JPH11162333A - Manufacture of fluorescent character display device - Google Patents

Manufacture of fluorescent character display device

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JPH11162333A
JPH11162333A JP33038897A JP33038897A JPH11162333A JP H11162333 A JPH11162333 A JP H11162333A JP 33038897 A JP33038897 A JP 33038897A JP 33038897 A JP33038897 A JP 33038897A JP H11162333 A JPH11162333 A JP H11162333A
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JP
Japan
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display device
manufacturing
fluorescent
electron
fluorescent display
Prior art date
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Application number
JP33038897A
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Japanese (ja)
Inventor
Sashiro Kamimura
佐四郎 上村
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Noritake Itron Corp
Original Assignee
Ise Electronics Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture more easily the electron emission part of a fluorescent character display device. SOLUTION: A cathode body structure 106 is formed by arranging fixedly a needle-shaped columnar graphite (emitter) with a length of several millimeters comprising an aggregate of carbon nano tube on an electrode 106b, in the range of about 3 mm ϕ on the upper surface in advance, as electron emission parts, and by arranging the electrode 106b in the center on a ceramic substrate 106a.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、電子線の衝撃に
よる蛍光体の発光を利用した蛍光表示装置の製造方法に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a fluorescent display device utilizing light emission of a phosphor by the impact of an electron beam.

【0002】[0002]

【従来の技術】蛍光表示装置は、少なくとも一方が透明
な真空容器の中で、電子放出部から放出される電子を、
蛍光体に衝突発光させて発光させ、その発光光を利用す
る電子管である。この蛍光表示装置は、通常では、電子
の働きを制御するためのグリッドを備えた3極管構造の
ものが最も多く用いられている。そして、従来では、電
子放出部にフィラメントと呼ばれる陰極を用い、ここよ
り放出される熱電子を蛍光体に衝突発光させていた。こ
のような蛍光表示装置の中で、大画面ディスプレイ装置
の画素を構成する画像管がある。
2. Description of the Related Art In a fluorescent display device, electrons emitted from an electron emission portion are contained in a vacuum vessel at least one of which is transparent.
This is an electron tube that emits light by colliding with a phosphor to emit light, and uses the emitted light. Usually, the fluorescent display device having a triode structure provided with a grid for controlling the function of electrons is most often used. Conventionally, a cathode called a filament is used for the electron emission portion, and thermions emitted from the cathode collide with the phosphor to emit light. Among such fluorescent display devices, there is an image tube that constitutes a pixel of a large screen display device.

【0003】以下、画像管について図3を用いて説明す
る。はじめに概略を説明すると、円筒形のガラスバルブ
301内に、蛍光面304、陽極電極構体305、そし
て、および電子放出部を構成するカソード構体306を
配置する。そして、円筒形のガラスバルブ301の開口
端に、透光性を有するフェースガラス302を低融点フ
リットガラス303により接着固定する。そして、ガラ
スバルブ301のステムガラス308に一体形成されて
いる排気管308aより真空排気することで、ガラスバ
ルブ301内を真空状態としている。
Hereinafter, the picture tube will be described with reference to FIG. First, a brief description will be given. In a cylindrical glass bulb 301, a fluorescent screen 304, an anode electrode assembly 305, and a cathode assembly 306 constituting an electron emission section are arranged. Then, a face glass 302 having translucency is bonded and fixed to the opening end of the cylindrical glass bulb 301 with a low melting point frit glass 303. Then, the inside of the glass bulb 301 is evacuated by evacuating from the exhaust pipe 308a formed integrally with the stem glass 308 of the glass bulb 301.

【0004】それらの中で、フェースガラス302は、
前面側に凸型レンズ状の球面部302aを形成し、周縁
部に鍔状に段差部302bを形成しておく。また、内面
302cの主要面には、蛍光面304およびAlメタル
バック膜307を順次積層して形成しておく。また、フ
ェースガラス302の内面302cの周辺部には、例え
ばステンレス材の薄板をプレス成形法により加工して形
成した弾性力を有する接触片307aの一端側を挿入し
てある。また、その接触片307aは、例えばカーボン
または銀とフリットガラスとの混合体からなる導電性接
着材により、Alメタルバック膜307に接触してフェ
ースガラス302の内面302cの所定部分に接着固定
する。そして、この接触片307aの他端側は、ガラス
バルブ301の内壁面方向に向けて延在した状態として
おく。
[0004] Among them, the face glass 302 is
A convex lens-shaped spherical portion 302a is formed on the front side, and a flange-shaped step portion 302b is formed on the peripheral edge. Further, on the main surface of the inner surface 302c, a phosphor screen 304 and an Al metal back film 307 are sequentially laminated and formed. In addition, one end of a contact piece 307a having an elastic force and formed by processing a thin plate of, for example, stainless steel by a press molding method is inserted into a peripheral portion of the inner surface 302c of the face glass 302. Further, the contact piece 307a is brought into contact with the Al metal back film 307 and adhered and fixed to a predetermined portion of the inner surface 302c of the face glass 302 by, for example, a conductive adhesive made of a mixture of carbon or silver and frit glass. The other end of the contact piece 307a is extended toward the inner wall surface of the glass bulb 301.

【0005】一方、ガラスバルブ301底部を構成する
ステムガラス308には、リードピン309a〜309
eを挿通しておく。また、このステムガラス308上に
は、そのリードピン309aの先端部に陽極リード31
0を溶接により固定し、この陽極リード310の先端部
に円筒状の陽極電極構体305を溶接により固定配置し
て搭載する。この陽極電極構体305は、例えばステン
レス材の金属線をリング状に丸めて成形したリング状陽
極305aと、このリング状陽極305aの外周面に矩
形状のステンレス材の薄板を巻き付けて重ね合った部分
を2点で溶接などにより固定して円筒形状に形成した円
筒状陽極305bとから構成する。
On the other hand, stem pins 309a to 309 are attached to stem glass 308 forming the bottom of glass bulb 301.
e is inserted. On the stem glass 308, the anode lead 31 is attached to the tip of the lead pin 309a.
0 is fixed by welding, and a cylindrical anode electrode assembly 305 is fixedly arranged and mounted on the tip of the anode lead 310 by welding. The anode electrode assembly 305 is formed by, for example, a ring-shaped anode 305a formed by rolling a stainless steel metal wire into a ring shape, and a rectangular stainless steel thin plate wound around the outer peripheral surface of the ring-shaped anode 305a. And a cylindrical anode 305b fixed at two points by welding or the like to form a cylindrical shape.

