JPH11235061A

JPH11235061A - 超音波モータおよび超音波モータ付き電子機器

Info

Publication number: JPH11235061A
Application number: JP10032649A
Authority: JP
Inventors: Masao Kasuga; 政雄春日; Akihiro Iino; 朗弘飯野; Makoto Suzuki; 鈴木　　誠
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 1998-02-16
Filing date: 1998-02-16
Publication date: 1999-08-27
Anticipated expiration: 2018-02-16
Also published as: US6278221B1; JP4053646B2

Abstract

(57)【要約】【課題】組み立て前後の加圧力のばらつきを防止し、
組み立て後に煩雑な作業なしに加圧力を調整するととも
に、小型で高効率かつ安定な超音波モータおよび超音波
モータ付き電子機器を提供する。【解決手段】励振される振動体と前記振動体に当接す
る移動体とを加圧して両者に摩擦力を生じさせる加圧手
段を備え、前記摩擦力により前記移動体を駆動させる超
音波モータにおいて、前記加圧手段は、主に加圧力を加
える主加圧手段と前記主加圧手段の加える加圧力を調整
する加圧力調整手段を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動体と移動体と
を加圧手段により加圧する超音波モータに係り、特に、
加圧手段の加圧力を振動体、移動体等の組み立て前後で
調整する超音波モータおよび超音波モータ付き電子機器
の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】近時、マイクロモータの分野で、圧電素
子の圧電効果を利用した超音波モータが注目されてい
る。この超音波モータの一例として、装置を支持する支
持板と、支持板に固定された中心軸と、中心軸に固定さ
れた振動体と、振動体の下面に接合された圧電素子と、
振動体に設けた突起に当接された移動体と、移動体に圧
接する加圧手段とを備えたタイプが知られている。

【０００３】これによれば、圧電効果により圧電素子を
励振させ、この圧電素子の励振により振動体を弾性振動
させ、この弾性振動により振動体の突起を周期的に移動
体に当接させる一方、加圧手段は移動体と振動体の突起
とに加圧力を加えて、移動体と振動体とに摩擦力を発生
させ、この摩擦力により移動体を駆動する。ここで、加
圧手段の種類としては、図１１（ａ）に示すような板ば
ね１０１、または、図１１（ｂ）に示すような皿形状の
ばね１０２と、皿形状のばねの加圧力を調整するスペー
サからなるものが知られている（特開平２−２８７２８
１号公報、特開昭６３−３０５７７０号公報参照）。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記板
ばね１０１の場合、加圧力は、板ばねの形状、厚みのば
らつき、振動体、移動体等の各部品の厚みのばらつき、
およびこれらの組み立てばらつきにより、加圧力のばら
つきが生じてしまう。この加圧力のばらつきは、振動体
と移動体との摩擦力、移動体の駆動力を変化させ、超音
波モータの個々の特性をばらつかせるという問題を有し
ていた。

【０００５】一方、上記皿形状のばね１０２、スペーサ
を用いる場合、皿形状のばね、振動体、移動体等の各部
品のばらつきをスペーサの厚みで調整して加圧力を調整
するものの、加圧力の調整は、組み立て前に部品の厚み
選別による組み合わせ、または、組み立て後のモータ特
性検査による組み外し、例えば、スペーサの枚数を変更
する等の煩雑な作業が必要になる。さらに、スペーサで
の調整は、わずかな厚みの相違で加圧力が大きく変化す
るため、精度の高い加圧力の調整は困難であり、ひいて
は、装置の大型化、低効率化という問題を有していた。

【０００６】本発明の目的は、以上の問題を鑑み、振動
体、移動体等の組み立て前後における加圧力のばらつき
を防止し、組み立て後に煩雑な作業なしに加圧力を調整
するとともに、小型で高効率かつ安定な超音波モータお
よび超音波モータ付き電子機器を提供する。

