JPH11233582A - Ic test system - Google Patents
Ic test systemInfo
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- JPH11233582A JPH11233582A JP10034679A JP3467998A JPH11233582A JP H11233582 A JPH11233582 A JP H11233582A JP 10034679 A JP10034679 A JP 10034679A JP 3467998 A JP3467998 A JP 3467998A JP H11233582 A JPH11233582 A JP H11233582A
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- Japan
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、 ＩＣの生産ライ
ンに用いられるＩＣテストシステムの改良に関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement of an IC test system used for an IC production line.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ＩＣの生産ラインには、ＩＣテストシス
テムを設けたものがあった。ＩＣテストシステムは、生
産ラインで生産されてくるＩＣをＩＣテスタで随時検査
するシステムである。 生産ラインで歩留まりが急降下
する等のトラブルが発生したときは、テストエンジニア
は、ＩＣテスタから得られるテスト結果データを解析し
て原因を突き止め、必要な作業指示を生産ラインの作業
者に出す。2. Description of the Related Art Some IC production lines have an IC test system. The IC test system is a system for inspecting an IC produced on a production line with an IC tester at any time. When a trouble such as a rapid drop in the yield occurs on the production line, the test engineer analyzes the test result data obtained from the IC tester, finds the cause, and issues necessary work instructions to the workers on the production line.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】このようなＩＣテスト
システムでは、生産現場が海外にあり、テストエンジニ
アが国内に駐在している場合がある。このような場合
に、トラブルが発生して作業指示が必要になったとき
は、テストエンジニアはわざわざ海外の生産現場に足を
運ばなければならない。In such an IC test system, the production site may be located overseas and a test engineer may be stationed in Japan. In such a case, when a trouble occurs and a work instruction is required, the test engineer has to go to a production site overseas.
【０００４】本発明はこのような問題点を解決するため
になされたものであり、隔絶されて所在する生産現場と
テストエンジニアの駐在場所とをネットワークでつな
ぎ、このネットワークを介して生産現場の画像・音声の
情報、検査データを生産現場からテストエンジニアの駐
在場所へ送り、テストエンジニアの駐在場所からは生産
現場へ作業指令を出すことによって、テストエンジニア
が生産現場から離れた場所にいてもあたかも生産現場に
いるようにトラブルに対応できるＩＣテストシステムを
実現することを目的とする。The present invention has been made to solve such a problem, and a production site, which is isolated and located, and a test engineer's residence are connected by a network, and an image of the production site is connected via the network.・ Sound information and inspection data are sent from the production site to the location of the test engineer, and work instructions are sent to the production site from the location where the test engineer is located. An object of the present invention is to realize an IC test system capable of coping with a trouble as if at a site.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は次のとおりの構
成になったＩＣテストシステムである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is an IC test system having the following configuration.
【０００６】（１）ＩＣの生産ラインにＩＣテスタを設
置し、生産ラインで生産した被検査ＩＣをＩＣテスタで
検査するＩＣテストシステムにおいて、ＩＣの生産ライ
ンと指令室とが隔絶された場所に所在し、これらはネッ
トワークで接続されていて、前記ＩＣの生産ラインに
は、生産ラインの現場で画像情報と音声情報の少なくと
も一方を収集する第１の情報収集手段と、前記ＩＣテス
タから検査データを収集する第２の情報収集手段と、ネ
ットワークを介して指令室と通信を行う第１の通信手段
とを設け、前記指令室には、ネットワークを介して生産
ラインと通信を行う第２の通信手段と、ネットワークを
介して伝達された画像情報と音声情報の少なくとも一方
をもとに現場の状況を画像と音声の少なくとも一方を再
現する状況再現手段と、ネットワークを介して伝達され
た検査データを解析する情報解析手段と、ネットワーク
を介してＩＣの生産ラインに作業指令を与える指令発生
手段とを設けたことを特徴とするＩＣテストシステム。(1) In an IC test system in which an IC tester is installed on an IC production line and an IC to be inspected produced on the production line is inspected by an IC tester, the IC production line and a command room are separated from each other. These are connected by a network, the IC production line has first information collecting means for collecting at least one of image information and audio information at the production line, and inspection data from the IC tester. And a first communication means for communicating with a command room via a network, wherein the command room has a second communication for communicating with a production line via the network. Means for reproducing at least one of an image and a sound based on at least one of image information and sound information transmitted via a network , IC test system, wherein the information analyzing means for analyzing the test data transmitted through the network, in that a and command generating means for giving a work instruction to the IC production line via network.
