JP3655447B2

JP3655447B2 - Fluorescent display device and manufacturing method thereof

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Publication number: JP3655447B2
Application number: JP29760897A
Authority: JP
Inventors: 佐四郎上村
Original assignee: Noritake Co Ltd
Current assignee: Noritake Co Ltd
Priority date: 1997-10-29
Filing date: 1997-10-29
Publication date: 2005-06-02
Anticipated expiration: 2017-10-29
Also published as: JPH11135042A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、電子線の衝撃による蛍光体の発光を利用した蛍光表示装置およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
蛍光表示装置は、少なくとも一方が透明な真空容器の中で、電子放出部から放出される電子を、蛍光体に衝突発光させて発光させ、その発光光を利用する電子管である。この蛍光表示装置は、通常では、電子の働きを制御するためのグリッドを備えた３極管構造のものが最も多く用いられている。
そして、従来では、電子放出部にフィラメントと呼ばれる陰極を用い、ここより放出される熱電子を蛍光体に衝突発光させていた。
このような蛍光表示装置の中で、大画面ディスプレイ装置の画素を構成する画像管がある。
【０００３】
以下、画像管について図３を用いて説明する。
まず、円筒形のガラスバルブ３０１に、透光性を有するフェースガラス３０２が低融点フリットガラス３０３により接着固定され、それらで真空容器（外囲器）を構成している。そして、この中に、蛍光面３０４、陽極電極構体３０５、そして、および電子放出部を構成するカソード構体３０６が配置している。
そのフェースガラス３０２は、前面側には凸型レンズ状の球面部３０２ａが形成され、周縁部には鍔状に段差部３０２ｂが形成されている。また、内面３０２ｃの主要面には、蛍光面３０４およびＡｌメタルバック膜３０７が順次積層して形成されている。
【０００４】
また、フェースガラス３０２の内面３０２ｃの周辺部には、例えばステンレス材の薄板をプレス成形法により加工して形成された弾性力を有する接触片３０７ａの一端側が挿入されている。また、その接触片３０７ａは、例えばカーボンまたは銀とフリットガラスとの混合体からなる導電性接着材により、Ａｌメタルバック膜３０７に接触してフェースガラス３０２の内面３０２ｃの所定部分に接着固定されている。そして、この接触片３０７ａの他端側は、ガラスバルブ３０１の内壁面方向に向けて延在されている。
【０００５】
一方、ガラスバルブ３０１底部を構成するステムガラス３０８には、リードピン３０９ａ〜３０９ｅが挿通され、加えて、排気管３０８ａが一体的に形成されている。また、このステムガラス３０８上には、そのリードピン３０９ａの先端部に陽極リード３１０が溶接により固定され、この陽極リード３１０の先端部に円筒状の陽極電極構体３０５が溶接により固定配置されて搭載される構造となっている。
この陽極電極構体３０５は、例えばステンレス材の金属線をリング状に丸めて成形されたリング状陽極３０５ａと、このリング状陽極３０５ａの外周面に矩形状のステンレス材の薄板を巻き付けて重ね合った部分を３点で溶接などにより固定させて円筒形状に形成された円筒状陽極３０５ｂとから構成されている。
【０００６】
また、この陽極電極構体３０５は、陽極リード３１０の先端部に対してリング状陽極３０５ａと所定の箇所で溶接され、さらに陽極リード３１０の最先端部分で円筒状陽極３０５ｂの内側との接触部分で溶接されて固定されて配置される構造となっている。
さらにこのリング状陽極３０５ａの一部には、Ｂａゲッター３０５ｃが溶接などより取り付け固定されて配置されている。
【０００７】
また、リードピン３０９ｂ〜３０９ｅの先端部には、カソードリード３１１ｂ〜３１１ｅが溶接により固定され、このカソードリード３１１ｂ〜３１１ｅの先端部には、カソード構体３０６が溶接により固定配置されて搭載される構造となっている。
このカソード構体３０６は、次に示すように構成されている。まず、セラミック基板３０６ａ上の中央部に背面電極３０６ｂが配置されている。また、その上部に所定の間隔を開けてフィラメントカソード３０６ｃが固定されている。そして、それらを覆うように、メッシュ部３０６ｅを有する楕円状のグリッドハウジング３０６ｄが、セラッミック基板３０６ａ上に搭載されている。また、メッシュ部３０６ｅは、蛍光面３０４の方向に球面状に突出した形状となっている。
【０００８】
以上示したように構成される画像管は、まず、外部回路からリードピン３０９ｃ，３０９ｄに電圧（加熱電源）を供給することで、カソードリード３１１ｃ，３１１ｄを介し、フィラメントカソード３０６ｃに所定の電位を印加して熱電子が放出される状態とする。また、外部回路からリードピン３０９ｂに電圧を供給することで、カソードリード３１１ｂを介し、背面電極３０６ｂにフィラメントカソード３０６ｃに対して負の電位を印加する。加えて、外部回路からリードピン３０９ｅに電圧を供給することで、カソードリード３１１ｅを介し、グリトハウジング３０６ｄにフィラメントカソード３０６ｃに対して正の電位を印加することで、グリッドハウジング３０６ｄのメッシュ部３０６ｅより電子ビームを放出させる。
【０００９】
そして、外部回路からリードピン３０９ａに高電圧を供給し、陽極リード３１０→陽極電極構体３０５（円筒状陽極３０５ｂ）→接触片３０７ａの経路をそれぞれ導通してＡｌメタルバック膜３０７にその高電圧が印加された状態とすることで、放出された電子を円筒状陽極３０５ｂにより加速し、Ａｌメタルバック膜３０７を貫通させて蛍光面３０４に衝撃させる。この結果、蛍光面３０４は電子衝撃により励起し、蛍光面３０４を構成する蛍光体の応じた発光色をフェースガラス３０２を透過して前面側に発光表示することになる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来の蛍光表装置に用いられていた電子放出部としてのフィラメント（フィラメントカソード）は、主に、直径７〜２０μｍのタングステンの細線に、電子放射性物質を塗布して形成している。その電子放出物質としては、一般に、酸化バリウム・酸化カルシウム・酸化ストロンチウムのいわゆる三元酸化物から構成するようにしている。
