JPH11183911A - Liquid crystal element - Google Patents

Liquid crystal element

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JPH11183911A
JPH11183911A JP35396097A JP35396097A JPH11183911A JP H11183911 A JPH11183911 A JP H11183911A JP 35396097 A JP35396097 A JP 35396097A JP 35396097 A JP35396097 A JP 35396097A JP H11183911 A JPH11183911 A JP H11183911A
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JP
Japan
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liquid crystal
alignment film
film
alignment
substrates
Prior art date
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Application number
JP35396097A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tsuneki Nukanobu
恒樹 糠信
Takashi Enomoto
隆 榎本
Yoshinari Yoshino
佳成 吉野
Kiyoshi Miura
聖志 三浦
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Publication of JPH11183911A publication Critical patent/JPH11183911A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent orientation defect of a liquid crystal caused by a 1st oriented film exposed on a uniaxial orientation-processed surface due to the surface ruggedness of the 1st oriented film by being controlling asymmetry of switching, in a liquid crystal element of an asymmetrical structure wherein the 1st oriented films with a specific volume resistivity are provided on both substrates and an oriented film processed with uniaxial orientation is provided on the oriented film on one of the substrates. SOLUTION: Electrodes 12, 22 and 1st oriented films 13, 23 having volume resistivities of 1×10<4> -1×10<10> Ωcm are formed on substrates 11, 21, respectively, and on the 1st oriented film 23 on the substrate 21, a 2nd oriented film 24 having a 1×10<10> Ωcm or smaller volume resistivity and a 100 Å or thinner film thickness is provided for flattening the surface ruggedness of the 1st oriented film 23, and further, a 3rd oriented film 25 is formed thereon, which is formed out of polyamide, polyimide, etc., with a 100 Å or thinner film thickness and processed with uniaxial orientation.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、フラットパネルデ
ィスプレイ、プロジェクションディスプレイ、プリンタ
などに使用される液晶素子に関する。
The present invention relates to a liquid crystal device used for a flat panel display, a projection display, a printer, and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、広範に用いられてきている液晶素
子としては、各画素毎にTFTを備えたパネルが代表的
である。このTFTタイプにおいて不十分な点として
は、視野角特性が狭いこと、大面積プロセスが困難なこ
と、駆動電力が高いことなどが挙げられる。これらの問
題点を解決する手段として、クラーク(Clark)及
びラガーウォル(Lagerwall)らにより提案さ
れた、双安定性を有する液晶素子(特開昭56−107
216号公報、米国特許第4367924号明細書)の
応用開発が進められている。
2. Description of the Related Art In recent years, as a liquid crystal element which has been widely used, a panel having a TFT for each pixel is representative. Insufficient points in this TFT type include narrow viewing angle characteristics, difficulty in large-area processing, and high driving power. As a means for solving these problems, a liquid crystal device having bistability proposed by Clark and Lagerwall et al. (JP-A-56-107)
No. 216, U.S. Pat. No. 4,367,924).

【0003】この双安定性を有する液晶としては、一般
にカイラルスメクチックC相(SmC* )またはカイラ
ルスメクチックH相(SmH* )を呈する強誘電性液晶
が用いられている。この強誘電性液晶は、自発分極によ
り反転スイッチングを行うため、メモリ性のある双安定
性を実現できる。このため、単純マトリクス構成におい
てデューティ比の小さいパルス駆動が可能で、TFTタ
イプよりも低電力駆動が可能である。また、マトリクス
構成が容易に作用できるため、大面積化が容易に実現で
きる。さらに、強誘電性液晶の大きな特徴である視野角
の広さがあるため、TFTタイプの弱点を補うことが可
能となる。
As the liquid crystal having the bistability, a ferroelectric liquid crystal exhibiting a chiral smectic C phase (SmC * ) or a chiral smectic H phase (SmH * ) is generally used. Since the ferroelectric liquid crystal performs inversion switching by spontaneous polarization, bistability with memory properties can be realized. For this reason, pulse driving with a small duty ratio is possible in a simple matrix configuration, and low-power driving can be performed as compared with the TFT type. Further, since the matrix configuration can be easily operated, a large area can be easily realized. Furthermore, the wide viewing angle, which is a major feature of ferroelectric liquid crystals, makes it possible to compensate for the weak points of the TFT type.

【0004】このようなカイラルスメクチック液晶素子
においては、例えば「強誘電性液晶の構造と物性」(コ
ロナ社、福田敦夫、竹添秀雄著、編、1990年)に記
載されているように、ジグザグ状の配向欠陥が発生して
コントラストを著しく低下させるという問題があった。
この欠陥は上下基板間に担持されたカイラルスメクチッ
ク液晶の層状構造が2種類のシェブロン構造を形成して
いることに起因している。最近、このような欠点を持つ
シェブロン構造を改良し、ブックシェルフと言われる層
状構造或いはそれに近い構造を現出させ、高コントラス
トで良好な液晶素子を実現しようという動きがある(例
えば「次世代液晶ディスプレイと液晶材料」(株)シー
エムシー、福田敦夫編、1992年)。
In such a chiral smectic liquid crystal element, for example, as described in “Structure and Physical Properties of Ferroelectric Liquid Crystal” (Corona Co., Atsuo Fukuda, Hideo Takezoe, eds., 1990), a zigzag shape is used. However, there is a problem that the alignment defects are generated and the contrast is remarkably reduced.
This defect is attributable to the fact that the layered structure of the chiral smectic liquid crystal carried between the upper and lower substrates forms two types of chevron structures. Recently, there has been a movement to improve the chevron structure having such disadvantages and to realize a layered structure called a bookshelf or a structure similar thereto, thereby realizing a high-contrast and good liquid crystal element (for example, “Next-generation liquid crystal”). Display and Liquid Crystal Materials ", edited by CMC Co., Atsuo Fukuda, 1992).

