JPH11160053A - Working surface inspection device and inspection method therefor - Google Patents
Working surface inspection device and inspection method thereforInfo
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- JPH11160053A JPH11160053A JP9326758A JP32675897A JPH11160053A JP H11160053 A JPH11160053 A JP H11160053A JP 9326758 A JP9326758 A JP 9326758A JP 32675897 A JP32675897 A JP 32675897A JP H11160053 A JPH11160053 A JP H11160053A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、予め機械等で仕上
加工を施された検査対象部材の加工表面を検査する検査
装置およびその検査方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection apparatus and an inspection method for inspecting a processed surface of a member to be inspected, which has been subjected to finishing by a machine or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、機械加工による表面切削加工
は、加工開始から加工完了に到るまでの工程を、切り込
み量および切削送り速度を段階的に減少させた数回の切
削加工により行われている。そして、この種の切削加工
においては、ワークの加工表面に、切削方向に沿って周
期性を有する加工痕が形成される。2. Description of the Related Art Generally, surface cutting by machining is performed by cutting several times in which a cutting amount and a cutting feed rate are reduced stepwise in a process from the start of machining to completion of machining. I have. In this type of cutting, a processing mark having periodicity is formed on the processing surface of the work along the cutting direction.
【０００３】そのため、平滑な表面が必要とされるワー
クに対しては、仕上加工として機械または人手による研
磨加工工程が設けられ、加工痕を除去することによりそ
の表面が仕上げられている。そして、仕上加工が施され
た後には、その表面の仕上度合いが各種方法で検査され
ている。[0003] For a work requiring a smooth surface, a mechanical or manual polishing process is provided as a finishing process, and the surface is finished by removing machining marks. After finishing, the degree of finishing of the surface is inspected by various methods.
【０００４】従来、この種の仕上加工表面検査は、仕上
加工を人手により行う場合には、目視にて行うことが一
般的になされている。一方、仕上加工を機械加工により
行う場合には、例えば、見本となる加工表面を予め撮像
しておき、この撮像した画像あるいは画像の特徴量を見
本データとして記憶しておき、仕上加工が施されたワー
クが撮像された画像データと比較することにより、その
仕上度合いを評価する等の方法が採られている。Conventionally, this type of finish surface inspection is generally performed visually when the finish process is performed manually. On the other hand, when the finishing process is performed by machining, for example, a sampled processing surface is imaged in advance, the imaged image or the feature amount of the image is stored as sample data, and the finishing process is performed. For example, a method of evaluating the degree of finish by comparing the image data of a workpiece with image data of the workpiece is adopted.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の加工表面検査方法には、以下のような問
題が存在する。目視で加工表面検査を行う方法において
は、個人差、体調、疲労等の要因から検査を実施する人
または検査を実施する時間によって検査の合否判定基準
が異なり、正確な検査結果が得られないという問題があ
った。However, the conventional method for inspecting a machined surface as described above has the following problems. In the method of visually inspecting the machined surface, the pass / fail judgment criteria differ depending on the person performing the test or the time of the test due to factors such as individual differences, physical condition, fatigue, etc., and accurate test results cannot be obtained. There was a problem.
【０００６】また、検査を実施するには、加工表面を目
視で判定できるようになるための十分な経験が要求さ
れ、加工表面検査を実施できる人が限定されてしまうと
いう不都合もあった。[0006] In addition, in order to carry out the inspection, sufficient experience is required to be able to visually judge the processed surface, and there is an inconvenience that the number of persons who can perform the processed surface inspection is limited.
【０００７】一方、見本データと実際に撮像された検査
対象部材の画像データとを比較する方法においては、見
本データを予め撮像して登録しておく必要があるため、
加工表面検査に到るまでの作業が煩雑になるという問題
があった。また、この比較による方法では、合格となる
仕上加工の表面粗さ、検査対象部材表面の材質、形状が
異なる毎に、新たに見本データを登録する必要があり、
検査対象部材変更に伴うこれらの作業が煩雑になるとい
う問題もあった。On the other hand, in the method of comparing the sample data with the image data of the actually picked-up member to be inspected, it is necessary to image and register the sample data in advance.
