JPH11202344A - 液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents

液晶表示装置およびその製造方法

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JPH11202344A
JPH11202344A JP10006252A JP625298A JPH11202344A JP H11202344 A JPH11202344 A JP H11202344A JP 10006252 A JP10006252 A JP 10006252A JP 625298 A JP625298 A JP 625298A JP H11202344 A JPH11202344 A JP H11202344A
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liquid crystal
display device
spacer
crystal display
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Yasuo Fujita
康雄 藤田
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Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶表示装置の表示部分に位置するスペーサ
に起因する光漏れを防止し、かつパネルギャップを適正
かつ均一に保持し、良好な画質をうる液晶表示装置およ
びその製造方法を提供する。 【解決手段】 本発明のアクティブマトリクス型液晶表
示装置の製造方法は、(a)スペーサを帯電させ、
(b)遮光部に接続して電位調整用の端子を設け、該端
子から遮光部に電位を印加し、遮光部をスペーサと逆極
性に帯電させることによって遮光部上にスペーサを選択
配置する工程を含むことを特徴とする。また、遮光部以
外の部分は前記スペーサと同極性に帯電させることが望
ましい。また、前記遮光部の抵抗値がその他の部分に比
べ、5桁以上異なることが望ましい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はOA機器などの画像
や、文字情報の表示装置として用いられるアクティブマ
トリクス方式の液晶表示装置に関する。さらに詳しく
は、第1の基板と第2の基板との基板間隔(パネルギャ
ップ)を適正かつ均一とし、かつパネル間隔を保持する
ために用いるスペーサに起因する光漏れによる画質低下
を抑える構造に関する。
【0002】
【従来の技術】ガラスなどの絶縁基板上に薄膜トランジ
スタ(以下、TFTという)をマトリクス状に形成し、
これをスイッチング素子として用いるアクティブマトリ
クス型の液晶表示装置(TFT−LCD)は高画質のフ
ラットパネルディスプレイとしての期待が大きい。
【0003】現在、TFT−LCDにおいては、その表
示品位の向上が要求されている。このため、TFTがマ
トリクス状に形成された第1の基板であるアレイ基板
と、カラーフィルタが形成された第2の基板であるカラ
ーフィルタ基板の基板間隔(パネルギャップ)を適正か
つ均一に保持することが重要である。そのためには、パ
ネル間隔を保持するために用いるスペーサの散布密度を
高くすることが有効であるが、スペーサの散布密度が高
くなるにつれ、スペーサ同士の凝集により、スペーサの
分布が不均一となることによる局部的ギャップムラの発
生、表示部分に散布されたスペーサに起因する光漏れに
よるコントラストの低下などの影響が大きくなるという
問題がある。とくに、スペーサによる光屈折または光反
射作用によって生じる周囲への光漏れや、スペーサの周
辺での液晶の配向の乱れによって生じる光漏れなど、ス
ペーサに起因する光漏れが画質に大きな影響を与える。
この問題を解決するための一例が、特開平6−3498
2号公報に開示されている。図10はその散布方法およ
びその装置を示す説明図である。図9において、17は
スペーサ、30は秤量部、31は絶縁体圧送ホース、3
2の絶縁体圧送ホース、33はチャンバー、34はガス
タンク、35は絶縁ノズル、36は絶縁性マニホール
ド、38はイオン化装置、39はステージ、80はカラ
ーフィルタ基板をそれぞれ示す。図10においては第2
の基板であるカラーフィルタ基板にスペーサを散布して
いるが、第1の基板であるアレイ基板においても同様に
スペーサを散布することができる。
【0004】この従来技術は、スペーサ材粒子17をチ
ャンバー33内に噴出させるためのガスをイオン化装置
38で帯電させることで、スペーサ材粒子間に電気的な
斥力を生じさせ、スペーサの凝集を防止することを提案
している。このようにスペーサまたは、基板を帯電させ
るなどして電気反発力によりスペーサの均一分散を図る
散布方法を一般に帯電散布方式と呼ぶ。
【0005】前述した従来技術(帯電散布方式)による
と、高密度のスペーサ散布によってスペーサの凝集は防
止され、パネルギャップを適正かつ均一に保持すること
ができる。しかし本手法では、スペーサが液晶パネルの
表示面内に均一に散布されるため、散布密度の増加に伴
って液晶パネルの表示部分に位置するスペーサに起因す
る光漏れも増加し、表示画面のざらつきやコントラスト
が低下して表示画質が低下するので、良好な表示をえる
ことができない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
従来技術によって製造された液晶表示装置の問題を鑑み
