外側で管容器６８の内側に、外部
磁界によるＳ字歪みを補正するための補正コイル６９が
入力部６３を囲むように装着されている。なお、真空外
囲器６１内の出力部６６の後方に位置する管容器６８に
は開口７０が設けられている。
【０００４】上記した構成において、被写体を透過した
Ｘ線は入力窓６２を通して入力部６３に入力し、光電子
に変換される。入力部６３から出力された光電子は、集
束電極６４ａ〜６４ｃおよび陽極６５で集束、加速さ
れ、出力部６６に到達し、可視光に変換される。出力部
６６から出力された可視光は、真空外囲器６１の出力窓
６７を透過して外部に取り出され、ＴＶカメラなどによ
って電気信号に変換される。
Ｘ線は入力窓６２を通して入力部６３に入力し、光電子
に変換される。入力部６３から出力された光電子は、集
束電極６４ａ〜６４ｃおよび陽極６５で集束、加速さ
れ、出力部６６に到達し、可視光に変換される。出力部
６６から出力された可視光は、真空外囲器６１の出力窓
６７を透過して外部に取り出され、ＴＶカメラなどによ
って電気信号に変換される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】Ｘ線蛍光増倍管装置
は、Ｘ線蛍光増倍管の入力部６３から出力された光電子
が、集束電極６４ａ〜６４ｃおよび陽極６５で形成され
た電子レンズによって集束、加速され出力部６６に焦点
を結んでいる。このとき、光電子の軌道上に磁界がある
とローレンツ力によって光電子の軌道が曲がってしま
う。このような磁界の影響をなくすために、磁気シール
ド機能をもつ管容器６８内にＸ線蛍光増倍管を収納して
いる。
は、Ｘ線蛍光増倍管の入力部６３から出力された光電子
が、集束電極６４ａ〜６４ｃおよび陽極６５で形成され
た電子レンズによって集束、加速され出力部６６に焦点
を結んでいる。このとき、光電子の軌道上に磁界がある
とローレンツ力によって光電子の軌道が曲がってしま
う。このような磁界の影響をなくすために、磁気シール
ド機能をもつ管容器６８内にＸ線蛍光増倍管を収納して
いる。
【０００６】管容器６８を構成する磁気シールド部材
は、透磁率の高いニッケルや鉄などを主成分としてい
る。磁気シールド部材はＸ線の透過率が低いため、Ｘ線
が入射する領域、例えば、Ｘ線蛍光増倍管の前方には使
用されない。したがって、Ｘ線蛍光増倍管の前方から外
部磁気が入り、Ｘ線蛍光増倍管の出力画像に歪みが発生
する。
は、透磁率の高いニッケルや鉄などを主成分としてい
る。磁気シールド部材はＸ線の透過率が低いため、Ｘ線
が入射する領域、例えば、Ｘ線蛍光増倍管の前方には使
用されない。したがって、Ｘ線蛍光増倍管の前方から外
部磁気が入り、Ｘ線蛍光増倍管の出力画像に歪みが発生
する。
【０００７】ところで、外部磁界の方向が、Ｘ線蛍光増
倍管の管軸Ｏに一致する場合、Ｘ線蛍光増倍管に入った
外部磁界が電子に与える影響はローレンツ力に比例す
る。例えば、電子の運動方向と磁界方向との角度をθと
すると、ローレンツ力はｓｉｎθの関数で表される。Ｘ
線蛍光増倍管の入力部は、通常、凸型になっている。こ
のため、入力部の周辺ほど磁界による影響が大きく、画
像歪みはアルファベットのＳ字状となり、Ｓ字歪みと呼
ばれている。
倍管の管軸Ｏに一致する場合、Ｘ線蛍光増倍管に入った
外部磁界が電子に与える影響はローレンツ力に比例す
る。例えば、電子の運動方向と磁界方向との角度をθと
すると、ローレンツ力はｓｉｎθの関数で表される。Ｘ
線蛍光増倍管の入力部は、通常、凸型になっている。こ
のため、入力部の周辺ほど磁界による影響が大きく、画
像歪みはアルファベットのＳ字状となり、Ｓ字歪みと呼
ばれている。
【０００８】Ｓ字歪みを防止する方法として、例えば、
Ｘ線蛍光増倍管の入力窓の周辺に補正コイルを配置する
方法がある（米国特許第３，８０９，８８９号公報、特
開昭６４−５９７４１号公報参照）。
Ｘ線蛍光増倍管の入力窓の周辺に補正コイルを配置する
