JPH11238260A - Device and method for manufacturing disk shaped information recording medium - Google Patents

Device and method for manufacturing disk shaped information recording medium

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JPH11238260A
JPH11238260A JP4209198A JP4209198A JPH11238260A JP H11238260 A JPH11238260 A JP H11238260A JP 4209198 A JP4209198 A JP 4209198A JP 4209198 A JP4209198 A JP 4209198A JP H11238260 A JPH11238260 A JP H11238260A
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JP
Japan
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base
adhesive
substrate
disc
shaped
Prior art date
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JP4209198A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshiji Fukuchi
祥次 福地
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Sony Music Solutions Inc
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Sony Disc Technology Inc
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate air bubbles liable to be generated in the adhesivie of the substrates, that are joined together, by overlapping a disk shaped first substrate, on which adhesive is spread, and a disk shaped second substrate having a specific thickness and joining them without applying a rotary force. SOLUTION: The thickness of a first substrate L0 and a second substrate L1 is set within the range of 0.55 to 0.63 mm. For the substrates L0 and L1, reflective films 202 and 203 and protective films 220 and 224, are formed, respectively. Then, adhesive 201 is uniformly applied over the film 220 of the substrate L0 in the atmosphere. UV curing resin is selected for the adhesive. Then, the substrate L0 and L1 are placed in a vacuum chamber and overlapped. The pressure in the chamber is maintained at a constant pressure of either 100 Pa or 20000 Pa and joined. Thus, no need for repeating pressure reduction or pressure increase operations, the process is simplified and the adhesive layer, in which the adhesive is well adapted to the surfaces, is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、複数枚のディスク
状の基盤を接着剤を用いて貼り合わせることによりディ
スク状の情報記録媒体を製造するためのディスク状の情
報記録媒体の製造方法とディスク状の情報記録媒体の製
造装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a disc-shaped information recording medium for manufacturing a disc-shaped information recording medium by bonding a plurality of disc-shaped bases using an adhesive, and a disc. The present invention relates to an apparatus for manufacturing an information recording medium in the shape of a circle.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、大量の情報を記録あるいは再生す
ることができる高密度記録媒体が出現している。この種
の高密度記録媒体は、ディスク状の複数の基盤を接着剤
を介して貼り合わせることで作られている。この種のデ
ィスク状の情報記録媒体、たとえば光ディスクとして
は、特にデジタルビデオディスクあるいはデジタルバー
サタイルディスク(DVD、商標名)等と呼ばれてい
る。ディスク状の複数の基盤を接着剤で貼り合わせる方
式としては、接着剤としてUV硬化樹脂(紫外線硬化樹
脂)を、基盤の間においてスピナー法で塗布する方式が
ある。
2. Description of the Related Art In recent years, high-density recording media capable of recording or reproducing a large amount of information have appeared. This type of high-density recording medium is made by bonding a plurality of disk-shaped substrates via an adhesive. This type of disc-shaped information recording medium, for example, an optical disc, is particularly called a digital video disc or a digital versatile disc (DVD, trade name). As a method of bonding a plurality of disk-shaped substrates with an adhesive, there is a method of applying a UV curable resin (ultraviolet curable resin) as an adhesive between the substrates by a spinner method.

【0003】図8は、従来の貼り合わせ型のディスク状
の情報記録媒体200を示しておりこのディスク状の情
報記録媒体は、基盤L0と基盤L1を、接着層201を
介して接着している。基盤L0の一方の面には反射膜2
02が形成されており、基盤L1の一方の面には反射膜
203が形成されている。接着層201は、この反射膜
202,203側を接着している。これらの基盤L0,
L1には、たとえばそれぞれ必要な信号があらかじめ形
成されており、その面に反射膜202,203が成膜さ
れている。図示しない光ピックアップからの光204
は、たとえば基盤L0側から照射されて、基盤L0を通
して反射膜202の信号の戻り光により信号を読取った
りあるいは基盤L0、反射膜202、接着層201を通
して光ピックアップの光を照射して、その戻り光を反射
膜203から得ることにより反射膜203の信号を読出
すようになっている。
FIG. 8 shows a conventional lamination type disc-shaped information recording medium 200. In this disc-shaped information recording medium, a substrate L0 and a substrate L1 are bonded via an adhesive layer 201. . A reflection film 2 is provided on one surface of the base L0.
No. 02 is formed, and a reflection film 203 is formed on one surface of the substrate L1. The adhesive layer 201 adheres the reflection films 202 and 203 to each other. These platforms L0,
For example, necessary signals are formed in L1 in advance, and reflection films 202 and 203 are formed on the surfaces thereof. Light 204 from an optical pickup (not shown)
Is irradiated from the side of the substrate L0, the signal is read by the return light of the signal of the reflection film 202 through the substrate L0, or the light of the optical pickup is irradiated through the substrate L0, the reflection film 202, and the adhesive layer 201, and the return is performed. By obtaining light from the reflective film 203, a signal of the reflective film 203 is read.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところが、図8に示す
ような従来のディスク状の情報記録媒体200では、接
着層201に空気の泡205が混入してしまうと、光ピ
ックアップからの光204がこの泡205の部分で光の
屈折が起こり、光が読み取るべき信号ピット面に当たら
ないか、必要光量が光ピックアップに戻らなくなり、反
射膜203における信号を読取ることができなくなって
しまう。
However, in the conventional disk-shaped information recording medium 200 as shown in FIG. 8, when air bubbles 205 enter the adhesive layer 201, light 204 from the optical pickup is generated. The refraction of light occurs at the bubble 205, and the light does not hit the signal pit surface to be read, or the required amount of light does not return to the optical pickup, and the signal on the reflection film 203 cannot be read.

【0005】図9と図10は、接着剤201をスピナー
法で塗布する例を示している。図9において、接着剤2
01は基盤L0の内面においてリング状に滴下されても
う1枚の基盤L1をその基盤L0に重ねる。その後重ね
た基盤L0,L1は、高速で回転して、接着剤201の
膜厚を所定の値にしている。
FIGS. 9 and 10 show an example in which the adhesive 201 is applied by a spinner method. In FIG. 9, the adhesive 2
01 is dropped in a ring shape on the inner surface of the base L0, and another base L1 is stacked on the base L0. Thereafter, the stacked substrates L0 and L1 are rotated at a high speed to set the thickness of the adhesive 201 to a predetermined value.

【0006】ところが、この方式では基盤L0,L1を
重ねる時の速度が速いと、その速度によっては、図10
に示すように基盤L0に生じる空気圧と接着剤201の
粘度の関係から、基盤L1の下面の空気が接着剤201
を押し退ける状態になり、基盤L1が接着剤201に接
する時点で、接着剤201が空気の泡210を抱き込む
形になってしまう。この泡210は、スピニングするこ
とで、大半は接着剤201とともに接着面から外部に出
ていくが、完全ではない。泡210の抱き込みは、基盤
L0,L1を重ねる時の速度を遅くすれば少なくできる
が、完全には無くせない上に、重ねる時の速度を遅くす
ると生産速度を低下させてしまう。
However, in this method, if the speed at which the substrates L0 and L1 are stacked is high, depending on the speed, FIG.
As shown in the figure, from the relationship between the air pressure generated in the base L0 and the viscosity of the adhesive 201, the air on the lower surface of the base L1
Is pushed away, and when the substrate L1 comes into contact with the adhesive 201, the adhesive 201 embraces the air bubbles 210. Most of the bubbles 210 are out of the bonding surface together with the adhesive 201 by spinning, but are not perfect. The embedment of the bubbles 210 can be reduced by reducing the speed at which the substrates L0 and L1 are stacked, but it cannot be completely eliminated, and if the speed at which the substrates L0 and L1 are stacked is reduced, the production speed decreases.