【0006】また、この陽極電極構体305は、陽極リ
ード310の先端部に対してリング状陽極305aと所
定の箇所で溶接し、さらに陽極リード310の最先端部
分で円筒状陽極305bの内側との接触部分で溶接して
固定した状態とする。さらにこのリング状陽極305a
の一部には、Baゲッター305cを溶接などより取り
付け固定しておく。
The anode electrode assembly 305 is welded to a tip of the anode lead 310 at a predetermined position with a ring-shaped anode 305a. It is fixed by welding at the contact part. Further, this ring-shaped anode 305a
, A Ba getter 305c is attached and fixed by welding or the like.

【0007】また、リードピン309b〜309eの先
端部には、カソードリード311b〜311eを溶接に
より固定し、このカソードリード311b〜311eの
先端部には、カソード構体306を溶接により固定配置
した状態とする。このカソード構体306は、次に示す
ように形成する。まず、セラミック基板306a上の中
央部に背面電極306bを配置して固定する。次に、そ
の上部に所定の間隔を開けてフィラメントカソード30
6cを2本の支柱により固定する。そして、それらを覆
うように、メッシュ部306eを有する楕円状のグリッ
ドハウジング306dを、セラッミック基板306a上
に搭載する。なお、メッシュ部306eは、蛍光面30
4の方向に球面状に突出した形状としておく。
The cathode pins 311b to 311e are fixed to the tips of the lead pins 309b to 309e by welding, and the cathode assembly 306 is fixed to the tips of the cathode leads 311b to 311e by welding. . The cathode structure 306 is formed as follows. First, the back electrode 306b is arranged and fixed at the center on the ceramic substrate 306a. Next, at a predetermined interval above the filament cathode 30
6c is fixed by two columns. Then, an elliptical grid housing 306d having a mesh portion 306e is mounted on the ceramic substrate 306a so as to cover them. Note that the mesh part 306e is
A shape protruding spherically in the direction of 4 is set.

【0008】以上示したように形成される画像管は、ま
ず、外部回路からリードピン309c,309dに電圧
(加熱電源)を供給することで、カソードリード311
c,311dを介し、フィラメントカソード306cに
所定の電位を印加して熱電子が放出される状態とする。
また、外部回路からリードピン309bに電圧を供給す
ることで、カソードリード311bを介し、背面電極3
06bにフィラメントカソード306cに対して負の電
位を印加する。加えて、外部回路からリードピン309
eに電圧を供給することで、カソードリード311eを
介し、グリトハウジング306dにフィラメントカソー
ド306cに対して正の電位を印加することで、グリッ
ドハウジング306dのメッシュ部306eより電子ビ
ームを放出させる。
In the picture tube formed as described above, first, a voltage (heating power source) is supplied to the lead pins 309c and 309d from an external circuit, so that the cathode leads 311 are provided.
A predetermined electric potential is applied to the filament cathode 306c via c and 311d, so that thermoelectrons are emitted.
Further, by supplying a voltage to the lead pin 309b from an external circuit, the back electrode 3 is connected via the cathode lead 311b.
At 06b, a negative potential is applied to the filament cathode 306c. In addition, lead pins 309
By applying a voltage to e, a positive potential is applied to the filament cathode 306c to the grid housing 306d via the cathode lead 311e, so that an electron beam is emitted from the mesh portion 306e of the grid housing 306d.

【0009】そして、外部回路からリードピン309a
に高電圧を供給し、陽極リード310→陽極電極構体3
05(円筒状陽極305b)→接触片307aの経路を
それぞれ導通してAlメタルバック膜307にその高電
圧が印加された状態とすることで、放出された電子を円
筒状陽極305bにより加速し、Alメタルバック膜3
07を貫通させて蛍光面304に衝撃させる。この結
果、蛍光面304は電子衝撃により励起し、蛍光面30
4を構成する蛍光体の応じた発光色をフェースガラス3
02を透過して前面側に発光表示することになる。
Then, lead pins 309a are supplied from an external circuit.
To the anode lead 310 → the anode electrode assembly 3
05 (cylindrical anode 305b) → Electric electrons are accelerated by the cylindrical anode 305b by conducting the respective paths of the contact pieces 307a to make the high voltage applied to the Al metal back film 307, Al metal back film 3
07 and penetrates the fluorescent screen 304. As a result, the phosphor screen 304 is excited by the electron impact, and the phosphor screen 30 is excited.
The emission color corresponding to the phosphor constituting the face glass 3
02, light is displayed on the front side.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の蛍光
表装置に用いられていた電子放出部としてのフィラメン
ト(フィラメントカソード)は、主に、直径7〜20μ
mのタングステンの細線に、電子放射性物質を塗布して
形成している。その電子放出物質としては、一般に、酸
化バリウム・酸化カルシウム・酸化ストロンチウムのい
わゆる三元酸化物から構成するようにしている。ここ
で、これら酸化物は空気中ではきわめて不安定である、
このため、フィラメントの作製においては、炭酸バリウ
ム・炭酸カルシウム・炭酸ストロンチウムのいわゆる炭
酸塩の形でタングステン細線に外形が22〜35μmに
なるように塗布し、これを例えば、上述の画像管製造に
おいて、各部品とともに組み込んだ上で、外囲器内を真
空排気してエージングする段階で酸化物にするようにし
ている。
By the way, the filament (filament cathode) as an electron emitting portion used in the conventional fluorescent display device has a diameter of 7 to 20 μm.
An electron-emitting material is applied to a thin tungsten wire of m. The electron-emitting material is generally made of a so-called ternary oxide of barium oxide / calcium oxide / strontium oxide. Here, these oxides are extremely unstable in air.
For this reason, in the production of the filament, in the form of a so-called carbonate of barium carbonate, calcium carbonate, and strontium carbonate, a tungsten thin wire is applied so as to have an outer shape of 22 to 35 μm. After assembling together with each part, the inside of the envelope is evacuated and oxidized at the stage of aging.

