JPH11221638A - 溝付き板状部材の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】均一な断面形状で、開口面の面一な溝を成形し
た安価な溝付き板状部材の製造方法を提供するととも
に、熱交換効率が良い熱交換器用板状部材の製造方法を
提供する。 【解決手段】板状部材７０の表面７０ａに溝４１を鍛造
により成形する溝成形工程と、前記溝４１の周囲に鍛造
により外周溝４２を成形する外周溝成形工程とからな
り、前記外周溝成形工程を前記溝成形工程の直前または
同時に行い溝付き板状部材４０を形成することを特徴と
する溝付き板状部材の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、鍛造による溝付
き板状部材の製造方法に関し、例えば、半導体等の熱交
換器用板状部材に用いる板状の溝付き板状部材の製造方
法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば発熱量の多い半導体等（発
熱体）の熱を熱交換器用板状部材を介して放熱する板状
熱交換器が知られている。

【０００３】この板状熱交換器の熱交換器用板状部材
は、図１１に示すように、アルミニュウム又は銅からな
る薄板１（板状部材）の表面１ａに連続した細い蛇行溝
２を切削加工にて溝付き板状部材を製造し、この溝付き
板状部材の表面１ａに加工した蛇行溝２上にアルミニュ
ウム又は銅製からなる薄板３を重ねてろう付けして、蛇
行溝２内に冷媒を密封させたものである（日経メカニカ
ル誌 1994,5,30 8〜9頁参照）。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この薄
板１（板状部材）に細い蛇行溝２を切削する際、蛇行溝
２の一方の溝２ａを切削し、溝２ａと所定距離隔てた隣
接する他方の溝２ｂを平行に切削していくが、溝２ｂの
切削中に溝２ａとの中間肉部２ｃが溝２ａ側に倒れ、切
削した溝２ａの断面形状が変形してしまう。このことか
ら、蛇行溝２の切削加工が困難であるとともに、加工時
間がかかり、熱交換器用板状部材の不良率が上がって製
造コストが高くなるとの問題があった。

【０００５】そこで、この発明の目的は、均一な断面形
状で、開口面の面一な溝を成形した安価な溝付き板状部
材の製造方法を提供するとともに、熱交換効率が良い熱
交換器用板状部材の製造方法を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明の請求項１は、板状部材の表面に溝を鍛造
により成形する溝成形工程と、前記溝の周囲に鍛造によ
り外周溝を成形する外周溝成形工程とからなり、前記外
周溝成形工程を前記溝成形工程の直前または同時に行い
溝付き板状部材を形成することを特徴とする溝付き板状
部材の製造方法としている。

【０００７】また、請求項２は、前記溝成形工程は、前
記板状部材の表面に凹部を成形する凹部成形工程を行っ
た後に前記凹部に前記溝部を成形することを特徴として
いる。

【０００８】そして、請求項３は、前記溝付き板状部材
は、発熱体の熱を放熱させる熱交換器用板状部材として
用いられることを特徴としている。

【０００９】請求項４は、前記凹部の容積は、前記溝を
成形した際に前記溝上面を前記表面と略面一にしうる量
としたことを特徴としている。

【００１０】また、請求項５は、前記外周溝は、同一線
上に切断部が形成されて断続に形成されていることを特
徴としている。

【００１１】そして、請求項６は、前記溝付き板状部材
は、前記溝の成形直後に位置決め孔を成形することを特
徴としている。

【００１２】請求項７は、前記溝付き板状部材の材質
は、熱伝導率の良い熱伝導体とすることを特徴としてい
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明する。

【００１４】図１は、板状熱交換器１０を示し、本発明
の溝付き板状部材４０を熱交換器用板状部材１５として
用いたものである。

【００１５】この板状熱交換器１０は、図１に示すよう
に、半導体等２１を装着した装着基板２０と、ブレージ
ングシート３０と、溝付き板状部材４０とからなってい
る。

【００１６】装着基板２０は、方形な長方体とし、板厚
が例えば1.0ｔの薄板である。装着基板２０には例えば
アルミニュウム又は銅製等の熱伝導率の良い熱伝導体が
使われている。