てなされたものであり、液晶表示装置の表示部分に位置
するスペーサに起因する光漏れを防止し、かつパネルギ
ャップを適正かつ均一に保持し、良好な画質をうること
ができる液晶表示装置およびその製造方法を提供するこ
とを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1にかか
わるアクティブマトリクス型液晶表示装置の製造方法
は、第1の基板、第1の基板に対向する第2の基板、第
1の基板の第2の基板側に設けられる第1の配向膜、第
2の基板の第1の基板側に設けられる第2の配向膜、第
1および第2の基板間に挟持される液晶組成物、第1お
よび第2の基板間に散布される複数のスペーサ、第1の
基板上にマトリクス状に配置された複数のゲートバスラ
インと複数のソースバスライン、複数のゲートバスライ
ンと複数のソースバスラインとによって囲まれてなる複
数の画素部のそれぞれに設けられるスイッチング素子な
らびに第2の基板上に設けられるブラックマトリックス
からなり、第2の基板には表示用電極がなく、ブラック
マトリックスが遮光部であるアクティブマトリクス型液
晶表示装置の製造方法であって、(a)スペーサを帯電
させ、(b)前記遮光部に接続して電位調整用の端子を
設け、該端子から遮光部に電位を印加し、遮光部をスペ
ーサと逆極性に帯電させることによって遮光部上にスペ
ーサを選択配置する工程を含むものである。
【0008】本発明の請求項2にかかわるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の製造方法は、前記第2の基板
の遮光部以外の部分は前記スペーサと同極性に帯電させ
るものである。
【0009】本発明の請求項3にかかわるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の製造方法は、前記遮光部の抵
抗値がその他の部分に比べ、5桁以上異なるものであ
る。
【0010】本発明の請求項4にかかわるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の製造方法は、第1の基板、第
1の基板に対向する第2の基板、第1の基板の第2の基
板側に設けられる第1の配向膜、第2の基板の第1の基
板側に設けられる第2の配向膜、第1および第2の基板
間に挟持される液晶組成物、第1および第2の基板間に
散布される複数のスペーサ、第1の基板上にマトリクス
状に配置された複数のゲートバスラインと複数のソース
バスライン、複数のゲートバスラインと複数のソースバ
スラインとによって囲まれてなる複数の画素部のそれぞ
れに設けられるスイッチング素子ならびに第2の基板上
に設けられるブラックマトリックスからなり、第2の基
板には表示用電極がなく、複数のゲートバスラインと複
数のソースバスラインが遮光部であるアクティブマトリ
クス型液晶表示装置の製造方法であって、(a)前記ス
ペーサを帯電させ、(b)前記複数のゲートバスライン
と複数のソースバスラインに接続して電位調整用の端子
を設け、該端子から電位を遮光部に印加し、遮光部をス
ペーサと逆極性に帯電させることによって遮光部上にス
ペーサを選択配置する工程を含むものである。
【0011】本発明の請求項5にかかわるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の製造方法は、前記遮光部以外
の第1の基板上の部分は前記スペーサと同極性に帯電さ
せるものである。
【0012】本発明の請求項6にかかわるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の製造方法は、前記遮光部の抵
抗値がその他の部分に比べ、5桁以上異なるものであ
る。
【0013】本発明の請求項7にかかわるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置は、第1の基板、第1の基板に
対向する第2の基板、第1の基板の第2の基板側に設け
られる第1の配向膜、第2の基板の第1の基板側に設け
られる第2の配向膜、第1および第2の基板間に挟持さ
れる液晶組成物、第1および第2の基板間に散布される
複数のスペーサ、第1の基板上にマトリクス状に配置さ
れた複数のゲートバスラインと複数のソースバスライ
ン、複数のゲートバスラインと複数のソースバスライン
とによって囲まれてなる複数の画素部のそれぞれに設け
られるスイッチング素子ならびに第2の基板上に設けら
れるブラックマトリックスからなり、第2の基板に表示
用電極がなく、ブラックマトリックスが遮光部であり、
該遮光部上にスペーサが選択配置されてなるものであ
る。
【0014】本発明の請求項8にかかわるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置は、前記第2の基板上の遮光部
の抵抗値がその他の部分に比べ、5桁以上異なるもので
ある。
【0015】本発明の請求項9にかかわるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置は、第1の基板、第1の基板に
対向する第2の基板、第1の基板の第2の基板側に設け
られる第1の配向膜、第2の基板の第1の基板側に設け
られる第2の配向膜、第1および第2の基板間に挟持さ
れる液晶組成物、第1および第2の基板間に散布される
複数のスペーサ、第1の基板上にマトリクス状に配置さ
れた複数のゲートバスラインと複数のソースバスライ
ン、複数のゲートバスラインと複数のソースバスライン
とによって囲まれてなる複数の画素部のそれぞれに設け
