JPH11193916A - 有害ガスの燃焼式除害装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 有害ガスを含む排ガスを燃焼除害する燃焼式
除害装置において、燃焼除害に伴って生成するＳｉ
Ｏ₂ 、Ｐ₂ Ｏ₅ 等の固体が燃焼室内に付着堆積すること
なく、長期間にわたり安定した燃焼状態を保持すること
ができるとともに、有害ガスを効率よく燃焼処理しうる
装置を開発する。 【解決手段】 燃焼室内に、付着物掻き取り用の回転お
よび軸方向に往復運動するスクレーパーを設けるほか
に、該スクレーパーへの付着物を掻き取るための固定突
起を燃焼室の非燃焼域内に設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、有害ガスの除害装
置に関し、さらに詳細には半導体製造工場等で使用され
た後排出される有害ガスを、燃焼させることにより無害
な物質に変える、或いは容易に無害化できる物質に変え
るための燃焼式除害装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年の半導体工業の発展とともに、半導
体製造工程においては非常に多種のガスが使用されるよ
うになってきている。しかしこれらのガスは、人体及び
環境にとって有害な物質が多く、工場外へ排出するに先
立って有効に除害することは必須のこととなっている。
これらのガスを燃焼させることにより分解処理する燃焼
式除害方法は、排ガスの組成や物性によらず適用するこ
とができる便利な方法であり、特に高濃度、大流量の場
合は乾式除害方法や湿式除害方法と比較して効率的であ
る。

【０００３】燃焼式除害方法により処理される有害ガス
は、プロパン等の燃料ガス、空気または酸素、必要に応
じ不活性ガスと燃焼室において混合、燃焼し、無害な酸
化物あるいは容易に無害化できる物質となり処理され
る。従来より使用されている一般的な燃焼式除害装置
は、処理対象の有害ガスを含むガス、燃料ガス、空気ま
たは酸素等のガスを燃焼室へ導入するための配管、有害
ガスを燃焼するための燃焼室、燃焼ノズル、燃焼後のガ
スを外部へ放出するための排出口から構成されている。
また、さらにこれらの他に火炎を安定した状態に維持す
るための円錐状またはそれに類似する形状の保炎器が設
置されている装置がある。

【０００４】このような構成の燃焼式除害装置で、有害
ガスは燃焼処理されガスの排出口より排気されて大気に
放出されるかあるいは次の処理装置へ送られる。しか
し、処理対象ガスが、例えばシラン、ホスフィン、アル
シン、ジボランのようなガスである場合は、燃焼により
各々ケイ素、リン、ヒ素、ホウ素の固体粒子状酸化物が
生成し、大部分は燃焼室内を通過し後工程で処理される
が、一部は燃焼室内に固体付着物として堆積し以下のよ
うな不具合を発生させるので問題となっている。

【０００５】すなわち、上記のような固体付着物は、有
害ガスの燃焼開始とともに発生し燃焼室内の内壁に堆積
していき、燃焼時間の経過とともにその付着面積、厚み
が増加する。その結果、有害ガスと燃料ガス、空気、酸
素等との均一な混合が妨げられて完全燃焼が阻害され、
燃焼温度の低下、有害ガスである処理対象ガスの分解率
の低下を生じるだけでなく、固体付着物の堆積量が多大
な場合は失火する恐れがある。そのため、従来より、堆
積する固体付着物を掻き取り除去する目的で、燃焼室内
にスクレーパーを設ける方法（特開平４−５０４６１３
号公報）が提案されている。

