JPH11239246A - 光電変換装置と半導体デバイス - Google Patents
光電変換装置と半導体デバイスInfo
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- JPH11239246A JPH11239246A JP10038871A JP3887198A JPH11239246A JP H11239246 A JPH11239246 A JP H11239246A JP 10038871 A JP10038871 A JP 10038871A JP 3887198 A JP3887198 A JP 3887198A JP H11239246 A JPH11239246 A JP H11239246A
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Abstract
するCMOS定電流源回路や半導体デバイスを提供する
ことを課題とする。 【解決手段】 ソースが正電源に接続された第1PMO
Sと、ソースが前記正電源に接続され、ゲート及びドレ
インが前記第1PMOSのゲートに接続された第2PM
OSと、ソースが基準電位に接続され、ゲート及びドレ
インが前記第1PMOSのドレインと接続された第1N
MOSと、ソースが抵抗を介して前記基準電位に接続さ
れ、ゲートが前記第1NMOSのゲートに接続され、ド
レインが、前記第2PMOSのドレインに接続された第
2NMOSと、で構成されるカレントミラー回路を有す
る光電変換装置や半導体デバイスにおいて、前記第2P
MOSのドレインにカソードが接続され、かつ逆バイア
スが印加されたホトダイオードを設けたことを特徴とす
る。
Description
ミラー回路から成るCMOS定電流源回路を有する一次
元及び2次元の光電変換装置及びこれを用いた画像読み
取り装置にかかわるものであり、特に電源電圧印加時に
おける定電流源回路の立ち上がり特性が良好なCMOS
定電流源回路や定電流源回路を含む半導体デバイスの回
路構成に関わるものである。
受光素子と周辺回路を同一基板中に形成した光電変換装
置の開発が積極的に行われている。
体基板中に形成したリニアセンサ(テレビジョン学会誌
Vol.47、No9(1993)pp.118
0)、サンプルホールド回路を有するイメージセンサ
(特開平4−223771号公報)、演算増幅器で構成
された内部基準電圧発生回路を有する固体撮像装置(特
開平9−65215号公報)、等が提案されている。
に定電流源回路を用いて生成されるが、この定電流源回
路をMOSトランジスタを用いて形成する場合には、例
えば図3に示すようなCMOS定電流源回路(R.Gregor
ian,G.C.Temes Analog MOS Integrated Circuits for S
ignal Processing P.127 Figs. 4 and 5.)を用いるの
が一般的であるが、その他にも特開平7−44254号
公報に開示されているようなCMOS定電流源回路も提
案されている。
術に開示されているCMOS定電流源回路と受光素子と
を同一半導体基板中に形成した光電変換装置において
は、光照射時にCMOS定電流源回路が動作しない場合
がある。
路に電源電圧が印加された状態においては、 (1)定電流が流れている状態(図3においてQ2、Q
4のMOSトランジスタが飽和領域で動作している状
態) (2)定電流がほとんど流れない状態(図3において、
約V01=GND、約V02=VDD) の2つの安定点が存在する。
は、バイアス電流がほとんど流れないため、回路は正常
に動作しない。
態で安定するが、図3に示したCMOS定電流源回路を
光電変換装置に適用した場合、このCMOS定電流源回
路に光が照射されると、(2)の状態で安定する場合が
ある。
レイン(P型)とウエル(N型)で形成されるPN接合
部で光キャリアが発生すると、図3のV01には光生成ホ
ールが蓄積され、電位が上昇し、上昇しすぎれば、Q
3,Q4のPMOSトランジスタはオフ状態となる。そ
れに伴って、V02の電位も下降し、最終的には上記の定
電流がほとんど流れない(2)の状態で安定する。
イン(N型)とウエル(P型)で形成されるPN接合部
で、光キャリアが発生する場合も、同様に、上記の
(2)の状態で安定することになる。
ールの制約で、この定電流源回路の遮光が十分にできな
い場合には、定電流源回路が正常に動作しないという問
