JPH11157008A - Aluminum-deposited polyester film and its manufacture - Google Patents

Aluminum-deposited polyester film and its manufacture

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Publication number
JPH11157008A
JPH11157008A JP34422597A JP34422597A JPH11157008A JP H11157008 A JPH11157008 A JP H11157008A JP 34422597 A JP34422597 A JP 34422597A JP 34422597 A JP34422597 A JP 34422597A JP H11157008 A JPH11157008 A JP H11157008A
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JP
Japan
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deposited
aluminum
polyester film
layer
vapor
Prior art date
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Pending
Application number
JP34422597A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masakazu Yamamoto
雅一 山本
Hideo Watanabe
英男 渡辺
Masayoshi Teranishi
正芳 寺西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyo Metallizing Co Ltd
Original Assignee
Toyo Metallizing Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Toyo Metallizing Co Ltd filed Critical Toyo Metallizing Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain high gas barrier properties by forming a metallic anchor- deposited layer having a specified range of average film thickness under glow discharging on a base composed of a polyester film, providing an aluminum- deposited layer having a specified range of film thickness thereon, and providing a deposited resin layer having a specified range of thickness. SOLUTION: A metallic anchor-deposited layer having 0.1-1 nm film thickness under glow discharging is formed on at least one side of a polyester film. An aluminum-deposited layer having 20-100 nm film thickness is provided on the metallic anchor-deposited layer, and a deposited resin layer having 10-100 nm thickness is provided thereon. In this constitution, falling of the aluminum- deposited layer from the film is prevented by the metallic anchor-deposited layer, and bond strength of the aluminum-deposited layer to the polyester film is improved, and falling of the aluminum caused by winding can be prevented by the deposited resin layer. Thereby, deposited bond strength, and resistance to scratching of the deposited surface can be improved, and gas barrier properties can be improved.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、アルミ蒸着ポリエ
ステルフィルムおよびその製法に関し、特にアルミ蒸着
ガスハイバリアー性ポリエステルフィルムおよびその製
法に関し、詳しくは、食品包装分野に用いられるアルミ
蒸着ハイガスバリアー性フィルムに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an aluminum-deposited polyester film and a method for producing the same, and more particularly, to an aluminum-deposited gas high-barrier polyester film and a method for producing the same. About.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、食品包装分野において、ポリエス
テルフィルムのアルミ蒸着フィルムが用いられているこ
とはよく知られている。特にガスバリアー性が必要とさ
れる分野に用いられているが、アルミニウムフォイルに
比較し、ガスバリアー性は不十分なものであり、用途が
限定されていた。一方、廃棄処理においては、アルミニ
ウムフォイルに比較し、焼却の際、残滓が少なく燃焼ガ
スが特に毒性もないためポリエステルフィルムでのハイ
バリアー化が熱望されていた。しかし、従来は、フィル
ムの多層化、蒸着膜の厚みを厚くすること等によって、
ハイバリアー化を計っていたが、この手段によっても限
界があり不十分なレベルであった。
2. Description of the Related Art It is well known that aluminum-deposited polyester films are used in the field of food packaging. In particular, they are used in fields where gas barrier properties are required, but have insufficient gas barrier properties as compared with aluminum foils, and their applications are limited. On the other hand, in the case of disposal, compared to aluminum foil, there has been a long-awaited desire for a high barrier with a polyester film because of less residue and less burning gas during incineration. However, conventionally, by increasing the thickness of the film, multi-layered film, and the like,
Although high barriers were being measured, this method had limitations and was at an insufficient level.

