JP3180590B2 - Solder ball mounting device - Google Patents
Solder ball mounting deviceInfo
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- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
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- H05K3/3478—Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
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- Wire Bonding (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、バンプを形成するため
の半田ボールを基板などのワークに搭載するための半田
ボールの搭載装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solder ball mounting apparatus for mounting a solder ball for forming a bump on a work such as a substrate.
【0002】[0002]
【従来の技術】基板やチップなどのワークの電極にバン
プ(突出電極)を形成する方法として、半田ボールをワ
ークに搭載した後、半田ボールを加熱して溶融固化させ
る方法が知られている。一般に、ワークには多数個のバ
ンプが形成されるものであり、したがって半田ボールは
ワークに多数個搭載される。以下、半田ボールをワーク
に一括して多数個搭載するための従来の半田ボールの搭
載装置に用いられる半田ボールの供給部について説明す
る。2. Description of the Related Art As a method of forming bumps (protruding electrodes) on electrodes of a work such as a substrate or a chip, a method of mounting a solder ball on a work and then heating and melting and solidifying the solder ball is known. Generally, many bumps are formed on a work, and thus a large number of solder balls are mounted on the work. Hereinafter, a solder ball supply unit used in a conventional solder ball mounting apparatus for mounting a large number of solder balls on a work at once will be described.
【0003】図5は従来の半田ボールの搭載装置に備え
られた半田ボールの供給部の断面図、図6は同ヘッドの
部分断面図である。図5において、1は半田ボールであ
り、容器2に貯留されている。容器2の下面には振動器
3が装着されている。容器2は振動が可能なように、弾
性部材4を介して支持部5に支持されている。7はヘッ
ドであり、その下面には半田ボール1を真空吸着する吸
着孔8が形成されている。FIG. 5 is a cross-sectional view of a solder ball supply section provided in a conventional solder ball mounting apparatus, and FIG. 6 is a partial cross-sectional view of the same head. In FIG. 5, reference numeral 1 denotes a solder ball, which is stored in a container 2. A vibrator 3 is mounted on the lower surface of the container 2. The container 2 is supported by a support portion 5 via an elastic member 4 so as to be able to vibrate. Reference numeral 7 denotes a head, on the lower surface of which a suction hole 8 for vacuum-sucking the solder ball 1 is formed.
【0004】振動器3を駆動して容器2を振動させるこ
とにより、ヘッド7が多数個の吸着孔8に半田ボール1
を真空吸着しやすいように半田ボール1を流動化させ、
その状態でヘッド7を下降・上昇させることにより、吸
着孔8に半田ボール1を真空吸着してピックアップす
る。次いでヘッド7は基板などのワーク(図外)の上方
へ移動し、半田ボール1をワークに搭載する。When the vibrator 3 is driven to vibrate the container 2, the head 7 moves the solder balls 1 into a plurality of suction holes 8.
Fluidizes the solder ball 1 so that the
By lowering and raising the head 7 in this state, the solder ball 1 is vacuum-adsorbed to the suction hole 8 and picked up. Next, the head 7 moves above a work (not shown) such as a substrate, and mounts the solder ball 1 on the work.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の半田ボールの供給部には次のような問題点があった。
すなわち、振動器3により容器2を振動させることによ
り半田ボール1を流動化させるものであるが、振動器3
の振動方向Nは上下方向であるため、半田ボール1の上
面は図示するように波打ち、このためすべての吸着孔7
に半田ボール1を真空吸着しにくいものであった。また
図6に示すように、1つの吸着孔8に複数個の半田ボー
ル1が団子状に吸着されやすいものであった。However, the conventional solder ball supply section has the following problems.
That is, the solder ball 1 is fluidized by vibrating the container 2 by the vibrator 3.
Since the vibration direction N is vertical, the upper surface of the solder ball 1 is wavy as shown in FIG.
The solder ball 1 was difficult to be vacuum-sucked. Further, as shown in FIG. 6, a plurality of solder balls 1 were easily adsorbed in one suction hole 8 in a dumpling shape.