【0005】ブックシェルフ或いはそれに近い構造を現
出する液晶材料としてパーフルオロエーテル側鎖を持つ
液晶化合物(米国特許第5262082号明細書、国際
出願公開WO93/22396、1993年第4回強誘
電液晶国際会議P−46、Mark D.Radcli
ffe等)が開示されている。この液晶は、電場などの
外部場を用いずとも、ブックシェルフ或いはそれに近い
層傾き角の小さな構造を現出することができ、高速、高
精細、大面積の液晶素子、表示装置に適している。
A liquid crystal compound having a perfluoroether side chain as a liquid crystal material exhibiting a bookshelf or a structure similar thereto (US Pat. No. 5,262,082, International Patent Publication WO 93/22396, 4th International Ferroelectric Liquid Crystal 1993) Conference P-46, Mark D. Radcli
ffe etc.) are disclosed. This liquid crystal can exhibit a bookshelf or a structure with a small layer tilt angle close to the bookshelf without using an external field such as an electric field, and is suitable for high-speed, high-definition, large-area liquid crystal elements and display devices. .

【0006】一方、上記液晶材料を良好に配向させる素
子構成として、例えば特開昭61−20930号公報等
に記載のように、非対称な配向膜を設けた構成が挙げら
れる。この構成は、一方の配向膜に一軸配向処理を施
し、他方には一軸配向処理を施さない構成とすることに
よって、液晶の配向を一軸配向処理された側から高秩序
に制御することができ、良好な液晶配向状態が得易くな
る。
On the other hand, as an element configuration for satisfactorily aligning the liquid crystal material, there is a configuration in which an asymmetric alignment film is provided as described in, for example, JP-A-61-20930. In this configuration, by performing uniaxial alignment processing on one alignment film and not performing uniaxial alignment processing on the other, the alignment of the liquid crystal can be controlled in a high order from the uniaxially aligned side, It becomes easy to obtain a good liquid crystal alignment state.

【0007】上記非対称な配向膜を設けた構成において
は、配向状態の一軸性は良好になるものの、スイッチン
グに非対称な特性が出たり、強誘電性液晶の双安定性が
阻害されることがあり、いわゆるスイッチングのメモリ
性が低減されるという問題があった。このような問題を
解決すべく、両基板の極性を調節するようにしたものが
特開昭62−235928号公報や特開昭63−228
130号公報に開示されている。
In the configuration having the asymmetric alignment film, although the uniaxiality of the alignment state is improved, an asymmetrical characteristic may occur in switching, and the bistability of the ferroelectric liquid crystal may be hindered. Thus, there is a problem that the so-called switching memory property is reduced. In order to solve such a problem, those in which the polarities of both substrates are adjusted are disclosed in JP-A-62-235928 and JP-A-63-228.
No. 130 is disclosed.

【0008】また、上下非対称構成において、素子の動
作温度を考慮すると、ある一定温度で上記スイッチング
の対称性が得られたとしても、液晶分子に接する材料間
で電気物性の温度依存性が異なるため、温度が変化する
とスイッチングの対称性が得られなくなるという問題が
生じた。この問題を解決すべく、双方の基板に体積抵抗
値が1×104 〜1×1010Ωcmの配向膜を設けるこ
とにより、温度依存を小さくすることができる。この構
成を図2に示す。図中、11,21は基板、12,22
はITOからなる電極、13,23が上記特定の体積抵
抗値を有する配向膜、15はカイラルスメクチック液
晶、25は一軸配向処理された配向膜である。
Further, in the vertically asymmetric configuration, considering the operating temperature of the device, even if the above-mentioned switching symmetry is obtained at a certain temperature, the temperature dependence of the electrical physical properties differs between the materials in contact with the liquid crystal molecules. However, there has been a problem that switching symmetry cannot be obtained when the temperature changes. In order to solve this problem, by providing an alignment film having a volume resistance value of 1 × 10 4 to 1 × 10 10 Ωcm on both substrates, the temperature dependence can be reduced. This configuration is shown in FIG. In the figure, 11 and 21 are substrates, 12, 22
Is an electrode made of ITO, 13 and 23 are alignment films having the above-mentioned specific volume resistance value, 15 is a chiral smectic liquid crystal, and 25 is an alignment film subjected to uniaxial alignment processing.

【0009】また、液晶の自発分極の存在が、液晶素子
内の電荷の偏在を誘因し、スイッチング不良を起こすと
いういわゆる反電場の問題を抑制するために、配向膜を
低インピーダンス化するという例が、特開昭63−12
1020号公報や、特開昭64−49023号公報など
で開示されている。これを図2に示した構成に応用する
には、自発分極が20nC/cm2 以上の液晶15と配
向膜25にポリイミドやポリアミドを用いた場合、配向
膜25の膜厚を100Å以下にすることが望ましい。
Further, in order to suppress the so-called anti-electric field problem that the presence of spontaneous polarization of the liquid crystal induces the uneven distribution of charges in the liquid crystal element and cause switching failure, the impedance of the alignment film is reduced. JP-A-63-12
No. 1020 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-49023. In order to apply this to the structure shown in FIG. 2, when the liquid crystal 15 having a spontaneous polarization of 20 nC / cm 2 or more and the polyimide or polyamide are used for the alignment film 25, the thickness of the alignment film 25 is set to 100 ° or less. Is desirable.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】図2に示した上下非対
称構成において、反電場の問題を抑制した配向膜13、
23としては、導電性微粒子を有機または無機バインダ
ー中に分散させた膜で構成することが望ましい。しかし
ながら、配向膜13、23の表面には凝集微粒子による
高低差が数百Å程度の凹凸が密に存在し、上記したよう
に配向膜25の膜厚を100Åにすると、被覆状態が低
下して配向膜23の一部が露出してしまい、その部分で
一軸性が弱くなり、当該部分に接した液晶分子がランダ
ム配向となり良好な画像表示が得られないという問題が
生じた。
In the vertically asymmetrical configuration shown in FIG. 2, the alignment film 13, which suppresses the problem of the anti-electric field,
23 is desirably formed of a film in which conductive fine particles are dispersed in an organic or inorganic binder. However, unevenness having a height difference of about several hundreds of degrees due to the aggregated fine particles is densely present on the surfaces of the alignment films 13 and 23, and when the thickness of the alignment film 25 is set to 100 ° as described above, the covering state is reduced. A part of the alignment film 23 is exposed, the uniaxiality is weakened at that part, and the liquid crystal molecules in contact with the part are randomly aligned, which causes a problem that a good image display cannot be obtained.

