JPH11215860A - Traveling-wave motor and measuring method for its temperature - Google Patents

Traveling-wave motor and measuring method for its temperature

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JPH11215860A
JPH11215860A JP10304678A JP30467898A JPH11215860A JP H11215860 A JPH11215860 A JP H11215860A JP 10304678 A JP10304678 A JP 10304678A JP 30467898 A JP30467898 A JP 30467898A JP H11215860 A JPH11215860 A JP H11215860A
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traveling wave
measuring electrode
wave motor
piezoelectric ceramic
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ヴアルテル・フーベル
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    • H02N2/142Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a simple and precise temperature measuring method for traveling-wave motors and their stators. SOLUTION: A traveling-wave motor has a stator having a piezoelectric ceramic 1 excitable electrically, and a rotor touchable to the stator with friction. And the piezoelectric ceramic 1 is composed of two groups of piezoelectric areas polarized alternately and so as to be different, and both groups of piezoelectric areas are excited by AC voltages 2, 3 whose phases are shifted by 90 deg. mutually. Two electrodes 5, 6 are formed at least at an interval of λ/4 for detecting the motor condition sensor-technically, in a first part range 4 of the piezoelectric ceramic 1 unutilizable for the generation of a traveling wave. Similarly, a measuring electrode 8 is formed in a second part range 7 of the piezoelectric ceramic 1 unutilizable for the generation of a traveling wave, and a capacitor having a temperature-stable capacitance value is connected to it, so that the measuring electrode 8 and the temperature-stable capacitor may form a capacity-type voltage divider.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、請求項1の上位概
念に記載の電気的に励振可能な圧電セラミツクを持つ固
定子及び固定子と摩擦接触可能な回転子を有する進行波
モータに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a traveling wave motor having a stator having an electrically excitable piezoelectric ceramic and a rotor capable of frictionally contacting the stator.

【0002】[0002]

【従来の技術】構造、動作態様及び好ましい使用可能性
が公知な進行波モータでは、回転運動を生じるため機械
的振動が利用される。この目的のため固定子が、電気振
動を機械的進行波に変換するのを可能にする圧電素子を
持つている。
BACKGROUND OF THE INVENTION Traveling wave motors of known construction, mode of operation, and preferred use utilize mechanical vibrations to produce rotational motion. For this purpose, the stator has a piezoelectric element which makes it possible to convert electrical vibrations into mechanical traveling waves.

【0003】超音波モータとも称される進行波モータ
は、例えば米国特許第4562374号明細書、Yuk
ihiko Ise ″Travelling Wav
e Ultrasonic Motors Offer
High Conversion Efficien
cy ″(JEE,June 1986,PP66−7
0)及びSchadebrodt and Salom
on ″Piezo Travelling Wave
Motor−A New Element in A
ctuation(Control Engineer
ing,May1990,PP10−18)に記載され
ている。
A traveling wave motor, also called an ultrasonic motor, is disclosed, for example, in US Pat. No. 4,562,374, Yuk.
ihiko Ise "Travelling Wav
e Ultrasonic Motors Offer
High Conversion Efficien
cy "(JEE, June 1986, PP66-7
0) and Schadebrodt and Salom
on "Piezo Traveling Wave
Motor-A New Element in A
ctuation (Control Engineer)
ing, May 1990, PP10-18).

【0004】進行波の励振のため、対称性の理由から圧
電セラミツク環状構造が利用される。この構造は、交互
に正及び負に予備分極される2群の圧電区域に分割さ
れ、これらの圧電区域はλ/4及び3λ/4の間隔で2
つの電極を形成する。両方の群は90°だけ互いに移相
される交流電圧で励振される。公知の進行波モータの駆
動のために駆動回路が用いられ、固定子を有効に駆動す
るため発振器が、固定子の機械共振振動数fに同調さ
れる電気的周波数fを発生する。回転子の回転は、回
転方向とは逆向きに伝搬する進行波により行われる。
For the excitation of traveling waves, an annular piezoelectric ceramic structure is used for symmetry reasons. This structure is divided into two groups of piezoelectric areas, which are alternately positively and negatively prepolarized, and these piezoelectric areas are spaced apart by λ / 4 and 3λ / 4.
Form two electrodes. Both groups are excited with AC voltages that are phase shifted from each other by 90 °. Known drive circuit for driving the traveling wave motor is used, an oscillator to effectively drive the stator to generate electrical frequency f e, which is tuned to the mechanical resonant frequency f m of the stator. Rotation of the rotor is performed by a traveling wave propagating in a direction opposite to the rotation direction.

