JPH11237298A - Gas leakage measurement and alarm device - Google Patents
Gas leakage measurement and alarm deviceInfo
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- JPH11237298A JPH11237298A JP10342771A JP34277198A JPH11237298A JP H11237298 A JPH11237298 A JP H11237298A JP 10342771 A JP10342771 A JP 10342771A JP 34277198 A JP34277198 A JP 34277198A JP H11237298 A JPH11237298 A JP H11237298A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＮＧ、ＬＰＧ等
の爆発性ガスの漏洩を、誤動作することなく測定し、警
報することができるようにしたガス漏洩測定及び警報装
置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas leak measuring and alarming device capable of measuring and alarming the leakage of explosive gas such as LNG and LPG without malfunction.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のガス漏洩測定及び警報装置は、図
１に示すように、ガスと反応して電気的な信号を発生す
るセンサ部１０と；センサ部１０の出力をデジタルに変
換するＡ／Ｄ変換器と、センサ部１０の駆動電源を供給
するようにアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換器とを有
する信号変換部１１と；信号変換部１１の出力を処理し
て感知データを生成するとともに制御信号を供給するＣ
ＰＵから形成される制御部１２と、ＣＰＵから出力され
るデータに対応する情報を表示する表示部１３とから構
成されている。2. Description of the Related Art As shown in FIG. 1, a conventional gas leak measuring and alarming device includes a sensor unit 10 which generates an electric signal in response to a gas; and an A which converts an output of the sensor unit 10 into a digital signal. A signal conversion unit 11 having a D / A converter and a D / A converter for converting an analog signal so as to supply a drive power supply for the sensor unit 10; and processing an output of the signal conversion unit 11 to generate sensing data. To supply the control signal
The control unit 12 includes a control unit 12 formed of a PU, and a display unit 13 that displays information corresponding to data output from the CPU.
【０００３】センサ部１０に用いられるセンサは２種類
に大別される。その一つは酸化物半導体を感知材料とし
て使用する半導体式あるいは抵抗式であり、他の一つは
パラジウム（Ｐｄ）あるいは白金（Ｐｔ）等の触媒担体
を使用する接触燃焼式(pellistor type)である。The sensors used in the sensor section 10 are roughly classified into two types. One is a semiconductor type or a resistance type using an oxide semiconductor as a sensing material, and the other is a catalytic combustion type (pellistor type) using a catalyst carrier such as palladium (Pd) or platinum (Pt). is there.
【０００４】半導体式のガスセンサは、酸化物半導体で
ある感知部の表面に吸着されている酸素イオン(Ｏ-、Ｏ
2 -）が大気中の還元性ガス（Ｒ）にあって下記（化学式
１）のように化学反応して電子が生成され、これによっ
て酸化物半導体内の電子の濃度が変化するにつれて酸化
物半導体の抵抗が変化することを簡単な電気回路を用い
て検出する方式である。 （化学式１） Ｏ-＋Ｒ→ＲＯ＋ｅ- 又は Ｏ2-＋Ｒ→ＲＯ＋２ｅ- 半導体式のガスセンサは、感知材料を適切に選択するこ
とで低濃度のガスまでも検出できる高感度性能を得られ
る。しかし、あらゆる還元性ガスに反応して、希望の特
定ガスのみを選択的に検出することはできないという問
題があった。A semiconductor type gas sensor uses oxygen ions (O − , O − O) adsorbed on the surface of a sensing portion made of an oxide semiconductor.
2 -) is generated electrons in chemical reactions as described below In the reducing gas in the atmosphere (R) (Chemical Formula 1), an oxide semiconductor as a result a change in the electron concentration in the oxide semiconductor Is detected by using a simple electric circuit. (Chemical formula 1) A semiconductor gas sensor of O − + R → RO + e − or O 2− + R → RO + 2e − can obtain high sensitivity performance that can detect even a low-concentration gas by appropriately selecting a sensing material. However, there is a problem that it is not possible to selectively detect only a desired specific gas in response to any reducing gas.
