JPH11129477A - Ink jet recording head - Google Patents

Ink jet recording head

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Publication number
JPH11129477A
JPH11129477A JP31651697A JP31651697A JPH11129477A JP H11129477 A JPH11129477 A JP H11129477A JP 31651697 A JP31651697 A JP 31651697A JP 31651697 A JP31651697 A JP 31651697A JP H11129477 A JPH11129477 A JP H11129477A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure generating
ink
recording head
ink jet
supply port
Prior art date
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Pending
Application number
JP31651697A
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Japanese (ja)
Inventor
Tomoaki Takahashi
智明 高橋
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance ink jet efficiency without causing any deterioration of productivity. SOLUTION: A channel forming board 5 comprises a reservoir 8, first and second pressure generating rooms 9, 10 formed on the opposite sides, a supply port 11 for coupling the first pressure generating room 9 with the reservoir 8, a port 13 for coupling the first and second pressure generating rooms 9, 10 on the ink supply port side, and a nozzle conduction hole 14 located oppositely to a nozzle opening 6. A part of ink flowing back to the ink supply port side at the time of jetting an ink drop is fed from the pressure generating room coupling port 13 into the second pressure generating room 10 so that it contributes to ink jet.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ノズル開口とリザ
ーバに連通する圧力発生室のインクを圧力発生手段によ
り加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインク
ジェット式記録ヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording head for discharging ink droplets from a nozzle opening by pressurizing ink in a pressure generating chamber communicating with a nozzle opening and a reservoir by a pressure generating means.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェット式記録ヘッドは、共通の
インク室とノズル開口に連通する圧力発生室を、圧力発
生手段、例えば圧力発生室に設けられた発熱素子や、圧
力発生室の一部を変形させることができるように設けら
れた圧電振動子等により加圧してインク滴を吐出させる
ように構成されている。図4は、圧力発生手段として圧
電振動子を使用したインクジェット式記録ヘッドの一例
を示すものであって、リザーバ20、インク供給口2
1、及び圧力発生室22を区画、形成する流路形成基板
23と、一方の開口を封止する弾性板24と、各圧力発
生室22に連通するノズル開口25が穿設されたノズル
プレート26とを積層して流路ユニット27を形成し、
ホルダ28に収容された圧電振動子29の先端が圧力発
生室22の領域に当接するようにホルダ28の開口面3
0に固定して構成されている。なお、図中符号31は、
シールド部材を兼ねる固定枠を示す。
2. Description of the Related Art In an ink jet type recording head, a pressure generating chamber communicating with a common ink chamber and a nozzle opening is deformed by a pressure generating means, for example, a heating element provided in the pressure generating chamber or a part of the pressure generating chamber. The ink droplets are ejected by applying pressure by a piezoelectric vibrator or the like provided so as to be capable of causing the ink droplets to be ejected. FIG. 4 shows an example of an ink jet recording head using a piezoelectric vibrator as a pressure generating means.
1, a flow path forming substrate 23 for partitioning and forming the pressure generating chambers 22, an elastic plate 24 for sealing one opening, and a nozzle plate 26 having a nozzle opening 25 communicating with each pressure generating chamber 22. Are laminated to form a channel unit 27,
The opening surface 3 of the holder 28 is arranged such that the tip of the piezoelectric vibrator 29 accommodated in the holder 28 contacts the region of the pressure generating chamber 22.
It is configured to be fixed to 0. In addition, the code | symbol 31 in a figure is
4 shows a fixed frame also serving as a shield member.

【0003】この流路基板23は、圧電振動子により圧
力発生室が膨張した場合にはリザーバのインクを速やか
に圧力発生室に流入させ、また圧力発生室が縮小された
場合には圧力発生室のインクをノズル開口からのインク
滴として効率的に吐出するために、図5に示したように
圧力発生室22とリザーバ20とを適当な流体インピー
ダンスを備えるように、圧力発生室22の幅よりも絞ら
れた貫通孔からなる供給口21により両者が接続されて
いる。
The flow path substrate 23 allows the ink in the reservoir to quickly flow into the pressure generating chamber when the pressure generating chamber expands due to the piezoelectric vibrator, and the pressure generating chamber when the pressure generating chamber is reduced. In order to efficiently discharge the ink as an ink droplet from the nozzle opening, the pressure generating chamber 22 and the reservoir 20 are provided with an appropriate fluid impedance as shown in FIG. Both are connected by a supply port 21 formed of a narrowed through hole.

