JPH11160280A - イオン化検出器 - Google Patents
イオン化検出器Info
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- JPH11160280A JPH11160280A JP10258169A JP25816998A JPH11160280A JP H11160280 A JPH11160280 A JP H11160280A JP 10258169 A JP10258169 A JP 10258169A JP 25816998 A JP25816998 A JP 25816998A JP H11160280 A JPH11160280 A JP H11160280A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/62—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
- G01N27/64—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode using wave or particle radiation to ionise a gas, e.g. in an ionisation chamber
- G01N27/66—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode using wave or particle radiation to ionise a gas, e.g. in an ionisation chamber and measuring current or voltage
-
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- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
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- G01N30/62—Detectors specially adapted therefor
- G01N30/64—Electrical detectors
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-
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Abstract
(57)【要約】
【課題】微量検出を可能にし、ＳＮ比の良好なイオン化
検出器。 【解決手段】本発明は、上側、下側イオン化チャンバ及
び放射性粒子源を有し、検出ガスが上側イオン化チャン
バに充填される。放射源が上側チャンバの周辺に配置さ
れ、放射性粒子を供給し、検出ガスの相互作用で準安定
原子と光子を生成する。下側チャンバは上側チャンバと
連結して検出ガスと準安定原子とを受けとめる。試料流
体はキャリヤガス流とともに下側チャンバへ導入され、
準安定原子が分析物分子をイオン化する。これらガスの
結合流を排出できるよう下側イオン化チャンバのベース
に出口を設ける。また、上側チャンバは放射源と下側チ
ャンバ間の経路に挿入された放射性粒子バリヤによって
放射性粒子経路を制限し、下側チャンバへの侵入を防
ぐ。
検出器。 【解決手段】本発明は、上側、下側イオン化チャンバ及
び放射性粒子源を有し、検出ガスが上側イオン化チャン
バに充填される。放射源が上側チャンバの周辺に配置さ
れ、放射性粒子を供給し、検出ガスの相互作用で準安定
原子と光子を生成する。下側チャンバは上側チャンバと
連結して検出ガスと準安定原子とを受けとめる。試料流
体はキャリヤガス流とともに下側チャンバへ導入され、
準安定原子が分析物分子をイオン化する。これらガスの
結合流を排出できるよう下側イオン化チャンバのベース
に出口を設ける。また、上側チャンバは放射源と下側チ
ャンバ間の経路に挿入された放射性粒子バリヤによって
放射性粒子経路を制限し、下側チャンバへの侵入を防
ぐ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般に、試料流体
中に存在している被分析物の分析用検出器に関し、特
に、イオン化検出器に関するものである。
中に存在している被分析物の分析用検出器に関し、特
に、イオン化検出器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のイオン化検出器の種類には、ヘリ
ウムイオン化検出器が含まれることが知られており、こ
れは、典型的には、ヘリウム充填イオン化チャンバにお
いて、ベータ粒子エミッタを作動させることによって動
作するものである。ヘリウムの存在下において、一次電
子、光子及びヘリウム準安定原子（ヘリウムメタステー
ブル、helium metastables）の特性放射が生ずる。未知
の分析物を含有している試料流体は、対象の分析物をイ
オン化させるためにイオン化チャンバ中へ導入する。ヘ
リウム準安定原子と光子は、両方とも、対象の分析物の
イオン化の役割をすることが見出されている。イオン化
された分析物分子の大きさは、分析物の１または２以上
の成分組成を確認できるよう測定可能な電流として表さ
れる。
ウムイオン化検出器が含まれることが知られており、こ
れは、典型的には、ヘリウム充填イオン化チャンバにお
いて、ベータ粒子エミッタを作動させることによって動
作するものである。ヘリウムの存在下において、一次電
子、光子及びヘリウム準安定原子（ヘリウムメタステー
ブル、helium metastables）の特性放射が生ずる。未知
の分析物を含有している試料流体は、対象の分析物をイ
オン化させるためにイオン化チャンバ中へ導入する。ヘ
リウム準安定原子と光子は、両方とも、対象の分析物の
イオン化の役割をすることが見出されている。イオン化
された分析物分子の大きさは、分析物の１または２以上
の成分組成を確認できるよう測定可能な電流として表さ
れる。
【０００３】しかし、イオン化チャンバにおける被検体
のイオン化可能分子と一次電子、ヘリウムイオン、ベー
タ粒子との直接相互作用の結果として生ずる十分な量の
二次的イオン化(secondary ionization)に起因して、過
剰のショットノイズ(ample shot noise)とアバランシェ