【0003】特開平4−246531において、フィル
ム上にアルミを蒸着し、さらに、合成樹脂膜をアルミ蒸
着層上に形成する方法が提案されている。しかし、この
方法においては、蒸着層の保護やブロッキング(貼り付
き)防止の効果が提示されているが、ガスバリアー性の
向上に対して具体的ではなく、また実際にガスバリアー
性は不十分であった。それはベースフィルムとしてのポ
リエステルフィルムの表面粗さ及びポリエステルとアル
ミ蒸着膜との密着性について考えられていなかったこと
によるものである。
[0003] Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-246531 proposes a method in which aluminum is deposited on a film and a synthetic resin film is formed on the aluminum deposited layer. However, in this method, although the effect of protecting the deposited layer and preventing blocking (sticking) is presented, it is not specific to the improvement of the gas barrier property, and the gas barrier property is actually insufficient. there were. This is because the surface roughness of the polyester film as the base film and the adhesion between the polyester and the aluminum vapor-deposited film were not considered.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的は、従来品の欠点を解消し、食品包装分野に好適に
用いられるガイハイバリアー性のアルミ蒸着ポリエステ
ルフィルムを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an aluminum-evaporated polyester film having a high barrier property, which eliminates the drawbacks of conventional products and is suitably used in the field of food packaging.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明者らが鋭意検討し
た結果、本発明の上記目的は下記の発明によって工業的
に有利に達成された。
As a result of intensive studies by the present inventors, the above object of the present invention has been industrially advantageously achieved by the following invention.

【0006】[1]ポリエステルフィルムからなる基材
上に、少なくとも片面に設けたグロー放電下で形成した
平均膜厚0.01〜1nmの金属アンカー蒸着層の上に
膜厚20〜100nmのアルミニウム蒸着層、さらに厚
み10〜100nmの蒸着樹脂層を設けてなるアルミ蒸
着ポリエステルフィルム。
[1] Deposition of aluminum having a thickness of 20 to 100 nm on a metal anchor deposition layer having an average thickness of 0.01 to 1 nm formed under glow discharge on at least one surface of a substrate made of a polyester film. An aluminum vapor-deposited polyester film provided with a layer and a vapor-deposited resin layer having a thickness of 10 to 100 nm.

【0007】[2]ポリエステルフィルムの表面粗さ
が、平均粗さで0.3〜0.5μmの範囲であり、かつ
最大粗さで1.5〜3.5μmの範囲であることを特徴
とする上記[1]記載のアルミ蒸着ポリエステルフィル
ム。
[2] The polyester film has a surface roughness of 0.3 to 0.5 μm in average roughness and 1.5 to 3.5 μm in maximum roughness. The aluminum-evaporated polyester film according to the above [1], wherein

【0008】[3]金属アンカー蒸着層が銅あるいは酸
化銅からなることを特徴とする上記[1]または[2]
に記載のアルミ蒸着ポリエステルフィルム。
[3] The above [1] or [2], wherein the metal anchor deposition layer is made of copper or copper oxide.
2. The aluminum-evaporated polyester film described in 1.

【0009】[4]蒸着樹脂層が、モンタン酸ワック
ス、ポリオレフィンワックスまたはその熱分解生成物か
らなることを特徴とする上記[1]〜[3]のいずれか
に記載のアルミ蒸着ポリエステルフィルム。
[4] The aluminum-deposited polyester film according to any one of [1] to [3], wherein the vapor-deposited resin layer is made of montanic acid wax, polyolefin wax or a thermal decomposition product thereof.

【0010】[5]金属アンカー蒸着層、アルミニウム
蒸着層、樹脂層の形成を同一真空漕内で連続して行うこ
とを特徴とする上記[1]〜[4]のいずれかに記載の
アルミ蒸着ポリエステルフィルムの製法。
[5] The aluminum deposition according to any one of [1] to [4], wherein the formation of the metal anchor deposition layer, the aluminum deposition layer, and the resin layer is performed continuously in the same vacuum chamber. Manufacturing method of polyester film.

【0011】以上のように,本発明の最大の特徴は、ポ
リエステルフィルム上に金属アンカ−蒸着層、アルミニ
ウム蒸着層、樹脂層を順次,好ましくは同一真空漕内
で、形成させることによってアルミニウム蒸着層の脱落
を防止し、その結果、酸素及び水蒸気バリアー性を向上
させたことにある。
As described above, the most significant feature of the present invention is that a metal anchor-deposited layer, an aluminum-deposited layer, and a resin layer are sequentially formed on a polyester film, preferably in the same vacuum chamber, thereby forming an aluminum-deposited layer. Is prevented, and as a result, oxygen and water vapor barrier properties are improved.

【0012】[0012]

【発明の実施形態】次に本発明について詳しく説明する 本発明において基材であるポリエステルフィルムは特に
制限を受けないが、ポリエチレンテレフタレート系フィ
ルムおよびポリエチレンナフタレート系フィルムが代表
的なものとして挙げられる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, the present invention will be described in detail. In the present invention, a polyester film as a substrate is not particularly limited, but a polyethylene terephthalate film and a polyethylene naphthalate film are typical examples.

