JPH11165222A - Workpiece aligning device - Google Patents

Workpiece aligning device

Info

Publication number
JPH11165222A
JPH11165222A JP9334087A JP33408797A JPH11165222A JP H11165222 A JPH11165222 A JP H11165222A JP 9334087 A JP9334087 A JP 9334087A JP 33408797 A JP33408797 A JP 33408797A JP H11165222 A JPH11165222 A JP H11165222A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
work
tray
alignment tray
alignment
aligning
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP9334087A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3908360B2 (en
Inventor
Shinichi Inada
真一 稲田
Mitsunori Baba
光則 馬場
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rohm Co Ltd filed Critical Rohm Co Ltd
Priority to JP33408797A priority Critical patent/JP3908360B2/en
Publication of JPH11165222A publication Critical patent/JPH11165222A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3908360B2 publication Critical patent/JP3908360B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Automatic Assembly (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To increase the efficiency of workpiece aligning work by a simple means more than conventional means when an algining tray is mechanically operated to align the desired number of and many workpieces. SOLUTION: This is a workpiece aligning device provided with an aligning tray 1 in which a plurality of recessed parts for storing workpiece 11 are provided in a top face part and a mechanism part which causes the mechanical operation of the aligning tray 1 so as to store a plurality of workpieces charged on the aligning tray 1 into the recessed parts for storing workpiece 11 individually by moving them on this aligning tray 1. It has a control means 7 controlling the mechanism part in such a way that the contents of the mechanical operation of the aligning tray 1 are changed as time elapses when the mechanism part is driven.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【技術分野】本願発明は、半導体チップなどの所望の多
数のワークを所望の配列状態に整列させるのに用いられ
るワーク整列装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a work aligning apparatus used for aligning a desired large number of works such as semiconductor chips in a desired arrangement.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のワーク整列装置の一例を図10に
示す。同図に示すワーク整列装置は、上面部に複数のワ
ーク収容用凹部90を有する整列トレー9を具備してお
り、この整列トレー9はブラケット91を介して軸92
に支持され、この軸92を中心として予め定められた一
定角度θだけ上下方向に一定の周期で揺動可能に設けら
れている。また、上記ワーク収容用凹部90の底部に
は、真空ポンプ(図示略)に接続されたエア吸引孔93
が設けられており、上記ワーク収容用凹部90の底部に
は一定の吸引負圧が生じるように構成されている。
2. Description of the Related Art FIG. 10 shows an example of a conventional work aligning apparatus. The work aligning apparatus shown in FIG. 1 includes an alignment tray 9 having a plurality of recesses 90 for accommodating workpieces on an upper surface thereof.
, And swingable about the axis 92 at a predetermined constant angle θ in the vertical direction at a constant cycle. An air suction hole 93 connected to a vacuum pump (not shown) is provided at the bottom of the work accommodating recess 90.
Is provided so that a constant negative suction pressure is generated at the bottom of the work accommodating recess 90.

【0003】上記構成のワーク整列装置では、整列トレ
ー9を上下方向に揺動させることによって、その上面部
に予め投入された多数のワークWを上記整列トレー9上
において移動させることができる。そして、このような
動作により、上記多数のワークWのそれぞれをワーク収
容用凹部90内に所定の姿勢で嵌入させ、エア吸引孔9
3の吸引負圧によって吸着保持させることができる。こ
のようにすれば、多数のワークWを整列トレー9上にお
いて所定の配列状態に整列させることができる。したが
って、その後所定の機械装置を用いて上記各ワークWを
整列トレー9から取り出して所望の箇所へ供給するよう
な作業を行うのに便利となる。
[0003] In the work aligning apparatus having the above-described configuration, by swinging the alignment tray 9 in the vertical direction, a large number of works W previously loaded on the upper surface thereof can be moved on the alignment tray 9. By such an operation, each of the large number of works W is fitted into the work accommodating recess 90 in a predetermined posture, and the air suction holes 9 are formed.
The suction can be performed by the suction negative pressure of No. 3. In this way, a large number of works W can be aligned on the alignment tray 9 in a predetermined arrangement state. Therefore, it is convenient to carry out an operation of taking out each of the works W from the alignment tray 9 and supplying it to a desired location by using a predetermined mechanical device thereafter.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のワーク整列装置では、次のような不具合を生じてい
た。
However, the above-mentioned conventional work aligning apparatus has the following disadvantages.

【0005】すなわち、従来のワーク整列装置は、整列
トレー9を揺動させるときには、その揺動角度や揺動速
度(揺動周期)常に一定となっており、整列作業開始時
からその作業終了に至るまでの間は、同一態様の動作が
繰り返して行われていたに過ぎなかった。また、エア吸
引孔93に作用する吸引負圧力の値も常に一定となって
いた。このため、従来では、整列トレー9上に投入され
た多数のワークWは、基本的には、整列トレー9の動作
と同様に整列トレー9上を一定の規則性をもって移動す
ることとなり、ワークWの移動動作に意外性あるいは大
きな不規則性をもたせることが難しくなっていた。した
がって、従来では、多数のワークWを整列トレー9の上
面部の各所にまんべんなく行き渡らせるように種々の方
向に大きくばらけさせることが難しく、たとえば特定の
ワークWについては整列トレー9上の同一箇所を単に往
復動するだけとなってワーク収容用凹部90内には嵌入
しないままになるような場合があった。その結果、従来
では、多数のワークをワーク収容用凹部90のそれぞれ
の内部に短時間で収容させることが難しく、ワークの整
列作業効率が悪くなっていた。また、いわゆるワークの
整列率も悪くなるため、整列トレー9上において整列さ
れたワークを次工程において整列トレー9から取り出し
て利用するような場合には、その次工程の作業に支障を
きたす場合もあった。
That is, in the conventional work aligning apparatus, when the alignment tray 9 is swung, the swing angle and the swing speed (swing cycle) are always constant. Until that time, the same mode of operation was merely repeated. Further, the value of the negative suction pressure acting on the air suction holes 93 was always constant. For this reason, conventionally, a large number of workpieces W loaded on the alignment tray 9 basically move on the alignment tray 9 with a certain regularity similarly to the operation of the alignment tray 9, and the workpiece W It has been difficult to give unexpected or large irregularities to the movements of a person. Therefore, conventionally, it is difficult to widely disperse a large number of works W in various directions so as to be evenly distributed over the upper surface of the alignment tray 9. May simply reciprocate and remain unfit in the work accommodating recess 90. As a result, conventionally, it has been difficult to accommodate a large number of works in each of the work accommodating recesses 90 in a short time, and the work alignment work efficiency has deteriorated. In addition, since the so-called work alignment rate is deteriorated, when the work aligned on the alignment tray 9 is taken out from the alignment tray 9 in the next process and used, the work in the next process may be hindered. there were.

