JPH1116499A - Plasma display and its manufacture - Google Patents

Plasma display and its manufacture

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JPH1116499A
JPH1116499A JP17048697A JP17048697A JPH1116499A JP H1116499 A JPH1116499 A JP H1116499A JP 17048697 A JP17048697 A JP 17048697A JP 17048697 A JP17048697 A JP 17048697A JP H1116499 A JPH1116499 A JP H1116499A
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electrode layer
photosensitive
weight
plasma display
black
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Yuichiro Iguchi
雄一朗 井口
Yoshiki Masaki
孝樹 正木
Junji Sanada
淳二 真多
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Toray Industries Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance contrast by satisfying the specific relation of the value of the stimulus value of a back electrode layer and the stimulus value of a white electrode layer. SOLUTION: Photosensitive black conductive paste and photosensitive white conductive paste are applied on a glass substrate, and exposed, a part dissolving in a developing solution is removed by development, then baked. At that time, the value Y1 of the stimulus value Y of a black electrode layer and the stimulus value Y2 of a white electrode layer satisfy the relation in formulas I and II. As the color of electrodes, the stimulus value Y of the black electrode layer formed on the glass substrate side, of three stimulus values X, Y, Z of the light source color in an X, Y, Z color system is made 1-20 for example, preferably 4-10 to effectively be consistent with both of low resistance and high contrast. The value of the stimulus value Y of the white electrode layer is preferable to be 70-100 to reduce resistance. In the case that chromaticity coordinates (x), (y), (z) are found based on three stimulus values X, Y, Z, the values of (x), (y) of the black electrode layer are desirable to be 0.28-0.38, preferably 0.30-0.36 to enhance color purity.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、大型のテレビやコ
ンピューターモニターに用いられるプラズマディスプレ
イに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display used for a large television or a computer monitor.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、大型ディスプレイとしてプラズマ
ディスプレイが注目されている。プラズマディスプレイ
の構造例を図2に示す。プラズマディスプレイは前面板
と背面板をはり合わせて構成されている。前面板ではガ
ラス基板の裏面にITOや酸化錫からなる透明電極が形
成されている。透明電極は帯状に複数本形成されてい
る。この隣り合う透明電極間に通常10kHz〜数10
kHzのパルス状AC電圧を印加し表示用の放電を得る
が、透明電極のシート抵抗は数10Ω/cm2と高いた
め、電極抵抗が数10kΩ程度になり、印過電圧パルス
が十分に立ち上がらずに駆動が困難になる。そこで、透
明電極状に通常金属製のバス電極を形成して抵抗値を下
げる。
2. Description of the Related Art In recent years, plasma displays have attracted attention as large displays. FIG. 2 shows a structural example of a plasma display. The plasma display is configured by bonding a front plate and a back plate. In the front plate, a transparent electrode made of ITO or tin oxide is formed on the back surface of the glass substrate. A plurality of transparent electrodes are formed in a strip shape. Usually 10 kHz to several tens between these adjacent transparent electrodes.
A pulsed AC voltage of kHz is applied to obtain a discharge for display. However, since the sheet resistance of the transparent electrode is as high as several tens of Ω / cm 2 , the electrode resistance becomes about several tens of kΩ, and the imprint voltage pulse does not sufficiently rise. Driving becomes difficult. Therefore, a metal bus electrode is usually formed on the transparent electrode to reduce the resistance value.

【0003】次に、これら電極を透明誘電体層によって
被覆する、透明誘電体層は鉛ガラスやビスマスを含有す
る低融点ガラスを用いる。その後、保護層として、Mg
Oを電子ビーム蒸着法により形成する。
Next, these electrodes are covered with a transparent dielectric layer. The transparent dielectric layer uses a low-melting glass containing lead glass or bismuth. Then, as a protective layer, Mg
O is formed by an electron beam evaporation method.

【0004】一方、背面パネルは、ガラス基板上に表示
データを書き込むデータ電極を感光性銀ペーストを用い
て作製し、白色の誘電体層で被覆する。その上に、白色
あるいは黒色の隔壁を形成し、スクリーン印刷によっ
て、赤、緑、青の各色に発光する蛍光体を塗布後、乾
燥、焼成を行って蛍光体層を形成する。赤色蛍光体粉末
としては(Y,Gd)BO3:Eu、緑色蛍光体粉末と
しては(Zn,Mn)2SiO、青色蛍光体粉末として
は(Ba,Eu)MgAl107などが用いられる。
On the other hand, in the rear panel, a data electrode for writing display data on a glass substrate is prepared using a photosensitive silver paste, and is covered with a white dielectric layer. A white or black partition is formed thereon, and a phosphor that emits red, green, and blue light is applied by screen printing, and then dried and fired to form a phosphor layer. (Y, Gd) BO 3 : Eu is used as the red phosphor powder, (Zn, Mn) 2 SiO is used as the green phosphor powder, and (Ba, Eu) MgAl 10 O 7 is used as the blue phosphor powder.

【0005】前面板と背面板をマトリクス駆動が可能に
なるように合わせて、封着した後、排気、He、Ne、
Xeの混合ガスを封入し、駆動回路を実装してプラズマ
ディスプレイを作製される。
[0005] After sealing the front plate and the rear plate so as to enable matrix driving, exhaust, He, Ne,
A plasma display is manufactured by enclosing a mixed gas of Xe and mounting a drive circuit.

【0006】隣り合う透明電極の間にパルス状の交流電
圧を印加するとガス放電が生じ、プラズマが形成され
る。ここで生じた紫外線が蛍光体を励起して可視光を発
光し前面板を通して表示発光を得る。放電を生じる透明
電極は走査電極と維持電極からなっている。実際のパネ
ル駆動において、放電電極である透明電極には維持放電
パルスが印加されており、放電を生じさせるときには、
背面板上のデータ電極との間に電圧を印加して対向放電
を生じさせ、この放電が維持パルスによって放電電極間
で維持される。
When a pulsed AC voltage is applied between adjacent transparent electrodes, gas discharge occurs, and plasma is formed. The ultraviolet light generated here excites the phosphor to emit visible light and obtain display light emission through the front plate. The transparent electrode that generates a discharge is composed of a scan electrode and a sustain electrode. In an actual panel drive, a sustain discharge pulse is applied to the transparent electrode serving as a discharge electrode.
A voltage is applied between the data electrodes on the back plate to generate a counter discharge, and this discharge is maintained between the discharge electrodes by a sustain pulse.

【0007】また、このプラズマディスプレイを高精細
化するため、つまり、一定の画面サイズで画素の数を増
やすためには、1画素の大きさを小さくする必要があ
る。この場合、隔壁間のピッチを小さくする必要がある
が、ピッチを小さくすると、放電空間が小さくなり、ま
た、蛍光体の塗布面積が小さくなることから、輝度が低
下する。具体的には、42インチのハイビジョンテレビ
(1920×1035画素)や23インチのOAモニタ
ー(XGA:1024×768画素)を実現しようとす
ると、画素のサイズを450μm角の大きさにする必要
があり、各色を仕切る隔壁は150μmピッチで形成す
る必要がある。この場合、隔壁の線幅が大きいと放電の
ための空間が確保できないことや蛍光体の塗布面積が小
さくなることによって、輝度を向上することが困難にな
る。
Further, in order to increase the definition of the plasma display, that is, to increase the number of pixels with a fixed screen size, it is necessary to reduce the size of one pixel. In this case, it is necessary to reduce the pitch between the partition walls. However, when the pitch is reduced, the discharge space is reduced and the coated area of the phosphor is reduced, so that the luminance is reduced. Specifically, in order to realize a 42-inch high-definition television (1920 × 1035 pixels) or a 23-inch OA monitor (XGA: 1024 × 768 pixels), the pixel size must be 450 μm square. It is necessary to form partition walls for each color at a pitch of 150 μm. In this case, if the line width of the partition is large, it is difficult to improve the luminance because a space for discharge cannot be secured or the application area of the phosphor is reduced.

【0008】プラズマディスプレイの電極は、厚膜法、
薄膜法などにより形成される。厚膜法では、ガラス基板
上に、金属粉末と有機成分を必須成分とするペーストを
用いてパターン加工を行った後に、焼成することによっ
て電極を形成する。薄膜法では、ガラス基板上に、クロ
ムや銅などの金属をスパッタリングした後、レジストを
用いてパターン加工する。
The electrodes of the plasma display are formed by a thick film method,
It is formed by a thin film method or the like. In the thick film method, an electrode is formed by performing pattern processing on a glass substrate using a paste containing metal powder and an organic component as essential components, followed by firing. In the thin film method, after a metal such as chromium or copper is sputtered on a glass substrate, pattern processing is performed using a resist.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】プラズマディスプレイ
の前面板に用いるバス電極層としては、抵抗値が低い金
属を用いることが好ましいが、このような金属は、通常
白色である。電極の色が白い場合は、点灯していない画
素に入射した外光が電極で反射するため、コントラスト
が低下する。白色の導電層の外面側に黒色層を複層化す
る方法は、黒色層の抵抗値が大きいため、放電電極に用
いる透明電極層と白色電極層の間の導通がとれなくなる
欠点がある。このため、バス電極層を黒色にする必要が
ある。
As the bus electrode layer used for the front panel of the plasma display, it is preferable to use a metal having a low resistance value. Such a metal is usually white. When the color of the electrode is white, the external light incident on the unlit pixel is reflected by the electrode, so that the contrast is reduced. The method of forming a black layer on the outer surface side of the white conductive layer has a disadvantage that conduction between the transparent electrode layer used for the discharge electrode and the white electrode layer cannot be established because the black layer has a large resistance value. Therefore, it is necessary to make the bus electrode layer black.

【0010】しかし、黒色の導電材料は、一般的に抵抗
値が高い。さらに、薄膜法では、クロムを用いることに
よって、黒色化が比較的容易であるが、薄膜法はスパッ
タリング工程が必要なため、装置が高価であり、生産効
率が低くなるという欠点があった。一方、厚膜法は比較
的安価にできるものの、黒色化すると抵抗値が上昇しや
すいため、ディスプレイの駆動が困難になるという欠点
があった。特に、黒色化するためにペースト中に顔料を
添加すると抵抗値が上昇するという課題があった。
However, a black conductive material generally has a high resistance value. Further, in the thin film method, blackening is relatively easy by using chromium. However, the thin film method requires a sputtering step, so that the apparatus is expensive and the production efficiency is low. On the other hand, although the thick film method can be made relatively inexpensive, it has a drawback that driving the display becomes difficult because the resistance value tends to increase when blackened. In particular, when a pigment is added to the paste for blackening, there is a problem that the resistance value increases.

【0011】本発明は、プラズマディスプレイのコント
ラストを向上することができる電極層を作製することを
目的とする。
An object of the present invention is to produce an electrode layer capable of improving the contrast of a plasma display.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、ガラス
基板上に黒色電極層と白色電極層が形成されたプラズマ
ディスプレイであって、該黒色電極層の刺激値Yの値Y
1と該白色電極層の刺激値Y2が、以下の条件を満たす
ことを特徴とするプラズマディスプレイによって達成さ
れる。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a plasma display in which a black electrode layer and a white electrode layer are formed on a glass substrate, and the value Y of the stimulus value Y of the black electrode layer is provided.
1 and a stimulus value Y2 of the white electrode layer satisfy the following condition.

