JPH11245399A - Ink jet recording head - Google Patents

Ink jet recording head

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JPH11245399A
JPH11245399A JP6793898A JP6793898A JPH11245399A JP H11245399 A JPH11245399 A JP H11245399A JP 6793898 A JP6793898 A JP 6793898A JP 6793898 A JP6793898 A JP 6793898A JP H11245399 A JPH11245399 A JP H11245399A
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ink
reservoir
jet recording
recording head
ink jet
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Kaoru Momose
薫 百瀬
Tomoaki Takahashi
智明 高橋
Nobuaki Okazawa
宣昭 岡沢
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    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14419Manifold

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To stably supply an ink independently to a plurality of rows of pressure generating chambers formed on the same base plate without increasing a width direction size of a recording head by forming a channel communicating with a reservoir body at an ink introducing inlet periphery, and supporting two points of an outer periphery of an ink guide passage opening. SOLUTION: In the step of adhering a channel unit to a head holder, two points of a reservoir 3 of a peripheral edge of an ink guide passage opening 13, i.e., an area of a wall of a right side of a recess 18 and a wall 2a for forming an ink supply port and an area of an end 19a of a protrusion 19 are supported. A sealing plate at a periphery of the opening 13 of the ink guide passage is effectively adhered to the holder to obtain a liquid-sealing structure. When a drive signal is applied to the head, a piezoelectric vibrator is contracted, and a pressure generating chamber is expanded. Thus, an ink of the reservoir 3 flows from the ink supply port to the generating chamber. When a predetermined time is elapsed so that the vibrator is electrically discharged, the vibrator is elongated to be reset to its original state.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明が属する技術の分野】本発明は、記録媒体にイン
ク滴を吐出して記録画像を形成するインクジェット式記
録ヘッド、より詳細には圧力発生室等の流路を形成する
スペーサの構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording head for forming a recorded image by discharging ink droplets on a recording medium, and more particularly to a structure of a spacer for forming a flow path such as a pressure generating chamber.

【0002】[0002]

【従来の技術】ノズルと連通する圧力発生室の壁面に弾
性変形可能な封止板を積層し、この封止板を圧電振動子
により加圧することによりインク滴を吐出し記録媒体に
記録するインクジェット式記録ヘッドは、例えば特開平
7-323543号公報に見られるようにノズルを有するノズル
プレートと、圧力発生室とリザーバ及びインク流路が形
成されたスペーサ部材と、封止板をサンドイッチ状に積
層し、この封止板を圧電振動子により弾性変形させて、
圧力発生室を膨張、収縮させるように構成されている。
2. Description of the Related Art Ink jet recording is performed by laminating an elastically deformable sealing plate on a wall surface of a pressure generating chamber communicating with a nozzle, and discharging the ink droplets by pressing the sealing plate with a piezoelectric vibrator to record on a recording medium. Type recording head is disclosed in
No. 7,323,543, a nozzle plate having a nozzle, a spacer member in which a pressure generating chamber, a reservoir and an ink flow path are formed, and a sealing plate are laminated in a sandwich shape. Elastically deformed by a vibrator,
The pressure generating chamber is configured to expand and contract.