題が発生するのである。
回路を遮光する以外に、光照射時においても電源投入時
に正常に動作するCMOS定電流源回路を有する光電変
換装置を提供することにある。
めに、本発明は、ソースが正電源に接続された第1PM
OSトランジスタと、ソースが前記正電源に接続され、
ゲート及びドレインが前記第1PMOSトランジスタの
ゲートに接続された第2PMOSトランジスタと、ソー
スが負電源に接続され、ゲート及びドレインが前記第1
PMOSトランジスタのドレインと接続された第1NM
OSトランジスタと、ソースが抵抗を介して前記負電源
に接続され、ゲートが前記第1NMOSトランジスタの
ゲートに接続され、ドレインが、前記第2PMOSトラ
ンジスタのドレインに接続された、第2NMOSトラン
ジスタと、で構成されるカレントミラー回路を有する光
電変換装置において、前記第2PMOSトランジスタの
ドレインにカソードが接続され、かつ逆バイアスが印加
されたホトダイオードを設けたことを特徴とする。
れた第1PMOSトランジスタと、ソースが前記正電源
に接続され、ゲート及びドレインが前記第1PMOSト
ランジスタのゲートに接続された第2PMOSトランジ
スタと、ソースが負電源に接続され、ゲート及びドレイ
ンが前記第1PMOSトランジスタのドレインと接続さ
れた第1NMOSトランジスタと、ソースが抵抗を介し
て前記負電源に接続され、ゲートが前記第1NMOSト
ランジスタのゲートに接続され、ドレインが、前記第2
PMOSトランジスタのドレインに接続された、第2N
MOSトランジスタと、で構成されるカレントミラー回
路を有する光電変換装置において、前記第1NMOSト
ランジスタのドレインにアノードが接続され、かつ逆バ
イアスが印加されたホトダイオードを設けたことを特徴
とする。
の領域と、第2導電型である第2の領域が接合した構成
からなる複数の制御手段を含む半導体デバイスにおい
て、前記半導体デバイス外部の外乱によりいずれかの前
記第1の領域又は前記第2の領域の電位の変動に対し
て、前記制御手段に誤動作をさせる前記第1の領域又は
前記第2の領域に、前記半導体デバイス外部の外乱によ
っての前記第1の領域又は前記第2の領域の電位の変動
と逆の変動をする変動手段を接続したことを特徴とす
る。
PMOSトランジスタのドレイン(P型)とウエル(N
型)で形成されるPN接合部で光キャリアが発生した場
合においても、このノードに接続されたホトダイオード
で発生する光生成電子によって、このノードの電位上昇
を抑制することが可能となるため、Q3、Q4のPMO
Sトランジスタはオフ状態にはならず、定電流源回路は
正常な状態で安定する。
イン(N型)とウエル(P型)で形成されるPN接合部
で光キャリアが発生した場合においても、同様に、この
ノードに接続されたホトダイオードで発生する光生成ホ
ールによって、このノードの電位下降を抑制することが
可能となるため、Q1、Q2のNMOSトランジスタは
オフ状態にはならず、定電流源回路は正常な状態で安定
する。
OSトランジスタのドレインとウエルで発生する光電源
より、ホトダイオードに流れる光電流が多ければ、その
効果を十分に発揮できる。しかしながら、ホトダイオー
ドに流れる光電流が大き過ぎる場合は、定電流源回路の
電流精度を悪化させ、かつ、暗時と光照射時で定電流が
変化するというような不都合も生じる。従って、本発明
において、ホトダイオードに流れる光電流は、定電流回
路に流れる電流に対して、十分小さくすることが好まし
い。
換装置のみならず、種々の光電変換装置や半導体デバイ
スに適用することが可能であることはいうまでもない。
デザインルールの制約で、定電流源回路部分の遮光が十
分にできない場合においても、本発明の構成を用いるこ
とにより、光照射時に定電流源回路が正常に動作しない
という問題を解決することが可能になるのである。
の具体的な構成の説明を行う。
態における3画素分の等価回路図を、図1に示して説明
する。
ード10、10’10”と、PMOSトランジスタ1
1、11’11”のゲート、リセットスイッチ12、1
2’12”が接続され、ホトダイオード10、10’1
0”で発生した信号電荷を、PMOSトランジスタ1
1、11’11”をソースホロアで読み出す光電変換装
置である。ここで、ソースホロアはPMOSトランジス
タ13、13’13”の定電流負荷を用いている。この
定電流負荷のPMOSトランジスタ13、13’13”
のゲートに定電流源20が接続されている。