【０００７】

【課題を解決するための手段】図１は、本発明の概念を
示したブロック図である。本発明は、図１に示すよう
に、励振される振動体１と前記振動体１に当接する移動
体２とを加圧して両者に摩擦力を生じさせる加圧手段３
を備え、前記摩擦力により前記移動体２を駆動させる超
音波モータにおいて、前記加圧手段３は、主に加圧力を
加える主加圧手段３ａと前記主加圧手段３ａの加える加
圧力を調整する加圧力調整手段３ｂを有することを特徴
とする。

【０００８】以上の手段にあって、加圧手段３には、弾
性部材を用いる方式、荷重部材により加圧力を加える方
式、さらには磁力等の吸引反発により加圧力を加える方
式の何れも含まれる。また、弾性部材には、ばね、ゴム
が含まれ、さらに、ばねには、板ばね、放射状の腕を有
するばね、コイルばね等が含まれる。図２は、本発明に
係わる原理を等価的に表した図である。

【０００９】加圧手段３は、主加圧手段３ａを大きい弾
性係数Ｋ１のばねとし、加圧力調整手段３ｂを小さい弾
性係数Ｋ２の３つのばねとし、両ばねを並列に接続した
ものに置き換えられる。そして、一定のたわみ量のもと
では、加圧力調整手段３ｂの３つのばねを接続、切断す
ることにより、全体の弾性係数をＫ１＋３Ｋ２、Ｋ１＋
２Ｋ２、Ｋ１＋Ｋ２、Ｋ１から選択し、加圧力を調整す
る。

【００１０】即ち、本発明によれば、加圧力調整手段３
ｂにより、組み立て前のみならず組み立て後においても
主加圧手段３ａの加える加圧力は調整される。したがっ
て、振動体１、移動体２、加圧手段３の寸法のばらつき
に基づいた加圧力のばらつきは防止されるとともに、振
動体１、移動体２、加圧手段３の寸法精度の管理は容易
になる。

【００１１】また、組み立て後に、組み外し作業の必要
なしに加圧力は調整される。したがって、組み立て後の
加圧力の調整は容易になる。また、組み立て後に、加圧
力調整手段３ｂの接続、切断により、精度の高い加圧力
の調整を行う。したがって、小型で高効率且つ安定なモ
ータが実現される。また、請求項２記載の発明は、請求
項１記載の超音波モータにおいて、前記加圧手段は板ば
ねであり、前記加圧力調整手段は前記板ばねにスリット
部と前記スリット部の間に短冊部を有することを特徴と
する。

【００１２】これによれば、組み立て前、スリット部に
より加圧力を調整するとともに、組み立て後、スリット
部間の短冊部を切断、接続することにより、精度の高い
加圧力の調整を行う。また、請求項３記載の発明は、請
求項１記載の超音波モータにおいて、前記加圧手段は放
射状に伸びた腕を有し、前記主加圧手段は前記腕のうち
所定の幅の主加圧腕部であり、前記加圧力調整手段は前
記腕のうち前記主加圧腕部より幅の狭い加圧力調整腕部
であることを特徴とする。

【００１３】これによれば、組み立て前、加圧力調整腕
部により主加圧腕部の加える加圧力を調整するととも
に、組み立て後、加圧力調整腕部の一部を切断、曲げる
ことにより、精度の高い加圧力の調整を行う。また、請
求項４記載の発明は、請求項１記載の超音波モータにお
いて、前記加圧力調整手段は、前記振動体、前記移動
体、前記加圧手段を組み立てた後に、加工されて前記加
圧力を調整することを特徴とする。

【００１４】ここで、加工法には、切断、曲げ加工、溶
融等の方法による。これによれば、振動体等を組み立て
後、加圧力調整手段は加工されて精度の高い加圧力の調
整を行う。また、請求項５に記載の発明は、請求項１か
ら請求項４の何れかに記載の超音波モータにおいて、前
記加圧手段と前記移動体とを一体にしたことを特徴とす
る。

【００１５】これによれば、加圧手段と移動体とを一体
にしたことで、加圧手段を設置する部材を不要にする。
したがって、装置構成の簡略化が図られる。また、請求
項６記載の発明は、超音波モータ付き電子機器におい
て、請求項１から請求項５の何れかに記載の超音波モー
タを備えたことを特徴とする。ここで、電子機器には、
電子時計、計測器、カメラ、プリンタ、印刷機、工作機
械、ロボット、移動装置が含まれる。