【0003】リザーバは、2列の圧力発生室の外周を取
り囲むように略U字状に形成されていて、中央部に導入
口が接続するように構成されている。 このような構成
によれば、2列の圧力発生室を使用して高密度印刷が可
能となるものの、カラー印刷のように複数種のインクを
使用する記録ヘッドにあっては、インク種の数だけ記録
ヘッドを用意せねばならず、記録ヘッドの幅方向のサイ
ズが非常に大きくなるという問題がある。本発明はこの
ような問題に鑑みてなされたものであって、その目的と
するところは記録ヘッドの幅方向のサイズの拡大を招く
こと無く、同一の基板に形成された複数列の圧力発生室
の各列に独立してインクを安定に供給できるインクジェ
ット式記録ヘッドを提供することである。
[0003] The reservoir is formed in a substantially U shape so as to surround the outer peripheries of the two rows of pressure generating chambers, and is configured such that an inlet is connected to a central portion. According to such a configuration, high-density printing can be performed using two rows of pressure generating chambers. However, in a recording head that uses a plurality of types of inks, such as color printing, the number of ink types is small. However, there is a problem that the size of the recording head in the width direction becomes very large. The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide a plurality of rows of pressure generating chambers formed on the same substrate without increasing the size of a recording head in the width direction. An object of the present invention is to provide an ink jet recording head capable of stably supplying ink independently to each row.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、複数の圧力発生室を列状に
形成するとともに、各列の圧力発生室にインク供給口を
介して連通するリザーバを形成したスペーサと、前記圧
力発生室に連通するノズル開口が穿設されたノズルプレ
ートと、前記圧力発生室、及び前記リザーバを封止する
封止板とを積層して構成された流路ユニットと、前記流
路ユニットを固定するとともに、前記リザーバにインク
を注入するインク誘導路を備えたヘッドホルダとを備
え、前記スペーサが、そのインク導入口の周囲に前記リ
ザーバの本体に連通する接続流路が形成され、前記リザ
ーバを跨ぐ方向に前記インク誘導路の開口部の外周の少
なくとも2点を支持する領域を有するようにした。
According to the present invention, in order to solve such a problem, a plurality of pressure generating chambers are formed in a row and communicate with the pressure generating chambers in each row via ink supply ports. A flow formed by stacking a spacer having a reservoir formed therein, a nozzle plate provided with a nozzle opening communicating with the pressure generating chamber, a sealing plate for sealing the pressure generating chamber, and the reservoir. A path unit and a head holder that fixes the flow path unit and includes an ink guide path for injecting ink into the reservoir, wherein the spacer communicates with the main body of the reservoir around the ink introduction port. A connection flow path is formed, and has a region that supports at least two points on the outer periphery of the opening of the ink guide path in a direction across the reservoir.

【0005】[0005]

【作用】ヘッドホルダとの接着の過程で、インク導入口
の近傍に形成されているスペーサの凸部によりヘッドホ
ルダのインク誘導路の外周の複数点がヘッドホルダに当
接するため、この近傍が確実に接着され液密構造が確保
される。インク供給口からリザーバに逆流したインク
は、封止板の弾性変形により圧力上昇分が吸収される。
そして、インク導入口に対向する領域の圧力発生室から
逆流したインクもこの領域に形成されている凹部から両
側に分流して、両側の大きなコンプライアンスにより吸
収される。
In the process of bonding to the head holder, a plurality of points on the outer periphery of the ink guide path of the head holder are brought into contact with the head holder due to the convex portion of the spacer formed near the ink introduction port. And a liquid-tight structure is secured. The ink that has flowed back from the ink supply port to the reservoir absorbs a pressure increase due to the elastic deformation of the sealing plate.
In addition, the ink that has flowed back from the pressure generating chamber in the area facing the ink inlet is also diverted to both sides from the recess formed in this area, and is absorbed by the large compliance on both sides.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図1は、本発明の記録
ヘッドの一実施例を示すものであって、ノズル開口1、
インク供給口2、リザーバ3、及び圧力発生室4を形成
する流路形成ユニット5をヘッドホルダ6の一端に固定
するとともに、このユニット5の各列の圧力発生室4に
対向する位置に圧電振動子7、7、7、…の先端が当接
するように圧電振動子ユニット8をヘッドホルダ6に固
定して構成されている。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram of a first embodiment of the present invention. FIG. 1 shows an embodiment of a recording head according to the present invention.
A flow path forming unit 5 that forms the ink supply port 2, the reservoir 3, and the pressure generating chamber 4 is fixed to one end of the head holder 6, and a piezoelectric vibration is provided at a position facing the pressure generating chambers 4 in each row of the unit 5. The piezoelectric vibrator unit 8 is fixed to the head holder 6 so that the tips of the elements 7, 7, 7,...

【0007】ヘッドホルダ6は、図2に示したように圧
力発生室4に対向する位置に圧電振動子7、7、7を露
出させる窓9が、またリザーバ3に対向する領域には、
圧電振動子7により弾性変形可能な後述の封止板10を
弾性変形可能ならしめる凹部11が形成され、さらにリ
ザーバの中心部と対向する位置にはインク誘導路12の
先端を開口13を形成して構成されている。
As shown in FIG. 2, the head holder 6 has a window 9 for exposing the piezoelectric vibrators 7, 7, 7 at a position facing the pressure generating chamber 4, and a region facing the reservoir 3,
A concave portion 11 is formed to make a later-described sealing plate 10 elastically deformable by the piezoelectric vibrator 7 elastically deformable. Further, an opening 13 is formed at a position facing the center of the reservoir at the tip of an ink guide path 12. It is configured.

