JPH11181281A - Polyimide composition - Google Patents

Polyimide composition

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JPH11181281A
JPH11181281A JP35153197A JP35153197A JPH11181281A JP H11181281 A JPH11181281 A JP H11181281A JP 35153197 A JP35153197 A JP 35153197A JP 35153197 A JP35153197 A JP 35153197A JP H11181281 A JPH11181281 A JP H11181281A
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polyimide
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polyimide composition
solvent
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a polyimide composition hardly generating a metal oxide at the interface of a metal and the polyimide, and suitable for screen printing. SOLUTION: This polyimide composition comprises a polyimide obtained by mixing or reacting an aromatic tetracarboxylic acid component with an aromatic diamine component and the oxygen-containing solvent, and substantially imidated, and the solvent, further contains an additive, and has >=1.5 thixotropy coefficient, which is the value obtained by dividing an apparent viscosity [η0.5 ] at 20 sec<-1> constant shear rate by an apparent viscosity [η20 ] at 20 sec<-1> constant shear rate, 150-50,000 poise apparent viscosity [η0.5 ] and 50-5,000 poise apparent viscosity [η20 ]. The additive is benzotriazole.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はスクリーン印刷に適する
ポリイミド組成物に関し、特に金属との接着強度を高め
たポリイミド組成物に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polyimide composition suitable for screen printing, and more particularly to a polyimide composition having improved adhesion strength to metal.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子部品用の表面保護膜の形成、電子部
品およびその他の耐熱部品の層間絶縁材料として好適な
ポリイミドは電子・電気工業において広く使用されてい
る。ポリイミドはバルク材料としての他に、コーティン
グあるいはパターニングして基材の表面を被覆するのに
使われる。レリーフパターンを形成する方法としては、
スピンコーティング後に湿式あるいは乾式加工法により
パターニングを行う方法、あるいはスクリーン印刷によ
りコーティングと同時にパターニングを行う方法等が知
られているが、工程の短縮化の点から後者のスクリーン
印刷法が望まれている。
2. Description of the Related Art Polyimide, which is suitable for forming a surface protective film for electronic parts and as an interlayer insulating material for electronic parts and other heat-resistant parts, is widely used in the electronic and electric industries. Polyimide is used not only as a bulk material but also for coating or patterning to cover the surface of a substrate. As a method of forming a relief pattern,
A method of performing patterning by wet or dry processing after spin coating, a method of performing patterning simultaneously with coating by screen printing, and the like are known, but the latter screen printing method is desired from the viewpoint of shortening the process. .

【0003】ポリイミドのスクリーン印刷に適する組成
物には、ポリアミド酸あるいはポリイミドのワニスへ無
機質あるいは有機質粉末を混練したり、または特開平7
−149895号公報に開示されたようなポリアミド酸
を適度にイミド化してチクソトロピー性を持たせたペー
スト等が知られている。
[0003] Compositions suitable for screen printing of polyimide include kneading inorganic or organic powder with a varnish of polyamic acid or polyimide, or a method disclosed in
A paste and the like having a thixotropic property by appropriately imidizing a polyamic acid as disclosed in JP-A-149895 are known.

【0004】一方、特開平2−228359号公報には
ポリアミド酸にベンゾトリアゾール、1,2,4−トリ
アゾールを含有する銅および銅合金に対する防錆能力の
ある組成物が開示されている。
On the other hand, JP-A-2-228359 discloses a composition containing benzotriazole and 1,2,4-triazole in a polyamic acid and having a rust-preventing ability against copper and copper alloys.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ポリイミドを基材にコ
ーティングする場合、ポリイミドの前駆体であるポリア
ミド酸の場合はポリイミドに転化させる反応を完結させ
るために、またポリイミドのワニスをコーティングする
際であっても溶媒を除去するために加熱することが必要
となる。基材が銅などの金属でできている場合には空気
やポリアミド酸に含まれるカルボキシル基により加熱し
た際に基材が容易に酸化されて金属とポリイミドとの界
面が酸化物となる。この様にして形成された金属のポリ
イミド被覆物は、その後金メッキなどの湿式処理を受け
た時に、界面に生成した酸化物に沿って処理液が浸入
し、ついには金属とポリイミドとの剥離が起こることに
なる。
In the case of coating a polyimide on a substrate, in the case of a polyamic acid which is a precursor of the polyimide, it is necessary to complete the reaction to convert the polyimide into a polyimide and to coat the polyimide varnish. However, heating is necessary to remove the solvent. When the substrate is made of a metal such as copper, the substrate is easily oxidized when heated by air or a carboxyl group contained in the polyamic acid, and the interface between the metal and the polyimide becomes an oxide. When the metal polyimide coating thus formed is subjected to a wet process such as gold plating thereafter, the processing solution infiltrates along the oxide generated at the interface, and finally the metal and polyimide are separated. Will be.

【0006】そこで、本発明では金属とポリイミドの界
面に金属酸化物が生成しないスクリーン印刷用に適した
ポリイミド組成物を提供する。
Accordingly, the present invention provides a polyimide composition suitable for screen printing in which no metal oxide is formed at the interface between metal and polyimide.

【0007】[0007]

【課題を解決するための具体的手段】本発明者らは、上
記課題を解決するために鋭意研究をすすめたところ、ポ
リアミド酸溶液にベンゾトリアゾールなどの酸化防止剤
を添加すると界面の酸化を防止することができるが、ポ
リアミド酸をポリイミドに転化させるのに高温が必要な
ため酸化防止効果が減殺され充分な接着性の改良が認め
られない場合があるとの知見を得た。ところが予めイミ
ド化の完結したポリイミドと溶媒からなるチクソトロピ
ー性を持つ特定の組成物は比較的低温で強固なコーティ
ング膜を形成できるため界面の酸化を軽減できることを
見いだし本発明に到達した。
The present inventors have intensively studied to solve the above-mentioned problems, and found that adding an antioxidant such as benzotriazole to a polyamic acid solution prevents oxidation of the interface. However, it has been found that since a high temperature is required to convert the polyamic acid to the polyimide, the antioxidant effect is diminished and a sufficient improvement in adhesiveness may not be observed. However, the present inventors have found that a specific composition having a thixotropic property composed of a polyimide which has been completely imidized in advance and a solvent can form a strong coating film at a relatively low temperature and can reduce the oxidation of the interface, and have reached the present invention.

【0008】すなわち、本発明は芳香族テトラカルボン
酸成分と芳香族ジアミン成分と含酸素溶媒を混合または
反応させて得られた実質的に完全にイミド化したポリイ
ミドと溶媒からなる組成物にさらに添加剤を含み、チク
ソトロピー係数が1.5以上、且つ見掛け粘度
[η0.5]が150〜50,000ポイズ、見掛け粘度
[η20]が50〜5,000ポイズであるポリイミド組
成物であって、該添加剤がベンゾトリアゾール誘導体で
あるポリイミド組成物である。ここで、チクソトロピー
係数とは、定常ずり速度が0.5sec-1における見掛け
粘度[η0.5]を、定常ずり速度が20sec-1における見
掛け粘度[η20]で除した値とする。
That is, the present invention further relates to a composition comprising a substantially completely imidized polyimide obtained by mixing or reacting an aromatic tetracarboxylic acid component, an aromatic diamine component and an oxygen-containing solvent, and a solvent. A thixotropy coefficient of 1.5 or more, an apparent viscosity [η 0.5 ] of 150 to 50,000 poise, and an apparent viscosity [η 20 ] of 50 to 5,000 poise. A polyimide composition in which the additive is a benzotriazole derivative. Here, the thixotropy coefficient, steady shear rate an apparent viscosity [eta 0.5] in 0.5 sec -1, the steady shear rate is a value obtained by dividing the apparent viscosity [eta 20] in 20sec -1.