ここで、これら酸化物は空気中ではきわめて不安定である、このため、フィラメントの作製においては、炭酸バリウム・炭酸カルシウム・炭酸ストロンチウムのいわゆる炭酸塩の形でタングステン細線に外形が２２〜３５μｍになるように塗布し、これを例えば、上述の画像管製造において、各部品とともに組み込んだ上で、外囲器内を真空排気してエージングする段階で酸化物にするようにしている。
【００１１】
したがって、従来の蛍光表示装置では、電子放出部として上述したようなフィラメントを用いるようにしているため、次に示すような問題点があった。
まず、非常に細く脆弱なフィラメントを架張して取り付け組み立てなければならないため、取り扱いに不便があった。また、上述したように、フィラメントカソードを作製するための工数も非常に多い状態であった。
次に、フィラメントカソードから放出される電子流は、フィラメントカソードの温度に大きく左右される。このため、フィラメントカソードの両端支持部からの放熱が大きいと、フィラメントの位置によって電子流にバラツキが生じてしまう。これは、用いる蛍光表示装置によっては、蛍光面の発光にむらが発生する要因となる。
また、フィラメントカソードの表面には、前述したように電子放射性物質が塗布されているが、これが蛍光表示装置の真空容器内における放出ガスに対して弱く、場合によっては、短時間に劣化してしまうことがあった。
【００１２】
この発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、蛍光表示装置において、長期に安定して信頼性の高い状態で電子が放出できるようにすることを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
この発明の蛍光表示装置は、電子が放出されるエミッタを、円筒状のグラファイトの層からなる複数のカーボンナノチューブが長手方向を同一方向に向けて集合した集合体である柱状グラファイト複数が長手方向を同一方向に向けて集合した中心部と、中心部側面周囲を覆うように配置してグラファイトの多結晶体からなる外殻とから柱状に構成されているようにした。
このように構成したので、エミッタと電子引き出し電極との間に電位を印加すると、カーボンナノチューブの先端に高電界が集中して電子が引き出される。
また、この発明の蛍光表示装置の製造方法は、外囲器内に、円筒状のグラファイトの層からなる複数のカーボンナノチューブが長手方向を同一方向に向けて集合した集合体である柱状グラファイト複数が長手方向を同一方向に向けて集合した中心部と、中心部側面周囲を覆うように配置してグラファイトの多結晶体からなる外殻とから柱状に構成され、柱状グラファイトの長手方向が蛍光面方向となるように配置されたエミッタを形成し、外囲器内のエミッタの電子放出側にエミッタより電子を引き出すための電子引き出し電極を配置するようにした。
このように製造するようにしたので、エミッタと電子引き出し電極とで電界放出型冷陰極電子源を構成できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下この発明の実施の形態を図を参照して説明する。
図１は、この発明の実施の形態における蛍光表示装置である画像管の構成を示す構成図である。
以下、この実施の形態における画像管の構成について、その製造方法とともに説明すると、まず、円筒形のガラスバルブ１０１にフェースガラス１０２が低融点フリットガラス１０３により接着固定され、真空容器（外囲器）が構成されている。
そして、この中に、蛍光面１０４、陽極電極構体１０５、そして、および電子放出部を構成するカソード構体１０６が配置している。なお、当然であるが、それら蛍光面１０４、陽極電極構体１０５、そして、および電子放出部を構成するカソード構体１０６を配置した後、フェースガラス１０２をガラスバルブ１０１に接着固定する。
【００１５】
そのフェースガラス１０２は、前面側には凸型レンズ状の球面部１０２ａが形成され、周縁部には鍔状に段差部１０２ｂが形成されている。このフェースガラス１０２の内面１０２ｃには、図示していないが、その周辺部分の一部に窪み状の凹部が形成されている。また、この内面１０２ｃの主要面には、蛍光面１０４が形成され、この蛍光面１０４表面にはＡｌメタルバック膜１０７が形成されている。
なお、凹部内には蛍光面１０４は形成されず、Ａｌメタルバック膜１０７のみが形成される構成となっている。この、凹部内には、例えばステンレス材の薄板をプレス成形法により加工して形成された弾性力を有する接触片１０７ａの一端側が挿入されている。この接触片１０７ａは、例えばカーボンまたは銀とフリットガラスとの混合体からなる導電性接着材により、その凹部の部分に接着固定することで形成する。そして、この接触片１０７ａの他端側は、ガラスバルブ１０１の内壁面方向に向けて延在されている。
【００１６】
ところで、蛍光面１０４は、白色蛍光体として、例えば、Ｙ₂Ｏ₂Ｓ：Ｔｂ＋Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ混合蛍光体を溶媒に溶かした溶材を約２０μｍ程度の厚さに内面１０２ｃに印刷塗布し、これを乾燥することで形成する。なお、凹部内には蛍光面１０４は塗布しない状態としておく。
また、蛍光面１０４表面には、蒸着により約厚さ１５０ｎｍ程度にアルミニウム膜を成膜することで、Ａｌメタルバック膜１０７を形成する。ここで、凹部内には蛍光面１０４は塗布されていないので、Ａｌメタルバック膜１０７のみが形成された状態となる。
【００１７】
なお、このＡｌメタルバック膜１０７の厚さは薄すぎると、ピンホールが増加して蛍光面１０４の反射が減少する。一方、その厚さが厚すぎると、蛍光面１０４に対する電子ビームの電子の侵入が阻害されて発光が小さくなる。したがって、Ａｌメタルバック膜１０７の厚さのコントロールは重要である。このため、前述したように、Ａｌメタルバック膜１０７は厚さを約１５０ｎｍ程度としたほうがよい。
なお、それら蛍光面１０４及びＡｌメタルバック膜１０７を形成した後、フェースガラス１０２を、例えば電気炉などにより５６０℃で３０分程度空気中で焼成し、塗布膜中の溶媒類を除去する。
【００１８】
そして、このフェースガラス１０２は、例えば、直径約２０mm，長さ約５０mmの両端が切断されたガラスバルブ１０１の一方の開口端に、フェースガラス１０２の周縁部に形成された鍔状の段差部１０２ｂ部分が、低融点フリットガラス１０３により接着固定されている。
一方、ガラスバルブ１０１底部を構成するステムガラス１０８には、リードピン１０９が挿通され排気管１０８ａが一体的に形成されている。また、このステムガラス１０８上には、そのリードピン１０９の先端部に陽極リード１１０が溶接により固定され、この陽極リード１１０の先端部に円筒状の陽極電極構体（電子加速電極）１０５が溶接により固定配置されて搭載される構造となっている。