【0013】かかるポリエステルフィルムの厚みは、食
品包装用材料が主用途であるので、6〜100μmが好
ましい。そして、ポリエステルフィルムは、表面にコロ
ナ処理等蒸着易接着処理を施したものであっても良い。
The thickness of the polyester film is preferably from 6 to 100 μm, since the material for food packaging is mainly used. The polyester film may have a surface subjected to a treatment for easy deposition such as corona treatment.

【0014】また、本発明の基材であるポリエステルフ
ィルムの表面粗さは、平均粗さ0.3〜0.5μm、最
大粗さ1.5〜3.5μmを満足させるものが好まし
い。これは、走行中蒸着面が蒸着装置ガイドロールに接
触したり巻き取られることによって蒸着面凸部の蒸着層
が擦られ脱落する。この現象を極力防止するために凸部
の小さなものつまり最大粗さが小さいものを選択するこ
とが好ましいのである。
The surface roughness of the polyester film as the substrate of the present invention preferably satisfies an average roughness of 0.3 to 0.5 μm and a maximum roughness of 1.5 to 3.5 μm. This is because the vapor deposition layer on the convex portion of the vapor deposition surface is rubbed off when the vapor deposition surface comes into contact with or is wound up on the guide roll during vaporization. In order to prevent this phenomenon as much as possible, it is preferable to select a protrusion having a small protrusion, that is, a protrusion having a small maximum roughness.

【0015】他方、全く凸部のないフィルムは、フィル
ム走行中、巻き取り等でキズが発生し、滑らないため巻
き取れない等の巻き外観上好ましくないのである。そこ
で本発明者らが鋭意検討した結果、フィルム表面粗さの
平均粗さ0.3〜0.5μm、最大粗さ1.5〜3.5
μmの範囲に入るポリエステルフィルムが望ましいとい
う結論に至った。
On the other hand, a film having no projections is not preferable in terms of winding appearance such that the film is scratched during running of the film and the film is not slippery because the film does not slip. Therefore, as a result of intensive studies by the present inventors, the average roughness of the film surface roughness was 0.3 to 0.5 μm, and the maximum roughness was 1.5 to 3.5.
It was concluded that a polyester film in the range of μm was desirable.

【0016】本発明においては、このようなポリエステ
ルフィルムの少なくとも片面にグロー放電下で金属アン
カー蒸着層を形成することが必要である。これは、フィ
ルム走行中、巻き取り等で蒸着面が擦過された際、フィ
ルムからアルミニウム蒸着層の脱落を防止するためおよ
びポリエステルフィルムに対するアルミニウム蒸着層の
密着強度をアップさせるために必要である。
In the present invention, it is necessary to form a metal anchor deposition layer on at least one side of such a polyester film under glow discharge. This is necessary in order to prevent the aluminum deposited layer from falling off the film when the deposited surface is rubbed by winding or the like during running of the film and to increase the adhesion strength of the aluminum deposited layer to the polyester film.

【0017】そして、かかる金属アンカー蒸着層の膜厚
は0.1〜1nmの範囲であることが必要である。0.
1nm未満の厚みでは、ポリエステルフィルムに対する
アルミ蒸着層の密着強度が劣るため好ましくなく、1n
mを超えるとアンカー蒸着層に用いた金属k特有な色調
が出るためアルミニウム蒸着層の金属光沢がポリエステ
ル表面から見た場合損なわれので好ましくない。
It is necessary that the thickness of the metal anchor vapor deposition layer is in the range of 0.1 to 1 nm. 0.
When the thickness is less than 1 nm, the adhesion strength of the aluminum vapor-deposited layer to the polyester film is inferior.
If it exceeds m, the color tone peculiar to the metal k used for the anchor vapor deposition layer appears, so that the metallic luster of the aluminum vapor deposition layer is impaired when viewed from the polyester surface, which is not preferable.

【0018】金属アンカー蒸着層は、金属または金属酸
化物等の金属化合物から構成されるアンカー蒸着層を意
味し、特に銅または銅酸化物が好ましい。
The metal-deposited anchor layer means an anchor-deposited layer composed of a metal compound such as a metal or a metal oxide, and is particularly preferably copper or copper oxide.