【0009】本発明にかかるポリイミドは、芳香族テト
ラカルボン酸成分と芳香族ジアミン成分と含酸素溶媒を
混合または反応させて得られるポリアミド酸溶液を加熱
して得られるポリイミドであり、好ましくは下記A、B
からなる成分を構成要素とするポリイミド組成物であ
る。
The polyimide according to the present invention is a polyimide obtained by heating a polyamic acid solution obtained by mixing or reacting an aromatic tetracarboxylic acid component, an aromatic diamine component and an oxygen-containing solvent. , B
Is a polyimide composition containing a component consisting of

【0010】A:ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、
ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニル
テトラカルボン酸二無水物、ターフェニルテトラカルボ
ン酸二無水物またはこの反応性誘導体が50モル%以上
である芳香族テトラカルボン酸成分。
A: benzenetetracarboxylic dianhydride,
Benzophenone tetracarboxylic dianhydride, biphenyl tetracarboxylic dianhydride, terphenyl tetracarboxylic dianhydride or an aromatic tetracarboxylic acid component in which its reactive derivative is 50 mol% or more.

【0011】B:70モル%以上がビス(4−(3−ア
ミノフェノキシ)フェニル)スルフォンまたはその反応
性誘導体であり、シロキシジアミン化合物が0.5モル
%以上〜10モル%以下、ジアミノポリシロキサン化合
物が1モル%以上〜20モル%以下である、テトラカル
ボン酸成分(A)1モルに対して0.95〜1.05モ
ル量のジアミン成分。
B: at least 70 mol% is bis (4- (3-aminophenoxy) phenyl) sulfone or a reactive derivative thereof, and the siloxydiamine compound is at least 0.5 mol% to at most 10 mol%; diaminopolysiloxane A diamine component having a compound content of 1 mol% or more and 20 mol% or less, in an amount of 0.95 to 1.05 mol based on 1 mol of the tetracarboxylic acid component (A).

【0012】またポリイミド組成物は、含酸素溶媒とし
て、沸点が180℃以上300℃以下の含酸素溶媒を含
む。本発明のポリイミド組成物は上記ポリイミドと溶媒
とベンゾトリアゾール誘導体を構成要素とするポリイミ
ド組成物である。スクリーン印刷用のペーストとして使
用された場合のレリーフパターンの形状保持性を考慮す
るとその固形分(芳香族ジアミン成分と芳香族テトラカ
ルボン酸成分をあわせた分をいう。以下同じ。)濃度は
20重量%以上、好ましくは25重量%以上であり、版
パターン開口部への充填性を考慮した粘度範囲の上限か
らは60重量%以下、好ましくは50重量%以下であ
る。
The polyimide composition contains an oxygen-containing solvent having a boiling point of 180 ° C. or more and 300 ° C. or less as the oxygen-containing solvent. The polyimide composition of the present invention is a polyimide composition comprising the above-mentioned polyimide, a solvent and a benzotriazole derivative as constituent elements. Considering the shape retention of the relief pattern when used as a paste for screen printing, its solid content (refers to the sum of the aromatic diamine component and the aromatic tetracarboxylic acid component; the same applies hereinafter) has a concentration of 20% by weight. % Or more, preferably 25% by weight or more, and is 60% by weight or less, preferably 50% by weight or less from the upper limit of the viscosity range in consideration of the filling property to the plate pattern opening.

【0013】本発明に使用される芳香族テトラカルボン
酸成分のうち、好ましくは50モル%以上がベンゼンテ
トラカルボン酸、例えば、ピロメリット酸、トリフルオ
ロメチルベンゼンテトラカルボン酸、ビストリフルオロ
メチルベンゼンテトラカルボン酸、ジフルオロベンゼン
テトラカルボン酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、
ビフェニルテトラカルボン酸もしくはターフェニルテト
ラカルボン酸などまたはこれらの二無水物、エステルな
どの反応性誘導体から選ばれた1種または2種以上であ
る。その他のテトラカルボン酸成分として50モル%未
満で使用できるテトラカルボン酸は、特に限定されない
がヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸、オキシ
ジフタル酸、シクロブタンテトラカルボン酸、ビシクロ
(2,2,2)オクト-7-エン-2,3,5,6-テトラカルボン酸また
はその無水物、エステルなどの反応性誘導体が例示で
き、これら2種以上を併用することもできるが、これら
は50モル%を越えて使用すると各種基材に対する十分
な接着性を得ることができない。
[0013] Of the aromatic tetracarboxylic acid component used in the present invention, preferably 50% by mole or more of benzenetetracarboxylic acid, for example, pyromellitic acid, trifluoromethylbenzenetetracarboxylic acid, bistrifluoromethylbenzenetetracarboxylic acid. Acid, difluorobenzenetetracarboxylic acid, benzophenonetetracarboxylic acid,
One or more selected from reactive derivatives such as biphenyltetracarboxylic acid or terphenyltetracarboxylic acid or dianhydrides and esters thereof. The tetracarboxylic acid which can be used as the other tetracarboxylic acid component at less than 50 mol% is not particularly limited, but hexafluoroisopropylidene diphthalic acid, oxydiphthalic acid, cyclobutanetetracarboxylic acid, bicyclo
Reactive derivatives such as (2,2,2) oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic acid or its anhydrides and esters can be exemplified, and these two or more can be used in combination. If these are used in an amount exceeding 50 mol%, sufficient adhesion to various substrates cannot be obtained.

【0014】本発明のポリイミド組成物に使用されるジ
アミン成分は、特に70モル%以上がビス(4−(3−
アミノフェノキシ)フェニル)スルフォンまたはその反
応性誘導体であり、0.5モル%以上10モル%以下が
シロキシジアミン、1モル%以上20モル%以下がジア
ミノポリシロキサンであるものが好ましく、シロキシジ
アミンとしては、特に限定されないが1,3−ビス(3
−アミノプロピル)−1,1,2,2−テトラメチルジ
シロキサン、1,3−ビス(3−アミノブチル)−1,
1,2,2,−テトラメチルジシロキサン、ビス(4−
アミノフェノキシ)ジメチルシラン、1,3−ビス(4
−アミノフェノキシ)テトラメチルジシロキサン等、ジ
アミノポリシロキサンとしては、下記の一般式
In the diamine component used in the polyimide composition of the present invention, 70% by mole or more of bis (4- (3-
Aminophenoxy) phenyl) sulfone or a reactive derivative thereof, preferably 0.5% to 10% by mole of siloxydiamine, and 1% to 20% by mole of diaminopolysiloxane is preferred. Although not particularly limited, 1,3-bis (3
-Aminopropyl) -1,1,2,2-tetramethyldisiloxane, 1,3-bis (3-aminobutyl) -1,
1,2,2-tetramethyldisiloxane, bis (4-
Aminophenoxy) dimethylsilane, 1,3-bis (4
Examples of diaminopolysiloxanes such as -aminophenoxy) tetramethyldisiloxane include a compound represented by the following general formula:

【0015】[0015]

【化1】 Embedded image

【0016】(式中、Zは炭素数1〜8のアルキレン基
またはフェニレン基であり、Rは互いに同一または異な
り、分岐を有することもある炭素数1〜8のアルキル
基、アルコキシ基または置換基を有することもあるフェ
ニル基を表す。dは4〜60の整数を表す)で表される
ものが挙げられる。
(Wherein Z is an alkylene group or phenylene group having 1 to 8 carbon atoms, and Rs are the same or different from each other, and may be an alkyl group, alkoxy group or substituent group having 1 to 8 carbon atoms which may have a branch. And d represents an integer of 4 to 60).