【0013】1≦Y1≦20 70≦Y2≦100 また、本発明の目的は、ガラス基板上に感光性黒色導電
ペーストを塗布する工程、感光性白色導電ペーストを塗
布する工程、露光を行う工程、現像液に溶解する部分を
現像で取り除く工程を経た後に、400〜720℃で焼
成することによって、電極を形成するプラズマディスプ
レイの製造方法によって達成される。また、本発明の目
的は、ガラス基板上に感光性黒色導電ペーストを塗布す
る工程、露光する工程、感光性白色導電ペーストを塗布
する工程、再露光を行う工程、現像液に溶解する部分を
現像で取り除く工程を経た後に、400〜720℃で焼
成することによって電極を形成するプラズマディスプレ
イの製造方法によって達成される。
1 ≦ Y1 ≦ 20 70 ≦ Y2 ≦ 100 Another object of the present invention is to provide a step of applying a photosensitive black conductive paste on a glass substrate, a step of applying a photosensitive white conductive paste, a step of performing exposure, This is achieved by a plasma display manufacturing method in which an electrode is formed by baking at 400 to 720 ° C. after a step of removing a portion dissolved in a developer by development. Further, an object of the present invention is to apply a photosensitive black conductive paste on a glass substrate, to expose, to apply a photosensitive white conductive paste, to perform a re-exposure, and to develop a portion that is dissolved in a developing solution. This is achieved by a method of manufacturing a plasma display in which electrodes are formed by baking at 400 to 720 ° C. after the removing step.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】発明者らは、厚膜法において、抵
抗値を低くかつコントラスト向上効果の高い電極とし
て、特定厚みの黒色電極層と白色電極層の2層構造を有
する電極構造を見いだした。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The inventors have found an electrode structure having a two-layer structure of a black electrode layer and a white electrode layer having a specific thickness as an electrode having a low resistance value and a high contrast improving effect in a thick film method. Was.

【0015】この場合の電極の色としては、XYZ表色
系における光源色の3刺激値XYZのうち、ガラス基板
側に形成する黒色電極層の刺激値Yの値を1〜20、2
〜15、より好ましくは、4〜10にする事が、低抵抗
とコントラスト向上を両立することに有効である。ま
た、白色電極層の刺激値Yの値は、特に限定されない
が、通常70〜100のものが、抵抗値が低い。
In this case, among the three stimulus values XYZ of the light source color in the XYZ color system, the values of the stimulus value Y of the black electrode layer formed on the glass substrate side are 1 to 20, 2
It is effective to set the value to 15 and more preferably 4 to 10 to achieve both low resistance and improved contrast. The value of the stimulus value Y of the white electrode layer is not particularly limited, but those having a stimulus value of 70 to 100 usually have a low resistance value.

【0016】光源色の3刺激値刺XYZおよびそれらか
ら求められる色度座標x、y、zは、JIS(日本工業
規格)Z 8722の6.2(測定値の付記事項)、J
ISZ 8717の8.2(測定値の付記事項の表示)
の6.2(測定値の付記事項)、JIS Z 8701
(色の表示方法−XYZ表色系及びXYZ表色系)に規
定される方法で求めることができる。
The tristimulus value XYZ of the light source color and the chromaticity coordinates x, y, z obtained therefrom are described in 6.2 of JIS (Japanese Industrial Standards) Z 8722 (additional items of measured values), J
8.2 of ISZ 8717 (Display of annex to measured values)
6.2 (Additions to the measured values), JIS Z8701
(Color display method-XYZ color system and XYZ color system).

【0017】また、本発明のプラズマディスプレイにお
いて、三刺激値X、Y、Zをもとに、色度座標x、y、
zを求めた場合、黒色電極層のx、yの値を0.28〜
0.38、好ましくは、0.30〜0.36にする事に
よって、プラズマディスプレイの発光色の色純度を向上
することができる。これらの刺激値や色度座標を測定す
る装置としては、一般的には、スガ試験機(株)製のカ
ラーコンピューター(SM−7−CHなど)を用いるこ
とができる。
Further, in the plasma display of the present invention, chromaticity coordinates x, y, and x are calculated based on the tristimulus values X, Y, and Z.
When z was obtained, the values of x and y of the black electrode layer were set to 0.28 to
By setting the ratio to 0.38, preferably 0.30 to 0.36, the color purity of the emission color of the plasma display can be improved. As a device for measuring these stimulus values and chromaticity coordinates, generally, a color computer (SM-7-CH or the like) manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd. can be used.

【0018】また、本発明において黒色電極層の厚みt
1と白色電極層の厚みt2が次の条件を満たすことが好
ましい。 1μm≦t1≦10μm 1μm≦t2≦10μm
In the present invention, the thickness t of the black electrode layer
1 and the thickness t2 of the white electrode layer preferably satisfy the following conditions. 1 μm ≦ t1 ≦ 10 μm 1 μm ≦ t2 ≦ 10 μm

【0019】本発明の電極は、ガラス基板上に黒色電極
層および白色電極層をパターン加工することによって得
られる。ガラス基板としては、ソーダガラスや旭硝子社
製PD−200などの耐熱ガラス基板、コーニング社製
無アルカリガラスなどを用いることができる。これらの
ガラス基板上に、ITOや酸化錫などの透明電極を形成
したものを用いることが一般的である。
The electrode of the present invention can be obtained by patterning a black electrode layer and a white electrode layer on a glass substrate. As the glass substrate, a heat-resistant glass substrate such as soda glass or PD-200 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., or a non-alkali glass manufactured by Corning can be used. It is common to use a glass substrate on which a transparent electrode such as ITO or tin oxide is formed.

【0020】黒色電極層と白色電極層を形成する方法と
しては、種々の導電性金属粉末と有機バインダーからな
る導電ペーストを用いることができる。
As a method for forming the black electrode layer and the white electrode layer, a conductive paste composed of various conductive metal powders and an organic binder can be used.

【0021】本発明において使用される導電性金属粉末
とは、Ag、Au、Pd、Cu、Ni、AlおよびPt
の群から選ばれる少なくとも1種を含むもので、Ag、
Au、Pd、Cu、Ni、AlおよびPt単独または混
合粉末として用いる事ができる。特に、抵抗値を低減で
きる点から銀を90重量%以上含む導電性金属粉末が好
ましい。
The conductive metal powder used in the present invention includes Ag, Au, Pd, Cu, Ni, Al and Pt.
Containing at least one member selected from the group consisting of Ag,
Au, Pd, Cu, Ni, Al and Pt can be used alone or as a mixed powder. In particular, a conductive metal powder containing 90% by weight or more of silver is preferable in that the resistance value can be reduced.

【0022】また、Ag(80〜98)−Pd(20〜
2)、Ag(90〜98)−Pd(10〜2)−Pt
(2〜10)、Ag(85〜98)−Pt(15〜2)
(以上( )内は重量%を表わす)などの3元系或いは
2元系の混合貴金属粉末が用いられる。
Ag (80-98) -Pd (20-
2), Ag (90-98) -Pd (10-2) -Pt
(2-10), Ag (85-98) -Pt (15-2)
A mixed noble metal powder of a ternary system or a binary system (the above (in parentheses represents weight%)) is used.

【0023】上記において使用される金属粉末の粒子径
は、作製しようとするパターンの形状を考慮して選ばれ
るが、50重量%粒子径が0.1〜10μmが好まし
い。
The particle size of the metal powder used in the above is selected in consideration of the shape of the pattern to be produced, and the 50% by weight particle size is preferably 0.1 to 10 μm.

【0024】また、金属粉末として、球形率80個数%
以上の金属粉末を50重量%以上用いることによって、
ガラス表面積を小さくして、ペースト中の光散乱を抑制
することができる。
The metal powder has a sphericity of 80% by number.
By using the above metal powder at 50% by weight or more,
Light scattering in the paste can be suppressed by reducing the glass surface area.

【0025】また、ガラス基板上に600℃以下の温度
で焼き付けできる導電性金属の組成を用いる事が好まし
く、銀、または、ニッケルを70〜100重量%の範囲
で含む事が好ましい。
Further, it is preferable to use a conductive metal composition that can be baked at a temperature of 600 ° C. or less on a glass substrate, and it is preferable that silver or nickel is contained in a range of 70 to 100% by weight.

【0026】電極には、導電性金属以外に、ガラス成分
を含有することが電極層とガラス基板層の接着力を向上
する上で有効である。ガラス成分は、導電性粉末をガラ
ス基板との十分な接着力を確保するために用いられる。
さらに、導電粉末を焼結するための焼結助剤や抵抗値を
下げる効果があるので必要である。
It is effective that the electrode contains a glass component in addition to the conductive metal in order to improve the adhesive strength between the electrode layer and the glass substrate layer. The glass component is used to ensure sufficient adhesion between the conductive powder and the glass substrate.
Further, it is necessary because it has a sintering aid for sintering the conductive powder and an effect of lowering the resistance value.

【0027】プラズマディスプレイなどのガラス基板上
への焼き付けを行う場合は、ガラス成分のガラス転移温
度(Tg)およびガラス軟化点(Ts)は低いほうが好
ましくそれぞれ300〜500℃、350〜450℃で
あるのが良い。より好ましくはTgが350〜450℃
であるのが良い。Tgが300℃以下になると、ポリマ
ーバインダーやモノマーなどの有機成分が蒸発する前に
焼結が始まるので好ましくない。
When baking on a glass substrate such as a plasma display, the glass transition temperature (Tg) and the glass softening point (Ts) of the glass component are preferably low, preferably 300 to 500 ° C. and 350 to 450 ° C., respectively. Is good. More preferably, Tg is 350 to 450 ° C.
It is good. If the Tg is lower than 300 ° C., sintering starts before the organic components such as the polymer binder and the monomer evaporate, which is not preferable.

【0028】発明者らは、上記の特徴を有するガラス成
分を鋭意検討してきた。その結果、ガラスフリットし
て、Bi23を20〜60重量%の範囲で含有するガラ
ス成分を用いることによって、性能を満足することを見
いだした。20重量%未満の場合は、導電ペーストをガ
ラス基板上に焼き付けする時に、ガラス転移点や軟化点
を制御するのに十分でなく、基板に対する接着強度を高
めるのに効果が少ない。また、60重量%より多くなる
とガラスフリットの軟化点が低くなり過ぎてペースト中
のバインダーが蒸発する前にガラスフリットが溶融す
る。このためペーストの脱バインダ性が悪くなり、導体
膜の焼結性が低下し、また基板との接着強度が低下す
る。
The inventors have intensively studied a glass component having the above characteristics. As a result, the glass frit, by using a glass component containing Bi 2 O 3 in the range of 20 to 60 wt%, has been found to satisfy performance. When the amount is less than 20% by weight, when the conductive paste is baked on a glass substrate, the glass transition point and the softening point are not sufficiently controlled, and the effect of increasing the adhesive strength to the substrate is small. If it exceeds 60% by weight, the softening point of the glass frit becomes too low, so that the glass frit is melted before the binder in the paste evaporates. For this reason, the binder removal property of the paste is deteriorated, the sinterability of the conductor film is reduced, and the adhesive strength with the substrate is reduced.

【0029】さらに、酸化物換算表記で、 Bi23 20〜60重量部 SiO2 3〜60重量部 B23 3〜60重量部 の組成範囲からなるビスマス含有ホウ珪酸ガラスを用い
ることによって、電極を500〜600℃でガラス基板
上に強固に焼き付けできる。
Further, a bismuth-containing borosilicate glass having a composition range of 20 to 60 parts by weight of Bi 2 O 3, 3 to 60 parts by weight of SiO 2, and 3 to 60 parts by weight of B 2 O 3 in terms of oxide is used. The electrode can be firmly baked on a glass substrate at 500 to 600 ° C.

【0030】SiO2 は3〜60重量%の範囲で配合す
ることが好ましく、3重量%未満の場合は基板上に焼き
付けたときの接着強度の低下やガラス成分の安定性が低
下する。また60重量%より多くなると耐熱温度が増加
し、600℃以下でガラス基板上に焼き付けが難しくな
る。
It is preferable to mix SiO 2 in the range of 3 to 60% by weight, and if it is less than 3% by weight, the adhesive strength when baked on the substrate and the stability of the glass component are reduced. On the other hand, if it exceeds 60% by weight, the heat-resistant temperature increases, and it becomes difficult to bake on a glass substrate at 600 ° C. or lower.