（電子なだれ、avalanche effects）効果が典型的なヘ
リウムイオン化検出器で観測されている。結果として、
この検出器の応答は、非線形となり、過負荷（即ち、極
端なピーク高）になりやすい。従って、ヘリウムイオン
化検出器は、その有用性が制限されると見なされてき
た。この特性の要因には、高感度動作に対する厳しい要
求と、そのような応答を生ずる諸条件の理解の欠如と相
俟って選択された種に応じた変化と、当該検出器は低ブ
リード吸着カラムで分離し得るガスの分析に主として適
しているという確信とが含まれる。例えば、Ramsey and
Andrawes,"The Modern Helium Ionization Detector",
in Detectors for Capillary Chromatography, Hill,
H. H.and McMinn, D. G.,eds., John Wiley & Sons,199
2参照。
のイオン化可能分子と一次電子、ヘリウムイオン、ベー
タ粒子との直接相互作用の結果として生ずる十分な量の
二次的イオン化(secondary ionization)に起因して、過
剰のショットノイズ(ample shot noise)とアバランシェ
（電子なだれ、avalanche effects）効果が典型的なヘ
リウムイオン化検出器で観測されている。結果として、
この検出器の応答は、非線形となり、過負荷（即ち、極
端なピーク高）になりやすい。従って、ヘリウムイオン
化検出器は、その有用性が制限されると見なされてき
た。この特性の要因には、高感度動作に対する厳しい要
求と、そのような応答を生ずる諸条件の理解の欠如と相
俟って選択された種に応じた変化と、当該検出器は低ブ
リード吸着カラムで分離し得るガスの分析に主として適
しているという確信とが含まれる。例えば、Ramsey and
Andrawes,"The Modern Helium Ionization Detector",
in Detectors for Capillary Chromatography, Hill,
H. H.and McMinn, D. G.,eds., John Wiley & Sons,199
2参照。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】イオン化検出器の設計
は、継続して従来技術における研究目的であるとはい
え、それでも、改善されたダイナミックレンジ、比較的
低い最小検出可能レベル及びより大きい信号対雑音比を
示す検出器応答を有するイオン化検出器の必要性は存在
するのである。
は、継続して従来技術における研究目的であるとはい
え、それでも、改善されたダイナミックレンジ、比較的
低い最小検出可能レベル及びより大きい信号対雑音比を
示す検出器応答を有するイオン化検出器の必要性は存在
するのである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】従来のイオン化検出器で
は、複数のイオン化メカニズムが起こるということを本
願発明者は見出した。これら複数のイオン化メカニズム
の変わりやすく且つ予測できない性質は、まさに上述の
望ましくない諸特性の一因となるのである。従来のヘリ
ウムイオン化検出器は、分析物のイオン化可能分子と一
次電子、検出ガスイオン及びベータ粒子との様々な相互
作用の悪影響を受けている。
は、複数のイオン化メカニズムが起こるということを本
願発明者は見出した。これら複数のイオン化メカニズム
の変わりやすく且つ予測できない性質は、まさに上述の
望ましくない諸特性の一因となるのである。従来のヘリ
ウムイオン化検出器は、分析物のイオン化可能分子と一
次電子、検出ガスイオン及びベータ粒子との様々な相互
作用の悪影響を受けている。
【０００６】イオン化検出器の検出器応答は、イオン化
された対象分析物の正確な測定に基づいている。分析物
のイオン化は、好ましくは、希ガスから生じた準安定原
子及び光子を用いる単一のイオン化メカニズムで達成さ
れるものである。イオン化メカニズムを希ガスにおける
放射性粒子の相互作用による準安定原子と光子の生成に
基づくものに限定することは、それ故、検出できる分析
物の最小測定可能濃度レベル等の検出器応答の幾つかの
有利な特性を確立する。
された対象分析物の正確な測定に基づいている。分析物
のイオン化は、好ましくは、希ガスから生じた準安定原
子及び光子を用いる単一のイオン化メカニズムで達成さ
れるものである。イオン化メカニズムを希ガスにおける
放射性粒子の相互作用による準安定原子と光子の生成に
基づくものに限定することは、それ故、検出できる分析
物の最小測定可能濃度レベル等の検出器応答の幾つかの
有利な特性を確立する。
【０００７】それ故、イオン化検出器応答における顕著
な改善は、放射性粒子源の使用により且つa)放射性粒子
源で放射された粒子と検出ガスとの相互作用による光子
と準安定原子の生成；及びb)分析物分子と準安定原子と
の強制相互作用に、そのイオン化メカニズムを実質的に
制限することにより、達成できるのである。
な改善は、放射性粒子源の使用により且つa)放射性粒子
源で放射された粒子と検出ガスとの相互作用による光子
と準安定原子の生成；及びb)分析物分子と準安定原子と
の強制相互作用に、そのイオン化メカニズムを実質的に
制限することにより、達成できるのである。
【０００８】従って、本発明は、分析物のイオン化メカ
ニズムを、主として、イオン化検出器の検出チャンバに
おける分析物分子と光子及び準安定原子との相互作用に
基づくものに限定し、且つ、他のイオン化メカニズムを
抑えることによって、改善されたダイナミックレンジ、
比較的低い最小検出可能レベル(MDL)及び検出器応答に
おける比較的大きい信号対雑音比をもたらす方法と装置
を提供する。
ニズムを、主として、イオン化検出器の検出チャンバに
おける分析物分子と光子及び準安定原子との相互作用に
基づくものに限定し、且つ、他のイオン化メカニズムを
抑えることによって、改善されたダイナミックレンジ、
比較的低い最小検出可能レベル(MDL)及び検出器応答に
おける比較的大きい信号対雑音比をもたらす方法と装置
を提供する。
【０００９】本発明の好ましい実施例は、上側イオン化
チャンバ、下側イオン化チャンバ及び放射性粒子源を有
するイオン化検出器を包含する。検出ガスの実質的に一