【0008】流路ユニット5は、圧力発生室2に連通す
るノズル開口1を備えたノズルプレート14と、リザー
バ3、インク供給口2、及び圧力発生室4を形成するス
ペーサ15と、少なくともリザーバ3、インク供給口
2、及び圧力発生室4を封止し、かつリザーバ3、及び
圧力発生室4の領域で弾性変形可能な弾性膜にヘッドホ
ルダ6の開口13とリザーバ3とを接続する通孔16を
穿設してなる封止板10とをサンドイッチ状に積層して
構成されている。
The flow path unit 5 includes a nozzle plate 14 having a nozzle opening 1 communicating with the pressure generating chamber 2, a spacer 3 for forming the reservoir 3, the ink supply port 2, and the pressure generating chamber 4, and at least a reservoir 3. The ink supply port 2 and the pressure generating chamber 4 are sealed, and the opening 13 of the head holder 6 and the reservoir 3 are connected to the reservoir 3 and an elastic film which can be elastically deformed in the area of the pressure generating chamber 4. 16 and a sealing plate 10 formed by piercing the sealing plate 16 in a sandwich shape.

【0009】封止板10は、この実施例では圧電振動子
7の変位を圧力発生室の容積変化に変換するために各圧
力発生室の中心線状に剛性を備えたアイランド部17が
形成されている。
In this embodiment, in order to convert the displacement of the piezoelectric vibrator 7 into a change in the volume of the pressure generating chambers, the sealing plate 10 is formed with an island portion 17 having rigidity in the center line of each pressure generating chamber. ing.

【0010】図3は、スペーサ15の一実施例を示すも
のであって、中心線を対称線とするように圧力発生室
4、4、4、…が2列一定のピッチで形成され、各列の
インク供給口2、2、2、…の外側にはそれぞれ独立し
てリザーバ3、3が形成され、インク供給口2、2、2
…を介してリザーバ3、3と各列の圧力発生室4、4、
4、…が接続されている。
FIG. 3 shows an embodiment of the spacer 15. Pressure generating chambers 4, 4, 4,... Are formed at a constant pitch in two rows so that the center line is a symmetrical line. The reservoirs 3, 3 are independently formed outside the ink supply ports 2, 2, 2,.
... and the reservoirs 3, 3 and the pressure generating chambers 4, 4,
4,... Are connected.

【0011】リザーバ3は、中心点を対称点とするよう
に両側が若干狭くなるように羽型に形成され、また中心
部にはヘッドホルダ6のインク誘導路12に接続する凹
部18を突出部19により区画して形成されている。こ
の凹部18は、リザーバ3の最外側よりも内側に位置す
るように形成されている。これにより、記録ヘッド全体
の幅を小さくして小型化を図ることが可能となる。
The reservoir 3 is formed in a wing shape so that both sides are slightly narrowed so that the center point is a symmetrical point, and a concave portion 18 connected to the ink guide path 12 of the head holder 6 is formed at the center portion. 19 are formed. The recess 18 is formed so as to be located inside the outermost side of the reservoir 3. This makes it possible to reduce the overall width of the recording head to achieve downsizing.

【0012】また、突出部19の両側(図では上下方
向)にはリザーバ3の本体部と凹部18とをインクの流
通が可能な程度の段差部からなる接続流路20が、図4
及び図5に示したように封止板10の側に形成されてい
る。
On both sides (vertical direction in the figure) of the protruding portion 19, a connecting flow path 20 composed of a step portion through which ink can flow through the main body portion of the reservoir 3 and the concave portion 18 is provided in FIG.
And as shown in FIG. 5, it is formed on the sealing plate 10 side.

【0013】このスペーサ15は、周知のように所定厚
に切り出されたシリコン単結晶基板を用い、リザーバ
3、凹部18等を異方性フルエッチングにより貫通孔を
形成し、また圧力発生室4や接続流路20を異方性ハー
フエッチングすることにより構成できる。
The spacer 15 is made of a silicon single crystal substrate cut to a predetermined thickness as is well known, and the reservoir 3, the recess 18 and the like are formed with through holes by anisotropic full etching. The connection channel 20 can be formed by anisotropic half-etching.