られるスイッチング素子ならびに第2の基板上に設けら
れるブラックマトリックスからなり、第2の基板に表示
用電極がなく、前記複数のゲートバスラインと複数のソ
ースバスラインが遮光部であり、該遮光部上にスペーサ
が選択配置されてなるものである。
【0016】本発明の請求項10にかかわるアクティブ
マトリクス型液晶表示装置は、前記遮光部の抵抗値がそ
の他の部分に比べ、5桁以上異なるものである。
【0017】本発明にかかわるアクティブマトリクス型
液晶表示装置においては、パネル間隔を保持するために
用いるスペーサを、遮光部上に選択的かつ高密度に配置
することによりスペーサに起因する光漏れがないために
コントラストが高く、かつパネルギャップが適正かつ均
一であるためにすぐれた表示品位をえる。
【0018】さらに本発明にかかわるアクティブマトリ
クス型液晶表示装置の製造方法、第1基板、または第2
基板の遮光部とその他の部分の電位差を生じさせること
により、パネル間隔を保持するために用いるスペーサが
表示部に配置されることを抑制し、遮光部上に選択的に
配置する製造方法である。
【0019】図2および図3は本発明のスペーサの遮光
部上への選択配置の原理を示す説明図である。図2およ
び図3の説明では、カラーフィルタが形成された第2の
基板であるカラーフィルタ基板へのスペーサ散布を例に
あげるが、スペーサの散布は第1の基板または第2の基
板いずれにおこなってもよい。図2および図3において
17はスペーサ、20は上部透明ガラス基板、21は遮
光部であるブラックマトリックス(BM)、23は着色
層、24は配向膜、26はオーバーコート層をそれぞれ
示す。なお、スペーサの帯電極性は正負いずれのばあい
もありうるが、本説明では正帯電のばあいを用いる。
【0020】図2において、スペーサには正の電荷が与
えられ、上部透明ガラス基板20には、スペーサの散布
装置に備えられているステージを介して正の電荷が与え
られ、導電性金属膜で形成したBM21は、電位調整用
の端子を介して接地されている。
【0021】よって、スペーサ17は、配向膜を塗布し
てあるカラーフィルタ基板上に重力により落下してくる
が遮光部が正極性に帯電しているため、スペーサは、図
3に示すように遮光部であるBM上に選択的かつ高密度
に配置され、スペーサ同士の凝集は発生せず、かつ表示
部分には落下しにくい。
【0022】なお、スペーサを、遮光部であるBM上に
効率的に配置するためには、スペーサ散布時に、カラー
フィルタのBMとその他の部分の電位に差が大きいほう
がのぞましい。そのためのカラーフィルタのBMとその
他の部分の抵抗値の差が5桁以上異なる構造とすること
が望ましい。その差がそれ以下となると、スペーサが表
示部分にも分散されることとなり発明の効果をうること
ができない。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、本発明にかかわる実施の形
態を添付図面を参照しつつ説明する。なお、図において
従来技術を示した図に用いた参照符号と同一符号は、従
来のものと同一あるいは相当のものを表わす。
【0024】実施の形態1 図4は本発明の実施の形態1の液晶表示装置に用いる第
2の基板であるカラーフィルタ基板の平面図であり、図
5はその部分拡大説明図である。図4および図5におい
て、21は遮光部であるBM、23はそれぞれ、青
(B)、緑(G)または赤(R)の着色層、26はポリ
アクリル系保護膜であるオーバーコート層、27は電荷
とり出し端子部(電位調整用の端子)、51は周辺ブラ
ックマトリックス、52は非塗布部をそれぞれ示す。
【0025】本発明においては、透明ガラス基板上に金
属膜であるCrをフォトリソグラフィで格子状にパター
ニングしてBM21を形成している。さらにBM21に
接続して電荷とり出し端子部27を設ける。着色層およ
びBMを覆ってオーバーコート膜を形成し、さらにオー
バーコート膜上に配向膜(第2の配向膜)を形成する
が、電荷とり出し端子部上には、これらの膜を設けな
い。したがって、透明ガラス基板の4つの角部でオーバ
ーコート膜、および配向膜のない部分で電荷とり出し端
子部27を介して、BM21を接続させる。電荷とり出
し端子部27から電圧を印加し遮光部の電位を調整し、
その他の部分と電位差を生じさせたのち、帯電させたス
ペーサを散布することによってスペーサをBM21上に
選択配置した。
【0026】前記カラーフィルタ基板の作製方法を説明
する。透明ガラス基板上にCrの金属膜(300nm
厚)をスパッタ法で形成し、フォトリソグラフィで格子
状にパターニングしBM21を形成した。この開口部上
に顔料分散型レジストを用いて1.5μm厚の赤、青あ
るいは緑の着色層23を設けた。着色層は、各色間にB
Mを配置して青、BM、緑、BM、赤、BM、青、B
M、緑、BM、赤のように順に配列されている。つぎ
に、その上にアクリル系樹脂の保護膜であるオーバーコ
ート層26をスピンコートにて塗布し、カラーフィルタ
基板とした。さらにその上層にポリイミド薄膜を厚さ1
00nm形成して配向膜とした後、この配向膜の表面に
ラビングによる配向処理を施した。なお、BMの材料と
してはCrの他遮光性を有するものであれば何でも用い
うることは言うまでもないことであるが、その際BMの
比抵抗が、その他の部分より低いほうが望ましい。
【0027】このようにして作製した第2の基板にスペ
ーサの散布をおこなった。
【0028】図6はスペーサ散布方法およびその装置を
示す説明図である。図6において、30は秤量部、31
は絶縁体圧送ホース、32も絶縁体圧送ホース、33は