【0005】進行波の発生に利用不可能な圧電セラミツ
クの第1の部分範囲には、少なくともλ/4の間隔で2
つの電極が形成され、定在波成分と進行波成分の比又は
振動振幅を検出するため、逆の圧電効果を利用してこれ
らの電極が利用される。
A first sub-range of the piezoceramic, which cannot be used for the generation of traveling waves, comprises at least 2 at intervals of λ / 4.
Two electrodes are formed and these electrodes are utilized using the opposite piezoelectric effect to detect the ratio of standing wave component to traveling wave component or vibration amplitude.

【0006】進行波モータは、例えば移動操作器又はロ
ボツトシステム用継手モジユールとして多様に使用可能
である。特に出力の要求がある使用の場合、高い熱発生
を考慮せねばならない。
[0006] Traveling wave motors can be used in a variety of ways, for example, as joints for mobile operators or robot systems. Particularly in applications requiring power requirements, high heat generation must be considered.

【0007】現在進行波モータは、約25%の効率で約
50Wの機械的出力に達する。望まれる使用温度範囲は
−40℃と+80℃との間にある。回転数又はトルクに
関する異なる負荷要求のような付加的境界条件は、モー
タにおける大きくかつ比較的速い温度変化を生じる。モ
ータ温度の上昇と共に、固定子共振振動数fの減少が
観察される。圧電セラミツクの容量も同様に極めて顕著
で再現可能な温度特性を示す。図4からわかるように、
−40℃ないし+800℃の望まれる使用温度範囲にお
いて、圧電セラミツクの容量は−40℃における値に関
して約50%増大する。
[0007] Currently traveling wave motors reach a mechanical power of about 50 W with an efficiency of about 25%. The desired operating temperature range is between -40C and + 80C. Additional boundary conditions, such as different load requirements with respect to speed or torque, result in large and relatively fast temperature changes in the motor. With increasing motor temperature, a decrease in the stator resonant frequency f m is observed. Similarly, the capacitance of the piezoelectric ceramic exhibits extremely remarkable and reproducible temperature characteristics. As can be seen from FIG.
In the desired operating temperature range of -40 ° C to + 800 ° C, the capacity of the piezoelectric ceramic increases by about 50% with respect to the value at -40 ° C.

【0008】従つて温度変化の検出は、モータの最適駆
動のため、過負荷保護のため、及び圧電セラミツクの剥
落による故障の回避のために、極めて重要である。
[0008] Therefore, detection of temperature change is extremely important for optimal driving of the motor, protection of overload, and prevention of failure due to peeling of the piezoelectric ceramic.

【0009】米国特許第5585686号明細書に記載
されている進行波モータでは、加熱素子を介して設定さ
れる所定の固定子温度を監視するために、固定子周辺に
温度センサが取付けられている。温度センサを備えてい
る別の進行波モータが米国特許第5477100号明細
書に記載されている。特開平2−7879号公報に示さ
れている進行波モータは、温度測定装置を持ち、温度セ
ンサ、比較抵抗及びコンデンサが抵抗分圧器を形成して
いる。
In the traveling wave motor described in US Pat. No. 5,585,686, a temperature sensor is mounted around the stator to monitor a predetermined stator temperature set via a heating element. . Another traveling wave motor having a temperature sensor is described in U.S. Pat. No. 5,477,100. The traveling wave motor disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-7879 has a temperature measuring device, and a temperature sensor, a comparison resistor and a capacitor form a resistance voltage divider.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、進行
波モータ及び固定子温度の簡単かつ精確な測定を可能に
する方法を提供することである。
It is an object of the present invention to provide a method which allows a simple and accurate measurement of the traveling wave motor and the stator temperature.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明によればこの課題
は、請求項1の特徴を持つ進行波モータ及び請求項8の
特徴を持つ方法によつて解決される。
According to the invention, this object is achieved by a traveling wave motor having the features of claim 1 and a method having the features of claim 8.

