JPH11186372A - 静電チャック - Google Patents
静電チャックInfo
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- JPH11186372A JPH11186372A JP36477997A JP36477997A JPH11186372A JP H11186372 A JPH11186372 A JP H11186372A JP 36477997 A JP36477997 A JP 36477997A JP 36477997 A JP36477997 A JP 36477997A JP H11186372 A JPH11186372 A JP H11186372A
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 32
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- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 5
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 吸着した被吸着体のパーティクルによる汚染
が少ない静電チャックを提供すること。 【解決手段】 電極２と、その上に設けられた絶縁層３
とを有し、電極２に電圧を印加することにより、絶縁層
３上に被吸着体Ｗを静電吸着する静電チャックが構成さ
れる。絶縁層３の少なくとも被吸着体Ｗを吸着する吸着
面３ａが、鉛筆硬度で５Ｈ以下の樹脂で構成されてい
る。
が少ない静電チャックを提供すること。 【解決手段】 電極２と、その上に設けられた絶縁層３
とを有し、電極２に電圧を印加することにより、絶縁層
３上に被吸着体Ｗを静電吸着する静電チャックが構成さ
れる。絶縁層３の少なくとも被吸着体Ｗを吸着する吸着
面３ａが、鉛筆硬度で５Ｈ以下の樹脂で構成されてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置等
に使用され、半導体ウエハ等の被吸着体を静電吸着する
ための静電チャックに関する。
に使用され、半導体ウエハ等の被吸着体を静電吸着する
ための静電チャックに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置においては、半導体ウエ
ハ等の被処理基板を吸着固定するために静電チャックが
用いられている。静電チャックは、電極とその外側の絶
縁層とで構成され、絶縁層上に被処理基板を載置すると
ともに、電極に給電することにより、被処理基板を静電
吸着するものである。
ハ等の被処理基板を吸着固定するために静電チャックが
用いられている。静電チャックは、電極とその外側の絶
縁層とで構成され、絶縁層上に被処理基板を載置すると
ともに、電極に給電することにより、被処理基板を静電
吸着するものである。
【０００３】このような静電チャック用絶縁部材の材料
として、近年、耐摩耗性が良好で吸着力が高いこと等か
ら、酸化アルミニウム（アルミナ）、窒化アルミニウ
ム、チタン酸カルシウム等のセラミックスを使用したも
のが増加している。
として、近年、耐摩耗性が良好で吸着力が高いこと等か
ら、酸化アルミニウム（アルミナ）、窒化アルミニウ
ム、チタン酸カルシウム等のセラミックスを使用したも
のが増加している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、アルミ
ナ等のセラミックスは、絶縁層表面からセラミックスの
粒子が脱落しやすい。したがって、静電チャックに半導
体ウエハを接触させた際に、半導体ウエハの裏面がパー
ティクルにより汚染されやすいという問題がある。
ナ等のセラミックスは、絶縁層表面からセラミックスの
粒子が脱落しやすい。したがって、静電チャックに半導
体ウエハを接触させた際に、半導体ウエハの裏面がパー
ティクルにより汚染されやすいという問題がある。
【０００５】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであって、吸着した被吸着体のパーティクルによる汚
染が少ない静電チャックを提供することを目的とする。
のであって、吸着した被吸着体のパーティクルによる汚
染が少ない静電チャックを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、吸着体の被吸着面
をパーティクルの発生の少ない一定硬度以下の樹脂で構
成することにより、被吸着体のパーティクルによる汚染
が少ない静電チャックが得られるという知見を得て本発
明を完成するに至った。
を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、吸着体の被吸着面