【0014】また、エッチング可能でかつインクに耐蝕
性を持つ金属やガラス等の板材を用い、これに貫通領域
や凹部をエッチングにより形成したり、また少なくとも
凹部の底面を境とするように厚み方向に複数の層に分解
し、各層の貫通孔に一致する貫通孔を形成したエッチン
グフィルムを積層することにより構成することができ
る。
Further, a plate material such as metal or glass which is etchable and has corrosion resistance to the ink is used, and a penetrating region and a concave portion are formed by etching in the plate material. Can be constituted by decomposing the film into a plurality of layers and laminating an etching film in which through holes corresponding to the through holes of each layer are formed.

【0015】この実施例において、スペーサ15の一方
の面にノズルプレート14を、また他方の面に封止板1
0を接着剤等により液密に固定して流路形成ユニット5
を構成する。
In this embodiment, the nozzle plate 14 is provided on one surface of the spacer 15 and the sealing plate 1 is provided on the other surface.
0 is fixed in a liquid-tight manner with an adhesive or the like to form a flow path forming unit 5.
Is configured.

【0016】この流路形成ユニット5のインク導入口1
6をヘッドホルダ6のインク誘導路12の開口13に位
置合わせして接着剤等によりヘッドホルダ6に固定し、
また圧電振動子7の先端が封止板10のアイランド部1
7に当接するように圧電振動子ユニット8をヘッドホル
ダ6に固定し、またヘッドホルダ6の他方の面にインク
供給針21やフィルタ22を取り付け、外側をシールド
部材を兼ねる枠体23で固定すると記録ヘッドが完成す
る。
The ink inlet 1 of the channel forming unit 5
6 is aligned with the opening 13 of the ink guide path 12 of the head holder 6 and fixed to the head holder 6 with an adhesive or the like;
The tip of the piezoelectric vibrator 7 is located at the island 1 of the sealing plate 10.
When the piezoelectric vibrator unit 8 is fixed to the head holder 6 so as to be in contact with 7, the ink supply needle 21 and the filter 22 are attached to the other surface of the head holder 6, and the outside is fixed by the frame 23 also serving as a shield member. The recording head is completed.

【0017】ところで、流路ユニット5とヘッドホルダ
6との接着の過程で、インク導入路12の開口13の周
縁の内、少なくともリザーバ3の幅方向の2点、つまり
図4において凹部18の図中右側の壁とインク供給口2
を形成する壁2aの領域、及び突出部19の先端19a
の領域でも支持されるため、インク誘導路の開口13の
周辺の封止板10がヘッドホルダ6に確実に接着され、
液密構造が確保される。
By the way, in the process of adhesion between the flow path unit 5 and the head holder 6, at least two points in the width direction of the reservoir 3 in the periphery of the opening 13 of the ink introduction path 12, that is, the concave portion 18 in FIG. Middle right wall and ink supply port 2
Area of the wall 2a forming the tip and the tip 19a of the projection 19
, The sealing plate 10 around the opening 13 of the ink guide path is securely adhered to the head holder 6,
A liquid-tight structure is ensured.

【0018】このように構成された記録ヘッドに駆動信
号を印加すると、圧電振動子7が収縮して圧力発生室4
が膨張する。これによりリザーバ3のインクがインク供
給口2から圧力発生室4に流れ込む。所定時間が経過し
た段階で圧電振動子7を放電させると、圧電振動子7が
伸長して元の状態に復帰する。この過程で圧力発生室4
が圧縮されて圧力発生室4のインクの一部がノズル開口
1からインク滴として吐出し、また残部がインク供給口
2からリザーバ3に逆流する。
When a drive signal is applied to the recording head thus configured, the piezoelectric vibrator 7 contracts and the pressure generating chamber 4
Expands. As a result, the ink in the reservoir 3 flows from the ink supply port 2 into the pressure generating chamber 4. When the piezoelectric vibrator 7 is discharged after a lapse of a predetermined time, the piezoelectric vibrator 7 expands and returns to the original state. In this process, the pressure generating chamber 4
Is compressed, a part of the ink in the pressure generating chamber 4 is discharged as an ink droplet from the nozzle opening 1, and the remaining part flows backward from the ink supply port 2 to the reservoir 3.