【0007】図11は、従来の別の接着剤201の塗布
方法を示している。図11において、2枚の基盤L0,
L1は平行に対向して配置し、その間にノズル213を
挿入して、この2枚の基盤L0,L1を同時に回転させ
て、接着剤201をそれぞれの面に接するように吐出さ
せる。これにより泡の形成を少なくするのであるが、泡
の有無は回転数や接着剤の吐出量に左右され、完全に泡
を接着剤中から取り除くことは難しい。またノズル21
3を入れるには基盤L0,L1のすき間を常に一定に保
つことと、ノズル213の位置制御を正確に行うこと
と、そしてノズル213の出し入れの動作が必要にな
る。従ってそれらの動作には時間がかかり生産速度は低
下してしまう。
FIG. 11 shows another conventional method of applying the adhesive 201. In FIG. 11, two substrates L0,
L1 is arranged to face in parallel, a nozzle 213 is inserted between them, and the two substrates L0 and L1 are simultaneously rotated to discharge the adhesive 201 so as to contact the respective surfaces. This reduces the formation of bubbles, but the presence or absence of bubbles depends on the rotation speed and the amount of adhesive discharged, and it is difficult to completely remove bubbles from the adhesive. The nozzle 21
In order to insert 3, it is necessary to keep the gap between the bases L0 and L1 constant, to accurately control the position of the nozzle 213, and to move the nozzle 213 in and out. Therefore, these operations take time and the production speed is reduced.

【0008】そこで本発明は上記課題を解消し、ディス
ク状の第1の基盤とディスク状の第2の基盤を接着剤を
用いて貼り合わせる際に、接着剤には空気の泡を含ませ
ずに第1の基盤と第2の基盤を生産性良く貼り合わせる
ことができるディスク状の情報記録媒体の製造方法とデ
ィスク状の情報記録媒体の製造装置を提供することを目
的としている。
Accordingly, the present invention solves the above-mentioned problem, and when bonding the first disk-shaped substrate and the second disk-shaped substrate using an adhesive, the adhesive does not contain air bubbles. It is another object of the present invention to provide a method of manufacturing a disk-shaped information recording medium and a manufacturing apparatus of a disk-shaped information recording medium, in which a first base and a second base can be bonded with high productivity.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、ディスク状の第1の基盤とディスク状の第2の
基盤を接着剤を用いて貼り合わせることによりディスク
状の情報記録媒体を製造する際に、第1の基盤に対して
大気中において接着剤を所定膜厚に塗布する接着剤塗布
ステップと、接着剤を塗布した第1の基盤と、接着剤を
塗布していない第2の基盤を、真空雰囲気内に配置し
て、一定の圧力の真空雰囲気内において接着剤を塗布し
た第1の基盤と接着剤を塗布していない第2の基盤を、
回転力を与えずに相対的に基盤の軸方向に移動して第1
の基盤の接着剤だけを介して第1の基盤と第2の基盤を
直接接着する基盤接着ステップと、を有することを特徴
とするディスク状の情報記録媒体の製造方法により、達
成される。
SUMMARY OF THE INVENTION The object of the present invention is to provide a disk-shaped information recording device by bonding a disk-shaped first substrate and a disk-shaped second substrate using an adhesive. When manufacturing a medium, an adhesive application step of applying an adhesive to a first base to a predetermined film thickness in the air, the first base with the adhesive applied, and no adhesive applied The second substrate is placed in a vacuum atmosphere, and the first substrate coated with the adhesive and the second substrate not coated with the adhesive in a vacuum atmosphere at a constant pressure are
Moves relatively in the axial direction of the base without applying rotational force
And a substrate bonding step of directly bonding the first substrate and the second substrate via only the substrate adhesive.

【0010】本発明では、ディスク状の第1の基盤とデ
ィスク状の第2の基盤を接着剤を用いて貼り合わせるこ
とによりディスク状の情報記録媒体を製造する際に、接
着剤塗布ステップでは、第1の基盤に対して大気中にお
いて接着剤を所定膜厚に塗布する。そして基盤接着ステ
ップでは、接着剤を塗布した第1の基盤と、接着剤を塗
布していない第2の基盤を、真空雰囲気内に配置して、
一定の圧力の真空雰囲気内において接着剤を塗布した第
1の基盤と接着剤を塗布していない第2の基盤を、回転
力を与えずに相対的に基盤の軸方向に移動して第1の基
盤の接着剤だけを介して第1の基盤と第2の基盤を直接
接着する。
In the present invention, when a disc-shaped information recording medium is manufactured by bonding a disc-shaped first base and a disc-shaped second base using an adhesive, the adhesive applying step includes: An adhesive is applied to the first substrate to a predetermined thickness in the air. In the substrate bonding step, the first substrate to which the adhesive has been applied and the second substrate to which no adhesive has been applied are arranged in a vacuum atmosphere,
The first substrate to which the adhesive has been applied and the second substrate to which no adhesive has been applied are relatively moved in the vacuum atmosphere at a constant pressure in the axial direction of the substrate without applying a rotational force to the first substrate. The first base and the second base are directly bonded only through the adhesive of the base.

【0011】これにより、第1の基盤に対しては大気中
において、あらかじめ接着剤を所定膜厚に塗布しておく
ので、簡単に接着剤を第1の基盤側に塗布することがで
きる。そして、このように接着剤を塗布した第1の基盤
と、接着剤を塗布していない第2の基盤を、真空雰囲気
内に配置する。第1の基盤と第2の基盤は、回転力を与
えずに相対的に基盤の軸方向に移動することで、一定の
圧力の真空雰囲気内において第1の基盤と第2の基盤を
直接接着する。従って、真空雰囲気内であるので、第1
の基盤と第2の基盤内の接着剤には空気の泡が形成され
ず、しかも回転力を与える必要もないので、短時間で簡
単に第1の基盤と第2の基盤を確実に接着して、貼り合
わせることができる。
[0011] Thus, the adhesive is applied to the first base in advance in the air in a predetermined thickness, so that the adhesive can be easily applied to the first base. Then, the first base to which the adhesive is applied and the second base to which no adhesive is applied are arranged in a vacuum atmosphere. The first base and the second base move relatively in the axial direction of the base without applying a rotational force, so that the first base and the second base are directly bonded in a vacuum atmosphere at a constant pressure. I do. Accordingly, the first atmosphere is in a vacuum atmosphere.
No air bubbles are formed in the adhesive between the base and the second base, and there is no need to apply a rotating force, so that the first and second bases can be securely and easily bonded in a short time. Can be stuck together.

【0012】本発明では、ディスク状の第1の基盤とデ
ィスク状の第2の基盤の厚みは、0.55mmないし
0.63mmである。ディスク状の第1の基盤とディス
ク状の第2の基盤の厚みが、0.55mmよりも薄い
と、基盤成形において、複屈折が大きくなることと、デ
ィスクのソリ(基盤単体や、貼り合せ後も)が大きくな
り、定められた規格をクリアできにくくなる。またディ
スク状の第1の基盤とディスク状の第2の基盤の厚み
が、0.63mmを超えると、ディスクのピックアップ
に対する傾きの許容度がディスクの厚みに反比例して少
なくなるので、現行のプレヤーのピックアップの傾き精
度とディスクの傾き精度を勘案すると0.63mmを超
える基盤厚みは好ましくない。本発明において、好まし
くは真空雰囲気の圧力は、100Paないし20000
Paである。真空雰囲気の圧力が、100Paよりも小
さいと、接着剤から微量の揮発成分が出始め、接着性能
を損うことがあることと、この圧力よりも小さくしても
分子レベルの圧力となり本案の効力には関係なくなるこ
とと、排気時間が長くなることと、排気ポンプ構成も油
回転ポンプの他にターボ・モレキュラーポンプ等が必要
になり、無駄な構成をすることになる。また真空雰囲気
の圧力が20000Paよりも大きいと、空気の存在を
無視できなくなり、本案の意図することと反してしま
う。
In the present invention, the thickness of the disc-shaped first base and the disc-shaped second base is 0.55 mm to 0.63 mm. When the thickness of the disc-shaped first base and the disc-shaped second base is smaller than 0.55 mm, the birefringence becomes large in the formation of the base and the warp of the disk (the base alone or after bonding) ) Becomes large, and it becomes difficult to meet the prescribed standards. Further, when the thickness of the disc-shaped first base and the disc-shaped second base exceeds 0.63 mm, the tolerance of the inclination of the disc with respect to the pickup decreases in inverse proportion to the thickness of the disc. Considering the inclination accuracy of the pickup and the inclination accuracy of the disk, a substrate thickness exceeding 0.63 mm is not preferable. In the present invention, the pressure of the vacuum atmosphere is preferably 100 Pa to 20,000.
Pa. If the pressure of the vacuum atmosphere is smaller than 100 Pa, a small amount of volatile components will start to be released from the adhesive, which may impair the bonding performance. , The evacuation time becomes longer, and the exhaust pump requires a turbo-molecular pump in addition to the oil rotary pump, resulting in a wasteful configuration. If the pressure of the vacuum atmosphere is higher than 20,000 Pa, the presence of air cannot be ignored, which is contrary to the intention of the present invention.