【0006】なお、従来では、整列トレー9の揺動角度
θを変更できるようにしたワーク整列装置もある。しか
しながら、この従来のワーク整列装置は、装置の運転停
止時において作業者が上記整列トレー9の揺動角度を任
意に調整できるように構成されたものに過ぎず、装置の
運転中においては整列トレー9の揺動角度が一定となっ
ていた。したがって、このような構成では、先の図10
において説明したワーク整列装置と同様に、結局は、ワ
ークを整列トレー上の各所にまんべんなく行き渡らせる
ように効率良く移動させことが難しく、ワークの整列作
業効率を高める上で一定の限界があった。
Conventionally, there is also a work aligning apparatus in which the swing angle θ of the aligning tray 9 can be changed. However, this conventional work aligning device is merely configured so that the operator can arbitrarily adjust the swing angle of the alignment tray 9 when the operation of the device is stopped. The swing angle of No. 9 was constant. Therefore, in such a configuration, FIG.
As in the case of the work aligning apparatus described in (1), it is difficult to efficiently move the work so that it can be evenly distributed to various places on the aligning tray, and there is a certain limit in enhancing the work aligning work efficiency.

【0007】本願発明は、このような事情のもとで考え
出されたものであって、整列トレーを機械的に動作させ
て所望の多数のワークを整列させる場合に、その整列作
業の作業効率を簡易な手段によって従来よりも高めるこ
とができるようにすることをその課題としている。
The present invention has been devised in view of such circumstances, and when a large number of desired works are aligned by mechanically operating an alignment tray, the work efficiency of the alignment work is increased. It is an object of the present invention to make it possible to increase the value by a simple means.

【0008】[0008]

【発明の開示】上記課題を解決するため、本願発明で
は、次の技術的手段を講じている。
DISCLOSURE OF THE INVENTION In order to solve the above problems, the present invention employs the following technical means.

【0009】すなわち、本願発明によれば、上面部に複
数のワーク収容用凹部が設けられている整列トレーと、
この整列トレー上に投入された複数のワークをこの整列
トレー上において移動させることによって上記ワーク収
容用凹部内に個々に収容させるようにこの整列トレーに
機械的な動作を生じさせる機構部と、を具備するワーク
整列装置であって、上記機構部を駆動させているときに
上記整列トレーの機械的な動作内容を時間の経過ととも
に変化させるように、上記機構部を制御する制御手段を
有していることを特徴とする。
That is, according to the present invention, there is provided an alignment tray having a plurality of recesses for accommodating a workpiece on an upper surface thereof.
A mechanism for causing a mechanical operation of the alignment tray so that a plurality of works put on the alignment tray are moved on the alignment tray so as to be individually accommodated in the work accommodation recesses. A work aligning device provided with control means for controlling the mechanism so as to change the mechanical operation content of the alignment tray over time when the mechanism is driven. It is characterized by being.

【0010】本願発明では、整列トレー上に複数のワー
クを投入してから機構部を駆動させて上記整列トレーに
所定の機械的な動作を生じさせているときに、上記整列
トレーの機械的な動作の内容が時間の経過とともに変化
することとなる。すなわち、本願発明では、たとえば整
列トレーに上下方向の揺動動作を行わせる場合には、こ
の整列トレーは常に同一態様の揺動動作を繰り返して行
うのではなく、たとえば上記整列トレーの揺動角度や揺
動速度が変化することとなる。したがって、本願発明で
は、整列トレー上に投入された複数のワークを不規則な
状態に移動させて、整列トレーの各所にまんべんなく行
き渡らせる作業が効率良く行えることとなり、上記複数
のワークが複数のワーク収容用凹部のそれぞれの内部に
早期に収容される可能性が高まる。その結果、本願発明
では、従来のものよりもワークの整列作業効率を高める
ことができ、作業時間の短縮や、ワークの整列率の向上
が図れるという効果が得られる。また、ワークの整列率
が高まれば、整列トレー上に整列された複数のワークを
次工程で処理する場合に、それら複数のワークの取扱い
が良好に行えることとなり、次工程作業を能率良く行う
のにも役立つ。
According to the present invention, when a plurality of works are put on the alignment tray and the mechanical section is driven to cause a predetermined mechanical operation on the alignment tray, the mechanical movement of the alignment tray is prevented. The content of the operation will change over time. That is, in the present invention, for example, when the aligning tray is caused to perform a swinging operation in the vertical direction, the aligning tray does not always repeat the swinging operation in the same mode. And the swing speed changes. Therefore, in the present invention, it is possible to efficiently move the plurality of works put on the alignment tray to an irregular state and to spread the work evenly to various parts of the alignment tray. The possibility of being accommodated early in each of the accommodation recesses is increased. As a result, according to the present invention, it is possible to increase the work alignment work efficiency as compared with the related art, and to obtain effects of shortening the work time and improving the work alignment rate. In addition, when the alignment rate of the workpieces is increased, when the plurality of workpieces arranged on the alignment tray are processed in the next process, the plurality of workpieces can be handled well, and the next process operation can be efficiently performed. Also useful.

【0011】本願発明の好ましい実施の形態では、上記
機構部は、上記整列トレーをこの整列トレーの上面部の
面方向に沿って公転させるための公転動作機構と、上記
整列トレーを上下方向に揺動させる揺動動作機構と、を
具備しており、かつ上記制御手段は、上記整列トレーが
公転するときの公転速度、公転半径、上記整列トレーが
揺動するときの揺動速度、および揺動角度のそれぞれの
要素のうち、少なくとも1以上の要素を変化させるよう
にした構成とすることができる。
In a preferred embodiment of the present invention, the mechanism section includes a revolving operation mechanism for revolving the alignment tray along a surface direction of an upper surface portion of the alignment tray, and swinging the alignment tray in a vertical direction. A swinging operation mechanism for causing the aligning tray to revolve, the revolving speed and the revolving radius when the aligning tray revolves, the oscillating speed when the aligning tray oscillates, and the oscillating At least one or more of the angle elements may be changed.