φRESをハイとして、リセットスイッチ12、12’
12”をオンとして、ホトダイオード10、10’1
0”のアノードを一括してリセット電位VRESにリセ
ットする。次に、所定時間映像光をホトダイオード1
0、10’10”に照射し、この映像光量に応じてホト
ダイオード10、10’10”のアノード電位がPMO
Sトランジスタ11、11’11”のしきい値以下に下
がり、PMOSトランジスタ11、11’11”をオン
して、映像光量に応じた電流を流す。その電流に応じた
電圧を出力電圧として出力電圧V01,V02,V03
を出力する。
20は、ソースが正電源に接続された第1PMOSトラ
ンジスタ2と、ソースが該正電源に接続され、ゲート及
びドレインが該第1PMOSトランジスタ2のゲートに
接続された第2PMOSトランジスタ1と、ソースが負
電源に接続され、ゲート及びドレインが該第1PMOS
トランジスタのドレインと接続された第1NMOSトラ
ンジスタ4と、ソースが抵抗Rを介して基準電圧の負電
源に接続され、ゲートが該第1NMOSトランジスタの
ゲートに接続され、ドレインが、該第2PMOSトラン
ジスタのドレインに接続された第2NMOSトランジス
タ3と、で構成されるカレントミラー回路と、該第2P
MOSトランジスタのドレインにカソードが接続され、
かつ逆バイアスが印加されるホトダイオード5とから構
成される。特に、このホトダイオード5を、PMOSト
ランジスタ1のドレインとGNDとの間で逆バイアスが
印加されるように設けていることに特徴がある。
タ1のドレイン面積、ドレインの遮光率、ホトダイオー
ド面積、ホトダイオード遮光率を以下に示す。
S2を流れる定電流は約20μAであるのに対し、光照
射時にホトダイオード5に流れる光電流は1pA以下で
あるため、ホトダイオード5の光電流は定電流源の精度
に影響を及ぼさない。
を印加した場合でも定電流源は正常に動作し、光電変換
装置は正常に光反応を示した。しかし、ホトダイオード
5が無い、従来の定電流源回路を用いた場合、電源電圧
印加後も定電流源回路は遮断状態となり、光電変換装置
は光反応を示さなかった。
しているが、本実施形態は、実際には1チップ当たり2
34画素から構成される1次元ラインセンサチップであ
り、該1次元ラインセンサチップを複数個1列に接続す
ることにより、密着型イメージセンサとして光電変換装
置を形成している。
形態における等価回路図である。本実施形態は受光素子
アレイ23の共通出力線21の出力をオペアンプ24を
用いてインピーダンス変換をして信号を出力する光電変
換装置である。
換された信号出力は、シフトレジスタ22により共通出
力線21に順次出力される。また共通出力線21はオペ
アンプ24の入力に接続されている。本実施形態におい
ては、オペアンプ24のバイアス電流を生成する定電流
源20のNMOS4のドレインと電源電圧との間で逆バ
イアスが印加されるようにホトダイオード5を設けてい
る。
力に接続されたPMOS25のゲートに接続され、PM
OS25のドレインにはカレントミラー効果によりPM
OS1のドレイン電流と同一電流が流れ、PMOS25
のドレインに接続されたカレントミラー回路のNMOS
26,27,30に写像され、NMOS27のドレイン
に接続された負荷としてのカレントミラー回路のPMO
S28,29で再度写像され、NMOS30のドレイン
に接続されたカレントミラー回路のPMOS31,32
で、PMOS32のドレインには、結果的にPMOS1
のドレイン電流と同一電流が流れる。受光素子アレイの
信号出力はPMOS33のゲートに入力され、そのドレ
インから反転出力として出力段NMOS37のゲートに
入力され、受光素子アレイの信号出力と同相の画像信号
出力Voutを得る。なお、NMOS35,36は入力
段の差動PMOS33,34の負荷となり、キャパシタ
38は当該オペアンプの位相補償用コンデンサである。
て光照射時に電源電圧を印加した場合でも、定電流源2
0は正常に動作して、オペアンプ24にバイアス電流を
供給できるため、光電変換装置は光反応を示したが、ホ
トダイオード5を有さない、従来の定電流源回路を用い
た光電変換装置の場合は、光照射時に電源電圧を印加し
た後も定電流源回路は遮断状態となって、オペアンプ2
4にバイアス電流を供給できなくなるため、光電変換装
置は光反応を示さなかった場合と同様に、信号出力電圧
を得ることはできなかった。
のホトダイオード5をNMOS3のドレイン/ソース間