【0019】リザーバ3に逆流したインクは、リザーバ
3の圧力を上昇させることになるが、リザーバ3の一方
の面はフィルム等の弾性変形可能な封止板10により封
止され、かつヘッドホルダ6の対向する面に凹部11が
形成されているから、封止板10が圧力に応動して弾性
変形し、圧力上昇分を吸収する。またインク導入口16
に対向する領域の圧力発生室4から逆流したインクは、
この領域に形成されている接続流路20から両側に分流
して、両側のリザーバ3の本体の大きなコンプライアン
スにより吸収される。
The ink flowing back into the reservoir 3 increases the pressure in the reservoir 3. One surface of the reservoir 3 is sealed by an elastically deformable sealing plate 10 such as a film, and the head holder 6 The sealing plate 10 is elastically deformed in response to pressure and absorbs an increase in pressure because the concave portion 11 is formed on the opposite surface of the sealing plate 10. The ink inlet 16
The ink flowing backward from the pressure generating chamber 4 in the area facing
The fluid is diverted to both sides from the connection flow path 20 formed in this region, and is absorbed by the large compliance of the main bodies of the reservoirs 3 on both sides.

【0020】このようにしてリザーバ3のインクが消費
されると、インク供給針21により接続されている図示
しないインクカートリッジのインクがヘッドホルダ6の
インク誘導路12を経由してインク導入口12からリザ
ーバ3の凹部18の開口18aや接続流路20から両側
に分流して流れ込む。
When the ink in the reservoir 3 is consumed in this way, the ink in the ink cartridge (not shown) connected by the ink supply needle 21 passes from the ink introduction port 12 through the ink guide path 12 of the head holder 6. The fluid is divided and flows into both sides from the opening 18a of the concave portion 18 of the reservoir 3 and the connection flow path 20.

【0021】図6は、本発明の第2の実施例を示すもの
であって、この実施例においては前述の突出部19を、
凹部18を取り囲むように周回さて圧力発生室側(図
中、左側)に壁部19bを形成し、壁部19bに接続流
路24を形成したものである。
FIG. 6 shows a second embodiment of the present invention. In this embodiment, the above-mentioned protrusion 19 is provided.
A wall 19b is formed on the pressure generating chamber side (the left side in the figure) so as to surround the concave portion 18 and a connection flow path 24 is formed on the wall 19b.

【0022】この実施例によればインク誘導路12の開
口13の周縁と可及的に長い周長での当接領域を確保で
き、より安定に接着構造を確保することができる。
According to this embodiment, it is possible to secure the contact area with the peripheral edge of the opening 13 of the ink guide path 12 as long as possible, and to secure the bonding structure more stably.

【0023】なお、上述の実施例においては壁部19b
に接続流路24を形成しているが、図7に示したように
圧力発生室側のリザーバに対向する細長い領域に凹所2
5を形成するとともに、壁部19bに接続するように枝
26を形成すると、凹部18とリザーバ3との連通を確
保しつつ、壁部19bを補強することができる。
In the above embodiment, the wall portion 19b
The connection channel 24 is formed in the elongate area facing the reservoir on the pressure generating chamber side as shown in FIG.
When the branch 5 is formed and the branch 26 is formed so as to be connected to the wall 19b, the wall 19b can be reinforced while ensuring communication between the recess 18 and the reservoir 3.

【0024】さらには、図8に示したように枝26の先
端部26aを凹部から若干後退させて開口領域27を確
保するとともに、先端部26aの厚みをスペーサ15と
同一の厚みに形成して、ここをヘッドホルダ6のインク
誘導路12の開口13の周縁の支持領域とすることもで
きる。
Further, as shown in FIG. 8, the tip 26a of the branch 26 is slightly retracted from the recess to secure the opening area 27, and the tip 26a is formed to have the same thickness as the spacer 15. This may be used as a support area around the periphery of the opening 13 of the ink guide path 12 of the head holder 6.

【0025】なお、上述の実施例においては、ヘッドホ
ルダ6のインク誘導路12の開口13とリザーバ3との
接続流路を封止板10側に形成しているが、図9(イ)
に示したようにノズルプレート側に接続流路20’を形
成したり、また図9(ロ)に示したように両面に接続流
路20”を形成しても同様の作用を奏することは明らか
である。
In the above-described embodiment, the connection flow path between the opening 13 of the ink guide path 12 of the head holder 6 and the reservoir 3 is formed on the sealing plate 10 side.
It is apparent that the same effect can be obtained even if the connection flow path 20 'is formed on the nozzle plate side as shown in FIG. 9 or the connection flow path 20 "is formed on both sides as shown in FIG. It is.