【００１９】
この陽極電極構体１０５は、次の部分から構成されている。
まず、例えばステンレス材の金属線（線径約０．５ｍｍ）をリング状に丸めて成形されたリング状陽極１０５ａ。
このリング状陽極１０５ａの外周面に、矩形状のステンレス材の薄板（板厚０．０１〜０．０２mm）を巻き付けて重ね合った部分を２点で溶接などにより固定させて円筒形状に形成された円筒状陽極１０５ｂ。
また、この陽極電極構体１０５は、陽極リード１１０の先端部に対してリング状陽極１０５ａと所定の箇所で溶接され、さらに、陽極リード１１０の最先端部分で円筒状陽極１０５ｂの内側との接触部分で溶接されて固定されて配置される構造となっている。さらにこのリング状陽極１０５ａの一部には、Ｂａゲッター１０５ｃが溶接などより取り付け固定されて配置されている。なお、図１（ａ）において、陽極電極構体１０５やリードピン１０９に関しては、断面を示していない。
以上のことは、従来の画像管とほぼ同様である。
【００２０】
また、ステムガラス１０８には、リードピン１０９ａ，１０９ｂも挿通され、リードピン１０９ａ，１０９ｂの先端部には、カソードリード１１１ａ，１１１ｂが溶接により固定され、このカソードリード１１１ａ，１１１ｂの先端部には、カソード構体１０６が溶接により固定配置されて搭載される構造となっている。
このカソード構体１０６は、次に示すように構成されている。まず、セラミック基板１０６ａ上の中央部に電極（導電板）１０６ｂが配置されている。また、図１（ｂ）に拡大表示したように、電極１０６ｂ上面の約３ｍｍφの領域に、柱状グラファイト１２１ａの集合体からなるエミッタ１２１が、導電性接着剤１２２により固定配置されている。そして、それらを覆うように、メッシュ部（電子引き出し電極）１０６ｅを備えたハウジング１０６ｄが配置されている。
【００２１】
なお、メッシュ部１０６ｅは、蛍光面１０４の方向にわずかに球面状に突出した形状となっている。ただし、メッシュ部１０６ｅは、平板状であってもよい。また、このハウジング１０６ｄは、板厚が約１００μｍ程度のステンレス板材をプレス成形することにより形成されている。また、メッシュ部１０６ｅは、例えば縦方向寸法が約６mm，横方向寸法が約４mmとし、高さが約１．２５mmの大きさで形成されている。そして、メッシュ部１０６ｅは、エミッタ１２１先端部より０．５〜１ｍｍ程度離間した状態とする。なお、これらの間隔は、接触しない状態でなるべく近づけた方がよい。
【００２２】
ここでエミッタ１２１に関してより詳細に説明すると、エミッタ１２１は、複数の柱状グラファイト１２１ａが同一の方向を向いて束になって配置しているコアの部分と、グラファイト多結晶から構成された周辺部分を覆っている部分とから構成されている。そして、図１に示すように、エミッタ１２１を構成する柱状グラファイト１２１ａは、すべてがその長手方向を蛍光面１０４の方向に向けている状態となっている。
また、柱状グラファイト１２１ａは、長さ数μｍから数ｍｍの針形状であり、図１（ｃ）に示すように、カーボンナノチューブ１２１ｂが、ほぼ同一方向を向いて集合した構造体である。なお、この図１（ｃ）は、柱状グラファイト１２１ａを途中で切った断面をみる斜視図である。
【００２３】
そして、カーボンナノチューブ１２１ｂは、例えば図１（ｄ）に示すように、完全にグラファイト化して筒状をなし、その直径は４〜５０ｎｍ程度であり、その長さは１μｍオーダである。このカーボンナノチューブは、図１（ｄ）では模式的に示したように、グラファイトの単層が円筒状に閉じた形状と、複数のグラファイトの層が入れ子構造的に積層し、それぞれのグラファイト層が円筒状に閉じた同軸多層構造となっている形状とがある。そして、それらの中心部分は、空洞となっている。また、その先端部は五員環が入ることにより閉じている。なお、おれることで先端が閉じていない場合もある。
【００２４】
次に、エミッタ１２１の作製に関して説明する。
まず、図２に示すような、密閉容器２０１中に陽極側の炭素電極２０２と陰極側の炭素電極２０３とを配置する。なお、炭素電極２０２は電流導入端子２０２ａに接続し、炭素電極２０３は電流導入端子２０３ａに接続している。また、炭素電極２０２は、直線運動を可能とする微動機構２０４により、図２の紙面左右方向に移動可能となっている。そして、密閉容器２０１内には、低圧のヘリウムガスが導入されている。
【００２５】
以上の構成において、電流導入端子２０２ａに（＋），電流導入端子２０３ａに（−）を接続し、電極２０２と電極２０３との間隔を１ｍｍ程度とし、直流電流を流しアーク放電を起こす。すると、図２（ａ）に示すように、陽極側の炭素電極２０２の炭素が蒸発し、この蒸発した炭素が再結晶化することにより、陰極側の炭素電極２０３先端に堆積物２０５が形成される。
そして、堆積物２０５と炭素電極２０２との間を常に１ｍｍ程度と一定に保つように、堆積物２０５の成長とともに微動機構２０４により電極２０２を移動させていく。この結果、図２（ｂ）に示すように、炭素電極２０３先端には、堆積物柱２０６が成長していく。
【００２６】
以上のようにして形成した堆積物柱２０６は、図２（ｃ）に示すように、外側の固い殻２０６ａと、その内側のもろくて黒い芯２０６ｂとの２つの領域から構成されている。その内側の芯２０６ｂは、堆積物柱２０６の長さ方向にのびた繊維状の組織をもっている。そして、その繊維状の組織が、前述したカーボンナノチューブの集合体である柱状グラファイトである。その柱状グラファイトにおいて、カーボンナノチューブは、炭素の多面体微粒子（ナノポリヘドロン：nanopolyhedoron）とともに複数が集合している。なお、外側の固い殻２０６ａは、グラファイトの多結晶体である。
【００２７】
そして、その堆積物柱２０６を、図２（ｄ）に示すように、所定の長さで切り出すことで、図１に示したエミッタ１２１とする。加えて、このエミッタ１２１を、図２（ｅ）に示すように、切断面が上方を向くように、電極１０６ｂ上面に導電性接着剤１２２により固定配置すれば、図１に示したカソード構体１０６の一部が形成されたことになる。
【００２８】
以上示したように、この実施の形態においては、エミッタ１２１を電極１０６ｂ上に固定配置し、そして、それらを覆うように、ハウジング１０６ｄをセラッミック基板１０６ａ上に搭載した状態とすることでカソード構体１０６を構成するようにした。また、上述したように、柱状グラファイトの集合体である黒い芯２０６ｂを備えた堆積物柱２０６（図２）を切り出して、エミッタ１２１を作製するようにした。ここで、図１（ｃ）に示すように、柱状グラファイト１２１ａは、同一方向を向いたカーボンナノチューブ１２１ｂの集合体である。
したがって、エミッタ１２１が配置されたカソード構体１０６においては、複数のカーボンナノチューブが、その長手方向を蛍光面１０４の方向に向けている状態となっている。
