JPH11159965A - 熱処理炉 - Google Patents

熱処理炉

Info

Publication number
JPH11159965A
JPH11159965A JP9326440A JP32644097A JPH11159965A JP H11159965 A JPH11159965 A JP H11159965A JP 9326440 A JP9326440 A JP 9326440A JP 32644097 A JP32644097 A JP 32644097A JP H11159965 A JPH11159965 A JP H11159965A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat treatment
exhaust gas
gas
odor
treatment furnace
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9326440A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Koyama
博 小山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP9326440A priority Critical patent/JPH11159965A/ja
Publication of JPH11159965A publication Critical patent/JPH11159965A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Tunnel Furnaces (AREA)
  • Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 臭気除去のための排気ガスの燃焼時間を長く
し、かつ、設備の大型化を防止できる臭気除去手段を備
えた熱処理炉を提供する。 【解決手段】 ワークを収容する熱処理ゾーン3と、ワ
ークを加熱するワーク加熱ヒータ5と、熱処理ゾーン3
内で生じる排気ガスを排出するガス排出口7と、ガス排
出口7に連通するとともに、排気ガスの臭気を除去する
臭気除去手段9とからなる熱処理炉1であって、臭気除
去手段9は、排気ガスの流入部9a1と排出部9a2とを
備えたケース本体9aと、排気ガスを加熱するガス加熱
ヒータ9bとからなり、ケース本体9a内は、複数の小
部屋9cに分割され、各小部屋9cは、排気ガスがケー
ス本体9aの流入部9a1から排出部9a2までに各小部
屋9cを通過するように設けられた通路でつながってい
ることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、熱処理炉、特に、
排気ガスを脱臭する手段を備えた熱処理炉に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、セラミックからなるワーク
(以下、ワークとする)の熱処理にあたっては、熱処理
炉が用いられている。ワークの熱処理には、ワーク内の
バインダ成分を加熱分散させる脱脂工程と、ワークを焼
結させる本焼成工程の2種類がある。いずれの場合で
も、これらの処理を行った後、熱処理炉から排気ガスが
排出されることになる。この排気ガスは、臭気が強いた
め、処理にあたっては、環境汚染に対する考慮を払いな
がら行う必要があった。
【0003】この排気ガスの処理方法の一つとして、排
気ガスを液化して集める方法が挙げられる。しかしなが
ら、この方法では、排気ガスを液化することによって、
排気ガスの臭気が強まるほか、さらに、燃焼によって臭
気を除去せねばならず、処理に手間がかかるという問題
があった。
【0004】また、他の処理方法としては、排気ガスを
直接燃焼させて臭気を除去するという方法がある。この
方法では、ランニングコストが安いという利点があるも
のの、大がかりな設備が必要であるという問題があっ
た。
【0005】そこで、特開平6−229526号公報に
おいて、この排気ガスを燃焼させるという方法で、設備
を小型化し、かつ、構造も簡易にしたガス加熱装置が考
案されている。このガス加熱装置を図5に示す。図5に
示すように、このガス加熱装置20は、内径が約50mm
で、全長が約600mmのスパイラル状のSiCヒータ2
2と、このSiCヒータ22の内面に外径が略密着し、
SiCヒータ22内に途中まで挿入されている全長が約
400mmのセラミックチューブ23と、SiCヒータ2