【0006】そこで本発明は、ヘッドの下面の吸着孔に
半田ボールを確実に1個づつ真空吸着してワークに搭載
できる半田ボールの搭載装置を提供することを目的とす
る。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a solder ball mounting apparatus which can surely vacuum-adsorb solder balls one by one into suction holes on a lower surface of a head and mount the solder balls on a work.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】このために本発明は、半
田ボールの供給部を、半田ボールを貯溜する容器とこの
容器に上下方向と水平方向の成分を含む斜め方向の振動
を付与する振動付与手段から構成し、この振動付与手段
が振動器と傾斜姿勢の複数のばね材から成るものであ
る。また望ましくは、前記容器の平面形状は4角形であ
り、また前記ばね材は4個あり、これらの4個のばね材
は前記容器の4つの辺に対応して設けられているもので
ある。 According to the present invention, there is provided a solder ball supply unit comprising: a container for storing solder balls; and a vibration for imparting an oblique vibration including vertical and horizontal components to the container. The vibration applying means.
Is composed of a vibrator and a plurality of spring members in an inclined posture . Preferably, the planar shape of the container is a quadrangle.
And there are four spring members, and these four spring members
Are provided corresponding to the four sides of the container.
is there.
【0008】[0008]
【作用】上記構成によれば、容器は上下方向だけでなく
水平方向にも振動するので、その内部の半田ボールの上
面は波打つことはなくほぼ水平面となり、したがってヘ
ッドのすべての吸着孔に半田ボールを確実に真空吸着で
きる。また吸着孔に複数個の半田ボールが吸着されて
も、余分な半田ボールは水平方向の振動が加わることに
よりふり落とされるので、吸着孔には1個の半田ボール
のみが真空吸着される。According to the above construction, the container vibrates not only in the vertical direction but also in the horizontal direction, so that the upper surface of the solder ball inside the container does not undulate and is substantially horizontal, and therefore the solder ball is provided in all the suction holes of the head. Can be reliably vacuum-adsorbed. Even if a plurality of solder balls are sucked into the suction hole, the extra solder ball is shaken off by applying horizontal vibration, so that only one solder ball is vacuum-sucked to the suction hole.
【0009】[0009]
【実施例】次に、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。図1は本発明の一実施例の半田ボールの搭載
装置の側面図、図2は同半田ボールの搭載装置に備えら
れた半田ボールの供給部の断面図、図3は同平面図、図
4は同ヘッドの部分断面図である。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a side view of a solder ball mounting apparatus according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view of a solder ball supply unit provided in the solder ball mounting apparatus, FIG. FIG. 2 is a partial sectional view of the head.
【0010】図1において、11は半田ボールの供給部
であり、図2および図3を参照しながら詳細に説明す
る。12は容器であり、半田ボール1が貯溜されてい
る。13は容器12内にガスを吹き出すチューブであ
る。ガスとしては空気や半田ボールの酸化防止に効果の
あるチッソガスでもよい。チューブ13はガス供給装置
20(図1)に接続されている。14は台板である。台
板14上と容器12の下面には止具15,16が取り付
けられている。台板14上の止具15と容器12の下面
の止具16には板ばねから成るばね板17の上下両端部
がビス18で固着されている。ばね材17は4個あり、
それぞれ傾斜姿勢で止具15,16に固着されている。
図3に示すように、4個のばね材17は、平面形状が4
角形の容器12の4つの辺に対応するように設けられて
いる。また容器12の下面中央には振動器19が装着さ
れている。In FIG. 1, reference numeral 11 denotes a solder ball supply unit, which will be described in detail with reference to FIGS. Reference numeral 12 denotes a container in which the solder balls 1 are stored. Reference numeral 13 denotes a tube for blowing gas into the container 12. The gas may be air or nitrogen gas which is effective for preventing oxidation of the solder balls. The tube 13 is connected to a gas supply device 20 (FIG. 1). 14 is a base plate. Stoppers 15 and 16 are mounted on the base plate 14 and the lower surface of the container 12. Upper and lower ends of a spring plate 17 made of a leaf spring are fixed to a stopper 15 on the base plate 14 and a stopper 16 on the lower surface of the container 12 with screws 18. There are four spring members 17,
Each is fixed to the stoppers 15 and 16 in an inclined posture.
As shown in FIG. 3, the four spring members 17 have a planar shape of four.
Provided so as to correspond to the four sides of the rectangular container 12.
I have. A vibrator 19 is mounted at the center of the lower surface of the container 12.