定の流体の流れが上側イオン化チャンバに供給され、上
側イオン化チャンバを検出ガスで充満させる。放射性粒
子源が上側イオン化チャンバの周辺部に配置され、上側
イオン化チャンバで定められる内部容積中へ放射性粒子
の実質的に一定の供給を行う。放射性粒子が上側イオン
化チャンバの内部容積の一部を通過すると、放射性粒子
と検出ガスとの相互作用によって、準安定原子と光子が
生成される。下側イオン化チャンバは、検出ガスと準安
定原子とを受けられるように上側イオン化チャンバと連
結している。試料流体は、好ましくは、キャピラリ分離
カラムの出口端から供給されるキャリヤガス流の経路に
より、下側イオン化チャンバ中へ導入され、次に、下側
イオン化チャンバに存在している準安定原子が分析物分
子をイオン化するのに用いられる。キャリヤガス、試料
流体及び検出ガスの結合流を排出できるよう下側イオン
化チャンバのベースに出口を設ける。好ましい実施例で
は、キャリヤガスと検出ガスはヘリウムであり、放射性
粒子源は、アルファ粒子エミッターの形で提供される。
チャンバ、下側イオン化チャンバ及び放射性粒子源を有
するイオン化検出器を包含する。検出ガスの実質的に一
定の流体の流れが上側イオン化チャンバに供給され、上
側イオン化チャンバを検出ガスで充満させる。放射性粒
子源が上側イオン化チャンバの周辺部に配置され、上側
イオン化チャンバで定められる内部容積中へ放射性粒子
の実質的に一定の供給を行う。放射性粒子が上側イオン
化チャンバの内部容積の一部を通過すると、放射性粒子
と検出ガスとの相互作用によって、準安定原子と光子が
生成される。下側イオン化チャンバは、検出ガスと準安
定原子とを受けられるように上側イオン化チャンバと連
結している。試料流体は、好ましくは、キャピラリ分離
カラムの出口端から供給されるキャリヤガス流の経路に
より、下側イオン化チャンバ中へ導入され、次に、下側
イオン化チャンバに存在している準安定原子が分析物分
子をイオン化するのに用いられる。キャリヤガス、試料
流体及び検出ガスの結合流を排出できるよう下側イオン
化チャンバのベースに出口を設ける。好ましい実施例で
は、キャリヤガスと検出ガスはヘリウムであり、放射性
粒子源は、アルファ粒子エミッターの形で提供される。
【００１０】意図した検出器の第一の特色では、上側イ
オン化チャンバは、放射性粒子源と下側イオン化チャン
バ間の経路に挿入された放射性粒子バリヤを包含する。
そのバリヤは、放射性粒子の経路を上側イオン化チャン
バで定められた容積に限定し、そのため、下側イオン化
チャンバに存在する分析物と放射性粒子とのある種の相
互作用が生じうる下側イオン化チャンバへの放射性粒子
の侵入を妨げる。結果として、分析物分子のイオン化の
主たるメカニズムを分析物分子と準安定原子との相互作
用に実質的に限定することになる。意図した検出器は、
従来技術の検出器と比較した時、より高い安定性を提供
すると同時に、ショットノイズ、ベースラインの変化及
び検出器応答の非直線性が比較的少なくなる。
オン化チャンバは、放射性粒子源と下側イオン化チャン
バ間の経路に挿入された放射性粒子バリヤを包含する。
そのバリヤは、放射性粒子の経路を上側イオン化チャン
バで定められた容積に限定し、そのため、下側イオン化
チャンバに存在する分析物と放射性粒子とのある種の相
互作用が生じうる下側イオン化チャンバへの放射性粒子
の侵入を妨げる。結果として、分析物分子のイオン化の
主たるメカニズムを分析物分子と準安定原子との相互作
用に実質的に限定することになる。意図した検出器は、
従来技術の検出器と比較した時、より高い安定性を提供
すると同時に、ショットノイズ、ベースラインの変化及
び検出器応答の非直線性が比較的少なくなる。
【００１１】本発明の別の特色では、準安定原子を生成
し、従って、準安定原子の極めて安定な生成率を達成す
るのに放射性源が好まれる。結果として、分析物のイオ
ン化は、安定した比率で起こることになる。好ましい実
施例では、放射性源は、アルファ粒子エミッタの形で設
けられる。前述のエミッタは、アルファ粒子が高エネル
ギーを示す上、エミッタは安価であり且つ検出器の可搬
性(portability)を高めるという理由から有益である。
し、従って、準安定原子の極めて安定な生成率を達成す
るのに放射性源が好まれる。結果として、分析物のイオ
ン化は、安定した比率で起こることになる。好ましい実
施例では、放射性源は、アルファ粒子エミッタの形で設
けられる。前述のエミッタは、アルファ粒子が高エネル
ギーを示す上、エミッタは安価であり且つ検出器の可搬
性(portability)を高めるという理由から有益である。
【００１２】本発明の別の特色では、下側イオン化チャ
ンバは、検出信号を発生させ、且つ、正の分析物イオン
を採集するようにするため、高圧電源の負電位に連結さ
れた高電圧信号陰極を包含する。
ンバは、検出信号を発生させ、且つ、正の分析物イオン
を採集するようにするため、高圧電源の負電位に連結さ
れた高電圧信号陰極を包含する。
【００１３】本発明の別の特色では、上側イオン化チャ
ンバは、任意に、高圧電源に連結された高電圧イオン化
電極を包含し、上側イオン化チャンバにおける一次電子
をイオン化電極の方へ加速するようにしている。結果と
して、加速された電子が検出ガス分子と衝突し、従っ
て、上側イオン化チャンバにおける準安定原子の生成率
を改善する。
ンバは、任意に、高圧電源に連結された高電圧イオン化
電極を包含し、上側イオン化チャンバにおける一次電子
をイオン化電極の方へ加速するようにしている。結果と
して、加速された電子が検出ガス分子と衝突し、従っ
て、上側イオン化チャンバにおける準安定原子の生成率
を改善する。
【００１４】本発明の別の特色では、任意の高電圧イオ
ン化電極を高圧電源の負電位に連結して、正の検出ガス
イオンを採集し、従って、それらが信号陰極によって採
集される可能性のある下側イオン化チャンバへの侵入を
妨げるようにしてもよい。
ン化電極を高圧電源の負電位に連結して、正の検出ガス
イオンを採集し、従って、それらが信号陰極によって採
集される可能性のある下側イオン化チャンバへの侵入を
妨げるようにしてもよい。
【００１５】本発明の別の特色では、ヘリウム以外の検
出ガスを希ガスの群から選択して、検出ガス及びキャリ
ヤガスと置き換えてもよい。好ましい置換選択ガスは、
アルゴン又はキセノンである。
出ガスを希ガスの群から選択して、検出ガス及びキャリ