2とセラミックチューブ23とを囲むように設けられ、
排気口21aを有する炉室21とからなる。
【0006】熱処理炉(図示しない)から排出された排
気ガスは、図5中の二点鎖線で示す流動経路24に沿っ
て流動しながら、燃焼する。すなわち、セラミックチュ
ーブ23内に送り込まれ、その先端から排出される。こ
のとき、セラミックチューブ23の外側を覆っているS
iCヒータ22が1000℃程度に発熱しているため、
排気ガスがSiCヒータ22のスパイラル状となってい
る隙間22aから炉室21内に放出される間に燃焼さ
れ、臭気が除去される。そして、臭気が除去された排気
ガスは、炉室21に設けられた排出口21aから大気中
へ排出されていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
図5に示すようなガス加熱装置1を備えた熱処理炉で
は、以下のような問題点があった。すなわち、熱処理ゾ
ーン(図示しない)から排出された排気ガスは、SiC
ヒータ22の内側に設けられているセラミックチューブ
23内を通過している間と、セラミックチューブ23の
先端からSiCヒータ22のスパイラル状となっている
隙間22aから放出される間とで加熱され、燃焼する。
しかしながら、熱処理ゾーンから排出される排気ガスの
量が多い場合には、排気ガスの燃焼時間が短いため、排
気ガスの臭気が十分に除去されないという問題点があ
る。
【0008】また、排気ガスの燃焼時間を長くするため
には、SiCヒータ22およびセラミックチューブ23
の長さを長くしなければならないため、設備が大型化し
てしまうという問題点がある。
【0009】本発明の目的は、排気ガスの燃焼時間を長
くし、かつ、設備の大型化を防止できる臭気除去手段を
備えた熱処理炉を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は上記のような目
的に鑑みてなされたものである。第1の発明の熱処理炉
は、ワークを収容する熱処理ゾーンと、ワークを加熱す
る加熱手段と、前記熱処理ゾーン内で生じる排気ガスを
排出するガス排出手段と、前記ガス排出手段に連通する
とともに、前記排気ガスの臭気を除去する臭気除去手段
とからなる熱処理炉であって、前記臭気除去手段は、前
記排気ガスの流入部と排出部とを備えたケース本体と、
前記排気ガスを加熱するガス加熱ヒータとからなり、前
記ケース本体内は、複数の小部屋に分割され、各小部屋
は、前記排気ガスがケース本体の流入部から排出部まで
に各小部屋を通過するように設けられた通路でつながっ
ていることを特徴とする。
【0011】このような構成にすることによって、熱処
理ゾーンから排出された排気ガスを長時間燃焼させるこ
とによって、臭気を完全に除去することができる。ま
た、排気ガスを臭気除去手段のケース本体内を巡回させ
るように通路を設けることによって、小さなスペースで
長時間燃焼させることができる。
【0012】また、第2の発明の熱処理炉においては、
前記小部屋は、その長手方向が前記ケース本体の長手方
向と略平行となるように設けられていることが好まし
い。
【0013】このような構成にすることによって、排気
ガスの流通を妨げる要因となる排気ガスの通路の曲折箇
所が少なくなり、よりスムーズに排気ガスを流通させる
ことができる。
【0014】
【発明の実施の形態】本発明の熱処理炉は、ワークを収
容する熱処理ゾーンと、ワークを加熱する加熱手段と、
熱処理ゾーン内で生じる排気ガスを排出するガス排出手
段と、ガス排出手段に連通するとともに、排気ガスの臭
気を除去する臭気除去手段とからなる。そして、臭気除
去手段は、排気ガスの流入部と排出部とを備えたケース
本体と、排気ガスを加熱するガス加熱ヒータとからな
り、ケース本体内は、複数の小部屋に分割され、各小部
屋は、排気ガスがケース本体の流入部から排出部までに
各小部屋を通過するように通路を設けたという構成にな
っている。
【0015】本発明の熱処理炉の形状は、バッチ式炉で
もよいし、連続式炉でもよく、この形状によって、本発
明の効果が損なわれるというものではない。
【0016】また、上記加熱手段は、SiCや金属等か
らなる電気ヒータや、燃料ガスを燃焼させてワークの加
熱を行うガスバーナ等が挙げられるが、所望の熱処理が
できるものであれば、特にこれらに限定するものではな
い。
【0017】また、上記ガス排出手段は、上記熱処理ゾ
ーン内に生じた排気ガスを熱処理ゾーン外へ排出するた
めのもので、排出効率をよくするという理由から、熱処
理ゾーンの天井部に設けることが好ましい。また、ガス