【０００５】一方、接触燃焼式のガスセンサは、触媒の
ある感知セルと触媒のない基準セルの対から形成される
感知部を有している。ここでは、ＬＮＧ、ＬＰＧ等の可
燃性ガスが、約３００〜５００℃で加熱されている感知
セルの表面の触媒に接する場合、燃焼反応が起こり、温
度が上昇するため、金属抵抗体（通常、白金或いはその
合金）から制作されたヒータに流れる電流が燃焼反応の
ない基準セルに比べて相対的に減少する。このように、
ガスの燃焼熱によるヒータの電流変化を感知することに
より一定濃度以上のガスの有無を感知することができ
る。しかし、通常の接触燃焼式のガスセンサは、半導体
式のガスセンサに比べて低濃度のガスに対する感知が難
しく、且つ触媒の劣化に起因して感度が低下するという
短所があった。[0005] On the other hand, a catalytic combustion type gas sensor has a sensing portion formed of a pair of a sensing cell with a catalyst and a reference cell without a catalyst. Here, when a combustible gas such as LNG or LPG comes in contact with the catalyst on the surface of the sensing cell heated at about 300 to 500 ° C., a combustion reaction occurs and the temperature rises. The current flowing through a heater made of platinum or an alloy thereof is relatively reduced as compared with a reference cell having no combustion reaction. in this way,
By detecting a change in the current of the heater due to the heat of combustion of the gas, it is possible to detect the presence or absence of a gas having a certain concentration or more. However, the conventional gas sensor of the contact combustion type has disadvantages in that it is difficult to detect a low-concentration gas as compared with the gas sensor of the semiconductor type, and the sensitivity is lowered due to deterioration of the catalyst.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来の技術
の問題点を解決するためになされたものであり、低濃度
のガスを感知することができ、希望する特定の種類のガ
スのみを選択的に正確に検出することができるガス漏洩
測定及び警報装置を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art, and is capable of sensing low-concentration gases and only providing a desired specific type of gas. An object of the present invention is to provide a gas leak measurement and alarm device that can be selectively and accurately detected.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の目的を達成する
ためのガス漏洩測定及び警報装置は、ガスに対する反応
が互いに異なる少なくとも２つ以上のガスセンサから構
成されるセンサ部と、センサ部の出力を処理して感知ガ
スに対する特定パターンの出力信号を生成した後、感知
ガスに対する特定パターンの出力信号と学習記憶された
ガスパターンとを比較判別して感知ガスに対する情報を
求める信号処理部と、信号処理部のデータに対応する情
報を表示する表示部とを備えることを特徴とする。According to the present invention, there is provided a gas leakage measuring and alarming apparatus comprising: a sensor section comprising at least two gas sensors having different reactions to gas; and an output of the sensor section. And generating a specific pattern output signal for the sensing gas, then comparing and discriminating the specific pattern output signal for the sensing gas and the learned and stored gas pattern to determine information about the sensing gas, and a signal processing unit. A display unit for displaying information corresponding to the data of the processing unit.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づき本発明の
実施形態について詳細に説明する。本発明実施形態のガ
ス漏洩測定及び警報装置は、図２に示すように、センサ
部２０と、信号処理部２３と、表示部２４とから構成さ
れる。センサ部２０は、ガスに対する反応が互いに異な
る４つのアレイ形の酸化物半導体ガスセンサＳ１〜Ｓ４
を備えている。信号処理部２３は、センサ部２０の各酸
化物半導体ガスセンサＳ１〜Ｓ４の出力をデジタルに変
換するＡ／Ｄ変換器と、センサ部２０の各酸化物半導体
ガスセンサＳ１〜Ｓ４の駆動電源を供給するようにアナ
ログに変換するＤ／Ａ変換器とを有する信号変換部２１
と；信号処理及び制御信号を出力するＣＰＵと、システ
ム動作用のプログラムが記憶されたＲＡＭと、ニューラ
ルネットワーク動作用のプログラムの入っているＲＯＭ
とを有する制御部２２と；から構成される。そして、表
示部２４は、信号処理制御部２３から出力されるデータ
に基づいて情報を表示する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. As shown in FIG. 2, the gas leakage measurement and alarm device according to the embodiment of the present invention includes a sensor unit 20, a signal processing unit 23, and a display unit 24. The sensor unit 20 includes four array-type oxide semiconductor gas sensors S1 to S4 having different reactions to gas.