【0017】シロキシジアミンの使用量はジアミン成分
の1〜10モル%が好ましく、より好ましくは使用する
ジアミン成分の1〜5モル%である。シロキシジアミン
成分が1モル%未満では接着性の改善効果に乏しく、1
0モル%を越えると接着性が改善されずに耐熱性の低下
が認められるため好ましくない。
The amount of siloxydiamine used is preferably 1 to 10 mol% of the diamine component, more preferably 1 to 5 mol% of the diamine component used. If the siloxydiamine component is less than 1 mol%, the effect of improving the adhesiveness is poor, and
If it exceeds 0 mol%, the adhesiveness is not improved and a decrease in heat resistance is observed, which is not preferred.

【0018】ジアミノポリシロキサンの使用量はジアミ
ン成分の0.5〜20モル%が好ましく、より好ましく
は使用するジアミン成分の1〜15モル%である。ジア
ミノポリシロキサン成分が0.5モル%未満では接着性
の改善効果に乏しく、20モル%を越えると接着性が改
善されずに耐熱性の低下が認められるため好ましくな
い。
The amount of the diaminopolysiloxane used is preferably 0.5 to 20 mol% of the diamine component, more preferably 1 to 15 mol% of the diamine component used. If the diaminopolysiloxane component is less than 0.5 mol%, the effect of improving the adhesiveness is poor, and if it exceeds 20 mol%, the adhesiveness is not improved and a decrease in heat resistance is observed, which is not preferable.

【0019】30モル%未満で使用できるジアミン成分
としては、特に限定されないが、O−、m−、p−フェ
ニレンジアミン、2,4−ジアミノトルエン、2,5−
ジアミノトルエン、2,4−ジアミノキシレン、2,4
−ジアミノジュレン、ジメチル−4,4,’−ジアミノ
ジフェニル、ジアルキル−4,4’−ジアミノジフェニ
ル、ジメトキシ−4,4’−ジアミノジフェニル、ジエ
トキシ−4,4’−ジアミノジフェニル、4,4’−ジ
アミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニ
ルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、
4,4’−ジアミノジフェニルスルフォン、3,3’−
ジアミノジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノベ
ンゾフェノン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、
1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,
3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−
ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビ
ス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス(4−
(4−アミノフェノキシ)フェニルスルフォン、2,
2’−ビス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)
プロパン、2,2−ビス(4−(4−アミノフェノキ
シ)フェニルヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス
(4−(3−アミノフェノキシ)フェニル)プロパン、
2,2−ビス(4−(3−アミノフェノキシ)フェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(4−(4
−アミノ−2−トリフルオロメチルフェノキシ)フェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(4−(3
−アミノ−5−トリフルオロメチルフェノキシ)フェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン、2、2−ビス(4−アミ
ノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2、2−ビス
(3−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,
2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキ
サフルオロプロパン、2,2−ビス(3−アミノ−4−
メチルフェニル)ヘキサフルオロプロパン、4,4’−
ビス(4−アミノフェノキシ)オクタフルオロビフェニ
ル、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ジアミノジ
フェニル、3,5−ジアミノベンゾトリフルオリド、
2,5−ジアミノベンゾトリフルオリド、3,3’−ビ
ストリフルオロメチル−4,4’−ジアミノビフェニ
ル、3,3’−ビストリフルオロメチル−5,5’−ジ
アミノビフェニル、ビス(トリフルオロメチル)−4,
4’−ジアミノジフェニル、ビス(フッ素化アルキル)
−4,4’−ジアミノジフェニル、ジクロロ−4,4’
−ジアミノジフェニル、ジブロモ−4,4’−ジアミノ
ジフェニル、ビス(フッ素化アルコキシ)−4,4’−
ジアミノジフェニル、ジフェニル−4,4’−ジアミノ
ジフェニル、4,4’−ビス(4−アミノテトラフルオ
ロフェノキシ)テトラフルオロベンゼン、4,4’−ビ
ス(4−アミノテトラフルオロフェノキシ)オクタフル
オロビフェニル、4,4’−ビナフチルアミン、4,
4’−ジアミノベンズアニリド、4,4’−ジアミノ
(N−アルキル)ベンズアニリド等が提示でき、これら
を2種以上併用することもできる。
The diamine component which can be used at less than 30 mol% is not particularly limited, but may be O-, m-, p-phenylenediamine, 2,4-diaminotoluene, 2,5-
Diaminotoluene, 2,4-diaminoxylene, 2,4
-Diaminodulene, dimethyl-4,4'-diaminodiphenyl, dialkyl-4,4'-diaminodiphenyl, dimethoxy-4,4'-diaminodiphenyl, diethoxy-4,4'-diaminodiphenyl, 4,4 ' -Diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylether, 3,4'-diaminodiphenylether,
4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-
Diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminobenzophenone, 3,3′-diaminobenzophenone,
1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,
3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-
Bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis (4-
(4-aminophenoxy) phenylsulfone, 2,
2'-bis (4- (4-aminophenoxy) phenyl)
Propane, 2,2-bis (4- (4-aminophenoxy) phenylhexafluoropropane, 2,2-bis (4- (3-aminophenoxy) phenyl) propane,
2,2-bis (4- (3-aminophenoxy) phenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis (4- (4
-Amino-2-trifluoromethylphenoxy) phenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis (4- (3
-Amino-5-trifluoromethylphenoxy) phenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis (3-aminophenyl) hexafluoropropane, 2,
2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis (3-amino-4-
Methylphenyl) hexafluoropropane, 4,4'-
Bis (4-aminophenoxy) octafluorobiphenyl, 2,2′-bis (trifluoromethyl) diaminodiphenyl, 3,5-diaminobenzotrifluoride,
2,5-diaminobenzotrifluoride, 3,3'-bistrifluoromethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-bistrifluoromethyl-5,5'-diaminobiphenyl, bis (trifluoromethyl)- 4,
4'-diaminodiphenyl, bis (fluorinated alkyl)
-4,4'-diaminodiphenyl, dichloro-4,4 '
-Diaminodiphenyl, dibromo-4,4'-diaminodiphenyl, bis (fluorinated alkoxy) -4,4'-
Diaminodiphenyl, diphenyl-4,4'-diaminodiphenyl, 4,4'-bis (4-aminotetrafluorophenoxy) tetrafluorobenzene, 4,4'-bis (4-aminotetrafluorophenoxy) octafluorobiphenyl, 4,4'-binaphthylamine, 4,
4'-diaminobenzanilide, 4,4'-diamino (N-alkyl) benzanilide and the like can be presented, and two or more of these can be used in combination.