【0011】本発明の目的は、一対の基板の両方に上記
した特定の体積抵抗値の配向膜を設け、少なくとも一方
の基板においては、該配向膜上に一軸配向処理を施した
配向膜を設けた液晶素子において、上記した配向欠陥の
ない液晶配向状態を得て良好な画像表示を実現すること
にある。
An object of the present invention is to provide an alignment film having the above-mentioned specific volume resistance on both of a pair of substrates, and to provide an alignment film subjected to a uniaxial alignment treatment on at least one of the substrates. It is another object of the present invention to provide a liquid crystal device having a liquid crystal alignment state free of the above-mentioned alignment defect and realizing good image display.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明は、それぞれに電
極を有する一対の基板間に液晶を挟持してなる液晶素子
であって、各基板の電極上に1×104 〜1×1010Ω
cmの体積抵抗値を有する第一の配向膜を設け、少なく
とも一方の基板において、第一の配向膜の上に、該第一
の配向膜の平坦化膜である第二の配向膜と、膜厚が10
0Å以下で表面に一軸配向処理が施された第三の配向膜
を設けたことを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a liquid crystal element comprising a pair of substrates each having an electrode and a liquid crystal interposed between the pair of substrates, wherein 1 × 10 4 to 1 × 10 10 Ω
Provide a first alignment film having a volume resistance value of cm, on at least one substrate, on the first alignment film, a second alignment film that is a planarization film of the first alignment film, a film Thickness 10
A third alignment film whose surface is uniaxially oriented at 0 ° or less is provided.

【0013】本発明は、上記第二の配向膜を付加して第
一の配向膜の表面平坦化を図ることにより、100Å以
下の薄い第三の配向膜の被覆率を100%として該第三
の配向膜に接する液晶分子を良好に一軸配向させ、良好
な画像表示を得るものである。
According to the present invention, by adding the second alignment film and flattening the surface of the first alignment film, the coverage of the thin third alignment film having a thickness of 100 ° or less can be reduced to 100%. The liquid crystal molecules in contact with the alignment film of (1) are favorably uniaxially oriented to obtain good image display.

【0014】従って、本発明においては、前記導電性微
粒子を膜内に分散させてなる配向膜を第一の配向膜とし
て用いた場合でもその表面凹凸の影響を第二の配向膜で
防止することができる。また、特に本発明においては、
第二の配向膜の体積抵抗値を1×1010Ωcm以下に設
定することにより、第二の配向膜導入による極端な反電
場増大を抑えることができ、第二の配向膜を設けない場
合と比較してもスイッチング特性を同等に保つことがで
きる。
Therefore, in the present invention, even when the alignment film formed by dispersing the conductive fine particles in the film is used as the first alignment film, the influence of the surface unevenness is prevented by the second alignment film. Can be. Also, particularly in the present invention,
By setting the volume resistance value of the second alignment film to 1 × 10 10 Ωcm or less, it is possible to suppress an extreme increase in the counter electric field due to the introduction of the second alignment film. Even in comparison, the switching characteristics can be kept equal.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】図1に本発明の液晶素子の一実施
形態の部分断面模式図を示す。図中、11,21は基
板、12,22は電極、13,23は第一の配向膜、1
5は液晶化合物、24は第二の配向膜、25は第三の配
向膜である。
FIG. 1 is a schematic partial sectional view of an embodiment of the liquid crystal device of the present invention. In the figure, 11 and 21 are substrates, 12 and 22 are electrodes, 13 and 23 are first alignment films,
5 is a liquid crystal compound, 24 is a second alignment film, and 25 is a third alignment film.

【0016】本発明において用いられる基板11、21
は通常ガラス基板であるが、必要な強度や透明性を備え
ていれば、プラスチック基板なども用いることができ
る。また、反射型の液晶素子の場合には、基板11、2
1の一方にシリコン基板などの不透明な基板が用いられ
る場合もある。
Substrates 11, 21 used in the present invention
Is usually a glass substrate, but a plastic substrate or the like can be used as long as it has the necessary strength and transparency. In the case of a reflection type liquid crystal element, the substrates 11, 2
An opaque substrate such as a silicon substrate may be used for one of the substrates.

【0017】電極12、22は通常、ITO等の透明導
電材が用いられるが、反射型の液晶素子の場合に、反射
側の基板には反射部材を兼ねた金属が用いられる場合も
ある。また、本実施形態においては、電極12は紙面に
平行な、電極22は紙面に垂直なストライプ状に形成さ
れた単純マトリクス電極を構成している。
The electrodes 12 and 22 are usually made of a transparent conductive material such as ITO. However, in the case of a reflection type liquid crystal element, the reflection side substrate may be made of a metal which also serves as a reflection member. Further, in the present embodiment, the electrode 12 constitutes a simple matrix electrode formed in a stripe shape parallel to the paper surface and the electrode 22 in a stripe shape perpendicular to the paper surface.