【0012】このような構成によれば、整列トレーを上
下方向に揺動させることによって、この整列トレーの上
面部を左右交互に傾かせることができるために、複数の
ワークを整列トレー上において一定方向に往復動させる
ことができる。また、上記整列トレーを、その揺動時に
おいて公転させることによって、整列トレー上の複数の
ワークに上記公転動作と略同方向に移動する動作を生じ
させることもできることとなる。したがって、上記2つ
の動作の相乗効果によって複数のワークを種々の方向に
移動させることが可能となり、ワーク収容用凹部内にワ
ークを収容させる作業をより効率良く行うことが可能と
なる。また、上記整列トレーの公転速度、公転半径、揺
動速度、および揺動角度のそれぞれの要素のうち少なく
とも1以上の要素が変化することによって、整列トレー
上の複数のワークに不規則な動作を積極的にかつ確実に
生じさせることができる。
According to such a configuration, the upper surface of the alignment tray can be alternately tilted left and right by swinging the alignment tray in the vertical direction, so that a plurality of works can be fixed on the alignment tray. Can be reciprocated in any direction. In addition, by revolving the alignment tray when swinging, it is possible to cause a plurality of works on the alignment tray to move in substantially the same direction as the revolving operation. Therefore, it is possible to move a plurality of works in various directions by a synergistic effect of the above two operations, and it is possible to more efficiently perform the work of housing the work in the work housing recess. In addition, when at least one or more of the elements of the revolving speed, the revolving radius, the oscillating speed, and the oscillating angle of the aligning tray change, an irregular operation is performed on a plurality of workpieces on the aligning tray. It can be positively and reliably generated.

【0013】本願発明の他の好ましい実施の形態では、
上記整列トレーのワーク収容用凹部内に収容されたワー
クを吸着保持させるように上記ワーク収容用凹部の内部
に吸引負圧を生じさせる吸引手段を具備しており、かつ
この吸引手段は、上記機構部を駆動させているときにそ
の吸引負圧力を増減変更可能とした構成とすることがで
きる。
In another preferred embodiment of the present invention,
A suction means for generating a suction negative pressure inside the work accommodating recess so as to suck and hold the work accommodated in the work accommodating recess of the alignment tray; and A configuration is possible in which the suction negative pressure can be increased or decreased while the unit is driven.

【0014】このような構成によれば、整列トレーのワ
ーク収容用凹部内にワークが収容されたときには、上記
ワーク収容用凹部内に作用する吸引負圧によって上記ワ
ークをワーク収容用凹部内に適切に吸着保持させておく
ことができ、上記ワークがワーク収容用凹部の外部へ不
当に飛び出すことが防止できる。また、上記吸引負圧力
はワークの整列作業中において増減変更可能であるため
に、たとえばワーク整列作業の開始初期段階においては
その吸引負圧力を比較的小さくしておくことにより、整
列トレー上におけるワークの移動自由度を大きくする一
方、ワーク整列作業の終了段階においては上記吸引負圧
力を高めることによって、各ワーク収容用凹部内に収容
されたワークが外部へ飛び出さないようにでき、ワーク
の整列作業の作業効率を一層高めることが可能となる。
According to such a configuration, when a work is accommodated in the work accommodating recess of the alignment tray, the work is appropriately placed in the work accommodating recess by the suction negative pressure acting on the work accommodating recess. The work can be prevented from unreasonably jumping out of the work accommodating recess. Further, since the suction negative pressure can be increased or decreased during the work aligning operation, for example, by making the suction negative pressure relatively small in an initial stage of the work aligning operation, the work on the aligning tray can be reduced. By increasing the suction negative pressure at the end of the work alignment operation, the work accommodated in each work accommodating recess can be prevented from protruding outside while increasing the degree of freedom of movement of the work. It is possible to further increase the work efficiency of the work.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、本願発明の好ましい実施の
形態について、図面を参照しつつ具体的に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings.

【0016】図1は、本願発明に係るワーク整列装置の
一例を示す説明図である。図2は、図1の一部断面側面
図である。図3は、図1および図2に示すワーク整列装
置の整列トレーを示す断面図である。図4は、整列トレ
ーの公転動作状態を示す平面説明図である。
FIG. 1 is an explanatory view showing an example of a work aligning apparatus according to the present invention. FIG. 2 is a partial cross-sectional side view of FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view showing an alignment tray of the work alignment device shown in FIGS. FIG. 4 is an explanatory plan view showing a revolving operation state of the alignment tray.

【0017】図1において、このワーク整列装置Aは、
左右一対のフレーム3,3a、これら一対のフレーム
3,3aのそれぞれに支持された一対の軸体4,4a、
これらの軸体4,4aに支持されたトレー支持部2、こ
のトレー支持部2の上部に設けられた整列トレー1、上
記軸体4に連結された第1のモータM1、上記トレー支
持部2の底面部に設けられた第2のモータM2、コント
ローラ7、制御バルブ60、真空ポンプ61、および後
述する各部を具備して構成されている。
In FIG. 1, this work alignment device A is
A pair of left and right frames 3, 3a, a pair of shafts 4, 4a supported by each of the pair of frames 3, 3a,
A tray support 2 supported by the shafts 4 and 4a; an alignment tray 1 provided on the tray support 2; a first motor M1 connected to the shaft 4; , A second motor M2, a controller 7, a control valve 60, a vacuum pump 61, and components to be described later.

【0018】図3によく表れているように、上記整列ト
レー1は、ベース部材15の上面部にトレー本体10と
枠部19とを装着して構成されている。上記トレー本体
10は、たとえば平面視矩形状のステンレス製などの金
属板によって形成されたものであり、その上面部1aに
は、上面部が開口した多数のワーク収容用凹部11が縦
横に適当な間隔を隔てて所定の配列状態に設けられてい
る。これら複数のワーク収容用凹部11のそれぞれは、
平面視円形状の凹部であり、その底部には2つのエア吸
引孔12,12がこのワーク収容用凹部11の中心位置
を避けるように一定間隔を隔てて設けられている。上記
枠部19は、整列トレー1の上面部1a上に後述する複
数のワーク8を投入したときにこれらのワーク8が外部
にこぼれ落ちるのを防止するための部分であり、上記ト
レー本体10の上面部1aよりも適当な高さだけ上方に
突出した状態に形成され、またトレー本体10の外周縁
の全周にわたって設けられている。
As shown in FIG. 3, the alignment tray 1 is configured by mounting a tray body 10 and a frame 19 on an upper surface of a base member 15. The tray main body 10 is formed of, for example, a metal plate made of stainless steel or the like having a rectangular shape in a plan view. They are provided in a predetermined arrangement at an interval. Each of the plurality of work accommodating recesses 11
The recess is a circular shape in a plan view, and two air suction holes 12 are provided at a bottom thereof at a predetermined interval so as to avoid the center position of the work accommodating recess 11. The frame portion 19 is a portion for preventing a plurality of works 8 to be described later from being spilled to the outside when a plurality of works 8 described later are put on the upper surface 1a of the alignment tray 1. The tray body 10 is formed so as to protrude upward by an appropriate height from the upper surface portion 1a, and is provided over the entire outer periphery of the tray body 10.