【0020】ポリイミドあるいはその前駆体の溶媒とし
て通常採用される溶解力の大きいN−メチルピロリド
ン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチル
アセトアミド等のアミド系溶媒を主体とした溶媒中で
は、スクリーン印刷に必要なチクソトロピー性の発現は
認められない。
In a solvent mainly composed of an amide-based solvent such as N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, etc., which are generally employed as a solvent for polyimide or its precursor and have a high solubility, No thixotropy required for screen printing is observed.

【0021】好ましい含酸素溶媒としては、γ−ブチロ
ラクトン、α−メチル−γ−ブチロラクトン、γ−バレ
ロラクトン、δ−バレロラクトン、γ−カプロラクト
ン、ε−カプロラクトンなどのラクトン類が提示でき、
この他に、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネ
ートなどのカーボネート類、酢酸ブチル、エチルセロソ
ルブアセテート、ブチルセロソルブアセテートなどのエ
ステル類、ジブチルエーテル、ジエチレングリコールジ
メチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエー
テルなどのエーテル類、メチルイソブチルケトン、シク
ロヘキサノン、アセトフェノンなどのケトン類、ブタノ
ール、オクタノール、エチルセロソルブなどのアルコー
ル類を始め、さらに鎖状ないし環状のアミド系、尿素
系、スルフォキシド系、スルフォン系、炭化水素系、ハ
ロゲン系溶媒をポリイミド組成物の安定性に影響を及ぼ
さない範囲で添加することができる。
As preferred oxygen-containing solvents, lactones such as γ-butyrolactone, α-methyl-γ-butyrolactone, γ-valerolactone, δ-valerolactone, γ-caprolactone and ε-caprolactone can be presented.
In addition, carbonates such as ethylene carbonate and propylene carbonate, esters such as butyl acetate, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, ethers such as dibutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether and triethylene glycol dimethyl ether, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, acetophenone Such as ketones such as butanol, octanol, and alcohol such as ethyl cellosolve, as well as linear or cyclic amide, urea, sulfoxide, sulfone, hydrocarbon, and halogen solvents, and the stability of polyimide composition. Can be added in a range that does not affect the content.

【0022】本発明のポリイミド組成物に使用されるベ
ンゾトリアゾール誘導体にはベンゾトリアゾールを含
み、特に限定されず例えば次の様な化合物が挙げられ
る。
The benzotriazole derivative used in the polyimide composition of the present invention includes benzotriazole, and is not particularly limited, and examples thereof include the following compounds.

【0023】[0023]

【化2】 Embedded image

【0024】これらの化合物は、1H−ベンゾトリアゾ
ールカルボン酸(CBT−1城北化学工業(株)製品、
以下同じ。)、1−(2,3−ジヒドロキシプロピル)
ベンゾトリアゾール(BT−GL)、1−ヒドロキシメ
チルベンゾトリアゾール(BT−OH)、またはBTD
−HD、BTD−DP、BTT−DP、BT−MA、B
T−M、BT−U、BTD−U、BT−341、BT−
LX(城北化学工業(株)製品)として入手できる。上
記ベンゾトリアゾール誘導体の2種以上を併用すること
も可能である。
These compounds are 1H-benzotriazolecarboxylic acid (CBT-1 manufactured by Johoku Chemical Co., Ltd.
same as below. ), 1- (2,3-dihydroxypropyl)
Benzotriazole (BT-GL), 1-hydroxymethylbenzotriazole (BT-OH), or BTD
-HD, BTD-DP, BTT-DP, BT-MA, B
TM, BT-U, BTD-U, BT-341, BT-
It is available as LX (a product of Johoku Chemical Co., Ltd.). It is also possible to use two or more of the above benzotriazole derivatives in combination.

【0025】本発明のポリイミド組成物におけるベンゾ
トリアゾール誘導体の添加は、各種基材に対する接着性
改良に効果があるが、特に銅箔および銅配線のある基板
上に塗布し、脱溶媒または/および焼成後湿式での酸洗
浄、アルカリ洗浄、水洗浄または/および金メッキ処理
を施す工程に付される場合にその接着性改良効果は殊に
著しい。
The addition of the benzotriazole derivative in the polyimide composition of the present invention is effective in improving the adhesion to various substrates, but is particularly applied to a substrate having copper foil and copper wiring, and is subjected to solvent removal and / or firing. The effect of improving the adhesiveness is particularly remarkable when subjected to a step of performing post-wet acid washing, alkali washing, water washing, and / or gold plating.

【0026】ベンゾトリアゾール誘導体の使用量は、テ
トラカルボン酸成分とジアミン成分の総和量としての固
形分100重量部に対して2〜15重量部の範囲が好ま
しく、さらに好ましくは3〜10重量部である。2重量
部より少ない時は接着効果に乏しく、15重量部より多
い時は特に接着効果は改善されずに形成された膜の熱的
物性が低下して好ましくない。
The amount of the benzotriazole derivative used is preferably in the range of 2 to 15 parts by weight, more preferably 3 to 10 parts by weight, based on 100 parts by weight of the solid content as the total amount of the tetracarboxylic acid component and the diamine component. is there. When the amount is less than 2 parts by weight, the adhesive effect is poor, and when the amount is more than 15 parts by weight, the thermal effect of the formed film is lowered without improving the adhesive effect.

【0027】本発明のポリイミド組成物の製造は、あら
かじめジアミン成分とテトラカルボン酸成分が実質的に
当モル量となるように反応器に仕込み、溶媒を添加し加
熱することで行う。また、ベンゾトリアゾール誘導体の
添加はこの加熱・反応を行う前後いずれにおいて行って
も差し支えない。
The production of the polyimide composition of the present invention is carried out by charging a diamine component and a tetracarboxylic acid component in advance in a reactor such that they are substantially equimolar, adding a solvent, and heating. The addition of the benzotriazole derivative may be performed before or after performing the heating / reaction.

【0028】加熱の条件はジアミン成分、テトラカルボ
ン酸成分、溶媒等の組み合わせ、固形分濃度、容量およ
び製造されるポリイミド組成物により異なり、加熱温度
と時間により決定されるが、140℃〜200℃、より
好ましくは、160℃〜180℃の範囲で、1時間〜2
4時間程度加熱するのが好ましい。140℃以下では転
化速度が遅く、200℃以上であっても良いが特に利益
はない。
The heating conditions vary depending on the combination of the diamine component, the tetracarboxylic acid component, the solvent, etc., the solid content concentration, the volume and the polyimide composition to be produced, and are determined by the heating temperature and time. And more preferably in the range of 160 ° C to 180 ° C for 1 hour to 2 hours.
It is preferable to heat for about 4 hours. If the temperature is lower than 140 ° C., the conversion rate is low. The temperature may be higher than 200 ° C., but there is no particular advantage.

【0029】また、ジアミン成分、テトラカルボン酸成
分、溶媒等の組み合わせによっては、上記の条件で加熱
してポリイミド化を実質上完結し、冷却した直後にはチ
クソトロピー性が発現せず、室温付近で一定時間静置す
ることの必要な場合がある。冷却は通常は特にコントロ
ールする必要はなく自然放冷で良いが、場合によっては
冷却速度を調節するのが好ましい。室温付近とは特に限
定された温度である必要のないことをいい、通常0〜5
0℃程度の温度でよい。静置は1時間から数十日にわた
って行うが、特に攪拌などの操作を加える必要はないの
で、通常の保管と異なるところは無い。
Further, depending on the combination of the diamine component, the tetracarboxylic acid component, the solvent, etc., the polyimide is substantially completed by heating under the above-mentioned conditions. It may be necessary to stand still for a certain period of time. Normally, cooling need not be particularly controlled, and natural cooling may be used. However, in some cases, it is preferable to adjust the cooling rate. The term "around room temperature" means that it is not necessary to have a particularly limited temperature.
The temperature may be about 0 ° C. The standing is performed for one hour to several tens of days, but there is no need to add operations such as stirring, so there is no difference from ordinary storage.