【０００７】（２）前記第１の情報収集手段、ネットワ
ーク、状況再現手段及び指令発生手段によりテレビ会議
システムを構築していることを特徴とする（１）記載の
ＩＣテストシステム。(2) The IC test system according to (1), wherein a TV conference system is constructed by the first information collecting means, the network, the situation reproducing means and the command generating means.
【０００８】（３）前記第１の情報収集手段は、カメラ
及びマイクの少なくとも一方を有し、前記指令室には遠
隔制御手段を設け、この遠隔制御手段は前記情報解析手
段の解析結果に応じて前記カメラ及びマイクの少なくと
も一方を制御することを特徴とする（１）記載のＩＣテ
ストシステム。(3) The first information collecting means has at least one of a camera and a microphone, and a remote control means is provided in the command room, and the remote control means responds to an analysis result of the information analyzing means. The IC test system according to (1), wherein at least one of the camera and the microphone is controlled.
【０００９】（４）前記第１及び第２の情報収集手段で
得た情報の中から現場の状況を認識するために必要なデ
ータを抽出し、抽出したデータを送信データとして前記
第１の通信手段に与える情報抽出手段を具備したことを
特徴とする（１）記載のＩＣテストシステム。(4) Data necessary for recognizing the situation of the site is extracted from the information obtained by the first and second information collecting means, and the extracted data is used as transmission data in the first communication. (1) The IC test system according to (1), further comprising an information extracting means provided to the means.
【００１０】（５）前記指令発生手段は、前記情報解析
手段の解析結果に応じてＩＣの生産ラインへ作業改善指
令を発生することを特徴とする（１）記載のＩＣテスト
システム。(5) The IC test system according to (1), wherein the command generation means generates a work improvement command to an IC production line in accordance with an analysis result of the information analysis means.
【００１１】（６）前記第１及び第２の情報収集手段
は、画像情報、音声情報及び検査データを統合してマル
チメディアとし、このマルチメディアをネットワークを
介して伝達することを特徴とする（１）記載のＩＣテス
トシステム。(6) The first and second information collecting means integrates image information, audio information and inspection data into multimedia, and transmits the multimedia via a network. 1) The described IC test system.
【００１２】（７）検査結果が良品と判定された被検査
ＩＣをＩＣテスタで検査したときに、前記情報解析手段
は検査を行ったＩＣテスタの検査データを解析し、解析
結果に応じて、ＩＣテスタ自体が正常であるか、また
は、検査を行うときの測定のしかたに問題がないかを判
断することを特徴とする（１）記載のＩＣテストシステ
ム。(7) When an IC to be inspected whose inspection result is determined to be non-defective is inspected by an IC tester, the information analyzing means analyzes the inspection data of the inspected IC tester, and according to the analysis result, (1) The IC test system according to (1), wherein it is determined whether the IC tester itself is normal or whether there is no problem in the measurement method when performing the inspection.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例の構成図
である。図１で、 ＩＣの生産ライン１と指令室２とが
隔絶された場所に所在し、これらはネットワーク３で接
続されている。例えば、生産ライン１は海外、指令室２
は国内にある。生産ライン１には現場の作業者が居る。
指令室２にはＩＣテスタのトラブルに対応できるテスト
エンジニアが駐在する。FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention. In FIG. 1, an IC production line 1 and a command room 2 are located in an isolated place, and they are connected by a network 3. For example, production line 1 is overseas, command room 2
Is in the country. The production line 1 has workers at the site.
In the command room 2, a test engineer who can deal with a trouble of the IC tester is stationed.