【0026】特にノズルプレート側に接続流路20’を
形成した場合には、ヘッドホルダ6のインク誘導路12
の開口13の周辺に当接する領域のスペーサ15の突起
19が封止板10側では広い面積で残るため、ヘッドホ
ルダ6と流路ユニット5との接着作業時にスペーサ15
自体の剛性により接着のための圧力を掛け易い。これに
より、図10、図11に示すように図4に示した実施例
における突出部19の先端19aや図6、図7に示した
実施例における壁部19b、さらには図8に示した実施
例における先端部26aに相当する領域までを接続流路
とするように凹部を拡大して形成することができ、接続
流路での流路抵抗を下げることが可能となる。
In particular, when the connection flow path 20 ′ is formed on the nozzle plate side, the ink guide path 12
Since the projections 19 of the spacers 15 in the area in contact with the periphery of the openings 13 of the openings 13 remain in a large area on the sealing plate 10 side, the spacers 15 are bonded when the head holder 6 and the flow path unit 5 are bonded.
It is easy to apply pressure for bonding due to its rigidity. As a result, as shown in FIGS. 10 and 11, the tip 19a of the projection 19 in the embodiment shown in FIG. 4, the wall 19b in the embodiment shown in FIGS. 6 and 7, and furthermore, the embodiment shown in FIG. The concave portion can be formed so as to be enlarged so that the region corresponding to the distal end portion 26a in the example is used as the connection flow channel, and the flow resistance in the connection flow channel can be reduced.

【0027】さらには、図12に示したようにヘッドホ
ルダ6のインク誘導路12の開口13周辺に当たる領域
を凹部とすることができる。
Further, as shown in FIG. 12, a region corresponding to the periphery of the opening 13 of the ink guide path 12 of the head holder 6 can be a concave portion.

【0028】また上述の実施例においては、ヘッドホル
ダ6のインク誘導路12の開口13とリザーバ3との接
続流路をリザーバ3の延長方向に1つずつ形成している
が、各方向に複数形成したり、また図13に示したよう
に開口13の周辺に島部19cを残すように流路20を
形成して流路ユニットの接着性を確保しつつ、接続流路
の流路抵抗を下げることができる。
Further, in the above-described embodiment, the connection flow path between the opening 13 of the ink guide path 12 of the head holder 6 and the reservoir 3 is formed one by one in the direction in which the reservoir 3 extends. In addition, as shown in FIG. 13, the flow path 20 is formed so as to leave the island portion 19c around the opening 13, and the flow path resistance of the connection flow path is reduced while ensuring the adhesiveness of the flow path unit. Can be lowered.

【0029】さらには、上述の実施例においては圧力発
生手段として軸方向に伸縮する圧電振動子を使用してい
るが、たわみ振動する圧電振動子を各圧力発生室4に対
向させて設けたり、またインクを蒸発、気化させること
ができる発熱素子を各圧力発生室4に設けた記録ヘッド
に適用しても同様の作用をそうする。
Further, in the above-described embodiment, the piezoelectric vibrator which expands and contracts in the axial direction is used as the pressure generating means, but the piezoelectric vibrator which bends and vibrates is provided opposite each pressure generating chamber 4, The same effect can be obtained by applying a heating element capable of evaporating and vaporizing ink to a recording head provided in each pressure generating chamber 4.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
スペーサが、そのインク導入口の周囲にリザーバの本体
に連通する接続流路が形成され、リザーバを跨ぐ方向に
インク誘導路の開口部の外周の少なくとも2点を支持す
る領域を有するので、流路ユニットの接着の過程におい
てはインク導入口の近傍に形成されているスペーサの凸
部によりヘッドホルダのインク誘導路の外周の複数点を
ヘッドホルダに当接させて確実な接着を確保することが
でき、またインク誘導口近傍の圧力発生室からリザーバ
に逆流したインクをこの領域に形成されている凹部から
両側に分流させて両側の大きなコンプライアンスにより
吸収させることができる。
As described above, in the present invention,
The connection path is formed around the ink introduction port of the spacer so as to communicate with the main body of the reservoir, and the spacer has an area that supports at least two points on the outer periphery of the opening of the ink guide path in the direction across the reservoir. In the process of bonding the units, a plurality of points on the outer periphery of the ink guide path of the head holder can be brought into contact with the head holder by the convex portion of the spacer formed in the vicinity of the ink introduction port to ensure reliable bonding. In addition, the ink that has flowed back to the reservoir from the pressure generating chamber near the ink guide port can be diverted to both sides from the concave portion formed in this area and absorbed by the large compliance on both sides.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing one embodiment of an ink jet recording head of the present invention.