【００１７】この装着基板２０の表面２０ａには一点鎖
線で示す発熱体である発熱量の多い半導体等２１が装着
され、半導体等２１と反対の裏面にはブレージングシー
ト３０が装着されている。なお、装着基板２０の対向す
る２隅にはブレージングシート３０および溝付き板状部
材４０とのロケーション孔２２が成形されている。

【００１８】ブレージングシート３０は、装着基板２０
と同形状で同寸法とし、板厚が例えば1.2tの薄板であ
る。このブレージングシート３０は例えばアルミニュウ
ムの薄板の両面に錫等をろう付けした熱伝導率の良い熱
伝導体となっている。このブレージングシート３０は装
着基板２０と溝付き板状部材４０との間に介在してい
る。なお、ブレージングシート３０の対向する２隅には
ロケーション孔３１が形成されている（図１０参照）。

【００１９】溝付き板状部材４０は、装着基板２０と同
形状で同寸法とし、板厚が例えば2.5ｔの薄板である。
溝付き板状部材４０は装着基板２０と同様にアルミニュ
ウム又は銅製等の熱伝導率の良い熱伝導体となってい
る。この溝付き板状部材４０の表面４０ａ側がブレージ
ングシート３０との装着面となっている。

【００２０】また、溝付き板状部材４０は、図２に示す
ように、表面４０ａに形成した蛇行溝４１（溝）と、蛇
行溝４１の周囲に成形した外周溝４２とを有している。
なお、溝付き板状部材４０の対向する隅には装着基板２
およびブレージングシート３０とのロケーション孔４０
ｈが成形されている。

【００２１】蛇行溝４１は、図２において左側の一方の
短辺部４０ｂの片側近傍に形成した始端溝部４１ｂを起
点とし、一方の短辺部４０ｂの他方側端近傍に形成した
終端溝部４１ｃを終点としている。

【００２２】この始・終端溝部４１ｂ，４１ｃの間には
一方の短辺部４０ｂに沿って短辺部４０ｂの端縁から所
定距離隔てた位置に曲がり溝部４１ｄが複数形成されて
いる。また、他方の短辺部４０ｃ側（図２において右
側）には他方の短辺部４０ｃに沿って短辺部４０ｃの端
縁から所定距離隔てた位置に曲がり溝部４１ｅが複数形
成されている。そして、複数の曲がり溝部４１ｄのうち
始端溝部４１ｂの近傍の曲がり溝部４１ｄ’の略中央に
充填溝４１ａの一端が連通されている。この充填溝４１
ａが短辺部４０ｂと直交する方向に形成されて短辺部４
０ｂの端に開口している。

【００２３】また、曲がり溝部４１ｄ，４１ｅ間には複
数の直線溝部４１ｆが両長辺部４０ｄ，４０ｅと略平行
に形成されている。この複数の直線溝部４１ｆのうち始
端溝部４１ｂから続く直線溝部４１ｇが一方の長辺部４
０ｄ（図２において手前側）の端縁から所定距離隔てた
位置に形成されている。一方、終端溝部４１ｃに至る直
線溝部４１ｈが他方の長辺部４０ｅ（図２において奥
側）の端縁から所定距離隔てた位置に形成されている。
このように、蛇行溝４１の形成領域４２ｉは、２点鎖線
（図２参照）で示すように、溝付き板状部材４０の表面
４０ａの略中央に位置している。

【００２４】溝付き板状部材４０は、図３に示すよう
に、蛇行溝４１の溝深さ（Ｔ１）を例えば1.5ｍｍと
し、残りの厚み（Ｔ３）を1.0ｍｍとしている。そし
て、残りの厚みＴ３は蛇行溝４１の溝深さＴ１の２倍未
満としている。そして、蛇行溝４１は例えば断面形状が
略Ｕ字状になっている。

【００２５】外周溝４２は、充填溝４１ａから一方の長
辺部４０ｄの側方に所定間隔隔てた位置の外周始端溝部
４２ａを起点とし、外周始端溝部４２ａと対向する方向
で充填溝４１ｃから所定間隔隔てた位置に外周終端溝部
４２ｂを終点としている。