【０００６】スクレーパーは一般的に、燃焼室壁面に堆
積した固体付着物を掻き取り除去するための付着壁面に
対応した形状のものが用いられる。また、保炎器が設置
されている燃焼式除害装置では、壁面の他に円錐形状の
保炎器上面に堆積した固体付着物を掻き取り除去するた
めのΛ形状部分、ノズル側面に堆積した固体付着物を掻
き取り除去するための一対の角状部分を有しているもの
もある。このような構成のスクレーパーを所定の速度で
回転させると同時に所定の周期で回転軸方向に往復運動
させることにより、燃焼室壁面、保炎器上面或いはノズ
ル内面に堆積する固体付着物を掻き取り除去している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スクレ
ーパーを用いると固体付着物の堆積状況はスクレーパー
を用いない場合よりは良好であるが、該スクレーパーの
表面に固体付着物が堆積するという問題が新たに発生す
る。特に保炎器を使用した場合、スクレーパーのΛ形状
部分に固体付着物が多く堆積し、そのためスクレーパー
を使用しても、やがて前述の問題を生じることになるの
で分解掃除は避けることができず、メンテナンスに多く
の手間がかかるという不都合があった。従って、本発明
が解決しようとする課題は、これらの従来技術の欠点を
解決し、有害ガスの分解率の低下を生じることがなく、
不完全燃焼や失火の原因となるような固体付着物の堆積
を抑制することができ、長時間にわたり安全で安定した
燃焼状態が得られるような有害ガスの燃焼式除害装置を
提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、これらの
課題を解決すべく鋭意検討した結果、燃焼室内を機械的
に運動するスクレーパーにより燃焼室内に堆積する固体
付着物を掻き取り除去する有害ガスの燃焼式除害装置に
おいて、燃焼室の非燃焼域に掻き取り用の突起を設置す
れば、突起には固体付着物が付着し難く、スクレーパー
の一部分が該非燃焼域に移動した時に、突起によりスク
レーパーの表面に堆積する固体付着物を掻き取り除去す
ることが可能であることを見い出し本発明に到達した。

【０００９】すなわち本発明は、少なくとも、燃焼室、
燃焼ノズル、有害ガスを含むガスを該燃焼ノズルへ導入
するための配管、燃料ガスを該燃焼ノズルへ導入するた
めの配管、空気または酸素を該燃焼室へ導入するための
配管、燃焼後のガスを外部へ放出するための排出口、該
燃焼室内に堆積する固体付着物を機械的運動により掻き
取り除去するスクレーパー、及び該スクレーパーの駆動
部により構成される有害ガスの燃焼式除害装置におい
て、該スクレーパーの表面に堆積する固体付着物を掻き
取り除去するための突起が、該燃焼室の非燃焼域内に設
置されていることを特徴とする有害ガスの燃焼式除害装
置である。

【００１０】また、本発明は、少なくとも、燃焼室、燃
焼ノズル、有害ガスを含むガスを該燃焼ノズルへ導入す
るための配管、燃料ガスを該燃焼ノズルへ導入するため
の配管、空気または酸素を該燃焼室へ導入するための配
管、燃焼後のガスを外部へ放出するための排出口、該燃
焼ノズルの中心軸上に設置される保炎器、該燃焼室内に
堆積する固体付着物を機械的運動により掻き取り除去す
るスクレーパー、及び該スクレーパーの駆動部により構
成される有害ガスの燃焼式除害装置において、該スクレ
ーパーの表面に堆積する固体付着物を掻き取り除去する
ための突起が、該燃焼ノズルが設けられている壁面及び
／または該燃焼ノズルの内面に設置されていることを特
徴とする有害ガスの燃焼式除害装置でもある。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明は、半導体製造工程等にお
いて使用された有害なガスを、燃焼させることにより無
害な物質に変える、或いは容易に無害化できる物質に変
えるための燃焼式除害装置であり、少なくとも、燃焼
室、燃焼ノズル、有害ガスを含むガスを燃焼ノズルへ導
入するための配管、燃料ガスを燃焼ノズルへ導入するた
めの配管、空気または酸素を燃焼室へ導入するための配
管、燃焼後のガスを外部へ放出するための排出口、燃焼
室内に堆積する固体付着物を掻き取り除去するスクレー
パー、及びスクレーパーの駆動部により構成され、さら
にスクレーパーの表面に堆積する固体付着物を掻き取り
除去するための突起を、燃焼室の非燃焼域内に設置した
ことを特徴とする有害ガスの燃焼式除害装置である。

【００１２】以下に図面を用いて本発明の有害ガスの燃
焼式除害装置の例を具体的に説明するが、本発明はこれ
らにより限定されるものではない。図１は、本発明の有
害ガスの燃焼式除害装置の一例の断面図である。図１の
符号１は燃焼室、符号２は燃焼ノズル、符号３は有害ガ
スを含むガスを燃焼ノズルへ導入するための配管、符号
４は燃料ガスを燃焼ノズルへ導入するための配管、符号
５は空気または酸素を燃焼室へ導入するための配管、符
号６は燃焼後のガスを外部へ放出するための排出口、符
号７は燃焼室内に堆積する固体付着物を機械的運動によ
り掻き取り除去するスクレーパー、符号８はスクレーパ
ーの駆動部、符号９は保炎器、符号１０及び符号１１は
突起である。