排出手段は、単なる排気口でもよいし、積極的に熱処理
ゾーンの排気ガスを熱処理ゾーン外へ排出する吸引ファ
ン等の機構を備えていてもよい。
【0018】また、上記臭気除去手段の設置位置は、上
記ガス排出手段と連通していれば、特に限定するもので
はないが、熱処理炉の設置面積を小さくするという理由
と、ガス排出手段の位置に近づけるという理由とで、熱
処理ゾーンの上方に設置されることが好ましい。また、
臭気除去手段は、排気ガスを燃焼させて臭気を除去する
ことから、集めた排気ガスを冷却しない方がよいため、
臭気除去手段とガス排出手段との距離はできるだけ小さ
い方がよく、臭気除去手段は、熱処理ゾーンの近くに設
けられることが好ましい。
【0019】また、上記ガス加熱ヒータは、排気ガスを
加熱し、燃焼分解させることによって排気ガスの臭気を
除去するためのもので、それ自体から排気ガスが生じな
い電気ヒータを用いることが好ましい。なお、接続端子
を片側に集中させることができ、臭気除去手段の小型化
が図れるという点で、スパイラルヒータやコの字型ヒー
タを用いることがより好ましい。また、ガス加熱ヒータ
による加熱は、一般的に700〜800℃程度となって
いるが、排気ガスを完全燃焼させるために、1000℃
程度にまで加熱することができるガス加熱ヒータを用い
ることが好ましい。
【0020】また、上記ケース本体に設けられる流入部
は、上記ガス排出手段に連通している。流入部には、熱
処理ゾーンからの排気ガスを積極的に吸引する機構を備
えてもよいし、単なる流入口としてもよい。
【0021】また、上記ケース本体に設けられる排出部
は、臭気除去手段内で臭気を除去された排気ガスをケー
ス本体外に排出するためのもので、排気ガスの排出がス
ムーズに行えれば、その構造などは特に限定しない。具
体的には、ケース本体外まで排出管を設けるとともに、
トランスベクタや吸引ファン等により、ケース本体内の
排気ガスを吸引して排出する機構を備えた構成などが挙
げられる。
【0022】さらに、上記ケース本体およびケース本体
内に小部屋を設けるための仕切部材は、ステンレス、イ
ンコネル等の耐熱金属、もしくは、アルミナ等のセラミ
ックからなることが好ましい。なお、ケース本体の外側
もしくは内側には、断熱材が設けられている。また、ケ
ース本体内における排気ガスの流路は、上記仕切部材に
導通口を設けることによって形成される。
【0023】次に、本発明を実施例に基づきさらに具体
的に説明する。
【0024】
【実施例】本発明の一実施例である熱処理炉を説明す
る。図1は本発明の熱処理炉の概略断面斜視図、図2は
本発明の熱処理炉における臭気除去手段の一部断面斜視
図、図3、図4は本発明の熱処理炉における臭気除去手
段の他の実施例を示す概略断面図を示す。
【0025】図1に示すように、本発明の熱処理炉1
は、ワーク(図示しない)を加熱するための熱処理ゾー
ン3と、ワークを加熱するワーク加熱ヒータ(加熱手
段)5と、排気ガスを熱処理ゾーン3内から排出するガ
ス排出口(ガス排出手段)7と、熱処理ゾーン3内から
排出された排気ガスの臭気を除去する臭気除去手段9と
からなる。
【0026】熱処理ゾーン3は、その内部にワークを収
納し、加熱を行うための空間であり、炉壁3aおよび炉
床3bによって形成されている。また、炉壁3aおよび
炉床3b内には、熱処理ゾーン3内の加熱された雰囲気
が外部に漏れにくくするために、断熱材が設けられてい
る。
【0027】ワーク加熱ヒータ5は、熱処理ゾーン3内
に設けられ、熱処理ゾーン3内に収納されたワークの加
熱を行う。本実施例では、ワーク加熱ヒータ5として、
棒状ヒータを複数並列して熱処理ゾーン3内に配設して
いるが、特に、棒状ヒータでなくともよい。また、所望
の熱処理温度が得られるのであれば、炉壁3aの中に埋
設してもよい。
【0028】ガス排出口7は、熱処理ゾーン3の天井部
の略中央に設けられており、熱処理によって発生した排
気ガスを熱処理ゾーン3から排出する流路となってい
る。また、ガス排出口7は、臭気除去手段9に連通する
ように設けられている。
【0029】臭気除去手段9は、排気ガスの流入部9a
1と排出部9a2とを備えたケース本体9aと、排気ガス
の加熱を行うガス加熱ヒータ9bと、排気ガスの流動経
路となる複数の小部屋9cとからなる。
【0030】臭気除去手段9のうちケース本体9aは、
その底面に熱処理ゾーン3から排出されてくる排気ガス
を取り入れる流入部9a1とケース本体9a内で燃焼さ
せた排気ガスを大気中へ排出する排出部9a2とを有す
る直方体状のケースである。なお、本実施例中のケース