【0012】進行波の発生にいずれにせよ利用不可能な
圧電セラミツクの部分範囲に測定電極を取付けること
は、場所を節約し、測定すべき対象の所で直接測定の極
めて精確な測定を可能にする。更に付加的に取付けるべ
き特別な温度センサは不要になり、それに関連して振動
する測定対象への温度センサの接触形成という問題も回
避される。
The mounting of the measuring electrodes in a sub-area of the piezoceramic, which is not available anyway for the generation of traveling waves, saves space and allows for very precise measurements of the direct measurement at the point to be measured. I do. Furthermore, a special temperature sensor to be additionally mounted is not required, and the associated problem of contacting the temperature sensor with a vibrating measuring object is also avoided.

【0013】本発明による方法で求められる温度に関係
する信号は、温度に関係する電圧値として示される。こ
の表示は、進行波モータの制御及び調整のために温度検
出を利用するのを可能にし、従つて過熱保護も実現され
る。
The temperature-related signal determined by the method according to the invention is indicated as a temperature-related voltage value. This indication makes it possible to use the temperature detection for the control and regulation of the traveling wave motor, so that overheating protection is also realized.

【0014】本発明による進行波モータのそれ以外の有
利な構成及び発展と、本発明による温度測定方法は従属
請求項に示されている。
Further advantageous embodiments and developments of the traveling wave motor according to the invention and the temperature measurement method according to the invention are set out in the dependent claims.

【0015】本発明の好ましい実施例が図面に示されて
おり、以下に説明される。
A preferred embodiment of the present invention is shown in the drawings and will be described below.

【0016】[0016]

【実施例】図1は、固定子上に設けられて電気的に励振
可能な圧電セラミツク1の可能な構成を示している。こ
の圧電セラミツク1は2群の交代する圧電区域に分割さ
れ、これらの圧電区域は異なるように分極されている。
正に分極される圧電区域及び負に分極される圧電区域
は、それぞれ2/13・π又は1/13・λの角度範囲
に設けられている。配置にとつて有利な他の角度範囲は
例えば2/9・π又は2/11・π又は1/9・λ又は
1/11・λである。
FIG. 1 shows a possible configuration of an electrically excitable piezoelectric ceramic 1 provided on a stator. The piezoelectric ceramic 1 is divided into two groups of alternating piezoelectric areas, which are polarized differently.
The positively polarized piezoelectric area and the negatively polarized piezoelectric area are provided in an angular range of 2/13 · π or 1/13 · λ, respectively. Other angular ranges that are advantageous for the arrangement are, for example, 2/9 · π or 2/11 · π or 1/9 · λ or 1/11 · λ.

【0017】進行波の発生に利用されない圧電セラミツ
ク1の第1の部分範囲4には、モータ状態をセンサ技術
的に検出する2つの電極5,6が設けられている。それ
により例えば振動振幅を求めることができる。電極5,
6は少なくともλ/4又はλ/4の奇数倍の間隔で構成
され、例えば振動振幅の検出に利用される。それぞれ6
対又は5対又は4対の正及び負の予備分極された区域
が、センサ電極5,6の両側に動作電極又は励振系を形
成する。動作電極2,3は、90°だけ互いに移相され
る交流電圧により励振される。
In the first partial area 4 of the piezoelectric ceramic 1, which is not used for the generation of traveling waves, two electrodes 5 and 6 are provided for detecting the state of the motor with a sensor technology. Thereby, for example, the vibration amplitude can be obtained. Electrode 5,
Numerals 6 are formed at least at intervals of λ / 4 or an odd multiple of λ / 4, and are used, for example, for detecting vibration amplitude. 6 each
Pairs or five or four pairs of positive and negative pre-polarized areas form working electrodes or excitation systems on both sides of the sensor electrodes 5,6. The working electrodes 2, 3 are excited by alternating voltages that are phase shifted from one another by 90 °.