【００１３】図２乃至図４は、本発明の有害ガスの燃焼
式除害装置のうちの主要部である燃焼室の例を示す断面
図である。図２は有害ガスを下方向に向かって噴出する
形式の燃焼室、図３は図２の燃焼室に保炎器を設置した
燃焼室、図４は有害ガスを横方向に向かって噴出する形
式の燃焼室を示すものであり、これらは本発明が何れの
形式の燃焼室にも適用可能であることを示すものであ
る。図２乃至図４の符号５ａは空気または酸素を噴出す
るノズル、符号５ｂは空気または酸素の吹き出し口であ
る。配管３を経由し燃焼ノズル２より噴出する有害ガス
を含むガスと、配管４を経由し燃焼ノズル２より噴出す
る燃料ガスは、配管５を経由しノズル５ａ及び吹き出し
口５ｂより噴出する空気または酸素により燃焼室１の内
部で燃焼し、燃焼後のガスは排出口６より外部へ放出さ
れる。

【００１４】図６及び図７は、本発明で使用する突起の
一例を示す斜視図である。本発明に使用する突起の設置
場所、個数、形状、大きさ等の条件は、燃焼室の形状、
保炎器の有無、有害ガスの種類、燃焼温度、処理量等の
条件により適宜決められる。突起の設置場所は、固体付
着物の堆積が少ない燃焼室の非燃焼域内であることが必
須の条件である。該非燃焼域は、燃焼室内であって、燃
焼ノズルのガス出口側端部より燃焼ノズルの中心軸に対
して鋭角の角度の開きを持って燃焼室壁面に向かって引
いた線の軌跡により構成される円錐面の外側となる部
分、及び燃焼ノズル内部を含むものである。これを図示
すると図２乃至図４の点線で囲まれた部分となる。

【００１５】前記鋭角、すなわち燃焼ノズルのガス出口
側端部より燃焼室壁面に向かって引かれる線と燃焼ノズ
ルの中心軸が交差してできる角度は、燃焼ノズルより噴
出する有害ガスを含むガスの流量、燃料ガスの流量及び
ノズル５ａ、噴き出し口５ｂより噴出する空気または酸
素の流量によって決まるが、通常は２０〜３０度であ
る。従って突起の設置場所は、燃焼室の非燃焼域内のう
ち、燃焼ノズルのガス出口側端部より燃焼ノズルの中心
軸に対して３０度の角度の開きを持って燃焼室壁面に向
かって引いた線の軌跡により構成される円錐面の外側と
なる部分、及び／または燃焼ノズル内部であることが好
ましい。

【００１６】突起の具体的な設置場所としては、図２、
図４のように保炎器のない装置では、燃焼ノズルが設け
られている壁面が設置しやすい。また、図３のように円
錐状またはそれに類似する形状の保炎器が燃焼ノズルの
中心軸上にあり、さらに保炎器の上面の固体付着物を掻
き取り除去する形状のスクレーパーが設置される燃焼室
では、突起を燃焼ノズルが設けられている壁面の他、燃
焼ノズルの内面に設置することが望ましい。また、図５
のような同軸の燃焼ノズルが使用され、例えば２ａから
有害ガスを含むガス、２ｂから燃料ガスが噴出される場
合もあるが、このような構造のノズルにおいてもその内
面に突起を設置することが可能である。また、同軸の燃
焼ノズルにおいても、有害ガスを含むガスを噴出するノ
ズルまたは燃料ガスを噴出するノズルのうち外部のノズ
ルの端部より、燃焼ノズルの中心軸に対して３０度の角
度の開きを持って燃焼室壁面に向かって線を引き、非燃
焼域内の突起の設置場所を設定することができる。