本体9aの大きさは、220mm(縦方向)×220mm
(横方向)×600mm(長手方向)である。また、ケー
ス本体9aは、セラミックファイバー等の断熱材を有
し、熱処理ゾーン3の天井部に近接して設けられてい
る。
【0031】また、流入部9a1は、ケース本体9aの
下面に設けられた直径10mmの排気ガスの流入口であ
り、ガス排出口7と連通している。
【0032】また、排出部9a2は、ケース本体9aの
上部であり、かつ、排気ガスの流路の終点近傍である箇
所に設けられている。本実施例では、燃焼させた排気ガ
スを積極的に大気中へ排出するために、排出部9a2
トランスベクタを用いている。なお、排出部9a2にト
ランスベクタを用いることにより、その巻き込みエアに
燃焼させた排気ガスを巻き込んで、効率よく排出するこ
とができるとともに、排気ガスがトランスベクタが吸引
したエアに希釈されることにより、その温度を低下させ
て排出することができる。
【0033】また、図2に示すように、臭気除去手段9
のうちガス加熱ヒータ9bは、棒状のSiCヒータを各
小部屋9cの長手方向にそって、各小部屋9cに1本、
合計4本配設されている。本実施例では、ガス加熱ヒー
タ9bを4本配設しているが、特に各小部屋9cにつき
1本の割合で配設する必要はなく、1つの小部屋を複数
本のガス加熱ヒータで加熱するという構成にしてもよい
し、複数の小部屋を1本のガス加熱ヒータで加熱すると
いう構成にしてもよい。
【0034】臭気除去手段9のうち小部屋9cは、ケー
ス本体9aを断熱材であるセラミックファイバーからな
る仕切板9dで複数に仕切ったものである。それぞれの
小部屋は1箇所の導通口9d1によってつながってお
り、流入部9a1からきた排気ガスが二点鎖線で示す流
動経路11に沿って、各小部屋9cをそれぞれ通過して
排出部9a2へと到達するようになっている。導通口と
しては、仕切板に導通穴を開けたものや、各小部屋を連
絡する導通パイプ等がある。なお、仕切板9dとして
は、各小部屋9c間の排気ガスの漏出をできるだけ防止
するため、なるべく緻密な材質のものを用いることが好
ましい。
【0035】また、小部屋9cの数としては、特に4つ
に限定するものではなく、スペース的な余裕があれば、
図3に示すように、6つにしてもよいし、図4に示すよ
うに9つにしてもよい。
【0036】なお、本実施例においては、バッチ式の熱
処理炉を用いているが、特にバッチ式に限らず、連続式
熱処理炉においても、本発明の効果が表れることは言う
までもない。
【0037】次に、本発明の熱処理炉1を用いた排気ガ
スの臭気除去工程を説明する。1.熱処理ゾーン3内で
ワークを加熱する。
【0038】2.熱処理ゾーン3内で生じた排気ガスを
排気口7によって、流入部9a1を介して臭気除去手段
9内に流入させる。
【0039】3.排気ガスが全ての小部屋9cを循環す
るような流動経路11となるようにガスを流動させ、そ
の間にガス加熱ヒータ9bによって、排気ガスを燃焼さ
せる。
【0040】4.排出部9a2から燃焼させた排気ガス
を大気中に排出する。
【0041】
【発明の効果】本発明の熱処理炉は、ワークを収容する
熱処理ゾーンと、ワークを加熱する加熱手段と、熱処理
ゾーン内で生じる排気ガスを排出するガス排出手段と、
ガス排出手段に連通するとともに、排気ガスの臭気を除
去する臭気除去手段とからなり、この臭気除去手段は、
排気ガスの流入部と排出部とを備えたケース本体と、排
気ガスを加熱するガス加熱ヒータとからなり、ケース本
体内は、複数の小部屋に分割され、各小部屋は、排気ガ
スがケース本体の流入部から排出部までに各小部屋を通
過するように設けられた通路でつながっているという構
成をとっているので、排気ガスの燃焼時間を長くし、か
つ、設備の大型化を防止できる臭気除去手段を備えた熱
処理炉とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である熱処理炉の概略断面斜
視図。
【図2】本発明の一実施例である熱処理炉における臭気
除去手段の一部断面斜視図。
【図3】本発明の一実施例である熱処理炉における他の
臭気除去手段の概略断面図。
【図4】本発明の一実施例である熱処理炉におけるさら
に他の臭気除去手段の概略断面図。
【図5】従来の熱処理炉における臭気除去手段の概略断
面図。
【符号の説明】
1 熱処理炉 3 熱処理ゾーン 5 ワーク加熱ヒータ(加熱手段) 7 ガス排出口(ガス排出手段) 9 臭気除去手段 9a ケース本体 9a1 流入部 9a2 排出部 9b ガス加熱ヒータ 9c 小部屋

