JPH11165419A - インクジェット記録ヘッドの製造方法、そのインクジェット記録ヘッドおよび該インクジェット記録ヘッドを具備したインクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 接着剤の塗布において、接着剤がインク流路
に流れ込ませず確実に行い、かつ、貼り合わせの際に余
剰な接着剤が吐出口やインク流路などに入り込まず、オ
リフィスプレートの位置ズレのないインクジェット記録
ヘッドの製造方法、該方法により製造されるインクジェ
ット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置を提供す
る。 【解決手段】 天板のインク供給からインク吐出側に向
けて各インク流路に所定の気体を噴射させつつ、エネル
ギー発生素子と天板との接合面に接着剤を塗布する工程
と、オリフィスプレートを当該接合面の所定位置に位置
決めし、貼り合わせする工程を備えたことを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録ヘッド、特に文字や画像の記録に必要なときのみイン
クを噴射させて記録するオンデマンド形インクジェット
記録ヘッドの製造方法、そのインクジェット記録ヘッド
および該インクジェット記録ヘッドを具備したインクジ
ェット記録装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、インクジェット記録装置は小型
化、低価格化のみならず、カラー記録化、高階調化、高
画質化への要求が高まってきている。したがって、本装
置に適用されるインクジェット記録ヘッドも小型化、低
価格化のみならず、カラー記録化、高階調化、高画質化
への要求に対応する必要がある。

【０００３】図８は、従来のインクジェット記録ヘッド
の概観斜視図である。

【０００４】図７は、図８の各構成部分を説明するため
の分解斜視図である。

【０００５】図２で、７２０は、インクを吐出するため
のエネルギー発生素子１０１が設けられた基板であり、
３００は、基板７２０のエネルギー発生素子の配設部位
に対応して、インク流路を形成するための流路形成部４
００および、前記流路に連通して、該インク路にインク
を供給するための共通液室４５０を備えた天板であり、
さらに、前記流路に連通して、複数のインクの吐出口６
３０が構成されているオリフィスプレート（吐出口形成
部材）６００が、基板７２０と、天板３００との接合面
に当接された分解部分の構成である。

【０００６】このとき、各構成部材の接合部分（面）を
所定位置に固定するための接着剤２００（斜線部）が塗
布されている。

【０００７】また、１００（図８）はこれらの構成部材
を、組立時に保持するための支持部材である。

【０００８】ここで図６ａは図８の従来のインクジェッ
ト記録ヘッドを吐出口６３０の中心軸として吐出方向に
対し側面方向（図７のＡ方向）から切った断面図であ
る。図６ａで、流路形成部４００に対応して、複数のイ
ンクの吐出口６３０が構成されているオリフィスプレー
ト（吐出口形成部材）６００が、基板７２０と、流路形
成部材７１０との接合面とに当接された構成において、
これらを固定保持するための接着剤２００が介在してい
る。

【０００９】図６ｂは、図６ａでの従来のインクジェッ
ト記録ヘッドのオリフィスプレート６００を貼り合わせ
時を説明する断面図である。

【００１０】図６ｂでは、インクを吐出するためのエネ
ルギー発生素子１０１が設けられた基板と、エネルギー
発生素子の配設部位に対応してインク流路を形成するた
めの流路形成部を備えた天板３００との接合面に、各接
合部分を所定位置に固定するための接着剤２００（斜線
部）が塗布され、それぞれのインク流路に応じた吐出口
６３０を有するオリフィスプレート６００を位置決め
し、貼り合わせる製造工程時の断面図である。

【００１１】また、従来のインクジェット記録ヘッドで
は、オリフィスプレート６００の反吐出方向面側に接着
剤２００が塗布され、このオリフィスプレートを、それ
ぞれの吐出口６３０に対応したインク流路の接合面に位
置決めし、貼り合わせた製造方法（工程）もある。

【００１２】ここで、インクジェット記録ヘッドの小型
化、低価格化のみならず、高精細なカラー記録化に伴
い、異なる複数のインク色の吐出を行うため、上記、吐
出口６３０が複数で構成され、かつ、異なるインクがそ
れぞれの対応する吐出口から吐出するインクジェット記
録ヘッドも考案されており、吐出口は、より均一に、か
つ微細化され、また複数の吐出口列の配列密度も高いも
のが要求されている。

【００１３】よって、前記構成での吐出口の形状の安定
性、均一性が、重要であり、インク流路を含めた、吐出
口近傍が、不均一であると、インク吐出時の吐出方向、
ならびに、吐出量がばらつきを生じ、高精細なインク記
録品質の低下を招く。