に配置してもよい。また、本実施形態のラインセンサー
は1チップ構成とすることが可能である。また、定電流
源に限らず、差動増幅回路や他の回路であっても、PN
接合部で発生する光キャリアの電子と正孔に対して、そ
れを打ち消す素子を持ち得れば、特に光等の外乱の影響
による誤動作を防止することができる。また、素材面に
おいても、CMOS、MOSFET、バイポーラトラン
ジスタ等であってもよく、半導体デバイスとして本発明
を適用できるものである。
を1センサーチップとし、該1センサーチップを複数個
一列に配置して密着型イメージセンサを形成する。この
密着型イメージセンサの1列を主走査方向とし、該主走
査方向に対して垂直方向を副走査方向として、読み取ら
れる画像と対照的に副走査方向に走査することにより、
2次元の画像を読み取ることができる。この2次元の画
像信号の読み取りを画像読み取り装置の機能として出力
することにより、例えばスキャナーやファクシミリ、電
子複写機に用いることが出来、高精細で高密度な画像を
読み取り可能となる。
流源を搭載する例えば光電変換素子の光電荷電圧の増幅
回路に用いて、当該定電流源を光照射した時において
も、電源電圧印加後に飽和状態に至らず、正常に動作す
る。よって、このCMOS定電流源を有する光電変換装
置を実現することが可能となり、その効果は絶大であ
る。
わる、例えば光等の外乱の影響によって半導体デバイス
が誤作動しないようにすることが可能である。
価回路図である。
ある。
である。
スタ 20 定電流源 21 共通出力線 22 シフトレジスタ 23 受光素子アレイ 24 オペアンプ
Claims (8)
- 【請求項1】 ソースが正電源に接続された第1PMO
Sトランジスタと、 ソースが前記正電源に接続され、ゲート及びドレインが
前記第1PMOSトランジスタのゲートに接続された第
2PMOSトランジスタと、 ソースが基準電位に接続され、ゲート及びドレインが前
記第1PMOSトランジスタのドレインと接続された第
1NMOSトランジスタと、 ソースが抵抗を介して前記基準電位に接続され、ゲート
が前記第1NMOSトランジスタのゲートに接続され、
ドレインが、前記第2PMOSトランジスタのドレイン
に接続された第2NMOSトランジスタと、で構成され
る2つのカレントミラー回路を有する光電変換装置にお
いて、 前記第2PMOSトランジスタのドレインにカソードが
接続され、かつ逆バイアスが印加されたホトダイオード
を設けたことを特徴とする光電変換装置。 - 【請求項2】 前記ホトダイオードは前記第2PMOS
トランジスタのドレインと前記基準電位の間で逆バイア
スが印加されていることを特徴とする請求項1記載の光
電変換装置。 - 【請求項3】 請求項1又は2に記載の光電変換装置に
おいて、前記2つのカレントミラー回路と同一電流を流
すカレントミラー回路を構成する第3PMOSトランジ
スタと、該PMOSトランジスタのドレインと出力端と
にソースを接続し前記基準電位にドレインを接続した第
4PMOSトランジスタと、該第4PMOSトランジス
タのゲートにアノードを前記正電源にカソードを接続し
たラインセンサのフォトダイオードと、を備えたことを
特徴とする光電変換装置。 - 【請求項4】 ソースが正電源に接続された第1PMO
Sトランジスタと、 ソースが前記正電源に接続され、ゲート及びドレインが
前記第1PMOSトランジスタのゲートに接続された第
2PMOSトランジスタと、 ソースが負電源に接続され、ゲート及びドレインが前記
第1PMOSトランジスタのドレインと接続された第1
NMOSトランジスタと、 ソースが抵抗を介して前記負電源に接続され、ゲートが
前記第1NMOSトランジスタのゲートに接続され、ド
レインが、前記第2PMOSトランジスタのドレインに
接続された、第2NMOSトランジスタと、で構成され
るカレントミラー回路を有する光電変換装置において、 前記第1NMOSトランジスタのドレインにアノードが
接続され、かつ逆バイアスが印加されたホトダイオード
を設けたことを特徴とする光電変換装置。 - 【請求項5】 前記ホトダイオードは前記第1NMOS
トランジスタのドレインと前記正電源の間で逆バイアス
が印加されていることを特徴とする請求項4記載の光電
変換装置。 - 【請求項6】 請求項1又は2に記載の光電変換装置に
おいて、前記2つのカレントミラー回路と同一電流を流
すカレントミラー回路を構成する第3PMOSトランジ
スタと、該PMOSトランジスタのドレインと出力端と