【0013】上記目的は、本発明にあっては、ディスク
状の第1の基盤とディスク状の第2の基盤を接着剤を用
いて貼り合わせることによりディスク状の情報記録媒体
を製造する際に、大気中において接着剤を所定膜厚に塗
布した第1の基盤を収容して真空雰囲気中に配置するた
めの第1収容部と、接着剤を塗布していない第2の基盤
を収容して真空雰囲気中に配置するための第2収容部
と、第1収容部から第1の基盤を移動して第2収容部の
第2の基盤に対面する位置に位置決めする基盤移動部
と、第1の基盤と第2の基盤を真空雰囲気中で回転力を
与えずに相対的に基盤の軸方向に沿って移動すること
で、第1の基盤と第2の基盤を第1の基盤の接着剤だけ
を用いて接着させる基盤押し付け部と、を有することを
特徴とするディスク状の情報記録媒体の製造方法によ
り、達成される。
The object of the present invention is to provide a disk-shaped information recording medium by bonding a disk-shaped first base and a disk-shaped second base using an adhesive. A first accommodating portion for accommodating a first substrate coated with an adhesive to a predetermined film thickness in the atmosphere and disposing the first substrate in a vacuum atmosphere, and accommodating a second substrate not coated with an adhesive. A second accommodating part for disposing the first accommodating part in the vacuum atmosphere, a base moving part for moving the first base from the first accommodating part and positioning it at a position facing the second base of the second accommodating part; The first base and the second base are moved along the axial direction of the base relatively without applying a rotational force in a vacuum atmosphere, thereby bonding the first base and the second base with the adhesive of the first base. And a substrate pressing portion to be adhered using only The method for producing a multi-address recording medium is achieved.

【0014】本発明では、ディスク状の第1の基盤とデ
ィスク状の第2の基盤を接着剤を用いて貼り合わせるこ
とによりディスク状の情報記録媒体を製造する際に、第
1収容部は、大気中において接着剤を所定膜厚に塗布し
た第1の基盤を収容して真空雰囲気中に配置するように
なっている。第2収容部は、接着剤を塗布していない第
2の基盤を収容して真空雰囲気中に配置するようになっ
ている。
According to the present invention, when a disc-shaped information recording medium is manufactured by bonding a disc-shaped first base and a disc-shaped second base using an adhesive, the first accommodating portion includes: A first base on which an adhesive is applied to a predetermined film thickness in the atmosphere is accommodated and placed in a vacuum atmosphere. The second accommodating portion accommodates the second base to which the adhesive is not applied, and arranges the second base in a vacuum atmosphere.

【0015】基盤移動部は、第1収容部から第1の基盤
を移動して第2収容部の基盤に対面する位置に位置決め
する。基盤押し付け部は、第1の基盤と第2の基盤を真
空中で回転力を与えずに基盤の軸方向に沿って移動する
ことで、第1の基盤と第2の基盤を第1の基盤の接着剤
だけを用いて接着させる。これにより、大気中において
あらかじめ接着剤が塗布された第1の基盤は、第1収容
部において真空雰囲気中に配置される。一方、接着剤を
塗布していない第2の基盤は、第2収容部において真空
雰囲気中に配置される。
The base moving section moves the first base from the first storage section and positions the first base at a position facing the base of the second storage section. The base pressing unit moves the first base and the second base along the axial direction of the base without applying a rotating force in a vacuum to apply the first base and the second base to the first base. Are bonded using only the above adhesive. Thereby, the first base to which the adhesive has been applied in advance in the atmosphere is placed in a vacuum atmosphere in the first storage section. On the other hand, the second substrate to which the adhesive has not been applied is placed in a vacuum atmosphere in the second storage section.

【0016】基盤移動部は、第1移動部から第1の基盤
を移動して第2収容部の第2の基盤に対面させる。基盤
押し付け部は、第1の基盤と第2の基盤を回転力を与え
ずに相対的に基盤の軸方向に沿って移動するだけで、第
1の基盤と第2の基盤を第1の基盤の接着剤だけで接着
させることができる。これにより、第1の基盤に対して
は大気中において、あらかじめ接着剤を所定膜厚に塗布
しておくので、簡単に接着剤を第1の基盤側に塗布する
ことができる。
The base moving unit moves the first base from the first moving unit to face the second base of the second storage unit. The base pressing unit moves the first base and the second base relative to each other along the axial direction of the base without applying a rotational force to the first base and the second base, and thereby connects the first base and the second base to the first base. Can be adhered only with the adhesive. Thus, the adhesive is applied to the first base in advance in the air to a predetermined thickness, so that the adhesive can be easily applied to the first base.

【0017】このように接着剤を塗布した第1の基盤
と、接着剤を塗布していない第2の基盤を、真空雰囲気
内に配置する。そして第1の基盤と第2の基盤は、回転
力を与えずに相対的に基盤の軸方向に移動することで、
一定の圧力の真空雰囲気内において第1の基盤と第2の
基盤を直接接着する。従って、真空雰囲気内であるの
で、第1の基盤と第2の基盤内の接着剤には空気の泡が
形成されず、しかも回転力を与える必要もないので、短
時間で簡単に第1の基盤と第2の基盤を確実に接着し
て、貼り合わせることができる。
The first substrate to which the adhesive is applied and the second substrate to which no adhesive is applied are arranged in a vacuum atmosphere. Then, the first base and the second base relatively move in the axial direction of the base without giving a rotating force,
The first substrate and the second substrate are directly bonded in a vacuum atmosphere at a constant pressure. Therefore, since it is in a vacuum atmosphere, no air bubbles are formed in the adhesive in the first and second bases, and there is no need to apply a rotating force. The base and the second base can be securely bonded and bonded.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明
の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨
の記載がない限り、これらの形態に限られるものではな
い。
Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. Note that the embodiments described below are preferred specific examples of the present invention,
Although various technically preferable limits are given, the scope of the present invention is not limited to these modes unless otherwise specified in the following description.