【００１７】本発明においては、固体付着物の掻き取り
除去する効率を上げるために、突起を燃焼ノズルが設け
られている壁面のみに設置した場合においても、燃焼ノ
ズルの内面のみに設置した場合においても、或いは両方
に設置した場合においても、燃焼ノズル、スクレーパ
ー、保炎器の中心が、同一中心軸上にあるように構成さ
れ、該中心軸上の一点を中心とする円の円周上に同形状
で同じ大きさの複数個の突起が等間隔で設置されること
が望ましい。なお、図６は燃焼室内の燃焼ノズルが設け
られている壁面に設置するための突起１０を、図７は燃
焼ノズルの内面に設置するための突起１１を例示したも
のである。

【００１８】本発明に使用する突起の形状、大きさにつ
いては特に制限はないが、燃焼室及びノズルの空間を狭
めないように板状または棒状であることが望ましい。例
えば図６の（１）（４）は板状の突起、（２）は貫通穴
のある板状の突起、（６）は棒状の突起、（３）（５）
（７）は棒状のものを組み合せた突起であり、これらは
適宜使用することができる。通常、突起が板状の場合、
その厚さは０．２〜５ｍｍ程度であり、棒状の場合、断
面積が１〜１００ｍｍ² 程度である。また、突起１０ま
たは突起１１の材料については、処理対象ガスの腐食
性、燃焼温度等の条件に耐えることができるものであれ
ば特に制限はなく、例えばＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１６
Ｌなどの耐食性金属材料を用いることができる。これら
の突起は、例えば溶接により固定すればよい。

【００１９】また、スクレーパーの表面に堆積する固体
付着物を効率よく掻き取り除去するために、突起のスク
レーパーに近接する側の線、面または凹凸の形状が、ス
クレーパーの突起に近接する側の線、面または凹凸の形
状に合わせて形成されることが望ましい。さらに、スク
レーパーの回転軸方向の運動により突起とスクレーパー
が最接近した時の間隙は、通常０．５ｍｍ〜２０ｍｍ、
好ましくは１ｍｍ〜１０ｍｍ程度であるように設定され
る。その他、有害ガスを含むガスを燃焼ノズルへ導入す
るための配管、燃料ガスを燃焼ノズルへ導入するための
配管、空気または酸素を燃焼室へ導入するための配管、
燃焼後のガスを外部へ放出するための排出口、スクレー
パーの駆動部等の装置については、公知のものを用いる
ことができる。

【００２０】本発明の燃焼式除害装置で処理できる有害
ガスとしては、ＳｉＨ₄ 、ＳｉＨ₂Ｃｌ₂ 、Ｓｉ
₂ Ｈ₆ 、ＳｉＣｌ₄ 、ＳｉＦ₄ 、（Ｃ₂ Ｈ₅ Ｏ）₄ Ｓ
ｉ、ＡｓＨ₃、ＰＨ₃ 、ＰＣｌ₃ 、Ｂ₂ Ｈ₆ 、ＢＦ₃ 、
ＢＣｌ₃ 、ＧｅＨ₄ 、ＮＨ₃ 、ＮＦ₃、Ｇａ（ＣＨ₃ ）
₃ 、Ｉｎ（ＣＨ₃ ）₃ 、ＴｉＣｌ₄ 、ＷＦ₆ 等を例示す
ることができるが、特に固体の酸化物が発生するケイ
素、リン、ヒ素、ホウ素、チタン、タングステン、ゲル
マニウム、ガリウムまたはインジウム等を含む化合物の
有害ガスの処理に効果を発揮することができる。また、
燃料ガスとしては、水素ガス、プロパンガス、天然ガス
等公知のものを使用することができる。これらのガス
は、必要に応じ窒素等の不活性ガスと共に所定の流量で
燃焼ノズル２より燃焼室へ導入される。一方、空気また
は酸素が、ノズル５ａ及び吹き出し口５ｂより予め決め
られた流量で燃焼室へ導入される。

【００２１】有害ガスは燃焼して酸化物の一部が固体付
着物として燃焼室内に堆積する。これらの固体付着物は
時間の経過とともにその量が増加するが、固体付着物は
一定の厚みになると、スクレーパー７により掻き取ら
れ、間隙に相当する厚さよりも厚く堆積することはな
い。また、スクレーパー７の表面にも固体付着物は堆積
するが、スクレーパー７が燃焼ノズル２に接近した時に
突起１０または突起１１により掻き取り除去されるの
で、固体付着物は各々の間隙に相当する厚さよりも厚く
堆積することはない。