【図2】同上記録ヘッドの組立て斜視図である。FIG. 2 is an assembled perspective view of the recording head.

【図3】スペーサの一実施例を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing one embodiment of a spacer.

【図4】同上スペーサの、ヘッドホルダのインク誘導路
の開口と対向する領域を拡大して示す平面図である。
FIG. 4 is an enlarged plan view of a region of the spacer facing the opening of the ink guide path of the head holder.

【図5】ヘッドホルダのインク誘導路の開口の近傍を拡
大して示す断面図である。
FIG. 5 is an enlarged sectional view showing the vicinity of an opening of an ink guide path of a head holder.

【図6】本発明の他の実施例を、ヘッドホルダのインク
誘導路の開口の近傍を拡大して示す平面図である。
FIG. 6 is an enlarged plan view showing another embodiment of the present invention in the vicinity of an opening of an ink guide path of a head holder.

【図7】本発明の他の実施例を、ヘッドホルダのインク
誘導路の開口の近傍を拡大して示す平面図である。
FIG. 7 is an enlarged plan view showing the vicinity of an opening of an ink guide path of a head holder according to another embodiment of the present invention.

【図8】本発明の他の実施例を、ヘッドホルダのインク
誘導路の開口の近傍を拡大して示す平面図である。
FIG. 8 is a plan view showing another embodiment of the present invention in which the vicinity of the opening of the ink guide path of the head holder is enlarged.

【図9】図(イ)、(ロ)は、それぞれ本発明の他の実
施例を、ヘッドホルダのインク誘導路の開口の近傍を拡
大して示す断面図である。
FIGS. 9A and 9B are cross-sectional views showing another embodiment of the present invention, in which the vicinity of the opening of the ink guide path of the head holder is enlarged.

【図10】同上、ノズルプレート側に接続用の凹部を形
成した場合の実施例を、ヘッドホルダのインク誘導路の
開口の近傍を拡大して示す平面図である。
FIG. 10 is a plan view showing, in an enlarged scale, the vicinity of the opening of the ink guide path of the head holder in the embodiment in which a connection recess is formed on the nozzle plate side.

【図11】同上、ノズルプレート側に接続用の凹部を形
成した場合の実施例を、ヘッドホルダのインク誘導路の
開口の近傍を拡大して示す平面図である。
FIG. 11 is a plan view showing, in an enlarged manner, the vicinity of the opening of the ink guide path of the head holder in the embodiment in which a connection recess is formed on the nozzle plate side.

【図12】同上、ノズルプレート側に接続用の凹部を形
成した場合の実施例を、ヘッドホルダのインク誘導路の
開口の近傍を拡大して示す平面図である。
FIG. 12 is a plan view showing, in an enlarged manner, the vicinity of the opening of the ink guide path of the head holder in an embodiment in which a connection recess is formed on the nozzle plate side.

【図13】同上、ノズルプレート側に接続用の凹部を形
成した場合の実施例を、ヘッドホルダのインク誘導路の
開口の近傍を拡大して示す平面図である。
FIG. 13 is a plan view showing, in an enlarged manner, the vicinity of the opening of the ink guide path of the head holder in the embodiment in which a connection recess is formed on the nozzle plate side.

【符号の説明】 3 リザーバ 4 圧力発生室 5 流路ユニット 6 ヘッドホルダ 7 圧電振動子 10 封止板 12 インク誘導路 13 開口 14 ノズルプレート 15 スペーサ 16 インク導入口 18 凹部 19 突出部 20 接続流路[Description of Reference Numerals] 3 reservoir 4 pressure generating chamber 5 flow path unit 6 head holder 7 piezoelectric vibrator 10 sealing plate 12 ink guide path 13 opening 14 nozzle plate 15 spacer 16 ink introduction port 18 concave section 19 projecting section 20 connection flow path