チャンバー、34はガスタンク、35は絶縁ノズル、3
6は絶縁体マニホールド、37は電荷供給用ピン、38
はイオン化装置、41は電荷供給配線である。ノズル3
5の下端部より正の極性に帯電させたスペーサ17を噴
出し、BMは電荷供給用ピン37を介して接地させ、か
つステージ39より配向膜24を塗布したカラーフィル
タ基板80にスペーサと同一極性の正の電荷を与えた。
【0029】圧出空気の圧力は2kg/cm2、装置内
の温度は50℃、噴出時間は15秒とし、ガラス基板は
一辺30cmの正方形のものを使用し、ステージには+
100Vの電位を与えた。
【0030】用いたガラス基板の抵抗値を測定したとこ
ろ、10の18乗Ω以上の抵抗値であった。また同様に
カラーフィルタ基板に形成したBMの抵抗値を測定した
結果、10Ωであった。
【0031】つぎに、アレイ基板の作製方法を説明す
る。透明ガラス基板上にスパッタリング法でCrなどか
らなる金属膜を厚さ250nm成膜後、2つの互いに対
をなすクシ型電極を、電極幅8μm、電極間隔12μm
で通常のパターニング法で形成した。さらに複数のゲー
トバスラインと複数のソースバスラインを形成する。複
数のゲートバスラインは互いに平行かつ、一定間隔を保
ち、複数のソースバスラインも互いに平行かつ一定間隔
を保ち、ソースバスラインはゲートバスラインに直角に
交差するように配設されている。ゲートバスラインとソ
ースバスラインとの交差点のそれぞれの近傍にスイッチ
ング素子としてTFTをマトリクス状に形成してアレイ
基板を作製した。このアレイ基板上のクシ型電極やスイ
ッチング素子などを覆って、ポリイミド薄膜を厚さ10
0nm形成して配向膜(第2の配向膜)としたのち、こ
の配向膜の表面にラビングによる配向処理を施した。面
内応答型液晶表示装置においては、カラーフィルタ基板
(第2の基板)には表示用電極は設けられていない。作
製した液晶表示装置は同一基板上に一対の電極を一定距
離を隔てて配設し、当該電極間に印加された基板面にほ
ぼ平行な電界により一定方向に配向させた液晶分子を基
板面にほぼ平行に応答させる面内応答型液晶表示装置で
ある。前述のスペーサ散布をおこなった第2の基板であ
るカラーフィルタ基板を第1の基板であるアレイ基板と
重ね合せ、カラーフィルタ基板とアレイ基板とのあいだ
に液晶組成物を挟持させて液晶表示装置を作製した。こ
のとき、第1の配向膜は第1の基板の第2の基板側に位
置し、第2の配向膜は第2の基板の第1の基板側に位置
している。
【0032】図1は本発明の実施の形態1の液晶表示装
置の1画素部分の部分断面説明図である。
【0033】10は下部透明ガラス基板、11はソース
バスライン、16および24はポリイミド薄膜である配
向膜、17はスペーサ、20は上部透明ガラス基板、2
1はCrの金属膜をフォトリソグラフィで格子状にパタ
ーニングしたBM、23は着色層であり、それぞれ赤
(R)、緑(G)または青(B)の3原色の着色層、2
5は液晶組成物である液晶分子、26はアクリル系樹脂
の保護膜であるオーバーコート層、40aは第1のクシ
型電極、40bは第2のクシ型電極、70はアレイ基
板、80はカラーフィルタ基板、90は偏光板である。
【0034】本実施の形態では、パネル間隔を保持する
ために主に用いるスペーサは、BM21上に選択配置し
た。
【0035】したがって、本液晶表示装置においては、
第1の基板であるアレイ基板と第2の基板であるカラー
フィルタ基板の基板間隔(パネルギャップ)を適正かつ
均一に保持するために、スペーサの散布密度を高くして
も表示部分にはスペーサはほとんど存在しない。したが
って、スペーサに起因する光漏れが少なく、表示品位の
高い液晶表示装置がえられた。なお、本実施の形態では
通常のスペーサ散布量で従来と同等以上の表示品位がえ
られたが、さらに、多量のスペーサ散布をおこなっても
表示部分にはスペーサはほとんど配置されなかった。以
上のようにしてスペーサ周辺での光漏れによるコントラ
スト低下を原因とする表示品位の低下は発生しなかっ
た。
【0036】比較例1 つぎに、本発明の液晶表示装置に対する比較例1につい
て説明する。
【0037】本比較例においては、前述の実施の形態1
における液晶表示装置と同様に作製したカラーフィルタ
基板、アレイ基板をもちいた。ただし、本比較例におい
ては帯電散布方式によるスペーサ散布において、本発明
の実施の形態1のようにBMを帯電させることなく、ス
ペーサのみに正の電荷を与え、ステージは接地とした。
その他の構成は実施の形態1と同様である。
【0038】図11は本発明の比較例1の液晶表示装置
の断面説明図である。図11において10は下部透明ガ
ラス基板、11はソースバスライン、16および24は
ポリイミド薄膜である配向膜、17はスペーサ、20は
上部透明ガラス基板、21は金属膜であるCrをフォト
リソグラフィで格子状にパターニングしたBM、23は
着色層であり、それぞれ赤(R)、緑(G)または青
(B)の3原色の着色層、25は液晶分子、26はアク
リル系樹脂の保護膜であるオーバーコート層、70は第
1の基板であるアレイ基板、80は第2の基板であるカ
ラーフィルタ基板、90は偏光板である。
【0039】本比較例の液晶表示装置の観察をおこなっ
たところ、カラーフィルタ基板上のスペーサの半数以上
が表示部分に位置し、結果としてスペーサに起因する光
漏れを原因とする表示品位の低下が発生し、良好な表示
をうることができなかった。
【0040】実施の形態2 図7は本発明の実施の形態2の液晶表示装置に用いる第
1の基板であるアレイ基板を示す平面説明図である。