【００２２】

【実施例】実施例１ 図３の構造を有する燃焼式除害装置（燃焼室の内径：２
００ｍｍ、燃焼室の高さ：３５０ｍｍ、燃焼ノズルの内
径：８５ｍｍ、保炎器の最大径：１７０ｍｍ、燃焼室壁
面とスクレーパーのクリアランス：３ｍｍ、スクレーパ
ーと保炎器のクリアランス：３ｍｍ）において、図３の
ように突起を設置し、ＳｉＨ₄ を含むガスを処理した。
突起の形状は図６の（５）及び図７の（３）に示す直径
２ｍｍの棒状を組み合せたものから成るもので、ＳＵＳ
３１６の材質のものを各々２個使用した。また、スクレ
ーパーが軸方向に往復運動し各々の突起と最接近したと
きの距離が１ｍｍになるように設定した。また、燃焼ノ
ズル２からは、プロパンガスが２２ｌ／ｍｉｎ、Ｎ₂ が
２００ｌ／ｍｉｎ導入されるように設定し、ノズル５ａ
からは、空気が１００ｌ／ｍｉｎ、吹き出し口５ｂから
は、空気が６５０ｌ／ｍｉｎ導入されるように設定し
た。

【００２３】上記のように設定した条件で連続運転され
ている燃焼式除害装置で、ＳｉＨ₄を４ｌ／ｍｉｎの流
量で燃焼ノズル２へ導入し、燃焼処理を１日８時間ずつ
連続で行ない、これを４２日間継続した。燃焼状態の変
化を確認するために、保炎器内に設置した温度センサー
により燃焼室内部の温度を測定するとともに、燃焼室出
口のガス中のＳｉＨ₄ の濃度を測定した。尚、ＳｉＨ₄
の濃度の測定には、バイオニクス（株）社製ＴＧ−４０
００ＸＡ（検出下限１．５ｐｐｍ）を用いた。結果を表
１に示す。ＳｉＨ₄ の燃焼実験を３３６時間（８時間×
４２日間）行なったが、実験終了後における固体付着物
の状況は、燃焼室の壁面、保炎器の上面及びスクレーパ
ーに若干堆積している程度であった。また、燃焼室温度
の測定結果および燃焼室出口のＳｉＨ₄ 濃度の測定結果
から、ＳｉＨ₄ は完全に燃焼したことが確認された。

【００２４】

【表１】

【００２５】比較例１ 突起を使用しないこと以外は実施例１で使用したものと
同じ燃焼式除害装置を用いてＳｉＨ₄ を処理した。ま
た、処理条件、測定も実施例１と同様に行なった。結果
を表２に示す。比較例では、３時間を経過した時点で炎
の偏りが観察され、１６時間（８時間×２日間）を経過
した時点で、燃焼室出口においてＳｉＨ₄ が検出され、
その後、その濃度が高くなる傾向が測定されたので、実
験を２４時間（８時間×３日間）で中止した。実験終了
後、燃焼室を点検したところ、燃焼室の壁面及び保炎器
の上面には若干の固体付着物が堆積している程度であっ
たが、スクレーパーの表面には多量の固体付着物が堆積
していた。また、燃焼室温度の測定結果および燃焼室出
口のＳｉＨ₄ 濃度の測定結果から、時間の経過とともに
スクレーパーに堆積するＳｉＯ₂ の量が多くなり、これ
が燃料ガスと空気の均一な混合を阻害し、燃焼温度を下
げ、ＳｉＨ₄ の分解効率を下げたと推定された。

【００２６】

【表２】

【００２７】

【発明の効果】本発明の燃焼式除害装置は、燃焼室壁面
等に堆積する固体付着物を回転及び回転軸方向の往復運
動により掻き取り除去するスクレーパーと、燃焼室の非
燃焼域内にスクレーパーの表面に堆積する固体付着物を
掻き取り除去するための突起が設置されているので、燃
焼室内のどの部分においても固体付着物が多量に堆積す
ることがない。その結果、長時間にわたり安全で安定し
た燃焼状態が得られ、不完全燃焼や失火の恐れなしに有
害ガスを燃焼処理することができるようになった。ま
た、燃焼装置のメンテナンスの手間を著しく軽減するこ
とができるようになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の有害ガスの燃焼式除害装置の一例を示
す断面図