【0011】したがって、従来の蛍光表示装置では、電
子放出部として上述したようなフィラメントを用いるよ
うにしているため、次に示すような問題点があった。す
なわち、非常に細く脆弱なフィラメントを架張して取り
付け組み立てなければならないため、取り扱いに不便が
あり、製造しにくいという問題があった。また、上述し
たように、フィラメントカソードを作製するためには工
数が非常に多い状態であった。
Therefore, in the conventional fluorescent display device, since the above-described filament is used as the electron emitting portion, there are the following problems. That is, there is a problem that handling is inconvenient and difficult to manufacture because a very thin and fragile filament must be stretched and assembled. Further, as described above, the number of steps was very large in order to produce a filament cathode.

【0012】この発明は、以上のような問題点を解消す
るためになされたものであり、蛍光表示装置の電子放出
部を、より容易に作製できるようにすることを目的とす
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to make it easier to manufacture an electron emitting portion of a fluorescent display device.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】この発明の蛍光表示装置
の製造方法は、電子放出部を、円筒状のグラファイトの
層からなるカーボンナノチューブから構成され、その先
端部が蛍光面側に向かって配置されてその先端部より電
子が放出するエミッタと、そのエミッタの電子放出側に
配置されたエミッタより電子を引き出すための電子引き
出し電極とから構成するようにした。このように製造す
るようにしたので、エミッタと電子引き出し電極とで電
界放出型冷陰極電子源を構成できる。
According to a method of manufacturing a fluorescent display device of the present invention, an electron emission portion is formed of a carbon nanotube formed of a cylindrical graphite layer, and a tip portion thereof is arranged toward a fluorescent screen side. Then, an emitter from which electrons are emitted from the tip and an electron extraction electrode for extracting electrons from the emitter arranged on the electron emission side of the emitter are provided. Since it is manufactured in this manner, a field emission type cold cathode electron source can be constituted by the emitter and the electron extraction electrode.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下この発明の実施の形態を図を
参照して説明する。図1は、この発明の実施の形態にお
ける蛍光表示装置である画像管の構成を示す構成図であ
る。以下、この実施の形態における画像管の構成につい
て、その製造方法とともに説明すると、まず、円筒形の
ガラスバルブ101中に、蛍光面104、陽極電極構体
105、そして、および電子放出部を構成するカソード
構体106を配置する。また、ガラスバルブ101の開
口端に、フェースガラス102を低融点フリットガラス
103により接着固定する。そして、ガラスバルブ10
1の底部にはステムガラス108を配置し、このステム
ガラス108に一体形成した排気管108aより真空排
気することで、ガラスバルブ101内を真空状態とす
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing a configuration of an image tube which is a fluorescent display device according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, the configuration of the picture tube according to this embodiment will be described together with the manufacturing method thereof. First, in a cylindrical glass bulb 101, a fluorescent screen 104, an anode electrode assembly 105, and a cathode constituting an electron emission section The structure 106 is arranged. Further, a face glass 102 is bonded and fixed to the opening end of the glass bulb 101 with a low melting point frit glass 103. And the glass bulb 10
A stem glass 108 is arranged at the bottom of the glass bulb 101, and the inside of the glass bulb 101 is evacuated by evacuating the exhaust from an exhaust pipe 108a integrally formed with the stem glass 108.

【0015】まず、フェースガラス102は、前面側に
は凸型レンズ状の球面部102aを形成し、周縁部には
鍔状に段差部102bを形成しておく。このフェースガ
ラス102の内面102cには、図1(b)に示すよう
に、その周辺部分の一部に窪み状の凹部102dも形成
しておく。また、この内面102cの主要面には、蛍光
面104を形成し、この蛍光面104表面にはAlメタ
ルバック膜107を形成する。なお、凹部102d内に
は蛍光面104は形成せず、Alメタルバック膜107
のみを形成するようにする。この、凹部102d内に
は、例えばステンレス材の薄板をプレス成形法により加
工して形成された弾性力を有する接触片107aの一端
側を挿入配置する。この接触片107aは、例えばカー
ボンまたは銀とフリットガラスとの混合体からなる導電
性接着材10により、その凹部102d部分に接着固定
することで形成する。そして、この接触片107aの他
端側は、ガラスバルブ101の内壁面方向に向けて延在
しておく。
First, the face glass 102 has a convex lens-shaped spherical portion 102a formed on the front surface side and a flange-shaped step portion 102b formed on the peripheral edge portion. On the inner surface 102c of the face glass 102, as shown in FIG. 1 (b), a concave portion 102d is formed in a part of the peripheral portion thereof. Also, a fluorescent screen 104 is formed on the main surface of the inner surface 102c, and an Al metal back film 107 is formed on the surface of the fluorescent screen 104. Note that the fluorescent screen 104 is not formed in the recess 102d, and the Al metal back film 107 is not formed.
Only to form. One end of a contact piece 107a having an elastic force and formed by processing a thin plate of, for example, a stainless steel material by a press molding method is inserted into the recess 102d. The contact piece 107a is formed by bonding and fixing to the concave portion 102d with a conductive adhesive material 10 made of, for example, a mixture of carbon or silver and frit glass. The other end of the contact piece 107a extends toward the inner wall surface of the glass bulb 101.

【0016】ところで、蛍光面104は、白色蛍光体と
して、例えば、Y22S:Tb+Y23:Eu混合蛍光
体を溶媒に溶かし、これにバインダーを加えたペースト
を約20μm程度の厚さに内面102cに印刷塗布し、
これを乾燥することで形成する。ここで、凹部102d
内には蛍光面104は塗布しない状態としておく。な
お、用いる蛍光体は、Y22S:Tb+Y23:Eu混
合蛍光体に限るものではなく、他の蛍光体を用いるよう
にしてもよいことはいうまでもない。また、蛍光面10
4表面には、蒸着により約厚さ150nm程度にアルミ
ニウム膜を成膜することで、Alメタルバック膜107
を形成する。ここで、凹部102d内には蛍光面104
は塗布されていないので、Alメタルバック膜107の
みが形成された状態となる。
The phosphor screen 104 has a thickness of about 20 μm as a white phosphor, for example, a paste obtained by dissolving a Y 2 O 2 S: Tb + Y 2 O 3 : Eu mixed phosphor in a solvent and adding a binder thereto. Now, print and apply to the inner surface 102c,
This is formed by drying. Here, the recess 102d
The fluorescent screen 104 is not applied inside. Incidentally, the phosphor used is, Y 2 O 2 S: Tb + Y 2 O 3: not limited to Eu phosphor mixture, it is needless to say that may be used other phosphors. Also, the fluorescent screen 10
On the surface of the Al metal back film 107, an aluminum film is formed to a thickness of about 150 nm by vapor deposition.
To form Here, the phosphor screen 104 is provided in the recess 102d.
Is not applied, so that only the Al metal back film 107 is formed.