【0030】このようにして製造される本発明のポリイ
ミド組成物は、フィジカ社製RHEOLAB MC20
(コーン/プレート法あるいはシリンダ法、22℃。以
下、特に注を付さない限り同条件。)を用いた測定で、
定常ずり速度が20sec-1の時および0.5sec-1の時に
示される見かけ粘度の差が大きく顕著なチクソトロピー
性を示す。
[0030] The polyimide composition of the present invention produced in this manner is manufactured by RHEOLAB MC20 manufactured by Physica.
(Cone / plate method or cylinder method, 22 ° C. The following conditions are the same unless otherwise noted.)
Difference in apparent viscosities indicated at the time and 0.5 sec -1 of steady shear rate 20sec -1 indicates a large remarkable thixotropy.

【0031】チクソトロピー性を表す値として、チクソ
トロピー性係数[η0.5/η20](定常ずり速度が0.
5sec-1における見掛け粘度[η0.5]を、定常ずり速度
が20sec-1における見掛け粘度[η20]で除した値と
する。)があり、この値が1.5以上であることが良好
なスクリーン印刷性のために好ましく、1.5〜100
0がより好ましく、1.5〜250がさらに好ましい。
As a value representing the thixotropic property, a thixotropic coefficient [η 0.5 / η 20 ] (when the steady shear rate is 0.
The apparent viscosity [eta 0.5] in 5 sec -1, the steady shear rate and divided by the apparent viscosity [eta 20] in 20sec -1. This value is preferably 1.5 or more for good screen printability.
0 is more preferable, and 1.5 to 250 is further preferable.

【0032】本発明のポリイミド組成物は、脱溶媒後膜
厚で0.1〜100μmのレリーフパターンの形成が可
能であり、採用成分の選択、固形分濃度の設定等の条件
の設定により、使用する版形状と所望の膜厚に対する適
切な粘弾特性を広範囲に調製可能である。本発明のポリ
イミド組成物の好ましい粘弾特性の範囲は、0.5sec
-1における見掛け粘度[η0.5]がおおよそ150ポイ
ズ以上50000ポイズ以下であり、20sec-1におけ
る見掛け粘度[η20]がおおよそ50ポイズ以上500
0ポイズ以下である。[η0.5]が150ポイズまたは
[η20]が50ポイズ未満ではパターン形状保持性が劣
り、[η0.5]が50000ポイズまたは[η20]が5
000ポイズを越えると400メッシュ以上の高メッシ
ュ版を用いた場合版目づまりを引き起こし好ましくな
い。
The polyimide composition of the present invention can form a relief pattern having a thickness of 0.1 to 100 μm after desolvation, and can be used by setting conditions such as selection of adopted components and setting of solid content concentration. The appropriate viscoelastic properties for the desired plate shape and desired film thickness can be adjusted over a wide range. The range of preferred viscoelastic properties of the polyimide composition of the present invention is 0.5 sec.
The apparent viscosity [η 0.5 ] at -1 is about 150 poise to 50,000 poise, and the apparent viscosity [η 20 ] at 20 sec -1 is about 50 to 500 poise.
0 poise or less. If [η 0.5 ] is less than 150 poise or [η 20 ] is less than 50 poise, pattern shape retention is inferior, and [η 0.5 ] is 50,000 poise or [η 20 ] is 5
If it exceeds 000 poise, the use of a high mesh plate of 400 mesh or more causes clogging of the plate, which is not preferable.

【0033】また、イミド化率の測定方法は種々知られ
ており、核磁気共鳴分光法(NMR)、フーリエ変換赤
外分光法(FT−IR法)、イミド閉環に伴う水分を定
量する方法、カルボン酸中和滴定法があるが、本発明の
ポリイミド組成物のイミド化率の定量には核磁気共鳴分
光法(NMR)を適用した。
Various methods for measuring the imidation ratio are known, such as nuclear magnetic resonance spectroscopy (NMR), Fourier transform infrared spectroscopy (FT-IR), and a method for quantifying water accompanying imide ring closure. Although there is a carboxylic acid neutralization titration method, nuclear magnetic resonance spectroscopy (NMR) was applied for quantification of the imidation ratio of the polyimide composition of the present invention.

【0034】すなわち、9〜11ppm付近のアミド基
に帰属される1Hと6〜9ppm付近の芳香族に帰属さ
れる1Hとの積分比から算出した。なお、核磁気共鳴分
光器として日本電子(株)社製 JNW−WIN300
を使用した。
That is, it was calculated from the integral ratio of 1 H attributable to the amide group at around 9 to 11 ppm and 1 H attributable to the aromatic at around 6 to 9 ppm. As a nuclear magnetic resonance spectrometer, JNW-WIN300 manufactured by JEOL Ltd.
It was used.

【0035】この粘弾特性範囲のペーストの選択によ
り、薄膜から厚膜まで、適切なスクリーン印刷条件下
で、実用性に優れた版パターン開口部への充填性と、形
成されたレリーフパターンの形状保持性が得られる。
By selecting a paste having this viscoelastic characteristic range, from a thin film to a thick film, under appropriate screen printing conditions, the filling property into the plate pattern opening, which is excellent in practicality, and the shape of the formed relief pattern Retention is obtained.

【0036】スクリーン印刷により形成した本発明のペ
ースト状のポリイミド組成物のレリーフパターンは、脱
溶媒するのみでポリイミド膜パターンを得ることができ
る。脱溶媒の条件としては、コーティング膜厚により、
オーブンあるいはホットプレートにより30〜250℃
で行うが、処理時間の全体に亘って一定の温度であって
も良く、徐々に昇温させながら行うこともでき、脱溶媒
処理における最高温度は100℃〜200℃の範囲と
し、1〜150分間、空気あるいは窒素などの不活性雰
囲気下で加熱により行うことが好ましい。。
With respect to the relief pattern of the paste-form polyimide composition of the present invention formed by screen printing, a polyimide film pattern can be obtained only by removing the solvent. Desolvation conditions depend on the coating film thickness.
30 ~ 250 ℃ by oven or hot plate
However, the temperature may be constant over the entire processing time, or may be performed while gradually increasing the temperature. The maximum temperature in the desolvation treatment is in the range of 100 ° C. to 200 ° C., and 1 to 150 ° C. It is preferable to perform the heating by heating in an inert atmosphere such as air or nitrogen for minutes. .

【0037】また必要に応じて焼成することもできる
が、焼成条件としては、コーティング膜厚により、オー
ブンあるいはホットプレートにより加熱温度が120℃
〜450℃の範囲であり、150℃〜400℃が好まし
く、180℃〜350℃がさらに好ましい。焼成に要す
る時間はコーティング膜厚によるが、10分〜5時間で
あり、20分〜3時間が好ましく、30分〜2時間がさ
らに好ましい。
If necessary, firing may be performed. The firing conditions are as follows: the heating temperature is 120 ° C. by an oven or a hot plate depending on the coating film thickness.
To 450 ° C, preferably 150 to 400 ° C, more preferably 180 to 350 ° C. The time required for baking depends on the coating film thickness, but is 10 minutes to 5 hours, preferably 20 minutes to 3 hours, and more preferably 30 minutes to 2 hours.