方法がある（米国特許第３，８０９，８８９号公報、特
開昭６４−５９７４１号公報参照）。
【０００９】この方法の場合、入力窓よりも前に補正コ
イルを配置した方が効果が大きくなる。しかし、Ｘ線蛍
光増倍管を管容器内に収納した場合、入力窓の前方には
補正コイルを配置するスペースがなく、あまり前方に配
置することができない。また、補正コイルの位置を前方
にすると、Ｓ字歪みに対する補正効果は大きいものの、
Ｘ線蛍光増倍管の有効視野が狭くなるという問題があ
る。このため、補正コイルは、入力窓の端に近い部分に
配置される。
イルを配置した方が効果が大きくなる。しかし、Ｘ線蛍
光増倍管を管容器内に収納した場合、入力窓の前方には
補正コイルを配置するスペースがなく、あまり前方に配
置することができない。また、補正コイルの位置を前方
にすると、Ｓ字歪みに対する補正効果は大きいものの、
Ｘ線蛍光増倍管の有効視野が狭くなるという問題があ
る。このため、補正コイルは、入力窓の端に近い部分に
配置される。
【００１０】また、補正コイルを用いる場合、Ｘ線蛍光
増倍管の管軸方向に計った幅は１０ｍｍ程度のものが使
用されている。このような寸法の補正コイルは、これに
よって作られる磁界の密度分布は必ずしも均一にならな
い、また、外部磁界も管容器の磁気シールド材の影響を
受け、均一に分布していない。このため、Ｘ線蛍光増倍
管の入力部の視野サイズが大きいと、Ｓ字歪みの補正が
困難になっている。
増倍管の管軸方向に計った幅は１０ｍｍ程度のものが使
用されている。このような寸法の補正コイルは、これに
よって作られる磁界の密度分布は必ずしも均一にならな
い、また、外部磁界も管容器の磁気シールド材の影響を
受け、均一に分布していない。このため、Ｘ線蛍光増倍
管の入力部の視野サイズが大きいと、Ｓ字歪みの補正が
困難になっている。
【００１１】また、従来のＸ線蛍光増倍管装置では、Ｓ
字歪みを解消するために、例えば、Ｘ線蛍光増倍管を収
納する管容器の入力側の開口部分に、厚さが５０μｍ程
度の薄いパーマロイ材を配置して磁気シールドし、これ
と同時に、管容器の内部に補正コイルを配置する方法が
ある。この方法の場合、Ｓ字歪みはほとんど補正でき
る。しかし、Ｘ線が入射する領域に磁気シールド材があ
るため、Ｘ線の透過率が１０％ほど低下する。また、Ｘ
線の散乱などでコントラスト特性が悪くなっている。
字歪みを解消するために、例えば、Ｘ線蛍光増倍管を収
納する管容器の入力側の開口部分に、厚さが５０μｍ程
度の薄いパーマロイ材を配置して磁気シールドし、これ
と同時に、管容器の内部に補正コイルを配置する方法が
ある。この方法の場合、Ｓ字歪みはほとんど補正でき
る。しかし、Ｘ線が入射する領域に磁気シールド材があ
るため、Ｘ線の透過率が１０％ほど低下する。また、Ｘ
線の散乱などでコントラスト特性が悪くなっている。
【００１２】この発明は、上記した欠点を解決するもの
で、Ｓ字歪みの発生を少なくしたＸ線蛍光増倍管装置を
提供することを目的とする。
で、Ｓ字歪みの発生を少なくしたＸ線蛍光増倍管装置を
提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、真空外囲器内
の一端に入力部が、他端に出力部が設けられたＸ線蛍光
増倍管と、このＸ線蛍光増倍管を磁気シールドする管容
器と、前記真空外囲器外の前記入力部側に設けられた補
正用コイルとを具備したＸ線蛍光増倍管装置において、
前記Ｘ線蛍光増倍管の軸方向における前記補正コイルの
幅が、前記Ｘ線蛍光増倍管の入射面視野寸法の１／４以
上であることを特徴としている。
の一端に入力部が、他端に出力部が設けられたＸ線蛍光
増倍管と、このＸ線蛍光増倍管を磁気シールドする管容
器と、前記真空外囲器外の前記入力部側に設けられた補
正用コイルとを具備したＸ線蛍光増倍管装置において、
前記Ｘ線蛍光増倍管の軸方向における前記補正コイルの
幅が、前記Ｘ線蛍光増倍管の入射面視野寸法の１／４以
上であることを特徴としている。