【００２９】
以上示したように構成されるこの実施の形態における画像管は、まず、外部回路からリードピン１０９ａ，１０９ｂに電圧を供給することで、カソードリード１１１ａ，１１１ｂを介して電極１０６とハウジング１０６ｄとの間に電界をかける。そして、このことにより、電極１０６上に固定配置されたエミッタ１２１のカーボンナノチューブ先端に高電界を集中させ、電子を引き出してメッシュ部１０６ｅより放出させる。すなわち、この実施の形態では、カソード構体１０６を、電界放出型冷陰極電子源の構成とした。
【００３０】
そして、外部回路からリードピン１０９に高電圧を供給し、陽極リード１１０→陽極電極構体１０５（円筒状陽極１０５ｂ）→接触片１０７ａの経路をそれぞれ導通してＡｌメタルバック膜１０７にその高電圧が印加された状態とすることで、放出された電子を円筒状陽極１０５ｂにより加速し、Ａｌメタルバック膜１０７を貫通させて蛍光面１０４に衝撃させる。この結果、蛍光面１０４は電子衝撃により励起し、蛍光面１０４を構成する蛍光体に応じた発光色を、フェースガラス１０２を透過して前面側に発光表示することになる。
【００３１】
以上示したように、この実施の形態によれば、電子放出部をカーボンナノチューブから構成し、これを電界放出型冷陰極電子源として用いるようにした。
したがって、この実施の形態によれば、電子放出部は、フィラメントのような脆弱な部品を用いるようにしていないので、取り扱いが容易で、真空容器内における放出ガスによる劣化などがない。
また、フィラメントの加熱電源も必要がないので、リードピンの数が減らせ、消費電力も抑制できるようになる。
そして、電極１０６ｂとハウジング１０６ｄとの間に電界を形成すと、エミッタ１２１におけるほぼすべてのカーボンナノチューブ先端より電子が放出され、蛍光面１０４に導かれることになるので、より高い輝度を得ることが可能となる。
【００３２】
なお、上記実施の形態では、画像管について説明したが、これに限るものではない。この発明は、真空容器内に蛍光体からなる発光部と、これを発光させるための電子放出源とを備えた、その他の蛍光表示装置にも適用できることはいうまでもない。
例えば、フェースガラスと蛍光面との間に光学フィルターを配置し、発光色を変化させた画像管にも同様に適用できる。また、同一の真空容器内に、複数の蛍光面を備えて多色化をした画像管にも同様に適用できる。
また、所望の形状とした蛍光面により、所望の形状のキャラクタを表示する平型管に適用することも可能である。
【００３３】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明では、電子が放出されるエミッタを、円筒状のグラファイトの層からなる複数のカーボンナノチューブが長手方向を同一方向に向けて集合した集合体である柱状グラファイト複数が長手方向を同一方向に向けて集合した中心部と、前記中心部側面周囲を覆うように配置してグラファイトの多結晶体からなる外殻とから構成するようにした。
このように構成したので、エミッタと電子引き出し電極との間に電位を印加すると、エミッタを構成するカーボンナノチューブの先端に高電界が集中して電子が引き出される電界放出型冷陰極電子源となる。
そして、この発明によれば、フィラメントなどや化学的に不安定な電子放射性物質などの脆弱な部品を用いることなく電子放出部を構成するようにしたので、まず、取り扱いが容易になり、また、劣化しにくいものとなる。この結果、この発明によれば、長期に安定して信頼性の高い状態で電子が放出できるようになるという効果がある。
【００３４】
また、この発明では、外囲器内に、円筒状のグラファイトの層からなる複数のカーボンナノチューブが長手方向を同一方向に向けて集合した集合体である柱状グラファイト複数が長手方向を同一方向に向けて集合した中心部と、中心部側面周囲を覆うように配置してグラファイトの多結晶体からなる外殻とから構成され、柱状グラファイトの長手方向が蛍光面方向となるように配置されたエミッタを形成し、外囲器内のエミッタの電子放出側にエミッタより電子を引き出すための電子引き出し電極を配置するようにした。
このように製造するようにしたので、エミッタと電子引き出し電極とで電界放出型冷陰極電子源を構成できる。この結果、この発明によれば、蛍光表示装置の電子放出部を、フィラメントのような脆弱な部品を用いることなく作製できるようになり、ひいては、蛍光表示装置をより容易に製造できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による画像管の構成を示す構成図である。
【図２】この発明による画像管におけるエミッタの作製に関して説明するための説明図である。
【図３】従来の画像管の構成を示す構成図である。
【符号の説明】
１０１…ガラスバルブ、１０２…フェースガラス、１０３…低融点フリットガラス、１０４…蛍光面、１０５…陽極電極構体、１０５ａ…リング状陽極、１０５ｂ…円筒状陽極、１０５ｃ…Ｂａゲッター、１０６…カソード構体、１０６ａ…セラミック基板、１０６ｂ…電極（導電板）、１０６ｄ…ハウジング、１０６ｅ…メッシュ部（電子引き出し電極）、１０７…Ａｌメタルバック膜、１０７ａ…接触片、１０８…ステムガラス、１０８ａ…排気管、１０９，１０９ａ，１０９ｂ…リードピン、１１０…陽極リード、１１１ａ，１１１ｂ…カソードリード、１２１…エミッタ、１２１ａ…柱状グラファイト、１２１ｂ…カーボンナノチューブ、１２２…導電性接着剤。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a fluorescent display device that utilizes light emission of a phosphor caused by an electron beam impact and a method for manufacturing the same.
[0002]
[Prior art]
A fluorescent display device is an electron tube that uses electrons emitted from an electron emitting portion to emit light by colliding with a phosphor to emit light in a vacuum container that is at least one transparent. In general, this fluorescent display device is most commonly used in a triode structure having a grid for controlling the action of electrons.