【図２】本発明の有害ガスの燃焼式除害装置の燃焼室の
一例を示す断面図

【図３】本発明の有害ガスの燃焼式除害装置の燃焼室の
別の例を示す断面図

【図４】本発明の有害ガスの燃焼式除害装置の燃焼室の
さらに別の例を示す断面図

【図５】本発明の有害ガスの燃焼式除害装置の燃焼ノズ
ルの一例を示す断面図

【図６】燃焼ノズルが設けられる面に設置される突起の
例を示す斜視図

【図７】燃焼ノズルの内面に設置される突起の例を示す
斜視図

【符号の説明】

１ 燃焼室 ２ 燃焼ノズル ３ 有害ガスを含むガスを燃焼ノズルへ導入するための
配管 ４ 燃料ガスを燃焼ノズルへ導入するための配管 ５ 空気または酸素を燃焼室へ導入するための配管 ６ 燃焼後のガスを外部へ放出するための排出口 ７ スクレーパー ８ スクレーパーの駆動部 ９ 保炎器 １０ 燃焼ノズルが設けられている壁面に設置される突
起 １１ 燃焼ノズルの内面に設置される突起

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 笠谷 尚史 神奈川県平塚市田村5181番地 日本パイオ ニクス株式会社平塚研究所内 (72)発明者 中村 源志 神奈川県平塚市田村5181番地 日本パイオ ニクス株式会社平塚研究所内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも、燃焼室、燃焼ノズル、有害
   ガスを含むガスを該燃焼ノズルへ導入するための配管、
   燃料ガスを該燃焼ノズルへ導入するための配管、空気ま
   たは酸素を該燃焼室へ導入するための配管、燃焼後のガ
   スを外部へ放出するための排出口、該燃焼室内に堆積す
   る固体付着物を機械的運動により掻き取り除去するスク
   レーパー、及び該スクレーパーの駆動部により構成され
   る有害ガスの燃焼式除害装置において、該スクレーパー
   の表面に堆積する固体付着物を掻き取り除去するための
   突起が、該燃焼室の非燃焼域内に設置されていることを
   特徴とする有害ガスの燃焼式除害装置。
2. 【請求項２】 少なくとも、燃焼室、燃焼ノズル、有害
   ガスを含むガスを該燃焼ノズルへ導入するための配管、
   燃料ガスを該燃焼ノズルへ導入するための配管、空気ま
   たは酸素を該燃焼室へ導入するための配管、燃焼後のガ
   スを外部へ放出するための排出口、該燃焼ノズルの中心
   軸上に設置される保炎器、該燃焼室内に堆積する固体付
   着物を機械的運動により掻き取り除去するスクレーパ
   ー、及び該スクレーパーの駆動部により構成される有害
   ガスの燃焼式除害装置において、該スクレーパーの表面
   に堆積する固体付着物を掻き取り除去するための突起
   が、該燃焼ノズルが設けられている壁面及び／または該
   燃焼ノズルの内面に設置されていることを特徴とする有
   害ガスの燃焼式除害装置。
3. 【請求項３】 突起の設置場所が、燃焼ノズルのガス出
   口側端部より該燃焼ノズルの中心軸に対して３０度の角
   度の開きを持って燃焼室壁面に向かって引いた線の軌跡
   により構成される円錐面の外側となる部分、及び／また
   は該燃焼ノズル内部である請求項１に記載の有害ガスの
   燃焼式除害装置。
4. 【請求項４】 突起が板状または棒状であり、かつ、突
   起のスクレーパーに近接する側の線、面または凹凸の形
   状が、該スクレーパーの突起に近接する側の線、面また
   は凹凸の形状に合わせて形成され、該スクレーパーの機
   械的運動により該突起と該スクレーパーが最接近した時
   の間隙が、０．５ｍｍ〜２０ｍｍであるように設定され
   た請求項１または請求項２に記載の有害ガスの燃焼式除
   害装置。
5. 【請求項５】 有害ガスが、ケイ素、リン、ヒ素、ホウ
   素、チタン、タングステン、ゲルマニウム、ガリウムま
   たはインジウムを含む化合物のガスである請求項１また
   は請求項２に記載の有害ガスの燃焼式除害装置。