【００２６】この外周溝４２は、方形状かつ切環状とし
た連続溝とし、蛇行溝４１の形成領域４１ｉから所定距
離隔てて蛇行溝４１の形成領域４１ｉを囲むようになっ
ている。また、外周溝４２は外周側の蛇行溝４１の直線
溝部４１ｇ，複数の曲がり溝部４１ｅ，直線溝部４１ｈ
および複数の曲がり溝部４１ｄから所定距離隔ててい
る。なお、外周始・終溝端部４２ａ，４２ｂを充填溝４
１ａを挟んで所定間隔隔てた位置としたが、充填溝４１
ａに沿って短辺部４０ｂの端近傍の位置としても良い。

【００２７】次に、この溝付き板状部材４０の製造につ
いて図２乃至図１０に基づいて説明する。

【００２８】まず、図４は溝付き板状部材４０の製造装
置であるプレス機５０（一点鎖線）を示すものである。

【００２９】このプレス機５０は、図４に示すように、
プレス下部基台５２に固定されたダイ部材５４と、プレ
ス上部基台５３に取り付けたパンチ部材６０とからなる
金型５１を備えている。このプレス上部基台５３が例え
ばガイド部材５５を介してプレス下部基台５２側に上下
動され、パンチ部材６０がダイ部材５４上に載置した後
述する溝付き板状部材４０の基板７０（板状部材）をプ
レスする構成となっている。

【００３０】パンチ部材６０は、後述する凹部８１を成
形プレスする凹部パンチ部材６１と、蛇行溝４２と外周
溝４３とを成形プレスする溝部パンチ部材６２とを備え
ている。

【００３１】凹部パンチ部材６１は、図５に示すよう
に、プレス面６１ａに凹部成形部６１ｂを形成してい
る。この凹部成形部６１ｂは、後述する凹部８１の底面
部８１ａを成形する底面部成形部６１ｃと、凹部８１の
周辺部８１ｂから底面部８１ａに向かう傾斜部８２を成
形する傾斜成形部６１ｄとかなり、台形状となってい
る。

【００３２】また、溝部パンチ部材６２は、図６に示す
ように、プレス面６２ａに蛇行溝４１を成形すると蛇行
溝成形部６２ｂと、外周溝４２を成形する外周溝成形部
６２ｃとを形成している。

【００３３】これら蛇行溝成形部６２ｂおよび外周溝成
形部６２ｃは図２に示す溝付き板状部材４０の表面４０
ａに形成された蛇行溝４１と外周溝４２とに相対してい
る。

【００３４】蛇行溝成形部６２ｂは断面形状を略Ｕ字状
とし、外周溝成形部６２ｃは例えば断面形状を台形状と
している。蛇行溝成形部６２ｂの突出長さに比べ、外周
溝成形部６２ｃの突出長さが短く、図３に示すように、
蛇行溝４１の溝深さＴ１は外周溝４２の溝深さＴ２より
深く成形される。

【００３５】そして、溝部パンチ部材６２内には溝付き
板状部材４０のロケーション孔４０ｈを形成する図示せ
ぬノックアウト形成部材が備えられている。

【００３６】次に、このプレス機５０による溝付き板状
部材４０の製造方法を説明する。

【００３７】まず、板厚が1.0ｔのアルミニュウムの薄
板を装着基板２０と略同径状で同寸法に切断加工し、図
７に示すような溝付き板状部材の基板７０を用意する。

【００３８】プレス機５０を作動状態とし、プレス上部
基台５３に凹部パンチ部材６１を取り付け、基板７０を
ダイ部材５４にセットする。

【００３９】基板７０のセット後、プレス機５０を作動
させて所定圧力でプレス上部基台５３を下降させる。す
ると、基板７０の表面７０ａに凹部パンチ部材６１の底
面部成形部６１ｃが当接し、底面部成形部６１ｂが基板
７０の表面７０ａを押圧していくにつれ、傾斜成形部６
１ｄが押圧されていき、図８に示すように、基板７０の
表面７０ａに凹部８１を成形する。この凹部８１には略
中央に底面部成形部６１ｃによって底面部８１ａが成形
され、傾斜成形部６１ｄによって凹部８１の周辺部８１
ｂから底面部８１ａに向かって傾斜部８２が成形され
る。この傾斜部８２は図９に示すようになだらかになっ
ている。なお、凹部８１をプレス成形したが切削加工で
形成しても良い。

【００４０】凹部８１の成形が完了すると、プレス上部
基台５３を上昇させて、凹部８１の成形が完了した溝付
き板状部材４０の一次成形基板８０を取り除き、再度基
板７０をセットして繰り返し一次成形基板８０の成形を
行う（凹部成形工程）。