【００１４】また、本発明は、真空外囲器内の一端に入
力部が、他端に出力部が設けられたＸ線蛍光増倍管と、
このＸ線蛍光増倍管を磁気シールドする管容器と、前記
真空外囲器外の前記入力部側に設けられた補正用コイル
とを具備したＸ線蛍光増倍管装置において、前記Ｘ線蛍
光増倍管の軸方向における前記補正コイルの幅が、前記
Ｘ線蛍光増倍管の入射面視野寸法の１／２以上であるこ
とを特徴としている。上記した構成によれば、Ｘ線蛍光
増倍管の軸方向における補正コイルの幅が、Ｘ線蛍光増
倍管の入射面視野寸法の１／４以上、あるいは１／２以
上になっている。この構成によれば、補正コイルが作る
磁界が外部磁界に近似し、Ｓ字歪みを効果的に補正でき
る。Ｘ線蛍光増倍管の軸方向における補正コイルの中心
位置が入力部の端縁よりも出力部側に位置させた場合
も、補正コイルが作る磁界が外部磁界に近似し、Ｓ字歪
みを効果的に補正できる。したがって、外部磁界の入射
方向が変化するような場合、例えばＸ線蛍光増倍管装置
を移動させながら被写休を撮影する場合に有効である。
力部が、他端に出力部が設けられたＸ線蛍光増倍管と、
このＸ線蛍光増倍管を磁気シールドする管容器と、前記
真空外囲器外の前記入力部側に設けられた補正用コイル
とを具備したＸ線蛍光増倍管装置において、前記Ｘ線蛍
光増倍管の軸方向における前記補正コイルの幅が、前記
Ｘ線蛍光増倍管の入射面視野寸法の１／２以上であるこ
とを特徴としている。上記した構成によれば、Ｘ線蛍光
増倍管の軸方向における補正コイルの幅が、Ｘ線蛍光増
倍管の入射面視野寸法の１／４以上、あるいは１／２以
上になっている。この構成によれば、補正コイルが作る
磁界が外部磁界に近似し、Ｓ字歪みを効果的に補正でき
る。Ｘ線蛍光増倍管の軸方向における補正コイルの中心
位置が入力部の端縁よりも出力部側に位置させた場合
も、補正コイルが作る磁界が外部磁界に近似し、Ｓ字歪
みを効果的に補正できる。したがって、外部磁界の入射
方向が変化するような場合、例えばＸ線蛍光増倍管装置
を移動させながら被写休を撮影する場合に有効である。
【００１５】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態について図
１を参照して説明する。符号１１は、Ｘ線蛍光増倍管を
構成する真空外囲器で、真空外囲器１１の前面に入力窓
１２が設けられている。入力窓１２は凸面に形成され、
その材料にはＸ線を透過するアルミニウムなどが使用さ
れている。入力窓１２の内側には入力部１３が設けられ
ている。また、真空外囲器１１の内部には、集束電極１
４ａ〜１４ｃや陽極１５が設けられ、真空外囲器１１の
端部に出力部１６が設けられている。出力部１６の後方
は出力窓１７になっている。符号Ｏは、Ｘ線蛍光増倍管
の入力部１３と出力部１６の各中心を結ぶ管軸である。
１を参照して説明する。符号１１は、Ｘ線蛍光増倍管を
構成する真空外囲器で、真空外囲器１１の前面に入力窓
１２が設けられている。入力窓１２は凸面に形成され、
その材料にはＸ線を透過するアルミニウムなどが使用さ
れている。入力窓１２の内側には入力部１３が設けられ
ている。また、真空外囲器１１の内部には、集束電極１
４ａ〜１４ｃや陽極１５が設けられ、真空外囲器１１の
端部に出力部１６が設けられている。出力部１６の後方
は出力窓１７になっている。符号Ｏは、Ｘ線蛍光増倍管
の入力部１３と出力部１６の各中心を結ぶ管軸である。
【００１６】上記した構成のＸ線蛍光増倍管は、磁気シ
ールド効果のある管容器１８内に収納されている。ま
た、真空外囲器１１の外側で管容器１８の内側に、入力
部１３を囲むようにＳ字歪み補正用の補正コイル１９が
装着されている。補正コイル１９の幅Ｌは、Ｘ線蛍光増
倍管の管軸Ｏ方向で計った場合に、Ｘ線蛍光増倍管の入
力部１３の入射面視野寸法の１／４以上になっている。
また、Ｘ線蛍光増倍管の軸方向における補正コイル１９
の中心位置Ｍは、入力部１３の端縁１３ａよりも出力部