There has been a problem that the work up to the inspection of the processed surface is complicated. In addition, in the method based on this comparison, it is necessary to register new sample data every time the surface roughness of the finishing process that passes the test, the material and the shape of the surface of the inspection target member are different,
There is also a problem that these operations involved in changing the inspection target member become complicated.
【０００８】本発明は、以上のような点を考慮してなさ
れたもので、検査対象部材の見本データが異なっても容
易に加工表面検査を行うことができると共に正確な検査
結果が得られる加工表面検査装置およびその検査方法を
提供することを目的とする。The present invention has been made in consideration of the above points, and enables machining surface inspection to be easily performed even when sample data of a member to be inspected is different, and a machining process capable of obtaining an accurate inspection result. It is an object to provide a surface inspection apparatus and an inspection method thereof.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、以下の構成を採用している。請求項１記
載の加工表面検査装置は、検査対象部材の加工表面を撮
像して画像信号を出力する撮像手段と、該撮像手段によ
り出力された前記画像信号を、該画像信号の輝度に基づ
く画像情報に変換処理する画像信号処理手段と、該画像
信号処理手段により変換処理された前記画像情報をフー
リエ変換すると共に、フーリエ変換された結果に基づい
て前記加工表面の面粗度を定量化する数値演算処理手段
とを備えることを特徴とするものである。In order to achieve the above object, the present invention employs the following constitution. The processing surface inspection apparatus according to claim 1, wherein: an imaging unit that captures an image of the processing surface of the inspection target member and outputs an image signal; and converts the image signal output by the imaging unit into an image based on the luminance of the image signal. Image signal processing means for converting the image information into information, and a numerical value for performing a Fourier transform on the image information converted by the image signal processing means and quantifying the surface roughness of the processed surface based on the result of the Fourier transform And an arithmetic processing means.
【００１０】従って、本発明の加工表面検査装置によれ
ば、撮像手段により、検査対象部材の加工表面を撮像し
て画像信号を出力することができ、画像信号処理手段に
より、撮像手段が出力した画像信号をその輝度に基づく
画像情報に変換処理することができる。そして、数値演
算処理手段により、画像信号処理手段が変換処理した画
像情報をフーリエ変換して、その結果に基づいて加工表
面の面粗度を定量化することができる。Therefore, according to the machined surface inspection apparatus of the present invention, the machined surface of the member to be inspected can be imaged by the imaging means and an image signal can be output, and the image signal is output by the image signal processing means. The image signal can be converted into image information based on the luminance. Then, the numerical information processing means performs Fourier transform on the image information converted by the image signal processing means, and the surface roughness of the processed surface can be quantified based on the result.
【００１１】即ち、切削加工による加工痕のように、周
期性を有する模様を撮像して得られる有限階調の濃淡画
像においては、その画像をフーリエ変換して得られるパ
ワースペクトル上のある特定領域に上記模様の存在を示
す特徴的なスペクトル成分が現れる。That is, in a grayscale image of finite gradation obtained by imaging a pattern having periodicity, such as a processing mark by cutting, a specific region on a power spectrum obtained by Fourier transforming the image. A characteristic spectral component indicating the presence of the pattern appears.
【００１２】一方、十分に仕上加工がなされた加工表面
のように、周期性を有する模様を含まないものを撮像し
て得られる有限階調の濃淡画像においては、その画像を
フーリエ変換しても、上記特徴的なスペクトル成分が現
れない。従って、上記パワースペクトル上のスペクトル
成分を検出して定量化することにより、加工表面の面粗
度を定量化することができる。On the other hand, in the case of a finite gradation image obtained by imaging an image that does not include a pattern having periodicity, such as a processed surface that has been sufficiently finished, even if the image is Fourier-transformed. , The characteristic spectral components do not appear. Therefore, by detecting and quantifying the spectral components on the power spectrum, the surface roughness of the processed surface can be quantified.