Conventionally, a cathode called a filament is used for the electron emitting portion, and the thermoelectrons emitted from the cathode are caused to collide with the phosphor to emit light.
Among such fluorescent display devices, there is an image tube that constitutes a pixel of a large screen display device.
[0003]
The image tube will be described below with reference to FIG.
First, a face glass 302 having translucency is bonded and fixed to a cylindrical glass bulb 301 by a low melting point frit glass 303, thereby constituting a vacuum container (envelope). In this, a phosphor screen 304, an anode electrode assembly 305, and a cathode assembly 306 that constitutes an electron emission portion are disposed.
The face glass 302 has a convex lens-shaped spherical surface portion 302a formed on the front side, and a stepped portion 302b formed in a bowl shape on the periphery. In addition, a fluorescent screen 304 and an Al metal back film 307 are sequentially stacked on the main surface of the inner surface 302c.
[0004]
In addition, one end side of a contact piece 307a having elastic force, which is formed by processing a thin plate of stainless steel by a press molding method, for example, is inserted in the peripheral portion of the inner surface 302c of the face glass 302. Further, the contact piece 307a is bonded and fixed to a predetermined portion of the inner surface 302c of the face glass 302 by contacting the Al metal back film 307 with a conductive adhesive made of, for example, carbon or a mixture of silver and frit glass. Yes. The other end side of the contact piece 307a extends toward the inner wall surface of the glass bulb 301.
[0005]
On the other hand, lead pins 309a to 309e are inserted into the stem glass 308 constituting the bottom of the glass bulb 301, and in addition, an exhaust pipe 308a is integrally formed. On the stem glass 308, an anode lead 310 is fixed to the tip of the lead pin 309a by welding, and a cylindrical anode electrode assembly 305 is fixedly mounted on the tip of the anode lead 310 by welding. It has a structure.
The anode electrode assembly 305 is formed by, for example, a ring-shaped anode 305a formed by rolling a stainless steel metal wire into a ring shape, and a thin sheet of rectangular stainless steel material wound around the outer periphery of the ring-shaped anode 305a. The cylindrical anode 305b is formed in a cylindrical shape by fixing the portion by welding or the like at three points.
[0006]
The anode electrode assembly 305 is welded to the tip of the anode lead 310 at a predetermined location with the ring-shaped anode 305a, and is further in contact with the inner side of the cylindrical anode 305b at the tip of the anode lead 310. It has a structure that is welded and fixed.
Further, a Ba getter 305c is attached and fixed to a part of the ring-shaped anode 305a by welding or the like.
[0007]
Also, cathode leads 311b to 311e are fixed to the tip portions of the lead pins 309b to 309e by welding, and a cathode structure 306 is fixedly mounted on the tip portions of the cathode leads 311b to 311e by welding. It has become.
The cathode structure 306 is configured as follows. First, the back electrode 306b is arranged at the center on the ceramic substrate 306a. In addition, a filament cathode 306c is fixed to the upper portion with a predetermined interval. An elliptical grid housing 306d having a mesh portion 306e is mounted on the ceramic substrate 306a so as to cover them. Further, the mesh portion 306e has a shape protruding in a spherical shape in the direction of the fluorescent screen 304.
[0008]
The picture tube configured as described above applies a predetermined potential to the filament cathode 306c via the cathode leads 311c and 311d by first supplying a voltage (heating power supply) to the lead pins 309c and 309d from an external circuit. Thus, thermal electrons are emitted. Further, by supplying a voltage from the external circuit to the lead pin 309b, a negative potential is applied to the back electrode 306b via the cathode lead 311b with respect to the filament cathode 306c. In addition, by supplying a voltage to the lead pin 309e from an external circuit, a positive potential is applied to the filament housing 306d with respect to the filament cathode 306c via the cathode lead 311e, so that the mesh portion 306e of the grid housing 306d An electron beam is emitted.
[0009]
Then, a high voltage is supplied from the external circuit to the lead pin 309a, and the high voltage is applied to the Al metal back film 307 through the paths of the anode lead 310 → the anode electrode assembly 305 (cylindrical anode 305b) → the contact piece 307a. In this state, the emitted electrons are accelerated by the cylindrical anode 305 b and penetrate the Al metal back film 307 to be bombarded on the phosphor screen 304. As a result, the phosphor screen 304 is excited by electron impact, and the emission color corresponding to the phosphor constituting the phosphor screen 304 is transmitted through the face glass 302 and is displayed on the front side.
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, a filament (filament cathode) used as an electron emission portion used in a conventional fluorescent surface device is mainly formed by applying an electron-emitting substance to a tungsten thin wire having a diameter of 7 to 20 μm. The electron emitting substance is generally composed of so-called ternary oxides of barium oxide, calcium oxide, and strontium oxide.
Here, these oxides are extremely unstable in the air. Therefore, in the production of the filament, the outer shape of the tungsten wire is 22 to 35 μm in the form of so-called carbonates of barium carbonate, calcium carbonate, and strontium carbonate. For example, in the above-described image tube manufacturing, it is incorporated together with each component, and then the inside of the envelope is evacuated and aged at the stage of aging.
[0011]
Therefore, the conventional fluorescent display device has the following problems because the filament as described above is used as the electron emission portion.
First of all, it was inconvenient to handle because it had to be assembled by mounting very thin and fragile filaments. Further, as described above, the number of man-hours for producing the filament cathode was very large.
Next, the electron flow emitted from the filament cathode is greatly influenced by the temperature of the filament cathode. For this reason, if the heat radiation from both ends of the filament cathode is large, the electron flow varies depending on the position of the filament. This is a cause of unevenness in the light emission of the fluorescent screen depending on the fluorescent display device used.
Further, as described above, the electron-emitting material is applied to the surface of the filament cathode, but this is weak against the emitted gas in the vacuum container of the fluorescent display device, and in some cases, it deteriorates in a short time. There was a thing.
[0012]
The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to make it possible to emit electrons in a stable and reliable state for a long time in a fluorescent display device.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
In the fluorescent display device according to the present invention, an emitter from which electrons are emitted is arranged such that a plurality of columnar graphites, which are aggregates of a plurality of carbon nanotubes made of a cylindrical graphite layer, are arranged in the same direction. a central portion which is set in the same direction and be placed over the center portion side periphery and an outer shell made of a polycrystal graphite so that consists in a columnar shape.