【0017】なお、このAlメタルバック膜107の厚
さは薄すぎると、ピンホールが増加して蛍光面104の
反射が減少する。一方、その厚さが厚すぎると、蛍光面
104に対する電子ビームの電子の侵入が阻害されて発
光が小さくなる。したがって、Alメタルバック膜10
7の厚さのコントロールは重要である。このため、前述
したように、Alメタルバック膜107は厚さを約15
0nm程度とした方がよい。なお、それら蛍光面104
及びAlメタルバック膜107を形成した後、フェース
ガラス102を、例えば電気炉などにより560℃で3
0分程度空気中で焼成し、塗布膜中の溶媒類を除去す
る。
If the thickness of the Al metal back film 107 is too small, the number of pinholes increases and the reflection of the phosphor screen 104 decreases. On the other hand, if the thickness is too large, the penetration of the electrons of the electron beam into the phosphor screen 104 is inhibited, and the light emission decreases. Therefore, the Al metal back film 10
Control of the thickness of 7 is important. Therefore, as described above, the Al metal back film 107 has a thickness of about 15
It is better to be about 0 nm. The fluorescent screen 104
After the formation of the Al metal back film 107, the face glass 102 is heated at 560.degree.
Baking in air for about 0 minutes to remove the solvents in the coating film.

【0018】そして、このフェースガラス102は、例
えば、直径約20mm,長さ約50mmの両端が切断さ
れたガラスバルブ101の一方の開口端に、フェースガ
ラス102の周縁部に形成された鍔状の段差部102b
部分で、低融点フリットガラス103により接着固定す
る。これは、その接着面に低融点フリットガラスペース
トを塗布し、フェースガラス102の段差部102b部
分とガラスバルブ101の開口端とを、その低融点フリ
ットガラスペーストを介してつき合わせ、これらを加熱
焼成すればよい。
The face glass 102 has, for example, a flange-like shape formed on the periphery of the face glass 102 at one open end of the glass bulb 101 having both ends cut at a diameter of about 20 mm and a length of about 50 mm. Step portion 102b
At the portion, the glass is adhered and fixed with the low melting point frit glass 103. In this method, a low-melting frit glass paste is applied to the bonding surface, and the stepped portion 102b of the face glass 102 and the opening end of the glass bulb 101 are brought into contact with each other via the low-melting frit glass paste. do it.

【0019】一方、ガラスバルブ101底部のステムガ
ラス108部分には、リードピン109を挿通して形成
する。また、そのリードピン109の先端部に、陽極リ
ード110を溶接により固定し、この陽極リード110
の先端部に、円筒状の陽極電極構体(電子加速電極)1
05を溶接により固定配置する。この陽極電極構体10
5の形成について説明すると、まず、例えばステンレス
材の金属線(線径約0.5mm)をリング状に丸めるこ
とで、リング状陽極105aを成形する。そして、この
リング状陽極105aの外周面に、矩形状のステンレス
材の薄板(板厚0.01〜0.02mm)を巻き付け、
重ね合った部分を溶接点105dと溶接点105eの2
カ所で溶接して固定する。このことにより、円筒形状に
円筒状陽極105bを形成できる。
On the other hand, a lead pin 109 is inserted through the stem glass 108 at the bottom of the glass bulb 101. An anode lead 110 is fixed to the tip of the lead pin 109 by welding.
A cylindrical anode electrode assembly (electron accelerating electrode) 1
05 is fixedly arranged by welding. This anode electrode structure 10
Explaining the formation of 5, first, a ring-shaped anode 105a is formed by, for example, rounding a stainless steel wire (diameter of about 0.5 mm) into a ring shape. Then, a rectangular stainless steel thin plate (having a thickness of 0.01 to 0.02 mm) is wound around the outer peripheral surface of the ring-shaped anode 105a,
The overlapped portion is defined as the welding point 105d and the welding point 105e.
Weld and fix in several places. Thus, the cylindrical anode 105b can be formed in a cylindrical shape.

【0020】また、この陽極電極構体105は、陽極リ
ード110の先端部に対してリング状陽極105aと所
定の箇所で溶接し、さらに、陽極リード110の最先端
部分で円筒状陽極105bの内側との接触部分で溶接し
て固定する。さらに、このリング状陽極105aの一部
には、Baゲッター105cを溶接などより取り付け固
定する。なお、図1(a)において、陽極電極構体10
5やリードピン109に関しては、断面を示していな
い。
The anode electrode assembly 105 is welded to a tip of the anode lead 110 at a predetermined position with a ring-shaped anode 105a. Weld and fix at the contact area of. Further, a Ba getter 105c is fixed to a part of the ring-shaped anode 105a by welding or the like. In FIG. 1A, the anode electrode assembly 10
No cross section is shown for 5 and the lead pin 109.