It has. The signal processing unit 23 supplies an A / D converter for converting the output of each of the oxide semiconductor gas sensors S1 to S4 of the sensor unit 20 into a digital signal, and a drive power supply for each of the oxide semiconductor gas sensors S1 to S4 of the sensor unit 20. Conversion unit 21 having a D / A converter for converting to analog
A CPU for outputting signal processing and control signals, a RAM storing a program for operating the system, and a ROM storing a program for operating the neural network
And a control unit 22 having: Then, the display unit 24 displays information based on the data output from the signal processing control unit 23.
【０００９】図３は本実施形態のセンサ部の平面図であ
る。図３に示すように、４つのガスセンサＳ１〜Ｓ４を
電極の形成された基板のほぼ中央部に配置し、各ガスセ
ンサＳ１〜Ｓ４と連結される５つの電極パッドＰ１〜Ｐ
５を基板の縁部に配置する。FIG. 3 is a plan view of the sensor section of the present embodiment. As shown in FIG. 3, four gas sensors S1 to S4 are arranged at substantially the center of the substrate on which the electrodes are formed, and five electrode pads P1 to P4 connected to the gas sensors S1 to S4.
5 is located at the edge of the substrate.
【００１０】ここで、センサ部２０の各酸化物半導体ガ
スセンサＳ１〜Ｓ４のアレイは、互いに異なる構造を持
っている。それらの構造を図４に示す。まず、ガスセン
サＳ１は、図４ａに示すように、基板３０上に順次に形
成されるヒータ３１、絶縁層３２、感知電極３３、感知
膜３４、絶縁層のシリカＳｉＯ2 層３５、及びＰｄ触媒
層３６から形成される。この際、感知膜３４の組成は、
９０〜９９．９ｗｔ％のＳｎＯ2 ＋０．１〜１０ｗｔ％
のＰｄである。感知膜３４はその組成のペーストを印刷
して約４００〜９００℃で熱処理して形成する。更に、
ヒータ３１や感知電極３３は、白金Ｐｔ又は金Ａｕ等の
導電性金属材料のペーストを用いてスクリン印刷方法で
形成した後、乾燥（約５０〜３００℃）及び熱処理（約
８００〜１２００℃）を経て形成するものであり、絶縁
層３２は高温で安定的なセラミックを用いて形成する。Here, the arrays of the oxide semiconductor gas sensors S1 to S4 of the sensor section 20 have different structures. FIG. 4 shows their structures. First, as shown in FIG. 4A, a gas sensor S1 includes a heater 31, an insulating layer 32, a sensing electrode 33, a sensing film 34, a silica SiO 2 layer 35 as an insulating layer, and a Pd catalyst layer formed sequentially on a substrate 30. 36 are formed. At this time, the composition of the sensing film 34 is
90-99.9 wt% SnO 2 + 0.1-10 wt%
Pd. The sensing film 34 is formed by printing a paste having the composition and heat-treating the paste at about 400 to 900 ° C. Furthermore,
The heater 31 and the sensing electrode 33 are formed by a screen printing method using a paste of a conductive metal material such as platinum Pt or gold Au, and then dried (about 50 to 300 ° C.) and heat-treated (about 800 to 1200 ° C.). The insulating layer 32 is formed using ceramics that are stable at high temperatures.