【００１３】請求項２記載の加工表面検査装置は、請求
項１記載の加工表面検査装置において、前記検査対象部
材と前記撮像手段とを前記加工表面に沿って相対移動さ
せる駆動機構を備えることを特徴とするものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided the machined surface inspection apparatus according to the first embodiment, further comprising a drive mechanism for relatively moving the member to be inspected and the imaging means along the machined surface. It is a feature.
【００１４】従って、本発明の加工表面検査装置によれ
ば、駆動機構により検査対象部材と撮像手段とを加工表
面に沿って相対移動させることができる。Therefore, according to the machined surface inspection apparatus of the present invention, the member to be inspected and the imaging means can be relatively moved along the machined surface by the drive mechanism.
【００１５】請求項３記載の加工表面検査方法は、検査
対象部材の加工表面を撮像し、撮像した画像信号の輝度
に基づいて画像情報に変換処理し、該画像情報をフーリ
エ変換した結果に基づいて前記加工表面の面粗度を定量
化することを特徴とするものである。According to a third aspect of the present invention, there is provided a method for inspecting a machined surface of a member to be inspected, converting the image information into image information based on the luminance of the image signal, and performing a Fourier transform on the image information. And quantifying the surface roughness of the processed surface.
【００１６】従って、本発明の加工表面検査方法によれ
ば、検査対象部材の加工表面を画像情報としてフーリエ
変換して、その結果に基づいて前記加工表面の面粗度を
定量化して、その仕上度合いを評価することができる。Therefore, according to the processed surface inspection method of the present invention, the processed surface of the member to be inspected is subjected to Fourier transform as image information, and the surface roughness of the processed surface is quantified based on the result, and the finish is determined. The degree can be evaluated.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下、本発明の加工表面検査装置
およびその検査方法の実施の形態を、図１ないし図５を
参照して説明する。図１において、符号３は加工表面検
査装置であり、符号１はその加工表面２に予め機械切削
加工および研磨仕上加工が施された金属製平板状のワー
クである。加工表面検査装置３は、撮像ユニット（撮像
手段）４と、画像処理ユニット（画像信号処理手段）５
と、数値演算ユニット（数値演算処理手段）６とを備え
るものである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a machined surface inspection apparatus and an inspection method according to the present invention will be described below with reference to FIGS. In FIG. 1, reference numeral 3 denotes a machined surface inspection device, and reference numeral 1 denotes a metal plate-shaped work in which a machined surface 2 is subjected to a mechanical cutting process and a polishing finish process in advance. The machined surface inspection device 3 includes an imaging unit (imaging unit) 4 and an image processing unit (image signal processing unit) 5
And a numerical operation unit (numerical operation processing means) 6.
【００１８】撮像ユニット４は、ワーク１の加工表面２
を撮像すると共に、画像信号として画像処理ユニット５
へ出力するものであって、例えば、矩形配列Ｍ×Ｎ＝２
５６×２５６個の二次元ＣＣＤ画素列を有している。ま
た、この撮像ユニット４には、加工表面２の表面粗さに
応じた視野範囲が撮像可能な図示しない接写器具および
レンズが設けられている。さらに、撮像ユニット４に
は、該撮像ユニット４とワーク１とを加工表面２に沿っ
て相対移動させる駆動機構（図示せず）が設けられてい
る。The imaging unit 4 is provided with a processing surface 2 of the work 1.
And image processing unit 5 as an image signal.
, For example, a rectangular array M × N = 2
It has 56 × 256 two-dimensional CCD pixel rows. Further, the imaging unit 4 is provided with a close-up tool and a lens (not shown) capable of capturing an image in a visual field range according to the surface roughness of the processing surface 2. Further, the imaging unit 4 is provided with a drive mechanism (not shown) for relatively moving the imaging unit 4 and the work 1 along the processing surface 2.
【００１９】画像処理ユニット５は、撮像ユニット４か
ら出力された画像信号を、画素毎の輝度に基づいて、例
えば、８ビット階調（２５６階調）に標本化した画像情
報に変換処理して数値演算ユニットに出力するものであ
る。The image processing unit 5 converts the image signal output from the imaging unit 4 into image information sampled into, for example, 8-bit gradation (256 gradation) based on the luminance of each pixel. This is output to the numerical operation unit.