【００１４】ここで、上記吐出口近傍が不均一になる原
因の一つとして、吐出口内、ないしはインク流路内に接
着剤などの汚染部が流れ込み、所定形状が変化してしま
うことが挙げられる。さらに、この流れ込みが多い場合
には、吐出口が塞がってしまい、インク吐出が不可能と
なる。

【００１５】そのため、上記接着剤の塗布、ならびに、
貼り合わせの際に、何らかの接着剤が用いられている
が、この接着剤の塗布において、接着剤がインク流路に
流れ込ませずに確実に行い、かつ、貼り合わせの際に、
余剰な接着剤が、吐出口や、インク流路などに入り込む
ことを防止することが重要となってくる。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、接着剤
の塗布の際に、接着剤の塗布量、塗布位置のばらつきな
どが生じると、余剰な接着剤が、インク流路などに入り
込む可能性がある。

【００１７】さらにまた、塗布の際に、入り込みがなく
とも、次工程となる貼り合わせの際に、オリフィスプレ
ートとの位置ズレ、または、これに伴う接着剤の流動が
生じると、余剰な接着剤が、吐出口や、インク流路など
に入り込むことの可能性がある。

【００１８】このため、接着剤の塗布量、塗布位置のば
らつきを減少させるため、高精度な塗布装置や、塗布後
のパターニング形成などを実施しているものがある。し
かしながら、接着剤の粘度管理、塗布装置の条件設定な
どでコスト、工数が増し、かつ、パターニングなどの処
理工程も増加する。

【００１９】さらにその後の工程として、オリフィスプ
レート貼り合わせ時の位置ずれ、またはこの際の接着剤
流動を防ぐため、高精度な位置決めが必要であり、位置
決め（装置制御）のための工数が増加する。

【００２０】一方、接着剤が、吐出口や、インク流路な
どに入り込んだ場合に、これを、オリフィスプレートの
吐出口側から、レーザなどを用いて除去することが考案
されている。

【００２１】しかしながら、接着剤の粘度が低いものを
用いたときなど、インク流路の奥にまで流れ、除去を確
実に行うことが困難である。かつ、上記接着剤のパター
ンニング法と同様に、接着剤の粘度管理、貼り合わせ時
のずれなどを管理する必要が生じ、管理コスト、製造工
数が増加する。

【００２２】本発明は、上述した課題を解決するために
なされたものであり、その目的とするところは、塗布な
らびに、貼り合わせの際、接着剤が、吐出口や、インク
流路などに入り込むことを防止し、接合時の信頼性の高
い、かつ、生産性の高い、安価なインクジェット記録ヘ
ッドの製造法、およびインクジェット記録ヘッドを提供
することである。

【００２３】

【課題を解決するための手段】前記の目的は以下の手段
によって達成される。

【００２４】すなわち、本発明は、インクを吐出するた
めのエネルギー発生素子が設けられた基板と、該エネル
ギー発生素子の配設部位に対応してインク流路を形成す
るための流路形成部および、前記流路に連通して、該イ
ンク路にインクを供給するための共通液室を備えた天板
とを接合し、該接合部分の接合面の各々に対応して設け
られた複数のインク吐出口を有するオリフィスプレート
（吐出形成部材）を備えたインクジェット記録ヘッドの
製造方法において、前記、天板のインク供給からインク
吐出側に向けた各インク流路の所定の気体を噴射させつ
つ、エネルギー発生素子と天板との接合面に接着剤を塗
布する工程と、オリフィスプレートを当該接合面の所定
位置に位置決めし、貼り合わせする工程を備えたことを
特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法を提案
するものであり、前記オリフィスプレートの接合面の所
定位置に位置決めし、貼り合わせする際に、当該オリフ
ィスプレートの複数のインク吐出口部が、反インク吐出
方向からインク吐出方向に向けて吸引されていることを
含む。

【００２５】また、本発明は、インクを吐出するための
エネルギー発生素子が設けられた基板と、該エネルギー
発生素子の配設部位に対応してインク流路を形成するた
めの流路形成部および、前記流路に連通して、該インク
路にインクを供給するための共通液室を備えた天板とを
接合し、該接合部分の接合面の各々に対応して設けられ
た複数のインク吐出口を有するオリフィスプレート（吐
出口形成部材）とを備えたインクジェット記録ヘッドの
製造方法において、前記、エネルギー発生素子と天板と
の接合面に接着剤を塗布する工程と、天板のインク供給
からインクを吐出側に向けて各インク流路に所定の気体
を噴射させつつオリフィスプレートを当該接合面の所定
の位置に位置決めし、貼り合わせする工程を備えたこと
を特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法を提
案するものであり、前記オリフィスプレートの接合面の
所定位置に位置決めし、貼り合わせする際に、当該オリ
フィスプレートの複数のインク吐出口部が、反インク吐
出方向からインク吐出方向に向けて吸引されていること
を含む。