【0018】本発明において、第一の配向膜13、23
は、体積抵抗値が1×104 〜1×1010Ωcmに設定
されている。このような体積抵抗値の配向膜として具体
的には、有機または無機バインダー中に導電性微粒子を
分散させた膜とすることにより好適に得られる。ここで
用いられる有機バインダーとしては、ポリイミド、ポリ
カーボネートが好ましく用いられ、無機バインダーとし
ては、SiOx の重合体や、Al23が好ましく用いら
れる。また、導電性微粒子としては、好ましくは平均粒
径が100〜1000ÅのSnOx 、TiOxが好まし
く用いられる。
In the present invention, the first alignment films 13 and 23
Has a volume resistance value of 1 × 10 4 to 1 × 10 10 Ωcm. Specifically, the alignment film having such a volume resistance value can be suitably obtained by forming a film in which conductive fine particles are dispersed in an organic or inorganic binder. As the organic binder used here, polyimide and polycarbonate are preferably used, and as the inorganic binder, a polymer of SiO x or Al 2 O 3 is preferably used. As the conductive fine particles, SnO x and TiO x having an average particle diameter of preferably 100 to 1000 ° are preferably used.

【0019】また、上記第一の配向膜23の表面凹凸は
第二の配向膜24によって平坦化される。第二の配向膜
24としては、その膜厚を100Å以上とし、反電場の
増大を抑えるために体積抵抗値を1×1010Ωcm以下
に設定することが好ましい。このような第二の配向膜の
素材としては、SnO2 、ポリアニリン、TiO2、ポ
リピロールが好ましく用いられる。
The surface irregularities of the first alignment film 23 are flattened by the second alignment film 24. It is preferable that the second alignment film 24 has a thickness of 100 ° or more and a volume resistivity of 1 × 10 10 Ωcm or less in order to suppress an increase in the counter electric field. As a material for such a second alignment film, SnO 2 , polyaniline, TiO 2 , and polypyrrole are preferably used.

【0020】本発明において第三の配向膜25は、従来
のポリイミドやポリアミドを用いることができ、反電場
の増大を抑えるためにその膜厚は100Å以下に設定さ
れ、ラビング処理等により一軸配向処理を施されてい
る。
In the present invention, the third alignment film 25 can be made of a conventional polyimide or polyamide, and its thickness is set to 100 ° or less in order to suppress an increase in the counter electric field. Has been given.

【0021】本発明の液晶素子は、上記のように一対の
基板11、21にそれぞれ必要な部材を構成し、スペー
サ(図示しない)を介して互いに配向膜が相対するよう
に対向配置させ、周縁部をシール材により貼り合わせて
固着してセルを形成し、該セル内に液晶を注入して液晶
注入口を封止してなる。
In the liquid crystal element of the present invention, necessary members are formed on the pair of substrates 11 and 21 as described above, and the substrates are arranged to face each other with spacers (not shown) facing each other. The cells are adhered and fixed with a sealant to form a cell, and liquid crystal is injected into the cell to seal the liquid crystal injection port.

【0022】本発明に用いられる液晶としては、強誘電
性液晶や反強誘電性液晶など、自発分極の作用を駆動に
応用したカイラルスメクチック液晶が好ましく用いられ
る。強誘電性液晶としては、例えば高温側から低温側に
向かって、等方相→SmA(スメクチックA相)→Sm
* →結晶相となる相転移系列を有する液晶が用いられ
る。本発明のおいて好適に用いられる液晶としては、例
えば特開平2−142753号公報、米国特許第508
2587号公報、国際出願公開WO93/22396号
公報等に記載されている、フルオロカーボン末端部分及
び炭化水素末端部分を有し、該両末端部分が中心核によ
って結合され、スメクチック中間相または潜在的スメク
チック中間相を持つフッ素含有液晶化合物が挙げられ
る。ここで、中心核とは、少なくとも二つの、芳香族
環、複素芳香族環、脂肪族環、または置換芳香族環、置
換複素芳香族環、もしくは置換脂肪族環から選ばれ、こ
れらの環は互いに、−COO−、−COS−、−HC=
N−、−COSe−から選ばれる官能基によって結合さ
れていても良い。また、これらの環は縮合していても、
いなくても良い。複素芳香族環中のヘテロ原子は、N、
OまたはSから選ばれる少なくとも一つの原子を含む。
脂肪族環中の隣接していないメチレン基はOによって置
換されていても良い。
As the liquid crystal used in the present invention, a chiral smectic liquid crystal which uses the action of spontaneous polarization for driving, such as a ferroelectric liquid crystal and an antiferroelectric liquid crystal, is preferably used. As a ferroelectric liquid crystal, for example, from the high temperature side to the low temperature side, isotropic phase → SmA (smectic A phase) → Sm
A liquid crystal having a phase transition series of C * → crystal phase is used. Examples of the liquid crystal suitably used in the present invention include, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-127553 and US Pat.
No. 2587, International Patent Application Publication No. WO 93/22396, and the like, have a fluorocarbon terminal portion and a hydrocarbon terminal portion, and the both terminal portions are bound by a central nucleus to form a smectic intermediate or a potential smectic intermediate. And a fluorine-containing liquid crystal compound having a phase. Here, the central nucleus is selected from at least two of an aromatic ring, a heteroaromatic ring, an aliphatic ring, or a substituted aromatic ring, a substituted heteroaromatic ring, or a substituted aliphatic ring, and these rings are -COO-, -COS-, -HC =
It may be bonded by a functional group selected from N- and -COSe-. Also, even if these rings are fused,
You don't have to. The heteroatom in the heteroaromatic ring is N,
It contains at least one atom selected from O or S.
Non-adjacent methylene groups in the aliphatic ring may be replaced by O.