【００１６】これによれば、本発明を適用した超音波モ
ータ付き電子機器が実現される。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、図３〜図１０を参照して本
発明に係わるの実施の形態を詳細に説明する。｛実施の形態１｝図３は、本発明を適用した実施の形態
１に係わる超音波モータの断面構造を示し、図４は、超
音波モータに係わる加圧ばね１６の平面構造を示す。

【００１８】本実施の形態は、超音波モータを支持する
支持板１１と、支持板１１に基端を固定した中心軸１２
と、中心軸１２の中央に固定された振動体１３と、振動
体１３の下面に接合された圧電素子１４と、振動体１３
の突起１３ａに当接する移動体１５と、移動体１５に圧
接した本発明の加圧手段としての加圧ばね１６と、移動
体１５の下面に固定した摩擦板１７を備える。

【００１９】ここで、中心軸１２は、剛性材料からなる
略柱状体であり、振動体１３を固定支持し、また、移動
体１５を回動自在に支持する。振動体１３は、例えばア
ルミ合金、ステンレス、黄銅等の弾性材料からなる円盤
状である。また、後述する圧電素子１４の分割部の境界
に対応する位置に等間隔で、柱状の突起１３ａを設けて
いる。

【００２０】圧電素子１４は、チタン酸ジルコン酸鉛、
チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸リチウム、タ
ンタル酸リチウム等で作製され、略円盤状に成形されて
いる。また、周方向へ扇形状に１２等分に分割され、１
つおきの分割部を１組の分極処理部として、２組の分極
処理部を設ける。分極処理は、各組の分極処理部の分割
部が交互に分極処理の方向を反対となるように施す。こ
こで、分極処理の方向は、正方向として、振動体１３と
の接合面に向かって正の電界を印加し、逆方向として振
動体１３との接合面に向かって負の電界を印加した。

【００２１】圧電素子１４の接合面に対向する面には、
各分割部に対応した略扇形状の電極パターンを蒸着、ス
パッタ、印刷、ＣＶＤ等の手段で形成し、各組の分極処
理部ごとに短絡し、２組の電極パターンを形成してい
る。そして、一方の電極パターンは第１リード線に結線
し、他方の電極パターンは第２リード線に結線されてい
る。一方、振動体１３との接合面には、全面に電極を形
成している。そして、一方の電極パターンと他方の電極
パターンのそれぞれに９０゜位相の異なる励振信号を入
力して、それぞれの分極処理部を９０゜位相をずらして
励振させ、振動体１３の周方向に進行波を発生させる。

【００２２】なお、定在波方式を用いる場合、突起１３
ａを分割部の境界について１つおきに、即ち、定在波を
周方向へ３波長生じさせた場合の節と腹の中間に配置す
る。そして、正方向へ駆動させるときは、一方の分極処
理部に励振信号を入力して励振させ、振動体１３の周方
向に３波長分の定在波を発生させる。また、逆方向へ駆
動させるときは、他方の分極処理部に同位相の励振信号
を入力して励振させ、振動体１３に前記定在波と９０゜
位相の異なる定在波を発生させる。

【００２３】移動体１５は、例えば、剛性材料を用いた
円盤状であり、下部の中心には中心軸１２をはめ込む凹
状穴１５ａを設け、上面にはピボット１５ｂを設けてい
る。本発明の加圧手段としての加圧ばね１６は、図４
（ａ）に示すように、例えば、ステンレス、ばね鋼等の
金属を用いた板ばね状であり、図示しない設置部材に固
定するベース部１６ａと、ベース部１６ａに連続する本
発明の加圧力調整手段としての加圧力調整ばね１６ｂ
と、加圧力調整ばね１６ｂに連続する本発明の主加圧手
段としての主加圧ばね１６ｃから構成されている。