【0041】図7において、11はソースバスライン、
12はゲートバスライン、28は電荷とり出し部、29
はショートリングを示す。
【0042】本実施の形態においては、アレイ基板70
上にマトリクス状に配置された複数のゲートバスライン
12と複数のソースバスライン11が遮光部である。製
造工程での静電気による各信号線間での静電放電などに
よる信号線やTFTなどの破壊を防止するためにソース
バスラインとゲートバスラインが同電位となるようにシ
ョートリングが設けられている。このショートリングを
介して、ソースバスラインとゲートバスラインとのそれ
ぞれまたは両方に接続するように電荷とり出し部28を
設ける。この電荷とり出し部からゲートバスラインとソ
ースバスラインとに電圧を印加して、遮光部であるゲー
トバスラインとソースバスライン上の電位を調整し、そ
の他の部分とに電位を生じさせ帯電させたスペーサを散
布することによってスペーサ17を遮光部上に選択配置
した。
【0043】前記アレイ基板の作製方法を説明する。
【0044】透明ガラス基板上にスパッタリング法でC
r、Ta、Tiなどの金属膜を成膜後、2つの互いに対
をなすクシ型電極40、ソースバスライン11、ゲート
バスライン12、ショートリング29などの接続配線を
通常のパターニング法で形成した。さらに、スイッチン
グ素子としてTFT(図示なし)をマトリクス状に形成
し、アレイ基板とした。さらにポリイミド薄膜を厚さ1
00nm形成し、配向膜16とし、その表面にラビング
による配向処理を施した。なお、ソースバスライン、ゲ
ートバスライン、ショートリングなどの接続配線の材料
として、Cr、Ta、Tiなどの他導電性を有するもの
は何でも用いうることは言うまでもないことであるが、
その際接続配線の比抵抗が、その他の部分より低いほう
が望ましい。
【0045】このようにして作製した第1の基板にスペ
ーサの散布をおこなった。
【0046】図8はスペーサ散布方法およびその装置を
示す説明図である。図8において30は秤量部、31は
絶縁体圧送ホース、32は絶縁体圧送ホース、33はチ
ャンバー、34はガスタンク、35は絶縁ノズル、36
も絶縁体マニホールド、37は電荷供給用ピン、38は
イオン化装置、41は電荷供給配線である。ノズル35
の下端部より正の極性に帯電させたスペーサ17を噴出
し、電荷供給用ピン37よりショートリング(図示な
し)を介して遮光部を接続し、かつステージ39より配
向膜16を塗布したアレイ基板70にはスペーサと同一
極性の正の電荷を与えた。
【0047】なお、本実施の形態においては、前述の実
施の形態1の液晶表示装置と同条件の帯電散布方式によ
るスペーサ散布をおこなった。ただし、本実施の形態に
おいてはスペーサをアレイ基板の遮光部に選択配置でき
るように散布した。用いたガラス基板の抵抗値を測定し
たところ、10の18乗Ω以上の抵抗値であった。また
同様にアレイ基板の遮光部であるショートリングからソ
ースバスライン、ゲートバスラインと続く配線の抵抗値
を測定した結果、3MΩであった。
【0048】図9は、本発明の実施の形態2の液晶表示
装置の断面説明図である。図9において、10は下部透
明ガラス基板、11はソースバスライン、16および2
4はポリイミド薄膜である配向膜、17はスペーサ、2
0は上部透明ガラス基板、21は金属膜であるCrをフ
ォトリソグラフィで格子状にパターニングしたBM、2
3は着色層であり、赤(R)、緑(G)または青(B)
の3原色の着色層、25は液晶分子、26はアクリル系
樹脂の保護膜であるオーバコート層、70はアレイ基
板、80はカラーフィルタ基板、90は偏光板である。
作製した液晶表示装置は同一基板上に一対の電極を一定
距離を隔てて配設し、当該電極間に印加される基板面に
ほぼ平行な電界により一定方向に配向させた液晶分子を
基板面にほぼ平行に応答させる面内応答型液晶表示装置
である。
【0049】本実施の形態においては、パネル間隔を保
持するために用いるスペーサは、アレイ基板70におけ
る遮光部であるマトリクス状に配置された複数のゲート
バスライン12と複数のソースバスライン11上に選択
配置した。
【0050】したがって、本液晶表示装置においては、
第1の基板であるアレイ基板と第2の基板であるカラー
フィルタ基板の基板間隔(パネルギャップ)を適正かつ
均一に保持するために、スペーサの散布密度を高くして
も表示部分にはスペーサはほとんど存在しない。したが
って、スペーサに起因する光漏れが少なく、表示品位の
高い液晶表示装置がえられた。なお、今回は通常のスペ
ーサ散布量で従来と同等以上の表示品位がえられたが、
多量のスペーサ散布をおこなっても表示部分にはスペー
サはほとんど配置されない。以上のようにしてスペーサ
周辺での光漏れによるコントラスト低下を原因とする表
示品位の低下は発生しなかった。
【0051】比較例2 つぎに、本発明の液晶表示装置に対する比較例2につい
て説明する。
【0052】本比較例においては、前述の実施の形態2
における液晶表示装置と同様に作製したカラーフィルタ
基板、アレイ基板をもちいた。ただし、本比較例におい
ては帯電散布方式によるスペーサ散布において、本発明
の実施の形態2のように遮光部を帯電させることなくス
ペーサのみに正の電荷を与え、ステージを接地とした。
【0053】本比較例の液晶表示装置を観察したとこ
ろ、アレイ基板上のスペーサの半数以上が表示部分に位
置し、結果としてスペーサに起因する光漏れを原因とす
る表示品位の低下が発生し、良好な表示をうることがで
きなかった。
【0054】比較例3 つぎに、本発明の液晶表示装置に対する比較例3につい