【００４１】そして、所定量の一次成形基板８０が完成
すると、一次成形基板８０を用いて溝付き板状部材４０
を製造する準備に取りかかる。

【００４２】まず、凹部パンチ部材６１に代えてプレス
上部基台５３に溝部パンチ部材６２を取り付け、基板７
０のセット時と同様に一次成形基板８０をダイ部材５４
にセットする。

【００４３】そして、プレス機５０を作動させて所定圧
力でプレス上部基台５３を下降させると、一次成形基板
８０の表面８０ａに溝部パンチ部材６２の外周溝成形部
６２ｃが当接されるとともに、蛇行溝成形部６２ｂの外
周が傾斜部８２に当接される。

【００４４】さらに、溝部パンチ部材６２が下降してい
き、外周溝成形部６２ｃが外周溝４２を成形するととも
に（外周溝成形工程）、蛇行溝成形部６２ｂが底面部８
１ａ内に蛇行溝４１を成形し（放熱溝成形工程）、図２
に示す溝付き板状部材４０がプレス成形される。

【００４５】この際、まず外周溝４２が成形され始める
と略同時に傾斜部８２に蛇行溝４１ｇ，４１ｈが成形さ
れ始める。すると、外周溝４２および蛇行溝４１ｇ，４
１ｈの余肉が溝付き板状部材４０の裏面側に流動しよう
とするが、成形されていく蛇行溝４１の溝深さ（Ｔ１）
に対して残りの厚み（Ｔ３）が少なくなり、外周溝４２
および蛇行溝４１ｇ，４１ｈの余肉が溝付き板状部材４
０の裏面側に流動できず、外周溝４２の余肉が凹部８１
側および凹部８１と反対側に流動しようとし、蛇行溝４
１ｇ，４１ｈの余肉が外周溝４２側および凹部８１側に
流動しようとする。このため、蛇行溝４１ｇ，４１ｈの
余肉のうち外周溝４２側に流動する余肉が外周溝４２の
凹部８１側に流動とする余肉とせめぎ合って両者の余肉
の流動がなされない。

【００４６】その直後、凹部８１の底面部８１ａに蛇行
溝４１ｆが成形され、蛇行溝４１ｇ，４１ｈに近い蛇行
溝４１ｆの蛇行溝４１ｇ，４１ｈ側に流動する余肉が凹
部８１側に流動する蛇行溝４１ｇ，４１ｈの余肉とせめ
ぎ合って両者の余肉の流動がなされない。このため、蛇
行溝４１ｇ，４１ｈが変形のない溝断面形状で溝深さＴ
１に成形できるとともに、蛇行溝４１ｇ，４１ｈの開口
面が略面一にできる。

【００４７】一方、他の蛇行溝４１ｆの余肉が先に形成
される外周溝４２および蛇行溝４１ｇ，４１ｈによって
上方へ流動して凹部８１面に形成される蛇行溝４１ｆが
変形のない溝断面形状で溝深さＴ１に成形できるととも
に、蛇行溝４１ｆの開口面が略面一にできる。なお、凹
部８１と反対側（外側）に流動しようとする外周溝４２
の余肉は余肉の流動を阻止するものが無く、外周溝４２
は、図３に示すように、底壁４２ａの外側端からなだら
かな外側壁４２ｂを形成することになる。

【００４８】そして、溝部パンチ部材６２内の図示せぬ
ノックアウト形成部材によりロケーション孔４０ｈを形
成する。このロケーション孔４０ｈによって、装着基板
２およびブレージングシート３０との組立精度が良好と
なる。

【００４９】蛇行溝４１および外周溝４２の成形が完了
すると、プレス上部基台５３を上昇させて、溝付き板状
部材４０を取り除く。再度一次成形基板８０をセットし
て繰り返して溝付き板状部材４０の成形を行う。そし
て、所定量の溝付き板状部材４０を完成させる。なお、
上記の蛇行溝４１の余肉は成形の際に蛇行溝４１の溝上
面を一次成形基板８０の表面８０ａと略面一にしうる量
である。