ヤガスと置き換えてもよい。好ましい置換選択ガスは、
アルゴン又はキセノンである。
【００１６】本発明の別の特色では、イオン化検出器
は、下側イオン化チャンバへのメタンガス流の連続注入
により電子捕獲型検出器として使用できるように変換し
てもよい。
は、下側イオン化チャンバへのメタンガス流の連続注入
により電子捕獲型検出器として使用できるように変換し
てもよい。
【００１７】本発明の以上の及びその他の諸特長と諸利
点は、図面で図解した以下に詳述する好適な実施例のよ
り詳細な説明から明らかであろる。これら図面におい
て、同様の構成素子に対しては同じ参照番号を用いた。
図面は必ずしも縮尺で引かず、代わりに発明の原理を図
解することに努めた。
点は、図面で図解した以下に詳述する好適な実施例のよ
り詳細な説明から明らかであろる。これら図面におい
て、同様の構成素子に対しては同じ参照番号を用いた。
図面は必ずしも縮尺で引かず、代わりに発明の原理を図
解することに努めた。
【００１８】
【実施例】本発明の装置と方法は、特に、種々の試料流
体に存在することがある分析物の検出用イオン化検出器
を改善するために採用することができる。ガス類は、本
願発明の実施に従う好ましい試料流体であり、従って、
発明に関する以下の記述は、ガス試料の分析システムに
使える新規なイオン化検出器の配置、構造及び動作の説
明を含むことになる。意図したイオン化検出器の１つの
特殊な使い途は、クロマトグラフ分析システム（以後、
クロマトグラフ）であるが、プロセスサンプリングシス
テム、ガス漏れ検出システム、空気品質監視システム等
のようなその他の用途も考えられる。
体に存在することがある分析物の検出用イオン化検出器
を改善するために採用することができる。ガス類は、本
願発明の実施に従う好ましい試料流体であり、従って、
発明に関する以下の記述は、ガス試料の分析システムに
使える新規なイオン化検出器の配置、構造及び動作の説
明を含むことになる。意図したイオン化検出器の１つの
特殊な使い途は、クロマトグラフ分析システム（以後、
クロマトグラフ）であるが、プロセスサンプリングシス
テム、ガス漏れ検出システム、空気品質監視システム等
のようなその他の用途も考えられる。
【００１９】従来のガスクロマトグラフに関連して考え
られたイオン化検出器の好ましい動作は次のように理解
してよい。ある与えられた試料流体のクロマトグラフ分
離に際し、試料流体は、加圧キャリヤガスを使って分離
カラム中に注入され、そのカラム流出液が流体流として
イオン化検出器へ導かれる。１または２以上の空気マニ
ホルド組立体(pneumatic manifold assemblies)が想定
され、その各々は、キャリヤガスと検出ガスを含む複数
のガス流を制御し且つ再導入するのに役立つものであ
る。従って、空気マニホルドは、前述のガス流の調節を
実施できるよう、特に、ここに説明するイオン化検出器
への検出ガス流の調節供給を実施できるよう動作させて
よい。
られたイオン化検出器の好ましい動作は次のように理解
してよい。ある与えられた試料流体のクロマトグラフ分
離に際し、試料流体は、加圧キャリヤガスを使って分離
カラム中に注入され、そのカラム流出液が流体流として
イオン化検出器へ導かれる。１または２以上の空気マニ
ホルド組立体(pneumatic manifold assemblies)が想定
され、その各々は、キャリヤガスと検出ガスを含む複数
のガス流を制御し且つ再導入するのに役立つものであ
る。従って、空気マニホルドは、前述のガス流の調節を
実施できるよう、特に、ここに説明するイオン化検出器
への検出ガス流の調節供給を実施できるよう動作させて
よい。
【００２０】ここに説明するように、好ましい実施例
は、好ましくは、希ガスとして知られているガス群から
選択される「キャリヤガス」と「検出ガス」により動作
する。キャリヤガスは、好ましくは、選択された検出ガ
スの励起ポテンシャルより高いイオン化ポテンシャルを
有する既知ガスの範囲から選択される。検出ガス及びキ
ャリヤガスの好ましい選択はヘリウムであるが、選択さ
れる検出ガスとキャリヤガスは、アルゴン又はキセノン
のような、他の希ガスであってもよい。用語、「準安定
原子(metastables)」は、検出ガスの励起原子を指し、
好ましい実施例では、その検出ガスはヘリウムであり且
つその準安定原子はヘリウム準安定原子である。
は、好ましくは、希ガスとして知られているガス群から
選択される「キャリヤガス」と「検出ガス」により動作
する。キャリヤガスは、好ましくは、選択された検出ガ
スの励起ポテンシャルより高いイオン化ポテンシャルを
有する既知ガスの範囲から選択される。検出ガス及びキ
ャリヤガスの好ましい選択はヘリウムであるが、選択さ
れる検出ガスとキャリヤガスは、アルゴン又はキセノン
のような、他の希ガスであってもよい。用語、「準安定
原子(metastables)」は、検出ガスの励起原子を指し、
好ましい実施例では、その検出ガスはヘリウムであり且
つその準安定原子はヘリウム準安定原子である。
【００２１】図1に示したように、本発明により構成さ
れたイオン化検出器の好ましい実施例１００は、高圧電
源１０３に接続されたイオン化チャンバ陰極コネクタ１
０１を包含する。検出器は、さらに、信号陰極コネクタ
１０２と、信号バイアス電圧電源１０４と、（検出器の
本体１００を接地電位に連結するのに適している）共通
コネクタ１０５とを包含する。電位計１０７の差動入力
１０６Ａ、１０６Ｂを、信号バイアス電圧電源１０４と
共通コネクタ１０５に接続して、信号陰極コネクタ１０
２と共通コネクタ１０５間に流れる電流を測定するため
の検出出力信号線１０８上に検出出力信号を与えるよう
にしてよい。
れたイオン化検出器の好ましい実施例１００は、高圧電
源１０３に接続されたイオン化チャンバ陰極コネクタ１
０１を包含する。検出器は、さらに、信号陰極コネクタ
１０２と、信号バイアス電圧電源１０４と、（検出器の
本体１００を接地電位に連結するのに適している）共通
コネクタ１０５とを包含する。電位計１０７の差動入力
１０６Ａ、１０６Ｂを、信号バイアス電圧電源１０４と
共通コネクタ１０５に接続して、信号陰極コネクタ１０
２と共通コネクタ１０５間に流れる電流を測定するため
の検出出力信号線１０８上に検出出力信号を与えるよう
にしてよい。
【００２２】図2に示すように、イオン化検出器の好ま