【0004】このような流路形成基板を異方性エッチン
グにより形成しようとすると、シリコン単結晶基板の大
半の領域に貫通孔が形成されるため、流路形成基板の剛
性が低下して、組み立て作業が困難となる。また剛性を
高めようとしてシリコン単結晶基板の厚みを厚くする
と、エッチング時間が長くなり生産性が低下するという
問題がある。
If an attempt is made to form such a flow path forming substrate by anisotropic etching, a through hole is formed in most of the silicon single crystal substrate, so that the rigidity of the flow path forming substrate is reduced and assembly is performed. Work becomes difficult. Further, if the thickness of the silicon single crystal substrate is increased in order to increase the rigidity, there is a problem that the etching time is increased and the productivity is reduced.

【0005】このような問題を解消するため、図6
(イ)、(ロ)に示したようにシリコン単結晶基板32
の両面にそれぞれ凹部からなる第1、第2圧力発生室3
3、34を形成し、各圧力発生室33、34にはリザー
バ35と連通する若干絞られた凹部からなる第1、第2
インク供給口36、37を設け、さらにノズル開口38
に対向する領域に貫通孔からなるノズル連通孔39を形
成したものが提案されている(特開平9-123448号公
報)。
To solve such a problem, FIG.
As shown in (a) and (b), the silicon single crystal substrate 32
First and second pressure generating chambers 3 each having a concave portion on both sides of
3 and 34, and each of the pressure generating chambers 33 and 34 has a first and a second concave portion that is slightly narrowed and communicates with the reservoir 35.
Ink supply ports 36 and 37 are provided;
A nozzle communication hole 39 formed of a through hole is formed in a region opposed to the above (JP-A-9-123448).

【0006】これによれば、シリコン単結晶基板32の
貫通孔が占める比率が少なくなるため、剛性を確保で
き、このためシリコン単結晶基板の厚みを薄くできて、
エッチング時間の短縮と材料費の節減を図ることが可能
となる。
According to this, the ratio occupied by the through holes of the silicon single crystal substrate 32 is reduced, so that rigidity can be ensured. Therefore, the thickness of the silicon single crystal substrate can be reduced.
It is possible to reduce the etching time and the material cost.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図6
(ハ)に示したように圧電振動子の変位により膨張、収
縮を受ける第1圧力発生室33のインクは、それぞれノ
ズル連通孔39側と第1のインク供給口37の流体イン
ピーダンスに対応して流量Q1、Q2でノズル連通孔3
9と第1インク供給口36とに流れ込み、ノズル連通孔
39に流れ込んだ流量Q1のインクは、さらにノズル開
口38と第2の圧力発生室34との流体インピーダンス
に対応して流量Q11、Q12に分流し、最終的に量Q1
1のインクだけがインク滴としてノズル開口38から吐
出することになる。このため、圧電振動子による第1圧
力発生室33の容積変化量の40乃至50%程度のイン
クがインク滴として吐出することになり、吐出口率が低
いという問題がある。本発明はこのような問題に鑑みて
なされたものであって、その目的とするところは製造効
率の低下を招くこと無く、インク滴の吐出効率を向上す
ることができるインクジェット式記録ヘッドを提供する
ことである。
However, FIG.
As shown in (c), the ink in the first pressure generation chamber 33 that undergoes expansion and contraction due to the displacement of the piezoelectric vibrator corresponds to the fluid impedance of the nozzle communication hole 39 and the first ink supply port 37, respectively. Nozzle communication hole 3 at flow rate Q1, Q2
9 and the first ink supply port 36, and the ink having the flow rate Q1 flowing into the nozzle communication hole 39 further changes to the flow rates Q11 and Q12 corresponding to the fluid impedance between the nozzle opening 38 and the second pressure generating chamber 34. Divide and finally quantity Q1
Only one ink is ejected from the nozzle opening 38 as an ink droplet. For this reason, about 40 to 50% of the amount of change in the volume of the first pressure generating chamber 33 due to the piezoelectric vibrator is ejected as ink droplets, and there is a problem that the ejection opening ratio is low. The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide an ink jet recording head capable of improving the ejection efficiency of ink droplets without lowering the production efficiency. That is.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、弾性板と、流路形成基板
と、ノズル開口を備えたノズルプレートとを積層して構
成された流路ユニットと、圧力発生手段とを備えたイン
クジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板
が、リザーバと、圧力発生手段側と前記ノズルプレート
側に形成された凹部からなる第1、第2圧力発生室と、
第1圧力発生室と前記リザーバとを接続するインク供給
口と、前記インク供給口側の端部で第1、第2圧力発生
室を接続する圧力発生室接続口と、前記ノズル開口に対
向する位置にノズル連通孔とを備えるようにした。
According to the present invention, there is provided a flow passage formed by laminating an elastic plate, a flow passage forming substrate, and a nozzle plate having nozzle openings. In an ink jet type recording head provided with a unit and a pressure generating unit, the flow path forming substrate has a first and a second pressure generating chamber each including a reservoir, and a concave portion formed on the pressure generating unit side and the nozzle plate side. When,
An ink supply port connecting the first pressure generation chamber to the reservoir; a pressure generation chamber connection port connecting the first and second pressure generation chambers at an end on the ink supply port side; A nozzle communication hole was provided at the position.