て説明する。
【0055】本比較例においては、前述の実施の形態1
における液晶表示装置と同様に作製した帯電散布方式に
よるスペーサ散布をおこなった。ただし、本比較例にお
いてはスペーサを散布するカラーフィルタ基板におい
て、BMとしてCrなどの金属膜ではなく、黒色有機顔
料の絶縁膜を用いた。カラーフィルタ基板のBMの抵抗
値を測定した結果、10の11乗Ωであった。
【0056】本比較例の液晶表示装置を観察したとこ
ろ、カラーフィルタ基板上のスペーサの半数以上が表示
部分に位置し、結果としてスペーサに起因する光漏れを
原因とする表示品位の低下が発生し、良好な表示をうる
ことができなかった。
【0057】
【発明の効果】本発明の請求項1にかかわるアクティブ
マトリクス型液晶表示装置の製造方法は、第1の基板、
第1の基板に対向する第2の基板、第1の基板の第2の
基板側に設けられる第1の配向膜、第2の基板の第1の
基板側に設けられる第2の配向膜、第1および第2の基
板間に挟持される液晶組成物、第1および第2の基板間
に散布される複数のスペーサ、第1の基板上にマトリク
ス状に配置された複数のゲートバスラインと複数のソー
スバスライン、複数のゲートバスラインと複数のソース
バスラインとによって囲まれてなる複数の画素部のそれ
ぞれに設けられるスイッチング素子ならびに第2の基板
上に設けられるブラックマトリックスからなり、第2の
基板には表示用電極がなく、ブラックマトリックスが遮
光部であるアクティブマトリクス型液晶表示装置の製造
方法であって、(a)スペーサを帯電させ、(b)前記
遮光部に接続して電位調整用の端子を設け、該端子から
遮光部に電位を印加し、遮光部をスペーサと逆極性に帯
電させることによって遮光部上にスペーサを選択配置す
る工程を含むことにより、遮光部上にスペーサを選択配
置することにより、第1の基板および対向する第2の基
板間隔を適正かつ均一に保持するために、スペーサの散
布密度を高くしても表示部分にはスペーサはほとんど配
置されないため、スペーサ周辺での光漏れによるコント
ラスト低下が少なく、表示品位の高い液晶表示装置がえ
られるという効果を奏する。
【0058】本発明の請求項2にかかわるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の製造方法は、前記第2の基板
の遮光部以外の部分は前記スペーサと同極性に帯電させ
ることにより、多量のスペーサ散布をおこなっても表示
部分にスペーサが配置されることなく、スペーサ周辺で
の光漏れによるコントラスト低下が少なく、表示品位の
高い液晶表示装置がえられるという効果を奏する。
【0059】本発明の請求項3にかかわるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の製造方法は、前記遮光部の抵
抗値がその他の部分に比べ、5桁以上異なることによ
り、多量のスペーサ散布をおこなっても表示部分にスペ
ーサが配置されることなく、スペーサ周辺での光漏れに
よるコントラスト低下が少なく、表示品位の高い液晶表
示装置がえられるという効果を奏する。
【0060】本発明の請求項4にかかわるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の製造方法は、第1の基板、第
1の基板に対向する第2の基板、第1の基板の第2の基
板側に設けられる第1の配向膜、第2の基板の第1の基
板側に設けられる第2の配向膜、第1および第2の基板
間に挟持される液晶組成物、第1および第2の基板間に
散布される複数のスペーサ、第1の基板上にマトリクス
状に配置された複数のゲートバスラインと複数のソース
バスライン、複数のゲートバスラインと複数のソースバ
スラインとによって囲まれてなる複数の画素部のそれぞ
れに設けられるスイッチング素子ならびに第2の基板上
に設けられるブラックマトリックスからなり、第2の基
板には表示用電極がなく、複数のゲートバスラインと複
数のソースバスラインが遮光部であるアクティブマトリ
クス型液晶表示装置の製造方法であって、(a)前記ス
ペーサを帯電させ、(b)前記複数のゲートバスライン
と複数のソースバスラインに接続して電位調整用の端子
を設け、該端子から電位を遮光部に印加し、遮光部をス
ペーサと逆極性に帯電させることによって遮光部上にス
ペーサを選択配置する工程を含むことにより、遮光部上
にスペーサを選択配置することにより、第1の基板およ
び対向する第2の基板間隔を適正かつ均一に保持するた
めに、スペーサの散布密度を高くしても表示部分にはス
ペーサはほとんど配置されないため、スペーサ周辺での
光漏れによるコントラスト低下が少なく、表示品位の高
い液晶表示装置がえられるという効果を奏する。
【0061】本発明の請求項5にかかわるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の製造方法は、前記遮光部以外
の第1の基板上の部分は前記スペーサと同極性に帯電さ
せることにより、多量のスペーサ散布をおこなっても表
示部分にスペーサが配置されることなく、スペーサ周辺
での光漏れによるコントラスト低下が少なく、表示品位
の高い液晶表示装置がえられるという効果を奏する。
【0062】本発明の請求項6にかかわるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の製造方法は、前記遮光部の抵
抗値がその他の部分に比べ、5桁以上異なることによ
り、多量のスペーサ散布をおこなっても表示部分にスペ
ーサが配置されることなく、スペーサ周辺での光漏れに