１６側にしている。なお、真空外囲器１１の出力部１６
の後方に位置する管容器１８部分には開口２０が設けら
れている。
ールド効果のある管容器１８内に収納されている。ま
た、真空外囲器１１の外側で管容器１８の内側に、入力
部１３を囲むようにＳ字歪み補正用の補正コイル１９が
装着されている。補正コイル１９の幅Ｌは、Ｘ線蛍光増
倍管の管軸Ｏ方向で計った場合に、Ｘ線蛍光増倍管の入
力部１３の入射面視野寸法の１／４以上になっている。
また、Ｘ線蛍光増倍管の軸方向における補正コイル１９
の中心位置Ｍは、入力部１３の端縁１３ａよりも出力部
１６側にしている。なお、真空外囲器１１の出力部１６
の後方に位置する管容器１８部分には開口２０が設けら
れている。
【００１７】ここで、Ｘ線蛍光増倍管へ入射する外部磁
界の様子、および、補正コイル１９の働きについて、そ
れらを模式的に示した図２乃至図４を参照して説明す
る。これらの図は、Ｘ線蛍光増倍管の管軸Ｏから一方の
側だけを示し、また、図１に対応する部分には同一の符
号を付し、重複する説明は省略する。
界の様子、および、補正コイル１９の働きについて、そ
れらを模式的に示した図２乃至図４を参照して説明す
る。これらの図は、Ｘ線蛍光増倍管の管軸Ｏから一方の
側だけを示し、また、図１に対応する部分には同一の符
号を付し、重複する説明は省略する。
【００１８】図２は、外部磁界の様子を示し、磁力線Ｊ
は、管容器１８に近い領域では、管容器１８を構成する
透磁率の高い磁気シールド材の方へ引き寄せられる。管
容器１８の前面開口部分は磁気シールド材がないため、
外部磁界がＸ線蛍光増倍管に入り込み、Ｘ線蛍光増倍管
の入力部から出力部へ進む電子の軌道に影響を与える。
このとき、磁力線Ｊは、入力部１３の近くではＸ線蛍光
増倍管の管軸Ｏにほぼ平行となり、その後、管容器１８
の方へ引き寄せられる。なお、外部磁界は、管容器１８
など磁気シールド材のない部分の面積が大きければ大き
いほど、多くの磁界がまた奥の方まで入り込み、Ｓ字歪
みを大きくする。
は、管容器１８に近い領域では、管容器１８を構成する
透磁率の高い磁気シールド材の方へ引き寄せられる。管
容器１８の前面開口部分は磁気シールド材がないため、
外部磁界がＸ線蛍光増倍管に入り込み、Ｘ線蛍光増倍管
の入力部から出力部へ進む電子の軌道に影響を与える。
このとき、磁力線Ｊは、入力部１３の近くではＸ線蛍光
増倍管の管軸Ｏにほぼ平行となり、その後、管容器１８
の方へ引き寄せられる。なお、外部磁界は、管容器１８
など磁気シールド材のない部分の面積が大きければ大き
いほど、多くの磁界がまた奥の方まで入り込み、Ｓ字歪
みを大きくする。
【００１９】補正コイルは、上記した外部磁界の影響を
なくすもので、管容器１８内に侵入する外部磁界と逆向
きの磁界を作っている。したがって、補正コイルが作り
出す磁界は、外部磁界と逆向きで同じ密度分布を持つこ
とが理想とされる。
なくすもので、管容器１８内に侵入する外部磁界と逆向
きの磁界を作っている。したがって、補正コイルが作り
出す磁界は、外部磁界と逆向きで同じ密度分布を持つこ
とが理想とされる。
【００２０】次に、Ｘ線蛍光増倍管の管軸Ｏ方向の幅が
小さい補正コイルが作り出す磁界の様子について、それ
を模式的に示した図３で説明する。図３は、補正コイル
の幅が１０ｍｍ程度の場合である。このとき、補正コイ
ル１９の幅が小さいため、磁力線Ｊ１は補正コイル１９
を中心にほぼ同心円上に分布している。
小さい補正コイルが作り出す磁界の様子について、それ
を模式的に示した図３で説明する。図３は、補正コイル
の幅が１０ｍｍ程度の場合である。このとき、補正コイ
ル１９の幅が小さいため、磁力線Ｊ１は補正コイル１９
を中心にほぼ同心円上に分布している。
【００２１】次に、Ｘ線蛍光増倍管の管軸Ｏ方向の幅が
大きい補正コイルが作り出す磁界の様子について、それ
を模式的に示した図４で説明する。図４は、補正コイル
の幅が人力部１３の視野寸法の１／４以上になってい