【0019】上記ベース部材15には、略水平状に延び
て上記複数のエア吸引孔12に連通する第1通気用孔1
3と、このベース部材15の厚み方向に延びて上記第1
通気用孔13の端部に連通する第2通気用孔14とが設
けられている。上記第2通気用孔14には、チャッキバ
ルブ機構5が設けられている。このチャッキバルブ機構
5は、上記第2通気用孔14の上下両端部に取付けられ
たコネクタ52a,52b、上記第2通気用14内に挿
入された上下2つのボール51a,51b、およびバネ
50を具備して構成されている。上記バネ50は、上記
一対のボール51a,51bのそれぞれをコネクタ52
a,52bのテーパ状の内壁面に圧接させるように弾発
力を発揮するものであり、上記ボール51a,51bに
よって上記第2通気用孔14の上下両端開口部53a,
53bを閉塞できるようになっている。ただし、上記第
2通気用孔14の下部には、コネクタ52b,62を介
してエア配管6の一端部が接続されており、上記第2通
気用孔14の下端開口部53bは開口している。すなわ
ち、上記エア配管6のコネクタ62にはピン63が取付
けられており、このピン63が下側のボール51bをバ
ネ50の弾発力に抗して上方へ持ち上げている。
The base member 15 has a first ventilation hole 1 extending substantially horizontally and communicating with the plurality of air suction holes 12.
3, the first member extending in the thickness direction of the base member 15;
A second ventilation hole 14 communicating with the end of the ventilation hole 13 is provided. The check valve mechanism 5 is provided in the second ventilation hole 14. The check valve mechanism 5 includes connectors 52 a and 52 b attached to both upper and lower ends of the second ventilation hole 14, two upper and lower balls 51 a and 51 b inserted into the second ventilation hole 14, and a spring 50. It is provided and comprised. The spring 50 connects each of the pair of balls 51a and 51b to a connector 52.
The balls 51a and 51b exert resilience so as to be pressed against the tapered inner wall surfaces of the a and 52b.
53b can be closed. However, one end of the air pipe 6 is connected to the lower part of the second ventilation hole 14 via connectors 52b and 62, and the lower end opening 53b of the second ventilation hole 14 is open. . That is, a pin 63 is attached to the connector 62 of the air pipe 6, and the pin 63 lifts the lower ball 51 b upward against the elastic force of the spring 50.

【0020】図1に示すように、上記エア配管6の他端
部は、制御バルブ60を介して真空ポンプ61と接続さ
れている。したがって、この真空ポンプ61の駆動によ
り、上記第2通気用孔14および第1通気用孔13を介
して上記各エア吸引孔12に所定の吸引負圧力を生じさ
せることが可能となっている。ただし、その吸引圧は常
時一定ではなく、後述するように、コントローラ7が制
御バルブ60を制御することによって所定の状態に変更
されるようになっている。
As shown in FIG. 1, the other end of the air pipe 6 is connected to a vacuum pump 61 via a control valve 60. Therefore, by driving the vacuum pump 61, it is possible to generate a predetermined negative suction pressure in each of the air suction holes 12 through the second ventilation holes 14 and the first ventilation holes 13. However, the suction pressure is not always constant, and is changed to a predetermined state by controlling the control valve 60 as described later.

【0021】図2によく表れているように、上記トレー
支持部2は、第1プレート21上にXYテーブル機構2
3を介して第2プレート22を設けたものであり、上記
整列トレー1は上記第2プレート22上に着脱可能に取
付けられている。上記XYテーブル機構23は、図2の
左右方向(X方向)にのみ互いに相対移動可能な第1ベ
ッド23aと第1テーブル23bとを組み合わせたXテ
ーブル機構と、同図の紙面に垂直な方向(Y方向)にの
み互いに相対移動可能な第2ベッド23cと第2テーブ
ル23dとを組み合わせたYテーブル機構とを組み合わ
せたものである。このXYテーブル機構23が第1プレ
ート21と第2プレート22との間に介在して設けられ
ていることにより、第2プレート22および整列トレー
1は、上記第1プレート21に相対してX方向とY方向
とのいずれの方向にも移動可能である。すなわち、上記
整列トレー1は、その上面部1aが広がる方向の種々の
方向に移動可能であり、後述する公転動作が可能となっ
ている。
As best shown in FIG. 2, the tray support 2 is provided on the first plate 21 with an XY table mechanism 2.
A second plate 22 is provided through the third plate 3, and the alignment tray 1 is detachably mounted on the second plate 22. The XY table mechanism 23 includes an X table mechanism combining a first bed 23a and a first table 23b that can move relative to each other only in the left-right direction (X direction) in FIG. 2 and a direction perpendicular to the plane of FIG. This is a combination of a Y table mechanism combining a second bed 23c and a second table 23d that can move relative to each other only in the (Y direction). Since the XY table mechanism 23 is provided between the first plate 21 and the second plate 22, the second plate 22 and the alignment tray 1 move in the X direction relative to the first plate 21. It is possible to move in any of the directions Y and Y. That is, the alignment tray 1 is movable in various directions in which the upper surface 1a is widened, and the orbiting operation described later is possible.

【0022】上記第2のモータM2は、上記第1プレー
ト21の下面部などの適当な位置に設けられており、本
実施形態では、この第2のモータM2を利用して上記整
列トレー1に公転動作を生じさせるための公転動作機構
が構成されている。すなわち、上記第1プレート21に
は、上記第2のモータM2の出力軸71のベベルギヤ7
2に噛み合うベベルギヤ73を有する回転軸74が取付
けられており、この回転軸74の上端部には、その回転
軸74の回転中心から適当な寸法Lだけ偏心した位置に
偏心ピン75を設けた回転板76が取付けられている。
上記偏心ピン75は、第2プレート22に穿設された孔
部22aに挿入するなどして、上記第2プレート22に
係合している。このような公転動作機構の構成によれ
ば、上記第2のモータM2を駆動させると、偏心ピン7
5を寸法Lの公転半径で公転させることができ、これに
伴わせて第1プレート21や整列トレー1を同一公転半
径で公転させることができることとなる。すなわち、図
4において、偏心ピン75が矢印N1〜N4のように公
転すると、これに伴って整列トレー1も矢印N1’〜N
4’のように公転することとなる。
The second motor M2 is provided at an appropriate position such as the lower surface of the first plate 21. In the present embodiment, the second motor M2 is used for the alignment tray 1 using the second motor M2. A revolution operation mechanism for causing the revolution operation is configured. That is, the first plate 21 is provided with the bevel gear 7 of the output shaft 71 of the second motor M2.
A rotating shaft 74 having a bevel gear 73 that meshes with the rotating shaft 2 is attached. A rotating shaft 74 is provided at its upper end with an eccentric pin 75 at a position eccentric by an appropriate dimension L from the rotating center of the rotating shaft 74. A plate 76 is mounted.
The eccentric pin 75 is engaged with the second plate 22 by, for example, being inserted into a hole 22 a formed in the second plate 22. According to the configuration of such a revolution operation mechanism, when the second motor M2 is driven, the eccentric pin 7
5 can be revolved with the orbital radius of the dimension L, so that the first plate 21 and the alignment tray 1 can be revolved with the same orbital radius. That is, in FIG. 4, when the eccentric pin 75 revolves as shown by the arrows N1 to N4, the alignment tray 1 also moves along the arrows N1 'to N1.
It will revolve like 4 '.