【0011】図2において、振動器19が振動すると、
ばね材17はその長さ方向と直交する斜め方向N1に振
動し、ばね材17に結合された容器12も同じ斜め方向
に振動する。この斜め方向N1は上下方向N2と水平方
向N3の成分を有しており、容器12の振動方向も上下
方向N2の成分と水平方向N3の成分を含む。したがっ
て容器12に貯留された半田ボール1は上下方向N2だ
けでなく、水平方向N3にも振動する。In FIG. 2, when the vibrator 19 vibrates,
The spring member 17 vibrates in an oblique direction N1 perpendicular to the length direction, and the container 12 coupled to the spring member 17 also vibrates in the same oblique direction. The oblique direction N1 has a component in the vertical direction N2 and a component in the horizontal direction N3, and the vibration direction of the container 12 also includes a component in the vertical direction N2 and a component in the horizontal direction N3. Therefore, the solder balls 1 stored in the container 12 vibrate not only in the vertical direction N2 but also in the horizontal direction N3.
【0012】ここで、上下方向N2の振動は、図5に示
すように半田ボール1の上面を波打たせるように作用す
るが、水平方向N3の振動は、この波打ちを分散させる
ように作用するので、振動器19を駆動して容器12を
振動させることにより半田ボール1を流動させると、半
田ボール1の上面はほぼ水平面を保持する。また4個の
ばね材17は容器12の中央部から見て同一方向に傾斜
しており、したがって水平方向N3の振動成分のため
に、容器12内の半田ボール1は、図3において矢印Q
で示すように、全体として同一方向に回動する。Here, the vibration in the vertical direction N2 acts to undulate the upper surface of the solder ball 1 as shown in FIG. 5, while the vibration in the horizontal direction N3 acts to disperse the undulation. Therefore, when the solder ball 1 is caused to flow by driving the vibrator 19 to vibrate the container 12, the upper surface of the solder ball 1 keeps a substantially horizontal surface. The four spring members 17 are inclined in the same direction when viewed from the center of the container 12. Therefore, due to the vibration component in the horizontal direction N3, the solder balls 1 in the container 12
As shown by, they rotate in the same direction as a whole.
【0013】図1において、供給部11の側方にはワー
クの位置決め部としての可動テーブル25が設置されて
いる。可動テーブル25上にはクランパ26が設けられ
ており、基板27がクランパ26にクランプされて位置
決めされている。可動テーブル25が駆動すると、基板
27は水平方向に移動し、その位置が調整される。In FIG. 1, a movable table 25 as a work positioning unit is provided on the side of the supply unit 11. A clamper 26 is provided on the movable table 25, and the substrate 27 is clamped by the clamper 26 and positioned. When the movable table 25 is driven, the substrate 27 moves in the horizontal direction, and its position is adjusted.
【0014】図1において、30はヘッドであり、シャ
フト31を介してブロック32に保持されている。図示
しないが、ブロック32はヘッド30を上下動させるた
めの上下動手段を備えている。図2において、29はヘ
ッド30の下面に形成された吸着孔である。33は移動
テーブルであって、供給部11と可動テーブル25の間
に架設されている。移動テーブル33には水平な送りね
じ34が設けられている。ブロック32の背面に設けら
れたナット35は送りねじ34に螺合している。モータ
36が駆動して送りねじが回転すると、ブロック32や
ヘッド30は送りねじ34に沿って横方向へ移動する。
ヘッド30はチューブ37を介してバキューム装置38
に接続されている。In FIG. 1, reference numeral 30 denotes a head, which is held by a block 32 via a shaft 31. Although not shown, the block 32 includes a vertical movement unit for vertically moving the head 30. In FIG. 2, reference numeral 29 denotes a suction hole formed on the lower surface of the head 30. A moving table 33 is provided between the supply unit 11 and the movable table 25. The moving table 33 is provided with a horizontal feed screw 34. A nut 35 provided on the back surface of the block 32 is screwed to a feed screw 34. When the motor 36 is driven to rotate the feed screw, the block 32 and the head 30 move laterally along the feed screw 34.
The head 30 is connected to a vacuum device 38 via a tube 37.
It is connected to the.