【００２６】第一の発明においては、エネルギー発生素
子と天板との接合面に接着剤を塗布する工程と、オリフ
ィスプレートを当該接合面の所定位置に位置決めし、貼
り合わせする工程において、前記、天板のインク供給か
らインク吐出側に向けて各インク流路に所定の気体を噴
射させることで、接着剤の塗布の際に、接着剤の塗布
量、塗布位置のばらつきなどが生じる場合があっても、
余剰な接着剤が、気体の流動圧力により、インク流路な
どに入り込むことが防止される。

【００２７】かつ、貼り合わせの際に、オリフィスプレ
ートとの位置ズレまた、これに伴う接着剤の流動などが
生じる場合であっても、この際、天板のインク供給から
インク吐出側に向けて各インク流路に所定の気体を噴射
させることで、上記同様、気体圧力により、余剰な接着
剤が、吐出口や、インク流路などに入り込むことを防止
することが可能である。

【００２８】ここで、オリフィスプレートの複数のイン
ク吐出口部が、反インク吐出方向からインク吐出方向に
向けて吸引されていることによって、貼り合わせの際
に、気体の流動圧力が高まり、さらに確実に、接着剤
が、吐出口や、インク流路などに入り込むことを防止す
ることが可能である。

【００２９】また第二の発明においては、天板のインク
供給からインク吐出側に向けて各インク流路に所定の気
体を噴射させつつオリフィスプレートを当該接合面の所
定位置に位置決めし、貼り合わせする工程を備えてい
る。

【００３０】よって、エネルギー発生素子と天板との接
合面に接着剤を塗布する工程において、余剰な接着剤
が、インク流路などに入り込んだ場合においても、気体
の流動圧力によって排出される。

【００３１】かつ、貼り合わせの際に、オリフィスプレ
ートとの位置ズレ、また、これに伴う接着剤の流動など
が生じる場合であっても、余剰な接着剤が、吐出口や、
インク流路などに入り込むことを防止することが可能で
ある。

【００３２】ここで、オリフィスプレートの複数のイン
ク吐出口部が、反インク吐出方向からインク吐出方向に
向けて吸引されていることによって、貼り合わせの際
に、気体の流動圧が高まり、より確実に、接着剤が吐出
口や、インク流路などに入り込むことを防止することが
可能である。

【００３３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施例を詳細に説明する。

【００３４】

【実施例】（実施例１）図１は、本発明に係わるインク
ジェット記録ヘッドの概観斜視図である。

【００３５】さらに図２は図１の断面部分（Ｂ−Ｂ断
面）を示す内部拡大斜視図である。

【００３６】図３ａは、本発明に係わる製造方法を説明
するための概観斜視図、図３ｂ、ならびに図３ｃは、本
発明に係わる製造方法を説明するための断面図である。

【００３７】図１で２０は吐出されるためのインクが貯
蔵されるインクタンクであり、１０はインクをインク流
路へと導くための供給路で、天板のインク供給口（不図
示）と連通している。６００は複数の吐出口６３０を有
するオリフィスプレートであり、１００はこれらの構成
部材を、組立上支持する支持部材である。

【００３８】さらに図２は図１の断面部分（Ｂ−Ｂ断
面）を示す内部拡大斜視図であり、オリフィスプレート
６００内部にインクを吐出するためのエネルギー発生素
子が設けられた基板７２０と、該エネルギー発生素子の
配設部位に対応してインク流路を形成するための流路形
成部（不図示）および、前記流路に連通して、該インク
路にインクを供給するための共通液室を備えた天板３０
０とが接合されている。さらに、この接合面の各インク
流路と、これらに対応するオリフィスプレートとの各吐
出口６３０とを、接着剤を介して貼り合わせ、固定して
いる。

【００３９】図３ａは、上記接合面の各インク流路と、
これらに対応するオリフィスプレートとの各吐出口６３
０とを、接着剤を介して貼り合わせする工程を示し、本
発明に係わる製造方法を説明するための概観斜視図であ
る。