【００１１】ガスセンサＳ２は、図４ｂに示すように、
図４ａに示すガスセンサＳ１のＰｄ触媒層３６でなくＰ
ｔ触媒層３７を使用する他は、ガスセンサＳ１の構造と
同様である。ガスセンサＳ３は、図４ｃに示すように、
図４ａに示すガスセンサＳ１のＰｄ触媒層３６が堆積さ
れておらず、かつシリカＳｉＯ2 層が白金添加されたシ
リカ層３８を使用するほかはガスセンサＳ１の構成と同
様である。また、ガスセンサＳ４は、図４ｄに示すよう
に、図４ａに示すガスセンサＳ１のＰｄ触媒層３６と絶
縁層のシリカ層３５がなく、感知膜３９の組成が８０〜
９９ｗｔ％のＳｎＯ2＋０．５〜１０ｗｔ％のＶ2Ｏ5＋
０．５〜１０ｗｔ％のＴｈＯ2＋０．１〜１０ｗｔ％の
Ｐｄである他は、ガスセンサＳ１と同様である。従っ
て、構造の異なるガスセンサＳ１〜Ｓ４は、ＬＰＧ、Ｌ
ＮＧ等の可燃性ガスに対して互いに異なる反応を行う。The gas sensor S2 is, as shown in FIG.
The Pd catalyst layer 36 of the gas sensor S1 shown in FIG.
Except for using the t catalyst layer 37, the structure is the same as that of the gas sensor S1. The gas sensor S3, as shown in FIG.
The configuration of the gas sensor S1 is the same as that of the gas sensor S1 except that the Pd catalyst layer 36 of the gas sensor S1 shown in FIG. 4A is not deposited and a silica layer 38 to which a silica SiO 2 layer is added with platinum is used. Further, as shown in FIG. 4D, the gas sensor S4 does not include the Pd catalyst layer 36 and the insulating silica layer 35 of the gas sensor S1 shown in FIG.
99 wt% SnO 2 +0.5 to 10 wt% V 2 O 5 +
Except for 0.5 to 10 wt% ThO 2 +0.1 to 10 wt% Pd, it is the same as the gas sensor S1. Therefore, the gas sensors S1 to S4 having different structures correspond to LPG, LPG.
Different reactions are performed on combustible gases such as NG.
【００１２】一方、信号処理部２３は、そのＲＯＭに、
感知しようとするガスの種類や濃度に対する情報を前も
って学習過程を通じて特定パターン信号としてデータベ
ース化して記憶させておく。例えば、図５に示すよう
に、ＬＮＧ、ＬＰＧ等の種々のガスを選択的に感知する
ためにそれらのガスの種類や濃度に対するデータベース
を作る。ＬＮＧ、ＬＰＧは、炭化水素系ガスであってメ
タン、イソブタン、水素等が主成分であるため、この類
のガスは爆発濃度でセンサの出力信号パターンに対する
学習をしなければならない。爆発性ガス以外の生活ガ
ス、例えば一酸化炭素、アルコール等に対する出力信号
パターンをも記憶させておくと、一層正確なガス判別を
行うことができる。多数のガスに対する出力信号パター
ンを学習させればさせるほど誤動作の程度が低くなる。
しかしながら、メモリ容量、学習の所要時間、経費等を
顧慮して適正の学習量を設定しなければならない。そし
て、表示部２４は、ＬＥＤ、ブザー、ＬＥＤとブザーと
が結合された警報装置のうち何れか一つを必要に応じて
選択して構成する。On the other hand, the signal processing section 23 stores
Information on the type and concentration of the gas to be sensed is stored in a database as a specific pattern signal through a learning process in advance. For example, as shown in FIG. 5, in order to selectively detect various gases such as LNG and LPG, a database for the types and concentrations of those gases is created. Since LNG and LPG are hydrocarbon-based gases containing methane, isobutane, hydrogen and the like as main components, these kinds of gases must learn the output signal pattern of the sensor at the explosive concentration. If an output signal pattern for a living gas other than the explosive gas, for example, carbon monoxide, alcohol, or the like is also stored, more accurate gas discrimination can be performed. The more the output signal patterns for a large number of gases are learned, the lower the degree of malfunction.
However, an appropriate amount of learning must be set in consideration of the memory capacity, the time required for learning, the cost, and the like. The display unit 24 selects and configures one of an LED, a buzzer, and an alarm device in which the LED and the buzzer are combined as necessary.