【0019】図1は、本発明のディスク状の情報記録媒
体の製造装置の好ましい実施の形態を示している。図1
に示すディスク状の情報記録媒体の製造装置10は、概
略的には、第1収容部12、第2収容部14、基盤移動
部16、基盤押し付け部18等を有している。第1収容
部12と第2収容部14は、真空槽20の一部を構成し
ており、この真空槽20の一方の部分と他方の部分に第
1収容部12と第2収容部14が設けられている。真空
槽20は、排気ポンプ22の作動により常時内部が排気
されており、所定の真空圧、たとえば100Paないし
20000Paのいずれかの一定の圧力に保持される。
この真空槽20内の真空雰囲気の圧力が、100Paよ
りも小さいと、接着剤から微量の揮発成分が出始め、接
着性能を損うことがあることと、この圧力よりも小さく
しても分子レベルの圧力となり本案の効力には関係なく
なることと、排気時間が長くなることと、排気ポンプ構
成も油回転ポンプの他にターボ・モレキュラーポンプ等
が必要になり、無駄な構成をすることになる。また真空
雰囲気の圧力が20000Paよりも大きいと、空気の
存在を無視できなくなり、本案の意図することと反して
しまう。
FIG. 1 shows a preferred embodiment of an apparatus for manufacturing a disc-shaped information recording medium according to the present invention. FIG.
The apparatus 10 for manufacturing a disc-shaped information recording medium shown in FIG. 1 has a first storage section 12, a second storage section 14, a base moving section 16, a base pressing section 18 and the like. The first accommodating section 12 and the second accommodating section 14 constitute a part of the vacuum chamber 20, and the first accommodating section 12 and the second accommodating section 14 are provided on one and other portions of the vacuum chamber 20. Is provided. The inside of the vacuum chamber 20 is constantly evacuated by the operation of the exhaust pump 22, and is maintained at a predetermined vacuum pressure, for example, a constant pressure of 100 Pa to 20000 Pa.
If the pressure of the vacuum atmosphere in the vacuum chamber 20 is lower than 100 Pa, a small amount of volatile components may start to be emitted from the adhesive, which may impair the bonding performance. , Which is not related to the effectiveness of the present invention, the evacuation time becomes long, and the exhaust pump requires a turbo-molecular pump in addition to the oil rotary pump, resulting in a useless configuration. If the pressure of the vacuum atmosphere is higher than 20,000 Pa, the presence of air cannot be ignored, which is contrary to the intention of the present invention.

【0020】第1収容部12は、出し入れ口24、ロー
ドロック機構26等を有している。出し入れ口24は、
真空槽20のケーシング28の上面にたとえば円形状に
形成されている。ロードロック機構26は、ヘッド3
0、基盤の受け渡し皿32、サポート60から構成され
ている。ロードロック機構26のヘッド30は、図示し
ない駆動源によりZ方向(上下方向)に沿って移動可能
であり、ヘッド30が下がった状態では、ヘッド30は
出し入れ口24を空気の出入りのないように密着してシ
ールすることができる。
The first accommodating section 12 has an access port 24, a load lock mechanism 26 and the like. The doorway 24
For example, it is formed in a circular shape on the upper surface of the casing 28 of the vacuum chamber 20. The load lock mechanism 26 includes the head 3
0, a base delivery tray 32 and a support 60. The head 30 of the load lock mechanism 26 can be moved in the Z direction (vertical direction) by a driving source (not shown). When the head 30 is lowered, the head 30 moves through the entrance 24 so that air does not enter or exit. It can be tightly sealed.

【0021】基盤の受け渡し皿32は、シリンダ34の
ロッド36に固定されている。これによりシリンダ34
が作動すると、基盤の受け渡し皿32はZ方向に所定ス
トローク分上下動する。基盤の受け渡し皿32の上に
は、たとえば接着剤を塗布した第1の基盤Lを載せるこ
とができる。出し入れ口24は、排気バルブ40を介し
て排気ポンプ(図示せず)により外部に排気する。
The transfer tray 32 of the base is fixed to a rod 36 of a cylinder 34. Thereby, the cylinder 34
When the is operated, the transfer tray 32 of the base moves up and down by a predetermined stroke in the Z direction. For example, the first base L coated with an adhesive can be placed on the base transfer tray 32. The access port 24 is evacuated to the outside by an exhaust pump (not shown) via an exhaust valve 40.

【0022】一方、第2収容部14は、第1収容部12
とほぼ同様な構造であり、第2収容部14は、基盤の出
し入れ口124と、ロードロック機構126を概略有し
ている。基盤の出し入れ口124は、ケーシング28の
上部に形成されている。ロードロック機構126は、ヘ
ッド130、基盤の受け渡し皿132、サポート62か
ら構成されている。ヘッド130は、図示しない駆動手
段によりZ方向に移動可能であり、ヘッド130が下が
った状態では出し入れ口124を空気が漏れないように
密着してシールすることができる。基盤の受け渡し皿1
32は、シリンダ134のロッド136に固定されてい
る。シリンダ134が作動すると、基盤の受け渡し皿1
32はZ方向に沿って所定ストローク分上下動する。シ
リンダを上方へ移動させることで、基盤の受け渡し皿は
サポート62を真空槽内壁に押しつけることで、真空槽
内と出し入れ口124とを遮断する。さらに基盤L0を
保持することができる。基盤の受け渡し皿132は、た
とえば第1収容部12から基盤移動部16により送られ
てくる第1の基盤L0を保持することができる。
On the other hand, the second storage section 14 is
The second accommodating portion 14 roughly has a base entrance 124 and a load lock mechanism 126. An access port 124 for the base is formed at an upper portion of the casing 28. The load lock mechanism 126 includes a head 130, a transfer tray 132 on a base, and a support 62. The head 130 can be moved in the Z direction by driving means (not shown), and when the head 130 is lowered, the access opening 124 can be tightly sealed so that air does not leak. Delivery tray 1 for base
32 is fixed to the rod 136 of the cylinder 134. When the cylinder 134 operates, the transfer tray 1
32 moves up and down by a predetermined stroke along the Z direction. By moving the cylinder upward, the delivery tray of the base presses the support 62 against the inner wall of the vacuum chamber, thereby shutting off the inside of the vacuum chamber and the inlet / outlet 124. Further, the base L0 can be held. The transfer tray 132 of the base can hold the first base L0 sent from the first storage unit 12 by the base moving unit 16, for example.

【0023】次に、基盤移動部16は、真空槽20内で
あって第1収容部12と第2収容部14の間に配置され
ている。基盤移動部16は、第1収容部12の基盤の受
け渡し皿32に載っている第1の基盤L0を、一たん受
け取って回転することで、第2収容部14の基盤の受け
渡し皿132側に受け渡すようになっている。基盤移動
部16は、回転アーム50と、この回転アーム50を回
転させるためのアクチュエータ52を有している。アク
チュエータ52は、シリンダ34,134とともにケー
シング28に対して固定されている。アクチュエータ5
2の作動軸54は、回転アーム50の中心部に固定され
ており、アクチュエータ52が作動することにより、た
とえば180°毎にインデックスできる。
Next, the base moving section 16 is arranged in the vacuum chamber 20 between the first housing section 12 and the second housing section 14. The base moving unit 16 receives the first base L0 placed on the transfer tray 32 of the base of the first storage unit 12 once, and rotates the first base L0. It is designed to be handed over. The base moving unit 16 has a rotating arm 50 and an actuator 52 for rotating the rotating arm 50. The actuator 52 is fixed to the casing 28 together with the cylinders 34 and 134. Actuator 5
The second operation shaft 54 is fixed to the center of the rotary arm 50, and can be indexed, for example, every 180 ° by the operation of the actuator 52.

【0024】回転アーム50の一端側には、たとえば第
1の基盤L0を支えるためのサポート60が設けられて
おり、回転アーム50の他端側には、たとえば第1の基
盤L0を支えるためのサポート62が設けられている。
これらのサポート60,62は、基盤の受け渡し皿32
がZ方向に下がることにより、基盤の受け渡し皿32に
載っているたとえば第1の基盤L0を基盤の受け渡し皿
32あるいは132に代わってサポートすることができ
る。制御部100は、これらシリンダ34,134、ア
クチュエータ52及びヘッド30,130の作動をコン
トロールするとともに、排気ポンプ22等のコントロー
ル等も行うことができる。
A support 60 for supporting, for example, a first base L0 is provided at one end of the rotary arm 50, and a support 60 for supporting, for example, the first base L0, is provided at the other end of the rotary arm 50. A support 62 is provided.
These supports 60 and 62 are provided on the base transfer tray 32.
Is lowered in the Z direction, so that, for example, the first base L0 placed on the base transfer tray 32 can be supported in place of the base transfer tray 32 or 132. The control unit 100 controls the operations of the cylinders 34 and 134, the actuator 52, and the heads 30 and 130, and can also control the exhaust pump 22 and the like.