【0018】同様に進行波の発生に利用されない圧電セ
ラミツク1の第2の部分範囲7には、測定電極8が取付
けられている。測定電極8は、進行波の発生に利用不可
能な第2の部分範囲7の部分面積しか占めないか、又は
この第2の部分範囲7の全面積を占めることができる。
測定電極8は、進行波の発生に利用不可能な第2の部分
範囲7の部分面積に対称又は非対称に設けることができ
る。進行波の発生に利用不可能な圧電セラミツク1の第
2の部分範囲7は、圧電区域の一部として同様に分極さ
れることができるが、分極されなくてもよい。
A measuring electrode 8 is mounted in the second partial area 7 of the piezoelectric ceramic 1, which is likewise not used for generating traveling waves. The measuring electrode 8 can occupy only a partial area of the second partial area 7 that is not available for the generation of traveling waves, or it can occupy the entire area of this second partial area 7.
The measuring electrode 8 can be provided symmetrically or asymmetrically in a partial area of the second partial area 7 that cannot be used for generating a traveling wave. The second sub-region 7 of the piezoelectric ceramic 1, which is not available for the generation of traveling waves, can likewise be polarized as part of the piezoelectric area, but need not be.

【0019】異なるように分極される隣接区域に対し
て、測定電極8は必ず最小絶縁間隔を守らねばならな
い。
For adjacent zones that are polarized differently, the measuring electrode 8 must always maintain a minimum insulation distance.

【0020】図2の回路図からわかるように、測定電極
8とコンデンサ9が容量分圧器を形成するように、コン
デンサ9が接続されている。接続されるコンデンサ9
は、電子測定兼評価装置に収容することができる。動作
電極2,3と測定電極8は圧電セラミツク1を介して熱
的に結合されている。圧電セラミツク1の容量は、図3
からわかるように、−40℃ないし+80℃の普通望ま
れる使用温度範囲において、著しく顕著な温度特性を示
す。ここで圧電セラミツクの容量は、−40℃における
値に対して、約50%だけ増大する。この測定結果は、
容量分圧器の構成により容量算定を行い、これにより固
定子温度を求めるのを可能にする。従つて接続されるコ
ンデンサ9として、温度安定性のある容量値を持つコン
デンサが選ばれる。容量算定のために、温度安定性のあ
るコンデンサ9の容量値が所定の温度例えば室温で測定
電極8の対応する容量値と同じ大きさであると有利であ
る。
As can be seen from the circuit diagram of FIG. 2, the capacitor 9 is connected so that the measuring electrode 8 and the capacitor 9 form a capacitive voltage divider. Connected capacitor 9
Can be housed in an electronic measurement and evaluation device. The working electrodes 2 and 3 and the measuring electrode 8 are thermally connected via the piezoelectric ceramic 1. The capacity of the piezoelectric ceramic 1 is shown in FIG.
As can be seen, in the normally desired operating temperature range of -40 ° C to + 80 ° C, it shows remarkable temperature characteristics. Here, the capacity of the piezoelectric ceramic increases by about 50% with respect to the value at -40 ° C. The result of this measurement is
The capacity is calculated by the configuration of the capacity voltage divider, which makes it possible to determine the stator temperature. Accordingly, a capacitor having a temperature-stable capacitance value is selected as the capacitor 9 to be connected. For the purpose of calculating the capacitance, it is advantageous if the capacitance value of the temperature-stable capacitor 9 is as large as the corresponding capacitance value of the measuring electrode 8 at a predetermined temperature, for example, room temperature.

【0021】温度安定性のあるコンデンサ9と測定電極
8は直列又は並列接続することができる。図2の回路図
では、例えばコンデンサ9と測定電極8は直列接続され
ている。固定子の温度を測定するため容量分圧器は、デ
イジタル発振器により発生される一定の振幅及び周波数
messの交流電圧を印加される。進行波の発生に利
用不可能な圧電セラミツク1の第2の部分範囲7が分極
されていないと、容量分圧器へ交流電圧を印加する際、
任意の周波数fmessの交流電圧を選ぶことができ
る。利用周波数帯の間の周波数を選ぶのが有利である。
進行波の発生に利用不可能な圧電セラミツク1の第2の
部分範囲7が分極されていると、容量分圧器へ交流電圧
を印加する際、特定の第1の部分範囲4の交流電圧を選
ばねばならない。周波数fmessは、進行波モータの
駆動に利用される動作周波数の倍数として生じる2つの
周波数の間の範囲になければならない。
The temperature-stable capacitor 9 and the measuring electrode 8 can be connected in series or in parallel. In the circuit diagram of FIG. 2, for example, the capacitor 9 and the measurement electrode 8 are connected in series. To measure the temperature of the stator, the capacitive voltage divider is supplied with an alternating voltage of constant amplitude and frequency fmess generated by a digital oscillator. If the second partial area 7 of the piezoelectric ceramic 1, which is not available for the generation of traveling waves, is not polarized, when applying an AC voltage to the capacitive voltage divider,
An AC voltage having an arbitrary frequency f mess can be selected. It is advantageous to choose a frequency between the available frequency bands.
If the second sub-range 7 of the piezoelectric ceramic 1, which cannot be used for the generation of traveling waves, is polarized, when applying an AC voltage to the capacitive voltage divider, the AC voltage of a specific first sub-range 4 is selected. I have to. The frequency f mess must be in the range between two frequencies that occur as a multiple of the operating frequency used to drive the traveling wave motor.