よるコントラスト低下が少なく、表示品位の高い液晶表
示装置がえられるという効果を奏する。
【0063】本発明の請求項7にかかわるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置は、第1の基板、第1の基板に
対向する第2の基板、第1の基板の第2の基板側に設け
られる第1の配向膜、第2の基板の第1の基板側に設け
られる第2の配向膜、第1および第2の基板間に挟持さ
れる液晶組成物、第1および第2の基板間に散布される
複数のスペーサ、第1の基板上にマトリクス状に配置さ
れた複数のゲートバスラインと複数のソースバスライ
ン、複数のゲートバスラインと複数のソースバスライン
とによって囲まれてなる複数の画素部のそれぞれに設け
られるスイッチング素子ならびに第2の基板上に設けら
れるブラックマトリックスからなり、第2の基板に表示
用電極がなく、ブラックマトリックスが遮光部であり、
該遮光部上にスペーサが選択配置されているので、遮光
部上にスペーサを選択配置することにより、第1の基板
および対向する第2の基板間隔を適正かつ均一に保持す
るために、スペーサの散布密度を高くしても表示部分に
はスペーサはほとんど配置されないため、スペーサ周辺
での光漏れによるコントラスト低下が少なく、表示品位
の高い液晶表示装置がえられるという効果を奏する。
【0064】本発明の請求項8にかかわるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置は、前記第2の基板上の遮光部
の抵抗値がその他の部分に比べ、5桁以上異なるので、
多量のスペーサ散布をおこなっても表示部分にスペーサ
が配置されることなく、スペーサ周辺での光漏れによる
コントラスト低下が少なく、表示品位の高い液晶表示装
置がえられるという効果を奏する。
【0065】本発明の請求項9にかかわるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置は、第1の基板、第1の基板に
対向する第2の基板、第1の基板の第2の基板側に設け
られる第1の配向膜、第2の基板の第1の基板側に設け
られる第2の配向膜、第1および第2の基板間に挟持さ
れる液晶組成物、第1および第2の基板間に散布される
複数のスペーサ、第1の基板上にマトリクス状に配置さ
れた複数のゲートバスラインと複数のソースバスライ
ン、複数のゲートバスラインと複数のソースバスライン
とによって囲まれてなる複数の画素部のそれぞれに設け
られるスイッチング素子ならびに第2の基板上に設けら
れるブラックマトリックスからなり、第2の基板に表示
用電極がなく、前記複数のゲートバスラインと複数のソ
ースバスラインが遮光部であり、該遮光部上にスペーサ
が選択配置されているので、遮光部上にスペーサを選択
配置することにより、第1の基板および対向する第2の
基板間隔を適正かつ均一に保持するために、スペーサの
散布密度を高くしても表示部分にはスペーサはほとんど
配置されないため、スペーサ周辺での光漏れによるコン
トラスト低下が少なく、表示品位の高い液晶表示装置が
えられるという効果を奏する。
【0066】本発明の請求項10にかかわるアクティブ
マトリクス型液晶表示装置は、前記遮光部の抵抗値がそ
の他の部分に比べ、5桁以上異なるもので、多量のスペ
ーサ散布をおこなっても表示部分にスペーサが配置され
ることなく、スペーサ周辺での光漏れによるコントラス
ト低下が少なく、表示品位の高い液晶表示装置がえられ
るという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明にかかわる液晶表示装置の部分断面説
明図である。
【図2】 本発明にかかわるスペーサの遮光部上の選択
配置の原理を示す説明図である。
【図3】 本発明にかかわるスペーサの遮光部上の選択
配置の原理を示す説明図である。
【図4】 本発明にかかわる液晶表示装置に用いるカラ
ーフィルタ基板の平面説明図である。
【図5】 本発明にかかわる液晶表示装置に用いるカラ
ーフィルタ基板の部分拡大平面説明図である。
【図6】 本発明にかかわるスペーサ散布方法およびそ
の装置を示す説明図である。
【図7】 本発明にかかわる液晶表示装置に用いるアレ
イ基板の平面説明図である。
【図8】 本発明にかかわるスペーサ散布方法およびそ
の装置を示す説明図である。
【図9】 本発明にかかわる液晶表示装置の部分断面説
明図である。
【図10】 従来のスペーサ散布方法およびその装置を
示す説明図である。
【図11】 比較例としての従来の液晶表示装置の部分
断面説明図である。
【符号の説明】
10 下部透明ガラス基板、11 ソースバスライン、
12 ゲートバスライン、16 配向膜、17 スペー
サ、20 上部透明ガラス基板、21 ブラックマトリ
クス、23 着色層、24 配向膜、25 液晶分子、
26 オーバーコート層、27 電荷とり出し端子部、
28 電荷とり出し端子部、29 ショートリング、3
0 秤量部、31、32 絶縁体圧送ホース、33 チ
ャンバー、34 ガスタンク、35 絶縁体ノズル、3
6 絶縁体マニホールド、37電荷供給用ピン、38
イオン化装置、39 ステージ、40a 第1のクシ型
電極、40b 第2のクシ型電極、51 周辺ブラック
マトリックス、52 非塗布部、70 アレイ基板、8
0 カラーフィルタ基板、90 偏光板。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の基板、第1の基板に対向する第2
    の基板、第1の基板の第2の基板側に設けられる第1の