【0025】次に、図2と図3を参照しながら、図2
(K)に示すディスク状の情報記録媒体Dの製造方法に
ついて順次説明する。まず図2(A)、(E)に示すよ
うに、第1の基盤L0と第2の基盤L1をそれぞれ成形
する。この様子は図3のステップST1とステップST
6に示している。第1の基盤L0と第2の基盤L1は、
たとえば従来用いられている光ディスクの基盤の成形の
要領で作ることができ、信号ピットが成形される。たと
えば第1の基盤L0と第2の基盤L1は、透光性を有す
るたとえばポリカーボネートのような材料で成形するこ
とができる。
Next, referring to FIGS. 2 and 3, FIG.
A method of manufacturing the disc-shaped information recording medium D shown in FIG. First, as shown in FIGS. 2A and 2E, a first base L0 and a second base L1 are formed. This is shown in steps ST1 and ST in FIG.
6 is shown. The first base L0 and the second base L1 are
For example, a signal pit can be formed in the same manner as a conventional optical disk substrate. For example, the first substrate L0 and the second substrate L1 can be formed of a light-transmitting material such as polycarbonate.

【0026】図2(B)、(F)及び図3のステップS
T2、ステップST7で示すように、第1の基盤L0に
対して反射膜202を成膜するとともに、第2の基盤L
1に対しても反射膜203をそれぞれ目的に合った特性
の反射膜をそれぞれ成膜する。これらの反射膜202,
203としては、金属膜、たとえばアルミニウム、金、
銀や半導体のシリコンなどを成膜する。
The steps S in FIGS. 2B and 2F and FIG.
T2, as shown in step ST7, the reflection film 202 is formed on the first substrate L0, and the second substrate L
The reflective film 203 having a characteristic suitable for the purpose is formed for each of the reflective films 203. These reflection films 202,
203 is a metal film, for example, aluminum, gold,
A film of silver or semiconductor silicon is formed.

【0027】図2(C)と(G)に示すように、第1の
基盤L0の反射膜202と第2の基盤L1の反射膜20
3に対して、保護膜220,224をそれぞれ形成す
る。また保護膜を省略することも、接着剤の材質を選ぶ
ことでできる。この様子は図3ステップST3,ST8
に示している。
As shown in FIGS. 2C and 2G, the reflection film 202 of the first substrate L0 and the reflection film 20 of the second substrate L1
3, protective films 220 and 224 are respectively formed. The protective film may be omitted by selecting the material of the adhesive. This situation is shown in steps ST3 and ST8 in FIG.
Is shown in

【0028】次に、図2(D)に示すように、第1の基
盤L0の保護膜220の上に接着剤201を均一に塗布
する。この接着剤201としては、たとえば光照射によ
り硬化する樹脂、たとえばUV硬化樹脂(紫外線硬化樹
脂)を採用することができる。この場合に接着剤201
の塗布方式としては、たとえば従来用いられているスピ
ナー法により回転しながら塗布させることができる。こ
の接着剤201の塗布の特徴点は、図3のステップST
4で示すように、大気中で塗布することである。これに
より、簡単に接着剤201を第1の基盤L0に塗布する
ことができる。
Next, as shown in FIG. 2D, an adhesive 201 is uniformly applied on the protective film 220 of the first substrate L0. As the adhesive 201, for example, a resin that is cured by light irradiation, for example, a UV-curable resin (ultraviolet-curable resin) can be used. In this case, the adhesive 201
Can be applied while rotating by, for example, a conventionally used spinner method. The feature of the application of the adhesive 201 is that the step ST in FIG.
As shown by 4, the coating is performed in the atmosphere. Thereby, the adhesive 201 can be easily applied to the first base L0.

【0029】図2(H)と図3のステップST5,ST
9及びST10に示すように、第1の基盤L0と第2の
基盤L1は、真空槽に入れて、重ね合わせて接着するこ
とになる。この様子を、図1、図4ないし図6を参照し
て説明する。図1と図4に示すロードロック機構26の
ヘッド30がZ方向に上昇して、第1収容部12の出し
入れ口24の中には、図2(D)のように作られた第1
の基盤L0が収容される。この状態では、図4に示すよ
うに接着剤201が上側に位置し、第1の基盤L0が基
盤の受け渡し皿32の上に載っている。第1収容部12
の出し入れ口24に第1の基盤L0を入れるのと同時に
あるいは別の時期に、第2収容部14の出し入れ口12
4側には、別の第2の基盤L1が準備されている。たと
えばロードロック機構126のヘッド130が第2の基
盤L1を吸着して保持している。
Steps ST5 and ST in FIG. 2 (H) and FIG.
As shown in ST9 and ST10, the first substrate L0 and the second substrate L1 are put in a vacuum chamber and superimposed and bonded. This will be described with reference to FIGS. 1, 4 to 6. The head 30 of the load lock mechanism 26 shown in FIG. 1 and FIG. 4 is raised in the Z direction, and the first opening 12 shown in FIG.
Is accommodated. In this state, as shown in FIG. 4, the adhesive 201 is located on the upper side, and the first base L0 is placed on the transfer tray 32 of the base. First accommodation section 12
At the same time or at another time when the first base L0 is inserted into the entrance 24 of the second accommodation portion 14, the entrance 12
On the fourth side, another second base L1 is prepared. For example, the head 130 of the load lock mechanism 126 sucks and holds the second base L1.

【0030】図4のヘッド30がZ方向に下がって出し
入れ口24を密着して閉じるとともに、シリンダ34が
作動して基盤の受け渡し皿32がZ方向に下がる。これ
により、図5に示すように基盤L0は、基盤の受け渡し
皿32からサポート60側に受け渡される。この時他方
の基盤の受け渡し皿132も、シリンダ134の作動に
よりZ方向に下がっている。
The head 30 in FIG. 4 is lowered in the Z direction to close the access port 24 in close contact, and the cylinder 34 is operated to lower the transfer tray 32 on the base in the Z direction. Thereby, as shown in FIG. 5, the base L0 is transferred from the transfer tray 32 of the base to the support 60 side. At this time, the delivery tray 132 on the other base is also lowered in the Z direction by the operation of the cylinder 134.

【0031】図5のアクチュエータ52が作動して、回
転アーム50が、180°回転する。これにより、サポ
ート60に載った基盤L0が、図6のように第2収容部
14側に位置される。その後、シリンダ134が作動し
て図6の状態からZ方向に上昇することにより、基盤の
受け渡し皿132は第1の基盤L0をサポート60から
受け取って支持することになる。この状態では、第2収
容部14側に位置された第1の基盤L0は、第2の基盤
L1の真下に位置されており、接着剤が塗布されていな
い第2の基盤L1と対面している。
When the actuator 52 shown in FIG. 5 is operated, the rotary arm 50 is rotated by 180 °. As a result, the base L0 placed on the support 60 is positioned on the second storage section 14 side as shown in FIG. Thereafter, the cylinder 134 is operated to move up in the Z direction from the state of FIG. 6, so that the transfer tray 132 of the base receives the first base L0 from the support 60 and supports it. In this state, the first base L0 located on the side of the second storage portion 14 is located directly below the second base L1, and faces the second base L1 on which the adhesive is not applied. I have.