【００１３】次に、このように構成された本発明のガス
漏洩測定及び警報装置の作動について説明する。まず、
センサ部２０の各酸化物半導体ガスセンサＳ１〜Ｓ４
は、周辺にあるガスの種類や濃度に基づいて反応して互
いに異なる出力信号を発生する。この後、信号変換部２
１のＡ／Ｄ変換器は、デジタルに変換して特定の出力信
号パターンとして出力する。ＣＰＵでは、これらの出力
信号パターンを入力して学習記憶されている感知ガスパ
ターンと比較した後、最も類似な感知ガスの出力信号パ
ターンの模様を、ＲＯＭに記憶されているニューラルネ
ットワークを介して見出す。そして、最終的に選択され
た出力信号パターンのガス種類や濃度を判別し、その判
別された信号を表示部２４に送る。表示部２４は、この
データを表示することにより、使用者が分かるようにす
る。このような一連の信号処理作業を適切な時間間隙で
繰り返し行うことにより警報態勢を維持することができ
る。Next, the operation of the gas leakage measuring and alarming device according to the present invention will be described. First,
Each oxide semiconductor gas sensor S1 to S4 of the sensor unit 20
Generates different output signals in response to each other based on the type and concentration of surrounding gas. Thereafter, the signal conversion unit 2
One A / D converter converts the digital data and outputs it as a specific output signal pattern. After inputting these output signal patterns and comparing them with the learned gas patterns stored and learned, the CPU finds the most similar pattern of the output signal patterns of the detected gas via the neural network stored in the ROM. . Then, the gas type and concentration of the finally selected output signal pattern are determined, and the determined signal is sent to the display unit 24. The display unit 24 displays this data so that the user can understand. By repeating such a series of signal processing operations at appropriate time intervals, the alarm state can be maintained.
【００１４】本発明の実施形態では、ガス漏洩警報機に
対するものを例としたが、本発明はこれに限定されるも
のでない。例えば、センサ感知材料を、他の排気ガス等
を感知可能なものに代替することにより、多様なガス感
知システムに適用することもできる。また、学習過程を
経てデータベースを作成するので、自動車排気ガス分析
機を始めとして炭化水素系ガスの有無若しくは濃度を測
定するシステムにも適用することができる。更に、セン
サ部２０を構成する酸化物半導体ガスセンサを４つ制作
することが最も好ましいが、少なくとも２つ以上になれ
ば本発明の目的を達成することができる。酸化物半導体
ガスセンサ以外の他のガスセンサを用いてもよい。In the embodiment of the present invention, a gas leak alarm is described as an example, but the present invention is not limited to this. For example, by replacing the sensor sensing material with a material capable of sensing other exhaust gas or the like, it can be applied to various gas sensing systems. Further, since the database is created through a learning process, the present invention can be applied to a system for measuring the presence or absence or concentration of a hydrocarbon gas, such as an automobile exhaust gas analyzer. Further, it is most preferable to manufacture four oxide semiconductor gas sensors constituting the sensor unit 20, but if at least two or more are used, the object of the present invention can be achieved. A gas sensor other than the oxide semiconductor gas sensor may be used.
【００１５】[0015]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のガス漏洩
測定及び警報装置には以下の効果がある。ガスに対して
互いに異なる反応を行う多数のセンサを用いて、その出
力信号の絶対値でなく信号間の相対値つまり出力信号パ
ターンを判断の基準とするので、従来の技術に比べて誤
動作を画期的に低くすることができる。また、前もって
学習されたガスに対して正確に感知可能なように構成さ
れており、センサ感知材料が適切に選択されて製造され
るので、ガス漏洩警報機以外の多様なガス感知システム
に適用することもできる。特に、自動車排気ガス分析機
を始めとして炭化水素ガスの有無若しくは濃度を測定す
るシステムにも、学習過程さえ経ればそのまま適用・使
用することができる。As described above, the gas leak measuring and alarming device of the present invention has the following effects. A large number of sensors that react differently to gas are used, and the relative value between the signals, that is, the output signal pattern, rather than the absolute value of the output signal, is used as a criterion for judgment. It can be lowered periodically. In addition, since it is configured to be able to accurately sense gas learned in advance and the sensor sensing material is appropriately selected and manufactured, it can be applied to various gas sensing systems other than a gas leak alarm. You can also. In particular, a system for measuring the presence or absence or concentration of a hydrocarbon gas such as an automobile exhaust gas analyzer can be directly applied and used as long as the learning process is performed.