【００５０】上述の実施の形態では、蛇行溝４１および
外周溝４２を冷間鍛造で成形したが、所有の鍛造設備等
によっては熱間鍛造で加工しても良い。

【００５１】また、上述の実施の形態では、溝部パンチ
部材６２の外周溝成形部６２ｃの断面形状を例えば台形
状としたが、蛇行溝４１ｇ，４１ｈおよび後述する蛇行
溝４１の余肉の流動を阻止できれば台形状に拘らない。

【００５２】そして、上述の実施の形態では、溝部パン
チ部材６２を蛇行溝成形部６２ｂおよび外周溝成形部６
２ｃを一体としたが、蛇行溝成形部６２ｂおよび外周溝
成形部６２ｃを別体とし、最初に外周溝成形部で外周溝
４２を成形した状態を維持しつつ、その後、蛇行溝成形
部で蛇行溝４１を成形するようにしても良い。

【００５３】このようにすると、凹部８１の傾斜部８２
に成形される蛇行溝４１ｇ，４１ｈの余肉が外周溝４２
の余肉の流動により阻止されて蛇行溝４１ｇ，４１ｈが
変形のない溝断面形状で溝深さＴ１に成形できるととも
に、蛇行溝４１ｇ，４１ｈの開口面が略面一にできる。
また、凹部８１の底面部８１ａに成形される蛇行溝４１
ｆは、上述の実施の形態と同様に変形のない溝断面形状
で溝深さＴ１に成形できるとともに、蛇行溝４１ｆの開
口面が略面一にできる。

【００５４】上述の実施の形態では、凹部パンチ部材６
１にて溝付き板状部材４０の基板７０に凹部８１を成形
したが、成形する蛇行溝４１の溝深さＴ１に対して残り
の厚みＴ３が２倍以上となる場合は、凹部成形工程を省
いて凹部８１を成形しなくても良い。

【００５５】このようにすると、蛇行溝４１および外周
溝４２を同時に成形しても成形する蛇行溝４１の余肉が
残りの厚みＴ３の部位で流動できるため、蛇行溝４１が
変形のない溝断面形状で溝深さに成形できるとともに、
蛇行溝４１の開口面が略面一にできる。

【００５６】さらに、溝部パンチ部材６２を蛇行溝成形
部６２ｂおよび外周溝成形部６２ｃを別体とし、最初に
外周溝成形部で外周溝４２を成形した状態を維持しつ
つ、その後、蛇行溝成形部で蛇行溝４１を成形するよう
にしても良い。

【００５７】このようにすると、蛇行溝４１の余肉が外
周溝４２の余肉の流動により阻止されて蛇行溝４１が変
形のない溝断面形状で溝深さに成形できるとともに、蛇
行溝４１の開口面が略面一にできる。

【００５８】また、上述の実施の形態では、外周溝４２
を方形状かつ切環状の連続溝としたが、この連続溝の同
一線上に所定長さの断続溝を連続に形成しても良い。ま
た、各断続溝の切断部の内外に所定距離隔てて別の断続
溝をラップさせて形成しても良い。このようにしても、
方形状かつ切環状に連続した外周溝４２と同様な効果を
有する。

【００５９】次に、この完成した溝付き板状部材４０を
用いた板状熱交換器１０の製造方法を説明する。

【００６０】この板状熱交換器１０は、例えば真空ブレ
ージング炉を有する工場内で製造される。

【００６１】まず、板状熱交換器１０の製作数の装着基
板２０と、ブレージングシート３０および溝付き板状部
材４０を用意する。

【００６２】そして、装着基板２０の各ロケーション孔
２２に例えば図示せぬ長尺なボルトを差し込み、この長
尺なボルトに各ロケーション孔３１を介してブレージン
グシート３０を差し込む。続いて、各ロケーション孔４
０ｈを介して溝付き板状部材４０差し込んで１対の熱交
換器用板状部材１５の積層品を構成する。同様にして、
所定数の積層品を積層する。そして、最後の積層品の溝
付き板状部材４０から突出した長尺なボルトの先端から
図示せぬナット等をねじ込んでいき、各積層品を押圧す
る。