【0032】ヘッド130がZ方向に下がることによ
り、ヘッド130は出し入れ口124を完全に密着して
閉じる。この時にはヘッド30も出し入れ口24を完全
に密着して閉じている。このことから、真空槽20内
は、所定の真空圧力好ましくは100Paないし200
00Paのいずれかの一定の値に保持される。そして、
シリンダ134のロッド136がZ方向に上昇すること
により、図3のステップST1において第1の基盤L0
と第2の基盤L1は、相対的に基盤の軸方向、すなわち
Z方向に近づいて、しかも接着剤201のみを介して完
全に接着される。この接着の状態は、真空槽20の所定
の真空圧力内で行われる。このことから、接着剤201
内には空気の泡が混入することなく、完全に空気は接着
剤201から引かれて排気ポンプ22により外部に排出
される。しかも、第1の基盤L0と第2の基盤L1は、
回転させることなく単にZ方向に相対的に直線移動する
だけであり重ね合わせて接着剤201だけで貼り合わせ
ることができる。このことから簡単に両基盤のL0,L
1を接着することができるとともに、その生産速度は回
転させて接着する場合に比べて飛躍的に向上させること
ができる。しかも回転させる場合に比べて周辺に接着剤
が飛散することも無いので、より生産速度を上げること
ができる。
When the head 130 is lowered in the Z direction, the head 130 closes the access opening 124 completely tightly. At this time, the head 30 also closes the access opening 24 completely tightly. From this, the inside of the vacuum chamber 20 is maintained at a predetermined vacuum pressure, preferably 100 Pa to 200 Pa.
It is kept at any constant value of 00 Pa. And
When the rod 136 of the cylinder 134 rises in the Z direction, the first base L0 is moved in step ST1 of FIG.
The second base L1 is relatively close to the base in the axial direction, that is, the Z direction, and is completely bonded only through the adhesive 201. This bonding state is performed within a predetermined vacuum pressure of the vacuum chamber 20. From this, the adhesive 201
The air is completely drawn from the adhesive 201 without being mixed with air bubbles, and is exhausted to the outside by the exhaust pump 22. Moreover, the first base L0 and the second base L1 are:
It simply moves relatively linearly in the Z direction without being rotated, and can be overlapped and bonded only with the adhesive 201. From this, L0, L of both bases can be easily obtained.
1 can be bonded, and the production speed can be dramatically improved as compared with the case of rotating and bonding. Moreover, since the adhesive is not scattered around in comparison with the case of rotating, the production speed can be further increased.

【0033】このように接着されて第1の基盤L0と第
2の基盤L1で構成される図2(H)に示すようなディ
スク状の情報記録媒体Dは、ヘッド130をZ方向に持
ち上げることで、真空槽20から外部に取り出すことが
できる。第1収容部12に対して接着剤を塗布した第1
の基盤L0を収容して、第2収容部14側に接着剤を塗
布していない第2の基盤L1を収容するようにしてい
る。しかしこれに限らず、逆に配置するようにしても勿
論構わない。また接着剤を第1の基盤L0と第2の基盤
L1の両方に塗布しても勿論構わない。本発明の実施の
形態では、第1の基盤L0に対して図2(D)に示すよ
うに大気中において接着剤をたとえばスピナー法により
塗布しているが、これに限らずシルクスクリーン法等の
他の方法を用いて接着剤を塗布することもできる。
The disc-shaped information recording medium D as shown in FIG. 2 (H), which is composed of the first substrate L0 and the second substrate L1 thus bonded, raises the head 130 in the Z direction. Thus, it can be taken out of the vacuum chamber 20 to the outside. The first housing 12 with an adhesive applied thereto
Is accommodated, and the second substrate L1 to which the adhesive is not applied is accommodated in the second accommodating portion 14 side. However, the arrangement is not limited to this, and the arrangement may be reversed. Alternatively, the adhesive may be applied to both the first base L0 and the second base L1. In the embodiment of the present invention, the adhesive is applied to the first substrate L0 in the atmosphere by, for example, a spinner method as shown in FIG. 2D, but the invention is not limited to this. The adhesive may be applied using other methods.

【0034】次に、図2(I)、(J)、(K)に示す
ように、貼り合わせたディスク状の情報記録媒体は、ス
テップST11において真空槽から取り出された後に、
図3ステップST12とST13に示すように、たとえ
ば紫外線を照射することにより接着剤201を硬化させ
て、その後印刷インキ240を用いてレーベルの印刷を
行う。以上のようにして貼り合わせ型のディスク状の情
報記録媒体の製造を完了することができる。なおレーベ
ル印刷の場合に印刷インキ240は、情報記録媒体Dの
読取面ではない面側に印刷することになる。
Next, as shown in FIGS. 2 (I), 2 (J) and 2 (K), the disc-shaped information recording medium thus bonded is taken out of the vacuum chamber in step ST11.
As shown in steps ST12 and ST13 in FIG. 3, the adhesive 201 is cured by irradiating ultraviolet rays, for example, and then the label is printed using the printing ink 240. As described above, the manufacture of the laminated disk-shaped information recording medium can be completed. In the case of label printing, the printing ink 240 is printed on the surface of the information recording medium D which is not the reading surface.

【0035】本発明の実施の形態では、たとえば第1の
基盤L0に対して真空槽内ではなく、大気中においてあ
らかじめ接着剤を塗布しておく。そして真空槽内におい
て、接着剤が塗布された第1の基盤と接着剤が塗布され
ていない第2の基盤を単純に接着剤のみを介して貼り合
わせることにより、接着剤中に空気の泡を巻き込むこと
がなく、完全に第1の基盤と第2の基盤を接着剤のみを
用いて貼り合わせることができる。これにより、接着剤
の表面の微妙な凹凸と、被接着面である基盤との間に空
気が存在しないので、接着剤の馴染みが良くなり平坦度
が保てる。
In the embodiment of the present invention, for example, an adhesive is applied to the first substrate L0 not in the vacuum chamber but in the air in advance. Then, in the vacuum chamber, the first substrate to which the adhesive has been applied and the second substrate to which the adhesive has not been applied are simply bonded to each other with only the adhesive, whereby air bubbles are generated in the adhesive. The first substrate and the second substrate can be completely bonded using only the adhesive without being involved. Thereby, there is no air between the fine irregularities on the surface of the adhesive and the substrate as the surface to be bonded, so that the familiarity of the adhesive is improved and the flatness can be maintained.

【0036】図1の基盤押し付け部18は、上述したシ
リンダ134、基盤の受け渡し皿132等により構成さ
れている。この基盤押し付け部18が図6に示すように
第1の基盤L0を第2の基盤L1に対して相対的に押し
付けようとする場合に、弾性力付加部70により、ある
程度弾性力を付加させることができる。つまりこの弾性
力付加部70は、移動部71とスプリング72を有して
おり、第1の基盤L0が第2の基盤L1に対して押し付
けられる場合に、スプリング72は移動部71を介して
力をZ方向に与えることができる。これにより、第1の
基盤L0と第2の基盤L1は確実に接着剤を介してぴっ
たりと貼り付けることができる。このような弾性力付加
部70は、もう一方の基盤の受け渡し皿132にも同様
に設けられている。
The base pressing portion 18 shown in FIG. 1 is constituted by the above-described cylinder 134, the base delivery tray 132 and the like. When the substrate pressing portion 18 is to press the first substrate L0 relatively to the second substrate L1 as shown in FIG. 6, the elastic force applying portion 70 applies a certain amount of elastic force. Can be. In other words, the elastic force applying section 70 has the moving section 71 and the spring 72, and when the first base L0 is pressed against the second base L1, the spring 72 exerts a force via the moving section 71. In the Z direction. Thereby, the first substrate L0 and the second substrate L1 can be securely stuck to each other via the adhesive. Such an elastic force applying section 70 is similarly provided on the delivery tray 132 of the other base.

【0037】本発明の実施の形態においては、空気の泡
の巻き込み防止のために、従来のように貼り合わせ機構
の動作速度を遅くする必要がなくなり、ディスク状の情
報記録媒体の貼り合わせ作業の生産速度を高めることが
できる。接着剤に空気の泡を混入させることがなく、デ
ィスク状の情報記録媒体の製造時における欠陥を取り除
くことができ、その欠陥検査を省略することもできる。
第1の基盤と第2の基盤を貼り合わせる前に接着剤を望
む位置に正確に塗布ができる。つまり大気中においてあ
らかじめ接着剤を基盤に対して塗布することができるの
で、ディスク状の情報記録媒体のでき上がりがきれいに
なる。
In the embodiment of the present invention, it is not necessary to reduce the operation speed of the bonding mechanism as in the prior art in order to prevent the entrainment of air bubbles. Production speed can be increased. A defect at the time of manufacturing a disc-shaped information recording medium can be removed without mixing air bubbles into the adhesive, and the defect inspection can be omitted.
Before bonding the first substrate and the second substrate, the adhesive can be accurately applied to a desired position. That is, since the adhesive can be applied to the substrate in advance in the atmosphere, the finished disk-shaped information recording medium becomes clear.