をパーティクルの発生の少ない一定硬度以下の樹脂で構
成することにより、被吸着体のパーティクルによる汚染
が少ない静電チャックが得られるという知見を得て本発
明を完成するに至った。
【０００７】本発明は、このような知見に基づいてなさ
れたものであり、以下の（１）〜（３）を提供するもの
である。 （１）電極と、その上に設けられた絶縁層とを有し、電
極に電圧を印加することにより、絶縁層上に被吸着体を
静電吸着する静電チャックであって、前記絶縁層の少な
くとも前記被吸着体を吸着する吸着面が、鉛筆硬度で５
Ｈ以下の樹脂で構成されていることを特徴とする静電チ
ャック。 （２）前記吸着面を構成する樹脂が耐プラズマ性を有す
る樹脂であることを特徴とする静電チャック。 （３）前記吸着面を構成する樹脂がポリイミド系樹脂で
あることを特徴とする静電チャック。
れたものであり、以下の（１）〜（３）を提供するもの
である。 （１）電極と、その上に設けられた絶縁層とを有し、電
極に電圧を印加することにより、絶縁層上に被吸着体を
静電吸着する静電チャックであって、前記絶縁層の少な
くとも前記被吸着体を吸着する吸着面が、鉛筆硬度で５
Ｈ以下の樹脂で構成されていることを特徴とする静電チ
ャック。 （２）前記吸着面を構成する樹脂が耐プラズマ性を有す
る樹脂であることを特徴とする静電チャック。 （３）前記吸着面を構成する樹脂がポリイミド系樹脂で
あることを特徴とする静電チャック。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明の実施の形態について説明する。図１および図２は、
本発明の実施形態に係る静電チャックを示す断面図であ
り、図１は単極型のものを示し、図２は双極型ものを示
す。
明の実施の形態について説明する。図１および図２は、
本発明の実施形態に係る静電チャックを示す断面図であ
り、図１は単極型のものを示し、図２は双極型ものを示
す。
【０００９】図１の単極型の静電チャック１は、上下の
絶縁層３の間に電極２が設けられて構成されており、基
台４の上に固定されている。電極２は例えば銅で構成さ
れており、この電極２には直流電源５が接続されてい
る。そして、この直流電源５から電極２に給電されるこ
とにより、上の絶縁層３の吸着面３ａに載置されている
被吸着体である半導体ウエハＷが静電吸着される。
絶縁層３の間に電極２が設けられて構成されており、基
台４の上に固定されている。電極２は例えば銅で構成さ
れており、この電極２には直流電源５が接続されてい
る。そして、この直流電源５から電極２に給電されるこ
とにより、上の絶縁層３の吸着面３ａに載置されている
被吸着体である半導体ウエハＷが静電吸着される。
【００１０】図２の双極型の静電チャック１’は、上下
の絶縁層３の間に一対の電極２ａ、２ｂが設けられてお
り、これらに電源５が接続されており、電源５からこれ
らの電極にそれぞれ逆極性の電荷が供給されて上の絶縁
層３の吸着面３ａに載置されている半導体ウエハＷが静
電吸着される。
の絶縁層３の間に一対の電極２ａ、２ｂが設けられてお
り、これらに電源５が接続されており、電源５からこれ
らの電極にそれぞれ逆極性の電荷が供給されて上の絶縁
層３の吸着面３ａに載置されている半導体ウエハＷが静
電吸着される。
【００１１】図１および図２のいずれも、絶縁層３の少
なくとも吸着面３ａは鉛筆硬度５以下の樹脂で構成され
ている。樹脂はセラミックスに比較してパーティクルの
発生が少ないからウエハＷの汚染を少なくすることがで
きる。また、単に樹脂を採用しても、その硬度が鉛筆硬
度で５Ｈを超えると、ウエハとの吸着・離脱の繰り返し
により樹脂が劣化しやすく、パーティクルが発生しやす
くなることから、鉛筆硬度５Ｈ以下の樹脂で構成される
ことが好ましく、中でも特にウエハ離脱地の応答性を速
くすることができることから、２Ｂ以上から４Ｈ以下が
好ましい。
なくとも吸着面３ａは鉛筆硬度５以下の樹脂で構成され
ている。樹脂はセラミックスに比較してパーティクルの
発生が少ないからウエハＷの汚染を少なくすることがで
きる。また、単に樹脂を採用しても、その硬度が鉛筆硬
度で５Ｈを超えると、ウエハとの吸着・離脱の繰り返し
により樹脂が劣化しやすく、パーティクルが発生しやす
くなることから、鉛筆硬度５Ｈ以下の樹脂で構成される
ことが好ましく、中でも特にウエハ離脱地の応答性を速
くすることができることから、２Ｂ以上から４Ｈ以下が
好ましい。
【００１２】静電チャックは、半導体デバイスの製造工
程のうちエッチング等のプラズマ処理に多用されること
から、上記吸着面３ａを構成する樹脂は、ポリイミド系
樹脂、４フッ化エチレン樹脂等の耐プラズマ性を有する
樹脂であることが好ましく、中でも特に耐プラズマ性に
優れたポリイミド系樹脂で構成することが好ましい。