【００２４】ここで、ベース部１６ａは矩形体であり、
矩形体の中心に円形の取付孔１６１ａを形成している。
加圧力調整ばね１６ｂは、板ばねの長手方向に直線状の
スリット部１６２ａ，１６２ｂ，１６２ｃを形成し、ス
リット部１６２ａ，１６２ｂ，１６２ｃ間に短冊部１６
３ａ，１６３ｂ，１６３ｃ，１６３ｄを形成している。

【００２５】主加圧ばね１６ｃは、本体部１６４ａと、
６角形状の６角形部１６４ａからなる。そして、主加圧
ばね１６ｃは移動体１５のピボット１５ｂに主なる加圧
力を加える。一方、加圧力調整ばね１６ｂは、スリット
部１６２ａ，１６２ｂ，１６２ｃにより、加圧ばね１６
の剛性および弾性係数を下げて、主加圧ばね１６ｃの加
える加圧力を調整する。

【００２６】さらに、図４（ｂ）に示すように、装置全
体を組み立て後に、例えば、加圧力調整ばね１６ｂの短
冊部１６３ａ，１６３ｄをレーザー、切断機により切断
して、板ばねの弾性係数をさらに下げ、加圧力を微調整
する。次に、図３、図４に基づいて、本実施の形態の動
作について説明する。先ず、圧電素子１４の一方の電極
パターンと他方の電極パターンに９０゜位相の異なる励
振信号を入力すると、各分極処理部はそれぞれ９０゜位
相の異なる励振を行う。

【００２７】圧電素子１４に接合する振動体１３は、屈
曲振動するとともに周方向の進行波を生じる。振動体１
３の突起１３ａは楕円運動を行い、楕円運動の縦方向に
ついて原点位置から頂点位置までの間に移動体１５に当
接する。一方、加圧ばね１６は、移動体１５のピボット
１５ｂに圧接して加圧力を加える。

【００２８】このとき、主加圧ばね１６ｃは主に加圧力
を加えるとともに、加圧力調整ばね１６ｂのスリット部
１６２ａ，１６２ｂ，１６２ｃにより加圧力を調整さ
れ、移動体１５に適正な加圧力を加える。そして、この
加圧力は、移動体１５と楕円運動の原点位置から頂点位
置の間にある突起２２ａとを圧接する。移動体１５は周
方向へ摩擦力を加えられ、所定の方向へ回転される。

【００２９】また、加圧力が大きすぎた場合、図４
（ｂ）に示すように、加圧力調整ばね１６ｂの短冊部１
６３ａ，１６３ｄを切断する加工を行えばよい。このと
き、加圧ばね１６の弾性係数は、切断された短冊部１６
３ａ，１６３ｄにより、さらに下げられ、加圧力は微調
整される。また、組み立てた状態のままで装置の組み外
し作業を行う必要もない。

【００３０】そして、移動体１３は適正な範囲の回転数
で回転され、所定のトルクが得られる。なお、上記加工
で、加圧力が下がりすぎた場合、再び、短冊部１６３
ａ，１６３ｄを接続する加工を行えばよい。以上より、
本実施の形態によれば、主加圧ばね１６ｃの加える加圧
力を加圧力調整ばね１６ｂにより組み立ての前後で調整
するようにしたので、振動体１３、移動体１５、加圧ば
ね１６等の寸法のばらつきに基づいた加圧力のばらつき
は防止されるとともに、振動体１３、移動体１５、加圧
ばね１６の寸法精度の管理は容易になる。

【００３１】また、装置を組み立ててた後、組み外し作
業の必要なしに加圧力は調整されるようにしたので、組
み立て後の加圧力の調整は容易になる。また、組み立て
後、加圧力調整ばね１６ｂの短冊部１６３ａ，１６３
ｂ，１６３ｃ，１６３ｄの切断、接続により、精度の高
い加圧力の調整をするようにしたので、小型で高効率且
つ安定なモータが実現される。