にソースを接続し前記基準電位にドレインを接続した第
4PMOSトランジスタと、該第4PMOSトランジス
タのゲートにアノードを前記正電源にカソードを接続し
たラインセンサのフォトダイオードと、を備えたことを
特徴とする光電変換装置。 - 【請求項7】 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の
光電変換装置を用いたことを特徴とする画像読み取り装
置。 - 【請求項8】 少なくとも第1導電型である第1の領域
と、第2導電型である第2の領域が接合した構成からな
る複数の制御手段を含む半導体デバイスにおいて、 前記半導体デバイス外部の外乱によりいずれかの前記第
1の領域又は前記第2の領域の電位の変動に対して、前
記制御手段に誤動作をさせる前記第1の領域又は前記第
2の領域に、前記半導体デバイス外部の外乱によっての
前記第1の領域又は前記第2の領域の電位の変動と逆の
変動をする変動手段を接続したことを特徴とする半導体
デバイス。
Priority Applications (7)
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---|---|---|---|
JP03887198A JP3280616B2 (ja) | 1998-02-20 | 1998-02-20 | 光電変換装置 |
TW088101905A TW396707B (en) | 1998-02-20 | 1999-02-08 | Semiconductor device |
EP99301005A EP0938229B1 (en) | 1998-02-20 | 1999-02-11 | Photoelectric conversion element driven by a current mirror circuit |
EP10183823.3A EP2271075A3 (en) | 1998-02-20 | 1999-02-11 | Photoelectric conversion element driven by a current mirror circuit |
US09/247,949 US6002157A (en) | 1998-02-20 | 1999-02-11 | Semiconductor device having a CMOS current mirror circuit |
CN99102268.8A CN1213483C (zh) | 1998-02-20 | 1999-02-15 | 半导体器件 |
CNB2004100856687A CN1331231C (zh) | 1998-02-20 | 1999-02-15 | 半导体器件 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP3280616B2 JP3280616B2 (ja) | 2002-05-13 |
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JP03887198A Expired - Fee Related JP3280616B2 (ja) | 1998-02-20 | 1998-02-20 | 光電変換装置 |
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JP (1) | JP3280616B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010004026A (ja) * | 2008-05-22 | 2010-01-07 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 光電変換装置、及び当該光電変換装置を具備する電子機器 |
-
1998
- 1998-02-20 JP JP03887198A patent/JP3280616B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2014017522A (ja) * | 2008-05-22 | 2014-01-30 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 電子機器 |
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