【００１４】生産ライン１では、ＩＣテスタ１１は、テ
スト治具１２を使って被検査ＩＣ１３を検査する。カメ
ラ１４は生産ラインの現場の画像を撮る。マイク１５は
生産ラインの現場の音声を収録する。パソコン１６は、
ＩＣテスタ１１の検査データ、カメラ１４の画像情
報、マイク１５の音声情報を収集したり、ネットワーク
３を介して指令室２と通信を行う。In the production line 1, the IC tester 11 inspects the inspected IC 13 using the test jig 12. The camera 14 takes an image of the production line site. The microphone 15 records the sound of the production line. The personal computer 16
It collects inspection data of the IC tester 11, image information of the camera 14, and voice information of the microphone 15, and communicates with the command room 2 via the network 3.
【００１５】パソコン１６には次の機能が搭載されてい
る。情報収集手段１６１は、カメラ１４の画像情報とマ
イク１５の音声情報を収集する。情報収集手段１６２
は、ＩＣテスタ１１の検査データを収集する。情報抽出
手段１６３は、情報収集手段１６１と１６２で得た情報
の中から現場の状況を認識するために必要なデータを抽
出する。通信手段１６４は、ネットワーク３を介して指
令室２と通信を行う。情報抽出手段１６３で抽出したデ
ータは送信データとして通信手段１６４に与えられる。
制御手段１６５は、パソコン１６全体の制御を司る。表
示手段１６６は現場で必要な画像を表示する。The personal computer 16 has the following functions. The information collecting unit 161 collects image information of the camera 14 and audio information of the microphone 15. Information collecting means 162
Collects inspection data of the IC tester 11. The information extracting means 163 extracts data necessary for recognizing the situation of the site from the information obtained by the information collecting means 161 and 162. The communication unit 164 communicates with the command room 2 via the network 3. The data extracted by the information extracting unit 163 is provided to the communication unit 164 as transmission data.
The control means 165 controls the entire personal computer 16. The display means 166 displays an image required on site.
【００１６】指令室２にはパソコン２１が設置されてい
る。パソコン２１には次の機能が搭載されている。通信
手段２１は、ネットワーク３を介して生産ライン１と通
信を行う。状況再現手段２１２は、ネットワーク３を介
して伝達された画像情報と音声情報をもとに現場の状況
を画像と音声で再現する。情報解析手段２１３は、ネッ
トワーク３を介して伝達された検査データを解析する。
指令発生手段２１４は、ネットワーク３を介して生産ラ
イン１に作業指令を与える。また、指令発生手段２１４
は、情報解析手段２１３の解析結果に応じて生産ライン
１へ作業改善指令を発生する。指令発生手段２１４は、
カメラとマイク（図示せず）を持っていて、指令室２の
状況を画像情報と音声情報で伝えてもよい。遠隔制御手
段２１５は、情報解析手段２１３の解析結果に応じてカ
メラ１４とマイク１５を制御する。表示手段２１６は、
状況再現手段２１２で再現した画像情報を画面表示す
る。これによって、生産ライン１の状況を視覚的に認識
できる。表示手段２１７は、情報解析手段２１３の解析
結果を画面表示する。これによって、検査結果を画面上
で認識できる。In the command room 2, a personal computer 21 is installed. The personal computer 21 has the following functions. The communication unit 21 communicates with the production line 1 via the network 3. The situation reproducing means 212 reproduces the situation of the site with images and sounds based on the image information and sound information transmitted via the network 3. The information analysis means 213 analyzes the test data transmitted via the network 3.
The command generation means 214 gives a work command to the production line 1 via the network 3. Also, the command generation means 214
Generates a work improvement command to the production line 1 according to the analysis result of the information analysis means 213. The command generation means 214
A camera and a microphone (not shown) may be provided to convey the status of the command room 2 by image information and audio information. The remote control unit 215 controls the camera 14 and the microphone 15 according to the analysis result of the information analysis unit 213. The display means 216
The image information reproduced by the situation reproducing means 212 is displayed on a screen. Thereby, the situation of the production line 1 can be visually recognized. The display unit 217 displays the analysis result of the information analysis unit 213 on a screen. Thereby, the inspection result can be recognized on the screen.