【００６３】その後、真空ブレージング炉に入れて所定
温度で所定加熱時間に亘って加熱する。すると、各積層
品のブレージングシート３０の両面の錫等が解け、装着
基板２０側の錫等が装着基板２０の裏面にろう付けされ
るとももに、溝付き板状部材４０側の錫等が溝付き板状
部材４０の表面４０ａならびに蛇行溝４１ｆ，４１ｇお
よび４１ｈの略面一な開口面にろう付けされる。このこ
とにより、装着基板２０、ブレージングシート３０およ
び溝付き板状部材４０とを一体にろう付けした熱交換器
用板状部材１５の元部材となる。

【００６４】そして、所定加熱時間経過後、真空ブレー
ジング炉より炉出し、長尺なボルトの先端からナット等
を取り外すとともに、長尺なボルトを引き抜いて所定量
の各溝付き板状部材４０が完成する。

【００６５】その後、溝付き板状部材４０に開口した充
填溝４１ａに図示せぬ冷媒注入管を差し込み、冷媒を充
填溝４１ａから蛇行溝４１に注入した後、充填溝４１ａ
の開口を塞いで冷媒を蛇行溝４１内に封入した熱交換器
用板状部材１５が完成する。そして、装着基板２０に半
導体等２１を装着して板状熱交換器１０が完成する。

【００６６】このようにして、蛇行溝４１の断面形状が
均一で且つ開口面が略面一な溝付き板状部材４０を用い
ることにより、蛇行溝４１に封入した冷媒が支障無く蛇
行溝４１内を移行できるので、放熱効率の良い熱交換器
用板状部材１５ができる。

【００６７】上述の実施の形態では、溝付き板状部材４
０の蛇行溝４１内に冷媒を密封した熱交換器用板状部材
１５（ヒートパイプ）としたが、蛇行溝４１を循環溝と
し、この循環溝内に冷却水を循環させた熱交換器用板状
部材（ヒートパイプ）以外の用途にも適用しても良い。
このようにすると、発熱体の放熱機器とした利用でき
る。

【００６８】また、溝付き板状部材４０の表面４０ａに
蛇行溝４１を成形したが、装着基板２０に蛇行溝４１を
成形して装着基板２０を溝付き板状部材としても良い。
このようにすると、装着基板２０を省くことができ、放
熱効率の向上した熱交換器用板状部材ができる。

【００６９】そして、溝付き板状部材４０の表面４０ａ
に蛇行溝４１を成形したが、溝付き板状部材４０の表裏
面に蛇行溝を成形するとともに、表面の蛇行溝から裏面
の蛇行溝に連通しても良い。このようにすると、放熱効
率が倍増した熱交換器用板状部材ができる。

【００７０】

【発明の効果】以上説明してきたように、請求項１の発
明は、板状部材の表面に鍛造により成形する溝の周囲に
外周溝が直前または同時に成形されるので、外周溝が板
状部材の表面側で流動する溝の余肉を阻止し、均一な断
面形状で開口面の面一な溝を成形できるとともに、鍛造
により溝の成形が短時間で行える安価な溝付き板状部材
の製造方法が提供できる。

【００７１】また、請求項２の発明は、板状部材に凹部
が成形された後、鍛造により成形する溝の周囲に外周溝
が直前または同時に成形されるので、外周溝が近傍の表
面側で流動する溝の余肉を阻止し、凹部内に均一な断面
形状で開口面の面一な溝を成形できるとともに、鍛造に
より溝の成形が短時間で行える安価な溝付き板状部材の
製造方法が提供できる。

【００７２】そして、請求項３の発明は、溝付き板状部
材が発熱体の熱を放熱させる熱交換器用板状部材として
用いられるので、鍛造により短時間で形成された溝付き
板状部材が熱交換機用板状部材として用いられる安価な
熱交換器用板状部材の製造方法が提供できる。

【００７３】請求項４の発明は、凹部の容積が溝上面を
板状部材の表面と略面一にしうる量としたので、溝の余
肉が凹部の容積を満たし溝上面が板状部材の表面と略面
一にできる。

【００７４】また、請求項５の発明は、外周溝が同一線
上に断続に形成されるので、外周溝が板状部材の表面側
もしくは外周溝近傍で流動する溝の余肉を阻止し、均一
な断面形状で、開口面の面一な溝を成形できる。