【0023】本発明において用いられる強誘電性液晶
は、自発分極が20nC/cm2 以上であることが好ま
しい。尚、本発明において自発分極とは、K.ミヤサト
他「三角波による強誘電性液晶の自発分極の直接測定方
法」(日本応用物理学会誌、22、10号(661)1
983、”Direct Method with T
riangular Waves for Measu
ring Spontaneous Polariza
tion in FerroelectricLiqu
id Crystal”,as described
by K.Miyasato et al.(Jap.
J.appl.Phys.22.No.10,L661
(1983)))によって測定した値を言う。
The ferroelectric liquid crystal used in the present invention preferably has a spontaneous polarization of 20 nC / cm 2 or more. In the present invention, the term “spontaneous polarization” refers to K.K. Miyasato et al. "Direct measurement method of spontaneous polarization of ferroelectric liquid crystal by triangular wave" (Journal of the Japan Society of Applied Physics, 22, 10, No. (661) 1)
983, "Direct Method with T
rangular Waves for Measu
ring Spontaneous Polariza
Tion in FerroelectricLiqu
id Crystal ”, as desscribed
by K. Miyasato et al. (Jap.
J. appl. Phys. 22. No. 10, L661
(1983))).

【0024】上記液晶素子は、通常、それぞれの基板の
外側に偏光板を接着し、一般的に蛍光灯と散乱板を組み
合わせたバックライトを用い、液晶化合物をバックライ
トの光の透過率を変化させる光シャッターとして機能さ
せることにより表示を行う(透過型の場合)。
In the liquid crystal device, a polarizing plate is usually bonded to the outside of each substrate, and a backlight in which a fluorescent lamp and a scattering plate are combined is generally used. The liquid crystal compound changes the light transmittance of the backlight. The display is performed by functioning as an optical shutter (transmission type).

【0025】尚、上記実施形態においては、上下非対称
構成について説明したが、本発明は上下対称構成にも適
用することができる。即ち、図1において第一の配向膜
13上にも配向膜25と同じ一軸配向処理を施した第三
の配向膜を設ける場合にも、これらの間に第二の配向膜
24を設けることにより、第一の配向膜13表面の凹凸
を平坦化して液晶配向への影響を抑制することができ
る。また、上記実施形態においては、単純マトリクス型
の場合について説明したが、本発明はTFT型の液晶素
子についても適用することができる。
Although the above embodiment has been described with respect to the vertically asymmetric configuration, the present invention can also be applied to a vertically symmetric configuration. That is, in FIG. 1, even when the third alignment film subjected to the same uniaxial alignment treatment as the alignment film 25 is provided also on the first alignment film 13, the second alignment film 24 is provided between them. In addition, the unevenness on the surface of the first alignment film 13 can be flattened to suppress the influence on the liquid crystal alignment. In the above embodiment, the case of the simple matrix type has been described. However, the present invention can be applied to a TFT type liquid crystal element.

【0026】[0026]

【実施例】[実施例1]本発明の実施例として図1に示
した構成の液晶素子を作製した。本実施例においては強
誘電性液晶を用い、セル内でほぼブックシェルフに近い
構造をとる該液晶を一軸配向させるべく一方の基板上に
のみ一軸配向処理を施した配向膜を形成した。
[Example 1] As an example of the present invention, a liquid crystal device having the structure shown in FIG. 1 was manufactured. In this embodiment, an alignment film is formed on one of the substrates by using a ferroelectric liquid crystal and uniaxially aligning the liquid crystal, which has a structure close to a bookshelf in the cell, in order to uniaxially align the liquid crystal.

【0027】先ず、基板11,21としてガラスを用
い、一般的なDCスパッタ装置により、ITOのターゲ
ットを用い、パワー=1W/cm2 、スパッタガスとし
てAr:90SCCM,O2 =10SCCMを流し、
2.5分間の放電により700Å厚のITO膜を堆積し
た。その後、通常の湿式エッチングによりITO膜をス
トライプ状にパターニングし、電極12,22を形成し
た。
First, glass was used for the substrates 11 and 21, using a general DC sputtering apparatus, an ITO target, a power of 1 W / cm 2 , and Ar: 90 SCCM and O 2 = 10 SCCM flowing as a sputtering gas.
An ITO film having a thickness of 700 ° was deposited by discharging for 2.5 minutes. Thereafter, the electrodes 12 and 22 were formed by patterning the ITO film into stripes by ordinary wet etching.

【0028】続いて、電極の形成された基板11,21
上に、SiOx の重合体からなる母材中に、SnOx
酸化物超微粒子を分散した溶液を、1000rpm、1
0secのスピン条件で塗布し、厚さ1500Åの膜を
形成した。これを200℃、60分間焼成して第一の配
向膜13、23を設けた。
Subsequently, the substrates 11 and 21 on which the electrodes are formed
A solution obtained by dispersing SnO x oxide ultrafine particles in a matrix made of a polymer of SiO x was applied at 1000 rpm, 1 rpm.
Coating was performed under a spin condition of 0 sec to form a film having a thickness of 1500 °. This was baked at 200 ° C. for 60 minutes to provide first alignment films 13 and 23.

【0029】引き続き基板21上には、第一の配向膜2
3上に、第二の配向膜24としてSnO2 をイオンプレ
ーティング成膜によりガス(O2 、Ar)圧力比80%
2下で厚さを30Å〜1000Åの範囲で変えて形成
した。
Subsequently, the first alignment film 2 is formed on the substrate 21.
3, SnO 2 as a second alignment film 24 is formed by ion plating to form a gas (O 2 , Ar) pressure ratio of 80%.
The thickness was changed in a range of 30 ° to 1000 ° under O 2 .

【0030】さらに基板21上には、第二の配向膜24
上に、ポリアミック酸(東レ社製「LP−64」0.5
重量%)を500rpm、15sec及び1500rp
m、30secの条件でスピンコートし、これを200
℃で60分間焼成して50Å厚のポリイミド膜を形成し
た。この後、回転数1000rpm、押し込み量0.4
mm、送りスピード50mm/sec、片方向2回のラ
ビング処理を上記ポリイミド膜に施し、第三の配向膜2
5を形成した。
Further, on the substrate 21, a second alignment film 24 is formed.
On top, polyamic acid (“LP-64” 0.5, manufactured by Toray Industries, Inc.)
Wt%) at 500 rpm, 15 sec and 1500 rpm
Spin coating under conditions of m and 30 sec.
It was baked at 60 ° C. for 60 minutes to form a 50 ° thick polyimide film. Thereafter, the number of rotations is 1000 rpm and the pushing amount is 0.4.
rubbing treatment is performed on the polyimide film twice in one direction at a feed speed of 50 mm / sec.
5 was formed.