【0038】本発明のポリイミド組成物の特に好ましい
実施態様を述べるならば、 (a)1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,
1,2,2−テトラメチルジシロキサンの1〜10モル
% (b)ジアミノポリシロキサン(化1で表され、Zはn
−プロピレン基、Rはメチル基,dは8である。)の8
〜15モル% (c)(4−(3−アミノフェノキシ)フェニルスルフ
ォンの75〜90モル%(d)、ODAの0〜10モル
% からなるジアミン成分と (e)ピロメリット酸二無水物50〜80モル% (f)ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物20〜
50モル% からなるテトラカルボン酸成分を実質的に当モル量同士
で、樹脂固形分が30〜45重量%となる量のγ−ブチ
ロラクトンまたはn−メチルピロリドン溶媒中で反応さ
せて得られるポリイミドと溶媒を含むこと。 のポリイミドは実質的にイミド化が完結しているこ
と。 のポリイミドと溶媒にはさらに固形分100重量部
に対して2〜5重量部のベンゾトリアゾール誘導体を含
むこと。 の組成物はチクソトロピー係数が1.5以上、且つ
見掛け粘度[η0.5]が150〜50,000ポイズ、
見掛け粘度[η20]が50〜5,000ポイズであるこ
と。 ベンゾトリアゾール誘導体として、1H−ベンゾトリ
アゾールカルボン酸、1−(2,3−ジヒドロキシプロ
ピル)ベンゾトリアゾールを使うこと。 の組成物を銅または銅合金にスクリーン印刷するこ
と。 で印刷されたパターンを150〜220℃で脱溶剤
すること。 と指摘することができるが、この実施態様に限定するも
のではない。
Particularly preferred embodiments of the polyimide composition of the present invention are as follows: (a) 1,3-bis (3-aminopropyl) -1,
1 to 10% by mole of 1,2,2-tetramethyldisiloxane (b) diaminopolysiloxane (represented by the formula 1;
A propylene group, R is a methyl group, and d is 8. ) 8
(C) 75-90 mol% of (4- (3-aminophenoxy) phenylsulfone (d), 0-10 mol% of ODA, and (e) pyromellitic dianhydride 50 (F) benzophenonetetracarboxylic dianhydride 20-
A polyimide obtained by reacting a 50 mol% tetracarboxylic acid component in substantially equimolar amounts with each other in a γ-butyrolactone or n-methylpyrrolidone solvent in an amount such that the resin solid content becomes 30 to 45 wt%. Include solvent. That the imidization of polyimide is substantially completed. The polyimide and the solvent further contain 2 to 5 parts by weight of a benzotriazole derivative based on 100 parts by weight of the solid content. The composition has a thixotropy coefficient of 1.5 or more and an apparent viscosity [η 0.5 ] of 150 to 50,000 poise,
The apparent viscosity [η 20 ] is 50 to 5,000 poise. Use of 1H-benzotriazolecarboxylic acid, 1- (2,3-dihydroxypropyl) benzotriazole as the benzotriazole derivative. Screen-printing the composition of claim 1 on copper or a copper alloy. Desolvating the printed pattern at 150 to 220 ° C. However, the present invention is not limited to this embodiment.

【0039】本発明のポリイミド組成物をコーティング
する基材としては、特に銅または銅合金からなる基材が
適するが、勿論それに限定されず、アルミニューム、シ
リコンもしくはこれらの合金またはステンレス鋼等の金
属、アルミナ、ガラス、ホウケイ酸ガラス、石英、シル
コニア、ムライト、窒化珪素などのセラミックス、チタ
ン酸バリウム、ニオブ酸リチウム、ニオブ酸タンタル、
ガリウム砒素、インジウム燐などの半導体材料などを非
制限的に挙げることができる。また、これらの表面にポ
リイミド、芳香族ポリアミド、ポリフェレン、ポリキシ
リレン、ポリフェニレンオキサイド、ポリスルホン、ポ
リアミドイミド、ポリエステルイミド、ポリベンズイミ
ダゾール、ポリキナゾリンジオン、ポリベンゾオキサジ
ノンなどの耐熱性高分子化合物を被覆した基板に対して
もコーティングすることは可能である。
As the substrate on which the polyimide composition of the present invention is coated, a substrate composed of copper or a copper alloy is particularly suitable, but is not limited to this. Of course, aluminum, silicon or their alloys or metals such as stainless steel , Alumina, glass, borosilicate glass, quartz, zirconia, mullite, ceramics such as silicon nitride, barium titanate, lithium niobate, tantalum niobate,
Semiconductor materials such as gallium arsenide and indium phosphide can be used without limitation. In addition, a substrate coated with a heat-resistant polymer compound such as polyimide, aromatic polyamide, polyphenylene, polyxylylene, polyphenylene oxide, polysulfone, polyamideimide, polyesterimide, polybenzimidazole, polyquinazolinedione, or polybenzoxazinone. Can be coated.

【0040】本発明のポリイミド組成物のより具体的な
応用を非制限的に例示すれば、シリコンウェハ、ガリウ
ム砒素などからなる基板上のモノリシックIC、例えば
DRAM、SRAM、CPUなど、セラミック基板やガ
ラス基板上に形成されるハイブリッドIC、サーマルヘ
ッド、イメージセンサー、マルチチップ高密度実装基板
などのデバイス、TABテープ、フレキシブル基板、リ
ジッド配線板などの各種配線板などの層間絶縁膜または
表面保護、α線遮蔽を始め各種の目的を有する保護膜な
どとして使用できるが、特に銅または銅合金の表面と接
触する部分での使用が好適である。
More specific examples of the application of the polyimide composition of the present invention include, but are not limited to, monolithic ICs on substrates made of silicon wafers, gallium arsenide, etc., such as DRAM, SRAM, CPU, ceramic substrates, glass, and the like. Devices such as hybrid ICs, thermal heads, image sensors, multi-chip high-density mounting boards formed on substrates, interlayer insulating films or surface protection for various wiring boards such as TAB tapes, flexible boards, and rigid wiring boards, α-rays Although it can be used as a protective film having various purposes such as shielding, it is particularly preferable to use it at a portion in contact with the surface of copper or a copper alloy.

【0041】以下に実施例をもって本発明をより詳細に
説明するが、これらの実施態様に限られるものではな
い。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but it should not be construed that the invention is limited thereto.