しい実施例１００は、共通壁１１８と、好ましくは、そ
れぞれ、上側イオン化チャンバ１１４及び下側イオン化
チャンバ１１６として構成された第１及び第２内部チャ
ンバとを有する検出器本体１１２を包含する。上側イオ
ン化チャンバ１１４及び下側イオン化チャンバ１１６
は、共通内壁１３８と、それらの間に配置されたオプシ
ョンの開口アレイ１２０とを共有する。開口アレイ１２
０は、有孔ディスクの形で設けてよい。下側イオン化チ
ャンバ１１６の容積は、好ましくは、２５〜２５０マイ
クロリットルの範囲にあり且つ、幾つかの用途では、1
マイクロリットル未満及び1ミリリットル程度であって
よい。本体１１２は、好ましくは、ヘリウムのような希
ガスの１つとして選択された検出ガスの制御された流れ
を受けるための１または２以上の入口122と、検出され
るべき分析物を含んでいる試料流体／キャリヤガス混合
物を運ぶキャピラリカラム１２５を受けるための下側イ
オン化チャンバ１１６への入口１２４を包含する。図示
した実施例では、試料流体入口１２４は、下側イオン化
チャンバ１１６の中心軸を横切って試料流体の流れを導
いて、下側イオン化チャンバ１１６に分析物を保持する
のを支援するようにするが、その他の配置構成も本願発
明の範囲内である。下側イオン化チャンバ１１６の吐出
口１２６も設けられる。オプションの注入ポート１２７
を設けてよく、これは、通常、検出器１００が、注入ポ
ート１２７を介して下側イオン化チャンバ１１６にメタ
ンガス又はその等価物を注入することにより電子捕獲型
検出器として使用できるように転換されるまで、適当な
手段（図示せず）で密封される。
しい実施例１００は、共通壁１１８と、好ましくは、そ
れぞれ、上側イオン化チャンバ１１４及び下側イオン化
チャンバ１１６として構成された第１及び第２内部チャ
ンバとを有する検出器本体１１２を包含する。上側イオ
ン化チャンバ１１４及び下側イオン化チャンバ１１６
は、共通内壁１３８と、それらの間に配置されたオプシ
ョンの開口アレイ１２０とを共有する。開口アレイ１２
０は、有孔ディスクの形で設けてよい。下側イオン化チ
ャンバ１１６の容積は、好ましくは、２５〜２５０マイ
クロリットルの範囲にあり且つ、幾つかの用途では、1
マイクロリットル未満及び1ミリリットル程度であって
よい。本体１１２は、好ましくは、ヘリウムのような希
ガスの１つとして選択された検出ガスの制御された流れ
を受けるための１または２以上の入口122と、検出され
るべき分析物を含んでいる試料流体／キャリヤガス混合
物を運ぶキャピラリカラム１２５を受けるための下側イ
オン化チャンバ１１６への入口１２４を包含する。図示
した実施例では、試料流体入口１２４は、下側イオン化
チャンバ１１６の中心軸を横切って試料流体の流れを導
いて、下側イオン化チャンバ１１６に分析物を保持する
のを支援するようにするが、その他の配置構成も本願発
明の範囲内である。下側イオン化チャンバ１１６の吐出
口１２６も設けられる。オプションの注入ポート１２７
を設けてよく、これは、通常、検出器１００が、注入ポ
ート１２７を介して下側イオン化チャンバ１１６にメタ
ンガス又はその等価物を注入することにより電子捕獲型
検出器として使用できるように転換されるまで、適当な
手段（図示せず）で密封される。
【００２３】高圧電源は、上側イオン化チャンバ１１４
に設けられた第１電極アセンブリ１３０を含む。第１電
極アセンブリ１３０は、上側イオン化チャンバ１１４に
おいて電界を発生させるためのオプションのイオン化電
極１３２を含む。第１電極アセブリ１３０は、第１電極
アセンブリ１３０と共通壁１１８間に印加される高電圧
電位に、適切な電気コネクタ（図示せず）を経由して、
接続される。
に設けられた第１電極アセンブリ１３０を含む。第１電
極アセンブリ１３０は、上側イオン化チャンバ１１４に
おいて電界を発生させるためのオプションのイオン化電
極１３２を含む。第１電極アセブリ１３０は、第１電極
アセンブリ１３０と共通壁１１８間に印加される高電圧
電位に、適切な電気コネクタ（図示せず）を経由して、
接続される。
【００２４】放射性粒子源１４０は、上側イオン化チャ
ンバ１１４の内壁１４２の底部周辺部分に配置された薄
箔(thin foil)の形で設ける。好ましくは、粒子源１４
０は、アルファ粒子エミッタであるが、ベータ粒子エミ
ッタの使用も考えられる。アルファ粒子は、上側イオン
化チャンバ１１４内に限定された容積中に放射されて、
ここでは準安定原子として説明される、高エネルギ検出
ガス分子を生成するべく検出ガスと相互作用する。好ま
しい実施例では、この場合ヘリウムが検出ガスとして選
択されるが、アルファ粒子とヘリウムガスとの相互作用
によって、実質的に一定比率のヘリウム準安定原子が生
成されることになる。これらの準安定原子は、任意の開
口アレイ１２０を通して下側イオン化チャンバ１１６中
へ掃引される。正に帯電した検出ガスイオン等の望まし
くない反応生成物は、イオン化電極１３２に引き付けら
れる。
ンバ１１４の内壁１４２の底部周辺部分に配置された薄
箔(thin foil)の形で設ける。好ましくは、粒子源１４
０は、アルファ粒子エミッタであるが、ベータ粒子エミ
ッタの使用も考えられる。アルファ粒子は、上側イオン
化チャンバ１１４内に限定された容積中に放射されて、
ここでは準安定原子として説明される、高エネルギ検出
ガス分子を生成するべく検出ガスと相互作用する。好ま
しい実施例では、この場合ヘリウムが検出ガスとして選
択されるが、アルファ粒子とヘリウムガスとの相互作用
によって、実質的に一定比率のヘリウム準安定原子が生
成されることになる。これらの準安定原子は、任意の開
口アレイ１２０を通して下側イオン化チャンバ１１６中
へ掃引される。正に帯電した検出ガスイオン等の望まし
くない反応生成物は、イオン化電極１３２に引き付けら
れる。
【００２５】放射性粒子源１４０の好ましい実施例は、
予め定められた高さと厚みをもつ箔を含み、これは内壁
１４２に付着される。本発明の特定の特色では、放射性
粒子バリヤ１５０は、放射性粒子放射の経路を上側イオ
ン化チャンバ１１４の内部容積に限定できるよう放射性
粒子源１４０の高さと同等の(commensurate)内壁１３８
の傾斜した環状延長部のように構成して本体１２２に配
置される。このバリヤ１５０は、前述の放射性粒子と分
析物分子との相互作用が分析物分子の好ましくないイオ