【0021】また、ステムガラス108には、リードピ
ン109a,109bも挿通し、リードピン109a,
109bの先端部には、カソードリード111a,11
1bを溶接により固定し、このカソードリード111
a,111bの先端部には、カソード構体106を溶接
により固定配置する。このカソード構体106は、次に
示すように形成する。まず、セラミック基板106a上
の中央部に、電極(導電板)106bを配置する。ま
た、その上面に、図1(b)に拡大表示したように、約
3mmφの領域に、カーボンナノチューブの集合体から
なる長さ数mmの針形状の柱状グラファイト(エミッ
タ)121を、その長手方向をほぼ蛍光面104の方向
に向けて固定配置する。
Also, lead pins 109a and 109b are inserted through the stem glass 108, and the lead pins 109a and 109b are inserted.
The cathode leads 111a, 11a
1b is fixed by welding.
The cathode structure 106 is fixedly disposed at the distal end of the a and 111b by welding. This cathode structure 106 is formed as follows. First, an electrode (conductive plate) 106b is arranged at the center on the ceramic substrate 106a. On the upper surface, as shown in an enlarged view in FIG. 1B, a needle-shaped columnar graphite (emitter) 121 having a length of several mm made of an aggregate of carbon nanotubes is arranged in a region of about 3 mmφ in the longitudinal direction. Are fixedly arranged substantially in the direction of the fluorescent screen 104.

【0022】その柱状グラファイト121は、導電性接
着剤122により固定配置する。この固定は、例えば、
導電性接着剤122を介して柱状グラファイト121を
電極106b上に配置し、導電性接着剤122の溶剤な
どを揮発させ、その後、空気中で40〜600℃程度に
15〜60分間程度加温して焼成すればよい。このよう
に、酸素が存在する雰囲気で焼成を行うことで、製造過
程で副生成物などとして柱状グラファイト121に付着
している炭素粉を、焼失させることができる。この炭素
粉が残留していると、振動などにより飛散し、悪影響を
及ぼす原因となる場合がある。なお、この焼成は、例え
ば、1〜10-3Torr程度に真空排気された雰囲気で
行うようにしてもよい。
The columnar graphite 121 is fixedly arranged with a conductive adhesive 122. This fixing, for example,
The columnar graphite 121 is disposed on the electrode 106b via the conductive adhesive 122, the solvent of the conductive adhesive 122 is volatilized, and then heated in air to about 40 to 600 ° C. for about 15 to 60 minutes. And baking. As described above, by performing the firing in an atmosphere in which oxygen is present, the carbon powder attached to the columnar graphite 121 as a by-product in the manufacturing process can be burned off. If the carbon powder remains, it may be scattered due to vibration or the like, which may cause adverse effects. This firing may be performed, for example, in an atmosphere evacuated to about 1 to 10 -3 Torr.

【0023】ここで、この実施の形態1における、電子
放出部品である柱状グラファイト121が形成された電
極106bの作製に関してより詳細に説明する。まず、
金属板を加工することで、図2(a)に示すように、所
定の形状の板状の形状部分201がリードフレーム状に
フレーム201aに接続された状態とする。ついで、図
2(b)に示すように、形状部分201表面の所定領域
に、導電性接着剤202を塗布形成する。次に、柱状グ
ラファイト203を、その長手方向が形状部分201平
面に垂直となるように導電性接着剤202上に配置して
固定する。この固定は、前述したように焼成することに
より行えばよい。
Here, the production of the electrode 106b on which the columnar graphite 121 as the electron-emitting component is formed in the first embodiment will be described in more detail. First,
By processing the metal plate, as shown in FIG. 2A, a plate-shaped portion 201 having a predetermined shape is connected to the frame 201a in a lead frame shape. Next, as shown in FIG. 2B, a conductive adhesive 202 is applied and formed on a predetermined region of the surface of the shape portion 201. Next, the columnar graphite 203 is arranged and fixed on the conductive adhesive 202 such that its longitudinal direction is perpendicular to the plane of the shape portion 201. This fixing may be performed by firing as described above.

【0024】次に、図2(d)に示すように、柱状グラ
ファイト203が形成された形状部分201を、フレー
ム201aより切り出す。そして、形状部分201の両
端201bを折曲げることで、図2(e)に示すよう
に、表面に柱状グラファイト203が形成された電極2
04が形成される。そして、この電極204を図1に示
したセラミック基板106a上の中央部に配置するなど
のことにより、図1に示すように、電極106bが形成
できる。
Next, as shown in FIG. 2D, a shape portion 201 on which the columnar graphite 203 is formed is cut out from the frame 201a. Then, by bending both ends 201b of the shape portion 201, the electrode 2 having the columnar graphite 203 formed on the surface as shown in FIG.
04 is formed. Then, by arranging the electrode 204 at the center on the ceramic substrate 106a shown in FIG. 1, the electrode 106b can be formed as shown in FIG.

【0025】このようにすることで、あらかじめ電子放
出部である柱状グラファイトが固定された電極を複数形
成しておくことが可能となり、例えば、あらかじめ電子
放出特性を検査しておき、特性のよいものだけを用いる
ようにすることも可能である。そして、それら柱状グラ
ファイト121が固定配置された電極(導電板)106
bを覆うように、メッシュ部(電子引き出し電極)10
6eを備えたハウジング106dを配置する。
By doing so, it becomes possible to previously form a plurality of electrodes to which columnar graphite as an electron emitting portion is fixed, and for example, to inspect the electron emitting characteristics in advance, and to improve the characteristics. It is also possible to use only. The electrode (conductive plate) 106 on which the columnar graphite 121 is fixedly arranged.
b, so that the mesh portion (electron extraction electrode) 10
A housing 106d with 6e is arranged.

【0026】ところで、その柱状グラファイト121
は、図1(c)に示すように、カーボンナノチューブ1
21aが、ほぼ同一方向を向いて集合した構造体であ
る。なお、この図1(c)は、柱状グラファイト121
を途中で切った断面を見る斜視図である。そして、カー
ボンナノチューブ121aは、例えば図1(d)に示す
ように、完全にグラファイト化して筒状をなし、その直
径は4〜50nm程度であり、その長さはミクロンオー
ダである。そして、図1(e)に示すように、その先端
部は五員環が入ることにより閉じている。このカーボン
ナノチューブは、ヘリウムガス中で2本の炭素電極を1
〜2mm程度離した状態で直流アーク放電を起こすこと
で、陽極側の炭素が蒸発して陰極側の炭素電極先端に凝
集した堆積物中に形成できる。
By the way, the columnar graphite 121
Is a carbon nanotube 1 as shown in FIG.
Reference numeral 21a denotes a structure that is assembled in substantially the same direction. FIG. 1C shows the columnar graphite 121.
FIG. 3 is a perspective view showing a cross section cut in the middle of FIG. As shown in FIG. 1D, the carbon nanotube 121a is completely graphitized into a cylindrical shape, has a diameter of about 4 to 50 nm, and has a length on the order of microns. Then, as shown in FIG. 1 (e), the tip is closed by the five-membered ring. This carbon nanotube has two carbon electrodes in helium gas.
By causing a DC arc discharge at a distance of about 2 mm, carbon on the anode side evaporates and can be formed in a deposit aggregated at the tip of the carbon electrode on the cathode side.