    配向膜、第2の基板の第1の基板側に設けられる第2の
    配向膜、第1および第2の基板間に挟持される液晶組成
    物、第1および第2の基板間に散布される複数のスペー
    サ、第1の基板上にマトリクス状に配置された複数のゲ
    ートバスラインと複数のソースバスライン、複数のゲー
    トバスラインと複数のソースバスラインとによって囲ま
    れてなる複数の画素部のぞれぞれに設けられるスイッチ
    ング素子ならびに第2の基板上に設けられるブラックマ
    トリックスからなり、第2の基板には表示用電極がな
    く、ブラックマトリックスが遮光部であるアクティブマ
    トリクス型液晶表示装置の製造方法であって、(a)ス
    ペーサを帯電させ、(b)前記遮光部に接続して電位調
    整用の端子を設け、該端子から遮光部に電位を印加し、
    遮光部をスペーサと逆極性に帯電させることによって遮
    光部上にスペーサを選択配置する工程を含むアクティブ
    マトリクス型液晶表示装置の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記第2の基板の遮光部以外の部分は前
    記スペーサと同極性に帯電させる請求項1記載のアクテ
    ィブマトリクス型液晶表示装置の製造方法。
  3. 【請求項3】 前記遮光部の抵抗値がその他の部分に比
    べ、5桁以上異なる請求項1または2記載のアクティブ
    マトリクス型液晶表示装置の製造方法。
  4. 【請求項4】 第1の基板、第1の基板に対向する第2
    の基板、第1の基板の第2の基板側に設けられる第1の
    配向膜、第2の基板の第1の基板側に設けられる第2の
    配向膜、第1および第2の基板間に挟持される液晶組成
    物、第1および第2の基板間に散布される複数のスペー
    サ、第1の基板上にマトリクス状に配置された複数のゲ
    ートバスラインと複数のソースバスライン、複数のゲー
    トバスラインと複数のソースバスラインとによって囲ま
    れてなる複数の画素部のそれぞれに設けられるスイッチ
    ング素子ならびに第2の基板上に設けられるブラックマ
    トリックスからなり、第2の基板には表示用電極がな
    く、複数のゲートバスラインと複数のソースバスライン
    が遮光部であるアクティブマトリクス型液晶表示装置の
    製造方法であって、(a)前記スペーサを帯電させ、
    (b)前記複数のゲートバスラインと複数のソースバス
    ラインに接続して電位調整用の端子を設け、該端子から
    電位を遮光部に印加し、遮光部をスペーサと逆極性に帯
    電させることによって遮光部上にスペーサを選択配置す
    る工程を含むアクティブマトリクス型液晶表示装置の製
    造方法。
  5. 【請求項5】 前記遮光部以外の第1の基板上の部分は
    前記スペーサと同極性に帯電させる請求項4記載のアク
    ティブマトリクス型液晶表示装置の製造方法。
  6. 【請求項6】 前記遮光部の抵抗値がその他の部分に比
    べ、5桁以上異なる請求項4または5記載のアクティブ
    マトリクス型液晶表示装置の製造方法。
  7. 【請求項7】 第1の基板、第1の基板に対向する第2
    の基板、第1の基板の第2の基板側に設けられる第1の
    配向膜、第2の基板の第1の基板側に設けられる第2の
    配向膜、第1および第2の基板間に挟持される液晶組成
    物、第1および第2の基板間に散布される複数のスペー
    サ、第1の基板上にマトリクス状に配置された複数のゲ
    ートバスラインと複数のソースバスライン、複数のゲー
    トバスラインと複数のソースバスラインとによって囲ま
    れてなる複数の画素部のそれぞれに設けられるスイッチ
    ング素子ならびに第2の基板上に設けられるブラックマ
    トリックスからなり、第2の基板に表示用電極がなく、
    ブラックマトリックスが遮光部であり、該遮光部上にス
    ペーサが選択配置されてなるアクティブマトリクス型液
    晶表示装置。
  8. 【請求項8】 前記第2の基板上の遮光部の抵抗値がそ
    の他の部分に比べ、5桁以上異なる請求項7記載のアク
    ティブマトリクス型液晶表示装置。
  9. 【請求項9】 第1の基板、第1の基板に対向する第2
    の基板、第1の基板の第2の基板側に設けられる第1の
    配向膜、第2の基板の第1の基板側に設けられる第2の
    配向膜、第1および第2の基板間に挟持される液晶組成
    物、第1および第2の基板間に散布される複数のスペー
    サ、第1の基板上にマトリクス状に配置された複数のゲ
    ートバスラインと複数のソースバスライン、複数のゲー
    トバスラインと複数のソースバスラインとによって囲ま
    れてなる複数の画素部のそれぞれに設けられるスイッチ
    ング素子ならびに第2の基板上に設けられるブラックマ
    トリックスからなり、第2の基板に表示用電極がなく、
    前記複数のゲートバスラインと複数のソースバスライン
    が遮光部であり、該遮光部上にスペーサが選択配置され
    てなるアクティブマトリクス型液晶表示装置。
  10. 【請求項10】 前記遮光部の抵抗値がその他の部分に
    比べ、5桁以上異なる請求項9記載のアクティブマトリ
    クス型液晶表示装置。
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