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の圧力発生室を列状に形成するとと
もに、各列の圧力発生室にインク供給口を介して連通す
るリザーバを形成したスペーサと、前記圧力発生室に連
通するノズル開口が穿設されたノズルプレートと、前記
圧力発生室、及び前記リザーバを封止する封止板とを積
層して構成された流路ユニットと、 前記流路ユニットを固定するとともに、前記リザーバに
インクを注入するインク誘導路を備えたヘッドホルダと
を備え、 前記スペーサが、そのインク導入口の周囲に前記リザー
バの本体に連通する接続流路が形成され、前記リザーバ
を跨ぐ方向に前記インク誘導路の開口部の外周の少なく
とも2点を支持する領域を有するインクジェット式記録
ヘッド。
A spacer having a plurality of pressure generating chambers formed in a row and a reservoir formed to communicate with the pressure generating chambers of each row via an ink supply port, and a nozzle opening communicating with the pressure generating chambers. A flow path unit formed by laminating a perforated nozzle plate, the pressure generating chamber, and a sealing plate that seals the reservoir, and fixing the flow path unit, and applying ink to the reservoir. A head holder provided with an ink guide path for injecting, wherein the spacer has a connection flow path formed around the ink introduction port and communicating with the main body of the reservoir, and the ink guide path extends in a direction across the reservoir. An ink jet recording head having a region that supports at least two points on the outer periphery of the opening.
【請求項2】 前記接続流路が凹部として前記ノズルプ
レート側、または前記封止板側に形成されている請求項
1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the connection flow path is formed as a recess on the nozzle plate side or the sealing plate side.
【請求項3】 前記接続流路が凹部として前記ノズルプ
レート側と前記封止板側との両面に形成されている請求
項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
3. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the connection flow path is formed as a recess on both sides of the nozzle plate side and the sealing plate side.
【請求項4】 前記接続流路が前記ノズルプレート側に
開口し、かつ前記インク誘導路のほぼ外周を囲むように
形成されている請求項1に記載のインクジェット式記録
ヘッド。
4. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the connection flow path is formed so as to open to the nozzle plate side and substantially surround the outer circumference of the ink guide path.
【請求項5】 前記接続流路が、前記インク誘導路の開
口に接続するように複数に分岐している請求項1に記載
のインクジェット式記録ヘッド。
5. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the connection flow path is branched into a plurality of portions so as to be connected to an opening of the ink guide path.
【請求項6】 前記スペーサが、シリコン単結晶基板を
異方性エッチングして構成され、前記接続流路がシリコ
ン単結晶基板のハーフエッチングにより形成されている
請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
6. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the spacer is formed by anisotropically etching a silicon single crystal substrate, and the connection channel is formed by half-etching the silicon single crystal substrate. .
【請求項7】 前記インク導入口の外側の境界が前記リ
ザーバの最外側とほぼ一致する請求項1に記載のインク
ジェット式記録ヘッド。
7. The ink jet recording head according to claim 1, wherein an outer boundary of the ink inlet substantially coincides with an outermost side of the reservoir.
【請求項8】 前記ヘッドホルダのインク誘導路の開口
の周縁が、リザーバを跨いで支持されている請求項1に
記載のインクジェット式記録ヘッド。
8. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the periphery of the opening of the ink guide path of the head holder is supported across a reservoir.
【請求項9】 前記ヘッドホルダのインク誘導路の開口
の周縁の一部が、リザーバ内で支持されている請求項1
に記載のインクジェット式記録ヘッド。
9. A part of a periphery of an opening of the ink guide path of the head holder is supported in a reservoir.
3. The ink jet recording head according to item 1.
【請求項10】 前記圧力発生室側の前記リザーバに対
向する領域に凹所が形成されている請求項1に記載のイ
ンクジェット式記録ヘッド。
10. The ink jet recording head according to claim 1, wherein a recess is formed in a region on the pressure generating chamber side facing the reservoir.
【請求項11】 前記封止板が、前記リザーバに対向す
る領域で弾性変形可能で、また前記ヘッドホルダに前記
弾性変形を可能ならしめる凹部が形成されている請求項
1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
11. The ink jet recording according to claim 1, wherein the sealing plate is elastically deformable in a region facing the reservoir, and a concave portion is formed in the head holder to allow the elastic deformation. head.
【請求項12】 前記封止板が、前記圧力発生室に対向
する領域で弾性変形可能で、かつ圧電振動子の変位を受
ける請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
12. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the sealing plate is elastically deformable in a region facing the pressure generating chamber and receives a displacement of a piezoelectric vibrator.
【請求項13】 前記圧力発生室にインクを気化させる
発熱素子が設けられている請求項1に記載のインクジェ
ット式記録ヘッド。
13. The ink jet recording head according to claim 1, wherein a heating element for vaporizing ink is provided in the pressure generating chamber.
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