【0031】上記基板21の第三の配向膜25上に、
2.4μm径のSiO2 微粒子含有溶液をスピンコート
した後加熱して分散固着させ、引き続き接着粒子(東レ
社製,粒径5μm)含有溶液をスピンコートし、加熱し
て分散固着させた。
On the third alignment film 25 of the substrate 21,
A solution containing 2.4 μm-diameter SiO 2 fine particles was spin-coated, heated to be dispersed and fixed, and then a solution containing adhesive particles (manufactured by Toray, particle size: 5 μm) was spin-coated and heated to be dispersed and fixed.

【0032】一方、基板11には、印刷機を用いてシー
ル材を所望の位置に塗布し、90℃で5分間プリベーク
した。得られた基板11と21とを第一の配向膜13と
第三の配向膜25が相対するように対向配置し、30g
f/cm2 の圧力をエアークッションにて加えた状態
で、150℃、90分間の加熱を行い、シール材を硬化
させて上下基板を貼り合わせた。
On the other hand, a sealing material was applied to a desired position on the substrate 11 using a printing machine, and prebaked at 90 ° C. for 5 minutes. The obtained substrates 11 and 21 are arranged to face each other such that the first alignment film 13 and the third alignment film 25 face each other, and 30 g
While applying a pressure of f / cm 2 with an air cushion, heating was performed at 150 ° C. for 90 minutes to cure the sealing material and bond the upper and lower substrates together.

【0033】得られたセルを通常のロードロック式の真
空室内に入れ、1.3×10-3Paまで真空引きした
後、1.3Paの真空中で105℃に加熱した液晶貯留
槽に注入口を付けるように浸し、液晶化合物15をセル
内に注入し、注入口を封止した。本実施例では、自発分
極が31nC/cm2 (30℃)の強誘電性液晶を用い
た。
The obtained cell is placed in an ordinary load lock type vacuum chamber, evacuated to 1.3 × 10 −3 Pa, and then poured into a liquid crystal storage tank heated to 105 ° C. in a vacuum of 1.3 Pa. It was immersed so as to have an inlet, and the liquid crystal compound 15 was injected into the cell, and the inlet was sealed. In this embodiment, a ferroelectric liquid crystal having a spontaneous polarization of 31 nC / cm 2 (30 ° C.) was used.

【0034】また、上記工程と同様にして、基板21側
の第二の配向膜24のない液晶素子を作製し、比較サン
プルとした。
Further, a liquid crystal element without the second alignment film 24 on the substrate 21 side was manufactured in the same manner as in the above steps, and was used as a comparative sample.

【0035】以上作製した液晶素子を105℃で再配向
させた後、単位面積当たりの欠陥画素数(欠陥画素密
度)を調べた。表示上、0.5個/cm2 程度が許容範
囲となる。また、ポリイミド膜成膜後の表面凹凸をAF
M(原子間力顕微鏡)で測定し、Ra(中心線平均粗
さ)を調べた。
After the liquid crystal element produced above was realigned at 105 ° C., the number of defective pixels per unit area (defective pixel density) was examined. On display, about 0.5 / cm 2 is an allowable range. In addition, surface irregularities after polyimide film formation are
M (atomic force microscope) was used to measure Ra (center line average roughness).

【0036】図3は第二の配向膜24の膜厚に対する欠
陥画素密度を表わしたグラフである。図4は第二の配向
膜24の膜厚に対するポリイミド膜表面のRaを表わし
たグラフである。
FIG. 3 is a graph showing the density of defective pixels with respect to the thickness of the second alignment film 24. FIG. 4 is a graph showing Ra of the polyimide film surface with respect to the thickness of the second alignment film 24.

【0037】図3、図4からわかるように、第二の配向
膜が薄すぎる場合には、Raが大きく、欠陥画素密度も
0.5個/cm2 以上あるが、第二の配向膜の膜厚が1
00Å付近からRa勾配がなだらかになり、欠陥画素密
度も0.5個/cm2 未満となる。即ち、第二の配向膜
を設けることで欠陥画素密度は減少するが、さらにその
膜厚を100Å以上に形成することにより、第一の配向
膜の表面露出による配向欠陥が確実に抑制されることが
わかった。
As can be seen from FIGS. 3 and 4, when the second alignment film is too thin, Ra is large and the density of defective pixels is 0.5 / cm 2 or more. The film thickness is 1
From around 00 °, the Ra gradient becomes gentle and the density of defective pixels becomes less than 0.5 / cm 2 . That is, although the defective pixel density is reduced by providing the second alignment film, the alignment defect due to the surface exposure of the first alignment film is surely suppressed by forming the thickness to 100 ° or more. I understood.

【0038】[実施例2]第二の配向膜24として、膜
厚100Åで種々の体積抵抗値の膜を形成する以外は実
施例1と同様にして液晶素子を形成した。体積抵抗値が
1×102 〜1×108 Ωcmの膜はイオンプレーティ
ング成膜によりSnO2 を成膜し、その体積抵抗値はガ
ス(O2 、Ar)圧力比で制御した。また、Ta25
をDCスパッタで成膜して1×1010Ωcmの膜を、R
Fスパッタで成膜して5×1011Ωcmの膜をそれぞれ
成膜した。また、より高体積抵抗値の膜として、ポリイ
ミド(第三の配向膜と同じ素材)を用いて1×1013Ω
cmの膜を形成した。
Example 2 A liquid crystal element was formed in the same manner as in Example 1 except that films having a thickness of 100 ° and various volume resistances were formed as the second alignment film 24. For a film having a volume resistance of 1 × 10 2 to 1 × 10 8 Ωcm, SnO 2 was formed by ion plating, and the volume resistance was controlled by a gas (O 2 , Ar) pressure ratio. In addition, Ta 2 O 5
Is formed by DC sputtering to form a film of 1 × 10 10 Ωcm
Films of 5 × 10 11 Ωcm were formed by F sputtering. Further, as a film having a higher volume resistance value, 1 × 10 13 Ω is used by using polyimide (the same material as the third alignment film).
cm film was formed.