Since it comprised in this way, when an electric potential is applied between an emitter and an electron extraction electrode, a high electric field will concentrate on the front-end | tip of a carbon nanotube, and an electron will be extracted.
Further, in the method for manufacturing the fluorescent display device according to the present invention, a plurality of columnar graphites, which are aggregates in which a plurality of carbon nanotubes composed of cylindrical graphite layers are aggregated in the same direction in an envelope, are provided. It is arranged in a columnar shape from the central part gathered in the same direction in the longitudinal direction and the outer shell made of graphite polycrystalline so as to cover the periphery of the central part, and the longitudinal direction of the columnar graphite is the phosphor screen direction And an electron extraction electrode for extracting electrons from the emitter is arranged on the electron emission side of the emitter in the envelope.
Since it is manufactured in this way, a field emission type cold cathode electron source can be constituted by the emitter and the electron extraction electrode.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a configuration diagram showing a configuration of an image tube which is a fluorescent display device according to an embodiment of the present invention.
Hereinafter, the configuration of the picture tube in this embodiment will be described together with the manufacturing method thereof. First, the face glass 102 is bonded and fixed to the cylindrical glass bulb 101 by the low melting point frit glass 103, and the vacuum container (envelope). Is configured.
In this, a phosphor screen 104, an anode electrode assembly 105, and a cathode assembly 106 constituting an electron emission portion are arranged. Needless to say, the face glass 102 is bonded and fixed to the glass bulb 101 after the phosphor screen 104, the anode electrode assembly 105, and the cathode assembly 106 constituting the electron emission portion are arranged.
[0015]
The face glass 102 has a convex lens-shaped spherical surface portion 102a formed on the front side, and a stepped portion 102b formed in a bowl shape on the periphery. This inner surface 102c of the face glass 102, although not shown the figure, the recess portion in a recess shape of the peripheral portion is formed. A fluorescent screen 104 is formed on the main surface of the inner surface 102c, and an Al metal back film 107 is formed on the surface of the fluorescent screen 104.
Incidentally, the fluorescent screen 104 is a concave portion is not formed, it has a structure in which only the Al metal-back film 107 is formed. This, in the concave portion, one end of the contact piece 107a is inserted with an elastic force which is formed by processing for example a sheet of stainless steel by a press molding method. The contact piece 107a is, for example more conductive bonding material made of a mixture of carbon or silver and frit glass, formed by bonding and fixing the parts of the the recess. The other end side of the contact piece 107 a extends toward the inner wall surface of the glass bulb 101.
[0016]
By the way, the fluorescent screen 104 is printed and applied to the inner surface 102c as a white fluorescent material, for example, a solution of Y ₂ O ₂ S: Tb + Y ₂ O ₃ : Eu mixed fluorescent material dissolved in a solvent to a thickness of about 20 μm. This is formed by drying. Note that the concave portion keep the state of the phosphor screen 104 is not coated.
An Al metal back film 107 is formed on the surface of the phosphor screen 104 by depositing an aluminum film to a thickness of about 150 nm by vapor deposition. Here, since the concave portion phosphor screen 104 is not applied, a state in which only the Al metal-back film 107 is formed.
[0017]
If the Al metal back film 107 is too thin, pinholes increase and reflection on the phosphor screen 104 decreases. On the other hand, if the thickness is too thick, the penetration of electrons into the phosphor screen 104 is hindered and light emission is reduced. Therefore, control of the thickness of the Al metal back film 107 is important. Therefore, as described above, the Al metal back film 107 should have a thickness of about 150 nm.
After forming the phosphor screen 104 and the Al metal back film 107, the face glass 102 is baked in air at 560 ° C. for about 30 minutes, for example, by an electric furnace or the like to remove the solvents in the coating film.
[0018]
The face glass 102 has, for example, a bowl-shaped stepped portion 102b formed at the peripheral edge of the face glass 102 at one opening end of the glass bulb 101 having both ends cut at a diameter of about 20 mm and a length of about 50 mm. The portion is bonded and fixed by a low melting point frit glass 103.
On the other hand, a lead pin 109 is inserted into a stem glass 108 constituting the bottom of the glass bulb 101, and an exhaust pipe 108a is integrally formed. On the stem glass 108, an anode lead 110 is fixed to the tip of the lead pin 109 by welding, and a cylindrical anode electrode assembly (electron accelerating electrode) 105 is fixed to the tip of the anode lead 110 by welding. The structure is arranged and mounted.
[0019]
The anode electrode assembly 105 is composed of the following parts.
First, for example, a ring-shaped anode 105a formed by rolling a metal wire made of stainless steel (wire diameter: about 0.5 mm) into a ring shape.
A rectangular stainless steel thin plate (plate thickness of 0.01 to 0.02 mm) is wound around the outer peripheral surface of the ring-shaped anode 105a, and the overlapped portion is fixed by welding or the like at two points to form a cylindrical shape. Cylindrical anode 105b.
Further, the anode electrode assembly 105 is welded to the tip of the anode lead 110 at a predetermined location with the ring-shaped anode 105a, and further, the contact portion with the inner side of the cylindrical anode 105b at the most distal portion of the anode lead 110. It has a structure that is welded and fixed and arranged. Further, a Ba getter 105c is attached and fixed to a part of the ring-shaped anode 105a by welding or the like. In FIG. 1A, the anode electrode assembly 105 and the lead pin 109 are not shown in cross section.
The above is almost the same as that of the conventional picture tube.
[0020]
Further, lead pins 109a and 109b are also inserted into the stem glass 108, and cathode leads 111a and 111b are fixed to the tip portions of the lead pins 109a and 109b by welding. The structure 106 is fixedly disposed by welding and mounted.
The cathode structure 106 is configured as follows. First, an electrode (conductive plate) 106b is arranged at the center on the ceramic substrate 106a. 1B, an emitter 121 made of an aggregate of columnar graphite 121a is fixedly disposed by a conductive adhesive 122 in an area of about 3 mmφ on the upper surface of the electrode 106b. A housing 106d including a mesh part (electron extraction electrode) 106e is disposed so as to cover them.
[0021]
The mesh portion 106e has a shape that protrudes slightly spherically in the direction of the phosphor screen 104. However, the mesh part 106e may be flat. The housing 106d is formed by press-molding a stainless steel plate having a plate thickness of about 100 μm. Further, the mesh portion 106e is formed, for example, with a vertical dimension of about 6 mm, a horizontal dimension of about 4 mm, and a height of about 1.25 mm. And the mesh part 106e is made into the state spaced apart about 0.5-1 mm from the emitter 121 front-end | tip part. Note that these intervals should be as close as possible without contact.