【００４０】本図において、３２５は天板３００のイン
ク供給口４５０からインク吐出側に向けて各インク流路
４００に所定の気体を注入するためのパイプ材であり、
３５０はオリフィスプレート６００を当該接合面の所定
位置に位置決めし、貼り合わせするための、これを保持
する部材であって、本実施例ではこれに連通するパイプ
材３２０からの吸引力によってオリフィスプレートを保
持している。

【００４１】ここで、天板３００とエネルギー発生素子
が設けられた基板７２０との接合面に接着剤２００を塗
布する工程を示した断面図が図３ｂであり、次に、オリ
フィスプレート６００の該接合面の所定位置に位置決め
し、貼り合わせする工程を示した断面図が３ｃである。

【００４２】まず図３ｂで、３８０は接着剤２００を接
合面へ噴霧するための吐出装置であり、この吐出面に具
備された複数のノズル３３５より、噴霧される。本例で
は噴霧による接着剤の塗布を挙げたが、これは、転写
や、スクリーン印刷などによってもよい。

【００４３】また、このとき用いる接着剤としては、エ
ポキシ系の熱硬化タイプを使用しているが、常温硬化タ
イプ、ホットメルト（熱可塑）タイプなどでもよく、シ
リコーン系、アクリル系の諸硬化タイプであってもよ
い。

【００４４】これらの諸タイプの粘度特性などに応じ
て、噴霧する力が最適化する。

【００４５】ここで、本発明ではこの塗布時に、天板３
００のインク供給口４５０に連通したパイプ材３２５よ
り、気体を注入させつつ、行っており、これによって、
気体がインク流路を通じて吐出口側へと流れる。（→
ｃ）したがって、この際に生じる気体の流動圧力によ
り、接合面に塗布された接着剤２００がインク流路へと
入り込むことを阻止できる。

【００４６】このときの注入圧力も、吐出口の数、噴霧
する接着剤の粘度、塗布厚などで、最適化される。

【００４７】本例では、粘度２０００〜１００００（Ｃ
ＰＳ）、塗布厚３〜１４（μｍ）での接着剤と塗布にお
いて、注入圧力は６（ｋｇ／ｃｍ² ）以下の設定でよ
い。

【００４８】さらに、図３ｃにおいては、オリフィスプ
レート６００の該接合面の所定位置に位置決めし、貼り
合わせする工程であり、この際にも、天板３００のイン
ク供給口４５０連通したパイプ材３２５より、気体を注
入させつつ、行っており、これによって、気体がインク
流路を通じて吐出口側へと流れる。（→ｃ）このときの
注入圧は、前述と同様、吐出口の数、噴霧する接着材の
粘度、塗布厚などで、最適化される。

【００４９】以上、この際に生じる気体の流動圧によ
り、接合面に貼り合わせするときに、押し出された接着
剤２００がインク流路へと入り込むことを阻止できる。
また、オリフィスプレート６００の吐出口６３０へ押し
出された接着剤が入り込んだ場合であっても、この際に
生じる気体の流動圧力により、入り込んだ接着剤をオリ
フィフスプレートの吐出口側へと排出できる。

【００５０】また、この際オリフィスプレート６００を
当該接合面の所定位置に位置決めし、貼り合わせするた
め、これを保持する部材３５０において、これに連通す
るパイプ材３２０からの吸引力によってオリフィフプレ
ート保持とともに、吐出口６３０を、反吐出側から吐出
側にかけて、吸引する（→Ｄ）ことで、より確実にイン
ク流路ならびに吐出口への接着剤の入り込みを防止でき
る。

【００５１】上記のような製造方法により、接着剤の塗
布において、接着剤がインク流路に流れ込ませず確実に
行い、かつ、貼り合せの際に、余剰な接着剤が、吐出口
や、インク流路などに入り込むことを防止することがで
きる。

【００５２】さらにまた、貼り合わせの際に、オリフィ
スプレートとの位置ズレ、また、これに伴う接着剤の流
動によって、余剰な接着剤が、吐出口や、インク流路な
どに入り込むことを防止でき、かつ、接着剤の管理コス
ト、装置条件の管理コスト、工程数を増加させることな
く、安価にインクジェット記録ヘッドの製造が可能であ
る。

【００５３】（実施例２）次に本発明の第２の実施例を
説明する。

【００５４】第二の実施例では、エネルギー発生素子と
天板との接合面に接着剤を塗布する工程において、この
塗布時に、天板３００のインク供給口４５０連通したパ
イプ材３２５より、気体を注入することを行わない。