【００７５】そして、請求項６の発明は、溝の成形直後
に位置決め孔が成形されるので、位置決め孔が溝付き板
状部材に対する溝の位置決めができる。

【００７６】請求項７の発明は、溝付き板状部材の材質
が熱伝導の良い熱伝導体とされているので、放熱効率の
良い熱交換器用板状部材ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係わる溝付き板状部材を熱交換器用
板状部材として用いた半導体等の板状熱交換器の要部を
示す斜視図である。

【図２】溝付き板状部材を示す斜視図である。

【図３】溝付き板状部材のＡ−Ａ断面を示す断面図であ
る。

【図４】溝付き板状部材の製造装置であるプレス機を示
す要部断面図である。

【図５】ダイ部材および凹部パンチ部材を示す要部断面
図である。

【図６】ダイ部材および溝部パンチ部材示す要部断面図
である。

【図７】溝付き板状部材の基板を示す斜視図である。

【図８】溝付き板状部材の一次成形基板を示す斜視図で
ある。

【図９】一次成形基板のＢ−Ｂ断面を示す断面図であ
る。

【図１０】板状熱交換器を構成する各部品の斜視図であ
る。

【図１１】従来の板状熱交換器における熱交換器用板状
部材の一例を説明する説明図である。

【符号の説明】

１５…熱交換器用板状部材 ２０…半導体等の装着基板 ２１…半導体等 ３０…ブレージングシート ４０…溝付き板状部材 ４１…溝（蛇行溝） ４２…外周溝 ５０…プレス機 ５４…ダイ部材 ６１…凹部パンチ部材 ６２…溝部パンチ部材 ７０…基板（板状部材） ７０ａ…板状部材の表面 ８０…一次成形基板 ８１…凹部

【手続補正書】

【提出日】平成１１年３月８日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００６

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００６】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明の請求項１は、板状部材の表面に蛇行溝を
鍛造により成形する蛇行溝成形工程と、前記蛇行溝の周
囲に鍛造により外周溝を成形する外周溝成形工程とから
なり、前記外周溝成形工程を前記蛇行溝成形工程の直前
または同時に行い溝付き板状部材を形成することを特徴
とする溝付き板状部材の製造方法としている。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００７

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００７】また、請求項２は、前記蛇行溝成形工程
は、前記板状部材の表面に凹部を成形する凹部成形工程
を行った後に前記凹部に前記蛇行溝部を成形することを
特徴としている。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００９

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００９】請求項４は、前記凹部の容積は、前記蛇行
溝を成形した際に前記蛇行溝上面を前記表面と略面一に
しうる量としたことを特徴としている。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１１】そして、請求項６は、前記溝付き板状部材
は、前記蛇行溝の成形直後に位置決め孔を成形すること
を特徴としている。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状部材の表面に溝を鍛造により成形す
   る溝成形工程と、前記溝の周囲に鍛造により外周溝を成
   形する外周溝成形工程とからなり、前記外周溝成形工程
   を前記溝成形工程の直前または同時に行い溝付き板状部
   材を形成することを特徴とする溝付き板状部材の製造方
   法。
2. 【請求項２】 前記溝成形工程は、前記板状部材の表面
   に凹部を成形する凹部成形工程を行った後に前記凹部に
   前記溝部を成形することを特徴とする請求項１に記載の
   溝付き板状部材の製造方法。
3. 【請求項３】 前記溝付き板状部材は、発熱体の熱を放
   熱させる熱交換器用板状部材として用いられることを特
   徴とする請求項１または請求項２に記載の溝付き板状部
   材の製造方法。
4. 【請求項４】 前記凹部の容積は、前記溝を成形した際
   に前記溝上面を前記表面と略面一にしうる量としたこと
   を特徴とする請求項２または請求項３に記載の溝付き板
   状部材の製造方法。
5. 【請求項５】 前記外周溝は、同一線上に切断部が形成
   されて断続に形成されていることを特徴とする請求項１
   乃至請求項５のいずれかに記載の溝付き板状部材の製造
   方法。
6. 【請求項６】 前記溝付き板状部材は、前記溝の成形直
   後に位置決め孔を成形することを特徴とする請求項１乃
   至請求項３のいずれかに記載の溝付き板状部材の製造方
   法。
7. 【請求項７】 前記溝付き板状部材の材質は、熱伝導率
   の良い熱伝導体とすることを特徴とする請求項３に記載
   の溝付き板状部材の製造方法。