る。この場合、補正コイル１９の幅が大きいため、磁力
線Ｊ２は、円を左右に引き伸ばしたような分布を示し、
管容器１８内に侵入してくる外部磁界の分布（図２の
Ｊ）により近似している。したがって、補正コイルは幅
の大きい方がＳ字歪みを効果的に補正できる。
大きい補正コイルが作り出す磁界の様子について、それ
を模式的に示した図４で説明する。図４は、補正コイル
の幅が人力部１３の視野寸法の１／４以上になってい
る。この場合、補正コイル１９の幅が大きいため、磁力
線Ｊ２は、円を左右に引き伸ばしたような分布を示し、
管容器１８内に侵入してくる外部磁界の分布（図２の
Ｊ）により近似している。したがって、補正コイルは幅
の大きい方がＳ字歪みを効果的に補正できる。
【００２２】また、Ｘ線蛍光増倍管に侵入する外部磁界
は、入力部１３の近くでは、少しの間、Ｘ線蛍光増倍管
の管軸Ｏにほぼ平行になっている。このため、補正コイ
ルの中心を入力部１３の端縁１３ａよりも出力側にした
方が外部磁界の分布に近似できる。
は、入力部１３の近くでは、少しの間、Ｘ線蛍光増倍管
の管軸Ｏにほぼ平行になっている。このため、補正コイ
ルの中心を入力部１３の端縁１３ａよりも出力側にした
方が外部磁界の分布に近似できる。
【００２３】ここで、補正コイルによるＳ字歪みの補正
効果について、発明者の実験結果を図５で説明する。図
５の横軸は出力位置（％：０％は中心、１００％は外
側）を示し、縦軸は変位（ｍｍ）を示している。この実
験では、１６吋型Ｘ線蛍光増倍管（入射面視野寸法４０
０ｍｍ）を使用している。また、補正コイルには直径が
０．５ｍｍのニクロム線を使用し、幅と巻き数はそれぞ
れ、１０ｍｍで２０ターン、５０ｍｍで１００ターン、
１００ｍｍで２００ターン、２００ｍｍで４００ターン
としている。そして、大型コイルを用いて外部磁界とし
て０．５ガウスかけ、その中にＸ線蛍光増倍管装置を配
置し、磁界が全くない状態に対する出力像の変位を測定
した。なお、補正コイルに流したコイル電流は、幅が１
０ｍｍのものは２８０ｍＡ、幅が５０ｍｍのものは５０
ｍＡ、１００ｍｍのものは２４ｍＡ、２００ｍｍのもの
は１１ｍＡとなっている。
効果について、発明者の実験結果を図５で説明する。図
５の横軸は出力位置（％：０％は中心、１００％は外
側）を示し、縦軸は変位（ｍｍ）を示している。この実
験では、１６吋型Ｘ線蛍光増倍管（入射面視野寸法４０
０ｍｍ）を使用している。また、補正コイルには直径が
０．５ｍｍのニクロム線を使用し、幅と巻き数はそれぞ
れ、１０ｍｍで２０ターン、５０ｍｍで１００ターン、
１００ｍｍで２００ターン、２００ｍｍで４００ターン
としている。そして、大型コイルを用いて外部磁界とし
て０．５ガウスかけ、その中にＸ線蛍光増倍管装置を配
置し、磁界が全くない状態に対する出力像の変位を測定
した。なお、補正コイルに流したコイル電流は、幅が１
０ｍｍのものは２８０ｍＡ、幅が５０ｍｍのものは５０
ｍＡ、１００ｍｍのものは２４ｍＡ、２００ｍｍのもの
は１１ｍＡとなっている。
【００２４】図５で示されるように、補正コイルのない
場合（◆印）は変位が大きく、幅が１０ｍｍの場合（■
印）は周辺部の補正効果が強くなりすぎている。補正コ
イルの幅が５０ｍｍ（▲印）から１００ｍｍ（×印）、
２００ｍｍ（＊印）と長くなるにつれてＳ字歪みは低下
し、効果的な補正が行われている。この結果、補正コイ
ルの幅は１００ｍｍ以上、すなわち入射面視野寸法の１
／４以上の幅が有効で、１／２以上とすることにより、
効果がより大きくなっている。
場合（◆印）は変位が大きく、幅が１０ｍｍの場合（■
印）は周辺部の補正効果が強くなりすぎている。補正コ
イルの幅が５０ｍｍ（▲印）から１００ｍｍ（×印）、
２００ｍｍ（＊印）と長くなるにつれてＳ字歪みは低下
し、効果的な補正が行われている。この結果、補正コイ
ルの幅は１００ｍｍ以上、すなわち入射面視野寸法の１
／４以上の幅が有効で、１／２以上とすることにより、