【００１７】図１のシステムの動作を説明する。ＩＣテ
スタ１１が検査を行うことによって得られた検査データ
は、ネットワーク３を経由して指令室２へ送られる。指
令室２では送られた検査データが再現される。これによ
って、テストエンジニアはＩＣの検査結果を認識するこ
とができる。The operation of the system shown in FIG. 1 will be described. The inspection data obtained by performing the inspection by the IC tester 11 is sent to the command room 2 via the network 3. In the command room 2, the sent inspection data is reproduced. Thereby, the test engineer can recognize the test result of the IC.
【００１８】ここで、生産ラインで歩留まりが急に低下
するトラブルが発生したとする。テストエンジニアは、
遠隔制御手段２１５によりカメラ１４とマイク１５を制
御し、生産現場の観たい箇所から画像情報と音声情報を
収集する。収集した画像情報と音声情報は、ネットワー
ク３を経由して指令室２に送られる。指令室２では送ら
れた画像情報と音声情報が再現される。これによって、
テストエンジニアは生産現場の状況をあたかも現場に居
るような臨場感で認識することができる。Here, it is assumed that a problem occurs in which the yield suddenly decreases in the production line. The test engineer
The camera 14 and the microphone 15 are controlled by the remote control unit 215, and image information and audio information are collected from a desired location on the production site. The collected image information and audio information are sent to the command room 2 via the network 3. In the command room 2, the sent image information and sound information are reproduced. by this,
The test engineer can recognize the situation on the production site with a sense of presence as if at the site.
【００１９】例えば、ＩＣの特性を測る周辺回路がどの
ようになっているかをテストエンジニアは画像から認識
できる。また、現場の作業者がどんな作業をしている
か、作業の手順が正しいかどうか等を画像を介してチェ
ックできる。そして、必要な作業指令を指令発生手段２
１４により与える。作業指令は、文字列のコマンドで与
えても、音声で与えてもよい。For example, the test engineer can recognize from the image how the peripheral circuit for measuring the characteristics of the IC is. Further, it is possible to check, via an image, what kind of work the worker at the site is performing, whether the work procedure is correct, and the like. Then, the necessary work command is transmitted to the command generating means 2.
Given by 14. The work command may be given by a character string command or by voice.
【００２０】このようにして、画像情報、音声情報及び
検査データが統合してテストエンジニアに伝えられ、マ
ルチメディアを利用したデバッグ環境が提供される。テ
ストエンジニアは、生産現場から離れた場所に居てもあ
たかも現場に居るような臨場感で現場とコミュニケーシ
ョンを行い、トラブルに対して対策を講じることができ
る。As described above, the image information, the audio information, and the inspection data are integrated and transmitted to the test engineer, and a debugging environment using multimedia is provided. The test engineer can communicate with the site with a sense of presence even if they are away from the production site, as if they were at the site, and can take measures against trouble.
【００２１】なお、情報収集手段１６２、ネットワーク
３、状況再現手段２１２及び指令発生手段２１４により
テレビ会議システムを構築してもよい。Note that a TV conference system may be constructed by the information collecting means 162, the network 3, the situation reproducing means 212 and the command generating means 214.
【００２２】また、情報収集手段１６１及び１６２は、
画像情報、音声情報及び検査データを統合してマルチメ
ディアとし、ネットワーク３を介して伝達してもよい。
これによって、マルチメディアを利用したデバッグ環境
が提供される。The information collecting means 161 and 162
The image information, the audio information, and the inspection data may be integrated into multimedia and transmitted via the network 3.
This provides a debugging environment using multimedia.
【００２３】また、検査結果が良品と判定された被検査
ＩＣをＩＣテスタ１１で検査したときに、情報解析手段
２１３が検査を行ったＩＣテスタ１１の検査データを解
析し、解析結果に応じてＩＣテスタ１１自体が正常であ
るか、または、検査を行うときの測定のしかたに問題が
ないかを判断してもよい。Further, when an IC to be inspected whose inspection result is determined to be non-defective is inspected by the IC tester 11, the information analysis means 213 analyzes the inspection data of the IC tester 11 which has been inspected, and according to the analysis result. It may be determined whether the IC tester 11 itself is normal or whether there is no problem in the measurement method when performing the inspection.