【００３２】図５は、本実施の形態に係わる加圧ばね１
６の変形の態様についての平面構造を示す。この加圧ば
ね１６の加圧力調整ばね１６ｂは、同図（ａ）に示すよ
うに、板ばねの幅方向にスリット部１６５ａ，１６５
ｂ，１６５ｃ，１６５ｄ，１６５ｅを形成するととも
に、スリット部１６５ａ，１６５ｂ，１６５ｃ，１６５
ｄ，１６５ｅの間に短冊部１６６ａ，１６６ｂ，１６６
ｃ，１６６ｄを形成した。

【００３３】本構造によれば、装置の組み立て後に、加
圧力を調整する場合、同図（ｂ）に示すように、短冊部
の一部１６６ｃを例えば、溶融して取り除き、加圧力を
微調整する。｛実施の形態２｝図６は、本発明を適用した実施の形態
２に係わる超音波モータの断面構造を示す図であり、図
７は、超音波モータに係わる加圧ばね２３の平面構造を
示す図である。

【００３４】この超音波モータは、図６に示すように、
移動体２２の上方に突出する中心軸２１と、中心軸２１
に支持され、且つ移動体２２の上面に圧接された加圧ば
ね２３を設けた点に特徴を有する。なお、実施の形態１
と同様の構成については同一符号を付して説明を省略す
る。

【００３５】ここで、中心軸２１は、剛性材料からなる
略柱状体であり、上部に側方へ突出する鍔部２１ａを設
けている。そして、この鍔部２１ａにより、加圧ばね２
３を支持する。また、移動体２２の中心部には、中心軸
２１を挿通させる挿通孔２２２ａを設けている。加圧ば
ね２３は、図７（ａ）に示すように、円環状部２３ｂ
と、円環状部２３ｂの外縁から四方に放射状に伸びた主
加圧腕部２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆと、主加圧腕
部２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆの間に設けた加圧力
調整腕部２３ｇ，２３ｈ，２３ｉ，２３ｊ，２３ｋ，２
３ｌ，２３ｍ，２３ｎからなる。

【００３６】詳細には、円環状部２３ｂは、中心に中心
軸２１を挿通させる挿通孔２３ａを設けるとともに、中
心軸２１に対して回動自在にする図示しないボールベア
リング等の軸受を有する。主加圧腕部２３ｃ，２３ｄ，
２３ｅ，２３ｆは、所定の腕の幅を有し、移動体２２に
主なる加圧力を加える。

【００３７】また、加圧力調整腕部２３ｇ，２３ｈ，２
３ｉ，２３ｊ，２３ｋ，２３ｌ，２３ｍ，２３ｎは、主
加圧腕部２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆより腕の幅を
狭くし成形し、移動体２２に主加圧腕部２３ｃ，２３
ｄ，２３ｅ，２３ｆより小さい加圧力を加える。そし
て、加圧力調整腕部２３ｇ，２３ｈ，２３ｉ，２３ｊ，
２３ｋ，２３ｌ，２３ｍ，２３ｎは、主加圧腕部２３
ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆの移動体２２に加える加圧
力を増加方向へ調整する。

【００３８】一方、装置を組み立てた後に加圧力を微調
整する場合、同図（ｂ）に示すように、加圧力調整腕部
２３ｈ，２３ｊを溶融または切断して、移動体２２から
離反させ、また、加圧力調整腕部２３ｋ，２３ｍを上方
へ曲げ加工して移動体２２から離反させる。したがっ
て、移動体２２から離反させた加圧力調整腕部２３ｈ，
２３ｊ，２３ｋ，２３ｍは、移動体２２に加圧力を加え
ないため、全体の加圧力が減少方向へ微調整される。

【００３９】以上より、本実施の形態によれば、主加圧
腕部２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆの移動体２２に加
える加圧力を、加圧力調整腕部２３ｇ，２３ｈ，２３
ｉ，２３ｊ，２３ｋ，２３ｌ，２３ｍ，２３ｎにより調
整するようにし、さらに、装置の組み立て後、加圧力調
整腕部２３ｈ，２３ｊ，２３ｋ，２３ｍを移動体２２か
ら離反するように加工し、加圧力を微調整するようにし
たので、実施の形態１と同様な効果が得られる。｛実施の形態３｝図８は、本発明を超音波モータに適用
した実施の形態３の断面構造を示す図であり、図９は、
超音波モータに係わる加圧ばね３４の平面構造を示す図
である。