【0031】B23は3〜60重量%の範囲で配合する
ことが好ましい。B23は電極の電気絶縁性、強度、熱
膨張係数などの電気、機械および熱的特性を損なうこと
のないように焼付け温度を500〜600℃の範囲に制
御するために配合される。3重量%未満では密着強度が
低下し、また60重量%を越えるとガラス成分の安定性
が低下する。また、ZnOは2〜20重量%の範囲で配
合することが好ましい。2重量%未満では電極をガラス
基板上に焼付けする時に、焼付け温度を制御するのに効
果が少ない。20重量%を越えるとガラスの耐熱温度が
低くなり過ぎてガラス基板上への焼き付けが難しくな
る。
It is preferable that B 2 O 3 is blended in the range of 3 to 60% by weight. B 2 O 3 is blended to control the baking temperature in the range of 500 to 600 ° C. so as not to impair the electrical, mechanical and thermal properties such as the electrical insulation, strength and coefficient of thermal expansion of the electrode. If the amount is less than 3% by weight, the adhesion strength decreases, and if it exceeds 60% by weight, the stability of the glass component decreases. It is preferable that ZnO is blended in a range of 2 to 20% by weight. If the amount is less than 2% by weight, the effect of controlling the baking temperature when baking the electrodes on the glass substrate is small. If it exceeds 20% by weight, the heat-resistant temperature of the glass will be too low, and it will be difficult to bake it on a glass substrate.

【0032】また、ガラス成分中にAl23、BaO、
CaO、TiO2、ZrO2などを含有することによって
熱膨張係数、ガラス軟化点、ガラス転移点、絶縁抵抗を
制御できるが、その量は15重量%未満であることが好
ましい。
Further, Al 2 O 3 , BaO,
The thermal expansion coefficient, glass softening point, glass transition point, and insulation resistance can be controlled by containing CaO, TiO 2 , ZrO 2, etc., but the amount is preferably less than 15% by weight.

【0033】電極中のガラス成分含有量としては、1〜
10重量%であることが好ましい。より好ましくは1〜
5重量%である。PDPの電極の低抵抗化を図るにはガ
ラス成分の量が低いほうが好ましい。
The content of the glass component in the electrode is from 1 to
Preferably it is 10% by weight. More preferably 1 to
5% by weight. In order to reduce the resistance of the electrode of the PDP, it is preferable that the amount of the glass component is low.

【0034】ガラスフリットは電気絶縁性であるので、
含有量が5重量%を越えると電極の抵抗が増大するので
好ましくない。1重量%以下では、電極膜とガラス基板
との強固な接着強度が得られにくい。
Since the glass frit is electrically insulating,
If the content exceeds 5% by weight, the resistance of the electrode increases, which is not preferable. If it is less than 1% by weight, it is difficult to obtain a strong adhesive strength between the electrode film and the glass substrate.

【0035】電極層に黒色の金属酸化物または金属を
0.5〜15重量%含むことによって、黒色電極を形成
することができる。例えば、Ag、Au、Pd、Ni、
AlおよびPtの粉末に、Ru、Mn、Ni、Cr、F
e、Coの金属もしくはそれらの酸化物を合計で0.5
〜15重量%混合することによって黒色化することがで
きる。これらの金属酸化物の内、少なくとも1種、好ま
しくは3種以上を含むことによって、黒色化が可能にな
る。特に、酸化ルテニウムを0.5重量%以上含有する
ことによって、より黒色パターンを形成できる。
A black electrode can be formed by including 0.5 to 15% by weight of a black metal oxide or metal in the electrode layer. For example, Ag, Au, Pd, Ni,
Ru, Mn, Ni, Cr, F are added to Al and Pt powders.
e, Co metal or their oxides in a total of 0.5
Black can be obtained by mixing 15% by weight. By including at least one, and preferably three or more of these metal oxides, blackening becomes possible. In particular, a black pattern can be formed by containing 0.5% by weight or more of ruthenium oxide.

【0036】本発明の感光性ペースト中に、黒色化する
ための金属や金属酸化物を添加することによって、焼成
後のパターンを黒色化することができる。
By adding a metal or metal oxide for blackening to the photosensitive paste of the present invention, the pattern after firing can be blackened.

【0037】黒色に着色するために、金属粉末表面に黒
色金属又は金属酸化物を付着させる、または被覆しても
よい。
For coloring black, a black metal or metal oxide may be adhered or coated on the surface of the metal powder.

【0038】種々の金属もしくは金属酸化物を銀などの
母体金属粉末の表面に化学メッキしたのち、400〜5
00℃で30分〜数時間焼成することにより、粉末の黒
色化が可能となる。具体的には、所望の金属塩または金
属錯体の水溶液に母体金属粉末を分散させておき、この
分散剤に還元剤を添加して、ガラス粉末に金属を析出さ
せ、その後焼成することにより金属を酸化し、黒色とす
る。
After various metals or metal oxides are chemically plated on the surface of a base metal powder such as silver, 400 to 5
By baking at 00 ° C. for 30 minutes to several hours, the powder can be blackened. Specifically, the base metal powder is dispersed in an aqueous solution of a desired metal salt or metal complex, a reducing agent is added to the dispersant, the metal is precipitated on the glass powder, and then the metal is fired by firing. Oxidizes to black.

【0039】焼成することによって、金属酸化物の添加
量が少ない場合は、金属粉末表面に金属酸化物の粉末が
均一に、点々と付着する。添加量が多い場合は均一に被
覆され、薄膜が形成される。この際、用いる金属粉末と
しては、平均粒径が0.5〜5μmであることが被覆の
容易さから好ましい。
When the amount of the metal oxide added is small by firing, the metal oxide powder adheres uniformly and to the surface of the metal powder. When the amount of addition is large, it is uniformly coated and a thin film is formed. At this time, the metal powder used preferably has an average particle size of 0.5 to 5 μm from the viewpoint of ease of coating.

【0040】また、付着または被覆する金属は、酸化物
が黒色であるRu、Cr、Fe、Co、Mn、Niの
内、少なくとも1種以上用いることがよい。用いる金属
塩または金属錯体は上記金属の塩または錯体であり、水
溶性であれば特に限定しないが、たとえばハロゲン化
物、シアン化物、硫酸塩、硝酸塩、アンミン錯体、ニト
ロシル錯体、カルボニル錯体、アクア錯体が好ましい。
特に、たとえばRuの場合、2RuCl2(OH)・7
NH3・3H2O、RuO2(NH32(OH)2、Na2
RuO4、K2RuO4、Rb2RuO4、Cs2RuO4
(NH42RuO4、Mg2RuO4、Ca2RuO4、S
2RuO4、Ba2RuO4、Ag2RuO4、Ru(N
O)Cl2・H2O、Ru(NO)Br2・H2O、Ru
(NO)I3が好ましい。
The metal to be adhered or coated is preferably at least one of Ru, Cr, Fe, Co, Mn, and Ni whose oxides are black. The metal salt or metal complex used is a salt or complex of the above-mentioned metals, and is not particularly limited as long as it is water-soluble. Examples thereof include halides, cyanides, sulfates, nitrates, ammine complexes, nitrosyl complexes, carbonyl complexes, and aqua complexes. preferable.
In particular, for example, in the case of Ru, 2RuCl 2 (OH) · 7
NH 3 .3H 2 O, RuO 2 (NH 3 ) 2 (OH) 2 , Na 2
RuO 4 , K 2 RuO 4 , Rb 2 RuO 4 , Cs 2 RuO 4 ,
(NH 4 ) 2 RuO 4 , Mg 2 RuO 4 , Ca 2 RuO 4 , S
r 2 RuO 4 , Ba 2 RuO 4 , Ag 2 RuO 4 , Ru (N
O) Cl 2 · H 2 O, Ru (NO) Br 2 · H 2 O, Ru
(NO) I 3 is preferred.

【0041】付着または被覆する黒色酸化物は、母体金
属粉末量の0.5〜15重量%であることが、黒色度、
パターン形成性および焼結性の点で優れていることから
好ましい。0.5重量%より小さいと、黒色度が弱くな
り、灰色がかって見え、コントラスト向上に効果がな
い。また15重量%より大きいと、軟化点が上昇した
り、熱膨張係数をガラス基板と整合させるのが難しくな
る。また、黒色度が強くなりすぎて、紫外線が下部まで
到達しなくなり、パターン形成性が低下するので好まし
くない。
The amount of the black oxide to be attached or coated is 0.5 to 15% by weight of the amount of the base metal powder,
It is preferable because it is excellent in pattern formability and sinterability. When the content is less than 0.5% by weight, the blackness is weakened, the image looks grayish, and the contrast is not improved. If it is more than 15% by weight, the softening point will increase and it will be difficult to match the coefficient of thermal expansion with the glass substrate. Further, the blackness becomes too strong, so that the ultraviolet rays do not reach the lower portion, and the pattern formability decreases, which is not preferable.

【0042】また、黒色電極層のシート抵抗値が5〜1
00Ω/cm2であることが、透明電極と白色電極の間
の導通をとるためには重要である。また、上記の白色ま
たは黒色の金属粉末、ガラスフリットを有機バインダー
と混練して、ペーストを作製することができる。
The sheet resistance of the black electrode layer is 5 to 1
It is important that the resistance is 00 Ω / cm 2 in order to establish conduction between the transparent electrode and the white electrode. Further, the paste can be prepared by kneading the white or black metal powder and glass frit with an organic binder.

【0043】この場合、有機バインダーとして、感光性
有機成分を含有する化合物を用いることによって、感光
性導電ペーストを得ることができる。
In this case, a photosensitive conductive paste can be obtained by using a compound containing a photosensitive organic component as the organic binder.

【0044】感光性導電ペーストを用いて、電極層を形
成する方法としては、ガラス基板上に、感光性黒色導電
ペーストを塗布した後、感光性白色導電ペーストを塗布
し、露光、現像することによって、簡便に電極パターン
を形成することができる。このパターンを400〜72
0℃で焼成することによって、本発明のプラズマディス
プレイを得ることができる。
As a method of forming an electrode layer using a photosensitive conductive paste, a photosensitive black conductive paste is applied on a glass substrate, and then a photosensitive white conductive paste is applied, and then exposed and developed. The electrode pattern can be easily formed. This pattern is 400-72
By firing at 0 ° C., the plasma display of the present invention can be obtained.

【0045】感光性導電ペーストの作製方法を次に示す
が、本発明は、これに限定されるものではない。導電性
金属粉末、紫外線吸光剤、感光性有機成分、光重合開始
剤、ガラスフリットおよび溶媒、添加剤等の各種成分を
所定の組成となるように調合した後、3本ローラや混練
機で均質に混合分散し作製する。本発明において使用さ
れる有機成分とは、感光性の有機物を含むペースト中の
有機成分のことである。
The method for producing the photosensitive conductive paste will be described below, but the present invention is not limited to this. After blending various components such as conductive metal powder, UV absorber, photosensitive organic component, photopolymerization initiator, glass frit and solvent, additives, etc. to have the prescribed composition, homogenize with three rollers or kneader. Mixed and dispersed. The organic component used in the present invention is an organic component in a paste containing a photosensitive organic substance.

【0046】感光性ペーストに関しては、感光性成分の
含有率が有機成分中の10重量%以上、さらには、30
重量%以上であることが光に対する感度の点で好まし
い。
As for the photosensitive paste, the content of the photosensitive component is at least 10% by weight of the organic component, and
It is preferable that the content be not less than% by weight in terms of sensitivity to light.

【0047】有機成分は、感光性モノマー、感光性オリ
ゴマー、感光性ポリマーのうち少なくとも1種類から選
ばれる感光性成分を含有し、さらに必要に応じて、バイ
ンダー、光重合開始剤、紫外線吸光剤、増感剤、増感助
剤、重合禁止剤、可塑剤、増粘剤、有機溶媒、酸化防止
剤、分散剤、有機あるいは無機の沈殿防止剤やレベリン
グ剤などの添加剤成分を加えることも行われる。
The organic component contains a photosensitive component selected from at least one of a photosensitive monomer, a photosensitive oligomer, and a photosensitive polymer, and, if necessary, a binder, a photopolymerization initiator, an ultraviolet light absorber, Additives such as sensitizers, sensitization aids, polymerization inhibitors, plasticizers, thickeners, organic solvents, antioxidants, dispersants, organic or inorganic suspending agents and leveling agents can also be added. Will be

【0048】感光性成分としては、光不溶化型のものと
光可溶化型のものがあり、光不溶化型のものとして、 (A)分子内に不飽和基などを1つ以上有する官能性の
モノマー、オリゴマー、ポリマーを含有するもの (B)芳香族ジアゾ化合物、芳香族アジド化合物、有機
ハロゲン化合物などの感光性化合物を含有するもの (C)ジアゾ系アミンとホルムアルデヒドとの縮合物な
どいわゆるジアゾ樹脂といわれるもの等がある。
The photosensitive component includes a photo-insolubilizing type and a photo-solubilizing type. The photo-insolubilizing type includes: (A) a functional monomer having at least one unsaturated group or the like in a molecule; (B) those containing photosensitive compounds such as aromatic diazo compounds, aromatic azide compounds, and organic halogen compounds. (C) So-called diazo resins such as condensates of diazo amines and formaldehyde. And others.