【００２０】数値演算ユニット６は、画像処理ユニット
５から出力された画像情報をフーリエ変換して、撮像ユ
ニット４で撮像された加工表面２の画像のパワースペク
トルを得ると共に、このパワースペクトルから加工表面
２の面粗度を定量化するように数値演算するものであ
る。The numerical operation unit 6 performs a Fourier transform on the image information output from the image processing unit 5 to obtain a power spectrum of the image of the processing surface 2 captured by the imaging unit 4, and obtains a processing surface from the power spectrum. Numerical operation is performed to quantify the surface roughness of No. 2.
【００２１】上記の構成の加工表面検査装置３によりワ
ーク１の加工表面２の仕上度合いを検査する手順を、図
２に示すフローチャート図に従って説明する。まず、撮
像ユニット４によりワーク１の加工表面２を撮像して
（ステップＳ１）、その画像信号を画像処理ユニット５
へ出力する。A procedure for inspecting the degree of finishing of the work surface 2 of the work 1 by the work surface inspection apparatus 3 having the above configuration will be described with reference to a flowchart shown in FIG. First, the processing surface 2 of the work 1 is imaged by the imaging unit 4 (step S1), and the image signal is sent to the image processing unit 5
Output to
【００２２】このとき、図１に示すように、撮像ユニッ
ト４を加工表面２の切削方向に対してθの角度をなすよ
うに固定することにより、その二次元ＣＣＤ画素列の配
列方向と加工表面２の切削方向とを交叉させて、周期性
を有する加工痕の模様を明確に検出できるようにしてお
く。At this time, as shown in FIG. 1, by fixing the image pickup unit 4 at an angle of θ with respect to the cutting direction of the processing surface 2, the arrangement direction of the two-dimensional CCD pixel row and the processing surface are fixed. The two cutting directions are crossed so that a pattern of a processing mark having periodicity can be clearly detected.
【００２３】次に、画像処理ユニット５により、撮像ユ
ニット４から出力された画像信号を、ＣＣＤ画素毎の輝
度変化として８ビット階調に標本化した画像情報に変換
処理する（ステップＳ２）。これにより、撮像ユニット
４により撮像されたワーク１の加工表面２は、図３に示
すように、周期性を有する２５６階調の白黒濃淡画像と
なる。Next, the image processing unit 5 converts the image signal output from the imaging unit 4 into image information sampled into 8-bit gradation as a luminance change for each CCD pixel (step S2). As a result, the processed surface 2 of the work 1 captured by the imaging unit 4 becomes a monochrome grayscale image of 256 gradations having periodicity, as shown in FIG.
【００２４】そして、数値演算ユニット６により、画像
処理ユニット５から出力された画像情報をフーリエ変換
（高速フーリエ変換）する（ステップＳ３）。即ち、全
体がＭ×Ｎの画素列のからなる画素ｍ，ｎの２５６階調
白黒濃淡画像ｆ（ｍ，ｎ）と周波数ｕ，ｖからなる周波
数画像Ｆ（ｕ，ｖ）とのフーリエ変換式Then, the image information output from the image processing unit 5 is subjected to Fourier transform (fast Fourier transform) by the numerical operation unit 6 (step S3). That is, a Fourier transform formula of a 256-tone black-and-white grayscale image f (m, n) of pixels m and n composed entirely of M × N pixel columns and a frequency image F (u, v) composed of frequencies u and v
【数１】 を用いてフーリエ変換する。(Equation 1) Fourier transform using.