【0027】すなわち、炭素電極間のギャップを1mm
程度に保った状態で、ヘリウム中で安定なアーク放電を
持続させ、陽極の炭素電極の直径とほぼ同じ径をもつ円
柱状の堆積物を陰極先端に形成する。その円柱状の堆積
物は、外側の固い殻と、その内側のもろくて黒い芯との
2つの領域から構成されている。そして、内側の芯は、
堆積物柱の長さ方向にのびた繊維状の組織をもってい
る。その繊維状の組織が、上述した柱状グラファイトで
あり、堆積物柱を切り出すことなどにより、柱状グラフ
ァイトを得ることができる。なお、外側の固い殻は、グ
ラファイトの多結晶体である。
That is, the gap between the carbon electrodes is 1 mm.
While maintaining a stable arc discharge in helium, the columnar deposit having substantially the same diameter as the diameter of the anode carbon electrode is formed at the tip of the cathode. The columnar deposit is composed of two regions: a hard shell on the outside and a fragile black core on the inside. And the inner core is
It has a fibrous structure extending along the length of the sediment column. The fibrous structure is the above-described columnar graphite, and columnar graphite can be obtained by cutting out a sediment column or the like. The outer hard shell is a graphite polycrystal.

【0028】そして、その柱状グラファイトにおいて、
カーボンナノチューブは、炭素の多面体微粒子(ナノポ
リヘドロン:nanopolyhedoron)とともに、複数が集合
している。そのカーボンナノチューブは、図1(d),
(e)では模式的に示したように、グラファイトの単層
が円筒状に閉じた形状と、複数のグラファイトの層が入
れ子構造的に積層し、それぞれのグラファイト層が円筒
状に閉じた同軸多層構造となっている形状とがある。そ
して、それらの中心部分は、空洞となっている。
Then, in the columnar graphite,
A plurality of carbon nanotubes are aggregated together with carbon polyhedral fine particles (nanopolyhedoron). The carbon nanotube is shown in FIG.
In (e), as schematically shown, a single graphite layer is closed in a cylindrical shape, and a plurality of graphite layers are stacked in a nested structure, and each graphite layer is closed in a cylindrical shape. There are shapes that have a structure. And the center part of them is hollow.

【0029】以上示したように、この実施の形態におい
ては、カーボンナノチューブ120aからなる柱状グラ
ファイト121を電極106b上に固定配置し、そし
て、それらを覆うように、ハウジング106dをセラッ
ミック基板106a上に搭載した状態とすることでカソ
ード構体106を形成した。なお、メッシュ部106e
は、蛍光面104の方向に球面状に突出した形状とす
る。また、このハウジング106dは、板厚が約100
μm程度のステンレス板材をプレス成形することにより
形成する。また、メッシュ部106eは、例えば縦方向
寸法が約6mm,横方向寸法が約4mmとし、高さが約
1.25mmの大きさに形成する。そして、メッシュ部
106eは、柱状グラファイト121先端部より0.5
〜1mm程度離間した状態とする。なお、これらの間隔
は、接触しない状態でなるべく近づけた方がよい。
As described above, in this embodiment, the columnar graphite 121 composed of the carbon nanotubes 120a is fixedly arranged on the electrode 106b, and the housing 106d is mounted on the ceramic substrate 106a so as to cover them. In this state, the cathode structure 106 was formed. The mesh part 106e
Has a shape protruding spherically in the direction of the phosphor screen 104. The housing 106d has a thickness of about 100
It is formed by press-forming a stainless steel plate material of about μm. The mesh portion 106e is formed to have, for example, a vertical dimension of about 6 mm, a horizontal dimension of about 4 mm, and a height of about 1.25 mm. And the mesh part 106e is 0.5 mm from the tip of the columnar graphite 121.
状態 1 mm apart. In addition, it is better to make these intervals as close as possible without contact.

【0030】以上示したように形成される画像管は、ま
ず、外部回路からリードピン109a,109bに電圧
を供給することで、カソードリード111a,111b
を介して電極106とハウジング106dとの間に電界
をかける。そして、このことにより、電極106上に固
定配置された柱状グラファイト121のカーボンナノチ
ューブ先端に高電界を集中させ、電子を引き出してメッ
シュ部106eより放出させる。すなわち、この実施の
形態によれば、電子放出部であるカソード構体106
が、柱状グラファイト121のカーボンナノチューブ1
21aをエミッタとした、電界放出型冷陰極電子源の構
成となる。
In the picture tube formed as described above, first, a voltage is supplied to the lead pins 109a and 109b from an external circuit, so that the cathode leads 111a and 111b are supplied.
, An electric field is applied between the electrode 106 and the housing 106d. As a result, a high electric field is concentrated on the end of the carbon nanotube of the columnar graphite 121 fixedly arranged on the electrode 106, and electrons are extracted and emitted from the mesh portion 106e. That is, according to this embodiment, the cathode structure 106 serving as the electron emitting portion is used.
Is the carbon nanotube 1 of columnar graphite 121
A field emission type cold cathode electron source having the emitter 21a is obtained.

【0031】そして、外部回路からリードピン109に
高電圧を供給し、陽極リード110→陽極電極構体10
5(円筒状陽極105b)→接触片107aの経路をそ
れぞれ導通してAlメタルバック膜107にその高電圧
が印加された状態とすることで、放出された電子を円筒
状陽極105bにより加速し、Alメタルバック膜10
7を貫通させて蛍光面104に衝撃させる。この結果、
蛍光面104は電子衝撃により励起し、蛍光面104を
構成する蛍光体の応じた発光色を、フェースガラス10
2を透過して前面側に発光表示することになる。
Then, a high voltage is supplied to the lead pin 109 from an external circuit, and the anode lead 110 → the anode electrode assembly 10
5 (cylindrical anode 105b) → Electric electrons are accelerated by the cylindrical anode 105b by conducting the respective paths of the contact pieces 107a and applying a high voltage to the Al metal back film 107, Al metal back film 10
7 and penetrates the fluorescent screen 104. As a result,
The fluorescent screen 104 is excited by the electron impact, and emits a luminescent color corresponding to the fluorescent material constituting the fluorescent screen 104 to the face glass 10.
2 to emit light on the front side.