【００２４】[0024]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば次の
効果が得られる。As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.
【００２５】請求項１及び２によれば、テストエンジニ
アが生産現場から離れた場所にいても、あたかも現場に
いるような臨場感で現場の状況を認識し、トラブルに対
応することができる。また、現場の状況を視覚的及び聴
覚的に把握できるため、トラブルに対して適切な指示を
与えることができる。According to the first and second aspects, even if the test engineer is away from the production site, the test engineer can recognize the situation at the site with a sense of presence as if at the site, and can deal with a trouble. In addition, since the situation at the site can be grasped visually and audibly, an appropriate instruction can be given for a trouble.
【００２６】請求項３によれば、カメラとマイクを遠隔
操作できるため、生産現場の検証したい箇所を的確に観
ることができる。According to the third aspect, since the camera and the microphone can be remotely controlled, it is possible to accurately observe a portion of the production site to be verified.
【００２７】請求項４によれば、生産現場で得られた全
てのデータではなく、現場の状況を認識するために必要
なデータだけを伝送しているため、通信効率が向上す
る。According to the fourth aspect, not all data obtained at the production site but only data necessary for recognizing the situation at the site are transmitted, so that communication efficiency is improved.
【００２８】請求項５によれば、生産ラインでトラブル
が発生したときに、トラブルの影響を最小限に食い止め
ることができる。According to the fifth aspect, when a trouble occurs on the production line, the influence of the trouble can be minimized.
【００２９】請求項６によれば、情報を統合化して伝え
るため、伝達効率が向上する。According to the sixth aspect, since information is integrated and transmitted, transmission efficiency is improved.
【００３０】請求項７によれば、 ＩＣの検査だけでな
く、ＩＣテスタ自体が正常であるかを検査したり、検査
を行うときの測定のしかたに問題がないかを検査でき
る。According to the seventh aspect, it is possible to inspect not only the IC but also whether the IC tester itself is normal or whether there is no problem in the measurement method when performing the inspection.
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of the present invention.
１ 生産ライン ２ 指令室 ３ ネットワーク １１ ＩＣテスタ １３ 被検査ＩＣ １４ カメラ １５ マイク １６１、１６２ 情報収集手段 １６３ 情報抽出手段 １６４、２１１ 通信手段 ２１２ 状況再現手段 ２１３ 情報解析手段 ２１４ 指令発生手段 ２１５ 遠隔制御手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Production line 2 Command room 3 Network 11 IC tester 13 IC under test 14 Camera 15 Microphone 161 and 162 Information collecting means 163 Information extracting means 164 and 211 Communication means 212 Situation reproducing means 213 Information analyzing means 214 Command generating means 215 Remote control means
フロントページの続き (72)発明者 本岡 竜太 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横河 電機株式会社内Continued on the front page (72) Inventor Ryuta Motooka 2-93-2 Nakamachi, Musashino-shi, Tokyo Yokogawa Electric Corporation
Claims (7)
し、生産ラインで生産した被検査ＩＣをＩＣテスタで検
査するＩＣテストシステムにおいて、 ＩＣの生産ラインと指令室とが隔絶された場所に所在
し、これらはネットワークで接続されていて、前記ＩＣ
の生産ラインには、生産ラインの現場で画像情報と音声
情報の少なくとも一方を収集する第１の情報収集手段
と、前記ＩＣテスタから検査データを収集する第２の情
報収集手段と、 ネットワークを介して指令室と通信を行う第１の通信手
段とを設け、前記指令室には、 ネットワークを介して生産ラインと通信を行う第２の通
信手段と、ネットワークを介して伝達された画像情報と
音声情報の少なくとも一方をもとに現場の状況を画像と
音声の少なくとも一方を再現する状況再現手段と、ネッ
トワークを介して伝達された検査データを解析する情報
解析手段と、 ネットワークを介してＩＣの生産ラインに作業指令を与
える指令発生手段とを設けたことを特徴とするＩＣテス
トシステム。1. An IC test system in which an IC tester is installed on an IC production line and an IC to be inspected produced on the production line is inspected by an IC tester. The IC test system is located in a place where the IC production line and the command room are isolated. These are connected by a network, and the IC
A first information collecting means for collecting at least one of image information and audio information at a production line site; a second information collecting means for collecting inspection data from the IC tester; A first communication means for communicating with the command room through the network, a second communication means for communicating with the production line via the network, and image information and sound transmitted via the network. A situation reproducing means for reproducing at least one of an image and a sound based on at least one of information on the site, an information analyzing means for analyzing test data transmitted via a network, and a production of IC via a network. An IC test system, comprising: a command generating means for giving a work command to a line.