【００５５】すなわち次工程でのオリフィスプレート６
００の該接合面の所定位置に位置決めし、貼り合わせす
る工程で、天板３００のインク供給口４５０連通したパ
イプ材３２５より、気体を注入させつつ、行っており、
これによって、気体がインク流路を通じて吐出口側へと
流れる。

【００５６】よって、前工程（塗布工程）において、イ
ンク流路側に接着剤が入り込んだ場合であっても、同時
にオリフィスプレートの吐出口側へと排出できる。

【００５７】このときの工程は図３ｃと同様であるので
上記説明を参照されたい。

【００５８】特に、本実施例は、塗布工程において、天
板３００のインク供給口４５０連通したパイプ材３２５
より、気体を注入させつつさせることが困難な場合、−
例えば、転写などでインク流路を一時的に密閉する必要
があり、インク流路から気体を噴霧すると密閉性が低下
するなどの際に有効であり、塗布時の接着剤の粘度は、
１００〜４０００（ＣＰＳ）程度の比較的低粘度のもの
が好ましい。

【００５９】上記の製造方法によれば、貼り合わせの際
に、オリフィスプレートとの位置ずれ、またこれに伴う
接着剤の流動によって、余剰な接着剤が、吐出口や、イ
ンク流路などに入り込むことを防止でき、かつ、工程数
を増加させることなく安価なインクジェット記録ヘッド
の製造が可能である。

【００６０】（他の実施例）以下に本発明を用いたイン
クジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置に
ついて説明する。

【００６１】図４はこのようなインクジェット記録ヘッ
ドの概略構成図であり、エッチング・蒸着・スパッタリ
ングなどの半導体製造プロセス工程を経て、基板１１０
２上に成膜形成された電気熱変換体１１０３、配線１１
０４、液路壁１１０５、天板１１０６から構成されてい
るインクジェットヘッドが示されている。

【００６２】記録用液体１１１２は図示していない液体
貯蔵室から液体供給管１１０７を通してヘッド１１０１
の共通液室１１０８内に供給される。図中１１０９は液
体供給管用コネクタである。共通液室１１０８内に供給
された液体１１１２は所謂毛管現象により液路１１１０
内に供給され、液路先端の吐出口面（オリフィス面）で
メニスカスを形成することにより安定に保持される。こ
こで電気熱変換体１１０３に通電することにより、電気
熱変換体面上の液体が急峻に加熱され、液路中に気泡が
生起され、この気泡の膨張・収縮により吐出口１１１１
から液体を吐出し液滴が形成される。

【００６３】図５は本発明が適用されるインクジェット
記録装置の概観図で、駆動モータ５０１３の正逆回転に
連動して駆動力伝達ギア５０１１，５００９を介して回
転するリードスクリュー５００５のら線溝５００４に対
して係合するキャリッジＨＣピン（不図示）を有し、矢
印ａ，ｂ方向に往復移動される。５００２は紙押さえ板
であり、キャリッジ移動方向にわたって紙をプラテン５
０００に対して押圧する。５００７，５００８はフォト
カプラでキャリッジのレバー５００６のこの域での存在
を確認してモータ５０１３の回転方向切換などを行うた
めのホームポジション検知手段である。５０１６は記録
ヘッドの前面をキャップするキャップ部材５０２２を支
持する部材で、５０１５はこのキャップ内を吸引する吸
引手段でキャップ内開口５０２３を介して記録ヘッドの
吸引回復を行う。５０１７はクリーニングブレードで、
５０１９はこのブレードを前後方向に移動可能にする部
材であり、本体支持板５０１８にこれらは支持されてい
る。ブレードは、この形態でなく周知のクリーニングブ
レードが本例に適用できることはいうまでもない。ま
た、５０１２は、吸引回復の吸引を開始するためのレバ
ーで、キャリッジと係合するカム５０２０の移動に伴っ
て移動し、駆動モータからの駆動力がクラッチ切換など
の公知の伝達手段で移動制御される。

【００６４】これらのキャッピング、クリーニング、吸
引回復は、キャリッジがホームポジション側領域にきた
ときにリードスクリュー５００５の作用によってそれら
の対応位置で所望の処理が行えるように構成されている
が、周知のタイミングで所望の作動を行うようにすれ
ば、本例にはいずれも適用できる。上述における各構成
は単独でも複合的に見ても優れた発明であり、本発明に
とって好ましい構成例を示している。