【0042】[0042]

【実施例】〔実施例1〕熱電対、攪拌装置、還流コンデ
ンサーを具えたガラス製4ツ口セパラブルフラスコにジ
アミン成分とテトラカルボン酸成分が当モル量となるよ
うに、1.688gの1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,2,2−テトラメチルジシロキサン(以
下、「TMDS」という。6.791mmol)、2
5.91gのジアミノポリシロキサン(化1で表され、
Zはn−プロピレン基、Rはメチル基,dは8である。
以下、「DAPS」という。27.16mmol)、8
3.22gの(4−(3−アミノフェノキシ)フェニル
スルフォン(以下、「BAPS」という。192.4m
mol)、34.56gのピロメリット酸二無水物(以
下、「PMDA」という。158.5mmol)、2
1.88gのベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
(以下、「BTDA」という。67.91mmol)を
仕込み、273.5gのγ−ブチロラクトンを加え18
0℃で4時間攪拌した。別に10.05gの1H−ベン
ゾトリアゾールカルボン酸(城北化学工業製CBT−
1)を30.20gの1,3−ジメチル−2−イミダゾ
リジノンに溶解し、添加剤溶液を調製した。その後約1
00℃まで冷却した時点で重合溶液に26.95gの調
製した添加剤溶液を添加し、十分攪拌した。室温まで冷
却した際、得られたポリイミド溶液を1H−NMRでし
たところイミド化率は99%以上であり、0.5sec
-1での見掛け粘度は480ポイズでチクソトロピー係数
は1であった。
EXAMPLES Example 1 1.688 g of 1.688 g of a diamine component and a tetracarboxylic acid component were placed in a glass four-neck separable flask equipped with a thermocouple, a stirrer, and a reflux condenser so as to have an equimolar amount of a diamine component and a tetracarboxylic acid component. , 3-Bis (3-aminopropyl) -1,1,2,2-tetramethyldisiloxane (hereinafter referred to as "TMDS"; 6.791 mmol), 2
5.91 g of diaminopolysiloxane (represented by the formula 1
Z is an n-propylene group, R is a methyl group, and d is 8.
Hereinafter, it is called “DAPS”. 27.16 mmol), 8
3.22 g of (4- (3-aminophenoxy) phenylsulfone (hereinafter referred to as “BAPS”; 192.4 m)
mol), 34.56 g of pyromellitic dianhydride (hereinafter, referred to as “PMDA”; 158.5 mmol), 2
1.88 g of benzophenonetetracarboxylic dianhydride (hereinafter referred to as “BTDA”, 67.91 mmol) was charged, and 273.5 g of γ-butyrolactone was added thereto.
Stirred at 0 ° C. for 4 hours. Separately, 10.05 g of 1H-benzotriazolecarboxylic acid (CBT-
1) was dissolved in 30.20 g of 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone to prepare an additive solution. Then about 1
When cooled to 00 ° C., 26.95 g of the prepared additive solution was added to the polymerization solution, and the mixture was sufficiently stirred. When cooled down to room temperature, the obtained polyimide solution was analyzed by 1 H-NMR.
The apparent viscosity at -1 was 480 poise and the thixotropic coefficient was 1.

【0043】その後室温に静置して30日後には0.5
sec-1および20sec-1での見掛け粘度はそれぞれ
10,000ポイズおよび1,650ポイズでチクソト
ロピー係数は6.1であった。
Thereafter, the mixture was allowed to stand at room temperature.
thixotropic factor apparent viscosity at each of 10,000 poise and 1,650 poise at sec -1 and 20sec -1 was 6.1.

【0044】ペーストの印刷性評価として、200μm
のビア穴を250μmの間隔で100個形成する400
メッシュのスクリーン印刷版を用い、銅表面TABテー
プに100枚連続印刷したところ、抜け、欠け、糸曳
き、滲み等の不良は見られず良好なパターンが得られ
た。この印刷物をオーブン中に置き、40℃で30分保
持し、ついで昇温時間30分で180℃とし、その後2
時間保持した後の膜厚は8μmであった。形成されたパ
ターンの基板面寸法はいずれのパターンについても±3
0μm以内、また、印刷版面寸法と基板面寸法の差はい
ずれの基板面パターンについても50μm以内であり、
パターンの形状保持性も良好であった。
The printability of the paste was evaluated as 200 μm
Forming 100 via holes at 250 μm intervals 400
When 100 sheets were continuously printed on a copper surface TAB tape using a mesh screen printing plate, a good pattern was obtained without any defects such as missing, chipping, stringing and bleeding. The printed matter was placed in an oven, kept at 40 ° C. for 30 minutes, then heated to 180 ° C. for 30 minutes, and then heated for 2 minutes.
The film thickness after holding for a time was 8 μm. The substrate surface dimension of the formed pattern was ± 3 for each pattern.
0 μm or less, and the difference between the printing plate surface dimensions and the substrate surface dimensions is within 50 μm for any substrate surface pattern.
The shape retention of the pattern was also good.

【0045】接着性評価は配線基板作成時に一般的に行
われている金メッキ処理工程に従って評価した。すなわ
ち、アルカリ洗浄(10%KOH水溶液に浸漬し、室温
で1分間超音波を照射し、その後水ですすぐ。)、酸洗
浄(10%硫酸水溶液に浸漬し、室温で1分間超音波を
照射し、その後水ですすぐ。)を行い十分に水を切った
後、非シアン系金メッキ液(ミクロファブ100、田中
貴金属製)に65℃で1分間浸漬し、脱溶媒後パターン
周辺の剥離有無を顕微鏡を用い確認したところ、パター
ン開口部への処理液の染み込み、および剥離は認められ
ず良好な接着性を示した。結果を表1および表2に示
す。
The evaluation of the adhesiveness was performed according to a gold plating process generally performed at the time of preparing a wiring board. That is, alkali washing (immersing in a 10% KOH aqueous solution, irradiating with ultrasonic waves for 1 minute at room temperature, and then rinsing with water), and acid washing (immersing in a 10% aqueous sulfuric acid solution and irradiating ultrasonic waves for 1 minute at room temperature). Rinsing with water.), And then immersing it in a non-cyanide-based gold plating solution (Microfab 100, manufactured by Tanaka Kikinzoku) at 65 ° C for 1 minute. As a result, it was confirmed that the treatment liquid did not penetrate into the opening of the pattern and was not peeled off, and showed good adhesion. The results are shown in Tables 1 and 2.

【0046】[0046]

【表1】 [Table 1]

【0047】TMDS:1,3−ビス(3−アミノプロ
ピル)−1,1,2,2−テトラメチルジシロキサン DAPS:ジアミノポリシロキサン(化1で表され、Z
はn−プロピレン基、Rはメチル基,dは8である。) BAPS:(4−(3−アミノフェノキシ)フェニルス
ルフォン ODA:4,4’−ジアミノジフェニルエーテル PMDA:ピロメリット酸二無水物 BTDA:ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物 NMP:N−メチルピロリドン CBT−1:1H−ベンゾトリアゾールカルボン酸(城
北化学工業(株)製品) BT−GL:1−(2,3−ジヒドロキシプロピル)ベ
ンゾトリアゾール(城北化学工業(株)製品)
TMDS: 1,3-bis (3-aminopropyl) -1,1,2,2-tetramethyldisiloxane DAPS: diaminopolysiloxane (represented by the formula
Is an n-propylene group, R is a methyl group, and d is 8. BAPS: (4- (3-aminophenoxy) phenylsulfone ODA: 4,4'-diaminodiphenylether PMDA: pyromellitic dianhydride BTDA: benzophenone tetracarboxylic dianhydride NMP: N-methylpyrrolidone CBT-1: 1H-benzotriazolecarboxylic acid (Johoku Chemical Co., Ltd. product) BT-GL: 1- (2,3-dihydroxypropyl) benzotriazole (Johoku Chemical Co., Ltd. product)

【0048】[0048]

【表2】 [Table 2]

【0049】〔実施例2〕ベンゾトリアゾール誘導体と
して、1−(2,3−ジヒドロキシプロピル)ベンゾト
リアゾール(城北化学工業製BT−GL)を用いた他は
実施例1と同様にポリイミド組成物の調製およびパター
ンの形成・試験を行い、結果を表1および表2に示し
た。ジアミン成分およびテトラカルボン酸成分はそれぞ
れ何れも約226mmolを使用した。以下の各実施例
および比較例でも同じである。
Example 2 Preparation of a polyimide composition in the same manner as in Example 1 except that 1- (2,3-dihydroxypropyl) benzotriazole (BT-GL manufactured by Johoku Chemical Co., Ltd.) was used as the benzotriazole derivative. In addition, pattern formation and testing were performed, and the results are shown in Tables 1 and 2. About 226 mmol was used for each of the diamine component and the tetracarboxylic acid component. The same applies to the following examples and comparative examples.