【0023】図2において、上記軸体4は、たとえば第
1プレート21の側部に設けられたブラケット部21a
に連結されている。これにより、上記トレー支持部2や
整列トレー1の各部は、上記軸体4が回転するとそれに
伴ってこの軸体4を中心として上下方向に傾くようにな
っている。上記第1のモータM1は、上記軸体4を正逆
両方向に回転させるように駆動するものであり、その結
果上記トレー支持部2および整列トレー1はそれらの左
右両端部が上下方向に変移するように揺動することとな
る。
In FIG. 2, the shaft 4 is formed, for example, by a bracket 21a provided on the side of the first plate 21.
It is connected to. As a result, when the shaft 4 rotates, the tray support 2 and the components of the alignment tray 1 are tilted up and down around the shaft 4. The first motor M1 drives the shaft body 4 to rotate in both the forward and reverse directions. As a result, the tray support 2 and the alignment tray 1 have their left and right ends shifted vertically. Will be swung like this.

【0024】上記コントローラ7は、たとえばCPUな
どを具備して構成されたものである。このコントローラ
7は、整列トレー1の揺動角度、公転速度、およびエア
吸引孔12における吸引圧の値のそれぞれが、作業時間
の経過に伴ってたとえば図8(a)〜(c)に示すよう
な波形に変化するように、上記第1のモータM1、第2
のモータM2、および制御バルブ60のそれぞれを制御
するように構成されている。なお、図8(a)の波形は
整列トレー1の揺動角度の変化を示しているが、この波
形の傾きはその揺動速度を示すこととなる。
The controller 7 includes, for example, a CPU and the like. As shown in FIGS. 8A to 8C, the controller 7 changes the swing angle, the revolving speed, and the suction pressure of the air suction holes 12 of the alignment tray 1 with the elapse of the operation time. The first motor M1 and the second motor M1
, And each of the control valve 60 is controlled. The waveform in FIG. 8A shows a change in the swing angle of the alignment tray 1, and the slope of this waveform indicates the swing speed.

【0025】次に、上記ワーク整列装置Aの使用例なら
びに作用について説明する。
Next, a description will be given of an example of use and operation of the work alignment device A.

【0026】まず、上記整列トレー1上に整列対象とな
る多数のワークを投入する。これらのワークとしては、
たとえば図5に示すようなペレット8が適用される。こ
のペレット8は、いわゆるガラスシールドタイプのLE
D発光ランプの構成部品となる半導体チップであり、直
方体部分81の一側面に球面状の突起部80が突設され
た形態を有している。上記直方体部分81の縦横の幅は
それぞれ0.3mmであり、またその厚みはたとえば
0.1〜0.2mm程度である。
First, a number of works to be aligned are put on the alignment tray 1. As these works,
For example, a pellet 8 as shown in FIG. 5 is applied. This pellet 8 is a so-called glass shield type LE.
This is a semiconductor chip that is a component of the D light emitting lamp, and has a form in which a spherical projection 80 is provided on one side surface of a rectangular parallelepiped portion 81. The width and height of the rectangular parallelepiped portion 81 are each 0.3 mm, and the thickness thereof is, for example, about 0.1 to 0.2 mm.

【0027】上記複数のペレット8を整列トレー1上に
投入した後には、上記ワーク整列装置Aを起動させる。
すると、上記整列トレー1は、軸体4の回動動作に伴っ
て上下方向に揺動するともに、偏心ピン75の公転動作
に伴ってその上面部1aの面方向に沿って所定の半径で
公転動作を行うこととなる。したがって、上記整列トレ
ー1上の複数のペレット8は、たとえば図6に示すよう
に、整列トレー1上を種々の方向に転動し、ワーク収容
用凹部11内に順次嵌入していく。また、図8(a),
(b)に示したように、上記整列トレー1が機械的な動
作を行うときには、その揺動角度や公転速度は常に一定
ではなく、種々に変化する。したがって、上記複数のペ
レット8は整列トレー1上においてより不規則に移動し
て整列トレー1上において種々の方向に広がることとな
り、多数のワーク収容用凹部11のそれぞれの内部に収
容される可能性が高められることなる。
After the plurality of pellets 8 are put on the alignment tray 1, the work alignment device A is started.
Then, the alignment tray 1 swings up and down with the rotation of the shaft body 4 and revolves with a predetermined radius along the surface direction of the upper surface 1a with the revolving operation of the eccentric pin 75. Operation will be performed. Therefore, the plurality of pellets 8 on the alignment tray 1 roll in various directions on the alignment tray 1 as shown in FIG. 6, for example, and sequentially fit into the recess 11 for accommodating the work. In addition, FIG.
As shown in (b), when the alignment tray 1 performs a mechanical operation, the swing angle and the revolving speed are not always constant but variously change. Therefore, the plurality of pellets 8 move more irregularly on the alignment tray 1 and spread in various directions on the alignment tray 1, and may be accommodated in each of the large number of work accommodating recesses 11. Is increased.

【0028】本実施形態では、ワーク整列作業の初期段
階においては、整列トレー1の揺動動作の振幅を比較的
大きくするとともに、その公転速度も比較的高速にして
いる一方、整列作業が進行するに連れて、上記振幅が小
さく、また上記公転速度が低速となる傾向にしている。
このため、作業初期においては山積み状態に投入された
ペレット8を整列トレー1上において大きく移動させて
広い領域に分散させた後に、徐々にそれらペレット8の
移動量を少なくしていくことが可能となり、ワーク収容
用凹部11内にペレット8を嵌入させる作業をより効率
良く行うことが可能となる。
In the present embodiment, in the initial stage of the work alignment work, the amplitude of the swinging operation of the alignment tray 1 is made relatively large, and the revolving speed is made relatively high, while the alignment work proceeds. , The amplitude tends to be small and the revolution speed tends to be low.
For this reason, in the initial stage of the operation, after the pellets 8 put in a piled state are largely moved on the alignment tray 1 and dispersed in a wide area, it is possible to gradually reduce the movement amount of the pellets 8. In addition, the operation of fitting the pellets 8 into the work accommodating recesses 11 can be performed more efficiently.