【００２５】そして、上式により求められるＦ（ｕ，
ｖ）の自乗｜Ｆ（ｕ，ｖ）｜2の値を８ビットに標本化
し、その結果を２５６階調白黒濃淡画像で示すことによ
り、図４に示すようなパワースペクトルを得ることがで
きる。このとき、パワースペクトル上の点Ｐ（ｕ，ｖ）
の輝度値は、画像ｆに含まれるＭ／ｕ、Ｎ／ｖの周期性
の割合を表すものなので、このパワースペクトルを求め
ることにより、画像ｆの周波数分布を得ることができ
る。Then, F (u,
The power spectrum as shown in FIG. 4 can be obtained by sampling the value of the square of | v) | F (u, v) | 2 into 8 bits and displaying the result as a 256-tone black-and-white grayscale image. At this time, a point P (u, v) on the power spectrum
Represents the ratio of the periodicity of M / u and N / v included in the image f. By obtaining this power spectrum, the frequency distribution of the image f can be obtained.
【００２６】続いて、得られたパワースペクトルにより
ワーク１の加工表面２の仕上度合いを評価する（ステッ
プＳ４）。即ち、図４に示すパワースペクトルから該パ
ワースペクトルの中心Ｏを通り、θ’＝π／２＋ｔａｎ
-1（Ｍ／Ｎ×ｔａｎθ）なる方向のパワースペクトルの
輝度分布を、図５に示すように、求める。Subsequently, the degree of finish of the processing surface 2 of the work 1 is evaluated based on the obtained power spectrum (step S4). That is, the power spectrum shown in FIG. 4 passes through the center O of the power spectrum, and θ ′ = π / 2 + tan
The luminance distribution of the power spectrum in the direction of −1 (M / N × tan θ) is obtained as shown in FIG.
【００２７】そして、輝度分布の平均値ａを求め、これ
に、予め設定した値ｄを加えた輝度Ｔをしきい値とし
て、そのしきい値Ｔを超え、かつ輝度分布の中心Ｏから
予め設定した、距離±ｂの範囲に属さない全ての画素に
ついて、その画素の輝度としきい値Ｔとの差の総和を求
め評価値とする。Then, an average value a of the luminance distribution is obtained, and a luminance T obtained by adding a predetermined value d to the average is used as a threshold value. For all the pixels that do not belong to the range of the distance ± b, the sum of the difference between the luminance of the pixel and the threshold value T is obtained as an evaluation value.
【００２８】即ち、しきい値Ｔを超えると共に輝度分布
の中心Ｏから±ｂの範囲に属さない画素がｎ個ある場
合、それらの画素の輝度ａnから求められる仕上度合い
の定量的評価値Ｅを次式により求める。[0028] That is, when the pixel not belonging to a range of ± b from the center O of the luminance distribution with more than a threshold value T there are n, quantitative evaluation value of the degree finish is determined from the brightness a n of these pixels E Is determined by the following equation.
【数２】 そして、この定量的評価値Ｅの値が小さい程、仕上度合
いが高く、面粗度が小さいと評価することができる。(Equation 2) The smaller the value of the quantitative evaluation value E, the higher the degree of finish and the smaller the surface roughness.
【００２９】一方、ワーク１の加工表面２の面積が大き
く、撮像ユニット４により一回で撮像できなかった場合
には、駆動機構を作動させて撮像ユニット４を加工表面
２に沿って相対移動させることにより、加工表面２の全
面を複数に分割し複数回撮像することで対応することが
できる。On the other hand, when the area of the processing surface 2 of the work 1 is large and the image cannot be captured by the imaging unit 4 at one time, the driving mechanism is operated to relatively move the imaging unit 4 along the processing surface 2. Thus, it is possible to cope with this by dividing the entire surface of the processing surface 2 into a plurality of parts and imaging a plurality of times.
【００３０】本実施の形態の加工表面検査装置およびそ
の検査方法によれば、ワーク１の加工表面２の面粗度を
評価値Ｅとして定量的に評価できるため、検査を実施す
る人、または時間等に関係なく、安定した、かつ確実な
検査結果を得ることができる。また、検査を実施する人
においては、検査の合否に関する判断能力が要求されな
いため、検査を実施する人が限定されず、誰もが容易に
仕上加工表面検査を行うことができる。According to the processing surface inspection apparatus and the inspection method thereof of the present embodiment, the surface roughness of the processing surface 2 of the work 1 can be quantitatively evaluated as the evaluation value E, so that the person performing the inspection or the time Irrespective of the above, a stable and reliable inspection result can be obtained. In addition, since the person who performs the inspection does not need the ability to judge the pass or fail of the inspection, the person who performs the inspection is not limited, and anyone can easily perform the finish processed surface inspection.