ン化モードを生じうる、下側イオン化チャンバ１１６中
への前述の放射性粒子の侵入を妨げられるように放射性
粒子源１４０に面している。
予め定められた高さと厚みをもつ箔を含み、これは内壁
１４２に付着される。本発明の特定の特色では、放射性
粒子バリヤ１５０は、放射性粒子放射の経路を上側イオ
ン化チャンバ１１４の内部容積に限定できるよう放射性
粒子源１４０の高さと同等の(commensurate)内壁１３８
の傾斜した環状延長部のように構成して本体１２２に配
置される。このバリヤ１５０は、前述の放射性粒子と分
析物分子との相互作用が分析物分子の好ましくないイオ
ン化モードを生じうる、下側イオン化チャンバ１１６中
への前述の放射性粒子の侵入を妨げられるように放射性
粒子源１４０に面している。
【００２６】第２電極アセンブリ１３４は、下側イオン
化チャンバ１１６に設けられている。第２電極アセンブ
リ１３４は、下側イオン化チャンバ１１６の内壁１３８
に関して電界を発生させるための、負に荷電される信号
陰極１３６を含む。信号陰極１３６は、好ましくは、下
側イオン化チャンバ１１６に対して小さい表面積を有す
ることによって、準安定原子又は光子並びにそれらの結
果生ずるノイズの人為生成物への露出を回避する。好ま
しくは、内壁１３８と共通壁１１８は、電気的に連結
し、従って、同一の電位電圧にする。信号陰極１３６
は、電気コネクタ１４２を通して分極電圧源（図1の電
源１０４）に連結することにより負の電荷を帯びさせ
る。内壁１３８は、分析物のイオン化成分の量を表示で
きるよう、適当な電気コネクタ（図1のコネクタ１０
５）で電位計に連結してよい。
化チャンバ１１６に設けられている。第２電極アセンブ
リ１３４は、下側イオン化チャンバ１１６の内壁１３８
に関して電界を発生させるための、負に荷電される信号
陰極１３６を含む。信号陰極１３６は、好ましくは、下
側イオン化チャンバ１１６に対して小さい表面積を有す
ることによって、準安定原子又は光子並びにそれらの結
果生ずるノイズの人為生成物への露出を回避する。好ま
しくは、内壁１３８と共通壁１１８は、電気的に連結
し、従って、同一の電位電圧にする。信号陰極１３６
は、電気コネクタ１４２を通して分極電圧源（図1の電
源１０４）に連結することにより負の電荷を帯びさせ
る。内壁１３８は、分析物のイオン化成分の量を表示で
きるよう、適当な電気コネクタ（図1のコネクタ１０
５）で電位計に連結してよい。
【００２７】図示した実施例では、検出器本体１１２
は、好ましくは、１つ又は２つの部分の円筒配列で構成
する。図示した実施例では、検出器本体１１２は、そこ
に上側及び下側イオン化チャンバ１１４、１１６が機械
加工された１個の一体化構造であってよい。検出ガス入
口１２２、試料流体／キャリヤガス入口１２４及び吐出
口１２６は、適切には、検出器本体１１２の壁１１８を
通して延びる通路であってよい。検出器本体１１２の主
要部分そのものは、電導性であり且つ、好ましくは、金
属又は他の電導性材料から作られる。
は、好ましくは、１つ又は２つの部分の円筒配列で構成
する。図示した実施例では、検出器本体１１２は、そこ
に上側及び下側イオン化チャンバ１１４、１１６が機械
加工された１個の一体化構造であってよい。検出ガス入
口１２２、試料流体／キャリヤガス入口１２４及び吐出
口１２６は、適切には、検出器本体１１２の壁１１８を
通して延びる通路であってよい。検出器本体１１２の主
要部分そのものは、電導性であり且つ、好ましくは、金
属又は他の電導性材料から作られる。
【００２８】電極アセンブリ１３０、１３４は、上側イ
オン化チャンバ１１４と下側イオン化チャンバ１１６の
壁１１８の部分にあるそれぞれの孔を密封する、検出器
本体１１２にそれぞれ挿入されるている円形絶縁アダプ
タ１４４Ａ、１４４Ｂにそれぞれ取付けられる。アダプ
タ１４４Ａ、１４４Ｂは、適当な装置（図示せず）によ
ってその位置に保持する。検出ガスは、本体１１２に取
付けることができる適当な取付具（図示せず）を介して
入口１２２へ導かれる。キャピラリカラム１２５は、入
口１２４に組み込まれた適当な取付具を介して下側イオ
ン化チャンバ１１６中へ取付ける。
オン化チャンバ１１４と下側イオン化チャンバ１１６の
壁１１８の部分にあるそれぞれの孔を密封する、検出器
本体１１２にそれぞれ挿入されるている円形絶縁アダプ
タ１４４Ａ、１４４Ｂにそれぞれ取付けられる。アダプ
タ１４４Ａ、１４４Ｂは、適当な装置（図示せず）によ
ってその位置に保持する。検出ガスは、本体１１２に取
付けることができる適当な取付具（図示せず）を介して
入口１２２へ導かれる。キャピラリカラム１２５は、入
口１２４に組み込まれた適当な取付具を介して下側イオ
ン化チャンバ１１６中へ取付ける。
【００２９】オプションの開口アレイ１２０の幾何的配
置は、好ましくは、孔１２８のそれぞれの直径に対する
長さの比が1より大きく、且つ２から５のオーダーにな
るようにする。そのような幾何的配置によって上側イオ
ン化チャンバ１１４に対する下側イオン化チャンバ１１
６の近接度が改善され且つ準安定原子がそれらの移動で
経験する上側イオン化チャンバ１１４から下側イオン化
チャンバ１１６への経路長が短縮される。
置は、好ましくは、孔１２８のそれぞれの直径に対する
長さの比が1より大きく、且つ２から５のオーダーにな
るようにする。そのような幾何的配置によって上側イオ
ン化チャンバ１１４に対する下側イオン化チャンバ１１
６の近接度が改善され且つ準安定原子がそれらの移動で
経験する上側イオン化チャンバ１１４から下側イオン化
チャンバ１１６への経路長が短縮される。
【００３０】孔１２８によって入口１２２から下側イオ
ン化チャンバ１１６中への、従って信号陰極１３６の方
への検出ガスの通過が可能となる。上側イオン化チャン
バ１１４は、好ましくは、所望の準安定原子が、上側イ
オン化チャンバ１１４からそして孔１２８を通してイオ
ン化チャンバ１１６まで急速に掃引させることができる
よう設計され且つ配置された逆カップ形状(inverse cup
-shaped)断面を示すものである。下側イオン化チャンバ
１１６は、好ましくは、準安定原子が下側イオン化チャ
ンバ１１６に存在する試料流体／キャリヤガス混合物に
分散されるように配置されている円錐形の断面を呈す
る。試料流体／キャリヤガス混合物の上方への流れは、
開口アレイ１２０と内壁１３８とによって拘束され、そ