【００４０】この超音波モータは、図８に示すように、
移動体２２の上方に突出する中心軸３１と、中心軸３１
の上部に固定された鍔部材３２と、振動体１３の突起１
３ａに当接させた移動体３３と、移動体３３と一体に設
けるとともに鍔部材３２の下部に当接させた加圧ばね３
４から構成されている。なお、実施の形態１と同様の構
成については同一符号を付して説明を省略する。

【００４１】ここで、図９（ａ）に示すように、移動体
３３は円環状である。加圧ばね３４は、中心に中心軸３
１を挿通させる挿通孔３４ａを設けた円環状のボールベ
アリング部３４ｂと、ボールベアリング部３４ｂの外縁
から三方へ放射状に伸びた主加圧腕部３４ｃ，３４ｄ，
３４ｅと、主加圧腕部３４ｃ，３４ｄ，３４ｅの間に放
射状に伸びた加圧力調整腕部３４ｆ，３４ｇ，３４ｈ，
３４ｉ，３４ｊ，３４ｋとからなる。

【００４２】詳細には、主加圧腕部３４ｃ，３４ｄ，３
４ｅは、所定の腕の幅を有し、移動体３３に主なる加圧
力を加える。また、加圧力調整腕部３４ｆ，３４ｇ，３
４ｈ，３４ｉ，３４ｊ，３４ｋは、主加圧腕部３４ｃ，
３４ｄ，３４ｅより腕の幅を狭くし成形し、移動体３３
に主加圧腕部３４ｃ，３４ｄ，３４ｅより小さい加圧力
を加える。

【００４３】そして、加圧力調整腕部３４ｆ，３４ｇ，
３４ｈ，３４ｉ，３４ｊ，３４ｋは、主加圧腕部３４
ｃ，３４ｄ，３４ｅの移動体３３に加える加圧力を増加
方向へ調整する。一方、装置を組み立てた後に加圧力を
微調整する場合、同図（ｂ）に示すように、加圧力調整
腕部３４ｆ，３４ｈ，３４ｊを溶融または切断して、移
動体３３から離反させる。したがって、移動体３３から
離反させた加圧力調整腕部３４ｆ，３４ｈ，３４ｊは、
移動体３３に加圧力を加えないため、全体の加圧力を減
少方向へ微調整される。

【００４４】以上より、本実施の形態によれば、主加圧
腕部３４ｃ，３４ｄ，３４ｅにより移動体３３に加える
加圧力を、加圧力調整腕部３４ｆ，３４ｇ，３４ｈ，３
４ｉ，３４ｊ，３４ｋにより調整するようにし、さら
に、装置の組み立て後、加圧力調整腕部３４ｆ，３４
ｈ，３４ｊを移動体３３から離反するように加工し、加
圧力を微調整するようにしたので、実施の形態１と同様
な効果が得られる。

【００４５】また、移動体３３と加圧ばね３４を一体に
することで、加圧ばね設置用の部材点数を減少するよう
にしたので、装置構成の簡略化が図られる。｛実施の形態４｝図１０は、本発明に係わる超音波モー
タを適用した超音波モータ付き電子機器のブロック図で
ある。

【００４６】本電子機器は、励信信号により励振される
圧電素子４１と、圧電素子４１の励振により弾性振動さ
れる振動体４２と、振動体４２により可動される移動体
４３と、移動体４３と振動体４２とを加圧する加圧手段
４４と、移動体４３と連動して可動する伝達機構４５
と、伝達機構４５の動作に基づいて運動する出力機構４
６を備えることにより実現する。

【００４７】ここで、超音波モータ付電子機器として
は、例えば、電子時計、計測器、カメラ、プリンタ、印
刷機、工作機械、ロボット、移動装置である。伝達機構
４５には、例えば、歯車、摩擦車等の伝達車を用いる。
出力機構４６には、例えば、カメラにおいてはシャッタ
駆動機構、レンズ駆動機構を、電子時計においては指針
駆動機構、カレンダ駆動機構を、工作機械においては刃
具送り機構、加工部材送り機構等を用いる。