【図１】従来のガス漏洩測定及び警報装置のシステムを
概略的に示すブロック図。FIG. 1 is a block diagram schematically showing a system of a conventional gas leak measurement and alarm device.
【図２】本発明のガス漏洩測定及び警報装置のシステム
を概略的に示すブロック図。FIG. 2 is a block diagram schematically illustrating a system of a gas leak measurement and alarm device according to the present invention.
【図３】図２のセンサ部を示す平面図。FIG. 3 is a plan view showing a sensor unit of FIG. 2;
【図４】図３の各センサを示す断面図。FIG. 4 is a sectional view showing each sensor of FIG. 3;
【図５】ＬＮＧ、ＬＰＧの感知のための学習実験例を示
す表である。FIG. 5 is a table showing an example of a learning experiment for sensing LNG and LPG.
１０、２０ センサ部 ３０ 基板 １１、２１ 信号変換部 ３１ ヒータ １２、２２ 制御部 ３２、３５、３８ 絶縁層 １３、２４ 表示部 ３３ 感知電極 ２３ 信号処理部 ３４、３７、３９ 感知膜 ３６ 触媒層 10, 20 Sensor unit 30 Substrate 11, 21 Signal conversion unit 31 Heater 12, 22 Control unit 32, 35, 38 Insulating layer 13, 24 Display unit 33 Sensing electrode 23 Signal processing unit 34, 37, 39 Sensing film 36 Catalyst layer
Claims (13)
とも２つ以上のガスセンサから構成されるセンサ部と、 前記センサ部の出力を処理して感知ガスに対する特定パ
ターンの出力信号を生成した後、感知ガスに対する特定
パターンの出力信号と学習記憶されたガスパターンとを
比較判別して前記感知ガスに対する情報を求める信号処
理部と、 前記信号処理部のデータに対応する情報を表示する表示
部とを備えることを特徴とするガス漏洩測定及び警報装
置。1. A sensor unit comprising at least two gas sensors having different reactions to a gas, and processing an output of the sensor unit to generate an output signal of a specific pattern for the sensing gas. A signal processing unit for comparing and determining an output signal of a specific pattern and a learned and stored gas pattern to obtain information on the sensing gas, and a display unit for displaying information corresponding to data of the signal processing unit. Characteristic gas leak measurement and alarm device.
導体ガスセンサであることを特徴とする請求項１記載の
ガス漏洩測定及び警報装置。2. The gas leakage measurement and alarm device according to claim 1, wherein the gas sensor of the sensor section is an oxide semiconductor gas sensor.
４ガスセンサから構成されることを特徴とする請求項１
記載のガス漏洩測定及び警報装置。3. The gas sensor according to claim 1, wherein the sensor unit includes first, second, third, and fourth gas sensors.
The gas leak measurement and alarm device described in the above.
に、ヒータ、第１絶縁層、感知電極、感知膜、第２絶縁
層、触媒層が順次形成されることを特徴とする請求項３
記載のガス漏洩測定及び警報装置。4. The first and second gas sensors, wherein a heater, a first insulating layer, a sensing electrode, a sensing film, a second insulating layer, and a catalyst layer are sequentially formed on a substrate. 3
The gas leak measurement and alarm device described in the above.
ｔ％のＳｎＯ2＋０．１〜１０ｗｔ％のＰｄであり、第
２絶縁層はシリカＳｉＯ2 であることを特徴とする請求
項４記載のガス漏洩測定及び警報装置。5. The composition of the sensing film is 90 to 99.9 w.
a t% of SnO 2 + 0.1-10% of Pd, the second insulating layer is gas leakage measurement and alarm system according to claim 4, characterized in that the silica SiO 2.