【0032】以上示したように、この実施の形態によれ
ば、カーボンナノチューブを配置することで電子放出部
を形成した。この結果、電子放出部は電界放出型冷陰極
電子源なる。したがって、この実施の形態によれば、電
子放出部は、フィラメントのような脆弱な部品を用いる
ようにしていないので、簡便に取り扱うことができ、容
易に形成することが可能となる。また、フィラメントの
加熱電源も必要がないので、リードピンの数が減らせ、
より製造を簡略化できる。
As described above, according to this embodiment, the electron emission portions are formed by arranging carbon nanotubes. As a result, the electron emission portion becomes a field emission type cold cathode electron source. Therefore, according to this embodiment, since the electron-emitting portion does not use a fragile component such as a filament, it can be handled easily and can be easily formed. Also, since there is no need for a heating power supply for the filament, the number of lead pins can be reduced,
Manufacturing can be further simplified.

【0033】なお、上記実施の形態では、画像管につい
て説明したが、これに限るものではな。この発明は、真
空容器内に蛍光体からなる発光部と、これを発光させる
ための電子放出源とを備えた、その他の蛍光表示装置に
も適用できることはいうまでもない。例えば、フェース
ガラスと蛍光面との間に光学フィルターを形成してもよ
い。このように光学フィルターを形成することで、発光
色を変化させた画像管とすることができる。また、同一
の真空容器内に複数の蛍光面を備え、多色化をした画像
管とするようにしてもよい。また、蛍光面を所望の形状
とし、所望の形状のキャラクタを表示する平型管とする
ようにしてもよい。
In the above embodiment, the picture tube has been described, but the present invention is not limited to this. It is needless to say that the present invention can be applied to other fluorescent display devices provided with a light emitting portion made of a phosphor in a vacuum vessel and an electron emission source for emitting the light. For example, an optical filter may be formed between the face glass and the phosphor screen. By forming the optical filter in this manner, a picture tube with a different emission color can be obtained. In addition, a plurality of fluorescent screens may be provided in the same vacuum vessel to form a multicolor image tube. Further, the fluorescent screen may have a desired shape, and may be a flat tube for displaying a character having a desired shape.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上説明したように、この発明では、あ
らかじめ、円筒状のグラファイトの層からなるカーボン
ナノチューブから構成されたエミッタが固定された導電
性部材からなる電子放出部品を形成しておき、その電子
放出部品を外囲器内の所定位置に配置し、そして、エミ
ッタの電子放出側にエミッタより電子を引き出すための
電子引き出し電極を配置するようにした。また、電子放
出部品は、導電性部品を構成する材料の板の所定の領域
を切り取ることで導電性部材となる形状部分複数が枠に
接続された状態とし、形状部分の所定の領域にエミッタ
を形成し、エミッタが形成された形状部分を枠より切り
離すことで作製するようにした。
As described above, according to the present invention, an electron emission component made of a conductive member to which an emitter made of carbon nanotubes made of a cylindrical graphite layer is fixed is formed in advance. The electron-emitting component is arranged at a predetermined position in the envelope, and an electron extracting electrode for extracting electrons from the emitter is arranged on the electron-emitting side of the emitter. In addition, the electron emission component cuts out a predetermined region of a plate of a material constituting the conductive component so that a plurality of shape portions that become conductive members are connected to the frame, and an emitter is provided in a predetermined region of the shape portion. It was formed by cutting off the shape portion where the emitter was formed from the frame.

【0035】すなわち、この発明によれば、まず、カー
ボンナノチューブからなるエミッタと電子引き出し電極
とにより、電界放出型冷陰極電子源が構成できる。この
結果、この発明によれば、蛍光表示装置の電子放出部
を、フィラメントのような脆弱な部品を用いることなく
作製できるようになり、ひいては、蛍光表示装置をより
容易に製造できるようになる。また、電子放出部を電子
放出部品としてあらかじめ作製しておくことで、あらか
じめ電子放出特性を検査しておき、特性のよいものだけ
を用いるようにすることも可能である。
That is, according to the present invention, first, a field emission type cold cathode electron source can be constituted by the emitter composed of the carbon nanotube and the electron extraction electrode. As a result, according to the present invention, the electron emission portion of the fluorescent display device can be manufactured without using a fragile component such as a filament, and as a result, the fluorescent display device can be manufactured more easily. Further, by preparing the electron-emitting portion as an electron-emitting component in advance, it is possible to inspect the electron-emitting characteristics in advance and use only those having good characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明の実施の形態における画像管の構成
を示す構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing a configuration of an image tube according to an embodiment of the present invention.

【図2】 電子放出部品である柱状グラファイト121
が形成された電極106bの作製を説明するための説明
図である。
FIG. 2 is a columnar graphite 121 as an electron-emitting component.
FIG. 9 is an explanatory diagram for explaining the production of the electrode 106b on which is formed.

【図3】 従来の画像管の構成を示す構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram showing a configuration of a conventional picture tube.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101…ガラスバルブ、102…フェースガラス、10
3…低融点フリットガラス、104…蛍光面、105…
陽極電極構体、105a…リング状陽極、105b…円
筒状陽極、105c…Baゲッター、106…カソード
構体、106a…セラミック基板、106b…電極(導
電板)、106d…ハウジング、106e…メッシュ部
(電子引き出し電極)、107…Alメタルバック膜、
107a…接触片、108…ステムガラス、108a…
排気管、109,109a,109b…リードピン、1
10…陽極リード、111a,111b…カソードリー
ド、121…柱状グラファイト(エミッタ)、121a
…カーボンナノチューブ、122…導電性接着剤。
101: glass bulb, 102: face glass, 10
3 ... low melting point frit glass, 104 ... phosphor screen, 105 ...
Anode electrode structure, 105a: ring-shaped anode, 105b: cylindrical anode, 105c: Ba getter, 106: cathode structure, 106a: ceramic substrate, 106b: electrode (conductive plate), 106d: housing, 106e: mesh part (electron drawer) Electrode), 107 ... Al metal back film,
107a: contact piece, 108: stem glass, 108a ...
Exhaust pipe, 109, 109a, 109b ... lead pin, 1
10: anode lead, 111a, 111b: cathode lead, 121: columnar graphite (emitter), 121a
... carbon nanotube, 122 ... conductive adhesive.