【0049】また、光可溶型のものとしては、 (D)ジアゾ化合物の無機塩や有機酸とのコンプレック
ス、キノンジアゾ類を含有するもの (E)キノンジアゾ類を適当なポリマーバインダーと結
合させた、例えばフェノール、ノボラック樹脂のナフト
キノン1,2−ジアジド−5−スルフォン酸エステル等
がある。
Examples of the photo-soluble type include (D) a complex of a diazo compound with an inorganic salt or an organic acid, and a product containing a quinone diazo compound, and (E) a quinone diazo compound combined with an appropriate polymer binder. For example, there are naphthoquinone 1,2-diazido-5-sulfonic acid ester of phenol and novolak resin.

【0050】本発明において用いる感光性成分は、上記
のすべてのものを用いることができる。感光性ペースト
として、無機粉末と混合して簡便に用いることができる
感光性成分は、(A)のものが好ましい。
As the photosensitive component used in the present invention, all of the above can be used. As the photosensitive component which can be easily used as a photosensitive paste by mixing with an inorganic powder, the photosensitive component (A) is preferable.

【0051】感光性モノマーとしては、炭素−炭素不飽
和結合を含有する化合物で、その具体的な例として、メ
チルアクリレート、エチルアクリレート、n−プロピル
アクリレート、イソプロピルアクリレート、n−ブチル
アクリレート、sec−ブチルアクリレート、sec−
ブチルアクリレート、イソ−ブチルアクリレート、te
rt−ブチルアクリレート、n−ペンチルアクリレー
ト、アリルアクリレート、ベンジルアクリレート、ブト
キシエチルアクリレート、ブトキシトリエチレングリコ
ールアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、ジシ
クロペンタニルアクリレート、ジシクロペンテニルアク
リレート、2−エチルヘキシルアクリレート、グリセロ
ールアクリレート、グリシジルアクリレート、ヘプタデ
カフロロデシルアクリレート、2−ヒドロキシエチルア
クリレート、イソボニルアクリレート、2−ヒドロキシ
プロピルアクリレート、イソデキシルアクリレート、イ
ソオクチルアクリレート、ラウリルアクリレート、2−
メトキシエチルアクリレート、メトキシエチレングリコ
ールアクリレート、メトキシジエチレングリコールアク
リレート、オクタフロロペンチルアクリレート、フェノ
キシエチルアクリレート、ステアリルアクリレート、ト
リフロロエチルアクリレート、アリル化シクロヘキシル
ジアクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレー
ト、1,3−ブチレングリコールジアクリレート、エチ
レングリコールジアクリレート、ジエチレングリコール
ジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレー
ト、ポリエチレングリコールジアクリレート、ジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリ
トールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジトリメチ
ロールプロパンテトラアクリレート、グリセロールジア
クリレート、メトキシ化シクロヘキシルジアクリレー
ト、ネオペンチルグリコールジアクリレート、プロピレ
ングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコー
ルジアクリレート、トリグリセロールジアクリレート、
トリメチロールプロパントリアクリレート、アクリルア
ミド、アミノエチルアクリレート、フェニルアクリレー
ト、フェノキシエチルアクリレート、ベンジルアクリレ
ート、1−ナフチルアクリレート、2−ナフチルアクリ
レート、ビスフェノールAジアクリレート、ビスフェノ
ールA−エチレンオキサイド付加物のジアクリレート、
ビスフェノールA−プロピレンオキサイド付加物のジア
クリレート、チオフェノールアクリレート、ベンジルメ
ルカプタンアクリレート、また、これらの芳香環の水素
原子のうち、1〜5個を塩素または臭素原子に置換した
モノマー、もしくは、スチレン、p−メチルスチレン、
o−メチルスチレン、m−メチルスチレン、塩素化スチ
レン、臭素化スチレン、α−メチルスチレン、塩素化α
−メチルスチレン、臭素化α−メチルスチレン、クロロ
メチルスチレン、ヒドロキシメチルスチレン、カルボシ
キメチルスチレン、ビニルナフタレン、ビニルアントラ
セン、ビニルカルバゾール、および、上記化合物の分子
内のアクリレートを一部もしくはすべてをメタクリレー
トに変えたもの、γ−メタクリロキシプロピルトリメト
キシシラン、1−ビニル−2−ピロリドンなどが挙げら
れる。本発明ではこれらを1種または2種以上使用する
ことができる。
The photosensitive monomer is a compound containing a carbon-carbon unsaturated bond. Specific examples thereof include methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, and sec-butyl. Acrylate, sec-
Butyl acrylate, iso-butyl acrylate, te
rt-butyl acrylate, n-pentyl acrylate, allyl acrylate, benzyl acrylate, butoxyethyl acrylate, butoxytriethylene glycol acrylate, cyclohexyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, dicyclopentenyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, glycerol acrylate, glycidyl acrylate Heptadecafluorodecyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, isobonyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, isodexyl acrylate, isooctyl acrylate, lauryl acrylate, 2-
Methoxyethyl acrylate, methoxyethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, octafluoropentyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, stearyl acrylate, trifluoroethyl acrylate, allylated cyclohexyl diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,3-butylene Glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol monohydroxypentaacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, glycerol diacrylate, methoxide Shi of cyclohexyl diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, propylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, triglycerol diacrylate,
Trimethylolpropane triacrylate, acrylamide, aminoethyl acrylate, phenyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, benzyl acrylate, 1-naphthyl acrylate, 2-naphthyl acrylate, bisphenol A diacrylate, diacrylate of bisphenol A-ethylene oxide adduct,
Bisphenol A-propylene oxide adduct diacrylate, thiophenol acrylate, benzyl mercaptan acrylate, and monomers in which 1 to 5 hydrogen atoms of these aromatic rings are substituted with chlorine or bromine atoms, or styrene, p -Methylstyrene,
o-methylstyrene, m-methylstyrene, chlorinated styrene, brominated styrene, α-methylstyrene, chlorinated α
-Methyl styrene, brominated α-methyl styrene, chloromethyl styrene, hydroxymethyl styrene, carboxymethyl styrene, vinyl naphthalene, vinyl anthracene, vinyl carbazole, and part or all of the acrylate in the molecule of the above compound to methacrylate Modified ones include γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 1-vinyl-2-pyrrolidone and the like. In the present invention, one or more of these can be used.

【0052】これら以外に、不飽和カルボン酸等の不飽
和酸を加えることによって、感光後の現像性を向上する
ことができる。不飽和カルボン酸の具体的な例として
は、アクリル酸、メタアクリル酸、イタコン酸、クロト
ン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、またはこれ
らの酸無水物などがあげられる。
In addition to these, the developability after exposure can be improved by adding an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid. Specific examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof.

【0053】バインダーとしては、ポリビニルアルコー
ル、ポリビニルブチラール、メタクリル酸エステル重合
体、アクリル酸エステル重合体、アクリル酸エステル−
メタクリル酸エステル共重合体、α−メチルスチレン重
合体、ブチルメタクリレート樹脂などがあげられる。
As the binder, polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, methacrylate polymer, acrylate polymer, acrylate-
Examples include methacrylate copolymers, α-methylstyrene polymers, and butyl methacrylate resins.

【0054】また、前述の炭素−炭素二重結合を有する
化合物のうち少なくとも1種類を重合して得られたオリ
ゴマーやポリマーを用いることができる。重合する際
に、これらのモノマーの含有率が10重量%以上、さら
に好ましくは35重量%以上になるように、他のモノマ
ーと共重合することができる。
An oligomer or polymer obtained by polymerizing at least one of the compounds having a carbon-carbon double bond described above can be used. During the polymerization, the monomers can be copolymerized with other monomers such that the content of these monomers is at least 10% by weight, more preferably at least 35% by weight.

【0055】共重合するモノマーとしては、不飽和カル
ボン酸等の不飽和酸を共重合することによって、感光後
の現像性を向上することができる。不飽和カルボン酸の
具体的な例としては、アクリル酸、メタアクリル酸、イ
タコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル
酢酸、またはこれらの酸無水物などがあげられる。
As a monomer to be copolymerized, developability after exposure can be improved by copolymerizing an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid. Specific examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof.

【0056】こうして得られた側鎖にカルボキシル基等
の酸性基を有するポリマーもしくはオリゴマーの酸価
(AV)は50〜180、さらには70〜140の範囲
が好ましい。酸価が50未満であると、現像許容幅が狭
くなる。また、酸価が180を越えると未露光部の現像
液に対する溶解性が低下するようになるため現像液濃度
を濃くすると露光部まで剥がれが発生し、高精細なパタ
ーンが得られにくい。
The polymer or oligomer having an acidic group such as a carboxyl group in the side chain thus obtained has an acid value (AV) of preferably from 50 to 180, more preferably from 70 to 140. When the acid value is less than 50, the allowable development width becomes narrow. On the other hand, if the acid value exceeds 180, the solubility of the unexposed portion in the developing solution decreases, so that if the developing solution concentration is increased, peeling occurs up to the exposed portion, making it difficult to obtain a high-definition pattern.

【0057】以上示した、ポリマーもしくはオリゴマー
に対して、光反応性基を側鎖または分子末端に付加させ
ることによって、感光性を持つ感光性ポリマーや感光性
オリゴマーとして用いることができる。
By adding a photoreactive group to the polymer or oligomer described above to a side chain or a molecular terminal, the polymer or oligomer can be used as a photosensitive polymer or oligomer having photosensitivity.

【0058】好ましい光反応性基は、エチレン性不飽和
基を有するものである。エチレン性不飽和基としては、
ビニル基、アリル基、アクリル基、メタクリル基などが
あげられる。
Preferred photoreactive groups are those having an ethylenically unsaturated group. As the ethylenically unsaturated group,
Examples include a vinyl group, an allyl group, an acryl group, and a methacryl group.

【0059】このような側鎖をオリゴマーやポリマーに
付加させる方法は、ポリマー中のメルカプト基、アミノ
基、水酸基やカルボキシル基に対して、グリシジル基や
イソシアネート基を有するエチレン性不飽和化合物やア
クリル酸クロライド、メタクリル酸クロライドまたはア
リルクロライドを付加反応させて作る方法がある。
A method for adding such a side chain to an oligomer or a polymer is based on a method in which an ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or an isocyanate group or an acrylic acid is used for a mercapto group, an amino group, a hydroxyl group or a carboxyl group in the polymer. There is a method in which chloride, methacrylic chloride or allyl chloride is added to make an addition reaction.

【0060】グリシジル基を有するエチレン性不飽和化
合物としては、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グ
リシジル、アリルグリシジルエーテル、エチルアクリル
酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、クロト
ン酸グリシジルエーテル、イソクロトン酸グリシジルエ
ーテルなどがあげられる。
Examples of the ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group include glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, allyl glycidyl ether, glycidyl ethyl acrylate, crotonyl glycidyl ether, glycidyl ether crotonic acid, glycidyl ether isocrotonic acid, and the like. .

【0061】イソシアネート基を有するエチレン性不飽
和化合物としては、(メタ)アクリロイルイソシアネー
ト、(メタ)アクリロイルエチルイソシアネート等があ
る。
Examples of the ethylenically unsaturated compound having an isocyanate group include (meth) acryloyl isocyanate and (meth) acryloylethyl isocyanate.

【0062】また、グリシジル基やイソシアネート基を
有するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロライ
ド、メタクリル酸クロライドまたはアリルクロライド
は、ポリマー中のメルカプト基、アミノ基、水酸基やカ
ルボキシル基に対して0.05〜1モル当量付加させる
ことが好ましい。
The ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or isocyanate group, acrylic acid chloride, methacrylic acid chloride or allyl chloride is used in an amount of from 0.05 to 0.05 to the mercapto group, amino group, hydroxyl group and carboxyl group in the polymer. It is preferable to add one molar equivalent.