【0038】なお上述した実施の形態では図2(C)、
(G)において、保護膜220,24を形成しているが
保護膜を形成しない場合もある。この場合には、反射膜
の材質に対し、反射膜をおかさない材質の接着剤を用い
れば、接着剤が反射膜を覆っているので反射膜保護の役
割をはたす。
In the embodiment described above, FIG.
In (G), the protective films 220 and 24 are formed but the protective film may not be formed. In this case, if an adhesive of a material that does not impair the reflective film is used for the material of the reflective film, the adhesive covers the reflective film and thus plays a role of protecting the reflective film.

【0039】また本発明の実施の形態においては、基盤
同志を貼り合わせる際に基盤を回転させずに静止した状
態で貼り合わせるので、従来生じていた接着剤の基盤の
外周からの飛散を無くすことができる。第1の基盤と第
2の基盤の厚みは、たとえば0.55mmないし0.6
3mmであるのが好ましい。基盤の厚みが0.55mm
よりも薄いと、基盤成形において、複屈折が大きくなる
ことと、ディスクのソリ(基盤単体や、貼り合せ後も)
が大きくなり、定められた規格をクリアできにくくな
る。また基盤の厚みが0.63mmよりも厚いとディス
クのピックアップに対する傾きの許容度がディスクの厚
みに反比例して少なくなるので、現行のプレヤーのピッ
クアップの傾き精度とディスクの傾き精度を勘案すると
0.63mmを超える基盤厚みは好ましくない。基盤を
貼り合わせる際に真空槽内の真空雰囲気内の圧力は、1
00Paないし20000Paのいずれかの一定の値に
保持して行うことができるので、減圧や加圧の作業を繰
り返す必要がなく、作業の簡単化が図れる。
Further, in the embodiment of the present invention, when the substrates are bonded together, the substrates are bonded in a stationary state without rotating, so that the scattering of the adhesive from the outer periphery of the substrate, which has conventionally occurred, is eliminated. Can be. The thickness of the first substrate and the second substrate is, for example, 0.55 mm to 0.6.
It is preferably 3 mm. 0.55mm thickness of base
If it is thinner, the birefringence will increase in the molding of the substrate, and the disk will warp (even after the substrate alone or after laminating).
Becomes large, and it becomes difficult to meet the prescribed standards. If the thickness of the base is larger than 0.63 mm, the tolerance of the inclination of the disk with respect to the pickup decreases in inverse proportion to the thickness of the disk. A substrate thickness exceeding 63 mm is not preferred. When bonding the substrates, the pressure in the vacuum atmosphere in the vacuum chamber should be 1
Since the operation can be performed while maintaining a constant value of any of 00 Pa to 20000 Pa, there is no need to repeat the depressurizing and pressurizing operations, and the operation can be simplified.

【0040】本発明においては、貼り合わせる2枚のデ
ィスクの1枚に接着剤を塗布し、真空槽に入れる。槽内
に回転アームがあり、それにディスクを載せる。別ポジ
ションで相方となるディスクを真空槽内に入れ、接着剤
塗布されたディスクの上に重ねる。真空槽内でディスク
を重ねるので接着層に空気が入らない。また接着面に空
気が無いのでディスクを重ねるとき少しの力を加えるだ
けで接着剤は接着面に良くなじみ均一な接着層が得られ
る。
In the present invention, an adhesive is applied to one of the two discs to be stuck and put into a vacuum chamber. There is a rotating arm in the tank, and the disk is put on it. The disc to be used at another position is placed in a vacuum chamber and placed on the adhesive-coated disc. Since the disks are stacked in a vacuum chamber, no air enters the adhesive layer. In addition, since there is no air on the adhesive surface, the adhesive is well adapted to the adhesive surface and a uniform adhesive layer can be obtained by applying a little force when the disks are stacked.

【0041】図7は本発明の製造装置の別の実施の形態
を示しており、真空部分をロードロック機構のみとする
ことで、機構が簡単になっている。この場合は、図1の
実施の形態よりも真空引き時間がわずかに長くなるが、
実用上、差し障りのないレベルになる。第1の基盤L0
は、大気中をディスク運搬アーム550によって第2の
基盤L1の真下に運ばれる。シリンダ434によってデ
ィスクの受け皿401,402が上方に持ち上げられ
る。このときディスクの受け皿402が先にプレート5
65の下部に接する。
FIG. 7 shows another embodiment of the manufacturing apparatus of the present invention, and the mechanism is simplified by using only a load lock mechanism for the vacuum part. In this case, the evacuation time is slightly longer than in the embodiment of FIG.
Practically, there is no problem. First base L0
Is transported in the atmosphere by the disk transport arm 550 to just below the second base L1. The disc trays 401 and 402 are lifted upward by the cylinder 434. At this time, the tray 402 of the disk
Touch the lower part of 65.

【0042】ディスク運搬ヘッド570は、第2の基盤
L1を保持したままたプレート565に接している。受
け皿402がプレート565に接すると同時に、三方弁
580がプレート565内と排気ポンプ582をつなぐ
方向に作動し、大気側は閉じる方向に作動する。プレー
ト565内が所定の真空圧になったところでシリンダ4
34は更に上昇し、ディスクの受け皿401のみが第1
の基盤L0を保持したまま第2の基盤L1に接する。基
盤L0とL1の接着が完了したら、三方弁580を大気
側を開、排気ポンプ582側を閉になるよう作動し、プ
レート565内に大気を導入する。
The disk carrying head 570 is in contact with the plate 565 holding the second base L1. At the same time that the tray 402 comes into contact with the plate 565, the three-way valve 580 operates in a direction connecting the inside of the plate 565 and the exhaust pump 582, and the atmosphere side operates in a closing direction. When the inside of the plate 565 reaches a predetermined vacuum pressure, the cylinder 4
34 further rises, and only the disk pan 401
Is in contact with the second base L1 while holding the base L0. When the bonding between the bases L0 and L1 is completed, the three-way valve 580 is operated so that the atmosphere side is opened and the exhaust pump 582 side is closed, and the atmosphere is introduced into the plate 565.

【0043】大気導入後、ディスク運搬ヘッド570は
上方に移動し、回転し、次のディスク運搬ヘッド570
が、次の第2の基盤L1を保持してプレート565に接
するまで下降して待機する。貼り合せられたディスク
は、ディスク運搬アーム550によってディスクの受け
皿401,402と共に、次の接着剤201を硬化させ
るステーションに移動する。ディスク運搬アーム550
は、次のディスク受け皿401,402と第1の基盤L
0をのせて待機している第2の基盤L1の真下にくる。
以下、この動作を繰り返すことになる。これによれば、
真空槽620は、プレート565に穴625をあけ、そ
の穴625に排気口635を設けて、排気管645を接
着する構成のみでよい。ディスク運搬アーム550の動
作は大気中で行なえる。の利点が出る。
After the introduction into the atmosphere, the disk transport head 570 moves upward, rotates, and moves to the next disk transport head 570.
Holds the next second substrate L <b> 1 and waits until it comes into contact with the plate 565. The bonded disk is moved by the disk carrying arm 550 together with the disk trays 401 and 402 to a station where the next adhesive 201 is cured. Disk carrying arm 550
Are the next disk trays 401 and 402 and the first base L
It comes right below the second base L1 that is waiting with 0 on it.
Hereinafter, this operation is repeated. According to this,
The vacuum chamber 620 only needs to have a configuration in which a hole 625 is formed in the plate 565, an exhaust port 635 is provided in the hole 625, and the exhaust pipe 645 is bonded. The operation of the disk carrying arm 550 can be performed in the atmosphere. The benefits come out.