【0050】〔実施例3〕BTDAとBPDAの比率お
よび固形分濃度を表1に示した通りに変えた他は実施例
1と同様にポリイミド組成物の調製およびパターンの形
成・試験を行い、結果を表1および表2に示した。
Example 3 A polyimide composition was prepared and a pattern was formed and tested in the same manner as in Example 1 except that the ratio of BTDA and BPDA and the solid content were changed as shown in Table 1. Are shown in Tables 1 and 2.

【0051】〔実施例4〕ジアミン成分、テトラカルボ
ン酸成分および固形(樹脂)分濃度を表1に示した通り
に変えた他は実施例1と同様にポリイミド組成物の調製
およびパターンの形成・試験を行い、結果を表1および
表2に示した。
Example 4 A polyimide composition was prepared and a pattern was formed in the same manner as in Example 1 except that the diamine component, the tetracarboxylic acid component, and the solid (resin) component concentration were changed as shown in Table 1. The test was performed, and the results are shown in Tables 1 and 2.

【0052】〔比較例1〕実施例1において添加剤を使
用せずに同様の試験を行っが、金メッキ処理液の界面へ
の染み込みがあり、ポリイミド膜の剥離が生じた。結果
を表1および表2に示した。
[Comparative Example 1] A similar test was conducted in Example 1 without using any additives. However, the gold plating solution permeated the interface, and the polyimide film was peeled off. The results are shown in Tables 1 and 2.

【0053】〔比較例2〕溶媒をN−メチルピロリドン
として、TMDSとDAPSの比率、固形(樹脂)分濃
度を表1に示した通りに変えた他は実施例1と同様にポ
リイミド溶液を調製し、30日間静置したがチクソトロ
ピー係数は1.1でスクリーン印刷に適さなかった。結
果を表1および表2に示した。
Comparative Example 2 A polyimide solution was prepared in the same manner as in Example 1 except that the solvent was N-methylpyrrolidone and the ratio between TMDS and DAPS and the solid (resin) content were changed as shown in Table 1. Then, the plate was allowed to stand for 30 days, but had a thixotropy coefficient of 1.1, which was not suitable for screen printing. The results are shown in Tables 1 and 2.

【0054】[0054]

【発明の効果】本発明のポリイミド組成物は、添加剤と
してベンゾトリアゾール誘導体を配合することでポリイ
ミドと金属の界面での金属酸化物の生成を防止でき、し
かもポリイミド化が完了しているので基材に塗布した後
比較的低い温度での脱溶媒処理をするのみでポリイミド
コーティング膜を形成できるため、これらの相乗的な効
果を奏し、接着性の著しい改善効果が得られる。
The polyimide composition of the present invention can prevent the formation of metal oxide at the interface between polyimide and metal by adding a benzotriazole derivative as an additive. Since a polyimide coating film can be formed only by applying a solvent at a relatively low temperature after being applied to a material, a synergistic effect of these can be obtained, and a remarkable effect of improving adhesiveness can be obtained.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 芳香族テトラカルボン酸成分と芳香族ジ
アミン成分と含酸素溶媒を混合または反応させて得られ
た実質的に完全にイミド化したポリイミドと溶媒からな
る組成物がさらに添加剤を含み、下記で定義されるチク
ソトロピー係数が1.5以上、且つ見掛け粘度
[η0.5]が150〜50,000ポイズ、見掛け粘度
[η20]が50〜5,000ポイズであるポリイミド組
成物であって、該添加剤がベンゾトリアゾール誘導体で
あるポリイミド組成物。チクソトロピー係数とは、定常
ずり速度が0.5sec-1における見掛け粘度[η0.5
を、定常ずり速度が20sec-1における見掛け粘度[η
20]で除した値とする。
A composition comprising a solvent and a substantially completely imidized polyimide obtained by mixing or reacting an aromatic tetracarboxylic acid component, an aromatic diamine component and an oxygen-containing solvent, further comprising an additive. A polyimide composition having a thixotropy coefficient of 1.5 or more, an apparent viscosity [η 0.5 ] of 150 to 50,000 poise, and an apparent viscosity [η 20 ] of 50 to 5,000 poise, defined below. And a polyimide composition wherein the additive is a benzotriazole derivative. The thixotropy coefficient is an apparent viscosity [η 0.5 ] at a steady shear rate of 0.5 sec −1 .
And the apparent viscosity [η at a steady shear rate of 20 sec -1 ]
20 ].
【請求項2】 芳香族テトラカルボン酸成分が、ベンゼ
ンテトラカルボン酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水
物、ターフェニルテトラカルボン酸二無水物またはこれ
らの反応性誘導体の50モル%以上とその他のテトラカ
ルボン酸二無水物またはその反応性誘導体の50モル%
未満からなることを特徴とする請求項1記載のポリイミ
ド組成物。
2. The aromatic tetracarboxylic acid component is benzenetetracarboxylic dianhydride, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, biphenyltetracarboxylic dianhydride, terphenyltetracarboxylic dianhydride or a reactivity thereof. 50 mol% or more of the derivative and 50 mol% of the other tetracarboxylic dianhydride or its reactive derivative
The polyimide composition according to claim 1, comprising:
【請求項3】 芳香族ジアミン成分が、ビス(4−(3
−アミノフェノキシ)フェニル)スルフォンまたはその
反応性誘導体の70モル%以上とシロキシジアミン化合
物の0.5〜10モル%、ジアミノポリシロキサン化合
物の1〜20モル%とその他のジアミンからなることを
特徴とする請求項1乃至2記載のポリイミド組成物。
3. The method according to claim 1, wherein the aromatic diamine component is bis (4- (3
-Aminophenoxy) phenyl) sulfone or a reactive derivative thereof, comprising at least 70 mol%, a siloxydiamine compound at 0.5 to 10 mol%, a diaminopolysiloxane compound at 1 to 20 mol%, and another diamine. The polyimide composition according to claim 1 or 2, wherein
【請求項4】 ベンゾトリアゾール誘導体が、芳香族テ
トラカルボン酸成分と芳香族ジアミン成分の合計100
重量部に対し2〜15重量部であることを特徴とする請
求項1乃至3記載のポリイミド組成物。
4. A benzotriazole derivative comprising an aromatic tetracarboxylic acid component and an aromatic diamine component in a total amount of 100
The polyimide composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the amount is 2 to 15 parts by weight based on parts by weight.
【請求項5】 請求項1乃至4記載のポリイミド組成物
を銅または銅合金からなる基材に印刷して、脱溶媒およ
び/または焼成することにより得られたポリイミド被膜
を有する物品。
5. An article having a polyimide coating obtained by printing the polyimide composition according to claim 1 on a substrate made of copper or a copper alloy, and removing the solvent and / or baking.
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