【0009】[0009]

【作用】インク滴吐出時インク供給口側に逆流したイン
クの内、一部が圧力発生室接続口から第2圧力発生室に
流れ込んでインク滴の吐出に寄与するから、リザーバへ
の戻り分が少なくなってインク滴として吐出するインク
量が増加する。
According to the present invention, a part of the ink flowing backward to the ink supply port at the time of ink droplet discharge flows into the second pressure generation chamber from the pressure generation chamber connection port and contributes to the discharge of the ink droplet. As a result, the amount of ink ejected as ink droplets increases.

【0010】[0010]

【発明の実施の態様】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図1は、本発明の一実
施例を示すものであって、圧力発生手段を構成する軸方
向に伸縮する圧電振動子1は、その先端を流路ユニット
2を構成する弾性板3に当接した状態でヘッドホルダ4
に固定されている。この流路ユニット2は、弾性板3
と、流路形成基板5と、ノズル開口6を備えたノズルプ
レート7とを積層して構成されている。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram showing a first embodiment of the present invention. FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. A piezoelectric vibrator 1 which expands and contracts in an axial direction, which constitutes a pressure generating means, has its tip abutted on an elastic plate 3 which constitutes a flow path unit 2. Head holder 4
It is fixed to. The flow path unit 2 includes an elastic plate 3
, A flow path forming substrate 5 and a nozzle plate 7 having a nozzle opening 6.

【0011】流路形成基板5は、貫通孔として形成され
るリザーバ8と、圧電振動子1側とノズルプレート7側
に形成された凹部からなる第1、第2圧力発生室9、1
0と、第1圧力発生室9に連通する凹部として形成され
たインク供給口11と、このインク供給口側において第
1、第2圧力発生室9、10を区画する壁12を貫通す
る圧力発生室接続口13と、ノズル開口6に対向する貫
通孔からなるノズル連通孔14を形成して構成されてい
る。
The flow path forming substrate 5 has a reservoir 8 formed as a through hole, and first and second pressure generating chambers 9 and 1 formed of concave portions formed on the piezoelectric vibrator 1 side and the nozzle plate 7 side.
0, an ink supply port 11 formed as a concave portion communicating with the first pressure generation chamber 9, and a pressure generation penetrating a wall 12 defining the first and second pressure generation chambers 9 and 10 on the ink supply port side. It is configured by forming a chamber connection port 13 and a nozzle communication hole 14 formed of a through hole facing the nozzle opening 6.

【0012】そして、インク供給口11は、その流体イ
ンピーダンスがノズル開口6のインピーダンスよりも大
きくなるように構成されている。
The ink supply port 11 is configured such that its fluid impedance is larger than the impedance of the nozzle opening 6.

【0013】この実施例において、圧電振動子1が収縮
して第1圧力発生室9が膨張すると、リザーバ8のイン
クがインク供給口11から第1圧力発生室9側に流れ込
み圧力発生室接続口13で第2圧力発生室10にも分流
し、第1、第2圧力発生室9、10にインクが供給され
る。
In this embodiment, when the piezoelectric vibrator 1 contracts and the first pressure generating chamber 9 expands, ink in the reservoir 8 flows from the ink supply port 11 to the first pressure generating chamber 9 side, and the pressure generating chamber connection port. At 13, the ink is also supplied to the first and second pressure generating chambers 9 and 10 by shunting to the second pressure generating chamber 10.