【００４８】また、移動体４３に出力軸を取り付け、出
力軸からトルクを伝達する動力伝達機構を有する構成に
して、伝達機構４５、出力機構４６を用いずに、超音波
モータ自体で駆動機構を実現してもよい。

【００４９】

【発明の効果】以上より、本発明によれば、主加圧手段
の加える加圧力を組み立ての前後で調整するようにした
ので、振動体、移動体、加圧手段の寸法のばらつきに基
づいた加圧力のばらつきは防止されるとともに、振動
体、移動体、加圧手段の寸法精度の管理は容易になる。

【００５０】また、振動体等の組み立て後に、組み外し
作業の必要なしに加圧力は調整されるようにしたので、
組み立て後の加圧力の調整は容易になる。また、組み立
て後、加圧力調整手段の切断、接続により、精度の高い
加圧力の調整をするようにしたので、小型で高効率且つ
安定なモータが実現される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の概念を示したブロック図である。

【図２】本発明の原理を等価的に表した図である。

【図３】本発明を適用した実施の形態１に係わる超音波
モータの断面構造を示す図である。

【図４】（ａ）は、図３に係わる加圧ばねの平面構造を
示す、（ｂ）は、組み立て後に加工した平面構造を示す
図である。

【図５】（ａ）は図４に係わる変形の態様の加圧ばねの
平面構造を示し、（ｂ）は組み立て後に加工した平面構
造を示す図である。

【図６】本発明を適用した実施の形態２に係わる超音波
モータの断面構造を示す図である。

【図７】（ａ）は、図６に係わる加圧ばねの平面構造を
示し、（ｂ）は組み立て後に加工した平面構造を示す図
である。

【図８】本発明を超音波モータに適用した実施の形態３
の断面構造を示す図である。

【図９】（ａ）は図８に係わる加圧ばねの平面構造を示
し、（ｂ）は組み立て後に加工した平面構造を示す図で
ある。

【図１０】本発明に係わる超音波モータを適用した実施
の形態４に係わる超音波モータ付き電子機器のブロック
図である。

【図１１】（ａ）、（ｂ）は従来技術に係わる超音波モ
ータの加圧部材の平面構造を示す説明図である。

【符号の説明】

１１支持板１２中心軸１３振動体１３ａ突起１４圧電素子１５移動体１６加圧ばね１６ａ主加圧ばね１６ｂ加圧力調整ばね１６２ａ，１６２ｂ，１６２ｃスリット部１６３ａ，１６３ｂ，１６３ｃ，１６３ｄ短冊部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】励振される振動体と前記振動体に当接する
移動体とを加圧して両者に摩擦力を生じさせる加圧手段
を備え、前記摩擦力により前記移動体を駆動させる超音
波モータにおいて、前記加圧手段は、主に加圧力を加える主加圧手段と前記
主加圧手段の加える加圧力を調整する加圧力調整手段を
有することを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】前記加圧手段は板ばねであり、前記加圧力
調整手段は、前記板ばねにスリット部と前記スリット部
の間に短冊部を有することを特徴とする請求項１記載の
超音波モータ。
【請求項３】前記加圧手段は放射状に伸びた腕を有し、
前記主加圧手段は前記腕のうち所定の幅の主加圧腕部で
あり、前記加圧力調整手段は前記腕のうち前記主加圧腕
部より幅の狭い加圧力調整腕部であることを特徴とする
請求項１記載の超音波モータ。
【請求項４】前記加圧力調整手段は、前記振動体、前記
移動体、前記加圧手段を組み立てた後に、加工されて前
記加圧力を調整することを特徴とする請求項１記載の超
音波モータ。
【請求項５】前記加圧手段と前記移動体とを一体にした
ことを特徴とする請求項１から請求項４の何れかに記載
の超音波モータ。
【請求項６】請求項１から請求項５の何れかに記載の超
音波モータを備えたことを特徴とする超音波モータ付き
電子機器。