[0022]
Here, the emitter 121 will be described in more detail. The emitter 121 includes a core portion in which a plurality of columnar graphites 121a are arranged in a bundle in the same direction, and a peripheral portion made of graphite polycrystal. It consists of a covering part. As shown in FIG. 1, all of the columnar graphite 121 a constituting the emitter 121 is in a state in which the longitudinal direction thereof is directed toward the phosphor screen 104.
The columnar graphite 121a has a needle shape with a length of several μm to several mm, and is a structure in which the carbon nanotubes 121b are gathered in substantially the same direction as shown in FIG. In addition, this FIG.1 (c) is a perspective view which sees the cross section which cut the columnar graphite 121a on the way.
[0023]
For example, as shown in FIG. 1 (d), the carbon nanotube 121b is completely graphitized to form a cylindrical shape, the diameter thereof is about 4 to 50 nm, and the length thereof is on the order of 1 μm. As schematically shown in FIG. 1 (d), the carbon nanotube has a shape in which a single graphite layer is closed in a cylindrical shape and a plurality of graphite layers are stacked in a nested structure. There is a shape that is a coaxial multilayer structure closed in a cylindrical shape. And those central parts are hollow. Moreover, the front-end | tip part is closed when a five-membered ring enters. Note that the tip may not be closed due to the falling.
[0024]
Next, fabrication of the emitter 121 will be described.
First, as shown in FIG. 2, an anode-side carbon electrode 202 and a cathode-side carbon electrode 203 are arranged in a sealed container 201. The carbon electrode 202 is connected to the current introduction terminal 202a, and the carbon electrode 203 is connected to the current introduction terminal 203a. The carbon electrode 202 can be moved in the left-right direction in FIG. 2 by a fine movement mechanism 204 that enables linear movement. A low-pressure helium gas is introduced into the sealed container 201.
[0025]
In the above configuration, (+) is connected to the current introduction terminal 202a and (-) is connected to the current introduction terminal 203a, the distance between the electrode 202 and the electrode 203 is set to about 1 mm, and a direct current is passed to cause arc discharge. Then, as shown in FIG. 2A, the carbon of the carbon electrode 202 on the anode side evaporates, and the evaporated carbon is recrystallized, so that a deposit 205 is formed at the tip of the carbon electrode 203 on the cathode side. The
Then, the electrode 202 is moved by the fine movement mechanism 204 as the deposit 205 grows so that the distance between the deposit 205 and the carbon electrode 202 is always kept constant at about 1 mm. As a result, as shown in FIG. 2B, the deposit column 206 grows at the tip of the carbon electrode 203.
[0026]
As shown in FIG. 2C, the deposit column 206 formed as described above is composed of two regions of an outer hard shell 206a and an inner brittle black core 206b. The inner core 206 b has a fibrous structure extending in the length direction of the deposit column 206. The fibrous structure is columnar graphite that is an aggregate of the carbon nanotubes described above. In the columnar graphite, a plurality of carbon nanotubes are aggregated together with carbon polyhedral fine particles (nanopolyhedron). The outer hard shell 206a is a polycrystalline graphite.
[0027]
Then, as shown in FIG. 2D, the deposited pillar 206 is cut out with a predetermined length, so that the emitter 121 shown in FIG. 1 is obtained. In addition, as shown in FIG. 2E, if the emitter 121 is fixedly disposed on the upper surface of the electrode 106b with the conductive adhesive 122 so that the cut surface faces upward, the cathode structure 106 shown in FIG. A part of is formed.
[0028]
As described above, in this embodiment, the cathode assembly 106 is formed by fixing the emitter 121 on the electrode 106b and mounting the housing 106d on the ceramic substrate 106a so as to cover them. Was configured. Further, as described above, the emitter column 121 (FIG. 2) provided with the black core 206b, which is an aggregate of columnar graphite, was cut out to produce the emitter 121. Here, as shown in FIG.1 (c), the columnar graphite 121a is the aggregate | assembly of the carbon nanotube 121b which faced the same direction.
Therefore, in the cathode structure 106 in which the emitter 121 is disposed, the plurality of carbon nanotubes are in a state in which the longitudinal direction is directed toward the phosphor screen 104.
[0029]
In the image tube in this embodiment configured as described above, first, a voltage is supplied from an external circuit to the lead pins 109a and 109b, so that the electrode 106 and the housing 106d are connected via the cathode leads 111a and 111b. Apply an electric field to As a result, a high electric field is concentrated on the tip of the carbon nanotube of the emitter 121 fixedly disposed on the electrode 106, and electrons are drawn out and emitted from the mesh portion 106e. That is, in this embodiment, the cathode structure 106 is configured as a field emission cold cathode electron source.
[0030]
Then, a high voltage is supplied from the external circuit to the lead pin 109, and the high voltage is applied to the Al metal back film 107 through the paths of the anode lead 110 → the anode electrode assembly 105 (cylindrical anode 105b) → the contact piece 107a. In this state, the emitted electrons are accelerated by the cylindrical anode 105b, penetrate the Al metal back film 107, and are bombarded on the phosphor screen 104. As a result, the phosphor screen 104 is excited by electron impact, and the emission color corresponding to the phosphor constituting the phosphor screen 104 is transmitted through the face glass 102 and is emitted and displayed on the front side.
[0031]
As described above, according to this embodiment, the electron emission portion is composed of carbon nanotubes, and this is used as a field emission cold cathode electron source.
Therefore, according to this embodiment, since the electron emitting portion does not use a fragile part such as a filament, it is easy to handle and there is no deterioration due to the emitted gas in the vacuum vessel.
In addition, since no filament heating power source is required, the number of lead pins can be reduced and power consumption can be suppressed.
When an electric field is formed between the electrode 106b and the housing 106d, electrons are emitted from almost all the carbon nanotube tips in the emitter 121 and are guided to the phosphor screen 104, so that higher luminance can be obtained. It becomes possible.
[0032]
Although the image tube has been described in the above embodiment, the present invention is not limited to this. Needless to say, the present invention can also be applied to other fluorescent display devices that include a light emitting portion made of a phosphor in a vacuum container and an electron emission source for causing the phosphor to emit light.