【0063】光重合開始剤としての具体的な例として、
ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4,
4−ビス(ジメチルアミン)ベンゾフェノン、4,4−
ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ジク
ロロベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4−メチルジフ
ェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、2,
2−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−
2−フェニル−2−フェニルアセトフェノン、2−ヒド
ロキシ−2−メチルプロピオフェノン、p−t−ブチル
ジクロロアセトフェノン、チオキサントン、2−メチル
チオキサントン、2−クロロチオキサントン、2−イソ
プロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ベ
ンジル、ベンジルジメチルケタノール、ベンジルメトキ
シエチルアセタール、ベンゾイン、ベンゾインメチルエ
ーテル、ベンゾインブチルエーテル、アントラキノン、
2−t−ブチルアントラキノン、2−アミルアントラキ
ノン、β−クロルアントラキノン、アントロン、ベンズ
アントロン、ジベンゾスベロン、メチレンアントロン、
4−アジドベンザルアセトフェノン、2,6−ビス(p
−アジドベンジリデン)シクロヘキサノン、2,6−ビ
ス(p−アジドベンジリデン)−4−メチルシクロヘキ
サノン、2−フェニル−1,2−ブタジオン−2−(o
−メトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−プロ
パンジオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシ
ム、1,3−ジフェニル−プロパントリオン−2−(o
−エトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−3−
エトキシ−プロパントリオン−2−(o−ベンゾイル)
オキシム、ミヒラーケトン、2−メチル−[4−(メチ
ルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノ
ン、ナフタレンスルホニルクロライド、キノリンスルホ
ニルクロライド、N−フェニルチオアクリドン、4、4
−アゾビスイソブチロニトリル、ジフェニルジスルフィ
ド、ベンズチアゾールジスルフィド、トリフェニルホル
フィン、カンファーキノン、四臭素化炭素、トリブロモ
フェニルスルホン、過酸化ベンゾインおよびエオシン、
メチレンブルーなどの光還元性の色素とアスコルビン
酸、トリエタノールアミンなどの還元剤の組合せなどが
あげられる。本発明ではこれらを1種または2種以上使
用することができる。光重合開始剤は、感光性成分に対
し、0.05〜10重量%の範囲で添加され、より好ま
しくは、0.1〜5重量%である。重合開始剤の量が少
なすぎると、光感度が不良となり、光重合開始剤の量が
多すぎれば、露光部の残存率が小さくなりすぎるおそれ
がある。
As specific examples of the photopolymerization initiator,
Benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4,
4-bis (dimethylamine) benzophenone, 4,4-
Bis (diethylamino) benzophenone, 4,4-dichlorobenzophenone, 4-benzoyl-4-methyldiphenylketone, dibenzylketone, fluorenone, 2,
2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-
2-phenyl-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, pt-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, benzyl, Benzyl dimethyl ketanol, benzyl methoxyethyl acetal, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin butyl ether, anthraquinone,
2-t-butylanthraquinone, 2-amylanthraquinone, β-chloroanthraquinone, anthrone, benzanthrone, dibenzosuberone, methyleneanthrone,
4-azidobenzalacetophenone, 2,6-bis (p
-Azidobenzylidene) cyclohexanone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) -4-methylcyclohexanone, 2-phenyl-1,2-butadione-2- (o
-Methoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-propanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1,3-diphenyl-propanetrione-2- (o
-Ethoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-3-
Ethoxy-propanetrione-2- (o-benzoyl)
Oximes, Michler's ketones, 2-methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone, naphthalenesulfonyl chloride, quinoline sulfonyl chloride, N-phenylthioacridone, 4, 4
-Azobisisobutyronitrile, diphenyl disulfide, benzthiazole disulfide, triphenylphorphine, camphorquinone, carbon tetrabromide, tribromophenylsulfone, benzoin peroxide and eosin,
Examples include a combination of a photoreducing dye such as methylene blue and a reducing agent such as ascorbic acid and triethanolamine. In the present invention, one or more of these can be used. The photopolymerization initiator is added in a range of 0.05 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight, based on the photosensitive component. If the amount of the polymerization initiator is too small, the photosensitivity becomes poor, and if the amount of the photopolymerization initiator is too large, the residual ratio of the exposed portion may be too small.

【0064】紫外線吸収剤を添加することも有効であ
る。紫外線吸収効果の高い吸収剤を添加することによっ
て高アスペクト比、高精細、高解像度が得られる。紫外
線吸収剤としては有機系染料からなるもの、中でも35
0〜450nmの波長範囲で高UV吸収係数を有する有
機系染料が好ましく用いられる。具体的には、アゾ系染
料、アミノケトン系染料、キサンテン系染料、キノリン
系染料、アミノケトン系染料、アントラキノン系、ベン
ゾフェノン系、ジフェニルシアノアクリレート系、トリ
アジン系、p−アミノ安息香酸系染料などが使用でき
る。有機系染料は吸光剤として添加した場合にも、焼成
後の絶縁膜中に残存しないで吸収剤による絶縁膜特性の
低下を少なくできるので好ましい。これらの中でもアゾ
系およびベンゾフェノン系染料が好ましい。有機染料の
添加量は0.02〜5重量%が好ましい。0.02重量
%以下では紫外線吸収剤の添加効果が減少し、5重量%
を越えると焼成後の絶縁膜特性が低下するので好ましく
ない。より好ましくは0.1〜1重量%である。有機顔
料からなる紫外線吸光剤の添加方法としては、有機溶媒
に溶解した後、ペースト作製時に混練りする方法以外
に、有機顔料を予め有機溶媒に溶解した溶液を作製し、
次に該有機溶媒中に金属粉末を混合後、乾燥する方法が
ある。この方法によっ粉末の個々の粉末表面に有機の膜
をコートしたいわゆるカプセル状の粉末が作製できる。
It is also effective to add an ultraviolet absorber. A high aspect ratio, high definition and high resolution can be obtained by adding an absorbent having a high ultraviolet absorbing effect. UV absorbers composed of organic dyes, especially 35
Organic dyes having a high UV absorption coefficient in the wavelength range of 0 to 450 nm are preferably used. Specifically, azo dyes, aminoketone dyes, xanthene dyes, quinoline dyes, aminoketone dyes, anthraquinones, benzophenones, diphenylcyanoacrylates, triazines, p-aminobenzoic acid dyes and the like can be used. . Even when an organic dye is added as a light absorbing agent, it is preferable because deterioration of the insulating film characteristics due to the absorbing agent can be reduced without remaining in the insulating film after firing. Among these, azo dyes and benzophenone dyes are preferred. The addition amount of the organic dye is preferably 0.02 to 5% by weight. When the content is less than 0.02% by weight, the effect of adding the ultraviolet absorber is reduced, and the content is 5% by weight.
Exceeding the range is not preferred because the properties of the insulating film after firing deteriorate. More preferably, it is 0.1 to 1% by weight. As a method of adding the ultraviolet light absorber composed of an organic pigment, after dissolving in an organic solvent, kneading at the time of the paste production, in addition to the method of kneading, to prepare a solution in which the organic pigment was previously dissolved in an organic solvent,
Next, there is a method in which a metal powder is mixed with the organic solvent and then dried. By this method, a so-called capsule-like powder in which the surface of each powder is coated with an organic film can be produced.

【0065】本発明において、無機粉末に含まれるP
b、Fe、Cd、Mn、Co、Mgなどの金属および酸
化物がペースト中に含有する感光性成分と反応してペー
ストが短時間でゲル化し、塗布できなくなる場合があ
る。このような反応を防止するために安定化剤を添加し
てゲル化を防止することが好ましい。用いる安定化剤と
しては、トリアゾール化合物が好ましく用いられる。ト
リアゾール化合物の中でも特にベンゾトリアゾールが有
効に作用する。本発明において使用されるベンゾトリア
ゾールによるガラス粉末の表面処理の一例を上げると、
無機粉末に対して所定の量のベンゾトリアゾールを酢酸
メチル、酢酸エチル、エチルアルコール、メチルアルコ
ールなどの有機溶媒に溶解した後、これら粉末が十分に
浸すことができるように溶液中に1〜24時間浸積す
る。浸積後、好ましくは20〜30℃下で自然乾燥して
溶媒を蒸発させてトリアゾール処理を行った粉末を作製
する。使用される安定化剤の割合(安定化剤/無機粉
末)は0.05〜5重量%が好ましい。
In the present invention, P contained in the inorganic powder
Metals and oxides such as b, Fe, Cd, Mn, Co, and Mg may react with the photosensitive components contained in the paste, causing the paste to gel in a short time, making application impossible. In order to prevent such a reaction, it is preferable to add a stabilizer to prevent gelation. As the stabilizer used, a triazole compound is preferably used. Among the triazole compounds, benzotriazole works particularly effectively. To give an example of the surface treatment of glass powder with benzotriazole used in the present invention,
After dissolving a predetermined amount of benzotriazole with respect to the inorganic powder in an organic solvent such as methyl acetate, ethyl acetate, ethyl alcohol and methyl alcohol, the solution is immersed in a solution for 1 to 24 hours so that these powders can be sufficiently immersed. Immerse. After immersion, preferably, the powder is naturally dried at 20 to 30 ° C., and the solvent is evaporated to prepare a powder which has been subjected to a triazole treatment. The ratio of the stabilizer used (stabilizer / inorganic powder) is preferably 0.05 to 5% by weight.

【0066】増感剤は、感度を向上させるために添加さ
れる。増感剤の具体例としては、2,4−ジエチルチオ
キサントン、イソプロピルチオキサントン、2,3−ビ
ス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロペンタノン、
2,6−ビス(4−ジメチルアミニベンザル)シクロヘ
キサノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザ
ル)−4−メチルシクロヘキサノン、ミヒラーケトン、
4,4−ビス(ジエチルアミノ)−ベンゾフェノン、
4,4−ビス(ジメチルアミノ)カルコン、4,4−ビ
ス(ジエチルアミノ)カルコン、p−ジメチルアミノシ
ンナミリデンインダノン、p−ジメチルアミノベンジリ
デンインダノン、2−(p−ジメチルアミノフェニルビ
ニレン)−イソナフトチアゾール、1,3−ビス(4−
ジメチルアミノベンザル)アセトン、1,3−カルボニ
ル−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)アセトン、
3,3−カルボニル−ビス(7−ジエチルアミノクマリ
ン)、N−フェニル−N−エチルエタノールアミン、N
−フェニルエタノールアミン、N−トリルジエタノール
アミン、N−フェニルエタノールアミン、ジメチルアミ
ノ安息香酸イソアミル、ジエチルアミノ安息香酸イソア
ミル、3−フェニル−5−ベンゾイルチオテトラゾー
ル、1−フェニル−5−エトキシカルボニルチオテトラ
ゾールなどがあげられる。本発明ではこれらを1種また
は2種以上使用することができる。なお、増感剤の中に
は光重合開始剤としても使用できるものがある。増感剤
を本発明の感光性ペーストに添加する場合、その添加量
は感光性成分に対して通常0.05〜10重量%、より
好ましくは0.1〜10重量%である。増感剤の量が少
なすぎれば光感度を向上させる効果が発揮されず、増感
剤の量が多すぎれば露光部の残存率が小さくなりすぎる
おそれがある。
A sensitizer is added to improve the sensitivity. Specific examples of the sensitizer include 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,3-bis (4-diethylaminobenzal) cyclopentanone,
2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) -4-methylcyclohexanone, Michler's ketone,
4,4-bis (diethylamino) -benzophenone,
4,4-bis (dimethylamino) chalcone, 4,4-bis (diethylamino) chalcone, p-dimethylaminocinnamylideneindanone, p-dimethylaminobenzylideneindanone, 2- (p-dimethylaminophenylvinylene)- Isonaphthothiazole, 1,3-bis (4-
Dimethylaminobenzal) acetone, 1,3-carbonyl-bis (4-diethylaminobenzal) acetone,
3,3-carbonyl-bis (7-diethylaminocoumarin), N-phenyl-N-ethylethanolamine, N
-Phenylethanolamine, N-tolyldiethanolamine, N-phenylethanolamine, isoamyl dimethylaminobenzoate, isoamyl diethylaminobenzoate, 3-phenyl-5-benzoylthiotetrazole, 1-phenyl-5-ethoxycarbonylthiotetrazole and the like. Can be In the present invention, one or more of these can be used. Some sensitizers can also be used as photopolymerization initiators. When a sensitizer is added to the photosensitive paste of the present invention, the amount is usually 0.05 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 10% by weight, based on the photosensitive component. If the amount of the sensitizer is too small, the effect of improving the photosensitivity is not exhibited, and if the amount of the sensitizer is too large, the residual ratio of the exposed portion may be too small.