【0029】一方、エア吸引孔12には、吸引負圧を生
じさせているために、ワーク収容用凹部11内にペレッ
ト8が嵌入したときにはそのペレット8をワーク収容用
凹部11内に吸着保持することができる。したがって、
ワーク収容用凹部11の外部へペレット8が不用意に脱
出しないようにすることができる。ただし、上記吸引負
圧力も常時一定ではなく、本実施形態では、図8(c)
に示すように、作業初期においては大きな吸引圧を生じ
させていない一方、作業時間が経過するに伴って上記吸
引圧を徐々に大きく(低圧)していく傾向にしている。
このため、作業初期においては整列トレー1上における
ペレット8の移動自由度を大きくすることができ、複数
のペレット8を広い範囲に散らばらせて複数のワーク収
容用凹部11のそれぞれの内部に効率良く収容させるの
に有利となる。また、作業の終了間際には各ワーク収容
用凹部11内に嵌入したペレット8のそれぞれを確実に
吸着保持させておくことができ、ペレット8の整列状態
を的確に維持することが可能となる。
On the other hand, since a suction negative pressure is generated in the air suction hole 12, when the pellet 8 is fitted into the work accommodating recess 11, the pellet 8 is sucked and held in the work accommodating recess 11. be able to. Therefore,
It is possible to prevent the pellets 8 from inadvertently coming out of the recess 11 for accommodating the work. However, the suction negative pressure is not always constant, and in this embodiment, FIG.
As shown in (1), a large suction pressure is not generated in the initial stage of the work, but the suction pressure tends to gradually increase (low pressure) as the work time elapses.
For this reason, in the initial stage of the operation, the degree of freedom of movement of the pellets 8 on the alignment tray 1 can be increased, and the plurality of pellets 8 are scattered over a wide range, so that the efficiency is increased within each of the plurality of work accommodating recesses 11. This is advantageous for accommodating well. In addition, immediately before the end of the work, each of the pellets 8 fitted in each of the work accommodating recesses 11 can be reliably sucked and held, and the aligned state of the pellets 8 can be accurately maintained.

【0030】とくに、本実施形態では、図7によく表れ
ているように、ワーク収容用凹部11の中心から離れた
位置に2つのエア吸引孔12,12を設けているため
に、ペレット8が上下逆さまの状態でワーク収容用凹部
11内に入っても、このペレット8がエア吸引孔12,
12によって強固に吸着保持されることが回避される。
このため、ペレット8をその突起部80が上方を向く適
正な姿勢に整列させるのに有利となる。
In this embodiment, as shown in FIG. 7, the two air suction holes 12 are provided at positions away from the center of the recess 11 for accommodating the work. Even if the pellet 8 enters the recess 11 for accommodating the workpiece in an upside-down state, the pellet 8 is
12 prevents firm adsorption and holding.
For this reason, it is advantageous to align the pellets 8 in a proper posture in which the protrusion 80 faces upward.

【0031】このように、上記ワーク整列装置Aでは、
整列トレー1を動作させてペレット8の整列作業を行っ
ているときに、上記整列トレー1の揺動動作、公転動
作、およびエア吸引孔12に生じさせる吸引負圧力のそ
れぞれに変化を与えることによって、各ペレット8がワ
ーク収容用凹部11内に早期に収容されるようにするこ
とができる。本願発明者の試験によれば、上記ワーク整
列装置Aを3分間稼働させて多数のペレット8の整列作
業を行った場合に、その整列率が99.5%となること
を確認した。これに対し、整列トレーの揺動角度が常に
一定角度であった従来のワーク整列装置の場合には、そ
の整列率が95%程度であった。したがって、本願発明
に係るワーク整列装置を用いれば、整列トレー1上に並
べられたペレット8を次工程で利用する場合に、そのペ
レット8の整列トレー1からの取り出し作業などを的確
に行えることとなり、その作業ロスを著しく少なくする
ことができる。
As described above, in the work alignment device A,
When the alignment tray 1 is operated and the pellets 8 are aligned, the swinging operation, the revolving operation, and the suction negative pressure generated in the air suction holes 12 of the alignment tray 1 are changed to give a change. Thus, each pellet 8 can be accommodated in the work accommodating recess 11 at an early stage. According to the test of the inventor of the present invention, it was confirmed that when the work aligning apparatus A was operated for 3 minutes to perform the aligning operation of a large number of pellets 8, the alignment rate was 99.5%. On the other hand, in the case of the conventional work aligning apparatus in which the swing angle of the aligning tray is always constant, the aligning ratio is about 95%. Therefore, when the work aligning apparatus according to the present invention is used, when the pellets 8 arranged on the alignment tray 1 are used in the next process, the work of taking out the pellets 8 from the alignment tray 1 can be performed accurately. The work loss can be significantly reduced.

【0032】ワーク整列作業の終了後には、上記整列ト
レー1を次工程位置に運搬しなければならない場合があ
るが、その際には、たとえば図9に示すようにして、整
列トレー1を運搬することができる。すなわち、同図に
示す構成では、第2通気用孔14の下部からはエア配管
6を離脱させており、その代わりに上記第2通気用孔1
4の上部に他のエア配管6Aを接続している。このエア
配管6Aの接続に際してはピン63Aによってチャッキ
バルブ機構5の上側のボール51aを押し下げ、これに
よって第2通気用孔14の上端開口部53aを開口させ
ている。その一方、下方のボール51bは、バネ50の
弾発力によって第2通気用孔14の下端開口部53bを
閉塞している。このようにすれば、エア配管6Aを利用
して各エア吸引孔12に吸引負圧力を生じさせることが
でき、整列トレー1に多少の揺れなどが生じても、これ
に起因して各ペレット8がワーク収容用凹部11から安
易に脱出するといった虞れを無くすことができる。した
がって、複数のペレット8を整列トレー1上に整列させ
たまま、これらを所望位置へ運搬するのに便利となる。
After the work alignment operation is completed, the alignment tray 1 may need to be transported to the next process position. In this case, the alignment tray 1 is transported, for example, as shown in FIG. be able to. That is, in the configuration shown in the figure, the air pipe 6 is separated from the lower part of the second ventilation hole 14, and instead, the second ventilation hole 1
4 is connected to another air pipe 6A. When connecting the air pipe 6A, the upper ball 51a of the check valve mechanism 5 is pushed down by the pin 63A, thereby opening the upper end opening 53a of the second ventilation hole 14. On the other hand, the lower ball 51b closes the lower end opening 53b of the second ventilation hole 14 by the elastic force of the spring 50. In this way, a suction negative pressure can be generated in each air suction hole 12 by using the air pipe 6A, and even if the alignment tray 1 is slightly shaken, each pellet 8 Can be easily removed from the work accommodating recess 11. Therefore, it is convenient to transport the plurality of pellets 8 to a desired position while keeping them aligned on the alignment tray 1.