【0014】圧電振動子1が伸長して弾性板3がノズル
プレート側に押圧されると、ノズル連通孔14側には量
Q1の、圧力発生室接続口13側には量Q2のインクが
流れる。ノズル連通孔14側に流れ込んだ量Q1のイン
クは、ノズル開口6にQ11、また第2圧力発生室10
にQ12が分流する。
When the piezoelectric vibrator 1 is extended and the elastic plate 3 is pressed toward the nozzle plate, an amount Q1 of ink flows to the nozzle communication hole 14 side and an amount Q2 of ink flows to the pressure generating chamber connection port 13 side. . The amount Q1 of ink flowing into the nozzle communication hole 14 is supplied to the nozzle opening 6 by Q11 and the second pressure generation chamber 10
Q12 is diverted.

【0015】一方、インク供給口11側に流れ込んだ量
Q2のインクの内、量Q21が圧力発生室接続口13か
ら第2圧力発生室10を通り、ノズル開口6に流れ込
む。ノズル開口6の流体インピーダンスがインク供給口
11の流体インピーダンスよりも小さいため、圧力発生
室接続口13を経由して第2の圧力発生室10に流れ込
むインク量Q21が、ノズル連通孔14を経由して第2の
圧力発生室10に流れ込むインク量Q12よりも多くなる
から、インク滴として吐出されるインク量が増加する。
On the other hand, of the amount Q2 of ink flowing into the ink supply port 11 side, the amount Q21 flows from the pressure generation chamber connection port 13 through the second pressure generation chamber 10 into the nozzle opening 6. Since the fluid impedance of the nozzle opening 6 is smaller than the fluid impedance of the ink supply port 11, the amount of ink Q21 flowing into the second pressure generation chamber 10 via the pressure generation chamber connection port 13 passes through the nozzle communication hole 14. As a result, the amount of ink Q12 flowing into the second pressure generating chamber 10 is larger than that of the second pressure generating chamber 10, so that the amount of ink ejected as ink droplets increases.

【0016】すなわち、第1圧力発生室9の容積変化量
の60乃至80%がインク滴として吐出することにな
り、1つの圧電振動子の作用を受ける圧力発生室を2つ
備えたインクジェット式記録ヘッドの吐出効率40乃至
50%に比較して大幅に吐出効率が向上する。
That is, 60 to 80% of the volume change amount of the first pressure generating chamber 9 is ejected as ink droplets, and the ink jet type recording apparatus has two pressure generating chambers which are affected by one piezoelectric vibrator. The ejection efficiency is greatly improved as compared with the ejection efficiency of the head of 40 to 50%.

【0017】なお、上述の実施例のおいては、圧力発生
手段として縦振動モードの圧電振動子を使用した記録ヘ
ッドに例を採って説明したが、たわみモードの圧電振動
子や、また圧力発生室にバブルを発生させる加熱素子を
内蔵させた記録ヘッドに適用しても同様の作用を奏す
る。
In the above-described embodiment, the recording head using a longitudinal vibration mode piezoelectric vibrator as the pressure generating means has been described as an example. A similar effect can be obtained by applying the present invention to a recording head having a heating element for generating bubbles in a chamber.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
弾性板と、流路形成基板と、ノズル開口を備えたノズル
プレートとを積層して構成された流路ユニットと、圧力
発生手段とを備えたインクジェット式記録ヘッドにおい
て、流路形成基板は、リザーバと、圧力発生手段側とノ
ズルプレート側に形成された凹部からなる第1、第2圧
力発生室と、第1圧力発生室とリザーバとを接続するイ
ンク供給口と、インク供給口側の端部で第1、第2圧力
発生室を接続する圧力発生室接続口とを備えるようにし
たので、ノズル開口に対向する位置にノズル連通孔イン
ク滴吐出時にインク供給口側に逆流したインクの内、一
部を圧力発生室接続口から第2圧力発生室に流れ込ませ
てインク滴の吐出に寄与させることができて、インク滴
として吐出するインク量を増加させることができる。
As described above, in the present invention,
In an ink jet recording head including a flow path unit formed by laminating an elastic plate, a flow path forming substrate, and a nozzle plate having a nozzle opening, and a pressure generating unit, the flow path forming substrate is a reservoir. First and second pressure generating chambers formed of concave portions formed on the pressure generating means side and the nozzle plate side; an ink supply port connecting the first pressure generating chamber and the reservoir; and an end on the ink supply port side And the pressure generation chamber connection port for connecting the first and second pressure generation chambers, so that, of the ink that has flowed back to the ink supply port side at the time of discharging the nozzle communication hole ink droplet at a position facing the nozzle opening, A part of the ink flows into the second pressure generation chamber from the pressure generation chamber connection port to contribute to the ejection of ink droplets, and the amount of ink ejected as ink droplets can be increased.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing one embodiment of an ink jet recording head of the present invention.