【0044】[0044]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ディスク状の第1の基盤とディスク状の第2の基盤を接
着剤を用いて貼り合わせる際に、接着剤には空気の泡を
含ませずに第1の基盤と第2の基盤を生産性良く貼り合
わせることができる。
As described above, according to the present invention,
When bonding the disc-shaped first base and the disc-shaped second base using an adhesive, the first base and the second base can be formed with productivity without containing air bubbles in the adhesive. Can be bonded well.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のディスク状の情報記録媒体の製造装置
の好ましい実施の形態を示す図。
FIG. 1 is a view showing a preferred embodiment of an apparatus for manufacturing a disc-shaped information recording medium according to the present invention.

【図2】貼り合わせ型のディスク状の情報記録媒体の製
造方法の一例を示す図。
FIG. 2 is a diagram showing an example of a method for manufacturing a laminated disk-shaped information recording medium.

【図3】図2の製造方法を示すフロー図。FIG. 3 is a flowchart showing the manufacturing method of FIG. 2;

【図4】図1の製造装置における製造過程を示す図。FIG. 4 is a view showing a manufacturing process in the manufacturing apparatus of FIG. 1;

【図5】図4の製造過程から更に進んだ状態を示す図。FIG. 5 is a diagram showing a state further advanced from the manufacturing process of FIG. 4;

【図6】図5の状態から更に進んだ製造過程を示す図。FIG. 6 is a diagram showing a manufacturing process further advanced from the state of FIG. 5;

【図7】本発明の製造装置の別の実施の形態を示す図。FIG. 7 is a diagram showing another embodiment of the manufacturing apparatus of the present invention.

【図8】従来の製造方法により作られたディスク状の情
報記録媒体を示す図。
FIG. 8 is a view showing a disc-shaped information recording medium manufactured by a conventional manufacturing method.

【図9】従来の製造方法により接着剤が滴下された様子
を示す図。
FIG. 9 is a view showing a state where an adhesive is dropped by a conventional manufacturing method.

【図10】図9の滴下された接着剤により複数の基盤を
貼り合わせようとしている状態を示す図。
FIG. 10 is a diagram showing a state in which a plurality of bases are about to be bonded by the dropped adhesive of FIG. 9;

【図11】従来の別の接着剤の供給例を示す図。FIG. 11 is a diagram showing another example of supplying a conventional adhesive.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10・・・ディスク状の情報記録媒体の製造装置、12
・・・第1収容部、14・・・第2収容部、16・・・
基盤移動部、18・・・基盤押し付け部、20・・・真
空槽、D・・・ディスク状の情報記録媒体、L0・・・
第1の基盤、L1・・・第2の基盤
Reference numeral 10: apparatus for manufacturing a disc-shaped information recording medium, 12
... 1st accommodation part, 14 ... 2nd accommodation part, 16 ...
Base moving part, 18: Base pressing part, 20: Vacuum tank, D: Disc-shaped information recording medium, L0 ...
First base, L1... Second base

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ディスク状の第1の基盤とディスク状の
第2の基盤を接着剤を用いて貼り合わせることによりデ
ィスク状の情報記録媒体を製造する際に、 第1の基盤に対して大気中において接着剤を所定膜厚に
塗布する接着剤塗布ステップと、 接着剤を塗布した第1の基盤と、接着剤を塗布していな
い第2の基盤を、真空雰囲気内に配置して、一定の圧力
の真空雰囲気内において接着剤を塗布した第1の基盤と
接着剤を塗布していない第2の基盤を、回転力を与えず
に相対的に基盤の軸方向に移動して第1の基盤の接着剤
だけを介して第1の基盤と第2の基盤を直接接着する基
盤接着ステップと、を有することを特徴とするディスク
状の情報記録媒体の製造方法。
When manufacturing a disc-shaped information recording medium by bonding a disc-shaped first base and a disc-shaped second base using an adhesive, the first base is air-sealed. An adhesive application step of applying an adhesive to a predetermined film thickness in the inside, a first base on which the adhesive is applied, and a second base on which no adhesive is applied are arranged in a vacuum atmosphere to be fixed. The first substrate on which the adhesive has been applied and the second substrate on which the adhesive has not been applied are relatively moved in the vacuum atmosphere at a pressure of A method for manufacturing a disc-shaped information recording medium, comprising: a substrate bonding step of directly bonding a first substrate and a second substrate via only a substrate adhesive.
【請求項2】 ディスク状の第1の基盤とディスク状の
第2の基盤の厚みは、0.55mmないし0.63mm
である請求項1に記載のディスク状の情報記録媒体の製
造方法。
2. The disk-shaped first base and the disk-shaped second base have a thickness of 0.55 mm to 0.63 mm.
The method for manufacturing a disc-shaped information recording medium according to claim 1, wherein
【請求項3】 真空雰囲気の圧力は、100Paないし
20000Paである請求項2に記載のディスク状の情
報記録媒体の製造方法。
3. The method for manufacturing a disc-shaped information recording medium according to claim 2, wherein the pressure of the vacuum atmosphere is 100 Pa to 20,000 Pa.
【請求項4】 ディスク状の第1の基盤とディスク状の
第2の基盤の両方に対して大気中において接着剤を所定
膜厚に塗布する請求項1に記載のディスク状の情報記録
媒体の製造方法。
4. The disk-shaped information recording medium according to claim 1, wherein an adhesive is applied to both the first disk-shaped substrate and the second disk-shaped substrate in a predetermined thickness in the air. Production method.
【請求項5】 ディスク状の第1の基盤とディスク状の
第2の基盤を接着剤を用いて貼り合わせることによりデ
ィスク状の情報記録媒体を製造する際に、 大気中において接着剤を所定膜厚に塗布した第1の基盤
を収容して真空雰囲気中に配置するための第1収容部
と、 接着剤を塗布していない第2の基盤を収容して真空雰囲
気中に配置するための第2収容部と、 第1収容部から第1の基盤を移動して第2収容部の第2
の基盤に対面する位置に位置決めする基盤移動部と、 第1の基盤と第2の基盤を真空雰囲気中で回転力を与え
ずに相対的に基盤の軸方向に沿って移動することで、第
1の基盤と第2の基盤を第1の基盤の接着剤だけを用い
て接着させる基盤押し付け部と、を有することを特徴と
するディスク状の情報記録媒体の製造装置。
5. When manufacturing a disc-shaped information recording medium by bonding a disc-shaped first base and a disc-shaped second base using an adhesive, the adhesive is applied to a predetermined film in the air. A first accommodating portion for accommodating the thickly applied first substrate and disposing it in a vacuum atmosphere, and a first accommodating portion for accommodating the second substrate not coated with an adhesive and disposing the second substrate in a vacuum atmosphere And a second base of the second storage part by moving the first base from the first storage part.
A base moving unit positioned at a position facing the base, and a first base and a second base which are relatively moved along the axial direction of the base without applying a rotational force in a vacuum atmosphere. An apparatus for manufacturing a disc-shaped information recording medium, comprising: a base pressing portion for bonding a first base and a second base using only an adhesive for the first base.
【請求項6】 ディスク状の第1の基盤とディスク状の
第2の基盤の厚みは、0.55mmないし0.63mm
である請求項5に記載のディスク状の情報記録媒体の製
造装置。
6. The thickness of the first disc-shaped base and the second disc-shaped base is 0.55 mm to 0.63 mm.
6. The apparatus for manufacturing a disc-shaped information recording medium according to claim 5, wherein
【請求項7】 真空雰囲気の圧力は、100Paないし
20000Paである請求項6に記載のディスク状の情
報記録媒体の製造装置。
7. The apparatus for manufacturing a disc-shaped information recording medium according to claim 6, wherein the pressure of the vacuum atmosphere is 100 Pa to 20,000 Pa.
【請求項8】 基盤移動部は、回転することにより第1
収容部から第1の基盤を移動して第2収容部の第2の基
盤に対面する位置に位置決めする請求項5に記載のディ
スク状の情報記録媒体の製造装置。
8. The base moving section rotates to rotate the first base.
6. The apparatus for manufacturing a disc-shaped information recording medium according to claim 5, wherein the first base is moved from the storage section and is positioned at a position facing the second base in the second storage section.
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