【0015】この半田ボールの搭載装置は上記のように
構成されており、次に動作を説明する。図1および図3
において、ヘッド30は容器12へ向かって下降し、バ
キューム装置38の吸引力によって、容器12内に貯溜
された半田ボール1をその吸着孔29に真空吸着する。
次にヘッド30は上昇した後、モータ36が駆動して送
りねじ34は回転し、ヘッド30は基板27の上方へ移
動する。そこでヘッド30は下降して、その下面に真空
吸着された半田ボール1を基板27に搭載し、真空吸着
状態を解除したうえで、ヘッド30は上昇する。次いで
モータ36が駆動することによりヘッドは容器12の上
方へ移動し、上述した動作が繰り返される。This solder ball mounting device is configured as described above, and the operation will be described next. 1 and 3
Then, the head 30 descends toward the container 12, and the suction force of the vacuum device 38 suction-adsorbs the solder balls 1 stored in the container 12 to the suction holes 29 thereof.
Next, after the head 30 is raised, the motor 36 is driven to rotate the feed screw 34, and the head 30 moves above the substrate 27. Then, the head 30 is lowered, the solder balls 1 vacuum-adsorbed on its lower surface are mounted on the substrate 27, and the vacuum suction state is released, and then the head 30 is raised. Next, when the motor 36 is driven, the head moves above the container 12, and the above-described operation is repeated.
【0016】図2において、ヘッド30が下降して容器
12内の半田ボール1を真空吸着するときは、真空吸着
しやすいように、チューブ13からガスを容器12内に
吹き出すとともに、振動器19を駆動して容器12を振
動させることにより半田ボール1を流動化させる。この
場合、上述したように容器12の振動方向には上下方向
N2の成分だけでなく水平方向N3の成分もあるので、
半田ボール1の上面はほぼ水平面を保持し、したがって
すべての吸着孔29に半田ボール1を確実に真空吸着し
てピックアップできる。In FIG. 2, when the head 30 descends to vacuum-suck the solder ball 1 in the container 12, the gas is blown out of the tube 13 into the container 12 and the vibrator 19 is operated to facilitate the vacuum suction. By driving the container 12 to vibrate, the solder ball 1 is fluidized. In this case, as described above, the vibration direction of the container 12 includes not only a component in the vertical direction N2 but also a component in the horizontal direction N3.
The upper surface of the solder ball 1 keeps a substantially horizontal surface, so that the solder ball 1 can be reliably sucked and picked up in all the suction holes 29.
【0017】また図6を参照して説明したように、吸着
孔7には複数個の半田ボール1が真空吸着されやすい
が、図4に示すように半田ボール1は水平方向N3にも
振動するので、吸着孔29に直接強く真空吸着された半
田ボール(黒塗りしている)1以外の付随した半田ボー
ルは、真空吸着力は小さいので、水平方向N3の振動に
よってふり落とされる。したがって1つの吸着孔29に
複数個の半田ボール1が真空吸着されることはなく、吸
着孔29に直接真空吸着された1個の半田ボール1のみ
がピックアップされて基板27に搭載される。さらに本
実施例では、容器12内の半田ボール1を水平方向(図
3矢印Q)へ移動させているので、吸着孔29に直接吸
着されずに付随する半田ボールをふり落す効果を一層高
めている。As described with reference to FIG. 6, a plurality of solder balls 1 are easily vacuum-sucked in the suction holes 7, but as shown in FIG. 4, the solder balls 1 also vibrate in the horizontal direction N3. Therefore, the attached solder balls other than the solder ball (blackened) 1 that is strongly vacuum-sucked directly to the suction holes 29 have a small vacuum suction force and are shaken off by vibration in the horizontal direction N3. Therefore, the plurality of solder balls 1 are not vacuum-adsorbed to one suction hole 29, and only one solder ball 1 directly vacuum-adsorbed to the suction hole 29 is picked up and mounted on the substrate 27. Further, in this embodiment, since the solder balls 1 in the container 12 are moved in the horizontal direction (arrow Q in FIG. 3), the effect of shaking off the accompanying solder balls without being directly sucked into the suction holes 29 is further enhanced. I have.