【0033】なお、本願発明に係るワーク整列装置の各
部の具体的な構成は、上記実施形態に限定されず、種々
に設計変更自在である。
The specific configuration of each part of the work aligning apparatus according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be variously changed in design.

【0034】たとえば、上記実施形態では、整列トレー
の揺動角度と公転速度とを変化させているが、本願発明
はこれに限定されず、たとえば上記揺動角度や公転速度
に加え、あるいはこれらに代えて、整列トレーの揺動速
度や公転半径などを変化させるようにしてもかまわな
い。揺動速度を変化させるには、たとえば上記実施形態
のワーク整列装置を一例として説明すれば、第1モータ
M1の駆動軸の回転速度を変化させればよい。公転半径
を変化させるには、たとえば偏心ピン75の偏心寸法L
を変更可能とし、この寸法Lを適宜変更させればよい。
For example, in the above embodiment, the swing angle and the revolving speed of the alignment tray are changed. However, the present invention is not limited to this. For example, in addition to or in addition to the swing angle and the revolving speed described above. Instead, the swing speed or the revolving radius of the alignment tray may be changed. In order to change the swing speed, for example, if the work alignment device of the above embodiment is described as an example, the rotation speed of the drive shaft of the first motor M1 may be changed. To change the orbital radius, for example, the eccentric dimension L of the eccentric pin 75
May be changed, and the dimension L may be changed as appropriate.

【0035】また、本願発明では、整列トレーの機械的
な動作の具体例としては、公転動作と揺動動作とに限定
されず、これらとは異なった態様の機械的な動作を整列
トレーに生じさせるようにしてもかまわない。したがっ
て、本願発明でいう機構部の具体的な構成は限定されな
い。整列トレーの他の機械的な動作の具体例としては、
たとえばバイブレータを用いることによって整列トレー
を上下方向に振動させる動作が挙げられる。
Further, in the present invention, specific examples of the mechanical operation of the alignment tray are not limited to the revolving operation and the swinging operation. You may make it do. Therefore, the specific configuration of the mechanism section in the present invention is not limited. Specific examples of other mechanical movements of the alignment tray include:
For example, there is an operation of vibrating the alignment tray vertically by using a vibrator.

【0036】その他、本願発明では、整列対象となるワ
ークの具体的な種類も限定されない。本願発明では、上
記ペレット8以外の電子部品や電気部品など、種々の物
品類の整列作業用途に用いることが可能である。
In addition, in the present invention, the specific type of the work to be aligned is not limited. In the present invention, it is possible to use the present invention for aligning various articles such as electronic parts and electric parts other than the pellets 8.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本願発明に係るワーク整列装置の一例を示す説
明図である。
FIG. 1 is an explanatory view showing an example of a work alignment device according to the present invention.

【図2】図1の一部断面側面図である。FIG. 2 is a partial cross-sectional side view of FIG.

【図3】図1および図2に示すワーク整列装置の整列ト
レーを示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing an alignment tray of the work alignment device shown in FIGS. 1 and 2;

【図4】整列トレーの公転動作状態を示す平面説明図で
ある。
FIG. 4 is an explanatory plan view showing a revolving operation state of an alignment tray.

【図5】ワークの一例としてのペレットを示す斜視図で
ある。
FIG. 5 is a perspective view showing a pellet as an example of a work.

【図6】図1および図2に示すワーク整列装置の動作状
態の一例を示す要部断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view of a main part showing an example of an operation state of the work alignment device shown in FIGS. 1 and 2;

【図7】ワーク収容用凹部内にワークが上下逆さまの状
態に嵌入した状態を示す要部断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view of a main part showing a state in which the work is fitted upside down in the work accommodating recess.

【図8】(a)は、整列トレーの揺動角度と時間との関
係を示す図であり、(b)は、整列トレーの公転速度と
時間との関係を示す図であり、(c)は、エア吸引孔に
作用する吸引圧と時間との関係を示す図である。
8A is a diagram illustrating a relationship between the swing angle of the alignment tray and time, FIG. 8B is a diagram illustrating a relationship between the revolution speed of the alignment tray and time, and FIG. FIG. 4 is a diagram showing a relationship between suction pressure acting on an air suction hole and time.

【図9】図1および図2に示すワーク整列装置の整列ト
レーを運搬する際の状態を示す要部断面図である。
FIG. 9 is a cross-sectional view of a main part showing a state when the alignment tray of the work alignment device shown in FIGS. 1 and 2 is transported.

【図10】従来のワーク整列装置の一例を示す断面図で
ある。
FIG. 10 is a cross-sectional view showing an example of a conventional work alignment device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

A ワーク整列装置 1 整列トレー 1a 上面部 2 トレー支持部 4 軸体 7 コントローラ(制御手段) 11 ワーク収容用凹部 12 エア吸引孔 13 第1通気孔 14 第2通気孔 60 制御バルブ 61 真空ポンプ M1 第1のモータ M2 第2のモータ Reference Signs List A Work aligning device 1 Alignment tray 1a Upper surface 2 Tray support 4 Shaft 7 Controller (control means) 11 Work accommodating recess 12 Air suction hole 13 First ventilation hole 14 Second ventilation hole 60 Control valve 61 Vacuum pump M1 First 1st motor M2 2nd motor