【0019】本発明においては、この金属アンカー蒸着
層の上に膜厚20〜100nmのアルミニウム蒸着層を
設ける必要がある。これはガスバリアー性を達成するた
めに必須であり、膜厚が20nm未満ではガスバリアー
性の付与が不十分であり、膜厚が100nmを超える
と、蒸着時の輻射熱によりポリエステルフィルムが熱変
形を起こすことがあり、後加工に適さない。
In the present invention, it is necessary to provide an aluminum deposited layer having a thickness of 20 to 100 nm on the metal anchor deposited layer. This is essential to achieve gas barrier properties. If the film thickness is less than 20 nm, the gas barrier properties are not sufficiently imparted. If the film thickness exceeds 100 nm, the polyester film undergoes thermal deformation due to radiant heat during vapor deposition. May cause, not suitable for post-processing.

【0020】本発明においては、このアルミニウム蒸着
層の上に厚み10〜100nmの蒸着樹脂層を設ける必
要がある。フィルム走行中、巻き取り等によるアルミニ
ウムの脱落を防止するため10nm以上の厚みが必要で
あり、100nmを超えると、層間剥離が発生し密着強
度が悪くなってしまう。
In the present invention, it is necessary to provide a vapor-deposited resin layer having a thickness of 10 to 100 nm on the aluminum vapor-deposited layer. During film running, a thickness of 10 nm or more is required to prevent aluminum from falling off due to winding or the like. If the thickness exceeds 100 nm, delamination occurs and the adhesion strength deteriorates.

【0021】蒸着樹脂層を形成する樹脂は、特に制限を
受けないが、特にモンタンワックス、ポリオレフィンワ
ックスまたはその熱分解生成物が好ましい。
The resin forming the vapor-deposited resin layer is not particularly limited, but is particularly preferably montan wax, polyolefin wax or a thermal decomposition product thereof.

【0022】本発明のアルミ蒸着ポリエステルフィルム
の具体的な製法の一例は次のとおりである。
An example of a specific method for producing the aluminum vapor-deposited polyester film of the present invention is as follows.

【0023】ポリエステルフィルム上に1〜10Paの
真空下においてグロー放電下で銅のアンカー蒸着を行
い、0.01〜1nmの厚みのアンカー蒸着層を形成す
る。これは、マグネトロン型の電極で酸素プラズマが良
い。さらに、連続して10ー1〜10ー2Paの真空下で2
0〜100nmの厚みのアルミ蒸着を形成する。蒸着方
法は、一般に知られる方法であれば特に問題ないがエレ
クトロンビーム蒸着方式、高周波誘導加熱方式、スパッ
タリング蒸着方式等の方法がある。さらに、1〜10P
aの雰囲気で樹脂及びその分解生成物をアルミ蒸着層上
に積層する。これは、特に方法は問わないが、ニクロム
ヒ−タ−を設置した溜め込み式蒸発装置、加熱したボー
ト型ヒ−タ−に蒸着必要量を滴下する方法がある。ま
た、その蒸発量は、蒸発源の加熱温度を上下させること
によってコントロールすることができる。
Copper anchor deposition is performed on the polyester film under a glow discharge under a vacuum of 1 to 10 Pa to form an anchor deposition layer having a thickness of 0.01 to 1 nm. This is a magnetron type electrode, preferably oxygen plasma. Furthermore, 2 under a vacuum of consecutive 10-2 1-10 over 2 Pa
A 0-100 nm thick aluminum deposit is formed. There are no particular problems with the vapor deposition method as long as it is a generally known method, but there are methods such as an electron beam vapor deposition method, a high-frequency induction heating method, and a sputtering vapor deposition method. In addition, 1-10P
The resin and its decomposition products are laminated on the aluminum vapor deposition layer in the atmosphere of a. There is no particular limitation on the method, but there is a method of dropping a necessary amount of vapor deposition on a storage type evaporator equipped with a nichrome heater or a heated boat type heater. The amount of evaporation can be controlled by raising and lowering the heating temperature of the evaporation source.

【0024】[0024]

【実施例】以下、本発明の実施例によりさらに詳細に説
明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to the following Examples, but it should not be construed that the invention is limited thereto.

【0025】なお、実施例及び比較例の物性は次のよう
に測定した。
The physical properties of the examples and comparative examples were measured as follows.

【0026】(1)ラミネート強度 12μmアルミ蒸着ポリエステルフィルムのアルミ蒸着
面上にポリエステル樹脂二液型接着剤(AD503タイ
プ 東洋モートン社製)をドライで2μmコートし、熱
風乾燥した後、60μmCPPフィルム(東レ合成(株)
3501、EC処理面)とラミネートする。72時間4
0℃エージング処理した後、15mm×200mmに切
り出し、テンシロン万能試験機(オリエンテック社製)
を用いて引っ張り速度300mm/分でT型剥離時の剥
離強度を蒸着強度として測定した。
(1) Lamination strength A polyester resin two-component adhesive (AD503 type, manufactured by Toyo Morton Co., Ltd.) is coated on the aluminum-deposited surface of a 12-μm aluminum-deposited polyester film by a dry 2 μm, dried with hot air, and then dried with a 60 μm CPP film (Toray). Gosei Co., Ltd.
3501, EC-treated surface). 72 hours 4
After aging treatment at 0 ° C, cut out to 15mm x 200mm, Tensilon universal tester (Orientec)
The peeling strength at the time of T-shaped peeling was measured as the vapor deposition strength at a pulling speed of 300 mm / min.

【0027】(2)酸素透過率 酸素透過率測定装置(モンダンコントロール社製OX−
TRANSM)を用いて20℃、0%RHの条件で測定
した。
(2) Oxygen permeability Oxygen permeability measuring device (OX- manufactured by Mondan Control Co., Ltd.)
TRANSM) at 20 ° C. and 0% RH.

【0028】(3)水蒸気透過率 水蒸気透過率測定装置(モダンコントロール社製PER
MATRA NW−TWIN)を用いて40℃、90%
RHの条件で測定した。
(3) Water vapor transmission rate Water vapor transmission rate measuring apparatus (PER manufactured by Modern Control Co., Ltd.)
MATRA NW-TWIN) at 40 ° C, 90%
It was measured under the condition of RH.

【0029】(4)蒸着厚み及びコート厚みの測定 透過型電子顕微鏡(日立製作所H−7100FA型)に
て断面写真を取り、写真上で厚みを実測し、写真倍率で
割り戻し実際の厚みを求めた。
(4) Measurement of Deposition Thickness and Coat Thickness A cross-sectional photograph was taken with a transmission electron microscope (H-7100FA, manufactured by Hitachi, Ltd.), the thickness was actually measured on the photograph, and the actual thickness was obtained by dividing by the photograph magnification. Was.

【0030】(5)表面粗さ 表面粗さ測定器(小坂研究所 SE−30C)にて表面
粗さ最大表面粗さ、平均表面粗さを測定した。
(5) Surface Roughness The maximum surface roughness and the average surface roughness were measured with a surface roughness measuring device (Kosaka Laboratory SE-30C).

【0031】[実施例1]厚さ12μmのポリエステル
フィルム(東レ(株)ルミラーT705タイプ)を基材と
して、1Pa雰囲気において、その上にグロー放電下
(200mA/m2)でポリエステルフィルム上に銅を
5オングストローム蒸着した。さらに連続して10ー2
a雰囲気で、厚み50nmのアルミ蒸着層を形成させ
た。引き続き、1Pa雰囲気で、モンタン酸ワックス
(クライアントジャパン(株)Eワックス)を200℃に
加熱し、その熱分解生成物をアルミ金属蒸着層上に厚み
50nm形成させた。
Example 1 Using a 12 μm-thick polyester film (Lumilar T705 type, manufactured by Toray Industries, Inc.) as a base material, a copper film was formed on the polyester film under a glow discharge (200 mA / m 2 ) in a 1 Pa atmosphere. Was deposited for 5 Å. 10-2 P continuously
A 50 nm-thick aluminum deposition layer was formed in an atmosphere a. Subsequently, in a 1 Pa atmosphere, montanic acid wax (Client Japan Co., Ltd. E wax) was heated to 200 ° C., and a pyrolysis product was formed to a thickness of 50 nm on the aluminum metal deposition layer.

【0032】[実施例2]厚さ12μmのポリエステル
フィルム(東レ(株)ルミラーT705タイプ)を基材と
して、1Pa雰囲気において、その上にグロー放電下2
00mA/m2)でポリエステルフィルム上に銅を5オ
ングストローム蒸着した。さらに連続して10ー2Pa雰
囲気で、厚み50nmのアルミ蒸着層を形成させた。
Example 2 A polyester film (Lumirror T705 type, manufactured by Toray Industries, Inc.) having a thickness of 12 μm was used as a base material in a 1 Pa atmosphere under glow discharge.
(00 mA / m 2 ), 5 Å of copper was vapor-deposited on the polyester film. Further, a 50 nm-thick aluminum vapor-deposited layer was continuously formed in a 10-2 Pa atmosphere.

【0033】引き続き、1Pa雰囲気で、モンタン酸ワ
ックス(クライアントジャパン(株)Fワックス)を22
0℃に加熱し、その熱分解生成物をアルミ蒸着層上に厚
み80nm形成させた。
Subsequently, in a 1 Pa atmosphere, 22 parts of montanic acid wax (Client Wax Co., Ltd. F wax) were added.
The mixture was heated to 0 ° C., and the pyrolysis product was formed to a thickness of 80 nm on the aluminum deposition layer.

【0034】[実施例3]厚さ12μmのポリエステル
フィルム(東レ(株)ルミラーT705タイプ)を基材と
して、1Pa雰囲気において、その上にグロー放電下2
00mA/m2)でポリエステルフィルム上に銅を5オ
ングストローム蒸着した。さらに連続して10ー2Pa雰
囲気で、厚み50nmのアルミ蒸着層を形成させた。引
き続き、1Pa雰囲気で、ポリオレフィンワックス(ク
ライアントジャパン(株)PE520)を250℃に加熱
し、その熱分解生成物をアルミ蒸着層上に厚み40nm
形成させた。
Example 3 A 12 μm thick polyester film (Lumirror T705 type, manufactured by Toray Industries, Inc.) was used as a base material in a 1 Pa atmosphere under glow discharge.
(00 mA / m 2 ), 5 Å of copper was vapor-deposited on the polyester film. Further, a 50 nm-thick aluminum vapor-deposited layer was continuously formed in a 10-2 Pa atmosphere. Subsequently, the polyolefin wax (Client Japan Co., Ltd. PE520) was heated to 250 ° C. in a 1 Pa atmosphere, and the pyrolysis product was deposited on the aluminum deposition layer to a thickness of 40 nm.
Formed.

【0035】[比較例1]厚さ12μmのポリエステル
フィルム(東レ(株)ルミラーT705タイプ)を基材と
して、10ー2Pa雰囲気で、厚み50nmのアルミニウ
ムを形成させた。
The polyester film of Comparative Example 1 thickness 12μm (the Toray Lumirror T705 type) as a substrate, at 10 over 2 Pa atmosphere to form aluminum thickness 50nm.

【0036】[比較例2]厚さ12μmのポリエステル
フィルム(東レ(株)ルミラーT705タイプ)を基材と
して、1Pa雰囲気において、その上にグロー放電下2
00mA/m2でポリエステルフィルム上に銅を厚み
0.5nm蒸着した。さらに連続して10ー2Pa雰囲気
で、厚み50nmのアルミ蒸着層を形成させた。
[Comparative Example 2] A polyester film (Lumirror T705 type, manufactured by Toray Industries, Inc.) having a thickness of 12 μm was used as a base material in a 1 Pa atmosphere under glow discharge.
Copper was vapor-deposited at a thickness of 0.5 nm on the polyester film at 00 mA / m 2 . Further, a 50 nm-thick aluminum vapor-deposited layer was continuously formed in a 10-2 Pa atmosphere.

【0037】[比較例3]厚さ12μmのポリエステル
フィルム(東洋紡(株)E5000タイプ)を基材(平均
粗さ0.2μm、最大粗さ4.3μm)として、1Pa
雰囲気において、その上にグロー放電下200mA/m
2)でポリエステルフィルム上に銅を厚み0.5nm蒸
着した。さらに連続して10ー2Pa雰囲気で、50nm
のアルミ蒸着層を形成させた。引き続き、1Pa雰囲気
で、ポリオレフィンワックス(クライアントジャパン
(株)PE520)を250℃に加熱し、その熱分解生成
物をアルミ蒸着層上に厚み40nm形成させた。
Comparative Example 3 A polyester film (Toyobo Co., Ltd. E5000 type) having a thickness of 12 μm was used as a base material (average roughness 0.2 μm, maximum roughness 4.3 μm) and 1 Pa
200 mA / m under glow discharge
In step 2 ), copper was deposited on the polyester film in a thickness of 0.5 nm. Further in succession 10 over 2 Pa atmosphere, 50 nm
Was formed. Continuously, in a 1Pa atmosphere, polyolefin wax (Client Japan
(PE520) was heated to 250 ° C., and the pyrolysis product was formed to a thickness of 40 nm on the aluminum deposition layer.

【0038】[0038]

【表1】 [Table 1]

【0039】[0039]

【発明の効果】ポリエステルフィルム上に金属アンカー
蒸着層、アルミニウム蒸着層を形成しさらに樹脂蒸着層
を形成することによって、蒸着密着強度向上及び蒸着面
の耐擦過性が向上し,ガスバリヤー性の向上が図られ、
特に食品包装用として有効なアルミ蒸着ポリエステルフ
ィルムを工業的に有利に得ることができる。
According to the present invention, a metal anchor vapor deposition layer and an aluminum vapor deposition layer are formed on a polyester film, and a resin vapor deposition layer is further formed, thereby improving the vapor deposition adhesion strength, the abrasion resistance of the vapor deposition surface, and the gas barrier property. Is planned,
In particular, an aluminum-evaporated polyester film effective for food packaging can be industrially advantageously obtained.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ポリエステルフィルムからなる基材上に、
少なくとも片面に設けたグロー放電下で形成した平均膜
厚0.01〜1nmの金属アンカー蒸着層の上に膜厚2
0〜100nmのアルミニウム蒸着層、さらに厚み10
〜100nmの蒸着樹脂層を設けてなるアルミ蒸着ポリ
エステルフィルム。
1. A method according to claim 1, wherein the substrate comprises a polyester film,
A film having a film thickness of 2 is formed on a metal anchor vapor deposition layer having an average film thickness of 0.01 to 1 nm formed under glow discharge provided on at least one surface.
Aluminum deposited layer of 0-100 nm, further thickness 10
An aluminum vapor-deposited polyester film provided with a vapor-deposited resin layer of about 100 nm.
【請求項2】ポリエステルフィルムの表面粗さが、平均
粗さで0.3〜0.5μmの範囲であり、かつ最大粗さ
で1.5〜3.5μmの範囲であることを特徴とする請
求項1記載のアルミ蒸着ポリエステルフィルム。
2. The polyester film according to claim 1, wherein the surface roughness of the polyester film is in the range of 0.3 to 0.5 μm and the maximum roughness is in the range of 1.5 to 3.5 μm. The aluminum-evaporated polyester film according to claim 1.
【請求項3】金属アンカー蒸着層が銅あるいは酸化銅か
らなることを特徴とする請求項1または2記載のアルミ
蒸着ポリエステルフィルム。
3. The aluminum-evaporated polyester film according to claim 1, wherein the metal anchor vapor-deposited layer is made of copper or copper oxide.
【請求項4】蒸着樹脂層が、モンタン酸ワックス、ポリ
オレフィンワックスまたはその熱分解生成物からなるこ
とを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のアルミ
蒸着ポリエステルフィルム。
4. The aluminum-deposited polyester film according to claim 1, wherein the deposited resin layer comprises montanic acid wax, polyolefin wax or a thermal decomposition product thereof.
【請求項5】金属アンカー蒸着層、アルミニウム蒸着
層、蒸着樹脂層の形成を同一真空漕内で連続して行うこ
とを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のアルミ
蒸着ポリエステルフィルムの製法。
5. The aluminum-evaporated polyester film according to claim 1, wherein the metal anchor vapor-deposited layer, the aluminum vapor-deposited layer, and the vapor-deposited resin layer are continuously formed in the same vacuum chamber. Manufacturing method.
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