程のうちエッチング等のプラズマ処理に多用されること
から、上記吸着面３ａを構成する樹脂は、ポリイミド系
樹脂、４フッ化エチレン樹脂等の耐プラズマ性を有する
樹脂であることが好ましく、中でも特に耐プラズマ性に
優れたポリイミド系樹脂で構成することが好ましい。
【００１３】絶縁膜３は、その少なくとも吸着面３ａが
上記樹脂で構成されていればよく、他は特に限定される
ものではない。既存のセラミックスまたは樹脂で構成さ
れた絶縁膜の表面上に上記樹脂を接着等により形成して
もよいし、絶縁膜全部を上記樹脂で構成してもよい。ま
た、アルミナ等のセラミックスの上に電極をメッキや印
刷等で形成した後、その上に上記樹脂を貼り付けるよう
にしてもよい。
上記樹脂で構成されていればよく、他は特に限定される
ものではない。既存のセラミックスまたは樹脂で構成さ
れた絶縁膜の表面上に上記樹脂を接着等により形成して
もよいし、絶縁膜全部を上記樹脂で構成してもよい。ま
た、アルミナ等のセラミックスの上に電極をメッキや印
刷等で形成した後、その上に上記樹脂を貼り付けるよう
にしてもよい。
【００１４】このように、被吸着体であるウエハＷの吸
着面３ａを鉛筆硬度５Ｈ以下の樹脂で構成することによ
り、パーティクルの発生が少なくなり、ウエハＷに対す
るパーティクルによる汚染が少ない静電チャックを得る
ことができる。
着面３ａを鉛筆硬度５Ｈ以下の樹脂で構成することによ
り、パーティクルの発生が少なくなり、ウエハＷに対す
るパーティクルによる汚染が少ない静電チャックを得る
ことができる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。 （第１実施例）双極型電極を形成したφ２００ｍｍ（８
インチ）のアルミナ基板に、表１に示す鉛筆硬度を有す
るポリイミド系樹脂を絶縁層として貼り付け、双極型静
電チャックとした。得られた静電チャックに±５００Ｖ
を印加してシリコンウエハを吸着させた後、吸着させた
シリコンウエハの裏面のパーティクル数をパーティクル
カウンターを用いて測定した。
インチ）のアルミナ基板に、表１に示す鉛筆硬度を有す
るポリイミド系樹脂を絶縁層として貼り付け、双極型静
電チャックとした。得られた静電チャックに±５００Ｖ
を印加してシリコンウエハを吸着させた後、吸着させた
シリコンウエハの裏面のパーティクル数をパーティクル
カウンターを用いて測定した。
【００１６】表１にウエハを１０回、１００回、５００
回吸着させたときのパーティクル数を示す。表１に示す
ように、樹脂の鉛筆硬度が５Ｈ以下である実施例１，２
では、５００回吸着後もパーティクル数は１００個／８
inchウエハ以下であった。これに対し、樹脂の鉛筆硬度
が５Ｈを超える比較例１ではウエハを１００回吸着させ
た時点でパーティクル数が増加し、５００個／８inchウ
エハ以上となった。
回吸着させたときのパーティクル数を示す。表１に示す
ように、樹脂の鉛筆硬度が５Ｈ以下である実施例１，２
では、５００回吸着後もパーティクル数は１００個／８
inchウエハ以下であった。これに対し、樹脂の鉛筆硬度
が５Ｈを超える比較例１ではウエハを１００回吸着させ
た時点でパーティクル数が増加し、５００個／８inchウ
エハ以上となった。
【００１７】
【表１】
【００１８】（第２実施例）窒化アルミニウム絶縁層を
有する単極型静電チャック表面に、表２に示す鉛筆硬度
を有する４フッ化エチレン樹脂を貼り付けた（実施例
３，４）。比較のため、４フッ化エチレン樹脂を貼り付
けない静電チャックも作成した（比較例２）。得られた
静電チャックに１０００Ｖを印加してシリコンウエハを
吸着させた後、吸着させたシリコンウエハの裏面のパー
ティクル数をパーティクルカウンターを用いて測定し
た。
有する単極型静電チャック表面に、表２に示す鉛筆硬度
を有する４フッ化エチレン樹脂を貼り付けた（実施例
３，４）。比較のため、４フッ化エチレン樹脂を貼り付
けない静電チャックも作成した（比較例２）。得られた
静電チャックに１０００Ｖを印加してシリコンウエハを
吸着させた後、吸着させたシリコンウエハの裏面のパー
ティクル数をパーティクルカウンターを用いて測定し
た。
【００１９】表２にウエハを１０回、１００回、５００
回吸着させたときのパーティクル数を示す。表２に示す
ように、樹脂の鉛筆硬度が５Ｈ以下である実施例１，２
では、５００回吸着後もパーティクル数は１００個／８
inchウエハ以下であった。これに対し、ポリイミド樹脂
を用いなかった比較例２ではウエハを１０回吸着させた
時点ですでにパーティクル数が１０００個／８inchウエ
ハ以上となった。
回吸着させたときのパーティクル数を示す。表２に示す
ように、樹脂の鉛筆硬度が５Ｈ以下である実施例１，２
では、５００回吸着後もパーティクル数は１００個／８
inchウエハ以下であった。これに対し、ポリイミド樹脂