【0022】測定電極8から温度に関係する信号C
(T)が取出され、温度安定性のあるコンデンサ9から
温度安定性のある基準信号Crefが取出される。減算
回路10で両方の信号が互いに比較され、こうして求め
られる温度に関係する信号C(T)が、増幅器12及び
場合によつては付加的になおアナログ−デイジタル変換
器13及びマイクロプロセツサ14の通過後、図4に示
すように、温度に関係する電圧値Umess(T)とし
て表わされる。
Signal C relating to temperature from measuring electrode 8
(T) is extracted, and a temperature-stable reference signal C ref is extracted from the temperature-stable capacitor 9. The two signals are compared with one another in a subtraction circuit 10 and the temperature-related signal C (T) thus determined is supplied to the amplifier 12 and possibly additionally to the analog-to-digital converter 13 and the microprocessor 14. After the passage, as shown in FIG. 4, it is expressed as a temperature-related voltage value U mess (T).

【0023】進行波の発生に利用不可能な圧電セラミツ
ク1が分極されていると、測定信号Umessのみを通
す帯域フイルタ11を使用するのがよい。それにより、
モータ運転の際測定電極に現われてモータ駆動の周波数
を持つ外乱電圧を除去することができる。進行波の発生
に利用不可能な圧電セラミツク1の第2の部分範囲7が
分極されていないと、フイルタの複雑さを減少するか、
又は全くなくすことができる。なぜならば、この場合僅
かな外乱しか現われないからである。
If the piezoelectric ceramic 1, which cannot be used for the generation of traveling waves, is polarized, it is advisable to use a bandpass filter 11 which passes only the measuring signal Umess . Thereby,
During the operation of the motor, a disturbance voltage which appears on the measurement electrode and has a frequency for driving the motor can be removed. If the second sub-region 7 of the piezoelectric ceramic 1, which is not available for the generation of traveling waves, is not polarized, the complexity of the filter is reduced or
Or it can be completely eliminated. This is because only a small disturbance appears in this case.

【0024】温度に関係する信号を温度に関係する電圧
値Umessとして表わすと、制御のために測定方法の
簡単な利用が可能になる。効果的な過熱保護も、簡単な
遮断機構例えばマイクロプロセツサ14により実現され
る。
Expressing the temperature-related signal as a temperature-related voltage value U mess allows a simple use of the measuring method for control. Effective overheating protection is also provided by a simple shut-off mechanism, for example, microprocessor 14.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】進行波モータ用圧電セラミツクの構成を示す概
略図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a piezoelectric ceramic for a traveling wave motor.

【図2】温度測定方法の実施のために重要な素子を持つ
回路の概略図である。
FIG. 2 is a schematic diagram of a circuit having elements important for implementing a temperature measuring method.

【図3】温度に関係する圧電セラミツクの容量の特性曲
線図である。
FIG. 3 is a characteristic curve diagram of capacitance of a piezoelectric ceramic related to temperature.