効果がより大きくなっている。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、Ｓ字歪みの発生を少な
くしたＸ線蛍光増倍管装置を実現できる。
くしたＸ線蛍光増倍管装置を実現できる。
【図１】本発明の実施形態を説明する概略の構造図であ
る。
る。
【図２】本発明の動作を説明する模式図である。
【図３】本発明の動作を説明する模式図である。
【図４】本発明の動作を説明する模式図である。
【図５】本発明の動作を説明する特性図である。
【図６】従来例を説明する概略の構造図である。
１１…真空外囲器 １２…入力窓 １３…入力部 １３ａ…入力部の端縁 １４ａ〜１４ｃ…集束電極 １５…陽極 １６…出力部 １７…出力窓 １８…管容器 １９…補正コイル ２０…管容器の開口 Ｌ…補正コイルの幅 Ｍ…補正コイルの中心
Claims (2)
- 【請求項１】 真空外囲器内の一端に入力部が、他端に
出力部が設けられたＸ線蛍光増倍管と、このＸ線蛍光増
倍管を磁気シールドする管容器と、前記真空外囲器外の
前記入力部側に設けられた補正用コイルとを具備したＸ
線蛍光増倍管装置において、前記Ｘ線蛍光増倍管の軸方
向における前記補正コイルの幅が、前記Ｘ線蛍光増倍管
の入射面視野寸法の１／４以上であることを特徴とする
Ｘ線蛍光増倍管装置。 - 【請求項２】 真空外囲器内の一端に入力部が、他端に
出力部が設けられたＸ線蛍光増倍管と、このＸ線蛍光増
倍管を磁気シールドする管容器と、前記真空外囲器外の
前記入力部側に設けられた補正用コイルとを具備したＸ
線蛍光増倍管装置において、前記Ｘ線蛍光増倍管の軸方
向における前記補正コイルの幅が、前記Ｘ線蛍光増倍管
の入射面視野寸法の１／２以上であることを特徴とする
Ｘ線蛍光増倍管装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17330597A JPH1125891A (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | Ｘ線蛍光増倍管装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17330597A JPH1125891A (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | Ｘ線蛍光増倍管装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1125891A true JPH1125891A (ja) | 1999-01-29 |
Family
ID=15957990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17330597A Pending JPH1125891A (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | Ｘ線蛍光増倍管装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1125891A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102560451A (zh) * | 2012-02-22 | 2012-07-11 | 江苏大学 | 化学镀纳米银液、制备方法及其用于铜件的镀银的方法 |
-
1997
- 1997-06-30 JP JP17330597A patent/JPH1125891A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102560451A (zh) * | 2012-02-22 | 2012-07-11 | 江苏大学 | 化学镀纳米银液、制备方法及其用于铜件的镀银的方法 |
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