の結果、試料流体／キャリヤガス混合物と準安定原子が
下側イオン化チャンバ１１６中を掃引されることにな
る。その混合物と検出ガスは、吐出口１２６を通してし
下側イオン化チャンバ１１６から排気させることができ
る。
ン化チャンバ１１６中への、従って信号陰極１３６の方
への検出ガスの通過が可能となる。上側イオン化チャン
バ１１４は、好ましくは、所望の準安定原子が、上側イ
オン化チャンバ１１４からそして孔１２８を通してイオ
ン化チャンバ１１６まで急速に掃引させることができる
よう設計され且つ配置された逆カップ形状(inverse cup
-shaped)断面を示すものである。下側イオン化チャンバ
１１６は、好ましくは、準安定原子が下側イオン化チャ
ンバ１１６に存在する試料流体／キャリヤガス混合物に
分散されるように配置されている円錐形の断面を呈す
る。試料流体／キャリヤガス混合物の上方への流れは、
開口アレイ１２０と内壁１３８とによって拘束され、そ
の結果、試料流体／キャリヤガス混合物と準安定原子が
下側イオン化チャンバ１１６中を掃引されることにな
る。その混合物と検出ガスは、吐出口１２６を通してし
下側イオン化チャンバ１１６から排気させることができ
る。
【００３１】図示した実施例の別の局面は、上側イオン
化チャンバ１１４中を流れる検出ガスの一部が、検出ガ
スの圧力と孔１２８の小さい内径とに起因して、放射性
粒子源から下流の方へ急速に移動するものである。これ
によって、ガス、汚染物、試料分子等の下側イオン化チ
ャンバ１１６から上側イオン化チャンバ１１４への移動
を最小限に抑えながら、下側イオン化チャンバ１１６に
おける分析物分子の十分な分布とイオン化が促進される
のである。
化チャンバ１１４中を流れる検出ガスの一部が、検出ガ
スの圧力と孔１２８の小さい内径とに起因して、放射性
粒子源から下流の方へ急速に移動するものである。これ
によって、ガス、汚染物、試料分子等の下側イオン化チ
ャンバ１１６から上側イオン化チャンバ１１４への移動
を最小限に抑えながら、下側イオン化チャンバ１１６に
おける分析物分子の十分な分布とイオン化が促進される
のである。
【００３２】以上、本発明の実施例について詳述した
が、以下、本発明の各実子態様の例を示す。 （実施態様１）試料流体として提供される分析物の検出
に使うイオン化検出器において、上側チャンバと、放射
性粒子源と、前記上側イオン化チャンバに検出ガスを充
満できるよう前記上側イオン化チャンバに検出ガスの流
体流を供給する手段とを含み、前記上側イオン化チャン
バによって画定された内部容積中へ放射性粒子を一定の
比率で供給するように前記放射性粒子源が前記上側イオ
ン化チャンバの周辺に配置され、放射性粒子が前記上側
イオン化チャンバの内部容積の一部を通過する際に放射
性粒子と検出ガスとの相互作用により準安定原子と光子
が生成されるものであり、前記イオン化検出器はさらに
前記上側イオン化チャンバに連結され、検出ガスと準安
定原子を受けとる下側イオン化チャンバ、分析物を含む
流体混合物を前記下側イオン化チャンバ中へ導く手段で
あって、それによって、前記下側イオン化チャンバに存
在している準安定原子が分析物分子をイオン化するよう
にさせる手段と、前記放射性粒子源と前記下側イオン化
チャンバ間の経路に挿入されるもので、放射された放射
性粒子の経路を前記上側イオン化チャンバで定められた
容積に限定し、前記下側イオン化チャンバへの放射性粒
子の侵入を妨げるようにした放射性粒子バリヤを含み、
分析物子のイオン化の主たるメカニズムが分析物分子と
準安定原子との相互作用に実質的に制限されることを特
徴とするイオン化検出器。 （実施態様２）前項(1)記載のイオン化検出器はさらに
キャリヤガス、試料流体及び検出ガスの結合された流れ
を換気できるよう下側イオン化チャンバに設けられた出
口を含むイオン化検出器。 （実施態様３）少なくとも１つのキャリヤガスと検出ガ
スが希ガスから成る群から選択されることを特徴とする
前項(1)記載のイオン化検出器。 （実施態様４）前項(1)記載のイオン化検出器はさらに
上側イオン化チャンバと下側イオン化チャンバ間に配置
された開口アレイを包含することを特徴とするイオン化
検出器。 （実施態様５）キャリヤガスと検出ガスがヘリウムであ
ることを特徴とする前項(1)記載のイオン化検出器。 （実施態様６）放射性粒子源がアルファ粒子エミッタの
形で設けられることを特徴とする前項(1)記載のイオン
化検出器。 （実施態様７）前項(1)記載のイオン化検出器はさら
に、キャピラリカラムの出口端から供給されるキャリヤ
ガスを受けるための手段を包含することを特徴とするイ
オン化検出器。 （実施態様８）上側イオン化チャンバが、高圧電源に連
結された高電圧イオン化電極を含むことを特徴とする前
項(1記載のイオン化検出器。 （実施態様９）下側イオン化チャンバが、高圧電源に連
結された高電圧信号陰極を包含し、それによって、検出
信号が生成されることを特徴とする前項(1)記載のイオ
ン化検出器。 （実施態様１０）下側イオン化チャンバが、下側イオン
化チャンバ中へのメタンガスの注入によってイオン化検
出器を電子捕獲型検出器として使用できるように変換さ
せるための注入ポート手段を包含することを特徴とする
前項(1)記載のイオン化検出器。
が、以下、本発明の各実子態様の例を示す。 （実施態様１）試料流体として提供される分析物の検出
に使うイオン化検出器において、上側チャンバと、放射
性粒子源と、前記上側イオン化チャンバに検出ガスを充
満できるよう前記上側イオン化チャンバに検出ガスの流
体流を供給する手段とを含み、前記上側イオン化チャン
バによって画定された内部容積中へ放射性粒子を一定の
比率で供給するように前記放射性粒子源が前記上側イオ
ン化チャンバの周辺に配置され、放射性粒子が前記上側
イオン化チャンバの内部容積の一部を通過する際に放射
性粒子と検出ガスとの相互作用により準安定原子と光子
が生成されるものであり、前記イオン化検出器はさらに
前記上側イオン化チャンバに連結され、検出ガスと準安
定原子を受けとる下側イオン化チャンバ、分析物を含む
流体混合物を前記下側イオン化チャンバ中へ導く手段で
あって、それによって、前記下側イオン化チャンバに存
在している準安定原子が分析物分子をイオン化するよう
にさせる手段と、前記放射性粒子源と前記下側イオン化
チャンバ間の経路に挿入されるもので、放射された放射
性粒子の経路を前記上側イオン化チャンバで定められた