【図4】温度に関係する電圧値として温度に関係する信
号を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a signal related to temperature as a voltage value related to temperature.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 圧電セラミツク 2,3 交流電圧(動作電極) 4 進行波の発生に利用不可能な第1の部分範囲 5,6 モータ状態の検出電極 7 進行波の発生に利用不可能な第2の部分範囲 8 測定電極 9 コンデンサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Piezoelectric ceramic 2, 3 AC voltage (operating electrode) 4 First partial range not usable for generation of traveling wave 5, 6 Detection electrode in motor state 7 Second partial range not usable for generation of traveling wave 8 Measurement electrode 9 Capacitor

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 進行波モータが、電気的に励振可能な圧
電セラミツク(1)を持つ固定子と、固定子に摩擦接触
可能な回転子とを有し、圧電セラミツク(1)が、互い
に交代しかつ異なるように分極される圧電区域の2つの
群から成り、両方の群が90°だけ互いに移相される交
流電圧(2,3)により励振され、進行波の発生に利用
不可能な圧電セラミツク(1)の第1の部分範囲(4)
に、モータ状態をセンサ技術的に検出するため、少なく
ともλ/4の間隔で2つの電極(5,6)が形成されて
いるものにおいて、進行波の発生に利用不可能な圧電セ
ラミツク(1)の第2の部分範囲(7)に測定電極
(8)が取付けられ、測定電極(8)と温度安定性のあ
るコンデンサ(9)が容量分圧器を形成するように、温
度安定性のある容量値を持つコンデンサ(9)が接続さ
れていることを特徴とする、進行波モータ。
A traveling wave motor includes a stator having a piezoelectric ceramic (1) which can be electrically excited and a rotor capable of frictionally contacting the stator, wherein the piezoelectric ceramics (1) alternate with each other. And two groups of piezoelectric zones which are polarized differently, both groups are excited by alternating voltages (2,3) which are phase-shifted from one another by 90 ° and are not available for the generation of traveling waves. First sub-range (4) of ceramic (1)
In order to detect the state of the motor using a sensor technology, a piezoelectric ceramic (1) that cannot be used to generate a traveling wave in a motor having two electrodes (5, 6) formed at least at an interval of λ / 4. A measuring electrode (8) is mounted in a second sub-region (7) of the first and second capacitors (9), so that the measuring electrode (8) and the temperature-stable capacitor (9) form a capacitive voltage divider. A traveling wave motor, wherein a capacitor (9) having a value is connected.
【請求項2】 温度安定性のあるコンデンサ(9)と測
定電極(8)が直列接続されていることを特徴とする、
請求項1に記載の進行波モータ。
2. A temperature-stable capacitor (9) and a measuring electrode (8) are connected in series,
The traveling wave motor according to claim 1.
【請求項3】 温度安定性のあるコンデンサ(9)と測
定電極(8)が並列接続されていることを特徴とする、
請求項1に記載の進行波モータ。
3. A temperature-stable capacitor (9) and a measuring electrode (8) are connected in parallel,
The traveling wave motor according to claim 1.
【請求項4】 温度安定性のあるコンデンサ(9)の容
量が、所定の温度において、測定電極(8)の容量と同
じ大きさであることを特徴とする、請求項1ないし3の
1つに記載の進行波モータ。
4. The capacitor according to claim 1, wherein the capacitance of the temperature-stable capacitor is the same as the capacitance of the measuring electrode at a predetermined temperature. 3. The traveling wave motor according to claim 1.
【請求項5】 測定電極(8)が、進行波の発生に利用
不可能な第2の部分範囲(7)の部分面積を占めている
ことを特徴とする、請求項1ないし4の1つに記載の進
行波モータ。
5. The method according to claim 1, wherein the measuring electrode occupies a partial area of the second partial area which is not available for the generation of a traveling wave. 3. The traveling wave motor according to claim 1.
【請求項6】 測定電極(8)が、隣接する分極された
圧電区域に対して最小絶縁間隔をとつて、進行波の発生
に利用不可能な第2の部分範囲(7)の全面積を占めて
いることを特徴とする、請求項1ないし4の1つに記載
の進行波モータ。
6. The measuring electrode (8) is provided with a minimum insulation distance to the adjacent polarized piezoelectric area and to cover the entire area of the second sub-region (7) that is not available for the generation of traveling waves. Traveling wave motor according to one of the claims 1 to 4, characterized in that the traveling wave motor is occupied.
【請求項7】 進行波の発生に利用不可能な圧電セラミ