【0067】重合禁止剤は、保存時の熱安定性を向上さ
せるために添加される。重合禁止剤の具体的な例として
は、ヒドロキノン、ヒドロキノンのモノエステル化物、
N−ニトロソジフェニルアミン、フェノチアジン、p−
t−ブチルカテコール、N−フェニルナフチルアミン、
2,6−ジ−t−ブチル−p−メチルフェノール、クロ
ラニール、ピロガロールなどが挙げられる。重合禁止剤
を添加する場合、その添加量は、感光性ペースト中に、
通常、0.001〜1重量%である。
The polymerization inhibitor is added to improve the thermal stability during storage. Specific examples of the polymerization inhibitor include hydroquinone, monoesterified hydroquinone,
N-nitrosodiphenylamine, phenothiazine, p-
t-butylcatechol, N-phenylnaphthylamine,
2,6-di-t-butyl-p-methylphenol, chloranil, pyrogallol and the like. When adding a polymerization inhibitor, the amount added, in the photosensitive paste,
Usually, it is 0.001 to 1% by weight.

【0068】可塑剤の具体的な例としては、ジブチルフ
タレート、ジオクチルフタレート、ポリエチレングリコ
ール、グリセリンなどがあげられる。
Specific examples of the plasticizer include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, polyethylene glycol, glycerin and the like.

【0069】酸化防止剤は、保存時におけるアクリル系
共重合体の酸化を防ぐために添加される。酸化防止剤の
具体的な例として2,6−ジ−t−ブチル−p−クレゾ
ール、ブチル化ヒドロキシアニソール、2,6−ジ−t
−4−エチルフェノール、2,2−メチレン−ビス−
(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2−
メチレン−ビス−(4−エチル−6−t−ブチルフェノ
ール)、4,4−ビス−(3−メチル−6−t−ブチル
フェノール)、1,1,3−トリス−(2−メチル−6
−t−ブチルフェノール)、1,1,3−トリス−(2
−メチル−4−ヒドロキシ−t−ブチルフェニル)ブタ
ン、ビス[3,3−ビス−(4−ヒドロキシ−3−t−
ブチルフェニル)ブチリックアシッド]グリコールエス
テル、ジラウリルチオジプロピオナート、トリフェニル
ホスファイトなどが挙げられる。酸化防止剤を添加する
場合、その添加量は通常、添加量は、ペースト中に、通
常、0.001〜1重量%である。
An antioxidant is added to prevent oxidation of the acrylic copolymer during storage. Specific examples of antioxidants include 2,6-di-t-butyl-p-cresol, butylated hydroxyanisole, and 2,6-di-t.
-4-ethylphenol, 2,2-methylene-bis-
(4-methyl-6-t-butylphenol), 2,2-
Methylene-bis- (4-ethyl-6-t-butylphenol), 4,4-bis- (3-methyl-6-t-butylphenol), 1,1,3-tris- (2-methyl-6
-T-butylphenol), 1,1,3-tris- (2
-Methyl-4-hydroxy-t-butylphenyl) butane, bis [3,3-bis- (4-hydroxy-3-t-
[Butylphenyl) butyric acid] glycol ester, dilaurylthiodipropionate, triphenylphosphite and the like. When adding an antioxidant, the amount added is usually 0.001 to 1% by weight in the paste.

【0070】本発明の感光性ペーストには、溶液の粘度
を調整したい場合、有機溶媒を加えてもよい。このとき
使用される有機溶媒としては、メチルセロソルブ、エチ
ルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルエチルケト
ン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロ
ペンタノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアル
コール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシ
ド、γ−ブチロラクトン、ブロモベンゼン、クロロベン
ゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安
息香酸、クロロ安息香酸などやこれらのうちの1種以上
を含有する有機溶媒混合物が用いられる。
To adjust the viscosity of the solution, an organic solvent may be added to the photosensitive paste of the present invention. The organic solvent used at this time includes methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, bromobenzene, Chlorobenzene, dibromobenzene, dichlorobenzene, bromobenzoic acid, chlorobenzoic acid, and the like, and an organic solvent mixture containing at least one of these are used.

【0071】感光性ペーストは、通常、ガラス粉末、紫
外線吸光剤、感光性ポリマー、感光性モノマー、光重合
開始剤および溶媒等の各種成分を所定の組成となるよう
に調合した後、3本ローラや混練機で均質に混合分散し
作製する。
The photosensitive paste is usually prepared by mixing various components such as a glass powder, an ultraviolet absorber, a photosensitive polymer, a photosensitive monomer, a photopolymerization initiator and a solvent so as to have a predetermined composition. And homogenously mixed and dispersed with a kneader.

【0072】ペーストの粘度は無機粉末、増粘剤、有機
溶媒、可塑剤および沈殿防止剤などの添加割合によって
適宜調整されるが、その範囲は2000〜20万cps
(センチ・ポイズ)である。例えばガラス基板への塗布
をスピンコート法で行う場合は、2000〜5000c
psが好ましい。スクリーン印刷法で1回塗布して膜厚
10〜20μmを得るには、5万〜20万cpsが好ま
しい。ブレードコーター法やダイコーター法などを用い
る場合は、2000〜20000cpsが好ましい。
The viscosity of the paste is appropriately adjusted by the addition ratio of an inorganic powder, a thickener, an organic solvent, a plasticizer, a suspending agent, etc., but the range is from 2000 to 200,000 cps.
(Centipoise). For example, when the coating on a glass substrate is performed by a spin coating method, 2000 to 5000 c
ps is preferred. In order to obtain a film thickness of 10 to 20 μm by applying once by a screen printing method, 50,000 to 200,000 cps is preferable. When a blade coater method, a die coater method, or the like is used, 2000 to 20000 cps is preferable.

【0073】次に本発明において、プラズマディスプレ
イの電極層のパターン加工を行う一例について説明す
る。ただし、本発明はこれに限定されない。
Next, an example of pattern processing of an electrode layer of a plasma display in the present invention will be described. However, the present invention is not limited to this.

【0074】まず、ガラス基板やポリマー製フィルムの
上に、感光性黒色ペーストを全面塗布、もしくは部分的
に塗布する。塗布方法としては、スクリーン印刷、バー
コーター、ロールコーター、ダイコーター等の方法を用
いることができる。塗布厚みは、塗布回数、スクリーン
のメッシュ、ペーストの粘度を選ぶことによって調整で
きるが、プラズマディスプレイなどの電極に用いる場合
は10〜100μmの厚みが必要であり、乾燥後には5
〜30μm程度の厚みで塗布することが好ましい。
First, a photosensitive black paste is applied on the entire surface or on a glass substrate or a polymer film. As a coating method, a method such as screen printing, a bar coater, a roll coater, and a die coater can be used. The coating thickness can be adjusted by selecting the number of coatings, the mesh of the screen, and the viscosity of the paste. However, when used for an electrode such as a plasma display, a thickness of 10 to 100 μm is required.
It is preferable to apply with a thickness of about 30 μm.

【0075】ここでペーストとガラス基板との密着性を
高めるためにガラス基板の表面処理を行うことができ
る。表面処理液としてはシランカップリング剤、例えば
ビニルトリクロロシラン、ビニルトリメトキシシラン、
ビニルトリエトキシシラン、トリス−(2−メトキシエ
トキシ)ビニルシラン、γ−グリシドキシプロピルトリ
メトキシシラン、γ−(メタクリロキシプロピル)トリ
メトキシシラン、γ(2−アミノエチル)アミノプロピ
ルトリメトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキ
シシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラ
ン、γ−アミノプロピルトリエトキシシランなどあるい
は有機金属例えば有機チタン、有機アルミニウム、有機
ジルコニウムなどである。シランカップリング剤あるい
は有機金属を有機溶媒例えばエチレングリコールモノメ
チルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテ
ル、メチルアルコール、エチルアルコール、プロピルア
ルコール、ブチルアルコールなどで0.1〜5%の濃度
に希釈したものを用いる。次にこの表面処理液をスピナ
ーなどで基板上に均一に塗布した後に80〜140℃で
10〜60分間乾燥することによって表面処理ができる
また、ポリマーフィルム上に塗布した場合、フィルム状
の感光性導電ペーストシート(感光性グリーンシート)
をガラス基板上に張り付けることによって、簡便にガラ
ス基板上への塗布を行うことができる。
Here, the surface treatment of the glass substrate can be performed in order to enhance the adhesion between the paste and the glass substrate. As the surface treatment liquid, a silane coupling agent such as vinyltrichlorosilane, vinyltrimethoxysilane,
Vinyltriethoxysilane, tris- (2-methoxyethoxy) vinylsilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ- (methacryloxypropyl) trimethoxysilane, γ (2-aminoethyl) aminopropyltrimethoxysilane, γ -Chloropropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane and the like, or organic metals such as organic titanium, organic aluminum and organic zirconium. A silane coupling agent or an organic metal diluted with an organic solvent such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl alcohol, ethyl alcohol, propyl alcohol, or butyl alcohol to a concentration of 0.1 to 5% is used. Next, the surface treatment solution can be uniformly applied on a substrate by a spinner or the like, and then dried at 80 to 140 ° C. for 10 to 60 minutes to perform a surface treatment. Conductive paste sheet (photosensitive green sheet)
Can be easily applied to the glass substrate by sticking the resin onto the glass substrate.

【0076】露光した後、感光性白色電極ペーストの乾
燥後厚みが2〜50μmになるように塗布する。塗布す
る方法は前述の感光性黒色導電ペーストを塗布する各種
の方法を同様に用いることができる。
After the exposure, the photosensitive white electrode paste is applied so that the thickness after drying becomes 2 to 50 μm. As the method of applying, the above-described various methods of applying the photosensitive black conductive paste can be similarly used.

【0077】その後、露光装置を用いて露光を行う。露
光は通常のフォトリソグラフィーで行われるように、フ
ォトマスクを用いてマスク露光する方法が一般的であ
る。用いるマスクは、感光性有機成分の種類によって、
ネガ型もしくはポジ型のどちらかを選定する。また、フ
ォトマスクを用いずに、レーザー光などで直接描画する
方法を用いても良い。露光装置としては、ステッパー露
光機、プロキシミティ露光機等を用いることができる。
Thereafter, exposure is performed using an exposure apparatus. The exposure is generally performed by a mask exposure using a photomask, as is performed by ordinary photolithography. The mask used depends on the type of photosensitive organic component.
Select either negative or positive type. Alternatively, a method of directly drawing with a laser beam or the like without using a photomask may be used. As the exposure device, a stepper exposure device, a proximity exposure device, or the like can be used.

【0078】この際使用される活性光源は、たとえば、
可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、X線、レーザー
光などが挙げられるが、これらの中で紫外線が好まし
く、その光源としてはたとえば低圧水銀灯、高圧水銀
灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌灯などが使用
できる。これらのなかでも超高圧水銀灯が好適である。
露光条件は塗布厚みによって異なるが、0.5〜100
mW/cm2 の出力の超高圧水銀灯を用いて0.5〜3
0分間露光を行なう。特に、露光量が0.3〜5J/c
2 程度の露光を行うことが好ましい。
The active light source used at this time is, for example,
Visible light, near-ultraviolet light, ultraviolet light, electron beam, X-ray, laser light, etc. are preferable. Among them, ultraviolet light is preferable. Etc. can be used. Among these, an ultra-high pressure mercury lamp is preferred.
Exposure conditions vary depending on the coating thickness, but 0.5 to 100
0.5 to 3 using an ultra-high pressure mercury lamp having an output of mW / cm 2.
Exposure is performed for 0 minutes. In particular, when the exposure amount is 0.3 to 5 J / c
Exposure of about m 2 is preferred.