【００３１】一方、見本データを用いることなく、ワー
ク１の加工表面２の検査を行えるため、見本データの登
録作業が不要となり、検査に到るまでの作業を迅速に行
うことが可能となり、また、目標とする仕上加工の表面
粗さ、ワーク表面の材質、形状が変化しても、加工表面
２の撮像条件を変化させることによりそのままの状態で
表面検査を行うことができるため、検査対象の変更に伴
って発生する作業が大幅に簡略化され、検査に要する時
間を短縮することができる。On the other hand, since the work surface 2 of the work 1 can be inspected without using the sample data, the work of registering the sample data becomes unnecessary, and the work up to the inspection can be performed quickly. Even if the target surface roughness of the finishing process, the material and the shape of the work surface change, the surface inspection can be performed as it is by changing the imaging conditions of the processing surface 2, so that the inspection target The work that occurs with the change is greatly simplified, and the time required for inspection can be reduced.
【００３２】さらに、撮像ユニット４に駆動機構を設け
てあるため、ワーク１の加工表面２の面積が大きくなっ
ても、複数回に亙って撮像および評価を行うことにより
容易に対応できる。Further, since the imaging unit 4 is provided with a driving mechanism, even if the area of the processing surface 2 of the work 1 becomes large, it can be easily dealt with by performing imaging and evaluation a plurality of times.
【００３３】なお、上記実施の形態において、駆動機構
を撮像ユニットに設ける構成としたが、これに限られる
ことなく、例えば、ワークを支持盤にセットし、この支
持盤に駆動機構を設けるような構成であってもよい。ま
た、ワークを金属製の平板状とする構成としたが、金属
以外の材質や、平板状以外の形状であってもよく、予め
機械加工等により加工表面に規則的な模様が形成された
部材を検査対象としてもよい。In the above embodiment, the drive mechanism is provided in the imaging unit. However, the present invention is not limited to this. For example, a work may be set on a support board and the drive mechanism may be provided on the support board. It may be a configuration. Further, although the work is configured to be a metal flat plate, a material other than metal or a shape other than a flat plate may be used, and a member in which a regular pattern is formed on a processing surface in advance by machining or the like. May be the inspection target.
【００３４】[0034]
【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る加
工表面検査装置によれば、加工表面を撮像してその画像
信号を出力する撮像手段と、この画像信号を画像情報に
変換処理する画像信号処理手段と、画像情報をフーリエ
変換して加工表面の面粗度を定量化する数値演算処理手
段とを備える構成となっている。これにより、誰もが容
易に、安定した、かつ正確な検査結果を得ることができ
るという優れた効果を奏するものである。As described above, according to the machined surface inspection apparatus according to the first aspect, an image pickup means for picking up an image of a machined surface and outputting an image signal thereof, and converting the image signal into image information. An image signal processing unit and a numerical operation processing unit for quantifying the surface roughness of the processed surface by Fourier transforming the image information are provided. As a result, there is an excellent effect that anyone can easily obtain a stable and accurate inspection result.
【００３５】請求項２に係る加工表面検査装置によれ
ば、検査対象部材と撮像手段とを加工表面に沿って相対
移動させる駆動機構を備える構成となっている。これに
より、検査対象部材が大きくなっても容易に対応するこ
とができるという優れた効果を奏するものである。According to the machined surface inspection apparatus of the second aspect, a drive mechanism for relatively moving the inspection object member and the image pickup means along the machined surface is provided. This provides an excellent effect that it is possible to easily cope with a large inspection object member.