【0039】得られた液晶素子について、印加電圧と素
子の光透過量の関係(V−T特性)を調べた。図5は本
発明の液晶素子のV−T特性を示したもので、実線と破
線は駆動電圧の極性に対応するスイッチング特性を表わ
している。このスイッチング特性は本来一致しているこ
とが望ましいが、現実には多少のずれが認められる。そ
のずれ量をV−T特性の非対称性という。この非対称性
が大きいとスイッチングのメモリ性が低減されてしま
う。
With respect to the obtained liquid crystal device, the relationship (VT characteristic) between the applied voltage and the light transmission amount of the device was examined. FIG. 5 shows the VT characteristics of the liquid crystal element of the present invention. The solid line and the broken line show the switching characteristics corresponding to the polarity of the drive voltage. Although it is desirable that the switching characteristics match each other, a slight shift is actually observed. The amount of the deviation is called asymmetry of the VT characteristic. If the asymmetry is large, the memory property of switching is reduced.

【0040】一方、実線、破線それぞれに対し、透過率
の大きく変化する電圧範囲で行きと帰り(矢印の上下に
対応する)があり、この立ち上がり電圧差をヒステリシ
スという。ヒステリシスの主原因として反電場が考えら
れている。即ち、スイッチング時の反電場が大きい程ヒ
ステリシスが大きくなる。非対称とヒステリシスは、駆
動波形によって許容範囲が異なるが、例えば15インチ
程度の高精細パネルを駆動する際に10μm程度のパル
ス電圧を使用し、非対称が±0.8V以下、ヒステリシ
スとしては1.2V以下であれば双安定ポテンシャルが
極端に乱されることなく、書き込み不良や焼き付きなど
の経時変化が抑制される。
On the other hand, for each of the solid line and the broken line, there is a forward and backward direction (corresponding to the upper and lower directions of the arrow) in a voltage range where the transmittance greatly changes, and this rising voltage difference is called hysteresis. The anti-electric field is considered to be the main cause of hysteresis. That is, the greater the anti-electric field at the time of switching, the greater the hysteresis. The asymmetry and hysteresis have different allowable ranges depending on the drive waveform. For example, when driving a high-resolution panel of about 15 inches, a pulse voltage of about 10 μm is used, the asymmetry is ± 0.8 V or less, and the hysteresis is 1.2 V. If it is less than or equal to 1, the change over time such as defective writing or burn-in is suppressed without extremely disturbing the bistable potential.

【0041】上記工程で作製した液晶素子を評価した結
果を、非対称性については図6に、ヒステリシスについ
ては図7に示した。非対称については、全てのサンプル
で0.8V以下と問題がないのに対し、ヒステリシスに
関しては1×1011Ωcm以上で1.2V以上を示し
た。即ち、第二の配向膜として体積抵抗値が1×1010
Ωcm以下のものを用いれば、反電場増大によるスイッ
チング特性への極端な影響は抑制できることがわかる。
FIG. 6 shows the results of evaluation of the liquid crystal element manufactured in the above steps, and FIG. 7 shows the hysteresis. As to asymmetry, all samples had no problem of 0.8 V or less, whereas hysteresis showed 1.2 V or more at 1 × 10 11 Ωcm or more. That is, the volume resistivity of the second alignment film is 1 × 10 10
It can be seen that the use of one having a resistance of Ωcm or less can suppress the extreme influence on the switching characteristics due to the increase of the anti-electric field.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
1×104 〜1×1010Ωcmの体積抵抗値を持つ第一
の配向膜表面の凹凸による液晶配向への影響を防止し、
液晶に接する第三の配向膜の一軸配向性を十分に発揮さ
せて、良好な画像表示を得ることができる。特に、一方
のみに上記一軸配向処理された配向膜を設けた非対称構
成の液晶素子において、本発明を適用することにより、
スイッチング特性の非対称性を抑制した上でその効果を
奏し、良好な画像表示を得ることができる。
As described above, according to the present invention,
Preventing the influence on the liquid crystal alignment due to the unevenness of the surface of the first alignment film having a volume resistance of 1 × 10 4 to 1 × 10 10 Ωcm,
The uniaxial orientation of the third orientation film in contact with the liquid crystal can be sufficiently exhibited to obtain a good image display. In particular, by applying the present invention to a liquid crystal element having an asymmetric configuration in which only one of them is provided with the above-described uniaxially-aligned alignment film,
The effect can be obtained after suppressing the asymmetry of the switching characteristics, and a good image display can be obtained.

【0043】本発明においては、第二の配向膜の膜厚を
100Å以上で形成することにより、第一の配向膜の表
面露出を確実に防止して液晶の配向欠陥発生を防止する
ことができる。また、第二の配向膜の体積抵抗値を1×
1010Ωcm以下とすることにより、該第二の配向膜導
入による極端な反電場増大を抑えることができ、配向欠
陥がなく、書き込み不良のない良好な画像表示を得るこ
とができる。
In the present invention, by forming the second alignment film to have a thickness of 100 ° or more, it is possible to reliably prevent the surface of the first alignment film from being exposed and prevent the occurrence of alignment defects in the liquid crystal. . Further, the volume resistance value of the second alignment film is 1 ×
By setting the resistivity to 10 10 Ωcm or less, it is possible to suppress an extreme increase in the reversal electric field due to the introduction of the second alignment film, and it is possible to obtain a good image display without alignment defects and writing failure.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の液晶素子の一実施形態の部分断面模式
図である。
FIG. 1 is a schematic partial cross-sectional view of one embodiment of a liquid crystal element of the present invention.