【0079】塗布した感光性ペースト表面に酸素遮蔽膜
を設けることによって、パターン形状を向上することが
できる。酸素遮蔽膜の一例としては、PVAやセルロー
スなどの膜、あるいは、ポリエステルなどのフィルムが
上げられる。
By providing an oxygen shielding film on the surface of the applied photosensitive paste, the pattern shape can be improved. As an example of the oxygen shielding film, a film such as PVA or cellulose, or a film such as polyester is used.

【0080】PVA膜の形成方法は濃度が0.5〜5重
量%の水溶液をスピナーなどの方法で基板上に均一に塗
布した後に70〜90℃で10〜60分間乾燥すること
によって水分を蒸発させて行う。また水溶液中にアルコ
ールを少量添加すると絶縁膜との塗れ性が良くなり蒸発
が容易になるので好ましい。さらに好ましいPVAの溶
液濃度は、1〜3重量%である。この範囲にあると感度
が一層向上する。PVA塗布によって感度が向上するの
は次の理由が推定される。すなわち感光性成分が光反応
する際に、空気中の酸素があると光硬化の感度を妨害す
ると考えられるが、PVAの膜があると余分な酸素を遮
断できるので露光時に感度が向上するので好ましい。
The PVA film is formed by uniformly applying an aqueous solution having a concentration of 0.5 to 5% by weight on a substrate by a method such as a spinner and then drying at 70 to 90 ° C. for 10 to 60 minutes to evaporate water. Let me do it. Further, it is preferable to add a small amount of alcohol to the aqueous solution, since the wettability with the insulating film is improved and the evaporation is facilitated. A more preferred solution concentration of PVA is 1 to 3% by weight. Within this range, the sensitivity is further improved. The reason why the sensitivity is improved by the PVA application is presumed as follows. That is, when the photosensitive component undergoes a photoreaction, it is considered that the presence of oxygen in the air interferes with the photocuring sensitivity. However, the presence of a PVA film improves the sensitivity during exposure because excess oxygen can be blocked, which is preferable. .

【0081】ポリエステルやポリプロピレン、ポリエチ
レン等の透明なフィルムを用いる場合は、塗布後の感光
性ペーストの上に、これらのフィルムを張り付けて用い
る方法がある。
When a transparent film of polyester, polypropylene, polyethylene, or the like is used, there is a method in which these films are attached to the photosensitive paste after application.

【0082】感光性黒色導電ペーストを塗布乾燥後、1
回露光し、感光性白色導電ペーストを塗布後に再露光を
行う方法を用いてもよいが、露光工程が2回必要にな
り、工程が長くなる欠点がある。
After coating and drying the photosensitive black conductive paste, 1
A method may be used in which exposure is performed twice and re-exposure is performed after the photosensitive white conductive paste is applied. However, there is a disadvantage that the exposure step is required twice and the process becomes long.

【0083】その後、現像液を使用して現像を行なう
が、この場合、浸漬法やスプレー法、ブラシ法で行な
う。現像液は、感光性ペースト中の有機成分が溶解可能
である有機溶媒を使用できる。また該有機溶媒にその溶
解力が失われない範囲で水を添加してもよい。感光性ペ
ースト中にカルボキシル基等の酸性基を持つ化合物が存
在する場合、アルカリ水溶液で現像できる。アルカリ水
溶液として水酸化ナトリウムや水酸化カルシウム水溶液
などのような金属アルカリ水溶液を使用できるが、有機
アルカリ水溶液を用いた方が焼成時にアルカリ成分を除
去しやすいので好ましい。
Thereafter, development is performed using a developing solution. In this case, development is performed by a dipping method, a spray method, or a brush method. As the developing solution, an organic solvent in which an organic component in the photosensitive paste can be dissolved can be used. Water may be added to the organic solvent as long as the solvent does not lose its solubility. When a compound having an acidic group such as a carboxyl group is present in the photosensitive paste, development can be performed with an aqueous alkali solution. As the alkali aqueous solution, a metal alkali aqueous solution such as a sodium hydroxide or calcium hydroxide aqueous solution can be used, but it is preferable to use an organic alkali aqueous solution since the alkali component can be easily removed at the time of firing.

【0084】有機アルカリとしては、一般的なアミン化
合物を用いることができる。具体的には、テトラメチル
アンモニウムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアン
モニウムヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエ
タノールアミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液の濃
度は通常0.01〜10重量%、より好ましくは0.1
〜5重量%である。アルカリ濃度が低すぎれば未露光部
が除去されずに、アルカリ濃度が高すぎれば、パターン
部を剥離させ、また露光部を腐食させるおそれがあり良
くない。また、現像時の現像温度は、20〜50℃で行
うことが工程管理上好ましい。
As the organic alkali, a general amine compound can be used. Specific examples include tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide, monoethanolamine, diethanolamine and the like. The concentration of the alkaline aqueous solution is usually 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 10% by weight.
~ 5% by weight. If the alkali concentration is too low, the unexposed portions are not removed, and if the alkali concentration is too high, the pattern portions may be peeled off and the exposed portions may be corroded, which is not good. The development temperature during development is preferably from 20 to 50 ° C. from the viewpoint of process control.

【0085】次に焼成炉にて焼成を行う。焼成雰囲気
や、温度はペーストや基板の種類によって異なるが、空
気中、窒素、水素等の雰囲気中で焼成する。焼成温度は
400〜720℃で行う。焼成炉としては、バッチ式の
焼成炉やベルト式やローラーハース式の連続型焼成炉を
用いることができる。
Next, firing is performed in a firing furnace. The firing atmosphere and temperature vary depending on the type of the paste and the substrate, but firing is performed in an atmosphere of air, nitrogen, hydrogen, or the like. The firing temperature is 400 to 720 ° C. As the firing furnace, a batch-type firing furnace or a belt-type or roller hearth-type continuous firing furnace can be used.

【0086】また、以上の各工程中に、乾燥、予備反応
の目的で、50〜300℃加熱工程を導入しても良い。
In each of the above steps, a heating step at 50 to 300 ° C. may be introduced for the purpose of drying and preliminary reaction.

【0087】以上の工程によって得られた電極層を有す
るガラス基板はプラズマディスプレイの前面側もしくは
背面側に用いることができる。また、プラズマアドレス
液晶ディスプレイの基板として用いることができる。
The glass substrate having the electrode layer obtained by the above steps can be used on the front side or the back side of the plasma display. Further, it can be used as a substrate of a plasma addressed liquid crystal display.

【0088】[0088]

【実施例】以下に、本発明を実施例を用いて、具体的に
説明する。ただし、本発明はこれに限定はされない。な
お、実施例、比較例中の濃度(%)は特にことわらない
限り重量%である。
The present invention will be specifically described below with reference to examples. However, the present invention is not limited to this. The concentrations (%) in Examples and Comparative Examples are% by weight unless otherwise specified.

【0089】実施例は、導電性粉末および有機成分から
なる感光性導電ペーストを作成した。溶媒(γ−ブチロ
ラクトン)およびポリマーを40%溶液となるよう混合
し、攪拌しながら60℃まで加熱しすべてのポリマーを
均質に溶解させた。
In the example, a photosensitive conductive paste comprising a conductive powder and an organic component was prepared. The solvent (γ-butyrolactone) and the polymer were mixed to form a 40% solution and heated to 60 ° C. with stirring to dissolve all the polymers homogeneously.

【0090】ポリマーは、40%のメタアクリル酸(M
AA)、30%のメチルメタアクリレート(MMA)お
よび30%のスチレン(St)からなる共重合体のカル
ボキシル基に対して0.4当量のグリシジルメタアクリ
レート(GMA)を付加反応させた重量平均分子量43
000、酸価95の感光性ポリマーを用いた。
The polymer is 40% methacrylic acid (M
AA), a weight average molecular weight obtained by subjecting a copolymer consisting of 30% methyl methacrylate (MMA) and 30% styrene (St) to an addition reaction of 0.4 equivalent of glycidyl methacrylate (GMA) to a carboxyl group. 43
000, a photosensitive polymer having an acid value of 95 was used.

【0091】ついで溶液を室温まで冷却し、感光性モノ
マー、増感剤等を表1に示す割合で加えて溶解させた。
その後、この溶液を400メッシュのフィルターを用い
て濾過し、感光性有機成分を作製した。ここで本実施例
に用いた、感光性モノマー、光重合開始剤、増感剤は次
のような化合物である。
Next, the solution was cooled to room temperature, and a photosensitive monomer, a sensitizer and the like were added and dissolved in the proportions shown in Table 1.
Thereafter, this solution was filtered using a 400-mesh filter to prepare a photosensitive organic component. Here, the photosensitive monomer, photopolymerization initiator, and sensitizer used in the present example are the following compounds.

【0092】感光性モノマー;トリメチロールプロパン
トリアクリレート 光重合開始剤 ;2−ベンジル−2ジメチルアミノ−1
−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1 増感剤 ;2,4−ジエチルチオキサントン 次に、スダン(アゾ系有機染料)とガラス粉末に対して
0.10%の割合で秤量した。スダンとは化学式C24
2040、分子量380.45のアゾ系有機染料であ
る。そのスダンをアセトンに溶解させ、分散剤を加えて
ホモジナイザで均質に攪拌し、この溶液中に導電性粉末
を添加して均質に分散・混合後、ロータリーエバポレー
タを用いて、150〜200℃の温度で乾燥し、アセト
ンを蒸発させた。こうして有機染料からなる紫外線吸収
剤の膜で導電性粉末の表面を均質にコーティングした
(いわゆるカプセル処理した)粉末を作製した。
Photosensitive monomer; trimethylolpropane triacrylate photopolymerization initiator; 2-benzyl-2-dimethylamino-1
-(4-morpholinophenyl) -butanone-1 Sensitizer; 2,4-diethylthioxanthone Then, 0.10% was weighed based on sudan (azo organic dye) and glass powder. Sudan is the chemical formula C 24 H
It is an azo organic dye having 20 N 40 and a molecular weight of 380.45. The sudan is dissolved in acetone, a dispersing agent is added, and the mixture is stirred homogeneously with a homogenizer. The conductive powder is added to the solution, and the mixture is uniformly dispersed and mixed. Then, using a rotary evaporator, a temperature of 150 to 200 ° C is used. And evaporated off the acetone. In this way, a powder in which the surface of the conductive powder was uniformly coated (so-called encapsulated) with a film of an ultraviolet absorbent comprising an organic dye was produced.

【0093】その後、有機成分の各成分を80℃に加熱
しながら溶解し、その後、導電性粉末とガラスフリット
を添加し、混練機で混練することによってペーストを作
成した。粘度は溶媒量をによって調整した。溶媒量(γ
−ブチルラクトン)はペースト中に10〜40%になる
ように調整した。
Thereafter, the respective components of the organic component were dissolved while being heated to 80 ° C., and thereafter, a conductive powder and a glass frit were added and kneaded with a kneader to prepare a paste. The viscosity was adjusted according to the amount of the solvent. Solvent amount (γ
-Butyllactone) was adjusted to be 10 to 40% in the paste.

【0094】導電性粉末としては、平均粒径2.6μm
の銀粉末を用いた。ガラスフリットは、Na2O 6
%、Al23 3%、SiO2 27%、B23 12
%、ZnO 3%、MgO 7%、ZrO2 5%、B
23 44%の組成のガラス粉末を用いた。ガラス粉
末は、あらかじめアトラクターにて微粉末にし、平均粒
径0.8μmの末を使用した。
The conductive powder has an average particle size of 2.6 μm.
Was used. Glass frit is made of Na 2 O 6
%, Al 2 O 3 3%, SiO 2 27%, B 2 O 3 12
%, ZnO 3%, MgO 7%, ZrO 2 5%, B
Glass powder having a composition of i 2 O 3 44% was used. The glass powder was made into a fine powder with an attractor in advance, and powder having an average particle diameter of 0.8 μm was used.

【0095】上記感光性有機成分と上記紫外線吸収剤添
加の導電性粉末を表1に示す組成になるように添加し、
3本ローラで混合・分散して、感光性白色導電ペースト
P1を調整した。
The photosensitive organic component and the conductive powder to which the ultraviolet absorber was added were added so as to have the composition shown in Table 1.
The photosensitive white conductive paste P1 was prepared by mixing and dispersing with three rollers.