【００６５】なお、本装置にはインク圧吐出発生素子を
駆動するための駆動信号供給手段を有している。

【００６６】

【発明の効果】以上説明したような製造方法およびイン
クジェット記録ヘッドの構成によって、接着剤の塗布に
おいて、接着剤がインク流路に流れ込ませず確実に行
い、かつ、貼り合わせの際に、余剰な接着剤が、吐出口
や、インク流路などに入り込むことを防止することがで
きる。

【００６７】さらにまた、貼り合わせの際に、オリフィ
スプレートとの位置ズレ、また、これに伴う接着剤の流
動によって、余剰な接着剤が、吐出口や、インク流路な
どに入り込むことを防止でき、かつ、工程数を増加させ
ることなく安価なインクジェット記録ヘッドの製造が可
能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わるインクジェット記録ヘッドの概
観斜視図である。

【図２】図１の断面部分（Ｂ−Ｂ断面）を示す内部拡大
斜視図である。

【図３】図３ａは、本発明に係わる製造方法を説明する
ための概観斜視図であり、図３ｂは本発明に係わる製造
方法を説明するための断面図、図３ｃは本発明に係わる
製造方法を説明するための断面図である。

【図４】本発明の用いたインクジェット記録ヘッドの概
観構成図である。

【図５】本発明が適用されるインクジェット記録装置の
概観図である。

【図６】図６ａは従来のインクジェット記録ヘッドを吐
出口の中心軸として吐出方向に対し側面方向（図７のＡ
方向）から切った断面図であり、図６ｂは従来のインク
ジェット記録ヘッドでのオリフィスプレートを貼り合わ
せ時を説明する断面図である。

【図７】従来のインクジェット記録ヘッドの各構成部分
を説明するための分解斜視図である。

【図８】従来のインクジェット記録ヘッドの概観斜視図
である。

【符号の説明】

１００ 支持部材 １０１ エネルギー発生素子 ２００ 接着剤 ３００ 天板 ３３５ ノズル ３５０ オリフィスプレート保持部材 ４５０ インク供給口 ６００ オリフィスプレート ６３０ 吐出口

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクを吐出するためのエネルギー発生
   素子が設けられた基板と、該エネルギー発生素子の配設
   部位に対応してインク流路を形成するための流路形成部
   および、前記流路に連通して、該インク路にインクを供
   給するための共通液室を備えた天板とを接合し、該接合
   部分の接合面の各々に対応して設けられた複数のインク
   吐出口を有するオリフィスプレートとを備えたインクジ
   ェット記録ヘッドの製造方法において、 前記、天板のインク供給からインク吐出側に向けた各イ
   ンク流路の所定の気体を噴射させつつ、エネルギー発生
   素子と天板との接合面に接着剤を塗布する工程と、 オリフィスプレートを当該接合面の所定位置に位置決め
   し、貼り合わせする工程を備えたことを特徴とするイン
   クジェット記録ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 前記オリフィスプレートの接合面の所定
   位置に位置決めし、貼り合わせする際に、当該オリフィ
   スプレートの複数のインク吐出口部が、反インク吐出方
   向からインク吐出方向に向けて吸引されている請求項１
   記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 インクを吐出するためのエネルギー発生
   素子が設けられた基板と、該エネルギー発生素子の配設
   部位に対応してインク流路を形成するための流路形成部
   および、前記流路に連通して、該インク路にインクを供
   給するための共通液室を備えた天板とを接合し、該接合
   部分の接合面の各々に対応して設けられた複数のインク
   吐出口を有するオリフィスプレート（吐出口形成部材）
   とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法におい
   て、 前記、エネルギー発生素子と天板との接合面に接着剤を
   塗布する工程と、天板のインク供給からインク吐出側に
   向けて各インク流路に所定の気体を噴射させつつオリフ
   ィスプレートを当該接合面の所定の位置に位置決めし、
   貼り合わせする工程を備えたことを特徴とするインクジ
   ェット記録ヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】 前記オリフィスプレートの接合面の所定
   位置に位置決めし、貼り合わせする際に、当該オリフィ
   スプレートの複数のインク吐出口部が、反インク吐出方
   向からインク吐出方向に向けて吸引されている請求項３
   記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のうち、いずれか１項に記
   載の製造方法を用いたことを特徴とするインクジェット
   記録ヘッド。
6. 【請求項６】 請求項５に記載のインクジェット記録ヘ
   ッドを具備したことを特徴とするインクジェット記録装
   置。