【0018】[0018]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、容
器内の半田ボールの上面はほぼ水平面を保持し、したが
ってヘッドの下面のすべての吸着孔に半田ボールを確実
に真空吸着してピックアップし、ワークに搭載すること
ができる。また吸着孔に複数個の半田ボールが吸着され
ても、余分な半田ボールは水平方向の振動が加わること
によりふり落とされるので、吸着孔には1個の半田ボー
ルのみが真空吸着されてワークに搭載される。As described above, according to the present invention, the upper surface of the solder ball in the container keeps a substantially horizontal surface, so that the solder ball can be securely inserted into all the suction holes on the lower surface of the head. It can be picked up by vacuum suction and mounted on a work. Also, even if a plurality of solder balls are sucked into the suction holes, the excess solder balls are shaken off by applying horizontal vibration, so that only one solder ball is vacuum-sucked into the suction holes and the work piece is sucked into the work. Will be installed.
【図1】本発明の一実施例の半田ボールの搭載装置の側
面図FIG. 1 is a side view of a solder ball mounting apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図2】本発明の一実施例の半田ボールの搭載装置に備
えられた半田ボールの供給部の断面図FIG. 2 is a sectional view of a solder ball supply unit provided in the solder ball mounting device according to one embodiment of the present invention;
【図3】本発明の一実施例の半田ボールの搭載装置に備
えられた半田ボールの供給部の平面図FIG. 3 is a plan view of a solder ball supply unit provided in the solder ball mounting device according to one embodiment of the present invention;
【図4】本発明の一実施例の半田ボールの搭載装置に備
えられたヘッドの部分断面図FIG. 4 is a partial cross-sectional view of a head provided in the solder ball mounting device according to one embodiment of the present invention.
【図5】従来の半田ボールの搭載装置に備えられた半田
ボールの供給部の断面図FIG. 5 is a cross-sectional view of a solder ball supply unit provided in a conventional solder ball mounting device.
【図6】従来の半田ボールの搭載装置に備えられたヘッ
ドの部分断面図FIG. 6 is a partial sectional view of a head provided in a conventional solder ball mounting device.
1 半田ボール 11 供給部 12 容器 17 ばね材 19 振動器 25 可動テーブル(位置決め部) 27 基板(ワーク) 29 吸着孔 30 ヘッド 33 移動テーブル DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Solder ball 11 Supply part 12 Container 17 Spring material 19 Vibrator 25 Movable table (positioning part) 27 Substrate (work) 29 Suction hole 30 Head 33 Moving table
Claims (2)
部と、半田ボールを真空吸着する吸着孔が下面に複数個
形成されたヘッドと、このヘッドを前記供給部と前記位
置決め部の間を移動させる移動手段とを備えた半田ボー
ルの搭載装置であって、 前記供給部が、半田ボールを貯溜する容器とこの容器に
上下方向と水平方向の成分を含む斜め方向の振動を付与
する振動付与手段とを備え、この振動付与手段が振動器
と傾斜姿勢の複数のばね材から成ることを特徴とする半
田ボールの搭載装置。A head having a plurality of suction holes formed on a lower surface thereof for vacuum-sucking the solder balls; and a head provided between the supply portion and the positioning portion. A solder ball mounting device comprising: a moving means for moving the container, wherein the supply unit applies a vibration to the container for storing the solder ball and an oblique vibration including vertical and horizontal components to the container. Means, and the vibration applying means is a vibrator.
And a plurality of spring members having an inclined posture .
前記ばね材は4個あり、これらの4個のばね材は前記容There are four spring materials, and these four spring materials are
器の4つの辺に対応して設けられていることを特徴とすIs provided corresponding to the four sides of the container.
る請求項1記載の半田ボールの搭載装置。The mounting device for a solder ball according to claim 1.
Priority Applications (1)
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JP29952994A JP3180590B2 (en) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | Solder ball mounting device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP29952994A JP3180590B2 (en) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | Solder ball mounting device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH08162494A JPH08162494A (en) | 1996-06-21 |
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Family
ID=17873787
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP29952994A Expired - Lifetime JP3180590B2 (en) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | Solder ball mounting device |
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Country | Link |
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Families Citing this family (4)
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US6056190A (en) * | 1997-02-06 | 2000-05-02 | Speedline Technologies, Inc. | Solder ball placement apparatus |
JP5215253B2 (en) * | 2009-07-10 | 2013-06-19 | 日置電機株式会社 | Spherical body supply device, spherical body mounting device, and spherical body supply method |
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1994
- 1994-12-02 JP JP29952994A patent/JP3180590B2/en not_active Expired - Lifetime
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JPH08162494A (en) | 1996-06-21 |
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Legal Events
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