【００３６】請求項３に係る加工表面検査方法によれ
ば、検査対象部材の加工表面を撮像した画像に基づいて
フーリエ変換し、加工表面の面粗度を定量化する構成と
なっている。これにより、誰もが容易に、安定した、か
つ正確な検査結果を得ることができるという優れた効果
を奏するものである。According to the method for inspecting a machined surface according to the third aspect, the surface roughness of the machined surface is quantified by performing a Fourier transform based on an image of the machined surface of the member to be inspected. As a result, there is an excellent effect that anyone can easily obtain a stable and accurate inspection result.
【図１】 本発明の実施の形態を示す図であって、ワー
クの加工表面を検査する加工表面検査装置が配設された
概略構成図である。FIG. 1 is a view showing an embodiment of the present invention, and is a schematic configuration diagram in which a machined surface inspection device for inspecting a machined surface of a work is provided.
【図２】 本発明の加工表面検査装置により、仕上度合
い検査をする際の手順を示すフローチャート図である。FIG. 2 is a flowchart showing a procedure for performing a degree of finish inspection by the machined surface inspection apparatus of the present invention.
【図３】 本発明の実施の形態を示す図であって、画像
処理ユニットにより２５６階調に標本化された加工表面
の平面図である。FIG. 3 is a diagram showing the embodiment of the present invention, and is a plan view of a processed surface sampled into 256 gradations by the image processing unit.
【図４】 本発明の実施の形態を示す図であって、フー
リエ変換によりパワースペクトルが得られた分布図であ
る。FIG. 4 is a diagram illustrating an embodiment of the present invention, and is a distribution diagram in which a power spectrum is obtained by Fourier transform.
【図５】 本発明の実施の形態を示す図であって、図４
における中心を通り、角度θ’をなす方向の輝度分布図
である。FIG. 5 is a diagram showing an embodiment of the present invention, and FIG.
FIG. 7 is a luminance distribution diagram in a direction passing through the center of FIG.
１ ワーク（検査対象部材） ２ 加工表面 ３ 加工表面検査装置 ４ 撮像ユニット（撮像手段） ５ 画像処理ユニット（画像信号処理手段） ６ 数値演算ユニット（数値演算処理手段） REFERENCE SIGNS LIST 1 work (inspection target member) 2 processed surface 3 processed surface inspection device 4 imaging unit (imaging means) 5 image processing unit (image signal processing means) 6 numerical operation unit (numerical operation processing means)
Claims (3)
信号を出力する撮像手段と、 該撮像手段により出力された前記画像信号を、該画像信
号の輝度に基づく画像情報に変換処理する画像信号処理
手段と、 該画像信号処理手段により変換処理された前記画像情報
をフーリエ変換すると共に、フーリエ変換された結果に
基づいて前記加工表面の面粗度を定量化する数値演算処
理手段とを備えることを特徴とする加工表面検査装置。An image pickup means for picking up an image of a processed surface of a member to be inspected and outputting an image signal, and an image for converting the image signal output by the image pickup means into image information based on the brightness of the image signal. Signal processing means, and numerical processing means for performing a Fourier transform on the image information converted by the image signal processing means and quantifying a surface roughness of the processed surface based on a result of the Fourier transform. A machined surface inspection device, characterized in that:
て、 前記検査対象部材と前記撮像手段とを前記加工表面に沿
って相対移動させる駆動機構を備えることを特徴とする
加工表面検査装置。2. The machined surface inspection apparatus according to claim 1, further comprising a drive mechanism for relatively moving the inspection target member and the imaging unit along the machined surface.
し、 該画像情報をフーリエ変換した結果に基づいて前記加工
表面の面粗度を定量化することを特徴とする加工表面検
査方法。3. An image of a processed surface of a member to be inspected, conversion processing into image information based on the luminance of the imaged image signal, and surface roughness of the processed surface based on a result of Fourier transform of the image information. A machined surface inspection method characterized by quantification.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9326758A JPH11160053A (en) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | Working surface inspection device and inspection method therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9326758A JPH11160053A (en) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | Working surface inspection device and inspection method therefor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11160053A true JPH11160053A (en) | 1999-06-18 |
Family
ID=18191368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9326758A Withdrawn JPH11160053A (en) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | Working surface inspection device and inspection method therefor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11160053A (en) |
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