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ワークを収容する熱処理ゾーンと、ワー
    クを加熱する加熱手段と、前記熱処理ゾーン内で生じる
    排気ガスを排出するガス排出手段と、前記ガス排出手段
    に連通するとともに、前記排気ガスの臭気を除去する臭
    気除去手段とからなる熱処理炉であって、 前記臭気除去手段は、前記排気ガスの流入部と排出部と
    を備えたケース本体と、前記排気ガスを加熱するガス加
    熱ヒータとからなり、前記ケース本体内は、複数の小部
    屋に分割され、各小部屋は、前記排気ガスがケース本体
    の流入部から排出部までに各小部屋を通過するように設
    けられた通路でつながっていることを特徴とする熱処理
    炉。
  2. 【請求項2】 前記小部屋は、その長手方向が前記ケー
    ス本体の長手方向と略平行となるように設けられている
    ことを特徴とする請求項1に記載の熱処理炉。
JP9326440A 1997-11-27 1997-11-27 熱処理炉 Pending JPH11159965A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9326440A JPH11159965A (ja) 1997-11-27 1997-11-27 熱処理炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9326440A JPH11159965A (ja) 1997-11-27 1997-11-27 熱処理炉

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11159965A true JPH11159965A (ja) 1999-06-15

Family

ID=18187836

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9326440A Pending JPH11159965A (ja) 1997-11-27 1997-11-27 熱処理炉

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11159965A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100408148C (zh) * 2003-04-14 2008-08-06 光洋热系统株式会社 带有排出气体处理单元的连续烧成炉
US9376278B2 (en) 2014-01-31 2016-06-28 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Sheet-conveying apparatus
CN109307412A (zh) * 2018-09-17 2019-02-05 湖南星华能源科技服务有限公司 一种均匀透风均匀出料防尘节能立式烘焙窑

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100408148C (zh) * 2003-04-14 2008-08-06 光洋热系统株式会社 带有排出气体处理单元的连续烧成炉
US9376278B2 (en) 2014-01-31 2016-06-28 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Sheet-conveying apparatus
CN109307412A (zh) * 2018-09-17 2019-02-05 湖南星华能源科技服务有限公司 一种均匀透风均匀出料防尘节能立式烘焙窑
CN109307412B (zh) * 2018-09-17 2023-09-05 湖南星华能源科技服务有限公司 一种均匀透风均匀出料防尘节能立式烘焙窑

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9220801B2 (en) Air purifying apparatus using microwaves
KR100690524B1 (ko) 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법 및 장치
CA1082914A (en) Furnace heating apparatus
JPH11159965A (ja) 熱処理炉
JP2003214772A (ja) 熱処理炉
CN116963820A (zh) 筒状加热部和具备该筒状加热部的废气处理装置
JP2002333283A (ja) 熱処理炉、および熱処理炉のガス供給方法
JP3924668B2 (ja) リフロー装置
JP2005221135A (ja) 焼成炉
CN211953241U (zh) 热泵脱白装置
JP2001259006A (ja) 脱臭装置
JPH0221616A (ja) 半導体デバイスの熱処理装置
WO2022101981A1 (ja) ガス処理炉及びこれを用いた排ガス処理装置
JP4324300B2 (ja) ヤニ取りユニット付き脱臭兼用熱風発生装置及びヤニ取りユニット
JP6320476B2 (ja) 排ガス燃焼装置
JP6290348B2 (ja) 排ガス燃焼装置
JPH11302660A (ja) 炭化処理装置
JP3013702U (ja) 高周波誘導溶解装置
JP2003130339A (ja) 排気ガスの冷却システム及び該システムを用いた加熱装置
KR200304704Y1 (ko) 예열히터를 구비한 열매체보일러
JPH03126821A (ja) 連続熱処理炉
JPH0794262A (ja) 電気加熱装置
KR20000025791A (ko) 가스오븐 레인지의 배기구조
JP2014105922A (ja) 排ガス燃焼装置
JP2004225988A (ja) 排ガス処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050930

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20051122

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060123

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060627