【図2】同上記録ヘッドの流路形成基板を拡大して示す
斜視図である。
FIG. 2 is an enlarged perspective view showing a flow path forming substrate of the recording head.

【図3】同上記録ヘッドに形成される流路を模式的に示
す図である。
FIG. 3 is a diagram schematically showing a flow path formed in the recording head.

【図4】縦振動モードの圧電振動子をアクチュエータと
するインクジェット式記録ヘッドの一例を示す組立斜視
図である。
FIG. 4 is an assembly perspective view showing an example of an ink jet recording head using a piezoelectric vibrator in a longitudinal vibration mode as an actuator.

【図5】記録ヘッドを構成するスペーサを拡大して示す
斜視図である。
FIG. 5 is an enlarged perspective view showing a spacer constituting a recording head.

【図6】図(イ)乃至(ハ)は、インクジェット式記録
ヘッドの一例を示す断面図、これを構成するスペーサを
拡大して示す斜視図と、流路を模式的に示す図である。
FIGS. 6A to 6C are a cross-sectional view showing an example of an ink jet recording head, a perspective view showing an enlarged spacer constituting the ink jet recording head, and a diagram schematically showing a flow path.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 圧電振動子 2 流路ユニット 5 流路形成基板 7 ノズルプレート 8 リザーバ 9 第1圧力発生室 10 第2圧力発生室 11 インク供給口 13 圧力発生室接続口 14 ノズル連通孔 REFERENCE SIGNS LIST 1 piezoelectric vibrator 2 flow path unit 5 flow path forming substrate 7 nozzle plate 8 reservoir 9 first pressure generation chamber 10 second pressure generation chamber 11 ink supply port 13 pressure generation chamber connection port 14 nozzle communication hole

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 弾性板と、流路形成基板と、ノズル開口
を備えたノズルプレートとを積層して構成された流路ユ
ニットと、圧力発生手段とを備えたインクジェット式記
録ヘッドにおいて、 前記流路形成基板が、リザーバと、圧力発生手段側と前
記ノズルプレート側に形成された凹部からなる第1、第
2圧力発生室と、第1圧力発生室と前記リザーバとを接
続するインク供給口と、前記インク供給口側の端部で第
1、第2圧力発生室を接続する圧力発生室接続口と、前
記ノズル開口に対向する位置にノズル連通孔とを有する
インクジェット式記録ヘッド。
1. An ink jet type recording head comprising: a flow path unit formed by laminating an elastic plate, a flow path forming substrate, and a nozzle plate having a nozzle opening; and a pressure generating means. A path forming substrate, a reservoir, first and second pressure generating chambers formed of concave portions formed on the pressure generating means side and the nozzle plate side, and an ink supply port connecting the first pressure generating chamber and the reservoir. An ink jet recording head having a pressure generation chamber connection port connecting the first and second pressure generation chambers at an end on the ink supply port side, and a nozzle communication hole at a position facing the nozzle opening.
【請求項2】 前記ノズル開口の流体インピーダンス
が、前記インク供給口の流体インピーダンスよりも小さ
く設定されている請求項1に記載のインクジェット式記
録ヘッド。
2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein a fluid impedance of the nozzle opening is set smaller than a fluid impedance of the ink supply port.
【請求項3】 前記圧力発生手段が、圧電振動子により
構成されている請求項1に記載のインクジェット式記録
ヘッド。
3. The ink jet recording head according to claim 1, wherein said pressure generating means is constituted by a piezoelectric vibrator.
【請求項4】 前記圧力発生手段が、発熱素子により構
成されている請求項1に記載のインクジェット式記録ヘ
ッド。
4. The ink jet recording head according to claim 1, wherein said pressure generating means is constituted by a heating element.
JP31651697A 1997-10-31 1997-10-31 Ink jet recording head Pending JPH11129477A (en)

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JP31651697A JPH11129477A (en) 1997-10-31 1997-10-31 Ink jet recording head

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JP (1) JPH11129477A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6557985B2 (en) 1999-01-29 2003-05-06 Seiko Epson Corporation Ink jet recording head

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US6557985B2 (en) 1999-01-29 2003-05-06 Seiko Epson Corporation Ink jet recording head

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