【図2】従来の液晶素子の一例の部分断面模式図であ
る。
FIG. 2 is a schematic partial cross-sectional view of an example of a conventional liquid crystal element.

【図3】本発明の実施例1における第二の配向膜(Sn
2 )の膜厚に対する欠陥画素密度を表わしたグラフで
ある。
FIG. 3 shows a second alignment film (Sn) according to the first embodiment of the present invention.
6 is a graph showing the density of defective pixels with respect to the film thickness of O 2 ).

【図4】本発明の実施例1における第二の配向膜(Sn
2 )の膜厚に対するポリイミド膜表面のRaを表わし
たグラフである。
FIG. 4 shows a second alignment film (Sn) according to the first embodiment of the present invention.
4 is a graph showing Ra on the surface of a polyimide film with respect to the film thickness of O 2 ).

【図5】本発明の液晶素子のV−T特性を示した図であ
る。
FIG. 5 is a diagram showing VT characteristics of the liquid crystal element of the present invention.

【図6】本発明の実施例2における第二の配向膜の体積
抵抗値に対する非対称性を示したグラフである。
FIG. 6 is a graph showing asymmetry with respect to a volume resistance value of a second alignment film in Example 2 of the present invention.

【図7】本発明の実施例2における第二の配向膜の体積
抵抗値に対するヒステリシスを示したグラフである。
FIG. 7 is a graph showing a hysteresis with respect to a volume resistance value of a second alignment film in Example 2 of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11,21 基板 12,22 電極 13,23 第一の配向膜 15 液晶化合物 24 第二の配向膜 25 第三の配向膜 11, 21 substrate 12, 22 electrode 13, 23 first alignment film 15 liquid crystal compound 24 second alignment film 25 third alignment film

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三浦 聖志 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Seishi Miura 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc.

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 それぞれに電極を有する一対の基板間に
液晶を挟持してなる液晶素子であって、各基板の電極上
に1×104 〜1×1010Ωcmの体積抵抗値を有する
第一の配向膜を設け、少なくとも一方の基板において、
第一の配向膜の上に、該第一の配向膜の平坦化膜である
第二の配向膜と、膜厚が100Å以下で表面に一軸配向
処理が施された第三の配向膜を設けたことを特徴とする
液晶素子。
1. A liquid crystal element having a liquid crystal sandwiched between a pair of substrates each having an electrode, the liquid crystal element having a volume resistance of 1 × 10 4 to 1 × 10 10 Ωcm on the electrode of each substrate. Providing one alignment film, at least one substrate,
On the first alignment film, a second alignment film which is a planarization film of the first alignment film, and a third alignment film having a thickness of 100 ° or less and having a surface subjected to a uniaxial alignment treatment are provided. A liquid crystal element characterized by the above-mentioned.
【請求項2】 上記第二の配向膜の膜厚が100Å以上
である請求項1記載の液晶素子。
2. The liquid crystal device according to claim 1, wherein the thickness of the second alignment film is 100 ° or more.
【請求項3】 上記第二の配向膜の体積抵抗値が1×1
10Ωcm以下である請求項1または2記載の液晶素
子。
3. A volume resistivity of the second alignment film is 1 × 1.
The liquid crystal element according to claim 1, wherein the liquid crystal element has a value of 0 10 Ωcm or less.
【請求項4】 上記第一の配向膜が、導電性粒子を有機
または無機バインダー中に分散させてなる膜である請求
項1〜3いずれかに記載の液晶素子。
4. The liquid crystal device according to claim 1, wherein the first alignment film is a film in which conductive particles are dispersed in an organic or inorganic binder.
【請求項5】 上記第三の配向膜が、ポリイミドまたは
ポリアミドからなる請求項1〜4いずれかに記載の液晶
素子。
5. The liquid crystal device according to claim 1, wherein the third alignment film is made of polyimide or polyamide.
【請求項6】 上記第三の配向膜の一軸配向処理がラビ
ング処理である請求項1〜5いずれかに記載の液晶素
子。
6. The liquid crystal device according to claim 1, wherein the uniaxial alignment treatment of the third alignment film is a rubbing treatment.
【請求項7】 上記液晶がカイラルスメクチック液晶で
ある請求項1〜6いずれかに記載の液晶素子。
7. The liquid crystal device according to claim 1, wherein the liquid crystal is a chiral smectic liquid crystal.
【請求項8】 上記カイラルスメクチック液晶が、フル
オロカーボン末端鎖及び炭化水素末端鎖を有し、該両末
端鎖が中心核によって結合された、スメクチック中間相
または潜在的スメクチック中間相を持つフッ素含有液晶
化合物を含有するカイラルスメクチック液晶組成物であ
る請求項7記載の液晶素子。
8. A fluorine-containing liquid crystal compound having a smectic intermediate phase or a latent smectic intermediate phase, wherein the chiral smectic liquid crystal has a fluorocarbon terminal chain and a hydrocarbon terminal chain, and both terminal chains are linked by a central nucleus. The liquid crystal device according to claim 7, which is a chiral smectic liquid crystal composition containing:
【請求項9】 上記カイラルスメクチック液晶が強誘電
性液晶である請求項7または8に記載の液晶素子。
9. The liquid crystal device according to claim 7, wherein the chiral smectic liquid crystal is a ferroelectric liquid crystal.
【請求項10】 上記強誘電性液晶の自発分極が20n
C/cm2 以上である請求項9記載の液晶素子。
10. The spontaneous polarization of the ferroelectric liquid crystal is 20n.
The liquid crystal device according to claim 9, wherein C / cm 2 or more.
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