なり、前記第２ガスセンサの触媒層はＰｔからなること
を特徴とする請求項４記載のガス漏洩測定及び警報装
置。6. The apparatus according to claim 4, wherein the catalyst layer of the first gas sensor is made of Pd, and the catalyst layer of the second gas sensor is made of Pt.
タ、第１絶縁層、感知電極、感知膜、第２絶縁層が順次
形成されることを特徴とする請求項３記載のガス漏洩測
定及び警報装置。7. The gas leakage measurement according to claim 3, wherein the third gas sensor has a heater, a first insulating layer, a sensing electrode, a sensing film, and a second insulating layer sequentially formed on a substrate. And alarm device.
リカであることを特徴とする請求項７記載のガス漏洩測
定及び警報装置。8. The gas leakage measurement and alarm device according to claim 7, wherein the second insulating layer is made of silica to which Pt is added.
タ、第１絶縁層、感知電極、感知膜が順次形成されるこ
とを特徴とする請求項３記載のガス漏洩測定及び警報装
置。9. The apparatus according to claim 3, wherein the fourth gas sensor includes a heater, a first insulating layer, a sensing electrode, and a sensing film sequentially formed on a substrate.
％のＳｎＯ2 ＋０．５〜１０ｗｔ％のＶ2Ｏ5＋０．５〜
１０ｗｔ％のＴｈＯ2 ＋１０ｗｔ％のＰｄであることを
特徴とする請求項９記載のガス漏洩測定及び警報装置。10. The composition of the sensing film is 80 to 99 wt.
% SnO 2 +0.5 to 10 wt% V 2 O 5 +0.5 to
10. The gas leakage measurement and alarm device according to claim 9, wherein the content is 10 wt% ThO 2 +10 wt% Pd.
ルへ、且つデジタルからアナログへ各々信号変換して特
定パターンの信号を出力する信号変換部と、 システム運営プログラムの記憶されたＲＡＭと、ニュー
ラルネットワーク運営プログラムの入っているＲＯＭ
と、信号処理及び制御信号を出力するＣＰＵとから構成
され、前記信号変換部から印加される特定パターンの信
号を学習記憶されたガスパターンと比較判別する制御部
とから構成されることを特徴とする請求項１記載のガス
漏洩測定及び警報装置。11. A signal conversion unit that converts a signal applied from the sensor unit from analog to digital and from digital to analog to output a signal of a specific pattern, and a system operation program. RAM and ROM containing neural network operation program
And a control unit configured to include a CPU that outputs signal processing and control signals, and a control unit that compares and discriminates a signal of a specific pattern applied from the signal conversion unit with a learned and stored gas pattern. The gas leakage measurement and alarm device according to claim 1.
情報は、ガス種類や濃度に対する情報であることを特徴
とする請求項１記載のガス漏洩測定及び警報装置。12. The apparatus according to claim 1, wherein the information on the sensing gas of the signal processing unit is information on a gas type and a concentration.
びブザーとＬＥＤとが結合された警報装置のうち何れか
一つから構成されることを特徴とする請求項１記載のガ
ス漏洩測定及び警報装置。13. The gas leak measurement and alarm according to claim 1, wherein the display unit comprises one of a buzzer, an LED, and an alarm device in which the buzzer and the LED are combined. apparatus.
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| KR1019970065919A KR100252935B1 (en) | 1997-12-04 | 1997-12-04 | Apparatus for alarming and measuring gas-leakage |
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Publications (1)
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|---|---|
| JPH11237298A true JPH11237298A (en) | 1999-08-31 |
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ID=19526464
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|---|
| JP2010185774A (en) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Fuji Electric Systems Co Ltd | Membrane gas sensor |
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1997
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010185774A (en) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Fuji Electric Systems Co Ltd | Membrane gas sensor |
| JP2017506759A (en) * | 2014-02-14 | 2017-03-09 | ローズマウント・アナリティカル・インコーポレーテッドＲｏｓｅｍｏｕｎｔ Ａｎａｌｙｔｉｃａｌ Ｉｎｃ． | Diagnosis of semiconductor gas detection sensors |
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