ツク(1)の第2の部分範囲(7)が分極されてないこ
とを特徴とする、請求項1ないし6の1つに記載の進行
波モータ。
7. The method according to claim 1, wherein the second sub-region of the piezoelectric ceramic which is not available for the generation of a traveling wave is unpolarized. Traveling wave motor.
【請求項8】 進行波モータが、電気的に励振可能な圧
電セラミツク(1)を持つ固定子と、固定子に摩擦接触
可能な回転子とを有し、圧電セラミツク(1)が、交互
に分極される圧電区域の2つの群から成り、両方の群が
90°だけ互いに移相される交流電圧(2,3)により
励振され、進行波の発生に利用不可能な圧電セラミツク
(1)の第1の部分範囲(4)に、振副振幅の検出に利
用される2つの電極(5,6)が少なくともλ/4の間
隔で形成され、進行波の発生に利用不可能な圧電セラミ
ツク(1)の第2の部分範囲(7)に測定電極(8)が
取付けられ、測定電極(8)と温度安定性のあるコンデ
ンサ(9)が容量分圧器を形成するように、温度安定性
のある容量値を持つコンデンサ(9)が接続されてお
り、この装置の固定子の温度を測定するため、容量分圧
器に交流電圧を印加し、温度に関係する信号C(T)を
測定電極(8)から取出し、かつ温度安定性のある基準
信号Crefを温度安定性のあるコンデンサ(9)から
取出し、温度に関係する信号C(T)と温度安定性のあ
る基準信号Crefとを減算回路(10)により比較
し、こうして求められる温度に関係する信号C(T)
を、温度に関係する電圧値Umessとして示すことを
特徴とする、進行波モータの固定子の温度測定方法。
8. A traveling wave motor has a stator having an electrically excitable piezoelectric ceramic (1) and a rotor capable of frictionally contacting the stator, wherein the piezoelectric ceramics (1) are alternately arranged. It consists of two groups of piezoelectric areas to be polarized, both groups being excited by alternating voltages (2,3), which are phase-shifted from one another by 90 °, of a piezoelectric ceramic (1) not available for the generation of traveling waves. In the first partial range (4), two electrodes (5, 6) used for detecting the sub-amplitude are formed at an interval of at least λ / 4, and the piezoelectric ceramics ( A measuring electrode (8) is mounted in the second sub-region (7) of 1), and the temperature-stable capacitor (9) forms a capacitive voltage divider with the measuring electrode (8). A capacitor (9) with a certain capacitance value is connected, and the stator of this device is To measure the temperature, applying an AC voltage to the capacitive divider, it retrieves the signal C (T) related to the temperature from the measuring electrode (8), and a temperature-stable reference signal C ref with temperature stability The temperature-related signal C (T) taken out of the capacitor (9) is compared with a temperature-stable reference signal C ref by a subtraction circuit (10), and the temperature-related signal C (T) thus obtained is obtained.
As a voltage value U mess related to temperature, wherein the temperature of the stator of the traveling wave motor is measured.
【請求項9】 進行波の発生に利用不可能な圧電セラミ
ツク(1)の第2の部分範囲(7)を分極せず、容量分
圧器に交流電圧を印加する際、任意の周波数の交流電圧
を選ぶことを特徴とする、請求項8に記載の方法。
9. An AC voltage having an arbitrary frequency when an AC voltage is applied to a capacitive voltage divider without polarizing a second partial range (7) of a piezoelectric ceramic (1) that cannot be used for generating a traveling wave. The method according to claim 8, characterized in that:
【請求項10】 進行波の発生に利用不可能な圧電セラ
ミツク(1)の第2の部分範囲(7)を分極し、容量分
圧器に交流電圧を印加する際、進行波モータの駆動に利
用される周波数の数倍の間にある周波数を持つ交流電圧
を選ぶことを特徴とする、請求項8に記載の方法。
10. A driving device for driving a traveling wave motor when a second partial range (7) of a piezoelectric ceramic (1) that cannot be used for generating a traveling wave is polarized and an AC voltage is applied to a capacitive voltage divider. 9. The method according to claim 8, wherein an AC voltage having a frequency lying between several times the frequency to be applied is selected.
【請求項11】 温度に関係する信号及び温度安定性の
ある基準信号の取出し後、取出される信号C(T)及び
refを帯域フイルタ(11)に通すことを特徴とす
る、請求項10に記載の方法。
11. The method according to claim 10, further comprising: after extracting the temperature-related signal and the temperature-stable reference signal, passing the extracted signals C (T) and C ref through a band filter. The method described in.
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