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも一部が透光性を有する表示面
を有しかつ内部が真空排気された外囲器と、前記表示面
の内側に形成された蛍光体からなり電子の衝撃により発
光する蛍光面を備えた蛍光表示管の製造方法において、 あらかじめ、円筒状のグラファイトの層からなるカーボ
ンナノチューブから構成されたエミッタが固定された導
電性部材からなる電子放出部品を形成しておき、 前記電子放出部品を前記外囲器内の所定位置に配置し、 前記外囲器内で前記エミッタの電子放出側に前記エミッ
タより電子を引き出すための電子引き出し電極を配置す
ることを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。
1. An envelope having at least a part of a translucent display surface and having an interior evacuated and a phosphor formed inside the display surface, and emits light by the impact of electrons. In a method of manufacturing a fluorescent display tube having a fluorescent screen, an electron emitting component made of a conductive member to which an emitter made of a carbon nanotube made of a cylindrical graphite layer is fixed is formed in advance, and A fluorescent display device comprising: an emission component disposed at a predetermined position in the envelope; and an electron extraction electrode for extracting electrons from the emitter on the electron emission side of the emitter in the envelope. Manufacturing method.
【請求項2】 請求項1記載の蛍光表示装置の製造方法
において、 前記電子放出部品は、前記エミッタが固定された表面を
前記蛍光面に向けて配置され、前記カーボンナノチュー
ブが導電性を有する接着剤で固定されることを特徴とす
る蛍光表示装置の製造方法。
2. The method of manufacturing a fluorescent display device according to claim 1, wherein the electron-emitting component has a surface on which the emitter is fixed facing the fluorescent screen, and the carbon nanotube has a conductive property. A method for manufacturing a fluorescent display device, wherein the fluorescent display device is fixed with an agent.
【請求項3】 請求項1または2記載の蛍光表示装置の
製造方法において、 前記電子放出部品は、 前記導電性部品を構成する材料の板の所定の領域を切り
取ることで前記導電性部材となる形状部分複数が枠に接
続された状態とし、 前記形状部分の所定の領域に前記エミッタを形成し、 前記エミッタが形成された形状部分を前記枠より切り離
すことで作製することを特徴とする蛍光表示装置の製造
方法。
3. The method for manufacturing a fluorescent display device according to claim 1, wherein the electron-emitting component becomes the conductive member by cutting out a predetermined region of a plate of a material forming the conductive component. A fluorescent display, wherein a plurality of shaped portions are connected to a frame, the emitter is formed in a predetermined region of the shaped portion, and the shaped portion on which the emitter is formed is separated from the frame to produce a fluorescent display. Device manufacturing method.
【請求項4】 請求項1〜3いずれか1項記載の蛍光表
示装置の製造方法において、 前記エミッタは、前記カーボンナノチューブの集合体か
らなる柱状グラファイトから構成されていることを特徴
とする蛍光表示装置の製造方法。
4. The method of manufacturing a fluorescent display device according to claim 1, wherein said emitter is made of columnar graphite made of an aggregate of said carbon nanotubes. Device manufacturing method.
【請求項5】 請求項4記載の蛍光表示装置の製造方法
において、 前記柱状グラファイトは、その先端部が前記蛍光面に向
いた状態で配置されることを特徴とする蛍光表示装置の
製造方法。
5. The method of manufacturing a fluorescent display device according to claim 4, wherein the columnar graphite is disposed with its tip end facing the fluorescent screen.
【請求項6】 請求項1〜5記載の蛍光表示装置の製造
方法において、 前記引き出し電極は、前記蛍光面と前記エミッタとの間
に配置されることを特徴とする蛍光表示装置の製造方
法。
6. The method for manufacturing a fluorescent display device according to claim 1, wherein the extraction electrode is disposed between the fluorescent screen and the emitter.
【請求項7】 請求項1〜5記載の蛍光表示装置の製造
方法において、 前記引き出し電極は、前記蛍光面と前記表示面との間に
配置されることを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。
7. The method of manufacturing a fluorescent display device according to claim 1, wherein the extraction electrode is disposed between the fluorescent screen and the display surface. .
【請求項8】 請求項1〜7記載の蛍光表示装置の製造
方法において、 前記蛍光面と前記表示面との間に光学フィルターが配置
されることを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。
8. The method for manufacturing a fluorescent display device according to claim 1, wherein an optical filter is disposed between said fluorescent screen and said display surface.
【請求項9】 請求項1〜8記載の蛍光表示装置の製造
方法において、 前記蛍光面を形成した後でこの表面に金属膜を形成し、 さらに、前記蛍光面と前記電子引き出し電極との間に、
前記金属膜に電気的に接続させて、前記電子引き出し電
極より高い電位が印加される電子加速電極を配置するこ
とを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。
9. The method for manufacturing a fluorescent display device according to claim 1, wherein a metal film is formed on the fluorescent screen after forming the fluorescent screen, and further, between the fluorescent screen and the electron extraction electrode. To
A method for manufacturing a fluorescent display device, wherein an electron accelerating electrode to which a higher potential than the electron extraction electrode is applied is disposed so as to be electrically connected to the metal film.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100428068B1 (en) * 2000-08-23 2004-04-30 가부시키가이샤 노리타케 캄파니 리미티드 Vacuum Fluorescent Display
US6914380B2 (en) 2000-08-23 2005-07-05 Noritake Co., Ltd, Vacuum fluorescent display having x-ray shielding cap
CN1305106C (en) * 2003-10-31 2007-03-14 清华大学 Filament made from Nano carbon tupe and fabricating method

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