ク、状況再現手段及び指令発生手段によりテレビ会議シ
ステムを構築していることを特徴とする請求項１記載の
ＩＣテストシステム。2. The IC test system according to claim 1, wherein a video conference system is constructed by said first information collecting means, network, situation reproducing means and command generating means.
マイクの少なくとも一方を有し、 前記指令室には遠隔制御手段を設け、この遠隔制御手段
は前記情報解析手段の解析結果に応じて前記カメラ及び
マイクの少なくとも一方を制御することを特徴とする請
求項１記載のＩＣテストシステム。3. The first information collecting means has at least one of a camera and a microphone, and a remote control means is provided in the command room, and the remote control means responds to an analysis result of the information analysis means. The IC test system according to claim 1, wherein at least one of the camera and the microphone is controlled.
た情報の中から現場の状況を認識するために必要なデー
タを抽出し、抽出したデータを送信データとして前記第
１の通信手段に与える情報抽出手段を具備したことを特
徴とする請求項１記載のＩＣテストシステム。4. A method for extracting data necessary for recognizing a situation at a site from information obtained by the first and second information collecting means, and using the extracted data as transmission data. 2. The IC test system according to claim 1, further comprising information extraction means for providing the information to the IC tester.
の解析結果に応じてＩＣの生産ラインへ作業改善指令を
発生することを特徴とする請求項１記載のＩＣテストシ
ステム。5. The IC test system according to claim 1, wherein said command generation means generates a work improvement command to an IC production line according to an analysis result of said information analysis means.
像情報、音声情報及び検査データを統合してマルチメデ
ィアとし、このマルチメディアをネットワークを介して
伝達することを特徴とする請求項１記載のＩＣテストシ
ステム。6. The system according to claim 1, wherein the first and second information collecting means integrates the image information, the audio information and the inspection data into multimedia, and transmits the multimedia via a network. 2. The IC test system according to 1.
をＩＣテスタで検査したときに、前記情報解析手段は検
査を行ったＩＣテスタの検査データを解析し、解析結果
に応じて、ＩＣテスタ自体が正常であるか、または、検
査を行うときの測定のしかたに問題がないかを判断する
ことを特徴とする請求項１記載のＩＣテストシステム。7. An IC to be inspected whose inspection result is determined to be non-defective.
Is inspected by an IC tester, the information analysis means analyzes the inspection data of the inspected IC tester, and according to the analysis result, determines whether the IC tester itself is normal or performs a test when performing the inspection. 2. The IC test system according to claim 1, wherein it is determined whether there is no problem.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03467998A JP3703618B2 (en) | 1998-02-17 | 1998-02-17 | IC test system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03467998A JP3703618B2 (en) | 1998-02-17 | 1998-02-17 | IC test system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11233582A true JPH11233582A (en) | 1999-08-27 |
| JP3703618B2 JP3703618B2 (en) | 2005-10-05 |
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ID=12421115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03467998A Expired - Fee Related JP3703618B2 (en) | 1998-02-17 | 1998-02-17 | IC test system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3703618B2 (en) |
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|---|---|---|---|---|
| KR100433241B1 (en) * | 2000-09-28 | 2004-05-24 | 슐럼버거 테크놀로지즈, 아이엔씨. | Method and apparatus for remotely testing semiconductors |
| US6877151B2 (en) | 2001-09-28 | 2005-04-05 | Renesas Technology Corp. | Photomask visual inspection system |
-
1998
- 1998-02-17 JP JP03467998A patent/JP3703618B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JP3703618B2 (en) | 2005-10-05 |
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