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 上面部に複数のワーク収容用凹部が設け
られている整列トレーと、この整列トレー上に投入され
た複数のワークをこの整列トレー上において移動させる
ことによって上記ワーク収容用凹部内に個々に収容させ
るようにこの整列トレーに機械的な動作を生じさせる機
構部と、を具備するワーク整列装置であって、 上記機構部を駆動させているときに上記整列トレーの機
械的な動作内容を時間の経過とともに変化させるよう
に、上記機構部を制御する制御手段を有していることを
特徴とする、ワーク整列装置。
An alignment tray provided with a plurality of work accommodating recesses on an upper surface thereof, and a plurality of workpieces loaded on the alignment tray are moved on the alignment tray so as to move the plurality of works into the work accommodating recess. And a mechanism for causing the alignment tray to perform a mechanical operation so as to be individually accommodated in the work tray. A mechanical operation of the alignment tray when the mechanism is driven A work aligning device, comprising: a control unit for controlling the above-mentioned mechanism so that the contents change over time.
【請求項2】 上記機構部は、上記整列トレーをこの整
列トレーの上面部の面方向に沿って公転させるための公
転動作機構と、上記整列トレーを上下方向に揺動させる
揺動動作機構と、を具備しており、かつ、 上記制御手段は、上記整列トレーが公転するときの公転
速度、公転半径、上記整列トレーが揺動するときの揺動
速度、および揺動角度のそれぞれの要素のうち、少なく
とも1以上の要素を変化させるように構成されている、
請求項1に記載のワーク整列装置。
2. A revolving operation mechanism for revolving the alignment tray along a surface direction of an upper surface of the alignment tray, a swing operation mechanism for swinging the alignment tray in a vertical direction, and , And the control means includes: a revolving speed when the alignment tray revolves, a revolving radius, a oscillating speed when the arranging tray swings, and a swing angle of each element. Wherein at least one element is changed.
The work alignment device according to claim 1.
【請求項3】 上記整列トレーのワーク収容用凹部内に
収容されたワークを吸着保持させるように上記ワーク収
容用凹部の内部に吸引負圧を生じさせる吸引手段を具備
しており、かつこの吸引手段は、上記機構部を駆動させ
ているときにその吸引負圧力を増減変更可能に構成され
ている、請求項1または2に記載のワーク整列装置。
3. A suction means for generating a suction negative pressure inside the work accommodating recess so as to suck and hold the work accommodated in the work accommodating recess of the alignment tray, and the suction means. The work aligning apparatus according to claim 1, wherein the means is configured to be able to increase or decrease the suction negative pressure when the mechanism is driven.
JP33408797A 1997-12-04 1997-12-04 Work alignment device Expired - Fee Related JP3908360B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33408797A JP3908360B2 (en) 1997-12-04 1997-12-04 Work alignment device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33408797A JP3908360B2 (en) 1997-12-04 1997-12-04 Work alignment device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11165222A true JPH11165222A (en) 1999-06-22
JP3908360B2 JP3908360B2 (en) 2007-04-25

Family

ID=18273389

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP33408797A Expired - Fee Related JP3908360B2 (en) 1997-12-04 1997-12-04 Work alignment device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3908360B2 (en)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100550874B1 (en) * 2004-02-23 2006-02-10 삼성전기주식회사 Automatic chip loading and conveying system
CN102233999A (en) * 2010-04-27 2011-11-09 亚企睦自动设备有限公司 Transporting body for electronic part sheet
KR200456863Y1 (en) 2010-01-12 2011-11-23 (주)유일글로비스 vacuum chuck of machine tools
KR101113171B1 (en) 2010-02-25 2012-02-15 김성진 Absorbing apparatus
WO2017172991A1 (en) * 2016-04-01 2017-10-05 Intel Corporation Batch component placement template
JP2019102743A (en) * 2017-12-07 2019-06-24 アキム株式会社 Alignment body and component alignment device
KR102088270B1 (en) * 2018-10-04 2020-04-24 주식회사 디에스티시스템 Second alignment device for marking
CN112202412A (en) * 2015-01-20 2021-01-08 则武伊势电子株式会社 Vacuum tube for analog amplification
JP2021025716A (en) * 2019-08-06 2021-02-22 株式会社デンソー Holding device
CN113245880A (en) * 2021-06-02 2021-08-13 成都飞机工业(集团)有限责任公司 Rapid clamping method and pneumatic clamp for group boring of parts
CN113943967A (en) * 2021-10-14 2022-01-18 浙江爱旭太阳能科技有限公司 Horizontal electroplating equipment for solar photovoltaic product and jig thereof

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100550874B1 (en) * 2004-02-23 2006-02-10 삼성전기주식회사 Automatic chip loading and conveying system
KR200456863Y1 (en) 2010-01-12 2011-11-23 (주)유일글로비스 vacuum chuck of machine tools
KR101113171B1 (en) 2010-02-25 2012-02-15 김성진 Absorbing apparatus
CN102233999A (en) * 2010-04-27 2011-11-09 亚企睦自动设备有限公司 Transporting body for electronic part sheet
JP2011230215A (en) * 2010-04-27 2011-11-17 Akim Kk Electronic part piece conveyance body
CN112202412A (en) * 2015-01-20 2021-01-08 则武伊势电子株式会社 Vacuum tube for analog amplification
CN112202412B (en) * 2015-01-20 2024-03-08 则武伊势电子株式会社 Vacuum tube for analog amplification
WO2017172991A1 (en) * 2016-04-01 2017-10-05 Intel Corporation Batch component placement template
JP2019102743A (en) * 2017-12-07 2019-06-24 アキム株式会社 Alignment body and component alignment device
KR102088270B1 (en) * 2018-10-04 2020-04-24 주식회사 디에스티시스템 Second alignment device for marking
JP2021025716A (en) * 2019-08-06 2021-02-22 株式会社デンソー Holding device
CN113245880A (en) * 2021-06-02 2021-08-13 成都飞机工业(集团)有限责任公司 Rapid clamping method and pneumatic clamp for group boring of parts
CN113943967A (en) * 2021-10-14 2022-01-18 浙江爱旭太阳能科技有限公司 Horizontal electroplating equipment for solar photovoltaic product and jig thereof

Also Published As

Publication number Publication date
JP3908360B2 (en) 2007-04-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH11165222A (en) Workpiece aligning device
US7201512B2 (en) Kneader for tooth restoration material
WO2005112537A1 (en) Part feeding head device and part mounting head device
JP2002280343A (en) Cleaning process apparatus and cutting work apparatus
US6065201A (en) Method of transferring conductive balls onto work piece
JP6581436B2 (en) Robot hand
TWM559502U (en) Automatic shaker
JP3180590B2 (en) Solder ball mounting device
JP5104685B2 (en) Parts pickup device
JP3166186B2 (en) Apparatus and method for aligning minute work
JP2684187B2 (en) Parts aligner
JP3180591B2 (en) Solder ball mounting device
JP2001338942A (en) Method for sucking and arranging small metal balls and its apparatus
JP7304536B2 (en) Component mounting device and method
JP2639686B2 (en) Vibrating parts alignment device
JPS5850751A (en) Replacing method for die
JPH06312827A (en) Method for arranging fine work
JPH07300113A (en) Rocking parts-aligning machine and aligning method
CN115229845A (en) Component distribution device and control method for component distribution device
JP2637648B2 (en) Polishing equipment
JP3039412B2 (en) Semiconductor device manufacturing equipment
JPH11314744A (en) Vibration type part aligning device
JPH10256784A (en) Chip-like component supply apparatus
KR20240056770A (en) Substrate cleaning device and substrate cleaning method
JP2019096726A (en) Chip reversing device

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20051101

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20051227

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060704

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060901

A911 Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20060908

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070116

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070118

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110126

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees