JPH1114570A - 蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents
蛍光ｘ線分析装置Info
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- JPH1114570A JPH1114570A JP13118398A JP13118398A JPH1114570A JP H1114570 A JPH1114570 A JP H1114570A JP 13118398 A JP13118398 A JP 13118398A JP 13118398 A JP13118398 A JP 13118398A JP H1114570 A JPH1114570 A JP H1114570A
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Abstract
装置で複数種の波長の１次Ｘ線を選択可能としたもの
は、複数のＸ線管と夫々に対応するＸ線分光手段を用い
ていたので、装置が大型，複雑，高価である。この点を
改善する。 【解決手段】 一つのＸ線管１のＸ線発生点Ｐを共通の
Ｘ線入射点とし、試料２上の一点Ｑを共通のＸ線収束点
とする複数種の分光結晶５１〜５６をＸ線発生点Ｐと試
料上のＸ線収束点Ｑを結ぶ直線の周りに配置した。
Description
を励起Ｘ線として使用し得るようにした蛍光Ｘ線分析装
置に関する。
のため、試料を照射する励起用Ｘ線（１次Ｘ線）をＸ線
分光器を通して単色化することが行われている。この場
合単色化されたＸ線の波長は試料中の検出しようとする
元素の特性Ｘ線波長或いはそれに近い波長に選定される
から、検出しようとする元素が複数あるときは、１次Ｘ
線用分光器が一つしかないときはそれら複数の元素の同
時検出定量ができず、分析に時間がかゝる。そこで同時
に複数種の波長の１次Ｘ線を照射できる蛍光Ｘ線分析装
置が用いられている。
試料に照射できる従来の蛍光Ｘ線分析装置は、各波長毎
にＸ線管とＸ線分光器を備え、使用したい一乃至複数の
Ｘ線波長に応じて対応するＸ線管の電源をオン，オフし
たり、或いはＸ線管毎のシャッターを開閉することで波
長の選択切換えを行なう構成であった。
のような問題があった。複数のＸ線管と複数のＸ線分光
器を用いるから装置が大型となり高価となる。使用する
Ｘ線波長の切換え手段が電源のオン，オフであってもシ
ャッターの開閉であっても装置を複雑化するものであ
り、装置価格を押上げる。また切換えに時間がかゝる。
本発明は複数種の波長の１次Ｘ線を用い得る蛍光Ｘ線分
析装置の上述したような問題を解消しようとするもので
ある。
線発生点と試料面の一つの分析点とを結ぶ直線の周りに
配置され、上記Ｘ線発生点を入射点とし、試料面の上記
一つの分析点を出射点とする複数のＸ線分光器と、上記
各Ｘ線分光器のＸ線入射側および出射側に配置されて、
各Ｘ線分光器の分光結晶に入射するＸ線と各分光結晶か
ら試料に向かうＸ線のみを通す各Ｘ線分光器毎の入射ス
リットおよび出射スリットとにより蛍光Ｘ線分析装置を
構成した。
示す。この実施形態は三種類の１次Ｘ線を取出し使用で
きる構成である。図で１がＸ線管、２が試料、３がＸ線
検出手段で試料から放射される蛍光Ｘ線を検出する。Ｘ
線管のターゲット１ｔのＰ点は励起用電子線の焦点で、
１次Ｘ線の放射点である。Ｑ点は試料分析位置で、こゝ
に試料２の分析点を位置させる。Ｐ点とＱ点を結ぶ直線
Ａの周りに６個の分光結晶５１〜５６が配置されている
（５２，５３，５５，５６の４個は図では見えていな
い）。各分光結晶は湾曲結晶で夫々がＰ点Ｑ点を通る夫
々のローランド円上に配置されて、Ｐ点をＸ線入射点、
Ｑ点をＸ線収束点とするＸ線分光器を構成している。こ
れらの分光器は２個一組で一波長のＸ線を取出すように
なっている。４はＸ線入射スリット板、６はＸ線出射ス
リット板である。
る。スリット板４は図１で紙面に垂直の方向に摺動可能
であり，２組のスリット孔４１〜４６と４７が設けられ
ている。スリット孔４１〜４６はＣ点を中心として相互
の角間隔６０°に配置され、中心から各スリット孔まで
の距離は夫々のスリット孔と対応する分光結晶の種類と
出射すべきＸ線の波長とから決まる値に設定されてい
る。スリット板４はＣ点を図１の中心線Ａが通る位置
と、スリット孔４７の中心をＡが通る位置の２位置を採
ることができるようになっている。図２Ｂはスリット板
６の正面図である。スリット板６も図１で紙面に垂直の
方向に摺動可能になっている。スリット板６には５組の
スリット孔が設けられている。第１の組は分光結晶５１
〜５６に対応する全部のスリット孔６１〜６６よりな
り、第２の組は第１組のスリット孔６３と６４に相当す
るスリット孔６３ａと６４ａを有し、第３の組は同じく
６５ａ，６６ａの二つのスリット孔を有し、第４の組は
６１ａと６２ａの二つのスリット孔を有し、第５の組は
中央の一組の孔６７のみを有する。スリット板６の各組
のスリット孔は夫々点Ｄ1 〜Ｄ5 を中心にして配置され
ている。各組のスリット孔６１〜６６で同じ孔番のもの
は夫々の組の中心から同じ距離にあり、その距離はスリ
ット板４の対応するスリット孔４１〜４６と夫々対応す
る分光結晶５１〜５６とで目的の波長のＸ線を取出す分
光器を構成するように設定してある。
位置するように設定し、図２Ｂのスリット板６の第１の
組のスリット孔の中心Ｄ1 が図１の中心線Ａ上に位置す
るようにすると、３種類の波長のＸ線が同時に試料上の
Ｑ点を照射する。またスリット板４を上述位置のまゝに
して例えばスリット板６のＤ3 点を図１の中心線Ａ上に
位置させれば分光結晶５５と５６により選択された一つ
の波長のＸ線だけが試料を照射することになる。スリッ
ト板４のスリット孔４７とスリット板６の第５組のスリ
ット孔６７を図１の中心線Ａ上に位置させると、試料を
Ｘ線管１から放射される全波長のＸ線で照射することが
できる。また同様にして図２Ｃのスリット板を用いる
と、３個一組のスリット二組とスリット孔６７の３種の
選択切替えが出来る。従って複数のＸ線管を一々点滅し
て照射Ｘ線を選択或いは切換えると云った構造上、操作
上の複雑さがない。
適用できる。分光結晶を用いた波長走査可能のもの、比
例係数管のような波長選択機能を持ったもの或いは全波
長Ｘ線を検出可能な計数管等である。上例のように複数
種の波長の１次Ｘ線を同時照射し得る場合、複数の比例
計数管を夫々検出したいＸ線波長に合わせて窓を設定し
ておくことにより複数の元素の同時検出定量が可能であ
る。
の中に含まれる元素の特性Ｘ線を放射している。スリッ
ト板４，分光結晶５１〜５６およびスリット板６で構成
される各Ｘ線分光器はそれらの配置および分光結晶の種
類によってこれらの特性Ｘ線の波長に合わせてあって、
これらの特性Ｘ線波長のＸ線を選んで試料に照射させ
る。他の一例を用いて説明すると、ターゲットがＲｈで
あって、ＲｈＫα，ＲｈＬα線が放射され、ＲｈＫαに
対応して分光結晶５１〜５３としてＬｉＦの（２００）
面を用い、ＲｈＬαに対して分光結晶５４〜５６にＴＡ
Ｐが用いられる。この選択によって試料にはＲｈＬαと
ＲｈＫαの両線が照射される。この組合せは３個の分光
結晶が一Ｘ線波長に対応し、二種の波長のＸ線を取出せ
るが、６個の分光結晶の各々を全部異なる波長のＸ線を
取出す構成とするよりも一つの波長のＸ線強度を高める
ことができる。例えば２個一組なら２倍、３個一組なら
３倍と言うようにＸ線強度が高まる。このように１次Ｘ
線を２波長とするときはスリット板６は図２Ｃに示すよ
うに二組のスリット孔を有するものとすればよい。
いると図３に示す特性Ｘ線のスペクトルから判るように
試料中のＳ，Ｐｂ等のＳＫα線，ＰｂＬβ線を試料から
の蛍光Ｘ線として検出することができる。上述した所は
１次Ｘ線の波長は３種類と２種類が選べる場合だけであ
るが、本発明ではもとより１次Ｘ線の選択し得る波長の
種類は限定されないものである。分光結晶の数も６と限
らず、４個とか８個その他でもよい。分光結晶の数を増
し、図１の中心線Ａの周りの各Ｘ線分光器の分担角度範
囲を小さくするとＸ線の利用効率を高めることができ
る。
の波長の１次Ｘ線を単独または同時に選択して試料を照
射することができ、複数種のＸ線管と分光器を用いるの
に比し装置が小型にできる。本発明でも複数の分光器を
用いているが、それがＸ線管と試料を結ぶ一つの直線の
周りに配置されているので装置が特に小型化され、しか
もＸ線の利用効率も高められている。また１次Ｘ線の選
択はＸ線管の点滅によらず、スリット孔群の選択だけで
行われるから選択したＸ線管の立上りを待つ必要がな
く、複数種の元素の分析が迅速に行えることになる。
図。
きることを示すＸ線スペクトルの図。
Claims (1)
- 【請求項１】 一つのＸ線管と、そのＸ線発生点と試料
が置かれる場所の一つの点とを結ぶ直線の周りに配置さ
れ、上記Ｘ線発生点をＸ線の入射点とし、上記試料が置
かれる場所の一つの点をＸ線の収束点とする複数のＸ線
分光器と、上記各Ｘ線分光器の分光結晶へのＸ線入射側
と分光結晶からの出射側とに配置されて、各分光結晶か
ら試料に向かうＸ線のみを通すＸ線分光器毎の入射側ス
リットおよび出射側スリットとよりなる蛍光Ｘ線分析装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13118398A JP3843601B2 (ja) | 1997-04-30 | 1998-04-24 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9-126272 | 1997-04-30 | ||
| JP12627297 | 1997-04-30 | ||
| JP13118398A JP3843601B2 (ja) | 1997-04-30 | 1998-04-24 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1114570A true JPH1114570A (ja) | 1999-01-22 |
| JP3843601B2 JP3843601B2 (ja) | 2006-11-08 |
Family
ID=26462493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13118398A Expired - Fee Related JP3843601B2 (ja) | 1997-04-30 | 1998-04-24 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3843601B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1152096A (ja) * | 1997-08-06 | 1999-02-26 | Rigaku Ind Co | 点集束型ｘ線分光装置 |
| JP2002195963A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-10 | Ours Tex Kk | Ｘ線分光装置およびｘ線分析装置 |
| JP2008170236A (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-24 | High Energy Accelerator Research Organization | Ｘ線及び中性子線の反射率曲線測定方法及び測定装置 |
| DE19853754B4 (de) * | 1998-11-21 | 2009-06-10 | Spectro Analytical Instruments Gmbh | Simultanes Doppelgitter-Spektrometer mit Halbleiterzeilensensoren oder Photoelektronenvervielfachern |
| JP2011513751A (ja) * | 2008-03-05 | 2011-04-28 | エックス−レイ オプティカル システムズ インコーポレーテッド | 高度に位置合わせされた筐体内に複数の励起エネルギー帯域を有するｘｒｆシステム |
| EP4201328A1 (en) * | 2021-12-21 | 2023-06-28 | Universität Hamburg | X-ray irradiation apparatus, including a spectrally shaping x-ray optic and a spectral filter aperture device, for x-ray imaging |
-
1998
- 1998-04-24 JP JP13118398A patent/JP3843601B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
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| JP4521573B2 (ja) * | 2007-01-10 | 2010-08-11 | 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 | 中性子線の反射率曲線測定方法及び測定装置 |
| JP2011513751A (ja) * | 2008-03-05 | 2011-04-28 | エックス−レイ オプティカル システムズ インコーポレーテッド | 高度に位置合わせされた筐体内に複数の励起エネルギー帯域を有するｘｒｆシステム |
| EP4201328A1 (en) * | 2021-12-21 | 2023-06-28 | Universität Hamburg | X-ray irradiation apparatus, including a spectrally shaping x-ray optic and a spectral filter aperture device, for x-ray imaging |
| WO2023117921A1 (en) * | 2021-12-21 | 2023-06-29 | Universität Hamburg | X-ray irradiation apparatus, including a spectrally shaping x-ray optic and a spectral filter aperture device, for x-ray imaging |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3843601B2 (ja) | 2006-11-08 |
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