【0096】同様にして、平均粒径2.6μmの銀粉末
の表面に酸化ルテニウムを2%被覆した後、上記感光性
有機成分を表1に示す組成になるように添加し、3本ロ
ーラで混合・分散して、感光性黒色導電ペーストP2を
調整した。
Similarly, after the surface of silver powder having an average particle size of 2.6 μm was coated with ruthenium oxide at 2%, the above photosensitive organic components were added so as to have the composition shown in Table 1, and the mixture was rolled with three rollers. By mixing and dispersing, a photosensitive black conductive paste P2 was prepared.

【0097】次に、30cm角の、ストライプ状の透明
電極パターンが形成された耐熱ガラス基板(旭硝子社製
PD−200)基板に、感光性白色導電ペーストP1を
用いて、スクリーン印刷法により乾燥後厚み10μmに
なるように塗布を行った。乾燥は80℃で30分行っ
た。P1を塗布、乾燥後、同様にして感光性黒色導電ペ
ーストP2を乾燥後厚み10μmになるように塗布し
た。
Next, a 30 cm square heat-resistant glass substrate (PD-200 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) on which a transparent electrode pattern was formed was dried by a screen printing method using a photosensitive white conductive paste P1. The coating was performed so as to have a thickness of 10 μm. Drying was performed at 80 ° C. for 30 minutes. After coating and drying P1, a photosensitive black conductive paste P2 was similarly coated to a thickness of 10 μm after drying.

【0098】次に、フォトマスクを介して露光を行っ
た。マスクは、ピッチ220μm、線幅60μm(スト
ライプ)のクロム製ネガマスクを用いた。露光は、25
mW/cm2 の出力の超高圧水銀灯で1J/cm2の光
量で紫外線露光を行った。その後、モノエタノールアミ
ンの0.5%水溶液に浸漬して、現像を行った。
Next, exposure was performed through a photomask. As the mask, a chrome negative mask having a pitch of 220 μm and a line width of 60 μm (stripe) was used. Exposure is 25
Ultraviolet light exposure was performed using a super high pressure mercury lamp having an output of mW / cm 2 at a light amount of 1 J / cm 2 . Then, it was immersed in a 0.5% aqueous solution of monoethanolamine to perform development.

【0099】さらに、得られたガラス基板を80℃で2
0分乾燥した後、最高温度560℃(最高温度保持時間
30分)で焼成を行った。焼成後の電極厚みは白色電極
層5.5μm、黒色電極層5.5μmで、合計11μm
であった。
Further, the obtained glass substrate was heated at 80 ° C. for 2 hours.
After drying for 0 minutes, baking was performed at the maximum temperature of 560 ° C. (the maximum temperature holding time was 30 minutes). The electrode thickness after firing was 5.5 μm for the white electrode layer and 5.5 μm for the black electrode layer, for a total of 11 μm.
Met.

【0100】また、得れらた電極の上面と下面につい
て、微小分光測色計MSC−5NSを用いて、刺激値
Y、および、x、yの値を求めた結果を表2に示す。
Table 2 shows the results of determining the stimulus values Y and the values of x and y for the upper and lower surfaces of the obtained electrodes using a microspectrophotometer MSC-5NS.

【0101】得られた電極形成基板に低融点ガラスペー
ストを塗布、乾燥した後、焼成して誘電体層を形成し、
その上に、酸化マグネシウムを電子ビーム蒸着によっ
て、0.5μmの厚みになるように形成して、プラズマ
ディスプレイパネルの前面基板を作製した。
A low-melting glass paste is applied to the obtained electrode forming substrate, dried, and fired to form a dielectric layer.
Magnesium oxide was formed thereon by electron beam evaporation to a thickness of 0.5 μm to produce a front substrate of a plasma display panel.

【0102】この前面板を、電極、誘電体、隔壁、蛍光
体層を形成した背面板と合わせた後、封着、ガス封入
し、得られたプラズマディスプレイの構造を図1に示
す。このパネルに電圧を印加して、表示を行った。全面
点灯時の輝度と消灯時の反射率からコントラスト比を測
定した。コントラスト比は大塚電子社製の測光機MCP
D−2000を用いて測定した。
This front plate is combined with a back plate on which electrodes, dielectrics, partitions, and phosphor layers are formed, and then sealed and gas-sealed. The structure of the obtained plasma display is shown in FIG. Display was performed by applying a voltage to this panel. The contrast ratio was measured from the luminance when the entire surface was turned on and the reflectance when the light was turned off. The contrast ratio is a photometer MCP manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.
It measured using D-2000.

【0103】比較例1 感光性白色導電ペーストP1の乾燥後厚みを20μmに
して、感光性黒色ガラスペーストの塗布および露光を行
わなわずに、白色層のみの電極を形成して、実施例1と
同様にして作製したパネルに電圧を印加して、表示を行
い、全面点灯時の輝度と消灯時の反射率からコントラス
ト比を測定した。コントラスト比は大塚電子社製の測光
機MCPD−2000を用いて測定した。
COMPARATIVE EXAMPLE 1 The photosensitive white conductive paste P1 was dried to a thickness of 20 μm, and without coating and exposing a photosensitive black glass paste, an electrode having only a white layer was formed. A voltage was applied to the panel manufactured in the same manner to perform display, and the contrast ratio was measured from the luminance when the entire panel was turned on and the reflectance when the panel was turned off. The contrast ratio was measured using a photometer MCPD-2000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.

【0104】[0104]

【表1】 [Table 1]

【表2】 表中の略称に関して、次に示す。[Table 2] Abbreviations in the table are shown below.

【0105】(ポリマー1〜3の構造中の数字は、それ
ぞれのモノマーの構成モル比を示す) TMPTA :トリメチロールプロパントリアクリ
レート PVA :ポリビニルアルコール スダン :アゾ系赤色染料、C24204Oユヒ゜ナール D-50 :ベンゾフェノン系染料(ユピナール
D−50)C13105 MTPMP :2−メチル−1−[4−(メチルチ
オ)フェニル]−2−モルホリノプロパノン−1 EPA :p−ジメチルアミノ安息香酸エチル
エステル DET :2,4−ジエチルチオキサントン γ−BL :γ−ブチロラクトン ポリマー1 :
(The numbers in the structures of the polymers 1 to 3 indicate the molar ratios of the respective monomers.) TMPTA: trimethylolpropane triacrylate PVA: polyvinyl alcohol Sudan: azo red dye, C 24 H 20 N 4 O Yupi knurls D-50: benzophenone dye (Yupinaru D-50) C 13 H 10 O 5 MTPMP: 2- methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino propanone -1 EPA: p-dimethylamino Benzoic acid ethyl ester DET: 2,4-diethylthioxanthone γ-BL: γ-butyrolactone Polymer 1:

【化1】 (重量平均分子量:23000、酸価:90)Embedded image (Weight average molecular weight: 23000, acid value: 90)

【0106】[0106]

【発明の効果】本発明では、簡便な製造プロセスで、バ
ス電極の抵抗値を低く保ったまま、コントラストの高い
プラズマディスプレイを提供できる。
According to the present invention, a plasma display having a high contrast can be provided by a simple manufacturing process while keeping the resistance of the bus electrode low.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のプラズマディスプレイの一例を示す図
である。
FIG. 1 is a diagram showing an example of a plasma display of the present invention.

【図2】従来のプラズマディスプレイの一例を示す図で
ある。
FIG. 2 is a diagram showing an example of a conventional plasma display.

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ガラス基板上に黒色電極層と白色電極層が
形成されたプラズマディスプレイであって、該黒色電極
層の刺激値Yの値Y1と該白色電極層の刺激値Y2が、
以下の条件を満たすことを特徴とするプラズマディスプ
レイ。 1≦Y1≦20 70≦Y2≦100
1. A plasma display having a black electrode layer and a white electrode layer formed on a glass substrate, wherein a stimulus value Y1 of the black electrode layer and a stimulus value Y2 of the white electrode layer are:
A plasma display characterized by satisfying the following conditions. 1 ≦ Y1 ≦ 20 70 ≦ Y2 ≦ 100
【請求項2】黒色電極層の厚みt1と白色電極層の厚み
t2が次の条件を満たすことを特徴とする請求項1のプ
ラズマディスプレイ。 1μm≦t1≦10μm 1μm≦t2≦10μm
2. The plasma display according to claim 1, wherein the thickness t1 of the black electrode layer and the thickness t2 of the white electrode layer satisfy the following condition. 1 μm ≦ t1 ≦ 10 μm 1 μm ≦ t2 ≦ 10 μm
【請求項3】黒色電極層に、Ru、Mn、Ni、Cr、
Fe、Coの金属もしくはそれらの酸化物を合計で2〜
15重量%含有することを特徴とする請求項1のプラズ
マディスプレイ。
3. A black electrode layer comprising Ru, Mn, Ni, Cr,
Fe and Co metals or their oxides in total
2. The plasma display according to claim 1, wherein the content is 15% by weight.
【請求項4】黒色電極層に、Ru、Mn、Ni、Cr、
Fe、Coの金属もしくはそれらの酸化物を合計で0.
5〜15重量%、銀もしくはニッケルを合計で85〜9
9.5重量%含有することを特徴とする請求項1のプラ
ズマディスプレイ。
4. A black electrode layer comprising Ru, Mn, Ni, Cr,
Fe and Co metals or their oxides are added in a total amount of 0.1.
5 to 15% by weight, totaling 85 to 9 of silver or nickel
2. The plasma display according to claim 1, wherein the content is 9.5% by weight.
【請求項5】黒色電極層として、酸化ルテニウム0.5
〜10重量%と銀90〜99.5重量%を用いることを
特徴とする請求項1のプラズマディスプレイ。
5. A black electrode layer comprising: ruthenium oxide 0.5
2. The plasma display according to claim 1, wherein the plasma display uses 10 to 10% by weight and 90 to 99.5% by weight of silver.
【請求項6】ガラス基板上に感光性黒色導電ペーストを
塗布する工程、感光性白色導電ペーストを塗布する工
程、露光を行う工程、現像液に溶解する部分を現像で取
り除く工程を経た後に、400〜720℃で焼成するこ
とによって、電極を形成するプラズマディスプレイの製
造方法。
6. A step of applying a photosensitive black conductive paste on a glass substrate, a step of applying a photosensitive white conductive paste, a step of exposing, and a step of removing a portion dissolved in a developing solution by development. A method for manufacturing a plasma display in which electrodes are formed by baking at ~ 720 ° C.
【請求項7】ガラス基板上に感光性黒色導電ペーストを
塗布する工程、露光する工程、感光性白色導電ペースト
を塗布する工程、再露光を行う工程、現像液に溶解する
部分を現像で取り除く工程を経た後に、400〜720
℃で焼成することによって電極を形成するプラズマディ
スプレイの製造方法。
7. A step of applying a photosensitive black conductive paste on a glass substrate, a step of exposing, a step of applying a photosensitive white conductive paste, a step of re-exposure, and a step of removing a portion dissolved in a developer by development. After passing through, 400-720
A method for manufacturing a plasma display in which electrodes are formed by baking at a temperature of ℃.
【請求項8】感光性黒色導電ペーストとして、感光性有
機成分とRu、Mn、Ni、Cr、Fe、Coの金属も
しくはそれらの酸化物を合計で2〜15重量%含有する
感光性黒色導電ペーストを用いることを特徴とする請求
項6またはのプ請求項7ラズマディスプレイの製造方
法。
8. A photosensitive black conductive paste containing a photosensitive organic component and a metal of Ru, Mn, Ni, Cr, Fe, Co or an oxide thereof in a total amount of 2 to 15% by weight. 8. A method for manufacturing a plasma display according to claim 6, wherein:
【請求項9】感光性黒色導電ペーストとして、感光性有
機成分とRuもしくはその酸化物を合計で2〜10重量
%コーティングした金属粉末を用いることを特徴とする
請求項6または請求項7のプラズマディスプレイの製造
方法。
9. The plasma according to claim 6, wherein a metal powder coated with a photosensitive organic component and Ru or its oxide in a total amount of 2 to 10% by weight is used as the photosensitive black conductive paste. Display manufacturing method.
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