を用いなかった比較例２ではウエハを１０回吸着させた
時点ですでにパーティクル数が１０００個／８inchウエ
ハ以上となった。
【００２０】
【表２】
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
絶縁層の少なくとも被吸着体吸着面を鉛筆硬度５Ｈ以下
の樹脂で構成することにより、吸着した被吸着体のパー
ティクルによる汚染が少ない静電チャックを得ることが
できる。
絶縁層の少なくとも被吸着体吸着面を鉛筆硬度５Ｈ以下
の樹脂で構成することにより、吸着した被吸着体のパー
ティクルによる汚染が少ない静電チャックを得ることが
できる。
【図１】本発明が適用される単極型の静電チャックを示
す断面図。
す断面図。
【図２】本発明が適用される双極型の静電チャックを示
す断面図。
す断面図。
１，１’……静電チャック ２，２ａ，２ｂ……電極 ３……絶縁層 ４……基台 ５……電源
Claims (3)
- 【請求項１】 電極と、その上に設けられた絶縁層とを
有し、電極に電圧を印加することにより、絶縁層上に被
吸着体を静電吸着する静電チャックであって、前記絶縁
層の少なくとも前記被吸着体を吸着する吸着面が、鉛筆
硬度で５Ｈ以下の樹脂で構成されていることを特徴とす
る静電チャック。 - 【請求項２】 前記吸着面を構成する樹脂が耐プラズマ
性を有する樹脂であることを特徴とする請求項１に記載
の静電チャック。 - 【請求項３】 前記吸着面を構成する樹脂がポリイミド
系樹脂であることを特徴とする請求項２に記載の静電チ
ャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36477997A JPH11186372A (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | 静電チャック |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36477997A JPH11186372A (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | 静電チャック |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11186372A true JPH11186372A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18482647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36477997A Pending JPH11186372A (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | 静電チャック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11186372A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006340463A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Olympus Corp | インパクト駆動アクチュエータ |
| JP2018186217A (ja) * | 2017-04-27 | 2018-11-22 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 静電吸着チャック及びその製造方法並びに半導体装置の製造方法 |
-
1997
- 1997-12-22 JP JP36477997A patent/JPH11186372A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006340463A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Olympus Corp | インパクト駆動アクチュエータ |
| JP2018186217A (ja) * | 2017-04-27 | 2018-11-22 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 静電吸着チャック及びその製造方法並びに半導体装置の製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060113 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060207 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061017 |