For example, the present invention can be similarly applied to an image tube in which an optical filter is disposed between a face glass and a fluorescent screen and the emission color is changed. Further, the present invention can be similarly applied to a multi-color image tube provided with a plurality of fluorescent screens in the same vacuum vessel.
Moreover, it is also possible to apply to a flat tube that displays a character having a desired shape by a phosphor screen having a desired shape.
[0033]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, a plurality of columnar graphites, which are aggregates in which a plurality of carbon nanotubes made of a cylindrical graphite layer are assembled with their longitudinal directions oriented in the same direction, serve as emitters from which electrons are emitted. A central part gathered in the same direction and an outer shell made of a polycrystalline graphite so as to cover the periphery of the side face of the central part.
With this configuration, when a potential is applied between the emitter and the electron extraction electrode, a field emission cold cathode electron source is formed in which a high electric field is concentrated at the tip of the carbon nanotubes constituting the emitter and electrons are extracted.
And according to the present invention, since the electron emission part is configured without using a fragile part such as a filament or a chemically unstable electron radioactive substance, first, handling becomes easy, It becomes difficult to deteriorate. As a result, according to the present invention, there is an effect that electrons can be emitted in a stable and reliable state over a long period of time.
[0034]
Further, according to the present invention, a plurality of columnar graphites, which are aggregates in which a plurality of carbon nanotubes made of a cylindrical graphite layer are assembled in the same direction in the envelope, have the longitudinal direction in the same direction. An emitter arranged so as to cover the periphery of the central side surface and an outer shell made of graphite polycrystalline, and arranged such that the longitudinal direction of the columnar graphite is the phosphor screen direction. An electron extraction electrode for extracting electrons from the emitter is arranged on the electron emission side of the emitter in the envelope.
Since it is manufactured in this way, a field emission type cold cathode electron source can be constituted by the emitter and the electron extraction electrode. As a result, according to the present invention, the electron emission portion of the fluorescent display device can be manufactured without using a fragile component such as a filament, and as a result, the fluorescent display device can be manufactured more easily.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram showing a configuration of an image tube according to the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining the production of an emitter in an image tube according to the present invention.
FIG. 3 is a configuration diagram showing a configuration of a conventional picture tube.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 ... Glass bulb, 102 ... Face glass, 103 ... Low melting point frit glass, 104 ... Phosphor screen, 105 ... Anode electrode structure, 105a ... Ring-shaped anode, 105b ... Cylindrical anode, 105c ... Ba getter, 106 ... Cathode structure, 106a ... ceramic substrate 106b ... electrode (conductive plate) 106d ... housing 106e ... mesh part (electron extraction electrode) 107 ... Al metal back film 107a ... contact piece 108 ... stem glass 108a ... exhaust pipe 109 109a, 109b ... lead pin, 110 ... anode lead, 111a, 111b ... cathode lead, 121 ... emitter, 121a ... columnar graphite, 121b ... carbon nanotube, 122 ... conductive adhesive.

Claims

An envelope having at least part of a light-transmitting display surface and evacuated inside;
A phosphor screen made of a phosphor formed inside the display surface;
An emitter disposed inside the envelope and emitting electrons to the phosphor screen;
An electron extraction electrode for extracting electrons from the emitter disposed on the electron emission side of the emitter, and
The emitter is a central portion in which a plurality of columnar graphites, each of which is a collection of a plurality of carbon nanotubes made of a cylindrical graphite layer and whose longitudinal direction is oriented in the same direction, and whose longitudinal direction is oriented in the same direction; A fluorescent display device characterized in that it is formed in a columnar shape from an outer shell made of a graphite polycrystal disposed so as to cover the periphery of the central side surface.

The fluorescent display device according to claim 1,
The fluorescent display device, wherein the emitter is fixed with a conductive adhesive on a plate-like conductive plate disposed with its surface facing the fluorescent screen.

The fluorescent display device according to claim 1 or 2,
A fluorescent display device, wherein a predetermined potential is applied to the fluorescent screen.

The fluorescent display device according to claim 1,
The fluorescent display device, wherein the extraction electrode is disposed between the fluorescent screen and the emitter.

The fluorescent display device according to claim 1,
The columnar graphite, fluorescent display device according to claim der Rukoto what carbon nanotubes are assembled together Nanoporihedoron.

The fluorescent display device according to claim 1,
A fluorescent display device, wherein an optical filter is disposed between the fluorescent screen and the display surface.

The fluorescent display device according to claim 1,
A metal film formed on the surface of the phosphor screen;
A fluorescent display device comprising: an electron accelerating electrode disposed between the phosphor screen and the electron extraction electrode, to which a higher potential is applied than the electron extraction electrode.

The fluorescent display device according to claim 7, wherein
The fluorescent display device, wherein the metal film and the electron acceleration electrode are electrically connected.

An envelope having at least a part having a light-transmitting display surface and evacuated inside, and a phosphor screen made of a phosphor formed inside the display surface and emitting light by electron impact In the method of manufacturing a fluorescent display tube,
In the envelope, a central portion in which a plurality of columnar graphites, each of which is a collection of a plurality of carbon nanotubes made of a cylindrical graphite layer, is gathered with the longitudinal direction oriented in the same direction. And an emitter that is arranged so as to cover the periphery of the side surface of the central portion and is formed in a columnar shape from an outer shell made of a polycrystalline graphite, and the longitudinal direction of the columnar graphite is the fluorescent screen direction. Forming,
An electron extraction electrode for extracting electrons from the emitter is disposed on the electron emission side of the emitter in the envelope.

In the manufacturing method of the fluorescent display device according to claim 9,
The emitter is formed by fixing with a conductive adhesive on a plate-like conductive plate whose surface faces the phosphor screen in the envelope. Manufacturing method.

In the manufacturing method of the fluorescent display device according to claim 9 or 10,
The emitter is
An arc discharge occurs between a cathode made of carbon and an anode made of carbon arranged at a predetermined interval in a rare gas of an inert gas,
An aggregate in which a plurality of carbon nanotubes made of a cylindrical graphite layer are gathered in the same direction at the tip of the cathode by evaporating the graphite on the anode side and depositing it on the cathode side A columnar deposit composed of a central portion in which a plurality of columnar graphites are gathered so that their longitudinal directions are oriented in the same direction, and an outer shell made of graphite polycrystalline so as to cover the periphery of the side surface of the central portion Form pillars,
A method for manufacturing a fluorescent display device, comprising: cutting out the deposit pillars.