容積に限定し、前記下側イオン化チャンバへの放射性粒
子の侵入を妨げるようにした放射性粒子バリヤを含み、
分析物子のイオン化の主たるメカニズムが分析物分子と
準安定原子との相互作用に実質的に制限されることを特
徴とするイオン化検出器。 （実施態様２）前項(1)記載のイオン化検出器はさらに
キャリヤガス、試料流体及び検出ガスの結合された流れ
を換気できるよう下側イオン化チャンバに設けられた出
口を含むイオン化検出器。 （実施態様３）少なくとも１つのキャリヤガスと検出ガ
スが希ガスから成る群から選択されることを特徴とする
前項(1)記載のイオン化検出器。 （実施態様４）前項(1)記載のイオン化検出器はさらに
上側イオン化チャンバと下側イオン化チャンバ間に配置
された開口アレイを包含することを特徴とするイオン化
検出器。 （実施態様５）キャリヤガスと検出ガスがヘリウムであ
ることを特徴とする前項(1)記載のイオン化検出器。 （実施態様６）放射性粒子源がアルファ粒子エミッタの
形で設けられることを特徴とする前項(1)記載のイオン
化検出器。 （実施態様７）前項(1)記載のイオン化検出器はさら
に、キャピラリカラムの出口端から供給されるキャリヤ
ガスを受けるための手段を包含することを特徴とするイ
オン化検出器。 （実施態様８）上側イオン化チャンバが、高圧電源に連
結された高電圧イオン化電極を含むことを特徴とする前
項(1記載のイオン化検出器。 （実施態様９）下側イオン化チャンバが、高圧電源に連
結された高電圧信号陰極を包含し、それによって、検出
信号が生成されることを特徴とする前項(1)記載のイオ
ン化検出器。 （実施態様１０）下側イオン化チャンバが、下側イオン
化チャンバ中へのメタンガスの注入によってイオン化検
出器を電子捕獲型検出器として使用できるように変換さ
せるための注入ポート手段を包含することを特徴とする
前項(1)記載のイオン化検出器。
【図１】本発明の一実施例であるイオン化検出器の概略
図。
図。
【図２】図1に示すイオン化検出器の部分側面断面図。
１００：イオン化検出器 １０３：高圧電源 １０４：信号バイアス電圧電源 １０７：電位計 １１４：上側イオン化チャンバ １１６；下側イオン化チャンバ １２０：開口アレイ １２５：キャピラリカラム １３０：第１電極アセンブリ １３４：第２電極アセンブリ １５０：バリア
Claims (1)
- 【請求項１】試料流体として提供される分析物の検出に
使うイオン化検出器において、上側チャンバと、放射性
粒子源と、前記上側イオン化チャンバに検出ガスを充満
できるよう前記上側イオン化チャンバに検出ガスの流体
流を供給する手段とを含み、前記上側イオン化チャンバ
によって画定された内部容積中へ放射性粒子を一定の比
率で供給するように前記放射性粒子源が前記上側イオン
化チャンバの周辺に配置され、放射性粒子が前記上側イ
オン化チャンバの内部容積の一部を通過する際に放射性
粒子と検出ガスとの相互作用により準安定原子と光子が
生成されるものであり、前記イオン化検出器はｓらに前
記上側イオン化チャンバに連結され、検出ガスと準安定
原子を受けとる下側イオン化チャンバ、分析物を含む流
体混合物を前記下側イオン化チャンバ中へ導く手段であ
って、それによって、前記下側イオン化チャンバに存在
している準安定原子が分析物分子をイオン化するように
させる手段と、前記放射性粒子源と前記下側イオン化チ
ャンバ間の経路に挿入されるもので、放射された放射性
粒子の経路を前記上側イオン化チャンバで定められた容
積に限定し、前記下側イオン化チャンバへの放射性粒子
の侵入を妨げるようにした放射性粒子バリヤを含み、分
析物子のイオン化の主たるメカニズムが分析物分子と準
安定原子との相互作用に実質的に制限されることを特徴
とするイオン化検出器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/940,511 US5920072A (en) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | Ionization detector |
| US940,511 | 1997-09-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11160280A true JPH11160280A (ja) | 1999-06-18 |
Family
ID=25474955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10258169A Pending JPH11160280A (ja) | 1997-09-30 | 1998-09-11 | イオン化検出器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5920072A (ja) |
| JP (1) | JPH11160280A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100464184C (zh) * | 2002-10-18 | 2009-02-25 | 安纳托利·安纳托利维奇·库德利亚夫谢夫 | 气体分析方法及实现该方法的电离检测器 |
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-
1997
- 1997-09-30 US US08/940,511 patent/US5920072A/en not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-09-11 JP JP10258169A patent/JPH11160280A/ja active Pending
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| CN100464184C (zh) * | 2002-10-18 | 2009-02-25 | 安纳托利·安纳托利维奇·库德利亚夫谢夫 | 气体分析方法及实现该方法的电离检测器 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5920072A (en) | 1999-07-06 |
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